[go: up one dir, main page]

JP5868709B2 - Static pressure gas bearing device - Google Patents

Static pressure gas bearing device Download PDF

Info

Publication number
JP5868709B2
JP5868709B2 JP2012002338A JP2012002338A JP5868709B2 JP 5868709 B2 JP5868709 B2 JP 5868709B2 JP 2012002338 A JP2012002338 A JP 2012002338A JP 2012002338 A JP2012002338 A JP 2012002338A JP 5868709 B2 JP5868709 B2 JP 5868709B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
housing
gas bearing
static pressure
pressure gas
bracket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012002338A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013142431A (en
Inventor
琢哉 平山
琢哉 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oiles Corp
Original Assignee
Oiles Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oiles Corp filed Critical Oiles Corp
Priority to JP2012002338A priority Critical patent/JP5868709B2/en
Priority to PCT/JP2012/083075 priority patent/WO2013105412A1/en
Priority to CN201280065781.1A priority patent/CN104024668B/en
Priority to KR1020147022027A priority patent/KR20140114861A/en
Publication of JP2013142431A publication Critical patent/JP2013142431A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5868709B2 publication Critical patent/JP5868709B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
    • F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
    • F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

本発明は、支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置に関し、特に大型の支持対象を非接触で支持するのに好適な静圧気体軸受装置に関する。   The present invention relates to a hydrostatic gas bearing device that supports a support object in a non-contact manner, and particularly to a hydrostatic gas bearing device that is suitable for supporting a large-sized support object in a non-contact manner.

特許文献１には、高精度な回転性能を有する静圧軸受パッド式回転装置が開示されている。この静圧軸受パッド式回転装置に用いられている静圧気体軸受装置は、支持対象である回転体が軸心回り方向に回転可能となるように、この回転体をラジアル方向から非接触で支持する複数の静圧気体軸受パッド（ラジアルパッド）と、これらの静圧気体軸受パッドを固定するためのブラケット（固定体）と、を備えている。ここで、ブラケットにはボールスタッド支持部材が取り付けられており、静圧気体軸受パッドは、このボールスタッド支持部材にねじ込まれたボールスタッドを介してブラケットに固定されている。   Patent Document 1 discloses a hydrostatic bearing pad type rotating device having high-precision rotational performance. The hydrostatic gas bearing device used in the hydrostatic bearing pad type rotating device supports the rotating body in a non-contact manner from the radial direction so that the rotating body to be supported can rotate in the direction around the axis. A plurality of static pressure gas bearing pads (radial pads) and a bracket (fixed body) for fixing these static pressure gas bearing pads. Here, a ball stud support member is attached to the bracket, and the static pressure gas bearing pad is fixed to the bracket via a ball stud screwed into the ball stud support member.

特開２０１０−１２４５６５号公報JP 2010-124565 A

特許文献１に記載の静圧気体軸受装置において、支持対象である回転体が大型化した場合、回転体の外周方向（ラジアル方向）あるいは軸方向（スラスト方向）に配置する静圧気体軸受パッドの数を増やす必要がある。しかしながら、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置では、静圧気体軸受パッドの数が増えると、つぎのような問題が生じる。   In the static pressure gas bearing device described in Patent Document 1, when the rotating body to be supported is enlarged, the static pressure gas bearing pad disposed in the outer circumferential direction (radial direction) or axial direction (thrust direction) of the rotating body. It is necessary to increase the number. However, in the static pressure gas bearing device described in Patent Document 1, when the number of static pressure gas bearing pads is increased, the following problems occur.

すなわち、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置においては、上述したように、ボールスタッドを介してブラケットに各静圧気体軸受パッドが固定されているので、ブラケットに対する静圧気体軸受パッドの取付角度が自動調節される。しかし、各静圧気体軸受パッドのラジアル方向の位置決めは、ボールスタッド支持部材へのボールスタッドのねじ込み具合を個別に微調整することにより行われる。支持対象である回転体が大型化すると、このような面倒な微調整作業の対象となる静圧気体軸受パッドの数が増加するため、支持対象である回転体の軸心合わせの作業負担が増加する。したがって、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置は、複数配置された静圧気体軸受パッドの位置決めが非常に煩雑であり、大型の支持対象に適していない。   That is, in the static pressure gas bearing device described in Patent Document 1, as described above, each static pressure gas bearing pad is fixed to the bracket via the ball stud, so that the static pressure gas bearing pad is attached to the bracket. The angle is automatically adjusted. However, the radial positioning of each hydrostatic gas bearing pad is performed by finely adjusting the screwing of the ball stud into the ball stud support member individually. When the rotating body to be supported is enlarged, the number of static pressure gas bearing pads to be subjected to such a troublesome fine adjustment work increases, so that the work load for aligning the axis of the rotating body to be supported increases. To do. Therefore, in the static pressure gas bearing device described in Patent Document 1, positioning of a plurality of arranged static pressure gas bearing pads is very complicated and is not suitable for a large support target.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said situation, The objective is to provide the static pressure gas bearing apparatus with which the center alignment of a support target is easy irrespective of the magnitude | size of a support target.

上記課題を解決するために、本発明の静圧気体軸受装置では、セグメント化された複数の静圧気体軸受を、これらの静圧気体軸受の支持面が支持対象の外周方向あるいは軸心方向に配列されるように、ハウジングの内周面に取り付けた。   In order to solve the above problems, in the hydrostatic gas bearing device of the present invention, a plurality of segmented hydrostatic gas bearings are arranged such that the support surfaces of these hydrostatic gas bearings are in the outer peripheral direction or the axial direction of the object to be supported. It attached to the inner peripheral surface of a housing so that it might be arranged.

例えば、本発明は、支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象を非接触で支持する支持面を備え、給気口から供給される気体を前記支持面に導く通気路およびネジ穴が形成された複数の静圧気体軸受と、
前記複数の静圧気体軸受を保持するための内壁を有するハウジングと、
複数のボルトと、を有し、
前記複数の静圧気体軸受は、
前記支持対象の軸心を含む水平面に対して非対称に前記支持面が並ぶように前記支持対象の軸心を囲む方向に配列され、前記ハウジングの内壁に対する前記支持面の位置が固定されるように前記ハウジングの内壁に取り付けられ、
前記ハウジングには、当該ハウジングの内壁を貫通する複数のボルト穴が形成され、
前記複数のボルトは、それぞれ、
前記ハウジングのボルト穴を介して前記静圧気体軸受のネジ穴に螺合して当該静圧気体軸受を前記ハウジングに固定する。 For example, the present invention is a static pressure gas bearing device for supporting a support object in a non-contact manner,
E Bei a supporting surface for supporting the supporting object in a non-contact, and a plurality of externally pressurized gas bearing that ventilation passage and threaded holes are formed for guiding the gas supplied from the air supply port on said support surface,
A housing having an inner wall for holding the plurality of static pressure gas bearings;
A plurality of bolts ,
The plurality of static pressure gas bearings are:
Wherein the support surface asymmetrically are the arranged in a direction surrounding the axis of the supporting object to line up with respect to a horizontal plane passing through the axis of the support subject, so that the position of the support surface relative to the inner wall of the housing is fixed Attached to the inner wall of the housing ;
The housing is formed with a plurality of bolt holes penetrating the inner wall of the housing,
The plurality of bolts are respectively
The static pressure gas bearing is fixed to the housing by screwing into the screw hole of the static pressure gas bearing through the bolt hole of the housing .

