JP3246182B2 - Air shower equipment - Google Patents
Air shower equipmentInfo
- Publication number
- JP3246182B2 JP3246182B2 JP11394094A JP11394094A JP3246182B2 JP 3246182 B2 JP3246182 B2 JP 3246182B2 JP 11394094 A JP11394094 A JP 11394094A JP 11394094 A JP11394094 A JP 11394094A JP 3246182 B2 JP3246182 B2 JP 3246182B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- air shower
- person
- shower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 28
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 28
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 25
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 6
- 210000004243 sweat Anatomy 0.000 description 5
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の利用分野】本発明はエアシャワー装置に係り、
特に、クリーンルームの入口に設置され、クリーンルー
ムに入室する際に人体及び衣服に付着した塵埃を事前に
除去してクリーンルーム内に持ち込まないようにするエ
アシャワー装置に関する。The present invention relates to an air shower device,
In particular, the present invention relates to an air shower device that is installed at an entrance of a clean room and that removes dust attached to a human body and clothes before entering the clean room so that the dust is not brought into the clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体を始めとする電子部品の加工・組
立工場、薬品製造工場、食品工場、病院等のクリーンル
ームにおいては、その性質上、一定以上の清浄度が要求
される。従って、クリーンルーム内の清浄度は、クリー
ンルーム内に入室する人の塵埃量により大きく左右され
るので、クリーンルームの入口にエアシャワー装置を設
置し、人体及び衣服の塵埃を除去する装置として利用さ
れている。2. Description of the Related Art A clean room such as a processing / assembly factory for semiconductors and other electronic parts, a chemical manufacturing factory, a food factory, and a hospital requires a certain degree of cleanliness due to its properties. Therefore, the degree of cleanliness in a clean room largely depends on the amount of dust of a person entering the clean room. Therefore, an air shower device is installed at the entrance of the clean room and used as a device for removing dust from a human body and clothes. .
【０００３】従来のエアシャワー装置は、図３に示すよ
うに、主として、エアシャワー室１、エア噴射用高速フ
ァン２、２、エア循環用低速ファン３、３、高性能フィ
ルタ４、４、４（以下、ＨＥＰＡフィルタという）から
構成される。そして、人５がエアシャワー室１中にいな
い時、即ち、エアシャワー室１の不使用時には、エア循
環用低速ファン３のみを運転する。これにより、エア循
環用低速ファン３から天井チャンバ６に吹き出されたエ
アは、天井面に設けられたＨＥＰＡフィルタ４、エアシ
ャワー室１、床下チャンバ７、エア噴射用高速ファン２
内、側方チャンバ８を経てエア循環用低速ファン３に至
る循環経路を形成し、この循環経路においてＨＥＰＡフ
ィルタ４で濾過することによりエアシャワー室１内のエ
アを浄化する。一方、人５がエアシャワー室１内に入る
と、即ち、エアシャワー室１の使用時には、エア循環用
低速ファン３及びエア噴射用高速ファン２の両方を運転
する。これにより、エア噴射用高速ファン２から側方チ
ャンバ８に吹き出されたエアは、側方チャンバ８のＨＥ
ＰＡフィルタ４で濾過されて均圧チャンバ９に入り、エ
アシャワー室１の側面に設けられた複数のジェットノズ
ル１０、１０…から人５に向かって噴射される。これに
より、人体及び衣服に付着した塵埃を除去すると共に、
前記エア循環用低速ファン３から吹き出されたエアの流
れによっても塵埃が除去される。As shown in FIG. 3, a conventional air shower apparatus mainly comprises an air shower chamber 1, high-speed fans 2 and 2, low-speed fans 3 and 3, and high-performance filters 4, 4, and 4. (Hereinafter, referred to as a HEPA filter). When the person 5 is not in the air shower room 1, that is, when the air shower room 1 is not used, only the air circulation low-speed fan 3 is operated. Thus, the air blown from the low-speed fan for air circulation 3 to the ceiling chamber 6 is supplied to the HEPA filter 4 provided on the ceiling surface, the air shower room 1, the underfloor chamber 7, the high-speed fan 2 for air injection.
A circulation path leading to the low-speed air circulation fan 3 through the inner and side chambers 8 is formed, and the air in the air shower chamber 1 is purified by filtering with the HEPA filter 4 in this circulation path. On the other hand, when the person 5 enters the air shower room 1, that is, when the air shower room 1 is used, both the low-speed fan 3 for air circulation and the high-speed fan 2 for air injection are operated. As a result, the air blown from the high-speed air-injection fan 2 to the side chamber 8 is supplied to the HE of the side chamber 8.
After being filtered by the PA filter 4 and entering the pressure equalizing chamber 9, the air is jetted toward the person 5 from a plurality of jet nozzles 10, 10,. This removes dust attached to the human body and clothing,
Dust is also removed by the flow of air blown from the air circulation low-speed fan 3.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エアシャワー装置は、エアシャワー室１内のエアを循環
するのみであるので、エアシャワー装置を使用している
うちに、エア噴射用高速ファン２及びエア循環用低速フ
ァン３から発生する熱（特にモータの熱）により循環エ
アが加熱される。この為、エアシャワー室１内が高温に
なるばかりでなく、ジェットノズル１０から高温になっ
た空気が噴射されるので、エアシャワー室１内に入室し
て塵埃を除去する人５に不快感を与えるという欠点があ
る。また、高温なエアシャワー室１や高温になった空気
の噴射によりエアシャワー室１内の人の顔等が汗ばむ
と、汗で塵埃が除去されにくくなるという欠点がある。However, since the conventional air shower device only circulates the air in the air shower chamber 1, while using the air shower device, the high-speed fan 2 for air injection is used. The circulating air is heated by heat generated by the low-speed fan 3 for air circulation (particularly, heat of the motor). For this reason, not only the inside of the air shower room 1 becomes hot, but also the hot air is jetted from the jet nozzle 10, so that the person 5 who enters the air shower room 1 and removes dust is uncomfortable. There is a disadvantage of giving. In addition, when a person's face or the like in the air shower chamber 1 sweats due to the high-temperature air shower chamber 1 or the injection of the high-temperature air, there is a disadvantage that dust is hardly removed by the sweat.
