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JP3490011B2 - Heat conductive elastomer composition and heat conductive elastomer using the same - Google Patents

Heat conductive elastomer composition and heat conductive elastomer using the same

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Publication number
JP3490011B2
JP3490011B2 JP03385199A JP3385199A JP3490011B2 JP 3490011 B2 JP3490011 B2 JP 3490011B2 JP 03385199 A JP03385199 A JP 03385199A JP 3385199 A JP3385199 A JP 3385199A JP 3490011 B2 JP3490011 B2 JP 3490011B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
conductive elastomer
heat conductive
elastomer composition
sintered body
Prior art date
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JP03385199A
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一 舟橋
満弘 藤本
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Fuji Polymer Industries Co Ltd
Original Assignee
Fuji Polymer Industries Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Polymer Industries Co Ltd filed Critical Fuji Polymer Industries Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱伝導性エラスト
マー組成物および熱伝導性エラストマーに関し、特にた
とえば、発熱素子の発熱を伝達するための熱伝導性エラ
ストマー組成物および熱伝導性エラストマーに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a heat conductive elastomer composition and a heat conductive elastomer, and more particularly to a heat conductive elastomer composition and a heat conductive elastomer for transmitting heat generated by a heating element.

【0002】[0002]

【従来の技術】パワートランジスタ、CPU、トランジ
スタ、変圧器などの電子部品は使用していると発熱し、
その熱によって電子部品の性能が低下することがある。
そのため、熱が蓄積しないように熱設計をする必要があ
り、発熱素子には放熱手段(放熱体や吸熱体)が取りつ
けられる。しかし、放熱手段は金属であることが多いた
め、電子部品である発熱素子に放熱手段を直接取りつけ
るのは漏電などの問題があり好ましくない。そのため、
発熱素子と放熱手段との間にマイカ絶縁板、熱伝導性グ
リース、ポリエステルなどを設置する実装方法が多用さ
れている。
2. Description of the Related Art Electronic parts such as power transistors, CPUs, transistors and transformers generate heat when used,
The heat may reduce the performance of the electronic component.
Therefore, it is necessary to design the heat so that heat does not accumulate, and a heat radiating means (a heat radiating body or a heat absorbing body) is attached to the heat generating element. However, since the heat radiating means is often made of metal, it is not preferable to directly attach the heat radiating means to the heat generating element which is an electronic component because of problems such as electric leakage. for that reason,
A mounting method in which a mica insulating plate, a heat conductive grease, polyester, or the like is installed between a heating element and a heat radiating means is often used.

【0003】発熱素子と放熱手段との間に挟むものとし
ては、たとえば、シリコーンゴムに熱伝導性フィラーを
添加したゴムシート(特公昭57−19525)や、ゴ
ム硬度がかなり低いゲルタイプのもの(特開平6−15
5517)が多用されている。
As a material to be sandwiched between the heat generating element and the heat radiating means, for example, a rubber sheet obtained by adding a heat conductive filler to silicone rubber (Japanese Patent Publication No. 57-19525) or a gel type material having a considerably low rubber hardness ( JP-A-6-15
5517) is frequently used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら近年、電
気回路の小型化、薄型化、高集積化がかなり進んでいる
ため、発熱素子と放熱手段との間に挟む材料にも、薄膜
化すること、および公差を小さくすることが求められて
いる。ミラブル型シリコーンゴムをベースゴムとした熱
伝導性シリコーンゴムの一般的な加工の厚みの最小加工
限界は100μm程度であり加工公差は0.01mm〜
0.1mmであった。一方、近年は発熱素子との密着性
を向上させ熱が伝わりやすくしたゲルタイプの熱伝導シ
ートが多用されるようになってきたが、従来のゲルタイ
プの熱伝導シートでは薄膜化が非常に困難であり、寸法
精度も非常に悪かった。発熱素子や放熱手段などの厚さ
が厚い場合には従来のゲルタイプの熱伝導シートでも実
装寸法のばらつきが問題となることは少なかったが、発
熱素子や放熱手段などの厚さが薄くなっている現在で
は、従来のゲルタイプの熱伝導シートでは実装寸法のば
らつきによって熱対策の設計がやりにくくなるという問
題があった。
However, in recent years, the size, thickness, and integration of electric circuits have been considerably reduced, so that the material sandwiched between the heat generating element and the heat radiating means should be thin. And it is required to reduce the tolerance. The minimum processing limit of the general processing thickness of the heat conductive silicone rubber based on the millable silicone rubber is about 100 μm, and the processing tolerance is 0.01 mm to
It was 0.1 mm. On the other hand, in recent years, gel-type heat-conducting sheets that have improved adhesion to heat-generating elements and that facilitate the transfer of heat have become widely used, but it is extremely difficult to make thin films with conventional gel-type heat-conducting sheets. The dimensional accuracy was also very poor. When the thickness of the heating element or heat dissipation means is large, even with the conventional gel type heat conductive sheet, the variation in mounting dimensions did not become a problem, but the thickness of the heating element or heat dissipation means becomes thin. Currently, the conventional gel type heat conductive sheet has a problem that it is difficult to design a heat countermeasure due to variations in mounting dimensions.

