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JP4134878B2 - 導体組成物および導体組成物を用いた実装基板ならびに実装構造 - Google Patents

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JP4134878B2
JP4134878B2 JP2003362291A JP2003362291A JP4134878B2 JP 4134878 B2 JP4134878 B2 JP 4134878B2 JP 2003362291 A JP2003362291 A JP 2003362291A JP 2003362291 A JP2003362291 A JP 2003362291A JP 4134878 B2 JP4134878 B2 JP 4134878B2
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真志 都外川
今井  博和
亮 新帯
祐司 大谷
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Description

本発明は、導電性を有する導体粒子を含んでなる導体組成物、および、そのような導体組成物を用いて配線部が形成されている実装基板、ならびに、そのような導体組成物を用いて部品実装が行われている実装構造に関する。
一般に、この種の導体組成物は、導電性を有する導体粒子と溶剤とを含んでなるものである。具体的には、例えば、粒子サイズとして0.1μm〜10μm程度のミクロンレベル、サブミクロンレベルの粒子径を有するAg(銀)フィラーを、溶剤およびエポキシ樹脂等のバインダー樹脂に分散させた導電性接着剤が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、この種の導体組成物としては、平均粒径が1〜100nmである金属微粒子(フィラー)が、その表面を、当該金属微粒子に含まれる金属元素と配位可能な有機化合物で被覆されて、液体中に安定に分散したペースト組成物が提案されている(特許文献2参照)。
そして、このような導電性接着剤は、実装基板の一面上に設けられた電極上に表面実装部品を搭載する際に、表面実装部品と実装基板の電極との間に介在させられて両者の電気的な接合を行い、実装構造を構成するために用いられる。
また、この種の導体組成物は、プリント基板やセラミック基板等の実装基板における表面配線、内層配線およびビア導体を形成するために用いられている。
特開2000−319622号公報 特開2002−299833号公報
上述した一般的な導体組成物、例えば、上記Agフィラーを含む導電性接着剤では、電極等の基材上に塗布された後、温度を加えて溶剤を蒸発させ、バインダー樹脂を硬化させることにより、基材上に配設され接合が完了する。
ここにおいて、この導電性接着剤に対する硬化処理は、通常では、溶剤を除去したり、バインダー樹脂を硬化させるのに必要な程度の低い温度(例えば、150℃程度)にて行われる。
このように低温処理を行った場合、処理された導電性接着剤における導通機構は、Agフィラー(導体粒子)同士の接触によるものである。それによって、導電性接着剤における電気抵抗は、これらAgフィラー間の接触抵抗が支配的となる。
そのため、その導電性接着剤における導電率は、Ag本来のもの、すなわちAgのバルク並みの導電率よりも、2桁程度低いものになる。さらには、導電性接着剤と基材との間の導通機構においても、基材とAgフィラーとの接触による導通となるため、接続の信頼性に劣るという問題があった。
このような問題に対しては、導電性接着剤(導体組成物)を処理する際に、導体粒子であるAgフィラーが溶融する程度の高温にて処理を行えばよいと考えられる。それによって、導電性接着剤の内部および導電性接着剤と基材との間における導通機構は、互いに融着されたAgフィラー同士によるものとなり、導電性接着剤においてAgバルク並みの導電率が得られると考えられる。
しかし、このような融着状態を実現するためには、導電性接着剤の処理温度を、例えばAgの融点近くの高温(800℃程度)とする必要があり、基材となる電子部品や基板等の耐熱性などを考えると、実用的ではない。
これに対して、従来より、上記特許文献2に記載されているように、ナノメーターオーダーのフィラー(導体粒子)のみからなる導体組成物が提案されている。このものは、実質的に、粒子サイズが従来のミクロンオーダーのものより小さいナノメーターオーダーの粒子径を有するフィラーのみを、溶剤やバインダー樹脂中に分散させたものとなっている。
それによれば、フィラーのサイズをナノメーターオーダーの小さいものにしたことにより、フィラー自身の溶融温度が低温化され、上記した導体組成物において行われている低温処理と同程度の温度(例えば150℃程度)にて処理しても、フィラー同士の融着の実現が期待される。
しかしながら、このナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物では、そもそもフィラー(導体粒子)が小さいため取り扱い性(ハンドリング性)が悪く、従来のミクロンオーダーのフィラーに比べてコストも高い。
また、フィラーがナノメーターオーダーと従来よりも大幅に小さいがゆえに、フィラーの溶剤やバインダー樹脂への分散性が悪い。その結果、導体組成物内においてフィラーが偏在したり、フィラー同士の融着が均一に行われなかったりする等のことにより、十分な導電率を得ることは、実際には困難であった。
そこで、本発明は上記問題に鑑み、低温処理にてAgのバルク並みの導電率を容易に確保することのできる導体組成物およびそのような導体組成物を用いた実装基板、ならびにそのような導体組成物を用いた実装構造を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、導電性を有する導体粒子(30a)と溶剤とを含んでなる導体組成物において、導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであることを特徴としている。
ここで、低結晶化Agフィラー(31)の結晶サイズとは、1つのフィラー(粒子)の中における結晶粒のサイズであり、この結晶サイズが10nm以下であるとは、X線回折にて測定した結果によるものである。
従来では、通常、この種の導体組成物に用いられるAgフィラーの結晶サイズは数十nm以上であり、本発明のAgフィラー(31)は、それよりも小さい結晶サイズを有するもの、すなわち従来よりも低結晶化されたものである。
