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JP7715313B1 - Multilayer polyimide film and polyimide-metal laminate - Google Patents

Multilayer polyimide film and polyimide-metal laminate

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JP7715313B1
JP7715313B1 JP2025514602A JP2025514602A JP7715313B1 JP 7715313 B1 JP7715313 B1 JP 7715313B1 JP 2025514602 A JP2025514602 A JP 2025514602A JP 2025514602 A JP2025514602 A JP 2025514602A JP 7715313 B1 JP7715313 B1 JP 7715313B1
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Abstract

耐熱性、低誘電正接、寸法安定性にすぐれた多層ポリイミドフィルムが提供される。この多層ポリイミドフィルムは、耐熱性ポリイミド層と片面または両面に積層された熱融着性ポリイミド層を有し;耐熱性ポリイミドは、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s-BPDA)を75モル%以上、ピロメリット酸二無水物(PMDA)を25モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分と、p-フェニレンジアミンを70モル%以上95モル%以下、2,2’-ジメチルベンジジンを5モル%以上30モル%以下の量で含むジアミン成分から得られ;熱融着性ポリイミドは、s-BPDAを10モル%以上60モル%以下、PMDAを40モル%以上90モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分と、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを50モル%以上の量で含むジアミン成分から得られる。
A multilayer polyimide film is provided that has excellent heat resistance, low dielectric loss tangent, and dimensional stability. This multilayer polyimide film has a heat-resistant polyimide layer and a heat-fusible polyimide layer laminated on one or both sides thereof; the heat-resistant polyimide is obtained from a tetracarboxylic acid component containing 75 mol % or more of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and 25 mol % or less of pyromellitic dianhydride (PMDA), and a diamine component containing 70 mol % to 95 mol % of p-phenylenediamine and 5 mol % to 30 mol % of 2,2'-dimethylbenzidine; and the heat-fusible polyimide is obtained from a tetracarboxylic acid component containing 10 mol % to 60 mol % of s-BPDA and 40 mol % to 90 mol % of PMDA, and a diamine component containing 50 mol % or more of 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane.

Description

本発明は、ポリイミドフィルム、およびポリイミド金属積層体に関する。 The present invention relates to a polyimide film and a polyimide-metal laminate.

ポリイミドフィルムは、優れた耐熱性および機械的特性を有し、フレキシブルプリント配線板(以下、FPCとも言う。)やTape Automated Bonding(以下、TABとも言う。)などの電子基板材料として幅広く使用されている。 Polyimide film has excellent heat resistance and mechanical properties and is widely used as an electronic substrate material such as flexible printed circuit boards (hereinafter also referred to as FPC) and tape automated bonding (hereinafter also referred to as TAB).

FPCやTABの製造には、銅箔等の金属箔とポリイミドフィルムとを貼り合わせたポリイミド金属積層体(例えば銅張積層板)が使用される。金属箔とポリイミドフィルムの貼り合わせ方法としては、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などの接着剤を用いることが知られているが、接着剤を用いたポリイミド金属積層体は耐熱性が劣るため、接着剤を用いることなく銅箔等の金属箔と貼り合わせることができるポリイミドフィルムとして、耐熱性ポリイミド層と熱融着性ポリイミド層を積層した多層ポリイミドフィルムが提案されている(例えば特許文献1)。 In the manufacture of FPCs and TABs, polyimide-metal laminates (e.g., copper-clad laminates) are used, in which a metal foil such as copper foil is bonded to a polyimide film. While adhesives such as epoxy resins and acrylic resins are known to be used to bond metal foil and polyimide film, polyimide-metal laminates using adhesives have poor heat resistance. Therefore, multilayer polyimide films, in which a heat-resistant polyimide layer and a heat-sealable polyimide layer are laminated, have been proposed as polyimide films that can be bonded to metal foil such as copper foil without the use of adhesives (e.g., Patent Document 1).

一方、近年電子機器の高周波数帯域の利用に伴い、電子基板材料であるポリイミドには、低伝送損失化の要求が高まっている。伝送損失は、誘電率及び誘電正接と相関があり、低伝送損失化には、特に誘電正接を低くすることが有効である。 On the other hand, with the recent use of high-frequency bands in electronic devices, there is an increasing demand for low transmission loss in polyimide, an electronic circuit board material. Transmission loss is correlated with the dielectric constant and dielectric loss tangent, and lowering the dielectric loss tangent is particularly effective in reducing transmission loss.

誘電正接が小さいポリイミドとして、特許文献2には、「クランクシャフトモノマー、可撓性モノマー、剛性回転モノマー、剛性非回転モノマー、及び回転抑制モノマーからなる群から選択される1つ以上の二無水物と、クランクシャフトモノマー、可撓性モノマー、剛性回転モノマー、剛性非回転モノマー、及び回転抑制モノマーからなる群から選択される1つ以上のジアミンと、を含み、0.005以下の発散係数Df(誘電正接と同義)、および特定の吸水率等を有する前記ポリマーフィルム(請求項1)」が提案されている。 As a polyimide with a low dielectric dissipation factor, Patent Document 2 proposes "a polymer film (claim 1) comprising one or more dianhydrides selected from the group consisting of crankshaft monomers, flexible monomers, rigid rotational monomers, rigid non-rotational monomers, and rotation-reducing monomers, and one or more diamines selected from the group consisting of crankshaft monomers, flexible monomers, rigid rotational monomers, rigid non-rotational monomers, and rotation-reducing monomers, and having an extinction coefficient Df (synonymous with dielectric dissipation factor) of 0.005 or less, a specific water absorption coefficient, etc."

国際公開2016/055673号International Publication No. 2016/055673 特開2021-11567号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-11567

高周波用途のFPCにおいては、低誘電正接に加え、通常のFPCで要求される高耐熱性や高寸法安定性といった基本物性を満たすポリイミドが必要である。高寸法安定性は、回路の位置ずれなどの不具合を抑制し、回路基板の信頼性を高めるだけでなく、製品の歩留まりを向上させる。一般的にはポリイミドフィルムの線熱膨張係数を金属箔(銅箔等)の線熱膨張係数に近接させることで解決が図られている。 FPCs for high-frequency applications require polyimides that not only have a low dielectric dissipation factor but also meet the basic physical properties required for standard FPCs, such as high heat resistance and high dimensional stability. High dimensional stability not only suppresses defects such as circuit misalignment, improving the reliability of circuit boards, but also improving product yield. This problem is generally solved by making the linear thermal expansion coefficient of the polyimide film close to that of the metal foil (copper foil, etc.).

しかし、耐熱性に優れ、且つ低誘電正接と高い加熱環境下においても高い寸法安定性を両立させた多層ポリイミドフィルムは知られていなかった。特許文献2には、低誘電正接を示すポリイミドフィルムを多層フィルムのコア層(耐熱ポリイミド層)として使用する記載はあるが、熱融着層(熱可塑性層)についての詳細な記載がなく、多層フィルム又は金属積層体としての性能が不明である。However, no multilayer polyimide film was known that combines excellent heat resistance with a low dielectric loss tangent and high dimensional stability even in highly heated environments. Patent Document 2 describes the use of a polyimide film exhibiting a low dielectric loss tangent as the core layer (heat-resistant polyimide layer) of a multilayer film, but does not provide detailed information about the heat-sealable layer (thermoplastic layer), leaving its performance as a multilayer film or metal laminate unclear.

本発明は、耐熱性に優れ、低誘電正接と高寸法安定性を両立させた多層ポリイミドフィルムを提供することを目的とする。
さらに本発明の異なる態様は、多層ポリイミドフィルムと銅箔などの金属箔が積層されたポリイミド金属積層体を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a multilayer polyimide film that has excellent heat resistance and combines a low dielectric loss tangent with high dimensional stability.
Another object of the present invention is to provide a polyimide metal laminate in which a multilayer polyimide film and a metal foil such as a copper foil are laminated together.

本出願の主要な開示事項をまとめると、以下のとおりである。 The main disclosures of this application can be summarized as follows:

1. 耐熱性ポリイミド(PIc)から構成される耐熱性ポリイミド層、および
前記耐熱性ポリイミド層の片面または両面に積層され、熱融着性ポリイミド(PIb)から構成される熱融着性ポリイミド層
を有する多層ポリイミドフィルムであって;
前記耐熱性ポリイミド(PIc)は、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を75モル%以上100モル%以下、且つ、ピロメリット酸二無水物を0モル%以上25モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ac)と、
p-フェニレンジアミンを70モル%以上95モル%以下、且つ2,2’-ジメチルベンジジンを5モル%以上30モル%以下の量で含むジアミン成分(Bc)と
を反応して得られ;
前記熱融着性ポリイミド(PIb)は、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を10モル%以上60モル%以下、且つ、ピロメリット酸二無水物を40モル%以上90モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ab)と、
2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを50モル%以上の量で含むジアミン成分(Bb)と
を反応して得られる、
多層ポリイミドフィルム。
1. A multilayer polyimide film having a heat-resistant polyimide layer made of a heat-resistant polyimide (PIc), and a heat-fusible polyimide layer made of a heat-fusible polyimide (PIb) laminated on one or both sides of the heat-resistant polyimide layer;
The heat-resistant polyimide (PIc) is
a tetracarboxylic acid component (Ac) containing 75 mol% or more and 100 mol% or less of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 0 mol% or more and 25 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
a diamine component (Bc) containing 70 mol% or more and 95 mol% or less of p-phenylenediamine and 5 mol% or more and 30 mol% or less of 2,2'-dimethylbenzidine;
The heat-bondable polyimide (PIb) is
a tetracarboxylic acid component (Ab) containing 10 mol% or more and 60 mol% or less of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 40 mol% or more and 90 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine component (Bb) containing 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane in an amount of 50 mol % or more,
Multilayer polyimide film.

2. 前記耐熱性ポリイミド(PIc)が、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を80モル%以上100モル%未満、且つ、ピロメリット酸二無水物を0モル%超20モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ac)と、
p-フェニレンジアミンを75モル%以上、且つ2,2’-ジメチルベンジジンを25モル%以下の量で含むジアミン(Bc)とを反応して得られる、
上記項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
2. The heat-resistant polyimide (PIc) is
a tetracarboxylic acid component (Ac) containing 80 mol% or more and less than 100 mol% of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and more than 0 mol% and 20 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine (Bc) containing 75 mol% or more of p-phenylenediamine and 25 mol% or less of 2,2'-dimethylbenzidine,
2. The multilayer polyimide film according to item 1.

3. 前記熱融着性ポリイミド(PIb)が、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を15モル%以上、且つ、ピロメリット酸二無水物を85モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ab)と、
2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを60モル%以上の量で含むジアミン成分(Bb)とを反応して得られる、
上記項1又は2に記載の多層ポリイミドフィルム。
3. The heat-bondable polyimide (PIb) is
a tetracarboxylic acid component (Ab) containing 15 mol% or more of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 85 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine component (Bb) containing 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane in an amount of 60 mol % or more,
3. The multilayer polyimide film according to item 1 or 2.

