JP7058908B2

JP7058908B2 - Cutting equipment

Info

Publication number: JP7058908B2
Application number: JP2017223468A
Authority: JP
Inventors: 剛史笠井; 健上原; 雅史佐藤
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-11-21
Filing date: 2017-11-21
Publication date: 2022-04-25
Anticipated expiration: 2037-11-21
Also published as: JP2019093465A

Description

本発明は、半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等の被加工物を切削する切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus for cutting workpieces such as semiconductor wafers, package substrates, ceramic substrates, and glass substrates.

半導体デバイスを搭載したデバイスチップは、半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等から形成される。交差する複数のストリートと呼ばれる分割予定ラインにより半導体ウェーハ等の表面を区画し、区画された各領域に半導体デバイスを形成し、その後、該半導体ウェーハ等を分割予定ラインに沿って分割すると個々のデバイスチップを形成できる。 A device chip on which a semiconductor device is mounted is formed of a semiconductor wafer, a package substrate, a ceramic substrate, a glass substrate, or the like. When the surface of a semiconductor wafer or the like is partitioned by a plurality of intersecting scheduled division lines, a semiconductor device is formed in each of the partitioned regions, and then the semiconductor wafer or the like is divided along the planned division line, the individual devices are formed. Can form chips.

半導体ウェーハ等の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が用いられる。切削装置では、切削ブレードを半導体ウェーハ等の被加工物の表面に対して垂直な面内に回転させ、回転する切削ブレードを所定の高さ位置に位置づけ、被加工物を分割予定ラインに沿う方向に加工送りすることで被加工物を切削加工する。 For dividing a semiconductor wafer or the like, for example, a cutting device provided with a cutting unit equipped with an annular cutting blade is used. In the cutting equipment, the cutting blade is rotated in a plane perpendicular to the surface of the workpiece such as a semiconductor wafer, the rotating cutting blade is positioned at a predetermined height position, and the workpiece is divided along the planned division line. The work piece is machined by feeding it.

切削ブレードを用いて被加工物を切削する際は、切削ブレードの刃先の下端が適切な高さ位置となるように該切削ユニットを所定の高さに位置付けるのが重要となる。切削加工時には、例えば、被加工物を保持するチャックテーブルの保持面の高さ位置に該刃先の下端が合うように、切削ユニットが基準の高さ位置に位置付けられる。切削加工を実施する前には、該刃先が該チャックテーブルの保持面の高さ位置に合うときの切削ユニットの高さ位置を導出するセットアップ工程が実施される。 When cutting a workpiece using a cutting blade, it is important to position the cutting unit at a predetermined height so that the lower end of the cutting edge of the cutting blade is at an appropriate height position. At the time of cutting, for example, the cutting unit is positioned at a reference height position so that the lower end of the cutting edge matches the height position of the holding surface of the chuck table that holds the workpiece. Before performing the cutting process, a setup step of deriving the height position of the cutting unit when the cutting edge matches the height position of the holding surface of the chuck table is performed.

切削装置において切削加工を繰り返し実施すると、円環状の切削ブレードが徐々に消耗し、切削ブレードの直径が小さくなる。すると、切削ブレードの刃先の下端の高さが所定の高さ位置から徐々にずれる。そのため、切削加工を繰り返し実施する間に適宜セットアップ工程が実施される。 When the cutting process is repeatedly performed in the cutting device, the annular cutting blade is gradually consumed and the diameter of the cutting blade becomes smaller. Then, the height of the lower end of the cutting edge of the cutting blade gradually deviates from the predetermined height position. Therefore, the setup process is appropriately performed while the cutting process is repeatedly performed.

従来、セットアップ工程は、切削ブレードを回転させながら徐々に降下させて、切削ブレード及びチャックテーブルの接触を検知することで実施していた。しかし、切削ブレードがチャックテーブルに接触すると、チャックテーブルが切削ブレードにより切削される。そのため、セットアップ工程を実施する度に切削ブレードの刃先に目詰まりや目潰れが発生して切削ブレードの切削能力が低下するとの問題を生じていた。そこで、非接触式のセットアップ工程が考案された（特許文献１参照）。 Conventionally, the setup process has been carried out by gradually lowering the cutting blade while rotating it to detect contact between the cutting blade and the chuck table. However, when the cutting blade comes into contact with the chuck table, the chuck table is cut by the cutting blade. Therefore, there has been a problem that the cutting ability of the cutting blade is lowered due to clogging or crushing of the cutting edge of the cutting blade every time the setup process is performed. Therefore, a non-contact setup process was devised (see Patent Document 1).

特開２００１－２９８００１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-298001

非接触式のセットアップ工程には、刃先検出ユニットが用いられる。刃先検出ユニットは、上方及び前後に開口した溝状の切削ブレード進入部を本体に備える。切削ブレード進入部の一方の側壁には発光部が設けられ、他方の側壁には受光部が設けられる。発光部と、受光部と、は略同一の高さ位置に設けられる。非接触式のセットアップ工程では、発光部から受光部に向けて光を放射させた状態で、切削ユニットを下降させ切削ブレードを切削ブレード進入部に進入させる。 A cutting edge detection unit is used in the non-contact setup process. The cutting edge detection unit is provided with a groove-shaped cutting blade entry portion that opens upward and front and back in the main body. A light emitting portion is provided on one side wall of the cutting blade approach portion, and a light receiving portion is provided on the other side wall. The light emitting unit and the light receiving unit are provided at substantially the same height position. In the non-contact setup process, the cutting unit is lowered to allow the cutting blade to enter the cutting blade approaching portion while the light is radiated from the light emitting portion toward the light receiving portion.

すると、光の一部が切削ブレードに遮られるため、受光部で受光される光の受光量が低下する。被接触式のセットアップ工程では、受光量が基準の受光量に達したとき切削ユニットが所定の高さに位置付けられたと判断される。しかし、切削装置を稼働させると光を遮る汚れ等が受光部に付着する場合がある。受光部に汚れが付着しているとセットアップ工程を適切に実施できないとの問題を生じる。そのため、該受光部に汚れが付着した場合、セットアップ工程を実施する前にこれを検知したいとの需要がある。 Then, since a part of the light is blocked by the cutting blade, the amount of light received by the light receiving unit decreases. In the contact-type setup process, it is determined that the cutting unit is positioned at a predetermined height when the light receiving amount reaches the reference light receiving amount. However, when the cutting device is operated, dirt or the like that blocks light may adhere to the light receiving portion. If the light receiving part is dirty, there is a problem that the setup process cannot be performed properly. Therefore, there is a demand for detecting when dirt adheres to the light receiving portion before performing the setup process.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、刃先検出ユニットに汚れが付着したか否かを容易に判定できる切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a cutting device capable of easily determining whether or not dirt has adhered to a cutting edge detection unit.

本発明の一態様によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着された切削ユニットと、該切削ユニットを該チャックテーブルに対して切り込み送り方向の前方に移動させる切り込み送りユニットと、該切削ブレードの刃先の該切り込み送り方向における位置を検出する刃先検出ユニットと、を備える切削装置であって、該刃先検出ユニットは、該切削ブレードが侵入するブレード進入部を挟んで対面する発光部及び受光部を備え、該切削ブレードが該ブレード進入部に進入した状態において該発光部で発せられ該受光部で受光される光の受光量から該切削ブレードの刃先の該切り込み送り方向における位置を検出する機能を有し、該受光部は、該発光部で発せられた該光が照射される受光窓と、該受光窓を経た該光を受光する受光素子と、を備え、該受光窓の該切り込み送り方向の該前方側又は後方側の形状は、円環状の該切削ブレードの刃先と径が同じ円弧であることを特徴とする切削装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, a chuck table for holding a workpiece, a cutting unit equipped with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the cutting unit are attached to the chuck table. A cutting device including a cutting feed unit that moves the cutting blade forward in the cutting feed direction and a cutting edge detection unit that detects the position of the cutting edge of the cutting blade in the cutting feed direction. The cutting edge detection unit is the cutting. It is provided with a light emitting part and a light receiving part facing each other across the blade approaching part where the blade enters, and the amount of light received by the light emitting part emitted by the light emitting part and received by the light receiving part when the cutting blade has entered the blade approaching part. It has a function of detecting the position of the cutting edge of the cutting blade in the cutting feed direction, and the light receiving portion includes a light receiving window irradiated with the light emitted by the light emitting portion and the light passing through the light receiving window. The cutting is provided with a light receiving element, and the shape of the front side or the rear side of the light receiving window in the cutting feed direction is an arc having the same diameter as the cutting edge of the annular cutting blade. Equipment is provided.

なお、本発明の一態様において、該切削装置は、該切削ユニットの切り込み送り方向の位置を認識する位置認識ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該切削ブレードを該切り込み送り方向の該前方に移動させ該ブレード進入部に進入させて、該発光部で発せられ該受光部で受光される光の該受光量が所定値になったときの該位置認識ユニットで認識された該切削ブレードの該切り込み送り方向での位置を該切削ブレードの基準位置として登録する基準位置登録部と、該切削ブレードを該切り込み送り方向の該前方に移動させて該ブレード進入部に進入させ該発光部で発せられ該受光部で受光される光の該受光量が減少し始める際に該位置認識ユニットで認識された該切削ブレードの該切り込み送り方向での位置又は該受光量の減少が停止した時に該位置認識ユニットで認識された該切削ブレードの該切り込み送り方向での位置を比較位置として登録する比較位置登録部と、該基準位置登録部に登録された該基準位置と、該比較位置登録部に登録された該比較位置と、の差が許容範囲内にあるか否かを判定する判定部と、該差が該許容範囲内にないと該判定部が判定する場合、該判定の結果を報知する報知ユニットと、を備えてもよい。 In one aspect of the present invention, the cutting device further includes a position recognition unit that recognizes the position of the cutting unit in the cutting feed direction and a control unit that controls each component, and the control unit is the cutting. The position recognition when the light receiving amount of the light emitted by the light emitting portion and received by the light receiving portion reaches a predetermined value by moving the blade forward in the cutting feed direction and entering the blade approaching portion. A reference position registration unit that registers the position of the cutting blade recognized by the unit in the cutting feed direction as a reference position of the cutting blade, and the cutting blade is moved to the front of the cutting feed direction to enter the blade. The position of the cutting blade recognized by the position recognition unit when the amount of light received by the light emitting unit is reduced or the position of the cutting blade is recognized by the position recognition unit or the light received by the light emitting unit. A comparison position registration unit that registers the position of the cutting blade recognized by the position recognition unit in the cutting feed direction as a comparison position when the decrease in the amount is stopped, and the reference unit registered in the reference position registration unit. The determination unit determines whether or not the difference between the position and the comparison position registered in the comparison position registration unit is within the allowable range, and the determination unit determines whether the difference is within the allowable range. If so, a notification unit for notifying the result of the determination may be provided.

