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JP5755167B2 - Internal masking method of chamber pipe in positron accelerator - Google Patents

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JP5755167B2 JP2012044817A JP2012044817A JP5755167B2 JP 5755167 B2 JP5755167 B2 JP 5755167B2 JP 2012044817 A JP2012044817 A JP 2012044817A JP 2012044817 A JP2012044817 A JP 2012044817A JP 5755167 B2 JP5755167 B2 JP 5755167B2
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Description

本発明は、陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面の所定の範囲をマスキングするための、陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法に関するものである。 The present invention, for masking a predetermined range of the inner surface of the chamber pipe in positron accelerator, it relates to the inner surface masking process chamber pipe in positron accelerator.

陽電子を加速させるための陽電子加速器は、アルミニウムや銅等の金属で形成された管状のチャンバパイプを多数連結することにより、例えば直径1km程度の環状に構成された真空チャンバを備えており、この真空チャンバの内部を高真空とし、その内部で陽電子を電磁場により周回走行させて光速近くまで加速することにより、陽電子に高エネルギーを付与する装置である。   A positron accelerator for accelerating positrons includes a vacuum chamber configured in an annular shape having a diameter of about 1 km, for example, by connecting a number of tubular chamber pipes made of metal such as aluminum or copper. It is a device that imparts high energy to positrons by evacuating the interior of the chamber to a high vacuum and accelerating the positrons around the chamber by an electromagnetic field to accelerate them to near the speed of light.

このような陽電子加速器では、真空チャンバの内部における陽電子の不安定性を引き起こす光電子や二次電子の放出を抑制するために、各チャンバパイプの内面に、パイプの長手方向に沿う細かいグルーブ(溝)を加工形成したり、特許文献1に開示されているように、チャンバパイプの内面をブラスト処理により粗面化することが行われている。   In such a positron accelerator, in order to suppress the emission of photoelectrons and secondary electrons that cause instability of positrons in the vacuum chamber, a fine groove (groove) along the longitudinal direction of the pipe is formed on the inner surface of each chamber pipe. Processing and forming are performed, or as disclosed in Patent Document 1, the inner surface of the chamber pipe is roughened by blasting.

特許文献1に開示されている真空チャンバのブラスト処理方法は、チャンバパイプ内面の所定の部位のみをブラスト処理可能にするべく、噴射ノズルを有する走行台車を、チャンバパイプ内面の所定位置に当接する複数の走行ローラおよびガイドローラを介して走行させ、この走行台車の噴射ノズルから、常にチャンバパイプ内面の所定の部位に向けて細粒を噴射し、所定部分のみをブラスト処理するように構成されている。   In the blasting method for a vacuum chamber disclosed in Patent Document 1, a traveling carriage having an injection nozzle is brought into contact with a predetermined position on the inner surface of the chamber pipe so that only a predetermined portion of the inner surface of the chamber pipe can be blasted. It is configured to travel through the traveling roller and the guide roller, and to always spray fine particles from a spray nozzle of the traveling carriage toward a predetermined portion of the inner surface of the chamber pipe, and to blast only a predetermined portion. .

特許第3825448号公報Japanese Patent No. 3825448

しかしながら、チャンバパイプの内面にグルーブが加工形成される場合には、先にグルーブが加工され、その後で上記のブラスト処理やパイプ加工等が行われるため、ブラスト噴射される細粒や、パイプ加工に伴う切削屑等の異物が、細かいグルーブ間の隙間に噛み込んで残留してしまい、その除去が困難になるという問題があった。特に長尺のチャンバパイプの場合には、手の届かないパイプ奥深部に残留した異物の除去が難しく、また、除去できたとしてもパイプ内面に傷が発生する懸念があった。グルーブ部分のみをマスキングしようにも、長いチャンバパイプの内面にはテープ等のマスキング部材を貼ることができず、実質的にマスキングを行うことは不可能であった。   However, when the groove is processed and formed on the inner surface of the chamber pipe, the groove is processed first, and then the above blasting and pipe processing are performed. There is a problem that foreign matters such as cutting scraps are stuck in the gaps between the fine grooves and remain, making it difficult to remove them. In particular, in the case of a long chamber pipe, it is difficult to remove the foreign matter remaining in the deep part of the pipe that cannot be reached, and even if it can be removed, there is a concern that the inner surface of the pipe may be damaged. Even if only the groove portion is to be masked, a masking member such as a tape cannot be applied to the inner surface of the long chamber pipe, and it is impossible to perform masking substantially.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、簡素且つ安価な構成により、チャンバパイプ内面の所定範囲のみを容易にマスキングすることのできる、陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, by simple and inexpensive construction, it can be easily masked only Teihan circumference at the chamber pipe inner surface, providing an inner surface masking method of the chamber pipe in positron accelerator The purpose is to do.

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
即ち、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法の第1の態様は、陽電子加速器における真空チャンバを構成するチャンバパイプの内面に形成されたグルーブの範囲をマスキング範囲とし、このマスキング範囲に、常温において凝固する油脂類を加熱して溶解させたマスキング剤を流した後、該マスキング剤を凝固させて前記マスキング範囲をマスキングするマスキング工程と、前記チャンバパイプの内面の加工工程が完了した後に、前記チャンバパイプを外面から加熱し、凝固している前記マスキング剤を溶解させて前記マスキング範囲から除去する除去工程と、前記チャンバパイプの内面に付着している前記マスキング剤の残留成分を洗浄する洗浄工程と、を備えてなることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
That is, the first aspect of the inner surface masking process chamber pipe in positron accelerator according to the present invention, the range of the groove formed on the inner surface of the chamber pipe constituting the vacuum chamber in positron accelerator and masking range, masking this range In addition, after flowing a masking agent in which fats and oils that solidify at room temperature are dissolved, a masking process for coagulating the masking agent to mask the masking range and a processing process for the inner surface of the chamber pipe are completed. Later, the chamber pipe is heated from the outer surface, the solidified masking agent is dissolved and removed from the masking range, and the remaining components of the masking agent adhering to the inner surface of the chamber pipe are cleaned. And a cleaning step.