4. 多層ポリイミドフィルムの誘電正接が0.0060以下であり、ポリイミド金属積層体の長尺方向(MD)および幅方向(TD)の寸法変化率(絶対値)が0.10%以下である、上記項1~3のいずれか1項に記載の多層ポリイミドフィルム(但し、前記寸法変化率は、多層ポリイミドフィルムを用いて製造したポリイミド金属積層体の初期寸法(X)と、金属箔をエッチングした後、250℃で30分間加熱処理した後の寸法(Y)を測定し、以下の数式に従って算出される。
寸法変化率(%)=(Y-X)/X×100
)。
4. A multilayer polyimide film according to any one of items 1 to 3 above, wherein the multilayer polyimide film has a dielectric dissipation factor of 0.0060 or less, and the polyimide metal laminate has a dimensional change rate (absolute value) of 0.10% or less in the machine direction (MD) and the width direction (TD) (wherein the dimensional change rate is calculated according to the following formula, by measuring the initial dimension (X) of a polyimide metal laminate produced using the multilayer polyimide film and the dimension (Y) after etching the metal foil and then heat-treating it at 250°C for 30 minutes:
Dimensional change rate (%) = (Y - X) / X x 100
).

5. 上記項1~4のいずれか1項に記載の多層ポリイミドフィルムの熱融着性ポリイミド層側に、金属箔が積層されている、ポリイミド金属積層体。 5. A polyimide metal laminate in which a metal foil is laminated on the heat-sealable polyimide layer side of the multilayer polyimide film described in any one of items 1 to 4 above.

6. 前記多層ポリイミドフィルムが、耐熱性ポリイミド層の両面に熱融着性ポリイミド層を有し、前記多層ポリイミドフィルムの両面に金属箔が積層されている、上記項5に記載のポリイミド金属積層体。 6. The polyimide metal laminate described in item 5 above, wherein the multilayer polyimide film has a heat-sealable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer, and metal foil is laminated on both sides of the multilayer polyimide film.

7. 上記項5に記載のポリイミド金属積層体を用いて製造されたフレキシブル配線基板。 7. A flexible wiring board manufactured using the polyimide metal laminate described in item 5 above.

本発明によれば、高周波領域での誘電正接が小さく、同時に耐熱性に優れ、且つ寸法安定性に優れた多層ポリイミドフィルムを提供することができる。さらに本発明の異なる態様によれば、多層ポリイミドフィルムと銅箔などの金属箔が積層されたポリイミド金属積層体を提供することができる。このポリイミド金属積層体は、高周波対応FPCの製造に適している。 The present invention provides a multilayer polyimide film that has a small dielectric loss tangent in the high frequency range, excellent heat resistance, and excellent dimensional stability. Furthermore, according to another aspect of the present invention, a polyimide metal laminate can be provided in which a multilayer polyimide film is laminated with a metal foil such as copper foil. This polyimide metal laminate is suitable for manufacturing high-frequency compatible FPCs.

本発明の多層ポリイミドフィルムは、耐熱性ポリイミド層(以下、コア層とも言う)の片面または両面に熱融着性ポリイミド層(熱融着層とも言う)が積層された構造を有する。以下、コア層の材料には「c」(ore)、熱融着層の材料には「b」(ondable)のサフィックスを付けて表すこともある。 The multilayer polyimide film of the present invention has a structure in which a heat-sealable polyimide layer (hereinafter also referred to as a core layer) is laminated on one or both sides of a heat-resistant polyimide layer (hereinafter also referred to as a core layer). Hereinafter, the material of the core layer may be represented by the suffix "c" (for core ), and the material of the heat-sealable layer may be represented by the suffix "b" ( for bondable).

<耐熱性ポリイミド層>
耐熱性ポリイミド層(コア層)は、テトラカルボン酸成分(Ac)とジアミン成分(Bc)とを反応させて得られる耐熱性ポリイミド(PIc)を含む。
耐熱性ポリイミドを製造するためのテトラカルボン酸成分(Ac)は、全テトラカルボン酸成分100モル%に対して、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s-BPDA)を75モル%以上100モル%以下、好ましくは80モル%以上、より好ましくは85モル%以上、好ましくは100モル%未満、より好ましくは95モル%以下の量で、且つ、ピロメリット酸二無水物(PMDA)を0モル%以上25モル%以下、好ましくは0モル%超、より好ましくは5モル%以上、好ましくは20モル%以下、より好ましくは15モル%以下の量で含む。
<Heat-resistant polyimide layer>
The heat-resistant polyimide layer (core layer) contains a heat-resistant polyimide (PIc) obtained by reacting a tetracarboxylic acid component (Ac) with a diamine component (Bc).
The tetracarboxylic acid component (Ac) for producing a heat-resistant polyimide contains, relative to 100 mol% of the total tetracarboxylic acid component, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) in an amount of 75 mol% or more and 100 mol% or less, preferably 80 mol% or more, more preferably 85 mol% or more, preferably less than 100 mol%, and more preferably 95 mol% or less, and pyromellitic dianhydride (PMDA) in an amount of 0 mol% or more and 25 mol% or less, preferably more than 0 mol%, more preferably 5 mol% or more, preferably 20 mol% or less, and more preferably 15 mol% or less.

テトラカルボン酸成分(Ac)として、s-BPDAおよびPMDA以外のテトラカルボン酸二無水物を使用してもよいが、その量は好ましくは10モル%以下、好ましくは5モル%以下、より好ましくは2モル%以下であり、全く含まないことも非常に好ましい。 Tetracarboxylic acid dianhydrides other than s-BPDA and PMDA may be used as the tetracarboxylic acid component (Ac), but the amount is preferably 10 mol % or less, preferably 5 mol % or less, more preferably 2 mol % or less, and it is highly preferred that they are not included at all.

併用可能なテトラカルボン酸成分としては、芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂肪族(特に脂環式)テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。具体的には、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス[(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、ビス(1,3-ジオキソ-1,3-ジヒドロイソベンゾフラン-5-カルボン酸)1,4-フェニレン、パラ-タ―フェニル-3,3’、4,4’-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物および1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。 Tetracarboxylic acid components that can be used in combination include aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides and aliphatic (especially alicyclic) tetracarboxylic acid dianhydrides. Specific examples include 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis[(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, bis(1,3-dioxo-1,3-dihydroisobenzofuran-5-carboxylic acid)1,4-phenylene, para-ter-phenyl-3,3',4,4'-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, and 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride.

耐熱性ポリイミドを製造するためのジアミン成分(Bc)は、全ジアミン成分100モル%に対して、p-フェニレンジアミン(PPD)を70モル%以上95モル%以下、好ましくは75モル%以上、好ましくは93モル%以下であり、2,2’-ジメチルベンジジン(m-TB)を5モル%以上30モル%以下、好ましくは7モル%以上、好ましくは25モル%以下の量で含む。 The diamine component (Bc) used to produce heat-resistant polyimide contains p-phenylenediamine (PPD) in an amount of 70 mol% or more and 95 mol% or less, preferably 75 mol% or more and preferably 93 mol% or less, and 2,2'-dimethylbenzidine (m-TB) in an amount of 5 mol% or more and 30 mol% or less, preferably 7 mol% or more and preferably 25 mol% or less, based on 100 mol% of all diamine components.

ジアミン成分(Bc)として、PPDおよびm-TB以外のジアミン化合物を使用してもよいが、その量は好ましくは10モル%以下、好ましくは5モル%以下、より好ましくは2モル%以下であり、全く含まないことも非常に好ましい。 Diamine compounds other than PPD and m-TB may be used as the diamine component (Bc), but the amount is preferably 10 mol % or less, preferably 5 mol % or less, more preferably 2 mol % or less, and it is highly preferred that they are not included at all.

併用可能なジアミン成分としては、芳香族ジアミン化合物、脂肪族(特に脂環式)ジアミン化合物が挙げられる。具体的には、m-フェニレンジアミン、4,4’’-ジアミノ-p-テルフェニル、2,4-トルエンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ジ(3-アミノフェニル)プロパン、2,2-ジ(4-アミノフェニル)プロパン、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、α,α’-ビス(4-アミノフェニル)-1,4-ジイソプロピルベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンなどのビス(アミノフェノキシ)ベンゼン類、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、および1,4-シクロヘキサンジアミンなどが挙げられる。 Diamine components that can be used in combination include aromatic diamine compounds and aliphatic (especially alicyclic) diamine compounds. Specific examples include m-phenylenediamine, 4,4''-diamino-p-terphenyl, 2,4-toluenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane bis(aminophenoxy)benzenes such as benzene, 2,2-di(3-aminophenyl)propane, 2,2-di(4-aminophenyl)propane, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, α,α'-bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, and 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene; 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl; and 1,4-cyclohexanediamine.

耐熱性ポリイミド層は主として前述の耐熱性ポリイミドからなり、添加剤を除いた樹脂成分は、好ましくは前述の耐熱性ポリイミドから実質的になり(95重量%以上、好ましくは98質量%以上)、耐熱性ポリイミドのみからなる(100質量%)ことも非常に好ましい。 The heat-resistant polyimide layer is primarily composed of the aforementioned heat-resistant polyimide, and the resin component excluding additives preferably consists essentially of the aforementioned heat-resistant polyimide (95% by weight or more, preferably 98% by weight or more), and it is also highly preferred that it consists solely of heat-resistant polyimide (100% by weight).

耐熱性ポリイミド層は、耐熱性ポリイミドに加えて、必要により添加剤を含むことができる。代表的には、微細な無機または有機フィラーを挙げることができる。無機フィラーとしては、粒子状あるいは偏平状などの無機フィラーを挙げることができる。具体的には、例えば微粒子状の二酸化チタン粉末、二酸化ケイ素(シリカ)粉末、酸化マグネシウム粉末、酸化アルミニウム(アルミナ)粉末、酸化亜鉛粉末などの無機酸化物粉末、微粒子状の窒化ケイ素粉末、窒化チタン粉末などの無機窒化物粉末、炭化ケイ素粉末などの無機炭化物粉末、微粒子状の炭酸カルシウム粉末、硫酸カルシウム粉末、硫酸バリウム粉末などの無機塩粉末を挙げることができる。有機フィラーとしては、例えばポリイミドパウダー、液晶ポリマーパウダー、フッ素樹脂パウダー、熱硬化性樹脂のパウダーなどを挙げることができる。これらの添加剤は2種以上を組み合わせて使用してもよい。フィラーの使用量および形状(大きさ、アスペクト比)については、使用目的に応じて選択することが好ましい。また、これらのフィラーを均一に分散させるために、それ自体公知の手段を適用することができる。In addition to the heat-resistant polyimide, the heat-resistant polyimide layer may contain additives as needed. Typical examples include fine inorganic or organic fillers. Examples of inorganic fillers include particulate or flat inorganic fillers. Specific examples include inorganic oxide powders such as fine titanium dioxide powder, silicon dioxide (silica) powder, magnesium oxide powder, aluminum oxide (alumina) powder, and zinc oxide powder; inorganic nitride powders such as fine silicon nitride powder and titanium nitride powder; inorganic carbide powders such as silicon carbide powder; and inorganic salt powders such as fine calcium carbonate powder, calcium sulfate powder, and barium sulfate powder. Examples of organic fillers include polyimide powder, liquid crystal polymer powder, fluororesin powder, and thermosetting resin powder. These additives may be used in combination with two or more types. The amount and shape (size, aspect ratio) of the filler are preferably selected depending on the intended use. Furthermore, known methods can be used to uniformly disperse these fillers.

