JP7309878B2 - 三次元造形機 - Google Patents

Description

本明細書は、電子回路を有する三次元造形物を製造する三次元造形機に関する。

電子回路の回路パターンが形成された基板に電子部品を装着して、基板製品を製造する技術が普及している。近年では、基板の形態をとらない電子回路を直接的に三次元造形物に形成する三次元造形機が開発されている。三次元造形機は、三次元造形物の造形作業と、回路パターンの形成作業と、回路パターンへの電子部品の装着作業とを行う。この種の三次元造形機に関する一技術例が特許文献１に開示されている。

特許文献１の製造装置(三次元造形機)は、三次元造形物を載置するステージ（パレット）と、ステージを移動させる駆動装置と、三次元造形物の各層を形成し、各層に含まれる絶縁層および回路パターンの少なくとも一つを造形する造形ユニットと、回路パターンに電子部品を装着する装着ユニットと、造形ユニットおよび装着ユニットの作業工程に応じてステージの移動を制御する制御部と、を備える。これによれば、ステージ上で造形および装着の作業工程を行うので、工程ごとにステージ上のワークを取り出して位置合わせを実施する必要がなく、作業工程の移行に要する時間が短縮される、とされている。

特許第６４０３７８５号公報

ところで、特許文献１の三次元造形機において、複数のユニットの間でパレットを自在に移動させることが必要であるため、駆動装置が大型化していた。さらに、動作中のユニットの熱放散や送風、紫外線照射などの影響を抑制するために、ユニット間の離間距離を拡げたり、遮蔽機構を設けたりしていた。このため、三次元造形機の全体が大掛かりな設備となる問題があり、さらに、大きな設置スペースが必要とされる。加えて、三次元造形機の運搬や据え付け工事も大掛かりとなり、作業者が難渋していた。

本明細書では、パレットの移動に関する構成を改良して、従来よりも小型化された三次元造形機を提供することを解決すべき課題とする。

本明細書は、電子回路を有する三次元造形物を製造する三次元造形機であって、隣接して配置される複数のモジュールと、複数の前記モジュールの各々に設けられ、パレットの上に前記三次元造形物を製造する作業を分担する作業ユニットと、複数の前記モジュールの各々に設けられ、前記パレットを前記モジュール内に搬入し、および前記モジュール外に搬出し、かつ、前記パレットを隣接する別の前記モジュールとの間で受け渡し可能とするパレット搬送部と、を備える三次元造形機を開示する。

本明細書で開示する三次元造形機によれば、複数のモジュールの各々に設けられた複数のパレット搬送部は、パレットの搬送動作を分担して行う。このため、機内のほぼ全域でパレットを自在に移動させる従来技術の駆動装置と比較して、複数のパレット搬送部を小型化することができる。これにより、三次元造形機の小型化が実現される。

第１実施形態の三次元造形機の構成を示す平面図である。 パレット上における三次元造形物の配置例を示す平面図である。 三次元造形物の一例である環形センサの平面図である。 環形センサの正面図である。 三次元造形機を用いた三次元造形物の製造工程図である。 第１実施形態の三次元造形機の機能構成を示すブロック図である。 第１実施形態の変形形態の機能構成を示すブロック図である。 第２実施形態の三次元造形機の機能構成を示すブロック図である。 第２実施形態の変形形態の機能構成を示すブロック図である。 第３実施形態の三次元造形機の機能構成を示すブロック図である。 第４実施形態の三次元造形機の機能構成を示すブロック図である。 第５実施形態の三次元造形機の機能構成を示すブロック図である。

１．第１実施形態の三次元造形機１の全体構成
まず、第１実施形態の三次元造形機１の全体構成について、図１を参考にして説明する。図１の右上の矢印に示されるように、三次元造形機１の前後左右を便宜的に定める。三次元造形機１は、電子回路を有する三次元造形物を製造する。三次元造形物の形状は、三次元形状データによって規定される。三次元形状データは、所定の微小高さ寸法のピッチで形状を規定する二次元の層データの複数個からなる。

三次元造形機１は、複数のモジュール、複数のモジュールの各々に設けられる作業ユニット、複数のモジュールの各々に設けられるパレット搬送部、および遮蔽部材７などで構成されている。複数のモジュールは、具体的には、右側の造形モジュール１Ａおよび左側の装着モジュール１Ｂが相当する。複数の作業ユニットは、パレットＰｍの上に三次元造形物を製造する作業を分担する。複数のパレット搬送部は、パレットＰｍをモジュール内に搬入し、およびモジュール外に搬出し、かつ、パレットＰｍを隣接する別のモジュールとの間で受け渡し可能とする。製造途中の三次元造形物は、パレットＰｍに載置された状態で搬送される。

造形モジュール１Ａは、第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、三次元造形物の造形作業を分担する造形作業ユニット群４、および電子回路の回路パターンの形成作業を分担する形成作業ユニット群５が設けられる。装着モジュール１Ｂは、第２パレット搬送部２５、および、回路パターンへの電子部品の装着作業を分担する装着作業ユニット群６が設けられる。

遮蔽部材７は、造形モジュール１Ａと装着モジュール１Ｂの間に配置される。遮蔽部材７は、隣接する二つのモジュールの間に配置され、一方のモジュール内の作業ユニットが他方のモジュールに及ぼす影響を抑制する。具体的に、遮蔽部材７は、一方のモジュール内の作業ユニットが行う熱放散、送風、および紫外線照射の少なくともひとつの影響を抑制する。遮蔽部材７は、例えば、断熱性能および紫外線の遮光性能に優れた材質が用いられて、板状に形成される。板状に形成された遮蔽部材７は、材質に関係なく送風の影響を抑制することができる。

２．造形モジュール１Ａの内部構成
次に、造形モジュール１Ａの内部構成について詳述する。第１パレット搬送部２１は、造形モジュール１Ａ内の後部寄りに配置され、左右方向に延在する。第１パレット搬送部２１は、造形モジュール１Ａの右方に開口する搬入端２３、および装着モジュール１Ｂに向かって開口する搬出端２４を有する。さらに、第１パレット搬送部２１は、途中に分岐部２２を有する。

