JP4488873B2 - 光照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数のＬＥＤを用い、ライン状の光を照射することができる光照射装置に関し、特にワーク（製品）の所定照射領域における傷の有無やマーク読み取り等の検査用として好適に用いられるものに関するものである。

従来、検査対象物であるＷＥＢ（連続物：フィルム・紙・金属板）等のインライン高速検査を行う場合、ラインセンサカメラを用い、流れていくワークの表面を次々と連続的に画像情報として取り込み、画像情報処理装置において明るさの違う部位を検出するなどして表面欠陥等を検出するようにしている。そしてその際に用いる照明装置（光照射装置）として、代表的には、ハロゲンランプや蛍光灯を利用したものが知られているが、近時では、特許文献１に示すように、速応性や光度安定性、寿命等に優れたＬＥＤを複数、列状に並べたものも開発されてきている。

ところがＬＥＤは点光源であり、特に砲弾型のものをライン状の光を得るべく一列に並べたとしても、全体としては不連続な光源となり、照度ムラができるという不具合がある。そこで、照度ムラを抑えようとして、ピッチを小さくして配置できるチップタイプのものを用いると幅方向に光が拡がりすぎ、指向性の点で難点を生じる結果、所望の明るさを得られないといった問題点が生じる。

特にパワーＬＥＤと呼ばれる超高輝度タイプのＬＥＤ３を用いた場合、放熱の問題も発生することから、ＬＥＤの発光部分間のピッチを大きくせざるを得ず、照度ムラの問題が顕著になる。
特開２００１−２１５１１５公報

そこで本発明は、それら不具合を一挙に解決すべく図ったものであって、不連続な点光源であるＬＥＤ列からの光を列方向に平均化し、照度ムラを抑制するとともに、幅方向の指向性を改善して効率を高め、さらには放熱の問題をも解決できる光照射装置を提供することをその主たる所期課題としている。

すなわち本発明に係る光照射装置は、ケーシングと、互いに一定距離離間させるとともに光軸を一定方向に揃えて前記ケーシングに１列に保持された複数のＬＥＤと、そのＬＥＤ列の左右に配置され、光照射方向に向かって徐々に拡開するリフレクタとを備えてなり、前記リフレクタがＬＥＤから出た光を反射して少なくとも列方向により均一化するものであり、ケーシングに一体化又は密着させて配置してあることを特徴とする。

本発明の効果が特に顕著となる具体的実施態様としては、前記ＬＥＤが連続して２００ｍＡ以上の電流を流すことが可能なパワーＬＥＤを挙げることができる。

リフレクタ形状の具体例としては、列方向からみた場合に、リフレクタの表面が光照射方向に向かって拡がる放物線を形成し、ＬＥＤから出た光を反射して略平行にするように構成しているものを挙げることができる。

照度ムラを無くしさらに照射される光を均一化するための実施の態様としては、前記リフレクタが、そのリフレクタの光照射方向側の先端部に、前記ＬＥＤからの光を拡散する拡散面を有することが考えられる。

種々の長さに柔軟に対応でき、しかも製造の標準化を図れるようにするには、一定数のＬＥＤを１列に保持するユニット基板をさらに有し、そのユニット基板を１又は複数個直列させてケーシングに取り付けるようにしているものが望ましい。この場合、ケーシングには押出（或いは引抜）成形品を用い、長さに応じて切断するようにすればよい。

照度ムラのより少ない光を得るためには、前記ＬＥＤ列の光照射方向側に配置され、ＬＥＤからでた光を少なくとも列方向に平均化しつつ透過させる透光板をさらに備えているものが好ましい。この透光板の具体例としては、列方向と垂直な筋目を有するレンチキュラレンズやプリズムシートを挙げることができる。もちろん、拡散に方向性のない通常の拡散板を用いてもよいし、レンチキュラレンズ等の拡散方向性のあるものと重ねて使用してもよい。

さらに効果的に放熱を行うには、ケーシングとＬＥＤとの間に熱伝導部材を介在させているものが好適である。同様の目的から、前記ケーシングに放熱フィンを一体に設けておけばなおよい。