これらの無機または有機フィラー、特に好ましくはシリカ粉末を、耐熱性ポリイミド層中に好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらにより好ましくは10質量%以下(0質量%であってもよい)の量で含むことができる。These inorganic or organic fillers, particularly preferably silica powder, can be contained in the heat-resistant polyimide layer in an amount of preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less, and even more preferably 10% by weight or less (which may be 0% by weight).

<熱融着性ポリイミド層>
熱融着性ポリイミド層(熱融着層)は、テトラカルボン酸成分(Ab)とジアミン成分(Bb)とを反応させて得られる熱融着性ポリイミド(PIb)を含む。
熱融着性ポリイミドを製造するためのテトラカルボン酸成分(Ab)は、全テトラカルボン酸成分100モル%に対して、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s-BPDA)を10モル%以上60モル%以下、好ましくは15モル%以上、より好ましくは20モル%以上、また好ましくは55モル%以下、より好ましくは50モル以下の量で、且つ、ピロメリット酸二無水物(PMDA)を40モル%以上90モル%、好ましくは45モル%以上、より好ましくは50モル%以上、また好ましくは85モル%以下、より好ましくは80モル以下の量で含む。
<Heat-fusible polyimide layer>
The heat-fusible polyimide layer (heat-fusible layer) contains a heat-fusible polyimide (PIb) obtained by reacting a tetracarboxylic acid component (Ab) with a diamine component (Bb).
The tetracarboxylic acid component (Ab) for producing a heat-fusible polyimide contains, relative to 100 mol % of the total tetracarboxylic acid component, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) in an amount of 10 mol % to 60 mol %, preferably 15 mol % or more, more preferably 20 mol % or more, and also preferably 55 mol % or less, more preferably 50 mol % or less, and pyromellitic dianhydride (PMDA) in an amount of 40 mol % to 90 mol %, preferably 45 mol % or more, more preferably 50 mol % or more, and also preferably 85 mol % or less, more preferably 80 mol % or less.

テトラカルボン酸成分(Ab)として、s-BPDAおよびPMDA以外のテトラカルボン酸二無水物を使用してもよいが、その量は好ましくは10モル%以下、好ましくは5モル%以下、より好ましくは2モル%以下であり、全く含まないことも非常に好ましい。 Tetracarboxylic acid dianhydrides other than s-BPDA and PMDA may be used as the tetracarboxylic acid component (Ab), but the amount is preferably 10 mol % or less, preferably 5 mol % or less, more preferably 2 mol % or less, and it is highly preferred that they are not included at all.

併用可能なテトラカルボン酸成分としては、芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂肪族(特に脂環式)テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。具体例としては、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス[(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、および1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。Tetracarboxylic acid components that can be used in combination include aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides and aliphatic (especially alicyclic) tetracarboxylic acid dianhydrides. Specific examples include 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis[(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, and 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid dianhydride.

熱融着性ポリイミドを製造するためのジアミン成分(Bb)は、全ジアミン成分100モル%に対して、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)を50モル%以上(好ましくは50モル%超)、好ましくは60モル%以上、より好ましくは70モル%以上、さらにより好ましくは80モル%以上、さらにより好ましくは90モル%以上で含み、100モル%であることも好ましい。 The diamine component (Bb) used to produce heat-bondable polyimide contains 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP) in an amount of 50 mol% or more (preferably more than 50 mol%), preferably 60 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, even more preferably 80 mol% or more, and even more preferably 90 mol% or more, based on 100 mol% of all diamine components, and it is also preferable that it is 100 mol%.

ジアミン成分(Bb)として、BAPP以外のジアミン化合物を使用してもよく、併用する他のジアミン成分としては、例えばm-フェニレンジアミン、2,2’-ジメチルベンジジン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、α,α’-ビス(4-アミノフェニル)-1,4-ジイソプロピルベンゼン、ビス[4-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]フェニル]エーテル、および1,4-シクロヘキサンジアミンなどが挙げられる。 Diamine compounds other than BAPP may be used as the diamine component (Bb). Examples of other diamine components that may be used in combination include m-phenylenediamine, 2,2'-dimethylbenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-bis(3-aminophenoxy)biphenyl, and 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl. bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, α,α'-bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene, bis[4-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenyl]ether, and 1,4-cyclohexanediamine.

熱融着性ポリイミドのガラス転移温度(Tg)は、熱融着層とコア層との剥離強度の向上、および該熱融着層と金属箔との剥離強度の向上の観点、かつ、FPC製造時の半田耐熱性の観点から250℃~310℃であることが好ましく、260℃~300℃であることがさらに好ましい。 The glass transition temperature (Tg) of the heat-sealable polyimide is preferably 250°C to 310°C, more preferably 260°C to 300°C, from the viewpoint of improving the peel strength between the heat-sealable layer and the core layer, and between the heat-sealable layer and the metal foil, as well as from the viewpoint of solder heat resistance during FPC manufacturing.

熱融着性ポリイミド層は主として前述の熱融着性ポリイミドからなり、添加剤を除いた樹脂組成は、好ましくは前述の熱融着性ポリイミドから実質的になり(95重量%以上、好ましくは98質量%以上)、熱融着性ポリイミドのみからなる(100質量%)ことも非常に好ましい。 The heat-fusible polyimide layer is primarily composed of the heat-fusible polyimide described above, and the resin composition excluding additives preferably consists essentially of the heat-fusible polyimide described above (95% by weight or more, preferably 98% by weight or more), and it is also highly preferred that it consists solely of heat-fusible polyimide (100% by weight).

熱融着性ポリイミド層は、熱融着性ポリイミドに加えて、必要により添加剤を含むことができる。具体的な添加剤、配合量は耐熱性ポリイミド層で説明したものを使用することができる。 The heat-fusible polyimide layer may contain additives as needed in addition to the heat-fusible polyimide. Specific additives and amounts of additives can be those described for the heat-resistant polyimide layer.

<多層ポリイミドフィルム>
本発明の多層ポリイミドフィルムの厚みは、特に限定されないが、耐熱性ポリイミド層の厚みは好ましくは3~70μm、より好ましくは5~65μmである。熱融着性ポリイミド層の厚みは好ましくは0.5~15μmであり、より好ましくは1~12.5μmである。多層ポリイミドフィルム全体の厚みは4~100μmであることが好ましく、7~90μmであることがより好ましい。
<Multilayer polyimide film>
The thickness of the multilayer polyimide film of the present invention is not particularly limited, but the thickness of the heat-resistant polyimide layer is preferably 3 to 70 μm, more preferably 5 to 65 μm. The thickness of the heat-fusible polyimide layer is preferably 0.5 to 15 μm, more preferably 1 to 12.5 μm. The thickness of the entire multilayer polyimide film is preferably 4 to 100 μm, more preferably 7 to 90 μm.

多層ポリイミドフィルムの誘電正接(10GHz)は、好ましくは0.0060以下、より好ましくは0.0060未満、さらにより好ましくは0.0055以下である。 The dielectric dissipation factor (10 GHz) of the multilayer polyimide film is preferably 0.0060 or less, more preferably less than 0.0060, and even more preferably 0.0055 or less.

多層ポリイミドフィルムの寸法変化率(絶対値)は、好ましくは0.10%以下、好ましくは0.10%未満、より好ましくは0.09%以下である。
寸法変化率は、多層ポリイミドフィルムを用いて製造したポリイミド金属積層体について、初期寸法(X)と、金属箔をエッチングした後、250℃で30分間加熱処理し、調湿した後の寸法(Y)を測定し、以下の数式に従い算出した。
寸法変化率(%)=(Y-X)/X×100
The dimensional change rate (absolute value) of the multilayer polyimide film is preferably 0.10% or less, preferably less than 0.10%, more preferably 0.09% or less.
The dimensional change rate was calculated according to the following formula, using a polyimide metal laminate produced using a multilayer polyimide film, by measuring the initial dimension (X) and the dimension (Y) after etching the metal foil, heat treating the laminate at 250°C for 30 minutes, and conditioning the humidity.
Dimensional change rate (%) = (Y - X) / X x 100

<多層ポリイミドフィルムの製造方法>
本発明の多層ポリイミドフィルムの製造方法は特に限定されず、公知の方法を採用することが可能である。代表的な方法として、塗工法、共押出し-流延製膜法を次に説明する。
<Method of manufacturing a multilayer polyimide film>
The method for producing the multilayer polyimide film of the present invention is not particularly limited, and any known method can be used. Representative methods include a coating method and a co-extrusion-casting film-forming method, which will be described below.

(塗工法による製造方法)
本発明の多層ポリイミドフィルムは、耐熱性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(a)から得られる自己支持性フィルムの片面または両面に、熱融着性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(b)を塗工し、得られた多層の自己支持性フィルムを加熱、乾燥してイミド化を行うことにより、得ることができる。
(Manufacturing method using coating method)
The multilayer polyimide film of the present invention can be obtained by coating one or both sides of a self-supporting film obtained from a polyimide precursor solution (a) that provides a heat-resistant polyimide with a polyimide precursor solution (b) that provides a heat-fusible polyimide, and then heating and drying the resulting multilayer self-supporting film to carry out imidization.

耐熱性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(a)は、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを、実質的に等モルで、または一方の成分を他方の成分に対して少し過剰にして、有機溶媒中で反応させて得られる。複数のテトラカルボン酸成分とジアミン成分を含むポリイミド前駆体溶液(a)の構造は、ランダム構造として存在しても、ブロック構造として存在してもよく、ランダム構造として存在することがより好ましい。自己支持性フィルムは、ポリイミド前駆体溶液(a)を支持体上に流延し、流延物を加熱乾燥して得ることができる。Polyimide precursor solution (a) that produces heat-resistant polyimides is obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component in substantially equimolar amounts, or with one component in slight excess relative to the other, in an organic solvent. The structure of polyimide precursor solution (a), which contains multiple tetracarboxylic acid components and diamine components, may be a random structure or a block structure, with a random structure being more preferred. A self-supporting film can be obtained by casting polyimide precursor solution (a) onto a support and drying the cast product by heating.