第１パレット搬送部２１は、パレットＰｍを搬入端２３からモジュール内に搬入し、分岐部２２まで搬送する。さらに、第１パレット搬送部２１は、パレットＰｍを分岐部２２から搬出端２４まで搬送し、モジュール外に搬出する。なお、遮蔽部材７の搬出端２４に対応する領域は穿孔されており、パレットＰｍの搬出に支障はない。また、第１パレット搬送部２１は、パレットＰｍを搬出端２４から分岐部２２まで逆方向に搬送することもできる。

内部搬送ユニット３１は、パレットＰｍの搬送作業を分担する作業ユニットである。内部搬送ユニット３１は、分岐部２２から前方に向かって延在し、造形モジュール１Ａの左右方向の概ね中央を通る。内部搬送ユニット３１は、造形作業ユニット群４および形成作業ユニット群５に共用とされ、パレットＰｍを前後方向に搬送する。内部搬送ユニット３１は、分岐部２２の付近に図略のパレット載せ替え機構を有する。パレット載せ替え機構は、第１パレット搬送部２１と内部搬送ユニット３１の間で、パレットＰｍを載せ替える。

図１において、搬入端２３および分岐部２２にパレットＰｍが破線で示され、内部搬送ユニット３１の前端付近にパレットＰｍが実線で示されている。第１パレット搬送部２１および内部搬送ユニット３１は、それぞれ、輪転するコンベアベルトを有するコンベア装置を用いて構成される。なお、第１パレット搬送部２１および内部搬送ユニット３１は、コンベア装置以外の構成、例えば、ロボットハンドでパレットＰｍを把持して移動させる構成であってもよい。

造形作業ユニット群４は、造形モジュール１Ａの後部に配置される。造形作業ユニット群４は、紫外線の照射によって固化する造形インクを用いて、三次元造形物の造形作業を行う。造形作業ユニット群４は、造形インク印刷ユニット４１、平坦化ユニット４２、および硬化ユニット４３からなる。造形インク印刷ユニット４１は、ガントリー４１１、造形ヘッド４１２、造形ノズル４１３、インクタンク４１４、およびメンテナンス部４１５などで構成される。

ガントリー４１１は、内部搬送ユニット３１を跨ぐ門型の構造物である。ガントリー４１１の左右方向に延びる水平部分は、内部搬送ユニット３１に対して三次元造形物の高さ寸法を超えた高さに配置される。造形ヘッド４１２は、ガントリー４１１の水平部分に装架されて左右方向に移動する。造形ヘッド４１２の下側に、複数の造形ノズル４１３が前後方向に一列に並んで設けられる。複数の造形ノズル４１３は、造形インクの射出および停止を個別に切り替える機能を有する。造形インクは、造形モジュール１Ａの前部の左寄りに配置されたインクタンク４１４に貯留されており、図略のチューブを用いて造形ノズル４１３に供給される。

造形ヘッド４１２および造形ノズル４１３の動作に先立ち、パレットＰｍがガントリー４１１の下側の作業位置に搬入される。造形ヘッド４１２の左右方向への移動に連動して、造形ノズル４１３は、造形インクの射出および停止を個別に切り替える造形動作を行う。これにより、パレットＰｍの上に、造形インクの層形状が形成される。層形状は、層データに規定されている三次元造形物の形状に一致している。

なお、複数の造形ノズル４１３で造形可能な造形幅寸法が三次元造形物の大きさに対して不足する場合には、複数回の造形動作が行われる。詳述すると、一回目の造形動作の後に内部搬送ユニット３１が動作して、パレットＰｍの位置を前後方向に変更する。次いで、二回目の造形動作が行われ、一回目の造形動作で造形されなかった三次元造形物の範囲が造形される。このように、造形動作およびパレットＰｍの位置変更が繰り返されて、三次元造形物の全体の層形状が造形される。

層形状が造形されたパレットＰｍは、内部搬送ユニット３１によって平坦化ユニット４２の下側の作業位置に搬送される。なお、造形ヘッド４１２および造形ノズル４１３が内部搬送ユニット３１の上方に固定され、内部搬送ユニット３１の搬送によってパレットＰｍが前後方向に移動する造形動作が行われてもよい。

メンテナンス部４１５は、内部搬送ユニット３１の右側の位置であって、ガントリー４１１の下方の位置に設けられる。造形ヘッド４１２および造形ノズル４１３は、必要に応じてメンテナンス部４１５に移動し、メンテナンス部４１５からのメンテナンスを受ける。メンテナンス部４１５のメンテナンス内容として、造形ノズル４１３の先端を拭き取る清掃や、故障した造形ノズル４１３の交換などがある。

平坦化ユニット４２は、ガントリー４１１から前方に離隔した位置に、昇降可能に設けられる。平坦化ユニット４２は、搬入されたパレットＰｍ上の層形状の高さまで下降して、液状の層形状の表面を平坦化する。これにより、層形状の高さは、均一化されて所定の微小高さ寸法に整えられる。この後、パレットＰｍは、内部搬送ユニット３１によって硬化ユニット４３の下側の作業位置に搬送される。

硬化ユニット４３は、ガントリー４１１の前側の位置に、昇降可能に設けられる。硬化ユニット４３は、搬入されたパレットＰｍ上の層形状に接近するまで下降して、層形状に紫外線を照射する。これにより、造形インク中の重合性化合物が重合して固化し、層形状は固体化する。硬化ユニット４３が行う紫外線照射の影響は、遮蔽部材７によって抑制され、装着モジュール１Ｂへ殆ど影響を及ぼさない。したがって、紫外線照射への対策を必要とする範囲が造形モジュール１Ａ内に限定され、コストの上昇が抑制されるとともに、動作信頼性が向上する。

造形ヘッド４１２および造形ノズル４１３、平坦化ユニット４２、ならびに硬化ユニット４３は、順番に繰り返して動作することができる。２回目以降の動作では、固体の層形状の上側に、液状の層形状が重なるように形成されて固体化される。これにより、造形途中の三次元造形物の高さは、微小高さ寸法ずつ増加する。この後、パレットＰｍは、次工程の内容に対応する位置へと搬送される。

形成作業ユニット群５は、造形モジュール１Ａの前部に配置される。形成作業ユニット群５は、溶剤中に銀などの金属微粒子が混入された導電性インクを用いて、三次元造形物に回路パターンを描画形成する。形成作業ユニット群５は、回路インク印刷ユニット５１、乾燥ユニット５２、および焼成ユニット５３からなる。回路インク印刷ユニット５１は、ガントリー５１１、描画ヘッド５１２、インクジェットノズル５１３、洗浄液タンク５１４、およびメンテナンス部５１５などで構成される。

