JP4506143B2

JP4506143B2 - Fine pattern printing method and printing apparatus

Info

Publication number: JP4506143B2
Application number: JP2003348661A
Authority: JP
Inventors: 廣伸須田; 靖匡秋本; 憲文古谷; 祐治久保; 豊司西本
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2003-10-07
Filing date: 2003-10-07
Publication date: 2010-07-21
Anticipated expiration: 2023-10-07
Also published as: JP2005115000A

Description

本発明は、カラーフィルタパターンなどの精細パターンの印刷方法とその印刷装置、およびカラーフィルタに関し、さらに詳しくは、所定の色層（Ｒ（赤）／Ｇ（緑）／Ｂ（青））を同時にカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷する方法、印刷装置に関するものである。 The present invention relates to a method for printing a fine pattern such as a color filter pattern, a printing apparatus therefor, and a color filter. More specifically, the present invention relates to a predetermined color layer (R (red) / G (green) / B (blue)) simultaneously. method of printing on a transparent substrate such as glass for a color filter, in which relates to the printing equipment.

従来からカラー液晶ディスプレイ装置等に使用されているカラーフィルタの製造方法としては、印刷法、フォトリソグラフィ法、転写法等が提案されて使用されてきたが、現在は、ほとんど全てのカラーフィルタはフォトリソグラフィ法で作成されている。その理由は、カラーフィルタの仕様が、画素サイズ、寸法精度、色ムラ精度等について、カラーディスプレイの高精細化に伴なって厳しくなり、フォトリソグラフィ法以外では、対応することが難しくなったためである。 Conventionally, printing methods, photolithography methods, transfer methods, etc. have been proposed and used as methods for producing color filters used in color liquid crystal display devices, but at present, almost all color filters are used in photo filters. It is created by lithography. The reason for this is that the specifications of the color filter have become stricter with respect to pixel size, dimensional accuracy, color unevenness accuracy, etc. as the color display becomes more precise, and it has become difficult to cope with other than photolithography. .

しかるに例えばカラー液晶テレビに対しては、低価格化が普及のために必須であり、カラーフィルタの低コスト化が必要である。しかし、フォトリソグラフィ法は、工程が長い上に使用する露光機等の装置が高額なため、低コスト化が限界に近く、他の低コストの製造方法が求められている。 However, for example, for color liquid crystal televisions, it is essential to reduce the price, and it is necessary to reduce the cost of the color filter. However, the photolithography method has a long process and an expensive apparatus such as an exposure machine to be used. Therefore, the cost reduction is close to the limit, and another low-cost manufacturing method is required.

勿論、このフォトリソグラフィ法においてもカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する上で低コスト化が試みられていて、シート状の印刷基材上にフォトレジストインクを塗布する方法として、従来からのフォトレジストインクをシート状のガラス板上の中央部に滴下する代わりに、先ずスロット型塗布ヘッドによりガラス板上の全面に平面状に厚く塗布し、次に高速で回転させることによって均一な塗布膜を形成することも行われている。
このような塗布手段によると、中央部に滴下する塗布手段に比してフォトレジストインクの消費量は少ないものの、これら何れの塗布手段も余分に投与したフォトレジストインクを高速回転による遠心力で除去することにより薄くて均一な塗布膜を形成することから、かなりの割合のフォトレジストインクが無駄になってしまう。 Of course, even in this photolithography method, cost reduction is attempted in manufacturing a color filter for a color liquid crystal display, and a conventional photoresist is applied as a method of applying a photoresist ink on a sheet-like printing substrate. Instead of dripping ink onto the center of the sheet-like glass plate, first apply a thick flat surface to the entire surface of the glass plate with a slot-type coating head, and then rotate at high speed to form a uniform coating film. It has also been done.
According to such a coating means, although the consumption amount of the photoresist ink is smaller than that of the coating means dripping at the central portion, the photoresist ink added by any of these coating means is removed by centrifugal force by high-speed rotation. By doing so, a thin and uniform coating film is formed, so that a considerable proportion of the photoresist ink is wasted.

一方、精細パターンを効率よく製造する方法として、スロット型塗布ヘッドで精密にフォトレジストインクの塗膜を制御して硬い被印刷体の表面上に塗布し、露光し、現像してパターンを形成するものがある。
しかしながら、ガラス基板等の被印刷体の表面上にフォトレジストインクを塗布し、パターンを露光・現像するには高価な露光機及び現像機を必要として費用がかかるため、印刷方式により精細パターンを作成する方法が提案されている。 On the other hand, as a method for efficiently producing a fine pattern, a coating film of photoresist ink is precisely controlled with a slot type coating head, applied onto the surface of a hard substrate, exposed and developed to form a pattern. There is something.
However, applying a photoresist ink on the surface of a substrate such as a glass substrate and exposing and developing the pattern requires an expensive exposure machine and developing machine. A method has been proposed.

印刷方式で精細パターンのカラーフィルタを作成する従来技術としては、例えばＲ（赤）／Ｇ（緑）／Ｂ（青）三色のインクの画像をブランケット胴に転写し、この画像を印刷定盤上のガラス基板に転写して３色印刷を行う方法が特許文献１に開示されている。
また、展色平版を介してローラ表面の凸版にインクを転写し、このローラをガラス基板上を転動させることにより凸版のインクを印刷する方法が特許文献２に開示されている。
更に、シリコーンブランケット上に機能性樹脂の塗布面を形成し、凹版又は凸版を塗布面に押圧し、押圧部分の樹脂をシリコーンブランケット上から除去し、残った樹脂を被印刷体に転写する画像形成法が特許文献３に開示されている。
転写ロールの表面にスロットノズルを用いてフォトレジストの塗布膜を設け、乾燥した後レーザー光によってパターン描画し、これを現像して、転写ロール表面にレジストパターンを形成し、加熱加圧によってガラス基板に転写してレジストパターンを形成する方法が特許文献４に開示されている。
一方、カラーフィルタを形成するに際してインクジェット装置を使用する例は特許文献５に開示され、更にインクジェット装置を使用して転写する例は特許文献６に開示されている。
特開平６−９３９号公報特開平６−２７３１６号公報特開２０００−２８９３２０号公報特開２００２−７１９３２号公報特開２００２−３７２６１３号公報特開平１１−３１１７０７号公報 As a conventional technique for creating a color filter with a fine pattern by a printing method, for example, an R (red) / G (green) / B (blue) three-color ink image is transferred to a blanket cylinder, and this image is printed on a surface plate. Patent Document 1 discloses a method of performing three-color printing by transferring to the upper glass substrate.
Further, Patent Document 2 discloses a method in which ink is transferred onto a relief plate on the surface of a roller via a color developing lithographic plate, and the ink on the relief plate is printed by rolling the roller on a glass substrate.
Further, an image formation is performed in which a functional resin coating surface is formed on the silicone blanket, the intaglio or letterpress is pressed against the coating surface, the resin at the pressed portion is removed from the silicone blanket, and the remaining resin is transferred to the printing medium. The law is disclosed in US Pat.
A coating film of a photoresist is provided on the surface of the transfer roll using a slot nozzle, and after drying, a pattern is drawn with a laser beam, and this is developed to form a resist pattern on the surface of the transfer roll. Patent Document 4 discloses a method for forming a resist pattern by transferring the film to the substrate.
On the other hand, an example of using an ink jet device when forming a color filter is disclosed in Patent Document 5, and an example of transferring using an ink jet device is disclosed in Patent Document 6.
JP-A-6-939 JP-A-6-273316 JP 2000-289320 A JP 2002-71932 A JP 2002-372613 A JP 11-311707 A

上記インクジェット装置の利用はインクジェット装置自体の性能が向上してきたことから精細パターンを得る上で有効であるが、このインクジェット印刷法においては、カラーフィルタ基板に色材の液滴が衝突した際の広がりを所定範囲内に規定するための壁や固化したカラーフィルタ用インクに対して離型性を有する表面のパターンが必要となる。
しかし、壁や固化したカラーフィルタ用のインキに対して離型性を有する表面のパターンを形成する方法としてのフォトリソグラフィ法が使用されているので、低コスト化の妨げとなっている。さらに、インクジェットインキの着弾時には表面張力で丸くなるが、溶剤が飛ぶにつれて真ん中が凹んだり、出っ張ったりして平滑にコントロールするのが難しかった。
そこで、本発明は、インクジェット装置を使い、寸法精度の要求されるものへのパターンを作成する際に、インキのロスを少なく、有効に用いて材料費を低減させるとともに、インク膜厚の面内バラツキを少なくして歩留りを向上させることを課題とし、高品質の寸法精度の要求されるものへのパターンを廉価に製造することを可能にすることを目的とするものである。 The use of the above-described ink jet device is effective in obtaining a fine pattern since the performance of the ink jet device itself has been improved, but in this ink jet printing method, the spread when the color material droplet collides with the color filter substrate. For the surface to have a releasability with respect to the wall and the solidified color filter ink.
However, since a photolithography method is used as a method for forming a surface pattern having releasability with respect to walls and solidified ink for a color filter, it is an obstacle to cost reduction. In addition, the ink is rounded by the surface tension when the ink jet ink is landed, but it is difficult to control smoothly because the center is recessed or protrudes as the solvent flies.
Therefore, the present invention uses an ink jet device to create a pattern for a device that requires dimensional accuracy, and reduces ink loss, effectively uses it to reduce material costs, and reduces the ink film thickness. An object of the present invention is to improve the yield by reducing the variation, and to make it possible to inexpensively manufacture a pattern for a product that requires high quality dimensional accuracy.

（請求項１の発明）
上記の目的を達成するために、本発明は、複数の構成色からなる精細パターンを透明基材に印刷するに当たり、固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている版面を下向きにして配置された可撓性平板状版の前記凹部それぞれに、前記可撓性平板状版の下方で移動して上向きにインキ噴射するインクジェット装置からなるインキ供給手段により、凹部に対応する構成色のインキを供給して、可撓性平板状版の撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がったインキの形状の精細パターンを形成し、前記精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、前記可撓性平板状版と前記透明基材とを重ね合わせ、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版を透明基材側に押圧して、構成色のインキからなる精細パターンを透明基材に転移することを特徴とする精細パターンの印刷方法を提供して、上記課題を解消するものである。なお、インキの溶剤が蒸発した後でもインキには光硬化性樹脂などが含まれており、完全には固化しない。 (Invention of Claim 1)
To achieve the above object, the present invention is ink repellent pattern Upon printing on BenQ material permeable fine pattern composed of a plurality of component colors, the surface having a releasing property with respect to each ink solidified component color to each of the recesses of the flexible flat plate spacers are disposed in the downwardly the plate surface it is projected on the ink repellent pattern portion to form a enclosed by fine recesses respectively in parts, the flexible Ink supply means consisting of an ink jet device that moves under the flat plate and jets ink upwards supplies ink of the constituent color corresponding to the concave portion, and below the ink repellent pattern portion of the flexible flat plate forming a fine pattern in the shape of raised ink toward, after the solvent of the ink of the fine pattern has evaporated, superposing said transparent substrate and said flexible flat plate, the space With the ink-repellent pattern portion and the transparent base material in contact with each other, the flexible flat plate is pressed against the transparent base material side so that the fine pattern made of the constituent color ink is transparent. A fine pattern printing method characterized by transferring to a material is provided to solve the above problems. Even after the ink solvent evaporates, the ink contains a photocurable resin and the like and does not completely solidify.