上記に加えて放熱の効率を向上させるためには、前記熱伝導部材が、ＬＥＤを保持する基板の裏面とケーシングとの間に挟み込まれるように配置されるものであって、前記基板の各ＬＥＤに対応する部位に貫通孔を設け、その貫通孔に第２の熱伝導部材を嵌入して、その第２の熱伝導部材が、ＬＥＤの裏面と前記熱伝導部材とに接触するようにしていることが望ましい。さらに、前記ケーシングと前記熱伝導部材との接触面が凹凸面となるようにしていることが望ましい。

また、ＬＥＤ及びケーシング等の温度上昇を防ぐためには、前記ケーシングに、冷却用流体を流通させるための流通経路を設けていることが望ましい。

前記ケーシングが、光照射方向に開口するように側板と底板とから構成され、その底板にＬＥＤを保持するようにしたものである場合には、底板が最も温度が高くなるので、前記流通経路を、前記底板の内部に設けていることが好適である。

ＬＥＤの冷却を均一的に行うため、さらには配管上の利便を図るためには、前記流通経路が、列方向に延びる経路であり、少なくとも１回往復していることが挙げられる。

本発明に係る光照射装置は、全体を直方体状の形状とした場合、リフレクタが傾斜する形状であるため、リフレクタを形成するケーシングの側板が断面くさび形状にならざるを得ない。そうすると、無駄な肉厚が生じ、重くなるといった問題が生じ得る。そこでこの問題を好適に解消するとともに放熱を有効に行うには、前記側板表面に列方向に延びる複数段の凹溝を設けることにより、隣り合う凹溝と凹溝との間の突条部分が放熱フィンとして機能するように構成しているものが好ましい。凹溝を列方向に延ばしておけば、押出（引抜）成型加工が可能となるので、製造にも負担がかからないという効果をも生じる。

このような構成の本発明によれば、リフレクタによって、不連続な点光源であるＬＥＤ列からの光を列方向に平均化し、照度ムラを抑制することができる。またリフレクタが、列方向からみて所定角度以上拡がる光を反射し、光軸に平行に進む光に近づけるため、光の幅方向の指向性を改善して照射効率を高めることができる。さらにリフレクタをケーシングに一体形成或いは密着させているので、構成や製造に無理がかからず、ＬＥＤの放熱に必要なケーシングの大きさも十分確保できる。

＜第１実施形態＞

以下に本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。

図１〜図４は、本実施形態に係る光照射装置１を示している。この光照射装置１は、例えば検査物（ワーク）の所定照射領域にライン状の光を照射するもので、撮像装置（図示しない）で前記所定照射領域を撮影し、得られた画像データを画像処理装置（図示しない）で取り込んで傷等の有無の自動表面検査を行う製品検査システム等に用いられる。

具体的にこの光照射装置１は、ケーシング２と、光軸を一定方向に揃えて前記ケーシング２に１列に保持された複数のＬＥＤ３と、そのＬＥＤ列３Ｌの左右に配置され、光照射方向に向かって徐々に拡開するリフレクタ４とを備えている。

以下に各部を詳述する。

ケーシング２は、上方（光射出方向）に開口する長尺金属製の直方体形状をなすもので、左右一対の側板２１、底板２２、エンドプレート２３を備えている。側板２１は、例えば押し出し（引き抜き）成型したもので、長手方向からみて、内面が直線状に傾斜し、開口方向（光射出方向）に向かって徐々に拡開する拡開部２１１と、その拡開部２１１の基端に連続して設けられ、基端より幅狭で内面に段差を形成する基部２１２とからなる。なお、符号ＢＭは、側板２１の外面に設けためねじ孔で、例えばこの光照射装置１を図示しない保持部材に取り付けるときに用いることができる。底板２２は、平板状のもので、互いに内面を対向させて離間配置した前記側板２１の底面にねじ止め等により密着させて取り付けてある。エンドプレート２３は、側板２１の各端面に取り付けられる矩形板状のものである。

ＬＥＤ３は、連続して２００ｍＡ以上の電流を流すことが可能ないわゆるパワーＬＥＤと称されるもので、この実施形態では頂面中央に形成した発光部分３ａから光を射出する平らな直方体形状をなすチップタイプのものを用いている。かかるＬＥＤ３は、前記発光部分３ａが所定の間隔で直線１列に並ぶように配置される。この実施形態では、一定数（例えば１０個）をユニット基板である帯状平板型の配線基板５上に１列に取り付けるようにしている。ＬＥＤ３を取り付けた配線基板５は、必要とされる長さに応じて１又は複数直列させ、前記ケーシング底板２２の内面に、同数の熱伝導部材７を介して貼り付けている。熱伝導部材７は、配線基板５と略同じ幅、同じ長さを有する帯状の平板でシリコーン等の所定の粘弾性を有した絶縁性を有する素材で形成してある。このような素材であれば、配線基板５の裏側に配した抵抗等の部品Ｂがあってもその部分が凹むように変形し、配線基板５に理想的に面接触して熱伝導効率を高められるとともに、配線基板５をがたなく固定できる。