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、エアシャワー室内の快適性を向上でき、更
に、人体及び衣服に付着した塵埃の除塵効果を向上する
ことのできるエアシャワー装置を提供することを目的と
する。[0005] The present invention has been made in view of such circumstances, and can improve the comfort of an air shower room, and can further improve the effect of removing dust adhering to a human body and clothes. The purpose is to provide.
【０００６】[0006]
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、高圧ファンによりエアシャワー室のエアを循
環させながらエア吹出ノズルから清浄なエアをエアシャ
ワー室に噴出して人体及び衣服に付着した塵埃を除去す
るエアシャワー装置に於いて、前記エアシャワー室内に
清浄な冷房用空調空気を給気する給気経路と、前記エア
シャワー室内のエアを排気する排気経路と、前記給気経
路を連通・遮断する第１の開閉手段と、前記排気経路を
連通・遮断する第２の開閉手段と、前記エアシャワー室
内の人の有無を検知する検知センサと、前記検知センサ
が人を検知した場合に、前記高圧ファンを運転すると共
に、前記第１及び第２の開閉手段により前記給気経路及
び前記排気経路を遮断し、前記検知センサが人を検知し
ない場合には、高圧ファンを停止すると共に、前記第１
及び第２の開閉手段により前記給気経路及び前記排気経
路を連通して前記空調空気をエアシャワー室を介して給
気経路から排気経路に流すように制御する制御手段と、
を備えていることを特徴とする。According to the present invention, in order to achieve the above object, a high pressure fan circulates air in an air shower chamber and blows clean air from an air blowing nozzle into the air shower chamber to remove the human body and the air. In an air shower apparatus for removing dust attached to clothes, an air supply path for supplying clean air-conditioning air to the air shower room, an exhaust path for exhausting air in the air shower room, First opening / closing means for communicating / blocking the air path, second opening / closing means for communicating / blocking the exhaust path, a detection sensor for detecting presence or absence of a person in the air shower room, and the detection sensor When the detection is performed, the high-pressure fan is operated, and the air supply path and the exhaust path are shut off by the first and second opening / closing means. It stops the fan, the first
And control means for controlling the air-conditioning air to flow from the air supply path to the exhaust path via an air shower chamber by communicating the air supply path and the exhaust path with second opening / closing means,
It is characterized by having.
【０００７】[0007]
【作用】本発明によれば、検知センサが人を検知した場
合、即ちエアシャワー室を使用する場合には、高圧ファ
ンを運転すると共に、第１及び第２の開閉手段により給
気経路及び排気経路を遮断する。これにより、高圧ファ
ンによりエアシャワー室のエアを循環させながらエア吹
出ノズルから清浄なエアをエアシャワー室に噴出して人
体及び衣服に付着した塵埃を除去する。According to the present invention, when the detection sensor detects a person, that is, when the air shower room is used, the high pressure fan is operated, and the first and second opening / closing means are used to supply and exhaust air. Block the route. Thereby, while circulating the air in the air shower room with the high-pressure fan, clean air is blown out from the air blowing nozzle into the air shower room to remove dust attached to the human body and clothes.
【０００８】そして、検知センサが人を検知しない場
合、即ちエアシャワー室を使用していない場合には、高
圧ファンを停止すると共に、第１及び第２の開閉手段に
より給気経路及び排気経路を連通して冷房用の空調空気
をエアシャワー室を介して給気経路から排気経路に流
す。これにより、エアシャワー室を使用中に高圧ファン
の特にモータによる発熱により高温になったエアシャワ
ー室の熱を排熱することができる。When the detection sensor does not detect a person, that is, when the air shower room is not used, the high-pressure fan is stopped, and the air supply path and the exhaust path are controlled by the first and second opening / closing means. The air-conditioning air for cooling is communicated and flows from the air supply path to the exhaust path via the air shower room. Thereby, the heat of the air shower chamber, which has become high due to the heat generated by the high-pressure fan, particularly the motor, while the air shower chamber is in use, can be exhausted.
【０００９】また、第１及び第２の開閉手段としてダン
パ装置を用い、第２の開閉手段の開度を第１の開閉手段
の開度より絞るようにすると、エアシャワー室の圧力が
上がるので、空調空気の一部はエアシャワー室と循環経
路を形成する高圧ファンを貫通してエアシャワー室に流
れる。これにより、発熱の原因である高圧ファンを直接
冷却することができるので、排熱効果が大きくなる。ま
た、第１及び第２の開閉手段をダンパ装置にして開度を
調節できるようにすると、冷房用の空調空気でエアシャ
ワー室を冷し過ぎないように空調空気の給気量を調節す
ることができる。Further, if a damper device is used as the first and second opening / closing means and the opening degree of the second opening / closing means is made smaller than the opening degree of the first opening / closing means, the pressure of the air shower chamber increases. Part of the conditioned air flows through the high pressure fan forming a circulation path with the air shower chamber and flows into the air shower chamber. As a result, the high-pressure fan, which is a cause of heat generation, can be directly cooled, so that the heat exhaust effect is increased. Further, when the opening degree can be adjusted by using the first and second opening / closing means as a damper device, the supply amount of the conditioned air is adjusted so that the air shower room is not excessively cooled by the conditioned air for cooling. Can be.