上記のマスキング方法によれば、マスキング工程において、加熱して液状化させたマスキング剤をチャンバパイプの内面のグルーブの範囲に流し込み、その後、マスキング剤を常温中で凝固させることにより、マスキング範囲を確実にマスキングすることができる。除去工程においては、チャンバパイプを外面から加熱して凝固しているマスキング剤を溶解させれば、マスキング剤を容易に除去することができる。このため、簡素且つ安価な構成により、従来では困難であったチャンバパイプグルーブの範囲のみのマスキングを容易に行うことができる。
しかも、加熱されて液状化したマスキング剤が、グルーブの範囲の凹凸形状の内部に流れ込み、凹凸形状を完全にマスキングするため、次工程で発生する異物が凹凸加工部分の内部に噛み込むことを確実に防止することができる。
陽電子加速器における真空チャンバを構成するチャンバパイプの内面は、陽電子の不安定性を引き起こす光電子や二次電子の放出を抑制するために、パイプの長手方向に沿う細かいグルーブが形成された後に、ブラスト処理が施されて内面が粗くされるが、ブラスト処理を行う前にグルーブの形成された範囲を本発明に係るマスキング方法によりマスキングすることにより、グルーブの形成された範囲を確実且つ容易にマスキングし、ブラスト処理における細粒がグルーブ間の隙間に噛み込んで残留することを防止できる。
According to the above masking method, in the masking process, the masking agent heated and liquefied is poured into the groove area on the inner surface of the chamber pipe , and then the masking agent is solidified at room temperature to ensure the masking range. Can be masked. In the removing step, the masking agent can be easily removed by dissolving the masking agent solidified by heating the chamber pipe from the outer surface. For this reason, it is possible to easily mask only the groove range of the chamber pipe , which has been difficult in the past, with a simple and inexpensive configuration.
In addition, the masking agent that has been liquefied by heating flows into the concave / convex shape within the groove and completely masks the concave / convex shape, ensuring that foreign matter generated in the next process bites into the concave / convex portion. Can be prevented.
In order to suppress the emission of photoelectrons and secondary electrons that cause instability of positrons, the inner surface of the chamber pipe constituting the vacuum chamber in the positron accelerator is subjected to blasting after a fine groove is formed along the longitudinal direction of the pipe. The inner surface is roughened by applying the masking method according to the present invention before the blasting process, so that the grooved area is masked reliably and easily, and the blasting process is performed. It is possible to prevent the fine particles from remaining in the gaps between the grooves.

また、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法の第2の態様は、前記第1の態様において、前記除去工程においては、前記マスキング範囲を上側にして前記チャンバパイプを保持し、前記チャンバパイプの外側から前記マスキング範囲を加熱して、凝固している前記マスキング剤の、前記チャンバパイプとの界面付近のみを溶解させることにより、前記マスキング剤の大半を固体状で前記マスキング範囲から剥離後、これを落下させて前記チャンバパイプから取り出すことを特徴とする。 Further, the second aspect of the method for masking the inner surface of the chamber pipe in the positron accelerator according to the present invention is the first aspect, wherein in the removing step, the chamber pipe is held with the masking range on the upper side, and heating the masking range from outside the chamber pipe, the masking agent is solidified, the by dissolving only the vicinity of the interface with the chamber pipe, stripped from the masking range for the majority of the masking agent as a solid Then, it is dropped and taken out from the chamber pipe .

上記のマスキング方法によれば、マスキング範囲を覆って凝固しているマスキング剤を全て溶解させずに、凝固しているマスキング剤の、チャンバパイプとの界面付近のみを溶解させることにより、マスキング剤の大半を固体状でチャンバパイプから取り出すことができるため、マスキング剤の除去や、使用済のマスキング剤の後処理が容易になる。
しかも、チャンバパイプの内面及び端面の加工の際にマスキング剤の表面に付着した異物が、固体状のマスキング剤と共にチャンバパイプから取り出されるため、この異物が再びマスキング範囲に付着することを確実に防止することができる。
According to the masking method described above, the masking agent is dissolved by dissolving only the vicinity of the interface with the chamber pipe of the masking agent that has solidified without dissolving all the masking agent that has solidified over the masking range. Since most of the solid can be taken out from the chamber pipe , it is easy to remove the masking agent and to post-process the used masking agent.
Moreover, foreign substances adhering to the surface of the masking agent during the processing of the inner surface and the end surface of the chamber pipe, because they are removed from the chamber pipe with solid masking agents, reliably prevent the foreign matter from adhering again masking range can do.

また、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法の第3の態様は、前記第1または第2の態様において、前記マスキング工程においては、前記マスキング範囲を下側にして前記チャンバパイプを保持し、前記チャンバパイプの内側、且つ前記マスキング範囲の上に固体状の前記マスキング剤を所定の間隔で載置した後に、前記チャンバパイプを外面から加熱し、凝固している前記マスキング剤を溶解させて前記マスキング範囲に流して凝固させることを特徴とする。 A third aspect of the method for masking the inner surface of a chamber pipe in a positron accelerator according to the present invention is the first or second aspect, wherein in the masking step, the chamber pipe is placed with the masking range on the lower side. After holding and placing the solid masking agent inside the chamber pipe and on the masking area at a predetermined interval, the chamber pipe is heated from the outer surface to dissolve the solidified masking agent. It is made to flow in the said masking range, and it is made to solidify.