リフレクタ４は、前記側板２１における拡開部２１１の対向する内面に例えば白色系の塗料を塗布して当該側板２１に一体に形成したもので、その他に白色系樹脂板を前記内面に密着させてとりつけてもよい。このリフレクタ４は、その基端を、ＬＥＤ３の発光部分３ａと略同じ高さに設定してあり、ＬＥＤ３の光軸から所定角度以上外側に拡がる光のほぼ全てを受光し、１回乃至複数回反射して開口方向に向かって反射する。この過程で、ＬＥＤ３から出た光は少なくとも列方向により均一化されるとともに幅方向の指向性を高められ、ケーシング開口から射出される。反射効率をより高めるには、リフレクタ４は鏡面であってもよく、その反射過程で、ＬＥＤ３の光は他のＬＥＤ３の光と混ざり合い、やはり列方向により均一化されるとともに幅方向の指向性を高められ、ケーシング開口から射出される。

さらにこの実施形態では、ＬＥＤ３からでた光を少なくとも列方向に平均化しつつ透過させる透光板６を、前記ＬＥＤ列３Ｌの光照射方向側に一定距離離間させて配置している。より具体的にいうと、この透光板６は、帯状の平板で、ケーシング２の開口部を閉塞するように配置している。そのために、ケーシング側板２１の開口端部内面には、透光板６を挟み込んで保持するための保持溝２１ａが設けてある。透光板６は、例えば通常の無方向性の拡散板でよいが、この実施形態では、筋目をＬＥＤ３の列方向と直交する方向に形成し、主として列方向にのみ光を拡散するレンチキュラレンズ又はプリズムシートを用いている。

しかしてこのようなものであれば、リフレクタ４及び透光板６によって、不連続な点光源であるＬＥＤ列３Ｌからの光を列方向に平均化し、照度ムラを抑制することができる。またリフレクタ４が、列方向からみて所定角度以上拡がる光を反射し、光軸に平行に進む光に近づけるため、ライン光としての指向性を改善して照射効率を高めることができる。さらにリフレクタ４をケーシング２に一体形成或いは密着させているので、構成や製造に無理がかからず、ＬＥＤ３の放熱に必要なケーシング２の大きさも十分確保できる。

またその放熱に関して言えば、この実施形態では熱伝導部材７を用いてＬＥＤ３の底面をケーシング底板２２に面接続しているので、確実かつ効果的な放熱を行える。

さらに、一定数のＬＥＤ３を１列に保持する配線基板５を１又は複数個直列させてケーシング２に取り付けるようにしているため、部品の標準化を図りつつ、その配線基板５の直列数を変更することにより、段階的ではあるが種々の長さの光照射装置１を柔軟に製造することができる。ケーシング２は、例えばある程度の長さの側板２１及び底板２２を製造しておき、長さに応じて切断するようにすればよい。

＜第２実施形態＞

以下に第２実施形態を図面を参照して説明する。なお、前記第１実施形態における部材と対応する部材には同一の符号を付している。

図５〜図８は、本実施形態に係る光照射装置１を示している。この光照射装置１は、ケーシング２、リフレクタ４及び配線基板５の構成が前記第１実施形態と異なり、さらに、冷却機構９を有している。

本実施形態のケーシング２を構成する側板２１は、リフレクタ部材２１３とそのリフレクタ部材２１３をアリ溝方式で保持する保持部材２１４とからなる。

リフレクタ部材２１３は、その内面がリフレクタ４であり、外面には、アリ溝方式を採用するためのアリ溝Ａ１を設けている。リフレクタ部材２１３としては、金属製または樹脂製のものを用いることができる。好ましくは、リフレクタ部材２１３としては樹脂製のものが挙げられる。リフレクタ４は、蒸着面加工されているが、その先端部分は微少な凹凸を形成したり、あるいは白色塗装するなどして拡散面４１としている。また、列方向から見た場合に、リフレクタ４の表面が光照射方向に向かって拡がる放物線を形成し、ＬＥＤ３から出た光を反射して光軸と略平行にするように構成している。