または、本発明の一態様において、該切削装置は、該切削ユニットの高さ位置を認識する位置認識ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該受光窓の上端部の形状が該切削ブレードの刃先と径が同じ円弧である場合、該切削ブレードを下方に移動させて該ブレード進入部に進入させ該発光部で発せられ該受光部で受光される光の該受光量が減少し始める際に該位置認識ユニットで認識された該切削ユニットの高さ位置を該切削ユニットの基準位置として登録し、該受光窓の下端部の形状が該切削ブレードの刃先と径が同じ円弧である場合、該切削ブレードを下方に移動させて該ブレード進入部に進入させ該発光部で発せられ該受光部で受光される光の該受光量の減少が停止する際に該位置認識ユニットで認識された該切削ユニットの高さ位置を該切削ユニットの基準位置として登録してもよい。 Alternatively, in one aspect of the present invention, the cutting device further includes a position recognition unit that recognizes the height position of the cutting unit and a control unit that controls each component, and the control unit is a light receiving window. When the shape of the upper end portion is an arc having the same diameter as the cutting edge of the cutting blade, the cutting blade is moved downward to enter the blade approach portion, and the light emitted by the light emitting portion and received by the light receiving portion is received. The height position of the cutting unit recognized by the position recognition unit when the light receiving amount starts to decrease is registered as a reference position of the cutting unit, and the shape of the lower end portion of the light receiving window is the cutting edge of the cutting blade. When the arcs have the same diameter, the cutting blade is moved downward to enter the blade approaching portion, and when the decrease in the light receiving amount of the light emitted by the light emitting portion and received by the light receiving portion stops. The height position of the cutting unit recognized by the position recognition unit may be registered as a reference position of the cutting unit .

刃先検出ユニットのブレード進入部に切削ブレードを進入させ、切削ブレードの刃先が受光部の受光窓の上端の高さ位置に達したとき、発光部で発せられ受光部に到達する光が切削ブレードにより遮られ始め、受光部で受光される該光の受光量の減少が始まる。そして、刃先が受光窓の下端の高さ位置に達したとき、該光は切削ブレードにより完全に遮られ、該光の受光量の減少が停止する。 When the cutting blade is inserted into the blade approaching part of the cutting edge detection unit and the cutting edge of the cutting blade reaches the height position of the upper end of the light receiving window of the light receiving part, the light emitted by the light emitting part and reaching the light receiving part is emitted by the cutting blade. It begins to be blocked, and the amount of light received by the light receiving unit begins to decrease. Then, when the cutting edge reaches the height position of the lower end of the light receiving window, the light is completely blocked by the cutting blade, and the decrease in the amount of light received is stopped.

本発明の一態様に係る切削装置では、該受光窓の下端部又は上端部の形状が切削ブレードの刃先に対応した形状である。そのため、刃先が受光窓の上端又は下端の高さ位置に到達する際の該受光量の変化が顕著となり、刃先が受光窓の上端又は下端の高さ位置に到達したことを高い精度で検出できる。 In the cutting device according to one aspect of the present invention, the shape of the lower end portion or the upper end portion of the light receiving window corresponds to the cutting edge of the cutting blade. Therefore, when the cutting edge reaches the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window, the change in the amount of light received becomes remarkable, and it can be detected with high accuracy that the cutting edge reaches the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window. ..

すると、例えば、受光窓に汚れ等が付着した場合、該受光量が所定値となったときの切削ユニットの高さ位置は予定された高さ位置からずれる。そのため、該受光量が所定値となった時の切削ユニットの高さ位置と、刃先が受光窓の上端又は下端の高さ位置に到達したときの切削ユニットの高さ位置と、の差も正常時からずれる。そのため、該差が許容範囲を逸脱するか否かを判定することで受光窓への汚れ等の付着の有無を検出できる。 Then, for example, when dirt or the like adheres to the light receiving window, the height position of the cutting unit when the light receiving amount reaches a predetermined value deviates from the planned height position. Therefore, the difference between the height position of the cutting unit when the light receiving amount reaches a predetermined value and the height position of the cutting unit when the cutting edge reaches the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window is also normal. It shifts from time. Therefore, it is possible to detect the presence or absence of dirt or the like adhering to the light receiving window by determining whether or not the difference deviates from the permissible range.

したがって、本発明の一態様によると、刃先検出ユニットに汚れが付着したか否かを容易に判定できる切削装置が提供される。 Therefore, according to one aspect of the present invention, there is provided a cutting device that can easily determine whether or not dirt has adhered to the cutting edge detection unit.

切削装置を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the cutting apparatus. 図２（Ａ）は、刃先検出ユニットを模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、切削ユニットと、刃先検出ユニットと、制御ユニットと、を模式的に示す構成図である。FIG. 2A is a perspective view schematically showing a cutting edge detection unit, and FIG. 2B is a configuration diagram schematically showing a cutting unit, a cutting edge detection unit, and a control unit. 図３（Ａ）は、切削ブレードと、受光部と、を模式的に示す側面図であり、図３（Ｂ）は、受光窓の一例を拡大して模式的に示す側面図である。FIG. 3A is a side view schematically showing a cutting blade and a light receiving portion, and FIG. 3B is an enlarged side view schematically showing an example of a light receiving window. 図４（Ａ）は、切削ブレードと、受光部と、を模式的に示す側面図であり、図４（Ｂ）は、受光窓の他の一例を拡大して模式的に示す側面図である。FIG. 4A is a side view schematically showing the cutting blade and the light receiving portion, and FIG. 4B is an enlarged side view schematically showing another example of the light receiving window. .. 図５（Ａ）は、切削ユニットの下降時間及び受光素子の出力電圧の関係の一例を模式的に示す図であり、図５（Ｂ）は、切削ユニットの下降時間及び受光素子の出力電圧の関係の他の一例を模式的に示す図であり、図５（Ｃ）は、切削ユニットの下降時間及び受光素子の出力電圧の関係の従来例を模式的に示す図である。FIG. 5A is a diagram schematically showing an example of the relationship between the descent time of the cutting unit and the output voltage of the light receiving element, and FIG. 5B is a diagram showing the descent time of the cutting unit and the output voltage of the light receiving element. FIG. 5C is a diagram schematically showing another example of the relationship, and FIG. 5C is a diagram schematically showing a conventional example of the relationship between the descent time of the cutting unit and the output voltage of the light receiving element. 図６（Ａ）は、汚れが付着していない受光窓と、汚れが付着している受光窓と、を並べて模式的に示す正面図であり、図６（Ｂ）は、汚れが付着していない受光窓と、汚れが付着している受光窓と、を並べて模式的に示す正面図である。FIG. 6A is a front view schematically showing a light receiving window without dirt and a light receiving window with dirt attached side by side, and FIG. 6B is a front view showing dirt attached. It is a front view schematically showing a light receiving window without a light receiving window and a light receiving window with dirt attached side by side.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、図１を用いて、本実施形態に係る切削装置について説明する。図１は、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等の被加工物を切削する切削装置２である。 An embodiment according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. First, the cutting apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows a cutting device 2 for cutting a workpiece such as a substantially disk-shaped substrate made of silicon, SiC (silicon carbide), or other semiconductor material, or a material such as sapphire, glass, or quartz. Is.

被加工物の表面は格子状に配列された複数の分割予定ラインで区画されており、区画された各領域にはＩＣ等のデバイスが形成されている。最終的に、被加工物が分割予定ラインに沿って分割されることで、個々のデバイスチップが形成される。例えば、被加工物は、環状のフレームに張られたテープに保持された状態で切削加工される。被加工物が適切に切削加工される場合、後述の切削ブレードの刃先の下端は該テープに達する。 The surface of the work piece is partitioned by a plurality of scheduled division lines arranged in a grid pattern, and devices such as ICs are formed in each of the partitioned regions. Finally, the workpiece is divided along the planned division line to form individual device chips. For example, the workpiece is machined while being held by a tape stretched over an annular frame. When the workpiece is properly machined, the lower end of the cutting edge of the cutting blade described below reaches the tape.

図１に示す通り、該切削装置２は、各構成要素を支持する装置基台４を備えている。装置基台４の中央上部には、Ｘ軸移動テーブル６と、該Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸移動機構と、Ｘ軸移動機構を覆う排水路２０と、が設けられている。該Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備えており、Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に取り付けられている。 As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a device base 4 that supports each component. At the upper center of the apparatus base 4, an X-axis moving table 6, an X-axis moving mechanism for moving the X-axis moving table 6 in the X-axis direction (machining feed direction), and a drainage channel 20 covering the X-axis moving mechanism are located. And are provided. The X-axis moving mechanism includes a pair of X-axis guide rails 12 parallel to the X-axis direction, and an X-axis moving table 6 is slidably attached to the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２に平行なＸ軸ボールねじ１４が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１４の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１６が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１６でＸ軸ボールねじ１４を回転させると、移動テーブル６はＸ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw 14 parallel to the X-axis guide rail 12 is screwed into the nut portion. An X-axis pulse motor 16 is connected to one end of the X-axis ball screw 14. When the X-axis ball screw 14 is rotated by the X-axis pulse motor 16, the moving table 6 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物を吸引、保持するためのチャックテーブル８が設けられている。チャックテーブル８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、チャックテーブル８の上面に垂直な回転軸の周りに回転可能である。また、チャックテーブル８は、上述したＸ軸移動機構によりＸ軸方向に送られる。 A chuck table 8 for sucking and holding the workpiece is provided on the X-axis moving table 6. The chuck table 8 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and can rotate around a rotation axis perpendicular to the upper surface of the chuck table 8. Further, the chuck table 8 is fed in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism described above.