（請求項２の発明）
この発明において、上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一のガラスまたは鉄−ニッケル合金とすることが可能である。
（請求項３の発明）
また、上記可撓性平板状版は、弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させるものとすることが可能である。
（請求項４の発明）
さらに、上記可撓性平板状版は、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうものとすることが可能である。
（請求項５の発明）
さらにまた、上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキを、該インキに対して溶剤蒸発条件を与えるインキ溶剤蒸発手段により、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にすることが可能である。
（請求項６の発明）
さらに、上記透明基材を、上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で移動可能に設け、該可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なうものとすることが可能である。
（請求項7の発明）
さらに、上記可撓性平板状版の透明基材への押圧を、可撓性平板状版上を転動移動する胴体により行なって、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させ、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させた後、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離するものとすることが可能である。
（請求項8の発明）
さらに、上記精細パターンを上記透明基材に転移した後、前記透明基材の前記精細パターンが転移された側に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、前記透明基材の前記裏露光樹脂ブラックレジストが塗布されている側の反対側から紫外線を照射し、前記裏露光樹脂ブラックレジストを現像することにより、遮光パターンを位置精度よく形成することが可能である。 (Invention of Claim 2)
In the present invention, the transparent substrate is a glass plate for a color filter, the substrate of the flexible flat plate, the thermal expansion coefficient identical Garasuma other and the thermal expansion coefficient of the glass plate for the color filter iron -It can be a nickel alloy.
(Invention of Claim 3)
Further, the flexible flat plate is attached to the elastic deformable sheet material soluble by upon flexible tabular version of separation after pressing to the transparent substrate, causing the inclination of the sheet material It is possible to separate the flexible flat plate from the transparent substrate by curling it up.
(Invention of Claim 4)
Further, the flexible flat plate is supported so as to be position-adjustable within a plane at a height position above the ink supply means before ink supply, and is aligned with the ink supply means. It can be done.
(Invention of Claim 5)
Furthermore, the ink of fine patterns formed on the flexible flat plate, the ink solvent evaporation means giving Solvent evaporation conditions to said ink, it can be solvent evaporation while maintaining the ink viscosity It is.
(Invention of Claim 6)
Further, the transparent base material is provided so as to be movable at a lower height position of the flexible flat plate, and the transparent base material can be formed before the flexible flat plate and the transparent base material are overlapped. It is possible to align the flexible flat plate.
(Invention of Claim 7)
Further, the flexible flat plate is pressed against the transparent substrate by a body that rolls and moves on the flexible flat plate, and the fine pattern ink of the flexible flat plate is transferred to the transparent substrate. After the ink is solidified by irradiating with ultraviolet rays in a state where the flexible flat plate and the transparent base material are overlapped, after the moving direction of the body that rolls and moves on the flexible flat plate It is possible to roll up the flexible flat plate from the rear side and separate the flexible flat plate from the transparent substrate.
(Invention of Claim 8)
Further, after transferring the fine pattern to the transparent substrate, a back exposure resin black resist is applied to the side of the transparent substrate to which the fine pattern is transferred, and the back exposure resin black resist of the transparent substrate is applied. By irradiating ultraviolet rays from the side opposite to the coated side and developing the back-exposed resin black resist, it is possible to form a light shielding pattern with high positional accuracy.

（請求項9の発明）
もう一つの発明は、複数の構成色からなる精細パターンを透明基材に印刷する印刷装置であって、固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている版面を下向きにして配置された可撓性平板状版と、前記可撓性平板状版の下方で移動して上向きにインキ噴射するインクジェット装置からなり、前記可撓性平板状版の凹部それぞれに、該凹部に対応する構成色のインキを供給するインキ供給手段と、前記インキ供給手段により凹部それぞれに撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がった形状にして供給されたインキの溶剤が蒸発した後に前記透明基材に重ね合された可撓性平板状版を、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で透明基材側に押圧して、精細パターンのインキを透明基材に密着させて透明基材に転移させるインキ転移手段とを備えることを特徴とする精細パターンの印刷装置であり、この精細パターンの印刷装置を提供して上記課題を解消するものである。 (Invention of Claim 9)
Another invention is a printing apparatus for printing a fine pattern composed of a plurality of component colors to Toru BenQ material, respectively ink repellent pattern portion on the surface having releasability against the solidified component colors each ink A flexible flat plate disposed with the plate surface on which the ink-repellent pattern portion is provided with a spacer projecting downward and forming a fine recess surrounded by the ink-repellent pattern portion, and below the flexible flat plate An ink jet device that moves and ejects ink upward, and supplies ink to each of the concave portions of the flexible plate-like plate by supplying ink of a constituent color corresponding to the concave portion to each of the concave portions by the ink supply means. a flexible flat plate wherein are superposed on the transparent substrate after the solvent ink supplied to the raised shape downward from the ink repellent pattern portion is evaporated, and between the spacer An ink transfer means for pressing the repellent ink pattern portion and the transparent base material against the transparent base material in a non-contact state, causing the fine pattern ink to adhere to the transparent base material and transferring to the transparent base material; The fine pattern printing apparatus is characterized in that the fine pattern printing apparatus is provided to solve the above problem.

（請求項１０の発明）
上記発明において、上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一のガラスまたは鉄−ニッケル合金とすることが可能である。
（請求項１１の発明）
また、上記可撓性平板状版は、弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材へのインキの転移における可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の弾性変形を伴った傾斜引き起こしによる可撓性平板状版の捲り上げが可能な構成とすることが可能である。
（請求項１２の発明）
さらに、インキ供給前の上記可撓性平板状版を上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持して、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なう位置合わせ手段を備えるものとすることが可能である。
（請求項１３の発明）
さらにまた、上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキに、溶剤蒸発条件を与えて、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にするインキ溶剤蒸発手段を備えるものとすることが可能である。
（請求項１４の発明）
また、インキ供給後の上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で上記透明基材を移動可能に支持する定盤を備え、該定盤が、前記可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なう構成とすることが可能である。
（請求項１５の発明）
そして、上記インキ転移手段は、上記透明基材に重ね合わせた可撓性平板状版上を転動移動して可撓性平板状版を透明基材に押圧して、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させる胴体と、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させる紫外線照射装置とを備え、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離することが可能である。
（請求項１６の発明）
さらに、上記インキ転移手段により上記精細パターンが転移された上記透明基材上に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、紫外線照射により上記精細パターンの形成面とは反対側から露光し、現像して、遮光パターンを形成する手段を有することにより、遮光パターンを形成することが可能である。 (Invention of Claim 10)
In the above invention, the transparent substrate is a glass plate for a color filter, the substrate of the flexible flat plate, the thermal expansion coefficient identical Garasuma other and the thermal expansion coefficient of the glass plate for the color filter iron -It can be a nickel alloy.
(Invention of Claim 11)
Further, the flexible flat plate is attached to the elastic deformable sheet material, upon separation of the flexible tabular version of the ink transfer to the transparent substrate, the elastic deformation of the sheet material It is possible to adopt a configuration that allows the flexible flat plate to be rolled up by causing the accompanying inclination.
(Invention of Claim 12)
Further, the flexible flat plate before ink supply is supported so as to be position-adjustable in a plane at a height position above the ink supply means, and the position to align with the ink supply means It is possible to provide a matching means.
(Invention of Claim 13)
Furthermore, the ink of fine patterns formed on the flexible flat plate, giving Solvent evaporation conditions, can be made with the ink solvent evaporation means to solvent evaporation while maintaining the ink viscosity It is.
(Invention of Claim 14)
And a platen that movably supports the transparent substrate at a lower height position of the flexible plate after ink supply, the platen comprising the flexible plate and the transparent base plate. It is possible to adopt a configuration in which the transparent substrate is aligned with the flexible flat plate before overlapping with the material.
(Invention of Claim 15)
The ink transfer means rolls and moves on the flexible flat plate overlapped with the transparent substrate, presses the flexible flat plate against the transparent substrate, and A flexible body comprising a body for closely adhering the fine pattern ink to the transparent substrate, and an ultraviolet irradiation device for solidifying the ink by irradiating ultraviolet rays in a superposed state of the flexible flat plate and the transparent substrate. The flexible flat plate can be separated from the transparent substrate by rolling up the flexible flat plate from the rear side in the moving direction of the body that rolls and moves on the conductive flat plate.
(Invention of Claim 16)
Furthermore, a back-exposed resin black resist is applied on the transparent substrate on which the fine pattern has been transferred by the ink transfer means, exposed from the side opposite to the fine pattern forming surface by ultraviolet irradiation, developed, By having means for forming the light shielding pattern, it is possible to form the light shielding pattern.

（請求項１の発明の効果）
上記請求項１の発明方法によれば、インキ供給手段により供給された精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、可撓性平板状版と透明基材とを重ね合わせ、可撓性平板状版の撥インキパターン部のスペーサを間にして撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版を透明基材側に押圧して、固化した構成色のインキからなる精細パターンを透明基材に転移するので、カラーフィルタなどにおける精細パターンを、遮光パターン部より先に透明基材上で膜厚均一にして形成することとなり、また、カラーフィルタを得る上で、遮光パターン部へのカラーフィルタ構成色のインキの付着が防止できるとともに、供給するインキを多少多めにすることが可能となって、印刷工程でのバラツキに対する許容範囲が広がり、安定した製造を行うことができる。そして、インキの供給に際して、下から上に噴射してインキを可撓性平板状版にインキングするので、従来方法では凹部のインキ隔壁からインキが溢れたような低い隔壁であっても、可撓性平板状版の印刷面は下向きであるのでインクは溢れない効果がある。 (Effect of the invention of claim 1)
According to the method of the first aspect of the present invention, after the solvent of the fine pattern ink supplied by the ink supply means evaporates, the flexible flat plate and the transparent substrate are overlapped to form the flexible flat plate. With the spacer of the ink repellent pattern part in between and the ink repellent pattern part and the transparent substrate in a non-contact state, the flexible flat plate is pressed against the transparent substrate side to solidify the constituent color. Since the fine pattern made of ink is transferred to the transparent substrate, the fine pattern in the color filter or the like is formed with a uniform film thickness on the transparent substrate prior to the light shielding pattern portion. Therefore, it is possible to prevent the ink of the color filter constituent colors from adhering to the light-shielding pattern portion, and it is possible to increase the amount of ink to be supplied, which increases the tolerance for variations in the printing process. It is possible to perform stable production. In addition, when ink is supplied, the ink is ejected from the bottom up to inking the ink into the flexible plate-like plate. Since the printing surface of the flexible flat plate is downward, the ink does not overflow.