保持部材２１４は、ＬＥＤ３を保持している配線基板５の側方において底板２２から上方（光照射方向）に起立していて、その内面にリフレクタ部材２１３のアリ溝Ａ１に嵌合されるアリＡ２を有しており、その先端部には階段状をなす鍔部２１５を有している。そして、鍔部２１５の内面とリフレクタ部材２１３の先端面とにより、透光板６を保持するための保持溝２１ａを形成している。さらに、保持部材２１４は、その外表面に、列方向に延びる複数段の凹溝Ｍを設けることにより、隣り合う凹溝Ｍと凹溝Ｍとの突条部分が放熱フィンＦとしての機能をするように構成している。リフレクタ部材２１３のアリ溝Ａ１に、保持部材２１４のアリＡ２を嵌合することにより、リフレクタ４をケーシング２にネジを使うことなく取り付けることができる。また、このような構成であれば押出（引抜）成形加工も可能であり、製造にも負担がかからない。なお、リフレクタ部材２１３にアリＡ２を形成し、保持部材２１４にアリ溝Ａ１を形成するようにしても良い。

また、ケーシング２を構成する底板２２は、熱伝導効率部材７との接触面積を大きくし熱伝導効率を高めるために、底板２２の熱伝導部材７との接触面が凹凸面となるようにしている。具体的には底板２２の上面２２３が、凹部分及び凸部分がともに列方向に延びる凹凸面となるようにしている。本実施形態では、熱伝導部材７としてシリコーン等の所定の粘弾性を有した絶縁性を有する素材を用いているので、熱伝導部材７と底板２２とを例えばネジで押圧密着させると、熱伝導部材７が変形してその接触面が凹凸面となる。これならば、熱伝導効率を向上させることができる上に、配線基板５の裏面に配した抵抗等の部品Ｂがあってもその部品Ｂの体積分の熱伝導部材７が凹凸面の凹部分に逃げることができるので、無理なく配線基板５と熱伝導部材７とを密着させることができる。また、熱伝導部材７が所定の粘弾性を有しない素材である場合には、その熱伝導部材７の接触面を底板２２の上面２２３の凹凸と密着するように凹凸に加工する。

ＬＥＤ３を取り付けた配線基板５は、必要とされる長さに応じて１又は複数直列させ、前記ケーシング底板２２の内面に、同数の熱伝導部材７を介して貼り付けている。そして、一列に配置される各ＬＥＤ３に対応する部位、つまりＬＥＤ３と配線基板５が接触する部分に例えば断面円形の貫通孔５１を設け、その貫通孔５１に例えば半田等の第２の熱伝導部材８を嵌入させ、第２の熱伝導部材８がＬＥＤ３の裏面と熱伝導部材７とに接触するようにしている。このとき、第２の熱伝導部材８は基板５よりも熱伝導率の大きいものを用いている。これにより、ＬＥＤ３から発生した熱が第２の熱伝導部材８に直接伝わり、さらに、熱伝導部材７に伝わるので、ＬＥＤ３からの熱を好適に底板２２に伝導することができる。

また本実施形態の光照射装置１は、上記構成に加えさらに冷却機構９を有している。

冷却機構９は、流通経路９１とその流通経路９１に冷却用流体（例えば空気）を導入するための導入ポート９２と、当該流体を導出するための導出ポート９３と循環ポンプ（図示しない）とからなる。

流通経路９１は、列方向に延びる直線経路９１１とその直線経路９１１に連続した曲線経路９１２とからなる。直線経路９１１は底板２２の内部に設けるようにしており、具体的には、底板２２のうち第１の底板部材２２１に列方向に有底の溝ＲＭ（本実施形態では４つ）を設け、その第１の底板部材２２１に第２の底板部材２２２をネジＮ１によって密着させることにより直線経路９１１を構成している。曲線経路９１２は、側板２１及び底板２２の各端面に取り付けられるエンドプレート２３の内側に凹部２３１を設けることにより構成している。このとき前記凹部２３１の開口の範囲中に隣り合う直線経路９１１の開口が含まれるようにしている。さらに、いずれか一方のエンドプレート２３の端面には導入ポート９２と導出ポート９３とを設けるようにしている。そして、導入ポート９２及び導出ポート９３は図示しない管により循環ポンプと接続している。

