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JP2024136675A - Liquid ejection head and liquid ejection apparatus - Google Patents

Liquid ejection head and liquid ejection apparatus Download PDF

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JP2024136675A
JP2024136675A JP2023047861A JP2023047861A JP2024136675A JP 2024136675 A JP2024136675 A JP 2024136675A JP 2023047861 A JP2023047861 A JP 2023047861A JP 2023047861 A JP2023047861 A JP 2023047861A JP 2024136675 A JP2024136675 A JP 2024136675A
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JP
Japan
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flow path
adhesive
liquid
jet head
liquid jet
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Pending
Application number
JP2023047861A
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Japanese (ja)
Inventor
繁樹 鈴木
Shigeki Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

To solve the problem in that the monomer of an ultraviolet curable ink passes through a silicone adhesive for connecting a flow passage of a liquid ejection head, which has a low gas barrier property, and leaks outside the flow passage of the liquid ejection head, thus leading to a possibility that the liquid ejection head may be broken.SOLUTION: A liquid ejection head includes: a nozzle for ejecting an acrylic ultraviolet curable ink; and an introduction port 44a which communicates with the nozzle and through which the ultraviolet curable ink flows. A first adhesive A which is an acrylic ultraviolet curable adhesive capable of absorbing a monomer contained in the ultraviolet curable ink is provided. The first adhesive A is caused to adhere only to a case member 40 which is one component composing the liquid ejection head.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejection head and a liquid ejection device that ejects liquid.

インクジェット方式のプリンターに代表される液体噴射装置は、一般に、インク等の液体を噴射する液体噴射ヘッドを有する。例えば、特許文献1には、液体の流路の一部を画定する流路部材同士を流路接続用のシリコーン系接着剤によって接着することにより、各流路部材に設けられた流路同士を接続するとともに、紫外線硬化型インク(以下、UVインクとも称する)を噴射する液体噴射ヘッドが開示されている。 Liquid ejection devices, such as inkjet printers, generally have a liquid ejection head that ejects liquid such as ink. For example, Patent Document 1 discloses a liquid ejection head that ejects ultraviolet-curable ink (hereinafter also referred to as UV ink) by connecting flow path members that define a part of the liquid flow path to each other by bonding them together with a silicone-based adhesive for connecting the flow paths.

特開2020-25894号公報JP 2020-25894 A

従来技術の液体噴射ヘッドでは、UVインクのモノマーが液体噴射ヘッドのガスバリア性の低い部分、例えば流路接続用のシリコーン系接着剤を通過して液体噴射ヘッドの流路外に漏れ出ることで、液体噴射ヘッドが故障してしまう虞があった。 In conventional liquid jet heads, there was a risk that UV ink monomers could leak out of the flow paths of the liquid jet head through parts of the liquid jet head with poor gas barrier properties, such as the silicone adhesive used to connect the flow paths, causing the liquid jet head to break down.

上記課題を解決する本発明の態様は、アクリル系の紫外線硬化型インクを噴射するためのノズルと、前記ノズルと連通するとともに前記紫外線硬化型インクが流れる流路と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能なアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第1接着剤を備え、前記第1接着剤は、前記液体噴射ヘッドを構成する1つの部品のみに接着されている、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。 The aspect of the present invention that solves the above problem is a liquid jet head that includes a nozzle for ejecting acrylic ultraviolet curable ink and a flow path that communicates with the nozzle and through which the ultraviolet curable ink flows, and is characterized in that the liquid jet head includes a first adhesive that is an acrylic ultraviolet curable adhesive capable of absorbing a monomer contained in the ultraviolet curable ink, and the first adhesive is bonded to only one component that constitutes the liquid jet head.

また、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドに供給するための前記紫外線硬化型インクを貯留する液体貯留部と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。 Another aspect of the present invention is a liquid ejection device comprising the above-mentioned liquid ejection head and a liquid storage section that stores the ultraviolet-curable ink to be supplied to the liquid ejection head.

実施形態1に係る液体噴射装置の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a liquid ejecting apparatus according to a first embodiment. 液体噴射ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the liquid jet head. 図2のA-A線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2. 図3の要部を拡大した断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 3 . ヘッドチップの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the head chip. ヘッドチップの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a head chip. 図6のB-B線断面図である。7 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 6. 第2中継流路部材及びヘッドチップの平面図である。4 is a plan view of a second relay flow path member and a head chip. FIG. ヘッドチップの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a head chip. 図8のC-C線断面図である。9 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 8. 図8のD-D線断面図である。9 is a cross-sectional view taken along line D-D in FIG. 8. 図11の一部を拡大した断面図である。FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of a portion of FIG. 11 .

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。 The present invention will be described in detail below based on an embodiment. However, the following description shows only one aspect of the present invention and can be modified as desired within the scope of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてX、Y、Zは、互いに直交する3つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をX方向、Y方向、及びZ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正(+)方向、矢印の反対方向を負(-)方向として説明する。また、正方向及び負方向を限定しない3つの空間軸の方向については、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向として説明する。 The present invention will be described in detail below based on an embodiment. However, the following description shows one aspect of the present invention, and can be modified as desired within the scope of the present invention. In each figure, the same reference numerals indicate the same members, and the description is omitted as appropriate. In each figure, X, Y, and Z represent three spatial axes that are mutually perpendicular. In this specification, the directions along these axes are defined as the X direction, Y direction, and Z direction. The direction indicated by the arrow in each figure is defined as the positive (+) direction, and the direction opposite the arrow is defined as the negative (-) direction. In addition, the directions of the three spatial axes that are not limited to the positive and negative directions are defined as the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction.

(実施形態1)
図1は、本発明の液体噴射装置1の概略構成を示す図である。液体噴射装置1は、インクをインク滴として印刷用紙等の媒体Sに噴射・着弾させて、当該媒体Sに形成されるドットの配列により画像等の印刷を行うインクジェット式記録装置である。なお、媒体Sとしては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。
(Embodiment 1)
1 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid ejection device 1 of the present invention. The liquid ejection device 1 is an inkjet recording device that ejects and impacts ink as ink droplets onto a medium S such as printing paper, and prints an image or the like by an arrangement of dots formed on the medium S. Note that the medium S can be made of any material, such as recording paper, resin film, cloth, etc.

液体噴射装置1は、液体噴射ヘッド2と、液体貯留部3と、制御部である制御ユニット4と、媒体Sを送り出す搬送機構5と、移動機構6と、を具備する。 The liquid ejection device 1 comprises a liquid ejection head 2, a liquid storage section 3, a control unit 4 which serves as a control section, a transport mechanism 5 which feeds the medium S, and a movement mechanism 6.

液体噴射ヘッド2は、液体貯留部3から供給されるインクを複数のノズルから媒体Sに噴射する。液体噴射ヘッド2の詳細な構成は後述する。 The liquid ejection head 2 ejects ink supplied from the liquid storage section 3 from multiple nozzles onto the medium S. The detailed configuration of the liquid ejection head 2 will be described later.

液体貯留部3は、液体噴射ヘッド2から噴射されるインクを貯留する。液体貯留部3としては、例えば、液体噴射装置1に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。なお、液体貯留部3には、特に図示していないが、例えば、色や成分等が異なる複数種類のインクが個別に貯留されている。 The liquid storage section 3 stores the ink to be ejected from the liquid ejection head 2. Examples of the liquid storage section 3 include a cartridge that can be attached to and detached from the liquid ejection device 1, a bag-shaped ink pack made of a flexible film, and an ink tank that can be refilled with ink. Although not specifically shown, the liquid storage section 3 stores multiple types of ink with different colors, ingredients, etc., individually.

液体噴射ヘッド2から噴射されるインクは、アクリル系の紫外線硬化型インクである。アクリル系の紫外線硬化型インクとは、顔料などを含む色材、光重合開始剤、モノマー(アクリレート/アクリル酸を反応させたモノマー)、重合禁止剤、硬度や粘度を調整する溶媒などを含むインクをいう。また紫外線硬化型インクは、光重合開始剤の開始反応を促進させるための増感剤、熱安定剤、酸化防止剤、防腐剤、消泡剤、浸透剤、樹脂バインダー、樹脂エマルジョン、還元防止剤、レベリング剤、pH調整剤、顔料誘導体、重合禁止剤、紫外線吸収剤および光安定剤などの各種添加剤を含んでいてもよい。以後に言及するインクは、アクリル系の紫外線硬化型インクを指すものとする。 The ink ejected from the liquid ejection head 2 is an acrylic UV-curable ink. An acrylic UV-curable ink is an ink that contains color materials including pigments, a photopolymerization initiator, a monomer (a monomer obtained by reacting acrylate/acrylic acid), a polymerization inhibitor, and a solvent for adjusting hardness and viscosity. The UV-curable ink may also contain various additives such as a sensitizer for promoting the initiation reaction of the photopolymerization initiator, a heat stabilizer, an antioxidant, a preservative, an antifoaming agent, a penetrating agent, a resin binder, a resin emulsion, a reduction inhibitor, a leveling agent, a pH adjuster, a pigment derivative, a polymerization inhibitor, an UV absorber, and a light stabilizer. The ink mentioned hereafter refers to an acrylic UV-curable ink.

本実施形態では、液体貯留部3は、インクの種類毎にメインタンク3aとサブタンク3bとを有する。そして、サブタンク3bは、液体噴射ヘッド2に接続され、液体噴射ヘッド2からインク滴を噴射することで消費したインクをメインタンク3aからサブタンク3bに補充する。もちろん、液体貯留部3は、メインタンク3aのみで構成されていてもよい。 In this embodiment, the liquid storage unit 3 has a main tank 3a and a sub tank 3b for each type of ink. The sub tank 3b is connected to the liquid ejection head 2, and ink consumed by ejecting ink droplets from the liquid ejection head 2 is replenished from the main tank 3a to the sub tank 3b. Of course, the liquid storage unit 3 may be composed of only the main tank 3a.

液体噴射装置1は、液体噴射ヘッド2とサブタンク3bとの間でインクを循環させるための循環機構7を有する。 The liquid ejection device 1 has a circulation mechanism 7 for circulating ink between the liquid ejection head 2 and the subtank 3b.

循環機構7は、供給ポンプ7aと、循環ポンプ7bと、サブタンク3bと、回収チューブ7cと、供給チューブ7dと、を含んで構成される。 The circulation mechanism 7 includes a supply pump 7a, a circulation pump 7b, a sub-tank 3b, a recovery tube 7c, and a supply tube 7d.

供給ポンプ7aは、メインタンク3aに貯留されたインクをサブタンク3bに供給するポンプである。循環ポンプ7bは、サブタンク3bに貯留されたインクを液体噴射ヘッド2に供給、すなわち、圧送するためのポンプである。 The supply pump 7a is a pump that supplies the ink stored in the main tank 3a to the sub tank 3b. The circulation pump 7b is a pump that supplies, i.e., pressurizes, the ink stored in the sub tank 3b to the liquid ejection head 2.

回収チューブ7cは、液体噴射ヘッド2で印刷に使用されず、サブタンク3bに回収されるインクの流路を備えている。供給チューブ7dは、サブタンク3bから液体噴射ヘッド2に供給されるインクの流路を備えている。 The recovery tube 7c has a flow path for ink that is not used for printing by the liquid jet head 2 and is recovered in the sub tank 3b. The supply tube 7d has a flow path for ink that is supplied from the sub tank 3b to the liquid jet head 2.

サブタンク3bは、液体貯留部3から供給されるインクを一時的に貯留する容器である。また、サブタンク3bは、液体噴射ヘッド2で印刷に使用されず、回収チューブ7cを介して回収されたインクを一時的に貯留する。 The subtank 3b is a container that temporarily stores the ink supplied from the liquid storage section 3. The subtank 3b also temporarily stores the ink that is not used for printing by the liquid ejection head 2 and is collected via the collection tube 7c.

このような循環機構7は、循環ポンプ7bにより、サブタンク3bから供給チューブ7dを介して液体噴射ヘッド2へインクを供給し、液体噴射ヘッド2で使用されなかったインクを、回収チューブ7cを介してサブタンク3bに回収する。これにより液体噴射ヘッド2とサブタンク3bとの間でインクが循環する。また、サブタンク3bに貯留されたインクが一定量以下となると、供給ポンプ7aによりメインタンク3aからサブタンク3bへインクが供給される。 In this type of circulation mechanism 7, the circulation pump 7b supplies ink from the subtank 3b via the supply tube 7d to the liquid jet head 2, and recovers ink not used in the liquid jet head 2 to the subtank 3b via the recovery tube 7c. This causes ink to circulate between the liquid jet head 2 and the subtank 3b. Furthermore, when the amount of ink stored in the subtank 3b falls below a certain amount, the supply pump 7a supplies ink from the main tank 3a to the subtank 3b.

制御ユニット4は、例えば、CPU(Central Processing Unit)またはFPGA(Field Programmable Gate Array)等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御ユニット4は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置1の各要素、すなわち、液体噴射ヘッド2、搬送機構5、移動機構6等を統括的に制御する。 The control unit 4 includes, for example, a control device such as a CPU (Central Processing Unit) or an FPGA (Field Programmable Gate Array), and a storage device such as a semiconductor memory. The control unit 4 comprehensively controls each element of the liquid ejection device 1, i.e., the liquid ejection head 2, the transport mechanism 5, the movement mechanism 6, etc., by the control device executing a program stored in the storage device.