（請求項２の発明の効果）
また、請求項２の発明方法によれば、透明基材をカラーフィルタ用ガラス板とし、可撓性平板状版の基板を、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一のガラスまたは鉄−ニッケル合金とすることで、位置合わせ精度が向上し、印刷時の温度による影響が少なくなる。 (Effect of the invention of claim 2)
According to the invention of claim 2, the transparent base material is a glass plate for a color filter, and the substrate of the flexible flat plate has the same thermal expansion coefficient as that of the glass plate for a color filter . Garasuma other iron - with nickel alloy, improves the positioning accuracy, the influence of temperature during printing is reduced.

（請求項３の発明の効果）
請求項３の発明方法によれば、可撓性平板状版が、弾性変形可能なシート材に貼着されることで、可撓性平板状版が持つ可撓性を発揮させ易くなり、透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させることで、インキの転移が確実になる。 (Effect of the invention of claim 3)
According to the method of the invention of claim 3, the flexible flat version, that is adhered to the elastic deformable sheet material, easily to exhibit flexibility flexible flat plate has, When separating the flexible flat plate after pressing on the transparent substrate, the ink is transferred by causing the sheet material to tilt and causing the flexible flat plate to be bent up and separated from the transparent substrate. Is certain.

（請求項４の発明の効果）
請求項４の発明方法によれば、可撓性平板状版が、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうので、インキ供給手段との精密な位置決めが可能となり、かつ可撓性平板状版が下方に撓むのを防止し、これによりインキ供給手段との間隔を一定に保持してインキ供給を平らな可撓性平板状版に対して行なえるようになる。 (Effect of the invention of claim 4)
According to the fourth aspect of the present invention, the flexible flat plate is supported so as to be position-adjustable in a plane at a height position above the ink supply means before supplying the ink. Therefore , precise positioning with the ink supply means is possible, and the flexible flat plate is prevented from being bent downward, thereby maintaining a constant distance from the ink supply means. The ink supply can be carried out on a flat flexible plate.

（削除）(Delete)

（請求項５の発明の効果）
請求項５の発明方法によれば、可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキを、該インキに対して溶剤蒸発条件を与えるインキ溶剤蒸発手段により、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にするので、透明基材へのインキ転移が容易となり、かつ所定の押圧力、所定の印刷速度によりインキを転移することができ、インキの膜厚が均一になるとともに所望のインキ膜厚を得ることができる。 (Effect of the invention of claim 5)
According to the method of the invention of claim 5, the ink of fine patterns formed on a flexible flat plate, the ink solvent evaporation means giving Solvent evaporation conditions to said ink, solvent evaporation holding the ink viscosity Therefore, it is easy to transfer the ink to the transparent base material, and the ink can be transferred with a predetermined pressing force and a predetermined printing speed. Obtainable.

（請求項６の発明の効果）
請求項６の発明方法によれば、透明基材を、可撓性平板状版の下方の高さ位置で移動可能に設け、該可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なうので、透明基材の所定位置に精細パターンを転移させることができる。 (Effect of the invention of claim 6)
According to the inventive method of claim 6 , the transparent base material is provided so as to be movable at a height position below the flexible flat plate, and before the flexible flat plate and the transparent base material are overlapped with each other. Since the transparent base material is aligned with the flexible flat plate, the fine pattern can be transferred to a predetermined position of the transparent base material.

（請求項７の発明の効果）
請求項７の発明方法によれば、可撓性平板状版の透明基材への押圧を、可撓性平板状版上を転動移動する胴体により行なって、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させ、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させた後、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離するので、透明基材に密着して固化したインキが、可撓性平板状版の捲り上げによりその可撓性平板状版の捲り端側から確実に剥離して透明基材に転移するようになる。 (Effect of the invention of claim 7)
According to the seventh aspect of the invention, the flexible flat plate is pressed against the transparent base material by the body that rolls and moves on the flexible flat plate, so that the fineness of the flexible flat plate can be reduced. The ink of the pattern is brought into close contact with the transparent substrate, and the ink is solidified by irradiating with ultraviolet rays in a state where the flexible flat plate and the transparent substrate are overlapped, and then rolled on the flexible flat plate. The flexible flat plate is rolled up from the rear side of the moving body in the moving direction, and the flexible flat plate is separated from the transparent base material. As a result, the flexible flat plate is surely peeled off from the rolled end side of the flexible flat plate and transferred to the transparent substrate.

（請求項８の発明の効果）
請求項８の発明方法によれば、精細パターンを透明基材に転移した後、前記透明基材の前記精細パターンが転移された側に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、前記透明基材の前記裏露光樹脂ブラックレジストが塗布されている側の反対側から紫外線を照射し、前記裏露光樹脂ブラックレジストを現像することにより遮光パターンを位置精度よく形成することが可能になる。 (Effect of the invention of claim 8)
According to the invention method of claim 8 , after transferring the fine pattern to the transparent substrate, a back exposure resin black resist is applied to the side of the transparent substrate where the fine pattern is transferred, and the transparent substrate By irradiating ultraviolet rays from the side opposite to the side where the back-exposed resin black resist is applied and developing the back-exposed resin black resist, it becomes possible to form a light shielding pattern with high positional accuracy.

（請求項９の発明の効果）
請求項９の発明装置によれば、カラーフィルタなどにおける精細パターンを、遮光パターン部より先に透明基材上で膜厚均一にして形成でき、また、供給するインキを多少多めにすることが可能となって、印刷工程でのバラツキに対する許容範囲が広がり、安定した製造を行うことができる。そして、インクジェット装置により、下から上に噴射してインキを可撓性平板状版にインキングするので、従来方法ではインク隔壁からインクが溢れたような低い隔壁であっても、可撓性平板状版は下向きであるので、インキは溢れない効果がある。 (Effect of the invention of claim 9)
According to the ninth aspect of the present invention, a fine pattern in a color filter or the like can be formed with a uniform film thickness on a transparent substrate prior to the light shielding pattern portion, and the amount of ink to be supplied can be somewhat larger. Thus, the tolerance for variation in the printing process is widened, and stable production can be performed. Then, since the ink is ejected from the bottom to the top by the ink jet device, the ink is inked into the flexible flat plate, so that the conventional method uses a flexible flat plate even with a low barrier such as ink overflowing from the ink partition. Since the plate is downward, the ink does not overflow.

（請求項１０の発明の効果）
請求項１０の発明装置によれば、可撓性平板状版が、透明基材との熱膨張率と同一のガラスまたは鉄−ニッケル合金を基板としているため、位置合わせ精度が向上し、印刷時の温度による影響が少なくなる。 (Effect of the invention of claim 10)
According to the invention apparatus of claim 10 , since the flexible flat plate is made of glass or iron-nickel alloy having the same thermal expansion coefficient as that of the transparent base material, the alignment accuracy is improved and printing is performed. The effect of temperature is less.

（請求項１１の発明の効果）
請求項１１の発明装置によれば、可撓性平板状版が、弾性変形可能なシート材に貼着して支持されるので、可撓性平板状版が持つ可撓性を発揮し、透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させることで、インキの転移が確実になる。 (Effect of the invention of claim 11)
According to the invention according to claim 11, the flexible flat version, because it is supported by sticking to the elastic deformable sheet material, flexibility to exert with the flexible flat plate, When separating the flexible flat plate after pressing onto the transparent substrate, the ink is transferred by causing the flexible flat plate to bend up and separated from the transparent substrate by causing the sheet material to tilt. Is certain.

（請求項１２の発明の効果）
請求項１２の発明装置によれば、定盤により可撓性平板状版が、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうので、インキ供給手段との精密な位置決めが可能となり、かつ可撓性平板状版が下方に撓むのを防止し、これによりインキ供給手段との間隔を一定に保持してインキ供給を平らな可撓性平板状版に対して行なえるようになる。 (Effect of the invention of claim 12)
According to the invention apparatus of claim 12, the flexible flat plate is supported by the surface plate so as to be position-adjustable in a plane at a height position above the ink supply means before supplying the ink, since aligning the relative ink supply means, it allows precise positioning of the ink supply means, and a flexible flat plate is prevented from bending downward, thereby the interval between the ink supply means The ink can be supplied to a flat flexible flat plate while keeping the ink constant.

（削除）(Delete)

（請求項１３の発明の効果）
請求項１３の発明装置によれば、インク乾燥手段が可撓性平板状版の凹部に供給されたインキの溶剤を飛ばし、かつインキ粘性を失わないように溶剤蒸発するため、透明基材へのインキ転移が容易となり、かつ所定の押圧力、所定の印刷速度によりインキを転移することができ、インキの膜厚が均一になるとともに所望のインク膜厚を得ることができる。 (Effect of the invention of claim 13)
According to the invention apparatus of claim 13 , since the ink drying means blows off the solvent of the ink supplied to the concave portion of the flexible flat plate and the solvent evaporates so as not to lose the ink viscosity, Ink transfer is facilitated, and the ink can be transferred with a predetermined pressing force and a predetermined printing speed, so that the ink film thickness can be uniform and a desired ink film thickness can be obtained.

（請求項１４の発明の効果）
請求項１４の発明装置によれば、透明基材は、平面内を移動可能な定盤に支持されて可撓性平板状版と位置合わせするため、カラーフィルタ用ガラスの所定の位置にインキを転移させることができる。 (Effect of the invention of claim 14)
According to the fourteenth aspect of the present invention, the transparent base material is supported by the surface plate movable in the plane and aligned with the flexible flat plate, so that the ink is applied to a predetermined position of the color filter glass. Can be transferred.

（請求項１５の発明の効果）
請求項１５の発明装置によれば、インクジェット装置のインキは、版からガラスに密着するまでは、柔らかく、紫外線照射で硬化するようになる。そして胴体を転動しながら可撓性平板状版を押圧することで透明基材にインキを密着することができ、インキの膜厚が均一にした状態での固化した後に、可撓性平板状版を胴体で押さえて撓ませながらその可撓性平板状版の端から順次剥離することができる。 (Effect of the invention of claim 15)
According to the fifteenth aspect of the present invention, the ink of the ink jet apparatus is soft until it comes into close contact with the glass from the plate, and is cured by ultraviolet irradiation. Then, by pressing the flexible flat plate while rolling the body, the ink can be brought into close contact with the transparent base material, and after the ink is solidified in a uniform state, the flexible flat plate is formed. The plate can be peeled sequentially from the end of the flexible flat plate while being pressed by the body and bent.