【0005】上記問題を解決するために、本発明は、実
装寸法のばらつきが小さく薄膜である熱伝導性エラスト
マーを形成するための熱伝導性エラストマー組成物およ
びこれを用いた熱伝導性エラストマーを提供することを
目的とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a heat-conductive elastomer composition for forming a heat-conductive elastomer which is a thin film with less variation in mounting dimensions, and a heat-conductive elastomer using the same. The purpose is to do.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の熱伝導性エラストマー組成物は、熱伝導性
エラストマーを形成するための熱伝導性エラストマー組
成物であって、液状シリコーンエラストマーと、熱伝導
性フィラーと、スペーサーとして機能するセラミックス
焼結体とを含み、前記セラミックス焼結体の平均粒径が
前記熱伝導性フィラーの平均粒径の5倍以上であり、
記熱伝導性フィラーの平均粒径は0.5μm〜100μ
mの範囲であり、前記セラミックス焼結体の平均粒径
3mm以下であり、前記液状シリコーンエラストマー1
00重量部に対して、前記熱伝導性フィラーを100〜
1200重量部含み、前記液状シリコーンエラストマー
100重量部に対して前記セラミックス焼結体を5〜3
0重量部含むことを特徴とする。上記熱伝導エラストマ
ー組成物は、熱伝導性フィラーの平均粒径の5倍以上の
平均粒径を有するセラミックス焼結体を含むため、たと
えば放熱素子と放熱手段との間に挟んで熱伝導性エラス
トマーを形成する場合でも、実装寸法のばらつきを小さ
くすることができる。さらに、上記熱伝導性エラストマ
ー組成物では、セラミックス焼結体の平均粒径を小さく
することによって、薄膜である熱伝導性エラストマーを
形成することができる。
In order to achieve the above object, the heat conductive elastomer composition of the present invention is a heat conductive elastomer composition for forming a heat conductive elastomer, which comprises a liquid silicone elastomer and a thermally conductive filler, and a ceramic sintered body which serves as a spacer, and an average particle diameter of the ceramic sintered body is more than 5 times the average particle diameter of the thermally conductive filler, prior to
The average particle diameter of the heat conductive filler is 0.5 μm to 100 μm.
m range, and the average particle size of the ceramics sintered body is
3 mm or less, the liquid silicone elastomer 1
100 to 100 parts by weight of the heat conductive filler.
1,200 parts by weight of the liquid silicone elastomer
5 to 3 of the ceramic sintered body is added to 100 parts by weight.
It is characterized by containing 0 parts by weight . Since the heat conductive elastomer composition contains a ceramic sintered body having an average particle diameter of 5 times or more the average particle diameter of the heat conductive filler, the heat conductive elastomer composition is sandwiched between a heat dissipation element and a heat dissipation means, for example. Even when forming, the variation in mounting dimensions can be reduced. Furthermore, in the above heat conductive elastomer composition, the heat conductive elastomer that is a thin film can be formed by reducing the average particle diameter of the ceramics sintered body.

【0007】上記熱伝導性エラストマー組成物では、セ
ラミックス焼結体の平均粒径が、熱伝導性フィラーの平
均粒径の10倍以上であることが好ましい。熱伝導性フ
ィラーの平均粒径の10倍以上の平均粒径を有するセラ
ミックス焼結体を用いることによって、実装寸法のばら
つきが特に少ない熱伝導性エラストマーを形成すること
ができる。
In the above heat conductive elastomer composition, the average particle size of the ceramic sintered body is preferably 10 times or more the average particle size of the heat conductive filler. By using a ceramics sintered body having an average particle size of 10 times or more the average particle size of the thermally conductive filler, it is possible to form a thermally conductive elastomer with a particularly small variation in mounting dimensions.

【0008】 上記熱伝導性エラストマー組成物では、
セラミックス焼結体が略真球状であることが好ましい。
略真球状のセラミックス焼結体を用いることによって、
たとえば、放熱素子と放熱手段との間に挟んで熱伝導性
エラストマーを形成する場合に、放熱素子と放熱手段と
の間隔を面内均一性よく一定にすることができるため、
電気回路の信頼性や放熱性を向上させることができ、熱
設計も容易になる。
In the above heat conductive elastomer composition,
It is preferable that the ceramic sintered body has a substantially spherical shape.
By using a substantially spherical ceramics sintered body,
For example, when the heat conductive elastomer is formed by sandwiching it between the heat dissipation element and the heat dissipation means, the distance between the heat dissipation element and the heat dissipation means can be made uniform with good in-plane uniformity.
The reliability and heat dissipation of the electric circuit can be improved, and thermal design becomes easy.

【0009】また、上記熱伝導性エラストマー組成物で
は、液状シリコーンエラストマー100重量部に対し
て、熱伝導性フィラーを100〜1200重量部含むこ
とが好ましい。上記構成にすることによって、放熱性の
よい熱伝導性エラストマーを形成できる。
Further, in the above heat conductive elastomer composition, it is preferable that 100 to 1200 parts by weight of the heat conductive filler is contained with respect to 100 parts by weight of the liquid silicone elastomer. With the above structure, it is possible to form a heat conductive elastomer having good heat dissipation.

【0010】本発明の熱伝導性エラストマーは、発熱素
子と放熱手段との間に配置され、発熱素子の発熱を放熱
手段に伝達する熱伝導性エラストマーであって、上記本
発明の熱伝導性エラストマー組成物を用いて形成され、
前記熱伝導性エラストマー組成物中の前記セラミックス
焼結体の粒径によって厚さが制御されていることを特徴
とする。本発明の熱伝導性エラストマーは、上記本発明
の熱伝導性エラストマー組成物を用いているため、実装
寸法のばらつきが小さく薄膜である熱伝導性エラストマ
ーが得られる。
The heat-conductive elastomer of the present invention is a heat-conductive elastomer which is disposed between a heat-generating element and a heat-dissipating means and which transfers heat generated by the heat-generating element to the heat-dissipating means. Formed using the composition ,
The ceramic in the thermally conductive elastomer composition
It is characterized in that the thickness is controlled by the grain size of the sintered body . Since the heat-conductive elastomer of the present invention uses the heat-conductive elastomer composition of the present invention described above, a heat-conductive elastomer that is a thin film with little variation in mounting dimensions can be obtained.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below.