チャックテーブル８の表面（上面）は、被加工物を吸引、保持する保持面８ａとなる。この保持面８ａは、チャックテーブル８の内部に形成された流路（不図示）を介して吸引源（不図示）に接続されている。該保持面８ａの周囲には、テープを介して該被加工物を保持する環状のフレームを固定するためのクランプ１０が配設されている。 The surface (upper surface) of the chuck table 8 is a holding surface 8a that sucks and holds the workpiece. The holding surface 8a is connected to a suction source (not shown) via a flow path (not shown) formed inside the chuck table 8. A clamp 10 for fixing an annular frame for holding the workpiece via a tape is arranged around the holding surface 8a.

装置基台４の上面には、被加工物を切削する２つの切削ユニット１８を支持する支持構造２２が、Ｘ軸移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、２つの切削ユニット１８をそれぞれＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。 On the upper surface of the apparatus base 4, a support structure 22 for supporting two cutting units 18 for cutting the workpiece is arranged so as to straddle the X-axis moving mechanism. A cutting unit moving mechanism for moving the two cutting units 18 in the Y-axis direction (indexing feed direction) and the Z-axis direction, respectively, is provided on the upper part of the front surface of the support structure 22.

切削ユニット移動機構は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、切削ユニット１８のそれぞれに対応する２つのＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。それぞれのＹ軸移動プレート２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合されている。 The cutting unit moving mechanism includes a pair of Y-axis guide rails 24 arranged in front of the support structure 22 and parallel to the Y-axis direction. Two Y-axis moving plates 26 corresponding to each of the cutting units 18 are slidably attached to the Y-axis guide rail 24. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of each Y-axis moving plate 26, and a Y-axis ball screw 28 parallel to the Y-axis guide rail 24 is screwed on this nut portion. It has been combined.

Ｙ軸ボールねじ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ２８ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ２８ａでＹ軸ボールねじ２８を回転させると、対応するＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、それぞれ、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。それぞれのＺ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。 A Y-axis pulse motor 28a is connected to one end of the Y-axis ball screw 28. When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor 28a, the corresponding Y-axis moving plate 26 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 24. A pair of Z-axis guide rails 30 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of the Y-axis moving plate 26, respectively. A Z-axis moving plate 32 is slidably attached to each Z-axis guide rail 30.

Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールねじ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールねじ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of the Z-axis moving plate 32, and a Z-axis ball screw 34 parallel to the Z-axis guide rail 30 is screwed into this nut portion. ing. A Z-axis pulse motor 36 is connected to one end of the Z-axis ball screw 34. When the Z-axis ball screw 34 is rotated by the Z-axis pulse motor 36, the Z-axis moving plate 32 moves in the Z-axis direction (cutting feed direction) along the Z-axis guide rail 30.

２つのＺ軸移動プレート３２のそれぞれの下部には、被加工物を加工する切削ユニット１８と、チャックテーブル８に保持された被加工物を撮像できる撮像ユニット（カメラ）３８と、が固定されている。Ｙ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動し、Ｚ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 At the lower part of each of the two Z-axis moving plates 32, a cutting unit 18 for processing the workpiece and an imaging unit (camera) 38 capable of imaging the workpiece held on the chuck table 8 are fixed. There is. If the Y-axis moving plate 26 is moved in the Y-axis direction, the cutting unit 18 and the imaging unit 38 are moved in the Y-axis direction (indexing feed direction), and if the Z-axis moving plate 32 is moved in the Z-axis direction, The cutting unit 18 and the imaging unit 38 move in the Z-axis direction (cutting feed direction).

切削ユニット１８は、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル（不図示）の一端側に装着された円環状の切削ブレード１８ａ（図３（Ａ）等参照）を備えている。スピンドルの他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドルに装着された切削ブレード１８ａを回転できる。切削ブレード１８ａは、円盤状の基台を有している。基台の中央部には、この基台を貫通する略円形の装着穴が設けられている。基台の外周部には、被加工物に切り込ませるための環状の切り刃が固定されている。 The cutting unit 18 includes an annular cutting blade 18a (see FIG. 3A and the like) mounted on one end side of a spindle (not shown) constituting a rotation axis parallel to the Y-axis direction. A rotary drive source (not shown) such as a motor is connected to the other end side of the spindle, and the cutting blade 18a mounted on the spindle can be rotated. The cutting blade 18a has a disk-shaped base. A substantially circular mounting hole penetrating the base is provided in the center of the base. An annular cutting edge for cutting into the workpiece is fixed to the outer peripheral portion of the base.

切削装置２は、切削ユニット１８の切り込み送り方向における位置を認識する位置認識ユニットをさらに備える。切削装置２は、該切削ユニット１８をＺ軸方向に沿って下降させて刃先１８ｂが被加工物の裏面に貼着されたテープに達するように位置認識ユニットを用いて切削ユニット１８を所定の高さ位置に位置付ける。そして、切削ブレード１８ａを回転させるとともにＸ軸移動機構を作動させてチャックテーブル８を加工送り方向に移動させ、切削ブレード１８ａを被加工物に切り込ませて該被加工物を切削する。 The cutting device 2 further includes a position recognition unit that recognizes the position of the cutting unit 18 in the cutting feed direction. The cutting device 2 lowers the cutting unit 18 along the Z-axis direction and raises the cutting unit 18 to a predetermined height by using a position recognition unit so that the cutting edge 18b reaches the tape attached to the back surface of the workpiece. Position it in the right position. Then, the cutting blade 18a is rotated and the X-axis moving mechanism is operated to move the chuck table 8 in the machining feed direction, and the cutting blade 18a is cut into the workpiece to cut the workpiece.

ただし、該切削ユニット１８を特定の高さに位置付けたとき、該刃先１８ｂの下端の高さ位置は該切削ブレード１８ａの個体差や消耗状態の差、取り付け状態の差等により一定とはならない。そこで、刃先１８ｂの下端を切削に適した高さ位置に位置付けられるように、後述の刃先検出ユニット４０と、位置認識ユニットと、によりセットアップ工程が実施される。セットアップ工程では、刃先１８ｂの高さが所定の位置に位置付けられたときの切削ユニット１８の高さの基準位置が導出される。 However, when the cutting unit 18 is positioned at a specific height, the height position of the lower end of the cutting edge 18b is not constant due to individual differences in the cutting blade 18a, differences in wear state, differences in mounting state, and the like. Therefore, a setup step is carried out by the cutting edge detection unit 40 and the position recognition unit, which will be described later, so that the lower end of the cutting edge 18b can be positioned at a height position suitable for cutting. In the setup step, the reference position of the height of the cutting unit 18 when the height of the cutting edge 18b is positioned at a predetermined position is derived.

切削装置２は、さらに、制御ユニット４６を備えている。制御ユニット４６は、切削ユニット１８、チャックテーブル８、各移動機構、撮像ユニット３８、刃先検出ユニット４０（後述）等の切削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット４６の機能は、例えば、装置制御用コンピュータのソフトウェアとして実現される。 The cutting device 2 further includes a control unit 46. The control unit 46 has a function of controlling each component of the cutting device 2 such as the cutting unit 18, the chuck table 8, each moving mechanism, the image pickup unit 38, and the cutting edge detection unit 40 (described later). The function of the control unit 46 is realized, for example, as software of a computer for controlling a device.

また、図１に示す通り、切削装置２は、タッチパネル付きディスプレイパネル等でなる表示部４２を有する。該表示部４２は、制御ユニット４６に電気的に接続されている。該切削装置２の使用者又は管理者は該タッチパネルを用いて制御ユニット４６に加工条件等の情報を入力できる。該表示部４２は、情報等の入力や切削装置２の操作のためのインターフェース画像を表示する。さらに、切削加工の結果、制御ユニット４６における判定の結果、及び、各種の警告等を表示する。 Further, as shown in FIG. 1, the cutting device 2 has a display unit 42 made of a display panel with a touch panel or the like. The display unit 42 is electrically connected to the control unit 46. The user or manager of the cutting device 2 can input information such as machining conditions into the control unit 46 using the touch panel. The display unit 42 displays an interface image for inputting information and the like and operating the cutting device 2. Further, the result of cutting, the result of determination in the control unit 46, various warnings, and the like are displayed.

また、切削装置２の上部には、該制御ユニット４６に電気的に接続された警報ランプ４４が配設される。該警報ランプ４４は、例えば、緑色のランプと、赤色のランプと、を有する。制御ユニット４６は、切削装置２が正常な稼働状況にあるときは該緑色のランプを点灯させて、切削装置２が正常であることを使用者又は管理者に報知する。その一方で、切削装置２に何等かの問題が生じたときには、該制御ユニットは赤色のランプを点灯させて、その旨を使用者又は管理者に報知する。 Further, an alarm lamp 44 electrically connected to the control unit 46 is arranged on the upper portion of the cutting device 2. The alarm lamp 44 has, for example, a green lamp and a red lamp. When the cutting device 2 is in a normal operating state, the control unit 46 turns on the green lamp to notify the user or the manager that the cutting device 2 is normal. On the other hand, when a problem occurs in the cutting device 2, the control unit turns on a red lamp to notify the user or the manager to that effect.

