JP7491837B2 - Dielectric composition and electronic component - Google Patents
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Description
本発明は、誘電体組成物、および、当該誘電体組成物から構成される誘電体層を備える電子部品に関する。 The present invention relates to a dielectric composition and an electronic component having a dielectric layer composed of the dielectric composition.
積層セラミックコンデンサは、その信頼性の高さやコストの安さから多くの電子機器に搭載されている。 Multilayer ceramic capacitors are used in many electronic devices due to their high reliability and low cost.
具体的な電子機器としては、携帯電話等の情報端末、家電、自動車電装品が挙げられる。この中でも車載用として使用される積層セラミックコンデンサは、家電や情報端末等に使用されている積層セラミックコンデンサに比べて、より高温域までの動作保証が求められている。たとえば、175℃以上の高温域において、車載用層セラミックコンデンサは、信頼性はもちろんのこと、定格電圧の2.5倍以上の高い絶縁破壊電圧が求められる。 Specific examples of electronic devices include information terminals such as mobile phones, home appliances, and automotive electrical equipment. Among these, laminated ceramic capacitors used in vehicles are required to be guaranteed to operate at higher temperatures than laminated ceramic capacitors used in home appliances and information terminals. For example, at high temperatures of 175°C or higher, laminated ceramic capacitors for vehicles are required to have not only high reliability but also a high breakdown voltage of at least 2.5 times the rated voltage.
特許文献1は、化学式(Sr1.00-s-tBasCat)6.00-xRx(Ti1.00-aZra)x+2.00(Nb1.00-bTab)8.00-xO30.00で表されるタングステンブロンズ型複合酸化物を主成分として含み、s、t、x、aおよびbが所定の範囲である誘電体組成物を開示している。また、特許文献1には、当該誘電体組成物の200℃における比誘電率、比抵抗および耐電圧が良好である旨が記載されている。さらに、特許文献1には、当該誘電体組成物の250℃における高温負荷寿命が良好である旨が記載されている。 Patent Document 1 discloses a dielectric composition containing a tungsten bronze type complex oxide represented by the chemical formula (Sr 1.00-s-t Ba s Cat ) 6.00-x R x (Ti 1.00-a Zr a ) x+2.00 (Nb 1.00-b Ta b ) 8.00-x O 30.00 as a main component, in which s, t, x, a, and b are within a predetermined range. Patent Document 1 also describes that the dielectric composition has a good relative dielectric constant, resistivity, and withstand voltage at 200°C. Furthermore, Patent Document 1 describes that the dielectric composition has a good high-temperature load life at 250°C.
特許文献2は、化学式(A1)a(A2)b(B1)c(B2)dO15+σで表されるタングステンブロンズ型複合酸化物を主成分として含み、A1がBa等であり、A2がY等であり、B1がTi等であり、B2がNb等であり、a、b、cおよびdが所定の範囲である誘電体組成物を開示している。また、特許文献2には、当該誘電体組成物の225℃における比誘電率、比抵抗および絶縁破壊電圧が良好である旨が記載されている。
しかしながら、特許文献1に記載の誘電体組成物は、250℃を超える高温度域における高温負荷寿命については何ら評価されていない。 However, the dielectric composition described in Patent Document 1 has not been evaluated for its high-temperature load life in the high-temperature range exceeding 250°C.
また、特許文献2に記載の誘電体組成物は、高温負荷寿命については何ら評価されていない。
Furthermore, the dielectric composition described in
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、高温度域において、高温負荷寿命が長く、しかも絶縁破壊電圧が高い誘電体組成物と、その誘電体組成物から構成される誘電体層と電極とを備える電子部品を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of these circumstances, and aims to provide a dielectric composition that has a long high-temperature load life and a high dielectric breakdown voltage in high temperature ranges, and an electronic component that includes a dielectric layer and electrodes made of the dielectric composition.
上記目的を達成するため、本発明の誘電体組成物は、
[1]化学式(A1)a(A2)b(A3)c(B1)2(B2)3O15+σで表されるタングステンブロンズ型複合酸化物を主成分として含む誘電体組成物であって、
A1は、Ba、SrおよびCaからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
A2は、La、Pr、NdおよびSmからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
A3は、Yb、Lu、ScおよびAlからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
B1は、TiおよびZrからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
B2は、NbおよびTaからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
a、bおよびcが、それぞれ、
2.600≦a+b+c≦2.980、
1.003≦b+c≦1.500、
0.003≦c≦0.100、
である関係を満足する誘電体組成物である。
In order to achieve the above object, the dielectric composition of the present invention comprises:
[1] A dielectric composition containing, as a main component, a tungsten bronze type composite oxide represented by the chemical formula (A1) a (A2) b (A3) c (B1) 2 (B2) 3O15 +σ ,
A1 is at least one element selected from the group consisting of Ba, Sr and Ca;
A2 is at least one element selected from the group consisting of La, Pr, Nd and Sm;
A3 is at least one element selected from the group consisting of Yb, Lu, Sc and Al;
B1 is at least one element selected from the group consisting of Ti and Zr;
B2 is at least one element selected from the group consisting of Nb and Ta;
a, b and c are each
2.600≦a+b+c≦2.980,
1.003≦b+c≦1.500,
0.003≦c≦0.100,
The dielectric composition satisfies the following relationship:
[2]bおよびcが、
1.250≦b+c≦1.400、
である関係を満足する[1]に記載の誘電体組成物である。
[2] b and c are
1.250≦b+c≦1.400,
The dielectric composition according to [1] satisfies the following relationship:
[3][1]または[2]に記載の誘電体組成物を含む誘電体層と、電極と、を備える電子部品である。 [3] An electronic component comprising a dielectric layer containing the dielectric composition described in [1] or [2] and an electrode.
本発明によれば、高温度域において、高温負荷寿命が長く、しかも絶縁破壊電圧が高い誘電体組成物と、その誘電体組成物から構成される誘電体層と電極とを備える電子部品を提供することができる。 The present invention provides a dielectric composition that has a long high-temperature load life and a high dielectric breakdown voltage in the high temperature range, and an electronic component that includes a dielectric layer and electrodes made of the dielectric composition.
以下、本発明を、具体的な実施形態に基づき、以下の順序で詳細に説明する。
1.積層セラミックコンデンサ
1.1 積層セラミックコンデンサの全体構成
1.2 誘電体層
1.3 内部電極層
1.4 外部電極
2.誘電体組成物
2.1 複合酸化物
3.積層セラミックコンデンサの製造方法
4.本実施形態のまとめ
5.変形例
The present invention will now be described in detail based on specific embodiments in the following order.
