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JP6582414B2 - Porous optical thin film coating liquid and method for producing the same - Google Patents

Porous optical thin film coating liquid and method for producing the same Download PDF

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JP6582414B2 JP2015005852A JP2015005852A JP6582414B2 JP 6582414 B2 JP6582414 B2 JP 6582414B2 JP 2015005852 A JP2015005852 A JP 2015005852A JP 2015005852 A JP2015005852 A JP 2015005852A JP 6582414 B2 JP6582414 B2 JP 6582414B2
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寛之 中山
寛之 中山
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Description

本発明は、各種光学素子や画像表示装置等に施される超低屈折光学薄膜として有用な多孔質膜の製造に好適な多孔質の光学薄膜用塗工液及びその製造方法に関する。
The present invention relates to an optical thin-film coating liquid of suitable porous manufacture of a porous membrane as an ultra low refractive optical thin film to be applied to various optical elements and an image display device or the like and a method of manufacturing the same.

デジタルカメラや放送用カメラ、車載カメラ、光ピックアップ装置や半導体装置の対物レンズ、眼鏡レンズ、光学用反射鏡、ローパスフィルタ等の光学基材には、光透過率を向上させることを目的として、反射防止膜が施される。従来、反射防止膜は、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の物理的方法により形成されてきた。しかしこれらの成膜方法は真空機器を必要とするためコストが高いという欠点を有する。   Optical base materials such as digital cameras, broadcast cameras, in-vehicle cameras, optical pickup devices and semiconductor devices such as objective lenses, spectacle lenses, optical reflectors, and low-pass filters are used for the purpose of improving light transmittance. A protective film is applied. Conventionally, the antireflection film has been formed by a physical method such as vacuum deposition, sputtering, or ion plating. However, these film-forming methods have the disadvantage that they are expensive because they require vacuum equipment.

単層の反射防止膜は、基材より小さく、かつ空気等の入射媒質より大きい屈折率を有するように設計される。屈折率1.5程度のガラスからなるレンズの反射防止膜は、屈折率1.2〜1.25が理想的であると言われている。しかし、物理的方法により形成できる反射防止膜において、このような理想的な屈折率を有する物質は無いので、屈折率1.38のMgF2が反射防止膜材料として汎用されている。 The single-layer antireflection film is designed to have a refractive index smaller than that of the base material and larger than that of an incident medium such as air. It is said that a refractive index of 1.2 to 1.25 is ideal for an antireflection film of a lens made of glass having a refractive index of about 1.5. However, since there is no substance having such an ideal refractive index in an antireflection film that can be formed by a physical method, MgF 2 having a refractive index of 1.38 is widely used as an antireflection film material.

しかし近年、幅広い波長領域の光線を使用する光学機器も製作されるようになってきており、幅広い波長範囲で優れた光学特性を有する反射防止膜が望まれるようになってきた。しかも光学素子は複数のレンズ群により構成されることが多いので、各レンズ面での反射による透過光量の損失が多くなるのを防ぐために、一般的に多層構成の反射防止膜を設けている。多層反射防止膜は、各界面で生じた反射光と、各層に入射する光線とが干渉によって相殺し合うように設計される。多層構成の反射防止膜は、さらにコストが高いという欠点を有する。   However, in recent years, optical devices using light beams in a wide wavelength range have been manufactured, and an antireflection film having excellent optical characteristics in a wide wavelength range has been desired. Moreover, since an optical element is often composed of a plurality of lens groups, a multilayer antireflection film is generally provided in order to prevent a loss of transmitted light amount due to reflection on each lens surface. The multilayer antireflection film is designed so that the reflected light generated at each interface and the light incident on each layer cancel each other out by interference. The antireflection film having a multilayer structure has a disadvantage that the cost is higher.

そこで、脱水重縮合を用いたゾル−ゲル法を利用した湿式法(ディップコート法、ロールコート法、スピンコート法、フローコート法、スプレーコート法等)により、反射防止膜を形成する方法が提案されている。   Therefore, a method for forming an antireflection film by a wet method using a sol-gel method using dehydration polycondensation (dip coating method, roll coating method, spin coating method, flow coating method, spray coating method, etc.) is proposed. Has been.

例えば特開2006-215542号(特許文献1)は、基材の表面に順に形成された緻密層及びシリカエアロゲル多孔質層からなり、屈折率が基材からシリカエアロゲル多孔質層まで順に小さくなっている反射防止膜を提案している。このシリカエアロゲル多孔質層は、(i) ゾル状又はゲル状の酸化珪素を有機修飾剤と反応させて有機修飾ゾル又は有機修飾ゲルとし、(ii) 前記有機修飾ゾル又は前記有機修飾ゲルをゾル状にしたものを緻密層表面にコーティングし、得られた有機修飾シリカゲル層にスプリングバック現象を生じさせ、有機修飾シリカエアロゲル層にし、(iii) 得られた有機修飾シリカエアロゲル層を熱処理して有機修飾基を除去することにより形成する。   For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-215542 (Patent Document 1) includes a dense layer and a silica airgel porous layer that are sequentially formed on the surface of a base material, and the refractive index decreases in order from the base material to the silica airgel porous layer. Proposed anti-reflection coating. This silica airgel porous layer comprises (i) a sol or gel silicon oxide reacted with an organic modifier to form an organic modified sol or an organic modified gel, and (ii) the organic modified sol or the organic modified gel as a sol The resulting organically modified silica gel layer is subjected to a springback phenomenon to form an organically modified silica airgel layer, and (iii) the resulting organically modified silica airgel layer is heat treated to form an organically modified silica airgel layer. It is formed by removing the modifying group.

シリカエアロゲル多孔質層は屈折率が1.20程度と小さく、それを有する反射防止膜は幅広い波長範囲で優れた反射防止特性を有する。しかもゾル−ゲル法により作製できることから、コストパフォーマンスにも優れている。しかし、機械的強度が弱く、基材に対する密着性が弱く、耐擦傷性が十分とはいえなかった。   The silica airgel porous layer has a refractive index as small as about 1.20, and the antireflection film having it has excellent antireflection characteristics in a wide wavelength range. And since it can produce by the sol-gel method, it is excellent also in cost performance. However, the mechanical strength was weak, the adhesion to the substrate was weak, and the scratch resistance was not sufficient.

特開2009-258711号(特許文献2)は、シリカエアロゲルからなる多孔質膜を基材表面に塗布・乾燥した後にアルカリ処理を施すことで、機械的強度及び耐擦傷性の優れた低屈折率膜を作製している。しかし多孔質膜の形成とその膜の硬質化処理において、成膜とアルカリ処理の2段階で実施する必要があり、多段階でコストパフォーマンスと膜形成の安定性において課題がある。   JP-A-2009-258711 (Patent Document 2) discloses a low refractive index having excellent mechanical strength and scratch resistance by applying a porous film made of silica aerogel to a substrate surface and drying it, followed by alkali treatment. A film is produced. However, the formation of the porous film and the hardening process of the film need to be performed in two stages of film formation and alkali treatment, and there are problems in cost performance and film formation stability in multiple stages.

特開2006-215542号公報JP 2006-215542 A 特開2009-258711号公報JP 2009-258711 A

従って、本発明の目的は、分散液にアルカリ処理を施す為の試薬を添加することにより、成膜とアルカリ処理を同時に行うことが可能でかつ保存安定性に優れた多孔質の光学薄膜の製造に好適な多孔質の光学薄膜用塗工液及びその製造方法を提供することである。
Accordingly, the present invention purposes, by adding a reagent for alkali treatment to the dispersion, excellent film formation and and storage stability alkali treatment can be performed at the same time a porous optical thin film to provide a suitable porous optical thin film coating liquid of the electrolyte and a manufacturing method thereof in the manufacture.

上記目的に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、多孔質の光学薄膜の製造に用いる塗工液において、ケトン系分散媒中に有機修飾されたシリカナノ粒子を分散させ、かつアルカリ金属アルコキシドを添加させることにより、多孔質膜の形成とその膜の硬質化処理において、成膜とアルカリ処理を同時に行うことができ、保存安定性に優れ、かつ成膜時のハンドリング性、レベリング性及び均一成膜性に優れた塗工液が得られることを見出し、本発明に想到した。
As a result of intense research in view of the above object, the present inventors, in the coating solution used for producing the porous optical thin film, a ketone organic modified silica particles are dispersed in a dispersion medium, and an alkali metal alkoxide By adding, it is possible to simultaneously perform film formation and alkali treatment in the formation of the porous film and the hardening process of the film, and it has excellent storage stability and handling properties, leveling properties and uniform formation during film formation. The inventors have found that a coating solution having excellent film properties can be obtained, and have arrived at the present invention.