【００１０】[0010]
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るエアシャ
ワー装置の好ましい実施例について詳説する。図１は、
本発明のエアシャワー装置の第１実施例を説明する断面
図である。図１に示すように、箱形に形成されたケーシ
ング２０内の上方には、エアシャワー室２２の天井面を
形成する天井板２４が配設されると共に、ケーシング２
０内の下方には床面を形成する床板２６が配設される。
また、ケーシング２０内の両側方（図中左右位置）に
は、エアシャワー室１の両側面（図中の左右面）を形成
する側板２８、２８が立設される。これにより、ケーシ
ング２０内の天井板２４、床板２６、両側板２８で仕切
られた内側にエアシャワー室２２が形成されると共に、
エアシャワー室２２の天井裏に天井チャンバ３０が形成
され、床下に床下チャンバ３２が形成され、両側面の裏
側にそれぞれ側方チャンバ３４、３４が形成される。更
に、ケーシング２０の上下４隅にも夫々チャンバ３６
Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄが形成される。また、天井
板２４のエアシャワー室２２面には開口３８が形成さ
れ、この開口３８の天井チャンバ３０側にＨＥＰＡフィ
ルタ４０が設けられ、エアシャワー室２２と天井チャン
バ３０とはＨＥＰＡフィルタ４０を介して通気される。
また、床板２６のエアシャワー室２２面は、グレーチィ
ング床２６Ａで通気可能に仕切られる。また、前記両側
板２８には複数の吹出孔４２、４２…が形成され、この
吹出孔４２にジェットノズル４４がエアシャワー室２２
内を向いて夫々取付けられる。また、それぞれの側方チ
ャンバ２４内には、それぞれの側板２８に形成された複
数の吹出孔４２に連通する均圧チャンバ４６が設けられ
ると共に、均圧チャンバ４６に形成された開口４８には
ＨＥＰＡフィルタ５０が設けられ、側方チャンバ３４と
均圧チャンバ４６とはＨＥＰＡフィルタ５０を介して通
気される。また、前記ケーシング２０の４隅に形成され
たチャンバ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄのうち、下
側の２個のチャンバ３６Ｃ、３６Ｄ内にはエア噴射用高
速ファン５２、５２がそれぞれ配設され、エア噴射用高
速ファン５２の吐出口５２Ａが床板２６の側方チャンバ
３４面に形成された連通口５４に接続されると共に、側
板２８の床下チャンバ３２面に形成された連通口５６を
介して床下チャンバ３２内のエアがエア噴射用高速ファ
ン５２の吸引口５２Ｂに吸引される。これにより、エア
噴射用高速ファン５２から吹き出されたエアは、側方チ
ャンバ３４内で加圧されてＨＥＰＡフィルタ５０を通り
均圧チャンバ４６で圧力が均圧化されてジェットノズル
４４からエアシャワー室２２内に噴射される。更に、エ
アシャワー室２２のエアはグレーチィング床２６Ａを通
過して床下チャンバ３２に至り、再びエア噴射用高速フ
ァン５２に吸気される循環経路を形成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of an air shower device according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG.
FIG. 2 is a sectional view illustrating a first embodiment of the air shower device of the present invention. As shown in FIG. 1, a ceiling plate 24 forming a ceiling surface of an air shower room 22 is disposed above a casing 20 formed in a box shape, and a casing 2 is provided.
A floor plate 26 that forms a floor surface is disposed below the inside of 0.
Side plates 28, 28 forming both side surfaces (left and right surfaces in the figure) of the air shower chamber 1 are provided upright on both sides (left and right positions in the figure) inside the casing 20. Thereby, the air shower chamber 22 is formed inside the casing 20 partitioned by the ceiling plate 24, the floor plate 26, and both side plates 28,
A ceiling chamber 30 is formed above and below the ceiling of the air shower room 22, a below-floor chamber 32 is formed below the floor, and side chambers 34 and 34 are formed behind both sides. Further, chambers 36 are provided at the four upper and lower corners of the casing 20, respectively.
A, 36B, 36C and 36D are formed. An opening 38 is formed on the surface of the air shower chamber 22 of the ceiling plate 24, and a HEPA filter 40 is provided on the ceiling chamber 30 side of the opening 38, and the air shower chamber 22 and the ceiling chamber 30 are interposed through the HEPA filter 40. Ventilated.
Further, the surface of the air shower room 22 of the floor panel 26 is partitioned by a grating floor 26A so as to allow ventilation. Are formed in the both side plates 28, and the jet nozzles 44 are formed in the air holes 42 in the air shower chamber 22.
Each can be installed facing inside. In each side chamber 24, a pressure equalizing chamber 46 communicating with a plurality of blowout holes 42 formed in each side plate 28 is provided, and an HEPA is provided in an opening 48 formed in the pressure equalizing chamber 46. A filter 50 is provided, and the side chamber 34 and the pressure equalizing chamber 46 are ventilated through the HEPA filter 50. In addition, among the chambers 36A, 36B, 36C, and 36D formed at the four corners of the casing 20, the lower two chambers 36C and 36D are provided with high-speed air injection fans 52, 52, respectively. A discharge port 52A of the high-speed fan 52 for air injection is connected to a communication port 54 formed in the side chamber 34 of the floor panel 26, and is connected to a floor 56 through a communication port 56 formed in the floor 32 of the side panel 28. The air in the chamber 32 is sucked into the suction port 52 </ b> B of the high-speed air injection fan 52. As a result, the air blown from the high-speed fan 52 for air injection is pressurized in the side chamber 34, passes through the HEPA filter 50, and is equalized in pressure in the equalizing chamber 46, and is jetted from the jet nozzle 44 into the air shower chamber. It is injected into 22. Further, the air in the air shower room 22 passes through the grating floor 26A, reaches the underfloor chamber 32, and forms a circulation path to be sucked into the high-speed air injection fan 52 again.
