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JP6831884B1 - Electron tube unit and electron tube socket - Google Patents

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JP6831884B1 JP2019164351A JP2019164351A JP6831884B1 JP 6831884 B1 JP6831884 B1 JP 6831884B1 JP 2019164351 A JP2019164351 A JP 2019164351A JP 2019164351 A JP2019164351 A JP 2019164351A JP 6831884 B1 JP6831884 B1 JP 6831884B1
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Abstract

【課題】補正光を安定して光電面に導光できる電子管ユニット及び電子管用ソケットを提供する。
【解決手段】光電子増倍管ユニット1は、光の入射に応じて光電子を放出する光電面21と、光電子に基づく信号を生成する陽極24とをバルブ12の内部空間Sに収容してなる光電子増倍管11と、光電子増倍管11への補正光Lを出力する光源44を有する補正光源部42とを備え、バルブ12は、光電面21側に位置する光入射窓部13と、陽極24側に位置する信号出力部14と、光入射窓部13と信号出力部14とを繋ぐ側壁部15と、を備え、補正光源部42は、光入射窓部13よりも信号出力部14側に配置され、補正光源部42からの補正光Lは、内部空間Sよりも外側の領域に設けられた導光路43によって光電面21に導光される。
【選択図】図6
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron tube unit and an electron tube socket capable of stably guiding correction light to a photoelectric surface.
SOLUTION: A photoelectron multiplying tube unit 1 accommodates a photoelectric surface 21 that emits photoelectrons in response to light incident and an anode 24 that generates a signal based on photoelectrons in an internal space S of a valve 12. The magnification tube 11 includes a correction light source unit 42 having a light source 44 for outputting the correction light L to the optoelectronic magnification tube 11, and the valve 12 has a light incident window portion 13 located on the photoelectric surface 21 side and an anode. The signal output unit 14 located on the 24 side and the side wall portion 15 connecting the light incident window unit 13 and the signal output unit 14 are provided, and the correction light source unit 42 is closer to the signal output unit 14 than the light incident window unit 13. The correction light L from the correction light source unit 42 is guided to the photoelectric surface 21 by a light guide path 43 provided in a region outside the internal space S.
[Selection diagram] Fig. 6

Description

本開示は、電子管ユニット及び電子管用ソケットに関する。 The present disclosure relates to an electron tube unit and a socket for an electron tube.

光電面を備えた電子管(光電子増倍管、光電管、HPD(Hybrid Photo−Detector)など)では、様々な要因により感度の変動(感度ドリフト)が生じることがある。これまで、感度ドリフトは、主に陽極から出力された信号が入力される回路における信号処理で対処されていることが多く、複雑な信号処理を要する場合があった。 In an electron tube provided with a photocathode (photomultiplier tube, phototube, HPD (Hybrid Photo-Detector), etc.), sensitivity fluctuation (sensitivity drift) may occur due to various factors. Until now, sensitivity drift has often been dealt with mainly by signal processing in a circuit in which a signal output from the anode is input, and complicated signal processing may be required.

これに対し、特許文献1に記載のイオン化放射の測定のための検出器では、光電子増倍管のソケットに補正用光源が設けられている。この従来の検出器では、補正用光源から出力した補正光を光電子増倍管の内部空間を通過させて光電面に導光している。そして、補正光の検出によって光電子増倍管から出力された光源誘起パルスを用いて光電子増倍管の感度を安定化させている。 On the other hand, in the detector for measuring ionized radiation described in Patent Document 1, a correction light source is provided in the socket of the photomultiplier tube. In this conventional detector, the correction light output from the correction light source is guided to the photoelectric surface by passing through the internal space of the photomultiplier tube. Then, the sensitivity of the photomultiplier tube is stabilized by using the light source-induced pulse output from the photomultiplier tube by detecting the correction light.

特許第4843036号公報Japanese Patent No. 4843036

上述した特許文献1に記載の検出器では、特許文献1の図2に示されるように、光電子増倍管の内部空間を補正光が通過するため、光電子増倍管内の内部構造物(陽極や電子増倍部など)に補正光が当たってしまい、補正光を安定して光電面に導光することが難しいと考えられる。 In the detector described in Patent Document 1 described above, as shown in FIG. 2 of Patent Document 1, the correction light passes through the internal space of the photomultiplier tube, so that the internal structure (anode or) in the photomultiplier tube is passed. The correction light hits the photomultiplier tube, etc.), and it is considered difficult to stably guide the correction light to the photoelectric surface.

本開示は、上記課題の解決のためになされたものであり、補正光を安定して光電面に導光できる電子管ユニット及び電子管用ソケットを提供することを目的とする。 The present disclosure has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an electron tube unit and an electron tube socket capable of stably guiding correction light to a photoelectric surface.

本開示の一側面に係る電子管ユニットは、光の入射に応じて光電子を放出する光電面と、光電子に基づく信号を生成する陽極とを筐体の内部空間に収容してなる電子管と、電子管への補正光を出力する光源を有する補正光源部と、を備えた電子管ユニットであって、筐体は、光電面側に位置する光入射窓部と、陽極側に位置する信号出力部と、光入射窓部と信号出力部とを繋ぐ壁部と、を備え、補正光源部は、筐体における光入射窓部よりも信号出力部側に配置され、補正光源部からの補正光は、内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって光電面に導光される。 The electron tube unit according to one aspect of the present disclosure includes an electron tube in which a photoelectric surface that emits photoelectrons in response to light incident and an anode that generates a signal based on photoelectrons are housed in an internal space of a housing, and an electron tube. An electron tube unit including a correction light source unit having a light source for outputting the correction light of the above, and the housing includes a light incident window portion located on the photoelectric surface side, a signal output portion located on the anode side, and light. A wall portion connecting the incident window unit and the signal output unit is provided, and the correction light source unit is arranged closer to the signal output unit than the light incident window unit in the housing, and the correction light from the correction light source unit is an internal space. The light is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the area.

この電子管ユニットでは、補正光源部からの補正光が内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって光電面に導光される。したがって、この電子管ユニットでは、電子管内の内部構造物(陽極など)に補正光が当たってしまうことを回避でき、補正光を安定して光電面に導光できる。これにより、電子管の感度ドリフトの補正を精度良く実施することができる。 In this electron tube unit, the correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space. Therefore, in this electron tube unit, it is possible to prevent the correction light from hitting the internal structure (anode or the like) in the electron tube, and the correction light can be stably guided to the photoelectric surface. As a result, the sensitivity drift of the electron tube can be corrected with high accuracy.

筐体の壁部の少なくとも一部は、信号出力部側から光入射窓部側に向かって連続して延びる透光部となっており、導光路は、透光部によって構成されていてもよい。この場合、筐体の壁部の少なくとも一部を透光部による導波路とすることで、電子管ユニットの大型化を避けることができる。 At least a part of the wall portion of the housing is a light-transmitting portion that continuously extends from the signal output portion side toward the light incident window portion side, and the light guide path may be composed of the light-transmitting portion. .. In this case, it is possible to avoid an increase in the size of the electron tube unit by forming at least a part of the wall portion of the housing as a waveguide by a light transmitting portion.

透光部は、光入射窓部と光学的に結合されていてもよい。この場合、光電面側に位置する光入射窓部に補正光を導光できるので、補正光を一層安定して光電面に導光できる。 The light transmitting portion may be optically coupled to the light incident window portion. In this case, since the correction light can be guided to the light incident window portion located on the photoelectric surface side, the correction light can be more stably guided to the photoelectric surface.

透光部は、補正光源部の光源と対向していてもよい。この場合、光源から出力する補正光を透光部に一層安定して導光できる。 The light transmitting portion may face the light source of the correction light source portion. In this case, the correction light output from the light source can be guided more stably to the translucent portion.

筐体の壁部の全体が透光部となっていてもよい。この場合、補正光が壁部の全体で拡散し、補正光を十分に均一な状態で光電面に導光できる。 The entire wall portion of the housing may be a translucent portion. In this case, the correction light is diffused over the entire wall portion, and the correction light can be guided to the photoelectric surface in a sufficiently uniform state.

補正光源部は、光源と透光部とを光学的に結合する光結合部を有していてもよい。光結合部の採用により、補正光源部における光源の配置の自由度を高めることができる。 The correction light source unit may have an optical coupling unit that optically couples the light source and the translucent unit. By adopting the optical coupling unit, the degree of freedom in arranging the light source in the correction light source unit can be increased.

光結合部は、光拡散性部材によって構成され、壁部における信号出力部側の端部と対向していてもよい。光結合部に光拡散性を持たせることにより、補正光を一層十分に均一な状態で光電面に導光できる。また、光結合部が壁部における信号出力部側の端部と対向することで、光結合部と透光部との間の補正光のロスを抑えることができる。 The optical coupling portion may be formed of a light diffusing member and may face the end portion of the wall portion on the signal output portion side. By providing the optical coupling portion with light diffusivity, the corrected light can be guided to the photoelectric surface in a more sufficiently uniform state. Further, since the optical coupling portion faces the end portion of the wall portion on the signal output portion side, the loss of correction light between the optical coupling portion and the translucent portion can be suppressed.

光結合部は、信号出力部と対向する貫通孔を有する環状部材であり、貫通孔の内壁面は、孔用遮光性部材によって覆われていてもよい。この場合、信号出力部を透過して補正光が電子管の内部空間に入り込むことを抑制できる。 The optical coupling portion is an annular member having a through hole facing the signal output portion, and the inner wall surface of the through hole may be covered with a light-shielding member for holes. In this case, it is possible to prevent the correction light from entering the internal space of the electron tube through the signal output unit.

光電面及び陽極への供給電力を分圧する分圧部を更に備え、補正光源部及び分圧部は、光結合部と一体化され、電子管に対して着脱自在に嵌合していてもよい。この場合、光結合部に電子管の駆動及び制御に関わる構成が一体化されているので、電子管ユニットの取り扱いが容易となる。 A pressure dividing portion for dividing the power supplied to the photoelectric surface and the anode may be further provided, and the correction light source portion and the pressure dividing portion may be integrated with the optical coupling portion and may be detachably fitted to the electron tube. In this case, since the configuration related to the driving and control of the electron tube is integrated in the optical coupling portion, the handling of the electron tube unit becomes easy.