上記のマスキング方法によれば、マスキング剤をチャンバパイプの内部に供給する時にはマスキング剤が固体状であるため、マスキング剤が液体状である場合に比べて取扱いが容易であり、不必要な部分にマスキング剤が付着することを防止し、マスキング作業を容易にすることができる。 According to the above masking method, when the masking agent is supplied to the inside of the chamber pipe , the masking agent is in a solid state, so that it is easier to handle than in the case where the masking agent is in a liquid state. The masking agent can be prevented from adhering and the masking operation can be facilitated.

また、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法の第4の態様は、前記第1から第3の何れかの態様において、前記洗浄工程においては、前記チャンバパイプの内面を僅かにエッチングすることによって前記マスキング剤の残留成分を化学洗浄することを特徴とする。 The fourth aspect of the inner surface masking process chamber pipe in positron accelerator according to the present invention, the in the first third or aspects, in the washing step, slightly etching the inner surface of the chamber pipe Thus, the residual component of the masking agent is chemically washed.

上記のマスキング方法によれば、チャンバパイプおよびマスキング剤の材質に応じてエッチングの薬剤を適宜選択することにより、チャンバパイプのエッチング量を最小限に抑えつつ、マスキング剤の残留成分を完全に除去することができる。 According to the above masking method, by appropriately selecting an etching agent according to the material of the chamber pipe and the masking agent, the remaining components of the masking agent are completely removed while minimizing the etching amount of the chamber pipe. be able to.

また、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法の第の態様は、前記第1から第の何れかの態様において、前記マスキング剤として固形パラフィンを用いることを特徴とする。 Moreover, the 5th aspect of the inner surface masking method of the chamber pipe in the positron accelerator which concerns on this invention uses solid paraffin as said masking agent in any one of said 1st to 4th aspect, It is characterized by the above-mentioned.

このように、マスキング剤として固形パラフィンを用いることにより、マスキング剤を安価にするとともに、マスキング剤の融点を低くし、マスキング剤の施工および除去を容易にすることができる。   Thus, by using solid paraffin as the masking agent, the masking agent can be made inexpensive, the melting point of the masking agent can be lowered, and the masking agent can be easily applied and removed.

以上のように、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法によれば、簡素且つ安価な構成により、チャンバパイプ内面の所定範囲のみを容易にマスキングすることができる。 As described above, according to the inner surface masking process chamber pipe in positron accelerator according to the present invention, by simple and inexpensive construction, it can be easily masked only Teihan circumference at the chamber pipe inner surface.

本発明を適用可能なチャンバパイプの縦断面図である。 The present onset bright is a longitudinal sectional view of the applicable switch Yanbapaipu. 図1のII部拡大図である。It is the II section enlarged view of FIG. 本発明の一実施形態を示す工程図であり、(a)はマスキング工程において液体状のマスキング剤がチャンバパイプに流し込まれた状態を示す縦断面図、(b)はマスキング工程においてマスキング剤が凝固した状態を示す縦断面図、(c)は除去工程を示す縦断面図、(d)は洗浄工程を示す縦断面図である。It is process drawing which shows one Embodiment of this invention, (a) is a longitudinal cross-sectional view which shows the state by which the liquid masking agent was poured into the chamber pipe in the masking process, (b) is a masking agent coagulating in a masking process (C) is a longitudinal cross-sectional view which shows a removal process, (d) is a longitudinal cross-sectional view which shows a washing | cleaning process. マスキング工程の他の実施形態を示し、(a)は固体状のマスキング剤がチャンバパイプの内部に配置された状態を示す縦断面図、(b)は(a)のマスキング剤が溶解した状態を示す縦断面図である。The other embodiment of a masking process is shown, (a) is a longitudinal cross-sectional view which shows the state by which the solid masking agent has been arrange | positioned inside a chamber pipe , (b) is the state which the masking agent of (a) melt | dissolved. It is a longitudinal cross-sectional view shown.

以下に、本発明の一実施形態について、図1〜図4を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係るチャンバパイプの内面マスキング方法を適用可能な陽電子加速器のチャンバパイプ1の縦断面図である。このチャンバパイプ1は、例えばアルミニウム合金材料を押出成形したものであり、長さが3〜5メートル程度である。チャンバパイプ1には、直線状のものと緩く湾曲したものとがあり、これらのチャンバパイプ1が環状に連結されて、例えば直径1km程度、周長3km程度の陽電子加速器の真空チャンバが構成される。真空チャンバの内部は1×10−8Torr程度の高真空とされ、その内部を陽電子が電磁場により周回走行して光速近くまで加速されることにより、当該陽電子に高エネルギーが付与される。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Figure 1 is a longitudinal sectional view of a chamber pipe 1 of the inner surface masking methods available positive electron accelerator apply chamber pipe according to the present invention. The chamber pipe 1 is formed by extruding an aluminum alloy material, for example, and has a length of about 3 to 5 meters. The chamber pipe 1 includes a straight pipe and a loosely curved pipe, and these chamber pipes 1 are connected in an annular shape to form a positron accelerator vacuum chamber having a diameter of about 1 km and a circumference of about 3 km, for example. . The inside of the vacuum chamber is set to a high vacuum of about 1 × 10 −8 Torr, and the positron travels around the inside by an electromagnetic field and is accelerated to near the speed of light, thereby giving high energy to the positron.