【００１１】また、前記天井チャンバ３０には、図示し
ない空調装置から冷房用の空調空気を天井チャンバ３０
内に供給する給気ダクト５８が配設され、給気ダクト５
８内には給気量を調節する給気ダンパ６０と、天井チャ
ンバ３０から給気ダクト５８へのエアの逆流を防止する
逆流防止ダンパ６２が設けられる。一方、床下チャンバ
３２には、エアシャワー室２２内のエアを床下チャンバ
３２を介してエアシャワー装置外に排気する排気ダクト
６４が配設され、排気ダクト６４には排気量を調節する
排気ダンパ６６と、排気ダクト６４から床下チャンバ３
２内へのエアの逆流を防止する逆流防止ダンパ６８が設
けられる。これにより、空調装置から給気ダクト５８を
通って天井チャンバ３０内に供給された空調空気は、天
井面に設けられたＨＥＰＡフィルタ４０により濾過され
て清浄な空調空気となり、エアシャワー室２２に給気さ
れる。エアシャワー室２２に給気された空調空気は、床
下チャンバ３２を介して排気ダクトによりエアシャワー
装置外に排気される第１の空調空気経路を形成する。ま
た、給気ダンパ６０の開度よりも排気ダンパ６６の開度
を小さくすると、エアシャワー室２２内の圧力が上がる
ので、前記第１の空調空気経路の他に、床下チャンバ３
２内の空調空気の一部は、エア噴射用高速ファン５２内
を貫通して側方チャンバ３４内に至り、ＨＥＰＡフィル
タ５０、均圧チャンバ４６を経てジェットノズル４４か
らエアシャワー室２２に流れる第２の空調空気経路を形
成する。The ceiling chamber 30 is supplied with conditioned air for cooling from an air conditioner (not shown).
An air supply duct 58 for supplying the air into the air supply duct 58 is provided.
An air supply damper 60 for adjusting the amount of air supply and a backflow prevention damper 62 for preventing backflow of air from the ceiling chamber 30 to the air supply duct 58 are provided in the inside 8. On the other hand, the underfloor chamber 32 is provided with an exhaust duct 64 for exhausting the air in the air shower chamber 22 to the outside of the air shower device via the underfloor chamber 32. The exhaust duct 64 has an exhaust damper 66 for adjusting the exhaust amount. From the exhaust duct 64 to the underfloor chamber 3
A backflow prevention damper 68 for preventing backflow of air into the inside 2 is provided. Thereby, the conditioned air supplied from the air conditioner into the ceiling chamber 30 through the air supply duct 58 is filtered by the HEPA filter 40 provided on the ceiling surface to become clean conditioned air, and supplied to the air shower chamber 22. I'm bothered. The conditioned air supplied to the air shower room 22 forms a first conditioned air path that is exhausted to the outside of the air shower device by an exhaust duct through the underfloor chamber 32. If the opening degree of the exhaust damper 66 is smaller than the opening degree of the supply air damper 60, the pressure in the air shower chamber 22 increases.
A part of the conditioned air in 2 passes through the high-speed fan 52 for air injection, reaches the side chamber 34, and flows from the jet nozzle 44 to the air shower chamber 22 through the HEPA filter 50 and the equalizing chamber 46. Form two conditioned air paths.
【００１２】また、エアシャワー室２２のグレーチィン
グ床２６Ａには踏台７０が設けられ、踏台７０には、踏
台７０に加わる荷重を検知する検知センサ７１が設けら
れると共に、検知センサ７１は信号ケーブル７２により
コントローラ７４に接続される。また、コントローラ７
４は、それぞれの信号ケーブル７６、７８、８０、８２
を介してエア噴射用高速ファン５２、給気ダンパ６０及
び排気ダンパ６６のそれぞれの駆動部に接続される。そ
して、踏台７０に荷重がかかり検知センサ７１が人を検
知すると、コントローラ７４は、エア噴射用高速ファン
５２を運転すると共に、給気ダンパ６０及び排気ダンパ
６６を閉じて給気ダクト５８及び排気ダクト６４を遮断
するように制御する。また、踏台７０に加わる荷重が無
くなり検知センサが人を検知しなくなると、コントロー
ラ７４は、エア噴射用高速ファン５２を停止すると共
に、給気ダンパ６０及び排気ダンパ６６を開き給気ダク
ト５８及び排気ダクト６４を連通して空調装置からの空
調空気をエアシャワー室２２を介して給気ダクト５８か
ら排気ダクト６４に流すように制御する。A step 70 is provided on the grating floor 26A of the air shower room 22. The step 70 is provided with a detection sensor 71 for detecting a load applied to the step 70, and the detection sensor 71 is connected to a signal cable 72. Connected to controller 74. The controller 7
4 is a signal cable 76, 78, 80, 82
Are connected to respective driving units of the high-speed fan 52 for air injection, the supply air damper 60 and the exhaust damper 66. When a load is applied to the step 70 and the detection sensor 71 detects a person, the controller 74 operates the air injection high-speed fan 52, closes the air supply damper 60 and the exhaust damper 66, and closes the air supply duct 58 and the exhaust duct. 64 is controlled to be cut off. When the load applied to the step 70 disappears and the detection sensor stops detecting a person, the controller 74 stops the air injection high-speed fan 52, opens the air supply damper 60 and the exhaust damper 66, and opens the air supply duct 58 and the exhaust gas. The control is performed so that the conditioned air from the air conditioner flows from the air supply duct 58 to the exhaust duct 64 via the air shower room 22 by communicating with the duct 64.