補正光源部は、光源から出力した補正光の光量を減衰させる減光部材を有していてもよい。この場合、過剰な光量の補正光が光電面に入力されることを抑制できる。したがって、光電面の保護が図られる。 The correction light source unit may have a dimming member that attenuates the amount of correction light output from the light source. In this case, it is possible to prevent the correction light having an excessive amount of light from being input to the photoelectric surface. Therefore, the photoelectric surface is protected.

導光路の外側は、導光路用遮光性部材で覆われていてもよい。この場合、ノイズ光が導光路に入射することを抑制できる。 The outside of the light guide path may be covered with a light-shielding member for the light guide path. In this case, it is possible to suppress the noise light from entering the light guide path.

導光路用遮光性部材は、導光路を覆う第1の遮光性部材と、第1の遮光性部材よりも高い遮光性を有し、第1の遮光性部材を覆う第2の遮光性部材とによって構成されていてもよい。この場合、ノイズ光が導光路に入射することをより確実に抑制できる。 The light-shielding member for the light guide path includes a first light-shielding member that covers the light-shielding path and a second light-shielding member that has a higher light-shielding property than the first light-shielding member and covers the first light-shielding member. It may be composed of. In this case, it is possible to more reliably suppress the noise light from entering the light guide path.

信号出力部は、第1の遮光性部材よりも低い遮光性を有する信号出力部用遮光性部材を備えていてもよい。この場合、信号出力部を透過してノイズ光が電子管の内部空間に入り込むことを抑制できる。 The signal output unit may include a light-shielding member for the signal output unit, which has a light-shielding property lower than that of the first light-shielding member. In this case, it is possible to prevent noise light from entering the internal space of the electron tube through the signal output unit.

本開示の一側面に係る電子管用ソケットは、光の入射に応じて光電子を放出する光電面と、光電子に基づく信号を生成する陽極とを筐体の内部空間に収容してなる電子管に着脱自在に嵌合し、電子管への補正光を出力する光源を有する補正光源部を備えた電子管用ソケットであって、電子管の光電面及び陽極への供給電力を分圧する分圧部を備え、電子管に嵌合した状態において、補正光源部からの補正光が内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって光電面に導光される。 The electron tube socket according to one aspect of the present disclosure is detachably attached to an electron tube in which a photoelectric surface that emits photoelectrons in response to light incident and an anode that generates a signal based on photoelectrons are housed in an internal space of a housing. A socket for an electron tube provided with a correction light source unit having a light source that is fitted to and outputs correction light to the electron tube. The electron tube is provided with a pressure dividing unit that divides the power supplied to the photoelectric surface and the anode of the electron tube. In the fitted state, the correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space.

この電子管用ソケットを装着した電子管では、補正光源部からの補正光が内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって光電面に導光される。したがって、電子管内の内部構造物(陽極など)に補正光が当たってしまうことを回避でき、補正光を安定して光電面に導光できる。これにより、電子管の感度ドリフトの補正を精度良く実施することができる。また、このソケットは、電子管に対して着脱自在となっている。したがって、電子管及び補正光源部の交換が容易となる。ソケットに分圧部が一体化されていることで電子管の駆動も容易となる。 In the electron tube equipped with the electron tube socket, the correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space. Therefore, it is possible to prevent the correction light from hitting the internal structure (anode or the like) in the electron tube, and the correction light can be stably guided to the photoelectric surface. As a result, the sensitivity drift of the electron tube can be corrected with high accuracy. Further, this socket is detachable from the electron tube. Therefore, the electron tube and the correction light source unit can be easily replaced. Since the voltage dividing part is integrated in the socket, it becomes easy to drive the electron tube.

補正光源部は、光源と光学的に結合する光結合部を有していてもよい。光結合部の採用により、補正光源部における光源の配置の自由度を高めることができる。 The correction light source unit may have an optical coupling unit that optically couples with the light source. By adopting the optical coupling unit, the degree of freedom in arranging the light source in the correction light source unit can be increased.

光結合部は、光拡散性部材によって構成されていてもよい。光結合部に光拡散性を持たせることにより、補正光を一層十分に均一な状態で光電面に導光できる。 The light coupling portion may be composed of a light diffusing member. By providing the optical coupling portion with light diffusivity, the corrected light can be guided to the photoelectric surface in a more sufficiently uniform state.

光結合部は、貫通孔を有する環状部材であり、貫通孔の内壁面は、孔用遮光性部材によって覆われていてもよい。この場合、導光路以外の箇所から補正光が電子管内に入り込むことを抑制できる。 The optical coupling portion is an annular member having a through hole, and the inner wall surface of the through hole may be covered with a light-shielding member for the hole. In this case, it is possible to prevent the correction light from entering the electron tube from a location other than the light guide path.

補正光源部は、光源から出力した補正光の光量を減衰させる減光部材を有していてもよい。この場合、過剰な光量の補正光が光電面に入力されることを抑制できる。したがって、光電面の保護が図られる。 The correction light source unit may have a dimming member that attenuates the amount of correction light output from the light source. In this case, it is possible to prevent the correction light having an excessive amount of light from being input to the photoelectric surface. Therefore, the photoelectric surface is protected.

本開示によれば、補正光を安定して光電面に導光できる。 According to the present disclosure, the correction light can be stably guided to the photoelectric surface.

光電子増倍管ユニットの一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of a photomultiplier tube unit. 図1に示した光電子増倍管ユニットの断面図である。It is sectional drawing of the photomultiplier tube unit shown in FIG. 光電子増倍管の内部構成を示す概略的な断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the internal structure of a photomultiplier tube. 光電子増倍管に装着されたソケットを厚さ方向から見た図である。It is the figure which looked at the socket attached to the photomultiplier tube from the thickness direction. 補正光源部の光源の周囲の構成を示す要部拡大図である。It is an enlarged view of the main part which shows the structure around the light source of the correction light source part. 補正光の導光経路を示す概略的な断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the light guide path of the correction light. 補正機構の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of a correction mechanism. 補正光源部の光源の周囲の構成の別例を示す要部拡大図である。It is an enlarged view of the main part which shows another example of the structure around the light source of the correction light source part. 補正機構の別例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows another example of a correction mechanism. 光電子増倍管ユニットの変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the photomultiplier tube unit. 図10に示した光電子増倍管ユニットの側面図である。It is a side view of the photomultiplier tube unit shown in FIG.

以下、図面を参照しながら、本開示の一側面に係る電子管ユニット及び電子管用ソケットの好適な実施形態について詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the electron tube unit and the electron tube socket according to one aspect of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings.

本実施形態では、電子管ユニットの一形態として光電子増倍管ユニットを例示する。図1は、光電子増倍管ユニットの一実施形態を示す斜視図である。また、図2は、図1に示した光電子増倍管ユニットの断面図である。図1及び図2に示すように、光電子増倍管ユニット(電子管ユニット)1は、バルブ(筐体)12の内部空間Sに増倍部23を収容してなる光電子増倍管(電子管)11をケース(導波路用遮光性部材/第2の遮光性部材)2内に配置することによって構成されている。 In this embodiment, a photomultiplier tube unit is illustrated as one form of the electron tube unit. FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a photomultiplier tube unit. Further, FIG. 2 is a cross-sectional view of the photomultiplier tube unit shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the photomultiplier tube unit (electron tube unit) 1 includes a photomultiplier tube (electron tube) 11 in which the multiplying portion 23 is housed in the internal space S of the valve (housing) 12. Is arranged in the case (light-shielding member for waveguide / second light-shielding member) 2.

ケース2は、例えばパーマロイなどの磁性材料である合金材料によって形成された磁気シールドケースである。ケース2は、光電子増倍管11をその内部空間に収容できるように、光電子増倍管11よりも僅かに大径の円筒状をなしている。ケース2の表面には、遮光処理がなされていてもよい。遮光処理としては、例えば黒色を呈する樹脂や塗料によるコーティングが挙げられる。ケース2の先端側は、光電子増倍管11の光入射窓部13の光入射面13a(後述する)を露出させるように開放しており、ケース2の基端面2aは、閉塞している。光電子増倍管11は、バルブ12の先端位置(光入射窓部13の光入射面13a)とケース2の先端位置とを揃えた状態でケース2内に収容されている。ケース2の基端面2aには、光電子増倍管11からの出力信号の出力に用いられる信号出力コネクタ3、及び光電子増倍管11への電圧の供給に用いられる電圧供給コネクタ4などが取り付けられている。これらのコネクタは、図示しない配線部によって光電子増倍管11と電気的に接続されている。 Case 2 is a magnetic shield case formed of an alloy material which is a magnetic material such as permalloy. The case 2 has a cylindrical shape having a diameter slightly larger than that of the photomultiplier tube 11 so that the photomultiplier tube 11 can be accommodated in its internal space. The surface of the case 2 may be light-shielded. Examples of the light-shielding treatment include coating with a resin or paint that exhibits a black color. The tip end side of the case 2 is open so as to expose the light incident surface 13a (described later) of the light incident window portion 13 of the photomultiplier tube 11, and the base end surface 2a of the case 2 is closed. The photomultiplier tube 11 is housed in the case 2 with the tip position of the bulb 12 (the light incident surface 13a of the light incident window portion 13) aligned with the tip position of the case 2. A signal output connector 3 used for outputting an output signal from the photomultiplier tube 11 and a voltage supply connector 4 used for supplying voltage to the photomultiplier tube 11 are attached to the base end surface 2a of the case 2. ing. These connectors are electrically connected to the photomultiplier tube 11 by a wiring portion (not shown).