図1に示すチャンバパイプ1は真空チャンバの曲線部分を構成するものであり、陽電子が周回する部分である円形断面のビームチャンネル2の両側に、矩形断面の放射光チャンネル3が水平に延びるように形成されている。放射光チャンネル3の内端面4の外側には冷却水が循環する冷却水チャンネル5が形成されている。なお、真空チャンバの直線部分を構成するチャンバパイプ1には放射光チャンネル3が設けられず、ビームチャンネル2のみの円形断面となる。ビームチャンネル2の肉厚は例えば6mmであり、ビームチャンネル2の内径は例えば90mmである。また、放射光チャンネル3の一方の内端面4から他方の内端面4までの寸法は例えば220mmであり、放射光チャンネル3の上面と下面の対向間隔は例えば14mmである。   A chamber pipe 1 shown in FIG. 1 constitutes a curved portion of a vacuum chamber, and a rectangular-shaped radiation light channel 3 extends horizontally on both sides of a circular-shaped beam channel 2 where a positron circulates. Is formed. A cooling water channel 5 through which cooling water circulates is formed outside the inner end face 4 of the radiation light channel 3. The chamber pipe 1 constituting the straight portion of the vacuum chamber is not provided with the radiated light channel 3 but has a circular cross section of only the beam channel 2. The thickness of the beam channel 2 is, for example, 6 mm, and the inner diameter of the beam channel 2 is, for example, 90 mm. The dimension from one inner end face 4 of the radiated light channel 3 to the other inner end face 4 is, for example, 220 mm, and the facing distance between the upper surface and the lower surface of the radiated light channel 3 is, for example, 14 mm.

湾曲したチャンバパイプ1のビームチャンネル2内を光速に近い高エネルギーの陽電子が磁場中を通過しつつ軌道を曲げられる時には、その軌道の接線方向に放射光が生じるが、この放射光が放射光チャンネル3の内端面4に照射される。その際に内端面4が加熱されるため、その熱が冷却水チャンネル5を流れる冷却水によって冷却される。これにより、チャンバパイプ1(ビームチャンネル2)の内面に熱負荷が加わることが防止されるとともに、放射光の照射に伴う光電効果により光電子が放出されて周回する陽電子の障害となり、陽電子雲が不安定になるといった問題が回避される。   When a trajectory is bent while high-energy positrons close to the speed of light are passing through the magnetic field in the beam channel 2 of the curved chamber pipe 1, radiant light is generated in the tangential direction of the trajectory. 3 is irradiated to the inner end face 4. Since the inner end surface 4 is heated at that time, the heat is cooled by the cooling water flowing through the cooling water channel 5. This prevents a thermal load from being applied to the inner surface of the chamber pipe 1 (beam channel 2), and also interferes with the positrons that circulate due to the release of photoelectrons due to the photoelectric effect associated with the irradiation of the radiated light. The problem of becoming stable is avoided.

図2にも拡大して示すように、チャンバパイプ1の内面の上下面には、パイプ長手方向に沿う複数のグルーブ7(溝)が形成されている。このグルーブ7は、その表面形状による制限により、チャンバパイプ1の内部において放出された光電子がビーム側に戻る確率を抑制するために設けられている。また、同様の理由により、放射光チャンネル3の内端面4がブラスト処理されて粗面化される。グルーブ7は、チャンバパイプ1の押出成形時と同時に形成される。また、内端面4のブラスト処理は、チャンバパイプ1の内部を走行可能に構成された専用のブラスト処理装置(非図示)により行われる。このブラスト処理の完了後、チャンバパイプ1の曲げ加工および他の機械加工が行われる。   As shown in FIG. 2 in an enlarged manner, a plurality of grooves 7 (grooves) are formed on the upper and lower surfaces of the inner surface of the chamber pipe 1 along the longitudinal direction of the pipe. This groove 7 is provided in order to suppress the probability that the photoelectrons emitted inside the chamber pipe 1 return to the beam side due to the limitation due to the surface shape. For the same reason, the inner end face 4 of the radiation channel 3 is blasted and roughened. The groove 7 is formed simultaneously with the extrusion of the chamber pipe 1. The blasting process of the inner end face 4 is performed by a dedicated blasting apparatus (not shown) configured to be able to travel inside the chamber pipe 1. After completion of this blasting process, the bending of the chamber pipe 1 and other machining are performed.

内端面4のブラスト処理や、他の機械加工を行う際には、ブラスト噴射される細粒や、パイプ加工に伴う切削屑等の異物が多量に発生するため、これらの異物がチャンバパイプ1の内面の凹凸加工が施された部分、即ちグルーブ7間の隙間に噛み込んで残留することを防止するために、グルーブ7が形成されている幅よりも若干広い幅の範囲をマスキング範囲Mとし、本発明に係るマスキング方法によってマスキング処理が行われる。本発明に係るマスキング方法は、マスキング工程Aと、除去工程Bと、洗浄工程Cとを備えている。以下に、各工程A〜Cについて、図3(a)〜(d)に基づいて順に説明する。   When blasting the inner end face 4 or performing other machining operations, a large amount of foreign matter such as fine particles to be blasted and cutting waste accompanying pipe processing is generated. In order to prevent it from biting into and remaining in the gap between the grooves 7 on the inner surface, that is, the groove 7, a width range slightly wider than the width on which the groove 7 is formed is defined as a masking range M, The masking process is performed by the masking method according to the present invention. The masking method according to the present invention includes a masking step A, a removing step B, and a cleaning step C. Below, each process AC is demonstrated in order based on Fig.3 (a)-(d).