本発明者の検討によれば、詳細なメカニズムは不明であるが、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなる導体粒子(30a)とすることにより、導体粒子(30a)の粒子サイズがミクロンオーダーであっても、上記した従来のナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物と同レベルの低温処理にて、Agが融着もしくは焼結して高い導電率を得ることができる。
つまり、本発明によれば、低温処理にてAgのバルク並みの高い導電率を容易に確保することのできる導体組成物を提供することができる。
また、請求項に記載の発明では、導体粒子(30a)は、低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであることを特徴としている。
このように、結晶化Agフィラー(31)の周囲にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)を設けることにより、ナノメーターオーダーとしたことによってAg微粒子(33)が低温度で溶融するという効果が発揮され、低温処理による高導電率の実現がさらに促進される。つまり、本発明では、より低温での処理が可能となるため、好ましい。
さらに、請求項に記載の発明では、低結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項1記載の導体組成物において、低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項1または2に記載の導体組成物において、Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項1〜請求項のいずれか1つに記載の導体組成物において、Ag微粒子(33)の付着量は、低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴としている。
上記請求項〜請求項の発明のように、低結晶化Agフィラー(31)のサイズや形状、Ag微粒子(33)のサイズや量を具体化することができる。
請求項に記載の発明では、請求項1〜請求項のいずれか1つに記載の導体組成物が、導体粒子(30a)および溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴としている。
また、請求項に記載の発明では、一面に電極(11)を有する実装基板(10)と、実装基板(10)の電極(11)上に搭載された表面実装部品(20)とを備え、電極(11)と表面実装部品(20)とが導体組成物(30)を介して接合されている導体組成物を用いた実装構造において、導体組成物は、導電性を有する導体粒子(30a)を含んでなるものであり、導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであることを特徴としている。
本発明によれば、上記請求項1に記載の発明と同様に、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなる導体粒子(30a)とすることにより、導体粒子(30a)の粒子サイズがミクロンオーダーであっても、上記した従来のナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物と同レベルの低温処理にて、Agが融着もしくは焼結して高い導電率を得ることができる。
つまり、本発明によれば、低温処理にてAgのバルク並みの抵抗を容易に確保することのできる導体組成物を用いた実装構造を提供することができる。
また、請求項に記載の発明では、体粒子(30a)は、低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであることを特徴としている。
それによれば、上記請求項に記載の発明と同様の理由から、より低温での処理が可能となる好ましい導体組成物を用いた実装構造が提供される。
さらに、請求項に記載の発明では、結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項に記載の導体組成物を用いた実装構造において、低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項6または7に記載の導体組成物を用いた実装構造において、Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴としている。
請求項に記載の発明では、請求項〜請求項のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装構造において、Ag微粒子(33)の付着量は、低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴としている。
請求項10に記載の発明では、請求項〜請求項のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装構造において、導体組成物(30)は、導体粒子(30a)および溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴としている。
また、請求項11に記載の発明では、導体組成物によって表面配線(14)、内層配線(13)およびビア導体(12)が形成されている導体組成物を用いた実装基板において、導体組成物は、導電性を有する導体粒子(30a)を含んでなるものであり、導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであることを特徴としている。
本発明によれば、上記請求項1に記載の発明と同様に、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなる導体粒子(30a)とすることにより、導体粒子(30a)の粒子サイズがミクロンオーダーであっても、上記した従来のナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物と同レベルの低温処理にて、Agが融着もしくは焼結して高い導電率を得ることができる。
つまり、本発明によれば、低温処理にてAgのバルク並みの抵抗を容易に確保することのできる導体組成物を用いた実装基板を提供することができる。