本発明では、複数のセグメント化された静圧気体軸受を、支持対象の外周方向あるいは軸心方向に配列し、ハウジングの内周面に対する支持面の位置が固定されるようにハウジングの内周面に取り付けている。このため、これらの静圧気体軸受の支持面をまとめて機械加工で精度よく仕上げることができ、これにより、個々の静圧気体軸受ごとの面倒な微調整作業を行わなくても、これらの静圧気体軸受と支持対象との軸心合わせを容易に行うことが可能となる。これにより、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置を提供することができる。   In the present invention, a plurality of segmented hydrostatic gas bearings are arranged in the outer peripheral direction or the axial direction of the support target, and the inner peripheral surface of the housing is fixed so that the position of the support surface with respect to the inner peripheral surface of the housing is fixed. It is attached to. For this reason, the support surfaces of these hydrostatic gas bearings can be combined and finished with high precision by machining, thereby eliminating the need for troublesome fine adjustment for each hydrostatic gas bearing. It is possible to easily align the axis of the pressurized gas bearing and the support target. Thereby, it is possible to provide a static pressure gas bearing device in which the axis alignment of the support target is easy regardless of the size of the support target.

図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る静圧気体軸受装置１の外観図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１の断面図である。FIG. 1A is an external view of a static pressure gas bearing device 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross section of the static pressure gas bearing device 1 shown in FIG. FIG. 図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、静圧気体軸受パッド２の正面図、右側面図、底面図であり、図２（Ｄ）は、図２（Ｃ）のＡ−Ａ断面図である。2A, 2B, and 2C are a front view, a right side view, and a bottom view of the hydrostatic gas bearing pad 2, and FIG. 2D is an AA view of FIG. It is sectional drawing. 図３（Ａ）、（Ｂ）は、ハウジング３の正面図、右側面図であり、図３（Ｃ）、（Ｄ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。3A and 3B are a front view and a right side view of the housing 3, and FIGS. 3C and 3D are cross-sectional views taken along line BB in FIG. 3A. 図４（Ａ）は、ブラケット４の正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。4A is a front view of the bracket 4, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 4A. 図５は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１のＤ部拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of a portion D of the static pressure gas bearing device 1 shown in FIG.

以下に、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１（Ａ）は、本実施の形態に係る静圧気体軸受装置１の外観図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１の断面図である。   FIG. 1A is an external view of a static pressure gas bearing device 1 according to the present embodiment, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the static pressure gas bearing device 1 shown in FIG. .

本実施の形態に係る静圧気体軸受装置１は、例えば大型の軸等といった、図示していない円柱状の支持対象を、セグメント化された複数の静圧気体軸受パッドにより非接触で支持する。図示するように、静圧気体軸受装置１は、支持対象を非接触で支持する支持面２０を有する複数の静圧気体軸受パッド２と、これらの静圧気体軸受パッド２を保持する円筒状のハウジング３と、ハウジング３を支持する一対のブラケット４と、ブラケット４毎に設けられ、ブラケット４に対するハウジング３の位置（上下方向（Ｚ方向）における高さ）を調節する支持位置調整機構５と、を備えている。   The hydrostatic gas bearing device 1 according to the present embodiment supports a cylindrical support target (not shown) such as a large shaft in a non-contact manner by a plurality of segmented hydrostatic gas bearing pads. As shown in the figure, a static pressure gas bearing device 1 includes a plurality of static pressure gas bearing pads 2 having a support surface 20 that supports a support object in a non-contact manner, and a cylindrical shape that holds these static pressure gas bearing pads 2. A housing 3, a pair of brackets 4 that support the housing 3, and a support position adjusting mechanism 5 that is provided for each bracket 4 and adjusts the position of the housing 3 with respect to the bracket 4 (height in the vertical direction (Z direction)); It has.

ここで、複数の静圧気体軸受パッド２は、それらの支持面２０がハウジング３の内周面３０において支持対象の外周面に沿って配置されるように、支持対象の外周方向αおよび軸方向βに配列されてハウジング３の内周面３０に取り付けられている。   Here, the plurality of static pressure gas bearing pads 2 are arranged so that their support surfaces 20 are arranged along the outer peripheral surface of the support target on the inner peripheral surface 30 of the housing 3. It is arranged on β and attached to the inner peripheral surface 30 of the housing 3.

なお、本実施の形態では、支持対象の外周方向αに３枚の静圧気体軸受パッド２を配列し、これを支持対象の軸方向βに２列設けているが（合計６枚の静圧気体軸受パッド２）、本発明はこれに限定されない。例えば、支持対象の大きさ、重量等に応じた枚数の静圧気体軸受パッド２を、支持対象の外周方向αおよび軸方向βの少なくとも一方向に配列すればよい。   In the present embodiment, three static pressure gas bearing pads 2 are arranged in the outer circumferential direction α of the support target and provided in two rows in the axial direction β of the support target (total six static pressures). Gas bearing pad 2), the present invention is not limited to this. For example, the number of static pressure gas bearing pads 2 corresponding to the size, weight, etc. of the support target may be arranged in at least one of the outer peripheral direction α and the axial direction β of the support target.

図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、静圧気体軸受パッド２の正面図、右側面図、底面図であり、図２（Ｄ）は、図２（Ｃ）のＡ−Ａ断面図である。   2A, 2B, and 2C are a front view, a right side view, and a bottom view of the hydrostatic gas bearing pad 2, and FIG. 2D is an AA view of FIG. It is sectional drawing.

静圧気体軸受パッド２の支持面２０は、支持対象の外周面と支持面２０との間に厚みの均一な気体層が形成されるように、支持対象の外径より僅かに大きな直径を有する円弧状に形成されている。図示するように、この静圧気体軸受パッド２は、円弧状のバックメタル２１と、バックメタル２１の内周面２３（支持面２０側の面）上に形成された多孔質焼結層２２と、を備えている。   The support surface 20 of the hydrostatic gas bearing pad 2 has a diameter slightly larger than the outer diameter of the support target so that a gas layer having a uniform thickness is formed between the outer peripheral surface of the support target and the support surface 20. It is formed in an arc shape. As shown in the figure, this static pressure gas bearing pad 2 includes an arc-shaped back metal 21 and a porous sintered layer 22 formed on an inner peripheral surface 23 (a surface on the support surface 20 side) of the back metal 21. It is equipped with.