このように構成した本実施形態に係る光照射装置１によれば、リフレクタ４の先端部分に拡散面４１を設けているので、前記第１実施形態の光照射装置１よりもさらに照度ムラを抑制することができる。さらに、列方向からみた場合に、リフレクタ４の表面が光照射方向に向かって拡がる放物線を形成しているので、ＬＥＤ３から出た光を反射して光軸と略平行にすることができ、ライン光としての指向性を改善して照射効率を高めることができる。なお、リフレクタ部材２１３として、樹脂製のものを使用した場合には、光照射装置１のさらなる軽量化を図ることができる。

またその放熱に関して言えば、この第２実施形態ではＬＥＤ３の裏面に第２の熱伝導部材８を接触させ、その第２の熱伝導部材８に熱伝導部材７を接触させてＬＥＤ３の底面をケーシング底板２２に面接続させているので、一層確実かつ効果的な放熱を行える。さらに、熱伝導部材７と底板２２との接触面を凹凸面としているので、一定時間内に放熱する熱量を増やすことができ熱伝導効率を向上させることができる。加えて、底板２２に冷却用流体を流通させるための流通経路９１を設けているので、ＬＥＤ３及びケーシング２等の冷却を好適に行うことができる。このとき、冷却用流体が底板２２内で往復するようにしていることから、ＬＥＤ３の冷却の不均衡を防ぐことができ、各ＬＥＤ３の温度を平均化することができる。さらに、導入ポート９２及び導出ポート９３をエンドプレート２３の同じ面に設けているので、光照射装置１の取り扱いの容易化や配管の利便性の向上、設置場所の制約を少なくすることができる。加えて、底板２２は直線経路９１１のみを構成しているので、直列する配線基板５あるいは底板２２の数に応じて適宜流通経路９１を構成することができる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。なお、以下の説明で前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。

例えば、図９に示すように、列方向からみた場合に、リフレクタ４の表面が光照射方向に向かって拡がる放物線を形成し、ＬＥＤ３から出た光を反射して光軸と略平行にするように構成しても構わないし、その他、リフレクタ４の形状を目的に合わせて種々変形することは可能である。

また、前記第１実施形態では、リフレクタ４の表面を無方向性の拡散反射面にしていたが、例えば図９〜図１１に示すように、前記列方向と略直交する方向に多数の筋目を設け、断面が三角形の連続した形状や波形等にして、受光した光を略列方向にのみ平均化して反射するものとしてもよい。このようにすればさらに光照射効率が向上する。

加えて放熱効率をさらに高めるために、前記第１実施形態のケーシング２に放熱フィンＦを取り付けてもよい。組み立て工数等を考慮すると、ケーシング２と放熱フィンＦが一体成形されているものがより好ましい。例えば、図１２は、リフレクタ４を形成するケーシング２の側板２１における外表面に、列方向に延びる複数段の凹溝Ｍを設けることにより、隣り合う凹溝Ｍと凹溝Ｍとの間の突条部分が放熱フィンＦとして機能するように構成している。なお、同図中、前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付している。

このようなものであれば、リフレクタ４が傾斜する形状であることから概略断面がくさび形形状とならざるを得ず、厚肉の部分が生じて重くなりがちな側板２１の軽量化を、放熱フィンＦの生成とともに行うことができる。また凹溝Ｍを列方向に延ばしているので、押出（引抜）成型加工も可能であり、製造にも負担がかからない。

また、透光板や熱伝導部材は必ずしも必要なく、使用態様によっては省略可能である。ＬＥＤもパワーＬＥＤやチップタイプのものに限られず、通常の電流で動作するものや砲弾型のタイプでも構わない。

前記第２実施形態では、底板に直線経路及びエンドプレートに曲線経路を設け流通経路を構成したがこれに限られず、例えば、底板に直線経路及び曲線経路を設けるようにしても良い。この場合は、ＬＥＤ列の両端に冷却用流体が行き渡るように流通経路の長さを設定する。

その他、前記実施形態を含む前記した各構成を適宜組み合わせるようにしてもよく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。