一方、熱融着性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(b)も、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを、実質的に等モルで、または一方の成分を他方の成分に対して少し過剰にして、有機溶媒中で反応させることにより得られる。複数のテトラカルボン酸成分とジアミン成分を含むポリイミド前駆体溶液(b)の構造は、ランダム構造として存在しても、ブロック構造として存在してもよく、ランダム構造として存在することがより好ましい。On the other hand, polyimide precursor solution (b) that produces heat-fusible polyimides can also be obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component in substantially equimolar amounts, or in a slight excess of one component relative to the other, in an organic solvent. The structure of polyimide precursor solution (b), which contains multiple tetracarboxylic acid components and diamine components, may be a random structure or a block structure, with a random structure being more preferred.

耐熱性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(a)および熱融着性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(b)を調製するためのモノマー組成は、それぞれ<耐熱性ポリイミド層>および<熱融着性ポリイミド層>で説明した組成とする。The monomer compositions for preparing the polyimide precursor solution (a) that provides the heat-resistant polyimide and the polyimide precursor solution (b) that provides the heat-fusible polyimide are the compositions described in the <Heat-resistant polyimide layer> and <Heat-fusible polyimide layer> sections, respectively.

ポリイミド前駆体溶液(b)および/またはポリイミド前駆体溶液(a)には、ゲル化を制限する目的で、リン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニルやリン酸トリフェニル等を、ポリイミド前駆体溶液重合時に固形分(ポリマー)濃度に対して0.01~1質量%の範囲で添加することができる。
フィルムの表面状態および生産性の点からは、ポリイミド前駆体溶液にリン酸エステルや、3級アミンとリン酸エステルとの塩類を添加することが好ましい。これらの添加量は、ポリイミドまたは重合体100質量部に対して0.01~5質量部であることが好ましい。リン酸エステルの具体例としては、ジステアリルリン酸エステルやモノステアリルリン酸エステルなどが挙げられる。また、3級アミンとリン酸エステルとの塩類としては、例えばモノステアリルリン酸エステルトリエタノールアミン塩などが挙げられる。本発明におけるイミド化については、熱によるイミド化(熱イミド化)または化学的なイミド化(化学イミド化)のいずれも適用できる。これらのうち、熱イミド化を好適に適用できる。
For the purpose of suppressing gelation, a phosphorus-based stabilizer, such as triphenyl phosphite or triphenyl phosphate, may be added to the polyimide precursor solution (b) and/or the polyimide precursor solution (a) in an amount of 0.01 to 1 mass % based on the solid content (polymer) concentration during polymerization of the polyimide precursor solution.
From the viewpoint of the film surface condition and productivity, it is preferable to add a phosphate ester or a salt of a tertiary amine and a phosphate ester to the polyimide precursor solution. The amount of these added is preferably 0.01 to 5 parts by mass per 100 parts by mass of polyimide or polymer. Specific examples of phosphate esters include distearyl phosphate ester and monostearyl phosphate ester. Furthermore, examples of salts of tertiary amines and phosphate esters include monostearyl phosphate triethanolamine salt. Regarding imidization in the present invention, either thermal imidization (thermal imidization) or chemical imidization (chemical imidization) can be applied. Of these, thermal imidization is preferably applied.

ポリイミド前駆体溶液(b)および/またはポリイミド前駆体溶液(a)には、イミド化を促進する目的で、塩基性有機化合物を添加することができる。例えば、1,2-ジメチルイミダゾール、N-メチルイミダゾール、N-ベンジル-2-メチルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾールなどの低級アルキル基置換または芳香族基置換イミダゾール、5-メチルベンズイミダゾールなどのベンズイミダゾール、イソキノリン、3,5-ジメチルピリジン、3,4-ジメチルピリジン、2,5-ジメチルピリジン、2,4-ジメチルピリジン、4-n-プロピルピリジンなどの置換ピリジン等を、固形分(ポリマー)濃度に対して、0.05~10質量%、より好ましくは0.05~7質量%、さらにより好ましくは0.1~5質量%の割合で使用することができる。これらの塩基性有機化合物を用いると、比較的低温でポリイミド前駆体のイミド化が促進されてポリイミドフィルムが形成されるので、これらの塩基性有機化合物は、イミド化が不十分となることを避ける目的で使用することができる。A basic organic compound can be added to polyimide precursor solution (b) and/or polyimide precursor solution (a) to promote imidization. Examples of such compounds include lower alkyl- or aromatic-substituted imidazoles such as 1,2-dimethylimidazole, N-methylimidazole, N-benzyl-2-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, and 2-phenylimidazole; benzimidazoles such as 5-methylbenzimidazole; and substituted pyridines such as isoquinoline, 3,5-dimethylpyridine, 3,4-dimethylpyridine, 2,5-dimethylpyridine, 2,4-dimethylpyridine, and 4-n-propylpyridine. These compounds can be used in a proportion of 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.05 to 7% by weight, and even more preferably 0.1 to 5% by weight, based on the solids (polymer) concentration. When these basic organic compounds are used, the imidization of the polyimide precursor is promoted at a relatively low temperature to form a polyimide film, and therefore these basic organic compounds can be used to avoid insufficient imidization.

前記ポリイミド前駆体溶液を製造するための有機溶媒としては、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、ヘキサメチルスルホルアミドなどのアミド類、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド類、ジメチルスルホン、ジエチルスルホンなどのスルホン類を挙げることができる。これらの溶媒は単独で用いてもよく、混合して用いてもよい。 Examples of organic solvents used to produce the polyimide precursor solution include amides such as N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N,N-diethylformamide, and hexamethylsulfonamide; sulfoxides such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide; and sulfones such as dimethyl sulfone and diethyl sulfone. These solvents may be used alone or in combination.

テトラカルボン酸成分とジアミン成分との重合反応を実施するときの有機溶媒中の全モノマーの濃度は、使用する目的に応じて適宜選択することができる。例えば、ポリイミド前駆体溶液(a)および(b)は、固形分(ポリマー)濃度が5~40質量%であることが好ましく、6~35質量%であることがより好ましく、10~30質量%であることが特に好ましい。The concentration of all monomers in the organic solvent when carrying out the polymerization reaction between the tetracarboxylic acid component and the diamine component can be selected appropriately depending on the intended use. For example, the solids (polymer) concentration of the polyimide precursor solutions (a) and (b) is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 6 to 35% by mass, and particularly preferably 10 to 30% by mass.

ポリイミド前駆体溶液(a)およびポリイミド前駆体溶液(b)の製造温度は、特に限定するものではないが、イミド化反応が進行しすぎないよう25℃~100℃、より好ましくは25℃~80℃、さらにより好ましくは30℃~70℃であり、製造時間は1~72時間程度、より好ましくは2~60時間程度である。反応は、空気雰囲気下でも行うことができるが、通常は不活性ガス雰囲気下、好ましくは窒素ガス雰囲気下で好適に行われる。The production temperature for polyimide precursor solution (a) and polyimide precursor solution (b) is not particularly limited, but is preferably 25°C to 100°C, more preferably 25°C to 80°C, and even more preferably 30°C to 70°C to prevent the imidization reaction from proceeding too quickly. The production time is approximately 1 to 72 hours, more preferably 2 to 60 hours. The reaction can be carried out in an air atmosphere, but is usually preferably carried out in an inert gas atmosphere, preferably a nitrogen gas atmosphere.

ポリイミド前駆体溶液(a)およびポリイミド前駆体溶液(b)の溶液粘度は、使用する目的(塗工、流延など)などに応じて適宜選択することができる。例えば、ポリイミド前駆体溶液(a)およびポリイミド前駆体溶液(b)を流延に使用する場合、このポリイミド前駆体溶液を取り扱う作業性の面から、30℃で測定した回転粘度が約100~5000ポイズであることが好ましく、500~4000ポイズであることがより好ましく、1000~3000ポイズ程度であることが特に好ましい。また、ポリイミド前駆体溶液(a)およびポリイミド前駆体溶液(b)を塗工に使用する場合、ポリイミド前駆体溶液を取り扱う作業性の面から、30℃で測定した回転粘度が1~100センチポイズであることが好ましく、3~50センチポイズであることがより好ましく、5~20センチポイズであることが特に好ましい。したがって、前記の重合反応は、生成するポリイミド前駆体溶液が上記のような粘度を示す程度にまで実施することが望ましい。また、製造したポリイミド前駆体溶液に上記の有機溶媒を加え、溶液粘度を調整することもできる。The solution viscosities of polyimide precursor solution (a) and polyimide precursor solution (b) can be appropriately selected depending on the intended use (e.g., coating, casting, etc.). For example, when polyimide precursor solution (a) and polyimide precursor solution (b) are used for casting, from the viewpoint of ease of handling the polyimide precursor solution, the rotational viscosity measured at 30°C is preferably approximately 100 to 5,000 poise, more preferably 500 to 4,000 poise, and particularly preferably approximately 1,000 to 3,000 poise. Furthermore, when polyimide precursor solution (a) and polyimide precursor solution (b) are used for coating, from the viewpoint of ease of handling the polyimide precursor solution, the rotational viscosity measured at 30°C is preferably 1 to 100 centipoise, more preferably 3 to 50 centipoise, and particularly preferably 5 to 20 centipoise. Therefore, it is desirable to carry out the polymerization reaction to such an extent that the resulting polyimide precursor solution exhibits the above-mentioned viscosity. The viscosity of the solution can also be adjusted by adding the organic solvent described above to the produced polyimide precursor solution.

耐熱性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(a)から得られる自己支持性フィルムは、例えば、ポリイミド前駆体溶液(a)を適当な支持体(例えば、金属、セラミック、プラスチック製のロール、または金属ベルト等)の表面上に流延して、均一な厚さの膜状態に形成し、次いで、熱風、赤外線等の熱源を利用して好ましくは50~210℃、さらに好ましくは60~200℃に加熱して、溶媒を徐々に除去し、自己支持性になるまで(例えば、支持体上より剥離することができる程度にまで)乾燥することによって得ることができる。A self-supporting film obtained from polyimide precursor solution (a) that provides a heat-resistant polyimide can be obtained, for example, by casting polyimide precursor solution (a) onto the surface of a suitable support (e.g., a metal, ceramic, or plastic roll, or a metal belt, etc.) to form a film of uniform thickness, and then heating it to preferably 50 to 210°C, more preferably 60 to 200°C, using a heat source such as hot air or infrared rays to gradually remove the solvent and dry it until it becomes self-supporting (e.g., to the point where it can be peeled off from the support).