【0012】(実施形態1)実施形態1では、本発明の
熱伝導性エラストマー組成物について説明する。
(Embodiment 1) In Embodiment 1, a heat conductive elastomer composition of the present invention will be described.

【0013】本発明の熱伝導性エラストマー組成物は、
熱伝導性エラストマーを形成するための組成物であり、
液状シリコーンエラストマーと、熱伝導性フィラーと、
セラミックス焼結体とを含み、セラミックス焼結体の平
均粒径が熱伝導性フィラーの平均粒径の5倍以上であ
る。
The thermally conductive elastomer composition of the present invention comprises
A composition for forming a heat conductive elastomer,
Liquid silicone elastomer, heat conductive filler,
The average particle size of the ceramics sintered body is 5 times or more of the average particle size of the heat conductive filler.

【0014】上記液状シリコーンエラストマーとして
は、たとえば、熱の存在下で硬化物となるRTV(Ro
om Temperature Vulcaniz
e)、LTV(Low Temperature Vu
lcanize)などや、熱の存在下でも硬化物となら
ないシリコーンオイル、シリコーングリースなどを用い
ることができる。なお、比較的低温で硬化する液状シリ
コーンエラストマーを用いた場合には、発熱素子の発熱
を用いて液状シリコーンエラストマーを硬化させること
ができる。
The above liquid silicone elastomer is, for example, RTV (Ro) which becomes a cured product in the presence of heat.
om Temperature Vulcaniz
e), LTV (Low Temperature Vu)
lcanize) or the like, or silicone oil or silicone grease that does not become a cured product even in the presence of heat can be used. When a liquid silicone elastomer that cures at a relatively low temperature is used, the liquid silicone elastomer can be cured by using the heat generated by the heating element.

【0015】RTV、LTVおよびシリコーンゲルには
一液性のものと二液性のものとがある。また、RTVに
は硬化形態によって縮合型のものと付加型のものとがあ
る。
RTV, LTV and silicone gel are classified into one-part type and two-part type. Further, the RTV includes a condensation type and an addition type depending on the curing form.

【0016】シリコーンオイルには、たとえば、ジメチ
ルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイ
ル、メチルハイドロジェンシリコーンオイル、フロロシ
リコーンオイル、変性シリコーンオイルなどがある。
Examples of the silicone oil include dimethyl silicone oil, methylphenyl silicone oil, methylhydrogen silicone oil, fluorosilicone oil and modified silicone oil.

【0017】上記熱伝導性フィラーは、窒化物、炭化物
および塩基性金属酸化物から選ばれる少なくとも一つで
あることが好ましい。
The heat conductive filler is preferably at least one selected from nitrides, carbides and basic metal oxides.

【0018】熱伝導性フィラーに用いられる窒化物に
は、たとえば、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化硼素
などがあり、炭化物には炭化珪素、炭化チタン、炭化硼
素などがありこれらの一種または二種以上の混合物が好
適に用いられる。熱伝導性フィラーに用いられる塩基性
金属酸化物としては、たとえば、酸化アルミニウム、酸
化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化カルシウム、酸化ジル
コニウムなどがありこれらの一種または二種以上の混合
物が好適に用いられる。
The nitrides used for the thermally conductive filler include, for example, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, etc., and the carbides include silicon carbide, titanium carbide, boron carbide, etc., and one or more of these may be used. A mixture of is preferably used. Examples of the basic metal oxide used for the heat conductive filler include aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, calcium oxide, zirconium oxide and the like, and one or a mixture of two or more thereof is preferably used.

【0019】熱伝導性フィラーに用いられる窒化物、炭
化物または塩基性金属酸化物の粒子形状は、球状あるい
はフレーク状のいずれでもよい。熱伝導性フィラーの平
均粒径は0.5μm〜100μmの範囲が好ましい。
The particle shape of the nitride, carbide or basic metal oxide used for the thermally conductive filler may be spherical or flake. The average particle size of the thermally conductive filler is preferably in the range of 0.5 μm to 100 μm.

【0020】窒化物や炭化物と塩基性金属酸化物とを併
用する場合には、窒化物や炭化物に対する塩基性金属酸
化物の比率は、窒化物および炭化物1重量部に対して塩
基性金属酸化物0〜120重量部の範囲が好ましい。ま
た、窒化物や炭化物と塩基性金属酸化物の組合せは、窒
化硼素と酸化アルミニウムのように塩基性金属酸化物を
一種と窒化物や炭化物を一種でもよく、また窒化硼素と
酸化アルミニウムおよび酸化マグネシウムのように塩基
性金属酸化物を二種と窒化物や炭化物を一種などでもよ
く、あるいは窒化物、炭化物単独などのように多様な組
合せをしてもよい。
When a nitride or a carbide and a basic metal oxide are used in combination, the ratio of the basic metal oxide to the nitride or the carbide is 1 part by weight of the nitride and the carbide. A range of 0 to 120 parts by weight is preferable. The combination of the nitride or carbide and the basic metal oxide may be one basic metal oxide such as boron nitride and aluminum oxide and one nitride or carbide, or boron nitride and aluminum oxide or magnesium oxide. As described above, two kinds of basic metal oxides and one kind of nitride or carbide may be used, or various combinations such as single use of nitride or carbide may be used.