すなわち、本発明の多孔質の光学薄膜用塗工液は、有機修飾されたシリカナノ粒子がケトン系分散媒中に分散した分散液であって、アルカリ金属アルコキシドが添加されていることを特徴とする。
That is, the porous optical thin film coating liquid of the present invention is a dispersion in which the organic modified silica particles are dispersed in a ketone dispersion medium, and characterized in that the alkali metal alkoxide is added To do.

前記シリカナノ粒子は下記式(1)
M p SiCl q ・・・(1)
(ただしpは1〜3の整数であり、qはq = 4−p を満たす1〜3の整数であり、Mは水素、アルキル基又はアリール基であり、アルキル基は置換又は無置換であって炭素数1〜18であり、アリール基は置換又は無置換であって炭素数6〜18である。)により有機修飾されているのが好ましく、モノハロシランにより有機修飾されているのが好ましい。
The silica nanoparticles are represented by the following formula (1)
M p SiCl q ・ ・ ・ (1)
(Where p is an integer of 1 to 3, q is an integer of 1 to 3 that satisfies q = 4-p, M is hydrogen, an alkyl group, or an aryl group, and the alkyl group is substituted or unsubstituted. The aryl group is substituted or unsubstituted and has 6 to 18 carbon atoms), and is preferably organically modified with monohalosilane.

前記アルカリ金属アルコキシドは炭素数が1〜3のアルカリ金属アルコキシドであるのが好ましい。   The alkali metal alkoxide is preferably an alkali metal alkoxide having 1 to 3 carbon atoms.

前記ケトン系溶媒は、メチルエチルケトン及び4-メチル-2-ペンタノンからなる群より選ばれた少なくとも一種であるのが好ましい。
The ketone solvent is preferably at least one selected from the group consisting of methyl ethyl ketone and 4-methyl-2-pentanone.

前記分散液のシリカ固形分濃度が0.1〜7.0質量%であるが好ましく、前記アルカリ金属アルコキシド/前記シリカナノ粒子が質量比で5.0×10-3〜2.0であるが好ましい。前記シリカナノ粒子のメジアン径が10〜100 nmであるのが好ましい。 The silica solid content concentration of the dispersion is preferably 0.1 to 7.0% by mass, and the alkali metal alkoxide / silica nanoparticles are preferably 5.0 × 10 −3 to 2.0 by mass ratio. The median diameter of the silica nanoparticles is preferably 10 to 100 nm.

上記塗工液を製造する本発明の方法は、アルコキシシランを加水分解重合することによりシリカ湿潤ゲルを生成し、前記シリカ湿潤ゲルを前記ケトン系分散媒中で超音波分散してシリカナノ粒子の分散液を生成し、前記分散液に前記アルカリ金属アルコキシドを添加することを特徴とする。前記シリカ湿潤ゲルを超音波分散する前に有機修飾剤と反応させることにより、有機修飾シリカ湿潤ゲルを作製し、前記有機修飾シリカ湿潤ゲルを前記分散媒中で超音波分散することにより、有機修飾されたシリカナノ粒子の分散液を生成するのが好ましい。
In the method of the present invention for producing the coating solution, a silica wet gel is produced by hydrolytic polymerization of alkoxysilane, and the silica wet gel is ultrasonically dispersed in the ketone dispersion medium to disperse silica nanoparticles. A liquid is produced, and the alkali metal alkoxide is added to the dispersion. An organic modified silica wet gel is prepared by reacting with an organic modifier before ultrasonically dispersing the silica wet gel, and the organic modified silica wet gel is ultrasonically dispersed in the dispersion medium. It is preferable to produce a dispersion of the prepared silica nanoparticles.

前記アルコキシシランは、4官能性アルコキシシラン及びその2〜5量体のオリゴマーから選ばれた少なくとも1種の第一のアルコキシシランと3官能性の第二のアルコキシシランから選ばれた少なくとも1種であるのが好ましい。   The alkoxysilane is at least one selected from at least one first alkoxysilane selected from tetrafunctional alkoxysilanes and oligomers of dimer to pentamer and trifunctional second alkoxysilanes. Preferably there is.

前記第二のアルコキシシランが3-メタクリロキシプロピル基、3-グリシドキシプロピル基及びビニル基から選ばれる少なくとも1種の官能基を含むのが好ましく、前記第一のアルコキシシランと前記第二のアルコキシシランの混合比がモル比で1:1〜10:1であるのが好ましい。   The second alkoxysilane preferably contains at least one functional group selected from a 3-methacryloxypropyl group, a 3-glycidoxypropyl group, and a vinyl group, and the first alkoxysilane and the second alkoxysilane The mixing ratio of alkoxysilane is preferably 1: 1 to 10: 1 in terms of molar ratio.

前記シリカナノ粒子を有機修飾する前に、前記シリカ湿潤ゲルの溶媒をn-ヘキサン及び4-メチル-2-ペンタノンから選ばれる少なくとも1種に置換するのが好ましい。   Prior to organic modification of the silica nanoparticles, the solvent of the silica wet gel is preferably replaced with at least one selected from n-hexane and 4-methyl-2-pentanone.

前記超音波分散を発振周波数:10〜30 kHz、定格出力:50〜1200 W及び超音波処理時間:5〜180分の条件下で行うが好ましい。   The ultrasonic dispersion is preferably performed under conditions of oscillation frequency: 10 to 30 kHz, rated output: 50 to 1200 W, and ultrasonic treatment time: 5 to 180 minutes.

シリカナノ粒子がケトン系分散媒中に分散し、かつアルカリ金属アルコキシドが添加された本発明の塗工液は、多孔質膜の形成とその膜の硬質化処理において、成膜とアルカリ処理を同時に行うことができ保存安定性に優れ、かつ成膜時のハンドリング性、レベリング性及び均一成膜性に優れている。
The coating liquid of the present invention in which silica nanoparticles are dispersed in a ketone-based dispersion medium and an alkali metal alkoxide is added performs film formation and alkali treatment simultaneously in forming a porous film and hardening the film. it can be excellent in storage stability, and handling properties during film formation, excellent in leveling property and uniformity film formability.

実施例1及び実施例3の塗工液を示す写真である。3 is a photograph showing the coating liquids of Example 1 and Example 3.

[1] 塗工液の製造方法
本発明の実施態様による塗工液の製造方法は、アルコキシシランを加水分解重合することによりシリカ湿潤ゲルを生成し、前記シリカ湿潤ゲルをケトン系分散媒中で超音波分散して有機修飾されたシリカナノ粒子の分散液を生成し、分散液にアルカリ金属アルコキシドを添加することを特徴とする。前記シリカ湿潤ゲルを超音波分散する前に有機修飾剤と反応させることにより、有機修飾シリカ湿潤ゲルを作製し、前記有機修飾シリカ湿潤ゲルを前記分散媒中で超音波分散することにより、有機修飾されたシリカナノ粒子の分散液を生成しても良い。
[1] Method for Producing Coating Liquid A method for producing a coating liquid according to an embodiment of the present invention comprises producing a silica wet gel by hydrolytic polymerization of an alkoxysilane, and the silica wet gel in a ketone-based dispersion medium. A dispersion of organically modified silica nanoparticles is produced by ultrasonic dispersion, and an alkali metal alkoxide is added to the dispersion. An organic modified silica wet gel is prepared by reacting with an organic modifier before ultrasonically dispersing the silica wet gel, and the organic modified silica wet gel is ultrasonically dispersed in the dispersion medium. You may produce | generate the dispersion liquid of the made silica nanoparticle.

(1) シリカ湿潤ゲルの作製
(a) 原料
(a-1) アルコキシシラン
アルコキシシランはモノマーでもオリゴマーでも良いが、4官能性アルコキシシラン及びその2〜5量体のオリゴマーから選ばれた少なくとも1種の第一のアルコキシシランと3官能性の第二のアルコキシシランから選ばれた少なくとも1種であるのが好ましい。アルコキシル基を3つ以上有するアルコキシシラン又はその混合物を出発原料とすることにより、優れた均一性を有するシリカエアロゲル膜が得られる。
(1) Preparation of silica wet gel
(a) Raw material
(a-1) Alkoxysilane Alkoxysilane may be either a monomer or an oligomer, but at least one first alkoxysilane selected from a tetrafunctional alkoxysilane and a dimer to pentamer oligomer and a trifunctional first silane. It is preferably at least one selected from two alkoxysilanes. By using an alkoxysilane having three or more alkoxyl groups or a mixture thereof as a starting material, a silica airgel film having excellent uniformity can be obtained.

