JP5023730B2 - Letterpress for printing and method for producing electroluminescent element - Google Patents
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Description
本発明は、凸版印刷法に用いられる高精細印刷用凸版及び高精細印刷用凸版を用いて製造される印刷物に関するものである。 The present invention relates to a high-definition printing relief plate used in a relief printing method and a printed matter produced using the high-definition printing relief plate.
有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とする)は、二つの対向する電極の間に有機発光材料からなる有機発光層を形成し、有機発光層に電流を流すことで発光させるものであるが、効率良く発光させるには発光層の膜厚が重要であり、100nm程度の薄膜にする必要がある。さらに、これをカラー表示可能なディスプレイとするには有機EL素子を高精細にパターニングする必要がある。 An organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) is an element in which an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between two opposing electrodes, and light is emitted by passing a current through the organic light emitting layer. In order to emit light efficiently, the thickness of the light emitting layer is important, and it is necessary to form a thin film of about 100 nm. Furthermore, in order to make this a display capable of color display, it is necessary to pattern the organic EL element with high definition.
有機発光材料には、低分子材料と高分子材料があり、一般に低分子材料は抵抗加熱蒸着法等により薄膜形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出にくいという問題がある。 Organic light-emitting materials include low-molecular materials and high-molecular materials. In general, low-molecular materials are formed into thin films by resistance heating vapor deposition or the like, and then patterned using a fine pattern mask. There is a problem that the patterning accuracy is less likely to increase as the size increases.
そこで、最近では有機発光材料に高分子材料を用い、有機発光材料を溶媒に溶かして塗工液にし、これをウェットコーティング法や印刷法にて薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、吐出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたりRGB3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難しい。よって、塗り分けパターニングを得意とする印刷法による薄膜形成が有効である。 Therefore, recently, a method of using a polymer material as an organic light emitting material, dissolving the organic light emitting material in a solvent to form a coating liquid, and forming a thin film by a wet coating method or a printing method has been tried. . The wet coating method for forming a thin film includes a spin coating method, a bar coating method, a discharge coating method, a dip coating method, and the like. It is difficult with the wet coating method. Therefore, it is effective to form a thin film by a printing method that is good at coating patterning.
さらに各種印刷法の中でも、有機EL素子などのディスプレイでは、基板としてガラス基板を用いることが多いため、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きであり、弾性を有するゴム版を用いたオフセット印刷法や、ゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法が最適である。これらの印刷法の試みとして、オフセット印刷による方法(特許文献1)、凸版印刷による方法(特許文献2)などが提案されている。 Further, among various printing methods, in a display such as an organic EL element, a glass substrate is often used as a substrate, so a method using a hard plate such as a metal printing plate such as a gravure printing method is unsuitable, An offset printing method using an elastic rubber plate and a relief printing method using a photosensitive resin plate mainly composed of rubber or other resin are optimal. As attempts of these printing methods, a method by offset printing (Patent Document 1), a method by letterpress printing (Patent Document 2), and the like have been proposed.
有機EL素子における有機発光層のパターンは、テレビ用途の大型ディスプレイの場合、例えば体格40インチのワイドディスプレイではライン幅が100μm、画素ピッチが500μmとなる。また、携帯電話などの小型ディスプレイの場合、例えば対角2インチで主流のQVGA(320×240画素)では画素ピッチは120μm、各色要素のサブピクセルの幅は40μmとなる。このような高精細なディスプレイの素子を凸版印刷法により形成しようとした場合、5μm以下という非常に高い印刷パターンの精度が要求される。 The pattern of the organic light emitting layer in the organic EL element has a line width of 100 μm and a pixel pitch of 500 μm in a wide display of 40 inches, for example, in a large display for television use. In the case of a small display such as a mobile phone, for example, in a mainstream QVGA (320 × 240 pixels) with a diagonal size of 2 inches, the pixel pitch is 120 μm, and the width of the sub-pixel of each color element is 40 μm. When such a high-definition display element is to be formed by the relief printing method, a very high printing pattern accuracy of 5 μm or less is required.
しかし例えば上記QVGAの画素サイズのディスプレイを製作するためには、サブピクセルあたり約40μmピッチのラインとスペースが必要となるために、パターン精度が悪いと電極層および正孔輸送層もしくは電子輸送層の接触による短絡や、隣り合う有機発光層が混じり混色が発生してしまう。このような問題のために、従来の樹脂凸版では十分な品質の高精細印刷パターンは形成できなかった。 However, for example, in order to produce a display having the pixel size of QVGA, lines and spaces with a pitch of about 40 μm are required per subpixel. Therefore, if the pattern accuracy is poor, the electrode layer and the hole transport layer or the electron transport layer Short circuit due to contact and adjacent organic light emitting layers are mixed and color mixing occurs. Due to such a problem, a high-definition printing pattern with sufficient quality could not be formed with a conventional resin relief printing plate.
一般に樹脂凸版の基材にはPETやPE等が使用されているが、印刷法による有機ELディスプレイデバイスの製造では、大気中で作製を行っているため、前記樹脂凸版の基材が水分を吸収し、膨潤してしまうため、トータルピッチで数十μmの精度を要求される高精細なパターン膜が得られないためである。 Generally, PET, PE, etc. are used for the base plate of the resin relief printing, but since the production of the organic EL display device by the printing method is performed in the atmosphere, the base plate of the resin relief printing absorbs moisture. This is because it swells, and a high-definition pattern film that requires an accuracy of several tens of μm at the total pitch cannot be obtained.
さらに、印刷の再現性を得るうえで、印刷用凸版の凸部の線幅とレリーフ深さとのアスペクト比が高いことが望ましいが、樹脂凸版を高精細パターンのマスクで露光を行う場合、凸部の線幅が変化しない範囲では、露光量が足りずに深いレリーフが得られずアスペクト比が低下してしまう。また、露光により硬化された感光材料の表面は粗いため、転写後のパターン膜の再現性が低下してしまう。 Furthermore, in order to obtain reproducibility of printing, it is desirable that the aspect ratio between the line width and the relief depth of the convex portion of the printing relief plate is high, but when the resin relief plate is exposed with a high-definition pattern mask, the convex portion In the range where the line width does not change, the exposure amount is insufficient and a deep relief cannot be obtained, and the aspect ratio is lowered. Further, since the surface of the photosensitive material cured by exposure is rough, the reproducibility of the pattern film after transfer is lowered.
また、有機ELディスプレイの大型化、高精細化により、ディスプレイの駆動方式としては、パッシブマトリクス駆動から、1画素毎に駆動するアクティブマトリクス駆動方式が主流となり、印刷用凸版をドット状に形成するためには、従来の樹脂凸版では凸の強度不足や、x−y方向両方のアライメントが必要となるため精度不足がより問題となる。またこのようなドット状画素にストライプ状凸版でインクを印刷すると画素分離用隔壁上にインクが形成されてしまうため、画素間での短絡や混色の問題がより顕著となる。さらには、RGB3原色の色配列手法として文字表示等に適したストライプ配列ではなく、映像表示に適したデルタ配列やモザイク配列などの非直線的な色配列になると、高強度でアライメント精度に優れたドット状の印刷用凸版の開発が必須となる。 In addition, due to the increase in size and definition of organic EL displays, the main driving method for display is from passive matrix driving to active matrix driving that drives pixel by pixel, so that printing relief plates are formed in dots. In the conventional resin relief printing, the strength of the convexity is insufficient and the alignment in both the xy directions is necessary, so that the accuracy is more problematic. Further, when ink is printed on such a dot-like pixel with a striped relief, ink is formed on the pixel separation partition, so that the problem of short circuit or color mixing between pixels becomes more prominent. Furthermore, if the color arrangement method of RGB three primary colors is not a stripe arrangement suitable for character display etc. but a non-linear color arrangement such as delta arrangement or mosaic arrangement suitable for video display, it has high strength and excellent alignment accuracy. Development of dot-shaped letterpress printing is essential.
上記課題を解決するためになされた請求項1に係る発明は、基材上の凸状金属ストライプのパターンと、前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域を覆う樹脂層のパターンと、を有し、前記樹脂層のパターンがドットパターンであることを特徴とする印刷用凸版である。上記転写領域は、印刷用凸版を用いて形成するインキパターンに対応する領域を意味する。 The invention according to claim 1, which has been made to solve the above problems, has a pattern of convex metal stripes on a substrate and a pattern of a resin layer covering a transfer region at the top of the convex metal stripes. And the relief pattern for printing characterized by the pattern of the said resin layer being a dot pattern. The said transfer area means the area | region corresponding to the ink pattern formed using the relief printing plate.
請求項2に係る発明は、前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域以外の部分に撥インキ層を有することを特徴とする請求項1に記載の印刷用凸版である。 The invention according to claim 2 is the relief printing plate according to claim 1, further comprising an ink repellent layer in a portion other than the transfer region at the top of the convex metal stripe.
請求項3に係る発明は、前記凸状金属ストライプの側面部が撥インキ層によって覆われていることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷用凸版である。 The invention according to claim 3 is the relief printing plate according to claim 1 or 2, wherein a side surface portion of the convex metal stripe is covered with an ink repellent layer.
請求項4に係る発明は、前記基材表面の露出部が撥インキ層で覆われていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版である。 The invention according to Claim 4 is the relief printing plate according to any one of Claims 1 to 3, wherein the exposed portion of the surface of the base material is covered with an ink repellent layer.
また印刷物の製造方法として、請求項5に係る発明は、インキ供給体から請求項1乃至4いずれかに記載の印刷用凸版の前記転写領域にインキを供給する工程と、該インキを被印刷体に転写し、インキパターンを形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とする印刷物の製造方法である。 Further, as a method for producing a printed matter, the invention according to claim 5 is a method of supplying ink from the ink supply to the transfer area of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 4, and the ink to be printed. And a step of forming an ink pattern at least, and a method for producing a printed matter.
請求項6に係る発明は、平行に並んだ第一隔壁のラインと、該第一隔壁に直交し平行に並んだ第二隔壁のラインとからなる隔壁のパターンを有する被印刷体に、前記樹脂層のパターンと前記隔壁パターンの開口部とを対応させてインキパターンを形成することを特徴とする請求項5に記載の印刷物の製造方法である。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the printed material having a partition pattern comprising a first partition wall line arranged in parallel and a second partition line perpendicular to and parallel to the first partition wall. The printed pattern manufacturing method according to claim 5, wherein an ink pattern is formed by associating a layer pattern with the opening of the partition wall pattern.
請求項7に係る発明は、前記第一隔壁の高さが前記第二隔壁の高さよりも高く、前記凸状金属ストライプのパターンが、第一隔壁のパターンと並行するようにインキパターンを転写することを特徴とする請求項6に記載の印刷物の製造方法である。 The invention according to claim 7 transfers the ink pattern so that the height of the first partition is higher than the height of the second partition, and the pattern of the convex metal stripe is parallel to the pattern of the first partition. It is a manufacturing method of the printed matter of Claim 6 characterized by the above-mentioned.
請求項8に係る発明は、少なくとも第一電極、一層以上の有機発光媒体層、第二電極からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、有機発光媒体層のうち少なくとも一層を請求項5乃至7のいずれかに記載の印刷物の製造方法を用いて印刷形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。 The invention according to claim 8 is the method of manufacturing an organic electroluminescent element comprising at least a first electrode, one or more organic light emitting medium layers, and a second electrode, and at least one of the organic light emitting medium layers is as defined in claims 5 to 7. It is a manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by printing-forming using the manufacturing method of printed matter in any one.
また印刷用凸版の製造方法として、請求項9に係る発明は、基材上に凸状金属ストライプのパターンを形成する工程と、前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域に樹脂層のパターンを形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とする印刷用凸版の製造方法である。 As manufacturing method of the relief printing plate, according to the invention of claim 9 includes the steps of forming a pattern of convex metal strips on the substrate, the pattern of the resin layer in the transfer region of the top portion of the convex metal strips And a step of forming at least a relief printing plate manufacturing method.
請求項10に係る発明は、前記凸状金属ストライプのパターンが、電鋳法を用いて形成することを特徴とする請求項9に記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 10 is the method for producing a relief printing plate according to claim 9, wherein the pattern of the convex metal stripe is formed by electroforming.
請求項11に係る発明は、前記凸状金属ストライプのパターンが、エッチング法を用いて形成することを特徴とする請求項9に記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 11 is the method for producing a relief printing plate according to claim 9, wherein the pattern of the convex metal stripe is formed by using an etching method.
請求項12に係る発明は、前記樹脂層をフォトリソ法により形成することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 12 is the method for producing a relief printing plate according to any one of claims 9 to 11, wherein the resin layer is formed by a photolithography method.
請求項13に係る発明は、前記樹脂層を電着法により形成することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 13 is the method for producing a relief printing plate according to any one of claims 9 to 11, wherein the resin layer is formed by an electrodeposition method.
請求項14に係る発明は、前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域以外の部分に撥インキ層を形成する工程を有することを特徴とする請求項9乃至13のいずれかに印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 14 includes the step of forming an ink repellent layer in a portion other than the transfer region at the top of the convex metal stripe. It is a manufacturing method.
