[go: up one dir, main page]

JP5892388B2 - 樹脂封止型モジュール - Google Patents

樹脂封止型モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP5892388B2
JP5892388B2 JP2012552735A JP2012552735A JP5892388B2 JP 5892388 B2 JP5892388 B2 JP 5892388B2 JP 2012552735 A JP2012552735 A JP 2012552735A JP 2012552735 A JP2012552735 A JP 2012552735A JP 5892388 B2 JP5892388 B2 JP 5892388B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
substrate
resin layer
solder
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012552735A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2012096277A1 (ja
Inventor
康夫 横山
康夫 横山
哲也 北市
哲也 北市
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2012552735A priority Critical patent/JP5892388B2/ja
Publication of JPWO2012096277A1 publication Critical patent/JPWO2012096277A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5892388B2 publication Critical patent/JP5892388B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3135Double encapsulation or coating and encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/562Protection against mechanical damage
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16238Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3121Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices the devices being of types provided for in two or more different subclasses of H10B, H10D, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape
    • H01L2924/1816Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
    • H01L2924/18161Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a flip chip
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress
    • H01L2924/3511Warping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Description

本発明は、電子部品が樹脂で封止された樹脂封止型モジュールに関する。
従来の樹脂封止型モジュールは、例えば特許文献1に記載のモジュールが知られている。以下に、図3を参照しながら、特許文献1に記載の樹脂封止型モジュールについて説明する。図3は樹脂封止型モジュールを示す断面図である。
樹脂封止型モジュール100は、絶縁性基板101と、熱硬化性樹脂からなる封止樹脂層103で構成されている。封止樹脂層103には、次のようにして絶縁性基板101に実装されたICチップ104や電子部品105が埋設されている。絶縁性基板101には配線導体102が形成されており、ICチップ104は、はんだバンプ106により配線導体102と電気的に接続されている。また、電子部品105は、その電極端子107が配線導体102と電気的に接続されている。
特開2007−042829号公報
このような樹脂封止型モジュール100は、基板101に接する封止樹脂層103が熱硬化性樹脂のため、樹脂封止型モジュール100を別の基板等に実装するための再リフロー時に、絶縁性基板101と封止樹脂層103の熱膨張係数差により絶縁性基板101に反りが生じる可能性がある。また、再リフロー時に絶縁性基板101とICチップ104を接合しているはんだバンプ106が溶融膨張し、その応力により封止樹脂層103とICチップ104、または封止樹脂層103と絶縁性基板101との間に剥離が生じる可能性がある。その結果、ショート不良を引き起こす可能性がある。
本発明はこれらの状況を鑑み、基板の上に配置された樹脂層を熱可塑性樹脂からなる樹脂層と熱硬化性樹脂からなる樹脂層の2層の樹脂層で構成することで、再リフロー時の基板の反りや、樹脂層と電子部品、樹脂層と基板との間に生じる剥離が抑制された樹脂封止型モジュールを提供しようとするものである。
本発明に係る樹脂封止型モジュールは、外部電極を備えた基板と、前記基板上に配置され、はんだによって前記基板に実装された電子部品と、前記電子部品周辺も含め前記基板全面を覆うように該基板上に配置され、前記はんだが埋設された、無機フィラーを含有し、軟化温度は前記はんだの融点以下である熱可塑性樹脂からなる均一な層厚の第1の樹脂層と、前記第1の樹脂層の上に前記基板と接触しないように配置され、無機フィラーを含有した熱硬化性樹脂からなる第2の樹脂層とを備えることを特徴としている。
基板に接する樹脂層は熱可塑性樹脂からなるため、この樹脂封止型モジュールを別の基板等に実装するための再リフロー時に基板が熱膨張した際、樹脂層の軟化により基板の反りを抑制できる。
また、熱可塑性樹脂からなる樹脂層の上に熱硬化性樹脂からなる樹脂層を設けるため、再リフロー時の熱可塑性樹脂の軟化流動を抑制し、樹脂層の形状を維持することができる。さらに、熱可塑性樹脂からなる樹脂層を熱硬化性樹脂からなる樹脂層で覆うため、レーザー印字性を損なわない。
また、本発明に係る樹脂封止型モジュールは、好ましくは、前記第1の樹脂層を構成する熱可塑性樹脂の軟化温度は、前記はんだの融点以下とすることができる。
この場合、基板と電子部品を接合しているはんだ部分は熱可塑性樹脂からなる樹脂層で封止されているため、再リフロー時にはんだが溶融膨張し応力が発生しても、軟化した樹脂層がその応力を逃すことが可能となる。その結果、樹脂層と電子部品、また樹脂層と基板との間に剥離が生じるのを抑制することが可能となる。
本発明によれば、基板に接する樹脂層は熱可塑性樹脂からなるため、この樹脂封止型モジュールを別の基板等に実装するための再リフロー時に基板が熱膨張した際、樹脂層の軟化により基板の反りを抑制できる。
本発明の実施形態に係る樹脂封止型モジュールの断面状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係る樹脂封止型モジュールの製造方法を示す断面図である。 従来の樹脂封止型モジュールの断面状態を示す概略図である。
以下に、本発明の実施形態に係る樹脂封止型モジュールについて、図1および図2を参照して説明する。
樹脂封止型モジュール1は、基板2と第1の樹脂層9と第2の樹脂層10を備えて構成されている。
基板2は、ガラスエポキシ樹脂で構成されており、底面に外部電極4、底面とは反対の面にランド3がそれぞれ形成されている。
第1の樹脂層9は、SiO2からなる無機フィラーを含有したアクリル樹脂等の熱可塑性樹脂で構成されており、この熱可塑性樹脂の軟化温度は100〜200℃である。第1の樹脂層9は、基板2のランド3が形成された面に配置されている。第1の樹脂層9にはIC5やコンデンサ6が埋設されており、IC5は、はんだバンプ7によって基板2に形成されたランド3と接続されている。また、コンデンサ6は、はんだ8によってランド3に接続されている。
第2の樹脂層10は、SiO2からなる無機フィラーを含有したエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成されており、第1の樹脂層9の基板2とは反対の面に配置されている。
この樹脂封止型モジュール1を別の基板等に実装するための再リフロー時、リフローの温度は220〜260℃であるため、基板2はガラス転移温度を超えて熱膨張し、主として面方向に伸びる。一方、この基板2に接する第1の樹脂層9は熱可塑性樹脂からなり、軟化温度は100〜200℃であるため、再リフローの際、第1の樹脂層9は軟化する。第1の樹脂層9が軟化することで、基板2の伸びは第1の樹脂層9にほとんど伝わらず、その結果、基板2の反りを抑制することが可能となる。
第1の樹脂層9で封止されたはんだバンプ7やはんだ8の融点温度は約220℃である。前述の通り、第1の樹脂層9の軟化温度は100〜200℃である。再リフロー時、はんだバンプ7やはんだ8が溶融膨張し応力が発生した場合、第1の樹脂層9は軟化しているため、はんだバンプ7やはんだ8が溶融膨張した際の応力を逃がすことが可能となる。そのため、基板2と第1の樹脂層9の間や、はんだバンプ7と第1の樹脂層9の間、はんだ8と第1の樹脂層間の剥離を防止でき、その結果、ショート不良の抑制が可能となる。
第1の樹脂層9の上には熱硬化性樹脂からなる第2の樹脂層10が配置されている。すなわち、第1の樹脂層9は第2の樹脂層10と基板2によって挟み込まれた状態である。再リフローの際、熱可塑性樹脂からなる第1の樹脂層9が軟化しても、第2の樹脂層10と基板2により挟み込まれているため、第1の樹脂層9の流動は抑制される。また、樹脂封止型モジュールの上面は熱硬化性樹脂からなる第2の樹脂層10で覆われているため、製品記号等を印字する際のレーザー印字性を損なわない。(図1)。
次に、本発明の樹脂封止型モジュールの製造方法について、図2を参照して説明する。図2は、本発明の樹脂封止型モジュールの各製造工程を示す断面図である。
まず、Cuの導体箔を有したガラスエポキシ樹脂からなる基板2を用意する。このCu導体箔をエッチングして、所望のランド3及び外部電極4を形成する。(図2(a))。
次に、基板2に形成されたランド3のうち所定のランド上に、はんだペースト8を印刷する。はんだペースト8の上にコンデンサ6を載置し、次いでIC5を載置した後、リフローで実装する。(図2(b))。
次に、熱可塑性アクリル樹脂等を加温し流動化させた液状樹脂を用意する。この液状樹脂にはSiO2からなる無機フィラーが、無機フィラーを含む液状樹脂の重量に対して40重量%〜90重量%含有されている。この液状樹脂をディスペンス法等で基板2の上に塗布し、液状樹脂ではんだバンプ7やはんだ8を完全に覆う。この時、IC5やコンデンサ6は、その全てを液状樹脂で覆っても良いし、その一部のみを覆っても構わない。その後、真空脱法等で液状樹脂中の気泡を除去し、液状樹脂の融点以下まで冷却する。これにより、液状樹脂は第1の樹脂層9となる。(図2(c))。
次に、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を用意する。この液状樹脂にはSiO2からなる無機フィラーが、無機フィラーを含む液状樹脂の重量に対して40重量%〜90重量%含有されている。この液状樹脂をディスペンス法等で第1の樹脂層9の上に塗布し、第1の樹脂層9に覆われていないIC5やコンデンサ6を完全に覆う。その後、液状樹脂を加熱して硬化させることで第2の樹脂層10となる。(図2(d))。
なお、熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる液状樹脂での製造方法を例示したが、フィラーを含有したシート状樹脂での製造も可能である。
1:樹脂封止型モジュール
2:基板
3:ランド
4:外部電極
5:IC
6:コンデンサ
7:はんだバンプ
8:はんだ
9:第1の樹脂層
10:第2の樹脂層
100:樹脂封止型モジュール
101:絶縁性基板
102:配線導体
103:封止樹脂層
104:ICチップ
105:電子部品
106:バンプ
107:電極端子

Claims (1)

  1. 外部電極を備えた基板と、
    前記基板上に配置され、はんだによって前記基板に実装された電子部品と、
    前記電子部品周辺も含め前記基板全面を覆うように該基板上に配置され、少なくとも前記はんだが埋設された、無機フィラーを含有し、軟化温度は前記はんだの融点以下である熱可塑性樹脂からなる均一な層厚の第1の樹脂層と、
    前記第1の樹脂層の上に前記基板と接触しないように配置され、無機フィラーを含有した熱硬化性樹脂からなる第2の樹脂層と、
    を備えることを特徴とする樹脂封止型モジュール。
JP2012552735A 2011-01-12 2012-01-11 樹脂封止型モジュール Active JP5892388B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012552735A JP5892388B2 (ja) 2011-01-12 2012-01-11 樹脂封止型モジュール

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011003940 2011-01-12
JP2011003940 2011-01-12
PCT/JP2012/050326 WO2012096277A1 (ja) 2011-01-12 2012-01-11 樹脂封止型モジュール
JP2012552735A JP5892388B2 (ja) 2011-01-12 2012-01-11 樹脂封止型モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2012096277A1 JPWO2012096277A1 (ja) 2014-06-09
JP5892388B2 true JP5892388B2 (ja) 2016-03-23

Family

ID=46507175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012552735A Active JP5892388B2 (ja) 2011-01-12 2012-01-11 樹脂封止型モジュール

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9583409B2 (ja)
JP (1) JP5892388B2 (ja)
CN (1) CN103299417B (ja)
WO (1) WO2012096277A1 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012018928A1 (de) * 2012-09-25 2014-03-27 Infineon Technologies Ag Halbleitergehäuse für Chipkarten
WO2014112167A1 (ja) * 2013-01-16 2014-07-24 株式会社村田製作所 モジュールおよびその製造方法
US10128175B2 (en) * 2013-01-29 2018-11-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Packaging methods and packaged semiconductor devices
JP6286845B2 (ja) * 2013-03-22 2018-03-07 富士通株式会社 熱電素子搭載モジュール及びその製造方法
CN103327741B (zh) * 2013-07-04 2016-03-02 江俊逢 一种基于3d打印的封装基板及其制造方法
JP6470938B2 (ja) * 2014-10-06 2019-02-13 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワーモジュール及び電力変換装置
JP6594809B2 (ja) * 2016-03-17 2019-10-23 本田技研工業株式会社 燃料電池用樹脂枠付き段差mea及びその製造方法
JP2018019054A (ja) * 2016-07-15 2018-02-01 住友ベークライト株式会社 封止用フィルムおよび封止用フィルム被覆電子部品搭載基板
US10475775B2 (en) * 2016-08-31 2019-11-12 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package device and method of manufacturing the same
US10068854B2 (en) * 2016-10-24 2018-09-04 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package device and method of manufacturing the same
JP6677318B2 (ja) 2016-12-15 2020-04-08 株式会社村田製作所 電子モジュールおよび電子モジュールの製造方法
KR101982056B1 (ko) * 2017-10-31 2019-05-24 삼성전기주식회사 팬-아웃 반도체 패키지 모듈
JP7071860B2 (ja) 2018-03-30 2022-05-19 株式会社村田製作所 増幅回路
JP6981372B2 (ja) * 2018-06-25 2021-12-15 株式会社村田製作所 回路基板の製造方法
CN109192705B (zh) * 2018-09-12 2021-03-16 京东方科技集团股份有限公司 集成电路封装结构及封装方法
WO2020183945A1 (ja) * 2019-03-13 2020-09-17 株式会社クラレ 空間充填材および空間充填構造体、ならびにそれらの使用方法
JP7022285B2 (ja) * 2019-07-02 2022-02-18 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその製造方法
JP7488009B2 (ja) 2020-05-19 2024-05-21 Fdk株式会社 樹脂封止モジュール、及び樹脂封止モジュールの製造方法
CN117650139A (zh) * 2022-08-10 2024-03-05 Jcet星科金朋韩国有限公司 电子封装及其制造方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012577A (ja) * 1998-06-24 2000-01-14 Jsr Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2000114431A (ja) * 1998-09-29 2000-04-21 Kyocera Corp 半導体素子実装基板
US6876554B1 (en) * 1999-09-02 2005-04-05 Ibiden Co., Ltd. Printing wiring board and method of producing the same and capacitor to be contained in printed wiring board
JP2001308230A (ja) * 2000-04-25 2001-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JP4001778B2 (ja) * 2002-06-07 2007-10-31 太陽誘電株式会社 回路モジュール及びその製造方法
JP4073830B2 (ja) 2003-06-20 2008-04-09 松下電器産業株式会社 半導体チップ内蔵モジュールの製造方法
JP2005072187A (ja) 2003-08-22 2005-03-17 Denso Corp 多層回路基板およびその製造方法
JP4283741B2 (ja) * 2004-07-26 2009-06-24 株式会社日立製作所 樹脂モールド型モジュールとその製造方法
JP2006120838A (ja) * 2004-10-21 2006-05-11 Denso Corp 半導体装置
JP4487883B2 (ja) 2005-08-03 2010-06-23 パナソニック株式会社 電子部品内蔵モジュールの製造方法
US7847389B2 (en) * 2005-11-15 2010-12-07 Nec Corporation Semiconductor package, electronic part and electronic device
CN101371353B (zh) * 2006-01-25 2011-06-22 日本电气株式会社 电子装置封装体、模块以及电子装置
TWI413220B (zh) * 2006-12-05 2013-10-21 Sumitomo Bakelite Co 半導體封裝體、核心層材料、增層材料及密封樹脂組成物
WO2008136251A1 (ja) * 2007-05-02 2008-11-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. 部品内蔵モジュール及びその製造方法
US20090091021A1 (en) * 2007-10-03 2009-04-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP2010109246A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Yaskawa Electric Corp 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2010283215A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Nec Corp 電子装置および電子装置を製造する方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103299417A (zh) 2013-09-11
US9583409B2 (en) 2017-02-28
CN103299417B (zh) 2016-10-19
US20130300002A1 (en) 2013-11-14
JPWO2012096277A1 (ja) 2014-06-09
WO2012096277A1 (ja) 2012-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5892388B2 (ja) 樹脂封止型モジュール
JP6083152B2 (ja) 配線基板及び配線基板の製造方法
US8698303B2 (en) Substrate for mounting semiconductor, semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
JP5980566B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP5151158B2 (ja) パッケージ、およびそのパッケージを用いた半導体装置
KR20170014958A (ko) 반도체 패키지 및 반도체 패키지의 제조방법
JP4939916B2 (ja) 多層プリント配線板およびその製造方法
KR101104210B1 (ko) 전자소자 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP6077436B2 (ja) 配線基板および配線基板への半導体素子の実装方法
KR101043328B1 (ko) 전자소자 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP4900432B2 (ja) 樹脂封止型電子部品の製造方法及び樹脂封止型電子部品の集合体
JP5229401B2 (ja) 電子部品内蔵樹脂基板および電子回路モジュール
JP5397012B2 (ja) 部品内蔵配線板、部品内蔵配線板の製造方法
JP2009105209A (ja) 電子装置及びその製造方法
JP2013004648A (ja) 半導体パッケージの製造方法
JP2009099816A (ja) 半導体装置とその製造方法および半導体装置の実装方法
JP5715002B2 (ja) 回路基板の製造方法、半導体パワーモジュールの製造方法
JP2012114276A (ja) 樹脂封止型モジュールおよびその製造方法
JP7488009B2 (ja) 樹脂封止モジュール、及び樹脂封止モジュールの製造方法
JP2007201035A (ja) 積層基板の製造方法
JP5573851B2 (ja) 部品内蔵基板の製造方法
JP2004146656A (ja) 多層配線基板及びその製造方法
JP2016213422A (ja) プリント配線板及びその製造方法
JP5428612B2 (ja) 電子部品の実装構造
JP2014165482A (ja) 配線基板

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140722

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140910

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150317

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150804

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150929

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160128

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160210

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5892388

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150