4官能性アルコキシシランは、例えばメトキシ、エトキシ、ノルマルプロポキシ、イソプロポキシ、ノルマルブトキシ、イソブトキシ、第2級ブトキシ、第3級ブトキシ、ペンチルオキシ、ヘキシルオキシ等の炭素数1〜6のアルコキシ基を含むのが好ましい。各アルコキシ基は同一でも異なっていても良い。4官能性アルコキシシランの具体例としてはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン等が挙げられる。アルコキシシランオリゴマーはアルコキシシランモノマーの加水分解・重縮合により得られる。   The tetrafunctional alkoxysilane includes, for example, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms such as methoxy, ethoxy, normal propoxy, isopropoxy, normal butoxy, isobutoxy, secondary butoxy, tertiary butoxy, pentyloxy, hexyloxy and the like. Is preferred. Each alkoxy group may be the same or different. Specific examples of the tetrafunctional alkoxysilane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and tetrabutoxysilane. The alkoxysilane oligomer is obtained by hydrolysis and polycondensation of an alkoxysilane monomer.

3官能性の第二のアルコキシシランは3-メタクリロキシプロピル基、3-グリシドキシプロピル基及びビニル基から選ばれる少なくとも1種の官能基を含むのが好ましい。またアルコキシ基は例えばメトキシ、エトキシ、ノルマルプロポキシ、イソプロポキシ、ノルマルブトキシ、イソブトキシ、第2級ブトキシ、第3級ブトキシ、ペンチルオキシ、ヘキシルオキシ等の炭素数1〜6のアルコキシ基が挙げられる。各アルコキシ基は同一でも異なっていても良い。第二のアルコキシシランの具体例としてはビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。   The trifunctional second alkoxysilane preferably contains at least one functional group selected from a 3-methacryloxypropyl group, a 3-glycidoxypropyl group, and a vinyl group. Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 6 carbon atoms such as methoxy, ethoxy, normal propoxy, isopropoxy, normal butoxy, isobutoxy, secondary butoxy, tertiary butoxy, pentyloxy, hexyloxy and the like. Each alkoxy group may be the same or different. Specific examples of the second alkoxysilane include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3- Examples thereof include glycidoxypropyltriethoxysilane.

第一のアルコキシシランと第二のアルコキシシランの混合比がモル比で1:1〜10:1であるのが好ましい。この範囲であれば、アルコキシシランの加水分解重縮合の反応が均一に進み、シリカ骨格を形成し易く、粒子径の整った分散性に優れた有機修飾シリカナノ粒子を作製でき、かつ優れた成膜性と膜厚均一性を有するシリカエアロゲル膜が得られる。上記範囲は3:1〜6:1であるのがより好ましい。   The mixing ratio of the first alkoxysilane and the second alkoxysilane is preferably 1: 1 to 10: 1 in molar ratio. Within this range, the hydrolysis polycondensation reaction of alkoxysilane proceeds uniformly, it is easy to form a silica skeleton, organically modified silica nanoparticles with excellent particle size and excellent dispersibility can be produced, and excellent film formation A silica airgel film having good properties and film thickness uniformity is obtained. The above range is more preferably 3: 1 to 6: 1.

(a-2) シリカ合成反応溶液の反応溶媒
シリカ合成反応溶液の反応溶媒は水とアルコールからなるのが好ましい。アルコールとしてはメタノール、エタノール、n-プロピルアルコール、i-プロピルアルコールが好ましく、エタノールが特に好ましい。溶媒の水/アルコールのモル比は0.01〜2とするのが好ましい。水/アルコールのモル比が2超であると、加水分解反応が速く進行し過ぎる。水/アルコールのモル比が0.01未満であると、アルコキシシランの加水分解が十分に起こらず、シリカ骨格の形成が起こりにくい。
(a-2) Reaction solvent for silica synthesis reaction solution The reaction solvent for the silica synthesis reaction solution is preferably composed of water and alcohol. As the alcohol, methanol, ethanol, n-propyl alcohol, and i-propyl alcohol are preferable, and ethanol is particularly preferable. The water / alcohol molar ratio of the solvent is preferably 0.01-2. If the water / alcohol molar ratio is more than 2, the hydrolysis reaction proceeds too quickly. When the water / alcohol molar ratio is less than 0.01, the alkoxysilane is not sufficiently hydrolyzed and the formation of the silica skeleton hardly occurs.

(a-3) 触媒
アルコキシシランのアルコール溶液に加水分解反応の触媒を添加した水溶液を添加するのが好ましい。適当な触媒を添加することによりアルコキシシランの加水分解反応を促進することができる。触媒は酸性でも塩基性でもよいが、塩基性が好ましい。酸性の触媒としては塩酸、硝酸及び酢酸が挙げられる。塩基性の触媒としてはアンモニア、アミン、NaOH及びKOHが挙げられる。好ましいアミンとしてアルコールアミン、アルキルアミン(例えばメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、n-ブチルアミン及びn-プロピルアミン。)が挙げられる。
(a-3) Catalyst It is preferable to add an aqueous solution obtained by adding a catalyst for hydrolysis reaction to an alcohol solution of alkoxysilane. By adding an appropriate catalyst, the hydrolysis reaction of alkoxysilane can be promoted. The catalyst may be acidic or basic, but basic is preferred. Acidic catalysts include hydrochloric acid, nitric acid and acetic acid. Basic catalysts include ammonia, amines, NaOH and KOH. Preferred amines include alcohol amines and alkyl amines (for example, methylamine, dimethylamine, trimethylamine, n-butylamine and n-propylamine).

(b) シリカ湿潤ゲルの作製
アルコキシシラン、アルコール及び触媒が添加された水を混合し溶解する。アルコール溶媒/アルコキシシランのモル比は3〜200にするのが好ましい。モル比が3未満であると、アルコキシシランが溶解し難過ぎ、アルコキシシランの重合度が高くなり過ぎる。モル比が200超であると、アルコキシシランの重合度が低くなり過ぎ、湿潤ゲルを形成しにくくなる。触媒/アルコキシシランのモル比は1×10-5〜1にするのが好ましく、1×10-4〜1×10-1にするのがより好ましい。モル比が1×10-5未満であると、アルコキシシランの加水分解が十分に起こらない。モル比を1超としても、触媒効果は増大しない。水/アルコキシシランのモル比は0.5〜20にするのが好ましく、5〜15にするのがより好ましい。
(b) Preparation of silica wet gel Mix and dissolve alkoxy silane, alcohol and water with added catalyst. The alcohol solvent / alkoxysilane molar ratio is preferably 3 to 200. If the molar ratio is less than 3, the alkoxysilane is too difficult to dissolve, and the degree of polymerization of the alkoxysilane becomes too high. When the molar ratio is more than 200, the degree of polymerization of alkoxysilane becomes too low and it becomes difficult to form a wet gel. The catalyst / alkoxysilane molar ratio is preferably 1 × 10 −5 to 1 and more preferably 1 × 10 −4 to 1 × 10 −1 . When the molar ratio is less than 1 × 10 −5 , the alkoxysilane is not sufficiently hydrolyzed. Even if the molar ratio exceeds 1, the catalytic effect does not increase. The water / alkoxysilane molar ratio is preferably 0.5-20, and more preferably 5-15.

アルコキシシランを含む溶液を1〜168時間程度エージングする。具体的には、15〜60℃で溶液を静置するか、ゆっくり撹拌する。アルコキシシランにアルコールを添加して15〜30℃で5〜30分撹拌した後、塩基性触媒を含む水を添加して15〜30℃で5〜30分撹拌し、20〜30℃で12〜72時間静置するのが特に好ましい。エージングによりゲル化が進行し、シリカ湿潤ゲルが生成する。シリカ合成反応を行った後、エタノール等のアルコールを用いてシリカ湿潤ゲルを洗浄し、未反応物等を除去するのが好ましい。   The solution containing alkoxysilane is aged for 1 to 168 hours. Specifically, the solution is allowed to stand at 15 to 60 ° C. or slowly stirred. After adding alcohol to alkoxysilane and stirring at 15 to 30 ° C. for 5 to 30 minutes, water containing a basic catalyst is added and stirred at 15 to 30 ° C. for 5 to 30 minutes, and at 20 to 30 ° C. for 12 to 12 minutes. It is particularly preferable to stand for 72 hours. Gelation proceeds by aging, and a silica wet gel is formed. After conducting the silica synthesis reaction, it is preferable to wash the silica wet gel with an alcohol such as ethanol to remove unreacted substances and the like.