【００１３】以上の如く構成した本発明のエアシャワー
装置の作用について説明する。人８４がエアシャワー室
２２に入室して踏台７０に乗ると、検知センサ７１が人
の存在を検知する。検知信号に基づいてコントローラ７
４は、エア噴射用高速ファン５２を運転すると共に、給
気ダンパ６０及び排気ダンパ６６を閉じて給気ダクト５
８及び排気ダクト６４を遮断する。これにより、エア噴
射用高速ファン５２から側方チャンバ３４内に吹き出さ
れた高圧エアは、ＨＥＰＡフィルタ５０、均圧チャンバ
４６を通ってジェットノズル４４からエアシャワー室２
２内の人８４に向けて噴射される。このエア噴射によ
り、人体及び衣服に付着した塵埃は払い落とされる。そ
して、塵埃が払い落とされて一時的に塵埃濃度が高くな
ったエアシャワー室２２内のエアは、床下チャンバ３２
を通ってエア噴射用高速ファン５２に吸気される。この
時、エア噴射用高速ファン５２が床下チャンバ３２内の
エアを吸気することにより、床下チャンバ３２内が負圧
になるが、排気ダクト６４内に設けられた逆流防止ダン
パ６８により排気ダクト６４のエアが床下チャンバ３２
内に逆流することを防止する。そして、エア噴射用高速
ファン５２に吸気されたエアは、再び側方チャンバ３４
に吹き出され、ＨＥＰＡフィルタ５０で濾過されながら
循環することにより、エアシャワー室２２の塵埃濃度が
元のレベルまで下がる。これにより、人８４に付着して
いる塵埃の除塵が完了する。The operation of the air shower apparatus according to the present invention having the above-described structure will be described. When the person 84 enters the air shower room 22 and gets on the step 70, the detection sensor 71 detects the presence of the person. Controller 7 based on the detection signal
4 operates the high-speed fan 52 for air injection, closes the air supply damper 60 and the exhaust damper 66, and
8 and the exhaust duct 64 are shut off. As a result, the high-pressure air blown into the side chamber 34 from the high-speed fan 52 for air injection passes through the HEPA filter 50 and the equalizing chamber 46 and from the jet nozzle 44 to the air shower chamber 2.
It is sprayed toward the person 84 in 2. By this air injection, dust adhered to the human body and clothes is removed. Then, the air in the air shower room 22 in which the dust has been removed and the dust concentration has temporarily increased becomes the underfloor chamber 32.
Then, the air is sucked into the high-speed fan 52 for air injection. At this time, the air in the underfloor chamber 32 becomes negative pressure when the high-speed air injection fan 52 sucks the air in the underfloor chamber 32, but the backflow prevention damper 68 provided in the exhaust duct 64 prevents the exhaust duct 64 from flowing. Air flows into underfloor chamber 32
Prevent backflow into the interior. Then, the air taken into the high-speed air injection fan 52 is again supplied to the side chamber 34.
And circulates while being filtered by the HEPA filter 50, so that the dust concentration in the air shower chamber 22 drops to the original level. This completes the removal of dust adhering to the person 84.
【００１４】このエアの循環において、エア噴射用高速
ファン５２の特にモータから発熱する熱により、エアシ
ャワー室２２内の温度が高くなり、次にエアシャワー室
２２に入室する人８４に不快感を与えると共に、高温な
エアシャワー室２２や高温になったエアの噴射によりエ
アシャワー室２２内の人８４の顔等が汗ばむと、汗で塵
埃が除去されにくくなる。In this air circulation, the temperature inside the air shower chamber 22 rises due to the heat generated from the high-speed fan 52 for air injection, particularly from the motor, and the person 84 who enters the air shower chamber 22 feels uncomfortable. In addition, when the high temperature air shower room 22 or the face of the person 84 in the air shower room 22 sweats due to the injection of the high temperature air, dust is hardly removed by the sweat.
【００１５】そこで、本発明のエアシャワー装置では、
人８４が除塵を終わって踏台７０から降り、検知センサ
７１が踏台７０に荷重が解除されたことを検知すると、
その信号がコントローラ７４に出力される。そして、コ
ントローラ７４は、エア噴射用高速ファン５２の運転を
停止すると共に、給気ダンパ５８及び排気ダンパ６６を
開く。これにより、空調装置からの空調空気は給気ダク
ト５８を通って天井チャンバ３０内に給気される。天井
チャンバ３０内に給気された空調空気は、エアシャワー
室２２の天井面に設けられたＨＥＰＡフィルタ４０で濾
過されて清浄エアとしてエアシャワー室２２内に給気さ
れる。そして、エアシャワー室２２内を空調したエア
は、床下チャンバ３２を通り排気ダクト６４によりエア
シャワー装置外に排気される。この時、給気ダクト５８
内に逆流防止ダンパ６２を設け、排気ダクト６４内に逆
流防止ダンパ６８を設けたので、空調空気の流れが逆流
してエアシャワー室２２内を清浄度を低下させることを
防止する。Therefore, in the air shower device of the present invention,
When the person 84 finishes removing dust and descends from the step 70, and the detection sensor 71 detects that the load on the step 70 has been released,
The signal is output to the controller 74. Then, the controller 74 stops the operation of the air injection high-speed fan 52 and opens the air supply damper 58 and the exhaust damper 66. Thereby, the conditioned air from the air conditioner is supplied into the ceiling chamber 30 through the air supply duct 58. The conditioned air supplied to the ceiling chamber 30 is filtered by a HEPA filter 40 provided on the ceiling surface of the air shower room 22 and supplied to the air shower room 22 as clean air. The air conditioned inside the air shower room 22 passes through the underfloor chamber 32 and is exhausted to the outside of the air shower device by the exhaust duct 64. At this time, the air supply duct 58
The backflow prevention damper 62 is provided in the inside, and the backflow prevention damper 68 is provided in the exhaust duct 64, so that the flow of the conditioned air is prevented from flowing back and the inside of the air shower chamber 22 is prevented from being reduced in cleanliness.