ガントリー５１１は、内部搬送ユニット３１を跨ぐ門型の構造物である。ガントリー５１１の左右方向に延びる水平部分は、内部搬送ユニット３１に対して三次元造形物の高さ寸法を超えた高さに配置される。描画ヘッド５１２は、ガントリー５１１の水平部分に装架されて左右方向に移動する。描画ヘッド５１２の下側に、複数のインクジェットノズル５１３が前後方向に一列に並んで設けられる。複数のインクジェットノズル５１３は、導電性インクの射出および停止を個別に切り替える機能を有する。

描画動作に先立ち、描画ヘッド５１２およびインクジェットノズル５１３は、メンテナンス部５１５に移動する。メンテナンス部５１５は、内部搬送ユニット３１の右側の位置であって、ガントリー５１１の下方の位置に設けられる。メンテナンス部５１５において、オペレータは、導電性インクをインクジェットノズル５１３へ補給する補給作業を実施する。

ここで、導電性インクは、使用可能期間が比較的短いため、廃棄される場合がある。この場合、インクタンク４１４の前側の洗浄液タンク５１４に貯留されている洗浄液は、図略のチューブを用いてインクジェットノズル５１３に供給される。これにより、インクジェットノズル５１３は、内部が洗浄される。さらに、インクジェットノズル５１３は、洗浄液が充たされた状態に保たれ、次回の補給作業まで清浄状態が維持される。

また、描画動作に先立ち、造形途中または造形後の三次元造形物が載置されたパレットＰｍがガントリー５１１の下側の作業位置に搬入される。描画ヘッド５１２の左右方向への移動に連動して、インクジェットノズル５１３は、導電性インクの射出および停止を個別に切り替える描画動作を行う。これにより、層データに規定されている回路パターンの形状が描画される。

なお、複数のインクジェットノズル５１３で描画可能な描画幅寸法が回路パターンに対して不足する場合には、複数回の描画動作が行われる。詳述すると、一回目の描画動作の後に内部搬送ユニット３１が動作して、パレットＰｍの位置を前後方向に変更する。次いで、二回目の描画動作が行われ、一回目の描画動作で描かれなかった回路パターンの範囲が描画される。このように、描画動作およびパレットＰｍの位置変更が繰り返されて、回路パターンの全体形状が描画される。なお、描画ヘッド５１２およびインクジェットノズル５１３が内部搬送ユニット３１の上方に固定され、内部搬送ユニット３１の搬送によってパレットＰｍが前後方向に移動する描画動作が行われてもよい。

焼成ユニット５３は、内部搬送ユニット３１の右側の位置であって、回路インク印刷ユニット５１よりも前側の位置に配置される。乾燥ユニット５２は、焼成ユニット５３に付属して設けられる。描画動作が済んだパレットＰｍは、内部搬送ユニット３１によって焼成ユニット５３の左側の作業位置まで搬送される。焼成ユニット５３は、図略の搬送ハンドを用いて、パレットＰｍから回路パターンが描画された三次元造形物を取り込む。乾燥ユニット５２は、三次元造形物上の導電性インクに向かって冷風または熱風を送り、溶剤の一部を蒸発させて乾燥させる。

次に、焼成ユニット５３は、導電性インクを加熱して溶剤をさらに蒸発させ、回路パターンを焼成する。次に、焼成ユニット５３は、搬送ハンドを用いて、回路パターンが焼成された三次元造形物をパレットＰｍの元の位置に返送する。なお、焼成ユニット５３は、三次元造形物が載置されたパレットＰｍの全体を取り込んで焼成するように動作してもよい。また、乾燥ユニット５２および焼成ユニット５３は、別体で構成されてもよい。

乾燥ユニット５２が行う送風の影響は、遮蔽部材７によって抑制され、装着モジュール１Ｂへ殆ど影響を及ぼさない。さらに、焼成ユニット５３が行う加熱時の熱放散の影響は、遮蔽部材７によって抑制され、装着モジュール１Ｂへ殆ど影響を及ぼさない。したがって、送風や熱放散への対策を必要とする範囲が造形モジュール１Ａ内に限定され、コストの上昇が抑制されとともに、動作信頼性が向上する。

３．装着モジュール１Ｂの内部構成
次に、装着モジュール１Ｂの内部構成について詳述する。第２パレット搬送部２５は、装着モジュール１Ｂ内の後部寄りに配置され、左右方向に延在する。第２パレット搬送部２５は、造形モジュール１Ａに向かって開口する搬入端２６、および装着モジュール１Ｂの左方に開口する搬出端２７を有する。第２パレット搬送部２５の搬入端２６は、第１パレット搬送部２１の搬出端２４に近距離で対向しており、パレットＰｍの受け渡しが可能となっている。

第２パレット搬送部２５は、パレットＰｍを搬入端２６で受け取ってモジュール内に搬入し、所定の装着実施位置まで搬送する。また、第２パレット搬送部２５は、パレットＰｍを装着実施位置から搬入端２６まで逆方向に搬送することもできる。さらに、第２パレット搬送部２５は、完成された三次元造形物が載置されているパレットＰｍを搬出端２７まで搬送し、モジュール外に搬出する。

図１において、装着実施位置にパレットＰｍが実線で示され、搬出端２７にパレットＰｍが破線で示されている。第２パレット搬送部２５は、第１パレット搬送部２１と同様、輪転するコンベアベルトを有するコンベア装置を用いて構成される。第１パレット搬送部２１および第２パレット搬送部２５は、独立して動作することにより、異なるパレットＰｍを搬送することができる。

装着作業ユニット群６は、装着モジュール１Ｂの大部分を占める。装着作業ユニット群６は、三次元造形物に形成された回路パターンに電子部品を装着する。装着作業ユニット群６は、部品装着ユニット６１、部品供給ユニット６２、ペースト供給ユニット６３、およびペースト硬化ユニット６４からなる。部品装着ユニット６１は、第２パレット搬送部２５の装着実施位置に保持されているパレットＰｍに対して装着作業を実施する。部品装着ユニット６１は、移動ガントリー６１１、装着ヘッド６１２、部品カメラ６１４、および装着具ステーション６１５などで構成される。