(2) シリカ湿潤ゲルの溶媒置換
シリカ湿潤ゲルの溶媒をn-ヘキサン及び4-メチル-2-ペンタノンから選ばれる少なくとも1種等の有機溶媒に置換しても良い。ゲルに取り込まれている溶媒は、ゲルの入った容器に置換すべき溶媒を注ぎ、振とうした後でデカンテーションする操作を繰り返すことによって置換することができる。シリカナノ粒子を有機修飾する前にシリカ湿潤ゲルの溶媒を有機溶媒に置換しておくことにより、有機修飾剤のシリカ湿潤ゲルへの分散性が向上し、シリカ湿潤ゲルの有機修飾反応を十分かつ均一に進行させることができる。
(2) Solvent replacement of silica wet gel The solvent of the silica wet gel may be replaced with at least one organic solvent selected from n-hexane and 4-methyl-2-pentanone. The solvent incorporated in the gel can be replaced by repeating the operation of pouring the solvent to be replaced into the container containing the gel, shaking, and then decanting. By replacing the silica wet gel solvent with the organic solvent before the organic modification of the silica nanoparticles, the dispersibility of the organic modifier into the silica wet gel is improved and the organic modification reaction of the silica wet gel is sufficiently uniform. Can proceed to.

(3) シリカ湿潤ゲルの有機修飾
シリカナノ粒子を有機修飾するために、シリカ湿潤ゲルに有機修飾剤の溶液を加えても良い。シリカ湿潤ゲルに有機修飾剤の溶液を加え、シリカ湿潤ゲルと有機修飾剤溶液とが十分接触した状態にすることにより、シリカ湿潤ゲルを構成するシリカナノ粒子の末端にある水酸基等の親水性基を疎水性の有機基に置換する。5〜30 mm角程度に切断する等して湿潤ゲルの表面積を大きくしたものに、有機修飾剤溶液を加えるのが好ましい。予めシリカ湿潤ゲルの表面積を大きくしておくことで、有機修飾剤との反応を効率的に進行させることができる。
(3) Organic Modification of Silica Wet Gel In order to organically modify the silica nanoparticles, an organic modifier solution may be added to the silica wet gel. By adding a solution of an organic modifier to the silica wet gel so that the silica wet gel and the organic modifier solution are in sufficient contact with each other, hydrophilic groups such as hydroxyl groups at the ends of the silica nanoparticles constituting the silica wet gel are formed. Substitutes a hydrophobic organic group. It is preferable to add an organic modifier solution to a gel having a large surface area of the wet gel, such as by cutting to about 5 to 30 mm square. By increasing the surface area of the silica wet gel in advance, the reaction with the organic modifier can be efficiently advanced.

シリカナノ粒子を表面修飾する有機修飾剤は下記式(1)
MpSiClq・・・(1)
(ただしpは1〜3の整数であり、qはq = 4−p を満たす1〜3の整数であり、Mは水素、アルキル基又はアリール基であり、アルキル基は置換又は無置換であって炭素数1〜18であり、アリール基は置換又は無置換であって炭素数6〜18である。)により表されるシリル化剤及びそれらの混合物であるのが好ましい。
The organic modifier for modifying the surface of silica nanoparticles is represented by the following formula (1):
M p SiCl q・ ・ ・ (1)
(Where p is an integer of 1 to 3, q is an integer of 1 to 3 that satisfies q = 4-p, M is hydrogen, an alkyl group, or an aryl group, and the alkyl group is substituted or unsubstituted. The aryl group is substituted or unsubstituted and has 6 to 18 carbon atoms.), And a mixture thereof.

有機修飾剤の具体例としてトリメチルクロロシラン、トリメチルブロモシラン、トリエチルクロロシラン、(3, 3, 3,-トリフルオロプロピル)ジメチルクロロシラン、エチルジメチルクロロシラン、ビニルジメチルクロロシラン、ビニルジメチルフルオロシラン、アリルジメチルクロロシラン、n-プロピルジメチルクロロシラン、3-クロロプロピルジメチルクロロシラン、4-クロロブチルジメチルクロロシラン、クロロメチルジメチルクロロシラン、3-シアノプロピルジメチルクロロシラン、シクロヘキシルジメチルクロロシラン、n-デシルジメチルクロロシラン、ジ-t-ブチルクロロシラン、ジ-t-ブチルメチルクロロシラン、ジイソプロピルクロロシラン、ジフェニルクロロシラン、ジフェニルメチルクロロシラン、トリフェニルクロロシラン、フェネチルジメチルクロロシラン、3-フェノキシプロピルジメチルクロロシラン、フェニルジメチルクロロシラン、ジフェニル(メチル)クロロシラン、ジフェニル(メチル)ブロモシラン、フェニルメチルクロロシラン、ビニルフェニルメチルクロロシラン、t-ブチルジフェニルクロロシラン、ジメチル(1-ナフチル)ブロモシラン等が挙げられる。有機修飾剤はモノハロシランであるのが好ましく、アルキルモノハロシランであるのが特に好ましい。具体例としてトリエチルクロロシラン及びトリメチルクロロシランが挙げられる。   Specific examples of organic modifiers include trimethylchlorosilane, trimethylbromosilane, triethylchlorosilane, (3, 3, 3, -trifluoropropyl) dimethylchlorosilane, ethyldimethylchlorosilane, vinyldimethylchlorosilane, vinyldimethylfluorosilane, allyldimethylchlorosilane, n -Propyldimethylchlorosilane, 3-chloropropyldimethylchlorosilane, 4-chlorobutyldimethylchlorosilane, chloromethyldimethylchlorosilane, 3-cyanopropyldimethylchlorosilane, cyclohexyldimethylchlorosilane, n-decyldimethylchlorosilane, di-t-butylchlorosilane, di- t-butylmethylchlorosilane, diisopropylchlorosilane, diphenylchlorosilane, diphenylmethylchlorosilane, triphenylchlorosilane, Enethyldimethylchlorosilane, 3-phenoxypropyldimethylchlorosilane, phenyldimethylchlorosilane, diphenyl (methyl) chlorosilane, diphenyl (methyl) bromosilane, phenylmethylchlorosilane, vinylphenylmethylchlorosilane, t-butyldiphenylchlorosilane, dimethyl (1-naphthyl) Examples include bromosilane. The organic modifier is preferably a monohalosilane, particularly preferably an alkylmonohalosilane. Specific examples include triethylchlorosilane and trimethylchlorosilane.

有機修飾剤の種類や濃度にもよるが、一般的には有機修飾反応は10〜40℃で進行させるのが好ましい。10℃未満であると、有機修飾剤がシリカナノ粒子と反応し難過ぎる。40℃超であると、有機修飾剤がシリカ以外と反応し易過ぎる。反応中、溶液の温度及び濃度に分布が生じないように、溶液を撹拌するのが好ましい。例えば有機修飾剤溶液がトリメチルクロロシランの4-メチル-2-ペンタノン溶液の場合、10〜40℃で10〜40時間(例えば30時間)程度保持すると、シラノール基が十分にシリル修飾される。修飾率は一般的には10〜30%程度である。   Although depending on the type and concentration of the organic modifier, it is generally preferred that the organic modification reaction proceed at 10 to 40 ° C. If it is less than 10 ° C., the organic modifier is too difficult to react with the silica nanoparticles. If it exceeds 40 ° C, the organic modifier reacts easily with other than silica. During the reaction, it is preferable to stir the solution so that there is no distribution in the temperature and concentration of the solution. For example, when the organic modifier solution is a trimethylchlorosilane 4-methyl-2-pentanone solution, the silanol group is sufficiently silyl-modified when held at 10 to 40 ° C. for about 10 to 40 hours (for example, 30 hours). The modification rate is generally about 10 to 30%.

(4) 超音波処理
超音波処理により、シリカ湿潤ゲルを分散媒中に分散させて分散液を生成する。超音波処理により、電気的な力若しくはファンデルワールス力によって凝集していたゲルが解離するか、金属と酸素との共有結合が壊れて、分散状態になると考えられる。照射する超音波の周波数は10〜30 kHzとするのが好ましい。出力は50〜1200Wとするのが好ましい。
(4) Ultrasonic treatment By ultrasonic treatment, a silica wet gel is dispersed in a dispersion medium to form a dispersion. It is considered that the gel aggregated by an electric force or van der Waals force is dissociated by ultrasonic treatment, or the covalent bond between the metal and oxygen is broken to be in a dispersed state. The frequency of the ultrasonic wave to be irradiated is preferably 10 to 30 kHz. The output is preferably 50 to 1200 W.