また、請求項11に記載の発明では、体粒子(30a)は、低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであることを特徴としている。
それによれば、上記請求項に記載の発明と同様の理由から、より低温での処理が可能となる好ましい導体組成物を用いた実装基板が提供される。
さらに、請求項11に記載の発明では、結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴としている。
請求項12に記載の発明では、請求項11に記載の導体組成物を用いた実装基板において、低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴としている。
請求項13に記載の発明では、請求項11または12に記載の導体組成物を用いた実装基板において、Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴としている。
請求項14に記載の発明では、請求項11〜請求項13のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装基板において、Ag微粒子(33)の付着量は、前記低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴としている。
請求項15に記載の発明では、請求項11〜請求項14のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装基板において、導体組成物は、前記導体粒子(30a)および前記溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴としている。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、同一もしくは均等の部分には図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る導体組成物を用いた実装構造の要部を示す概略断面図である。
実装基板10の上に表面実装部品20が搭載され、実装基板10の電極11と表面実装部品20の電極21とが導体組成物としての導電性接着剤30を介して電気的に接続されている。なお、以下、実装基板10の電極11を基板電極11、表面実装部品20の電極21を部品電極21ということにする。
実装基板10は、プリント基板やセラミック基板、あるいはリードフレーム等を採用することができ、特に限定されるものではない。基板電極11は、実装基板10の一面に形成されており、例えば、Ag(銀)、AgSn(銀とスズの合金)およびAgPd(銀とパラジウムの合金)等のAg系金属や、Cu(銅)およびCuNi(銅とニッケルの合金)等のCu系金属や、Ni系金属、あるいはAu(金)等の材料を用いた厚膜やめっきから構成されたものである。
表面実装部品20としては、コンデンサや抵抗、半導体素子等の電子部品を採用することができる。図示例では、表面実装部品20はチップコンデンサを用いた例として示してある。また、部品電極21は金属からなるものである。部品電極21の金属としては、Au系金属、Ag系金属、Ni系金属、Sn系金属等が用いられるが、ここでは、一例としてSn系金属が用いられている。
ここで、図2は、硬化前状態の導電性接着剤(導体組成物)30を模式的に示す図である。導電性接着剤30は、導電性を有する導体粒子30aと溶剤と、さらにバインダー樹脂32を含んでなる導体組成物である。ここで、図2では、溶剤は省略してある。
導体粒子30aは、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものである。
そして、図1、図2に示す例では、本実施形態の好ましい形態として、導体粒子30aは、低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子である低結晶化Agフィラー31の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33が付着したものである。
そして、図1では、このような導電性接着剤30を用いて、基板電極11と部品電極21とが導電性接着剤30を介して接続された状態が示されている。この状態は、図2に示される導電性接着剤30において、溶剤が揮発しバインダー樹脂32が硬化した状態である。
そして、図1に示されるような基板電極11と部品電極21とが導電性接着剤30を介して接続された状態においては、Ag微粒子33同士が溶融または焼結して融着もしくは焼結の状態にて電気的に接続されている。また、基板電極11および部品電極21とAg微粒子33との間も溶融または焼結したAg微粒子33によって融着もしくは焼結された状態となることによって、電気的に接続されている。
ここで、低結晶化Agフィラー31の結晶サイズが10nm以下であることは、X線回折にて測定した結果によるものである。従来では、通常、この種の導体組成物に用いられるAgフィラーの結晶サイズは数十nm以上であり、本実施形態のAgフィラー31は、それよりも小さい結晶サイズを有するもの、すなわち従来よりも低結晶化されたものである。
具体的には、例えば、低結晶化Agフィラー31は、球状もしくはフレーク状のものにすることができ、低結晶化Agフィラー31の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下のものにすることができる。
また、本例において、低結晶化Agフィラー31に付着しているAg微粒子33としては、例えば、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内にあるものを採用することができる。そして、Ag微粒子33の付着量は、低結晶化Agフィラー31に対して0重量%を超えて50重量%以下程度にすることができる。
また、溶剤としては、通常の導電性接着剤に適用されるような溶剤を用いることができる。例えば、溶剤としては、テルピネオールなどの溶剤を採用することができる。
また、この導電性接着剤30において、樹脂32は主剤、硬化剤、還元剤、ナノ粒子用分散剤およびナノ粒子用捕捉剤が混合されたものである。
なお、還元剤は必要に応じて混合されるものであり、無いものであってもよい。また、ナノ粒子用分散剤およびナノ粒子用捕捉剤は、本例におけるナノメーターオーダーのAg微粒子33を用いた場合に必要なものであり、このAg微粒子33が無い導体粒子30aの場合には、無くてもよい。