1. Multilayer ceramic capacitor 1.1 Overall configuration of multilayer ceramic capacitor 1.2 Dielectric layer 1.3 Internal electrode layer 1.4
(1.積層セラミックコンデンサ)
(1.1 積層セラミックコンデンサの全体構成)
本実施形態に係る電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1が図1に示される。積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と、内部電極層3と、が交互に積層された構成の素子本体10を有する。この素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、素子本体10の寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。
(1. Multilayer ceramic capacitors)
(1.1 Overall structure of multilayer ceramic capacitor)
A multilayer ceramic capacitor 1 is shown in Fig. 1 as an example of an electronic component according to this embodiment. The multilayer ceramic capacitor 1 has an
(1.2 誘電体層)
誘電体層2は、後述する本実施形態に係る誘電体組成物から構成されている。その結果、誘電体層2を有する積層セラミックコンデンサは、高温度域においても、高い電界強度下で高い比抵抗を示し、かつ高い絶縁破壊電圧を示すことができる。
(1.2 Dielectric Layer)
The
誘電体層2の1層あたりの厚み(層間厚み)は特に限定されず、所望の特性や用途等に応じて任意に設定することができる。通常は、層間厚みは100μm以下であることが好ましく、より好ましくは30μm以下である。本実施形態では、層間厚みの下限は、特に制限されないが、たとえば0.5μm程度である。また、誘電体層2の積層数は特に限定されないが、本実施形態では、たとえば20以上であることが好ましく、50以上であることがより好ましい。
The thickness of each layer of the dielectric layer 2 (interlayer thickness) is not particularly limited, and can be set arbitrarily according to the desired characteristics, applications, etc. Usually, the interlayer thickness is preferably 100 μm or less, and more preferably 30 μm or less. In this embodiment, the lower limit of the interlayer thickness is not particularly limited, but is, for example, about 0.5 μm. In addition, the number of layers of the
(1.3 内部電極層)
本実施形態では、内部電極層3は、各端面が素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。
(1.3 Internal electrode layer)
In this embodiment, the
内部電極層3に含有される導電材としては特に限定されない。本実施形態では、Ni、Ni系合金、Pd、Ag、Pd-Ag合金、CuまたはCu系合金が好ましい。より好ましくは、NiまたはNi系合金である。さらに好ましくは、内部電極層3の主成分をNiまたはNi系合金とし、副成分としてAl、Si、Li、CrおよびFeから選択される1種以上を含有する導電材である。なお、内部電極層3の主成分とは、内部電極層3全体に対して85質量%以上含有される成分を指す。
The conductive material contained in the
内部電極層3が、主成分としてNiまたはNi系合金を含有し、副成分としてAl、Si、Li、CrおよびFeから選択される1種以上を含有することで、内部電極層3に含まれるNiが酸化されにくくなる。そして、250℃程度の高温下で積層セラミックコンデンサ1を連続使用しても内部電極層3の酸化による内部電極層3の連続性および導電性の劣化が起こりにくくなる
The
内部電極層3が副成分としてAl、Si、Li、CrおよびFeから選択される1種以上を含有することで、内部電極層3に含まれるNiが酸化されにくくなる理由は下記の通りである。内部電極層3がAl、Si、Li、CrおよびFeから選択される1種以上を含有する場合には、Niが大気中の酸素と反応しNiOになる前に、上記副成分と酸素とが反応し、内部電極3に含まれるNiの表面に上記副成分の酸化膜を形成する。これにより、大気中の酸素は酸化膜を通過しないとNiと反応できなくなるため、Niが酸化され難くなる。
The reason why the Ni contained in the
なお、内部電極層3には、P等の各種微量成分が0.1質量%程度以下含まれていてもよい。また、内部電極層3は、市販の電極用ペーストを使用して形成してもよい。内部電極層3の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい。
The
(1.4 外部電極)
外部電極4に含有される導電材は特に限定されない。たとえばNi、Cu、Ag、Pd、Pt、Auあるいはこれらの合金、導電性樹脂など公知の導電材を用いればよい。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい。
(1.4 External Electrodes)
There is no particular limitation on the conductive material contained in the
(2.誘電体組成物)
本実施形態に係る誘電体組成物は、タングステンブロンズ型結晶構造を有する複合酸化物を主成分として含有している。具体的には、複合酸化物は、本実施形態に係る誘電体組成物100mol%中に、50mol%よりも多く含有され、75mol%以上含まれることが好ましい。
2. Dielectric Composition
The dielectric composition according to the present embodiment contains a complex oxide having a tungsten bronze type crystal structure as a main component. Specifically, the complex oxide is contained in an amount of more than 50 mol %, and preferably 75 mol % or more, per 100 mol % of the dielectric composition according to the present embodiment.
(2.1 複合酸化物)
タングステンブロンズ型結晶構造を有する複合酸化物の組成は、化学式A3B5O15で表される。タングステンブロンズ型結晶構造において、Bサイトを占める原子に酸素が6配位して形成される酸素八面体が互いの頂点を共有した3次元ネットワークを形成している。さらに、酸素八面体の間隙にAサイトを占める原子が位置している。
(2.1 Complex oxides)
The composition of a composite oxide having a tungsten bronze crystal structure is represented by the chemical formula A3B5O15 . In the tungsten bronze crystal structure, oxygen octahedra formed by six-coordination of oxygen to atoms occupying the B site form a three -dimensional network sharing each other's vertices. Furthermore, atoms occupying the A site are located in the gaps between the oxygen octahedra.
電荷のバランスを取るために、化学式A3B5O15で表される酸化物の1種として、Aサイトを占める原子が、酸化数が2価の元素が2つと、酸化数が3価の元素が1つとであり、Bサイトを占める原子が、酸化数が4価の元素が2つと、酸化数が5価の元素が3つとである酸化物が例示される。この酸化物は、化学式(A1)2(A2)1(B1)2(B2)3O15で表される。この化学式において、A1は酸化数が2価の元素であり、A2は酸化数が3価の元素であり、B1は酸化数が4価の元素であり、B2は酸化数が5価の元素である。すなわち、上記の酸化物における各元素の構成比は、酸化数が2価の元素:酸化数が3価の元素:酸化数が4価の元素:酸化数が5価の元素=2:1:2:3である。 In order to balance the charges, an example of an oxide represented by the chemical formula A 3 B 5 O 15 is an oxide in which the atoms occupying the A site are two elements with a divalent oxidation number and one element with a trivalent oxidation number, and the atoms occupying the B site are two elements with a tetravalent oxidation number and three elements with a pentavalent oxidation number. This oxide is represented by the chemical formula (A1) 2 (A2) 1 (B1) 2 (B2) 3 O 15. In this chemical formula, A1 is an element with a divalent oxidation number, A2 is an element with a trivalent oxidation number, B1 is an element with a tetravalent oxidation number, and B2 is an element with a pentavalent oxidation number. That is, the composition ratio of each element in the above oxide is divalent oxidation number: trivalent oxidation number: tetravalent oxidation number: pentavalent oxidation number=2:1:2:3.
本実施形態では、複合酸化物は化学式(A1)a(A2)b(A3)c(B1)2(B2)3O15+σで表される。複合酸化物中に含まれる金属元素である「A1」元素と、「A2」元素および「A3」元素と、「B1」元素と、「B2」元素とは、安定な酸化数を基準として分けられている。 In this embodiment, the composite oxide is represented by the chemical formula (A1) a (A2) b (A3) c (B1) 2 (B2) 3O15 +σ . The metal elements contained in the composite oxide, that is, the "A1" element, the "A2" element, the "A3" element, the "B1" element, and the "B2" element, are classified based on their stable oxidation numbers.