（請求項１６の発明の効果）
本発明のインクジェット装置を使用する可撓性平板状版を用いた印刷装置は、撥インキパターン部の厚さを小さくしてもインクジェット装置によりインキ供給をすることができ、パターンの膜厚が高精度に一定になる。印刷における位置精度を高度に改善し、透明基材上に形成された精細パターンの表面を平滑にすることが可能となる、そして、寸法精度の要求されるものへのパターン作成に適した印刷装置となる。さらに印刷した後で、請求項１６のように裏露光樹脂ブラックレジストを用いて精度の良好なブラックマトリクスを高価な露光機を使用しなくても作成でき、安価なカラーフィルタを作成できる。 (Effect of the invention of claim 16)
The printing apparatus using the flexible flat plate using the inkjet apparatus of the present invention can supply ink by the inkjet apparatus even if the thickness of the ink repellent pattern portion is reduced, and the pattern film thickness is high. The accuracy becomes constant. A printing apparatus that can improve the positional accuracy in printing to a high level, smooth the surface of fine patterns formed on a transparent substrate, and is suitable for creating patterns for those that require dimensional accuracy. It becomes. Further, after printing, a black matrix with good accuracy can be formed using a back-exposed resin black resist as in claim 16 without using an expensive exposure machine, and an inexpensive color filter can be formed.

つぎに、本発明に係る精細パターンの印刷装置の実施の形態について説明する。
（支持手段）
図１と図２は精細パターンの印刷装置１における後述の可撓性平板状版２の支持手段３を示していて、金属等で形成された枠材４に外周部が固定されて緊張した紗構造のシート材５からなるものである。ここで紗構造とは、所謂紗織りに類似する細かい目を備えている構造であって、例えばスクリーン印刷用のスクリーン（紗）が前記シート材５として用いることができものである。この紗構造のシート材５は弾力性を備えていて弾性変形可能とされている。そして可撓性平板状版２はシート材５の下面にインキ受け面が下方となるようにしてインキ受け面の反対面全面が貼着され、シート材５の弾性変形によって可撓性平板状版２が撓み変形できるように設けられているものである。
なお、図１は支持手段３を印刷装置セット状態時の斜め上方から見た状態を示し、図２は同じく印刷装置セット状態時の斜め下方から見た状態を示している。 Next, an embodiment of a fine pattern printing apparatus according to the present invention will be described.
(Supporting means)
1 and 2 show a support means 3 for a flexible flat plate 2 described later in a fine pattern printing apparatus 1, and the tension is fixed with the outer periphery fixed to a frame material 4 made of metal or the like. It consists of a sheet material 5 having a structure. Here, the wrinkle structure is a structure having fine eyes similar to a so-called wrinkle weave, and for example, a screen printing screen (claw) can be used as the sheet material 5. The sheet material 5 having the ridge structure has elasticity and is elastically deformable. The flexible flat plate 2 is adhered to the lower surface of the sheet material 5 so that the ink receiving surface faces downward, and the entire surface opposite to the ink receiving surface is adhered. 2 is provided so that it can be bent and deformed.
1 shows a state in which the support means 3 is viewed from obliquely above when the printing apparatus is set, and FIG. 2 similarly shows a state when viewed from obliquely below when the printing apparatus is set.

図３は精細パターンの印刷装置１を概略的に示していて、可撓性平板状版２を支持している上記支持手段３が取付けられる前の状態を表している。この印刷装置１はバキューム孔付き定盤６と、上方に図示しないインキヘッドを配して基台７に沿って移動可能に設けられているインキ供給手段８と、透明基材であるカラーフィルタ用ガラス板９を保持して同じように基台７に沿って移動可能に設けられた定盤１０と、胴体１１を備えて前記定盤１０とともに移動し、必要時に胴体１１が転動移動するインキ転移手段１２とからなるものである。
（バキューム孔付定盤）
上記バキューム孔付き定盤６はＸ方向（基台７の長さ方向）およびＹ方向（基台７の幅方向）の移動と、θ軸回転（垂直軸線回りの回転）とを可能にするため、図示しないコンピュータ装置などの制御部にてＸ・Ｙ・θ制御される。そして、上記支持手段３に固定されている可撓性平板状版２は、印刷工程の版セットに際して図４のようにバキューム孔付き定盤６に紗構造のシート材５を介して背面（平坦面）側が吸引固定される。
なお、このバキューム孔付き定盤６だけでななく、インキ供給手段８、定盤１０、インキ転移手段１２などのそれぞれの動作が上記制御部によって制御される。 FIG. 3 schematically shows the fine pattern printing apparatus 1 and shows a state before the support means 3 supporting the flexible flat plate 2 is attached. The printing apparatus 1 includes a surface plate 6 with a vacuum hole, an ink supply unit 8 provided with an ink head (not shown) above so as to be movable along a base 7, and a color filter that is a transparent substrate. Ink that is provided with a platen 10 movably provided along the base 7 while holding the glass plate 9 and a body 11 and moves together with the surface plate 10, and the body 11 rolls when necessary. It consists of the transfer means 12.
(Surface plate with vacuum holes)
The surface plate 6 with a vacuum hole enables movement in the X direction (length direction of the base 7) and Y direction (width direction of the base 7) and θ-axis rotation (rotation around the vertical axis). , X, Y, and θ are controlled by a control unit such as a computer device (not shown). Then, the flexible flat plate 2 fixed to the supporting means 3 is back (flattened) through a sheet material 5 having a saddle structure on a surface plate 6 with a vacuum hole as shown in FIG. Surface) side is fixed by suction.
Not only the vacuum holed surface plate 6 but also the operations of the ink supply means 8, the surface plate 10, the ink transfer means 12, and the like are controlled by the control unit.

（インキ供給手段）
上記インキ供給手段８はインクジェット装置から構成されており、図５のようにＸ方向に移動可能に制御され、複数回往復移動しながら前記可撓性平板状版２に対して下方から上向きにインキを噴射して供給する。可撓性平板状版２は、バキューム孔付き定盤６に固定されているため下方に撓むことはなく、インキ供給手段８との間に一定の間隔を保持することができる。
このため、インキの供給を均一な状態で行うことができる。このインキ供給の前に、前記バキューム孔付き定盤６を移動制御することにより、インキ供給手段８に対する可撓性平板状版２の位置合わせをして可撓性平板状版２の位置決めを正確に行って適正位置に定置する。なお、インキ供給手段８に図示しない位置検出手段を設けることができ、例えばＣＣＤカメラにより可撓性平板状版の位置合わせマークを読み込み、この位置情報を基にしてインキ供給手段８の位置が合っていることを確認するようにすると好ましく、位置が僅かにズレていると検出された場合には、検出量に基づいてバキューム孔付き定盤６を微調整して適正に位置決めを行うようにすることができる。 (Ink supply means)
The ink supply means 8 comprises an ink jet device and is controlled so as to be movable in the X direction as shown in FIG. 5. The ink supply means 8 is controlled to move upward and downward with respect to the flexible flat plate 2 while reciprocating a plurality of times. Inject and supply. Since the flexible flat plate 2 is fixed to the surface plate 6 with a vacuum hole, the flexible flat plate 2 does not bend downward and can maintain a constant interval with the ink supply means 8.
For this reason, the ink can be supplied in a uniform state. Prior to the ink supply, the surface plate 6 with the vacuum holes is controlled so that the flexible flat plate 2 is aligned with the ink supply means 8 so that the flexible flat plate 2 is accurately positioned. And go to the appropriate position. The ink supply means 8 can be provided with a position detection means (not shown). For example, the alignment mark of the flexible flat plate is read by a CCD camera, and the position of the ink supply means 8 is adjusted based on this position information. If it is detected that the position is slightly shifted, fine adjustment of the surface plate 6 with a vacuum hole is performed based on the detected amount so as to perform proper positioning. be able to.

（インキ溶剤蒸発手段）
インキ供給手段８によるインキ供給が終了した後、図６のようにインキ供給手段８を原位置に退避させ、図示しない印刷版セットホルダにて支持手段３を支持するとともに、バキューム孔付き定盤６の吸引を解除する。そして、インキ供給手段８により可撓性平板状版２に形成された精細パターンのインキに対して、空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えるインク溶剤蒸発手段１３により溶剤蒸発を行なう。
（定盤）
この溶剤蒸発工程中に上記定盤１０上にカラーフィルタ用ガラス板９を載置し、吸引バキュームによりそのカラーフィルタ用ガラス板９を固定する。定盤１０は、基台７上を移動でき、またＸ・Ｙ・θ制御されてカラーフィルタ用ガラス板９の位置を調整することができるように設けられている。 (Ink solvent evaporation means)
After the ink supply by the ink supply means 8 is completed, the ink supply means 8 is retracted to the original position as shown in FIG. 6, and the support means 3 is supported by a printing plate set holder (not shown) and the surface plate 6 with a vacuum hole is provided. Release suction. Then, the ink is evaporated by the ink solvent evaporating means 13 that gives solvent evaporating conditions such as air, heat and light to the fine pattern ink formed on the flexible flat plate 2 by the ink supply means 8.
(Surface)
During the solvent evaporation step, the color filter glass plate 9 is placed on the surface plate 10, and the color filter glass plate 9 is fixed by suction vacuum. The surface plate 10 is provided so that it can move on the base 7 and can adjust the position of the glass plate 9 for color filters by being controlled by X, Y, and θ.

インキ溶剤蒸発後に、図７のように上記支持手段３を解放したバキューム孔付き定盤６を基台７の端部側（図上、左側）に移動して退避させ、定盤１０を、支持手段３の可撓性平板状版２の下まで移動させると共に、定盤１０をＸ・Ｙ・θ制御して可撓性平板状版２に対するカラーフィルタ用ガラス板９の位置合わせを行って位置決めし適正位置に定置する（可撓性平板状版２の下方に僅かな間隔を配した状態でカラーフィルタ用ガラス板９が対応位置するようにする）。 After evaporation of the ink solvent, as shown in FIG. 7, the vacuum platen 6 with the support means 3 released is moved to the end side (left side in the figure) of the base 7 and retracted to support the platen 10. The plate 3 is moved to below the flexible flat plate 2 of the means 3, and the surface plate 10 is controlled by X, Y and θ to align the color filter glass plate 9 with the flexible flat plate 2. Then, it is placed at an appropriate position (the glass plate 9 for color filter is positioned correspondingly with a slight space below the flexible flat plate 2).