耐熱性ポリイミドを与える前記自己支持性フィルムは、その加熱減量が20~40質量%の範囲にあることが好ましく、イミド化率が8~40%の範囲にあることが好ましい。加熱減量およびイミド化率が上記範囲内であれば、自己支持性フィルムの力学的性質が十分となり、自己支持性フィルムの上面にポリイミド前駆体溶液(b)をきれいに塗工しやすくなり、イミド化後に得られるポリイミドフィルムに発泡、亀裂、クレーズ、クラック、ひび割れなどが発生しづらく、また、耐熱性ポリイミド層と熱融着性ポリイミド層との接着強度が十分となる。
自己支持性フィルムの加熱減量は、測定対象のフィルムを400℃で30分間乾燥し、乾燥前の重量(W1)と乾燥後の重量(W2)から以下の数式に従って算出される。
加熱減量(質量%)={(W1-W2)/W1}×100
自己支持性フィルムのイミド化率は、自己支持性フィルムと、そのフルキュア品(ポリイミドフィルム)のIRスペクトルをATR法でそれぞれ測定し、振動帯ピーク面積の比を利用して算出することができる。振動帯ピークとしては、イミドカルボニル基の非対称伸縮振動帯や、ベンゼン環骨格伸縮振動帯などを利用することができる。またイミド化率測定に関し、特開平9-316199号公報に記載のカールフィッシャー水分計を用いる手法もある。
The self-supporting film that provides the heat-resistant polyimide preferably has a heat loss in the range of 20 to 40% by mass and an imidization rate in the range of 8 to 40%. If the heat loss and imidization rate are within the above ranges, the mechanical properties of the self-supporting film will be sufficient, the polyimide precursor solution (b) can be easily and neatly applied to the upper surface of the self-supporting film, the polyimide film obtained after imidization will be less likely to develop bubbles, cracks, crazes, fissures, and the like, and the adhesive strength between the heat-resistant polyimide layer and the heat-fusible polyimide layer will be sufficient.
The heat loss of the self-supporting film is calculated by drying the film to be measured at 400° C. for 30 minutes and then calculating the weight before drying (W1) and the weight after drying (W2) according to the following formula.
Heating loss (mass%) = {(W1-W2)/W1}×100
The imidization ratio of the self-supporting film can be calculated by measuring the IR spectra of the self-supporting film and its fully cured product (polyimide film) using the ATR method and utilizing the ratio of the vibrational band peak areas. Examples of the vibrational band peaks that can be utilized include the asymmetric stretching vibration band of the imide carbonyl group and the benzene ring skeleton stretching vibration band. Another method for measuring the imidization ratio is to use a Karl Fischer moisture meter, as described in JP-A-9-316199.

次に、前記自己支持性フィルムの片面または両面に、熱融着性ポリイミドを与えるポリイミド前駆体溶液(b)を塗工する。ポリイミド前駆体溶液(b)は、支持体より剥離した自己支持性フィルムに塗工してもよく、支持体より剥離する前に、支持体上の自己支持性フィルムに塗工してもよい。塗工は自己支持性フィルムの片面または両面に、ポリイミド前駆体溶液(b)を均一に行うことが好ましい。したがって、ポリイミド前駆体溶液(a)の自己支持性フィルムは、ポリイミド前駆体溶液(b)を均質に塗工できる表面を有することが好ましい。Next, polyimide precursor solution (b) that provides a heat-fusible polyimide is applied to one or both sides of the self-supporting film. Polyimide precursor solution (b) may be applied to the self-supporting film after it has been peeled from the support, or it may be applied to the self-supporting film on the support before it is peeled from the support. It is preferable to apply polyimide precursor solution (b) uniformly to one or both sides of the self-supporting film. Therefore, it is preferable that the self-supporting film of polyimide precursor solution (a) has a surface that allows polyimide precursor solution (b) to be uniformly applied.

ポリイミド前駆体溶液(a)から得られる自己支持性フィルムにポリイミド前駆体溶液(b)を塗工する方法としては、特に限定されないが、例えば、グラビアコート法、スピンコート法、シルクスクリーン法、ディップコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法などの公知の塗工方法を挙げることができる。 The method for applying polyimide precursor solution (b) to the self-supporting film obtained from polyimide precursor solution (a) is not particularly limited, but examples include known application methods such as gravure coating, spin coating, silk screening, dip coating, spray coating, bar coating, knife coating, roll coating, blade coating, and die coating.

次に、前記ポリイミド前駆体溶液(b)を塗工したポリイミド前駆体溶液(a)の自己支持性フィルムを、加熱・イミド化して多層ポリイミドフィルムを得る。イミド化のための熱処理の最高加熱温度は、好ましくは330℃~600℃、より好ましくは350~550℃、さらにより好ましくは370~500℃である。Next, the self-supporting film of polyimide precursor solution (a) coated with polyimide precursor solution (b) is heated and imidized to obtain a multilayer polyimide film. The maximum heating temperature for the heat treatment for imidization is preferably 330°C to 600°C, more preferably 350°C to 550°C, and even more preferably 370°C to 500°C.

イミド化のための加熱処理は段階的に行うことが好ましく、まず200℃以上300℃未満の温度で1分~60分間第一次加熱処理した後に、300℃以上330℃未満の温度で1分~60分間第二次加熱処理し、その後、好ましくは330℃~600℃、より好ましくは370~550℃、さらにより好ましくは370~500℃の最高加熱温度で1分~30分間第三次加熱処理することが望ましい。この加熱処理は、例えば熱風炉や赤外線加熱炉などの公知の装置を使用して行うことができる。また、この加熱処理は、ポリイミド前駆体溶液(b)を塗工したポリイミド前駆体溶液(a)の自己支持性フィルムをピンテンター、クリップなどで固定して行うことが好ましい。The heat treatment for imidization is preferably carried out in stages, with a primary heat treatment being carried out at a temperature of 200°C or higher but lower than 300°C for 1 minute to 60 minutes, followed by a secondary heat treatment at a temperature of 300°C or higher but lower than 330°C for 1 minute to 60 minutes, and then a tertiary heat treatment being carried out at a maximum heating temperature of preferably 330°C to 600°C, more preferably 370 to 550°C, and even more preferably 370 to 500°C for 1 minute to 30 minutes. This heat treatment can be carried out using known equipment such as a hot air oven or infrared heating oven. Furthermore, this heat treatment is preferably carried out by fixing the self-supporting film of polyimide precursor solution (a) coated with polyimide precursor solution (b) using a pin tenter, clips, or the like.

(共押出し-流延製膜法による製造方法)
本発明の多層ポリイミドフィルムは、共押出し-流延製膜法(以下単に「共押出法」とも言う。)によって、耐熱性ポリイミド層を与えるポリイミド前駆体溶液(以下、ドープ液とも言う)と、熱融着性ポリイミド層を与えるドープ液とを積層、乾燥、イミド化する方法で製造することもできる。この共押出法は、例えば、特開平3-180343号公報(特公平7-102661号公報)に記載されている方法を用いることができる。
(Manufacturing method by co-extrusion-casting film formation method)
The multilayer polyimide film of the present invention can also be produced by a coextrusion-casting film-forming method (hereinafter simply referred to as the "coextrusion method"), in which a polyimide precursor solution (hereinafter also referred to as a dope solution) that provides a heat-resistant polyimide layer and a dope solution that provides a heat-fusible polyimide layer are laminated, dried, and imidized. This coextrusion method can be, for example, the method described in JP-A-3-180343 (JP-B-7-102661).

より具体的に説明すると、この共押出法では、まず二層以上の押出成形用ダイスを有する押出成形機を使用する。前記ダイスの吐出口から耐熱性ポリイミド層を与えるドープ液と熱融着性ポリイミド層を与えるドープ液とを支持体上に流延し、それによって積層された薄膜状体を形成する。そして、前記支持体上の薄膜状体を乾燥し多層の自己支持性フィルムを形成する。次いで、支持体上から多層の自己支持性フィルムを剥離し、最後に多層の自己支持性フィルムを加熱処理する。この工程において、支持体に接するドープ液は、耐熱性ポリイミド層を与えるドープ液および熱融着性ポリイミド層を与えるドープ液のいずれでも構わない。More specifically, this co-extrusion method involves first using an extruder having a die for extrusion molding two or more layers. A dope liquid for providing a heat-resistant polyimide layer and a dope liquid for providing a heat-sealable polyimide layer are cast onto a support from the die outlet, thereby forming a laminated thin film. The thin film on the support is then dried to form a multilayer self-supporting film. The multilayer self-supporting film is then peeled from the support, and finally, the multilayer self-supporting film is heat-treated. In this process, the dope liquid in contact with the support can be either the dope liquid for providing a heat-resistant polyimide layer or the dope liquid for providing a heat-sealable polyimide layer.

耐熱性ポリイミド層を与えるドープ液と熱融着性ポリイミド層を与えるドープ液のどちらも、(塗工法による製造方法)で説明したようにテトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させて、ポリイミド前駆体溶液(a)および(b)を製造する。ドープ液としては、固形分(ポリマー)濃度が5~40重量%、特に10~30重量%程度であって、前述の二層、三層などの多層押出成形の際の多層押出用ダイスからの吐出の温度における「溶液粘度(回転粘度)」が、約50~10000ポイズ、特に100~6000ポイズ程度となるようにすることが好ましい。Both the dope solution that produces the heat-resistant polyimide layer and the dope solution that produces the heat-fusible polyimide layer are prepared by reacting a tetracarboxylic acid component with a diamine component, as explained in the (Coating Production Method) section, to produce polyimide precursor solutions (a) and (b). The dope solution preferably has a solids (polymer) concentration of 5 to 40% by weight, and particularly 10 to 30% by weight, and a solution viscosity (rotational viscosity) of approximately 50 to 10,000 poise, and particularly 100 to 6,000 poise at the temperature at which it is discharged from the multilayer extrusion die during the aforementioned multilayer extrusion molding of two or three layers.