移動ガントリー６１１は、前後方向に移動可能な門型の移動装置である。移動ガントリー６１１は、第２パレット搬送部２５の上方を通過して、装着モジュール１Ｂの概ね前端から後端まで移動する。装着ヘッド６１２は、移動ガントリー６１１に設けられ、左右方向に移動する。装着ヘッド６１２は、その下側に１個または複数個の部品装着具６１３を交換可能に保持する。部品装着具６１３は、部品供給ユニット６２から電子部品を採取して、回路パターンに装着する。複数個の部品装着具６１３は、図１に示されるように直線上に配置されてもよいし、円周上に配置されてもよい。部品装着具６１３として、吸着ノズルや挟持式装着具を例示できる。

部品カメラ６１４は、装着モジュール１Ｂの中央付近に配置される。部品カメラ６１４は、装着ヘッド６１２の部品装着具６１３が電子部品を採取している状況を下方から撮影して、画像データを取得する。取得された画像データは、画像処理されて、電子部品の有無や正誤が判定されるとともに、採取されている姿勢が判定される。これらの判定結果は、電子部品の装着作業に反映される。

装着具ステーション６１５は、部品カメラ６１４の左側に配置される。装着具ステーション６１５は、電子部品の大きさなどに応じて使い分けられる複数種類の部品装着具６１３を一時的に保管する。装着具ステーション６１５は、さらに、ペースト状の導電性材料を塗布する塗布具６３１（詳細後述）を一時的に保管する。装着ヘッド６１２は、装着具ステーション６１５の上方に移動して、保持する部品装着具６１３や塗布具６３１を自動で交換することができる。

部品供給ユニット６２は、トレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５からなる。トレイ式部品供給ユニット６２１は、第２パレット搬送部２５の前側に配置される。トレイ式部品供給ユニット６２１は、複数の電子部品を保持するトレイ６２２を用いて電子部品を供給する。複数のトレイ６２２は、部品パレット６２３に載置されている。部品パレット６２３は、装着モジュール１Ｂの左側面に開口する搬入出口６２４から搬入される。なお、部品パレット６２３を自動で搬入出するパレット搬送装置が付属されてもよい。

フィーダ式部品供給ユニット６２５は、装着モジュール１Ｂの前部の左寄りに配置される。フィーダ式部品供給ユニット６２５は、複数のフィーダ装置６２６が配列されて構成される。各フィーダ装置６２６は、複数の電子部品を保持するキャリアテープを送り出して電子部品を供給する。

ペースト供給ユニット６３は、装着モジュール１Ｂの前部の右寄りに、フィーダ式部品供給ユニット６２５と並んで配置される。ペースト供給ユニット６３は、回路パターンの部品装着位置と電子部品の接続部（電極やリード）とを電気的および機械的に接続するペースト状の導電性材料を供給する。以降「ペースト状の導電性材料」を「ペースト」と略称する。ペーストとして、導電性インクよりも粘度の高い銀ペーストや導電性接着剤が用いられ、他に、溶融した半田が用いられてもよい。ペースト供給ユニット６３は、前方へ引き出されることにより、ペーストの補給やメンテナンス、調整などが行われる。

ペーストの塗布作業には、回路パターンの部品装着位置に塗布する第１塗布方法、および電子部品の接続部に塗布する第２塗布方法がある。第１塗布方法において、ペーストを塗布する塗布具６３１は、装着ヘッド６１２に保持される。つまり、装着ヘッド６１２は、塗布具６３１および部品装着具６１３を交換可能に保持し、または、塗布具６３１および部品装着具６１３の両方を保持する。一方、第２塗布方法において、塗布具６３１は使用されない。第１塗布方法および第２塗布方法のいずれの場合でも、装着ヘッド６１２は、ペーストの塗布作業および電子部品の装着作業の二役を演じる。

装着作業ユニット群６の装着作業に先立ち、既に回路パターンが形成されている三次元造形物を載置したパレットＰｍが装着実施位置に搬入される。ペーストの第１塗布方法が用いられる場合、装着ヘッド６１２は、まず、塗布具６３１を保持した状態でペースト供給ユニット６３の上方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、塗布具６３１を下降させて、その下部をペーストに浸漬させ、ペーストを付着させる。

次に、装着ヘッド６１２は、部品カメラ６１４の上方に移動する。部品カメラ６１４は、塗布具６３１を下方から撮像して、画像データを取得する。取得された画像データは、画像処理されて、ペーストの付着状態の良否が判定される。仮に、付着状態が不良であるとき、装着ヘッド６１２は、ペースト供給ユニット６３の上方に再度移動して、リトライ動作を行う。

ペーストの付着状態が良好であるとき、装着ヘッド６１２は、装着実施位置の三次元造形物の上方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、塗布具６３１を下降させて、その下部に付着しているペーストを回路パターンの部品装着位置に塗布する。これで、ペーストの第１塗布方法が終了する。

塗布具６３１として、転写ピンを例示でき、これに限定されない。転写ピンは、回路パターンに塗布すべき形状および面積を模した転写面を先端に有する。転写ピンが有する転写面の個数は、１個だけでもよく、離隔した複数個でもよい。転写ピンがペースト供給ユニット６３に向かって下降したとき、転写面は、ペーストに浸漬されて、ペーストが付着する。その後、転写ピンが回路パターンに向かって下降すると、転写面は、回路パターンの部品装着位置に接し、ペーストを転写させて塗布する。

次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を保持した状態でトレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５の少なくとも一方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を下降させて、トレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５の少なくとも一方から電子部品を採取する。次に、装着ヘッド６１２は、部品カメラ６１４の上方に移動する。部品カメラ６１４は、部品装着具６１３が電子部品を採取している状態を下方から撮影して、画像データを取得する。取得された画像データは、画像処理されて、電子部品の有無や正誤、採取姿勢が判定される。

仮に不良と判定されたとき、装着ヘッド６１２は、不良と判定された電子部品の廃棄処理を行う。良好と判定されたとき、装着ヘッド６１２は、装着実施位置の三次元造形物の上方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を下降させて、回路パターン上のペーストの上に電子部品を装着する。これで、電子部品の装着作業が終了する。なお、複数の部品装着具６１３を保持する装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３の個数に等しい電子部品を一度の装着作業で装着することができる。また、ペーストの塗布作業および電子部品の装着作業は、必要に応じて複数サイクルが繰り返される。

一方、ペーストの第２塗布方法が用いられる場合、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を保持した状態で、トレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５の少なくとも一方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を下降させて、トレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５の少なくとも一方から電子部品を採取する。