（インキ転移手段）
インク転移手段１２は、転動しながら可撓性平板状版をシート材５を介した状態で押圧してカラーフィルタ用ガラス板９にインクを密着させ、その後にカラーフィルタ用ガラス板９から可撓性平板状版２を剥離させるためのプレス・剥離胴とした胴体１１から構成されている。なお、プレス・剥離胴とする胴体１１はゴムロールであることが望ましい。
このインキ転移手段１２は上記定盤１０の上方に装着されていて、定盤１０の横移動とともに移動する。そして、上述のように定盤１０が適正位置に定置されると、インキ転移手段１２は支持手段３の上方において押圧待機として設定された所に位置決めされて待機するように設けられている。なお、インキ転移手段１２は定盤１０とは別個にＸ・Ｙ・θ制御するように構成しても良い。 (Ink transfer means)
The ink transfer means 12 presses the flexible flat plate through the sheet material 5 while rolling to bring the ink into close contact with the color filter glass plate 9, and thereafter, the ink transfer means 12 can be transferred from the color filter glass plate 9. It is comprised from the fuselage | body 11 used as the press and peeling cylinder for peeling the flexible flat plate 2. The body 11 serving as a press / peeling cylinder is preferably a rubber roll.
The ink transfer means 12 is mounted above the surface plate 10 and moves with the horizontal movement of the surface plate 10. When the surface plate 10 is placed at an appropriate position as described above, the ink transfer means 12 is provided at a position set as a standby for pressing above the support means 3 so as to wait. The ink transfer means 12 may be configured to perform X, Y, and θ control separately from the surface plate 10.

このようにして、定盤１０上のカラーフィルタ用ガラス板９およびインキ転移手段１２を位置決めした後、図８のようにインキ転移手段１２、即ち胴体１１を前記シート材５を介して可撓性平板状版２に適圧で押圧すると共に、Ｘ方向に転動移動させながら可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９とを図の左の方から順次密着させる。
この押圧による密着時には、後述する可撓性平板状版２側の構成が作用する状態の下で、またインキは溶剤が揮発した後でも粘性を有してプレス変形するので、柔らかいインキが図１９のようにカラーフィルタ用ガラス板９上に押し付けられる。これにより、インキ膜厚が均一になる。この状態で、カラーフィルタ用ガラス板９側から図示しない紫外線照射装置から紫外線を照射して露光を行なって精細パターンのインキを固化させる。よって、従来の柔らかいレジストでのプレスした時の弊害であった膜厚のバラツキという問題が解決される。 After positioning the color filter glass plate 9 and the ink transfer means 12 on the surface plate 10 in this way, the ink transfer means 12, that is, the body 11 is flexible via the sheet material 5 as shown in FIG. While pressing the flat plate 2 with an appropriate pressure, the flexible flat plate 2 and the color filter glass plate 9 are sequentially brought into close contact with each other from the left side of the drawing while rolling in the X direction.
At the time of close contact by this pressing, the ink is viscous and press-deformed under the condition that the configuration of the flexible plate-like plate 2 described later acts, and even after the solvent has volatilized, so the soft ink is shown in FIG. It presses on the glass plate 9 for color filters as follows. Thereby, the ink film thickness becomes uniform. In this state, the fine pattern ink is solidified by irradiating with ultraviolet rays from an ultraviolet irradiation device (not shown) from the color filter glass plate 9 side. Therefore, the problem of variation in film thickness, which has been an adverse effect when pressing with a conventional soft resist, is solved.

インキが固化した状態で、図９のように図左に転動移動する胴体１１で押さえながら支持手段３における胴体移動方向後方側が上がる傾斜引き上げにて可撓性平板状版２を胴体移動方向後位となる部分から持ち上げて端から順次剥離する。この時、可撓性平板状版２は可撓性を有すると共に、前記紗構造のシート材５は弾力性を有して弾性変形するため、図１９のように可撓性平板状版２が撓みながらカラーフィルタ用ガラス板９から剥離を容易に行うことができる。以上のインキ転移手段１２の動作によって精細パターンである三色ＲＧＢカラーフィルタパターンがカラーフィルタ用ガラス板９に転移する。
なお、可撓性平板状版２とインキとの付着力は、カラーフィルタ用ガラス板９とインキとの付着力より弱く設定しておくと、剥離の際にインキの引き戻しがより確実に防止できて好ましい。図１０は剥離による分離工程が終了した後の状態を示している。 In a state where the ink is solidified, the flexible plate-like plate 2 is moved in the direction of the body by tilting up with the body 11 moving backward in the body moving direction in the support means 3 while being pressed by the body 11 rolling to the left as shown in FIG. It lifts from the part which becomes the place, and peels from the end sequentially. At this time, the flexible flat plate 2 has flexibility, and the sheet material 5 having the eaves structure has elasticity and is elastically deformed. Peeling can be easily performed from the color filter glass plate 9 while being bent. The three-color RGB color filter pattern, which is a fine pattern, is transferred to the color filter glass plate 9 by the operation of the ink transfer means 12 described above.
If the adhesive force between the flexible flat plate 2 and the ink is set to be weaker than the adhesive force between the color filter glass plate 9 and the ink, it is possible to more reliably prevent the ink from being pulled back at the time of peeling. It is preferable. FIG. 10 shows a state after the separation process by peeling is completed.

可撓性平板状版２の剥離後に、図１１のように定盤１０をインキ転移手段１２と共に基台７の端部（待機位地）まで移動させ、定盤１０の吸引バキュームを解除してブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタパターンが形成されたカラーフィルタ用ガラス板９を定盤１０から取出す。この後、カラーフィルタ用ガラス板９上のカラーフィルタパターンに対して別途設けられた加熱オーブンで熱処理する。これにより、精細パターンであるカラーフィルタパターンは完全に硬化してカラーフィルタ用ガラス板９上に目的とする印刷パターン（図２１参照）が得られる。 After the flexible flat plate 2 is peeled off, the surface plate 10 is moved to the end of the base 7 (standby position) together with the ink transfer means 12 as shown in FIG. The color filter glass plate 9 on which the three-color RGB color filter pattern having no black matrix is formed is taken out from the surface plate 10. Thereafter, the color filter pattern on the color filter glass plate 9 is heat-treated in a separately provided heating oven. As a result, the color filter pattern, which is a fine pattern, is completely cured, and a target print pattern (see FIG. 21) is obtained on the color filter glass plate 9.

つぎに、上記印刷装置を用いた本発明方法の好ましい実施形態について説明する。
（可撓性平板状版）
まず、本発明に用いる可撓性平板状版２を説明する。図１２はその可撓性平板状版２のインキ受け面側（即ち版面部分）の一部を平面で示していて、可撓性平板状版２の基材２０は可撓性を呈する厚さとしたガラスで、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタ用ガラス板が用いられるが、製品として得るカラーフィルタの熱膨張率と同一の熱膨張率のガラスや鉄−ニッケル合金が基材の素材として利用できる。
この可撓性平板状版２のインキ受け面は、図１３、図１４のように上記基材２０に樹脂材、例えばポリビニルアルコールを塗布して薄い樹脂薄膜２１を積層して、固化したカラーフィルタ用インキに対して離型性を有する表面２２を形成し、さらに、その表面２２（樹脂薄膜２１）の上に、フッソ樹脂または、シリコン樹脂等からなり、カラーフィルタ用インキに対して撥インキ性を有する撥インキパターン部２３を形成してなるものであり、カラーフィルタ構成色のインキを受けるべくカラーフィルタパターンで配列された複数の微細な凹部２４が、前記撥インキパターン部２３を隔壁とすることで設けられている。 Next, a preferred embodiment of the method of the present invention using the printing apparatus will be described.
(Flexible flat plate)
First, the flexible flat plate 2 used in the present invention will be described. FIG. 12 shows a part of the ink receiving surface side (that is, the plate surface portion) of the flexible flat plate 2 in a plane, and the base 20 of the flexible flat plate 2 has a thickness that exhibits flexibility. in glass, for example glass plate for a liquid crystal display color filters are used, glass and iron in the thermal expansion of the color filter and the same coefficient of thermal expansion to obtain a product - nickel alloy can be used as a material of the substrate.
As shown in FIGS. 13 and 14, the ink receiving surface of the flexible flat plate 2 is a color filter obtained by applying a resin material such as polyvinyl alcohol to the substrate 20 and laminating a thin resin thin film 21 and solidifying it. The surface 22 having releasability with respect to the ink for ink is formed, and further, the surface 22 (resin thin film 21) is made of fluorine resin, silicon resin or the like, and ink repellency with respect to the color filter ink. The ink-repellent pattern portion 23 is formed, and a plurality of fine recesses 24 arranged in a color filter pattern to receive the ink of the color filter constituent color form the ink-repellent pattern portion 23 as a partition. Is provided.

（インキング）
上記可撓性平板状版２の凹部２４それぞれには、上記インク供給手段８によりその凹部２４が対応するカラーフィルタ構成色のインキが供給される。
インキ２５（カラーフィルタ構成色のＲＧＢのインキ）としては例えば顔料インクを用いてインキ供給手段から噴射させて凹部２４それぞれに供給する。この時、図１５、図１６のようにインキ２５が凹部２４の上端縁、即ち撥インキパターン部２３の表面高さ位置より下方に向けて盛り上がるように供給する。インキ供給手段からのインキ２５の噴射は凹部２４に対して下方より噴射すれば、供給量が多い時でも凹部２４の内周面から撥インキパターン部２３側に溢れることがなくて好ましい。即ち、撥インキパターン部２３の表面には撥インキ性によってインキ２５が付着しない。なお、図においてＲＧＢのインキを断面表現で同一にしているが、Ｒインキ、Ｇインキ、Ｂインキはそれぞれパターンに応じた凹部に供給されている。
インクジェト装置ではインキの粘度を下げることが良い場合が多く、溶剤量を増やすため固形分が少なくなるので、その際は、供給するインク量が増える。従って、インクジェット装置のインキングを上向きに行うことが、凹部２４から撥インキパターン部２３の表面側にインキが溢れずに済み、良い結果となる場合が多い。そして、盛り量が全体的に多いと凹部２４におけるインキの盛り量の大小の差が表れ難くなり、インキ転移後のインキ膜厚を均一なものとすることができる。 (Inking)
Each of the concave portions 24 of the flexible plate 2 is supplied with ink of the color constituting the color filter corresponding to the concave portion 24 by the ink supply means 8 .
For example, pigment ink is used as the ink 25 (color filter constituent color RGB ink) and is ejected from the ink supply means and supplied to each of the recesses 24. At this time, as shown in FIGS. 15 and 16, the ink 25 is supplied so as to rise downward from the upper edge of the recess 24, that is, the surface height position of the ink repellent pattern portion 23. It is preferable that the ink 25 from the ink supply means be ejected from below into the concave portion 24 so that the ink repellent pattern portion 23 does not overflow from the inner peripheral surface of the concave portion 24 even when the supply amount is large. That is, the ink 25 does not adhere to the surface of the ink repellent pattern portion 23 due to ink repellency. In the drawing, the RGB inks are the same in cross-sectional representation, but R ink, G ink, and B ink are respectively supplied to the recesses corresponding to the pattern.
In the ink jet device, it is often good to lower the viscosity of the ink, and since the solid content decreases because the amount of the solvent is increased, the amount of ink to be supplied increases. Therefore, inking the ink jet device upward often prevents ink from overflowing from the concave portion 24 to the surface of the ink repellent pattern portion 23, and often results in good results. And if the amount of deposits is large as a whole, the difference in the amount of ink deposits in the recesses 24 hardly appears, and the ink film thickness after ink transfer can be made uniform.