主剤としては、エポキシ系樹脂およびそれを含む混合材料から選択されたものを採用することができ、硬化剤としては、アミン系化合物、フェノール化合物およびこれらの混合材料から選択されたものを採用することができる。
還元剤は、導電性接着剤30の硬化温度(通常100℃〜200℃程度)以下の温度にて部品電極21の表面に形成されている金属酸化膜を還元する化合物であり、例えば、アルコール系、有機酸系、イミダゾール系化合物等から選択されたものを採用できる。
より具体的に、還元剤としては、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、グリセロール、テトラエチレングリコール、ジエチレングリコール、リピトール等を採用することができる。
また、上述したように、本例では、好ましい導電性接着剤30として、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子である低結晶化Agフィラー31の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33が付着したものを用いている。
このような導電性接着剤30は、次のようにして作製することができる。低結晶化Agフィラー31とAg微粒子33との混合物を溶液または気体中で加熱することにより、Ag微粒子33の低結晶化Agフィラー31の表面への焼結による融着または付着等を行う。これにより、Ag微粒子33が表面に配置された低結晶化Agフィラー31が形成される。
なお、後で行う導電性接着剤30の硬化時にAg微粒子33の融着・焼結反応が進むことができるように、この溶液または気体中での加熱の温度は、少なくとも導電性接着剤30の硬化温度よりも低くし、Ag微粒子33の焼結を微量にしておく。
そして、Ag微粒子33が表面に配置された低結晶化Agフィラー31を、バインダー樹脂32を構成する主剤、硬化剤、必要に応じて還元剤、さらにナノ粒子用分散剤、ナノ粒子用捕捉剤、ならびに溶剤と一緒に混合する。こうして、本例の導電性接着剤30ができあがる。
このようにして作製された本例の導電性接着剤30を用いて、表面実装部品20を基板10に接続する方法について述べる。図3は、上記図1に示す実装構造の組み付け方法を示す工程図である。
まず、導電性接着剤供給工程では、上記導電性接着剤30を、マスク印刷またはディスペンスにより実装基板10の基板電極11上に供給する。次に、部品組み付け工程では、基板電極11と部品電極21とを位置あわせした状態で実装基板10の上に表面実装部品20を搭載する。
ここまでの工程は、常温雰囲気で行われ、導電性接着剤30は硬化前(未硬化)の状態である。本例では、この状態の導電性接着剤30では、上記図2に示すように、ナノメーターオーダーの粒子すなわちナノ粒子であるAg微粒子33をナノ粒子用分散剤が被覆し、Ag微粒子33の焼結を防いでいる。そのため、バインダー樹脂32中の低結晶化Agフィラー31は、バインダー樹脂32中に一様に分散している。
次に、導電性接着剤硬化工程では、100℃〜200℃程度の硬化温度にて導電性接着剤30を加熱し、硬化させる。それにより、表面実装部品20と実装基板10との接続が完了し、上記図1に示す実装構造ができあがる。
この硬化工程では、次に述べるような作用が進行する。硬化時の熱によって、バインダー樹脂32中に還元剤を含有させた場合には、この還元剤により、部品電極21の表面に初期的に形成されていた酸化膜が除去される。
また、この硬化工程では、ナノ粒子であるAg微粒子33を用いた本例の場合には、ナノ粒子用分散剤、ナノ粒子用捕捉剤によって、Ag微粒子33を被覆しているナノ粒子用分散剤を、ナノ粒子用捕捉剤がトラップする。
そして、硬化時の熱により、低結晶化Agフィラー31に付着しているAg微粒子33が溶融または焼結し、部品電極21の表面および基板電極11の表面とAg微粒子33とが融着もしくは焼結すると同時に、Ag微粒子33同士が溶融または焼結することで互いに融着もしくは焼結する。
つまり、図1に示すように、部品電極21、低結晶化Agフィラー31(導体粒子30a)、基板電極11の三者の間でAg微粒子33の融着もしくは焼結による導通形態が形成される。
なお、本実施形態では、導体粒子30aは、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31のみからなるものであって、ナノメーターオーダーのAg微粒子33が無いものであってもよい。
その場合には、上記した導電性接着剤硬化工程において、バインダー樹脂32の硬化温度、例えば100℃〜200℃程度の硬化温度にて、低結晶化Agフィラー31の融着または焼結が起こる。それによって、低結晶化Agフィラー31同士および低結晶化Agフィラー31と各電極11、21の間が、融着もしくは焼結された状態となって電気的に接続される。
このことについては、実験的に確認しており、詳細なメカニズムは不明であるが、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなる導体粒子30aとすることにより、硬化時の熱処理によって低結晶部が結晶化して安定化しようとする挙動に基づくものではないかと考えられる。
それにより、導体粒子30aの粒子サイズすなわち低結晶化Agフィラー31の粒子サイズがミクロンオーダーであっても、上記した従来のナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物と同レベルの低温処理(例えば150℃程度)にて、Agが融着もしくは焼結して高い導電率を得ることができる。
つまり、本実施形態によれば、導電性を有する導体粒子30aと溶剤とを含んでなる導体組成物としての導電性接着剤30において、導体粒子30aを、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものとすることにより、低温処理にてAgのバルク並みの導電率を容易に確保することのできる導体組成物としての導電性接着剤30を提供することができる。
また、本実施形態の好ましい形態すなわち図1、図2に示される例では、導体粒子30aは、低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33を付着させた導体組成物としての導電性接着剤30が提供される。