ケース2の内壁面と光電子増倍管11(より具体的には後述する遮光性部材16)の外壁面との間には、複数のスペーサKが設けられている。スペーサKは、ケース2内で光電子増倍管11を位置決めし、がたつきを抑制する。また、スペーサKは、ケース2の内壁面と光電子増倍管11の外壁面との間の空間内をノイズ光が進行することを抑制する遮光機能も備えている。なお、ノイズ光には、光電子増倍管ユニット1の外部からのノイズ光が含まれ得る。また、ノイズ光には、光電子増倍管ユニット1の内部での発光(例えば後述する補正光Lの意図しない漏れ光や各種電気素子における放電発光等)に基づくノイズ光が含まれ得る。 A plurality of spacers K are provided between the inner wall surface of the case 2 and the outer wall surface of the photomultiplier tube 11 (more specifically, the light-shielding member 16 described later). The spacer K positions the photomultiplier tube 11 in the case 2 and suppresses rattling. Further, the spacer K also has a light-shielding function of suppressing the progress of noise light in the space between the inner wall surface of the case 2 and the outer wall surface of the photomultiplier tube 11. The noise light may include noise light from the outside of the photomultiplier tube unit 1. Further, the noise light may include noise light based on light emission inside the photomultiplier tube unit 1 (for example, unintended leakage light of the correction light L described later, discharge light emission in various electric elements, etc.).

図3は、光電子増倍管11の内部構成を示す概略的な断面図である。光電子増倍管11は、バルブ12の先端側から光を入射させるヘッドオン型の光電子増倍管である。バルブ12は、両端が閉塞した円筒形のガラスバルブである。バルブ12の先端側は、光が入射する光入射窓部13となっている。光入射窓部13は、光入射面13aを構成する光入射窓Wを備えている。バルブ12の基端側は、光の入射に応じて光電子増倍管11から出力される信号の取り出し側となる信号出力部14となっている。信号出力部14の中央部分からは、バルブ12の内部空間を真空排気する際に用いる排気管Tが突出している。また、信号出力部14における排気管Tの周囲からは、光電子に基づく信号(光電子が増倍部23で二次電子増倍された結果の電子群による出力信号)を生成する陽極24からの信号を外部に出力するための複数の端子26が突出している。バルブ12の周面は、光入射窓部13と信号出力部14とを繋ぐ側壁部(壁部)15となっている。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the internal configuration of the photomultiplier tube 11. The photomultiplier tube 11 is a head-on type photomultiplier tube that allows light to enter from the tip side of the bulb 12. The bulb 12 is a cylindrical glass bulb with both ends closed. The tip end side of the bulb 12 is a light incident window portion 13 on which light is incident. The light incident window portion 13 includes a light incident window W constituting the light incident surface 13a. The base end side of the bulb 12 is a signal output unit 14 which is a take-out side of a signal output from the photomultiplier tube 11 in response to the incident of light. An exhaust pipe T used for vacuum exhausting the internal space of the valve 12 projects from the central portion of the signal output unit 14. Further, from the periphery of the exhaust pipe T in the signal output unit 14, a signal from the anode 24 that generates a signal based on photoelectrons (an output signal by a group of electrons as a result of photomultipliers of photoelectrons in the multiplication unit 23). A plurality of terminals 26 for outputting the power to the outside are projected. The peripheral surface of the bulb 12 is a side wall portion (wall portion) 15 that connects the light incident window portion 13 and the signal output portion 14.

バルブ12の外面側には、遮光性部材(導波路用遮光性部材/第1の遮光性部材)16が設けられている(図6参照)。遮光性部材16は、例えば黒色を呈する熱収縮性チューブによって構成され、バルブ12の外面側に密着している。本実施形態では、遮光性部材16は、光入射窓部13(特に光入射面13a)及び信号出力部14における排気管Tや端子26の突出領域を除き、バルブ12における側壁部15の全面と信号出力部14の縁部とを覆うように設けられている。遮光性部材16は、遮光性のほか、電気絶縁性を有していることが好ましい。 A light-shielding member (light-shielding member for waveguide / first light-shielding member) 16 is provided on the outer surface side of the valve 12 (see FIG. 6). The light-shielding member 16 is composed of, for example, a heat-shrinkable tube having a black color, and is in close contact with the outer surface side of the bulb 12. In the present embodiment, the light-shielding member 16 covers the entire surface of the side wall portion 15 of the bulb 12 except for the light incident window portion 13 (particularly the light incident surface 13a) and the protruding region of the exhaust pipe T and the terminal 26 in the signal output portion 14. It is provided so as to cover the edge portion of the signal output unit 14. The light-shielding member 16 preferably has electrical insulation as well as light-shielding property.

図3に示すように、バルブ12の内部空間Sには、光電面21、集束電極22、増倍部23、陽極24が配置されている。光電面21は、光入射窓Wの内側に設けられている。光電面21は、光の入射に応じて光電子を放出する光電子放出材料によって形成されている。光電子放出材料としては、例えばSb(アンチモン)とアルカリ金属(Cs:セシウム、K:カリウム、Rb:ルビジウムなど)が挙げられる。光電子放出材料は、Te(テルル)と上記アルカリ金属であってもよい。集束電極22は、光入射窓Wに対向する位置に配置されている。集束電極22の中央には、開口22aが形成されている。この開口22aは、光電面21で発生した光電子の増倍部23への入口となる。 As shown in FIG. 3, a photoelectric surface 21, a focusing electrode 22, a multiplying portion 23, and an anode 24 are arranged in the internal space S of the bulb 12. The photoelectric surface 21 is provided inside the light incident window W. The photoelectric surface 21 is formed of a photoelectron emitting material that emits photoelectrons in response to light incident. Examples of the photoelectron emitting material include Sb (antimony) and alkali metals (Cs: cesium, K: potassium, Rb: rubidium, etc.). The photoelectron emitting material may be Te (tellurium) and the above-mentioned alkali metal. The focusing electrode 22 is arranged at a position facing the light incident window W. An opening 22a is formed in the center of the focusing electrode 22. The opening 22a serves as an entrance to the photomultiplier tube 23 generated on the photoelectric surface 21.

増倍部23は、図3の例では、複数段のボックス・アンド・グリッド型のダイノード25によって構成されている。これらのダイノード25は、半円筒形の面を分割した形状をなしている。半円筒形の面の内面は、二次電子面となると共に、分割面の一方が電子の入射面となっており、分割面の他方が電子の出射面となっている。入射面には、導電性部材によるメッシュ(不図示)が設けられている。このメッシュにより、電子がダイノード25の奥により確実に誘導される。各段のダイノード25では、二次電子面への衝突によって二次電子が放出される。二次電子は、次段のダイノード25に入射することで順次増倍され、最終段の板状のダイノード25の前面に配置されたメッシュ状の陽極24によって捕集される。 In the example of FIG. 3, the multiplication unit 23 is composed of a plurality of box-and-grid type dynodes 25. These dynodes 25 have a semi-cylindrical surface divided into shapes. The inner surface of the semi-cylindrical surface is a secondary electron surface, one of the divided surfaces is an incident surface of electrons, and the other of the divided surfaces is an electron emitting surface. A mesh (not shown) made of a conductive member is provided on the incident surface. This mesh ensures that electrons are guided deeper into the dynode 25. At the dynode 25 in each stage, secondary electrons are emitted by collision with the secondary electron surface. The secondary electrons are sequentially multiplied by incident on the next-stage dynode 25, and are collected by the mesh-shaped anode 24 arranged in front of the final-stage plate-shaped dynode 25.

光電子増倍管11において、バルブ12の信号出力部14側には、図2に示すように、ソケット30が設けられている。ソケット30は、バルブ12の信号出力部14側に着脱自在に嵌合するソケット本体部31に、分圧部33、複数の貫通電極32、及び後述する補正光源部42を一体化した構成を有している。ソケット30は、ケース2内において基端面2aと光電子増倍管11との間に形成された空間に配置されている。 In the photomultiplier tube 11, a socket 30 is provided on the signal output unit 14 side of the valve 12 as shown in FIG. The socket 30 has a configuration in which a voltage dividing portion 33, a plurality of through electrodes 32, and a correction light source portion 42 described later are integrated with a socket main body portion 31 that is detachably fitted to the signal output portion 14 side of the bulb 12. doing. The socket 30 is arranged in the space formed between the base end surface 2a and the photomultiplier tube 11 in the case 2.

ソケット本体部31は、所定の光拡散性を有する光拡散性部材によって環状に形成されている。光拡散性部材としては、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などの所定の透光性を有する樹脂材料が挙げられる。ソケット本体部31の中央部分には、当該ソケット本体部31を厚さ方向に貫通する貫通孔31aが設けられている。貫通孔31aは、例えばバルブ12の信号出力部14から突出する排気管Tを収容する。貫通孔31aには、光電子増倍管11とソケット30との接続を補助するための接続部材34が封止されている。 The socket main body 31 is formed in an annular shape by a light diffusing member having a predetermined light diffusing property. Examples of the light diffusing member include a resin material having a predetermined translucency such as polytetrafluoroethylene (PTFE). A through hole 31a that penetrates the socket body 31 in the thickness direction is provided in the central portion of the socket body 31. The through hole 31a accommodates, for example, an exhaust pipe T protruding from the signal output unit 14 of the valve 12. The through hole 31a is sealed with a connecting member 34 for assisting the connection between the photomultiplier tube 11 and the socket 30.

接続部材34は、例えばシリコーン樹脂などの遮光性や電気絶縁性に優れた樹脂材料によって形成され、貫通孔31aの内壁、信号出力部14、及び排気管Tにそれぞれ密着している。接続部材34は、ノイズ光が貫通孔31aを介して信号出力部14を透過し、光電子増倍管11の内部空間Sに入り込むことを抑制する。また、接続部材34は、貫通孔31aを介しての放電などを抑制する。 The connecting member 34 is formed of, for example, a resin material having excellent light-shielding and electrical insulating properties such as silicone resin, and is in close contact with the inner wall of the through hole 31a, the signal output unit 14, and the exhaust pipe T, respectively. The connecting member 34 suppresses noise light from passing through the signal output unit 14 through the through hole 31a and entering the internal space S of the photomultiplier tube 11. Further, the connecting member 34 suppresses electric discharge or the like through the through hole 31a.