搬送機構5は、媒体SをX軸方向に搬送するものであり、搬送ローラー5aを有する。すなわち搬送機構5は、搬送ローラー5aが回転することで媒体SをX軸方向に搬送する。なお、媒体Sを搬送する搬送機構5は、搬送ローラー5aを備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Sを搬送するものであってもよい。 The transport mechanism 5 transports the medium S in the X-axis direction and has a transport roller 5a. That is, the transport mechanism 5 transports the medium S in the X-axis direction by rotating the transport roller 5a. Note that the transport mechanism 5 that transports the medium S is not limited to one that includes a transport roller 5a, and may transport the medium S by, for example, a belt or a drum.

移動機構6は、搬送体6aと搬送ベルト6bとを具備する。搬送体6aは、液体噴射ヘッド2を収容する略箱形の構造体、所謂、キャリッジであり、搬送ベルト6bに固定される。搬送ベルト6bは、Y軸方向に沿って架設された無端ベルトである。搬送ベルト6bは、図示しない搬送モーターの駆動によって回転する。制御ユニット4は、搬送モーターの駆動を制御することで搬送ベルト6bを回転させて、液体噴射ヘッド2を搬送体6aと共にY軸方向に図示しないガイドレールに沿って往復移動する。なお、液体貯留部3のサブタンク3bは、液体噴射ヘッド2と共に搬送体6aに搭載することも可能である。 The moving mechanism 6 includes a conveying body 6a and a conveying belt 6b. The conveying body 6a is a generally box-shaped structure, a so-called carriage, that houses the liquid ejection head 2, and is fixed to the conveying belt 6b. The conveying belt 6b is an endless belt that is installed along the Y-axis direction. The conveying belt 6b rotates when driven by a conveying motor (not shown). The control unit 4 controls the drive of the conveying motor to rotate the conveying belt 6b, and the liquid ejection head 2 moves back and forth together with the conveying body 6a in the Y-axis direction along a guide rail (not shown). The sub-tank 3b of the liquid storage unit 3 can also be mounted on the conveying body 6a together with the liquid ejection head 2.

液体噴射ヘッド2は、制御ユニット4による制御のもとで、液体貯留部3から供給されたインクを複数のノズル21(図7参照)のそれぞれからインク滴として+Z方向に噴射する噴射動作を実行する。この液体噴射ヘッド2によるインク滴の噴射動作が、搬送機構5による媒体Sの搬送や移動機構6による液体噴射ヘッド2の往復移動と並行して行われることにより、媒体Sの表面にインクによる画像が形成される、所謂、印刷動作が行われる。 Under the control of the control unit 4, the liquid jet head 2 performs an ejection operation in which ink supplied from the liquid storage section 3 is ejected as ink droplets from each of the multiple nozzles 21 (see FIG. 7) in the +Z direction. This ejection operation of ink droplets by the liquid jet head 2 is performed in parallel with the transport of the medium S by the transport mechanism 5 and the reciprocating movement of the liquid jet head 2 by the movement mechanism 6, thereby forming an image in ink on the surface of the medium S, a so-called printing operation.

図2~図4を用いて、液体噴射ヘッド2を説明する。図2は、液体噴射ヘッド2の分解斜視図である。図3は、図2のA-A線断面図である。図4は、図3の要部を拡大した断面図である。なお、液体噴射ヘッド2の各方向について、液体噴射装置1に搭載された際の方向、すなわち、X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に基づいて説明する。もちろん、液体噴射ヘッド2の液体噴射装置1内の位置は以下に示すものに限定されるものではない。 The liquid jet head 2 will be described using Figures 2 to 4. Figure 2 is an exploded perspective view of the liquid jet head 2. Figure 3 is a cross-sectional view taken along line A-A in Figure 2. Figure 4 is an enlarged cross-sectional view of the main parts of Figure 3. Note that each direction of the liquid jet head 2 will be described based on the directions when it is mounted on the liquid jet device 1, that is, the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction. Of course, the position of the liquid jet head 2 within the liquid jet device 1 is not limited to that shown below.

液体噴射ヘッド2は、ヘッドチップ8と、供給流路400及び排出流路410を有する中継流路部材200と、中継基板210と、カバーヘッド220と、を具備する。 The liquid jet head 2 includes a head chip 8, a relay flow path member 200 having a supply flow path 400 and a discharge flow path 410, a relay substrate 210, and a cover head 220.

中継流路部材200は、液体貯留部3から供給されたインクをヘッドチップ8に供給する供給流路400と、ヘッドチップ8のノズルから噴射されなかったインクを液体貯留部3に戻すための排出流路410と、を有する。 The relay flow path member 200 has a supply flow path 400 that supplies ink supplied from the liquid storage section 3 to the head chip 8, and a discharge flow path 410 that returns ink that has not been ejected from the nozzles of the head chip 8 to the liquid storage section 3.

中継流路部材200は、第1中継流路部材201と、第2中継流路部材202と、シール部材203と、を具備する。第1中継流路部材201と、シール部材203と、第2中継流路部材202とは、この順に+Z方向に積層されている。 The relay flow path member 200 includes a first relay flow path member 201, a second relay flow path member 202, and a sealing member 203. The first relay flow path member 201, the sealing member 203, and the second relay flow path member 202 are stacked in this order in the +Z direction.

第1中継流路部材201は、第1供給流路401及び第1排出流路411が設けられた部材である。本実施形態の第1中継流路部材201は、3つの部材201a、201b、201cがZ軸方向に積層されて構成されている。第1中継流路部材201は、供給側流路接続部204a及び排出側流路接続部204bを有する。供給側流路接続部204aと排出側流路接続部204bとを区別しない場合は、流路接続部204と称する。本実施形態では、流路接続部204は、第1中継流路部材201の-Z方向の面に、-Z方向に筒状に突出した形状を有している。供給側流路接続部204aには供給チューブ7dが接続され、排出側流路接続部204bには回収チューブ7cが接続される。供給側流路接続部204aの内部には第1供給流路401が設けられ、排出側流路接続部204bの内部には第1排出流路411が設けられている。 The first relay flow path member 201 is a member in which a first supply flow path 401 and a first discharge flow path 411 are provided. The first relay flow path member 201 of this embodiment is configured by stacking three members 201a, 201b, and 201c in the Z-axis direction. The first relay flow path member 201 has a supply side flow path connection portion 204a and a discharge side flow path connection portion 204b. When the supply side flow path connection portion 204a and the discharge side flow path connection portion 204b are not distinguished from each other, they are referred to as a flow path connection portion 204. In this embodiment, the flow path connection portion 204 has a cylindrical shape that protrudes in the -Z direction on the -Z direction surface of the first relay flow path member 201. A supply tube 7d is connected to the supply side flow path connection portion 204a, and a recovery tube 7c is connected to the discharge side flow path connection portion 204b. A first supply flow path 401 is provided inside the supply side flow path connection part 204a, and a first discharge flow path 411 is provided inside the discharge side flow path connection part 204b.

第1供給流路401は、Z軸方向に延びる流路や、積層された部材の積層界面に沿って延びる流路等で構成されている。第1供給流路401の途中には、他の領域よりも内径が広く拡幅されたフィルター室401aが設けられており、フィルター室401a内には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を捕捉するフィルター401bが設けられている。第1排出流路411は、第1供給流路401と同様にZ軸方向に延びる流路や、積層された部材の積層界面に沿って延びる流路等で構成されている。本実施形態では第1排出流路411には途中にフィルター室401aやフィルター401bが設けられていないが、もちろん、設けてもよい。また、第1供給流路401は、例えば、フィルター401bの下流で2個以上に分岐してもよい。 The first supply flow path 401 is composed of a flow path extending in the Z-axis direction, a flow path extending along the lamination interface of the laminated members, etc. A filter chamber 401a having an inner diameter wider than other regions is provided in the middle of the first supply flow path 401, and a filter 401b that captures foreign matter such as dust and air bubbles contained in the ink is provided in the filter chamber 401a. The first discharge flow path 411 is composed of a flow path extending in the Z-axis direction like the first supply flow path 401, a flow path extending along the lamination interface of the laminated members, etc. In this embodiment, the first discharge flow path 411 does not have a filter chamber 401a or a filter 401b provided in the middle, but of course it may be provided. In addition, the first supply flow path 401 may be branched into two or more downstream of the filter 401b, for example.

シール部材203は、液体噴射ヘッド2に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料、例えば、ゴムやエラストマー等を用いて形成されている。シール部材203には、Z軸方向に貫通する供給側接続流路403及び排出側接続流路413が設けられている。 The seal member 203 is formed using a material that is resistant to liquids such as ink used in the liquid jet head 2 and is elastically deformable, such as rubber or elastomer. The seal member 203 is provided with a supply side connection flow path 403 and a discharge side connection flow path 413 that penetrate in the Z-axis direction.

第2中継流路部材202は、Z軸方向に伸びる第2供給流路402及び第2排出流路412を有する。第1供給流路401と第2供給流路402とは、シール部材203の供給側接続流路403を介して液密に接続されている。同様に、第1排出流路411と第2排出流路412とは、シール部材203の排出側接続流路413を介して液密に接続されている。また、第2中継流路部材202の-Z方向を向く面には、内部に第2供給流路402又は第2排出流路412が設けられた突起部207が-Z方向に向かって突出して設けられている。 The second relay flow path member 202 has a second supply flow path 402 and a second discharge flow path 412 that extend in the Z-axis direction. The first supply flow path 401 and the second supply flow path 402 are liquid-tightly connected via a supply side connection flow path 403 of the seal member 203. Similarly, the first discharge flow path 411 and the second discharge flow path 412 are liquid-tightly connected via a discharge side connection flow path 413 of the seal member 203. In addition, a protrusion 207 having the second supply flow path 402 or the second discharge flow path 412 provided therein is provided on the surface of the second relay flow path member 202 facing the -Z direction so as to protrude in the -Z direction.

このように、中継流路部材200は、第1供給流路401、供給側接続流路403、及び第2供給流路402を有する供給流路400と、第1排出流路411、排出側接続流路413、及び第2排出流路412を有する排出流路410とを備えている。本実施形態では、1つの第1中継流路部材201は、4個の供給流路400と、4個の排出流路410とを備えている。 In this way, the relay flow path member 200 includes a supply flow path 400 having a first supply flow path 401, a supply side connection flow path 403, and a second supply flow path 402, and a discharge flow path 410 having a first discharge flow path 411, a discharge side connection flow path 413, and a second discharge flow path 412. In this embodiment, one first relay flow path member 201 includes four supply flow paths 400 and four discharge flow paths 410.

第2中継流路部材202の+Z方向を向く面には、ヘッドチップ8が保持されている。本実施形態の液体噴射ヘッド2には、複数、本実施形態では、一例として2個のヘッドチップ8が保持されている。もちろん、液体噴射ヘッド2が保持するヘッドチップ8の数は、特にこれに限定されず、1個であってもよく、2個以上の複数であってもよい。また、本実施形態では、2個のヘッドチップ8は、X軸方向に関して同じ位置となるように、Y軸方向に並設されている。もちろん、複数のヘッドチップ8の配置は、特にこれに限定されず、例えば、X軸方向に沿って千鳥状に配置されていてもよい。 A head chip 8 is held on the surface of the second relay flow path member 202 facing the +Z direction. In the liquid jet head 2 of this embodiment, multiple head chips 8 are held, and in this embodiment, two head chips are held as an example. Of course, the number of head chips 8 held by the liquid jet head 2 is not particularly limited to this, and may be one, or two or more. Also, in this embodiment, the two head chips 8 are arranged side by side in the Y axis direction so that they are at the same position in the X axis direction. Of course, the arrangement of the multiple head chips 8 is not particularly limited to this, and may be arranged in a staggered pattern along the X axis direction, for example.

また、第2中継流路部材202の+Z方向を向く面には、2個のヘッドチップ8を収容可能な保持空間208(図7参照)が設けられている。本実施形態の保持空間208は、+Z方向側に開口し、+Z方向側を向いた保持面209を有している。第2供給流路402及び第2排出流路412は、保持面209に開口している。第2供給流路402にはヘッドチップ8の各導入口44aが連通し、第2排出流路412にはヘッドチップ8の導出口44bが連通する。 The surface of the second relay flow path member 202 facing the +Z direction is provided with a holding space 208 (see FIG. 7) capable of accommodating two head chips 8. In this embodiment, the holding space 208 opens to the +Z direction side and has a holding surface 209 facing the +Z direction side. The second supply flow path 402 and the second discharge flow path 412 open to the holding surface 209. The second supply flow path 402 is connected to each inlet 44a of the head chip 8, and the second discharge flow path 412 is connected to the outlet 44b of the head chip 8.

第2中継流路部材202には、各ヘッドチップ8の配線部材110を挿通するための第3配線挿通孔205が設けられている。本実施形態では、2個のヘッドチップ8の夫々に対して2個の第3配線挿通孔205が設けられている。ヘッドチップ8の配線部材110は、第3配線挿通孔205を介して第2中継流路部材202の-Z方向を向く面側に導出される。 The second relay flow path member 202 is provided with third wiring insertion holes 205 for inserting the wiring members 110 of each head chip 8. In this embodiment, two third wiring insertion holes 205 are provided for each of the two head chips 8. The wiring members 110 of the head chip 8 are led out to the surface side of the second relay flow path member 202 facing the -Z direction through the third wiring insertion holes 205.