以上に詳述したように、本発明によれば、不連続な点光源であるＬＥＤ列からの光を列方向に平均化し、照度ムラを抑制するとともに、指向性を改善して効率を高め、さらには放熱の問題をも解決できる光照射装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態における光照射装置を示す縦断面図。 同実施形態における光照射装置を示す平面図。 同実施形態における光照射装置を示す側面図。 同実施形態における光照射装置の分解斜視図。 本発明の第２実施形態における光照射装置を示す縦断面図。 同実施形態における熱伝導部材を主として示す拡大断面図。 同実施形態における光照射装置の流通経路を主として示す図。 同実施形態における光照射装置を示す斜視図。 本発明の他の実施形態における光照射装置を示す縦断面図。 本発明のさらに他の実施形態におけるリフレクタを示す部分斜視図。 同実施形態におけるリフレクタの表面形状の一例を示す部分断面図。 同実施形態におけるリフレクタの表面形状の他の例を示す部分断面図。 本発明のさらに他の実施形態における光照射装置を示す縦断面図。

符号の説明

１・・・光照射装置
２・・・ケーシング
３・・・ＬＥＤ
３ａ・・・発光部分
３Ｌ・・・ＬＥＤ列
４・・・リフレクタ
５・・・ユニット基板（配線基板）
６・・・透光板
７・・・熱伝導部材
４１・・・拡散面
５１・・・貫通孔
８・・・第２の熱伝導部材
９１・・・流通経路
２１・・・側板
２２・・・底板
Ｍ・・・凹溝
Ｆ・・・放熱フィン

Claims (12)

1. ケーシングと、
   光軸を一定方向に揃え、なおかつ発光部分同士が互いに所定距離離間するように前記ケーシングに１列に保持させた複数のＬＥＤと、
   そのＬＥＤ列の左右に配置され、光照射方向に向かって徐々に拡開するリフレクタと、
   前記ケーシングと前記ＬＥＤとの間に介在する粘弾性を有した絶縁性素材からなる熱伝導部材とを備えてなり、
   前記リフレクタがＬＥＤから出た光を反射して少なくとも列方向により均一化するものであり、ケーシングに一体化又は密着させて配置してあり、
   前記ケーシングと前記熱伝導部材との接触面が凹凸面となるようにしてあることを特徴とする光照射装置。
2. 前記ＬＥＤが連続して２００ｍＡ以上の電流を流すことが可能なパワーＬＥＤである請求項１記載の光照射装置。
3. 列方向からみた場合に、リフレクタの表面が光照射方向に向かって拡がる放物線を形成し、ＬＥＤから出た光を反射して光軸と略平行にするように構成している請求項１又は２記載の光照射装置。
4. 前記リフレクタが、そのリフレクタの光照射方向側の先端部に、前記ＬＥＤからの光を拡散する拡散面を有する請求項１、２又は３記載の光照射装置。
5. 一定数のＬＥＤを１列に保持するユニット基板をさらに有し、そのユニット基板を１又は複数個直列させてケーシングに取り付けるようにしている請求項１、２、３又は４記載の光照射装置。
6. 前記ＬＥＤ列の光照射方向側に配置され、ＬＥＤからでた光を少なくとも列方向に平均化しつつ透過させる透光板をさらに備えている請求項１、２、３、４又は５記載の光照射装置。
7. 前記熱伝導部材が、ＬＥＤを保持する基板の裏面とケーシングとの間に挟み込まれるように配置されるものであって、前記基板の各ＬＥＤに対応する部位に貫通孔を設け、その貫通孔に第２の熱伝導部材を嵌入して、その第２の熱伝導部材が、ＬＥＤの裏面と前記熱伝導部材とに接触するようにしている請求項１、２、３、４、５又は６記載の光照射装置。
8. 前記ケーシングに、冷却用流体を流通させるための流通経路を設けている請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の光照射装置。
9. 前記ケーシングが、光照射方向に開口するように側板と底板とから構成され、その底板にＬＥＤを保持するようにしたものであって、前記流通経路を、前記底板の内部に設けている請求項８記載の光照射装置。
10. 前記流通経路が、列方向に延びる経路であり、少なくとも１回往復している請求項８又は９記載の光照射装置。
11. 前記ケーシングに放熱フィンを一体に設けている請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載の光照射装置。
12. リフレクタを形成するケーシングの側板表面に、列方向に延びる複数段の凹溝を設けることにより、隣り合う凹溝と凹溝との間の突条部分が放熱フィンとして機能するように構成している請求項１１記載の光照射装置。