【００１６】この空調空気の流れにより、エアシャワー
室２２内に籠もった熱を排熱することができると共に、
エアシャワー室２２内の清浄度を維持したままで換気す
ることができるので、次にエアシャワー室２２に入る人
に不快感を与えることがない。従って、エアシャワー室
２２内を快適な環境に維持することができる。また、給
気ダンパ６０の開度より排気ダンパ６６の開度を小さく
すると、エアシャワー室２２から床下チャンバ３２に流
れた空調空気の一部は、エア噴射用高速ファン５２内を
貫通する流れを形成する。これにより、熱の発生源であ
るエア噴射用高速ファン５２を直接冷却できるので、排
熱をより効果的に行うことができる。また、空調空気を
エアシャワー室２２内に給気することにより、エアシャ
ワー室２２内が冷え過ぎたら、給気ダンパ６０の開度を
調節してエアシャワー室２２内に給気する空調空気量を
調節する。By the flow of the conditioned air, the heat trapped in the air shower room 22 can be exhausted,
Since the ventilation can be performed while maintaining the cleanliness in the air shower room 22, the next person entering the air shower room 22 will not feel uncomfortable. Therefore, the inside of the air shower room 22 can be maintained in a comfortable environment. When the opening degree of the exhaust damper 66 is smaller than the opening degree of the supply air damper 60, a part of the conditioned air flowing from the air shower chamber 22 to the underfloor chamber 32 has a flow passing through the high-speed air injection fan 52. Form. Accordingly, the high-speed fan 52 for air injection, which is a heat generation source, can be directly cooled, so that the exhaust heat can be more effectively performed. Further, by supplying the conditioned air into the air shower room 22, if the inside of the air shower room 22 becomes too cold, the opening degree of the air supply damper 60 is adjusted to supply the conditioned air into the air shower room 22. Adjust
【００１７】次に、本発明のエアシャワー装置の第２実
施例を説明する。第１実施例と同じ部材、装置には同じ
符号を付して説明する。第２実施例は、エアシャワー室
２２の使用時に、エア噴射用高速ファン５２から吹き出
されたエアが、ジェットノズル４４からエアシャワー室
２２に噴射される他に、天井チャンバ３０からもエアシ
ャワー室２２内にに吹き出されるようにしたものであ
る。即ち、ケーシング２０に形成された４隅のチャンバ
３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄのうち上部の２個のチ
ャンバ３６Ａ、３６Ｂにおいて、天井板２４のチャンバ
３６Ａ、３６Ｂ面をグレーチィング板２４Ａで形成する
と共に、側板２８の天井チャンバ３０面に連通口８６を
形成し、この連通口８６に上端を支点として揺動可能な
リリーフダンパ８８をそれぞれ設けるようにした。この
リリーフダンパ８８は、天井チャンバ３０側の圧力がチ
ャンバ３６Ａ、３６Ｂ側の圧力より大きいと閉じ、小さ
いと開になる機構になっている。Next, a second embodiment of the air shower device of the present invention will be described. The same members and devices as in the first embodiment will be described with the same reference numerals. In the second embodiment, when the air shower chamber 22 is used, the air blown from the high-speed air jet fan 52 is jetted from the jet nozzle 44 to the air shower chamber 22, and the air shower chamber is also jetted from the ceiling chamber 30. It is designed to be blown into the interior 22. That is, in the upper two chambers 36A, 36B of the four corner chambers 36A, 36B, 36C, 36D formed in the casing 20, the surfaces of the chambers 36A, 36B of the ceiling plate 24 are formed by the grating plate 24A, A communication port 86 is formed on the surface of the ceiling chamber 30 of the side plate 28, and a relief damper 88 that can swing about the upper end of the communication port 86 is provided in each of the communication ports 86. The relief damper 88 has a mechanism that closes when the pressure in the ceiling chamber 30 is higher than the pressure in the chambers 36A and 36B, and opens when the pressure is lower than the pressure in the chambers 36A and 36B.