Z軸方向において、第2中継流路部材202とシール部材203との間には、複数のヘッドチップ8の配線部材110が共通して接続される中継基板210が設けられている。中継基板210は、柔軟性のない硬質のリジット基板からなり、不図示の配線や電子部品等が実装されたものである。中継基板210には外部配線が接続されるコネクター211が設けられている。ヘッドチップ8を制御するための印刷信号等は、不図示の外部配線からコネクター211を介して中継基板210に入力され、中継基板210から各ヘッドチップ8に供給される。なお、中継流路部材200のコネクター211に対向する側壁には、コネクター211に接続される外部配線を挿通するための外部配線用開口部206が設けられている。外部配線は、外部配線用開口部206を介して中継流路部材200の内部に設けられた中継基板210のコネクター211に接続される。 In the Z-axis direction, a relay board 210 to which the wiring members 110 of the multiple head chips 8 are commonly connected is provided between the second relay flow path member 202 and the seal member 203. The relay board 210 is made of a hard rigid board with no flexibility, and is equipped with wiring and electronic components (not shown). The relay board 210 is provided with a connector 211 to which external wiring is connected. Printing signals for controlling the head chips 8 are input from external wiring (not shown) to the relay board 210 via the connector 211, and are supplied to each head chip 8 from the relay board 210. In addition, an external wiring opening 206 for inserting external wiring connected to the connector 211 is provided on the side wall facing the connector 211 of the relay flow path member 200. The external wiring is connected to the connector 211 of the relay board 210 provided inside the relay flow path member 200 through the external wiring opening 206.

中継基板210には、ヘッドチップ8の配線部材110を-Z方向を向く面側に導出するための第4配線挿通孔212が設けられている。第4配線挿通孔212は、各ヘッドチップ8に対して1個、合計2個設けられている。 The relay substrate 210 is provided with a fourth wiring insertion hole 212 for leading out the wiring member 110 of the head chip 8 to the surface side facing the -Z direction. A total of two fourth wiring insertion holes 212 are provided, one for each head chip 8.

中継基板210には、Z軸方向に貫通して設けられた突起部挿通孔213が設けられている。第2中継流路部材202の突起部207は、突起部挿通孔213を介して中継基板210の-Z方向側に挿通されて、供給側接続流路403又は排出側接続流路413に接続される。 The relay substrate 210 is provided with a protrusion insertion hole 213 that penetrates in the Z-axis direction. The protrusion 207 of the second relay flow path member 202 is inserted through the protrusion insertion hole 213 into the -Z direction side of the relay substrate 210 and connected to the supply side connection flow path 403 or the discharge side connection flow path 413.

中継流路部材200の+Z方向を向く面には、カバーヘッド220が固定されている。カバーヘッド220は、本実施形態では、2個のヘッドチップ8を覆う大きさを有する。カバーヘッド220には、ヘッドチップ8のノズル21を+Z方向に向かって露出する露出開口部221がヘッドチップ8毎に独立して設けられている。露出開口部221から露出されたノズル21からインクが+Z方向に向かって噴射される。もちろん、露出開口部221は、複数のヘッドチップ8に共通して設けられていてもよい。 A cover head 220 is fixed to the surface of the relay flow path member 200 facing the +Z direction. In this embodiment, the cover head 220 is large enough to cover two head chips 8. The cover head 220 is provided with an exposure opening 221 that exposes the nozzle 21 of the head chip 8 in the +Z direction, independently for each head chip 8. Ink is ejected in the +Z direction from the nozzle 21 exposed from the exposure opening 221. Of course, the exposure opening 221 may be provided in common to multiple head chips 8.

ここで、液体噴射ヘッド2に搭載されるヘッドチップ8について、さらに図5~図7を参照して説明する。図5は、本発明の一実施形態に係るヘッドチップ8の分解斜視図である。図6は、ヘッドチップ8の平面図である。図7は、図6のB-B線に準じたヘッドチップ8、中継流路部材200及びカバーヘッド220の断面図である。なお、ヘッドチップ8の各方向について、液体噴射ヘッド2に搭載された際の方向、すなわち、X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に基づいて説明する。 Here, the head chip 8 mounted on the liquid jet head 2 will be further described with reference to Figs. 5 to 7. Fig. 5 is an exploded perspective view of the head chip 8 according to one embodiment of the present invention. Fig. 6 is a plan view of the head chip 8. Fig. 7 is a cross-sectional view of the head chip 8, relay flow path member 200, and cover head 220 taken along line B-B in Fig. 6. Note that the directions of the head chip 8 will be described based on the directions when it is mounted on the liquid jet head 2, i.e., the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

ヘッドチップ8は、流路形成基板10を具備する。流路形成基板10は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、SOI基板、各種セラミック基板からなる。 The head chip 8 includes a flow path forming substrate 10. The flow path forming substrate 10 is made of, for example, a silicon substrate, a glass substrate, an SOI substrate, or any of various ceramic substrates.

流路形成基板10には、複数の圧力室12がX軸方向に沿って並んで配置されている。複数の圧力室12は、Y軸方向に関して同じ位置となるように、X軸方向に沿った直線上に配置されている。X軸方向で互いに隣り合う2つの圧力室12は、隔壁によって区画されている。また、本実施形態では、圧力室12がX軸方向に沿って並設された圧力室列が、Y軸方向に2列設けられている。もちろん、圧力室12の配置は特にこれに限定されず、例えば、複数の圧力室12は、X軸方向に沿って千鳥状に配置されていてもよい。 The flow path forming substrate 10 has a plurality of pressure chambers 12 arranged in a line along the X-axis direction. The pressure chambers 12 are arranged in a straight line along the X-axis direction so that they are at the same position in the Y-axis direction. Two pressure chambers 12 adjacent to each other in the X-axis direction are separated by a partition. In this embodiment, two pressure chamber rows are provided in the Y-axis direction, in which the pressure chambers 12 are arranged in parallel along the X-axis direction. Of course, the arrangement of the pressure chambers 12 is not particularly limited to this, and for example, the pressure chambers 12 may be arranged in a staggered pattern along the X-axis direction.

流路形成基板10の+Z方向を向く面には、連通板15とノズルプレート20とが順次積層されている。 A communication plate 15 and a nozzle plate 20 are stacked in sequence on the surface of the flow path forming substrate 10 facing the +Z direction.

連通板15は、流路形成基板10の+Z方向を向く面に接合された板状部材からなる。連通板15には、圧力室12とノズル21とを連通するノズル連通路16が設けられている。 The communication plate 15 is made of a plate-like member bonded to the surface of the flow passage forming substrate 10 facing the +Z direction. The communication plate 15 is provided with a nozzle communication passage 16 that connects the pressure chamber 12 and the nozzle 21.

また、連通板15には、複数の圧力室12が共通して連通する共通液室となるマニホールド100の一部を構成する第1マニホールド部17と第2マニホールド部18とが設けられている。第1マニホールド部17は、連通板15をZ軸方向に貫通して設けられている。また、第2マニホールド部18は、連通板15をZ軸方向に貫通することなく、+Z方向を向く面に開口して設けられている。 The communication plate 15 is provided with a first manifold portion 17 and a second manifold portion 18 which constitute a part of a manifold 100 which serves as a common liquid chamber to which the multiple pressure chambers 12 are commonly connected. The first manifold portion 17 is provided so as to penetrate the communication plate 15 in the Z-axis direction. The second manifold portion 18 is provided so as to open on the surface facing the +Z direction, without penetrating the communication plate 15 in the Z-axis direction.

さらに、連通板15には、圧力室12のY軸方向の一端部に連通する供給連通路19が圧力室12の各々に独立して設けられている。供給連通路19は、第2マニホールド部18と圧力室12とを連通して、マニホールド100内のインクを圧力室12に供給する。 Furthermore, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that is independent of each pressure chamber 12 and communicates with one end of the pressure chamber 12 in the Y-axis direction. The supply communication passage 19 communicates between the second manifold portion 18 and the pressure chamber 12, and supplies ink in the manifold 100 to the pressure chamber 12.

このような連通板15としては、シリコン基板、ガラス基板、SOI基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板などを用いることができる。なお、連通板15は、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このように流路形成基板10と連通板15とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。 Such a communication plate 15 can be a silicon substrate, a glass substrate, an SOI substrate, various ceramic substrates, a metal substrate such as a stainless steel substrate, or the like. It is preferable that the communication plate 15 is made of a material having approximately the same thermal expansion coefficient as the flow path forming substrate 10. By using materials having approximately the same thermal expansion coefficient for the flow path forming substrate 10 and the communication plate 15 in this way, it is possible to reduce the occurrence of warping due to heat caused by differences in thermal expansion coefficients.

ノズルプレート20は、連通板15の流路形成基板10とは反対側、すなわち、+Z方向を向く面に接合されている。 The nozzle plate 20 is joined to the side of the communication plate 15 opposite the flow path forming substrate 10, i.e., the surface facing the +Z direction.

ノズルプレート20には、各圧力室12にノズル連通路16を介して連通するノズル21が形成されている。複数のノズル21は、X軸方向に沿って一列となるように並んで配置されている。また、ノズル21がX軸方向に沿って並設されたノズル列が、Y軸方向に離れて2列設けられている。Y軸方向に並設された2列のノズル列は、各列を構成するノズル21同士が互いにX軸方向に半ピッチずれた状態で配置されていてもよい。このようなノズルプレート20としては、シリコン基板、ガラス基板、SOI基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることができる。なお、ノズルプレート20は、連通板15の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このようにノズルプレート20と連通板15とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。 The nozzle plate 20 is formed with nozzles 21 that communicate with each pressure chamber 12 via the nozzle communication passage 16. The nozzles 21 are arranged in a line along the X-axis direction. In addition, two nozzle rows in which the nozzles 21 are arranged in parallel along the X-axis direction are provided at a distance in the Y-axis direction. The two nozzle rows arranged in parallel in the Y-axis direction may be arranged such that the nozzles 21 constituting each row are shifted by half a pitch from each other in the X-axis direction. As such a nozzle plate 20, a silicon substrate, a glass substrate, an SOI substrate, various ceramic substrates, a metal substrate such as a stainless steel substrate, an organic material such as a polyimide resin, etc. can be used. It is preferable that the nozzle plate 20 is made of a material having a thermal expansion coefficient approximately equal to that of the communication plate 15. By using materials having a thermal expansion coefficient approximately equal to that of the communication plate 15 in this way, it is possible to reduce the occurrence of warping due to heat caused by the difference in thermal expansion coefficient.

流路形成基板10の-Z方向を向く面には、振動板50と圧電素子300とが順次積層されている。 A vibration plate 50 and a piezoelectric element 300 are layered in sequence on the surface of the flow path forming substrate 10 facing the -Z direction.

振動板50は、本実施形態では、流路形成基板10側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜51と、弾性膜51の-Z方向を向く面上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁膜52と、を有する。なお、振動板50は、弾性膜51のみで構成されていてもよく、絶縁膜52のみで構成されていてもよく、弾性膜51と絶縁膜52とに加えて他の膜を有する構成であってもよい。 In this embodiment, the vibration plate 50 has an elastic film 51 made of silicon oxide provided on the flow path forming substrate 10 side, and an insulating film 52 made of zirconium oxide provided on the surface of the elastic film 51 facing the -Z direction. The vibration plate 50 may be composed of only the elastic film 51, or may be composed of only the insulating film 52, or may have another film in addition to the elastic film 51 and the insulating film 52.

圧電素子300は、振動板50上に-Z方向に向かって順次積層された第1電極60と圧電体層70と第2電極80とを具備する。圧電素子300が、圧力室12内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子となっている。このような圧電素子300は、圧電アクチュエーターとも言い、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とを含む部分を言う。また、第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加した際に、圧電体層70に圧電歪みが生じる部分を活性部310と称する。これに対して、圧電体層70に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。すなわち、活性部310は、圧電体層70が第1電極60と第2電極80とで挟まれた部分を言う。本実施形態では、圧力室12毎に活性部310が形成されている。つまり、圧電素子300には複数の活性部310が形成されていることになる。そして、一般的には、活性部310の何れか一方の電極を活性部310毎に独立する個別電極とし、他方の電極を複数の活性部310に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、第1電極60が個別電極を構成し、第2電極80が共通電極を構成している。もちろん、第1電極60が共通電極を構成し、第2電極80が個別電極を構成してもよい。 The piezoelectric element 300 includes a first electrode 60, a piezoelectric layer 70, and a second electrode 80, which are sequentially stacked on the vibration plate 50 toward the -Z direction. The piezoelectric element 300 is a driving element that generates a pressure change in the ink in the pressure chamber 12. Such a piezoelectric element 300 is also called a piezoelectric actuator, and refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In addition, a portion where a piezoelectric strain occurs in the piezoelectric layer 70 when a voltage is applied between the first electrode 60 and the second electrode 80 is called an active portion 310. In contrast, a portion where no piezoelectric strain occurs in the piezoelectric layer 70 is called an inactive portion. In other words, the active portion 310 refers to a portion where the piezoelectric layer 70 is sandwiched between the first electrode 60 and the second electrode 80. In this embodiment, an active portion 310 is formed for each pressure chamber 12. In other words, a plurality of active portions 310 are formed in the piezoelectric element 300. In general, one of the electrodes of the active parts 310 is configured as an individual electrode independent for each active part 310, and the other electrode is configured as a common electrode common to the multiple active parts 310. In this embodiment, the first electrode 60 constitutes the individual electrode, and the second electrode 80 constitutes the common electrode. Of course, the first electrode 60 may constitute the common electrode, and the second electrode 80 may constitute the individual electrode.