【0021】塩基性金属酸化物にはカップリング剤処理
をしてもよい。カップリング剤としては、たとえば、シ
ランカップリング剤、チタンカップリング剤、アルミニ
ウムカップリング剤などがあり、どれを用いてもよい。
カップリング剤の好ましい配合量は塩基性金属酸化物1
00重量部に対して0.05〜2重量部である。
The basic metal oxide may be treated with a coupling agent. Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, and an aluminum coupling agent, and any one may be used.
The preferred compounding amount of the coupling agent is basic metal oxide 1
It is 0.05 to 2 parts by weight with respect to 00 parts by weight.

【0022】上記セラミックス焼結体は、熱伝導性エラ
ストマーを形成する場合にスペーサーとして機能する絶
縁物である。上記セラミックス焼結体としては、たとえ
ば、窒化珪素ボール、アルミナボール、ジルコニアボー
ル、ガラスビーズなどを用いることができる。上記セラ
ミックス焼結体の平均粒径は、熱伝導性フィラーの平均
粒径の5倍以上であることが好ましい。セラミックス焼
結体の平均粒径を熱伝導性フィラーの平均粒径の5倍以
上とすることによって、放熱手段を発熱素子に取り付け
たときの実装寸法のばらつきを小さくすることができ
る。特に、セラミックス焼結体の平均粒径を熱伝導性フ
ィラーの平均粒径の10倍以上とすることによって、実
装寸法のばらつきを特に小さくすることができる。セラ
ミックス焼結体の平均粒径は、熱伝導性フィラーの平均
粒径の13倍以上15倍以下とすることが特に好まし
い。
The above-mentioned ceramic sintered body is an insulator which functions as a spacer when a heat conductive elastomer is formed. As the ceramic sintered body, for example, silicon nitride balls, alumina balls, zirconia balls, glass beads, etc. can be used. The average particle size of the ceramics sintered body is preferably 5 times or more the average particle size of the heat conductive filler. By setting the average particle size of the ceramics sintered body to be 5 times or more the average particle size of the heat conductive filler, it is possible to reduce variations in mounting dimensions when the heat radiating means is attached to the heating element. In particular, by making the average particle size of the ceramics sintered body 10 times or more the average particle size of the thermally conductive filler, it is possible to particularly reduce the variation in the mounting dimensions. The average particle size of the ceramics sintered body is particularly preferably 13 times or more and 15 times or less than the average particle size of the heat conductive filler.

【0023】また、上記セラミックス焼結体は略真球状
であることが好ましい。略真球状のセラミックス焼結体
を用いることによって、熱伝導性エラストマーの厚みを
面内均一性よく一定にすることができる。また、上記セ
ラミックス焼結体の粒径は、ばらつきが小さいことが好
ましい。また、上記セラミックス焼結体の粒径は3mm
以下が好ましい。特に、上記セラミックス焼結体の粒径
を500μm以下とすることによって、放熱手段を発熱
素子に取り付けたときの実装寸法を薄くすることができ
る。
Further, it is preferable that the ceramics sintered body has a substantially spherical shape. By using a substantially spherical ceramics sintered body, the thickness of the heat conductive elastomer can be made uniform with good in-plane uniformity. Further, it is preferable that the particle size of the ceramic sintered body has a small variation. The particle size of the ceramics sintered body is 3 mm.
The following are preferred. In particular, by setting the grain size of the above-mentioned ceramics sintered body to 500 μm or less, it is possible to reduce the mounting dimension when the heat radiating means is attached to the heating element.

【0024】また、上記セラミックス焼結体の量は、液
状シリコーンエラストマー100重量部に対して、5重
量部〜30重量部であることが好ましい。これによっ
て、熱伝導性を損なわずに、実装寸法のばらつきを小さ
くすることができる。
The amount of the above-mentioned ceramics sintered body is preferably 5 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the liquid silicone elastomer. This makes it possible to reduce variations in mounting dimensions without impairing thermal conductivity.

【0025】液状シリコーンエラストマーには、熱伝導
性フィラーのほかに、たとえば、増調剤、可塑剤、架橋
剤、難燃剤、顔料を添加してもよい。増調剤としては、
たとえば、リチウム石鹸、アルミ石鹸、シリカ、カーボ
ン、テフロン粉、炭酸カルシウムなどがあり一種または
二種以上の混合物が好適に用いられる。
In addition to the heat conductive filler, the liquid silicone elastomer may contain, for example, a modifier, a plasticizer, a crosslinking agent, a flame retardant and a pigment. As a sensitizer,
For example, there are lithium soap, aluminum soap, silica, carbon, Teflon powder, calcium carbonate and the like, and one kind or a mixture of two or more kinds is preferably used.

【0026】液状シリコーンエラストマーとしてRTV
またはLTVを用いる場合には、必要に応じて可塑剤を
添加してもよい。添加する可塑剤としては、たとえば、
ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーン
オイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイル、フロ
ロシリコーンオイル、変性シリコーンオイルなどがあり
一種または二種以上の混合物が好適に用いられる。
RTV as a liquid silicone elastomer
Alternatively, when LTV is used, a plasticizer may be added if necessary. As the plasticizer to be added, for example,
There are dimethyl silicone oil, methylphenyl silicone oil, methylhydrogen silicone oil, fluorosilicone oil, modified silicone oil and the like, and one kind or a mixture of two or more kinds is preferably used.