（溶剤蒸発）
この後、印刷装置１における上記インク溶剤蒸発手段１３により可撓性平板状版２の凹部２４に供給されたインキ２５内の溶剤を飛ばして溶剤蒸発する。これにより、インキ２５の全体積は減少するが、この段階においても図１５のように凹部２４において盛り上がるようにしておき、かつインキ粘性を失わないようにする。 (Solvent evaporation)
Thereafter, the solvent in the ink 25 supplied to the recess 24 of the flexible flat plate 2 is removed by the ink solvent evaporation means 13 in the printing apparatus 1 to evaporate the solvent. As a result, the total volume of the ink 25 decreases, but at this stage as well, the ink 24 is allowed to rise in the recess 24 as shown in FIG. 15, and the ink viscosity is not lost.

（位置合わせ）
インキ溶剤蒸発後に、上記印刷装置１において説明したようにして図５のごとく可撓性平板状版２の端部とカラーフィルタ用ガラス板９との端部との位置合わせを行う（図１７、図１８）。
なお、上記インキ供給、この可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９との位置合わせ、後述のインキ転移のこの印刷方法に係る各工程は上述した印刷装置１を用いて行われるものであり、各工程での動作制御は印刷装置で説明した動作制御に従うものである。 (Alignment)
After evaporation of the ink solvent, as described in the printing apparatus 1, the end of the flexible flat plate 2 and the end of the color filter glass plate 9 are aligned as shown in FIG. 5 (FIG. 17, FIG. 18).
The above-described printing apparatus 1 is used for the ink supply, the alignment between the flexible flat plate 2 and the color filter glass plate 9, and the ink transfer method described later. The operation control in each process follows the operation control described in the printing apparatus.

（インキ転移）
上記可撓性平板状版２における撥インキパターン部２３の所要位置には、図示するようにフッソ樹脂または、シリコン樹脂等からなり、撥インキ性を有するスペーサ２６が同一高さにして突設されている。そして上記位置合わせ後に、前記スペーサ２６を介してカラーフィルタ用ガラス板９と撥インキパターン部２３とを非接触状態として可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９とを重ね合せて、上記印刷装置１のインク転移手段１２により可撓性平板状版２をカラーフィルタ用ガラス板９側を押圧し、凹部２４内のインキ２５を前記カラーフィルタ用ガラス板９に密着させ、そして重ね合わせ状態を保ったままカラーフィルタ用ガラス板９側から紫外線を照射して、インキ２５を固化させてカラーフィルタ用ガラス板９に対するインキ付着力を大きくする。
この後、図１９、図２０のように可撓性平板状版２を一端側（上述した胴体１１の移動方向後位側）から撓ませながらカラーフィルタ用ガラス板９から剥離する。これによって図２１、図２２、図２３に示すようにカラーフィルタ用ガラス板９に所定の精細パターンであるカラーフィルタパターン２７が形成される。そして、カラーフィルタパターン２７を２３０℃で加熱することによって、前記カラーフィルタパターン２７が完全にカラーフィルタ用ガラス板９に硬化した状態で固着したものが得られる。 (Ink transfer)
At the required position of the ink repellent pattern portion 23 in the flexible flat plate 2, as shown in the figure, a spacer 26 made of fluorine resin, silicon resin or the like and having ink repellent properties protrudes at the same height. ing. And after the said alignment, the glass plate 9 for color filters and the ink-repellent pattern part 23 are made into a non-contact state via the said spacer 26, and the flexible flat plate 2 and the glass plate 9 for color filters are overlapped, The flexible flat plate 2 is pressed against the color filter glass plate 9 side by the ink transfer means 12 of the printing apparatus 1 so that the ink 25 in the recess 24 is brought into close contact with the color filter glass plate 9 and superimposed. While maintaining the state, ultraviolet rays are irradiated from the color filter glass plate 9 side to solidify the ink 25 and increase the ink adhesion to the color filter glass plate 9.
Thereafter, as shown in FIGS. 19 and 20, the flexible flat plate 2 is peeled from the color filter glass plate 9 while being bent from one end side (rear side in the moving direction of the body 11 described above). As a result, a color filter pattern 27 which is a predetermined fine pattern is formed on the color filter glass plate 9 as shown in FIGS. Then, by heating the color filter pattern 27 at 230 ° C., the color filter pattern 27 is fixed to the color filter glass plate 9 in a completely cured state.

（ブラックマトリクスの形成）
カラーフィルタパターン２７を有したカラーフィルタ用ガラス板９に対して遮光パターン部であるブラックマトリクス２８を形成するにあたっては、まず、カラーフィルタ用ガラス板９のカラーフィルタパターン２７の形成面側全面に黒色感光性樹脂組成物（裏露光樹脂ブラックレジスト）２９を塗布する（図２４）。
そして、カラーフィルタ用ガラス板９のカラーフィルタパターン形成面とは反対側の面においてカラーフィルタとしてのブラック額縁となる領域に遮光マスク３０を配した状態で、カラーフィルタパターン形成面とは反対側から紫外線の照射による露光（図において↑にて露光を示した）を行なう（図２５）。この後、加熱、現像を行なってカラーフィルタパターン２７上と非露光部にあった黒色感光性樹脂組成物を除去し、さらにこのカラーフィルタ用ガラス板９上に残った現像済みの黒色感光性樹脂組成物に対して熱フローによる加熱を行ない、これによってカラーフィルタパターン２７の各隙間、およびカラーフィルタパターン２７の外周に黒色感光性樹脂組成物が密に入り込んでなるブラックマトリクス２８が得られ、ブラックマトリクス２８を備えるカラーフィルタとなる（図２６）。
上記黒色感光性樹脂組成物に対して熱フローによる加熱によって遮光パターン部を密に入り込ませたものとすることは有用である。例えば図２７（Ａ）で示すように、ＲＧＢのカラーフィルタパターンを形成した場合にそのカラーフィルタ画素パターン部の底部にフリンジ３１が形成される可能性がある。そして、この状態で黒色感光性樹脂組成物を塗布し、裏露光・現像を行なっただけとした場合にはフリンジ３１の存在により画素パターン部の周りに白抜け３２が生じてしまう。しかしながら本実施の形態では、この後に熱フローによる加熱を行なっていて、図２７（Ｂ）に示すように黒色感光性樹脂組成物が画素パターン部の周りに密に入り込むようになり、白抜けを無くすようにしているものである。 (Formation of black matrix)
In forming the black matrix 28 as the light shielding pattern portion on the color filter glass plate 9 having the color filter pattern 27, first, black is formed on the entire surface of the color filter glass plate 9 on which the color filter pattern 27 is formed. A photosensitive resin composition (back-exposed resin black resist) 29 is applied (FIG. 24).
Then, in a state where the light-shielding mask 30 is arranged in a region serving as a black frame as a color filter on the surface opposite to the color filter pattern forming surface of the color filter glass plate 9, from the side opposite to the color filter pattern forming surface. Exposure by ultraviolet irradiation (exposure is indicated by ↑ in the figure) is performed (FIG. 25). Thereafter, heating and development are performed to remove the black photosensitive resin composition on the color filter pattern 27 and the non-exposed portion, and the developed black photosensitive resin remaining on the color filter glass plate 9 is further removed. The composition is heated by heat flow, whereby a black matrix 28 is obtained in which the black photosensitive resin composition is infiltrated into the gaps of the color filter pattern 27 and the outer periphery of the color filter pattern 27, and the black matrix 28 is obtained. A color filter including the matrix 28 is obtained (FIG. 26).
It is useful to have the light-shielding pattern portion intruded into the black photosensitive resin composition by heating with a heat flow. For example, as shown in FIG. 27A, when an RGB color filter pattern is formed, a fringe 31 may be formed at the bottom of the color filter pixel pattern portion. In this state, when the black photosensitive resin composition is applied and only the back exposure and development are performed, the presence of the fringe 31 causes white spots 32 around the pixel pattern portion. However, in the present embodiment, heating by heat flow is performed after that, and the black photosensitive resin composition comes into the periphery of the pixel pattern portion as shown in FIG. It is something to be lost.

カラーフィルタの作成を以下の通り具体的に行ないその検討を行なった。
＜実施例１＞
（樹脂薄膜の作製）
樹脂薄膜用塗工液は、ケン化度９９、重合度５００のポリビニルアルコール「ＰＶＡ５００Ｎ」（ユニオン化学工業社製）１５％水溶液１００ｇに、重クロム酸アンモニウム０．９ｇを加えて塗工液を調整した。サイズを縦１５００ｍｍ、横１８００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍとしたガラス板（基材）上に、樹脂塗工液をスピンレスコータにて厚さ１０μｍに形成し、９０℃・３０分の乾燥を行なった後，紫外線光を１０００ｍＪ／ｃｍ^２照射して光硬化させた。この光硬化した膜を無水クロム酸の４％水溶液に９０秒間浸漬し、１５０℃・１０分間加熱乾燥し、樹脂薄膜を得た。 The color filter was specifically created as follows and examined.
<Example 1>
(Production of resin thin film)
The coating solution for the resin thin film is prepared by adding 0.9 g of ammonium dichromate to 100 g of 15% aqueous solution of polyvinyl alcohol “PVA500N” (manufactured by Union Chemical Industries) with a saponification degree of 99 and a polymerization degree of 500. did. A resin coating solution is formed to a thickness of 10 μm with a spinless coater on a glass plate (base material) having a size of 1500 mm in length, 1800 mm in width, and 0.7 mm in thickness, and dried at 90 ° C. for 30 minutes. After that, it was cured by irradiating with 1000 mJ / cm ^{2 of} ultraviolet light. This photocured film was immersed in a 4% aqueous solution of chromic anhydride for 90 seconds and dried by heating at 150 ° C. for 10 minutes to obtain a resin thin film.