第1電極60は、圧力室12毎に切り分けられて活性部310毎に独立する個別電極を構成する。第1電極60は、+X方向において、圧力室12の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、+X方向において、第1電極60の端部は、圧力室12に対向する領域の内側に位置している。また、図7に示すように、第1電極60のY軸方向において、ノズル21側の端部は、圧力室12よりも外側に配置されている。この第1電極60のY軸方向において圧力室12よりも外側に配置された端部に、引き出し配線であるリード電極90が接続されている。 The first electrode 60 is separated for each pressure chamber 12 to form an independent individual electrode for each active section 310. The first electrode 60 is formed with a width narrower than the width of the pressure chamber 12 in the +X direction. That is, in the +X direction, the end of the first electrode 60 is located inside the area facing the pressure chamber 12. Also, as shown in FIG. 7, the end of the first electrode 60 on the nozzle 21 side in the Y axis direction is located outside the pressure chamber 12. A lead electrode 90, which is a lead wiring, is connected to the end of the first electrode 60 located outside the pressure chamber 12 in the Y axis direction.

圧電体層70は、+Y方向の幅が所定の幅で、+X方向に亘って連続して設けられている。圧電体層70のY軸方向の幅は、圧力室12のY軸方向の長さよりも長い。このため、圧力室12の+Y方向および-Y方向の両側では、圧電体層70は、圧力室12に対向する領域の外側まで延設されている。このような圧電体層70のY軸方向においてノズル21とは反対側の端部は、第1電極60の端部よりも外側に位置している。すなわち、第1電極60のノズル21とは反対側の端部は圧電体層70によって覆われている。また、圧電体層70のノズル21側の端部は、第1電極60の端部よりも内側に位置しており、第1電極60のノズル21側の端部は、圧電体層70に覆われていない。圧電体層70は、一般式ABO3で示されるペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電材料を用いて構成されている。 The piezoelectric layer 70 has a predetermined width in the +Y direction and is provided continuously in the +X direction. The width of the piezoelectric layer 70 in the Y-axis direction is longer than the length of the pressure chamber 12 in the Y-axis direction. Therefore, on both sides of the pressure chamber 12 in the +Y direction and the -Y direction, the piezoelectric layer 70 extends to the outside of the area facing the pressure chamber 12. The end of the piezoelectric layer 70 on the opposite side to the nozzle 21 in the Y-axis direction is located outside the end of the first electrode 60. In other words, the end of the first electrode 60 on the opposite side to the nozzle 21 is covered by the piezoelectric layer 70. In addition, the end of the piezoelectric layer 70 on the nozzle 21 side is located inside the end of the first electrode 60, and the end of the first electrode 60 on the nozzle 21 side is not covered by the piezoelectric layer 70. The piezoelectric layer 70 is made of a piezoelectric material made of a complex oxide with a perovskite structure represented by the general formula ABO3.

第2電極80は、図7に示すように、圧電体層70の第1電極60とは反対側である-Z方向側に連続して設けられており、複数の活性部310に共通する共通電極を構成する。第2電極80は、Y軸方向が所定の幅となるように、X軸方向に亘って連続して設けられている。 As shown in FIG. 7, the second electrode 80 is provided continuously on the -Z direction side of the piezoelectric layer 70, which is the opposite side to the first electrode 60, and constitutes a common electrode shared by multiple active sections 310. The second electrode 80 is provided continuously over the X-axis direction so that the Y-axis direction has a predetermined width.

第1電極60からは、引き出し配線であるリード電極90が引き出されている。そしてリード電極90の圧電素子300に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有するフレキシブル基板からなる配線部材110が接続されている。配線部材110は、活性部310の夫々を駆動させるか否かを選択する複数のスイッチング素子を有する駆動信号選択回路111が実装されている。つまり、配線部材110は、COFからなる。なお、配線部材110には、駆動信号選択回路111を設けなくてもよい。つまり、配線部材110は、FFC、FPC等であってもよい。 A lead electrode 90, which is an extraction wiring, is drawn out from the first electrode 60. A wiring member 110 made of a flexible substrate having flexibility is connected to the end of the lead electrode 90 opposite the end connected to the piezoelectric element 300. The wiring member 110 is equipped with a drive signal selection circuit 111 having a plurality of switching elements that select whether or not to drive each of the active parts 310. In other words, the wiring member 110 is made of COF. Note that the wiring member 110 does not need to be provided with the drive signal selection circuit 111. In other words, the wiring member 110 may be an FFC, an FPC, or the like.

このような第1電極60、圧電体層70および第2電極80を含む圧電素子300は、各層が成膜およびリソグラフィー法によって形成される。このため本実施形態の圧電素子300は、「薄膜圧電体」である圧電体層70を含む圧電薄膜となっている。ここで薄膜圧電体を含む圧電薄膜とは、第1電極60、圧電体層70および第2電極80を含む積層方向であるZ軸方向の厚さが10μm未満のものを言う。なお、圧電薄膜は、複数のノズル21を高密度に配置するために3μm以下であることが好ましい。 The piezoelectric element 300 including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 has each layer formed by film formation and lithography. Therefore, the piezoelectric element 300 of this embodiment is a piezoelectric thin film including the piezoelectric layer 70, which is a "thin film piezoelectric." Here, a piezoelectric thin film including a thin film piezoelectric refers to a film having a thickness of less than 10 μm in the Z-axis direction, which is the stacking direction including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. Note that the piezoelectric thin film is preferably 3 μm or less in order to arrange multiple nozzles 21 at high density.

流路形成基板10の-Z方向を向く面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電素子300を保護する空間である保持部31を有する。保持部31は、X軸方向に並んで配置される圧電素子300の列毎に独立して設けられたものであり、Y軸方向に2つ並んで形成されている。また、保護基板30には、Y軸方向に並んで配置される2つの保持部31の間にZ軸方向に貫通する第1配線挿通孔32が設けられている。圧電素子300の電極から引き出されたリード電極90の端部は、この第1配線挿通孔32内に露出するように延設され、リード電極90と配線部材110とは、第1配線挿通孔32内で電気的に接続されている。 A protective substrate 30 having approximately the same size as the flow path forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow path forming substrate 10 facing the -Z direction. The protective substrate 30 has a holding portion 31 which is a space that protects the piezoelectric elements 300. The holding portions 31 are provided independently for each row of the piezoelectric elements 300 arranged in the X-axis direction, and two holding portions 31 are formed side by side in the Y-axis direction. In addition, the protective substrate 30 is provided with a first wiring insertion hole 32 penetrating in the Z-axis direction between the two holding portions 31 arranged side by side in the Y-axis direction. The end of the lead electrode 90 drawn from the electrode of the piezoelectric element 300 is extended so as to be exposed in the first wiring insertion hole 32, and the lead electrode 90 and the wiring member 110 are electrically connected in the first wiring insertion hole 32.

このような保護基板30としては、例えば、流路形成基板10と同様にシリコン基板、ガラス基板、SOI基板、各種セラミック基板からなる。なお、保護基板30は、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このように流路形成基板10と保護基板30とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱による反りが発生するのを低減することができる。 Such a protective substrate 30 may be, for example, a silicon substrate, a glass substrate, an SOI substrate, or various ceramic substrates, just like the flow path forming substrate 10. It is preferable that the protective substrate 30 is made of a material having approximately the same thermal expansion coefficient as the flow path forming substrate 10. By using materials having approximately the same thermal expansion coefficient for the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 in this way, it is possible to reduce the occurrence of warping due to heat caused by differences in thermal expansion coefficients.

保護基板30上には、複数の圧力室12に連通するマニホールド100を流路形成基板10と共に画成するケース部材40が固定されている。ケース部材40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。 A case member 40 is fixed onto the protective substrate 30, and together with the flow path forming substrate 10 defines a manifold 100 that communicates with the multiple pressure chambers 12. The case member 40 has approximately the same shape as the above-mentioned communication plate 15 in a plan view, and is joined to the protective substrate 30 and also to the above-mentioned communication plate 15.

このようなケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10および保護基板30が収容される深さの収容凹部41を有する。この収容凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容凹部41に流路形成基板10および保護基板30が収容された状態で、収容凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。 Such a case member 40 has an accommodating recess 41 on the protective substrate 30 side, deep enough to accommodate the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30. This accommodating recess 41 has an opening area larger than the surface of the protective substrate 30 that is joined to the flow path forming substrate 10. Then, with the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 accommodated in the accommodating recess 41, the opening surface of the accommodating recess 41 on the nozzle plate 20 side is sealed by a communication plate 15.

ケース部材40には、連通板15の第1マニホールド部17に連通する第3マニホールド部42が設けられている。そして、連通板15に設けられた第1マニホールド部17および第2マニホールド部18と、ケース部材40に設けられた第3マニホールド部42と、によって本実施形態のマニホールド100が構成されている。マニホールド100は、圧力室12の列毎に、つまり、合計2個設けられている。各マニホールド100は、圧力室12が並んで配置されるX軸方向に亘って連続して設けられており、各圧力室12とマニホールド100とを連通する供給連通路19は、X軸方向に並んで配置されている。また、ケース部材40には、マニホールド100に連通して各マニホールド100にインクを供給するための導入口44aが設けられている。また、ケース部材40には、保護基板30の第1配線挿通孔32に連通して配線部材110が挿通される第2配線挿通孔43が設けられており、配線部材110は、第2配線挿通孔43を介して液体噴射ヘッド2の-Z方向を向く面側に導出される。 The case member 40 is provided with a third manifold portion 42 that communicates with the first manifold portion 17 of the communication plate 15. The first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 provided on the communication plate 15 and the third manifold portion 42 provided on the case member 40 constitute the manifold 100 of this embodiment. The manifolds 100 are provided for each row of pressure chambers 12, that is, two in total. Each manifold 100 is provided continuously over the X-axis direction in which the pressure chambers 12 are arranged side by side, and the supply communication passages 19 that communicate each pressure chamber 12 and the manifold 100 are arranged side by side in the X-axis direction. The case member 40 is also provided with an inlet 44a that communicates with the manifold 100 and supplies ink to each manifold 100. In addition, the case member 40 is provided with a second wiring insertion hole 43 through which the wiring member 110 is inserted and communicates with the first wiring insertion hole 32 of the protective substrate 30, and the wiring member 110 is led out through the second wiring insertion hole 43 to the surface side of the liquid ejection head 2 facing the -Z direction.

連通板15の第1マニホールド部17および第2マニホールド部18が開口する+Z方向側の面には、コンプライアンス基板45がエポキシ系の接着剤151(図10参照)を介して設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド部17と第2マニホールド部18の噴射面20a側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜46と、金属等の硬質の材料からなる固定基板47と、を具備する。固定基板47のマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。 A compliance substrate 45 is provided on the +Z direction side surface of the communication plate 15 where the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 open, via an epoxy adhesive 151 (see FIG. 10). This compliance substrate 45 seals the openings on the ejection surface 20a side of the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18. In this embodiment, such a compliance substrate 45 includes a sealing film 46 made of a flexible thin film, and a fixed substrate 47 made of a hard material such as metal. The region of the fixed substrate 47 facing the manifold 100 is an opening 48 that is completely removed in the thickness direction, so one side of the manifold 100 is a compliance portion 49 that is a flexible portion sealed only by the flexible sealing film 46.

このようなコンプライアンス基板45の+Z方向を向く面に、カバーヘッド220が接合される。つまり、カバーヘッド220は、開口部48を覆うように固定基板47に接合される。カバーヘッド220と封止膜46との間の空間は、大気開放させることで封止膜46のコンプライアンス部49をマニホールド100内のインクの圧力に応じて変形可能となっている。 The cover head 220 is bonded to the surface of the compliance substrate 45 facing the +Z direction. In other words, the cover head 220 is bonded to the fixed substrate 47 so as to cover the opening 48. The space between the cover head 220 and the sealing film 46 is open to the atmosphere, allowing the compliance portion 49 of the sealing film 46 to deform in response to the pressure of the ink in the manifold 100.

図8から図12を用いて、液体噴射ヘッド2の流路及び接着剤等について詳細に説明する。図8は第2中継流路部材202及びヘッドチップ8の平面図である。図9はヘッドチップ8の平面図である。図10は図8のC-C線断面図である。図11は図8のD-D線断面図である。図12は図11の一部を拡大した断面図である。なお、図9には、ケース部材40と第2中継流路部材202との間の第1流路接続用接着剤121を図示している。 The flow paths and adhesives of the liquid jet head 2 will be described in detail using Figures 8 to 12. Figure 8 is a plan view of the second relay flow path member 202 and the head chip 8. Figure 9 is a plan view of the head chip 8. Figure 10 is a cross-sectional view taken along line C-C in Figure 8. Figure 11 is a cross-sectional view taken along line D-D in Figure 8. Figure 12 is a cross-sectional view of an enlarged portion of Figure 11. Note that Figure 9 illustrates the first flow path connection adhesive 121 between the case member 40 and the second relay flow path member 202.

ヘッドチップ8の第1配線挿通孔32及び第2配線挿通孔43と、第2中継流路部材202の第3配線挿通孔205とは連通しており、配線部材110が配置された収容空間130を構成している。第3配線挿通孔205は、Z軸方向をみる平面視において(図8参照)、後述する凹部140及び第2配線挿通孔43を内側に含む形状となっている。 The first wiring insertion hole 32 and the second wiring insertion hole 43 of the head chip 8 communicate with the third wiring insertion hole 205 of the second relay flow path member 202, forming a storage space 130 in which the wiring member 110 is disposed. The third wiring insertion hole 205 has a shape that includes a recess 140 and the second wiring insertion hole 43 (described later) on the inside in a plan view looking in the Z-axis direction (see FIG. 8).