超音波処理時間は5〜180分間とするのが好ましい。超音波を長く照射するほど、シリカ湿潤ゲルのクラスターが細かく粉砕され、凝集の少ない状態になる。このため超音波処理によって得られるシリカ湿潤ゲル中で、有機修飾シリカのコロイド粒子が単分散に近い状態になる。超音波処理時間を5分未満とすると、コロイド粒子が十分に解離しない。超音波処理時間を120分超としても、有機修飾シリカのコロイド粒子の解離状態はほとんど変わらない。   The ultrasonic treatment time is preferably 5 to 180 minutes. The longer the ultrasonic wave is irradiated, the finer the silica wet gel clusters are, and the less the aggregation is. For this reason, colloidal particles of organically modified silica are close to monodisperse in a silica wet gel obtained by ultrasonic treatment. When the ultrasonic treatment time is less than 5 minutes, the colloidal particles are not sufficiently dissociated. Even when the sonication time is longer than 120 minutes, the dissociation state of the organically modified silica colloidal particles hardly changes.

分散媒は成膜時のハンドリング性、レベリング性及び均一成膜性に優れ、有機修飾されたシリカナノ粒子を分散可能な有機溶媒が望ましく、具体例としてケトン系溶媒として、メチルエチルケトン及び4-メチル-2-ペンタノン挙げられる。分散媒はシリカ湿潤ゲルの溶媒置換に用いた有機溶媒と同じ種類でも良く、異なる種類でも良い。
The dispersion medium is preferably an organic solvent that is excellent in handling property, leveling property, and uniform film forming property during film formation and can disperse organically modified silica nanoparticles. As specific examples, ketone solvents include methyl ethyl ketone and 4-methyl-2. - pentanone and the like. The dispersion medium may be the same type as the organic solvent used for the solvent replacement of the silica wet gel or a different type.

ケトン系溶媒は、有機修飾シリカに対して優れた親和性を有するケトン系溶媒中で、有機修飾シリカは良好な分散状態になる。ケトンの有する置換基はアルキル基でもよいし、アリール基でもよい。好ましいアルキル基は炭素数1〜5程度のものである。
The ketone solvent has an excellent affinity for organically modified silica . In the ketone solvent, the organically modified silica is in a good dispersion state. The substituent that the ketone has may be an alkyl group or an aryl group. Preferred alkyl groups are those having about 1 to 5 carbon atoms.

ケトン系溶媒は60℃以上の沸点を有するのが好ましい。60℃未満の沸点を有するケトンは、後述する超音波照射の工程で揮発しすぎる。例えばアセトンを分散媒として用いると、超音波照射中にアセトンが大量に揮発してしまうため、分散液の濃度を調節し難過ぎる。また成膜工程においても素早く揮発し過ぎるため、十分な成膜時間が得られないという問題もある。   The ketone solvent preferably has a boiling point of 60 ° C. or higher. Ketones having a boiling point of less than 60 ° C. are too volatile during the ultrasonic irradiation process described below. For example, when acetone is used as a dispersion medium, a large amount of acetone volatilizes during ultrasonic irradiation, so that it is difficult to adjust the concentration of the dispersion. In addition, there is also a problem that sufficient film formation time cannot be obtained because the film is volatilized too quickly in the film formation process.

ケトン系溶媒のうち、好ましいのはカルボニル基の両側に異なる置換基を有する非対称なケトンである。非対称ケトンは大きな極性を有するために、有機修飾シリカに対して特に優れた親和性を有する。   Of the ketone solvents, preferred are asymmetric ketones having different substituents on both sides of the carbonyl group. Since the asymmetric ketone has a large polarity, it has a particularly excellent affinity for the organically modified silica.

(5) アルカリ金属アルコキシドの添加
有機修飾されたシリカナノ粒子が分散媒中に分散した分散液にアルカリ金属アルコキシドを添加する。アルカリ金属アルコキシドの添加はアルカリ金属アルコキシドの溶液を用いて行うのが好ましい。アルカリ金属アルコキシドはアルカリ処理に使用するアルカリとして用いられる。アルカリ処理に使用するアルカリをシリカナノ多孔質膜の出発原料のアルコキシシランと同様にアルコキシル基を有するアルカリ金属アルコキシドとすることにより、成膜とアルカリ処理に必要な条件が比較的近くなるため、成膜時にアルカリ処理を同時に行うことが可能になる。また成膜及びアルカリ処理後の残留物の洗浄も容易である。
(5) Addition of alkali metal alkoxide An alkali metal alkoxide is added to a dispersion in which organically modified silica nanoparticles are dispersed in a dispersion medium. The addition of the alkali metal alkoxide is preferably performed using a solution of the alkali metal alkoxide. Alkali metal alkoxide is used as an alkali used for alkali treatment. Since the alkali used for the alkali treatment is an alkali metal alkoxide having an alkoxyl group in the same manner as the alkoxysilane starting material of the silica nanoporous film, the conditions necessary for film formation and alkali treatment become relatively close. Sometimes it becomes possible to carry out the alkali treatment simultaneously. Further, it is easy to clean the residue after film formation and alkali treatment.

アルカリ金属アルコキシドは炭素数が1〜3のアルカリ金属アルコキシドであるのが好ましい。具体的には、リチウムメトキシド、リチウムエトキシド、リチウムイソプロポキシド、カリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムイソプロポキシド、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリウムイソプロポキシド等が挙げられる。特に好ましいアルカリ金属アルコキシドはナトリウムメトキシド及びナトリウムエトキシドである。アルカリ金属アルコキシドのアルコキシル基はシリカナノ粒子の出発原料のアルコキシシランと同じ種類のものを用いるのが好ましい。それにより成膜時のアルカリ処理による未反応シラノール基の反応性が向上する。   The alkali metal alkoxide is preferably an alkali metal alkoxide having 1 to 3 carbon atoms. Specifically, lithium methoxide, lithium ethoxide, lithium isopropoxide, potassium methoxide, potassium ethoxide, potassium isopropoxide, sodium methoxide, sodium ethoxide, sodium isopropoxide and the like can be mentioned. Particularly preferred alkali metal alkoxides are sodium methoxide and sodium ethoxide. As the alkoxyl group of the alkali metal alkoxide, it is preferable to use the same type of alkoxysilane as the starting material of the silica nanoparticles. Thereby, the reactivity of the unreacted silanol group by the alkali treatment during film formation is improved.

[2] 塗工液
本発明の多孔質の光学薄膜用塗工液は、有機修飾されたシリカナノ粒子がケトン系分散媒中に分散した分散液であって、アルカリ金属アルコキシドが添加されている。本発明の塗工液にはアルカリ金属アルコキシドが添加されているので、成膜時にアルカリ処理を同時に行うことができる。アルカリ処理により未反応シラノール基が縮合してSi-O-Si結合が増加するため、耐擦傷性に優れ、経時変化が小さいシリカエアロゲル膜を形成することができる。また分散媒としてケトン系分散媒を用いると、成膜時に優れたハンドリング性、レベリング性及び均一成膜性が得られる。
[2] Coating Liquid The porous optical thin film coating liquid of the present invention is a dispersion liquid in which organically modified silica nanoparticles are dispersed in a ketone-based dispersion medium, and an alkali metal alkoxide is added thereto. Since the alkali metal alkoxide is added to the coating liquid of the present invention, the alkali treatment can be performed simultaneously with the film formation. Since the unreacted silanol groups are condensed by the alkali treatment and the Si—O—Si bond is increased, a silica airgel film having excellent scratch resistance and small change with time can be formed. When a ketone-based dispersion medium is used as the dispersion medium, excellent handling properties, leveling properties, and uniform film formation properties can be obtained during film formation.

無機材料のシリカナノ粒子を有機修飾して表面改質することにより、有機溶媒からなる分散媒中の分散性が向上するとともに、分散媒中でのアルカリ金属アルコキシドのアルカリ処理試薬による反応シラノール基の反応が抑えられ、塗工液がゲル化するのを遅らせることができる。そのため優れた保存安定性を有する塗工液が得られ、かかる塗工液を用いたシリカエアロゲル膜の安定した量産が可能となる。   Silica nanoparticles of inorganic materials are organically modified to modify the surface, thereby improving dispersibility in a dispersion medium composed of an organic solvent, and reaction of silanol groups with an alkali treatment reagent of alkali metal alkoxide in the dispersion medium. Can be suppressed, and the coating liquid can be delayed in gelation. Therefore, a coating solution having excellent storage stability is obtained, and stable mass production of a silica airgel film using such a coating solution is possible.