請求項15に係る発明は、撥インキ層が、電着法を用いて形成されていることを特徴とする請求項14に記載の印刷用凸版の製造方法である。 The invention according to claim 15 is the method for producing a relief printing plate according to claim 14, wherein the ink repellent layer is formed by using an electrodeposition method.
請求項1に係る発明の凸版によって、凸版の凸部が金属からなることによって、版の変形が抑えられる。特に、高精細なドット状のパターンを形成する場合にも、ストライプ状の金属の上に転写領域が設けられているために、金属凸部が独立している場合と比較して耐久性を保ったまま版深を深くすることができる。結果として、印刷時の圧力によって版が変形してパターンがつぶれることがないため、パターンの解像度を低下させることがなく、また熱膨張によるパターン変形が少ないため、パターン精度よく印刷が可能となる。また凸部の頭頂部が樹脂層で覆われていることによって、樹脂版と同様の印刷時の柔軟性を示すことで、ガラス基板のような硬い基板に対しても損傷することない。さらに、版深が深くすることができるので、余剰なインキの流出による印刷パターンのずれやインキの混色などによる印刷不良の少ない印刷が可能となった。 According to the relief plate of the invention according to claim 1, deformation of the plate is suppressed by the convex portion of the relief plate being made of metal. In particular, when a high-definition dot pattern is formed, the transfer region is provided on the stripe-shaped metal, so that durability is maintained compared to the case where the metal protrusions are independent. The depth of the plate can be deepened. As a result, the plate is not deformed by the pressure at the time of printing and the pattern is not crushed, so that the resolution of the pattern is not lowered, and the pattern deformation due to thermal expansion is small, so printing with high pattern accuracy is possible. Further, since the top of the convex portion is covered with the resin layer, it exhibits flexibility at the time of printing similar to that of the resin plate, so that even a hard substrate such as a glass substrate is not damaged. Furthermore, since the plate depth can be increased, printing with less printing defects due to misalignment of printing patterns due to excess ink outflow or ink color mixing can be realized.
請求項2に係る発明の凸版によって、凸版頭頂部の転写領域以外の部分に撥水層があることによって、インキング時に隣接パターン同士でインキがつながることがなく、結果として、印刷パターンのずれやインキの混色などによる印刷不良の少ない印刷が可能となった。 According to the relief printing of the invention according to claim 2, by having a water-repellent layer in a portion other than the transfer area at the top of the relief printing, ink is not connected between adjacent patterns at the time of inking. Printing with fewer printing defects due to ink color mixing has become possible.
請求項3に係る発明の凸版によって、さらに凸部側面の露出面に撥水層を供えることによって、インキング時に隣接パターン同士でインキがつながり凹部にインキが流れ込むことをより効果的に防ぐことできるために、結果として、印刷パターンのずれやインキの混色などによる印刷不良の少ない印刷が可能となった。また請求項4に係る発明の凸版によって、インキによる版の腐食等を防ぐことが可能となった。 By providing a water-repellent layer on the exposed surface of the convex portion side surface with the relief plate of the invention according to claim 3, it is possible to more effectively prevent ink from being connected between adjacent patterns during inking and flowing into the concave portion. As a result, printing with fewer printing defects due to misalignment of printing patterns or color mixing of inks can be realized. Further, the relief printing plate of the invention according to claim 4 makes it possible to prevent corrosion of the plate by ink.
請求項5に係る発明によって、変形の少ない金属版と、その頭頂部に樹脂層を有し、さらに請求項2の版を用いた場合には周辺領域に撥インキ層を備えた版を用いて印刷を行うことにより、版の変形がなく、またインキの流出が抑えられるために、印刷パターンのずれやインキの混色などによる印刷不良の少ない高精細な印刷物の製造が可能となった。 According to the invention according to claim 5, a metal plate with less deformation and a resin layer at the top of the metal plate, and when a plate according to claim 2 is used, a plate provided with an ink repellent layer in the peripheral region is used. By performing printing, there is no deformation of the plate and the outflow of ink can be suppressed. Therefore, it has become possible to produce a high-definition printed matter with few printing defects due to misalignment of printing patterns or color mixing of inks.
請求項6に係る発明によって、格子状の隔壁内にインキパターンを形成することにより、隣り合うパターン間でのインキの混色等のない印刷物の製造が可能となった。 According to the invention of claim 6, by forming an ink pattern in a lattice-shaped partition wall, it becomes possible to produce a printed matter without ink color mixing between adjacent patterns.
請求項7に係る発明によって、第一隔壁と凸状金属ストライプのパターンとを並行して印刷を行うことにより、第一隔壁に平行な軸での位置あわせが容易となり、高精細なパターンの形成であってもパターンずれや混色の少ない印刷物の製造が可能となった。 According to the invention of claim 7, by performing printing in parallel with the pattern of the first partition and the convex metal stripe, alignment on an axis parallel to the first partition is facilitated, and formation of a high-definition pattern Even so, it has become possible to produce printed matter with less pattern misalignment and color mixing.
請求項8に係る発明によって、変形の少ない金属版と、その頭頂部に樹脂層と、周辺領域に撥インキ層を備えた版を用いて有機発光媒体層の形成を行うことにより、版の変形がなく、またインキの流出が抑えられるために、発光ムラや、短絡のない、高品質な有機EL素子の製造できた。 According to the invention according to claim 8, by forming an organic light emitting medium layer by using a metal plate with little deformation, a plate having a resin layer at the top thereof, and an ink repellent layer in the peripheral region, the deformation of the plate is achieved. In addition, since the outflow of ink was suppressed, a high-quality organic EL element free from uneven light emission and short circuit could be manufactured.
請求項9に係る発明の凸版によって、凸版の凸部が金属からなることによって、版の変形が抑えられ、印刷時の圧力によってパターンがつぶれることがないため、パターンの解像度を低下させることがなく、また凸部の頭頂部が樹脂層で覆われていることによって、樹脂版と同様の印刷時の柔軟性を示すことで、ガラス基板のような硬い基板に対しても損傷することなく印刷でき、高性能な版の製造が可能となった。 According to the relief plate of the invention according to claim 9, since the convex portion of the relief plate is made of metal, deformation of the plate is suppressed, and the pattern is not crushed by pressure during printing, so that the resolution of the pattern is not lowered. Also, because the top of the convex part is covered with a resin layer, it can be printed without damage even on a hard substrate such as a glass substrate by showing the same flexibility of printing as a resin plate. The production of high-performance plates is now possible.
請求項10に係る発明によって、電鋳法を用いて版の金属パターンを形成することにより、パターン精度のよい、高精細な版の製造が可能となった。 According to the invention of claim 10, by forming the metal pattern of the plate using the electroforming method, it is possible to manufacture a high-definition plate with good pattern accuracy.
請求項11に係る発明によって、エッチング法を用いて金属パターンを形成することにより、転写面の平坦性に優れた版の製造が可能となった。 According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to manufacture a plate having excellent transfer surface flatness by forming a metal pattern using an etching method.
請求項12に係る発明によって、フォトリソ法を用いて樹脂層を形成することにより、精密な転写領域を持つ版が製造可能となり、高精細な印刷物の製造ができた。 According to the invention of claim 12, by forming a resin layer using a photolithography method, a plate having a precise transfer region can be manufactured, and a high-definition printed matter can be manufactured.
請求項13に係る発明によって、電着法を用いて樹脂層を形成することにより、精密な転写領域を持つ版が製造可能になり、高精細な印刷物の製造ができた。 According to the invention of claim 13, by forming a resin layer using an electrodeposition method, a plate having a precise transfer region can be manufactured, and a high-definition printed matter can be manufactured.
請求項14及び15に係る発明によって、撥インキ性の層を電着法で形成することにより、金属表面に容易に撥インキ性の層を形成することが可能となり、金属の腐食のない、耐久性に優れた版の製造が可能となった。 According to the inventions according to claims 14 and 15, it is possible to easily form an ink repellent layer on a metal surface by forming an ink repellent layer by an electrodeposition method, and there is no metal corrosion and durability. This makes it possible to produce plates with excellent properties.
<凸版>
図1に本発明の印刷用凸版の一例を図1に示す。
<Letterpress>
FIG. 1 shows an example of a relief printing plate according to the present invention.
図1(a)は本発明の印刷用凸版版面のパターン形状の例である。有機EL素子等の有機機能性素子やカラーフィルター等のディスプレイ用素子の製造に用いられる版のパターンとしては、ライン形状や、ドット形状のものが用いられる。図示されているようにこの版面凸部のライン幅あるいはパターン幅をaとし、隣り合う凸状パターンの間隔をbとする。 Fig.1 (a) is an example of the pattern shape of the relief printing plate surface of this invention. As a pattern of a plate used for manufacturing an organic functional element such as an organic EL element or a display element such as a color filter, a line pattern or a dot pattern is used. As shown in the drawing, the line width or pattern width of the plate surface convex portion is a, and the interval between adjacent convex patterns is b.
図1(b)は図1(a)をPのラインで切った時の断面図である。基材100の材料としては製造方法の説明で述べるように種々の材料を用いることができる。また後述のように版の製造に電鋳法を用いる場合には、基材に金属を用いるか、基材上に金属膜を設ける必要がある。また版の製造にエッチング法を用いる場合には、版の製造方法の項で後述するように基材上に樹脂層を形成し、樹脂層以外の部分をエッチングすることにより、基材100からなる金属凸部103を形成することができる。 FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line P in FIG. Various materials can be used as the material of the substrate 100 as described in the description of the manufacturing method. In addition, when an electroforming method is used for plate production as described later, it is necessary to use a metal for the base material or to provide a metal film on the base material. When an etching method is used for producing a plate, the substrate 100 is formed by forming a resin layer on the substrate and etching portions other than the resin layer as described later in the section of the plate producing method. The metal convex part 103 can be formed.
凸状パターンの頭頂部から底部までの版深をdとすると、従来は高精細な印刷パターンを印刷する場合には、印刷時に頭頂部から溢れ出たインキが凹部に浸出し、隣り合う凸部からのインキと混色したインキが、被印刷体に転移してしまい、印刷不良となる場合があった。よって、版の幅と版深のアスペクト比a/dは1以上とすることが、凹部に浸出したインキが溢れ出ることを防ぐことができ好ましい。しかし、このような高アスペクト比の凸状パターンを樹脂により形成すると、高精細版においては感光性樹脂の解像度の問題や、強度不足により版が変形したり、損傷したりして印刷不良が生じてしまう。 Assuming that the plate depth from the top to the bottom of the convex pattern is d, conventionally, when printing a high-definition print pattern, the ink overflowing from the top during printing is leached into the concave portion, and the adjacent convex portion Ink mixed with the ink from No. 1 may be transferred to the printing medium, resulting in poor printing. Therefore, it is preferable that the aspect ratio a / d of the plate width and the plate depth is 1 or more because it is possible to prevent the ink leached into the recesses from overflowing. However, if such a high-aspect ratio convex pattern is formed of resin, in high-definition plates, the resolution of the photosensitive resin, and the plate is deformed or damaged due to insufficient strength, resulting in poor printing. End up.
そこで、上記のように金属凸部103を形成し、凸状金属パターンとし、この金属パターンの頭頂部を樹脂層で覆うことによって、上記のような問題を解決することができ、さらにはガラス基板のように硬質で損傷しやすい基板上にもインキパターンを転写することが可能となった。この樹脂層は印刷時に被印刷体を損傷させないために1μm以上であることが好ましい。また、樹脂層が厚くなりすぎると印刷時に樹脂層の変形や膨潤などが起こり、印刷ムラ等が発生する恐れがあるので、10μm以下であることが望ましい。 Therefore, the above-described problems can be solved by forming the metal convex portion 103 as described above, forming a convex metal pattern, and covering the top of the metal pattern with a resin layer, and further, a glass substrate. Thus, the ink pattern can be transferred onto a hard and easily damaged substrate. The resin layer is preferably 1 μm or more so as not to damage the printing medium during printing. Further, if the resin layer becomes too thick, the resin layer may be deformed or swelled during printing, and printing unevenness may occur.
さらに、隣り合う凸状パターンとの間隔bが狭くなってくると、凸部頭頂部に供給されたインキが隣り合う凸部同士で接触し、つながってしまう場合がある。この場合、版から被印刷体に転写されたインキは、印刷不良となり、有機EL素子の場合には短絡、あるいは混色発光といった問題を生じさせることとなる。 Further, when the interval b between the adjacent convex patterns becomes narrow, the ink supplied to the top of the convex portion may come into contact with and connect with the adjacent convex portions. In this case, the ink transferred from the plate to the printing medium becomes a printing defect, and in the case of an organic EL element, a problem such as a short circuit or mixed color emission occurs.