バックメタル２１は、外周面２４（支持面２０と反対側の面）がハウジング３の内周面３０にならうように、ハウジング３の内径とほぼ同径の外径を有している。バックメタル２１の外周面２４には、静圧気体軸受パッド２をハウジング３に固定するための、図示していないボルトが締結されるネジ穴２５が形成されている。また、バックメタル２１の内周面２３には、例えば周方向に沿った溝２６Ａが１本以上形成されており、バックメタル２１の内部には、これらの溝２６Ａに圧縮気体を供給するための通気路２６が形成されている。そして、バックメタル２１の一方の側面２７（静圧気体軸受パッド２をハウジング３の内周面３０に組み付けた場合に、ハウジング３の開口から外側に向く面）には、図示していない圧縮気体供給用ポンプの給気管をこの通気路２６に連結するための給気口２８が形成されている。さらに、バックメタル２１の一方の側面２７には、静圧気体軸受パッド２の支持面２０に切削、研削等の機械加工を施す際に、図示していない固定用冶具に静圧気体軸受パッド２を固定するためボルト挿入用ボルト穴２９が形成されている。   The back metal 21 has an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the housing 3 such that the outer peripheral surface 24 (the surface opposite to the support surface 20) follows the inner peripheral surface 30 of the housing 3. A screw hole 25 for fastening a bolt (not shown) for fixing the hydrostatic gas bearing pad 2 to the housing 3 is formed in the outer peripheral surface 24 of the back metal 21. Further, for example, one or more grooves 26A along the circumferential direction are formed on the inner peripheral surface 23 of the back metal 21, and the inside of the back metal 21 is for supplying compressed gas to these grooves 26A. An air passage 26 is formed. A compressed gas (not shown) is provided on one side surface 27 of the back metal 21 (a surface facing the outside from the opening of the housing 3 when the static pressure gas bearing pad 2 is assembled to the inner peripheral surface 30 of the housing 3). An air supply port 28 for connecting the air supply pipe of the supply pump to the air passage 26 is formed. Further, on one side surface 27 of the back metal 21, when machining such as cutting and grinding is performed on the support surface 20 of the static pressure gas bearing pad 2, the static pressure gas bearing pad 2 is attached to a fixing jig (not shown). A bolt hole 29 for inserting a bolt is formed to fix the bolt.

圧縮気体供給用ポンプの給気が開始されると、圧縮気体供給用ポンプからの圧縮気体が、給気口２８に連結された給気管および通気路２６を介して多孔質焼結層２２裏側の溝２６Ａに供給される。これにより、圧縮気体供給用ポンプからの圧縮空気が、多孔質焼結層２２内の細孔を通過して、支持面２０として機能する多孔質焼結層２２の表面２０から吐出される。   When the supply of the compressed gas supply pump is started, the compressed gas from the compressed gas supply pump is supplied to the back side of the porous sintered layer 22 via the supply pipe connected to the supply port 28 and the air passage 26. It is supplied to the groove 26A. Thus, the compressed air from the compressed gas supply pump passes through the pores in the porous sintered layer 22 and is discharged from the surface 20 of the porous sintered layer 22 that functions as the support surface 20.

図３（Ａ）、（Ｂ）は、ハウジング３の正面図、右側面図であり、図３（Ｃ）、（Ｄ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。   3A and 3B are a front view and a right side view of the housing 3, and FIGS. 3C and 3D are cross-sectional views taken along line BB in FIG. 3A.

図示するように、ハウジング３は、外径面両端側に小径部３３が形成された段付きの円筒形状を有している。具体的には、ハウジング３は、円筒状のハウジング本体３１と、ハウジング本体３１の両端面３２に一体的に形成され、ハウジング本体３１の外径よりも小径な円筒状の挿入部３３と、を備えている。各挿入部３３は、それぞれ、ブラケット４の後述する挿入穴４０に挿入される。   As shown in the figure, the housing 3 has a cylindrical shape with a step in which small diameter portions 33 are formed on both ends of the outer diameter surface. Specifically, the housing 3 includes a cylindrical housing body 31 and a cylindrical insertion portion 33 that is formed integrally with both end surfaces 32 of the housing body 31 and has a diameter smaller than the outer diameter of the housing body 31. I have. Each insertion portion 33 is inserted into an insertion hole 40 described later of the bracket 4.

ハウジング本体３１の外周面３４には、ハウジング３の内周面３０の所定位置に配列された各静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５と対応する位置に、ハウジング３の内周面３０まで貫通したボルト穴３５が形成されている。図示していないボルトを、これらのボルト穴３５に外周面３４側から挿入して、ハウジング３内の静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５に螺合させることにより、ハウジング３の内周面３０の所定位置に静圧気体軸受パッド２が固定される。   The outer peripheral surface 34 of the housing body 31 penetrates to the inner peripheral surface 30 of the housing 3 at a position corresponding to the screw hole 25 of each static pressure gas bearing pad 2 arranged at a predetermined position on the inner peripheral surface 30 of the housing 3. Bolt holes 35 are formed. Bolts (not shown) are inserted into these bolt holes 35 from the outer peripheral surface 34 side, and screwed into the screw holes 25 of the static pressure gas bearing pad 2 in the housing 3, whereby the inner peripheral surface 30 of the housing 3. The static pressure gas bearing pad 2 is fixed at a predetermined position.

また、ハウジング本体３１の両端面３２には、ハウジング３をブラケット４に固定するためのボルト３９（図１参照）と螺合するネジ穴３６が形成されている。また、ハウジング本体３１の外周面３４の、両端面３２近傍の上部位置には、支持位置調整機構５の後述する位置調整ボルト５０と螺合するネジ穴３７がＺ方向に形成されている。   Further, on both end faces 32 of the housing body 31, screw holes 36 are formed which are screwed with bolts 39 (see FIG. 1) for fixing the housing 3 to the bracket 4. A screw hole 37 is formed in the Z direction at an upper position of the outer peripheral surface 34 of the housing main body 31 in the vicinity of both end surfaces 32 so as to be screwed with a position adjusting bolt 50 described later of the support position adjusting mechanism 5.

一方、挿入部３３は、ハウジング本体３１と軸心が一致し、かつハウジング本体３１と同じ内径を有している。また、挿入部３３は、ハウジング本体３１の外径ｒ２より小さな外径ｒ１を有している。これらの挿入部３３は、ハウジング３の両側に設置された２個の後述するブラケット４の一方の側面４４にハウジング本体３１の両端面３２が接触するまで、これら２個のブラケット４の後述する挿入穴４０内に挿入される。   On the other hand, the insertion portion 33 has the same inner diameter as that of the housing main body 31 and the axial center of the housing main body 31 coincides. Further, the insertion portion 33 has an outer diameter r1 that is smaller than the outer diameter r2 of the housing body 31. These insertion portions 33 are inserted into the two brackets 4 to be described later until both end surfaces 32 of the housing main body 31 come into contact with one side surface 44 of two brackets 4 to be described later installed on both sides of the housing 3. It is inserted into the hole 40.

図４（Ａ）は、ブラケット４の正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。   4A is a front view of the bracket 4, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 4A.

図示するように、ブラケット４は、板状のブラケット本体４１と、ブラケット本体４１の下端部に一体に形成され、ブラケット本体４１の横倒しを防止する台座４２と、ブラケット本体４１の上端部に形成され、支持位置調整機構５を保持する保持部４３と、を備えている。   As shown in the drawing, the bracket 4 is formed integrally with a plate-shaped bracket body 41, a lower end portion of the bracket body 41, a pedestal 42 that prevents the bracket body 41 from lying down, and an upper end portion of the bracket body 41. And a holding portion 43 that holds the support position adjusting mechanism 5.