ヘッドチップ8には、ノズルがインクを噴射する噴射方向である+Z方向に凹む凹部140が設けられている。本実施形態では、ヘッドチップ8のケース部材40に、第2配線挿通孔43の-Z方向側の開口よりも+Z方向側に凹んだ2個の凹部140が設けられている。2個の凹部140は、X軸方向に延設された第2配線挿通孔43の両端よりも外側に一つずつ配置されている。第2配線挿通孔43よりも+X方向側に配置された凹部140は、2個の導入口44aの間に配置され、第2配線挿通孔43よりも-X方向側に配置された凹部140は、2個の導出口44bの間に配置されている。 The head chip 8 is provided with a recess 140 recessed in the +Z direction, which is the ejection direction in which the nozzle ejects ink. In this embodiment, the case member 40 of the head chip 8 is provided with two recesses 140 recessed in the +Z direction from the opening of the second wiring insertion hole 43 on the -Z direction side. The two recesses 140 are arranged one on each side outside both ends of the second wiring insertion hole 43 that extends in the X-axis direction. The recess 140 arranged on the +X direction side of the second wiring insertion hole 43 is arranged between the two inlet ports 44a, and the recess 140 arranged on the -X direction side of the second wiring insertion hole 43 is arranged between the two outlet ports 44b.

凹部140には、第1接着剤Aが配置されている。凹部140は、-Z方向側に開口して第3配線挿通孔205に連通している。第3配線挿通孔205は収容空間130の一部を形成しているので、凹部140に設けられた第1接着剤Aは収容空間130に配置されているとも言える。 A first adhesive A is placed in the recess 140. The recess 140 opens in the -Z direction and communicates with the third wiring insertion hole 205. Since the third wiring insertion hole 205 forms part of the accommodation space 130, it can also be said that the first adhesive A provided in the recess 140 is placed in the accommodation space 130.

ここで、第1接着剤は、紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能なアクリル系の紫外線硬化型接着剤である。紫外線硬化型接着剤とは、光重合開始剤、アクリル系のポリマー、硬度や粘度を調整する溶媒などを含む接着剤である。第1接着剤Aは、第1接着剤であって、液体噴射ヘッド2を構成する一つの部品のみに接着されたものである。換言すれば、第1接着剤Aは、液体噴射ヘッド2を構成する2つ以上の部品に跨がって接着されていない。本実施形態では、第1接着剤Aはケース部材40の凹部140にのみ接着されている。 Here, the first adhesive is an acrylic ultraviolet-curing adhesive capable of absorbing the monomer contained in the ultraviolet-curing ink. The ultraviolet-curing adhesive is an adhesive that contains a photopolymerization initiator, an acrylic polymer, a solvent that adjusts the hardness and viscosity, and the like. The first adhesive A is a first adhesive that is bonded only to one component that constitutes the liquid jet head 2. In other words, the first adhesive A is not bonded across two or more components that constitute the liquid jet head 2. In this embodiment, the first adhesive A is bonded only to the recess 140 of the case member 40.

第2中継流路部材202の保持空間208には上述したように2個のヘッドチップ8が収容されており、第2供給流路402の開口とヘッドチップ8の導入口44aとが液密に接続され、第2排出流路412の開口とヘッドチップ8の導出口44bとが液密に接続されている。具体的には、第2供給流路402の開口及び導入口44aの開口を囲うように第1流路接続用接着剤121が設けられた状態で第2供給流路402と導入口44aとが接続している。同様に、第2排出流路412の開口及び導出口44bの開口を囲うように第1流路接続用接着剤121が設けられた状態で第2排出流路412と導出口44bとが接続している。このように第1流路接続用接着剤121が設けられていることで、第2供給流路402と導入口44aとの接合部分、及び第2排出流路412と導出口44bの接合部分から、第2中継流路部材202とヘッドチップ8との間にインクが漏れ出ることが抑制されている。 As described above, the holding space 208 of the second relay flow path member 202 accommodates two head chips 8, and the opening of the second supply flow path 402 and the inlet 44a of the head chip 8 are liquid-tightly connected, and the opening of the second exhaust flow path 412 and the outlet 44b of the head chip 8 are liquid-tightly connected. Specifically, the second supply flow path 402 and the inlet 44a are connected in a state where the first flow path connection adhesive 121 is provided to surround the opening of the second supply flow path 402 and the opening of the inlet 44a. Similarly, the second exhaust flow path 412 and the outlet 44b are connected in a state where the first flow path connection adhesive 121 is provided to surround the opening of the second exhaust flow path 412 and the opening of the outlet 44b. By providing the first flow path connection adhesive 121 in this manner, ink is prevented from leaking between the second relay flow path member 202 and the head chip 8 from the joint between the second supply flow path 402 and the inlet 44a, and the joint between the second discharge flow path 412 and the outlet 44b.

図9に示すように、本実施形態では、第1流路接続用接着剤121は、第2供給流路402、第2排出流路412、導入口44a及び導出口44bを液密に連通させるためにそれらの開口を囲むように、1つのヘッドチップ8に対して4か所、設けられている。 As shown in FIG. 9, in this embodiment, the first flow path connection adhesive 121 is provided in four locations for one head chip 8 so as to surround the openings of the second supply flow path 402, the second discharge flow path 412, the inlet 44a, and the outlet 44b in order to provide a liquid-tight connection between them.

ヘッドチップ8は、第2中継流路部材202の保持空間208に収容された状態で、+Z方向側の面がカバーヘッド220に接着されている。具体的には、コンプライアンス基板45の+Z方向側の面がカバーヘッド220の-Z方向側の面に第2接着剤C及び固定用接着剤150で接着されている。 The head chip 8 is housed in the holding space 208 of the second relay flow path member 202, and its +Z side surface is adhered to the cover head 220. Specifically, the +Z side surface of the compliance substrate 45 is adhered to the -Z side surface of the cover head 220 with the second adhesive C and the fixing adhesive 150.

第2接着剤Cは、液体噴射ヘッド2を構成する2つの部品であるコンプライアンス基板45とカバーヘッド220とを接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である。固定用接着剤150は、エポキシ系の接着剤であるが、特に限定はない。第2接着剤Cは、特に図示しないが、ヘッドチップ8を-Z方向にみて、コンプライアンス基板45の外縁部分に枠状に設けられている。固定用接着剤150は、コンプライアンス基板45の+Z方向側の面のうち、第2接着剤Cよりも内側に設けられている。第2接着剤Cは、固定用接着剤150が硬化する前に、コンプライアンス基板45とカバーヘッド220とを仮固定するために用いられている。 The second adhesive C is an acrylic ultraviolet-curing adhesive for bonding the compliance substrate 45 and the cover head 220, which are two components that make up the liquid jet head 2. The fixing adhesive 150 is an epoxy adhesive, but is not particularly limited. Although not shown, the second adhesive C is provided in a frame shape on the outer edge of the compliance substrate 45 when the head chip 8 is viewed in the -Z direction. The fixing adhesive 150 is provided on the +Z direction side surface of the compliance substrate 45, inside the second adhesive C. The second adhesive C is used to temporarily fix the compliance substrate 45 and the cover head 220 before the fixing adhesive 150 hardens.

また、ヘッドチップ8は、ケース部材40の+Z方向側の面と、連通板15の-Z方向側の面とが第2流路接続用接着剤122で接着されている。このように接着されることで、ケース部材40の第3マニホールド部42と、連通板15の第1マニホールド部17とが液密に接続されている。このように第2流路接続用接着剤122が設けられていることで、第3マニホールド部42と第1マニホールド部17との接合部分から、ヘッドチップ8の外側にインクが漏れ出ることが抑制されている。 The head chip 8 is also bonded to the +Z side surface of the case member 40 and the -Z side surface of the communication plate 15 with a second flow path connection adhesive 122. By bonding in this manner, the third manifold portion 42 of the case member 40 and the first manifold portion 17 of the communication plate 15 are liquid-tightly connected. By providing the second flow path connection adhesive 122 in this manner, leakage of ink to the outside of the head chip 8 from the joint between the third manifold portion 42 and the first manifold portion 17 is suppressed.

また、ヘッドチップ8の連通板15の側面には第1接着剤Bが設けられている。第1接着剤Bは、第1接着剤であって、液体噴射ヘッド2を構成する一つの部品のみに接着されたものである。換言すれば、第1接着剤Bは、液体噴射ヘッド2を構成する2つ以上の部品に跨がって接着されていない。本実施形態では、第1接着剤Bは連通板15にのみ接着され、ヘッドチップ8の側面を囲うように環状に設けられている。 A first adhesive B is provided on the side of the communication plate 15 of the head chip 8. The first adhesive B is the first adhesive, and is attached only to one component that constitutes the liquid jet head 2. In other words, the first adhesive B is not attached across two or more components that constitute the liquid jet head 2. In this embodiment, the first adhesive B is attached only to the communication plate 15, and is provided in a ring shape to surround the side of the head chip 8.

第1接着剤Aと配線部材110との距離をL1とし、第1流路接続用接着剤121と第1接着剤Aとの距離をL2とし、第1流路接続用接着剤121と配線部材110との距離をL3とする。第2供給流路402と導入口44aとが液密に連通した流路が2個、第2排出流路412と導出口44bとが液密に連通した流路が2個、計4個の流路のうち、第2供給流路402と導入口44aとが液密に連通した流路の1個について、距離L1、距離L2及び距離L3を図示して説明する。他の流路についても同様に距離L1、距離L2、距離L3を定義できる。 The distance between the first adhesive A and the wiring member 110 is L1, the distance between the first flow path connecting adhesive 121 and the first adhesive A is L2, and the distance between the first flow path connecting adhesive 121 and the wiring member 110 is L3. Of the four flow paths in total, two flow paths in which the second supply flow path 402 and the inlet 44a are liquid-tightly connected, and two flow paths in which the second discharge flow path 412 and the outlet 44b are liquid-tightly connected, the distances L1, L2, and L3 are illustrated and explained for one of the flow paths in which the second supply flow path 402 and the inlet 44a are liquid-tightly connected. Distances L1, L2, and L3 can be defined for the other flow paths in the same way.

距離L1は、収容空間130の内部を通り、第1接着剤Aと配線部材110とを結ぶ仮想的な最短の直線の距離である。直線は一本の直線のみからなるものではなく、複数の直線を連結したものであってもよい。直線が収容空間130の内部を通るとは、直線が液体噴射ヘッド2を構成する任意の部材を通らないことをいう。本実施形態では、図9及び図11に示すように、第1接着剤Aから凹部140、第3配線挿通孔205を経由して配線部材110に至る仮想的な複数の直線を組み合わせた全体の長さが距離L1となる。 Distance L1 is the distance of the shortest imaginary straight line that passes through the inside of the storage space 130 and connects the first adhesive A and the wiring member 110. The straight line does not have to be a single straight line, but may be a combination of multiple straight lines. A straight line passing through the inside of the storage space 130 means that the straight line does not pass through any of the components that make up the liquid ejection head 2. In this embodiment, as shown in Figures 9 and 11, distance L1 is the total length of the combination of multiple imaginary straight lines that run from the first adhesive A to the wiring member 110 via the recess 140 and the third wiring insertion hole 205.

距離L2は、導入口44aと第2供給流路402との接合部分から第1接着剤Aとを結ぶ仮想的な最短の直線のうち、第1接着剤Aから当該接合部分を囲う第1流路接続用接着剤121までに至る部分の直線の距離である。本実施形態では、図9及び図10に示すように、第1接着剤Aから凹部140を経由して導入口44aと第2供給流路402の接合部分に至る仮想的な最短の直線のうち、第1接着剤Aから第1流路接続用接着剤121までの部分の長さが距離L2となる。 Distance L2 is the distance of the straight line from the first adhesive A to the first flow path connecting adhesive 121 that surrounds the joint portion, among the imaginary shortest straight lines connecting the joint portion between the inlet 44a and the second supply flow path 402 and the first adhesive A. In this embodiment, as shown in Figures 9 and 10, among the imaginary shortest straight lines connecting the first adhesive A to the joint portion between the inlet 44a and the second supply flow path 402 via the recess 140, the length of the part from the first adhesive A to the first flow path connecting adhesive 121 is distance L2.

距離L3は、収容空間130の内部を通り、導入口44aと第2供給流路402との接合部分から配線部材110を結ぶ仮想的な最短の直線のうち、配線部材から当該接合部分を囲う第1流路接続用接着剤121までに至る部分の直線の距離である。本実施形態では、図9及び図10に示すように、配線部材110から導入口44aと第2供給流路402との接合部分に至る仮想的な最短の直線のうち、配線部材110から第1流路接続用接着剤121までの部分の長さが距離L3となる。 Distance L3 is the distance of the straight line that passes through the inside of the storage space 130 and connects the wiring member 110 from the joint between the inlet 44a and the second supply flow path 402 to the wiring member 110 and the first flow path connection adhesive 121 that surrounds the joint. In this embodiment, as shown in Figures 9 and 10, of the imaginary shortest straight line from the wiring member 110 to the joint between the inlet 44a and the second supply flow path 402, the length of the part from the wiring member 110 to the first flow path connection adhesive 121 is distance L3.