上記の複合酸化物を構成する「A1」元素、「A2」元素、「A3」元素、「B1」元素および「B2」元素が占めるサイトは、複合酸化物がタングステンブロンズ型結晶構造を有している限り、特に制限されない。しかしながら、酸化数およびイオン半径等を考慮すると、通常、「A1」元素、「A2」元素および「A3」元素はAサイトを占める傾向にあり、「B1」元素および「B2」元素はBサイトを占める傾向にある。 The sites occupied by the "A1", "A2", "A3", "B1" and "B2" elements that make up the above composite oxide are not particularly limited, so long as the composite oxide has a tungsten bronze type crystal structure. However, taking into consideration the oxidation number and ionic radius, the "A1", "A2" and "A3" elements usually tend to occupy the A site, and the "B1" and "B2" elements tend to occupy the B site.
「A1」元素は酸化数が2価の元素である。本実施形態では、「A1」元素は、Ba(バリウム)、Sr(ストロンチウム)およびCa(カルシウム)からなる群から選ばれる少なくとも1つの元素である。「A1」元素は、Baを少なくとも含むことが好ましく、Baであることがより好ましい。 The "A1" element is an element with an oxidation number of divalent. In this embodiment, the "A1" element is at least one element selected from the group consisting of Ba (barium), Sr (strontium), and Ca (calcium). The "A1" element preferably contains at least Ba, and is more preferably Ba.
「A2」元素は酸化数が3価の元素である。本実施形態では、「A2」元素は、La(ランタン)、Pr(プラセオジム)、Nd(ネオジム)およびSm(サマリウム)からなる群から選ばれる少なくとも1つの元素である。「A2」元素はLaを少なくとも含むことが好ましく、Laであることがより好ましい。 The "A2" element is an element with an oxidation number of three. In this embodiment, the "A2" element is at least one element selected from the group consisting of La (lanthanum), Pr (praseodymium), Nd (neodymium) and Sm (samarium). The "A2" element preferably includes at least La, and is more preferably La.
「A3」元素は酸化数が3価の元素である。本実施形態では、「A3」元素は、Yb(イッテルビウム)、Lu(ルテチウム)、Sc(スカンジウム)およびAl(アルミニウム)からなる群から選ばれる少なくとも1つの元素である。「A3」元素はYbを少なくとも含むことが好ましく、Ybであることがより好ましい。 The "A3" element is an element with an oxidation number of three. In this embodiment, the "A3" element is at least one element selected from the group consisting of Yb (ytterbium), Lu (lutetium), Sc (scandium) and Al (aluminum). It is preferable that the "A3" element contains at least Yb, and it is more preferable that it is Yb.
「A2」元素は、「A3」元素よりもイオン半径が大きい傾向にある。 "A2" elements tend to have a larger ionic radius than "A3" elements.
「B1」元素は酸化数が4価の元素である。本実施形態では、「B1」元素は、Ti(チタン)およびZr(ジルコニウム)からなる群から選ばれる少なくとも1つの元素である。「B1」元素はZrであることが好ましい。 The "B1" element is an element with an oxidation number of 4. In this embodiment, the "B1" element is at least one element selected from the group consisting of Ti (titanium) and Zr (zirconium). It is preferable that the "B1" element is Zr.
「B2」元素は酸化数が5価の元素である。本実施形態では、「B2」元素は、Nb(ニオブ)およびTa(タンタル)からなる群から選ばれる少なくとも1つの元素である。「B2」元素はNbであることが好ましい。 The "B2" element is an element with an oxidation number of five. In this embodiment, the "B2" element is at least one element selected from the group consisting of Nb (niobium) and Ta (tantalum). It is preferable that the "B2" element is Nb.
化学式において、「a」は、「B1」元素および「B2」元素の合計原子数5に対する「A1」元素の原子数を示している。また、「b」は、「B1」元素および「B2」元素の合計原子数5に対する「A2」元素の原子数を示している。また、「c」は、「B1」元素および「B2」元素の合計原子数5に対する「A3」元素の原子数を示している。 In the chemical formula, "a" indicates the number of atoms of the "A1" element relative to the total atomic number of the "B1" and "B2" elements, which is 5. Also, "b" indicates the number of atoms of the "A2" element relative to the total atomic number of the "B1" and "B2" elements, which is 5. Also, "c" indicates the number of atoms of the "A3" element relative to the total atomic number of the "B1" and "B2" elements, which is 5.
本実施形態では、「a」、「b」および「c」は、2.600≦a+b+c≦2.980である関係を満足する。 In this embodiment, "a", "b" and "c" satisfy the relationship 2.600≦a+b+c≦2.980.
「a+b+c」は、Bサイトを占める傾向にある元素(「B1」元素および「B2」元素)の合計原子数5に対して、Aサイトを占める傾向にある元素(「A1」元素、「A2」元素および「A3」元素)の合計原子数を示している。したがって、上記の複合酸化物におけるAサイトを占める傾向にある元素の合計原子数が、化学式A3B5O15で表される複合酸化物におけるAサイトの原子数(3)よりも少ない傾向にある。 "a+b+c" indicates the total number of atoms of elements that tend to occupy the A site ("A1" element, "A2" element, and "A3" element) relative to the total number of atoms of elements that tend to occupy the B site ("B1" element and "B2" element), which is 5. Therefore, the total number of atoms of elements that tend to occupy the A site in the above complex oxide tends to be smaller than the number of atoms in the A site in the complex oxide represented by the chemical formula A3B5O15 (3).
その結果、上記の複合酸化物において、陽イオン空孔が生じやすくなる。この陽イオン空孔は、たとえば、複合酸化物の還元焼成時に生成しやすい酸素空孔を補償する。したがって、「a+b+c」が上記の範囲内である場合、誘電体組成物の高温負荷寿命が向上する傾向にある。 As a result, cation vacancies are more likely to occur in the above-mentioned composite oxide. These cation vacancies compensate for oxygen vacancies that are likely to be generated, for example, during reduction firing of the composite oxide. Therefore, when "a+b+c" is within the above range, the high-temperature load life of the dielectric composition tends to be improved.
「a+b+c」が小さすぎる場合、タングステンブロンズ型結晶構造が不安定となり、絶縁破壊電圧が低下する傾向にある。一方、「a+b+c」が大きすぎる場合、生成する陽イオン空孔が少ないため、高温負荷寿命の向上が抑制される傾向にある。 If "a+b+c" is too small, the tungsten bronze crystal structure becomes unstable, and the breakdown voltage tends to decrease. On the other hand, if "a+b+c" is too large, fewer cation vacancies are generated, which tends to inhibit improvement in high-temperature load life.