（スペーサの作製）
上記樹脂薄膜を形成したガラス板に、スペーサ用レジストをスピンレスコータで塗布した。紫外線露光によるパターン露光・現像後、１１０℃・５分間乾燥を行ない厚さ１．５μｍのスペーサ用パターンを得た。
（撥インキパターン部の作製）
上記スペーサを形成したガラス板に、撥インキレジストをスピンレスコータで塗布した。紫外線露光によるパターン露光・現像後、１１０℃・５分間乾燥し厚さ１μｍの撥インキパターン部を得た。撥インキパターン部はスペーサ形成位置に設けない。
（可撓性平板状版の作製）
上記スペーサを形成したガラス板を金属枠に紗を取り付けたスクリーン版の中央に接着剤で貼着した。
（ＲＧＢカラーフィルタの作製）
上記可撓性平板状版に、下側からＲインキジェットノズル、Ｇインキジェットノズル、Ｂインキジェットノズルを２００ｍｍ／秒の速度で移動させ、撥インキパターン部のＲ・Ｇ・Ｂの所定位置に溶剤蒸発前の厚さ１０μｍになるようにＲインキ・Ｇインキ・Ｂインキを噴射し、付着させた。可撓性平板状版の凹部は下向きであるので、Ｒインキ・Ｇインキ・Ｂインキは、撥インキパターン部の厚さが１μｍであっても溢れることはなかった。約一分間放置し、溶剤分を揮発させ、厚さ１．５μｍのＲＧＢカラーフィルタパターンになった。
ＲＧＢカラーフィルタパターンを作製した可撓性平板状版を、カラーフィルタ用ガラス板の所定位置に位置合わせし、プレス・剥離胴（胴体）で、線圧２００ｋｇ／ｃｍで押圧密着させた。密着させた状態で、カラーフィルタ用ガラス板側から紫外線露光した。ＲＧＢインキはレジストであって感光性があり、紫外線露光によりガラス板との接着力がポリビニルアルコールの樹脂薄膜との接着力より強くなる。可撓性平板状版を押さえたプレス・剥離胴を移動させ、そのプレス・剥離胴で押さえながら可撓性平板状版を端からスクリーン版による支持手段を傾斜させて徐々に持ち上げて端から順次剥離した。これによってブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタが完成した。 (Spacer production)
A spacer resist was applied to the glass plate on which the resin thin film was formed with a spinless coater. After pattern exposure / development by ultraviolet exposure, drying was performed at 110 ° C. for 5 minutes to obtain a spacer pattern having a thickness of 1.5 μm.
(Preparation of ink repellent pattern)
An ink repellent resist was applied to the glass plate on which the spacers were formed with a spinless coater. After pattern exposure / development by UV exposure, the ink-repellent pattern part having a thickness of 1 μm was obtained by drying at 110 ° C. for 5 minutes. The ink repellent pattern portion is not provided at the spacer formation position.
(Production of flexible flat plate)
The glass plate on which the spacers were formed was adhered to the center of a screen plate in which a ridge was attached to a metal frame with an adhesive.
(Production of RGB color filter)
The R ink jet nozzle, G ink jet nozzle, and B ink jet nozzle are moved at a speed of 200 mm / sec from the lower side to the above-described flexible flat plate to the predetermined positions of R, G, and B of the ink repellent pattern portion. R ink, G ink, and B ink were sprayed and adhered so that the thickness before solvent evaporation was 10 μm. Since the concave portions of the flexible flat plate face downward, the R ink, G ink, and B ink did not overflow even when the thickness of the ink repellent pattern portion was 1 μm. The solution was allowed to stand for about 1 minute to evaporate the solvent, resulting in an RGB color filter pattern with a thickness of 1.5 μm.
The flexible flat plate on which the RGB color filter pattern was produced was aligned with a predetermined position of the glass plate for color filter, and pressed and adhered with a press / peeling cylinder (body) at a linear pressure of 200 kg / cm. In the state of being in close contact, UV exposure was performed from the color filter glass plate side. The RGB ink is a resist and has photosensitivity, and the adhesive strength to the glass plate becomes stronger than the adhesive strength to the resin film of polyvinyl alcohol by ultraviolet exposure. Move the press / peeling cylinder holding the flexible flat plate, and while holding the press / peeling cylinder, gradually lift the flexible flat plate from the end by tilting the support means by the screen plate and sequentially from the end It peeled. This completed a three-color RGB color filter without a black matrix.

（黒色感光性樹脂組成物の作製）
酸により架橋するヒドロキシスチレン系高分子化合物樹脂（共重合体：共重合比はｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル酸＝３９／４９／１２）１２ｇをバインダー樹脂に用いて、架橋剤としてヘキサ（Ｎ−メトキジメチル）−メラミン（三和ケミカル社製：ニッカラックＭＷ−３０Ｍ）を５ｇ、光酸発生剤として、みどり化学社製「ＴＡＺ−１０４」を５ｇ、顔料（カーボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボン分散溶液）を３００ｇ、溶剤としてＰＧＭ−Ａｃを１７２ｇ、さらにガラスビーズを５００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにより２時間分散し黒色感光性樹脂組成物（裏露光樹脂ブラックレジスト）を作製した。 (Preparation of black photosensitive resin composition)
Hydroxystyrene polymer resin cross-linked with acid (copolymer: copolymerization ratio: p-hydroxystyrene / n-butyl methacrylate / acrylic acid = 39/49/12) 12 g as a binder resin, cross-linking agent 5 g of hexa (N-methoxydimethyl) -melamine (Sanwa Chemical Co., Ltd .: Nikkarak MW-30M), 5 g of “TAZ-104” manufactured by Midori Chemical Co., Ltd. 300 g of a grafted carbon dispersion solution grafted with a molecular compound, 172 g of PGM-Ac as a solvent, and 500 g of glass beads are placed in a glass bottle and dispersed in a glass shaker for 2 hours, and the black photosensitive resin composition (back side) Exposure resin black resist) was prepared.

（遮光パターン部の形成）
図２１に示すブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタの複数色の着色画素の膜厚は１．３μｍであった。この複数色の着色画素上に、この黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図２４に示すように黒色感光性樹脂組成物の層を形成した。次に、図２５に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により２００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で前記着色画素をマスクとしてガラス板の裏面側より所定の遮光マスクを介して全面露光した。露光後、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、ガラス板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で９０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色感光性樹脂組成物を剥離除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、複数色の印刷パターン間にブラックマトリックスを有するカラーフィルタを得た。 (Shading pattern formation)
The film thickness of the colored pixels of a plurality of colors of the three-color RGB color filter without a black matrix shown in FIG. 21 was 1.3 μm. The black photosensitive resin composition was applied onto the colored pixels of the plurality of colors with a spinner at 600 rpm for 5 seconds and dried to form a black photosensitive resin composition layer as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 25, the entire surface was exposed through a predetermined light-shielding mask from the back side of the glass plate using the colored pixels as a mask with an exposure amount of 200 mJ / cm ^{2 using} a 3 kW ultra-high pressure mercury lamp. After the exposure, it was heated at 100 ° C. for 1 minute using a hot plate. Subsequently, using a 1% aqueous sodium hydroxide solution, the glass plate is conveyed on a conveyor and developed for 90 seconds by spraying a shower, and a black photosensitive resin composition on a plurality of colored pixels and on an unexposed portion. Was removed. Finally, it was heated in an oven at 230 ° C. for 1 hour to obtain a color filter having a black matrix between printing patterns of a plurality of colors.

このようにして作製したカラーフィルタは、その着色画素上には黒色感光性樹脂組成物の残留は見られず、ブラックマトリックスと複数色の着色画素との重なりによる突起のないものであった。また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、ブラックマトリクスの剥離個数は０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。 The color filter produced in this way had no black photosensitive resin composition remaining on the colored pixels, and had no protrusions due to the overlap between the black matrix and the colored pixels of a plurality of colors. In addition, this color filter was put in a pressure cooker tester, and allowed to stand for 50 hours under the conditions of 120 ° C., 100% RH, 2 atm, and then evaluated for adhesion by a cross-cut adhesion test method described in “JIS-K5400”. As a result, the number of peeled black matrices was 0/100, and there was no problem in adhesion.

＜実施例２＞
樹脂薄膜の作製と撥インキパターン部の作製とスペーサの作製とＲＧＢカラーフィルタの作製は上記実施例１と同じとした。
（黒色樹脂層の形成）
カラーフィルタ用ガラス板上のブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタの複数色の着色画素の膜厚は１．３μｍであった。この複数色の着色画素上に、実施例１で用いた黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図２４に示すように黒色感光性樹脂組成物の層を形成した。 <Example 2>
The production of the resin thin film, the production of the ink repellent pattern portion, the production of the spacer, and the production of the RGB color filter were the same as those in Example 1.
(Formation of black resin layer)
The film thickness of the colored pixels of a plurality of colors of the three-color RGB color filter without a black matrix on the color filter glass plate was 1.3 μm. On this colored pixel of multiple colors, the black photosensitive resin composition used in Example 1 was applied with a spinner at 600 rpm for 5 seconds and dried to form a black photosensitive resin composition layer as shown in FIG. did.

次に、図２５に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により２００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で前記着色画素をマスクとしてガラスの裏面側より所定の遮光マスクを介して全面露光した。露光後、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、ガラス板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で１８０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色樹脂層を剥離除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、図２６のブラックマトリクス熱フロー後に示すように複数色の印刷パターン間にブラックマトリクス（２８）を有するカラーフィルタを得た。 Next, as shown in FIG. 25, the entire surface was exposed through a predetermined light-shielding mask from the back side of the glass using the colored pixels as a mask with an exposure amount of 200 mJ / cm ^{2 using} a 3 kW ultra-high pressure mercury lamp. After the exposure, it was heated at 100 ° C. for 1 minute using a hot plate. Subsequently, using a 1% aqueous solution of sodium hydroxide, the glass plate is conveyed by a conveyor and developed for 180 seconds by spraying a shower, and the black resin layer on the non-exposed areas is peeled and removed on the colored pixels of multiple colors. did. Finally, it was heated in an oven at 230 ° C. for 1 hour to obtain a color filter having a black matrix (28) between printing patterns of a plurality of colors as shown after the black matrix heat flow in FIG.

このようにして作製したカラーフィルタは、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いた約２倍のシャワー現像において、現像オーバーであっても、カラーフィルター額縁部の端部の黒色感光性樹脂組成物が溶解することなく十分な遮光性が得られた。また、その着色画素上には黒色感光性樹脂組成物の層の残留は見られず、ブラックマトリクスと複数色の着色画素との重なりによる突起のないものであった。また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、ブラックマトリックスの剥離個数は０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。 In the color filter thus prepared, the black photosensitive resin composition at the end of the color filter frame portion dissolves even in the case of over-development in about twice the shower development using a 1% aqueous sodium hydroxide solution. A sufficient light-shielding property was obtained without this. Further, no black photosensitive resin composition layer remained on the colored pixels, and there was no protrusion due to the overlap between the black matrix and the colored pixels of a plurality of colors. In addition, this color filter was put in a pressure cooker tester, and allowed to stand for 50 hours under the conditions of 120 ° C., 100% RH, 2 atm, and then evaluated for adhesion by a cross-cut adhesion test method described in “JIS-K5400”. As a result, the number of peeled black matrixes was 0/100, and there was no problem in adhesion.

本発明は、ガラス板等の硬質材からなる被印刷体に印刷パターンを精密に形成するためのパターン印刷装置として利用可能なものである。液晶ディスプレイのカラーフィルタを作成する用途にも適用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used as a pattern printing apparatus for accurately forming a printing pattern on a printing material made of a hard material such as a glass plate. The present invention can also be applied to use for creating a color filter for a liquid crystal display.