該表示部４２及び警報ランプ４４は、切削装置２の使用者又は管理者に警告や各種情報を発する報知ユニット６６（図２（Ｂ）参照）として機能する。なお、報知ユニット６６はこれに限定されず、他の方法で使用者又は管理者に警告等を発してもよい。例えば、切削装置２はブザーを備え、警告音を発して警告等を発してもよい。さらに、切削装置２は、切削装置２を管理する管理装置に電気的に接続されていてもよく、該管理装置に各種の情報を発信することで警告等を報知してもよい。 The display unit 42 and the alarm lamp 44 function as a notification unit 66 (see FIG. 2B) that issues warnings and various information to the user or manager of the cutting device 2. The notification unit 66 is not limited to this, and may issue a warning or the like to the user or the administrator by another method. For example, the cutting device 2 may be provided with a buzzer and emit a warning sound to issue a warning or the like. Further, the cutting device 2 may be electrically connected to a management device that manages the cutting device 2, and may notify a warning or the like by transmitting various information to the management device.

切削装置２の切削ユニット１８の近傍には、刃先検出ユニット４０が配設されている。刃先検出ユニット４０を用いると、切削ブレード１８ａの刃先１８ｂ（図３（Ａ）等参照）を適切な高さ位置（切り込み送り方向における位置）に位置付けるためのセットアップ工程を実施できる。図２（Ａ）は、刃先検出ユニット４０を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、切削ユニット１８と、刃先検出ユニット４０と、制御ユニット４６と、を模式的に示す概念図である。 A cutting edge detection unit 40 is arranged in the vicinity of the cutting unit 18 of the cutting device 2. By using the cutting edge detection unit 40, it is possible to carry out a setup step for positioning the cutting edge 18b (see FIG. 3A and the like) of the cutting blade 18a at an appropriate height position (position in the cutting feed direction). FIG. 2A is a perspective view schematically showing the cutting edge detection unit 40, and FIG. 2B is a concept schematically showing the cutting unit 18, the cutting edge detection unit 40, and the control unit 46. It is a figure.

刃先検出ユニット４０の本体４８には、上方に開口した溝状の切削ブレード進入部４８ａが設けられ、切削ブレード１８ａの刃先１８ｂの高さ位置を検出するときは、該切削ブレード進入部４８ａに切削ブレード１８ａを進入させる。 The main body 48 of the cutting edge detection unit 40 is provided with a groove-shaped cutting blade entry portion 48a opened upward, and when detecting the height position of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a, the cutting blade approach portion 48a is used for cutting. The blade 18a is made to enter.

切削ブレード進入部４８ａの一方の側壁には発光部５０が設けられ、切削ブレード進入部４８ａの他方の側壁には該発光部５０に対向する位置に受光部５２が設けられている。発光部５０は、発光窓５０ｂと、該発光窓５０ｂに光ファイバー等を介して接続された光源５０ａと、を備え、光源５０ａを作動させると発光窓５０ｂから光が放射される。光源５０ａには、発光量を調節する機能を有する調光器（不図示）が接続されている。 A light emitting portion 50 is provided on one side wall of the cutting blade approaching portion 48a, and a light receiving portion 52 is provided on the other side wall of the cutting blade approaching portion 48a at a position facing the light emitting portion 50. The light emitting unit 50 includes a light emitting window 50b and a light source 50a connected to the light emitting window 50b via an optical fiber or the like, and when the light source 50a is operated, light is emitted from the light emitting window 50b. A dimmer (not shown) having a function of adjusting the amount of light emitted is connected to the light source 50a.

受光部５２は、受光窓５２ｂと、該受光窓５２ｂに光ファイバー等を介して接続された受光素子５２ａと、を備える。受光窓５２ｂに到達した光は受光素子５２ａで受光され、該受光素子５２ａからは受光量に応じた電圧の電気信号が出力される。受光素子５２ａは制御ユニット４６に電気的に接続されており、該電気信号を制御ユニット４６に送る。 The light receiving unit 52 includes a light receiving window 52b and a light receiving element 52a connected to the light receiving window 52b via an optical fiber or the like. The light that reaches the light receiving window 52b is received by the light receiving element 52a, and an electric signal having a voltage corresponding to the amount of light received is output from the light receiving element 52a. The light receiving element 52a is electrically connected to the control unit 46, and sends the electric signal to the control unit 46.

発光窓５０ｂと、受光窓５２ｂと、は略同一の高さ位置に設けられる。該高さ位置は、切削ユニット１８が所定の高さ位置に位置付けられたときの切削ブレード１８ａの刃先１８ｂの下端付近の高さ位置である。刃先検出ユニット４０には、該刃先検出ユニット４０の不使用時に発光部５０や受光部５２を保護する開閉可能なカバー４８ｂが備えられている。刃先検出ユニット４０の使用時には、予め該カバー４８ｂを開けて本体４８を露出させる。 The light emitting window 50b and the light receiving window 52b are provided at substantially the same height position. The height position is a height position near the lower end of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a when the cutting unit 18 is positioned at a predetermined height position. The cutting edge detection unit 40 is provided with a cover 48b that can be opened and closed to protect the light emitting unit 50 and the light receiving unit 52 when the cutting edge detection unit 40 is not in use. When using the cutting edge detection unit 40, the cover 48b is opened in advance to expose the main body 48.

本体４８には、さらに、発光窓５０ｂまたは受光窓５２ｂに向いた複数の流体噴出ノズルが配設されている。該流体噴出ノズルからエアーや水等の流体を噴出させると、発光窓５０ｂや受光窓５２ｂに付着した汚れが除去され、または、汚れの付着が抑制される。ただし、流体噴出ノズルを作動させても、発光窓５０ｂや受光窓５２ｂに汚れが残留する場合がある。 The main body 48 is further provided with a plurality of fluid ejection nozzles facing the light emitting window 50b or the light receiving window 52b. When a fluid such as air or water is ejected from the fluid ejection nozzle, the dirt adhering to the light emitting window 50b and the light receiving window 52b is removed or the adhering of the dirt is suppressed. However, even if the fluid ejection nozzle is operated, dirt may remain on the light emitting window 50b and the light receiving window 52b.

刃先検出ユニット４０による該刃先１８ｂの検出時には、光源５０ａを作動させ発光窓５０ｂから光を放射させて、該光を受光部５２の受光窓５２ｂに照射させ、受光窓５２ｂに接続された受光素子５２ａに該光を受光させる。受光素子５２ａは、該光を受光量に応じた電圧の電気信号に変換して、該電気信号を制御ユニット４６に送る。 When the cutting edge 18b is detected by the cutting edge detection unit 40, the light source 50a is operated to radiate light from the light emitting window 50b, the light is irradiated to the light receiving window 52b of the light receiving unit 52, and the light receiving element connected to the light receiving window 52b. The light is received by 52a. The light receiving element 52a converts the light into an electric signal having a voltage corresponding to the amount of light received, and sends the electric signal to the control unit 46.

切削ブレード進入部４８ａに向けて切削ブレード１８ａを下降させると、発光窓５０ｂから放射された光が徐々に切削ブレード１８ａにより遮られるようになり、受光窓５２ｂに到達して受光素子５２ａで受光される光の受光量は徐々に減少する。そのため、受光素子５２ａから出力された電気信号を制御ユニット４６で解析することにより、切削ブレード１８ａの刃先１８ｂの高さ位置を検出できる。 When the cutting blade 18a is lowered toward the cutting blade approach portion 48a, the light radiated from the light emitting window 50b is gradually blocked by the cutting blade 18a, reaches the light receiving window 52b, and is received by the light receiving element 52a. The amount of received light gradually decreases. Therefore, the height position of the cutting edge 18b of the cutting blade 18a can be detected by analyzing the electric signal output from the light receiving element 52a with the control unit 46.

そして、受光素子５２ａで受光される該光の受光量が切削加工に適した高さ位置に該刃先１８ｂが到達したことを確認できる基準の受光量になるとき、切削加工時に位置付けられるべき所定の高さ位置に該切削ユニット１８が到達したことが確認される。 Then, when the amount of light received by the light receiving element 52a becomes a reference amount of light that can confirm that the cutting edge 18b has reached a height position suitable for cutting, a predetermined amount to be positioned at the time of cutting. It is confirmed that the cutting unit 18 has reached the height position.

例えば、受光量が減少する前の初期状態の受光量を１００％とし、切削ブレード１８ａにより該光が受光窓５２ｂに到達しなくなる際の受光量を０％とする。そして、受光素子５２ａで受光される該光の受光量が基準の割合となるときに所定の高さ位置に切削ユニット１８が到達したことが確認される。 For example, the light receiving amount in the initial state before the light receiving amount decreases is set to 100%, and the light receiving amount when the light does not reach the light receiving window 52b by the cutting blade 18a is set to 0%. Then, it is confirmed that the cutting unit 18 has reached a predetermined height position when the light receiving amount of the light received by the light receiving element 52a becomes a reference ratio.

しかし、該受光窓５２ｂに汚れ等が付着すると、該汚れ等により光が遮られるため受光素子５２ａで受光される光の受光量の推移が正常時とは異なるようになる。この場合には、切削ユニット１８が所定の高さ位置ではない高さ位置に位置付けられているときに該受光量が基準の受光量（割合）となるため、所定の高さ位置を適正に導出できない。そこで、本実施形態に係る切削装置２では、受光窓５２ｂへの汚れ等の付着の有無が判定される。 However, when dirt or the like adheres to the light receiving window 52b, the light is blocked by the dirt or the like, so that the transition of the light receiving amount of the light received by the light receiving element 52a is different from that in the normal state. In this case, when the cutting unit 18 is positioned at a height position other than the predetermined height position, the light receiving amount becomes the reference light receiving amount (ratio), so that the predetermined height position is properly derived. Can not. Therefore, in the cutting device 2 according to the present embodiment, it is determined whether or not dirt or the like is attached to the light receiving window 52b.

ところで、該光の受光量が基準の受光量（割合）となるときの切削ユニット１８の高さ位置と、刃先１８ｂが受光窓５２ｂの上端又は下端の高さ位置に達する時の切削ユニット１８の高さ位置と、の差は、正常時では一定となる。その一方で、受光窓５２ｂに汚れ等が付着している場合、該光の受光量が基準の受光量（割合）となるときの切削ユニット１８の高さ位置が正常時とは異なるため、該差もまた正常時とは異なる値となる。 By the way, the height position of the cutting unit 18 when the received light amount becomes the reference light receiving amount (ratio), and the cutting unit 18 when the cutting edge 18b reaches the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window 52b. The difference between the height position and the height position is constant under normal conditions. On the other hand, when dirt or the like is attached to the light receiving window 52b, the height position of the cutting unit 18 when the light receiving amount becomes the reference light receiving amount (ratio) is different from the normal state. The difference is also different from the normal value.