また、本実施形態では、「b」および「c」は、1.003≦b+c≦1.500である関係を満足する。「b+c」は1.250以上であることが好ましい。一方、「b+c」は1.400以下であることが好ましい。 In this embodiment, "b" and "c" satisfy the relationship 1.003≦b+c≦1.500. It is preferable that "b+c" is 1.250 or more. On the other hand, it is preferable that "b+c" is 1.400 or less.
「b+c」は、「B1」元素および「B2」元素の合計原子数5に対して、Aサイトを占める傾向にある元素のうち、酸化数が3価である元素(「A2」元素および「A3」元素)の合計原子数を示している。 "b + c" indicates the total number of atoms of the elements with an oxidation number of three (the "A2" element and the "A3" element) that tend to occupy the A site out of the total number of atoms of the "B1" element and the "B2" element, which is 5.
「a+b+c」の範囲と「b+c」の範囲とを比較すると、Aサイトを占める傾向にある元素において、酸化数が3価である元素(「A2」元素および「A3」元素)が比較的に多く、逆に、酸化数が2価である元素(「A1」元素)が比較的に少ない傾向にある。 When comparing the "a+b+c" range with the "b+c" range, there are relatively more elements with an oxidation number of three ("A2" element and "A3" element) that tend to occupy the A site, and conversely, there are relatively fewer elements with an oxidation number of two ("A1" element).
酸化数が3価である元素は、酸化数が2価である元素よりも、共有結合性が高いため、「b+c」が上記の範囲内であることにより、タングステンブロンズ型結晶構造が強固となり、絶縁破壊電圧が向上する傾向にある。 Elements with an oxidation number of three have a higher degree of covalent bonding than elements with an oxidation number of two, so by having "b + c" within the above range, the tungsten bronze crystal structure becomes stronger and the breakdown voltage tends to improve.
「b+c」が小さすぎる場合、共有結合性が低くなるため、絶縁破壊電圧の向上が抑制される傾向にある。一方、「b+c」が大きすぎる場合、タングステンブロンズ型結晶構造が不安定となり、絶縁破壊電圧が低下する傾向にある。 If "b+c" is too small, the covalent bond is low, which tends to suppress the improvement of the dielectric breakdown voltage. On the other hand, if "b+c" is too large, the tungsten bronze crystal structure becomes unstable, which tends to reduce the dielectric breakdown voltage.
また、本実施形態では、「c」は0.003≦c≦0.100である関係を満足する。「c」は0.005以上であることが好ましい。一方、「c」は0.050以下であることが好ましい。 In this embodiment, "c" satisfies the relationship 0.003≦c≦0.100. It is preferable that "c" is 0.005 or more. On the other hand, it is preferable that "c" is 0.050 or less.
「c」は、「B1」元素および「B2」元素の合計原子数5に対して、Aサイトを占める傾向にある元素のうち、「A3」元素の原子数を示している。「A3」元素は、「A2」元素よりも共有結合性が高い傾向にある。したがって、「c」が上記の範囲内であることにより、タングステンブロンズ型結晶構造が強固となり、絶縁破壊電圧が向上する傾向にある。 "c" indicates the number of atoms of the "A3" element, which tends to occupy the A site, relative to the total number of atoms of the "B1" and "B2" elements, which is 5. The "A3" element tends to have a higher degree of covalent bonding than the "A2" element. Therefore, by having "c" within the above range, the tungsten bronze type crystal structure becomes stronger, and the dielectric breakdown voltage tends to improve.
「c」が小さすぎる場合、共有結合性が低くなるため、絶縁破壊電圧の向上が抑制される傾向にある。一方、「c」が大きすぎる場合、タングステンブロンズ型結晶構造が不安定となり、絶縁破壊電圧が低下する傾向にある。 If "c" is too small, the covalent bond is low, which tends to suppress the improvement of the dielectric breakdown voltage. On the other hand, if "c" is too large, the tungsten bronze crystal structure becomes unstable, which tends to reduce the dielectric breakdown voltage.
なお、当該複合酸化物では、酸素(O)量は、「A1」、「A2」、「A3」、「B1」および「B2」の構成比、酸素欠陥等により変化することがある。そこで、本実施形態では、化学式(A1)2(A2,A3)1(B1)2(B2)3O15で表される複合酸化物における化学量論比を基準として、化学量論比からの酸素の偏倚量を「σ」で表す。「σ」の範囲としては特に制限されず、たとえば-0.900以上0.925以下程度である。 In this composite oxide, the amount of oxygen (O) may vary depending on the composition ratio of "A1", "A2", "A3", "B1" and "B2", oxygen defects, etc. Therefore, in this embodiment, the stoichiometric ratio in the composite oxide represented by the chemical formula (A1) 2 (A2, A3) 1 (B1) 2 (B2) 3 O 15 is used as a reference, and the deviation of oxygen from the stoichiometric ratio is represented by "σ". The range of "σ" is not particularly limited, and is, for example, about -0.900 or more and 0.925 or less.
また、本実施形態に係る誘電体組成物は、上述した効果を奏する範囲内において、上述した主成分以外に他の成分を含んでいてもよい。他の成分の含有量は、誘電体組成物100mol中に、1.00mol以下であることが好ましく、0.50mol以下であることがより好ましい。 The dielectric composition according to this embodiment may contain other components in addition to the above-mentioned main components within the range in which the above-mentioned effects are achieved. The content of the other components is preferably 1.00 mol or less, and more preferably 0.50 mol or less, per 100 mol of the dielectric composition.
(3.積層セラミックコンデンサの製造方法)
次に、図1に示す積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例について以下に説明する。
(3. Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor)
Next, an example of a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 will be described below.
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、従来の積層セラミックコンデンサと同様の公知の方法で製造することができる。公知の方法としては、たとえば、誘電体組成物の原料を含むペーストを用いてグリーンチップを作製し、これを焼成して積層セラミックコンデンサを製造する方法が例示される。以下、製造方法について具体的に説明する。 The multilayer ceramic capacitor 1 according to this embodiment can be manufactured by a known method similar to that used for conventional multilayer ceramic capacitors. One known method is, for example, a method in which a green chip is made using a paste containing the raw materials of a dielectric composition, and then fired to manufacture a multilayer ceramic capacitor. The manufacturing method is described in detail below.
まず、誘電体組成物の出発原料を準備する。本実施形態では、当該出発原料は粉末であることが好ましい。誘電体組成物の出発原料として、主成分の仮焼き粉末を準備する。 First, the starting material for the dielectric composition is prepared. In this embodiment, the starting material is preferably a powder. As the starting material for the dielectric composition, a calcined powder of the main component is prepared.
主成分の仮焼き粉末の出発原料としては、主成分である上述した複合酸化物に含まれる各金属の酸化物、または、焼成により当該複合酸化物を構成する成分となる各種化合物を用いることができる。各種化合物としては、たとえば炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等が例示される。 As the starting material for the calcined powder of the main component, the oxides of the metals contained in the above-mentioned composite oxide, which is the main component, or various compounds that become components of the composite oxide upon firing can be used. Examples of various compounds include carbonates, oxalates, nitrates, hydroxides, and organometallic compounds.