ソケット本体部31における信号出力部14との対向面である一方面31Aには、複数の端子26と対向する位置に複数の孔部31cがそれぞれ設けられている。孔部31c内には、端子26と電気的に接続される貫通電極32の基端側(端子26側)が埋設されている。端子26を孔部31cに差し込み、孔部31c内で端子26を貫通電極32と嵌合することで、端子26と貫通電極32とが電気的に接続されると共に、ソケット30が光電子増倍管11に対して着脱自在に固定される。図3では、簡単化のため、孔部31c内での貫通電極32と端子26との接続状態を1組のみ図示している。 A plurality of holes 31c are provided at positions facing the plurality of terminals 26 on the one surface 31A which is the surface of the socket body 31 facing the signal output unit 14. The proximal end side (terminal 26 side) of the through electrode 32 electrically connected to the terminal 26 is embedded in the hole 31c. By inserting the terminal 26 into the hole 31c and fitting the terminal 26 with the through electrode 32 in the hole 31c, the terminal 26 and the through electrode 32 are electrically connected, and the socket 30 is a photomultiplier tube. It is detachably fixed to 11. In FIG. 3, for simplification, only one set of the connection state between the through electrode 32 and the terminal 26 in the hole 31c is shown.

貫通孔31aの内壁面には、遮光性部材(孔用遮光性部材)35が設けられている。遮光性部材35は、例えばシリコーン樹脂によって形成され、貫通孔31aの内壁面の全面を覆うように設けられている。また、ソケット本体部31の外周面には、フランジ31bが設けられている。フランジ31bにより、光電子増倍管11にソケット30を着脱する際の作業性が向上し、着脱時にソケット本体部31の周囲の貫通電極32や分圧部33などに触れずに作業することが可能となる。また、ケース2内での光電子増倍管11のがたつきを抑えることができる。 A light-shielding member (light-shielding member for holes) 35 is provided on the inner wall surface of the through hole 31a. The light-shielding member 35 is formed of, for example, a silicone resin, and is provided so as to cover the entire inner wall surface of the through hole 31a. Further, a flange 31b is provided on the outer peripheral surface of the socket main body 31. The flange 31b improves workability when attaching and detaching the socket 30 to and from the photomultiplier tube 11, and it is possible to work without touching the through electrodes 32 and the pressure dividing portion 33 around the socket body 31 when attaching and detaching. It becomes. In addition, rattling of the photomultiplier tube 11 in the case 2 can be suppressed.

分圧部33は、光電面21及び陽極24への供給電力を分圧する部分である。分圧部33は、電圧供給コネクタ4から供給される電圧を分圧する複数の抵抗素子などを基板上に備えた分圧回路である。より具体的には、分圧部33は、分圧した電圧を光電面21、陽極24、集束電極22、及び増倍部23の各段のダイノード25に供給する。複数の貫通電極32の先端側は、ソケット本体部31における一方面31Aと反対側の他方面31Bから突出し、基板36を貫通して分圧部33とそれぞれ電気的に接続されている。これらの貫通電極32は、ピン形状をなしており、図4に示すように、ソケット本体部31の厚さ方向から見て一定の位相角をもって環状に配置されている。貫通電極32の基端側は、バルブ12の信号出力部14から突出する端子26とソケット本体部31の孔部31c内で接続され、当該端子26を介して光電面21、陽極24、集束電極22、及び増倍部23の各段のダイノード25に電気的に接続されている。 The pressure dividing portion 33 is a portion that divides the power supplied to the photoelectric surface 21 and the anode 24. The voltage dividing unit 33 is a voltage dividing circuit provided on a substrate with a plurality of resistance elements or the like that divide the voltage supplied from the voltage supply connector 4. More specifically, the voltage dividing unit 33 supplies the divided voltage to the dynode 25 at each stage of the photoelectric surface 21, the anode 24, the focusing electrode 22, and the multiplying unit 23. The tip sides of the plurality of through electrodes 32 project from the other surface 31B on the opposite side of the socket body 31 from the one surface 31A, penetrate the substrate 36, and are electrically connected to the voltage dividing portion 33, respectively. These through electrodes 32 have a pin shape, and as shown in FIG. 4, are arranged in an annular shape with a constant phase angle when viewed from the thickness direction of the socket body 31. The proximal end side of the through electrode 32 is connected to the terminal 26 protruding from the signal output portion 14 of the bulb 12 in the hole portion 31c of the socket body portion 31, and the photoelectric surface 21, the anode 24, and the focusing electrode are connected via the terminal 26. It is electrically connected to the die nodes 25 of each stage of the 22 and the multiplying portion 23.

上述した光電子増倍管ユニット1には、光電子増倍管11の感度ドリフトを補正するための補正機構が設けられている。以下、この補正機構について詳細に説明する。 The photomultiplier tube unit 1 described above is provided with a correction mechanism for correcting the sensitivity drift of the photomultiplier tube 11. Hereinafter, this correction mechanism will be described in detail.

補正機構は、補正光L(図6参照)を出力する光源44を有する補正光源部42と、補正光Lを光電面21に導光する導光路43とを含んで構成されている。補正光源部42は、光入射窓部13(特に光入射面13a)よりも信号出力部14側に設けられている。光源44は、例えば半導体発光素子であるLEDによって構成されている。光源44の配置にあたり、本実施形態では、図4に示すように、ソケット本体部31において、管状に配置された貫通電極32の配置領域の一箇所に貫通電極32が配置されない空き領域が設けられており、当該空き領域に光源44が挿入されている。 The correction mechanism includes a correction light source unit 42 having a light source 44 that outputs the correction light L (see FIG. 6), and a light guide path 43 that guides the correction light L to the photoelectric surface 21. The correction light source unit 42 is provided on the signal output unit 14 side of the light incident window unit 13 (particularly, the light incident surface 13a). The light source 44 is composed of, for example, an LED which is a semiconductor light emitting element. In arranging the light source 44, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, in the socket main body 31, an empty area in which the through electrode 32 is not arranged is provided in one place of the arrangement area of the through electrodes 32 arranged in a tubular shape. The light source 44 is inserted in the empty area.

空き領域には、図5に示すように、光源44の形状に応じた有底の凹部45が設けられ、光源44は、補正光Lの出射端が凹部45の底部を向くようにして凹部45内に埋設されている。凹部45の底部には、光源44における補正光Lの出射端と対向するように減光部材46が配置されている。減光部材46は、例えばエポキシ樹脂によって形成され、凹部45の底部を覆うように配置されている。減光部材46は、光源44から出力した補正光Lの光量を一定の度合いで減衰させる。 As shown in FIG. 5, the empty area is provided with a bottomed recess 45 corresponding to the shape of the light source 44, and the light source 44 has a recess 45 such that the emission end of the correction light L faces the bottom of the recess 45. It is buried inside. At the bottom of the recess 45, a dimming member 46 is arranged so as to face the emission end of the correction light L in the light source 44. The dimming member 46 is formed of, for example, an epoxy resin and is arranged so as to cover the bottom of the recess 45. The dimming member 46 attenuates the amount of correction light L output from the light source 44 to a certain degree.

また、光源44は、ソケット本体部31の他方面31B上に配置された基板36に固定されている。基板36には、光源44の駆動回路が設けられていてもよい。基板36は、光源44や貫通電極32が挿通する貫通孔を除いて他方面31Bを覆っている。そして、基板36の周縁は、ケース2の内壁面にまで至るため、基板36は、分圧部33側からのノイズ光を遮光する効果を奏する。 Further, the light source 44 is fixed to the substrate 36 arranged on the other surface 31B of the socket main body 31. The substrate 36 may be provided with a drive circuit for the light source 44. The substrate 36 covers the other surface 31B except for a through hole through which the light source 44 and the through electrode 32 are inserted. Since the peripheral edge of the substrate 36 reaches the inner wall surface of the case 2, the substrate 36 has an effect of blocking noise light from the voltage dividing portion 33 side.

導光路43は、バルブ12に形成された透光部47によって構成されている。本実施形態では、バルブ12の全体が透光性部材から形成され、より具体的にはガラスバルブである。このため、バルブ12の全体が補正光Lに対する透光性を有する(すなわち、補正光Lの伝達が可能な)透光部47となっている。したがって、バルブ12の側壁部15の全体が信号出力部14から光入射窓部13側に向かって連続して延びる透光部47となっている。本実施形態では、信号出力部14及び光入射窓部13の少なくとも一部も透光部47を構成している。信号出力部14から入射した補正光Lは、信号出力部14内、側壁部15内、及び光入射窓部13内で反射を繰り返すことで、光入射窓部13に設けられた光電面21まで伝達される。換言すれば、バルブ12の側壁部15を主体とする透光部47は、光入射窓部13と信号出力部14とに光学的に結合されている。また、透光部47(本実施形態では、特に信号出力部14)は、補正光源部42の光源44と対向した状態となっている。 The light guide path 43 is composed of a light transmitting portion 47 formed in the valve 12. In the present embodiment, the entire bulb 12 is formed of a translucent member, and more specifically, it is a glass bulb. Therefore, the entire bulb 12 is a translucent portion 47 having translucency with respect to the correction light L (that is, the correction light L can be transmitted). Therefore, the entire side wall portion 15 of the bulb 12 is a translucent portion 47 that continuously extends from the signal output portion 14 toward the light incident window portion 13 side. In the present embodiment, at least a part of the signal output unit 14 and the light incident window unit 13 also constitutes the light transmitting unit 47. The correction light L incident from the signal output unit 14 is repeatedly reflected in the signal output unit 14, the side wall portion 15, and the light incident window unit 13 to reach the photoelectric surface 21 provided in the light incident window unit 13. Be transmitted. In other words, the light transmitting portion 47 mainly composed of the side wall portion 15 of the bulb 12 is optically coupled to the light incident window portion 13 and the signal output portion 14. Further, the translucent unit 47 (in particular, the signal output unit 14 in this embodiment) is in a state of facing the light source 44 of the correction light source unit 42.