【0027】液状シリコーンエラストマーとしてRTV
またはLTVを用いる場合には、必要に応じて架橋剤を
添加してもよい。添加する架橋剤としては、たとえば、
両末端、片末端がビニル基ポリジメチルシロキサン、ポ
リメチルハイドロシロキサン、ポリメチルハイドロシロ
キサンコポリマーなどがあり一種または二種以上の混合
物が好適に用いられる。
RTV as a liquid silicone elastomer
Alternatively, when using LTV, a crosslinking agent may be added, if necessary. As the crosslinking agent to be added, for example,
There are vinyl group polydimethylsiloxane, polymethylhydrosiloxane, polymethylhydrosiloxane copolymer, and the like at both ends and one end, and one kind or a mixture of two or more kinds is preferably used.

【0028】本発明の熱伝導性エラストマー組成物は、
難燃性を付与するため、塩化白金酸、アルコール変性塩
化白金酸、白金オレフィン錯体またはメチルポリビニル
シロキサン錯体などの白金化合物の一種または二種以上
の混合物を含んでもよい。また、難燃助剤として、酸化
鉄、酸化チタン、カーボンブラック、水酸化アルミニウ
ム、水酸化マグネシウムなどの一種または二種以上の混
合物を含んでもよい。
The heat conductive elastomer composition of the present invention is
In order to impart flame retardancy, one or a mixture of two or more platinum compounds such as chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, platinum olefin complex or methylpolyvinylsiloxane complex may be contained. Further, as the flame retardant aid, one kind or a mixture of two or more kinds of iron oxide, titanium oxide, carbon black, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide and the like may be contained.

【0029】上記実施形態1の熱伝導性エラストマー組
成物によれば、実装寸法のばらつきが小さく薄膜である
熱伝導性エラストマーを形成できる熱伝導性エラストマ
ー組成物が得られる。
According to the heat conductive elastomer composition of the above-mentioned Embodiment 1, a heat conductive elastomer composition which can form a heat conductive elastomer which is a thin film with less variation in mounting dimensions can be obtained.

【0030】また、実施形態1の熱伝導性エラストマー
組成物では、セラミックス焼結体の平均粒径を500μ
m以下とすることによって、従来のゲルタイプの熱伝導
性シートでは製造困難であった厚さ500μm以下の熱
伝導性物質を容易に形成することができる。
In the heat conductive elastomer composition of Embodiment 1, the average particle size of the ceramic sintered body is 500 μm.
By setting the thickness to m or less, it is possible to easily form a heat conductive substance having a thickness of 500 μm or less, which is difficult to manufacture with the conventional gel type heat conductive sheet.

【0031】また、実施形態1の熱伝導性エラストマー
組成物では、液状シリコーンエラストマーに、発熱素子
の発熱で硬化する液状シリコーンエラストマーを用いる
ことによって、放熱手段と発熱素子とを容易に固定する
ことができる。
Further, in the heat conductive elastomer composition of the first embodiment, by using the liquid silicone elastomer which is hardened by the heat generated by the heat generating element, the heat radiating means and the heat generating element can be easily fixed. it can.

【0032】(実施形態2)実施形態2では、本発明の
熱伝導性エラストマー組成物を用いた熱伝導性エラスト
マーの一例について説明する。
(Embodiment 2) In Embodiment 2, an example of a heat conductive elastomer using the heat conductive elastomer composition of the present invention will be described.

【0033】図1を参照して、本発明の熱伝導性エラス
トマー10は、発熱素子11と金属板12との間に配置
される。そして、図1では、端子13によって発熱素子
11がプリント配線基板14に実装されている場合を示
している。
Referring to FIG. 1, the heat conductive elastomer 10 of the present invention is arranged between the heating element 11 and the metal plate 12. Then, FIG. 1 shows a case where the heating element 11 is mounted on the printed wiring board 14 by the terminal 13.

【0034】熱伝導性エラストマー10は、実施形態1
で説明した本発明の熱伝導性エラストマー組成物からな
る。熱伝導性エラストマー10は、発熱素子11から発
せられた熱を金属板12に伝達する働きを有する。ま
た、熱伝導性エラストマー10は、金属板12を物理的
に発熱素子11に固定する働きを有する。
The heat conductive elastomer 10 is the same as that of the first embodiment.
The heat-conductive elastomer composition of the present invention described in 1. above. The heat conductive elastomer 10 has a function of transmitting the heat generated from the heating element 11 to the metal plate 12. Further, the heat conductive elastomer 10 has a function of physically fixing the metal plate 12 to the heat generating element 11.

【0035】発熱素子11には、たとえば、パワートラ
ンジスタ、変圧器、CPU、サイリスタなどがある。図
1には、発熱素子11が、BGA(Ball Grid
Array)タイプのCPUである場合を示してい
る。
The heating element 11 includes, for example, a power transistor, a transformer, a CPU, a thyristor and the like. In FIG. 1, the heating element 11 is a BGA (Ball Grid).
It is shown that the CPU is an Array type CPU.

【0036】図1では、放熱手段として金属板12を用
いる例を示したが、放熱手段として、金属板12の代わ
りに、他の放熱体や吸熱体を用いてもよい。たとえば、
ファン、ヒートシンク、ペルチェ素子、ヒートパイプな
どを用いることができる。なお、発熱素子と放熱体、あ
るいは発熱素子と吸熱体との組み合せは、いかなる組み
合わせでもよい。
Although the metal plate 12 is used as the heat radiating means in FIG. 1, another heat radiating body or heat absorbing body may be used instead of the metal plate 12 as the heat radiating means. For example,
A fan, a heat sink, a Peltier element, a heat pipe, etc. can be used. Any combination of the heat generating element and the heat radiating body or the heat generating element and the heat absorbing body may be used.