これらの距離L1、距離L2、距離L3は次の関係にある。すなわち、距離L1は距離L3より短い(L1<L3)。換言すれば、第1接着剤Aは、第1流路接続用接着剤121よりも配線部材110の近くに配置されている。また、距離L1は距離L2よりも長い(L2<L1)。 These distances L1, L2, and L3 have the following relationship. That is, distance L1 is shorter than distance L3 (L1<L3). In other words, the first adhesive A is disposed closer to the wiring member 110 than the first flow path connection adhesive 121. Also, distance L1 is longer than distance L2 (L2<L1).

第1接着剤Bと第2接着剤Cとの距離をM1とし、第2流路接続用接着剤122と第1接着剤Bとの距離をM2とし、第2流路接続用接着剤122と第2接着剤Cとの距離をM3とする。 The distance between the first adhesive B and the second adhesive C is M1, the distance between the second flow path connection adhesive 122 and the first adhesive B is M2, and the distance between the second flow path connection adhesive 122 and the second adhesive C is M3.

距離M1は、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、第1接着剤Bと第2接着剤Cとを結ぶ仮想的な最短の直線の距離である。本実施形態では、図12に示すように、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、すなわち保持空間208の内部を通り、第1接着剤Bから第2接着剤Cに至る仮想的な直線の長さが距離M1となる。 Distance M1 is the distance of the shortest imaginary straight line connecting the first adhesive B and the second adhesive C without passing through the components that make up the liquid jet head 2. In this embodiment, as shown in FIG. 12, distance M1 is the length of an imaginary straight line that does not pass through the components that make up the liquid jet head 2, i.e., that passes through the inside of the holding space 208, and leads from the first adhesive B to the second adhesive C.

距離M2は、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、第2流路接続用接着剤122と第1接着剤Bとを結ぶ仮想的な最短の直線の距離である。本実施形態では、図12に示すように、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、すなわち保持空間208の内部を通り、第2流路接続用接着剤122から第1接着剤Bに至る仮想的な直線の長さが距離M2となる。 Distance M2 is the distance of the shortest imaginary straight line connecting the second flow path connection adhesive 122 and the first adhesive B without passing through the components constituting the liquid jet head 2. In this embodiment, as shown in FIG. 12, distance M2 is the length of the imaginary straight line from the second flow path connection adhesive 122 to the first adhesive B without passing through the components constituting the liquid jet head 2, i.e., passing through the inside of the holding space 208.

距離M3は、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、第2流路接続用接着剤122と第2接着剤Cとを結ぶ仮想的な最短の直線の距離である。本実施形態では、図12に示すように、液体噴射ヘッド2を構成する部材を通らず、すなわち保持空間208の内部を通り、第2流路接続用接着剤122から第2接着剤Cに至る仮想的な直線の長さが距離M3となる。 Distance M3 is the distance of the shortest imaginary straight line connecting the second flow path connection adhesive 122 and the second adhesive C without passing through the components that make up the liquid jet head 2. In this embodiment, as shown in FIG. 12, distance M3 is the length of the imaginary straight line that does not pass through the components that make up the liquid jet head 2, i.e., passes through the inside of the holding space 208, and leads from the second flow path connection adhesive 122 to the second adhesive C.

これらの距離M1、距離M2、距離M3は次の関係にある。すなわち、距離M1は距離M3より短い(M1<M3)。換言すれば、第1接着剤Bは、第2流路接続用接着剤122よりも第2接着剤Cの近くに配置されている。また、距離M1は距離M2よりも長い(M2<M1)。 These distances M1, M2, and M3 have the following relationship. That is, distance M1 is shorter than distance M3 (M1<M3). In other words, the first adhesive B is disposed closer to the second adhesive C than the second flow path connection adhesive 122. Also, distance M1 is longer than distance M2 (M2<M1).

第1流路接続用接着剤121及び第2流路接続用接着剤122は、ガスバリア性が低い接着剤である。ガスバリア性が低いとは、酸素の気体透過係数が1.00×10-5cc mm/(mm・day・atm)以上(ガスバリア性の低い樹脂ケースなども含む)である材料で構成されていることを指す。酸素の気体透過係数が1000×10-5cc mm/(mm・day・atm)以上(シリコーン系接着剤)である接着剤はガスバリア性が特に低いので、本発明を適用することが好適である。なお、気体透過係数の単位は、例えば、cc 20μm/(m・24hrs・atm)がある。この単位は、フィルムの厚さを20μmに換算して、フィルム面積を1m、圧力を1atm(1気圧)のもとで、24時間あたりに透過する気体の量を表す。 The first flow path connecting adhesive 121 and the second flow path connecting adhesive 122 are adhesives with low gas barrier properties. Low gas barrier properties refer to being made of a material with a gas permeability coefficient of oxygen of 1.00×10 −5 cc mm/(mm 2 ·day·atm) or more (including resin cases with low gas barrier properties). Adhesives with a gas permeability coefficient of oxygen of 1000×10 −5 cc mm/(mm 2 ·day·atm) or more (silicone adhesives) have particularly low gas barrier properties, so it is suitable to apply the present invention. The unit of the gas permeability coefficient is, for example, cc 20 μm/(m 2 ·24 hrs ·atm). This unit represents the amount of gas that permeates per 24 hours when the film thickness is converted to 20 μm, the film area is 1 m 2 , and the pressure is 1 atm (1 atmosphere).

また、中継流路部材200やケース部材40は、ポリフェニレンサルファイド(PPS)を含まない樹脂材料や、フィラーの含有率が低い樹脂材料で形成されている。一般にこのような樹脂材料はガスバリア性が低い。 The relay flow path member 200 and the case member 40 are formed from a resin material that does not contain polyphenylene sulfide (PPS) or a resin material with a low filler content. Generally, such resin materials have poor gas barrier properties.

このように中継流路部材200、ケース部材40、及び第1流路接続用接着剤121は、ガスバリア性が低い。このため、インクの流路である第2供給流路402、第2排出流路412、導入口44a、導出口44bに流れる紫外線硬化型インクに含まれるモノマーは、中継流路部材200、ケース部材40、第1流路接続用接着剤121を透過し、当該流路の外へ漏れ出る虞がある。流路外から漏れ出したモノマーは、液体噴射ヘッド2の金属配線に付着して腐食させる虞がある。 As described above, the relay flow path member 200, the case member 40, and the first flow path connection adhesive 121 have poor gas barrier properties. Therefore, the monomer contained in the ultraviolet curable ink flowing in the ink flow paths, that is, the second supply flow path 402, the second discharge flow path 412, the inlet 44a, and the outlet 44b, may permeate the relay flow path member 200, the case member 40, and the first flow path connection adhesive 121 and leak out of the flow path. The monomer leaking out of the flow path may adhere to the metal wiring of the liquid ejection head 2 and corrode it.

例えば、本実施形態の液体噴射ヘッド2では、インクに含まれるモノマーが第2供給流路402と導入口44aとの接合部分から第1流路接続用接着剤121を透過し、収容空間130へ漏れ出る虞がある。同様に、インクに含まれるモノマーが第2排出流路412と導出口44bとの接合部分から第1流路接続用接着剤121を透過し、収容空間130へ漏れ出る虞がある。流路外から収容空間130に漏れ出したモノマーは、液体噴射ヘッド2の配線部材110に形成された配線や駆動信号選択回路111、収容空間130の内部に露出したリード電極90など各種の金属配線を腐食させる虞がある。 For example, in the liquid jet head 2 of this embodiment, there is a risk that monomers contained in the ink may permeate the first flow path connecting adhesive 121 from the joint between the second supply flow path 402 and the inlet 44a and leak into the storage space 130. Similarly, there is a risk that monomers contained in the ink may permeate the first flow path connecting adhesive 121 from the joint between the second discharge flow path 412 and the outlet 44b and leak into the storage space 130. Monomers leaking from outside the flow path into the storage space 130 may corrode various metal wirings, such as the wiring formed in the wiring member 110 of the liquid jet head 2, the drive signal selection circuit 111, and the lead electrode 90 exposed inside the storage space 130.

このような課題に対し、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能なアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第1接着剤Aを備え、第1接着剤Aは液体噴射ヘッド2を構成するケース部材40のみに接着されている。 To address this issue, the liquid jet head 2 of this embodiment is provided with a first adhesive A, which is an acrylic UV-curable adhesive capable of absorbing the monomer contained in the UV-curable ink, and the first adhesive A is adhered only to the case member 40 that constitutes the liquid jet head 2.

このような液体噴射ヘッド2によれば、液体噴射ヘッド2の流路である第2供給流路402、導入口44a、第2排出流路412、導出口44bから漏れ出たインク由来のモノマーを第1接着剤Aに吸収することができる。このように第1接着剤Aにモノマーを吸収させるので、モノマーによって液体噴射ヘッド2の金属配線が腐食することや、液体噴射ヘッド2の故障を防止することができる。さらに、第1接着剤Aはケース部材40のみに設けられており、流路を構成する第2中継流路部材202やケース部材40などの部品同士の接着に使用されていない。このため、第1接着剤Aがモノマーを吸収して膨潤するものの、それらの部品同士が剥離したり、位置ずれしてしまうことを防止することができる。 According to such a liquid jet head 2, the first adhesive A can absorb the monomer derived from the ink leaking from the second supply flow path 402, the inlet 44a, the second discharge flow path 412, and the outlet 44b, which are the flow paths of the liquid jet head 2. Since the first adhesive A absorbs the monomer in this way, it is possible to prevent the metal wiring of the liquid jet head 2 from being corroded by the monomer and to prevent the liquid jet head 2 from breaking down. Furthermore, the first adhesive A is provided only on the case member 40, and is not used to bond components such as the second relay flow path member 202 and the case member 40 that constitute the flow path. Therefore, although the first adhesive A absorbs the monomer and swells, it is possible to prevent those components from peeling off from each other or becoming misaligned.

なお、中継流路部材200に形成された供給流路400及び排出流路410、ヘッドチップ8に形成されたマニホールド100、圧力室12、ノズル連通路16、供給連通路19は紫外線硬化型インクが流れる流路に相当する。 The supply flow path 400 and the discharge flow path 410 formed in the relay flow path member 200, the manifold 100 formed in the head chip 8, the pressure chamber 12, the nozzle communication path 16, and the supply communication path 19 correspond to the flow paths through which the ultraviolet-curable ink flows.

また、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、第1接着剤Aが収容空間130内に配置されている。このような液体噴射ヘッド2によれば、収容空間130内に流出したモノマーを第1接着剤Aで吸収できるため、配線部材110の金属配線の腐食を防止することができる。 In addition, in the liquid jet head 2 of this embodiment, the first adhesive A is disposed in the storage space 130. With such a liquid jet head 2, the monomer that has flowed into the storage space 130 can be absorbed by the first adhesive A, so that corrosion of the metal wiring of the wiring member 110 can be prevented.

なお、前記流路を形成する中継流路部材200、ケース部材40、連通板15、流路形成基板10、コンプライアンス基板45は流路部材に相当する。 The relay flow path member 200, the case member 40, the communication plate 15, the flow path forming substrate 10, and the compliance substrate 45 that form the flow path correspond to the flow path members.

また、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、ケース部材40に凹部140が設けられ、第1接着剤Aは噴射方向である+Z方向に凹む凹部140内に配置されている。このような液体噴射ヘッド2によれば、第1接着剤Aに吸収されたモノマーの液溜まりを凹部140に保持することができる。このため、液溜まりが配線部材110などに接触することによる腐食や液体噴射ヘッド2の故障を防止することができる。また、万が一、液溜まりが凹部140から溢れ出て液体噴射ヘッド2を故障させてしまうとしても、凹部140に液溜まりが充満するまで相当な時間を要するので液体噴射ヘッド2を長寿命化しやすい。 In addition, in the liquid jet head 2 of this embodiment, a recess 140 is provided in the case member 40, and the first adhesive A is disposed in the recess 140 that is recessed in the +Z direction, which is the jetting direction. With such a liquid jet head 2, a puddle of monomer absorbed in the first adhesive A can be held in the recess 140. This makes it possible to prevent corrosion and failure of the liquid jet head 2 caused by the puddle coming into contact with the wiring member 110, etc. Even if the puddle overflows from the recess 140 and causes failure of the liquid jet head 2, it takes a considerable amount of time for the puddle to fill the recess 140, making it easy to extend the life of the liquid jet head 2.

また、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、第2供給流路402及び第2排出流路412を有する第2中継流路部材202と、導入口44a及び導出口44bを有するケース部材40とを有し、第2供給流路402と導入口44aとはガスバリア性の低い第1流路接続用接着剤121によって液密に接続され、第2排出流路412と導出口44bとはガスバリア性の低い第1流路接続用接着剤121によって液密に接続され、第1接着剤Aは、第1流路接続用接着剤121よりも配線部材110の近くに配置されている。すなわち、配線部材110と第1流路接続用接着剤121との距離L3は、第1接着剤Aと配線部材110との距離L1よりも長い。このような液体噴射ヘッド2によれば、金属配線を有する配線部材110にインク由来のモノマーが到達する前に第1接着剤Aでモノマーを吸収することができる。 The liquid jet head 2 of this embodiment has a second relay flow path member 202 having a second supply flow path 402 and a second discharge flow path 412, and a case member 40 having an inlet 44a and an outlet 44b, and the second supply flow path 402 and the inlet 44a are liquid-tightly connected by a first flow path connection adhesive 121 having low gas barrier properties, and the second discharge flow path 412 and the outlet 44b are liquid-tightly connected by a first flow path connection adhesive 121 having low gas barrier properties, and the first adhesive A is disposed closer to the wiring member 110 than the first flow path connection adhesive 121. That is, the distance L3 between the wiring member 110 and the first flow path connection adhesive 121 is longer than the distance L1 between the first adhesive A and the wiring member 110. According to such a liquid jet head 2, the monomer derived from the ink can be absorbed by the first adhesive A before it reaches the wiring member 110 having the metal wiring.