ブラケット本体４１には、ハウジング３の挿入部３３が挿入される挿入穴４０が、ブラケット本体４１の両側面４４、４５を貫くように形成されている。支持位置調整機構５によるブラケット４に対するハウジング３の位置調整を可能とするため、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３とは所定の隙間を有しており、例えば、挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３との嵌め合いは、挿入穴４０の内周面とハウジング３の挿入部３３の外周面との間にハウジング３の位置調整代分の隙間があく緩い隙間嵌めとなっている。つまり、ブラケット４の挿入穴４０に挿入部３３が挿入されたハウジング３は、ブラケット４の挿入穴４０の径方向にハウジング３の位置調整代分の距離の移動が可能である。ただし、ハウジング３の挿入部３３が挿入穴４０内に挿入された場合に、ハウジング本体３１の端面３２がブラケット本体４１の一方の側面４４と当接するように、挿入穴４０の穴径ｒ３は、ハウジング３のハウジング本体３１の外径ｒ２より小さく形成されている。   An insertion hole 40 into which the insertion portion 33 of the housing 3 is inserted is formed in the bracket body 41 so as to penetrate both side surfaces 44 and 45 of the bracket body 41. In order to make it possible to adjust the position of the housing 3 relative to the bracket 4 by the support position adjusting mechanism 5, the insertion hole 40 of the bracket 4 and the insertion portion 33 of the housing 3 have a predetermined gap. The fitting with the insertion portion 33 of the housing 3 is a loose clearance fitting with a clearance for the position adjustment of the housing 3 between the inner peripheral surface of the insertion hole 40 and the outer peripheral surface of the insertion portion 33 of the housing 3. Yes. That is, the housing 3 in which the insertion portion 33 is inserted into the insertion hole 40 of the bracket 4 can be moved by a distance corresponding to the position adjustment amount of the housing 3 in the radial direction of the insertion hole 40 of the bracket 4. However, when the insertion portion 33 of the housing 3 is inserted into the insertion hole 40, the hole diameter r <b> 3 of the insertion hole 40 is such that the end surface 32 of the housing body 31 comes into contact with one side surface 44 of the bracket body 41. The housing 3 is formed smaller than the outer diameter r <b> 2 of the housing body 31.

また、ブラケット本体４１の挿入穴４０の周囲（ブラケット本体４１および台座４２）には、この挿入穴４０に挿入部３３が挿入されるハウジング３のハウジング本体３１の端面３２のネジ穴３６に対応する位置にボルト穴４６が形成されている。ブラケット４の一方の側面４４側から挿入穴４０にハウジング３の挿入部３３を挿入した状態で、ボルト３９（図１参照）を、ブラケット本体４１の他方の側面４５側からボルト穴４６に挿入してハウジング３のネジ穴３６に螺合させることにより、ハウジング３がブラケット４に固定される。支持位置調整機構５によるブラケット４に対するハウジング３の位置調整を可能とするため、ボルト穴４６は、挿入されたボルト３９が、少なくともハウジング３の位置調整代分、Ｚ方向に移動可能な大きさに形成されている。   Further, around the insertion hole 40 of the bracket main body 41 (the bracket main body 41 and the pedestal 42) corresponds to the screw hole 36 of the end surface 32 of the housing main body 31 of the housing 3 into which the insertion portion 33 is inserted into the insertion hole 40. Bolt holes 46 are formed at the positions. With the insertion portion 33 of the housing 3 inserted into the insertion hole 40 from one side 44 side of the bracket 4, the bolt 39 (see FIG. 1) is inserted into the bolt hole 46 from the other side 45 side of the bracket body 41. Then, the housing 3 is fixed to the bracket 4 by being screwed into the screw holes 36 of the housing 3. In order to enable the position adjustment of the housing 3 with respect to the bracket 4 by the support position adjustment mechanism 5, the bolt hole 46 is sized so that the inserted bolt 39 can move in the Z direction at least by the position adjustment allowance of the housing 3. Is formed.

台座４２は、ブラケット本体４１の横倒しを防止するため、ブラケット本体４１の下端部においてブラケット本体４１の少なくとも片側の側面から張り出し、ブラケット本体４１の板厚よりも幅広の底面４９を形成している。本実施の形態においては、台座４２は、ブラケット本体４１の、ハウジング３とは反対側の他方の側面４５から張り出した形状に形成されている。   In order to prevent the bracket body 41 from lying down, the pedestal 42 projects from at least one side surface of the bracket body 41 at the lower end of the bracket body 41, and forms a bottom surface 49 wider than the plate thickness of the bracket body 41. In the present embodiment, the pedestal 42 is formed in a shape protruding from the other side surface 45 of the bracket body 41 opposite to the housing 3.

保持部４３は、ブラケット本体４１の上端部においてブラケット本体４１の他方の側面４５から張り出しており、その上面４３Ａに、支持位置調整機構５を保持するための凹部４７が形成されている。図示していないが、この凹部４７の底面４８には、支持位置調整機構５を固定するための固定ボルトが締結されるネジ穴が形成されている。そして、後述するように、ハウジング３の挿入部３３をブラケット本体４１の挿入穴４０に挿入した場合に、凹部４７の底面４８は、ハウジング本体３１の外周面３４よりも高い位置に位置付けられる（図５参照）。   The holding portion 43 protrudes from the other side surface 45 of the bracket main body 41 at the upper end portion of the bracket main body 41, and a concave portion 47 for holding the support position adjusting mechanism 5 is formed on the upper surface 43A. Although not shown, a screw hole for fastening a fixing bolt for fixing the support position adjusting mechanism 5 is formed in the bottom surface 48 of the recess 47. As will be described later, when the insertion portion 33 of the housing 3 is inserted into the insertion hole 40 of the bracket body 41, the bottom surface 48 of the recess 47 is positioned higher than the outer peripheral surface 34 of the housing body 31 (see FIG. 5).

図５は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１のＤ部拡大図である。   FIG. 5 is an enlarged view of a portion D of the static pressure gas bearing device 1 shown in FIG.

図示するように、支持位置調整機構５は、位置調整ボルト５０と、図示していない固定ボルトでブラケット４の保持部４３の凹部４７に固定されたプレート５１と、を備えている。   As shown in the drawing, the support position adjusting mechanism 5 includes a position adjusting bolt 50 and a plate 51 fixed to the concave portion 47 of the holding portion 43 of the bracket 4 with a fixing bolt (not shown).