[マスキング工程A]
マスキング工程Aでは、まず図3(a)に示すように、上下一方のグルーブ7(マスキング範囲M)が真下を向くように、チャンバパイプ1を水平に保持し、その内部に、常温において凝固する油脂類、例えば融点が70℃程度の固形パラフィンを加熱して液体状に溶解させたものをマスキング剤として流し込む。この液体状の固形パラフィン8の注入量は、下側のグルーブ7が液面下に完全に没する量とされる(図2中の液面8aの高さ)。この時には、液体状の固形パラフィン8が外部に流れ出ないように、チャンバパイプ1の両端開口部を線8aよりも高い位置まで覆う必要がある。そして、そのまま固形パラフィン8を自然冷却して凝固させる。固形パラフィン8が凝固したらチャンバパイプ1を反転させ、図3(b)に示すように反対側のマスキング範囲Mも同様にマスキングする。
[Masking process A]
In the masking step A, first, as shown in FIG. 3A, the chamber pipe 1 is held horizontally so that one of the upper and lower grooves 7 (masking range M) faces directly below, and solidifies therein at room temperature. Oils and fats, for example, solid paraffin having a melting point of about 70 ° C. heated and dissolved in a liquid state are poured as a masking agent. The injection amount of the liquid solid paraffin 8 is such that the lower groove 7 is completely submerged below the liquid surface (the height of the liquid surface 8a in FIG. 2). At this time, it is necessary to cover the openings at both ends of the chamber pipe 1 to a position higher than the line 8a so that the liquid solid paraffin 8 does not flow outside. Then, the solid paraffin 8 is naturally cooled and solidified. When the solid paraffin 8 is solidified, the chamber pipe 1 is reversed, and the masking range M on the opposite side is similarly masked as shown in FIG.

上下のマスキング範囲Mのマスキングが完了したら、チャンバパイプ1の内面(内端面4)のブラスト処理や他の機械加工、およびチャンバパイプ1の曲げ加工等が行われる。その際に発生するブラスト細粒や切削屑等の異物は、固形パラフィン8によってマスキングされているグルーブ7には付着しない。したがって、異物がグルーブ7の間の隙間に噛み込んで残留することがない。なお、固形パラフィン8は凝固しても柔軟性があることと、チャンバパイプ1の曲率が浅いものであることから、チャンバパイプ1内に固形パラフィン8によるマスキングを行ってからチャンバパイプ1の曲げ加工を行っても固形パラフィン8が割れたり剥離したりしない。チャンバパイプ1の諸加工が完了したら、チャンバパイプ1の内部に堆積している異物を水流洗浄やエアブロー等によって取り除く。   When the masking of the upper and lower masking ranges M is completed, blasting of the inner surface (inner end surface 4) of the chamber pipe 1, other machining, bending of the chamber pipe 1, and the like are performed. Foreign matters such as blast fine particles and cutting waste generated at that time do not adhere to the groove 7 masked by the solid paraffin 8. Therefore, foreign matter does not bite into the gap between the grooves 7 and remain. Since the solid paraffin 8 is flexible even when solidified and the curvature of the chamber pipe 1 is shallow, the chamber pipe 1 is masked with the solid paraffin 8 and then bent. Even if it performs, solid paraffin 8 does not crack or peel. When various processing of the chamber pipe 1 is completed, the foreign matter accumulated inside the chamber pipe 1 is removed by water flow cleaning, air blow, or the like.

[除去工程B]
上記異物除去が完了したら、除去工程Bに移る。除去工程Bでは、上下一方のグルーブ7(マスキング範囲M)が真上を向くように、チャンバパイプ1を水平に保持し、このチャンバパイプ1のビームチャンネル2の上面を外側から図示しないバーナー等で固形パラフィン8の融点よりも高い温度(例えば90〜100℃程度)に加熱して、凝固している上側の固形パラフィン8の、ビームチャンネル2(マスキング範囲M)との界面付近のみを溶解させる。これにより、図3(c)に示すように、上側の固形パラフィン8とマスキング範囲Mとの結合が解けて、固形パラフィン8の大半が固体状のままマスキング範囲Mから剥離し、落下する。このように落下した固体状の固形パラフィン8は、チャンバパイプ1の一端の開口部から引き出して取り出す。その後、チャンバパイプ1を反転させて、反対側のグルーブ7(マスキング範囲M)をマスキングしている固形パラフィン8も同様にして剥離し、チャンバパイプ1から取り出す。
[Removal step B]
When the foreign matter removal is completed, the process proceeds to a removal step B. In the removal step B, the chamber pipe 1 is held horizontally so that one of the upper and lower grooves 7 (masking range M) faces directly upward, and the upper surface of the beam channel 2 of the chamber pipe 1 is exposed from the outside with a burner (not shown) or the like. By heating to a temperature higher than the melting point of the solid paraffin 8 (for example, about 90 to 100 ° C.), only the vicinity of the interface of the upper solid paraffin 8 solidified with the beam channel 2 (masking range M) is dissolved. Thereby, as shown in FIG.3 (c), the coupling | bonding of the upper solid paraffin 8 and the masking range M is released, and most of the solid paraffin 8 peels from the masking range M, and it falls. The solid solid paraffin 8 dropped in this way is taken out from the opening at one end of the chamber pipe 1 and taken out. Thereafter, the chamber pipe 1 is reversed, and the solid paraffin 8 masking the opposite groove 7 (masking range M) is peeled off in the same manner and taken out from the chamber pipe 1.