シリカナノ粒子のメジアン径(シリカナノ粒子が有機修飾されている場合、有機修飾されたシリカナノ粒子のメジアン径)は10〜100 nmであるのが好ましい。ここでメジアン径は、粒子の集合の全体積を100%として累積曲線を求めた時、累積値が50%となる点の粒子径であり、動的光散乱法により求められる。シリカナノ粒子のメジアン径がこの範囲内であると、実質的に平滑な表面を有するシリカエアロゲル膜が得られる。シリカナノ粒子はメジアン径が10 nm未満だと粒子同士の凝集が起こり易い為、分散媒中の分散性が悪くなる。   The median diameter of the silica nanoparticles (when the silica nanoparticles are organically modified, the median diameter of the organically modified silica nanoparticles) is preferably 10 to 100 nm. Here, the median diameter is the particle diameter at which the cumulative value becomes 50% when the cumulative curve is obtained with the total volume of the aggregate of particles as 100%, and is obtained by the dynamic light scattering method. When the median diameter of the silica nanoparticles is within this range, a silica airgel film having a substantially smooth surface can be obtained. If the median diameter of silica nanoparticles is less than 10 nm, the particles tend to agglomerate with each other, resulting in poor dispersibility in the dispersion medium.

分散液のシリカ固形分濃度は0.1〜7.0質量%であるのが好ましい。シリカ固形分濃度がこの範囲内であれば、シリカナノ粒子の分散性を維持しつつ、均一な膜厚を有する薄層を形成し得る。分散液のシリカ固形分濃度は2.0〜5.0質量%であるのがより好ましい。   The silica solid content concentration of the dispersion is preferably 0.1 to 7.0% by mass. If the silica solid content concentration is within this range, a thin layer having a uniform film thickness can be formed while maintaining the dispersibility of the silica nanoparticles. The silica solid content concentration of the dispersion is more preferably 2.0 to 5.0% by mass.

アルカリ金属アルコキシド/シリカナノ粒子は質量比で5.0×10-3〜2.0であるのが好ましい。質量比がこの範囲内であれば、成膜時のアルカリ処理による未反応シラノール基の高い反応性が得られる。アルカリ金属アルコキシド/シリカナノ粒子は質量比で1.0×10-2〜5.0×10-1であるのがより好ましい。 It is preferable that the alkali metal alkoxide / silica nanoparticles have a mass ratio of 5.0 × 10 −3 to 2.0. When the mass ratio is within this range, high reactivity of unreacted silanol groups by alkali treatment during film formation can be obtained. More preferably, the alkali metal alkoxide / silica nanoparticles have a mass ratio of 1.0 × 10 −2 to 5.0 × 10 −1 .

本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。   The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
(1-1)シリカ湿潤ゲルの作製
扶桑化学工業株式会社製のメチルシリケート51(テトラメトキシシランの平均4量体)5.90gと和光純薬工業株式会社製のメタノール(特級)50.55gの混合物に和光純薬工業株式会社製の28%アンモニア(特級)から調整した0.1Nのアンモニア水3.20gを添加し10分間攪拌した。その後、室温にて3日間静置して加水分解重縮合反応を促進させエージングした。
Example 1
(1-1) Preparation of silica wet gel To a mixture of 5.90 g of methyl silicate 51 (average tetramer of tetramethoxysilane) manufactured by Fuso Chemical Co., Ltd. and 50.55 g of methanol (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. 3.20 g of 0.1N ammonia water prepared from 28% ammonia (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. was added and stirred for 10 minutes. Thereafter, the mixture was allowed to stand at room temperature for 3 days to accelerate the hydrolysis polycondensation reaction and age.

(1-2)シリカ湿潤ゲルの溶媒置換
工程(1-1)で作製したシリカ湿潤ゲルを2cm角程度の大きさに切り出し、それを結晶皿にとり、和光純薬工業株式会社製のエタノール(特級)を添加し、マグネティックスターラーを用いて300 rpmでゆっくり1日間攪拌して、シリカ湿潤ゲル中の溶媒をエタノールに置換した。置換後にデカンテーションすることにより、エタノール溶媒置換されたシリカ湿潤ゲルを得た。溶媒置換に用いたエタノールは、シリカ湿潤ゲル20 gに対して100 mlの割合で添加した。
(1-2) Solvent replacement of silica wet gel The silica wet gel prepared in step (1-1) was cut into a size of about 2 cm square, and the resulting product was placed in a crystal dish and ethanol (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. ) And stirred slowly at 300 rpm for 1 day using a magnetic stirrer to replace the solvent in the silica wet gel with ethanol. By decantation after substitution, a silica wet gel substituted with ethanol solvent was obtained. Ethanol used for solvent replacement was added at a rate of 100 ml per 20 g of silica wet gel.

エタノールにより溶媒置換されたシリカ湿潤ゲルに和光純薬工業株式会社製の4-メチル-2-ペンタノン(特級)を添加し、マグネティックスターラーを用いて300 rpmでゆっくり1日間攪拌して、シリカ湿潤ゲル中の溶媒を4-メチル-2-ペンタノンに置換した。置換後にデカンテーションすることにより、4-メチル-2-ペンタノンに溶媒置換されたシリカ湿潤ゲルを得た。溶媒置換に用いた4-メチル-2-ペンタノンは、シリカ湿潤ゲル20 gに対して100 mlの割合で添加した。   4-methyl-2-pentanone (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. was added to the silica wet gel solvent-substituted with ethanol, and stirred gently at 300 rpm for 1 day using a magnetic stirrer. The solvent in it was replaced with 4-methyl-2-pentanone. By decantation after substitution, a silica wet gel substituted with solvent by 4-methyl-2-pentanone was obtained. 4-methyl-2-pentanone used for solvent substitution was added at a rate of 100 ml per 20 g of silica wet gel.

(1-3)シリカ湿潤ゲルの有機修飾
工程(1-2)で作製したシリカ湿潤ゲル60 gを結晶皿にとり、東京化成工業株式会社製のトリメチルクロロシランと和光純薬工業株式会社製の4-メチル-2-ペンタノン(特級)からなる混合液体を添加し、マグネティックスターラーを用いて300 rpmでゆっくり1日間攪拌して、シリカ湿潤ゲル中のシリカナノ粒子の末端を有機修飾した。有機修飾後にデカンテーションすることにより、有機修飾シリカ湿潤ゲルを得た。トリメチルクロロシランと4-メチル-2-ペンタノンの混合液は、体積比にして5ml:95 mlの割合で混合して作製した。シリカ湿潤ゲルの有機修飾は、シリカ湿潤ゲル20 gに対して、トリメチルクロロシランと4-メチル-2-ペンタノンの混合液が100 mlの割合で添加した。
(1-3) Organic modification of silica wet gel 60 g of the silica wet gel prepared in step (1-2) was placed in a crystal dish, and trimethylchlorosilane manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. and 4-manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. A liquid mixture consisting of methyl-2-pentanone (special grade) was added, and the mixture was gently stirred at 300 rpm for 1 day using a magnetic stirrer to organically modify the ends of the silica nanoparticles in the silica wet gel. Decantation after organic modification gave an organically modified silica wet gel. A mixed solution of trimethylchlorosilane and 4-methyl-2-pentanone was prepared by mixing at a volume ratio of 5 ml: 95 ml. For organic modification of the silica wet gel, a mixed solution of trimethylchlorosilane and 4-methyl-2-pentanone was added at a ratio of 100 ml to 20 g of the silica wet gel.

(1-4)有機修飾シリカ湿潤ゲルの洗浄
工程(1-3)で作製したシリカ湿潤ゲル60 gを結晶皿にとり、和光純薬工業株式会社製の4-メチル-2-ペンタノン(特級)を添加し、マグネティックスターラーを用いて300 rpmでゆっくり1日間攪拌して、有機修飾シリカ湿潤ゲルを洗浄した。その後デカンテーションすることにより、有機修飾剤及び副生成物の除去された有機修飾シリカ湿潤ゲルを得た。洗浄に用いた4-メチル-2-ペンタノンは、シリカ湿潤ゲル20 gに対して100 mlの割合で添加した。
(1-4) Washing of organically modified silica wet gel Take 60 g of the silica wet gel prepared in step (1-3) in a crystal dish and add 4-methyl-2-pentanone (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. The organically modified silica wet gel was washed by adding and stirring gently at 300 rpm for 1 day using a magnetic stirrer. Then, the organic modifier silica wet gel from which the organic modifier and by-products were removed was obtained by decantation. 4-Methyl-2-pentanone used for washing was added at a ratio of 100 ml to 20 g of silica wet gel.