図示していないが、プレート５１には、ブラケット４の保持部４３の凹部４７の底面４８のネジ穴に対応する位置にボルト穴が形成されている。固定ボルトを、このボルト穴に挿入してブラケット４の保持部４３の凹部４７の底面４８のネジ穴に締結することにより、プレート５１はブラケット４の保持部４３に固定される。また、プレート５１には、ブラケット４の挿入穴４０に挿入部３３が挿入されたハウジング３のハウジング本体３１に形成されているネジ穴３７と対応する位置に、位置調整ボルト５０挿入用のボルト穴５２が形成されている。   Although not shown, bolt holes are formed in the plate 51 at positions corresponding to the screw holes in the bottom surface 48 of the concave portion 47 of the holding portion 43 of the bracket 4. The plate 51 is fixed to the holding portion 43 of the bracket 4 by inserting the fixing bolt into the bolt hole and fastening it to the screw hole of the bottom surface 48 of the concave portion 47 of the holding portion 43 of the bracket 4. Further, the plate 51 has a bolt hole for inserting the position adjusting bolt 50 at a position corresponding to the screw hole 37 formed in the housing main body 31 of the housing 3 in which the insertion portion 33 is inserted into the insertion hole 40 of the bracket 4. 52 is formed.

上述したように、ハウジング３の挿入部３３をブラケット４の挿入穴４０に挿入した場合、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３とがゆるい隙間嵌めとなっているため、挿入部３３の外周面と挿入穴４０の内周面との間に少なくともハウジング３の位置調整代分の隙間ｄ１が形成される。また、ブラケット４の保持部４３に形成されている凹部４７の底面４８がハウジング本体３１の外周面３４よりも高い位置にくるように形成されているため、プレート５１の下面５３とハウジング本体３１の外周面３４との間にも、少なくともハウジング３の位置調整代分の隙間ｄ２が形成される。このため、位置調整ボルト５０を、プレート５１のボルト穴５２に挿入してハウジング３のネジ穴３７に螺合させ、その締め込み量を調整することより、ハウジング３が、プレート５１側に引き寄せられ、または、プレート５１から引き離されるため、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整することができる。   As described above, when the insertion portion 33 of the housing 3 is inserted into the insertion hole 40 of the bracket 4, the insertion portion 33 has a loose clearance fit between the insertion hole 40 of the bracket 4 and the insertion portion 33 of the housing 3. A gap d1 corresponding to at least the position adjustment amount of the housing 3 is formed between the outer peripheral surface of the housing 3 and the inner peripheral surface of the insertion hole 40. In addition, since the bottom surface 48 of the recess 47 formed in the holding portion 43 of the bracket 4 is formed at a position higher than the outer peripheral surface 34 of the housing body 31, the lower surface 53 of the plate 51 and the housing body 31 A gap d <b> 2 corresponding to at least the position adjustment allowance of the housing 3 is also formed between the outer peripheral surface 34. For this reason, the housing 3 is pulled toward the plate 51 side by inserting the position adjusting bolt 50 into the bolt hole 52 of the plate 51 and screwing it into the screw hole 37 of the housing 3 and adjusting the tightening amount. Alternatively, the position of the housing 3 relative to the bracket 4 can be adjusted because it is pulled away from the plate 51.

つぎに、上記構成の静圧気体軸受装置１の組立て方法を説明する。   Next, a method for assembling the static pressure gas bearing device 1 having the above configuration will be described.

まず、ハウジング３内に静圧気体軸受パッド２を位置付け、ボルトを、ハウジング３のボルト穴３５に挿入し、ハウジング３内に位置付けた静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５に螺合させることにより、ハウジング３の内周面３０の所定位置に静圧気体軸受パッド２を固定する。このとき、静圧期待軸受パッド２は、ボルト穴２９が形成されているバックメタル２１の一方の側面２７がハウジング３の挿入部３３の端面にそろうように配置されている（図１参照）。すべての静圧気体軸受パッド２に対して同様な作業を行うことにより、所望数の支持面２０を、支持対象の外周方向αおよび軸方向βに、所望のパターンで配列する。   First, the static pressure gas bearing pad 2 is positioned in the housing 3, and a bolt is inserted into the bolt hole 35 of the housing 3 and screwed into the screw hole 25 of the static pressure gas bearing pad 2 positioned in the housing 3. The static pressure gas bearing pad 2 is fixed to a predetermined position on the inner peripheral surface 30 of the housing 3. At this time, the static pressure expected bearing pad 2 is arranged so that one side surface 27 of the back metal 21 in which the bolt hole 29 is formed is aligned with the end surface of the insertion portion 33 of the housing 3 (see FIG. 1). By performing the same operation on all the static pressure gas bearing pads 2, a desired number of support surfaces 20 are arranged in a desired pattern in the outer peripheral direction α and the axial direction β of the support target.

つぎに、静圧気体軸受パッド２の側面（バックメタル２１の一方の側面２７）に形成されているボルト穴２９を用いて、ハウジング３の内周面３０に固定された複数の静圧気体軸受パッド２に、図示していない固定用冶具をボルトで固定する。それから、図１（Ａ）に示すように、ハウジング３の内周面３０に固定された複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、まとめて機械加工（研削加工、切削加工等）する。これにより、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０が、同一の円周上の円弧面となるように、精度よく仕上げられる。   Next, a plurality of static pressure gas bearings fixed to the inner peripheral surface 30 of the housing 3 using bolt holes 29 formed on the side surface of the static pressure gas bearing pad 2 (one side surface 27 of the back metal 21). A fixing jig (not shown) is fixed to the pad 2 with a bolt. Then, as shown in FIG. 1A, the support surfaces 20 of the plurality of hydrostatic gas bearing pads 2 fixed to the inner peripheral surface 30 of the housing 3 are collectively machined (grinding, cutting, etc.). . As a result, the support surfaces 20 of the plurality of static pressure gas bearing pads 2 are finished with high precision so as to be arcuate surfaces on the same circumference.

つぎに、ハウジング３の両側の挿入部３３を、一対のブラケット４の挿入穴４０に一方の側面４４側からそれぞれ挿入する。これにより、ハウジング３を、対向して配置される一対のブラケット４に支持させる。それから、位置調整ボルト５０を、それぞれのブラケット４に固定されたプレート５１のボルト穴５２に挿入し、ハウジング３のハウジング本体３１の外周面３４に形成されたネジ穴３７と螺合させる。位置調整ボルト５０の締め込み量を調節することにより、ハウジング３の挿入穴３０内で複数の静圧気体軸受３により非接触支持される支持対象の軸心Ｏが水平となるように、各ブラケット４に対するハウジング３の位置（高さ）を調整する。   Next, the insertion portions 33 on both sides of the housing 3 are respectively inserted into the insertion holes 40 of the pair of brackets 4 from one side 44 side. As a result, the housing 3 is supported by a pair of brackets 4 arranged to face each other. Then, the position adjusting bolt 50 is inserted into the bolt hole 52 of the plate 51 fixed to each bracket 4 and screwed into the screw hole 37 formed on the outer peripheral surface 34 of the housing body 31 of the housing 3. By adjusting the tightening amount of the position adjusting bolt 50, each bracket is arranged so that the support center O that is supported in a non-contact manner by the plurality of static pressure gas bearings 3 is horizontal in the insertion hole 30 of the housing 3. The position (height) of the housing 3 with respect to 4 is adjusted.