切削ユニット１８の高さ位置は、上述の位置認識ユニットにより認識されるため、位置認識ユニットを用いると該差を検出できる。そのため、該差が正常時の値であるか否かを判定することにより該汚れ等の付着の有無を判定できる。該判定は、制御ユニット４６と、刃先検出ユニット４０と、位置認識ユニット（不図示）と、により実施される。以下、該判定を実現する制御ユニット４６について、図２（Ｂ）を用いて説明する。 Since the height position of the cutting unit 18 is recognized by the position recognition unit described above, the difference can be detected by using the position recognition unit. Therefore, the presence or absence of adhesion of the stain or the like can be determined by determining whether or not the difference is a normal value. The determination is performed by the control unit 46, the cutting edge detection unit 40, and the position recognition unit (not shown). Hereinafter, the control unit 46 that realizes the determination will be described with reference to FIG. 2 (B).

制御ユニット４６は、電圧記録部５４と、該電圧記録部５４に接続された高さ制御部５６と、該高さ制御部５６に接続された所定電圧登録部５８と、を有する。電圧記録部５４は、受光素子５２ａで受光された光の受光量に対応した電圧の電気信号を受光素子５２ａから受信し、該電圧の時間変化を記録する。電圧記録部５４には、切削ブレード進入部４８ａに進入する該削ブレード１８ａにより該光が徐々に遮られ該光の受光量が低下し該電圧が低下する様子が記録される。 The control unit 46 has a voltage recording unit 54, a height control unit 56 connected to the voltage recording unit 54, and a predetermined voltage registration unit 58 connected to the height control unit 56. The voltage recording unit 54 receives an electric signal having a voltage corresponding to the amount of light received by the light receiving element 52a from the light receiving element 52a, and records a time change of the voltage. The voltage recording unit 54 records how the light is gradually blocked by the cutting blade 18a that enters the cutting blade approaching portion 48a, the amount of received light is reduced, and the voltage is reduced.

高さ制御部５６は、Ｚ軸パルスモータ３６を制御して切削ユニット１８の高さを制御する。高さ制御部５６は、電圧記録部５４と、所定電圧登録部５８と、に接続されている。所定電圧登録部５８には、切削ブレード１８ａによる切削加工に適した所定の高さ位置に該刃先１８ｂが位置付けられたときに該光を受光した受光素子５２ａから発信される電気信号の電圧値が所定の電圧値として登録されている。 The height control unit 56 controls the Z-axis pulse motor 36 to control the height of the cutting unit 18. The height control unit 56 is connected to a voltage recording unit 54 and a predetermined voltage registration unit 58. The voltage value of the electric signal transmitted from the light receiving element 52a that receives the light when the cutting edge 18b is positioned at a predetermined height position suitable for cutting by the cutting blade 18a is stored in the predetermined voltage registration unit 58. It is registered as a predetermined voltage value.

該所定の電圧値は、例えば、受光量が低下する前の該電圧値を１００％とし、受光量の低下が停止するときの該電圧値を０％としたときの、該刃先１８ｂが所定の高さ位置に位置付けられたときの該電圧値の割合として登録される。 The predetermined voltage value is, for example, the cutting edge 18b is predetermined when the voltage value before the decrease in the light receiving amount is 100% and the voltage value when the decrease in the received light amount is stopped is 0%. It is registered as the ratio of the voltage value when it is positioned at the height position.

該高さ制御部５６は、受光素子５２ａから発信される電気信号の電圧値が該所定の電圧値（割合）となるときの切削ユニット１８の高さ位置を求め、該切削加工時にＺ軸パルスモータ３６を制御して切削ユニット１８を該高さ位置に位置付ける。 The height control unit 56 obtains the height position of the cutting unit 18 when the voltage value of the electric signal transmitted from the light receiving element 52a becomes the predetermined voltage value (ratio), and Z-axis pulse during the cutting process. The motor 36 is controlled to position the cutting unit 18 at the height position.

制御ユニット４６は、さらに、基準位置登録部６０と、比較位置登録部６２と、判定部６４と、を備える。判定部６４は、受光窓５２ｂへの汚れ等の付着の有無等を判定する。基準位置登録部６０及び比較位置登録部６２は、電圧記録部５４及び所定電圧登録部５８に接続されている。基準位置登録部６０は、判定部６４による判定が実施される際に、所定電圧登録部５８から該所定の電圧値（割合）を読み出す。 The control unit 46 further includes a reference position registration unit 60, a comparison position registration unit 62, and a determination unit 64. The determination unit 64 determines whether or not dirt or the like is attached to the light receiving window 52b. The reference position registration unit 60 and the comparison position registration unit 62 are connected to the voltage recording unit 54 and the predetermined voltage registration unit 58. The reference position registration unit 60 reads out the predetermined voltage value (ratio) from the predetermined voltage registration unit 58 when the determination by the determination unit 64 is performed.

基準位置登録部６０には、切削ブレード１８ａをブレード進入部４８ａに進入させて、該電気信号の電圧が該所定の電圧値（割合）になるときの位置認識ユニットで認識される切削ユニット１８の高さ位置が切削ユニット１８の基準位置として登録される。比較位置登録部６２には、該電気信号の電圧が減少し始める際に位置認識ユニットで認識される切削ユニット１８の高さ位置又は該電圧の減少が停止した時に位置認識ユニットで認識される切削ユニット１８の高さ位置が比較位置として登録される。 In the reference position registration unit 60, the cutting blade 18a is made to enter the blade approaching portion 48a, and the cutting unit 18 is recognized by the position recognition unit when the voltage of the electric signal reaches the predetermined voltage value (ratio). The height position is registered as the reference position of the cutting unit 18. In the comparison position registration unit 62, the height position of the cutting unit 18 recognized by the position recognition unit when the voltage of the electric signal starts to decrease, or the cutting recognized by the position recognition unit when the decrease of the voltage stops. The height position of the unit 18 is registered as a comparison position.

受光窓５２ｂに汚れ等が付着していない場合、該基準位置と、該比較位置と、の差は所定の値となる。受光窓５２ｂに汚れ等が付着すると該基準位置にずれが生じるため、該差にもまた該所定の値からのずれが生じる。そこで、判定部６４は、該基準位置と、該比較位置と、の差が許容範囲内にあるか否かを判定する。該差が許容範囲にある場合、受光窓５２ｂへの汚れ等の付着が十分に少ないといえる。 When the light receiving window 52b is not contaminated, the difference between the reference position and the comparison position is a predetermined value. When dirt or the like adheres to the light receiving window 52b, the reference position is displaced, so that the difference also deviates from the predetermined value. Therefore, the determination unit 64 determines whether or not the difference between the reference position and the comparison position is within the allowable range. When the difference is within the permissible range, it can be said that the adhesion of dirt or the like to the light receiving window 52b is sufficiently small.

該差が許容範囲にない場合、受光窓５２ｂへの汚れ等の付着が確認される。この場合、判定部６４は、該判定部６４に接続された報知ユニット６６に該判定の結果を送る。報知ユニット６６は、例えば、表示モニタ４２又は警報ランプ４４であり、切削装置２の使用者又は管理者等に該判定の結果を報知する。 If the difference is not within the permissible range, adhesion of dirt or the like to the light receiving window 52b is confirmed. In this case, the determination unit 64 sends the determination result to the notification unit 66 connected to the determination unit 64. The notification unit 66 is, for example, a display monitor 42 or an alarm lamp 44, and notifies the user or the manager of the cutting device 2 of the result of the determination.

例えば、受光窓５２ｂの形状が円形である場合、切削ユニット１８を下方に移動させ刃先１８ｂが受光窓５２ｂの上端の高さ位置に到達するとき、該光の受光量が比較的緩やかに減少し始める。また、この場合、切削ユニット１８をさらに移動させ刃先１８ｂが受光窓５２ｂの下端の高さ位置に到達するとき、該光の受光量の減少が比較的緩やかに停止する。 For example, when the shape of the light receiving window 52b is circular, when the cutting unit 18 is moved downward and the cutting edge 18b reaches the height position of the upper end of the light receiving window 52b, the amount of light received is relatively gradually reduced. start. Further, in this case, when the cutting unit 18 is further moved and the cutting edge 18b reaches the height position of the lower end of the light receiving window 52b, the decrease in the light receiving amount of the light stops relatively slowly.

判定部６４で該判定を高い精度で実施するためには、比較位置が高い精度で得られる必要がある。該受光量の変化は、発光窓５０ｂ側から受光窓５２ｂをみたときの切削ブレード１８ａと、受光窓５２ｂと、が重なる領域の面積の変化に対応する。受光窓５２ｂが円形であると刃先１８ｂが受光窓５２ｂの上端又は下端の高さ位置に到達したときの該面積の変化が小さい。そのため、刃先１８ｂが受光窓５２ｂの上端又は下端の高さ位置に到達したことを高い精度で検出するのは容易ではない。 In order for the determination unit 64 to perform the determination with high accuracy, it is necessary to obtain the comparison position with high accuracy. The change in the amount of light received corresponds to a change in the area of the region where the cutting blade 18a and the light receiving window 52b overlap when the light receiving window 52b is viewed from the light emitting window 50b side. When the light receiving window 52b is circular, the change in the area when the cutting edge 18b reaches the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window 52b is small. Therefore, it is not easy to detect with high accuracy that the cutting edge 18b has reached the height position of the upper end or the lower end of the light receiving window 52b.

そこで、本発明の一態様に係る切削装置２では、該受光量の減少量の変化が顕著となる形状の受光窓５２ｂが配設される。受光窓５２ｂの形状について図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を用いて説明する。 Therefore, in the cutting device 2 according to one aspect of the present invention, the light receiving window 52b having a shape in which the change in the amount of decrease in the light receiving amount is remarkable is arranged. The shape of the light receiving window 52b will be described with reference to FIGS. 3 (A) and 3 (B).