このように、低結晶化Agフィラー31の周囲にナノメーターオーダーのAg微粒子33を設けることにより、ナノメーターオーダーとしたことによってAg微粒子33が低温度で溶融するという効果が発揮される。
これは、ナノメーターオーダーのAg微粒子33がその表面積を低減して安定化しようとする挙動に基づくものと考えられる。それにより、低温処理による高導電率の実現がさらに促進され、より低温での処理によって導体粒子30aにおける融着が可能となり、好ましい。
例えば、従来の導体組成物においては、圧接により接触しているAgフィラー間の接触抵抗が支配的であり、その導電率は導体組成物の体積固有抵抗として、10-4Ω・cm以上であった。
それに対して、図1に示される本実施形態の導電性接着剤(導体組成物)30においては、その体積固有抵抗は5×10-6〜5×10-5Ω・cm程度となり、導電率は大幅に向上している。
また、本実施形態では、一面に電極11を有する実装基板10と、実装基板10の電極21上に搭載された表面実装部品20とを備え、電極11と表面実装部品20とが導体組成物としての導電性接着剤30を介して接合されている導体組成物を用いた実装構造において、導電性接着剤30における導体粒子30aは、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなることを特徴とする導体組成物を用いた実装構造が提供される。
それにより、低温処理にてAgのバルク並みの抵抗を容易に確保することのできる導体組成物を用いた実装構造を提供することができている。
また、本実施形態の好ましい形態では、導体粒子30aを、低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33を付着させた実装構造とすることにより、より低温での処理が可能となる好ましい導体組成物を用いた実装構造が提供される。
また、本実施形態では、一例として、表面実装部品20の部品電極21として、従来では接続抵抗の低抵抗化が困難であったSn系金属が用いられているが、本実施形態の導電性接着剤30を用いれば、このSn系金属を用いた部品電極21における接続において、低抵抗化を容易に実現することができる。
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態に係る導体組成物を用いた実装構造を示す概略断面図である。主として、上記実施形態と相違する点に付いて述べる。
実装基板10の上に表面実装部品20が搭載され、実装基板10の基板電極11と表面実装部品20の部品電極21とが導体組成物としての導電性接着剤30を介して電気的に接続されている。ここで、導電性接着剤30は上記実施形態と同様のものである。
本実施形態では、実装基板10は樹脂からなる積層基板であり、樹脂からなる複数の樹脂層10a、10b、10c、10dを積層して焼成してなるものである。
この実装基板10には各種の配線部12〜14が形成されており、この配線部12〜14は、実装基板10の内部に形成されたビア導体12および内層配線13と、実装基板10の一面(図4中の上面)に位置する表面配線14とから構成されている。
ビア導体12は、各樹脂層10a〜10dに形成されたビアホールに設けられており、内層配線13は、各樹脂層10a〜10dの間に形成されている。そして、これら各配線部12〜14は互いに電気的に接続されている。また、表面配線14は基板電極11と電気的に接続されている。
ここで、本実施形態では、ビア導体12、内層配線12および表面配線14は、導電性を有する導体粒子を含む導体組成物から構成されている。そして、この導体組成物は、導体粒子が結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラーからなるものである。
具体的には、上記図2に示した導体組成物30において、バインダー樹脂32をほとんど含まないものであって、低結晶化Agフィラー31と溶剤とを含んでなる導体組成物が用いられている。なお、基材などとの高い密着性が必要な場合には、例えば、エポキシ系樹脂などを数重量%添加したものであってもよい。
そして、この導体組成物を用いて印刷法によるパターニングや熱処理を行う等により、上記のビア導体12、内層配線12および表面配線14が形成される。これら配線部12〜14においては、導体組成物は溶剤が揮発し、低結晶化Agフィラー31同士が融着もしくは焼結することにより導通状態が確保されている。
また、この本実施形態の導体組成物においても、導体粒子30aは、低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33が付着したものが好ましい(図2参照)。
この好ましい形態の導体組成物を用いて、上記のビア導体12、内層配線12および表面配線14が形成された場合には、上記図1に示したのと同様に、導体組成物は、溶剤が揮発しAg微粒子33同士が溶融または焼結して融着もしくは焼結の状態にて電気的に接続されている。
本実施形態においても、例えば、低結晶化Agフィラー31は、球状もしくはフレーク状のものにすることができ、低結晶化Agフィラー31の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下のものにすることができる。
また、本実施形態においても、低結晶化Agフィラー31に付着しているAg微粒子33としては、例えば、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内にあるものを採用することができる。そして、Ag微粒子33の付着量は、低結晶化Agフィラー31に対して0重量%を超えて50重量%以下程度にすることができる。
また、溶剤としては、通常の導電性接着剤に適用されるような溶剤を用いることができる。例えば、溶剤としては、テルピネオールなどの溶剤を採用することができる。
また、図4に示される実装構造において、表面実装部品20としては特に限定するものではなく、上記実施形態と同様のものを採用することができる。例えば、表面実装部品20としては、モールドされたコンデンサやダイオード、セラミックコンデンサなどを採用することができる。本例では、表面実装部品20としてモールドされたコンデンサを示している。
次に、上記図4に示される実装構造の形成方法について述べる。図5(a)、(b)、(c)、(d)、(e)は本形成方法における実装基板10の製造方法を示す工程図である。