そして、ハウジング３の位置調整が終了したならば、ボルトを、ブラケット４の挿入穴４０の周囲に形成されたボルト穴４６に挿入してハウジング３のネジ穴３６に螺合させることにより、ハウジング３をブラケット４に固定する。以上により、上記構成の静圧気体軸受装置１が完成する。   When the position adjustment of the housing 3 is completed, the bolt is inserted into the bolt hole 46 formed around the insertion hole 40 of the bracket 4 and screwed into the screw hole 36 of the housing 3. Is fixed to the bracket 4. Thus, the static pressure gas bearing device 1 having the above configuration is completed.

以上、本発明の実施の形態を説明した。   The embodiment of the present invention has been described above.

本実施の形態では、複数の静圧気体軸受パッド２を、これらの静圧気体軸受パッド２の支持面２０が支持対象の外周方向αあるいは軸方向βに配列されるように、ハウジング３の内周面３０に取り付け、これらの静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、まとめて機械加工する。これにより、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、それらの支持面２０が同一の円周上の円弧面となるように精度よく仕上げることができるため、支持対象の軸心合わせのための煩雑な微調整作業を行わなくても、これらの静圧気体軸受パッド２の軸心Ｏと支持対象の軸心とを容易に一致させることが可能となる。これにより、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置１を提供することができる。   In the present embodiment, a plurality of static pressure gas bearing pads 2 are arranged inside the housing 3 such that the support surfaces 20 of these static pressure gas bearing pads 2 are arranged in the outer peripheral direction α or the axial direction β of the support target. It attaches to the surrounding surface 30, and the support surface 20 of these static pressure gas bearing pads 2 is machined collectively. As a result, the support surfaces 20 of the plurality of static pressure gas bearing pads 2 can be accurately finished so that the support surfaces 20 are circular arc surfaces on the same circumference. Therefore, the axis O of the static pressure gas bearing pad 2 and the axis to be supported can be easily matched without performing complicated fine adjustment operations. Thereby, the hydrostatic gas bearing device 1 in which the axis alignment of the support target is easy can be provided regardless of the size of the support target.

また、本実施の形態では、同時加工により、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、円柱状の支持対象の外周面より僅かに大きな直径を有する円弧状に精度よく成形することができる。このため、例えば、ハウジング３の内径が高精度に仕上げられていなくても、支持対象の外周面と静圧気体軸受パッド２の支持面２０との間に均一な厚さの気体層を形成することが可能となり、これにより、支持対象を非接触で安定的に支持することができる。   Further, in the present embodiment, the support surfaces 20 of the plurality of static pressure gas bearing pads 2 can be accurately formed into an arc shape having a slightly larger diameter than the outer peripheral surface of the cylindrical support object by simultaneous processing. it can. For this reason, for example, even if the inner diameter of the housing 3 is not finished with high accuracy, a gas layer having a uniform thickness is formed between the outer peripheral surface of the support target and the support surface 20 of the static pressure gas bearing pad 2. This makes it possible to stably support the object to be supported without contact.

また、本実施の形態では、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３との嵌め合いを緩い隙間嵌めにするとともに、ハウジング３のネジ穴３７に対応するブラケット４のボルト穴４６の内径を、少なくともハウジング３の位置調整代分、ボルト３９の呼び径よりも大きく形成している。そして、ブラケット４に固定されたプレート５１のボルト穴５２を介してハウジング３のネジ穴３７と螺合する位置調整ボルト５０の締り具合を調節することにより、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整する。このように、本実施の形態によれば、個々の静圧気体軸受パッド２の位置を変更しなくても、支持対象を保持するハウジング３の両端の位置を、位置調整ボルト５０の締り具合の調節という簡単な操作で調整することにより、支持対象の傾斜等を調整することができる。   Further, in the present embodiment, the fitting between the insertion hole 40 of the bracket 4 and the insertion portion 33 of the housing 3 is a loose clearance fit, and the inner diameter of the bolt hole 46 of the bracket 4 corresponding to the screw hole 37 of the housing 3. Is formed larger than the nominal diameter of the bolt 39 by at least the position adjustment allowance of the housing 3. Then, the position of the housing 3 with respect to the bracket 4 is adjusted by adjusting the tightening degree of the position adjusting bolt 50 screwed with the screw hole 37 of the housing 3 through the bolt hole 52 of the plate 51 fixed to the bracket 4. . As described above, according to the present embodiment, the positions of both ends of the housing 3 that holds the object to be supported can be set to the tightening degree of the position adjusting bolt 50 without changing the positions of the individual static pressure gas bearing pads 2. By adjusting with a simple operation of adjustment, it is possible to adjust the inclination or the like of the support target.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において様々な変形が可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible within the range of the summary.

例えば、上記実施の形態では、軸心Ｏを含む水平面に対して非対称に支持面２０が並ぶように、支持対象の外周方向αに静圧気体軸受パッド２を複数配置している。具体的には、ハウジング３の内周面３０一回りにおいて、軸心Ｏを含む水平面よりも上側に一枚、下側に二枚の静圧気体軸受パッド２を配置している。このような配置により、上側に配置された一枚の静圧気体軸受パッド２の支持面２０から吐出される圧縮気体の圧力および支持対象の自重と、下側に配置された二枚の静圧気体軸受パッド２の支持面２０から吐出される圧縮気体の圧力とをバランスさせている。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、支持対象の軸心Ｏが垂直になるように支持対象を支持する場合には、軸心Ｏ周りにほぼ等角度ピッチで支持面２０が並ぶように、支持対象の外周面に沿って静圧気体軸受パッド２を複数配置してもよい。   For example, in the above embodiment, a plurality of static pressure gas bearing pads 2 are arranged in the outer peripheral direction α of the support target so that the support surfaces 20 are arranged asymmetrically with respect to the horizontal plane including the axis O. Specifically, one static pressure gas bearing pad 2 is disposed on the upper side of the horizontal plane including the axis O and two static pressure gas bearing pads 2 are disposed on the inner circumferential surface 30 of the housing 3. With such an arrangement, the pressure of the compressed gas discharged from the support surface 20 of the single static pressure gas bearing pad 2 disposed on the upper side and the weight of the support target, and the two static pressures disposed on the lower side. The pressure of the compressed gas discharged from the support surface 20 of the gas bearing pad 2 is balanced. However, the present invention is not limited to this. For example, when the support target is supported so that the axis O of the support target is vertical, the support surface 20 is arranged along the outer peripheral surface of the support target so that the support surfaces 20 are arranged at substantially equal angular pitches around the axis O. A plurality of pressurized gas bearing pads 2 may be arranged.

また、上記実施の形態では、円柱状の支持対象の外周面に合わせて、静圧気体軸受パッド２の支持面２０を円弧状に形成しているが、本発明はこれに限定されない。支持面２０は、この支持面２０と非接触で対面する支持対象の部位と同形状に形成されたものであればよい。   Moreover, in the said embodiment, although the support surface 20 of the static pressure gas bearing pad 2 is formed in circular arc shape according to the outer peripheral surface of a column-shaped support target, this invention is not limited to this. The support surface 20 should just be formed in the same shape as the site | part of the support object which faces this support surface 20 non-contactingly.