二層押出成形用ダイスとしては、例えば、ドープ液の供給口を有し、ドープ液の通路が、その各供給口から各マニホールドに向かってそれぞれ形成されており、そのマニホールドの底部の流路が合流点で合流して、その合流した後のドープ液の通路(リップ部)がスリット状の吐出口に連通していて、この吐出口からドープ液が薄膜状に支持体上に吐出される構造(マルチマニホールド型二層ダイス)になっているものを挙げることができる。前記リップ部は、リップ調整ボルトによって、その間隔を調整できるようになっている。
また、各マニホールドの底部(合流点に近い箇所)は、各チョークバーによってその流路の空隙部の間隔が調節される。前記の各マニホールドは、ハンガーコートタイプの形状を有していることが好ましい。また、二層押出成形用ダイスとしては、ダイス上部の左右に各ドープ液の供給口を有し、ドープ液の通路が、仕切り板を備えた合流点で直ちに合流するようになっている。その合流点からマニホールドにドープ液の流路が連通していて、そのマニホールドの底部のドープ液の通路(リップ部)がスリット状の吐出口に連通している。この吐出口からドープ液が溝膜状に支持体上に吐出される構造(フィードブロック型二層ダイスまたはシングルマニホールド型二層ダイス)になっているものであってもよい。
Examples of two-layer extrusion dies include those having dope supply ports, dope passages extending from the supply ports to the manifolds, the manifolds having bottom flow paths that join together at a confluence, and the resulting dope passage (lip) that communicates with a slit-shaped discharge port from which the dope is discharged onto a support in the form of a thin film (multi-manifold two-layer die). The lip spacing can be adjusted by a lip adjustment bolt.
The gaps in the flow paths at the bottom of each manifold (near the confluence) are adjusted by choke bars. Each manifold preferably has a hanger-coat type shape. The two-layer extrusion die has dope supply ports on the left and right sides of the upper part of the die, and the dope paths immediately merge at a confluence point equipped with a partition plate. The dope paths connect to the manifold from the confluence point, and the dope path (lip portion) at the bottom of the manifold connects to a slit-shaped discharge port. The die may also have a structure in which the dope is discharged from the discharge port in the form of a grooved film onto a support (a feedblock-type two-layer die or a single-manifold-type two-layer die).

上記二層押出に加えて、三層以上押出成形用ダイスを使用することにより、二層押出成形と同様の成形方法で、多層押出ポリイミドフィルムを製造することもできる。すなわち熱融着性ポリイミド層を与える第1のドープ液-耐熱性ポリイミド層を与えるドープ液-熱融着性ポリイミド層を与える第2のドープ液の構成とした場合には、三層ポリイミドフィルムを得ることもできる。熱融着性ポリイミド層を与える第1のドープ液と第2のドープ液とは同一であってもよく、あるいは異なっていてもよい。In addition to the two-layer extrusion described above, by using a die for extrusion molding of three or more layers, it is also possible to produce a multi-layer extruded polyimide film using a molding method similar to two-layer extrusion molding. That is, if the composition is a first dope liquid that provides a heat-sealable polyimide layer, a dope liquid that provides a heat-resistant polyimide layer, and a second dope liquid that provides a heat-sealable polyimide layer, a three-layer polyimide film can also be obtained. The first dope liquid and the second dope liquid that provide the heat-sealable polyimide layer may be the same or different.

なお、共押出し-流延製膜法における支持体上に連続して押し出す操作以降の乾燥条件や加熱条件等の形態については、前記「塗工法による製造方法」の記載内容をそのまま適用できる。 In addition, with regard to the drying conditions, heating conditions, etc. after the operation of continuously extruding onto the support in the co-extrusion-casting film production method, the contents described above in the "Manufacturing method by coating method" can be applied as is.

塗工法、共押出法のどちらにおいても、自己支持性フィルムを加熱してポリイミドフィルムを製造する際に、必要により延伸操作を行ってもよい。
以上の操作により、連続的に長尺状のポリイミドフィルムを製造することが可能である。
厚膜の多層ポリイミドフィルムが必要な場合は、上記の製造方法で製造された多層ポリイミドフィルムを貼り合わせて製造することもできる。貼り合わせ操作も連続的に実施することができる。
In either the coating method or the co-extrusion method, when the self-supporting film is heated to produce the polyimide film, a stretching operation may be carried out, if necessary.
By the above-mentioned operations, it is possible to continuously produce a long polyimide film.
When a thick multilayer polyimide film is required, it can be produced by laminating together the multilayer polyimide films produced by the above-mentioned production method. The lamination operation can also be carried out continuously.

<ポリイミド金属積層体>
ポリイミド金属積層体は、本発明のポリイミド前駆体溶液または多層ポリイミドフィルムを使用して、多層ポリイミドフィルム(または層)と金属箔(または層)を積層し製造することができる。ポリイミド金属積層体は、多層ポリイミドフィルムの片面または両面に金属箔(または層)を積層した構造を有する。ポリイミド金属積層体の製造方法としては、次の方法などが挙げられる。
(i)多層ポリイミドフィルムと金属箔とが接着剤を介さず直接接着されており、加圧または加熱加圧により積層する方法
(ii)金属箔上に、ポリイミド前駆体溶液を塗布し、乾燥・イミド化する方法
(iii)多層ポリイミドフィルム上に乾式法(真空蒸着、スパッタリング等のメタライジング)および/または湿式法(めっき)により金属層を直接形成する方法。
<Polyimide metal laminate>
A polyimide-metal laminate can be produced by laminating a multilayer polyimide film (or layer) and a metal foil (or layer) using the polyimide precursor solution or multilayer polyimide film of the present invention. The polyimide-metal laminate has a structure in which a metal foil (or layer) is laminated on one or both sides of a multilayer polyimide film. Examples of methods for producing a polyimide-metal laminate include the following methods.
(i) A method in which a multilayer polyimide film and a metal foil are directly bonded without an adhesive and laminated by applying pressure or heat and pressure; (ii) A method in which a polyimide precursor solution is applied to a metal foil and then dried and imidized; (iii) A method in which a metal layer is directly formed on a multilayer polyimide film by a dry method (metallizing such as vacuum deposition or sputtering) and/or a wet method (plating).

上記(i)(ii)の金属箔としては、銅、アルミニウム、金、またはこれらの合金の箔など各種金属箔を用いることができる。この中で、銅箔が好ましく使用される。金属箔として銅箔を用いたものは「銅張積層板」とも呼ばれる。また、多層ポリイミドフィルムの両面に金属層を積層する場合には、同種または異種の金属を用いることができる。銅箔の具体例としては、圧延銅箔や電解銅箔などが挙げられる。特に制限はないが、銅箔の厚さは、2~35μmが好ましく、5~18μmが特に好ましく、表面粗度を示すRaおよびRzについて、Raが0.01μm~0.4μm、Rzが0.2μm~2.0μmであることが好ましい。 The metal foils (i) and (ii) above can be made of various metals, such as copper, aluminum, gold, or alloys thereof. Among these, copper foil is preferred. Those using copper foil as the metal foil are also called "copper-clad laminates." Furthermore, when metal layers are laminated on both sides of a multilayer polyimide film, the same or different metals can be used. Specific examples of copper foil include rolled copper foil and electrolytic copper foil. While not particularly limited, the thickness of the copper foil is preferably 2 to 35 μm, with 5 to 18 μm being particularly preferred. Regarding the Ra and Rz, which indicate surface roughness, it is preferable that Ra be 0.01 μm to 0.4 μm and Rz be 0.2 μm to 2.0 μm.

多層ポリイミドフィルムと銅箔は、少なくとも一対の加圧部材により、加熱下で、連続的に熱圧着することが好ましい。加圧部の温度は、熱融着性ポリイミドのガラス転移温度よりも50℃以上高いことが好ましく、60℃以上高いことが更に好ましく、70℃以上高いことが一層好ましい。このような加熱温度を採用することで、多層ポリイミドフィルムと銅箔とが強固に積層されたものになるという有利な効果が奏される。また加熱温度は420℃以下であることが、多層ポリイミドフィルムおよび銅箔の熱劣化を防ぐという点から好ましい。上述のように、熱融着性ポリイミドのガラス転移温度は250℃以上であることが好ましいため、具体的には300℃以上、420℃以下の温度の範囲で熱圧着することが好ましく、310℃以上、410℃以下の温度の範囲で熱圧着することがより好ましく、320℃以上、400℃以下の温度の範囲で熱圧着することがより好ましい。The multilayer polyimide film and copper foil are preferably continuously thermocompression bonded under heat using at least one pair of pressure members. The temperature of the pressure members is preferably at least 50°C higher than the glass transition temperature of the heat-sealable polyimide, more preferably at least 60°C higher, and even more preferably at least 70°C higher. Using such a heating temperature advantageously results in a strong laminate between the multilayer polyimide film and copper foil. Furthermore, a heating temperature of 420°C or lower is preferred to prevent thermal degradation of the multilayer polyimide film and copper foil. As mentioned above, the glass transition temperature of the heat-sealable polyimide is preferably 250°C or higher. Specifically, thermocompression bonding is preferably performed at a temperature range of 300°C to 420°C, more preferably at a temperature range of 310°C to 410°C, and even more preferably at a temperature range of 320°C to 400°C.

熱圧着装置はダブルベルトプレスや圧着金属ロールによるロールラミネートなどの公知の装置を使用することができ、例えばロール巻きされた多層ポリイミドフィルムおよび銅箔を熱圧着装置にそれぞれ連続的に供給し、銅張積層板(ポリイミド金属積層体)をロール巻きの状態で製造することができる。 The thermocompression bonding device can be a known device such as a double belt press or a roll laminator using a pressure-bonding metal roll. For example, rolled multilayer polyimide film and copper foil can be continuously supplied to the thermocompression bonding device, and a copper-clad laminate (polyimide-metal laminate) can be produced in a rolled state.

上記(iii)において使用する乾式法(メタライジング法)としては、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム等の公知の方法を用いることができる。メタライジング法に用いる金属としては、銅、ニッケル、クロム、マンガン、アルミニウム、鉄、モリブデン、コバルト、タングステン、バナジウム、チタン、タンタル等の金属 、又はそれらの合金、或いはそれらの金属の酸化物、それらの金属の炭化物等を用いることができるが、特にこれらの材料に限定されない。形成される金属層の厚さは、例えば1nm~500nmの厚さであり、この表面に、電解めっき又は無電解めっきにより銅、錫などの金属めっき層を例えば1μm~40μmの厚さに設けることができる。The dry process (metallizing method) used in (iii) above can be a known method such as vacuum deposition, sputtering, ion plating, or electron beam deposition. Metals used in the metallizing method include, but are not limited to, copper, nickel, chromium, manganese, aluminum, iron, molybdenum, cobalt, tungsten, vanadium, titanium, tantalum, and other metals, as well as alloys thereof, oxides of these metals, and carbides of these metals. The metal layer formed has a thickness of, for example, 1 nm to 500 nm, and a metal plating layer of copper, tin, or the like can be formed on this surface by electroplating or electroless plating to a thickness of, for example, 1 μm to 40 μm.

上記(iii)において使用する湿式法(めっき法)としては、公知のめっき法を用いることができ、電解めっき、無電解めっきを挙げることができ、これらを組み合わせることができる。湿式めっき法に用いる金属としては、湿式めっき可能な金属であれば何ら制限されることはない。 The wet method (plating method) used in (iii) above can be any known plating method, including electrolytic plating and electroless plating, or a combination of these. There are no limitations on the metal used in the wet plating method, as long as it can be wet-plated.