まず、図5(a)〜(c)に示されるように、複数の樹脂層としての樹脂シート10a〜10dの各々に穴100をあけ、その穴100に本実施形態の導体組成物、すなわち導体粒子30aと溶剤とを含んでなる導体組成物を、スクリーン印刷等により充填してビア導体12を形成する。
次に、各樹脂シート10a〜10dの表面に、スクリーン印刷等により同じく導体組成物を所望のパターンに印刷する。こうして、図5(d)に示されるように、ビア導体12、内層配線13、表面配線14からなる配線部12〜14を形成する。
次に、図5(e)に示されるように、このようにして作られた樹脂シート群を積層して加圧することで一体化させ、積層体110を形成する。そして、この積層体110を焼成することにより、実装基板10の基板本体部が出来上がり、各配線部12〜14が焼成される。
こうして焼成を行った後、表面配線14の部分に、めっきや厚膜印刷を行うことにより基板電極11を形成する。こうして、実装基板10ができあがる。
この実装基板10は、導体組成物によって表面配線14、内層配線13およびビア導体12が形成されている導体組成物を用いた実装基板において、導体組成物は、導電性を有する導体粒子30aを含んでなるものであり、導体粒子30aは、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものである。
次に、実装基板10の一面上へ電子部品30を実装する。この実装方法は上記図3に示される方法と同様である。
すなわち、導電性接着剤供給工程では、導電性接着剤30を、マスク印刷またはディスペンスにより実装基板10の基板電極11上に供給する。次に、部品組み付け工程では、基板電極11と部品電極21とを位置あわせした状態で実装基板10の上に表面実装部品20を搭載する。
次に、導電性接着剤硬化工程では、100℃〜240℃程度の硬化温度にて導電性接着剤30を加熱し、硬化させる。それにより、表面実装部品20と実装基板10との接続が完了し、上記図4に示す実装構造ができあがる。
ところで、本実施形態では、上記実施形態と同様に、導電性を有する導体粒子30aと溶剤とを含んでなる導体組成物において、導体粒子30aを、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものとした導体組成物およびそのような導体組成物としての導電性接着剤30が提供される。
また、本実施形態においても、上記実施形態と同様に、一面に電極11を有する実装基板10と、実装基板10の電極11上に搭載された表面実装部品20とを備え、電極11と表面実装部品20とが導体組成物を介して接合されている導体組成物を用いた実装構造において、導体組成物は、導電性を有する導体粒子30aを含んでなるものであり、導体粒子30aを、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものとした導体組成物を用いた実装構造が提供される。
さらに、本実施形態では、導体組成物によって表面配線14、内層配線13およびビア導体12が形成されている導体組成物を用いた実装基板10において、導体組成物は、導電性を有する導体粒子30aを含んでなるものであり、導体粒子30aを、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなるものとした導体組成物を用いた実装基板10が提供される。
本実施形態によれば、上記実施形態と同様に、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー31からなる導体粒子30aとすることにより、導体粒子30aの粒子サイズがミクロンオーダーであっても、上記した従来のナノメーターオーダーのフィラーのみからなる導体組成物と同レベルの低温処理にて、Agが融着もしくは焼結して高い導電率を得ることができる。
つまり、本実施形態によれば、低温処理にてAgのバルク並みの抵抗を容易に確保することのできる導体組成物、および導体組成物を用いた実装構造ならびに導体組成物を用いた実装基板を提供することができる。
また、本実施形態においても、好ましい形態、すなわち導体粒子30aを、低結晶化Agフィラー31をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子33を付着させた場合には、ナノメーターオーダーとしたことによってAg微粒子33が低温度で溶融するという効果が発揮される。
なお、本実施形態では、実装基板10の例として樹脂の積層基板を示したが、セラミック積層基板であってもかまわない。その構成や基板の製法は、上記した樹脂積層基板の構成や製法に準じるものである。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態では、表面実装部品としてチップコンデンサやモールドコンデンサを用いた例を図示してあるが、表面実装部品としてはコンデンサや抵抗、半導体素子、ICパッケージ等の部品等を採用することができる。例えば、銅からなるリードを電極として有するモールドダイオード部品を表面実装部品として採用してもよい。
また、上記実施形態では、実装基板10上に表面実装部品20を搭載し、実装基板10の電極11と表面実装部品20の電極21とを導電性接着剤30を介して接続しているが、このように実装を行った後、さらにパッケージ工程を行ってもよい。
例えば、図示しないが、図1に示される実装構造において、さらに基板(部品実装基板)にAlからなる放熱板を貼り付け、さらにこの放熱板とケースを接着し、その後シリコーンゲルで封止した構造としてもよい。
ただし、パッケージ形態は、上記のものに限定されるものではなく、シリコーンゲルはあってもなくてもよいし、他の防湿コート材料に置き換えてもよい。
また、例えば、上記図1において、表面実装部品20の実装基板10への接続部またはその周辺部をアンダーフィル樹脂によって補強するようにしてもよい。また、モールド樹脂による封止構造を採用してもよい。
本発明の第1実施形態に係る導体組成物を用いた実装構造の要部を示す概略断面図である。 硬化前状態の導電性接着剤(導体組成物)を模式的に示す図である。 図1に示す実装構造の組み付け方法を示す工程図である。 本発明の第2実施形態に係る導体組成物を用いた実装構造を示す概略断面図である。 図4に示す実装構造における実装基板の製造方法を示す工程図である。
符号の説明
10…実装基板、11…実装基板の電極(基板電極)、12…ビア導体、
13…内層配線、14…表面配線、20…表面実装部品、
30…導体組成物としての導電性接着剤、30a…導体粒子、