また、上記の実施の形態では、ブラケット４の保持部４３に固定されたプレート５１、および、このプレート５１のボルト穴５２を介してハウジング３のネジ穴３７と螺合する位置調整ボルト５０により支持位置調整機構５を構成している。しかし、支持位置調整機構５は、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整できるものであれば、どのような構造のものでもよい。   Further, in the above embodiment, the plate 51 fixed to the holding portion 43 of the bracket 4 and the position adjusting bolt 50 screwed with the screw hole 37 of the housing 3 through the bolt hole 52 of the plate 51 are supported. A position adjusting mechanism 5 is configured. However, the support position adjusting mechanism 5 may have any structure as long as the position of the housing 3 with respect to the bracket 4 can be adjusted.

また、上記の実施の形態では、支持位置調整機構５をブラケット４の上部に取り付けているが、支持位置調整機構を更にハウジング３の外周面に対面するブラケット４の側面にも取り付けてもよい。   In the above embodiment, the support position adjusting mechanism 5 is attached to the upper part of the bracket 4. However, the support position adjusting mechanism may be attached to the side surface of the bracket 4 that faces the outer peripheral surface of the housing 3.

また、上記の実施の形態では、ハウジング形状を円筒状としたが、これに限らず、複数のセグメント化された静圧気体軸受を保持し、不要な気体の漏れ等を生じさせないような形状であれば、他の形状であってもかまわない。   In the above embodiment, the housing shape is a cylindrical shape. However, the shape of the housing is not limited to this, and a shape that holds a plurality of segmented static pressure gas bearings and does not cause unnecessary gas leakage or the like. If it is, other shapes may be used.

また、上記実施の形態では、静圧気体軸受パッド２として、支持面２０が多孔質焼結層で形成されたタイプのものを用いているが、本発明はこれに限定されない。自成絞り、オリフィス絞り、表面絞り等による圧縮気体吐出口が支持面２０に形成されたタイプの静圧気体軸受パッドを利用してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the type in which the support surface 20 was formed with the porous sintered layer is used as the static pressure gas bearing pad 2, this invention is not limited to this. A hydrostatic gas bearing pad of a type in which a compressed gas discharge port such as a self-formed throttle, an orifice throttle, or a surface throttle is formed on the support surface 20 may be used.

また、上記実施の形態では、ハウジング３を円筒状としているが、ハウジング３は筒状であればよい。また、上記実施の形態では、一対のブラケット４によりハウジング３の両端部を支持しているが、ハウジング３は、少なくとも一つのブラケット４により支持されていればよい。   Moreover, in the said embodiment, although the housing 3 is made into cylindrical shape, the housing 3 should just be cylindrical. In the above embodiment, both ends of the housing 3 are supported by the pair of brackets 4. However, the housing 3 only needs to be supported by at least one bracket 4.

１：静圧気体軸受装置、２：静圧気体軸受パッド、３：ハウジング、４：ブラケット、５：支持位置調整機構、２０：支持面、２１：バックメタル、２２：多孔質焼結層、２３：バックメタルの内周面、２４：バックメタルの外周面、２５：バックメタルのネジ穴、２６：バックメタルの通気路、２６Ａ：バックメタルの溝、２７：バックメタルの側面、２８：バックメタルの給気口、２９：バックメタルのボルト穴、３０：ハウジングの内周面、３１：ハウジング本体、３２：ハウジング本体の端面、３３：挿入部、３４：ハウジング本体の外周面、３５：ハウジング本体のボルト穴、３６、３７：ハウジング本体のネジ穴、３９：ボルト、４０：ブラケットの挿入穴、４１：ブラケット本体、４２：台座、４３：保持部、４３Ａ：保持部の上面、４４、４５：ブラケット本体の側面、４６：ブラケット４のボルト穴、４７：保持部の凹部、４８：凹部の底面、４９：ブラケット４の底面、５０：位置調整ボルト、５１：プレート、５２：プレートのボルト穴、５３：プレートの下面   1: hydrostatic gas bearing device, 2: hydrostatic gas bearing pad, 3: housing, 4: bracket, 5: support position adjusting mechanism, 20: support surface, 21: back metal, 22: porous sintered layer, 23 : Back metal inner peripheral surface, 24: Back metal outer peripheral surface, 25: Back metal screw hole, 26: Back metal air passage, 26A: Back metal groove, 27: Back metal side surface, 28: Back metal 29: Back metal bolt hole, 30: Inner peripheral surface of housing, 31: Housing main body, 32: End surface of housing main body, 33: Insertion part, 34: Outer peripheral surface of housing main body, 35: Housing main body Bolt holes 36, 37: Housing body screw holes, 39: Bolts, 40: Bracket insertion holes, 41: Bracket body, 42: Base, 43: Holding part, 43A: Holding part Upper surface, 44, 45: Side surface of bracket body, 46: Bolt hole of bracket 4, 47: Recessed portion of holding portion, 48: Bottom surface of recessed portion, 49: Bottom surface of bracket 4, 50: Position adjusting bolt, 51: Plate, 52 : Plate bolt hole, 53: Bottom surface of plate

Claims (5)