光源44と導光路43との間に位置するソケット本体部31は、光源44と透光部47とを光学的に結合する光結合部48となっている。光結合部48としてのソケット本体部31は、上述したように、一定の光拡散性を有する光拡散性部材によって構成されている。ソケット本体部31の一方面31Aがバルブ12の信号出力部14と面接触して密着するようにソケット30が光電子増倍管11に嵌合することで、光源44と透光部47とを十分な光伝達効率をもって光学的に結合させることができる。本実施形態では、ソケット本体部31は、バルブ12の側壁部15における信号出力部14側の端部とも対向している。したがって、光源44と透光部47との間の光伝達効率の更なる向上が図られる。 The socket main body 31 located between the light source 44 and the light guide path 43 is an optical coupling portion 48 that optically couples the light source 44 and the light transmitting portion 47. As described above, the socket main body 31 as the optical coupling portion 48 is composed of a light diffusing member having a constant light diffusing property. The light source 44 and the translucent portion 47 are sufficiently connected by fitting the socket 30 into the photomultiplier tube 11 so that one surface 31A of the socket main body 31 is in surface contact with the signal output portion 14 of the bulb 12 and is in close contact with the signal output portion 14. It can be optically coupled with high light transfer efficiency. In the present embodiment, the socket main body 31 also faces the end of the side wall 15 of the valve 12 on the signal output 14 side. Therefore, the light transmission efficiency between the light source 44 and the translucent portion 47 can be further improved.

ソケット本体部31には、上述したように、補正光源部42の光源44が埋設されており、かつ複数の貫通電極32及び分圧部33が固定されている。すなわち、本実施形態では、補正光源部42及び分圧部33は、光結合部48であるソケット本体部31と一体化され、ソケット30として光電子増倍管11に着脱自在に嵌合している。ソケット30を光電子増倍管11に嵌合した状態において、光結合部48であるソケット本体部31と透光部47とが光学的に結合し、補正光源部42からの補正光Lは、内部空間Sよりも外側の領域に設けられた導光路43によって光電面21に導光される。ソケット30を光電子増倍管11から脱抜する場合には、例えばソケット本体部31のフランジを把持し、バルブ12の信号出力部14から突出する端子26をソケット本体部31(貫通電極32)から取り外せばよい。これにより、複数の貫通電極32、分圧部33、及び補正光源部42は、ソケット本体部31と共に光電子増倍管11から取り外すことができる。 As described above, the light source 44 of the correction light source unit 42 is embedded in the socket main body 31, and the plurality of through electrodes 32 and the pressure dividing unit 33 are fixed. That is, in the present embodiment, the correction light source unit 42 and the pressure dividing unit 33 are integrated with the socket body unit 31 which is the optical coupling unit 48, and are detachably fitted to the photomultiplier tube 11 as the socket 30. .. In a state where the socket 30 is fitted to the photomultiplier tube 11, the socket body 31 and the translucent portion 47, which are the optical coupling portions 48, are optically coupled, and the correction light L from the correction light source portion 42 is inside. The light guide path 43 provided in the region outside the space S guides the light guide to the photoelectric surface 21. When the socket 30 is removed from the photomultiplier tube 11, for example, the flange of the socket body 31 is gripped, and the terminal 26 protruding from the signal output 14 of the valve 12 is removed from the socket body 31 (through electrode 32). You can remove it. As a result, the plurality of through electrodes 32, the voltage dividing portion 33, and the correction light source portion 42 can be removed from the photomultiplier tube 11 together with the socket main body portion 31.

図6は、補正光の導光経路を示す概略的な断面図である。図6に示すように、光源44から出力された補正光Lは、凹部45の底部に配置された減光部材46によって一定の光量の減衰を受けた後、ソケット本体部31内に入射する。ソケット本体部31内に入射した補正光Lは、ソケット本体部31が光拡散性部材によって構成されていることによりソケット本体部31内で拡散し、特定の指向性のない均一化された状態で、透光部47であるバルブ12を構成する透光性部材内に入射する。透光部47内に入射した補正光Lは、透光部47内で反射を繰り返し、更に拡散しながら進行する。具体的には、補正光Lは、透光部47としての信号出力部14、側壁部15、及び光入射窓部13を経て光電面21に入射する。 FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a light guide path of the correction light. As shown in FIG. 6, the correction light L output from the light source 44 is attenuated by a certain amount of light by the dimming member 46 arranged at the bottom of the recess 45, and then enters the socket main body 31. The correction light L incident on the socket main body 31 is diffused in the socket main body 31 because the socket main body 31 is composed of a light diffusing member, and is in a uniform state without a specific directivity. , It is incident on the translucent member constituting the valve 12 which is the translucent portion 47. The correction light L incident on the translucent portion 47 repeatedly reflects in the translucent portion 47 and further diffuses to proceed. Specifically, the correction light L is incident on the photoelectric surface 21 via the signal output unit 14, the side wall portion 15, and the light incident window portion 13 as the light transmitting portion 47.

光電子増倍管ユニット1には、補正機構と共に、補正光Lを適切に光電面21に導光するための遮光機構が設けられている。遮光機構は、ソケット本体部31における貫通孔31aの内壁面に設けられた遮光性部材(孔用遮光性部材)35と、バルブ12の外面側を覆う遮光性部材(導波路用遮光性部材/第1の遮光性部材)16と、光電子増倍管11を収容するケース(導波路用遮光性部材/第2の遮光性部材)2とによって構成されている。 The photomultiplier tube unit 1 is provided with a correction mechanism as well as a light-shielding mechanism for appropriately guiding the correction light L to the photoelectric surface 21. The light-shielding mechanism includes a light-shielding member (light-shielding member for holes) 35 provided on the inner wall surface of the through hole 31a in the socket body 31, and a light-shielding member (light-shielding member for waveguide / light-shielding member /) that covers the outer surface side of the bulb 12. It is composed of a first light-shielding member) 16 and a case (light-shielding member for a waveguide / second light-shielding member) 2 for accommodating a photomultiplier tube 11.

遮光性部材35は、ソケット本体部31における貫通孔31aの内壁面を覆うように設けられている。この遮光性部材35は、信号出力部14を透過して補正光Lが光電子増倍管11内に入り込むことを抑制する。本実施形態では、遮光性部材35は、特に、補正光Lが信号出力部14に設けられた排気管などを透過して内部空間Sに入射することを抑制する。遮光性部材16は、バルブ12における信号出力部14の縁部と側壁部15の全面とを覆うように設けられている。ケース2は、遮光性部材16よりも高い遮光性を有し、遮光性部材16を覆うように当該遮光性部材16の外側に配置されている。遮光性部材16及びケース2は、いずれも導光路43の外側に位置し、ノイズ光が導光路43に入射することを抑制する。 The light-shielding member 35 is provided so as to cover the inner wall surface of the through hole 31a in the socket main body 31. The light-shielding member 35 prevents the correction light L from entering the photomultiplier tube 11 through the signal output unit 14. In the present embodiment, the light-shielding member 35 particularly suppresses the correction light L from passing through the exhaust pipe or the like provided in the signal output unit 14 and entering the internal space S. The light-shielding member 16 is provided so as to cover the edge portion of the signal output portion 14 and the entire surface of the side wall portion 15 of the valve 12. The case 2 has a light-shielding property higher than that of the light-shielding member 16, and is arranged outside the light-shielding member 16 so as to cover the light-shielding member 16. Both the light-shielding member 16 and the case 2 are located outside the light guide path 43, and suppress the noise light from entering the light guide path 43.

図7は、補正機構の一例を示すブロック図である。図7の例では、光源制御回路101と、I/V変換部102と、マイコンモジュール103と、高圧電源104とが光電子増倍管ユニット1に対する外部回路として接続されている。光電子増倍管ユニット1は、これらの全て又は一部を含めて構成されていてもよい。光源制御回路101は、光源44であるLEDの駆動を制御する回路である。光源制御回路101は、光源44から出力される補正光Lの光量を検出する光センサ105からの検出信号に基づいて、光源44をフィードバック制御する。 FIG. 7 is a block diagram showing an example of the correction mechanism. In the example of FIG. 7, the light source control circuit 101, the I / V conversion unit 102, the microcomputer module 103, and the high-voltage power supply 104 are connected as an external circuit to the photomultiplier tube unit 1. The photomultiplier tube unit 1 may be configured to include all or a part of these. The light source control circuit 101 is a circuit that controls the drive of the LED that is the light source 44. The light source control circuit 101 feedback-controls the light source 44 based on the detection signal from the optical sensor 105 that detects the amount of the correction light L output from the light source 44.

補正機構は、光源44を駆動させた後、補正光Lの入射によって光電子増倍管11から出力される電流をI/V変換部102で電圧に変換し、この電圧値を初期値としてマイコンモジュール103のEEPROMに記憶させる。光源の駆動のタイミングは、マイコンモジュール103によって制御する。光電子増倍管11の感度ドリフトを補正する場合、光源44を駆動させた後、補正光Lの入射によって光電子増倍管11から出力される電流をI/V変換部102で電圧に変換し、マイコンモジュール103に入力する。そして、このマイコンモジュール103に入力される電圧値がEEPROMに記憶されている初期値と一致するように高圧電源104のコントロール電圧を調整し、光電子増倍管11に印加される電圧を制御する。 After driving the light source 44, the correction mechanism converts the current output from the photomultiplier tube 11 due to the incident of the correction light L into a voltage by the I / V conversion unit 102, and uses this voltage value as an initial value in the microcomputer module. It is stored in the EEPROM of 103. The timing of driving the light source is controlled by the microcomputer module 103. When correcting the sensitivity drift of the photomultiplier tube 11, after driving the light source 44, the current output from the photomultiplier tube 11 due to the incident of the correction light L is converted into a voltage by the I / V conversion unit 102. Input to the microcomputer module 103. Then, the control voltage of the high-voltage power supply 104 is adjusted so that the voltage value input to the microcomputer module 103 matches the initial value stored in the EEPROM, and the voltage applied to the photomultiplier tube 11 is controlled.