図３（Ａ）は、切削ブレード１８ａと、受光部５２と、を模式的に示す側面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の一部を拡大した図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）には、判定部６４による判定を実施する際に、切削ブレード１８ａをブレード進入部４８ａに進入させる直前の状態が示されている。 FIG. 3A is a side view schematically showing the cutting blade 18a and the light receiving portion 52. FIG. 3B is an enlarged view of a part of FIG. 3A. 3A and 3B show a state immediately before the cutting blade 18a enters the blade approaching portion 48a when the determination unit 64 makes a determination.

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す通り、受光窓５２ｂの下端部の形状は、刃先１８ｂの形状１８ｃに対応した形状である。切削ユニット１８を下降させ受光窓５２ｂの下端の高さ位置に刃先１８ｂが到達するとき、受光窓５２ｂに到達する該光がすべて遮られ該受光量の減少は停止する。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the shape of the lower end portion of the light receiving window 52b corresponds to the shape 18c of the cutting edge 18b. When the cutting unit 18 is lowered and the cutting edge 18b reaches the height position of the lower end of the light receiving window 52b, all the light reaching the light receiving window 52b is blocked and the decrease in the light receiving amount is stopped.

該受光量の減少の傾向について説明する。図５（Ａ）は、切削ユニット１８の下降時間（ｔ）及び受光素子５２ａから発信される電気信号の電圧（Ｖ）の関係６８ａを模式的に示す図である。図５（Ａ）に示す通り、切削ユニット１８の下降を開始すると、時間Ｔ_１において刃先１８ｂが受光窓５２ｂの上端の高さ位置に到達し、該電圧（Ｖ）の低下が始まる。また、時間Ｔ_２において刃先１８ｂが受光窓５２ｂの下端の高さ位置に到達し、該電圧（Ｖ）の低下が止まる。 The tendency of the decrease in the amount of received light will be described. FIG. 5A is a diagram schematically showing the relationship 68a between the descent time (t) of the cutting unit 18 and the voltage (V) of the electric signal transmitted from the light receiving element 52a. As shown in FIG. 5A, when the lowering of the cutting unit 18 is started, the cutting edge 18b reaches the height position of the _upper end of the light receiving window 52b at time T1, and the voltage (V) starts to decrease. Further, at _time T2, the cutting edge 18b reaches the height position of the lower end of the light receiving window 52b, and the decrease in the voltage (V) stops.

図５（Ｃ）は、受光窓の形状が本発明の一態様に依らず円形である場合の切削ユニット１８の下降時間（ｔ）及び該電圧（Ｖ）の関係６８ｃを模式的に示す図である。該関係６８ｃでは、時間Ｔ_２において電圧（Ｖ）の減少が緩やかに停止するため、受光窓５２ｂの下端の高さ位置への該刃先１８ｂの到達を明確に検出しにくい。 FIG. 5C is a diagram schematically showing the relationship 68c between the descent time (t) of the cutting unit 18 and the voltage (V) when the shape of the light receiving window is circular regardless of one aspect of the present invention. be. In the relationship 68c, since the decrease in the voltage ₍ V) gradually stops at the time T2, it is difficult to clearly detect the arrival of the cutting edge 18b at the height position of the lower end of the light receiving window 52b.

これに対して、受光窓５２ｂの下端部の形状が該刃先１８ｂの形状１８ｃに対応した形状である場合、該図５（Ａ）に示す通り、時間Ｔ_２において電圧（Ｖ）の減少が急峻に停止するため、受光窓５２ｂの下端の高さ位置への該刃先１８ｂの到達を明確に検出できる。すなわち、判定で使用される該比較位置が高い精度で得られるため、判定部６４による該判定を高い精度で実施できる。 On the other hand, when the shape of the lower end of the light receiving window 52b corresponds to the shape 18c of the cutting edge 18b, the voltage (V) decreases sharply at time T2 as shown in _FIG . 5A. Therefore, it is possible to clearly detect the arrival of the cutting edge 18b at the height position of the lower end of the light receiving window 52b. That is, since the comparison position used in the determination can be obtained with high accuracy, the determination by the determination unit 64 can be performed with high accuracy.

次に、受光部５２の受光窓の変形例について、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を用いて説明する。図４（Ａ）は、切削ブレード１８ａと、受光部５２と、を模式的に示す側面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部を拡大して模式的に示す側面図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）には、切削ブレード１８ａをブレード進入部４８ａに進入させる直前の状態が示されている。 Next, a modification of the light receiving window of the light receiving unit 52 will be described with reference to FIGS. 4 (A) and 4 (B). FIG. 4A is a side view schematically showing the cutting blade 18a and the light receiving portion 52. FIG. 4B is an enlarged side view schematically showing a part of FIG. 4A. 4 (A) and 4 (B) show a state immediately before the cutting blade 18a enters the blade approach portion 48a.

受光窓５２ｃは、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す受光窓５２ｂとは異なり、下端部の形状だけでなく上端部の形状も該刃先１８ｂの形状１８ｃに対応した形状である。図５（Ｂ）は、切削ユニット１８の下降時間（ｔ）及び受光素子５２ａから発信される電気信号の電圧（Ｖ）の関係６８ｂを模式的に示す図である。 Unlike the light receiving window 52b shown in FIGS. 3A and 3B, the light receiving window 52c has a shape corresponding to the shape 18c of the cutting edge 18b not only in the shape of the lower end portion but also in the shape of the upper end portion. FIG. 5B is a diagram schematically showing the relationship 68b between the descent time (t) of the cutting unit 18 and the voltage (V) of the electric signal transmitted from the light receiving element 52a.

切削ブレード１８ａが下降して受光窓５２ｃの上端に刃先１８ｂが到達し該受光量が減少し始めるとき、該受光量の変化が急峻となる。そのため、受光窓５２ｃの上端の高さ位置への刃先１８ｂの到達を高い精度で認識できる。すると、比較位置として刃先１８ｂが受光窓５２ｃの上端の高さ位置に到達したときの切削ユニット１８の高さ位置を高い精度で認識でき、判定部６４による該判定を高い精度で実施できる。 When the cutting blade 18a descends and the cutting edge 18b reaches the upper end of the light receiving window 52c and the light receiving amount begins to decrease, the change in the light receiving amount becomes steep. Therefore, the arrival of the cutting edge 18b at the height position of the upper end of the light receiving window 52c can be recognized with high accuracy. Then, as a comparison position, the height position of the cutting unit 18 when the cutting edge 18b reaches the height position of the upper end of the light receiving window 52c can be recognized with high accuracy, and the determination by the determination unit 64 can be performed with high accuracy.

なお、受光部５２の受光窓の形状は他の形状でもよい。例えば、上端部の形状のみが刃先１８ｂの形状１８ｃに対応した形状となっていてもよい。また、受光窓は切削ブレード１８ａと比較して非常に小さいため、該受光窓の下端部又は上端部の形状を直線とすることで該形状１８ｃに対応した形状にできる場合がある。 The shape of the light receiving window of the light receiving unit 52 may be another shape. For example, only the shape of the upper end portion may have a shape corresponding to the shape 18c of the cutting edge 18b. Further, since the light receiving window is very small as compared with the cutting blade 18a, the shape corresponding to the shape 18c may be formed by making the shape of the lower end portion or the upper end portion of the light receiving window straight.

次に、本発明の一態様に係る切削装置２の判定部６４による判定について説明する。図６（Ａ）は、該判定について説明するために、汚れが付着していない受光窓５２ｂと、汚れが付着している受光窓５２ｂと、を並べて模式的に示す正面図である。まず、受光窓５２ｂに汚れ等が付着していない場合における判定について説明する。該判定における該電圧の推移は、図５（Ａ）に示された関係６８ａの通りとなる。 Next, the determination by the determination unit 64 of the cutting device 2 according to one aspect of the present invention will be described. FIG. 6A is a front view schematically showing the light receiving window 52b to which dirt is not attached and the light receiving window 52b to which dirt is attached side by side in order to explain the determination. First, the determination when the light receiving window 52b is not dirty or the like will be described. The transition of the voltage in the determination is as shown in the relationship 68a shown in FIG. 5 (A).

まず、発光部５０の光源５０ａを点灯して発光窓５０ｂから光を放射させ、受光窓５２ｂに到達した光を受光素子５２ａに受光させる。そして、電圧記録部５４に、切削ブレード１８ａをブレード進入部４８ａに進入させていない初期状態において受光素子５２ａから出力される電気信号の電圧値を記憶させる。例えば、受光素子５２ａにおける該光の受光量が１００％であるときの該電圧値として５Ｖが記憶される。 First, the light source 50a of the light emitting unit 50 is turned on to radiate light from the light emitting window 50b, and the light reaching the light receiving window 52b is received by the light receiving element 52a. Then, the voltage recording unit 54 stores the voltage value of the electric signal output from the light receiving element 52a in the initial state in which the cutting blade 18a is not inserted into the blade approaching unit 48a. For example, 5V is stored as the voltage value when the light receiving amount of the light in the light receiving element 52a is 100%.

そして、該ブレード進入部４８ａの上方に切削ブレード１８ａを配設し、切削ユニット１８を下降させる。切削ブレード１８ａが発光窓５０ｂと、受光窓５２ｂと、の間に進入して該光が切削ブレード１８ａに遮られ始めると受光素子５２ａにおける該光の受光量の減少が始まる。該光の受光量の減少が始まる時間は、図５（Ａ）に示す時間Ｔ_１に対応する。 Then, the cutting blade 18a is arranged above the blade approaching portion 48a, and the cutting unit 18 is lowered. When the cutting blade 18a enters between the light emitting window 50b and the light receiving window 52b and the light begins to be blocked by the cutting blade 18a, the amount of light received by the light receiving element 52a begins to decrease. The time at which the amount of received light begins to decrease corresponds to the time T1 shown in FIG. 5 ( _A ).