たとえば、「A1」の炭酸塩粉末、「A2」の水酸化物あるいは酸化物粉末、「A3」の酸化物粉末、「B1」の酸化物粉末、「B2」の酸化物粉末を準備する。なお、各粉末の平均粒子径は1.0μm以下であることが好ましい。 For example, prepare carbonate powder "A1", hydroxide or oxide powder "A2", oxide powder "A3", oxide powder "B1", and oxide powder "B2". It is preferable that the average particle size of each powder is 1.0 μm or less.
続いて、準備した出発原料を所定の割合に秤量した後、ボールミル等を用いて所定の時間、湿式混合を行う。混合粉を乾燥後、大気中において1000℃以下で熱処理を行い、主成分である複合酸化物の仮焼き粉末を得る。 Next, the prepared starting materials are weighed in a predetermined ratio and then wet mixed for a predetermined time using a ball mill or the like. After drying the mixed powder, it is heat-treated in air at 1000°C or less to obtain a calcined powder of the composite oxide, which is the main component.
その後、得られた主成分の仮焼き粉末を解砕し、誘電体組成物原料粉末を得る。誘電体組成物原料粉末の平均粒子径は任意である。例えば、0.5μm~2.0μmである。 The calcined powder of the main component is then crushed to obtain the dielectric composition raw material powder. The average particle size of the dielectric composition raw material powder is arbitrary. For example, it is 0.5 μm to 2.0 μm.
続いて、グリーンチップを作製するためのペーストを調製する。得られた誘電体組成物原料粉末と、バインダと、溶剤と、を混練し塗料化して誘電体層用ペーストを調製する。バインダおよび溶剤は、公知のものを用いればよい。また、誘電体層用ペーストは、必要に応じて、可塑剤等の添加物を含んでもよい。 Next, a paste for producing the green chip is prepared. The obtained dielectric composition raw material powder is kneaded with a binder and a solvent to form a paint, and a paste for the dielectric layer is prepared. The binder and the solvent may be publicly known. The paste for the dielectric layer may also contain additives such as a plasticizer, if necessary.
内部電極層用ペーストは、上述した導電材の原料と、バインダと、溶剤と、を混練して得られる。バインダおよび溶剤は、公知のものを用いればよい。内部電極層用ペーストは、必要に応じて、共材や可塑剤等の添加物を含んでもよい。 The internal electrode layer paste is obtained by kneading the above-mentioned conductive material raw material, a binder, and a solvent. The binder and the solvent may be publicly known. The internal electrode layer paste may contain additives such as co-materials and plasticizers as necessary.
外部電極用ペーストは、内部電極層用ペーストと同様にして調製することができる。 The paste for the external electrodes can be prepared in the same manner as the paste for the internal electrode layers.
上記した各ペースト中のバインダおよび溶剤の含有量は特に制限はされず、通常の含有量であればよい。たとえば、バインダは1質量%~5質量%程度、溶剤は10質量%~50質量%程度であればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体材料、絶縁体材料等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は10質量%以下とすることが好ましい。 The binder and solvent contents in each of the above pastes are not particularly limited and may be normal contents. For example, the binder may be about 1% to 5% by mass, and the solvent may be about 10% to 50% by mass. In addition, each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectric materials, insulating materials, etc., as necessary. The total content of these is preferably 10% by mass or less.
分散剤の種類は任意である。たとえば、界面活性剤型分散剤、高分子型分散剤を用いることができる。可塑剤の種類は任意である。たとえば、フタル酸ジオクチル、フタル酸ジブチルを用いることができる。誘電体材料の種類は任意である。たとえば、BaTiO3系、CaZrO3系を用いることができる。絶縁体材料の種類は任意である。たとえば、Al2O3、SiO2を用いることができる。 The type of dispersant is arbitrary. For example, a surfactant type dispersant or a polymer type dispersant can be used. The type of plasticizer is arbitrary. For example, dioctyl phthalate or dibutyl phthalate can be used. The type of dielectric material is arbitrary. For example, BaTiO3- based or CaZrO3- based can be used. The type of insulator material is arbitrary. For example, Al2O3 or SiO2 can be used.
得られた各ペーストを用いて、グリーンシートおよび内部電極パターンを形成し、これらを積層してグリーンチップを得る。 The resulting pastes are used to form green sheets and internal electrode patterns, which are then stacked to obtain green chips.
焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5℃/時間~300℃/時間、保持温度を好ましくは180℃~500℃、温度保持時間を好ましくは0.5時間~24時間とする。また、雰囲気は、空気もしくは還元雰囲気とする。また、上記した脱バインダ処理において、脱バインダ処理の雰囲気は加湿してもよい。加湿する方法は任意である。たとえばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5℃~75℃程度が好ましい。 Before firing, the green chip is subjected to a binder removal process. The binder removal conditions are a temperature rise rate of preferably 5°C/hour to 300°C/hour, a holding temperature of preferably 180°C to 500°C, and a temperature holding time of preferably 0.5 hours to 24 hours. The atmosphere is air or a reducing atmosphere. In the binder removal process described above, the atmosphere may be humidified. Any method for humidification may be used. For example, a wetter or the like may be used. In this case, the water temperature is preferably about 5°C to 75°C.
脱バインダ処理後、グリーンチップの焼成を行い、素子本体を得る。焼成条件は特に制限されない。保持温度は、好ましくは1100℃~1400℃である。保持温度が低すぎると、素子本体の緻密化が不十分となる。保持温度が高すぎると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れ、および、内部電極層を構成する材料の拡散による容量変化率の悪化が生じやすくなる。さらに、主成分から構成される粒子が粗大化して、高温負荷寿命を低下させてしまうおそれがある。 After the binder removal process, the green chip is fired to obtain the element body. There are no particular restrictions on the firing conditions. The holding temperature is preferably 1100°C to 1400°C. If the holding temperature is too low, the element body will not be sufficiently densified. If the holding temperature is too high, abnormal sintering of the internal electrode layer will cause the electrodes to break, and the material that makes up the internal electrode layer will diffuse, making it more likely that the rate of capacitance change will deteriorate. Furthermore, particles made up of the main component will become coarse, which may shorten the high-temperature load life.
また、昇温速度は好ましくは200℃/時間~5000℃/時間である。また、焼成時の温度保持時間、および、焼成後の冷却速度は任意である。焼成後の主成分から構成される主相粒子の粒度分布を0.5μm~5.0μmの範囲内に制御し、主相粒子同士の体積拡散を抑制するために、温度保持時間は好ましくは0.5時間~2.0時間であり、冷却速度は好ましくは100℃/時間~500℃/時間である。 The heating rate is preferably 200°C/hour to 5000°C/hour. The temperature holding time during sintering and the cooling rate after sintering are optional. In order to control the particle size distribution of the main phase particles composed of the main components after sintering to within the range of 0.5 μm to 5.0 μm and to suppress volume diffusion between the main phase particles, the temperature holding time is preferably 0.5 hours to 2.0 hours and the cooling rate is preferably 100°C/hour to 500°C/hour.