【0037】熱伝導性エラストマーを形成する熱伝導性
エラストマー組成物は、実装前は流動性をもっているが
発熱素子からの熱を利用して少しずつ硬化させる形態で
もよいし、実装後もグリースのように流動性を保つ形態
でもよい。
The heat-conductive elastomer composition forming the heat-conductive elastomer has fluidity before mounting, but may be in the form of being gradually cured by utilizing heat from the heat-generating element, or after mounting, like a grease. It may be in a form that maintains fluidity.

【0038】次に、熱伝導性エラストマー10を用いて
金属板12を発熱素子11に取り付ける方法の一例につ
いて説明する。
Next, an example of a method for attaching the metal plate 12 to the heating element 11 using the heat conductive elastomer 10 will be described.

【0039】まず、プリント配線基板14に実装された
発熱素子11上に、実施形態1で説明した熱伝導性エラ
ストマー組成物15を配置する。
First, the heat conductive elastomer composition 15 described in the first embodiment is placed on the heating element 11 mounted on the printed wiring board 14.

【0040】そして、金属板12を熱伝導性エラストマ
ー組成物15上に配置して、図2に示すように、金属板
12を矢印の方向(発熱素子11の方向)に少しずつ加
圧しながら、熱伝導性エラストマー組成物15を少しず
つ延ばしていく。加圧前および加圧後の熱伝導性エラス
トマー組成物15の状態を、それぞれ図3および図4に
示す。加圧前(図3)では、熱伝導性エラストマー組成
物15中のセラミックス焼結体16は、熱伝導性エラス
トマー組成物15中にランダムに分散している。一方、
加圧後(図4)では、セラミックス焼結体16がスペー
サとなって熱伝導性エラストマー組成物15の厚さがセ
ラミックス焼結体16の粒径よりも小さくなることはな
い。ここで、セラミックス焼結体16が略真球状である
ため、発熱素子11と金属板12との間隔を、面内均一
性よく一定の間隔にすることができる。さらに、熱伝導
性エラストマー組成物15では、熱伝導性フィラー(図
示せず)の平均粒径の5倍以上の平均粒径を有するセラ
ミックス焼結体16を用いることによって、発熱素子1
1と金属板12との間隔を、特に精度よく一定の間隔に
することができる。また、熱伝導性エラストマー組成物
15では、セラミックス焼結体16の粒径を変化させる
ことによって、得られる熱伝導性エラストマーの膜厚を
自由に変化させることができる。
Then, the metal plate 12 is placed on the heat conductive elastomer composition 15, and as shown in FIG. 2, the metal plate 12 is gradually pressurized in the direction of the arrow (direction of the heating element 11), The heat conductive elastomer composition 15 is gradually extended. The states of the thermally conductive elastomer composition 15 before and after pressurization are shown in FIGS. 3 and 4, respectively. Before pressurization (FIG. 3), the ceramic sintered body 16 in the heat conductive elastomer composition 15 is randomly dispersed in the heat conductive elastomer composition 15. on the other hand,
After pressurization (FIG. 4), the ceramic sintered body 16 serves as a spacer, and the thickness of the thermally conductive elastomer composition 15 does not become smaller than the particle diameter of the ceramic sintered body 16. Here, since the ceramic sintered body 16 has a substantially spherical shape, the spacing between the heating element 11 and the metal plate 12 can be set to a constant spacing with good in-plane uniformity. Furthermore, in the heat conductive elastomer composition 15, by using the ceramics sintered body 16 having an average particle diameter of 5 times or more the average particle diameter of the heat conductive filler (not shown), the heat generating element 1
The distance between the metal plate 1 and the metal plate 12 can be set to a constant distance with high accuracy. Further, in the heat conductive elastomer composition 15, the film thickness of the obtained heat conductive elastomer can be freely changed by changing the particle size of the ceramic sintered body 16.

【0041】その後、必要に応じて熱伝導性エラストマ
ー組成物15を硬化させる。熱伝導性エラストマー組成
物15を硬化させる方法としては、熱による方法や、硬
化剤による方法がある。また、熱によって熱伝導性エラ
ストマー組成物15を硬化させる場合には、発熱素子1
1からの発熱によって熱伝導性エラストマー組成物15
を硬化させてもよい。
Thereafter, the heat conductive elastomer composition 15 is cured if necessary. As a method of curing the heat conductive elastomer composition 15, there are a method using heat and a method using a curing agent. Further, when the heat conductive elastomer composition 15 is cured by heat, the heating element 1
Heat-conductive elastomer composition 15 due to heat generated from
May be cured.

【0042】このようにして熱伝導性エラストマー10
を形成できる。
In this way, the heat conductive elastomer 10
Can be formed.

【0043】上記熱伝導性エラストマー10によれば、
実装寸法のばらつきが小さく薄膜である熱伝導性エラス
トマーが得られる。
According to the above heat conductive elastomer 10,
It is possible to obtain a heat conductive elastomer that is a thin film with a small variation in mounting dimensions.

【0044】さらに、上記熱伝導性エラストマー10は
熱伝導性と電気絶縁性を有するため、熱伝導性エラスト
マー10によれば、発熱素子を含む電気回路の信頼性を
向上させることができる。
Further, since the heat conductive elastomer 10 has heat conductivity and electric insulation, the heat conductive elastomer 10 can improve the reliability of the electric circuit including the heating element.

【0045】さらに、上記熱伝導性エラストマー10で
は、セラミックス焼結体の平均粒径を500μm以下と
することによって、従来のゲルタイプの熱伝導性シート
では製造困難であった500μm以下の熱伝導性エラス
トマーを容易に形成することができる。
Further, in the heat conductive elastomer 10, the average particle size of the ceramics sintered body is set to 500 μm or less, so that the heat conductivity of 500 μm or less which is difficult to manufacture by the conventional gel type heat conductive sheet. The elastomer can be easily formed.