31…低結晶化Agフィラー、32…バインダー樹脂、33…Ag微粒子。

Claims (15)

  1. 導電性を有する導体粒子(30a)と溶剤とを含んでなる導体組成物において、前記導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであり、
    前記導体粒子(30a)は、前記低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであり、
    前記低結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴とする導体組成物。
  2. 前記低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴とする請求項に記載の導体組成物。
  3. 前記Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴とする請求項1または2に記載の導体組成物。
  4. 前記Ag微粒子(33)の付着量は、前記低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つに記載の導体組成物。
  5. 前記導体粒子(30a)および前記溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つに記載の導体組成物。
  6. 一面に電極(11)を有する実装基板(10)と、
    前記実装基板(10)の前記電極(11)上に搭載された表面実装部品(20)とを備え、
    前記電極(11)と前記表面実装部品(20)とが導体組成物(30)を介して接合されている導体組成物を用いた実装構造において、
    前記導体組成物は、導電性を有する導体粒子(30a)を含んでなるものであり、
    前記導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであり、
    前記導体粒子(30a)は、前記低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであり、
    前記低結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴とする導体組成物を用いた実装構造。
  7. 前記低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴とする請求項に記載の導体組成物を用いた実装構造。
  8. 前記Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴とする請求項6または7に記載の導体組成物を用いた実装構造。
  9. 前記Ag微粒子(33)の付着量は、前記低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴とする請求項ないしのいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装構造。
  10. 前記導体組成物(30)は、前記導体粒子(30a)および前記溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴とする請求項ないしのいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装構造。
  11. 導体組成物によって表面配線(14)、内層配線(13)およびビア導体(12)が形成されている導体組成物を用いた実装基板において、
    前記導体組成物は、導電性を有する導体粒子(30a)を含んでなるものであり、
    前記導体粒子(30a)は、結晶サイズが10nm以下である低結晶化Agフィラー(31)からなるものであり、
    前記導体粒子(30a)は、前記低結晶化Agフィラー(31)をコア粒子として、このコア粒子の表面にナノメーターオーダーのAg微粒子(33)が付着したものであり、
    前記低結晶化Agフィラー(31)の粒子サイズは、粒子径が0.1μm以上20μm以下であることを特徴とする導体組成物を用いた実装基板。
  12. 前記低結晶化Agフィラー(31)は、球状もしくはフレーク状であることを特徴とする請求項11に記載の導体組成物を用いた実装基板。
  13. 前記Ag微粒子(33)は、その粒子径が1nm以上50nm以下の範囲内のものであることを特徴とする請求項11または12に記載の導体組成物を用いた実装基板。
  14. 前記Ag微粒子(33)の付着量は、前記低結晶化Agフィラー(31)に対して50重量%以下であることを特徴とする請求項11ないし13のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装基板。
  15. 前記導体組成物は、前記導体粒子(30a)および前記溶剤とともにバインダー樹脂(32)が含まれており、導電性接着剤として適用されるものであることを特徴とする請求項11ないし14のいずれか1つに記載の導体組成物を用いた実装基板。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4484544B2 (ja) * 2004-02-25 2010-06-16 京セラ株式会社 高周波モジュールの製造方法
JP4929653B2 (ja) * 2005-09-02 2012-05-09 住友電気工業株式会社 導電性ペーストおよびそれを用いた配線基板
JP5034206B2 (ja) * 2005-10-03 2012-09-26 株式会社デンソー 導電性接着剤
US8063315B2 (en) * 2005-10-06 2011-11-22 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Circuitized substrate with conductive paste, electrical assembly including said circuitized substrate and method of making said substrate
JP4779710B2 (ja) * 2006-03-03 2011-09-28 トヨタ自動車株式会社 接合方法およびこれを用いたインバータ
EP3678198A1 (en) 2008-01-17 2020-07-08 Nichia Corporation A method for producing an electronic device