また、焼成雰囲気としては、加湿したN2とH2との混合ガスを用い、酸素分圧が10-2~10-6Paであることが好ましい。内部電極層がNiを含む場合、酸素分圧が高い状態で焼成を行うと、Niが酸化してしまい、導電性が低下してしまう場合がある。しかしながら、Niを主成分とする導電材に対し、Al、Si、Li、Cr、Feから選択された1種類以上の内部電極用副成分を含有させることで、Niの耐酸化性が向上し、酸素分圧が高い雰囲気で焼成する場合でも、内部電極層の導電性を確保することが容易となる。 In addition, the firing atmosphere is preferably a mixture of humidified N2 and H2 gas, with an oxygen partial pressure of 10-2 to 10-6 Pa. When the internal electrode layer contains Ni, firing under high oxygen partial pressure conditions may result in Ni being oxidized and the electrical conductivity may be reduced. However, by adding one or more types of internal electrode subcomponents selected from Al, Si, Li, Cr, and Fe to a conductive material mainly composed of Ni, the oxidation resistance of Ni is improved, and it is easy to ensure the electrical conductivity of the internal electrode layer even when firing in an atmosphere with a high oxygen partial pressure.
焼成後、得られた素子本体に対し、必要に応じてアニール処理を行う。アニール処理条件は、公知の条件とすればよく、たとえば、アニール処理時の酸素分圧を焼成時の酸素分圧よりも高い酸素分圧とし、保持温度を1150℃以下とすることが好ましい。 After firing, the obtained element body is annealed as necessary. The annealing conditions may be known conditions, and for example, it is preferable that the oxygen partial pressure during the annealing is higher than the oxygen partial pressure during firing, and that the holding temperature is 1150°C or less.
また、上記の脱バインダ処理、焼成およびアニール処理は、独立して行ってもよく、連続して行ってもよい。 The above-mentioned binder removal process, firing and annealing processes may be carried out independently or consecutively.
上記のようにして得られた素子本体の誘電体層を構成する誘電体組成物は、上述した誘電体組成物である。この素子本体に端面研磨を施し、外部電極用ペーストを塗布して焼き付けし、外部電極4を形成する。そして、必要に応じて、外部電極4の表面に、めっき等により被覆層を形成する。
The dielectric composition constituting the dielectric layer of the element body obtained as described above is the dielectric composition described above. The end faces of this element body are polished, and an external electrode paste is applied and baked to form the
このようにして、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサが製造される。 In this manner, the multilayer ceramic capacitor according to this embodiment is manufactured.
(4.本実施形態のまとめ)
本実施形態では、各元素の構成比が、2価の元素:3価の元素:4価の元素:5価の元素=2:1:2:3であるタングステンブロンズ型複合酸化物において、Aサイトを占める元素の原子数を減らすことにより、陽イオン空孔を生成させている。生成した陽イオン空孔は、誘電体組成物の還元焼成時に酸素空孔が生成してもこれを補償することができる。その結果、高温負荷寿命が向上する。
(4. Summary of the present embodiment)
In this embodiment, in a tungsten bronze type composite oxide in which the composition ratio of each element is divalent element: trivalent element: tetravalent element: pentavalent element = 2:1:2:3, the number of atoms of the elements occupying the A site is reduced to generate cation vacancies. The generated cation vacancies can compensate for oxygen vacancies generated during reduction firing of the dielectric composition. As a result, the high temperature load life is improved.
さらに、Aサイトを占める元素において、3価の元素の原子数を2価の元素の原子数よりも多くすることにより、タングステンブロンズ型結晶構造における共有結合性を高めて、タングステンブロンズ型結晶構造をより安定させている。その結果、絶縁破壊電圧が向上する。このような効果は、3価の元素として、より共有結合性が高い元素を上述した範囲内で含むことによりさらに向上する。 Furthermore, by making the number of trivalent elements in the A site greater than the number of divalent elements, the covalent bond in the tungsten bronze crystal structure is increased, making the tungsten bronze crystal structure more stable. As a result, the breakdown voltage is improved. This effect is further improved by including an element with higher covalent bond strength as a trivalent element within the above-mentioned range.
(5.変形例)
上述した実施形態では、本実施形態に係る電子部品が積層セラミックコンデンサである場合について説明したが、本実施形態に係る電子部品は、積層セラミックコンデンサに限定されず、上述した誘電体組成物と電極とを有する電子部品であれば何でもよい。
(5. Modifications)
In the above-described embodiment, the case where the electronic component according to the present embodiment is a multilayer ceramic capacitor has been described. However, the electronic component according to the present embodiment is not limited to a multilayer ceramic capacitor, and may be any electronic component having the above-described dielectric composition and electrodes.
さらに、上述した誘電体組成物は、上述した効果を奏する範囲内において、所望の特性に応じて副成分を有していてもよい。副成分としては、Siの酸化物、Vの酸化物、Mnの酸化物、Alの酸化物等が例示される。副成分の含有割合は、所望の特性に応じて決定すればよい。 Furthermore, the above-mentioned dielectric composition may contain a subcomponent according to the desired characteristics within the range in which the above-mentioned effects are obtained. Examples of the subcomponent include oxides of Si, oxides of V, oxides of Mn, and oxides of Al. The content ratio of the subcomponent may be determined according to the desired characteristics.
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の態様で改変してもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments and may be modified in various ways within the scope of the present invention.
以下、実施例および比較例を用いて、本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail below using examples and comparative examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
(実験例1)
まず、主成分の出発原料として平均粒径1.0μm以下のBaCO3、SrCO3、CaCO3、La(OH)3、Pr6O11、Nd2O3、Sm2O3、Yb2O3、Lu2O3、Sc2O3、Al2O3、TiO2、ZrO2、Nb2O5、Ta2O5の各粉末を準備した。最終的に得られる誘電体組成物に含まれる主成分(複合酸化物)が表1に示す組成を有するように、これらの原料を秤量した。その後、分散媒としてエタノールを用いてボールミルにより24時間湿式混合した。その後、得られた混合物を乾燥して混合原料粉末を得た。その後、大気中で保持温度900℃、保持時間2時間の条件で熱処理を行い、主成分の仮焼き粉末を得た。
(Experimental Example 1)
First, powders of BaCO 3 , SrCO 3 , CaCO 3 , La(OH) 3 , Pr 6 O 11 , Nd 2 O 3 , Sm 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Lu 2 O 3 , Sc 2 O 3 , Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , Nb 2 O 5 , and Ta 2 O 5 with an average particle size of 1.0 μm or less were prepared as starting materials for the main components. These raw materials were weighed so that the main components (composite oxides) contained in the finally obtained dielectric composition had the compositions shown in Table 1. Then, the materials were wet mixed for 24 hours using ethanol as a dispersion medium in a ball mill. The mixture obtained was then dried to obtain a mixed raw material powder. Then, heat treatment was performed in the air at a holding temperature of 900° C. and a holding time of 2 hours to obtain a calcined powder of the main components.