そこで本発明では、凸状パターンの凸部頭頂部の周辺領域又は転写領域以外の部分を撥インキ性の層(撥インキ層)とすることで、確実にインキを阻害できる領域を形成し、隣り合う頭頂部のインキ同士がつながらないようにすることが可能となった。さらに、撥インキ層が凸状パターンの凸部の側面さらには露出している基材表面を覆うことによって、金属部分の腐食や影響を防ぐことができ、さらには凹部へのインキの進入を抑制することができるために好ましい。 Therefore, in the present invention, by forming a region other than the peripheral region of the convex top of the convex pattern or the transfer region as an ink repellent layer (ink repellent layer), a region where ink can be reliably inhibited is formed, It became possible to prevent the ink at the tops of matching from being connected to each other. In addition, the ink-repellent layer covers the side surfaces of the convex portions of the convex pattern and the exposed substrate surface to prevent corrosion and influence of metal parts, and further suppresses ink entry into the concave portions. It is preferable because it can be done.
凸部頭頂部の樹脂層は、転写する印刷パターンにムラを生じないためにできるだけ平坦性をもつことが望ましい。また、この樹脂層は、金属凸部表面との接触面(底面部)にたいして、頭頂部表面の樹脂層の面積が広いこと、例えば逆テーパー形状であることが好ましい(図1(c))。逆テーパーのような形状であることによって、金属凸部直上部に位置する頭頂部の面積を効率よく利用できる。このことは、高精細な印刷の場合には、凸状パターンの間隔bが狭くなり、課題に掲げたような問題を生じるため、できるだけ転写領域を広げ、間隔bを狭めないために重要である。また、順テーパー形状の場合と比較すると、樹脂層の端部が沈下して、撥インキ層の下にもぐりこむなどの変形が少ない。さらには、後述する版の製造工程において、電着法で撥インキ層を形成する場合には、金属表面に撥インキ層を構成する材料が積層していくため、金属表面の領域が広いほうが好ましい。このためにも、樹脂層の底面部の面積より樹脂層の表面領域の面積が大きい、逆テーパー状のような形状が好ましい。 The resin layer at the top of the convex portion is desirably as flat as possible so as not to cause unevenness in the printed pattern to be transferred. Moreover, it is preferable that this resin layer has a large area of the resin layer on the top surface relative to the contact surface (bottom surface portion) with the metal convex surface, for example, a reverse taper shape (FIG. 1C). By having a shape like a reverse taper, the area of the crown located immediately above the metal convex portion can be used efficiently. This is important in the case of high-definition printing, because the convex pattern interval b becomes narrow and causes problems as listed in the problem, so that the transfer region is widened as much as possible and the interval b is not narrowed. . Further, as compared with the case of the forward taper shape, the deformation of the end of the resin layer sinks and is sunk under the ink repellent layer. Furthermore, when an ink repellent layer is formed by an electrodeposition method in the plate manufacturing process described later, since the material constituting the ink repellent layer is laminated on the metal surface, it is preferable that the area of the metal surface is wide. . For this reason, a shape such as a reverse taper shape in which the area of the surface region of the resin layer is larger than the area of the bottom surface portion of the resin layer is preferable.
また樹脂層と、頭頂部周辺領域の撥インキ層の段差は、少なくとも5μm以下、より好ましくは3μm以下であることが、とくに有機ELのような高精細な印刷のためには好ましい。これよりも撥インキ層の高さが低ければ、頭頂部のインキが凹部へ流出してしまう場合があり、逆に撥インキ層の高さが高いと、樹脂層に供給されたインキが撥インキ層に遮られて完全に転写することができない場合があるからである。さらには、0.1〜3μmの範囲で撥インキ層の高さが転写領域である樹脂層よりも高い凸版とすることによって(図1(c))、転写時においても転写領域にインキを固定しておくことができるために、精細なパターンの形成が可能となる。3μm以上では上述のように撥インキ層が障害となって転写領域のインキがうまく転写されない場合があり、0.1μm以下では効果が不十分である。 The step between the resin layer and the ink repellent layer in the region around the top of the head is preferably at least 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, particularly for high-definition printing such as organic EL. If the height of the ink-repellent layer is lower than this, the ink at the top of the head may flow out into the recesses. Conversely, if the height of the ink-repellent layer is high, the ink supplied to the resin layer is ink-repellent. This is because there is a case where the film cannot be completely transferred due to being blocked by the layer. Furthermore, the ink is fixed to the transfer area even at the time of transfer by using a relief printing plate in which the height of the ink repellent layer is higher than the resin layer as the transfer area in the range of 0.1 to 3 μm (FIG. 1C). Therefore, it is possible to form a fine pattern. If the thickness is 3 μm or more, the ink repellent layer may be an obstacle as described above, and the ink in the transfer region may not be transferred well. If the thickness is 0.1 μm or less, the effect is insufficient.
有機ELのように精細な有機薄膜の印刷パターンを印刷するためには、インキの混色を防ぐために前述のように版の幅と版深のアスペクト比a/dは1以上とし、インキの種類にも依るが60μm以下の凸部のパターン幅にたいして版深は30μm以上、より好ましくは50μm以上の版深があることが好ましい。凸状パターンが60μm以下と微細になってくると、凸部表面にインキを塗布した際に表面張力によって、平面上に塗布した場合よりもインキ膜厚が高くなり、このインキが印刷時に版の凹部に流れ込む場合があり、30μm以下の版深では流入したインキが溢れ混色や、印刷のパターンずれを起こす可能性があるためである。 In order to print a fine organic thin film printing pattern such as an organic EL, the aspect ratio a / d of the plate width and plate depth is set to 1 or more as described above in order to prevent ink color mixing. However, it is preferable that the plate depth is 30 μm or more, more preferably 50 μm or more, with respect to the pattern width of the protrusions of 60 μm or less. When the convex pattern becomes as fine as 60 μm or less, the ink film thickness becomes higher than when it is applied on a flat surface due to surface tension when ink is applied to the surface of the convex part. This is because the ink may flow into the recesses, and if the plate depth is 30 μm or less, the inflowed ink may overflow and cause color mixing or misalignment of the printing pattern.
さらに本発明によれば、図1(a)の左上あるいは左下のように、ドット状の転写領域を必要とする場合、つまり形成するパターンがドット状の場合には、(e)の版のようにベースとなる金属凸部部分をストライプパターンとし、その上にドット状の樹脂層を有する版とすることができる。版深を深くなると、特にドットパターンのように個々のパターンの面積が小さい場合には、版の強度が低下し、転写時に版の変形や損傷が生じる可能性がある。そこで金属部分はストライプ状にしておくことによって、樹脂層と対応して金属部分を独立させた場合よりも版凸部の強度を保つことが可能となる。 Furthermore, according to the present invention, when a dot-shaped transfer area is required as shown in the upper left or lower left of FIG. 1A, that is, when the pattern to be formed is a dot, the plate shown in FIG. In addition, a metal convex portion serving as a base can be formed into a stripe pattern, and a plate having a dot-like resin layer thereon can be obtained. When the plate depth is increased, particularly when the area of each pattern is small, such as a dot pattern, the strength of the plate is lowered, and there is a possibility that the plate is deformed or damaged during transfer. Therefore, by keeping the metal portion in a stripe shape, it is possible to maintain the strength of the plate convex portion as compared with the case where the metal portion is made independent corresponding to the resin layer.
この版には、余剰なインキを版の凸部頭頂部に吸着させないために、撥インキ層を金属凸部頭頂部の樹脂層以外の部分、つまり転写領域以外の部分に有することが好ましい。また、印刷形成するパターンが高精細となり、ストライプパターン同士の幅が狭まってくるとインキが接触する恐れがあるために、撥インキ層を設けることが好ましいことも前述の通りである。 This plate preferably has an ink-repellent layer in a portion other than the resin layer on the top of the metal convex portion, that is, a portion other than the transfer region, in order to prevent excessive ink from adsorbing to the top of the convex portion of the plate. In addition, as described above, it is preferable to provide an ink repellent layer because there is a possibility that ink comes into contact when the pattern to be printed has high definition and the width between the stripe patterns becomes narrow.
上記のような金属凸部のストライプパターンと、その上にドット状の樹脂層を有する版では、後述のように隔壁内にパターンを形成しようとする際、金属凸部のストライプ部分が隔壁を跨ぐことになるので、隔壁の高さによっては樹脂層を金属凸部頭頂部の撥インキ層よりも高くする必要がある。 In a plate having a metal convex portion stripe pattern as described above and a dot-like resin layer thereon, the stripe portion of the metal convex portion straddles the partition when attempting to form a pattern in the partition as described later. Therefore, depending on the height of the partition wall, the resin layer needs to be higher than the ink repellent layer at the top of the metal convex portion.
<凸版の製造>
次に本発明の凸版の製造方法を図2及び図3に基づいて説明する。
<Manufacture of letterpress>
Next, the manufacturing method of the relief printing plate of this invention is demonstrated based on FIG.2 and FIG.3.
本発明における印刷用凸版の基材200としては、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアクリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、シリコンウェハや、ステンレス、インバー材などのニッケル鉄合金、スーパーインバーなどのニッケルコバルト鉄合金の板を用いることができる。 As the relief printing base material 200 in the present invention, a plastic film such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyacrylate, polyamide, polymethylmethacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, Sheets, silicon wafers, nickel iron alloys such as stainless steel and invar materials, and nickel cobalt iron alloy plates such as super invar can be used.
また、後述する金属凸部の形成に、例えば電鋳法を用いる場合には形成部分にクロムやアルミニウムといった金属膜を形成しておいてもよい。あるいは、金属基材上の非形成部分に金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化膜、高分子樹脂膜などの絶縁膜を形成してもよい。さらには金属板の裏面にプラスチックフィルムをラミネートするなどしてもよい。またエッチング法を用いる場合にも同様に、除去したくない部分を保護するために金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化膜、高分子樹脂膜などの絶縁膜や、金属膜、プラスチック膜を形成してもよい。 In addition, for example, in the case of using an electroforming method for forming the metal protrusions described later, a metal film such as chromium or aluminum may be formed on the formation portion. Alternatively, an insulating film such as a metal oxide, a metal nitride, a metal oxynitride film, or a polymer resin film may be formed on a non-formed portion on the metal substrate. Furthermore, a plastic film may be laminated on the back surface of the metal plate. Similarly, when an etching method is used, an insulating film such as a metal oxide, metal nitride, metal oxynitride film, or polymer resin film, a metal film, or a plastic film is used to protect a portion that is not desired to be removed. It may be formed.
上記基材において、特に大型基板に高精細のパターンを位置精度良く形成するためは、熱膨張係数が50×10−7/℃以下、より好ましくは、20×10−7/℃以下の基材を選択することが良い。さらには、印刷ロールに巻きつけ可能な可とう性を有することがより好ましい。このような基材101の例としては、インバー材やスーパーインバー材といった低熱膨張係数を有する金属シートを用いることが好ましい。金属シートの厚みとしては、印刷の版銅に巻きつけるのに十分な可とう性を有し、熱や衝撃により変形しない強度を有していれば良く、0.5mm以下、より好ましくは0.3mm以下が好適に用いることができる。 In the above-mentioned base material, in order to form a high-definition pattern with high positional accuracy particularly on a large substrate, the base material having a thermal expansion coefficient of 50 × 10 −7 / ° C. or lower, more preferably 20 × 10 −7 / ° C. or lower. It is good to choose. Furthermore, it is more preferable to have flexibility that can be wound around a printing roll. As an example of such a base material 101, it is preferable to use a metal sheet having a low thermal expansion coefficient such as Invar material or Super Invar material. As the thickness of the metal sheet, it is sufficient that the metal sheet has sufficient flexibility to be wound around a printing plate copper and has a strength that does not deform due to heat or impact, and is preferably 0.5 mm or less, more preferably 0.8 mm. 3 mm or less can be used suitably.
まず始めに、図2(1d)及び(2d)に図示されているように、金属凸部からなる凸状金属パターン204を形成する。凸状金属パターンを形成する方法として、基材上に金属膜を堆積させる方法、あるいは、エッチングにより基材表面を削り、パターンを形成する方法がある。 First, as shown in FIGS. 2 (1d) and 2 (2d), a convex metal pattern 204 composed of metal convex portions is formed. As a method for forming a convex metal pattern, there are a method of depositing a metal film on a base material, or a method of forming a pattern by shaving the surface of the base material by etching.
基材上に金属膜を堆積させる方法での凸状金属パターン204の形成方法としては、電鋳法、ウェットコーティング法、CVD法、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法を必要に応じて使用することができる。金属の堆積には、凹部に隙間なく均一に埋め込み可能である電鋳法を用いることが好ましい。その他の方法でも、マスクを用いてパターン状に金属を堆積させて凸状パターンを形成することが可能であるが、特に本発明の課題とする高精細な版の作製においては、パターンの精度が求められるため、上記のような電鋳法の特性が適しているからである。電鋳法を用いる場合には、前述したように金属の基材あるいは金属膜を表面に形成した基材を用いる。金属としては、特に制限はなく、例えば、ニッケル、クロム、銅、金、アルミ、銀、鉄などを用いることができる。 As a method of forming the convex metal pattern 204 by depositing a metal film on a substrate, an electroforming method, a wet coating method, a CVD method, a sputtering method, a vapor deposition method, or an ion plating method is used as necessary. can do. For metal deposition, it is preferable to use an electroforming method that can be uniformly embedded in the recess without any gap. In other methods, it is possible to form a convex pattern by depositing metal in a pattern using a mask. However, in the production of a high-definition plate, which is the subject of the present invention, the pattern accuracy is high. This is because the characteristics of the electroforming method as described above are suitable. When the electroforming method is used, as described above, a metal substrate or a substrate on which a metal film is formed is used. There is no restriction | limiting in particular as a metal, For example, nickel, chromium, copper, gold | metal | money, aluminum, silver, iron etc. can be used.