次に、装着ヘッド６１２は、ペースト供給ユニット６３の上方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を下降させて、採取している電子部品の接続部をペーストに浸漬させる。これにより、接続部にペーストが塗布される。なお、複数の部品装着具６１３を保持する装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３をひとつずつ下降させて塗布作業を行う。

次に、装着ヘッド６１２は、部品カメラ６１４の上方に移動する。部品カメラ６１４は、部品装着具６１３に採取されている電子部品を下方から撮像して、画像データを取得する。取得された画像データは、画像処理されて、電子部品の採取姿勢、およびペーストの付着状態の良否が判定される。

仮に不良と判定されたとき、装着ヘッド６１２は、リトライ動作、または不良と判定された電子部品の廃棄動作を行う。良好と判定されたとき、装着ヘッド６１２は、装着実施位置の三次元造形物の上方に移動する。次に、装着ヘッド６１２は、部品装着具６１３を下降させて、ペーストが塗布された電子部品を回路パターンの上に装着する。これで、ペーストの第２塗布方法を併用した電子部品の装着作業が終了する。

ペースト硬化ユニット６４は、ペーストを加熱して硬化させ、電子部品の装着状態を確かなものにする。本第１実施形態において、造形モジュール１Ａの焼成ユニット５３がペースト硬化ユニット６４の機能を兼ねる。つまり、電子部品の装着作業が終了したパレットＰｍは、焼成ユニット５３まで搬送されて、ペーストの硬化が行われる。これに限定されず、別体のペースト硬化ユニット６４が装着モジュール１Ｂ内に設けられてもよい。

４．三次元造形物Ｆｒの一例としての環形センサ９
次に、三次元造形物Ｆｒの一例について説明する。パレットＰｍの上には、１個または複数個の三次元造形物Ｆｒが製造される。図２に示される配置例において、９個の三次元造形物Ｆｒは、パレットＰｍ上に３×３に配置され、一度に製造される。９個の造形物Ｆｒは、全部が同一品でも、一部が同一品でも、全部が相異する形状でもよい。したがって、三次元造形機１は、多品種一括生産や、少しだけ設計が相違する複数の試作品の同時生産などの用途に適する。

三次元造形物Ｆｒの一例として、磁界を検出する環形センサ９の構成、およびその製造方法について説明する。図３および図４に示されるように、環形センサ９は、中空部９２を有する環形の基部９１、および基部９１に設けられた電子回路９５で構成される。基部９１の周方向に直交する断面は、矩形とされているが、これに限定されず円形であってもよい。基部９１の周方向の一部は、概ね上側の半分の厚みが省略されて、回路露出部９３となっている。

電子回路９５は、回路パターン９６、および回路パターン９６に接続される二個の電子部品で構成される。回路パターン９６は、基部９１の中間高さに埋め込まれており、回路露出部９３において露出している。回路パターン９６は、基部９１の周方向に沿う２個の同心円状の配線からなる。厳密には、回路パターン９６は、中心角が３６０°よりもわずかに小さく、かつ回路露出部９３の位置に両端を有する２個の円弧形状の配線からなる。回路パターン９６の合計４個の端部は、部品装着位置９７となる。

電子部品は、検知部品９８および電池９Ａからなる。検知部品９８は、回路パターン９６の４個の部品装着位置９７の上側に接続されている。検知部品９８は、電磁誘導作用を利用して、環形の回路パターン９６に鎖交する磁界の大きさを検知する。検知部品９８は、四角形の板状の外形を有するとともに、一対の出力端子９９をもつ。検知部品９８が回路露出部９３に配置されることにより、出力線を用いて出力端子９９の出力信号を外部に取り出せるようになっている。

電池９Ａは、検知部品９８の至近位置に装着される。電池９Ａは、検知部品９８の図示されない電源端子に直接的に接続されて、検知部品９８に電源を供給する。電池９Ａは、回路露出部９３に配置されることにより、消耗時に交換可能となっている。検知部品９８および電池９Ａは、トレイ式部品供給ユニット６２１のトレイ６２２から供給される。

図略の制御装置は、環形センサ９の三次元形状データを保持している。三次元形状データは、図４に示された最も下側の第１層データＬ１から最も上側の最上層データＬＨまでを含む。以下、下側の層データから順番に説明する。

第１層データＬ１から第（Ｎ－１）層データは、相互に同一であり、基部９１の回路露出部９３が無い環形の平面断面形状を表す。第Ｎ層データＬＮから第（Ｍ－１）層データは、相互に同一であり、基部９１の回路露出部９３が有るＣ字形の水平断面形状、および埋め込まれる回路パターン９６の形状を表す。第Ｍ層データＬＭは、基部９１の回路露出部９３が有るＣ字形の水平断面形状に加えて、検知部品９８および電池９Ａを装着する部品装着位置９７を表す。第（Ｍ＋１）層データから最上層データＬＨは、相互に同一であり、基部９１の回路露出部９３が有るＣ字形の水平断面形状を表す。

５．第１実施形態の三次元造形機１の動作および作用
次に、三次元造形機１が環形センサ９を製造する場合の動作について、図５を参考にして説明する。図５に示された製造工程図は、第１工程Ｋ１から第６工程Ｋ６までの６工程からなる。この製造工程図は、制御装置からの制御によって実行される。

第１工程Ｋ１で、第１パレット搬送部２１は、搬入端２３からパレットＰｍを搬入する。以降、第１パレット搬送部２１、第２パレット搬送部２５、および内部搬送ユニット３１がパレットＰｍを搬送する詳細な動作については、煩雑さを避けて説明を省略する。制御装置は、下側の層データから順番に参照して、層データごとに第２工程Ｋ２～第５工程Ｋ５を繰り返すように制御する。なお、繰り返しの中で、第２工程Ｋ２、第３工程Ｋ３、および第４工程Ｋ４のすべてが実行されるとは限らない。実際には、いずれかの一工程のみ、または二工程のみが実行される場合が多い。

第２工程Ｋ２で、造形作業ユニット群４が動作して、パレットＰｍの上に環形センサ９を微小高さ寸法ずつ造形する。次の第３工程Ｋ３で、形成作業ユニット群５が動作して、造形途中の環形センサ９に回路パターン９６を形成する。次の第４工程Ｋ４で、装着作業ユニット群６が動作して、回路パターン９６の部品装着位置９７に、検知部品９８および電池９Ａを装着する。