以上説明したように、光電子増倍管ユニット1では、補正光源部42からの補正光Lが内部空間Sよりも外側の領域に設けられた導光路43によって光電面21に導光される。したがって、この光電子増倍管ユニット1では、光電子増倍管11内の内部構造物(増倍部23や陽極24など)に補正光Lが当たってしまうことを回避でき、補正光Lを安定して光電面21に導光できる。これにより、光電子増倍管11の感度ドリフトの補正を精度良く実施することができる。 As described above, in the photomultiplier tube unit 1, the correction light L from the correction light source unit 42 is guided to the photoelectric surface 21 by the light guide path 43 provided in the region outside the internal space S. Therefore, in the photomultiplier tube unit 1, it is possible to prevent the correction light L from hitting the internal structure (multiplier portion 23, anode 24, etc.) in the photomultiplier tube 11, and stabilize the correction light L. Can guide light to the photoelectric surface 21. As a result, the sensitivity drift of the photomultiplier tube 11 can be corrected with high accuracy.

光電子増倍管ユニット1では、バルブ12の側壁部15の少なくとも一部が信号出力部14側から光入射窓部13側に向かって連続して延びる透光部47となっており、導光路43が透光部47によって構成されている。このように、バルブ12の側壁部15の少なくとも一部を透光部47による導光路43とすることで、光電子増倍管ユニット1の大型化を避けることができる。 In the photomultiplier tube unit 1, at least a part of the side wall portion 15 of the bulb 12 is a light transmitting portion 47 extending continuously from the signal output portion 14 side toward the light incident window portion 13 side, and is a light guide path 43. Is composed of a translucent portion 47. In this way, by forming at least a part of the side wall portion 15 of the valve 12 as the light guide path 43 by the light transmitting portion 47, it is possible to avoid increasing the size of the photomultiplier tube unit 1.

光電子増倍管ユニット1では、バルブ12の側壁部15の全体が透光部47となっている。これにより、透光部47が光入射窓部13と光学的に結合されていると共に、透光部47が補正光源部42の光源44と対向した状態となっている。これにより、補正光Lを一層安定して光電面21に導光できる。また、補正光Lが側壁部15の全体で拡散し、補正光Lを十分に均一な状態で光電面21に導光できる。 In the photomultiplier tube unit 1, the entire side wall portion 15 of the bulb 12 is a translucent portion 47. As a result, the light transmitting portion 47 is optically coupled to the light incident window portion 13, and the light transmitting portion 47 is in a state of facing the light source 44 of the correction light source unit 42. As a result, the correction light L can be guided to the photoelectric surface 21 more stably. Further, the correction light L is diffused over the entire side wall portion 15, and the correction light L can be guided to the photoelectric surface 21 in a sufficiently uniform state.

光電子増倍管ユニット1では、補正光源部42が光源44と透光部47とを光学的に結合する光結合部48を有している。本実施形態では、光電子増倍管11に着脱自在に固定されるソケット30を構成するソケット本体部31が光結合部48であり、光結合部48の採用により、補正光源部42における光源44の配置の自由度を高めることができる。 In the photomultiplier tube unit 1, the correction light source unit 42 has an optical coupling unit 48 that optically couples the light source 44 and the translucent unit 47. In the present embodiment, the socket main body 31 constituting the socket 30 detachably fixed to the photomultiplier tube 11 is the optical coupling portion 48, and by adopting the optical coupling portion 48, the light source 44 in the correction light source portion 42 The degree of freedom of placement can be increased.

光電子増倍管ユニット1では、光結合部48が光拡散性部材によって構成され、側壁部15における信号出力部14側の端部と対向している。光結合部48に光拡散性を持たせることにより、補正光Lを一層十分に均一な状態で光電面21に導光できる。また、光結合部48が側壁部15における信号出力部14側の端部と対向することで、光結合部48と透光部47との間の補正光Lのロスを抑えることができる。 In the photomultiplier tube unit 1, the optical coupling portion 48 is composed of a light diffusing member and faces the end portion of the side wall portion 15 on the signal output portion 14 side. By providing the optical coupling portion 48 with light diffusivity, the correction light L can be guided to the photoelectric surface 21 in a more sufficiently uniform state. Further, since the optical coupling portion 48 faces the end portion of the side wall portion 15 on the signal output portion 14 side, the loss of the correction light L between the optical coupling portion 48 and the light transmitting portion 47 can be suppressed.

光電子増倍管ユニット1では、光結合部48が信号出力部14と対向する貫通孔31aを有する環状部材であり、貫通孔31aの内壁面が遮光性部材35によって覆われている。これにより、信号出力部14を透過して補正光Lが光電子増倍管11の内部空間Sに入り込むことを抑制できる。 In the photomultiplier tube unit 1, the optical coupling portion 48 is an annular member having a through hole 31a facing the signal output portion 14, and the inner wall surface of the through hole 31a is covered with a light-shielding member 35. As a result, it is possible to prevent the correction light L from entering the internal space S of the photomultiplier tube 11 through the signal output unit 14.

光電子増倍管ユニット1では、補正光源部42が、光源44から出力した補正光Lの光量を減衰させる減光部材46を有している。これにより、過剰な光量の補正光Lが光電面21に入力されることを抑制できる。したがって、光電面21の保護が図られる。 In the photomultiplier tube unit 1, the correction light source unit 42 has a dimming member 46 that attenuates the amount of the correction light L output from the light source 44. As a result, it is possible to prevent the correction light L having an excessive amount of light from being input to the photoelectric surface 21. Therefore, the photoelectric surface 21 is protected.

光電子増倍管ユニット1は、光電面21及び陽極24への供給電力を分圧する分圧部33を備えている。そして、補正光源部42及び分圧部33は、光結合部48であるソケット本体部31と一体化され、ソケット30として光電子増倍管11に対して着脱自在に嵌合している。このような構成によれば、光結合部48であるソケット本体部31に光電子増倍管11の駆動及び制御に関わる構成が一体化されるので、光電子増倍管ユニット1の取り扱いが容易となる。また、光電子増倍管11に対するソケット30の着脱が容易となるため、光電子増倍管11、補正光源部42、及び分圧部33の交換が容易となる。 The photomultiplier tube unit 1 includes a pressure dividing unit 33 that divides the power supplied to the photoelectric surface 21 and the anode 24. The correction light source unit 42 and the pressure dividing unit 33 are integrated with the socket body unit 31 which is the optical coupling unit 48, and are detachably fitted to the photomultiplier tube 11 as the socket 30. According to such a configuration, the configuration related to the drive and control of the photomultiplier tube 11 is integrated with the socket main body 31 which is the optical coupling portion 48, so that the photomultiplier tube unit 1 can be easily handled. .. Further, since the socket 30 can be easily attached to and detached from the photomultiplier tube 11, the photomultiplier tube 11, the correction light source unit 42, and the voltage dividing unit 33 can be easily replaced.

光電子増倍管ユニット1では、導光路43の外側が遮光性部材16及び遮光性部材16よりも高い遮光性を有するケース2で覆われている。これにより、ノイズ光が導光路43に入射することを抑制できる。また、遮光性部材16は、補正光Lが透光部47の外部に透過することを抑制する。これにより、当該透過光がノイズ光として影響を及ぼすことが抑制されると共に、補正光Lの光量が所望の値に保たれる。 In the photomultiplier tube unit 1, the outside of the light guide path 43 is covered with a light-shielding member 16 and a case 2 having a light-shielding property higher than that of the light-shielding member 16. As a result, it is possible to prevent noise light from entering the light guide path 43. Further, the light-shielding member 16 suppresses the correction light L from being transmitted to the outside of the light-transmitting portion 47. As a result, the transmitted light is suppressed from being affected as noise light, and the amount of the correction light L is maintained at a desired value.

本開示は、上記実施形態に限られるものではなく、種々の変形を適用し得る。例えば上記実施形態では、光源44から出力した補正光Lがソケット本体部31内を通る構成となっているが、図8に示すように、ソケット本体部31内に導波路(光結合部)50を配置し、導波路50によって補正光Lを透光部47に導光してもよい。この場合、導波路50が光拡散性を有する部材によって構成されていてもよい。 The present disclosure is not limited to the above embodiment, and various modifications may be applied. For example, in the above embodiment, the correction light L output from the light source 44 passes through the socket main body 31, but as shown in FIG. 8, the waveguide (optical coupling portion) 50 is inside the socket main body 31. May be arranged, and the correction light L may be guided to the light transmitting portion 47 by the waveguide 50. In this case, the waveguide 50 may be composed of a member having light diffusivity.

また、図8の形態では、バルブ12の信号出力部14を覆うように、遮光性部材16よりも低い遮光性を有する遮光性部材(信号出力部用遮光性部材)17が設けられている。遮光性部材17は、例えばシリコーン樹脂によって形成され、電気絶縁性も兼ね備えている。この遮光性部材17により、ノイズ光が信号出力部14を透過して光電子増倍管11の内部空間Sに入り込むことを抑制できる。 Further, in the form of FIG. 8, a light-shielding member (light-shielding member for signal output unit) 17 having a light-shielding property lower than that of the light-shielding member 16 is provided so as to cover the signal output unit 14 of the bulb 12. The light-shielding member 17 is formed of, for example, a silicone resin, and also has electrical insulation. The light-shielding member 17 can prevent noise light from passing through the signal output unit 14 and entering the internal space S of the photomultiplier tube 11.

遮光性部材17は、バルブ12の外面側に設けられた遮光性部材16よりも低い遮光性を有するため、ある程度の光透過性を有する。つまり、遮光性部材17は、減光的な作用を備えるため、過剰な光量の補正光Lが光電面21に入力されることを抑制する。したがって、光電面21の保護が図られる。なお、図8の形態では、遮光性部材17と減光部材46の双方が設けられているが、必要な光量に応じて遮光性部材17及び減光部材46の一方のみが設けられていてもよい。遮光性部材17は、信号出力部14に別部材として設ける態様に限られず、信号出力部14を構成する材料に遮光性材料を混入させることによって形成する態様としてもよい。 Since the light-shielding member 17 has a lower light-shielding property than the light-shielding member 16 provided on the outer surface side of the bulb 12, it has a certain degree of light transmission. That is, since the light-shielding member 17 has a dimming effect, it suppresses the input of an excessive amount of correction light L to the photoelectric surface 21. Therefore, the photoelectric surface 21 is protected. In the form of FIG. 8, both the light-shielding member 17 and the dimming member 46 are provided, but even if only one of the light-shielding member 17 and the dimming member 46 is provided depending on the required amount of light. Good. The light-shielding member 17 is not limited to the mode provided as a separate member in the signal output unit 14, and may be formed by mixing the light-shielding material with the material constituting the signal output unit 14.