上記の方法で得られた主成分の仮焼き粉末を混合および解砕し、誘電体組成物原料粉末を得た。次に、誘電体組成物原料粉末1000gに対して、トルエン+エタノール溶液(トルエン:エタノール=50:50(重量比))、可塑剤(フタル酸ジオクチル(DOP)(ジェイ・プラス製))および分散剤(マリアリムAKM-0531(日油製))を90:6:4(重量比)で混合した溶剤を700g添加し、混合物を得た。次に、得られた混合物を、バスケットミルを用いて2時間分散させ、誘電体層用ペーストを作製した。なお、全ての実施例および比較例において、誘電体層用ペーストの粘性が約200cpsになるように調整した。具体的には、トルエン+エタノール溶液を微量添加することで粘度の調整を行った。 The calcined powder of the main component obtained by the above method was mixed and crushed to obtain a dielectric composition raw material powder. Next, 700 g of a solvent containing a toluene + ethanol solution (toluene:ethanol = 50:50 (weight ratio)), a plasticizer (dioctyl phthalate (DOP) (manufactured by J-Plus)) and a dispersant (Marialim AKM-0531 (manufactured by NOF Corp.)) mixed in a ratio of 90:6:4 (weight ratio) was added to 1000 g of the dielectric composition raw material powder to obtain a mixture. Next, the obtained mixture was dispersed for 2 hours using a basket mill to prepare a dielectric layer paste. In all examples and comparative examples, the viscosity of the dielectric layer paste was adjusted to about 200 cps. Specifically, the viscosity was adjusted by adding a small amount of a toluene + ethanol solution.
内部電極層の原料として、平均粒径が0.2μmのNi粉末、平均粒径が0.1μm以下のAlの酸化物粉末、および、平均粒径が0.1μm以下のSiの酸化物粉末を準備した。AlおよびSiの合計がNiに対して5質量%となるように、これらの粉末を秤量し、混合した。その後、加湿したN2とH2との混合ガス中において1200℃以上で熱処理した。熱処理後の粉末をボールミル等により解砕することで、平均粒径0.20μmの内部電極層の原料粉末を準備した。 As raw materials for the internal electrode layer, Ni powder with an average particle size of 0.2 μm, Al oxide powder with an average particle size of 0.1 μm or less, and Si oxide powder with an average particle size of 0.1 μm or less were prepared. These powders were weighed and mixed so that the total of Al and Si was 5 mass% relative to Ni. Then, the powder was heat-treated at 1200 ° C or more in a mixed gas of humidified N 2 and H 2. The powder after the heat treatment was crushed by a ball mill or the like to prepare raw material powder for the internal electrode layer with an average particle size of 0.20 μm.
準備した内部電極層の原料粉末100質量%、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8質量%をブチルカルビトール92質量%に溶解したもの)30質量%、およびブチルカルビトール8質量%を、3本ロールにより混練、ペースト化し、内部電極層用ペーストを得た。 100% by mass of the raw material powder for the internal electrode layer, 30% by mass of an organic vehicle (8% by mass of ethyl cellulose resin dissolved in 92% by mass of butyl carbitol), and 8% by mass of butyl carbitol were kneaded and made into a paste using a three-roll mill to obtain a paste for the internal electrode layer.
そして、作製した誘電体層用ペーストをPETフィルム上に塗布してグリーンシートを形成した。この際に、乾燥後のグリーンシートの厚みが10μmとなるようにした。次いで、内部電極層用ペーストを用いて、所定パターンの内部電極層をグリーンシート上に印刷した。その後、PETフィルムからグリーンシートを剥離することで、内部電極層が所定パターンで印刷されたグリーンシートを作製した。次いで、内部電極層が所定パターンで印刷されたグリーンシートを複数枚積層し、加圧接着することによりグリーン積層体とした。さらに、グリーン積層体を所定の形状に切断することにより、グリーンチップを得た。 The prepared dielectric layer paste was then applied onto a PET film to form a green sheet. At this time, the thickness of the green sheet after drying was set to 10 μm. Next, a predetermined pattern of internal electrode layers was printed onto the green sheet using the internal electrode layer paste. The green sheet was then peeled off from the PET film to produce a green sheet on which the internal electrode layers were printed in the predetermined pattern. Next, multiple green sheets on which the internal electrode layers were printed in the predetermined pattern were stacked and pressure-bonded to form a green laminate. Furthermore, the green laminate was cut into a predetermined shape to obtain a green chip.
次いで、得られたグリーンチップについて、脱バインダ処理、焼成およびアニール処理を行うことで積層セラミック焼成体(素子本体)を得た。脱バインダ処理、焼成およびアニールの条件は以下に示す通りである。また、脱バインダ処理、焼成およびアニール処理において、雰囲気ガスの加湿にはウェッターを用いた。 Then, the obtained green chip was subjected to a binder removal process, firing and annealing process to obtain a multilayer ceramic fired body (element body). The conditions for the binder removal process, firing and annealing are as shown below. In addition, a wetter was used to humidify the atmospheric gas during the binder removal process, firing and annealing processes.
(脱バインダ処理)
昇温速度:100℃/時間
保持温度:400℃
温度保持時間:8.0時間
雰囲気ガス:加湿したN2とH2との混合ガス
(Debinding process)
Heating rate: 100°C/hour Holding temperature: 400°C
Temperature retention time: 8.0 hours Atmospheric gas: mixed gas of humidified N2 and H2
(焼成)
昇温速度:500℃/時間
保持温度:1200℃~1350℃
温度保持時間:2.0時間
冷却速度:100℃/時間
雰囲気ガス:加湿したN2とH2との混合ガス
酸素分圧:10-5~10-9Pa
(Firing)
Heating rate: 500°C/hour Holding temperature: 1200°C to 1350°C
Temperature retention time: 2.0 hours Cooling rate: 100°C/hour Atmosphere gas: mixed gas of humidified N2 and H2 Oxygen partial pressure: 10-5 to 10-9 Pa
(アニール処理)
保持温度:800℃~1000℃
温度保持時間:2.0時間
昇温、降温速度:200℃/時間
雰囲気ガス:加湿したN2ガス
(Annealing treatment)
Holding temperature: 800°C to 1000°C
Temperature retention time: 2.0 hours Temperature increase and decrease rate: 200°C/hour Atmospheric gas: humidified N2 gas
得られた各積層セラミック焼成体の誘電体層(誘電体組成物)についてICP発光分光分析法を用いて組成分析を行った結果、分析後の組成は、表1に記載されている組成と同組成であることが確認できた。また、誘電体組成物に対してX線回折測定を行った結果、得られたX線回析パターンより、誘電体組成物がタングステンブロンズ型の結晶構造を有していることが確認できた。 The composition of the dielectric layers (dielectric compositions) of each of the obtained fired laminated ceramic bodies was analyzed using ICP atomic emission spectroscopy, and it was confirmed that the composition after analysis was the same as the composition shown in Table 1. In addition, X-ray diffraction measurements were performed on the dielectric compositions, and the obtained X-ray diffraction pattern confirmed that the dielectric compositions had a tungsten bronze type crystal structure.