なお、第2中継流路部材202は第1流路部材に相当し、第2供給流路402及び第2排出流路412は第1流路に相当し、ケース部材40は第2流路部材に相当し、導入口44a及び導出口44bは第2流路に相当し、第1流路接続用接着剤は流路接続用接着剤に相当する。 The second relay flow path member 202 corresponds to the first flow path member, the second supply flow path 402 and the second discharge flow path 412 correspond to the first flow path, the case member 40 corresponds to the second flow path member, the inlet 44a and the outlet 44b correspond to the second flow path, and the first flow path connection adhesive corresponds to the flow path connection adhesive.

また、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、配線部材110と第1接着剤Aとの距離L1は、第1流路接続用接着剤121と第1接着剤Aとの距離L2よりも長い。このような液体噴射ヘッド2によれば、液溜まりが配線部材110に到達しにくいので液体噴射ヘッド2の寿命を延ばすことができる。 In addition, in the liquid jet head 2 of this embodiment, the distance L1 between the wiring member 110 and the first adhesive A is longer than the distance L2 between the first flow path connection adhesive 121 and the first adhesive A. With such a liquid jet head 2, liquid puddles are less likely to reach the wiring member 110, so the life of the liquid jet head 2 can be extended.

また、上述したように、第2流路接続用接着剤122は、ガスバリア性が低い。このため、インクの流路である第1マニホールド部17及び第3マニホールド部42に流れる紫外線硬化型インクに含まれるモノマーは、第2流路接続用接着剤122を透過し、当該流路の外、すなわちヘッドチップ8の外側へ漏れ出る虞がある。ヘッドチップ8の外側に漏れ出したモノマーは、液体噴射ヘッド2を構成する部品であるコンプライアンス基板45とカバーヘッド220とを接着する第2接着剤Cに接触する虞がある。第2接着剤Cは、アクリル系の紫外線硬化型接着剤であるので、モノマーを吸収することで膨潤し、コンプライアンス基板45とカバーヘッド220を剥離させたり、位置ずれさせる虞がある。 As described above, the second flow path connecting adhesive 122 has low gas barrier properties. Therefore, the monomer contained in the ultraviolet curing ink flowing in the first manifold portion 17 and the third manifold portion 42, which are the ink flow paths, may permeate the second flow path connecting adhesive 122 and leak out of the flow path, i.e., outside the head chip 8. The monomer leaking out of the head chip 8 may come into contact with the second adhesive C that bonds the compliance substrate 45 and the cover head 220, which are components that constitute the liquid ejection head 2. Since the second adhesive C is an acrylic ultraviolet curing adhesive, it swells by absorbing the monomer, and may cause the compliance substrate 45 and the cover head 220 to peel off or become misaligned.

このような課題に対し、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、液体噴射ヘッド2を構成する2つの部品であるコンプライアンス基板45とカバーヘッド220を接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第2接着剤Cと、第3マニホールド部42を有するケース部材40と、第1マニホールド部17を有する連通板15と、を備え、第3マニホールド部42と第1マニホールド部17とは、第2流路接続用接着剤122によって液密に接続されており、第2流路接続用接着剤122よりも第2接着剤Cの近くに配置された第1接着剤Bを備えている。 To address these issues, the liquid jet head 2 of this embodiment includes a second adhesive C, which is an acrylic ultraviolet-curing adhesive for bonding the compliance substrate 45 and the cover head 220, which are two components that constitute the liquid jet head 2, a case member 40 having a third manifold portion 42, and a communication plate 15 having a first manifold portion 17, and the third manifold portion 42 and the first manifold portion 17 are liquid-tightly connected by a second flow path connection adhesive 122, and includes a first adhesive B that is disposed closer to the second adhesive C than the second flow path connection adhesive 122.

このような液体噴射ヘッド2によれば、連通板15の側面に設けられた第1接着剤Bは紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能であるため、ヘッドチップ8の外側に漏れ出たインク由来のモノマーは第1接着剤Bに吸収され、第2接着剤Cがモノマーで膨潤することを防ぐことができる。したがって、第2接着剤Cが膨潤することによるコンプライアンス基板45とカバーヘッド220との剥離や位置ずれを防止することができる。 With this type of liquid ejection head 2, the first adhesive B provided on the side of the communicating plate 15 is capable of absorbing monomers contained in the ultraviolet-curable ink, so that the monomers derived from the ink that leak outside the head chip 8 are absorbed by the first adhesive B, preventing the second adhesive C from swelling with the monomers. Therefore, it is possible to prevent peeling or misalignment between the compliance substrate 45 and the cover head 220 caused by swelling of the second adhesive C.

なお、カバーヘッド220及びコンプライアンス基板45は、液体噴射ヘッド2を構成する2つの部品に相当する。第1マニホールド部17は第1流路に相当し、第3マニホールド部42は第2流路に相当する。ケース部材40は第1流路部材に相当し、連通板15は第2流路部材に相当する。第2流路接続用接着剤122は流路接続用接着剤に相当する。 The cover head 220 and the compliance substrate 45 correspond to two components that constitute the liquid jet head 2. The first manifold portion 17 corresponds to the first flow path, and the third manifold portion 42 corresponds to the second flow path. The case member 40 corresponds to the first flow path member, and the communication plate 15 corresponds to the second flow path member. The second flow path connection adhesive 122 corresponds to the flow path connection adhesive.

また、本実施形態の液体噴射ヘッド2は、第2接着剤Cと第1接着剤Bとの距離M1は、第2流路接続用接着剤122と第1接着剤Bとの距離M2よりも長い。このような液体噴射ヘッド2によれば、コンプライアンス基板45とカバーヘッド220とを接着する第2接着剤Cにインク由来のモノマーが到達する前に第1接着剤Bでモノマーを吸収することができる。 In addition, in the liquid jet head 2 of this embodiment, the distance M1 between the second adhesive C and the first adhesive B is longer than the distance M2 between the second flow path connection adhesive 122 and the first adhesive B. With such a liquid jet head 2, the monomer derived from the ink can be absorbed by the first adhesive B before it reaches the second adhesive C that bonds the compliance substrate 45 and the cover head 220.

〈他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other embodiments>
Although each embodiment of the present invention has been described above, the basic configuration of the present invention is not limited to the above.

上述した実施形態では、第1接着剤Aは凹部140に設けられていたが、このような態様に限定されない。すなわち第1接着剤Aは液体噴射ヘッド2の収容空間130の内部に設けられていればよい。また、凹部140はケース部材40に形成されていたが、このような態様に限定されない。すなわち凹部140は、収容空間130を形成する任意の部材に設けられていればよい。第1接着剤Bは、連通板15に設けられていたがこのような態様に限定されず、液体噴射ヘッド2の任意の部材に設けられていればよい。 In the above embodiment, the first adhesive A is provided in the recess 140, but this is not limited to this. That is, the first adhesive A only needs to be provided inside the storage space 130 of the liquid jet head 2. Also, the recess 140 is formed in the case member 40, but this is not limited to this. That is, the recess 140 only needs to be provided in any member that forms the storage space 130. The first adhesive B is provided in the communication plate 15, but this is not limited to this. It only needs to be provided in any member of the liquid jet head 2.

上述した液体噴射ヘッド2は、第1接着剤A及び第1接着剤Bを備えていたが、このような態様に限定されない。すなわち、液体噴射ヘッド2は第1接着剤Aのみ又は第1接着剤Bのみを備える態様としてもよい。 The liquid jet head 2 described above is provided with the first adhesive A and the first adhesive B, but is not limited to this form. In other words, the liquid jet head 2 may be provided with only the first adhesive A or only the first adhesive B.

ここで、第1接着剤Aと配線部材110との距離L1は、第1流路接続用接着剤121と配線部材110との距離L3より短い関係を位置関係Aと称する。距離L1は第1流路接続用接着剤121と第1接着剤Aとの距離L2よりも長い関係を位置関係Bと称する。位置関係A及び位置関係Bを満たした態様を位置関係Cと称する。上述した液体噴射ヘッド2は、位置関係Cを満たした態様であったが、このような態様に限定されない。例えば位置関係Aのみを満たすように第1接着剤Aを配置し、又は位置関係Bのみを満たすように第1接着剤Aを配置した液体噴射ヘッド2としてもよい。 Here, the relationship in which the distance L1 between the first adhesive A and the wiring member 110 is shorter than the distance L3 between the first flow path connection adhesive 121 and the wiring member 110 is referred to as positional relationship A. The relationship in which the distance L1 is longer than the distance L2 between the first flow path connection adhesive 121 and the first adhesive A is referred to as positional relationship B. The aspect in which the positional relationship A and the positional relationship B are satisfied is referred to as positional relationship C. The liquid jet head 2 described above is an aspect in which the positional relationship C is satisfied, but is not limited to such an aspect. For example, the liquid jet head 2 may be configured such that the first adhesive A is disposed so as to satisfy only the positional relationship A, or the first adhesive A is disposed so as to satisfy only the positional relationship B.

また、第1接着剤Bと第2接着剤Cとの距離M1は、第2流路接続用接着剤122と第2接着剤Cとの距離M3より短い関係を位置関係Dと称する。距離M1は第2流路接続用接着剤122と第1接着剤Bとの距離M2よりも長い関係を位置関係Eと称する。位置関係D及び位置関係Eを満たした態様を位置関係Fと称する。上述した液体噴射ヘッド2は、位置関係Fを満たした態様であったが、このような態様に限定されない。例えば位置関係Dのみを満たすように第1接着剤Bを配置し、又は位置関係Eのみを満たすように第1接着剤Bを配置した液体噴射ヘッド2としてもよい。 The relationship in which the distance M1 between the first adhesive B and the second adhesive C is shorter than the distance M3 between the second flow path connection adhesive 122 and the second adhesive C is referred to as positional relationship D. The relationship in which the distance M1 is longer than the distance M2 between the second flow path connection adhesive 122 and the first adhesive B is referred to as positional relationship E. The aspect in which the positional relationship D and the positional relationship E are satisfied is referred to as positional relationship F. The liquid ejection head 2 described above is an aspect in which the positional relationship F is satisfied, but is not limited to such an aspect. For example, the liquid ejection head 2 may be configured such that the first adhesive B is disposed so as to satisfy only the positional relationship D, or the first adhesive B is disposed so as to satisfy only the positional relationship E.

また、流路としては第2供給流路402、第2排出流路412、導入口44a、導出口44b、第1マニホールド部17、第3マニホールド部42を例に挙げたが、これらに限定されない。また、これらの流路を形成する部材として第2中継流路部材202、ケース部材40、連通板15を例に挙げたが、これらに限定されない。 In addition, the second supply flow path 402, the second discharge flow path 412, the inlet 44a, the outlet 44b, the first manifold section 17, and the third manifold section 42 are given as examples of flow paths, but are not limited to these. In addition, the second relay flow path member 202, the case member 40, and the communication plate 15 are given as examples of members that form these flow paths, but are not limited to these.

(付記)
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。
(Additional Note)
From the above-described exemplary embodiments, the following configurations can be understood, for example.

好適な態様である態様1に係る液体噴射ヘッドは、アクリル系の紫外線硬化型インクを噴射するためのノズルと、前記ノズルと連通するとともに前記紫外線硬化型インクが流れる流路と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能なアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第1接着剤を備え、前記第1接着剤は、前記液体噴射ヘッドを構成する1つの部品のみに接着されている。 The liquid jet head according to aspect 1, which is a preferred aspect, is a liquid jet head that includes a nozzle for jetting acrylic ultraviolet-curable ink, and a flow path that communicates with the nozzle and through which the ultraviolet-curable ink flows, and includes a first adhesive that is an acrylic ultraviolet-curable adhesive capable of absorbing monomers contained in the ultraviolet-curable ink, and the first adhesive is bonded to only one component that constitutes the liquid jet head.

このような液体噴射ヘッドによれば、液体噴射ヘッドの流路から漏れ出たインク由来のモノマーを第1接着剤に吸収することができる。このように第1接着剤にモノマーを吸収させるので、モノマーによって液体噴射ヘッドの金属配線が腐食することや、液体噴射ヘッドの故障を防止することができる。さらに、第1接着剤は一つの部材のみに設けられており、流路を構成する部材同士の接着に使用されていない。このため、第1接着剤がモノマーを吸収して膨潤するものの、それらの部品同士が剥離したり、位置ずれしてしまうことを防止することができる。 With this type of liquid jet head, the monomer derived from the ink leaking from the flow path of the liquid jet head can be absorbed by the first adhesive. By making the first adhesive absorb the monomer in this way, it is possible to prevent the metal wiring of the liquid jet head from being corroded by the monomer and to prevent the liquid jet head from breaking down. Furthermore, the first adhesive is provided on only one component and is not used to bond the components that make up the flow path together. Therefore, although the first adhesive absorbs the monomer and swells, it is possible to prevent the components from peeling off from each other or becoming misaligned.