【００１８】このように構成されたエアシャワー装置に
よれば、エアシャワー室２２を使用しない時、天井チャ
ンバ３０内に給気された空調空気の圧力によりリリーフ
ダンパ８８が連通口８６を閉じるので、天井チャンバ３
０に供給された空調空気は、全てエアシャワー室２２内
に給気され排気ダクト６４からエアシャワー装置外に排
気される。また、給気ダンパ６０の開度より排気ダンパ
６６の開度を小さくした場合、床下チャンバ３２で分か
れてエア噴射用高速ファン５２を貫通した一部の空調空
気は、側方チャンバ３４に送られ、ＨＥＰＡフィルタ５
０、均圧チャンバ４６を通ってジェットノズル４４から
エアシャワー室２２内に流れる。更に、側方チャンバ３
４に送られた空調空気の一部は、グレーチィング板２４
Ａを通ってチャンバ３６Ａ、３６Ｂ内に流れようとする
が、グレーチィング板２４Ａで圧力損失して流速が小さ
くなる。従って、天井チャンバ３０側の圧力がチャンバ
３６Ａ、３６Ｂより大きく、リリーフダンパ８８は閉じ
たままになるので、天井チャンバ３０内への空調空気の
供給を妨害することはない。一方、エアシャワー室２２
を使用している時、エア噴射用高速ファン５２から側方
チャンバ３４内に吹き出された高圧エアは、ＨＥＰＡフ
ィルタ５０、均圧チャンバ４６を経てジェットノズル４
４から人８４に向かって噴射される。また、側方チャン
バ３４内のエアの一部は、グレーチィング板２４Ａを通
ってチャンバ３６Ａ、３６Ｂ内に至り、リリーフチャン
バ８８を押し開けて天井チャンバ３０内に流れ込みＨＥ
ＰＡフィルタ４０を通ってエアシャワー室２２内に吹き
出される。この時、給気ダクト５８の給気ダンパ６０及
び排気ダクト６４の排気ダンパ６６は、コントローラ７
４からの指示で閉じられている。これにより、ジェット
ノズル４４からの噴射エアの他に、天井面からも人８４
に向かってエアが吹き出されるので、除塵効果を向上で
きる。また、エアシャワー室２２を使用していない時に
は、実施例１と同様に、エアシャワー室２２に快適環境
を形成することができる。According to the air shower device configured as described above, when the air shower room 22 is not used, the relief damper 88 closes the communication port 86 by the pressure of the conditioned air supplied into the ceiling chamber 30. Ceiling chamber 3
All of the conditioned air supplied to the air shower unit 0 is supplied into the air shower room 22 and exhausted from the exhaust duct 64 to the outside of the air shower device. When the opening degree of the exhaust damper 66 is smaller than the opening degree of the supply air damper 60, part of the conditioned air that has been divided in the underfloor chamber 32 and penetrated through the high-speed air injection fan 52 is sent to the side chamber 34. , HEPA filter 5
0, flows from the jet nozzle 44 into the air shower chamber 22 through the equalizing chamber 46. Furthermore, the side chamber 3
A part of the conditioned air sent to the
A flows into the chambers 36A and 36B through A, but the pressure drops at the grating plate 24A and the flow velocity decreases. Therefore, the pressure on the ceiling chamber 30 side is higher than the pressures in the chambers 36A and 36B, and the relief damper 88 remains closed, so that the supply of the conditioned air into the ceiling chamber 30 is not obstructed. On the other hand, the air shower room 22
When high-pressure air is used, the high-pressure air blown from the high-speed air-injection fan 52 into the side chamber 34 passes through the HEPA filter 50 and the
4 is injected toward the person 84. Further, a part of the air in the side chamber 34 reaches the chambers 36A and 36B through the grating plate 24A, pushes the relief chamber 88 open, flows into the ceiling chamber 30, and flows into the ceiling chamber 30.
The air is blown into the air shower room 22 through the PA filter 40. At this time, the supply damper 60 of the supply duct 58 and the exhaust damper 66 of the exhaust duct 64 are connected to the controller 7.
It is closed by instructions from 4. Thus, in addition to the jet air from the jet nozzle 44, the person 84 can be seen from the ceiling surface.
Since the air is blown out toward, the dust removing effect can be improved. When the air shower room 22 is not used, a comfortable environment can be formed in the air shower room 22 as in the first embodiment.
【００１９】尚、本実施例では、エアシャワー室２２と
エア噴射用高速ファン５２の間を循環させるエアの循環
経路を天井チャンバ３０、床下チャンバ３２、側方チャ
ンバ３４等で形成するようにしたが、エア配管で接続し
て形成するようにしてもよい。In this embodiment, an air circulation path for circulating air between the air shower chamber 22 and the high-speed air jet fan 52 is formed by the ceiling chamber 30, the underfloor chamber 32, the side chamber 34 and the like. However, it may be formed by connecting with an air pipe.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るエア
シャワー装置によれば、エアシャワー装置としての従来
の機能に加え、エアシャワー室を使用していない時に
は、エアシャワー室内に冷房用の清浄な空調空気を給気
して、エアシャワー室内に籠もった熱を排熱できるよう
にした。As described above, according to the air shower device according to the present invention, in addition to the conventional function as the air shower device, when the air shower room is not used, the air shower room has a cooling function. By supplying clean conditioned air, heat trapped in the air shower room can be exhausted.
【００２１】これにより、エアシャワー装置としての機
能を維持しながら、エアシャワー室内を快適な環境に維
持することができるので、エアシャワー室に入室した人
に不快感を与えることがない。また、塵埃が汗で除去さ
れにくくなることを防止するので、塵埃の除塵効果を向
上させることができる。Thus, the air shower room can be maintained in a comfortable environment while maintaining the function as the air shower device, so that a person entering the air shower room does not feel uncomfortable. In addition, since it is possible to prevent dust from being difficult to be removed by sweat, the dust removing effect can be improved.
【図１】図１は、本発明に係るエアシャワー装置の第１
実施例を説明する縦断面図FIG. 1 is a first view of an air shower device according to the present invention.
Longitudinal sectional view for explaining an embodiment
【図２】図２は、本発明に係るエアシャワー装置の第２
実施例を説明する縦断面図FIG. 2 is a second view of the air shower device according to the present invention.
Longitudinal sectional view for explaining an embodiment
【図３】図３は、従来のエアシャワー装置を説明する縦
断面図FIG. 3 is a longitudinal sectional view illustrating a conventional air shower device.