次の第５工程Ｋ５で、制御装置は、最上層データＬＨを参照する制御が終了したか否かを判定する。終了していない場合、制御装置は、参照する層データをひとつだけ上側に進めて、制御の実行を第２工程Ｋ２に戻す。最上層データＬＨを参照する制御が終了して、環形センサ９の製造が終了している場合、制御装置は、制御の実行を第６工程Ｋ６に進める。第６工程Ｋ６で、第２パレット搬送部２５は、搬出端２７からパレットＰｍとともに環形センサ９を搬出する。これで、環形センサ９を製造する１サイクルが終了する。

環形センサ９の製造工程において、第１層データＬ１から第（Ｎ－１）層データが参照されている間、第２工程Ｋ２のみが繰り返して実行される。また、第Ｎ層データＬＮから第（Ｍ－１）層データが参照されている間、第２工程Ｋ２および第３工程Ｋ３が繰り返して実行される。この繰り返しによって、基部９１の内部に回路パターン９６が形成される。さらに、第Ｍ層データＬＭが参照されると、第２工程Ｋ２および第４工程Ｋ４が実行される。この第４工程Ｋ４により、検知部品９８および電池９Ａが回路パターン９６上の部品装着位置９７に装着される。

また、第（Ｍ＋１）層データから最上層データＬＨが参照されている間、第２工程Ｋ２のみが繰り返して実行される。これにより、回路露出部９３が有る基部９１の概ね上側の半分が造形されて、回路パターン９６が埋め込まれる。以上の製造工程により、環形センサ９が完成する。

ここで、特許文献１に例示される従来技術の三次元造形機において、複数のパレットＰｍを同時に使用して複数の作業を並行させることができず、製造効率を高めることが困難であった。また、従来技術では、稼働中に動作を中断している作業ユニットにおいて、いつパレットＰｍが到来するか不明であるため、部材の補給やメンテナンスを行えない、という問題があった。

これに対し、本第１実施形態において、第１パレット搬送部２１および第２パレット搬送部２５は、独立して動作し、異なるパレットＰｍを搬送する。したがって、造形モジュール１Ａの作業ユニット、および装着モジュール１Ｂの作業ユニットは、異なる二つのパレットＰｍに対し、並行して作業を実施することができる。これにより、三次元造形機１の製造効率は、従来よりも高められる。なお、分岐部２２の付近に配置されたパレット載せ替え機構は、必要に応じて二つのパレットＰｍの位置を入れ替えて、並行する作業の実行を可能にする。

また、造形モジュール１Ａおよび装着モジュール１Ｂは、個別に稼働および停止の切り替えが可能とされている。したがって、一方のモジュールの稼働時に、他方のモジュールを停止して、部材の補給やメンテナンスを実施することができる。例えば、造形モジュール１Ａの稼働時に、装着モジュール１Ｂを停止して、トレイ６２２やフィーダ装置６２６を入れ替えたり、ペースト供給ユニット６３でペーストの補給やメンテナンスを実施したりすることができる。また、装着モジュール１Ｂの稼働時に、造形モジュール１Ａを停止して、回路インク印刷ユニット５１のメンテナンス部５１５でインクジェットノズル５１３のインク補給作業や洗浄作業を実施したり、インクタンク４１４に造形インクを補給したり、洗浄液タンク５１４に洗浄液を補給したりすることができる。

さらに、造形モジュール１Ａおよび装着モジュール１Ｂの一方は、他方からから切り離して移動できるように構成されている。これにより、モジュール単位での交換や、モジュール単位での精密点検などのメンテナンスが可能となる。加えて、モジュール単位に切り離して運搬することができるので、運搬具は簡易なものでよく、運搬作業や据え付け工事も容易になる。

６．第１実施形態の三次元造形機１の機能構成および変形形態
次に、三次元造形機１の機能構成に着目すると、三次元造形機１は、図６のブロック図によって表される。なお、図６～図１２において、双方向の矢印は、パレットＰｍの搬送を表す。図６に示されるように、造形モジュール１Ａは、９個のブロック要素、すなわち第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、および７個の作業ユニットが設けられる。作業ユニットの具体名は、造形インク印刷ユニット４１、平坦化ユニット４２、硬化ユニット４３、回路インク印刷ユニット５１、乾燥ユニット５２、焼成ユニット５３、およびペースト硬化ユニット６４である。また、装着モジュール１Ｂは、４個のブロック要素、すなわち第２パレット搬送部２５、部品装着ユニット６１、部品供給ユニット６２、およびペースト供給ユニット６３が設けられる。

図６のブロック図は、図７に示される変形形態の三次元造形機１１のブロック図に変形することができる。図７において、ペースト供給ユニット６３が装着モジュール１Ｂから造形モジュール１Ａに移動されており、他のブロック要素に変更はない。図７のブロック図の機能構成で、形成作業ユニット群５とペースト供給ユニット６３が同一モジュール内に設けられている。したがって、形成作業ユニット群５が回路パターンを形成した直後に、ペースト供給ユニット６３は、ペーストを用いて回路パターン上にパッド（電子部品を装着する電極）を形成することができる。このとき、パレットＰｍの搬送動作が軽減されるので、製造効率が高められる。

第１実施形態の三次元造形機１やその変形形態によれば、造形モジュール１Ａに設けられた第１パレット搬送部２１、および装着モジュール１Ｂに設けられた第２パレット搬送部２５は、パレットＰｍの搬送動作を分担して行う。このため、三次元造形機内でパレットＰｍを自在に移動させる従来技術の駆動装置と比較して、複数のパレット搬送部を小型化することができる。これにより、三次元造形機１の小型化が実現される。加えて、モジュール数を無意味に増やさずに２個として、モジュール内に複数の作業ユニットをコンパクトに配置したことも、小型化に寄与している。

７．第２実施形態の三次元造形機８１および変形形態
次に、第２実施形態およびその変形形態について、図８および図９のブロック図を参考にして説明する。図８に示されるように、第２実施形態の三次元造形機８１は、造形モジュール１Ａ、加熱モジュール１Ｃ、および装着モジュール１Ｂが記載順に隣接して配置される。