図2に従って、まず基材上に金属膜を堆積させる方法での凸状金属パターン204の形成工程を説明する。まず、基材200上に、感光性樹脂層201を積層する(図2(1a))。次にフォトリソグラフィー法を用いて、不要部を除去して複数の凸状パターン202を形成する(図2(1b))。このとき形成する感光性樹脂の凸状パターンは最終的に製造する凸版の凸状パターンに対して反転したパターンである。次に、感光性樹脂の凸状パターン202の間隙凹部に金属203を堆積する(図2(1c))。最後に、感光性樹脂の凸状パターン202を除去することにより、凸状金属パターン204を形成することができる。 First, a process of forming the convex metal pattern 204 by a method of depositing a metal film on a substrate will be described with reference to FIG. First, the photosensitive resin layer 201 is laminated on the substrate 200 (FIG. 2 (1a)). Next, by using a photolithography method, unnecessary portions are removed to form a plurality of convex patterns 202 (FIG. 2 (1b)). The convex pattern of the photosensitive resin formed at this time is a pattern that is inverted with respect to the convex pattern of the letterpress finally produced. Next, metal 203 is deposited in the gap recesses of the convex pattern 202 of the photosensitive resin (FIG. 2 (1c)). Finally, the convex metal pattern 204 can be formed by removing the convex pattern 202 of the photosensitive resin.
エッチング法で版を作製する場合は、基材200上に、同じく感光性樹脂層201を積層した後に、フォトリソグラフィー法を用いて、不要部を除去して複数の凸状パターン202を形成する(図3(2b))。この時、形成する感光性樹脂の凸状パターンは、電鋳法とは異なり、最終的に製造する凸版の凸状パターンと同じ箇所に形成する。次に、ウェットエッチング法やドライエッチング法を用いて、基材200のうち、感光性樹脂の凸状パターンが形成されていない部分をエッチングし、凹部205を形成する(図3(2c))。次に、感光性樹脂の凸状パターン202を除去することにより、凸状金属パターン204を形成することができる(図3(2d))。エッチング法によれば、凸状金属パターン204の頭頂部が基材表面に当たるため、凸部の高さの均一性及び平坦性に優れている。 In the case of producing a plate by an etching method, the photosensitive resin layer 201 is similarly laminated on the substrate 200, and then unnecessary portions are removed by using a photolithography method to form a plurality of convex patterns 202 ( FIG. 3 (2b)). At this time, unlike the electroforming method, the convex pattern of the photosensitive resin to be formed is formed at the same location as the convex pattern of the relief plate to be finally produced. Next, using a wet etching method or a dry etching method, a portion of the substrate 200 where the convex pattern of the photosensitive resin is not formed is etched to form a concave portion 205 (FIG. 3 (2c)). Next, the convex metal pattern 204 can be formed by removing the convex pattern 202 of the photosensitive resin (FIG. 3 (2d)). According to the etching method, since the top of the convex metal pattern 204 hits the substrate surface, the height of the convex portion is excellent in uniformity and flatness.
上記感光性樹脂層201の材料としては、特に制限はないが、めっき液やエッチング液に対して耐性があることが好ましい。さらには、有機溶媒やアルカリ水溶液などで容易に除去できるものを選択することが好ましい。アクリル、エポキシ、ナイロン、ポリエステル、ウレタン、シリコーン、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ノボラックなどの樹脂を用途に応じて用いることができる。厚みとしては、特に制限はないが、電鋳法で金属版を作製する場合には、この感光性樹脂層201により、金属版のパターンが決まるために、少なくとも印刷用凸版の版深として必要な30μm以上であることが好ましく、より好ましくは50μm以上である。このような厚膜の樹脂を大面積基板に形成する好適な手段として、ネガ型のアクリルやエポキシ系の市販ドライフィルムレジストを使用することができる。一方、エッチング法で金属版を作製する場合には、レジストの厚みには特に制限はなく、エッチング液に対する耐性が求められる。 The material of the photosensitive resin layer 201 is not particularly limited, but is preferably resistant to a plating solution and an etching solution. Furthermore, it is preferable to select one that can be easily removed with an organic solvent or an aqueous alkali solution. Resins such as acrylic, epoxy, nylon, polyester, urethane, silicone, polyvinyl alcohol, polyimide, and novolac can be used depending on the application. The thickness is not particularly limited, but when a metal plate is produced by electroforming, the pattern of the metal plate is determined by the photosensitive resin layer 201. Therefore, it is necessary at least as the plate depth of the relief printing plate. The thickness is preferably 30 μm or more, more preferably 50 μm or more. As a suitable means for forming such a thick resin on a large-area substrate, a negative acrylic or epoxy-based commercially available dry film resist can be used. On the other hand, when a metal plate is produced by an etching method, the thickness of the resist is not particularly limited, and resistance to an etching solution is required.
次に、上述の図2の工程により作製した凸状金属パターン上に、樹脂層及び撥インキ層を形成する方法を図3に基づいて説明する。 Next, a method of forming a resin layer and an ink repellent layer on the convex metal pattern produced by the process of FIG. 2 will be described with reference to FIG.
樹脂層303は、特に形成方法に制限はないが、たとえば図3の工程のようにフォトリソ法あるいは電着法を用いて形成することができる。このとき形成する樹脂層のパターンは、転写領域に対応する。つまり、版によって形成するパターンがドットパターンである場合には、樹脂層のパターンもドットパターンとなる。 The formation method of the resin layer 303 is not particularly limited, but can be formed by using, for example, a photolithography method or an electrodeposition method as in the step of FIG. The pattern of the resin layer formed at this time corresponds to the transfer region. That is, when the pattern formed by the plate is a dot pattern, the resin layer pattern is also a dot pattern.
フォトリソ法の場合、スピンコート法やスリットコート法、ラミネート法、バーコート法、ロールコート法、ナイフコート法などの塗工法により、凸状パターン301が形成された基材300上に、感光性樹脂膜302を形成し(図3(1b))、フォトリソ法により凸状パターン上の転写領域のみに樹脂層303を形成する(図3(1c))。樹脂層303は、凸状金属パターン301の中心領域に形成され、また、この樹脂層303の上部が印刷ラインの幅や直線性などを左右するため、正常な印刷ラインパターンを得るためには、樹脂層303の上辺は平坦であることが好ましい。また、樹脂層303上辺の幅は凸状金属パターン301上辺の幅よりも狭いと、後述する撥インキ層304を樹脂層303とほぼ同程度の膜厚で形成可能であるためより好ましい。 In the case of the photolithography method, a photosensitive resin is formed on the substrate 300 on which the convex pattern 301 is formed by a coating method such as a spin coating method, a slit coating method, a laminating method, a bar coating method, a roll coating method, or a knife coating method. A film 302 is formed (FIG. 3 (1b)), and a resin layer 303 is formed only in the transfer region on the convex pattern by photolithography (FIG. 3 (1c)). Since the resin layer 303 is formed in the central region of the convex metal pattern 301 and the upper part of the resin layer 303 affects the width and linearity of the print line, in order to obtain a normal print line pattern, The upper side of the resin layer 303 is preferably flat. In addition, it is more preferable that the width of the upper side of the resin layer 303 is narrower than the width of the upper side of the convex metal pattern 301 because an ink-repellent layer 304 described later can be formed with a film thickness substantially the same as that of the resin layer 303.
また、電着法にて樹脂層303を得る方法としては、例えば、図3(b)のように感光性樹脂膜302を形成した後に、樹脂層303を形成する領域をフォトリソ法で除去し(図3(2d)、電着法にて樹脂層303を形成し(図3(2d))、最後に、感光性樹脂層302を除去する(図3(2e))。このとき電着する領域、つまりフォトリソ法で除去する樹脂膜302の領域は、最終的な版の頭頂部の周辺領域に形成する撥インキ層のために、凸状金属パターン凸部の幅よりも小さいことが好ましい。 Further, as a method of obtaining the resin layer 303 by the electrodeposition method, for example, after forming the photosensitive resin film 302 as shown in FIG. 3B, the region where the resin layer 303 is formed is removed by a photolithography method ( 3 (2d), a resin layer 303 is formed by electrodeposition (FIG. 3 (2d)), and finally the photosensitive resin layer 302 is removed (FIG. 3 (2e)). That is, the region of the resin film 302 to be removed by the photolithographic method is preferably smaller than the width of the convex metal pattern convex portion because of the ink repellent layer formed in the peripheral region of the top of the final plate.
上記の樹脂層形成に用いられる樹脂層の材料としては、アクリル、エポキシ、ナイロン、ポリエステル、ウレタン、シリコーン、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ノボラックなどの樹脂を用いることができ、上辺形状をできるだけ平坦にするために、ネガ型の感光性樹脂を用いることが好ましい。ネガ型の感光性樹脂を用いることによって、高精細な樹脂層のパターンが形成でき、さらに容易に樹脂層を逆テーパー状に形成することができる。 As a material of the resin layer used for the above resin layer formation, resins such as acrylic, epoxy, nylon, polyester, urethane, silicone, polyvinyl alcohol, polyimide, and novolac can be used, and the top side shape is made as flat as possible. In addition, it is preferable to use a negative photosensitive resin. By using a negative photosensitive resin, a high-definition resin layer pattern can be formed, and the resin layer can be easily formed into a reverse taper shape.
最後に、図3(1c)や(2e)の凸状金属パターン301の頭頂部周縁領域や側面、基材300の露出面に撥インキ層304を形成する(図3(1d)、(2f))。この時、頭頂部周縁部の膜厚が樹脂層303の膜厚と同程度であることが好ましい。これにより、印刷パターンを高精細化しても隣接ラインとのインク混色を防ぐことができ、また、後述する正孔輸送インク(PEDOT)のアルコール含有酸性水溶液によって、凸状金属パターン301や基材300が腐食するのを防ぐ効果がある。撥インキ層の形成方法としては、電着法や、塗工法、ドライコーティング法などを用いることができるが、金属部のみに選択的に成膜可能である電着法を使用することが好ましい。 Finally, the ink-repellent layer 304 is formed on the peripheral region and the side surface of the top of the convex metal pattern 301 of FIGS. 3 (1c) and 3 (2e) and the exposed surface of the substrate 300 (FIGS. 3 (1d) and (2f). ). At this time, it is preferable that the film thickness of the peripheral part of the top of the head is approximately the same as the film thickness of the resin layer 303. Thereby, even if the print pattern is made high-definition, it is possible to prevent ink color mixing with adjacent lines, and the convex metal pattern 301 and the base material 300 are formed by an alcohol-containing acidic aqueous solution of a hole transport ink (PEDOT) described later. Has the effect of preventing corrosion. As a method for forming the ink repellent layer, an electrodeposition method, a coating method, a dry coating method, or the like can be used, but it is preferable to use an electrodeposition method capable of selectively forming a film only on a metal portion.
<印刷物の製造>
次に、本発明の印刷用凸版を用い、凸版印刷法により被印刷体表面にインキパターンを形成する印刷物の製造方法について示す。図5に本発明の印刷物の製造に用いられる凸版印刷装置の概略図を示した。ステージ400には被印刷体401が固定されており、印刷用凸版402は版胴403に固定され、印刷用凸版はインキ供給体であるアニロックスロール404と接しており、アニロックスロールはインキ補充装置405とドクター406を備えている。
<Manufacture of printed matter>
Next, the manufacturing method of the printed matter which forms an ink pattern on the to-be-printed body surface by the relief printing method using the relief printing plate of this invention is shown. FIG. 5 shows a schematic diagram of a relief printing apparatus used for producing the printed matter of the present invention. A printing substrate 401 is fixed to the stage 400, a printing relief plate 402 is fixed to a plate cylinder 403, and the printing relief plate is in contact with an anilox roll 404 which is an ink supply body. The anilox roll is an ink replenishing device 405. And a doctor 406.