態様1の具体例である態様2において、前記流路を形成する流路部材の内部である収容空間に配置された配線部材を備え、前記第1接着剤は、前記収容空間内に配置されている第1接着剤Aである。これによれば、収容空間内に流出したモノマーを第1接着剤Aで吸収できるため、配線部材の金属配線の腐食を防止することができる。 In aspect 2, which is a specific example of aspect 1, a wiring member is provided that is disposed in a storage space that is inside a flow path member that forms the flow path, and the first adhesive is a first adhesive A that is disposed in the storage space. In this way, the monomer that has flowed into the storage space can be absorbed by the first adhesive A, thereby preventing corrosion of the metal wiring of the wiring member.

態様2の具体例である態様3において、前記流路部材は、前記ノズルが前記紫外線硬化型インクを噴射する噴射方向に凹む凹部を有し、前記第1接着剤Aは、前記凹部内に配置されている。これによれば、第1接着剤Aに吸収されたモノマーの液溜まりを凹部に保持することができる。このため、液溜まりが配線部材などに接触することによる腐食や液体噴射ヘッドの故障を防止することができる。また、万が一、液溜まりが凹部から溢れ出て液体噴射ヘッドを故障させてしまうとしても、凹部に液溜まりが充満するまで相当な時間を要するので液体噴射ヘッドを長寿命化しやすい。 In aspect 3, which is a specific example of aspect 2, the flow path member has a recess that is recessed in the ejection direction in which the nozzle ejects the ultraviolet-curable ink, and the first adhesive A is disposed within the recess. This allows a puddle of monomer absorbed in the first adhesive A to be held in the recess. This makes it possible to prevent corrosion or malfunction of the liquid ejection head caused by the puddle coming into contact with wiring members, etc. Even if the puddle overflows from the recess and causes malfunction of the liquid ejection head, it takes a considerable amount of time for the puddle to fill the recess, which makes it easy to extend the life of the liquid ejection head.

態様2の具体例である態様4において、前記流路部材は、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材とを有し、前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、前記第1接着剤Aは、前記流路接続用接着剤よりも前記配線部材の近くに配置されている。これによれば、金属配線を有する配線基板にインク由来のモノマーが到達する前に第1接着剤Aでモノマーを吸収することができる。 In aspect 4, which is a specific example of aspect 2, the flow path member has a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path, and the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connection adhesive with low gas barrier properties, and the first adhesive A is disposed closer to the wiring member than the flow path connection adhesive. In this way, the first adhesive A can absorb the monomer derived from the ink before it reaches the wiring board having metal wiring.

態様4の具体例である態様5において、前記配線部材と前記第1接着剤Aとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Aとの距離よりも長い。これによれば、液溜まりが配線部材に到達しにくいので液体噴射ヘッドの寿命を延ばすことができる。 In aspect 5, which is a specific example of aspect 4, the distance between the wiring member and the first adhesive A is longer than the distance between the flow path connection adhesive and the first adhesive A. This makes it difficult for liquid pools to reach the wiring member, thereby extending the life of the liquid ejection head.

態様2の具体例である態様6において、前記流路部材は、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材とを有し、前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、前記配線部材と前記第1接着剤Aとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Aとの距離よりも長い。 In aspect 6, which is a specific example of aspect 2, the flow path member has a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path, the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connection adhesive having low gas barrier properties, and the distance between the wiring member and the first adhesive A is longer than the distance between the flow path connection adhesive and the first adhesive A.

態様1の具体例である態様7において、前記液体噴射ヘッドを構成する2つの部品を接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第2接着剤と、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材と、を備え、前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、前記第1接着剤は、前記流路接続用接着剤よりも前記第2接着剤の近くに配置された第1接着剤Bである。これによれば、第1接着剤Bは紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能であるため、液体噴射ヘッドの外側に漏れ出たインク由来のモノマーは第1接着剤Bに吸収され、第2接着剤がモノマーで膨潤することを防ぐことができる。したがって、第2接着剤が膨潤することによる、液体噴射ヘッドを構成する2つの部品の剥離や位置ずれを防止することができる。 In aspect 7, which is a specific example of aspect 1, the liquid jet head is provided with a second adhesive, which is an acrylic ultraviolet-curable adhesive, for bonding two components constituting the liquid jet head, a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path, and the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connection adhesive with low gas barrier properties, and the first adhesive is a first adhesive B arranged closer to the second adhesive than the flow path connection adhesive. According to this, since the first adhesive B can absorb monomers contained in the ultraviolet-curable ink, the monomers derived from the ink that leak out to the outside of the liquid jet head are absorbed by the first adhesive B, and the second adhesive can be prevented from swelling with the monomer. Therefore, it is possible to prevent the two components constituting the liquid jet head from peeling off or being misaligned due to the swelling of the second adhesive.

態様7の具体例である態様8において、前記第2接着剤と前記第1接着剤Bとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Bとの距離よりも長い。これによれば、液体噴射ヘッドを構成する2つの部品を接着する第2接着剤にインク由来のモノマーが到達する前に第1接着剤Bでモノマーを吸収することができる。 In aspect 8, which is a specific example of aspect 7, the distance between the second adhesive and the first adhesive B is longer than the distance between the flow path connection adhesive and the first adhesive B. This allows the first adhesive B to absorb the monomer derived from the ink before it reaches the second adhesive that bonds the two components that make up the liquid jet head.

態様1の具体例である態様9において、前記液体噴射ヘッドを構成する2つの部品を接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第2接着剤と、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材と、を備え、前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、前記第1接着剤は、前記第2接着剤に対する距離が、前記流路接続用接着剤に対する距離よりも長い位置に配置される第1接着剤Bである。 In aspect 9, which is a specific example of aspect 1, the liquid ejection head includes a second adhesive that is an acrylic ultraviolet-curable adhesive for bonding two components that constitute the liquid ejection head, a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path, the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connection adhesive that has low gas barrier properties, and the first adhesive is a first adhesive B that is disposed at a position where the distance to the second adhesive is longer than the distance to the flow path connection adhesive.

好適な態様である態様10に係る液体噴射装置は、態様1から態様9の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドに供給するための前記紫外線硬化型インクを貯留する液体貯留部と、を備える。これによれば、紫外線硬化型インクのモノマーが液体噴射ヘッドのガスバリア性の低い部分、例えば流路接続用のシリコーン系接着剤を通過して液体噴射ヘッドの流路外に漏れ出ても第1接着剤によって吸収するので液体噴射ヘッドの故障を抑制して信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。 A liquid ejection device according to aspect 10, which is a preferred aspect, includes the liquid ejection head according to any one of aspects 1 to 9, and a liquid storage section that stores the ultraviolet-curable ink to be supplied to the liquid ejection head. With this, even if monomers of the ultraviolet-curable ink pass through a portion of the liquid ejection head with low gas barrier properties, such as a silicone-based adhesive for connecting the flow path, and leak out of the flow path of the liquid ejection head, they are absorbed by the first adhesive, thereby providing a liquid ejection device that suppresses failure of the liquid ejection head and improves reliability.

A…第1接着剤、B…第1接着剤、C…第2接着剤、1…液体噴射装置、2…液体噴射ヘッド、3…液体貯留部、8…ヘッドチップ、10…流路形成基板、12…圧力室、15…連通板、17…第1マニホールド部、18…第2マニホールド部、19…供給連通路、20…ノズルプレート、21…ノズル、30…保護基板、40…ケース部材、44a…導入口、44b…導出口、45…コンプライアンス基板、100…マニホールド、110…配線部材、130…収容空間、140…凹部、150…固定用接着剤、200…中継流路部材、220…カバーヘッド、300…圧電素子、400…供給流路、401…第1供給流路、402…第2供給流路、403…供給側接続流路、410…排出流路、411…第1排出流路、412…第2排出流路、413…排出側接続流路 A...first adhesive, B...first adhesive, C...second adhesive, 1...liquid injection device, 2...liquid injection head, 3...liquid storage section, 8...head chip, 10...flow path forming substrate, 12...pressure chamber, 15...communication plate, 17...first manifold section, 18...second manifold section, 19...supply communication passage, 20...nozzle plate, 21...nozzle, 30...protective substrate, 40...case member, 44a...inlet, 44b...outlet, 45... Compliance substrate, 100... manifold, 110... wiring member, 130... storage space, 140... recess, 150... fixing adhesive, 200... relay flow path member, 220... cover head, 300... piezoelectric element, 400... supply flow path, 401... first supply flow path, 402... second supply flow path, 403... supply side connection flow path, 410... discharge flow path, 411... first discharge flow path, 412... second discharge flow path, 413... discharge side connection flow path

Claims (10)

アクリル系の紫外線硬化型インクを噴射するためのノズルと、前記ノズルと連通するとともに前記紫外線硬化型インクが流れる流路と、を備える液体噴射ヘッドであって、
前記紫外線硬化型インクに含まれるモノマーを吸収可能なアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第1接着剤を備え、
前記第1接着剤は、前記液体噴射ヘッドを構成する1つの部品のみに接着されている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A liquid ejection head including: a nozzle for ejecting an acrylic ultraviolet curable ink; and a flow path communicating with the nozzle and through which the ultraviolet curable ink flows,
a first adhesive that is an acrylic ultraviolet-curable adhesive capable of absorbing a monomer contained in the ultraviolet-curable ink;
the first adhesive is bonded to only one component constituting the liquid ejection head;
A liquid jet head comprising:
前記流路を形成する流路部材の内部である収容空間に配置された配線部材を備え、
前記第1接着剤は、前記収容空間内に配置されている第1接着剤Aである、
ことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
a wiring member disposed in a storage space inside a flow path member that forms the flow path,
The first adhesive is a first adhesive A disposed in the storage space.
The liquid jet head according to claim 1 .
前記流路部材は、前記ノズルが前記紫外線硬化型インクを噴射する噴射方向に凹む凹部を有し、
前記第1接着剤Aは、前記凹部内に配置されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
the flow path member has a recess that is recessed in a direction in which the nozzle ejects the ultraviolet curable ink,
The first adhesive A is disposed in the recess.
The liquid jet head according to claim 2 .
前記流路部材は、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材とを有し、
前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、
前記第1接着剤Aは、前記流路接続用接着剤よりも前記配線部材の近くに配置されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
the flow path member includes a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path,
the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connecting adhesive having a low gas barrier property,
The first adhesive A is disposed closer to the wiring member than the flow path connecting adhesive.
The liquid jet head according to claim 2 .
前記配線部材と前記第1接着剤Aとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Aとの距離よりも長い、
ことを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
a distance between the wiring member and the first adhesive A is longer than a distance between the flow path connecting adhesive and the first adhesive A;
The liquid jet head according to claim 4 .
前記流路部材は、前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材とを有し、
前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、
前記配線部材と前記第1接着剤Aとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Aとの距離よりも長い、
ことを特徴とする請求項2記載の液体噴射ヘッド。
the flow path member includes a first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path, and a second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path,
the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connecting adhesive having a low gas barrier property,
a distance between the wiring member and the first adhesive A is longer than a distance between the flow path connecting adhesive and the first adhesive A;
3. The liquid jet head according to claim 2.
前記液体噴射ヘッドを構成する2つの部品を接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第2接着剤と、
前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、
前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材と、
を備え、
前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、
前記第1接着剤は、前記流路接続用接着剤よりも前記第2接着剤の近くに配置された第1接着剤Bである、
ことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
a second adhesive, which is an acrylic ultraviolet-curing adhesive for bonding two components constituting the liquid jet head;
A first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path;
A second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path;
Equipped with
the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connecting adhesive having a low gas barrier property,
The first adhesive is a first adhesive B arranged closer to the second adhesive than the flow path connecting adhesive.
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第2接着剤と前記第1接着剤Bとの距離は、前記流路接続用接着剤と前記第1接着剤Bとの距離よりも長い、
ことを特徴とする請求項7に記載の液体噴射ヘッド。
A distance between the second adhesive and the first adhesive B is longer than a distance between the flow path connecting adhesive and the first adhesive B.
The liquid jet head according to claim 7 .
前記液体噴射ヘッドを構成する2つの部品を接着するためのアクリル系の紫外線硬化型接着剤である第2接着剤と、
前記流路の一部である第1流路を有する第1流路部材と、
前記流路の一部である第2流路を有する第2流路部材と、
を備え、
前記第1流路と前記第2流路とは、ガスバリア性の低い流路接続用接着剤によって液密に接続されており、
前記第1接着剤は、前記第2接着剤に対する距離が、前記流路接続用接着剤に対する距離よりも長い位置に配置される第1接着剤Bである、
ことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
a second adhesive, which is an acrylic ultraviolet-curing adhesive for bonding two components constituting the liquid jet head;
A first flow path member having a first flow path that is a part of the flow path;
A second flow path member having a second flow path that is a part of the flow path;
Equipped with
the first flow path and the second flow path are liquid-tightly connected by a flow path connecting adhesive having a low gas barrier property,
The first adhesive is a first adhesive B that is disposed at a position where a distance from the first adhesive to the second adhesive is longer than a distance from the first adhesive to the flow path connecting adhesive.
The liquid jet head according to claim 1 .
請求項1から請求項9の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドに供給するための前記紫外線硬化型インクを貯留する液体貯留部と、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。
A liquid jet head according to any one of claims 1 to 9,
a liquid storage section that stores the ultraviolet curable ink to be supplied to the liquid ejection head;
A liquid ejection apparatus comprising:
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