得られた積層セラミック焼成体の端面をサンドブラストにて研磨した後、外部電極としてIn-Ga共晶合金を塗布し、図1に示す積層セラミックコンデンサと同形状の各積層セラミックコンデンサ試料を得た。得られた積層セラミックコンデンサ試料のサイズは、いずれも3.2mm×1.6mm×1.2mmであり、誘電体層の厚み7μm、内部電極層の厚み2μm、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は50層とした。 The end faces of the obtained fired laminated ceramic body were polished by sandblasting, and then an In-Ga eutectic alloy was applied as an external electrode to obtain each laminated ceramic capacitor sample having the same shape as the laminated ceramic capacitor shown in Figure 1. The size of each of the obtained laminated ceramic capacitor samples was 3.2 mm x 1.6 mm x 1.2 mm, with a dielectric layer thickness of 7 μm, an internal electrode layer thickness of 2 μm, and 50 dielectric layers sandwiched between the internal electrode layers.
得られた積層セラミックコンデンサ試料について、175℃における絶縁破壊電圧および280℃における高温負荷寿命を下記に示す方法により測定した。 The dielectric breakdown voltage at 175°C and the high-temperature load life at 280°C of the obtained multilayer ceramic capacitor samples were measured using the method described below.
(175℃での絶縁破壊電圧)
積層セラミックコンデンサ試料を、175℃のオイルバス中に載置し、昇圧速度100V/secの条件で直流電圧を印加し、漏れ電流が10mAを超えた時点での電圧値を耐電圧とした。得られた耐電圧を誘電体層の厚みで割ることにより、単位厚みあたりの耐電圧(絶縁破壊電圧)を算出した。絶縁破壊電圧は高いほうが好ましく、本実施例では、絶縁破壊電圧が270V/μm以上である試料を良好であると判断した。絶縁破壊電圧が290V/μm以上である試料がより好ましい。結果を表1に示す。
(Breakdown voltage at 175°C)
The multilayer ceramic capacitor sample was placed in an oil bath at 175°C, and a DC voltage was applied at a voltage rise rate of 100V/sec. The voltage value at the point where the leakage current exceeded 10mA was taken as the withstand voltage. The obtained withstand voltage was divided by the thickness of the dielectric layer to calculate the withstand voltage per unit thickness (dielectric breakdown voltage). A higher dielectric breakdown voltage is preferable, and in this example, samples with a dielectric breakdown voltage of 270V/μm or more were judged to be good. Samples with a dielectric breakdown voltage of 290V/μm or more are more preferable. The results are shown in Table 1.
(280℃における高温負荷寿命)
280℃において、積層セラミックコンデンサ試料の誘電体層に対し電界強度40V/μmが印加されるように直流電圧を印加しながら、絶縁抵抗の経時変化を測定した。直流電圧印加開始時の絶縁抵抗値から絶縁抵抗値が1桁低下するまでの時間を故障時間とした。故障時間のワイブル解析から50%の平均故障時間(MTTF)を算出した。各試料番号において、20個の試料について平均故障時間を測定し、その平均値を高温負荷寿命とした。高温負荷寿命は長いほど好ましい。本実施例では、高温負荷寿命が9.0時間以上である試料を良好と判断した。結果を表1に示す。
(High temperature load life at 280°C)
At 280°C, a DC voltage was applied to the dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor sample so that an electric field strength of 40 V/μm was applied, and the change in insulation resistance over time was measured. The time from the insulation resistance value at the start of DC voltage application until the insulation resistance value dropped by one digit was defined as the failure time. The 50% mean time to failure (MTTF) was calculated from a Weibull analysis of the failure time. For each sample number, the mean time to failure was measured for 20 samples, and the average value was defined as the high temperature load life. The longer the high temperature load life, the better. In this example, samples with a high temperature load life of 9.0 hours or more were determined to be good. The results are shown in Table 1.
表1より、A1、A2、A3、B1およびB2が適切に選択され、「a」、「b」および「c」が上述した範囲内にある積層セラミックコンデンサ試料は、175℃における絶縁破壊電圧と280℃における高温負荷寿命が良好であることが確認できた。 From Table 1, it was confirmed that multilayer ceramic capacitor samples in which A1, A2, A3, B1 and B2 were appropriately selected and "a", "b" and "c" were within the above-mentioned ranges had good dielectric breakdown voltage at 175°C and high-temperature load life at 280°C.
これに対し、「a」、「b」および「c」が上述した範囲外である場合には、175℃における絶縁破壊電圧と280℃における高温負荷寿命のうち少なくとも1つが悪化することが確認できた。 In contrast, it was confirmed that when "a", "b" and "c" are outside the above-mentioned ranges, at least one of the dielectric breakdown voltage at 175°C and the high temperature load life at 280°C deteriorates.
本実施形態に係る誘電体組成物は、高温度域において、高温負荷寿命が長く、しかも絶縁破壊電圧が高い。したがって、175℃以上の高温領域での使用が求められる車載用途の電子部品に好適に用いることができる。 The dielectric composition according to this embodiment has a long high-temperature load life and a high dielectric breakdown voltage in the high-temperature range. Therefore, it can be suitably used for electronic components for automotive applications that require use in high-temperature ranges of 175°C or higher.
1… 積層セラミックコンデンサ
10… 素子本体
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
Reference Signs List 1... Multilayer
Claims (3)
A1は、Ba、SrおよびCaからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
A2は、La、Pr、NdおよびSmからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
A3は、Yb、Lu、ScおよびAlからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
B1は、TiおよびZrからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
B2は、NbおよびTaからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素であり、
a、bおよびcが、それぞれ、
2.600≦a+b+c≦2.980、
1.003≦b+c≦1.500、
0.003≦c≦0.100、
である関係を満足する誘電体組成物。 A dielectric composition comprising, as a main component, a tungsten bronze type composite oxide represented by the chemical formula (A1) a (A2) b (A3) c (B1) 2 (B2) 3O15 +σ,
A1 is at least one element selected from the group consisting of Ba, Sr and Ca;
A2 is at least one element selected from the group consisting of La, Pr, Nd and Sm;
A3 is at least one element selected from the group consisting of Yb, Lu, Sc and Al;
B1 is at least one element selected from the group consisting of Ti and Zr;
B2 is at least one element selected from the group consisting of Nb and Ta;
a, b and c are each
2.600≦a+b+c≦2.980,
1.003≦b+c≦1.500,
0.003≦c≦0.100,
A dielectric composition which satisfies the following relationship:
1.250≦b+c≦1.400、
である関係を満足する請求項1に記載の誘電体組成物。 b and c are 1.250≦b+c≦1.400;
2. The dielectric composition according to claim 1, which satisfies the following relationship:
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