本発明の精細パターンの印刷装置における支持手段を上方から見た状態で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the support means in the printing apparatus of the fine pattern of this invention in the state seen from upper direction. 同じく支持手段を下方から見た状態で示す説明図である。It is explanatory drawing similarly shown in the state which looked at the support means from the downward direction. 支持手段をセットする前の状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state before setting a support means. 支持手段をセットした状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which set the support means. インキ供給装置によるインキ供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the ink supply by an ink supply apparatus. カラーフィルタ用ガラス板を定盤にセットした状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which set the glass plate for color filters to the surface plate. カラーフィルタ用ガラス板と可撓性平板状版を位置合わせする状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which aligns the glass plate for color filters, and a flexible flat plate. 可撓性平板状版をカラーフィルタ用ガラス板に押圧する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which presses a flexible flat plate on the glass plate for color filters. 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows peeling from the glass plate for color filters of a flexible flat plate. 可撓性平板状版をカラーフィルタ用ガラス板から分離した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which isolate | separated the flexible flat plate from the glass plate for color filters. 定盤とインキ転移手段が待機位置に戻った状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which the surface plate and the ink transfer means returned to the standby position. 可撓性平板状版のインキ受け面側の一部を平面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a part of ink receiving surface side of a flexible flat plate in a plane. 図１２におけるＡ−Ａ線部での断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross section in the AA line part in FIG. 図１２におけるＢ−Ｂ線部での断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross section in the BB line part in FIG. インキ供給された状態を図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state to which the ink was supplied in the cross section of the same part as the AA line part in FIG. インキ供給された状態を図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state to which the ink was supplied in the cross section of the same part as the BB line part in FIG. 可撓性平板状版とカラーフィルタ用ガラス板との位置合わせを図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the alignment of a flexible flat plate and the glass plate for color filters in the cross section of the same part as the AA line part in FIG. 可撓性平板状版とカラーフィルタ用ガラス板との位置合わせを図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the alignment of a flexible flat plate and the glass plate for color filters in the cross section of the same part as the BB line part in FIG. 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows peeling from the glass plate for color filters of a flexible flat plate in the cross section of the same part as the AA line part in FIG. 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows peeling from the glass plate for color filters of a flexible flat plate in the cross section of the same part as the BB line part in FIG. カラーフィルタパターンが形成されたカラーフィルタ用ガラス板の一部の平面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the one part plane of the glass plate for color filters in which the color filter pattern was formed. 図２１のＡ−Ａ線部での断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross section in the AA line part of FIG. 図２１のＢ−Ｂ線部での断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross section in the BB line part of FIG. カラーフィルタ用ガラス板のカラーフィルタパターン形成面側に黒色感光性樹脂組成物を塗布した状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which apply | coated the black photosensitive resin composition to the color filter pattern formation surface side of the glass plate for color filters in a cross section. 黒色感光性樹脂組成物に対する紫外線露光を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the ultraviolet exposure with respect to a black photosensitive resin composition. ブラックマトリクスが形成された状態を示すもので、（Ａ）は平面を示す説明図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線部の断面を示す説明図である。FIG. 2A shows a state in which a black matrix is formed. FIG. 2A is an explanatory diagram showing a plane, and FIG. ブラックマトリクス形成における加熱効果を示すもので、（Ａ）はカラーフィルタ画素パターン部周りに白抜けが生じた状態を断面で示す説明図、（Ｂ）はカラーフィルタ画素パターン部周りの白抜けが加熱により解消された状態を断面を示す説明図である。This shows the heating effect in black matrix formation. (A) is an explanatory view showing a cross-sectional state where white spots are generated around the color filter pixel pattern portion, and (B) is a case where white spots around the color filter pixel pattern portion are heated. It is explanatory drawing which shows a cross section in the state eliminated by.

１…精細パターンの印刷装置
２…可撓性平板状版
３…支持手段
６…バキューム孔付き定盤
８…インキ供給手段
９…カラーフィルタ用ガラス板
１０…定盤
１２…インキ転移手段
１３…インキ乾燥手段
２１…樹脂層
２３…撥インキパターン部
２４…凹部
２５…インキ
２６…スペーサ
２７…カラーフィルタパターン
２８…ブラックマトリクス
２９…黒色感光性樹脂組成物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fine pattern printing apparatus 2 ... Flexible flat plate 3 ... Support means 6 ... Surface plate 8 with a vacuum hole ... Ink supply means 9 ... Glass plate 10 for color filters ... Surface plate 12 ... Ink transfer means 13 ... Ink Drying means 21 ... resin layer 23 ... ink repellent pattern portion 24 ... concave 25 ... ink 26 ... spacer 27 ... color filter pattern 28 ... black matrix 29 ... black photosensitive resin composition

Claims

When printing a fine pattern consisting of multiple constituent colors on a transparent substrate,
A fine concave portion surrounded by an ink repellent pattern portion is formed on the surface having releasability with respect to each solid color ink, and the plate surface on which the spacer protrudes from the ink repellent pattern portion faces downward Each of the concave portions of the flexible flat plate disposed as described above is configured to correspond to the concave portion by an ink supply means including an ink jet device that moves below the flexible flat plate and ejects ink upward. To form a fine pattern of the shape of the ink raised downward from the ink-repellent pattern portion of the flexible flat plate,
After the solvent of the fine pattern ink has evaporated, the flexible flat plate and the transparent base material are overlapped, and the ink-repellent pattern portion and the transparent base material are brought into non-contact with the spacer in between. A method for printing a fine pattern, which comprises pressing a flexible flat plate to the transparent substrate side under a state to transfer a fine pattern made of constituent color ink to the transparent substrate.

The transparent substrate is a glass plate for a color filter, and the substrate of the flexible flat plate is a glass or an iron-nickel alloy having the same thermal expansion coefficient as that of the glass plate for the color filter. Item 2. The fine pattern printing method according to Item 1.

The flexible flat plate is attached to an elastically deformable sheet material, and when the flexible flat plate is separated after being pressed onto the transparent base material, the flexible flat plate is caused by the inclination of the sheet material. 3. The fine pattern printing method according to claim 1, wherein the printing plate is warped up and separated from the transparent substrate.

The flexible flat plate is supported so as to be position-adjustable within a plane at a height position above the ink supply means before ink supply, and is aligned with the ink supply means. Item 4. The fine pattern printing method according to any one of Items 1 to 3.

5. The ink according to claim 1, wherein the fine pattern ink formed on the flexible flat plate is brought into a solvent evaporation state in which the ink viscosity is maintained by an ink solvent evaporation means for giving a solvent evaporation condition to the ink. The fine pattern printing method according to claim 1.

The transparent base material is provided so as to be movable at a lower height position of the flexible flat plate, and before the flexible flat plate and the transparent base material are overlapped, the transparent base material is flexible. The fine pattern printing method according to any one of claims 1 to 5, wherein alignment is performed with respect to the flat plate.

The flexible flat plate is pressed against the transparent substrate by a body that rolls and moves on the flexible flat plate, and the fine pattern ink of the flexible flat plate is in close contact with the transparent substrate. And after the ink is solidified by irradiating with ultraviolet rays in a state where the flexible flat plate and the transparent base material are superposed, the rear side in the moving direction of the body that rolls and moves on the flexible flat plate The method for printing a fine pattern according to any one of claims 1 to 6, wherein the flexible flat plate is rolled up to separate the flexible flat plate from the transparent substrate.

After transferring the fine pattern to the transparent substrate, a back exposure resin black resist is applied to the side of the transparent substrate on which the fine pattern is transferred, and the back exposure resin black resist of the transparent substrate is applied. The fine pattern printing method according to any one of claims 1 to 7, wherein the back-exposed resin black resist is developed by irradiating ultraviolet rays from a side opposite to the side where the light is exposed.

A printing apparatus for printing a fine pattern composed of a plurality of constituent colors on a transparent substrate,
A fine concave portion surrounded by an ink repellent pattern portion is formed on the surface having releasability with respect to each of the solidified ink colors, and the plate surface on which the spacer protrudes from the ink repellent pattern portion faces downward A flexible flat plate arranged as follows:
An ink supply means that comprises an ink jet device that moves below the flexible flat plate and ejects ink upward, and supplies ink of a component color corresponding to the concave portion to each concave portion of the flexible flat plate When,
The flexible plate-like plate superimposed on the transparent base material after the solvent of the ink supplied in a shape bulging downward from the ink repellent pattern portion to each of the concave portions by the ink supply means, Pressing the ink-repellent pattern part and the transparent substrate in the non-contact state with a spacer in between, pressing the transparent substrate, bringing the fine pattern ink into close contact with the transparent substrate and transferring to the transparent substrate And a fine pattern printing apparatus, comprising:

The transparent substrate is a glass plate for a color filter, and the substrate of the flexible flat plate is a glass or an iron-nickel alloy having the same thermal expansion coefficient as that of the glass plate for the color filter. Item 12. The fine pattern printing apparatus according to Item 9.

The flexible flat plate is attached to an elastically deformable sheet material, and is inclined with elastic deformation of the sheet material upon separation of the flexible flat plate in the transfer of ink to the transparent substrate. The fine pattern printing apparatus according to claim 9 or 10, wherein the flexible flat plate can be rolled up by being raised.

Positioning means for aligning with the ink supply means by supporting the flexible flat plate before ink supply in a plane at a height position above the ink supply means so as to be adjustable. The fine pattern printing apparatus according to claim 9, further comprising:

The ink solvent evaporation means according to any one of claims 9 to 12, further comprising an ink solvent evaporation means for giving a solvent evaporation condition to the fine pattern ink formed on the flexible flat plate so as to maintain the ink viscosity. A fine pattern printing apparatus according to claim 1.

A platen that movably supports the transparent substrate at a height position below the flexible plate after ink supply, the platen comprising the flexible plate and the transparent substrate; The fine pattern printing apparatus according to any one of claims 9 to 13, wherein the transparent base plate is positioned with respect to the flexible flat plate before superimposing the two.

The ink transfer means rolls and moves the flexible flat plate on the transparent substrate to press the flexible flat plate against the transparent substrate. A fuselage for closely adhering the pattern ink to the transparent substrate, and an ultraviolet irradiation device for solidifying the ink by irradiating ultraviolet rays in a superposed state of the flexible flat plate and the transparent substrate. 15. The structure according to claim 9, wherein the flexible flat plate is separated from the transparent base material by rolling up the flexible flat plate from the rear side in the moving direction of the body that rolls on the plate. The fine pattern printing apparatus according to one item.

A back-exposed resin black resist is applied onto the transparent substrate on which the fine pattern has been transferred by the ink transfer means, exposed from the side opposite to the fine pattern forming surface by ultraviolet irradiation, developed, and light-shielded pattern The fine pattern printing apparatus according to any one of claims 9 to 15, further comprising a unit for forming the pattern.