【0046】[0046]

【実施例】以下に、本発明の実施例について詳細に説明
する。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described in detail below.

【0047】(実施例1)実施例1では、本発明の熱伝
導性エラストマー組成物の一例を示す。実施例1の熱伝
導性エラストマー組成物では、液状シリコーンエラスト
マーとしてSH4(東レ・ダウコーニングシリコーン株
式会社)100重量部、熱伝導性フィラーとして酸化ア
ルミニウム(平均粒径20μm)30重量部、セラミッ
クス焼結体としてジルコニアボール(平均粒径500μ
m)10重量部を用いた。そして、これらの材料を配合
し、練り込むことによって、熱伝導性エラストマー組成
物を得た。
Example 1 Example 1 shows an example of the heat conductive elastomer composition of the present invention. In the heat conductive elastomer composition of Example 1, 100 parts by weight of SH4 (Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) as a liquid silicone elastomer, 30 parts by weight of aluminum oxide (average particle size 20 μm) as a heat conductive filler, ceramics sintering. Zirconia balls as the body (average particle size 500μ
m) 10 parts by weight were used. Then, these materials were blended and kneaded to obtain a heat conductive elastomer composition.

【0048】上記材料を用いることによって、実装前は
流動性をもち、実装後も硬化はしない熱伝導性エラスト
マー組成物が得られた。
By using the above materials, a thermally conductive elastomer composition having fluidity before mounting and not curing after mounting was obtained.

【0049】(実施例2)実施例2では、本発明の熱伝
導性エラストマー組成物の他の一例を示す。実施例2の
熱伝導性エラストマー組成物では、液状シリコーンエラ
ストマーとしてJCR6101(東レ・ダウコーニング
シリコーン株式会社)100重量部、熱伝導性フィラー
として酸化アルミニウム(平均粒径20μm)30重量
部、セラミックス焼結体としてジルコニアボール(平均
粒径500μm)10重量部を用いた。そして、これら
の材料を配合し、練り込むことによって、熱伝導性エラ
ストマー組成物を得た。
Example 2 In Example 2, another example of the thermally conductive elastomer composition of the present invention will be shown. In the heat conductive elastomer composition of Example 2, 100 parts by weight of JCR6101 (Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) as a liquid silicone elastomer, 30 parts by weight of aluminum oxide (average particle size 20 μm) as a heat conductive filler, ceramics sintering. As the body, 10 parts by weight of zirconia balls (average particle size 500 μm) were used. Then, these materials were blended and kneaded to obtain a heat conductive elastomer composition.

【0050】上記材料を用いることによって、実装前は
流動性をもち、実装後は硬化する熱伝導性エラストマー
組成物が得られた。
By using the above materials, a thermally conductive elastomer composition having fluidity before mounting and being cured after mounting was obtained.

【0051】(実施例3)実施例3では、本発明の熱伝
導性エラストマー組成物を用いて放熱板を発熱素子に取
り付けた一例について説明する。
(Example 3) In Example 3, an example will be described in which a heat dissipation plate is attached to a heating element using the heat conductive elastomer composition of the present invention.

【0052】実施例3では、熱伝導性エラストマー組成
物として実施例2の熱伝導性エラストマー組成物を使用
し、図2で説明した方法で熱伝導性エラストマーを形成
した。また、放熱手段としてアルミ板を用い、プリント
配線基板のかわりにガラスクロス繊維で強化したエポキ
シ樹脂基板を用い、発熱素子としてBGA(BallG
rid Array)タイプの発熱素子を使用した。一
方、比較例として、厚さ500μmの放熱シート(従来
のゲルタイプの放熱シートで、富士高分子工業株式会社
製)を用いて、同様にアルミ板を発熱素子に取り付け
た。
In Example 3, the heat conductive elastomer composition of Example 2 was used as the heat conductive elastomer composition, and the heat conductive elastomer was formed by the method described in FIG. Further, an aluminum plate is used as a heat radiating means, an epoxy resin substrate reinforced with glass cloth fiber is used instead of the printed wiring board, and a BGA (BallG) is used as a heating element.
A grid array type heating element was used. On the other hand, as a comparative example, a heat-dissipating sheet having a thickness of 500 μm (conventional gel type heat-dissipating sheet, manufactured by Fuji Polymer Industries Co., Ltd.) was used, and an aluminum plate was similarly attached to the heating element.

【0053】アルミ板を加圧する際には、平行度がしっ
かりしている微小荷重計を使用し、1kg/cm2の圧
力で加圧した。そして、熱伝導性エラストマー組成物を
硬化させるためにアルミ板を加圧した状態で、3時間室
温で放置した。一方、比較例の放熱シートでアルミ板を
発熱素子に取り付ける場合も、同様の条件(圧力は1k
g/cm2、3時間室温放置)で行った。
When pressing the aluminum plate, a micro load cell having a high degree of parallelism was used and pressure was applied at a pressure of 1 kg / cm 2 . Then, in order to cure the heat conductive elastomer composition, the aluminum plate was pressed and left at room temperature for 3 hours. On the other hand, when the aluminum plate is attached to the heating element with the heat dissipation sheet of the comparative example, the same condition (pressure is 1 k
g / cm 2 , left at room temperature for 3 hours).

【0054】その後、上記工程によって実装された発熱
素子の実装の厚みを測定した。実装の厚みは非接触で測
定できるものを使用した。実装の厚みは、エポキシ樹脂
基板の下面からアルミ板上面までの高さと定義した。
Thereafter, the mounting thickness of the heating element mounted by the above process was measured. The mounting thickness used was one that can be measured without contact. The mounting thickness was defined as the height from the lower surface of the epoxy resin substrate to the upper surface of the aluminum plate.