まず、インキ補充装置405からアニロックスロール404へインキを補充し、アニロックスロールに供給されたインキ407のうち余分なインキは、ドクター406により除去される。インキ補充装置には、滴下型のインキ補充装置、ファウンテンロール、スリットコータ、ダイコータ、キャップコータなどのコータやそれらを組み合わせたものなどを用いることもできる。ドクターにはドクターブレードの他にドクターロールといった公知の物を用いることもできる。また、アニロックスロールは、クロム製やセラミックス製のものを用いることができる。また、印刷用凸版へのインキ供給体としてシリンダー状のアニロックスロールではなく、平版のアニロックス版を用いることも可能である。平版のアニロックス版は、例えば、被印刷体401の位置に配置され、インキ補充装置によりアニロックス版全面にインキを補充した後、版胴を回転させることにより被印刷体へのインキの供給をおこなうことができる。 First, ink is replenished from the ink replenishing device 405 to the anilox roll 404, and excess ink out of the ink 407 supplied to the anilox roll is removed by the doctor 406. As the ink replenishing device, a dripping type ink replenishing device, a fountain roll, a slit coater, a die coater, a cap coater such as a cap coater, or a combination thereof may be used. As the doctor, a known object such as a doctor roll can be used in addition to the doctor blade. The anilox roll can be made of chromium or ceramics. Further, instead of the cylindrical anilox roll, it is also possible to use a flat anilox plate as the ink supply to the printing relief plate. The lithographic anilox plate is disposed, for example, at the position of the printing medium 401. After the ink is replenished to the entire surface of the anilox plate by an ink replenishing device, the plate cylinder is rotated to supply ink to the printing medium. Can do.
印刷用凸版へのインキ供給体であるアニロックスロール404表面にドクター406によって均一に保持されたインキは、版胴403に取り付けられた印刷用凸版402の凸状パターンに転移、供給される。本発明の印刷用凸版においては、凸部周辺領域に撥インキ層を有するために、樹脂層に対応する転写領域インキが流出することがなく、さらには隣り合う凸状パターンのインキとつながってしまうこともない。 The ink uniformly held by the doctor 406 on the surface of the anilox roll 404 which is an ink supply body to the printing relief plate is transferred and supplied to the convex pattern of the printing relief plate 402 attached to the plate cylinder 403. In the relief printing plate of the present invention, since the ink repellent layer is provided in the peripheral area of the convex part, the transfer area ink corresponding to the resin layer does not flow out, and further, it is connected to the ink of the adjacent convex pattern. There is nothing.
次に、版胴の回転に合わせて印刷用凸版の凸部パターンと被印刷体401は接しながら相対的に移動し、インキ407はステージ400上にある被印刷体の所定位置に転移し、被印刷体上にインキパターン408を形成する。被印刷体にインキパターンが設けられた後は、必要に応じてオーブンなどによる乾燥工程を設けることができる。 Next, in accordance with the rotation of the plate cylinder, the convex portion pattern of the printing relief plate and the printing medium 401 move relatively in contact with each other, and the ink 407 is transferred to a predetermined position on the printing medium on the stage 400 to be covered. An ink pattern 408 is formed on the printed body. After the ink pattern is provided on the substrate, a drying step using an oven or the like can be provided as necessary.
なお、印刷用凸版402上にあるインキを被印刷体401に印刷するときにおいては、版胴403の回転にあわせ被印刷体が固定されたステージ400を移動させる方式であってもよいし、図5上部の版胴405、印刷用凸版、アニロックスロール404、インキ補充装置405からなる印刷ユニットを版胴の回転に合わせ移動させる方式であってもよい。また、本発明の印刷用凸版は版胴403上に樹脂層を形成し、直接製版し、凸部パターンを形成してもよい。 When printing the ink on the printing relief plate 402 on the printing medium 401, a method of moving the stage 400 on which the printing medium is fixed in accordance with the rotation of the plate cylinder 403 may be used. 5 may be a system in which a printing unit comprising the upper plate cylinder 405, the printing relief plate, the anilox roll 404, and the ink replenishing device 405 is moved in accordance with the rotation of the plate cylinder. The printing relief plate of the present invention may be formed by forming a resin layer on the plate cylinder 403 and directly making a plate to form a projection pattern.
なお、図5は1枚毎に被印刷体にインキパターンを形成する枚葉式の凸版印刷装置であるが、本発明の印刷物の製造方法にあって被印刷体がウェブ状で巻き取り可能である場合には、ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いることもできる。ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いた場合には連続してインキパターンを形成することが可能となり、製造コストを低くすることが可能となる。 Note that FIG. 5 shows a sheet-fed relief printing apparatus that forms an ink pattern on the printing medium for each sheet. However, in the method for producing a printed material according to the present invention, the printing medium can be wound in a web shape. In some cases, a roll-to-roll relief printing apparatus can be used. When a roll-to-roll type letterpress printing apparatus is used, it is possible to continuously form an ink pattern and to reduce the manufacturing cost.
本発明の印刷用凸版によれば、金属部分を備えていることで形成時に版の凸部が破損、あるいは変形してしまうことがなく、インキ接触面には樹脂層が設けられていることでガラス基板のような硬質な基板においても損傷することなく印刷することが可能である。そして、凸部周辺領域が撥インキ性であることにより、版表面の転写領域からインキが流出せず、精細な印刷パターンを形成することが可能である。 According to the relief printing plate of the present invention, by providing a metal portion, the projection of the plate is not damaged or deformed at the time of formation, and the resin contact layer is provided on the ink contact surface. Even a hard substrate such as a glass substrate can be printed without being damaged. Since the convex peripheral area is ink-repellent, the ink does not flow out from the transfer area on the plate surface, and a fine print pattern can be formed.
隣り合うパターンのインキが流出してショート・混色等が生じることを防ぐためにパターンの画素ごとに被印刷体に隔壁を設ける場合にも、上記印刷法を用いることによって、パターン形成時にインクの飛散等を生じないために隔壁の高さを低くすることができる。 Even when a partition is provided on the substrate to be printed for each pixel of the pattern in order to prevent the ink of adjacent patterns from flowing out and causing short circuit, color mixing, etc., by using the above printing method, ink scattering, etc. Therefore, the height of the partition wall can be reduced.
また、図1(e)に記載される本発明の凸版を用いた場合には、図6の(a)に示されるような格子状に形成された隔壁であって、この隔壁が一方向(図のy方向)に平行な高い隔壁部分(第一隔壁:503a)と、それと垂直な方向(x方向)に平行な、より低い隔壁部分(第二隔壁:503b)とを持つような隔壁であればより好ましい。つまり、図6の(b)に示すように、第一隔壁のラインと版の凸状金属ストライプのパターンとを一致させることができるために、第一隔壁によって容易に形成するパターンのy方向の位置あわせが可能となる。 Further, when the relief printing plate of the present invention shown in FIG. 1 (e) is used, the partition is formed in a lattice shape as shown in FIG. A partition wall having a high partition wall portion (first partition wall: 503a) parallel to the y direction in the figure and a lower partition wall portion (second partition wall: 503b) parallel to the direction perpendicular to the y direction (x direction). More preferably. That is, as shown in FIG. 6B, since the line of the first partition and the pattern of the convex metal stripe on the plate can be matched, the pattern of the pattern easily formed by the first partition in the y direction Positioning becomes possible.
<有機EL素子の製造>
次に、本発明での凸版を用いた印刷物の製造方法の一例として、有機EL素子の製造方法について説明する。
<Manufacture of organic EL elements>
Next, a method for manufacturing an organic EL element will be described as an example of a method for manufacturing a printed material using a relief plate in the present invention.
図6に有機EL素子の一例を示した。有機EL素子の駆動方法としては、パッシブマトリックス方式とアクティブマトリックス方式があるが、本発明の製造方法はパッシブマトリックス方式の有機EL素子、アクティブマトリックス方式の有機EL素子のどちらにも適用可能である。 FIG. 6 shows an example of the organic EL element. As a method for driving the organic EL element, there are a passive matrix type and an active matrix type. However, the manufacturing method of the present invention can be applied to both a passive matrix type organic EL element and an active matrix type organic EL element.
パッシブマトリックス方式とはストライプ状の電極を直交させるように対向させ、その交点を発光させる方式であるのに対し、アクティブマトリックス方式は画素毎にトランジスタを形成した、いわゆる薄膜トランジスタ(TFT)基板を用いることにより、画素毎に独立して発光する方式である。 The passive matrix method is a method in which stripe-shaped electrodes are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and light is emitted at the intersection, whereas the active matrix method uses a so-called thin film transistor (TFT) substrate in which a transistor is formed for each pixel. Thus, the light is emitted independently for each pixel.
図4に示すように、本発明の有機EL素子は、基板501の上に、陽極としてストライプ状に第一電極502を有している。隔壁503は第一電極間に設けられ、第一電極端部のバリ等よるショートを防ぐことを目的として第一電極端部を覆うことがましい。 As shown in FIG. 4, the organic EL element of the present invention has a first electrode 502 in a stripe shape as an anode on a substrate 501. The partition wall 503 is provided between the first electrodes, and preferably covers the first electrode end for the purpose of preventing a short circuit due to burrs at the first electrode end.
そして、本発明の有機EL素子は、第一電極502上であって、隔壁503で区画された領域に有機発光層及び発光補助層からなる有機発光媒体層を有している。電極間に挟まれる有機発光媒体層は、有機発光層単独から構成されたものであってもよいし、有機発光層と発光補助層との積層構造から構成されたものでもよい。発光補助層としては正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層が挙げられる。図6では発光補助層である正孔輸送層604と有機発光層605との積層構造からなる構成を示している。ディスプレイを製造する場合には、第一電極上に正孔輸送層604が設けられ、正孔輸送層上に赤色(R)有機発光層、緑色(G)有機発光層、青色(B)有機発光層を各画素にそれぞれ設ければよい。 The organic EL device of the present invention has an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer on the first electrode 502 and in a region partitioned by the partition walls 503. The organic light emitting medium layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, or may be composed of a laminated structure of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer. Examples of the light emission auxiliary layer include a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer. FIG. 6 shows a configuration having a laminated structure of a hole transport layer 604 that is a light emission auxiliary layer and an organic light emitting layer 605. When manufacturing a display, a hole transport layer 604 is provided on the first electrode, and a red (R) organic light emitting layer, a green (G) organic light emitting layer, and a blue (B) organic light emitting are formed on the hole transport layer. A layer may be provided for each pixel.
次に、有機発光媒体層上に陽極である第一電極602と対向するように陰極として第二電極606が配置される。パッシブマトリックス方式の場合、ストライプ状を有する第一電極と直交する形で第二電極はストライプ状に設けられる。アクティブマトリックス方式の場合、第二電極は、有機EL素子全面に形成される。更に、図示していないが、環境中の水分、酸素の第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極への侵入を防ぐために有効画素全面に対してガラスキャップ等による封止体が設けられ、接着剤を介して基板と貼りあわされる。 Next, the 2nd electrode 606 is arrange | positioned as a cathode so as to oppose the 1st electrode 602 which is an anode on an organic light emitting medium layer. In the case of the passive matrix method, the second electrode is provided in a stripe shape so as to be orthogonal to the first electrode having a stripe shape. In the case of the active matrix method, the second electrode is formed on the entire surface of the organic EL element. Further, although not shown, a sealing body such as a glass cap is provided on the entire effective pixel in order to prevent moisture and oxygen in the environment from entering the first electrode, the organic light emitting layer, the light emitting auxiliary layer, and the second electrode. It is provided and bonded to the substrate via an adhesive.
本発明製造方法による有機EL素子は、少なくとも基板と、当該基板に支持されたパターン状の第一電極と、有機発光層と、第二電極を具備する。本発明の有機EL素子は、図6とは逆に、第一電極を陰極、第二電極を陽極とする構造であっても良い。また、ガラスキャップ等の封止体の代わりに有機発光媒体層や電極を外部の酸素や水分の浸入から保護するためにパッシベーション層や外部応力から保護する保護層、あるいはその両方の機能備えた封止基材を備えてもよい。 The organic EL device according to the production method of the present invention includes at least a substrate, a patterned first electrode supported by the substrate, an organic light emitting layer, and a second electrode. In contrast to FIG. 6, the organic EL element of the present invention may have a structure in which the first electrode is a cathode and the second electrode is an anode. In addition, in order to protect the organic light emitting medium layer and the electrode from the ingress of external oxygen and moisture in place of a sealing body such as a glass cap, a sealing layer having a function of a passivation layer and a protective layer for protecting from external stress, or both, is provided. You may provide a stop base material.
次に、素子の製造方法について説明する。本発明にかかる基板としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。この基板側から光を取り出すボトムエミッション方式の有機EL素子とする場合には、基板として透明なものを使用する必要がある。例えば、基板としてはガラス基板や石英基板が使用できる。また、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアクリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシートであっても良い。これらプラスチックフィルムあるいはシートに、有機発光媒体層への水分の侵入を防ぐことを目的として、金属酸化物薄膜、金属弗化物薄膜、金属窒化物薄膜、金属酸窒化膜薄膜、あるいは高分子樹脂膜を積層したものを基板として利用してもよい。また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施してから使用することが好ましい。 Next, a method for manufacturing the element will be described. As the substrate according to the present invention, any substrate can be used as long as it has an insulating property. In the case of a bottom emission type organic EL element that extracts light from the substrate side, it is necessary to use a transparent substrate. For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used as the substrate. Further, it may be a plastic film or sheet such as polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyacrylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, or polyethylene naphthalate. These plastic films or sheets are coated with metal oxide thin films, metal fluoride thin films, metal nitride thin films, metal oxynitride thin films, or polymer resin films for the purpose of preventing moisture from entering the organic light emitting medium layer. A laminate may be used as the substrate. In addition, it is more preferable to reduce the moisture adsorbed on the inside or the surface of the substrate as much as possible by performing a heat treatment on these substrates in advance. Further, in order to improve the adhesion depending on the material to be laminated on the substrate, it is preferable to use after performing surface treatment such as ultrasonic cleaning treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, UV ozone treatment.