なお、このように固形パラフィン8のチャンバパイプ1との界面付近のみを溶解させて固形パラフィン8の大半を固体状のままで外部に取り出す代わりに、チャンバパイプ1全体を固形パラフィン8の融点よりも充分に高い温度になるまで加熱し、上下のマスキング範囲Mに固着された固形パラフィン8を同時に完全に溶解させて液体状にしてチャンバパイプ1から流し出してもよい。しかし、こうすると、液体状の固形パラフィン8がマスキング範囲M以外の不要な部位に付着してしまう可能性があるため、次の洗浄工程Cにおける工数が増大することがある。   Instead of dissolving only the vicinity of the interface of the solid paraffin 8 with the chamber pipe 1 and taking out most of the solid paraffin 8 to the outside in the solid state, the entire chamber pipe 1 is more than the melting point of the solid paraffin 8. It may be heated to a sufficiently high temperature, and the solid paraffin 8 fixed in the upper and lower masking ranges M may be completely dissolved at the same time to be made into a liquid and flowed out from the chamber pipe 1. However, in this case, since the liquid solid paraffin 8 may adhere to unnecessary portions other than the masking range M, the number of steps in the next cleaning step C may increase.

[洗浄工程C]
前述のように固形パラフィン8の取り出しが完了したら、洗浄工程Cに移る。洗浄工程Cでは、まず熱湯と水溶性中性洗剤にてチャンバパイプ1の内部を洗浄し、さらに図3(d)に示すようにチャンバパイプ1の内面を僅かにエッチングすることによって、チャンバパイプ1の内面に付着している固形パラフィン8の残留成分を化学洗浄する。チャンバパイプ1の素材がアルミニウム合金である場合、エッチング剤としては、例えば水酸化ナトリウム水溶液が用いられる。エッチング量は例えば1ミクロン程度でよい。これにより、チャンバパイプ1の内面に付着している固形パラフィン8の残留成分を完全に除去することができる。なお、チャンバパイプ1の素材に応じて他のエッチング剤を用いてもよい。
[Washing process C]
When the extraction of the solid paraffin 8 is completed as described above, the process proceeds to the cleaning step C. In the cleaning process C, first, the inside of the chamber pipe 1 is cleaned with hot water and a water-soluble neutral detergent, and the inner surface of the chamber pipe 1 is slightly etched as shown in FIG. The remaining components of the solid paraffin 8 adhering to the inner surface of the substrate are chemically cleaned. When the material of the chamber pipe 1 is an aluminum alloy, for example, an aqueous sodium hydroxide solution is used as the etchant. The etching amount may be about 1 micron, for example. Thereby, the residual component of the solid paraffin 8 adhering to the inner surface of the chamber pipe 1 can be completely removed. Note that other etching agents may be used depending on the material of the chamber pipe 1.

以上のように、本発明に係る陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法は、常温において凝固する固形パラフィン8を加熱して溶解させ、これをマスキング剤としてチャンバパイプ1の内面のマスキング範囲Mに流した後、この固形パラフィン8を凝固させてマスキング範囲Mをマスキングするマスキング工程Aと、チャンバパイプ1の内面の加工工程が完了した後に、チャンバパイプ1を外面から加熱し、凝固している固形パラフィン8を溶解させてマスキング範囲Mから除去する除去工程Bと、マスキング範囲Mの内面に付着している固形パラフィン8の残留成分を洗浄する洗浄工程Cを備えている。 As described above, the method for masking the inner surface of the chamber pipe in the positron accelerator according to the present invention heats and dissolves the solid paraffin 8 that solidifies at room temperature, and uses this as a masking agent to flow into the masking range M on the inner surface of the chamber pipe 1. Then, after the solid paraffin 8 is solidified to complete the masking step A for masking the masking range M and the inner surface processing step of the chamber pipe 1, the chamber pipe 1 is heated from the outer surface to solidify the solid paraffin. 8 includes a removal process B for dissolving 8 from the masking range M and a cleaning process C for cleaning residual components of the solid paraffin 8 adhering to the inner surface of the masking range M.

このマスキング方法によれば、マスキング工程Aにおいて、加熱して液状化させた固形パラフィン8をマスキング範囲Mの上に流し込んで固形化させることにより、マスキング範囲Mを確実にマスキングすることができる。また、除去工程Bにおいては、チャンバパイプ1を外面から加熱して、凝固している固形パラフィン8を溶解させれば、これを容易に除去することができる。このため、簡素且つ安価な構成により、従来では困難であったチャンバパイプ1の内面の所定の範囲のみのマスキングを容易に行うことができる。   According to this masking method, in the masking step A, the masking range M can be reliably masked by pouring the solid paraffin 8 liquefied by heating onto the masking range M to be solidified. Moreover, in the removal process B, if the chamber pipe 1 is heated from the outer surface and the solid paraffin 8 solidified is dissolved, this can be easily removed. For this reason, with a simple and inexpensive configuration, it is possible to easily mask only a predetermined range of the inner surface of the chamber pipe 1, which has been difficult in the past.

また、除去工程Bにおいては、マスキング範囲Mを上側にしてチャンバパイプ1を保持し、チャンバパイプ1の外側からマスキング範囲Mを加熱して、凝固している固形パラフィン8の、チャンバパイプ1との界面付近のみを溶解させることにより、固形パラフィン8の大半を固体状でマスキング範囲Mから剥離後、これを落下させてチャンバパイプ1から取り出すようにしている。このように、固形パラフィン8の大半を固体状のままでチャンバパイプ1から取り出すことができるため、固形パラフィン8の除去や、使用済みの固形パラフィン8の後処理が容易になる。しかも、チャンバパイプ1の内面のブラスト処理等の際に固形パラフィン8の表面に付着した(食い込んだ)異物が、固体状の固形パラフィン8と共にチャンバパイプ1から取り出されるため、この異物が再びマスキング範囲Mに付着することを確実に防止することができる。   Further, in the removing step B, the chamber pipe 1 is held with the masking range M on the upper side, and the masking range M is heated from the outside of the chamber pipe 1 to solidify the solid paraffin 8 solidified with the chamber pipe 1. By dissolving only the vicinity of the interface, most of the solid paraffin 8 is solid and peeled off from the masking range M and then dropped and taken out from the chamber pipe 1. Thus, most of the solid paraffin 8 can be taken out from the chamber pipe 1 in a solid state, so that the removal of the solid paraffin 8 and the post-treatment of the used solid paraffin 8 are facilitated. In addition, since the foreign matter adhering to the surface of the solid paraffin 8 during the blasting process of the inner surface of the chamber pipe 1 is taken out from the chamber pipe 1 together with the solid solid paraffin 8, this foreign matter is again masked. Adherence to M can be reliably prevented.