湿式めっき法より形成される金属層の厚さは、使用する目的に応じて適宜選択でき、好ましくは0.1μm~50μm、さらに好ましくは1μm~30μmの範囲が、実用に適するために好ましい。湿式めっき法により形成される金属層の層数は、使用する目的に応じて適宜選択でき、1層でも、2層でも、3層以上の多層でもよい。The thickness of the metal layer formed by wet plating can be selected appropriately depending on the intended use, and is preferably in the range of 0.1 μm to 50 μm, and more preferably 1 μm to 30 μm for practical use. The number of layers of the metal layer formed by wet plating can be selected appropriately depending on the intended use, and may be one layer, two layers, or three or more layers.

湿式めっき法として、例えば荏原ユージライト株式会社製エルフシードプロセスや、日鉱金属株式会社の表面処理プロセスであるキャタリストボンドプロセスを施した後に、無電解銅めっきを行う方法などの従来公知のものが挙げられる。 Examples of wet plating methods include conventional methods such as the Elfseed process manufactured by Ebara-Udylite Co., Ltd., or the Catalyst Bond process, a surface treatment process manufactured by Nippon Mining & Metals Co., Ltd., followed by electroless copper plating.

本発明のポリイミド金属積層体は、成形加工性が良好で、そのまま穴あけ加工、折り曲げ加工や絞り加工、金属配線形成などを行うことができる。また、本発明の多層ポリイミドフィルムは、配線上への電子回路の熱圧着に使用することができる。 The polyimide metal laminate of the present invention has good moldability and can be directly subjected to processes such as drilling, bending, drawing, and metal wiring formation. Furthermore, the multilayer polyimide film of the present invention can be used for thermocompression bonding of electronic circuits onto wiring.

本発明の多層ポリイミドフィルムおよびポリイミド金属積層体は、FPC、TAB等の電子基板材料やカバーレイ、および高温下で信頼性が要求される接着シートとして好適に使用することができる。 The multilayer polyimide film and polyimide-metal laminate of the present invention can be suitably used as electronic substrate materials such as FPCs and TABs, coverlays, and adhesive sheets that require reliability at high temperatures.

以下、本発明を実施例に基づき、さらに詳細に説明する。但し、本発明は実施例により制限されるものでない。 The present invention will now be described in more detail based on examples. However, the present invention is not limited to these examples.

以下、次の略記を使用する。
<テトラカルボン酸類>
s-BPDA:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
<ジアミン類>
PPD:p-フェニレンジアミン
m-TB:2,2’-ジメチルベンジジン
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
TPE-R:1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン
ビスアニリンP:α,α’-ビス(4-アミノフェニル)-1,4-ジイソプロピルベンゼン
<その他>
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
The following abbreviations will be used hereinafter:
<Tetracarboxylic acids>
s-BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride PMDA: pyromellitic dianhydride <Diamines>
PPD: p-phenylenediamine m-TB: 2,2'-dimethylbenzidine BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene Bisaniline P: α,α'-bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene <Others>
DMAc: N,N-dimethylacetamide

<(多層)ポリイミドフィルムの評価>
[線熱膨張係数(CTE)]
SII社製 EXSTAR6100を用い、長さ15mm/幅3mmにサンプリングしたポリイミドフィルムを、引張りモード、荷重4gf、昇温速度20℃/minで測定を行い、300℃まで一次加熱を行い、製膜時の熱収縮をとる。その後室温まで放冷した後、二次加熱として20℃/minで300℃まで測定を行い、50℃から200℃のTMAカーブより線膨張係数を算出した。
<Evaluation of (multilayer) polyimide films>
Coefficient of linear thermal expansion (CTE)
Using an EXSTAR6100 manufactured by SII Corporation, polyimide film samples of 15 mm in length and 3 mm in width were measured in tensile mode under a load of 4 gf at a heating rate of 20°C/min, and the samples were first heated to 300°C to remove thermal shrinkage during film formation. After cooling to room temperature, the samples were secondarily heated to 300°C at 20°C/min, and the linear expansion coefficient was calculated from the TMA curve from 50°C to 200°C.

<誘電正接の測定>
測定装置として、スプリットシリンダ共振器 10GHz CR-710(EMラボ社製)を用い、ポリイミドフィルムの誘電正接を下記条件で測定した。
測定周波数:10GHz
測定条件:温度25±2℃、湿度50±3%RH
測定試料:前記測定条件下で、24時間放置した試料を使用した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The dielectric loss tangent of the polyimide film was measured under the following conditions using a split cylinder resonator 10 GHz CR-710 (manufactured by EM Lab Co., Ltd.) as the measuring device.
Measurement frequency: 10GHz
Measurement conditions: temperature 25±2℃, humidity 50±3%RH
Measurement sample: A sample that had been left to stand for 24 hours under the above measurement conditions was used.

[MIT耐折試験]
全幅に渡って幅15mmのMIT耐折試験用の試験片を切り出した。ASTM D2176に従い、曲率半径0.38mm、荷重9.8N、折り曲げ速度175回/分、左右折り曲げ角度135度で、ポリイミドフィルムが破断するまでの回数を測定した。
[MIT folding endurance test]
A test piece for MIT folding endurance test having a width of 15 mm across the entire width was cut out. In accordance with ASTM D2176, the number of times until the polyimide film broke was measured under a curvature radius of 0.38 mm, a load of 9.8 N, a folding speed of 175 times/min, and a left-right folding angle of 135°.

[ポリイミド金属積層体(銅張積層体)の評価]
(銅張積層体の製造)
ロールラミネート装置を用い、多層ポリイミドフィルムの両面に銅箔を重ね合わせながら、熱圧着することにより、多層ポリイミドフィルムの両面に銅箔が積層された銅張積層体を製造した。
[Evaluation of Polyimide Metal Laminate (Copper Clad Laminate)]
(Production of copper clad laminate)
Using a roll laminator, copper foil was superimposed on both sides of the multilayer polyimide film and thermocompression bonded to produce a copper clad laminate in which copper foil was laminated on both sides of the multilayer polyimide film.

[寸法変化率] 銅張積層体をプレス孔開け機を使用し、孔を開け、初期寸法(X)を測定した。続いて両面エッチングにより銅箔を除去した後、250℃で30分間加熱処理した。加熱後、25℃60%RH下で24時間調湿した後、寸法(Y)を測定した。寸法変化率(%)は、以下の数式に従い算出した。
寸法変化率(%)=(Y-X)/X×100
[Dimensional Change Rate] A copper clad laminate was punched using a press puncher, and the initial dimension (X) was measured. Subsequently, the copper foil was removed by double-sided etching, and the laminate was then heat-treated at 250°C for 30 minutes. After heating, the laminate was conditioned at 25°C and 60% RH for 24 hours, and then the dimension (Y) was measured. The dimensional change rate (%) was calculated according to the following formula.
Dimensional change rate (%) = (Y - X) / X x 100

[外観評価]
銅張積層体を両面エッチングし銅箔を除去した後、光学顕微鏡を用いてフィルム表面を観察し、次のとおり評価した。
○:表面に欠陥(発泡)がないもの
×:表面に欠陥(発泡)があるもの
[Appearance evaluation]
The copper clad laminate was etched on both sides to remove the copper foil, and the film surface was observed using an optical microscope and evaluated as follows.
○: No defects (foaming) on the surface ×: Defects (foaming) on the surface

<実施例1>
[ポリイミド前駆体溶液の調製]
(コア層用のポリイミド前駆体溶液)
攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器にDMAcを加え、さらに、ジアミン成分としてPPDとm-TBを加えた。続いて、テトラカルボン酸二無水物成分としてs-BPDAとPMDAを、ジアミン成分と等モルとなるよう加えて反応させ、モノマー濃度が18質量%、30℃における溶液粘度が2000ポイズのポリイミド前駆体溶液Aを得た。PPDとm-TBのモル比は80:20、s-BPDAとPMDAのモル比は90:10であった。
Example 1
[Preparation of polyimide precursor solution]
(Polyimide precursor solution for core layer)
DMAc was added to a reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen inlet tube, followed by the addition of PPD and m-TB as diamine components. Subsequently, s-BPDA and PMDA as tetracarboxylic dianhydride components were added in equimolar amounts to the diamine components and reacted to obtain polyimide precursor solution A with a monomer concentration of 18% by mass and a solution viscosity of 2,000 poise at 30°C. The molar ratio of PPD to m-TB was 80:20, and the molar ratio of s-BPDA to PMDA was 90:10.

(熱融着層用のポリイミド前駆体溶液)
攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器にDMAcを加え、さらに、ジアミン成分としてBAPPを加えた。続いて、テトラカルボン酸二無水物成分としてs-BPDAとPMDAを、ジアミン成分と等モルとなるよう加えて反応させ、モノマー濃度が18質量%、30℃における溶液粘度が800ポイズのポリイミド前駆体溶液Bを得た。s-BPDAとPMDAのモル比は30:70であった。
(Polyimide precursor solution for heat-sealing layer)
DMAc was added to a reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen inlet tube, followed by the addition of BAPP as a diamine component. Subsequently, s-BPDA and PMDA as tetracarboxylic dianhydride components were added in equimolar amounts to the diamine component, and the mixture was allowed to react to obtain a polyimide precursor solution B having a monomer concentration of 18% by mass and a solution viscosity of 800 poise at 30°C. The molar ratio of s-BPDA to PMDA was 30:70.

[コア単層ポリイミドフィルムの製造]
ポリイミド前駆体溶液Aをガラス板上に薄膜状にキャストし、オーブンを用いて120℃で12分加熱し、ガラス板から剥離して自己支持性フィルムを得た。この自己支持性フィルムの四辺をピンテンターで固定し、加熱炉で150℃から400℃まで徐々に加熱し、溶媒の除去とイミド化を行い、厚み25μmの単層のポリイミドフィルムを得た。
[Production of Core Single-Layer Polyimide Film]
Polyimide precursor solution A was cast onto a glass plate in the form of a thin film, heated in an oven at 120°C for 12 minutes, and peeled off from the glass plate to obtain a self-supporting film. The four sides of this self-supporting film were fixed with pin tenters and gradually heated in a heating furnace from 150°C to 400°C to remove the solvent and perform imidization, thereby obtaining a single-layer polyimide film with a thickness of 25 μm.