図9は、補正機構の別例を示すブロック図である。図9の例では、高圧電源104に代えて昇圧回路106が設けられており、この昇圧回路106と、光源制御回路101と、I/V変換部102と、マイコンモジュール103とがケース2内に配置され、ユニット化されている。これらの全て又は一部は、光電子増倍管ユニット1とは別体に構成されていてもよい。昇圧回路106には、例えばCW回路(コッククロフト・ウォルトン回路)が用いられる。この補正機構で光電子増倍管11の感度ドリフトを補正する場合、光源44を駆動させた後、補正光Lの入射によって光電子増倍管11から出力される電流をI/V変換部102で電圧に変換し、マイコンモジュール103に入力する。そして、このマイコンモジュール103に入力される電圧値がEEPROMに記憶されている初期値と一致するように昇圧回路106のコントロール電圧を調整し、光電子増倍管11に印加される電圧を制御する。 FIG. 9 is a block diagram showing another example of the correction mechanism. In the example of FIG. 9, a booster circuit 106 is provided in place of the high-voltage power supply 104, and the booster circuit 106, the light source control circuit 101, the I / V conversion unit 102, and the microcomputer module 103 are housed in the case 2. Arranged and unitized. All or part of these may be configured separately from the photomultiplier tube unit 1. For the booster circuit 106, for example, a CW circuit (Cockcroft-Walton circuit) is used. When correcting the sensitivity drift of the photomultiplier tube 11 with this correction mechanism, after driving the light source 44, the current output from the photomultiplier tube 11 due to the incident of the correction light L is voltageed by the I / V conversion unit 102. Is converted to and input to the microcomputer module 103. Then, the control voltage of the booster circuit 106 is adjusted so that the voltage value input to the microcomputer module 103 matches the initial value stored in the EEPROM, and the voltage applied to the photomultiplier tube 11 is controlled.

図10は、光電子増倍管ユニットの変形例を示す平面図である。また、図11は、その側面図である。図10及び図11に示す光電子増倍管ユニット61は、扁平な直方体形状をなすチップ状の光電子増倍管63をケース(導波路用遮光性部材)62内に収容して構成されている。なお、図10では、ケース62の略半分部分を切欠いて内部を示している。 FIG. 10 is a plan view showing a modified example of the photomultiplier tube unit. Further, FIG. 11 is a side view thereof. The photomultiplier tube unit 61 shown in FIGS. 10 and 11 is configured by accommodating a chip-shaped photomultiplier tube 63 having a flat rectangular parallelepiped shape in a case (light-shielding member for waveguide) 62. In FIG. 10, a substantially half portion of the case 62 is cut out to show the inside.

ケース2は、例えばABS樹脂などの電気絶縁性及び遮光性を有する材料によって形成されている。光電子増倍管63と分圧部64とは、ケース2内の一方側に上下2段に配置されている。ケース2の天面側には、光を入射させる開口部としての貫通孔66が光電子増倍管63の光電面65と対向する位置に設けられている。また、補正光源部67は、ケース2内の他方側に配置されている。光電子増倍管63及び分圧部64と補正光源部の光源74との間は、減光フィルタ(減光部材)68によって仕切られた状態となっている。 The case 2 is made of a material having electrical insulation and light-shielding properties, such as ABS resin. The photomultiplier tube 63 and the voltage dividing portion 64 are arranged in two upper and lower stages on one side in the case 2. On the top surface side of the case 2, a through hole 66 as an opening for incident light is provided at a position facing the photoelectric surface 65 of the photomultiplier tube 63. Further, the correction light source unit 67 is arranged on the other side in the case 2. The photomultiplier tube 63 and the voltage dividing section 64 and the light source 74 of the correction light source section are partitioned by a dimming filter (dimming member) 68.

光電子増倍管63の筐体69は、例えばシリコン基板を基材とする底部フレーム及び側壁フレームと、例えばガラス基板を基材とする面板フレーム(壁部)70とを結合することによって構成されている。筐体69の壁部のうち、面板フレーム70によって構成される壁部は、光電面65側に位置する光入射窓部71に相当する部分を有し、信号出力部72側から光入射窓部71側に向かって連続して延びる透光部73を構成している。この透光部73は、補正光Lを光電面21に導光する導光路75を形成している。 The housing 69 of the photomultiplier tube 63 is configured by, for example, connecting a bottom frame and a side wall frame based on a silicon substrate and a face plate frame (wall portion) 70 using a glass substrate as a base material. There is. Of the wall portions of the housing 69, the wall portion formed by the face plate frame 70 has a portion corresponding to the light incident window portion 71 located on the photoelectric surface 65 side, and the light incident window portion from the signal output portion 72 side. It constitutes a translucent portion 73 that continuously extends toward the 71 side. The light transmitting portion 73 forms a light guide path 75 that guides the correction light L to the photoelectric surface 21.

筐体69の壁部のうち、減光フィルタ68に面する壁部は、光電子増倍管63の陽極(不図示)側に位置する信号出力部72となっている。光電面65は、信号出力部72と反対側の壁部寄りの位置で、面板フレーム70と対向するように筐体69の内部空間Sに配置されている。内部空間Sにおける光電面65、増倍部、陽極等の機能は、光電子増倍管11と同様である。光電子増倍管63では、図10及び図11における面板フレーム70の長手方向に沿って、紙面左側から紙面右側に向かって光電面65、増倍部、陽極が順に配置され、増倍部による二次電子増倍が行われる。 Of the wall portions of the housing 69, the wall portion facing the dimming filter 68 is a signal output unit 72 located on the anode (not shown) side of the photomultiplier tube 63. The photoelectric surface 65 is arranged in the internal space S of the housing 69 so as to face the face plate frame 70 at a position near the wall portion on the opposite side of the signal output unit 72. The functions of the photoelectric surface 65, the multiplying portion, the anode, and the like in the internal space S are the same as those of the photomultiplier tube 11. In the photomultiplier tube 63, the photoelectric surface 65, the multiplying portion, and the anode are arranged in this order from the left side of the paper surface to the right side of the paper surface along the longitudinal direction of the face plate frame 70 in FIGS. Next electron multiplication is performed.

この光電子増倍管ユニット61では、光源44から出力した補正光Lは、減光フィルタ68によって一定の減衰を受けた後、減光フィルタ68に面する信号出力部72を通って面板フレーム70内に入射する。補正光Lの一部は、信号出力部72を通らずに面板フレーム70内に直接的に入射してもよい。面板フレーム70内に入射した補正光Lは、透光部73である面板フレーム70内で反射を繰り返し、拡散しながら光電面21に入射する。このような構成を有する光電子増倍管ユニット1においても、補正光源部42からの補正光Lが内部空間Sよりも外側の領域に設けられた導光路75によって光電面65に導光される。したがって、光電子増倍管ユニット61においても、光電子増倍管63内の内部構造物(増倍部や陽極など)に補正光Lが当たってしまうことを回避でき、補正光Lを安定して光電面65に導光できる。これにより、光電子増倍管63の感度ドリフトの補正を精度良く実施することができる。 In the photomultiplier tube unit 61, the correction light L output from the light source 44 receives a certain amount of attenuation by the dimming filter 68, and then passes through the signal output unit 72 facing the dimming filter 68 and enters the face plate frame 70. Incident in. A part of the correction light L may be directly incident on the face plate frame 70 without passing through the signal output unit 72. The correction light L incident on the face plate frame 70 repeatedly reflects in the face plate frame 70, which is the translucent portion 73, and is incident on the photoelectric surface 21 while diffusing. Even in the photomultiplier tube unit 1 having such a configuration, the correction light L from the correction light source unit 42 is guided to the photoelectric surface 65 by the light guide path 75 provided in the region outside the internal space S. Therefore, also in the photomultiplier tube unit 61, it is possible to prevent the correction light L from hitting the internal structure (multiplier portion, anode, etc.) in the photomultiplier tube 63, and the correction light L can be stably photoelectric. Light can be guided to the surface 65. As a result, the sensitivity drift of the photomultiplier tube 63 can be corrected with high accuracy.

上記実施形態では、いずれも光電子増倍管の筐体を構成する透光部をもって導光路としているが、光電子増倍管とは別個に導光路を設けてもよい。例えば光電子増倍管に沿うように配置した透光性部材を導光路としてもよい。この場合、当該透光性部材を遮光部材で覆うことが好ましい。また、補正光源部は、ソケットと一体化せずに別体として設けてもよく、ソケットを介することなく、直接導光路に補正光を入射する構成であってもよい。 In each of the above embodiments, the light-transmitting portion constituting the housing of the photomultiplier tube is used as the light guide path, but the light guide path may be provided separately from the photomultiplier tube. For example, a translucent member arranged along the photomultiplier tube may be used as a light guide path. In this case, it is preferable to cover the translucent member with a light-shielding member. Further, the correction light source unit may be provided as a separate body without being integrated with the socket, or may be configured to directly inject the correction light into the light guide path without passing through the socket.