そして、該光の受光量が所定値になるとき、すなわち、該電気信号が所定電圧登録部５８に登録された基準電圧７０となるとき、位置認識ユニットに認識される該切削ユニット１８の高さ位置が基準位置として基準位置登録部６０に登録される。例えば、該基準電圧７０は、受光量６０％の電圧値の３Ｖとされる。 Then, when the received amount of the light reaches a predetermined value, that is, when the electric signal reaches the reference voltage 70 registered in the predetermined voltage registration unit 58, the height of the cutting unit 18 recognized by the position recognition unit. The position is registered in the reference position registration unit 60 as the reference position. For example, the reference voltage 70 is set to 3V, which is a voltage value of 60% of the received light amount.

切削ユニット１８を移動させると、刃先１８ｂが受光窓５２ｂの下端の高さ位置に達し、受光素子５２ａで受光される光の受光量の減少が停止する。図５（Ａ）に示す関係６８ａでは、該電気信号の電圧が０Ｖとなり該電圧の減少が停止する。すなわち、該電圧値が０Ｖとなるときの該光の受光量が０％とされる。該光の受光量の減少が停止する時間は、図５（Ａ）に示す時間Ｔ_２に対応する。このとき位置認識ユニットで認識される切削ユニット１８の高さ位置が比較位置として比較位置登録部６２に登録される。 When the cutting unit 18 is moved, the cutting edge 18b reaches the height position of the lower end of the light receiving window 52b, and the decrease in the amount of light received by the light receiving element 52a stops. In the relationship 68a shown in FIG. 5A, the voltage of the electric signal becomes 0V and the decrease of the voltage stops. That is, when the voltage value becomes 0 V, the received amount of the light is 0%. The time at which the decrease in the amount of received light is stopped corresponds to the time T2 shown in _FIG . 5 (A). At this time, the height position of the cutting unit 18 recognized by the position recognition unit is registered in the comparison position registration unit 62 as a comparison position.

受光窓５２ｂに汚れ等が付着していない場合、図６（Ａ）左側に示す通り、該切削ブレード１８ａの刃先１８ｂは、所定の高さ位置７４に位置付けられる。判定部６４は、基準位置登録部６０から該基準位置を読み出し、比較位置登録部６２から該比較位置を読み出し、その差を評価する。受光窓５２ｂに汚れ等が付着していない場合、該所定の高さ位置７４と、受光窓５２ｂの下端の高さ位置と、の距離が該差と略同一となる。該判定部６４は、該差が該距離と略同一といえる許容範囲内にあるか否かを判定する。 When the light receiving window 52b is free of dirt or the like, the cutting edge 18b of the cutting blade 18a is positioned at a predetermined height position 74 as shown on the left side of FIG. 6A. The determination unit 64 reads the reference position from the reference position registration unit 60, reads the comparison position from the comparison position registration unit 62, and evaluates the difference. When the light receiving window 52b is not contaminated, the distance between the predetermined height position 74 and the height position of the lower end of the light receiving window 52b is substantially the same as the difference. The determination unit 64 determines whether or not the difference is within an allowable range that can be said to be substantially the same as the distance.

該受光窓５２ｂに汚れ等が付着していない場合、判定部６４は該差が許容範囲内にあると判定し、受光窓５２ｂに汚れ等の付着がないことが確認される。すなわち、切削ユニット１８の高さ位置を該基準位置に位置付けたときに該刃先１８ｂが所定の高さ位置７４に位置付けられることが確認される。被加工物の切削加工時に切削ユニット１８の高さ位置を該基準位置に位置付けると、切削加工を適切に実施できる。 When the light receiving window 52b is not contaminated with dirt or the like, the determination unit 64 determines that the difference is within the allowable range, and confirms that the light receiving window 52b is not contaminated with dirt or the like. That is, it is confirmed that the cutting edge 18b is positioned at the predetermined height position 74 when the height position of the cutting unit 18 is positioned at the reference position. If the height position of the cutting unit 18 is positioned at the reference position during the cutting process of the workpiece, the cutting process can be appropriately performed.

これに対して、図６（Ａ）右側に示す通り受光窓５２ｂに汚れ７２等が付着している場合に同様に判定を実施しようとすると、以下に説明する通り、判定部６４は該差が許容範囲内にないと判定する。 On the other hand, if dirt 72 or the like is attached to the light receiving window 52b as shown on the right side of FIG. 6A, the determination unit 64 will have the difference as described below. Judge that it is not within the allowable range.

受光窓５２ｂに汚れ７２等が付着している場合、まず、切削ユニット１８を移動させる前の初期状態における受光量が低下するため、例えば、１００％の受光量に対応する電圧値として５Ｖに満たない電圧値が登録される。そして、切削ユニット１８を移動させ該電圧が該所定の電圧値、例えば、６０％の受光量に対応する電圧値になるとき、位置認識ユニットで認識される切削ユニット１８の高さ位置が基準位置として基準位置登録部６０に登録される。 When dirt 72 or the like adheres to the light receiving window 52b, first, the amount of light received in the initial state before moving the cutting unit 18 decreases, so that, for example, the voltage value corresponding to 100% of the amount of light received is satisfied with 5V. No voltage value is registered. Then, when the cutting unit 18 is moved and the voltage becomes a voltage value corresponding to the predetermined voltage value, for example, 60% of the received light amount, the height position of the cutting unit 18 recognized by the position recognition unit is the reference position. Is registered in the reference position registration unit 60.

このとき、図６（Ａ）右側に示す通り、汚れ７２に光が遮られるため該刃先１８ｂが所定の高さ位置７４に達する前に該電圧が所定の電圧値となる。そのため、登録される基準位置と、該所定の高さ位置７４と、の間にずれ７６が生じる。その後、該刃先１８ｂが該受光窓５２ｂの下端の高さ位置に達したときの該切削ユニット１８の高さ位置が比較位置として比較位置登録部６２に登録される。そして、判定部６４は該基準位置と、該比較位置と、の差を評価する。 At this time, as shown on the right side of FIG. 6A, since the light is blocked by the dirt 72, the voltage becomes a predetermined voltage value before the cutting edge 18b reaches the predetermined height position 74. Therefore, a deviation 76 occurs between the registered reference position and the predetermined height position 74. After that, the height position of the cutting unit 18 when the cutting edge 18b reaches the height position of the lower end of the light receiving window 52b is registered in the comparison position registration unit 62 as a comparison position. Then, the determination unit 64 evaluates the difference between the reference position and the comparison position.

図６（Ａ）右側に示す通り、基準位置及び比較位置の差８０と、所定の高さ位置及び比較位置の差７８と、の間にはずれ７６が生じている。該ずれ７６の大きさがセットアップ工程を適切に実施できない程の大きさである場合、判定部６４が基準位置及び比較位置の差８０が該許容範囲内にないと判定する。すなわち、該受光窓５２ｂに汚れ７２等が付着していることが確認される。 As shown on the right side of FIG. 6A, there is a gap 76 between the difference 80 between the reference position and the comparison position and the difference 78 between the predetermined height position and the comparison position. When the size of the deviation 76 is large enough to prevent the setup process from being properly performed, the determination unit 64 determines that the difference 80 between the reference position and the comparison position is not within the allowable range. That is, it is confirmed that dirt 72 or the like is attached to the light receiving window 52b.

この場合、判定部６４は該判定の結果を報知ユニット６６に伝達し、報知ユニット６６は該判定の結果を切削装置２の使用者又は管理者等に報知する。このままではセットアップ工程を適切に実施できないため、例えば、該使用者又は管理者は刃先検出ユニット４０を清掃して汚れ７２等を除去する。 In this case, the determination unit 64 transmits the determination result to the notification unit 66, and the notification unit 66 notifies the user or the manager of the cutting device 2 of the determination result. Since the setup process cannot be properly performed as it is, for example, the user or the manager cleans the cutting edge detection unit 40 to remove dirt 72 and the like.

次に、図６（Ｂ）右側に示す通り、受光窓５２ｂの上部側に汚れ７２が付着している場合における判定部６２による判定について説明する。この場合、汚れ７２により予め受光窓５２ｂに到達する光が遮られているため、汚れ７２が存在する高さ位置で該刃先１８ｂが移動しても、該電圧の低下量が通常よりも小さくなる。そのため、該電圧が所定の電圧値（割合）となる基準位置は、該所定の高さ位置７４よりも下方となる。 Next, as shown on the right side of FIG. 6B, the determination by the determination unit 62 when the dirt 72 is attached to the upper side of the light receiving window 52b will be described. In this case, since the light reaching the light receiving window 52b is blocked in advance by the dirt 72, even if the cutting edge 18b moves at the height position where the dirt 72 exists, the amount of decrease in the voltage becomes smaller than usual. .. Therefore, the reference position where the voltage becomes a predetermined voltage value (ratio) is lower than the predetermined height position 74.

基準位置及び比較位置の差８０と、所定の高さ位置及び比較位置の差７８と、の間にはずれ７６が生じる。該ずれ７６の大きさがセットアップ工程を適切に実施できない程の大きさである場合、判定部６４が基準位置及び比較位置の差８０が該許容範囲内にないと判定し、該報知ユニット６６は該判定の結果を報知する。 A gap 76 occurs between the difference 80 between the reference position and the comparison position and the difference 78 between the predetermined height position and the comparison position. When the size of the deviation 76 is large enough to prevent the setup process from being properly performed, the determination unit 64 determines that the difference 80 between the reference position and the comparison position is not within the allowable range, and the notification unit 66 determines that the difference 80 is not within the allowable range. The result of the determination is notified.