(1-5)有機修飾シリカ湿潤ゲルの超音波分散液の作製
工程(1-4)で作製した有機修飾シリカ湿潤ゲルを100 mlディスポビーカーにとり、和光純薬工業株式会社製の4-メチル-2-ペンタノン(特級)を添加し、マグネティックスターラーを用いて700 rpmで攪拌しながら株式会社日本精機製作所の超音波分散装置(定格出力600 W、発振周波数19.5 KHz±1KHz)で2時間超音波分散した。分散液の濃度は、シリカ固形分濃度にして3.5質量%になるように調整した。分散液のシリカ固形分濃度は、有機修飾シリカ湿潤ゲルを120℃の送風定温恒温機(イナートオーブン)に2時間入れて乾燥したときの、乾燥前後の質量から算出した固形分から調製した。
(1-5) Preparation of Ultrasonic Dispersion of Organic Modified Silica Wet Gel Take organic modified silica wet gel prepared in step (1-4) in a 100 ml disposable beaker and add 4-methyl- Add 2-pentanone (special grade), and stir at 700 rpm using a magnetic stirrer for 2 hours with an ultrasonic dispersion device (rated output 600 W, oscillation frequency 19.5 KHz ± 1 KHz) from Nippon Seiki Seisakusho Co., Ltd. did. The concentration of the dispersion was adjusted to 3.5% by mass as the silica solid content concentration. The silica solid content concentration of the dispersion was prepared from the solid content calculated from the mass before and after drying when the organically modified silica wet gel was dried in a 120 ° C. blast constant temperature thermostat (inert oven) for 2 hours.

(1-6) 有機修飾シリカナノ粒子分散液へのアルカリ金属アルコキシドの添加
工程(1-5)で作製した有機修飾シリカ湿潤ゲルの超音波分散液(有機修飾シリカナノ粒子分散液)3mlと予め和光純薬工業株式会社製28質量%ナトリウムメトキシドメタノール溶液から調製した0.35質量%のナトリウムメトキシドメタノール溶液0.9 mlを混合して、一液性のシリカエアロゲル膜製造用塗工液を作製した。
(1-6) Addition of alkali metal alkoxide to organic-modified silica nanoparticle dispersion 3 ml of ultrasonic dispersion (organic-modified silica nanoparticle dispersion) of organic-modified silica wet gel prepared in step (1-5) and Wako Pure 0.9 ml of a 0.35 mass% sodium methoxide methanol solution prepared from 28 mass% sodium methoxide methanol solution manufactured by Yakuhin Co., Ltd. was mixed to prepare a one-component silica airgel membrane production coating solution.

実施例2
(2-1)シリカ湿潤ゲルの作製
扶桑化学工業株式会社製のメチルシリケート51(テトラメトキシシランの平均4量体)5.90 g、チッソ株式会社製サイラエースS710(3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン)1.00 g及び和光純薬工業株式会社製のメタノール(特級)50.55 gの混合物に和光純薬工業株式会社製の28%アンモニア(特級)から調整した0.15 Nのアンモニア水3.20 gを添加し10分間攪拌した。その後、室温にて3日間静置して加水分解重縮合反応を促進させエージングした。
Example 2
(2-1) Preparation of silica wet gel Methyl silicate 51 (average tetramer of tetramethoxysilane) 5.90 g manufactured by Fuso Chemical Industry Co., Ltd. Silaace S710 (3-methacryloxypropyltrimethoxysilane) 1.00 manufactured by Chisso Corporation and a mixture of 50.55 g of methanol (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. and 3.20 g of 0.15 N aqueous ammonia prepared from 28% ammonia (special grade) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. were added and stirred for 10 minutes. . Thereafter, the mixture was allowed to stand at room temperature for 3 days to accelerate the hydrolysis polycondensation reaction and age.

工程(2-2)〜(2-6)を工程(2-1)で作製したシリカ湿潤ゲルを用いた以外は実施例1の工程(1-2)〜(1-6)と同様に行い、一液性のシリカエアロゲル膜製造用塗工液を作製した。   Perform steps (2-2) to (2-6) in the same manner as steps (1-2) to (1-6) in Example 1 except that the silica wet gel prepared in step (2-1) was used. A one-part coating solution for producing a silica airgel film was prepared.

実施例3
工程(3-1)及び(3-2)を実施例1の工程(1-1)及び(1-2)と同様に行った。有機修飾工程(1-3)及び工程(1-4)を行うことなく、工程(3-5)及び(3-6)を工程(3-2)で作製したシリカ湿潤ゲルを用いた以外は実施例1の工程(1-5)及び(1-6)と同様に行い、一液性のシリカエアロゲル膜製造用塗工液を作製した。
Example 3
Steps (3-1) and (3-2) were performed in the same manner as steps (1-1) and (1-2) in Example 1. Except for using the silica wet gel prepared in step (3-2) in steps (3-5) and (3-6) without performing organic modification step (1-3) and step (1-4). It carried out similarly to the process (1-5) and (1-6) of Example 1, and produced the coating liquid for manufacture of a one-component silica airgel film.

実施例4
工程(4-1)を実施例2の工程(2-1)と同様に行い、工程(4-2),(4-5)及び(4-6)を工程(4-1)で作製したシリカ湿潤ゲルを用いた以外は実施例3の工程(3-2),(3-5)及び(3-6)と同様に行い、一液性のシリカエアロゲル膜製造用塗工液を作製した。
Example 4
Step (4-1) was performed in the same manner as Step (2-1) in Example 2, and Steps (4-2), (4-5), and (4-6) were produced in Step (4-1). Except that the silica wet gel was used, the same procedure as in steps (3-2), (3-5) and (3-6) of Example 3 was carried out to prepare a one-component silica airgel film production coating solution. .

塗工液の保存安定性試験
実施例1〜4をそれぞれ温度25±5℃、相対湿度40±20%で放置し、流動性を失うまでの時間を塗工液が入っている容器を30°傾けることで確認した。流動性を失わない塗工液は液面を水平に保ったが、流動性が失われてゲル化した塗工液は、容器を傾けても液面が動かなかった。得られた結果を表1に示す。
Storage stability test of coating solution Leave each of Examples 1 to 4 at a temperature of 25 ± 5 ° C and a relative humidity of 40 ± 20%, and the amount of time until fluidity is lost. Confirmed by tilting. The coating liquid that did not lose fluidity kept the liquid level horizontal, but the coating liquid that gelled due to loss of fluidity did not move even when the container was tilted. The obtained results are shown in Table 1.

表1から分かるように、実施例1及び2の塗工液は2日間粘度を維持でき、実施例3及び4は約1時間粘度を維持できた。実施例1及び2の塗工液は実施例3及び4と比べて保存安定性に優れていた。また上記条件で1日間放置した実施例1及び実施例3の塗工液を図1に示す。図1に示すように、実施例1の塗工液は流動性を維持していたが、実施例3の塗工液は流動性を失っているのが分かる。   As can be seen from Table 1, the coating liquids of Examples 1 and 2 were able to maintain the viscosity for 2 days, and Examples 3 and 4 were able to maintain the viscosity for about 1 hour. The coating liquids of Examples 1 and 2 were superior in storage stability compared to Examples 3 and 4. Moreover, the coating liquid of Example 1 and Example 3 which was left to stand on the said conditions for 1 day is shown in FIG. As shown in FIG. 1, the coating liquid of Example 1 maintained fluidity, but it can be seen that the coating liquid of Example 3 lost fluidity.