造形モジュール１Ａは、第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、造形インク印刷ユニット４１、平坦化ユニット４２、硬化ユニット４３、回路インク印刷ユニット５１、乾燥ユニット５２、およびペースト供給ユニット６３が設けられる。加熱モジュール１Ｃは、第２パレット搬送部２５、焼成ユニット５３、およびペースト硬化ユニット６４が設けられる。加熱モジュール１Ｃは、分担した作業で他に及ぼす影響度が大きな作業ユニットのみが設けられたモジュールであり、具体的には、作業で熱放散を行う作業ユニットのみが設けられたモジュールである。装着モジュール１Ｂは、第２パレット搬送部２５、部品装着ユニット６１、および部品供給ユニット６２が設けられる。

造形モジュール１Ａと加熱モジュール１Ｃの間の遮蔽部材７１は、断熱性能および遮光性能に優れる。加熱モジュール１Ｃと装着モジュール１Ｂの間の遮蔽部材７２は、断熱性能に優れる。第２実施形態において、熱放散を行う作業ユニットが加熱モジュール１Ｃにまとめられている。したがって、造形モジュール１Ａおよび装着モジュール１Ｂで、熱放散への対策が不要になる。さらに、加熱モジュール１Ｃおよび装着モジュール１Ｂで、紫外線照射への対策が不要になる。これらにより、コストの上昇が抑制されとともに、動作信頼性が向上する。

図８のブロック図は、図９に示される変形形態の三次元造形機８２のブロック図に変形することができる。図９において、ペースト供給ユニット６３が造形モジュール１Ａから装着モジュール１Ｂに移動されており、他のブロック要素および遮蔽部材（７１、７２）に変更はない。第１実施形態の変形形態で説明したように、ペースト供給ユニット６３の配置は、ペーストを供給する対象に応じて適宜変更される。変形形態の三次元造形機８２において、第２実施形態と同様、コストの上昇が抑制されとともに、動作信頼性が向上する。

８．第３～第５実施形態の三次元造形機（８３、８４、８５）
次に、第３～第５実施形態の三次元造形機（８３、８４、８５）について、図１０～図１２のブロック図を参考にして説明する。図１０に示されるように、第３実施形態の三次元造形機８３は、造形モジュール１Ａ、加熱モジュール１Ｃ、ペースト供給モジュール１Ｄ、および装着モジュール１Ｂが記載順に隣接して配置される。

造形モジュール１Ａは、第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、造形インク印刷ユニット４１、平坦化ユニット４２、硬化ユニット４３、回路インク印刷ユニット５１、および乾燥ユニット５２が設けられる。加熱モジュール１Ｃおよび装着モジュール１Ｂの内部構成は、第２実施形態と同じである。ペースト供給モジュール１Ｄは、第２パレット搬送部２５およびペースト供給ユニット６３が設けられる。

造形モジュール１Ａと加熱モジュール１Ｃの間の遮蔽部材７１は、断熱性能および遮光性能に優れる。加熱モジュール１Ｃとペースト供給モジュール１Ｄの間の遮蔽部材７２は、断熱性能に優れる。第３実施形態において、熱放散を行う作業ユニットが加熱モジュール１Ｃにまとめられている。したがって、加熱モジュール１Ｃ以外の三つのモジュールで、熱放散への対策が不要になる。さらに、造形モジュール１Ａ以外の三つのモジュールで、紫外線照射への対策が不要になる。これらにより、コストの上昇が抑制されとともに、動作信頼性が向上する。

また、図１０と図８を比較すれば分かるように、第２実施形態の造形モジュール１Ａからペースト供給ユニット６３のみが分離され、第３実施形態のペースト供給モジュール１Ｄに単独の作業ユニットとして設けられる。ここで、ペースト供給ユニット６３は、電子部品の接続部にペーストを供給する作業、および、回路パターンにペーストを用いてパッドを形成する作業を行うため、作業の回数が多く、かつ作業の所要時間が長い。第２実施形態において、ペースト供給ユニット６３が作業を行う長時間の間、造形モジュール１Ａ内の他の作業ユニットは、作業を行うことができない。つまり、ペースト供給ユニット６３は、製造工程上のボトルネックになる。

これに対して、第３実施形態では、ペースト供給モジュール１Ｄでペースト供給ユニット６３が或るパレットＰｍに作業を行っていても、造形モジュール１Ａ内の他の作業ユニットは、並行して他のパレットＰｍに作業を行うことができる。つまり、ペースト供給ユニット６３は、製造工程上のボトルネックにならない。したがって、第３実施形態の三次元造形機８３は、第２実施形態と比較して製造効率が高い。

次に、図１１に示されるように、第４実施形態の三次元造形機８４は、造形モジュール１Ａ、形成モジュール１Ｅ、加熱モジュール１Ｃ、ペースト供給モジュール１Ｄ、および装着モジュール１Ｂが記載順に隣接して配置される。造形モジュール１Ａは、第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、造形インク印刷ユニット４１、平坦化ユニット４２、および硬化ユニット４３が設けられる。形成モジュール１Ｅは、第１パレット搬送部２１、内部搬送ユニット３１、回路インク印刷ユニット５１、および乾燥ユニット５２が設けられる。加熱モジュール１Ｃ、ペースト供給モジュール１Ｄ、および装着モジュール１Ｂの内部構成は、第３実施形態と同じである。

造形モジュール１Ａと形成モジュール１Ｅの間の遮蔽部材７３は、遮光性能に優れる。形成モジュール１Ｅと加熱モジュール１Ｃの間の遮蔽部材７４は、断熱性能に優れる。加熱モジュール１Ｃとペースト供給モジュール１Ｄの間の遮蔽部材７５は、断熱性能に優れる。第４実施形態において、熱放散を行う作業ユニットが加熱モジュール１Ｃにまとめられている。したがって、加熱モジュール１Ｃ以外の四つのモジュールで、熱放散への対策が不要になる。さらに、造形モジュール１Ａ以外の四つのモジュールで、紫外線照射への対策が不要になる。これらにより、コストの上昇が抑制されとともに、動作信頼性が向上する。

また、図１１と図１０を比較すれば分かるように、第３実施形態の造形モジュール１Ａが、第４実施形態の造形モジュール１Ａおよび形成モジュール１Ｅに機能分割されている。このため、造形モジュール１Ａ内の作業ユニット、および形成モジュール１Ｅ内の作業ユニットは、異なるパレットＰｍにそれぞれ作業を行うことができる。加えて、ペースト供給モジュール１Ｄは、第３実施形態と同様、製造工程上のボトルネックにならない。したがって、第４実施形態の三次元造形機８４は、第３実施形態と比較して製造効率が高い。