また、これらに薄膜トランジスタ(TFT)を形成して、アクティブマトリックス方式の有機EL素子用の基板とすることが可能である。本発明の有機EL素子基板とする場合には、TFT上に、平坦化層が形成してあるとともに、平坦化層上に有機EL素子の下部電極が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層に設けたコンタクトホールを介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。TFTや、その上方に構成される有機EL素子は支持体で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましく、具体的には先に基板として述べた材料を用いることができる。 Further, a thin film transistor (TFT) can be formed on these to form a substrate for an active matrix organic EL element. In the case of the organic EL element substrate of the present invention, a planarization layer is formed on the TFT, and the lower electrode of the organic EL element is provided on the planarization layer, and the TFT and the lower electrode are provided. Are preferably electrically connected through a contact hole provided in the planarization layer. By comprising in this way, the outstanding electrical insulation can be obtained between TFT and an organic EL element. The TFT and the organic EL element formed above the TFT are supported by a support. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Specifically, the materials described above as the substrate can be used.
第一電極を陽極とした場合、その材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、亜鉛アルミニウム複合酸化物等の金属複合酸化物や金、白金、クロムなどの金属材料を単層または積層したものをいずれも使用できる。第一電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。なお、低抵抗であること、溶剤耐性があること、また、ボトムミッション方式としたときには透明性が高いことなどからITOが好ましく使用できる。ITOはスパッタ法によりガラス基板上に形成され、フォトリソ法によりパターニングされて第一電極2となる。 When the first electrode is used as an anode, the material is a metal composite such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), tin oxide, zinc oxide, indium oxide, zinc aluminum composite oxide. A single layer or a stacked layer of metal materials such as oxide, gold, platinum, and chromium can be used. As a method for forming the first electrode, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. In addition, ITO is preferably used because of its low resistance, solvent resistance, and high transparency when the bottom mission method is adopted. ITO is formed on the glass substrate by sputtering, and is patterned by photolithography to form the first electrode 2.
第一電極502を形成後、第一電極縁部を覆うようにして隔壁503が形成される。隔壁503は絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁形成材料として、SiO2、TiO2等を用いることもできる。隔壁形成材料が感光性材料の場合、形成材料溶液をスリットコート法やスピンコート法により全面コーティングしたあと、露光、現像といったフォトリソ法によりパターニングがおこなわれる。スピンコート法の場合、隔壁の高さは、スピンコートするときの回転数等の条件でコントロールできるが、1回のコーティングでは限界の高さがあり、それ以上高くするときは複数回スピンコートを繰り返す手法を用いる。感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁を形成する場合、その形状は露光条件や現像条件により制御可能である。例えば、ネガ型の感光性樹脂を塗布し、露光・現像した後、ポストベークして、隔壁を得るときに、隔壁端部の形状を順テーパー形状としたい場合には、この現像条件である現像液の種類、濃度、温度、あるいは現像時間を制御すればよい。現像条件を穏やかなものとすれば、隔壁端部は順テーパー形状となり、現像条件を過酷にすれば、隔壁端部は逆テーパー形状となる。また、隔壁形成材料がSiO2、TiO2の場合、スパッタリング法、CVD法といった乾式成膜法で形成可能である。この場合、隔壁のパターニングはマスクやフォトリソ法により行うことができる。 After forming the first electrode 502, a partition wall 503 is formed so as to cover the edge of the first electrode. The partition wall 503 needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The photosensitive material may be a positive type or a negative type, a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cationic polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. Moreover, SiO2, TiO2, etc. can also be used as a partition wall forming material. When the partition wall forming material is a photosensitive material, the entire surface of the forming material solution is coated by a slit coating method or a spin coating method, and then patterning is performed by a photolithography method such as exposure and development. In the case of the spin coating method, the height of the partition wall can be controlled by conditions such as the number of rotations when spin coating, but there is a limit height in one coating, and if it is higher than that, multiple spin coatings are performed. Use an iterative approach. When the barrier rib is formed by a photolithography method using a photosensitive material, its shape can be controlled by exposure conditions and development conditions. For example, when a negative photosensitive resin is applied, exposed and developed, and then post-baked to obtain a partition wall, if the shape of the partition wall end portion is to have a forward tapered shape, development under this development condition The type, concentration, temperature, or development time of the liquid may be controlled. If the development conditions are mild, the partition wall ends have a forward taper shape, and if the development conditions are severe, the partition wall ends have a reverse taper shape. Further, when the partition wall forming material is SiO 2 or TiO 2, it can be formed by a dry film forming method such as a sputtering method or a CVD method. In this case, patterning of the partition walls can be performed by a mask or a photolithography method.
第一電極502を形成後、第一電極縁部を覆うようにして隔壁503が形成される。隔壁503は絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。隔壁503は、前述した金属状凸版のストライプラインに平行な第一隔壁503aと、それに垂直な第二隔壁503bから構成され、それぞれが交わることで格子形状となっている(図6(a))。 After forming the first electrode 502, a partition wall 503 is formed so as to cover the edge of the first electrode. The partition wall 503 needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The partition wall 503 is composed of a first partition wall 503a parallel to the stripe line of the metallic relief plate described above and a second partition wall 503b perpendicular to the first partition wall 503a, and each has a lattice shape (FIG. 6A). .
格子状の隔壁の形成方法としては、従来と同様、基体上に無機膜を一様に形成し、レジストでマスキングした後、ドライエッチングを行う方法や、基体上に感光性樹脂を積層し、フォトリソ法により所定のパターンとする方法が挙げられる。必要に応じて撥水剤を添加したり、プラズマやUVを照射して形成後にインクに対する撥液性を付与することもできる。また、第一隔壁と第二隔壁の高さを変えて形成する場合には、例えば基体上にSiO2などの無機膜をCVD法で例えば0.5μm積層した後に、ドライエッチング法を用いて発光領域に対応して開口部を形成し、第二隔壁及び第一隔壁下部となる格子状の無機隔壁を形成し、次に、スリットコート法により感光性樹脂を例えば0.8μm積層し、露光・現像工程を経て第一隔壁下部の上方にストライプ状の第一隔壁上部を形成し、これを第一隔壁下部と合わせて第一隔壁とする方法がある。感光性樹脂に撥液性を付与してもよい。隔壁の好ましい高さは0.1μm〜10μmであり、第二隔壁が第一隔壁よりも低い方がより好ましく、この場合の第二隔壁の高さは0.1μm〜2μmの範囲が好ましい。また、第一隔壁の幅は、印刷用凸版の幅に応じて調整することが好ましく、印刷用金属凸版302の幅が第一隔壁間以下であることがより好ましい。 As in the conventional method, a lattice-shaped partition wall is formed by uniformly forming an inorganic film on a substrate, masking it with a resist, and performing dry etching, or laminating a photosensitive resin on the substrate and photolithography. The method of making a predetermined pattern by a method is mentioned. If necessary, a water repellent can be added, or plasma or UV can be irradiated to impart liquid repellency to the ink after formation. When the first partition and the second partition are formed with different heights, for example, an inorganic film such as SiO 2 is laminated on the substrate by 0.5 μm, for example, by a CVD method, and then light emission is performed using a dry etching method. An opening is formed corresponding to the region, a grid-like inorganic partition wall is formed as the second partition wall and the first partition wall, and then a photosensitive resin is laminated by, for example, 0.8 μm by a slit coating method. There is a method in which a striped first barrier rib upper portion is formed above the first barrier rib lower portion through a developing step, and this is combined with the first barrier rib lower portion to form a first barrier rib. You may provide liquid repellency to the photosensitive resin. The preferable height of the partition is 0.1 μm to 10 μm, and the second partition is more preferably lower than the first partition. In this case, the height of the second partition is preferably in the range of 0.1 μm to 2 μm. Moreover, it is preferable to adjust the width | variety of a 1st partition according to the width | variety of the relief printing plate, and it is more preferable that the width | variety of the printing metal relief plate 302 is below between 1st partition walls.
感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁形成材料として、SiO2、TiO2等を用いることもできる。隔壁形成材料が感光性材料の場合、形成材料溶液をスリットコート法やスピンコート法により全面コーティングしたあと、露光、現像といったフォトリソ法によりパターニングがおこなわれる。スピンコート法の場合、隔壁の高さは、スピンコートするときの回転数等の条件でコントロールできるが、1回のコーティングでは限界の高さがあり、それ以上高くするときは複数回スピンコートを繰り返す手法を用いる。感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁を形成する場合、その形状は露光条件や現像条件により制御可能である。例えば、ネガ型の感光性樹脂を塗布し、露光・現像した後、ポストベークして、隔壁を得るときに、隔壁端部の形状を順テーパー形状としたい場合には、この現像条件である現像液の種類、濃度、温度、あるいは現像時間を制御すればよい。現像条件を穏やかなものとすれば、隔壁端部は順テーパー形状となり、現像条件を過酷にすれば、隔壁端部は逆テーパー形状となる。また、隔壁形成材料がSiO2、TiO2の場合、スパッタリング法、CVD法といった乾式成膜法で形成可能である。この場合、隔壁のパターニングはマスクやフォトリソ法により行うことができる。 The photosensitive material may be a positive type or a negative type, a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cationic polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. Moreover, SiO2, TiO2, etc. can also be used as a partition wall forming material. When the partition wall forming material is a photosensitive material, the entire surface of the forming material solution is coated by a slit coating method or a spin coating method, and then patterning is performed by a photolithography method such as exposure and development. In the case of the spin coating method, the height of the partition wall can be controlled by conditions such as the number of rotations when spin coating, but there is a limit height in one coating, and if it is higher than that, multiple spin coatings are performed. Use an iterative approach. When the barrier rib is formed by a photolithography method using a photosensitive material, its shape can be controlled by exposure conditions and development conditions. For example, when a negative photosensitive resin is applied, exposed and developed, and then post-baked to obtain a partition wall, if the shape of the partition wall end portion is to have a forward tapered shape, development under this development condition The type, concentration, temperature, or development time of the liquid may be controlled. If the development conditions are mild, the partition wall ends have a forward taper shape, and if the development conditions are severe, the partition wall ends have a reverse taper shape. Further, when the partition wall forming material is SiO 2 or TiO 2, it can be formed by a dry film forming method such as a sputtering method or a CVD method. In this case, patterning of the partition walls can be performed by a mask or a photolithography method.
次に、有機発光層及び発光補助層からなる有機発光媒体層を形成する。電極間に挟まれる有機発光媒体層としては、有機発光層単独から構成されたものでもよいし、有機発光層と正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光を補助するための発光補助層との積層構造としてもよい。なお、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層は必要に応じて適宜選択される。 Next, an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer is formed. The organic light emitting medium layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, or an organic light emitting layer and a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, a charge generation layer. Such a laminated structure with a light emission auxiliary layer for assisting light emission. The hole transport layer, hole injection layer, electron transport layer, electron injection layer, and charge generation layer are appropriately selected as necessary.
そして、本発明は有機発光層や正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光補助層からなる有機発光媒体層のうち少なくとも1層を、有機発光媒体層材料を溶媒に溶解または分散させたインキを用い、本発明の印刷用凸版を用いた凸版印刷法により、前記第一電極の上方に印刷して形成する際に適用することができる。以降、本発明において、有機発光材料を溶媒に溶解、または分散させた有機発光インキを用いた場合について示す。 In the present invention, at least one of the organic light emitting medium layers composed of a light emitting auxiliary layer such as an organic light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer is used. It can be applied when forming by printing above the first electrode by a relief printing method using a relief printing plate of the present invention using an ink in which a layer material is dissolved or dispersed in a solvent. Hereinafter, in the present invention, a case where an organic light emitting ink in which an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent is used will be described.
有機発光層は電流を流すことにより発光する層である。有機発光層の形成する有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。 The organic light emitting layer is a layer that emits light when an electric current is passed. Organic light-emitting materials formed by the organic light-emitting layer include 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolato) aluminum complex, bis (8-quinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-) 8-quinolate) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolate) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolate) ) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, Lis (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy- A low molecular weight light emitting material such as para-phenylene vinylene can be used.
また、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料を、高分子中に分散させたものが使用できる。高分子としてはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等が使用できる。 Also, coumarin phosphors, perylene phosphors, pyran phosphors, anthrone phosphors, porphyrin phosphors, quinacridone phosphors, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone phosphors, naphthalimide phosphors, A material obtained by dispersing a low molecular weight light emitting material such as an N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole fluorescent material or a phosphorescent light emitting material such as an Ir complex in a polymer can be used. As the polymer, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole and the like can be used.