Claims (15)

有機修飾されたシリカナノ粒子がケトン系分散媒中に分散した分散液であって、アルカリ金属アルコキシドが添加されていることを特徴とする多孔質の光学薄膜用塗工液。 Organically modified silica nanoparticles a dispersion dispersed in a ketone dispersion medium, a porous optical thin film coating liquid, wherein the alkali metal alkoxide is added. 請求項1に記載の光学薄膜用塗工液において、前記シリカナノ粒子は下記式(1) 2. The coating solution for optical thin film according to claim 1, wherein the silica nanoparticles are represented by the following formula (1):
MM pp SiClSiCl qq ・・・(1)... (1)
(ただしpは1〜3の整数であり、qはq = 4−p を満たす1〜3の整数であり、Mは水素、アルキル基又はアリール基であり、アルキル基は置換又は無置換であって炭素数1〜18であり、アリール基は置換又は無置換であって炭素数6〜18である。)により有機修飾されていることを特徴とする光学薄膜用塗工液。(Where p is an integer of 1 to 3, q is an integer of 1 to 3 that satisfies q = 4-p, M is hydrogen, an alkyl group, or an aryl group, and the alkyl group is substituted or unsubstituted. And an aryl group is substituted or unsubstituted and has 6 to 18 carbon atoms), and is organically modified.
請求項1又は2に記載の光学薄膜用塗工液において、前記シリカナノ粒子はモノハロシランにより有機修飾されていることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to claim 1 or 2, wherein the silica nanoparticles coating liquid for an optical thin film characterized in that it is an organic modified by monohalosilane. 請求項1〜3のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液において、前記アルカリ金属アルコキシドは炭素数が1〜3のアルカリ金属アルコキシドであることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to claim 1, wherein the alkali metal alkoxide coating solution for optical thin film characterized in that an alkali metal alkoxide having 1 to 3 carbon atoms. 請求項1〜のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液において、前記ケトン系分散媒はメチルエチルケトン及び4-メチル-2-ペンタノンからなる群より選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to any one of claims 1-4, wherein the ketone-based dispersion medium, and wherein the at least one selected from the group consisting of methyl ethyl ketone and 4-methyl-2-pentanone Coating solution for optical thin film . 請求項1〜のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液において、前記分散液のシリカ固形分濃度が0.1〜7.0質量%であることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to any one of claims 1 to 5 coating solution for optical thin film silica solid concentration of the dispersion is characterized in that it is a 0.1 to 7.0 mass%. 請求項1〜のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液において、前記アルカリ金属アルコキシド/前記シリカナノ粒子が質量比で5.0×10-3〜2.0であることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to any one of claims 1 to 6 coating for optical thin film, wherein the alkali metal alkoxide / the silica particles is 5.0 × 10 -3 to 2.0 in mass ratio liquid. 請求項1〜のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液において、前記シリカナノ粒子のメジアン径が10〜100 nmであることを特徴とする光学薄膜用塗工液。 The optical thin film coating liquid according to any one of claims 1 to 7 coating liquid for an optical film, wherein the median diameter of the silica particles is 10 to 100 nm. 請求項1〜のいずれかに記載の光学薄膜用塗工液を製造する方法であって、アルコキシシランを加水分解重合することによりシリカ湿潤ゲルを生成し、前記シリカ湿潤ゲルを前記ケトン系分散媒中で超音波分散してシリカナノ粒子の分散液を生成し、前記分散液に前記アルカリ金属アルコキシドを添加することを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 It is a method of manufacturing the coating liquid for optical thin films in any one of Claims 1-8 , Comprising: A silica wet gel is produced | generated by hydrolyzing an alkoxysilane, The said silica wet gel is made into the said ketone-type dispersion | distribution. A method for producing a coating solution for an optical thin film , which comprises ultrasonically dispersing in a medium to produce a dispersion of silica nanoparticles, and adding the alkali metal alkoxide to the dispersion. 請求項に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記シリカ湿潤ゲルを超音波分散する前に有機修飾剤と反応させることにより、有機修飾シリカ湿潤ゲルを作製し、前記有機修飾シリカ湿潤ゲルを前記ケトン系分散媒中で超音波分散することにより、有機修飾されたシリカナノ粒子の分散液を生成することを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 The method for producing a coating liquid for an optical thin film according to claim 9 , wherein an organic modified silica wet gel is produced by reacting the silica wet gel with an organic modifier before ultrasonically dispersing the silica wet gel. A method for producing a coating liquid for an optical thin film , wherein a dispersion of organically modified silica nanoparticles is produced by ultrasonically dispersing a wet gel in the ketone dispersion medium. 請求項又は10に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記アルコキシシランは、4官能性アルコキシシラン及びその2〜5量体のオリゴマーから選ばれた少なくとも1種の第一のアルコキシシランと3官能性の第二のアルコキシシランから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 The method for producing a coating liquid for an optical thin film according to claim 9 or 10 , wherein the alkoxysilane is at least one first alkoxy selected from tetrafunctional alkoxysilanes and oligomers of dimers to pentamers thereof. A method for producing a coating solution for an optical thin film, which is at least one selected from silane and a trifunctional second alkoxysilane. 請求項11に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記第二のアルコキシシランが3-メタクリロキシプロピル基、3-グリシドキシプロピル基及びビニル基から選ばれる少なくとも1種の官能基を含むことを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 12. The method for producing an optical thin film coating solution according to claim 11 , wherein the second alkoxysilane is at least one functional group selected from a 3-methacryloxypropyl group, a 3-glycidoxypropyl group, and a vinyl group. The manufacturing method of the coating liquid for optical thin films characterized by including. 請求項11又は12に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記第一のアルコキシシランと前記第二のアルコキシシランの混合比がモル比で1:1〜10:1であることを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 13. The method for producing an optical thin film coating liquid according to claim 11 or 12 , wherein a mixing ratio of the first alkoxysilane and the second alkoxysilane is 1: 1 to 10: 1 in terms of a molar ratio. A method for producing a coating liquid for an optical thin film . 請求項1013に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記シリカナノ粒子を有機修飾する前に、前記シリカ湿潤ゲルの溶媒をn-ヘキサン及び4-メチル-2-ペンタノンから選ばれる少なくとも1種に置換することを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。 In the method for manufacturing an optical thin film coating liquid according to claim 10-13, prior to organic modification of the silica particles are selected solvent of the wet silica gel from n- hexane and 4-methyl-2-pentanone A method for producing a coating liquid for an optical thin film , characterized by substituting at least one kind. 請求項14に記載の光学薄膜用塗工液の製造方法において、前記超音波分散を発振周波数:10〜30 kHz、定格出力:50〜1200 W及び超音波処理時間:5〜180分の条件下で行うことを特徴とする光学薄膜用塗工液の製造方法。
In the method for manufacturing an optical thin film coating liquid according to claim 9-14, wherein the ultrasonic dispersing oscillation frequency: 10 to 30 kHz, rated output: 50 to 1200 W and sonication Time: 5 to 180 minutes The manufacturing method of the coating liquid for optical thin films characterized by performing on conditions.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109762376A (en) * 2018-12-18 2019-05-17 沈阳理工大学 A kind of infrared shielding film for coating and preparation method thereof
CN116694116B (en) * 2023-05-17 2025-04-22 江苏泛亚微透科技股份有限公司 Self-polishing surface antifouling coating and preparation method and application thereof

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2698491B2 (en) * 1991-08-19 1998-01-19 信越化学工業株式会社 Glass fiber fabric treatment agent
DE19647368A1 (en) * 1996-11-15 1998-05-20 Inst Neue Mat Gemein Gmbh Composites
JP2000129127A (en) * 1998-10-23 2000-05-09 Nichias Corp Porous silica / silicone composite material and method for producing the same
DE10326815A1 (en) * 2003-06-13 2004-12-30 Institut für Neue Materialien Gemeinnützige GmbH Anti-adhesive high-temperature coatings
JP2005234003A (en) * 2004-02-17 2005-09-02 Konica Minolta Opto Inc Antireflection film, polarizing plate, and display device
JP2005325306A (en) * 2004-05-17 2005-11-24 Nissan Motor Co Ltd Method for producing polycarbonate resin composition, and metal oxide fine particle sol for producing polycarbonate resin composition
JP4953426B2 (en) * 2005-06-09 2012-06-13 ペンタックスリコーイメージング株式会社 Method for producing silica airgel membrane
JP2007246872A (en) * 2005-10-28 2007-09-27 Asahi Glass Co Ltd Composition for forming silica-based film, method for producing glass plate with silica-based film, and glass plate with silica-based film
JP2008040171A (en) * 2006-08-07 2008-02-21 Pentax Corp Optical element provided with antireflection film having self-cleaning effect and method for manufacturing the same
JP5365083B2 (en) * 2008-07-29 2013-12-11 凸版印刷株式会社 Antireflection film
JP6304584B2 (en) * 2014-02-21 2018-04-04 学校法人慶應義塾 Dispersion solution and method for producing the same, coating solution and method for producing mesoporous silica porous membrane
JP6592897B2 (en) * 2015-01-09 2019-10-23 リコーイメージング株式会社 Method for producing silica airgel membrane

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