２２…エアシャワー室 ２４…天井板 ２６…床板 ２８…側板 ３０…天井チャンバ ３２…床下チャンバ ３４…側方チャンバ ４０、５０…ＨＥＰＡフィルタ ４４…ジェットノズル ４６…均圧チャンバ ５２…エア噴射用高速ファン ５８…給気ダクト ６０…給気ダンパ ６２、６８…逆流防止ダンパ ７０…踏台 ７１…検知センサ ７４…コントローラ ８４…人 ８８…リリーフダンパ 22 ... air shower room 24 ... ceiling plate 26 ... floor plate 28 ... side plate 30 ... ceiling chamber 32 ... underfloor chamber 34 ... side chamber 40, 50 ... HEPA filter 44 ... jet nozzle 46 ... equalizing chamber 52 ... high speed fan for air injection 58 ... air supply duct 60 ... air supply damper 62, 68 ... backflow prevention damper 70 ... step 71 ... detection sensor 74 ... controller 84 ... person 88 ... relief damper
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−248678（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−99464（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−63087（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−127437（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-5-248678 (JP, A) JP-A-5-99464 (JP, A) JP-A-64-63087 (JP, A) 127437 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) F24F 7/ 04-7/06
Claims (2)
循環させながらエア吹出ノズルから清浄なエアをエアシ
ャワー室に噴出して人体及び衣服に付着した塵埃を除去
するエアシャワー装置に於いて、 前記エアシャワー室内に清浄な冷房用空調空気を給気す
る給気経路と、 前記エアシャワー室内のエアを排気する排気経路と、 前記給気経路を連通・遮断する第１の開閉手段と、 前記排気経路を連通・遮断する第２の開閉手段と、 前記エアシャワー室内の人の有無を検知する検知センサ
と、 前記検知センサが人を検知した場合に、前記高圧ファン
を運転すると共に、前記第１及び第２の開閉手段により
前記給気経路及び前記排気経路を遮断し、前記検知セン
サが人を検知しない場合には、高圧ファンを停止すると
共に、前記第１及び第２の開閉手段により前記給気経路
及び前記排気経路を連通して前記空調空気をエアシャワ
ー室を介して給気経路から排気経路に流すように制御す
る制御手段と、 を備えていることを特徴とするエアシャワー装置。1. An air shower device for removing dust adhered to a human body and clothes by blowing clean air from an air blowing nozzle into an air shower chamber while circulating air in the air shower chamber with a high-pressure fan. An air supply path for supplying clean cooling air-conditioning air into the air shower chamber; an exhaust path for exhausting air in the air shower chamber; first opening / closing means for communicating and blocking the air supply path; A second opening / closing means for communicating / blocking a path, a detection sensor for detecting the presence / absence of a person in the air shower room, and, when the detection sensor detects a person, operating the high-pressure fan and the first And the second opening / closing means shuts off the air supply path and the exhaust path, and when the detection sensor does not detect a person, stops the high-pressure fan and sets the first and second Control means for controlling the air-conditioning air to flow from the air supply path to the exhaust path via the air shower chamber by connecting the air supply path and the exhaust path by closing means. Air shower device.
装置を用いたことを特徴とする請求項１のエアシャワー
装置。2. The air shower device according to claim 1, wherein a damper device is used as said first and second opening / closing means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11394094A JP3246182B2 (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Air shower equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11394094A JP3246182B2 (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Air shower equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07293956A JPH07293956A (en) | 1995-11-10 |
| JP3246182B2 true JP3246182B2 (en) | 2002-01-15 |
Family
ID=14625018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11394094A Expired - Fee Related JP3246182B2 (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Air shower equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246182B2 (en) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29909803U1 (en) * | 1999-06-04 | 2000-08-17 | Rudolf Otto Meyer GmbH & Co. KG, 22047 Hamburg | Lock for clean room systems |
| JP3939101B2 (en) * | 2000-12-04 | 2007-07-04 | 株式会社荏原製作所 | Substrate transport method and substrate transport container |
| JP2002364895A (en) * | 2001-06-05 | 2002-12-18 | Nippon Kiki:Kk | Air shower |
| JP4713239B2 (en) * | 2005-06-23 | 2011-06-29 | 株式会社日立産機システム | Air shower equipment for bio-related laboratories |
| JP2014181858A (en) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Nippon Muki Co Ltd | Air shower device |
| CN113458077A (en) * | 2020-03-31 | 2021-10-01 | 无锡易纯净化设备有限公司 | Efficiency of purification is improved wind leaching rooms |
| CN115739837B (en) * | 2022-12-03 | 2023-08-25 | 山东金信空调集团股份有限公司 | Water-cooling textile air conditioner spray room |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP11394094A patent/JP3246182B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07293956A (en) | 1995-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4967645A (en) | Air shower with directed air flow | |
| JPS6048268A (en) | Cleaning bench | |
| JP3246182B2 (en) | Air shower equipment | |
| JP2000320872A (en) | Clean room | |
| KR100819732B1 (en) | Heat exchanger | |
| KR100640799B1 (en) | Combined Air Cleaner | |
| JP4713239B2 (en) | Air shower equipment for bio-related laboratories | |
| JPH05248678A (en) | Air shower device | |
| KR100845836B1 (en) | Ventilation device and operating method | |
| JPH10141723A5 (en) | ||
| JP2005201488A (en) | Zone purification system | |
| JPH10141723A (en) | Clean room structure | |
| JPH11257700A (en) | Device for preventing contamination between rooms | |
| JP3354849B2 (en) | Clean room | |
| JP7487954B2 (en) | Clean Room System | |
| JP7061054B2 (en) | Clean room system | |
| JPH03129230A (en) | air purifier | |
| JPH0221146A (en) | Clean room for factory using hazardous chemical and air intake and exhaust method | |
| JPH0586261B2 (en) | ||
| JPH0515718A (en) | Outside air admitting type air cleaner | |
| JP2002035610A (en) | Draft chamber | |
| JPH08100932A (en) | Air conditioning equipment for outside air treatment | |
| JPS62218754A (en) | Indoor cooling method and device | |
| JPH11108407A (en) | Air shower equipment | |
| JPH112447A (en) | Air shower apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |