JP5929375B2 - 楽器用振動センサ、ピックアップサドルおよび楽器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 175
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000023514 Barrett esophagus Diseases 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
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- G10H3/14—Instruments in which the tones are generated by electromechanical means using mechanical resonant generators, e.g. strings or percussive instruments, the tones of which are picked up by electromechanical transducers, the electrical signals being further manipulated or amplified and subsequently converted to sound by a loudspeaker or equivalent instrument using mechanically actuated vibrators with pick-up means
- G10H3/18—Instruments in which the tones are generated by electromechanical means using mechanical resonant generators, e.g. strings or percussive instruments, the tones of which are picked up by electromechanical transducers, the electrical signals being further manipulated or amplified and subsequently converted to sound by a loudspeaker or equivalent instrument using mechanically actuated vibrators with pick-up means using a string, e.g. electric guitar
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- G10H—ELECTROPHONIC MUSICAL INSTRUMENTS; INSTRUMENTS IN WHICH THE TONES ARE GENERATED BY ELECTROMECHANICAL MEANS OR ELECTRONIC GENERATORS, OR IN WHICH THE TONES ARE SYNTHESISED FROM A DATA STORE
- G10H2220/00—Input/output interfacing specifically adapted for electrophonic musical tools or instruments
- G10H2220/461—Transducers, i.e. details, positioning or use of assemblies to detect and convert mechanical vibrations or mechanical strains into an electrical signal, e.g. audio, trigger or control signal
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- G10H2220/00—Input/output interfacing specifically adapted for electrophonic musical tools or instruments
- G10H2220/461—Transducers, i.e. details, positioning or use of assemblies to detect and convert mechanical vibrations or mechanical strains into an electrical signal, e.g. audio, trigger or control signal
- G10H2220/525—Piezoelectric transducers for vibration sensing or vibration excitation in the audio range; Piezoelectric strain sensing, e.g. as key velocity sensor; Piezoelectric actuators, e.g. key actuation in response to a control voltage
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Description
また、特許文献1に記載されているように電極板の固定や絶縁シールド剤の接着や塗布を含む製造方法は、手作業を必要とする工程が多く、製造コストが高い。
圧電膜が2枚の電極膜に直接結合しているので、圧電膜と電極膜の結合力が高い。このため、演奏時に大きな力が加わっても、圧電膜と電極膜との接触状態が変化しにくい。したがって、本発明によると安定した出力特性が得られる耐久性の高い楽器用センサを実現できる。そして、このような楽器用センサは、薄膜形成技術を用いることによって、各層の位置精度が高く、しかも安価に薄く小型に製造することができる。さらに絶縁膜およびシールド膜も薄膜形成技術を用いることによって第二電極膜の上に積層することができる。すなわち、本発明によると、S/Nおよび耐久性を高めつつ、製造コストを抑制することができる。
図1Aおよび図1Bは本発明の一実施例としての楽器用振動センサ10を示している。楽器用振動センサ10は、例えば図9に示すギター1の弦振動を検出するためのセンサであって、スクリーン印刷技術もしくは半導体製造技術等の薄膜技術を応用して製造される積層構造体である。したがって楽器用振動センサ10を構成している基板11、第一電極膜12、圧電膜13、第二電極膜14、絶縁膜15、シールド膜16は接着剤等を用いずに直接結合により一体化している。楽器用振動センサ10の外形寸法は、サドル本体の形状に合わせて任意に設定することができる。例えば、ギターの6本の弦振動を検出する楽器用振動センサ10の厚さは0.1mm〜3mm、楽器用振動センサ10の幅は1mm〜8mm、楽器用振動センサ10の長さは3mm〜80mm程度とすればよい。
また、基板11上の各層のパターンは、フォトリソグラフィ技術を用いて寸法精度と位置合わせ精度が高い微細なパターンにしても良い。このため、楽器用振動センサ10は小型化が容易である。したがって、目立ちにくい楽器用振動センサ10を容易に実現できる。
図2、図3および図4は上述した楽器用振動センサ10を用いたピックアップサドル20a,20b、20cを示している。ピックアップサドル20a、20b、20cは、図9に示すギター1の弦楽器の弦31〜36を支持するサドル20として機能するとともに、弦31〜36の振動を電気信号に変換するピックアップとしての機能を備えた装置である。複数の弦31〜36を支持するサドル本体23、24、25の上面は、曲面を含む形状に形成されている。楽器用振動センサ10の電極パッド17a、17bに接続された導線21、22は、サドル本体23の外部まで引き出され、アンプ等に接続される。サドル本体23から導線21、22を引き出す位置は、サドル本体23の底面からでもよいし、側面からでも良い。サドル本体23の底面から導線21、23を引き出すことにより、導線21、23が目立ちにくくなる。
尚,本発明の技術的範囲は,上述した実施例に限定されるものではなく,本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
例えば、磁場によるノイズに対する磁気シールドの効果を高めるため、基板の背面側に磁性体からなる膜を形成してもよい。具体的には図5Aに示す楽器用振動センサ10bのように基板11の背面に鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)等の磁性を持つ金属やそれらを組み合わせた合金、または磁性を持つ金属を含む合金を従来の技術で成膜することによって磁気シールド膜18を形成すればよい。また磁気シールド膜18にグランド線を接続すれば電磁波ノイズを防ぐこともできる。電磁波ノイズを防ぐためだけであれば、磁気シールド膜18は非磁性の金属であってもよい。さらに第一電極膜12b、第二電極膜14bまたはシールド膜16bを磁性体にすることにより、より大きな磁気シールド効果を得ることができる。特にパーマロイのような軟磁性体は磁気シールド効果が高いため望ましい。また、シールド膜を銅(Cu)等の非磁性金属膜とパーマロイ等の磁性膜の2層とすることもできる。銅膜によって電磁波ノイズを防ぎ、パーマロイによって磁気シールドの効果を得ることができる。
Claims (8)
- ジルコニアからなる基板と、
前記基板に重なり前記基板に結合している第一電極膜と、
前記第一電極膜に重なり前記第一電極膜に結合している圧電膜と、
前記圧電膜に重なり前記圧電膜に結合している第二電極膜と、
前記第二電極膜に重なり前記第二電極膜に結合している絶縁膜と、
前記絶縁膜に重なり前記絶縁膜と前記第一電極膜とに結合し導電性材料からなり前記第二電極膜から前記絶縁膜によって絶縁されているシールド膜と、
を備える楽器用振動センサ。 - 前記圧電膜が前記基板に向かって広がるように前記圧電膜の端面が傾斜している、
請求項1に記載の楽器用振動センサ。 - 前記第一電極膜の端面の少なくとも一部は前記圧電膜の傾斜した端面よりも内側に位置し、
前記第二電極膜は前記圧電膜の傾斜した端面に沿って前記基板にまで到達している、
請求項2に記載の楽器用振動センサ。 - 弦を支持するサドルと、
前記サドルに固定された請求項1に記載の楽器用振動センサと、
を備えるピックアップサドル。 - 前記サドルに形成され前記楽器用振動センサが収納されたセンサ収納部と、
前記センサ収納部における前記楽器用振動センサを除く領域を埋める充填材と、
を備える請求項4に記載のピックアップサドル。 - 前記サドルに前記楽器用振動センサが曲がった状態で固定されている、
請求項4または5に記載のピックアップサドル。 - 前記楽器用振動センサは前記センサ収納部のいずれかの面に固定される、
請求項5に記載のピックアップサドル。 - 請求項4から7のいずれか一項に記載のピックアップサドルを備える楽器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012062216A JP5929375B2 (ja) | 2011-03-24 | 2012-03-19 | 楽器用振動センサ、ピックアップサドルおよび楽器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011065215 | 2011-03-24 | ||
| JP2011065215 | 2011-03-24 | ||
| JP2012062216A JP5929375B2 (ja) | 2011-03-24 | 2012-03-19 | 楽器用振動センサ、ピックアップサドルおよび楽器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012212134A JP2012212134A (ja) | 2012-11-01 |
| JP5929375B2 true JP5929375B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=45939086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012062216A Expired - Fee Related JP5929375B2 (ja) | 2011-03-24 | 2012-03-19 | 楽器用振動センサ、ピックアップサドルおよび楽器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8586851B2 (ja) |
| EP (1) | EP2503544A1 (ja) |
| JP (1) | JP5929375B2 (ja) |
| CN (1) | CN102693717B (ja) |
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-
2012
- 2012-03-19 JP JP2012062216A patent/JP5929375B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-20 EP EP12001939A patent/EP2503544A1/en not_active Withdrawn
- 2012-03-21 US US13/425,652 patent/US8586851B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-22 CN CN201210077409.4A patent/CN102693717B/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3099012B1 (ja) | 1999-11-29 | 2000-10-16 | ニューリー株式会社 | 静圧支承ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8586851B2 (en) | 2013-11-19 |
| JP2012212134A (ja) | 2012-11-01 |
| EP2503544A1 (en) | 2012-09-26 |
| CN102693717A (zh) | 2012-09-26 |
| CN102693717B (zh) | 2015-08-12 |
| US20120240752A1 (en) | 2012-09-27 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150814 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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