支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象を非接触で支持する支持面を備え、給気口から供給される気体を前記支持面に導く通気路およびネジ穴が形成された複数の静圧気体軸受と、
前記複数の静圧気体軸受を保持するための内壁を有するハウジングと、
複数のボルトと、を有し、
前記複数の静圧気体軸受は、
前記支持対象の軸心を含む水平面に対して非対称に前記支持面が並ぶように前記支持対象の軸心を囲む方向に配列され、前記ハウジングの内壁に対する前記支持面の位置が固定されるように前記ハウジングの内壁に取り付けられ、
前記ハウジングには、当該ハウジングの内壁を貫通する複数のボルト穴が形成され、
前記複数のボルトは、それぞれ、
前記ハウジングのボルト穴を介して前記静圧気体軸受のネジ穴に螺合して当該静圧気体軸受を前記ハウジングに固定する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 A hydrostatic gas bearing device that supports a support object in a non-contact manner,
E Bei a supporting surface for supporting the supporting object in a non-contact, and a plurality of externally pressurized gas bearing that ventilation passage and threaded holes are formed for guiding the gas supplied from the air supply port on said support surface,
A housing having an inner wall for holding the plurality of static pressure gas bearings;
A plurality of bolts ,
The plurality of static pressure gas bearings are:
Wherein the support surface asymmetrically are the arranged in a direction surrounding the axis of the supporting object to line up with respect to a horizontal plane passing through the axis of the support subject, so that the position of the support surface relative to the inner wall of the housing is fixed Attached to the inner wall of the housing ;
The housing is formed with a plurality of bolt holes penetrating the inner wall of the housing,
The plurality of bolts are respectively
A hydrostatic gas bearing device , wherein the hydrostatic gas bearing is fixed to the housing by screwing into a screw hole of the hydrostatic gas bearing through a bolt hole of the housing . 請求項１に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記支持面は、
当該支持面と対面する前記支持対象の部位に沿った形状に加工されている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 The static pressure gas bearing device according to claim 1,
The support surface is
The hydrostatic gas bearing device, wherein the static pressure gas bearing device is processed into a shape along the portion to be supported that faces the support surface. 請求項２に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象は、円柱状であり、
前記支持面は、円弧状に加工されている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 The static pressure gas bearing device according to claim 2,
The support object is cylindrical,
The static pressure gas bearing device, wherein the support surface is processed into an arc shape. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記ハウジングを支持する少なくとも一つのブラケットをさらに有し、
前記ブラケットは、
前記ブラケットに対する前記ハウジングの位置を調節する支持位置調整機構を備えている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 The static pressure gas bearing device according to any one of claims 1 to 3,
Further comprising at least one bracket supporting the housing;
The bracket is
A static pressure gas bearing device, comprising: a support position adjusting mechanism that adjusts a position of the housing with respect to the bracket. 請求項４に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記ブラケットは、前記ハウジングが所定隙間をもって挿入される貫通穴を備え、
前記ハウジングには、前記ブラケットの前記貫通穴の径方向にネジ穴が形成され、
前記支持位置調整機構は、
前記ハウジングに形成された前記ネジ穴と螺合し、前記ブラケットに対して前記貫通穴の径方向に前記所定の隙間分前記ハウジングを移動させるボルトを備える
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 The static pressure gas bearing device according to claim 4,
The bracket includes a through hole into which the housing is inserted with a predetermined gap,
A screw hole is formed in the housing in the radial direction of the through hole of the bracket,
The support position adjusting mechanism is
A hydrostatic gas bearing device comprising: a bolt that is screwed into the screw hole formed in the housing and moves the housing in the radial direction of the through hole with respect to the bracket by the predetermined gap.
JP2012002338A 2012-01-10 2012-01-10 Static pressure gas bearing device Active JP5868709B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012002338A JP5868709B2 (en) 2012-01-10 2012-01-10 Static pressure gas bearing device
PCT/JP2012/083075 WO2013105412A1 (en) 2012-01-10 2012-12-20 Hydrostatic gas bearing device
CN201280065781.1A CN104024668B (en) 2012-01-10 2012-12-20 Hydrostatic gas bearing device
KR1020147022027A KR20140114861A (en) 2012-01-10 2012-12-20 Hydrostatic gas bearing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012002338A JP5868709B2 (en) 2012-01-10 2012-01-10 Static pressure gas bearing device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013142431A JP2013142431A (en) 2013-07-22
JP5868709B2 true JP5868709B2 (en) 2016-02-24

Family

ID=48781370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012002338A Active JP5868709B2 (en) 2012-01-10 2012-01-10 Static pressure gas bearing device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5868709B2 (en)
KR (1) KR20140114861A (en)
CN (1) CN104024668B (en)
WO (1) WO2013105412A1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6177619B2 (en) * 2013-08-02 2017-08-09 オイレス工業株式会社 Static pressure gas bearing device
KR101710173B1 (en) * 2015-01-06 2017-02-27 주식회사 삼도인더스트리 High speed press with hydrostatic bearing
WO2016202407A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-22 Thöni Industriebetriebe Gmbh Hingedly supported biogas plant fermentation container
US12343925B2 (en) 2021-06-07 2025-07-01 Taiyuan University Of Technology Multi-filament helical winding devices
CN113334749B (en) * 2021-06-07 2022-06-14 太原理工大学 Variable-drive multi-size high-efficiency multi-beam fiber spiral synchronous winding equipment

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH430344A (en) * 1965-12-31 1967-02-15 Bbc Brown Boveri & Cie Radial plain bearings
GB1221700A (en) * 1968-12-24 1971-02-03 Gamet Products Ltd Improvements in or relating to hydrostatic bearing assemblies
JPS58129327U (en) * 1982-02-26 1983-09-01 株式会社日立製作所 Lower bearing of rotating body
JP2886054B2 (en) * 1993-10-01 1999-04-26 光洋精工株式会社 Hydrostatic bearing device
JPH08121482A (en) * 1994-10-18 1996-05-14 Teijin Seiki Co Ltd Air bearing
DE19917516A1 (en) * 1999-04-17 2000-11-16 Deckel Maho Seebach Gmbh Hydrostatic storage device
US6404845B1 (en) * 2001-05-09 2002-06-11 Philips Medical Systems (Cleveland), Inc. Aerostatic rotor bearing
JP2008298275A (en) * 2007-06-04 2008-12-11 Ntn Corp Static pressure gas bearing and rotating device
JP5089534B2 (en) * 2008-09-02 2012-12-05 Ｃｋｄ株式会社 Levitation unit and non-contact support device having the same
JP2010124565A (en) * 2008-11-18 2010-06-03 Ntn Corp Hydrostatic bearing pad type rotating device
CN102242769B (en) * 2011-05-27 2013-02-20 大连交通大学 Radial contained squeeze-film aerostatic bearing
CN102305243B (en) * 2011-08-31 2013-02-13 中国人民解放军国防科学技术大学 Self-compensating fluid hydrostatic bearing

Also Published As

Publication number Publication date
CN104024668A (en) 2014-09-03
JP2013142431A (en) 2013-07-22
CN104024668B (en) 2017-02-22
KR20140114861A (en) 2014-09-29
WO2013105412A1 (en) 2013-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5868709B2 (en) Static pressure gas bearing device
CN101484713A (en) Gas bearings
KR20150038502A (en) Gas-static bearing unit
US20180104783A1 (en) Air balance mechanism and method of adjusting posture of the air balance mechanism
CN110725865B (en) Assembling method of combined bearing
KR101735853B1 (en) Rotary flexure and air bearing support for rotary indexing system
CN103890421B (en) Tilting Pad Radial Bearings with Orientation Devices for Single-Axis Fluid Machinery
JP2004340653A (en) Measuring method of conical surface shape of tapered roller bearing
CN106001620A (en) Tool and method for machining spherical surface pads
JP7564564B2 (en) Apparatus and method for internal support air suspension static balancing of high precision rotating ring-like components
JP6288999B2 (en) Static pressure gas bearing device
JP2013043258A (en) Workpiece positioning tool for machine tool
JP6804294B2 (en) Aerostatic bearing equipment
JP2009168766A (en) Residual radial internal clearance measuring device
CN108290236A (en) Toolroom machine, particularly the hinge that retrofit is carried out for device to hole expand tool
JP2016129921A (en) Rotary table
US9303532B2 (en) Adjustable gib shim
KR101527695B1 (en) Boring device
TWI646271B (en) Porous media aerostatic bearing
JP2015175510A (en) Hydrostatic gas bearing rotation guide device
CN111215931A (en) Auxiliary device for machining end face of rod end and machining method thereof
JP2015175509A (en) Static pressure gas bearing rotation guide device
CN110274727B (en) A support system for a small force calibration device
CN108458739B (en) Rack with adjustable tilt axis and method of mounting a swivel base
JP2015098876A (en) Static pressure gas bearing and rotating device using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141009

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150804

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150928

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160106

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5868709

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250