【0055】厚みは、同一サンプル中の五点において測
定した。測定点の配置を図5に示す。
The thickness was measured at five points in the same sample. The arrangement of measurement points is shown in FIG.

【0056】測定の結果を表1に示す。The measurement results are shown in Table 1.

【0057】[0057]

【表1】 [Table 1]

【0058】表1から明らかなように、実施例2の熱伝
導性エラストマー組成物を用いた場合には、従来の放熱
シートを用いた場合と比較して、実装の厚みのばらつき
が小さくなった。
As is clear from Table 1, when the heat conductive elastomer composition of Example 2 was used, the variation in the mounting thickness was smaller than when the conventional heat dissipation sheet was used. .

【0059】[0059]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の熱伝導性
エラストマー組成物によれば、実装寸法のばらつきが小
さく薄膜である熱伝導性エラストマーを形成できる熱伝
導性エラストマー組成物が得られる。
As described above, according to the heat conductive elastomer composition of the present invention, a heat conductive elastomer composition which can form a thin film heat conductive elastomer with less variation in mounting dimensions can be obtained.

【0060】また、本発明の熱伝導性エラストマーによ
れば、実装寸法のばらつきが小さく薄膜である熱伝導性
エラストマーが得られる。
Further, according to the heat conductive elastomer of the present invention, it is possible to obtain a heat conductive elastomer which is a thin film with less variation in mounting dimensions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の熱伝導性エラストマーについて、一
実施形態を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a heat conductive elastomer of the present invention.

【図2】 本発明の熱伝導性エラストマーについて、製
造の一過程を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a process of manufacturing the heat conductive elastomer of the present invention.

【図3】 本発明の熱伝導性エラストマーについて、他
の製造過程を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another manufacturing process of the heat conductive elastomer of the present invention.

【図4】 本発明の熱伝導性エラストマーについて、そ
の他の製造過程を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing another manufacturing process of the heat conductive elastomer of the present invention.

【図5】 本発明の熱伝導性エラストマーを用いた実施
例において、実装の厚みを測定した位置を示す平面図で
ある。
FIG. 5 is a plan view showing a position where a mounting thickness is measured in an example using the heat conductive elastomer of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 熱伝導性エラストマー 11 発熱素子 12 金属板 13 端子 14 プリント配線基板 15 熱伝導性エラストマー組成物 16 セラミックス焼結体 10 Thermally conductive elastomer 11 Heating element 12 metal plate 13 terminals 14 Printed wiring board 15 Thermally conductive elastomer composition 16 Ceramics sintered body

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−41362(JP,A) 特開 平11−307698(JP,A) 特開 平9−296114(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08K 3/00 - 3/40 C08L 83/04 - 83/12 H01L 23/36 - 23/373 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-2-41362 (JP, A) JP-A-11-307698 (JP, A) JP-A-9-296114 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) C08K 3/00-3/40 C08L 83/04-83/12 H01L 23/36-23/373

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】熱伝導性エラストマーを形成するための熱
伝導性エラストマー組成物であって、 液状シリコーンエラストマーと、熱伝導性フィラーと、
スペーサーとして機能するセラミックス焼結体とを含
み、 前記セラミックス焼結体の平均粒径が前記熱伝導性フィ
ラーの平均粒径の5倍以上であり、前記熱伝導性フィラーの平均粒径は0.5μm〜100
μmの範囲であり、 前記セラミックス焼結体の平均粒径が3mm以下であ
り、 前記液状シリコーンエラストマー100重量部に対し
て、前記熱伝導性フィラーを100〜1200重量部含
み、 前記液状シリコーンエラストマー100重量部に対して
前記セラミックス焼結体を5〜30重量部含む ことを特
徴とする熱伝導性エラストマー組成物。
1. A heat conductive elastomer composition for forming a heat conductive elastomer, which comprises a liquid silicone elastomer and a heat conductive filler.
A ceramic sintered body that functions as a spacer, wherein the average particle diameter of the ceramic sintered body is 5 times or more the average particle diameter of the thermally conductive filler, and the average particle diameter of the thermally conductive filler is 0. 5 μm to 100
and the average particle size of the ceramics sintered body is 3 mm or less.
Based on 100 parts by weight of the liquid silicone elastomer
Including 100 to 1200 parts by weight of the heat conductive filler.
Seen, with respect to the liquid silicone elastomer 100 parts by weight
A thermally conductive elastomer composition comprising 5 to 30 parts by weight of the ceramics sintered body .
【請求項2】前記セラミックス焼結体が略真球状である
請求項に記載の熱伝導性エラストマー組成物。
2. The heat conductive elastomer composition according to claim 1 , wherein the ceramics sintered body has a substantially spherical shape.
【請求項3】発熱素子と放熱手段との間に配置され、発
熱素子の発熱を放熱手段に伝達する熱伝導性エラストマ
ーであって、 請求項1または2に記載の熱伝導性エラストマー組成物
を用いて形成され、 前記熱伝導性エラストマー組成物中の前記セラミックス
焼結体の粒径によって厚さが制御されている熱伝導性エ
ラストマー。
3. A heat conductive elastomer which is disposed between a heat generating element and a heat radiating means and which transfers heat generated by the heat generating element to the heat radiating means, wherein the heat conductive elastomer composition according to claim 1 or 2 is used. A thermally conductive elastomer formed by using the thermally conductive elastomer, the thickness of which is controlled by the particle diameter of the ceramics sintered body in the thermally conductive elastomer composition.
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