また、ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO−PPP)やポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニル−アルト−1,4−フェニルレン]ジブロマイドなどのPPP誘導体、ポリ[2−(2’−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン](MEH−PPV)、ポリ[5−メトキシ−(2−プロパノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレン](MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス−(ヘキシルオキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)](CN−PPV)、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン)(PDAF)、ポリスピロフルオレンなどの高分子発光材料であってもよい。PPV前駆体、PPP前駆体などの高分子前駆体が挙げられる。また、その他既存の発光材料を用いることもできる。 Further, poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO-PPP) and poly [2,5-bis- [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenyl- PPP derivatives such as alto-1,4-phenylylene] dibromide, poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV), poly [5-methoxy -(2-propanoxysulfonide) -1,4-phenylenevinylene] (MPS-PPV), poly [2,5-bis- (hexyloxy) -1,4-phenylene- (1-cyanovinylene)] ( CN-PPV), poly (9,9-dioctylfluorene) (PDAF), and polyspirofluorene may be used. Examples thereof include polymer precursors such as a PPV precursor and a PPP precursor. Other existing light emitting materials can also be used.
正孔輸送層を形成する正孔輸送材料としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニ
リン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、チオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
Examples of the hole transport material forming the hole transport layer include metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p -Tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1- Naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine and other aromatic amine-based low molecular hole injection transport materials, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, poly (3,4 -Polymeric hole transport materials such as a mixture of ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid, thiophene oligomer materials, and other existing hole transport materials It is possible to choose from in.
また、電子輸送層を形成する電子輸送材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。 Examples of the electron transport material for forming the electron transport layer include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1 -Naphtyl) -1,3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used.
有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、ヘキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、2−メチル−(t−ブチル)ベンゼン、1,2,3,4−テトラメチルベンゼン、ペンチルベンゼン、1,3,5−トリエチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、1,3,5−トリ−イソプロピルベンゼン等を単独又は混合して用いることができる。また、有機発光インキには、必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。 Solvents that dissolve or disperse the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, hexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, 2-methyl- (t-butyl) Benzene, 1,2,3,4-tetramethylbenzene, pentylbenzene, 1,3,5-triethylbenzene, cyclohexylbenzene, 1,3,5-tri-isopropylbenzene and the like can be used alone or in combination. . Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.
正孔輸送材料、電子輸送材料を溶解または分散させる溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独またはこれらの混合溶剤などが挙げられる。特に、正孔輸送材料をインキ化する場合には水またはアルコール類が好適である。 Examples of the solvent for dissolving or dispersing the hole transport material and the electron transport material include, for example, toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water and the like Alternatively, a mixed solvent thereof can be used. In particular, water or alcohols are suitable when forming a hole transport material into an ink.
有機発光媒体層は湿式成膜法により形成される。なお、これらの層が積層構造から構成される場合には、その各層の全てを湿式成膜法により形成する必要はない。湿式成膜法としては、スピンコート法、ダイコート法、ディップコート法、吐出コート法、プレコート法、ロールコート法、バーコート法等の塗布法と、凸版印刷法、インクジェット印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法等の印刷法が挙げられる。特に、RGB三色の有機発光層をパターン形成する場合、印刷法によって画素部に選択的に形成することができ、カラー表示のできる有機EL素子を製造することが可能となる。有機発光媒体層の膜厚は、単層又は積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50nm〜150nmである。 The organic light emitting medium layer is formed by a wet film forming method. Note that in the case where these layers have a laminated structure, it is not necessary to form all of the layers by a wet film formation method. As the wet film forming method, spin coating method, die coating method, dip coating method, discharge coating method, pre-coating method, roll coating method, bar coating method and the like, relief printing method, inkjet printing method, offset printing method, Examples of the printing method include a gravure printing method. In particular, when patterning organic light emitting layers of three colors of RGB, it can be selectively formed on the pixel portion by a printing method, and an organic EL element capable of color display can be manufactured. The film thickness of the organic light emitting medium layer is 1000 nm or less, preferably 50 nm to 150 nm, even when formed by a single layer or stacked layers.
次に、第二電極を形成する。第二電極を陰極とした場合その材料としては電子注入効率の高い物質を用いる。具体的にはMg、Al、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li、LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いる。または電子注入効率と安定性を両立させるため、低仕事関数なLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系が用いられる。具体的にはMgAg、AlLi,CuLi等の合金が使用できる。また、トップエミッション方式の有機EL素子とする場合は、陰極は透明性を有する必要があり、例えば、これら金属とITO等の透明導電層の組み合わせによる透明化が可能となる。 Next, a second electrode is formed. When the second electrode is a cathode, a material having high electron injection efficiency is used as the material. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface in contact with the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. And use. Or, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, Yb, etc., which have low work function, and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu is used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. Further, in the case of a top emission type organic EL device, the cathode needs to have transparency, and for example, transparency can be achieved by a combination of these metals and a transparent conductive layer such as ITO.
第二電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。また、第二電極をパターンとする必要がある場合には、マスク等によりパターニングすることができる。第二電極の厚さは10nm〜1000nmが好ましい。なお、本発明では第一の電極を陰極、第二の電極を陽極とすることも可能である。 As a method for forming the second electrode, a dry film formation method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. Moreover, when it is necessary to make a 2nd electrode into a pattern, it can pattern by a mask etc. The thickness of the second electrode is preferably 10 nm to 1000 nm. In the present invention, the first electrode can be a cathode and the second electrode can be an anode.
有機EL素子としては電極間に有機発光層を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料や発光補助層形成材料、電極形成材料の一部は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体を設ける。 As an organic EL element, it is possible to emit light by sandwiching an organic light emitting layer between electrodes and letting an electric current flow. However, some of the organic light emitting material, the light emission auxiliary layer forming material, and the electrode forming material contain moisture in the atmosphere. Since it is easily deteriorated by oxygen, a sealing body is usually provided for shielding from the outside.
封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、凹部を有するガラスキャップ、金属キャップを用いて、第一電極、有機発光媒体層、第二電極上空に凹部があたるようにして、その周辺部についてキャップと基板を接着剤を介して接着させることにより封止がおこなわれる。 For example, the sealing body includes a first electrode, an organic light emitting layer, a light emitting auxiliary layer, and a substrate on which the second electrode is formed. Then, sealing is performed by adhering the cap and the substrate with an adhesive around the peripheral portion so that the concave portion hits the second electrode.
また、封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、封止材上に樹脂層を設け、該樹脂層により封止材と基板を貼りあわせることによりおこなうことも可能である。 In addition, the sealing body is provided with a resin layer on a sealing material with respect to the substrate on which, for example, the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed. It is also possible to carry out by bonding the substrates.
このとき封止材としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透
過率は、10−6g/m2/day以下であることが好ましい。
At this time, the sealing material needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, metal foil such as quartz, aluminum, and stainless steel, and moisture-resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.
樹脂層としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止材の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機EL素子の大きさや形状により任意に決定されるが、5〜500μm程度が望ましい。 Examples of the resin layer include a photo-curing adhesive resin made of an epoxy resin, an acrylic resin, a silicone resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin, and an ethylene ethyl acrylate (EEA) polymer. Examples thereof include acrylic resins, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. Examples of methods for forming a resin layer on a sealing material include solvent solution method, extrusion lamination method, melting / hot melt method, calendar method, nozzle coating method, screen printing method, vacuum laminating method, hot roll laminating method, etc. Can be mentioned. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing material is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic EL element to seal, about 5-500 micrometers is desirable.
第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板と封止体の貼り合わせは封止室でおこなわれる。封止体を、封止材と樹脂層の2層構造とし、樹脂層に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。熱硬化型接着樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着した後、さらに硬化温度で加熱硬化を行うことが好ましい。光硬化性接着樹脂を使用した場合は、ロールで圧着した後、さらに光を照射することで硬化を行うことができる。なお、ここでは封止材上に樹脂層を形成したが、基板上に樹脂層を形成して封止材と貼りあわせることも可能である。 The substrate on which the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed and the sealing body are bonded together in a sealing chamber. When the sealing body has a two-layer structure of a sealing material and a resin layer, and a thermoplastic resin is used for the resin layer, it is preferable to perform only pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin is used, it is preferable to perform heat curing at a curing temperature after pressure bonding with a heated roll. In the case where a photocurable adhesive resin is used, curing can be performed by further irradiating light after pressure bonding with a roll. Note that although the resin layer is formed over the sealing material here, the resin layer can be formed over the substrate and bonded to the sealing material.
封止体を用いて封止を行う前やその代わりに、例えばパッシベーション膜として、CVD法を用いて、窒化珪素膜を150nm成膜するなど、無機薄膜による封止体とすることも可能であり、また、これらを組み合わせることも可能である。 Before or instead of sealing with a sealing body, for example, as a passivation film, it is also possible to form a sealing body with an inorganic thin film, such as a silicon nitride film having a thickness of 150 nm using a CVD method. It is also possible to combine these.
前述したように、有機発光媒体層のうち、任意のものを本発明の印刷用凸版を用いて形成することができる。また、形成方法としては印刷物の製造方法の項で述べた工程を用いることができる。本発明の印刷用凸版を用いることで、版面の凹部からインキが溢れたり、隣り合う頭頂部に供給されたインキがつながったりなどして有機発光媒体層各層のインキが混色してしまい短絡したり、発光ムラが発生したりするようなことがなく、印刷不良のない精細な有機発光媒体層の形成が可能であり、ひいては高精細な有機EL素子の製造が可能となる。 As described above, any organic light emitting medium layer can be formed using the relief printing plate of the present invention. Further, as the forming method, the steps described in the section of the printed material manufacturing method can be used. By using the relief printing plate of the present invention, ink overflows from the concave portion of the plate surface, ink supplied to the adjacent top portion is connected, and the ink of each layer of the organic light emitting medium layer is mixed and short-circuited. In addition, there is no occurrence of unevenness of light emission, and it is possible to form a fine organic light emitting medium layer free from printing defects. As a result, a high-definition organic EL element can be manufactured.
以下に、実施例および比較例について示す。 Below, it shows about an example and a comparative example.
<実施例1>
(被印刷体の作製)
ガラス基板上に、スパッタ法を用いてITO膜を形成し、フォトリソ法と酸溶液によるエッチングでITO膜をストライプ状にパターニングした。陽極であるITOのラインパターンは、線幅25μm、スペース25μmで、ラインが192ラインで形成されるパターンした。
<Example 1>
(Preparation of printed material)
An ITO film was formed on a glass substrate by sputtering, and the ITO film was patterned in a stripe shape by photolithography and etching with an acid solution. The ITO line pattern as the anode was a pattern in which the line width was 25 μm, the space was 25 μm, and the line was formed with 192 lines.
次に、スリットコート法を用いて感光性ポリイミド樹脂を塗工した後にフォトリソグラフィー法を用いて、陽極ラインの端部を被覆するようにパターニングし、第一隔壁(3μm)と第二隔壁(1μm)からなる格子状隔壁を形成し、被印刷体を作製した。 Next, after applying a photosensitive polyimide resin using a slit coating method, patterning is performed so as to cover the end of the anode line using a photolithography method, and a first partition wall (3 μm) and a second partition wall (1 μm). A grid-like partition wall made of) was formed to produce a printing medium.
(印刷用凸版の作製)
基材として0.3mm厚のインバー材を用い、一方の面に感光性樹脂としてアクリル系ネガ型のドライフィルムをラミネートした(図2(1a))。次に、フォトリソ法を用いて、被印刷体のITOラインパターンのネガパターンとなる凸状ストライプパターンを形成した(図2(1b))。次にこの感光性樹脂の凸状パターンの凹部に、電鋳法を用いてニッケルを50μmの高さまで形成した(図2(1c))。次に、水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬して、感光性樹脂パターンを剥離することにより、凸状金属ストライプのパターンを作製した(図2(1d))。
(Preparation of printing letterpress)
An invar material having a thickness of 0.3 mm was used as a base material, and an acrylic negative dry film was laminated as a photosensitive resin on one surface (FIG. 2 (1a)). Next, a convex stripe pattern, which is a negative pattern of the ITO line pattern of the substrate to be printed, was formed by using a photolithography method (FIG. 2 (1b)). Next, nickel was formed to a height of 50 μm in the concave portion of the convex pattern of the photosensitive resin by electroforming (FIG. 2 (1c)). Next, it was immersed in an aqueous solution of sodium hydroxide and the photosensitive resin pattern was peeled off to produce a convex metal stripe pattern (FIG. 2 (1d)).
次に、図3(b)のように凸状金属パターンを覆うように、ロールコート法を用いて、ポリイミド樹脂を塗布し、フォトリソ法を用いて、凸状金属パターンの頭頂部に、ポリイミドのパターンを形成した(図3(1c))。図3(b)〜(1c)に示される工程で、凸状金属ストライプの頭頂部にドット状にポリイミド樹脂を形成した後に、ポリイミド樹脂が形成されていない金属が露出した部分に、電着法を用いて、撥水層としてPTFE粒子が分散したアクリル樹脂を形成し、本発明の高精細印刷用凸版とした(図3(1d))。 Next, as shown in FIG. 3 (b), a polyimide resin is applied using a roll coating method so as to cover the convex metal pattern, and the top of the convex metal pattern is applied to the top of the convex metal pattern using a photolithography method. A pattern was formed (FIG. 3 (1c)). In the steps shown in FIGS. 3 (b) to (1c), after forming a polyimide resin in a dot shape on the top of the convex metal stripe, an electrodeposition method is performed on the exposed portion of the metal on which the polyimide resin is not formed. Was used to form an acrylic resin in which PTFE particles were dispersed as a water-repellent layer to obtain a relief printing plate for high-definition printing of the present invention (FIG. 3 (1d)).