CN102292835B (zh) 2009-01-23 2015-03-25 日亚化学工业株式会社 半导体装置及其制造方法
CN102292802B (zh) 2009-01-23 2014-11-19 日亚化学工业株式会社 半导体装置及其制造方法
US8836130B2 (en) 2009-01-23 2014-09-16 Nichia Corporation Light emitting semiconductor element bonded to a base by a silver coating
JP5611537B2 (ja) 2009-04-28 2014-10-22 日立化成株式会社 導電性接合材料、それを用いた接合方法、並びにそれによって接合された半導体装置
CN101906288B (zh) * 2009-06-02 2013-08-21 清华大学 热界面材料,具该热界面材料的电子装置及制备方法
EP2407980B1 (en) 2009-07-21 2019-01-23 Nichia Corporation Method for producing conductive material, conductive material obtained by the same method, electronic device containing the conductive material, and light-emitting device
JP6665514B2 (ja) 2015-01-28 2020-03-13 三菱マテリアル株式会社 銀被覆粒子の製造方法
JP7302487B2 (ja) * 2020-01-14 2023-07-04 トヨタ自動車株式会社 複合粒子、及び複合粒子の製造方法
CN111490027B (zh) * 2020-03-19 2022-04-05 深圳第三代半导体研究院 一种骨架支撑金属膜及制备方法、烧结方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2593346B1 (fr) * 1986-01-17 1990-05-25 Nec Corp Substrat de cablage utilisant une ceramique comme isolant
US5156771A (en) * 1989-05-31 1992-10-20 Kao Corporation Electrically conductive paste composition
US5363297A (en) * 1992-06-05 1994-11-08 Larson Noble G Automated camera-based tracking system for sports contests
JP3587884B2 (ja) * 1994-07-21 2004-11-10 富士通株式会社 多層回路基板の製造方法
US5714997A (en) * 1995-01-06 1998-02-03 Anderson; David P. Virtual reality television system
US5882722A (en) * 1995-07-12 1999-03-16 Partnerships Limited, Inc. Electrical conductors formed from mixtures of metal powders and metallo-organic decompositions compounds
US5759230A (en) * 1995-11-30 1998-06-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Nanostructured metallic powders and films via an alcoholic solvent process
US5905000A (en) * 1996-09-03 1999-05-18 Nanomaterials Research Corporation Nanostructured ion conducting solid electrolytes
US6359647B1 (en) * 1998-08-07 2002-03-19 Philips Electronics North America Corporation Automated camera handoff system for figure tracking in a multiple camera system
JP4581156B2 (ja) 1999-05-14 2010-11-17 株式会社デンソー 導電性接着剤及びそれを部品接続材料として用いた回路基板
JP2001059107A (ja) * 1999-08-24 2001-03-06 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 金属若しくは合金粉末の改質方法とこの改質方法により得られた金属若しくは合金粉末およびこの金属若しくは合金粉末を用いた電子材料若しくは部品
JP4073126B2 (ja) 1999-10-13 2008-04-09 株式会社荏原製作所 導電接着剤
JP3737325B2 (ja) * 1999-10-15 2006-01-18 株式会社東芝 受信装置
JP4010717B2 (ja) 1999-10-15 2007-11-21 株式会社荏原製作所 電気接点の接合方法
WO2002035554A1 (en) * 2000-10-25 2002-05-02 Harima Chemicals, Inc. Electroconductive metal paste and method for production thereof
JP3900248B2 (ja) 2001-03-30 2007-04-04 ハリマ化成株式会社 多層配線板およびその形成方法
JP4090778B2 (ja) 2002-04-16 2008-05-28 株式会社フジクラ 酸化銀微粒子組成物およびその製造方法、導電性組成物、導電性被膜およびその形成方法
JP3767514B2 (ja) * 2002-04-26 2006-04-19 株式会社村田製作所 導電性ペースト
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