さらに、洗浄工程Cにおいては、チャンバパイプ1の内面を僅かにエッチングすることによって固形パラフィン8等のマスキング剤の残留成分を化学洗浄するようにしたので、チャンバパイプ1およびマスキング剤の材質に応じてエッチングの薬剤を適宜選択することにより、チャンバパイプ1のエッチング量を最小限に抑えつつ、マスキング剤を完全に除去することができる。   Further, in the cleaning step C, the inner surface of the chamber pipe 1 is slightly etched so that the remaining components of the masking agent such as the solid paraffin 8 are chemically cleaned. Therefore, depending on the material of the chamber pipe 1 and the masking agent. By appropriately selecting an etching agent, the masking agent can be completely removed while minimizing the etching amount of the chamber pipe 1.

上記実施形態では、陽電子加速器における真空チャンバを構成するチャンバパイプ1の内面の、陽電子の不安定性を引き起こす光電子や二次電子の放出を抑制するために形成された凹凸加工部分であるグルーブ7の部分をマスキング範囲Mとし、ここに加熱して液化させた固形パラフィン8を流し込んでマスキングするようにしたので、液化した固形パラフィン8が細かいグルーブ7の間に流れ込んでグルーブ7を完全にマスキングする。このため、次工程であるブラスト処理における細粒等の異物がグルーブ7間の隙間に噛み込んで残留することを確実に防止し、グルーブ7を有するチャンバパイプ1の内面を容易にブラスト処理することができる。   In the above-described embodiment, the groove 7 portion that is an unevenly processed portion formed to suppress the emission of photoelectrons and secondary electrons that cause instability of positrons on the inner surface of the chamber pipe 1 constituting the vacuum chamber in the positron accelerator. Is set to the masking range M, and the solid paraffin 8 that has been heated and liquefied is poured into the masking area M for masking. For this reason, it is possible to reliably prevent foreign matters such as fine particles in the next blasting process from biting into the gaps between the grooves 7 and remaining, and to easily blast the inner surface of the chamber pipe 1 having the grooves 7. Can do.

また、マスキング剤として固形パラフィン8を用いることにより、マスキング剤を安価にするとともに、マスキング剤としての融点を低くし、マスキング剤の施工および除去を容易にすることができる。   Moreover, by using the solid paraffin 8 as a masking agent, the masking agent can be made inexpensive, the melting point as the masking agent can be lowered, and the masking agent can be easily applied and removed.

[マスキング工程Aの他の実施形態]
図4は、マスキング工程Aの他の実施形態であるマスキング工程A´を示している。
まず、図4(a)に示すように、上下一方のグルーブ7(マスキング範囲M)が真下を向くように、チャンバパイプ1を水平に保持し、その内側、且つマスキング範囲Mの上に固体状の固形パラフィン8のブロックを所定の間隔で載置する。固形パラフィン8のブロックの大きさや配置間隔等は、固形パラフィン8が溶解して液化した時に、図2に示すように、下側のグルーブ7が液面下に完全に没する体積となるように予め設定しておく。
[Other Embodiments of Masking Step A]
FIG. 4 shows a masking step A ′ which is another embodiment of the masking step A.
First, as shown in FIG. 4A, the chamber pipe 1 is held horizontally so that one of the upper and lower grooves 7 (masking range M) faces directly below, and a solid state is formed on the inside and on the masking range M. The blocks of solid paraffin 8 are placed at predetermined intervals. As shown in FIG. 2, when the solid paraffin 8 is dissolved and liquefied, the size and arrangement interval of the blocks of the solid paraffin 8 are such that the lower groove 7 is completely submerged below the liquid surface. Set in advance.

次に、チャンバパイプ1を外面から加熱し、凝固している固形パラフィン8を溶解させて、図4(b)に示すようにマスキング範囲Mに行き渡らせて凝固させる。そして、そのまま固形パラフィン8を自然冷却して凝固させる。固形パラフィン8が凝固したらチャンバパイプ1を反転させ、反対側のマスキング範囲Mも同様にマスキングする。この反対側のマスキング範囲Mのマスキングを行う時には、チャンバパイプ1の加熱時に、先にマスキングした固形パラフィン8を溶かさないように配慮する必要がある。   Next, the chamber pipe 1 is heated from the outer surface, and the solid paraffin 8 that has been solidified is dissolved and spread over the masking range M as shown in FIG. Then, the solid paraffin 8 is naturally cooled and solidified. When the solid paraffin 8 is solidified, the chamber pipe 1 is reversed and the masking range M on the opposite side is similarly masked. When the masking range M on the opposite side is masked, it is necessary to take care not to dissolve the previously masked solid paraffin 8 when the chamber pipe 1 is heated.