(有機EL素子の作製)
上記高精細印刷用凸版を枚葉式の印刷機のシリンダーに固定した。正孔輸送層の材料として、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物を水系の溶媒に分散させたインキを、印刷用凸版の樹脂層の表面にインキングし、これを被印刷体に転写させ、192ライン一括でストライプ状(転写される領域はドット状の樹脂層の部分である)に印刷した。印刷後に200℃で30分乾燥させた。この時形成した正孔輸送パターンの乾燥後の膜厚は50nmであった。次に、ポリフルオレン系のRGB発光インキを、RGB3色それぞれ別の印刷版の所定位置にインキングし、これを正孔輸送層の上に転写させ、印刷した。窒素雰囲気下で130℃15分加熱を行った。この時形成した発光層の膜厚は80nmであった。次に、発光層上に第二電極として、第一電極と垂直方向にラインを形成した。陰極材料ついては、バリウム(5nm)とアルミニウム(150nm)の積層膜を真空蒸着法で形成し、最後にガラスキャップを用い封止をおこない本発明の有機EL素子を作製した。
(Production of organic EL element)
The relief printing plate for high-definition printing was fixed to a cylinder of a sheet-fed printing press. As a material for the hole transport layer, an ink in which a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrenesulfonic acid is dispersed in an aqueous solvent is inked on the surface of the resin layer of the relief printing plate. This was transferred to a substrate to be printed, and printed in a striped pattern (the transferred area was a dot-shaped resin layer portion) in a lump of 192 lines. After printing, it was dried at 200 ° C. for 30 minutes. The film thickness after drying of the hole transport pattern formed at this time was 50 nm. Next, polyfluorene-based RGB luminescent inks were inked at predetermined positions on different printing plates for the three RGB colors, transferred onto the hole transport layer, and printed. Heating was performed at 130 ° C. for 15 minutes in a nitrogen atmosphere. The thickness of the light emitting layer formed at this time was 80 nm. Next, a line was formed on the light emitting layer as a second electrode in a direction perpendicular to the first electrode. As for the cathode material, a laminated film of barium (5 nm) and aluminum (150 nm) was formed by a vacuum deposition method, and finally sealed with a glass cap to produce the organic EL device of the present invention.
この有機EL素子の発光特性を見たところ、パターン箇所内全面においてRGBラインそれぞれに5〜7Vの電流電圧を印加することにより1000cd/m2の均一な白発光が得られた。また、凸版印刷法で形成した印刷ラインが、隣接ラインと接することがなかったため、ライン間のリークや色の混色が生じず、良好な192×192ドットマトリクスディスプレイを作製できた。 As a result of examining the light emission characteristics of the organic EL element, uniform white light emission of 1000 cd / m 2 was obtained by applying a current voltage of 5 to 7 V to each of the RGB lines over the entire surface of the pattern portion. In addition, since the printing line formed by the relief printing method did not contact the adjacent line, no leakage between the lines or color mixing occurred, and a good 192 × 192 dot matrix display could be produced.
<実施例2>
実施例2として、エッチング法を用いて印刷用凸版の作製を行った。
基材として0.3mm厚のインバー材を用い、一方の面に感光性樹脂としてアクリル系ネガ型のドライフィルムをラミネートした(図2(2a)。次に、フォトリソ法を用いて、被印刷体のITOラインパターンのポジパターンとなるストライプ凸状パターンを形成した(図2(2b))。次にこの感光性樹脂の凸状パターンの凹部であるインバー材を、エッチング法を用いて除去し凹部205を形成した(図2(2c))。次に、水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬して、感光性樹脂パターンを剥離することにより、凸状金属パターンを作製した(図2(2d))。
<Example 2>
As Example 2, a relief printing plate was produced using an etching method.
An invar material having a thickness of 0.3 mm was used as a base material, and an acrylic negative dry film was laminated on one surface as a photosensitive resin (FIG. 2 (2a). Next, using a photolithography method, a substrate to be printed A stripe convex pattern, which is a positive pattern of the ITO line pattern, was formed (FIG. 2B) Next, the invar material, which is a concave portion of the convex pattern of the photosensitive resin, was removed by using an etching method. 205 was formed (FIG. 2 (2c)) Next, the metal film was immersed in an aqueous sodium hydroxide solution and the photosensitive resin pattern was peeled off to produce a convex metal pattern (FIG. 2 (2d)).
次に、図3(b)のように凸状金属パターンを覆うように、ロールコート法を用いて、ポリイミド樹脂を塗布し、フォトリソ法を用いて、凸状金属パターンの頭頂部に、ポリイミドのパターンを形成した(図3(1c))。最後に、ポリイミド樹脂が形成されていない金属が露出した部分に、電着法を用いて、撥インキ層として、PTFE粒子が分散したアクリル樹脂を形成し、本発明の高精細印刷用凸版とした(図3(1d))。 Next, as shown in FIG. 3 (b), a polyimide resin is applied using a roll coating method so as to cover the convex metal pattern, and the top of the convex metal pattern is applied to the top of the convex metal pattern using a photolithography method. A pattern was formed (FIG. 3 (1c)). Finally, an acrylic resin in which PTFE particles are dispersed is formed as an ink-repellent layer on the exposed portion of the metal on which the polyimide resin is not formed by using an electrodeposition method, thereby obtaining the relief printing plate for high-definition printing of the present invention. (FIG. 3 (1d)).
この印刷用凸版を用いて、実施例1と同様の有機EL素子を作製した。
その有機EL素子の発光特性を見たところ、パターン箇所内全面において5Vで1000cd/m2の均一な発光が得られた。また、凸版印刷法で形成した正孔輸送層が隣接ラインと接することがなかったため、ライン間のリークが生じず、良好な192×192ドットマトリクスディスプレイを作製できた。
An organic EL element similar to that of Example 1 was produced using this printing relief plate.
As a result of examining the light emission characteristics of the organic EL element, uniform light emission of 1000 cd / m 2 was obtained at 5 V over the entire surface in the pattern portion. In addition, since the hole transport layer formed by the relief printing method did not contact the adjacent lines, no leakage between the lines occurred, and a good 192 × 192 dot matrix display could be produced.
<比較例1>
比較例1として、水系インキの印刷に用いることができる市販のフレキソ版(旭化成AWP版)を用いて、L/S=25/25μmの印刷用凸版を形成した。その結果、凸版の版深の深さは5μm程度であった。この版を用いた以外は実施例1と同様の製造工程で、有機EL素子を作製した。その結果、正孔輸送インキのほとんどが印刷凸版上ではなく凹版内に流れこんでしまいこのインキが被印刷体に転写されたために、パターン形成ができず、さらに192ライン全てにおいて短絡箇所が生じていた。また正孔輸送層の膜厚均一性は±30%と不均一であった。5Vで100〜500cd/m2程度であり、発光は不均一で発光ムラは±30%以上であった。
<Comparative Example 1>
As Comparative Example 1, a letterpress printing plate with L / S = 25/25 μm was formed using a commercially available flexographic plate (Asahi Kasei AWP plate) that can be used for water-based ink printing. As a result, the depth of the relief printing plate was about 5 μm. An organic EL element was produced in the same production process as in Example 1 except that this plate was used. As a result, most of the hole transport ink flowed into the intaglio, not on the printing intaglio, and this ink was transferred to the printing medium, so that pattern formation was not possible, and in addition, a short circuit occurred in all 192 lines. It was. Further, the film thickness uniformity of the hole transport layer was non-uniform as ± 30%. The voltage was about 100 to 500 cd / m 2 at 5 V, the light emission was uneven, and the light emission unevenness was ± 30% or more.
<比較例2>
比較例2として、基材上にアクリル系ネガ型感光性樹脂をスリットコート法を用いて塗布し、第一感光性樹脂膜とした以外は実施例1と同様の工程で印刷用凸版を作製した。これにより金属基材上に、凸状金属パターンとその頭頂部の樹脂層からなり、版深が20μm、パターン幅が25μmの印刷用凸版を作製できた。
<Comparative example 2>
As Comparative Example 2, a printing relief plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that an acrylic negative photosensitive resin was applied on a substrate using a slit coating method to form a first photosensitive resin film. . As a result, a relief printing plate having a convex metal pattern and a resin layer at the top of the metal substrate, a plate depth of 20 μm, and a pattern width of 25 μm was produced on the metal substrate.
有機EL素子についても実施例1と同様の工程で作製した。その結果、正孔輸送インキが凹版内に流れこんでしまい、このインキが被印刷体に転写されたためにラインの所々で印刷のパターンずれ及び短絡箇所が生じていた。5Vで300〜600cd/m2程度であり、発光は不均一で発光ムラは±30%以上であった。 An organic EL element was produced in the same process as in Example 1. As a result, the hole transporting ink flowed into the intaglio, and this ink was transferred to the printing medium, resulting in printing pattern shifts and short-circuited parts in the lines. The voltage was about 300 to 600 cd / m 2 at 5 V, the light emission was nonuniform, and the light emission unevenness was ± 30% or more.
<比較例3>
比較例3として、0.3mm厚のインバー材上に第一感光性樹脂としてアクリル系ネガ型のドライフィルム(日立化成HM4056:56μm厚)をラミネートした。フォトリソ法を用いて、被印刷体のITOラインパターンと同じパターンの凸状ストライプパターンを形成し、版深56μm、パターン幅が25μmの印刷用凸版を作製した。実施例1と同様の工程で有機ELを作製したところ、版の著しい変形及び損傷によって、全てのラインが印刷不良となり、ほとんどのパターンは有機EL素子として形成することができなかった。
<Comparative Example 3>
As Comparative Example 3, an acrylic negative dry film (Hitachi Kasei HM4056: 56 μm thickness) was laminated as a first photosensitive resin on an invar material having a thickness of 0.3 mm. Using a photolithography method, a convex stripe pattern having the same pattern as the ITO line pattern of the substrate to be printed was formed to produce a printing relief plate having a plate depth of 56 μm and a pattern width of 25 μm. When an organic EL was produced by the same process as in Example 1, due to the remarkable deformation and damage of the plate, all lines were poorly printed, and most patterns could not be formed as organic EL elements.
100:基材
101:樹脂層
102:撥インキ層
103:金属凸部
104:版上のインキ
200:基材
201:感光性樹脂層
202:感光性樹脂パターン
203:金属
204:金属パターン
205:金属凹部
300:基材
301:金属パターン
302:感光性樹脂膜
303:樹脂層
304:撥インキ層
400:ステージ
401:被印刷体
402:印刷用凸版
403:版銅
404:アニロックスロール
405:インキ補充装置
406:ドクター
407:インキ
408:インキパターン
501:基板
502:第一電極
503:隔壁
503a:第一隔壁
503b:第二隔壁
504:正孔輸送層
505:有機発光層
506:第二電極
100: base material 101: resin layer 102: ink repellent layer 103: metal protrusion 104: ink on plate 200: base material 201: photosensitive resin layer 202: photosensitive resin pattern 203: metal 204: metal pattern 205: metal Concave part 300: Base material 301: Metal pattern 302: Photosensitive resin film 303: Resin layer 304: Ink-repellent layer 400: Stage 401: Printed object 402: Printing relief plate 403: Plate copper 404: Anilox roll 405: Ink replenisher 406: Doctor 407: Ink 408: Ink pattern 501: Substrate 502: First electrode 503: Partition 503a: First partition 503b: Second partition 504: Hole transport layer 505: Organic light emitting layer 506: Second electrode
Claims (15)
前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域を覆う樹脂層のパターンと、
を有し、前記樹脂層のパターンがドットパターンであることを特徴とする印刷用凸版。 A pattern of convex metal stripes on the substrate;
A pattern of a resin layer covering a transfer region at the top of the convex metal stripe;
And a pattern of the resin layer is a dot pattern.
有機発光媒体層のうち少なくとも一層を請求項5乃至7のいずれかに記載の印刷物の製造方法を用いて印刷形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 In the method for producing an organic electroluminescence device comprising at least a first electrode, one or more organic light emitting medium layers, and a second electrode,
A method for producing an organic electroluminescent element, wherein at least one layer of the organic light emitting medium layer is formed by printing using the method for producing a printed matter according to any one of claims 5 to 7.
前記凸状金属ストライプの頭頂部の転写領域に樹脂層のドットパターンを形成する工程と、
を少なくとも有することを特徴とする印刷用凸版の製造方法。
Forming a pattern of convex metal strips on the substrate,
Forming a dot pattern of a resin layer in a transfer region at the top of the convex metal stripe; and
A method for producing a relief printing plate, comprising:
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