なお、本発明の一態様に係る切削装置２では、受光窓５２ｂに付着した汚れ７２によりずれ７６が生じる場合に、切削ユニット１８が所望の高さ位置に位置付けられるように該ずれ７６を打ち消すように切削ユニット１８の高さ位置を補正してもよい。例えば、切削ユニット１８を下降させて該電圧が所定の電圧値（割合）となる基準位置に切削ユニット１８を位置付け、次に、該ずれ７６の大きさの分だけ切削ユニット１８を移動させる。すると、切削ユニット１８を所定の高さ位置に位置付けられる。 In the cutting device 2 according to one aspect of the present invention, when the deviation 76 is caused by the dirt 72 adhering to the light receiving window 52b, the deviation 76 is canceled so that the cutting unit 18 is positioned at a desired height position. The height position of the cutting unit 18 may be corrected. For example, the cutting unit 18 is lowered to position the cutting unit 18 at a reference position where the voltage becomes a predetermined voltage value (ratio), and then the cutting unit 18 is moved by the amount of the deviation 76. Then, the cutting unit 18 is positioned at a predetermined height position.

そのため、ずれ７６の大きさがセットアップ工程を適切に実施できない程の大きさであると判定部６４が判定する場合でも、切削ユニット１８の高さ位置の補正が可能である場合、報知ユニット６６は直ちに判定部６４による判定結果を報知しなくてもよい。そして、切削ユニット１８の高さ位置の補正が繰り返され、補正量が徐々に大きくなり、補正量が所定の閾値を超える場合に報知ユニット６６はその旨を報知してもよい。 Therefore, even if the determination unit 64 determines that the size of the deviation 76 is such that the setup process cannot be properly performed, the notification unit 66 can correct the height position of the cutting unit 18. It is not necessary to immediately notify the determination result by the determination unit 64. Then, the correction of the height position of the cutting unit 18 is repeated, the correction amount gradually increases, and when the correction amount exceeds a predetermined threshold value, the notification unit 66 may notify to that effect.

以上に説明するように、本実施形態に係る切削装置２によると刃先検出ユニット４０に汚れが付着したか否かを容易に判定できる。特に、受光部５２の受光窓５２ｂの下端部又上端部の形状が該切削ブレードの刃先１８ｂの形状に対応した形状とされると、判定部６４は高い精度で判定を実施できる。 As described above, according to the cutting device 2 according to the present embodiment, it is possible to easily determine whether or not the cutting edge detection unit 40 is dirty. In particular, when the shape of the lower end portion or the upper end portion of the light receiving window 52b of the light receiving unit 52 corresponds to the shape of the cutting edge 18b of the cutting blade, the determination unit 64 can perform the determination with high accuracy.

なお、上記実施形態では、切削装置２が２つの切削ユニットを有し、それぞれの切削ユニット１８に備えられた刃先検出ユニット４０によりセットアップ工程を実施する場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。２つの切削ユニットが共通して１つの刃先検出ユニット４０を使用してもよい。また、切削装置２に備えられた切削ユニット１８は一つでもよい。また、上記実施形態では、受光部５２で受光される光の受光量が所定値となったときの切削ユニット１８の高さ位置を基準位置としたが、本発明の一態様はこれに限定されない。 In the above embodiment, the case where the cutting device 2 has two cutting units and the setup process is carried out by the cutting edge detection unit 40 provided in each cutting unit 18 has been described. However, one aspect of the present invention is described. Not limited to this. Two cutting units may use one cutting edge detection unit 40 in common. Further, the number of cutting units 18 provided in the cutting device 2 may be one. Further, in the above embodiment, the height position of the cutting unit 18 when the amount of light received by the light receiving unit 52 reaches a predetermined value is set as a reference position, but one aspect of the present invention is not limited to this. ..

例えば、受光窓５２ｂの上端部の形状が切削ブレードの刃先１８ｂの形状に対応した形状である場合、該光の該受光量が減少し始める際の切削ユニット１８の高さ位置を基準位置としてもよい。または、受光窓５２ｂの下端部の形状が切削ブレードの刃先１８ｂの形状に対応した形状である場合、該受光量の減少が終了した時の切削ユニット１８の高さ位置を基準位置としてもよい。 For example, when the shape of the upper end portion of the light receiving window 52b corresponds to the shape of the cutting edge 18b of the cutting blade, the height position of the cutting unit 18 when the light receiving amount of the light starts to decrease can be used as a reference position. good. Alternatively, when the shape of the lower end portion of the light receiving window 52b corresponds to the shape of the cutting edge 18b of the cutting blade, the height position of the cutting unit 18 when the decrease in the light receiving amount is completed may be used as the reference position.

この場合、受光窓５２ｂの下端又は上端の高さ位置が切削装置２のチャックテーブル８の保持面８ａの高さ位置となるように刃先検出ユニット４０を切削装置２に配設する。受光部５２の受光窓５２ｂの下端部又は上端部の形状が切削ブレードの刃先１８ｂの形状に対応した形状であると、該光の受光量の減少の開始又は該減少の停止を明確に捉えられる。そのため、セットアップ工程を適切に実施できる。 In this case, the cutting edge detection unit 40 is arranged in the cutting device 2 so that the height position of the lower end or the upper end of the light receiving window 52b is the height position of the holding surface 8a of the chuck table 8 of the cutting device 2. When the shape of the lower end or the upper end of the light receiving window 52b of the light receiving portion 52 corresponds to the shape of the cutting edge 18b of the cutting blade, the start or stop of the decrease in the light receiving amount can be clearly captured. .. Therefore, the setup process can be appropriately carried out.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

２切削装置
４装置基台
６Ｘ軸移動テーブル
８チャックテーブル
８ａ保持面
１０クランプ
１２，２４，３０ガイドレール
１４，２８，３４ボールねじ
１６，２８ａ，３６パルスモータ
１８切削ユニット
１８ａ切削ブレード
１８ｂ刃先
１８ｃ刃先の形状
２０排水路
２２支持構造
２６，３２移動プレート
３８撮像ユニット（カメラ）
４０刃先検出ユニット
４２表示モニタ
４４警報ランプ
４６制御ユニット
４８本体
４８ａ切削ブレード進入部
４８ｂカバー
５０発光部
５０ａ光源
５０ｂ発光窓
５２受光部
５２ａ受光素子
５２ｂ，５２ｃ受光窓
５４電圧記録部
５６高さ制御部
５８所定電圧登録部
６０基準位置登録部
６２比較位置登録部
６４判定部
６６報知ユニット
６８ａ，６８ｂ，６８ｃ関係
７０基準電圧
７２汚れ
７４所定の高さ位置
７６ずれ
７８所定の高さ位置及び比較位置の差
８０基準位置及び比較位置の差 2 Cutting device 4 Device base 6 X-axis moving table 8 Chuck table 8a Holding surface 10 Clamp 12, 24, 30 Guide rail 14, 28, 34 Ball screw 16, 28a, 36 Pulse motor 18 Cutting unit 18a Cutting blade 18b Cutting edge 18c Cutting edge shape 20 Drainage channel 22 Support structure 26,32 Moving plate 38 Imaging unit (camera)
40 Blade tip detection unit 42 Display monitor 44 Alarm lamp 46 Control unit 48 Main body 48a Cutting blade approach part 48b Cover 50 Light emitting part 50a Light source 50b Light emitting window 52 Light receiving part 52a Light receiving element 52b, 52c Light receiving window 54 Voltage recording unit 56 Height control unit 58 Predetermined voltage registration unit 60 Reference position registration unit 62 Comparison position registration unit 64 Judgment unit 66 Notification unit 68a, 68b, 68c Relationship 70 Reference voltage 72 Dirt 74 Predetermined height position 76 Misalignment 78 Predetermined height position and comparison position Difference 80 Difference between reference position and comparison position

Claims

A chuck table that holds the workpiece, a cutting unit equipped with a cutting blade that cuts the workpiece held on the chuck table, a moving unit that moves the cutting unit downward, and a cutting edge of the cutting blade. A cutting device equipped with a cutting edge detection unit that detects the height position of the cutting tool.
The cutting edge detection unit is
It is provided with a light emitting part and a light receiving part facing each other across the blade approaching part into which the cutting blade invades.
It has a function of detecting the height position of the cutting edge of the cutting blade from the amount of light received by the light emitting portion when the cutting blade has entered the blade approaching portion.
The light receiving unit includes a light receiving window irradiated with the light emitted by the light emitting unit and a light receiving element that receives the light that has passed through the light receiving window.
A cutting device characterized in that the shape of the upper end portion or the lower end portion of the light receiving window is an arc having the same diameter as the cutting edge of the annular cutting blade.

A position recognition unit that recognizes the height position of the cutting unit and a control unit that controls each component are further provided.
The control unit is
The cutting blade is moved downward to enter the blade approaching portion, and is recognized by the position recognition unit when the light receiving amount of the light emitted by the light emitting portion and received by the light receiving portion reaches a predetermined value. A reference position registration unit that registers the height position of the cutting unit as the reference position of the cutting unit, and
When the cutting blade is moved downward to enter the blade approaching portion and the light receiving amount of the light emitted by the light emitting portion and received by the light receiving portion starts to decrease, or when the decrease in the light receiving amount stops. A comparison position registration unit that registers the height position of the cutting unit recognized by the position recognition unit as a comparison position, and a comparison position registration unit.
A determination unit for determining whether or not the difference between the reference position registered in the reference position registration unit and the comparison position registered in the comparison position registration unit is within an allowable range.
The cutting device according to claim 1, further comprising a notification unit that notifies the result of the determination when the determination unit determines that the difference is not within the permissible range.

A position recognition unit that recognizes the height position of the cutting unit and a control unit that controls each component are further provided.
The control unit is
When the shape of the upper end portion of the light receiving window is an arc having the same diameter as the cutting edge of the cutting blade, the cutting blade is moved downward to enter the blade approaching portion, and the light is emitted by the light emitting portion and received light by the light receiving portion. The height position of the cutting unit recognized by the position recognition unit when the received amount of the received light starts to decrease is registered as the reference position of the cutting unit.
When the shape of the lower end of the light receiving window is an arc having the same diameter as the cutting edge of the cutting blade, the cutting blade is moved downward to enter the blade approaching portion, and the light is emitted by the light emitting portion and received light by the light receiving portion. The cutting according to claim 1, wherein the height position of the cutting unit recognized by the position recognition unit is registered as a reference position of the cutting unit when the decrease of the received light amount of the light is stopped. Device.