次に、図１２に示されるように、第５実施形態の三次元造形機８４は、造形モジュール１Ａ、装着モジュール１Ｂ、および造形モジュール１Ａが記載順に隣接して配置される。図１２と図６を比較すれば分かるように、第５実施形態では、第１実施形態のモジュール構成に二つ目の造形モジュール１Ａが追加されている。モジュールの配置は左右対称となり、パレットＰｍは、左右両側から造形モジュール１Ａに搬入され、左右両側に搬出される。

ここで、装着モジュール１Ｂにおける作業の所要時間は、造形モジュール１Ａにおける作業の所要時間の半分以下である。したがって、装着モジュール１Ｂ内の作業ユニットは、両側の造形モジュール１Ａから交互に搬入されるパレットＰｍに遅滞なく作業を行うことができる。換言すると、第５実施形態の三次元造形機８４は、モジュール内の作業ユニットの作業の所要時間が長い二つの造形モジュール１Ａと、モジュール内の作業ユニットの作業の所要時間が短いひとつの装着モジュール１Ｂとを備える。そして、第５実施形態の三次元造形機８４は、二つ目の装着モジュール１Ｂを備えずとも、第１実施形態の三次元造形機１の略２倍の製造能力を有するので、設備コストの面で有利である。

９．実施形態の応用および変形
なお、第１実施形態において、造形モジュール１Ａが内部搬送ユニット３１を有さず、第１パレット搬送部２１に沿って造形作業ユニット群４および形成作業ユニット群５が配置されていてもよい。また、乾燥ユニット５２が省略されて、焼成ユニット５３が回路パターンの乾燥および焼成を行ってもよい。また、装着モジュール１Ｂの部品供給ユニット６２は、トレイ式部品供給ユニット６２１およびフィーダ式部品供給ユニット６２５の一方だけで構成されてもよい。さらに、各実施形態で説明した以外のモジュールの内部構成や、説明した以外のモジュールの組み合わせが採用されてもよい。

また、造形作業ユニット群４による造形作業は、第１実施形態で説明した造形インクと紫外線照射の組み合わせ以外の方法が用いられてもよい。さらに、形成作業ユニット群５による形成作業は、描画ヘッド５１２およびインクジェットノズル５１３による描画以外の方法が用いられてもよい。その他にも、第１～第５実施形態は、様々な応用や変形が可能である。

１、１１：三次元造形機 １Ａ：造形モジュール １Ｂ：装着モジュール １Ｃ：加熱モジュール １Ｄ：ペースト供給モジュール １Ｅ：形成モジュール ２１：第１パレット搬送部 ２２：分岐部 ２５：第２パレット搬送部 ３１：内部搬送ユニット ４：造形作業ユニット群 ４１：造形インク印刷ユニット ４２：平坦化ユニット ４３：硬化ユニット ５：形成作業ユニット群 ５１：回路インク印刷ユニット ５２：乾燥ユニット ５３：焼成ユニット ６：装着作業ユニット群 ６１：部品装着ユニット ６２：部品供給ユニット ６３：ペースト供給ユニット ６４：ペースト硬化ユニット ７、７１～７５：遮蔽部材 ８１～８５：三次元造形機 ９：環形センサ ９５：電子回路 ９６：回路パターン ９８：検知部品 ９Ａ：電池 Ｆｒ：三次元造形物 Ｐｍ：パレット

Claims (7)

1. 電子回路を有する三次元造形物を製造する三次元造形機であって、
   隣接して配置される二つのモジュールと、
   二つの前記モジュールの各々に設けられ、パレットの上に前記三次元造形物を製造する作業を分担する作業ユニットと、
   二つの前記モジュールの各々に設けられ、前記パレットを前記モジュール内に搬入し、および前記モジュール外に搬出し、かつ、前記パレットを隣接する別の前記モジュールとの間で受け渡し可能とするパレット搬送部と、
   隣接する二つの前記モジュールの間に配置され、一方の前記モジュール内の前記作業ユニットが他方の前記モジュールに及ぼす影響を抑制する遮蔽部材と、を備え、
   二つの前記モジュールは、
   造形インクに紫外線を照射して固化させることにより前記三次元造形物を造形する硬化作業ユニット、および、導電性インクを加熱して前記電子回路の回路パターンを焼成する焼成作業ユニットが設けられた造形モジュールと、
   前記回路パターンに電子部品を装着する装着作業ユニットが設けられた装着モジュールと、であり、
   前記遮蔽部材は、前記造形モジュールと前記装着モジュールの間に配置され、前記造形モジュール内の前記硬化作業ユニットの前記紫外線の照射および前記焼成作業ユニットの熱放散が前記装着モジュールに及ぼす影響を抑制し、
   前記造形モジュールに設けられた少なくとも一つの前記作業ユニットは、前記造形モジュール内において前記パレットを前記パレット搬送部と別の前記作業ユニットの間で搬送する内部搬送ユニットであり、
   前記内部搬送ユニットは、前記パレット搬送部と前記内部搬送ユニットの間で前記パレットを載せ替えるパレット載せ替え機構が設けられ、前記パレット搬送部が前記パレットを搬送する方向と直交する方向に延在して該方向に前記パレットを搬送する、
   三次元造形機。
2. 少なくとも一つの前記作業ユニットは、前記パレット搬送部に保持されている前記パレットに対して前記作業を実施する、請求項１に記載の三次元造形機。
3. 複数の前記モジュールの各々に設けられた複数の前記パレット搬送部は、独立して動作することにより異なる前記パレットを搬送し、かつ、
   複数の前記モジュールの各々に設けられた複数の前記作業ユニットは、異なる前記パレットに対して前記作業を実施する、
   請求項１または２に記載の三次元造形機。
4. 個別に稼働および停止の切り替えが可能な複数の前記モジュールを備える、請求項１～３のいずれか一項に記載の三次元造形機。
5. 他の前記モジュールから切り離して移動されることにより、交換およびメンテナンスの少なくとも一方が行われる前記モジュールを備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の三次元造形機。
6. 前記作業の回数が多いかまたは所要時間が長い前記作業ユニットのみが設けられた前記モジュールを備える、請求項１～５のいずれか一項に記載の三次元造形機。
7. 前記作業の回数が多いかまたは所要時間が長い前記作業ユニットがそれぞれ設けられた複数の前記モジュールを備える、請求項１～５のいずれか一項に記載の三次元造形機。

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