1,61…光電子増倍管ユニット(電子管ユニット)、2…ケース(導波路用遮光性部材/第2の遮光性部材)、11,63…光電子増倍管(電子管)、12…バルブ(筐体)、13,71…光入射窓部、14,72…信号出力部、15…側壁部(壁部)、16…遮光性部材(導波路用遮光性部材/第1の遮光性部材)、17…遮光性部材(信号出力部用遮光性部材)、21,65…光電面、23…増倍部、24…陽極、30…ソケット、31…ソケット本体部、31a…貫通孔、33,64…分圧部、35…遮光性部材(孔用遮光性部材)、42,67…補正光源部、43,75…導光路、44,74…光源、46…減光部材、47,73…透光部、48…光結合部、50…導波路(光結合部)、62…ケース(導波路用遮光性部材)、68…減光フィルタ(減光部材)、69…筐体、70…面板フレーム(壁部)、L…補正光、S…内部空間。 1,61 ... Photomultiplier tube unit (electron tube unit), 2 ... Case (light-shielding member for waveguide / second light-shielding member), 11,63 ... Photomultiplier tube (electron tube), 12 ... Valve (housing) Body), 13,71 ... Light incident window, 14,72 ... Signal output, 15 ... Side wall (wall), 16 ... Light-shielding member (light-shielding member for waveguide / first light-shielding member), 17 ... Light-shielding member (light-shielding member for signal output section) 21,65 ... Photomultiplier tube, 23 ... Multiplier tube, 24 ... Anosome, 30 ... Socket, 31 ... Socket body, 31a ... Through hole, 33, 64 ... Pressure dividing unit, 35 ... Light-shielding member (light-shielding member for holes), 42, 67 ... Correction light source unit, 43, 75 ... Light guide path, 44, 74 ... Light source, 46 ... Dimming member, 47, 73 ... Transparent Optical part, 48 ... Optical coupling part, 50 ... Waveguide (optical coupling part), 62 ... Case (light-shielding member for waveguide), 68 ... Dimming filter (dimming member), 69 ... Housing, 70 ... Face plate Frame (wall), L ... correction light, S ... internal space.

Claims (16)

光の入射に応じて光電子を放出する光電面と、前記光電子に基づく信号を生成する陽極とを筐体の内部空間に収容してなる電子管と、
前記電子管への補正光を出力する光源を有する補正光源部と、を備えた電子管ユニットであって、
前記筐体は、前記光電面側に位置する光入射窓部と、前記陽極側に位置する信号出力部と、前記光入射窓部と前記信号出力部とを繋ぐ壁部と、を備え、
前記補正光源部は、前記筐体における前記光入射窓部よりも前記信号出力部側に配置され、
前記補正光源部からの前記補正光は、前記内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって前記光電面に導光され、
前記筐体の前記壁部の少なくとも一部は、前記信号出力部側から前記光入射窓部側に向かって連続して延びる透光部となっており、
前記導光路は、前記透光部によって構成され、
前記補正光源部は、前記光源と前記透光部とを光学的に結合する光結合部を有しており、
前記光結合部は、前記信号出力部と対向する貫通孔を有する環状部材であり、
前記貫通孔の内壁面は、孔用遮光性部材によって覆われている電子管ユニット。
An electron tube in which a photoelectric surface that emits photoelectrons in response to light incident and an anode that generates a signal based on the photoelectrons are housed in an internal space of a housing.
An electron tube unit including a correction light source unit having a light source for outputting correction light to the electron tube.
The housing includes a light incident window portion located on the photoelectric surface side, a signal output portion located on the anode side, and a wall portion connecting the light incident window portion and the signal output portion.
The correction light source unit is arranged closer to the signal output unit than the light incident window unit in the housing.
The correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space.
At least a part of the wall portion of the housing is a translucent portion that continuously extends from the signal output portion side toward the light incident window portion side.
The light guide path is composed of the light transmitting portion.
The correction light source unit has an optical coupling unit that optically couples the light source and the translucent unit.
The optical coupling portion is an annular member having a through hole facing the signal output portion.
An electron tube unit in which the inner wall surface of the through hole is covered with a light-shielding member for the hole.
前記光結合部は、光拡散性部材によって構成され、前記壁部における前記信号出力部側の端部と対向している請求項1記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to claim 1, wherein the optical coupling portion is formed of a light diffusing member and faces an end portion of the wall portion on the signal output portion side. 光の入射に応じて光電子を放出する光電面と、前記光電子に基づく信号を生成する陽極とを筐体の内部空間に収容してなる電子管と、
前記電子管への補正光を出力する光源を有する補正光源部と、を備えた電子管ユニットであって、
前記筐体は、前記光電面側に位置する光入射窓部と、前記陽極側に位置する信号出力部と、前記光入射窓部と前記信号出力部とを繋ぐ壁部と、を備え、
前記補正光源部は、前記筐体における前記光入射窓部よりも前記信号出力部側に配置され、
前記補正光源部からの前記補正光は、前記内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって前記光電面に導光され、
前記導光路の外側は、導光路用遮光性部材で覆われており、
前記導光路用遮光性部材は、前記導光路を覆う第1の遮光性部材と、前記第1の遮光性部材よりも高い遮光性を有し、前記第1の遮光性部材を覆う第2の遮光性部材とによって構成されている電子管ユニット。
An electron tube in which a photoelectric surface that emits photoelectrons in response to light incident and an anode that generates a signal based on the photoelectrons are housed in an internal space of a housing.
An electron tube unit including a correction light source unit having a light source for outputting correction light to the electron tube.
The housing includes a light incident window portion located on the photoelectric surface side, a signal output portion located on the anode side, and a wall portion connecting the light incident window portion and the signal output portion.
The correction light source unit is arranged closer to the signal output unit than the light incident window unit in the housing.
The correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space.
The outside of the light guide path is covered with a light-shielding member for the light guide path.
The light-shielding member for a light guide path has a first light-shielding member that covers the light guide path and a second light-shielding member that has a higher light-shielding property than the first light-shielding member and covers the first light-shielding member. An electron tube unit composed of a light-shielding member.
前記筐体の前記壁部の少なくとも一部は、前記信号出力部側から前記光入射窓部側に向かって連続して延びる透光部となっており、
前記導光路は、前記透光部によって構成されている請求項3記載の電子管ユニット。
At least a part of the wall portion of the housing is a translucent portion that continuously extends from the signal output portion side toward the light incident window portion side.
The electron tube unit according to claim 3, wherein the light guide path is composed of the light transmitting portion.
前記透光部は、前記光入射窓部と光学的に結合されている請求項4記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to claim 4, wherein the light transmitting portion is optically coupled to the light incident window portion. 前記透光部は、前記補正光源部の前記光源と対向している請求項4又は5記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to claim 4 or 5, wherein the translucent unit faces the light source of the correction light source unit. 前記筐体の前記壁部の全体が前記透光部となっている請求項4〜6のいずれか一項記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to any one of claims 4 to 6, wherein the entire wall portion of the housing is the translucent portion. 前記補正光源部は、前記光源と前記透光部とを光学的に結合する光結合部を有している請求項4〜7のいずれか一項記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to any one of claims 4 to 7, wherein the correction light source unit has an optical coupling unit that optically couples the light source and the light transmitting unit. 前記光結合部は、光拡散性部材によって構成され、前記壁部における前記信号出力部側の端部と対向している請求項8記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to claim 8, wherein the optical coupling portion is formed of a light diffusing member and faces the end portion of the wall portion on the signal output portion side. 前記光結合部は、前記信号出力部と対向する貫通孔を有する環状部材であり、
前記貫通孔の内壁面は、孔用遮光性部材によって覆われている請求項8又は9記載の電子管ユニット。
The optical coupling portion is an annular member having a through hole facing the signal output portion.
The electron tube unit according to claim 8 or 9, wherein the inner wall surface of the through hole is covered with a light-shielding member for the hole.
前記光電面及び前記陽極への供給電力を分圧する分圧部を更に備え、
前記補正光源部及び前記分圧部は、前記光結合部と一体化され、前記電子管に対して着脱自在に嵌合している請求項8〜10のいずれか一項記載の電子管ユニット。
Further provided with a voltage dividing portion for dividing the power supplied to the photoelectric surface and the anode.
The electron tube unit according to any one of claims 8 to 10, wherein the correction light source unit and the pressure dividing unit are integrated with the optical coupling unit and are detachably fitted to the electron tube.
前記補正光源部は、前記光源から出力した前記補正光の光量を減衰させる減光部材を有している請求項3〜11のいずれか一項記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to any one of claims 3 to 11, wherein the correction light source unit includes a dimming member that attenuates the amount of the correction light output from the light source. 前記信号出力部は、前記第1の遮光性部材よりも低い遮光性を有する信号出力部用遮光性部材を備えている請求項3〜12のいずれか一項記載の電子管ユニット。 The electron tube unit according to any one of claims 3 to 12, wherein the signal output unit includes a light-shielding member for a signal output unit having a light-shielding property lower than that of the first light-shielding member. 光の入射に応じて光電子を放出する光電面と、前記光電子に基づく信号を生成する陽極とを筐体の内部空間に収容してなる電子管に着脱自在に嵌合し、前記電子管への補正光を出力する光源を有する補正光源部を備えた電子管用ソケットであって、
前記電子管の前記光電面及び前記陽極への供給電力を分圧する分圧部を備え、
前記電子管に嵌合した状態において、前記補正光源部からの前記補正光が前記内部空間よりも外側の領域に設けられた導光路によって前記光電面に導光され、
前記補正光源部は、前記光源と光学的に結合する光結合部を有しており、
前記光結合部は、貫通孔を有する環状部材であり、
前記貫通孔の内壁面は、孔用遮光性部材によって覆われている電子管用ソケット。
A photoelectric surface that emits photoelectrons in response to light incident and an anode that generates a signal based on the photoelectrons are detachably fitted into an electron tube that is housed in the internal space of the housing, and correction light is applied to the electron tube. A socket for an electron tube provided with a correction light source unit having a light source for outputting
A voltage dividing portion for dividing the power supplied to the photoelectric surface of the electron tube and the anode is provided.
In the state of being fitted to the electron tube, the correction light from the correction light source unit is guided to the photoelectric surface by a light guide path provided in a region outside the internal space.
The correction light source unit has an optical coupling unit that optically couples with the light source.
The optical coupling portion is an annular member having a through hole, and is an annular member.
An electron tube socket in which the inner wall surface of the through hole is covered with a light-shielding member for the hole.
前記光結合部は、光拡散性部材によって構成されている請求項14記載の電子管用ソケット。 The electron tube socket according to claim 14 , wherein the optical coupling portion is composed of a light diffusing member. 前記補正光源部は、前記光源から出力した前記補正光の光量を減衰させる減光部材を有している請求項14又は15記載の電子管用ソケット。 The electronic tube socket according to claim 14 or 15 , wherein the correction light source unit has a dimming member that attenuates the amount of the correction light output from the light source.
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