このマスキング工程A´方法によれば、固形パラフィン8をチャンバパイプ1の内部に供給する時には固形パラフィン8が固体状であるため、固形パラフィン8が液体状である場合に比べて取扱いが容易であり、不必要な部分に固形パラフィン8が付着することを確実に防止し、マスキング作業を容易にすることができる。   According to this masking step A ′ method, when the solid paraffin 8 is supplied into the chamber pipe 1, the solid paraffin 8 is in a solid state, so that it is easier to handle than when the solid paraffin 8 is in a liquid state. The solid paraffin 8 can be reliably prevented from adhering to unnecessary portions, and the masking operation can be facilitated.

なお、本発明は上記の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更や改良を加えることができ、このように変更や改良を加えた実施形態も本発明の権利範囲に含まれるものとする。
例えば、マスキングを行うパイプ部材は必ずしも陽電子加速器の真空チャンバを構成するチャンバパイプでなくてもよく、他の種類のパイプ部材であっても構わない。
また、マスキング剤としては固形パラフィン8を用いるのが好適であるが、固形パラフィン8のみには限定されず、他の油脂類をマスキング剤として用いてもよい。さらに、変形例として、油脂類でなくても、常温において凝固し、概ね60℃〜120℃程度の温度で液化する他の物質(低融点金属等)をマスキング剤とすることも考えられる。
It should be noted that the present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and can be appropriately modified or improved without departing from the gist of the present invention. The form is also included in the scope of the right of the present invention.
For example, the pipe member for masking does not necessarily have to be a chamber pipe constituting a vacuum chamber of a positron accelerator, and may be another type of pipe member.
Moreover, although it is suitable to use the solid paraffin 8 as a masking agent, it is not limited only to the solid paraffin 8, You may use other fats and oils as a masking agent. Furthermore, as a modification, it may be possible to use other substances (low melting point metals, etc.) that solidify at room temperature and liquefy at a temperature of about 60 ° C. to 120 ° C. as a masking agent, even if they are not fats and oils.

1 チャンバパイ
7 グルー
8 固形パラフィン(マスキング剤)
A,A´ マスキング工程
B 除去工程
C 洗浄工程
M マスキング範囲
1 Chanbapai flop 7 glue Bed <br/> 8 solid paraffin (masking agent)
A, A 'Masking process B Removal process C Cleaning process M Masking range

Claims (5)

陽電子加速器における真空チャンバを構成するチャンバパイプの内面に形成されたグルーブの範囲をマスキング範囲とし、このマスキング範囲に、常温において凝固する油脂類を加熱して溶解させたマスキング剤を流した後、該マスキング剤を凝固させて前記マスキング範囲をマスキングするマスキング工程と、
前記チャンバパイプの内面の加工工程が完了した後に、前記チャンバパイプを外面から加熱し、凝固している前記マスキング剤を溶解させて前記マスキング範囲から除去する除去工程と、
前記チャンバパイプの内面に付着している前記マスキング剤の残留成分を洗浄する洗浄工程と、
を備えてなることを特徴とする陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法。
After the range of the groove formed on the inner surface of the chamber pipe constituting the vacuum chamber in positron accelerator and masking range and the masking range of this and flushed with masking agent dissolved by heating the fats and oils to coagulate at room temperature, A masking step of coagulating the masking agent to mask the masking range;
After the processing of the inner surface of the chamber pipe is completed, the removal step of heating the chamber pipe from the outer surface, dissolving the solidified masking agent and removing it from the masking range;
A cleaning step of cleaning residual components of the masking agent adhering to the inner surface of the chamber pipe ;
A method for masking the inner surface of a chamber pipe in a positron accelerator, comprising :
前記除去工程においては、前記マスキング範囲を上側にして前記チャンバパイプを保持し、前記チャンバパイプの外側から前記マスキング範囲を加熱して、凝固している前記マスキング剤の、前記チャンバパイプとの界面付近のみを溶解させることにより、前記マスキング剤の大半を固体状で前記マスキング範囲から剥離後、これを落下させて前記チャンバパイプから取り出すことを特徴とする請求項1に記載の陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法。 In the removing step, holding the chamber pipe with the masking range on the upper side, heating the masking range from the outside of the chamber pipe , and solidifying the masking agent near the interface with the chamber pipe by dissolving only the majority of the masking agent after peeling from the masking range in solid form, the chamber pipe in positron accelerator according to claim 1, characterized in that removal from the chamber pipe by dropping it Internal masking method. 前記マスキング工程においては、前記マスキング範囲を下側にして前記チャンバパイプを保持し、前記チャンバパイプの内側、且つ前記マスキング範囲の上に固体状の前記マスキング剤を所定の間隔で載置した後に、前記チャンバパイプを外面から加熱し、凝固している前記マスキング剤を溶解させて前記マスキング範囲に流して凝固させることを特徴とする請求項1または2に記載の陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法。 In the masking step, holding the chamber pipe with the masking range on the lower side, and after placing the solid masking agent on the inside of the chamber pipe and on the masking range at a predetermined interval, 3. The method for masking an inner surface of a chamber pipe in a positron accelerator according to claim 1, wherein the chamber pipe is heated from the outer surface, the solidified masking agent is dissolved and allowed to flow into the masking range to be solidified. . 前記洗浄工程においては、前記チャンバパイプの内面を僅かにエッチングすることによって前記マスキング剤の残留成分を化学洗浄することを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法。 Wherein in the cleaning step, the chamber pipe in positron accelerator according to any one of claims 1 to 3, characterized by chemically cleaning the residual components of the masking agent by slightly etching the inner surface of the chamber pipe Internal masking method. 前記マスキング剤として固形パラフィンを用いることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の陽電子加速器におけるチャンバパイプの内面マスキング方法。  5. The method for masking an inner surface of a chamber pipe in a positron accelerator according to claim 1, wherein solid paraffin is used as the masking agent.
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