[多層ポリイミドフィルムの製造]
三層押出しダイスから、平滑な金属製支持体の上面に、ポリイミド前駆体溶液B(熱融着層)-ポリイミド前駆体溶液A(コア層)-ポリイミド前駆体溶液B(熱融着層)となるように、ポリイミド前駆体溶液Aとポリイミド前駆体溶液Bを連続的に押し出して流延し、薄膜状にした。薄膜状の流延物を140℃の熱風で連続的に乾燥し、自己支持性フィルムを形成した。自己支持性フィルムを支持体から剥離した後、テンター装置により自己支持性フィルムの幅方向の両端を把持しながら搬送し、加熱炉で200℃から490℃まで徐々に加熱し、溶媒の除去とイミド化を行い、厚み50μmの長尺状の多層フィルムを得た。2つの熱融着層の厚みは、それぞれ5μmであり、コア層の厚みは40μmであった。尚、得られた多層ポリイミドフィルムに関して、MD(Machine Direction)は長手方向(搬送方向)を表し、TD(Transvers Direction)は幅方向を表す。
[Production of multilayer polyimide film]
Polyimide precursor solution A and polyimide precursor solution B were continuously extruded and cast onto the upper surface of a smooth metal support from a three-layer extrusion die so as to form a thin film in the following order: polyimide precursor solution B (thermal adhesive layer) - polyimide precursor solution A (core layer) - polyimide precursor solution B (thermal adhesive layer). The thin-film cast was continuously dried with hot air at 140°C to form a self-supporting film. After peeling the self-supporting film from the support, it was conveyed while gripping both ends of the self-supporting film in the width direction using a tenter device and gradually heated from 200°C to 490°C in a heating furnace to remove the solvent and imidize, resulting in a long multilayer film with a thickness of 50 μm. The thicknesses of the two thermal adhesive layers were each 5 μm, and the thickness of the core layer was 40 μm. Note that with respect to the resulting multilayer polyimide film, MD (machine direction) refers to the longitudinal direction (conveyance direction), and TD (transverse direction) refers to the width direction.

得られたポリイミドフィルムについて、線熱膨張係数(CTE)測定、誘電正接測定、MIT耐折試験を実施した。結果を表1に示す。The obtained polyimide film was subjected to measurements of the coefficient of linear thermal expansion (CTE), dielectric loss tangent, and MIT folding endurance test. The results are shown in Table 1.

[ポリイミド金属積層体(銅張積層板)]
ロールラミネート装置を用い、多層ポリイミドフィルムの両面に銅箔(JX金属株式会社製、BHM-C102F-HA-V2、厚み12μm)を重ね合わせながら、ラミネート温度360℃、ラミネート圧力1.5MPa、ラミネート速度0.5m/minで熱圧着することにより、多層ポリイミドフィルムの両面に銅箔が積層された銅張積層体を製造した。
[Polyimide metal laminate (copper-clad laminate)]
Using a roll laminator, copper foil (manufactured by JX Nippon Mining Corporation, BHM-C102F-HA-V2, thickness 12 μm) was superimposed on both sides of the multilayer polyimide film, and thermocompression bonding was performed at a lamination temperature of 360°C, a lamination pressure of 1.5 MPa, and a lamination speed of 0.5 m/min, thereby producing a copper-clad laminate in which copper foil was laminated on both sides of the multilayer polyimide film.

得られた銅張積層板について、エッチングをし、寸法変化率と外観を評価した。 The resulting copper-clad laminate was etched and the dimensional change rate and appearance were evaluated.

<実施例2~7、比較例1~10>
実施例1と同様にして、コア層用のポリイミド前駆体溶液と熱融着層用のポリイミド前駆体溶液を調製した。組成は表1~3に示すとおりである。また、実施例1と同様にして、コア単層ポリイミドフィルム、多層ポリイミドフィルムおよび銅張積層板を製造し、評価した。結果を表1(実施例)、表2(比較例、多層フィルム厚み50μm)および表3(比較例、多層フィルム厚み75μm)に示す。
尚、厚み75μmの多層ポリイミドフィルム(実施例6、7、比較例7~10)においては、2つの熱融着層の厚みが、それぞれ7μmであり、コア層の厚みは61μmであった。
<Examples 2 to 7, Comparative Examples 1 to 10>
A polyimide precursor solution for the core layer and a polyimide precursor solution for the heat-sealing layer were prepared in the same manner as in Example 1. The compositions are as shown in Tables 1 to 3. Furthermore, a core single-layer polyimide film, a multilayer polyimide film, and a copper-clad laminate were produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1 (Example), Table 2 (Comparative Example, multilayer film thickness 50 μm), and Table 3 (Comparative Example, multilayer film thickness 75 μm).
In the 75 μm thick multilayer polyimide films (Examples 6 and 7, Comparative Examples 7 to 10), the thickness of each of the two heat-sealing layers was 7 μm, and the thickness of the core layer was 61 μm.

表1~3に示すとおり、全ての実施例の多層ポリイミドフィルムは、0.0060以下の低誘電正接を示した。比較例3、5および9の多層ポリイミドフィルムは低誘電正接を示したが、寸法変化率が大きく実用上の問題がある。その他の比較例ではいずれも誘電正接が大きかった。
寸法変化率については、全ての実施例が小さい値を示したのに対して、比較例はいずれも大きな値を示した。比較例7および10では75μmの多層フィルムを使用して銅張積層板の作製を試みたが、発泡が生じたため評価できなかった。
また、寸法変化率が、多層フィルムのCTEだけではなく、コア層と熱融着層との組み合わせにも強く依存することが本実験によって明らかになった。これを厚み50μmの多層ポリイミドフィルムについて検討すると、比較例6の多層ポリイミドフィルムは、CTE(MDおよびTD)が銅箔のCTE18ppm/Kと一致する値を有し、実施例1~5および比較例1の多層ポリイミドフィルムも、銅箔のCTEと概ね近いCTEを有している。しかし、寸法変化率について比較すると、実施例の多層ポリイミドフィルムでは、寸法変化率が極めて小さいのに対し、比較例6および1では寸法変化率が大きい結果であった。同様に厚み75μmの多層フィルムについて検討すると、実施例6の多層ポリイミドフィルムと比較例9の多層ポリイミドフィルムは同一のCTEを有するが、寸法変化率については、比較例9では大きな値を示した。
この理由としては、誘電正接に対して影響の大きい耐熱性ポリイミド層(コア層)の最適化と、コア層に合わせて熱融着性ポリイミド層(熱融着層)を最適化したためと考えられ、従来のCTEに基づくアプローチからは予想できない結果である。
As shown in Tables 1 to 3, the multilayer polyimide films of all Examples exhibited a low dielectric loss tangent of 0.0060 or less. The multilayer polyimide films of Comparative Examples 3, 5, and 9 exhibited a low dielectric loss tangent, but had a large dimensional change rate, which was problematic for practical use. The other Comparative Examples all had large dielectric loss tangents.
Regarding the dimensional change rate, all of the Examples showed small values, while all of the Comparative Examples showed large values. In Comparative Examples 7 and 10, attempts were made to produce copper-clad laminates using a 75 μm multilayer film, but foaming occurred, making evaluation impossible.
Furthermore, this experiment revealed that the dimensional change rate is strongly dependent not only on the CTE of the multilayer film but also on the combination of the core layer and the heat-sealing layer. When examining 50 μm-thick multilayer polyimide films, the multilayer polyimide film of Comparative Example 6 had a CTE (MD and TD) that matched the CTE of 18 ppm/K of the copper foil, and the multilayer polyimide films of Examples 1 to 5 and Comparative Example 1 also had CTEs roughly close to that of the copper foil. However, when comparing the dimensional change rates, the multilayer polyimide films of the Examples had extremely small dimensional change rates, while Comparative Examples 6 and 1 had large dimensional change rates. Similarly, when examining 75 μm-thick multilayer films, the multilayer polyimide film of Example 6 and the multilayer polyimide film of Comparative Example 9 had the same CTE, but Comparative Example 9 showed a large dimensional change rate.
The reason for this is thought to be the optimization of the heat-resistant polyimide layer (core layer), which has a large effect on the dielectric loss tangent, and the optimization of the heat-sealable polyimide layer (heat-sealable layer) to match the core layer, and this result cannot be predicted from the conventional CTE-based approach.

本発明のポリイミド前駆体溶液から製造されたポリイミドフィルムは、高周波対応FPC用途に好適に使用できる。 Polyimide films produced from the polyimide precursor solution of the present invention can be suitably used for high-frequency compatible FPC applications.

Claims (7)

耐熱性ポリイミド(PIc)から構成される耐熱性ポリイミド層、および
前記耐熱性ポリイミド層の片面または両面に積層され、熱融着性ポリイミド(PIb)から構成される熱融着性ポリイミド層
を有する多層ポリイミドフィルムであって;
前記耐熱性ポリイミド(PIc)は、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を75モル%以上100モル%以下、且つ、ピロメリット酸二無水物を0モル%以上25モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ac)と、
p-フェニレンジアミンを70モル%以上95モル%以下、且つ2,2’-ジメチルベンジジンを5モル%以上30モル%以下の量で含むジアミン成分(Bc)と
を反応して得られ;
前記熱融着性ポリイミド(PIb)は、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を10モル%以上60モル%以下、且つ、ピロメリット酸二無水物を40モル%以上90モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ab)と、
2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを50モル%以上の量で含むジアミン成分(Bb)と
を反応して得られる、
多層ポリイミドフィルム。
A multilayer polyimide film having a heat-resistant polyimide layer made of a heat-resistant polyimide (PIc), and a heat-fusible polyimide layer made of a heat-fusible polyimide (PIb) laminated on one or both sides of the heat-resistant polyimide layer;
The heat-resistant polyimide (PIc) is
a tetracarboxylic acid component (Ac) containing 75 mol% or more and 100 mol% or less of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 0 mol% or more and 25 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
a diamine component (Bc) containing 70 mol% or more and 95 mol% or less of p-phenylenediamine and 5 mol% or more and 30 mol% or less of 2,2'-dimethylbenzidine;
The heat-bondable polyimide (PIb) is
a tetracarboxylic acid component (Ab) containing 10 mol% or more and 60 mol% or less of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 40 mol% or more and 90 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine component (Bb) containing 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane in an amount of 50 mol % or more,
Multilayer polyimide film.
前記耐熱性ポリイミド(PIc)が、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を80モル%以上100モル%未満、且つ、ピロメリット酸二無水物を0モル%超20モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ac)と、
p-フェニレンジアミンを75モル%以上、且つ2,2’-ジメチルベンジジンを25モル%以下の量で含むジアミン(Bc)とを反応して得られる、
請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
The heat-resistant polyimide (PIc) is
a tetracarboxylic acid component (Ac) containing 80 mol% or more and less than 100 mol% of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and more than 0 mol% and 20 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine (Bc) containing 75 mol% or more of p-phenylenediamine and 25 mol% or less of 2,2'-dimethylbenzidine,
The multilayer polyimide film according to claim 1 .
前記熱融着性ポリイミド(PIb)が、
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を15モル%以上、且つ、ピロメリット酸二無水物を85モル%以下の量で含むテトラカルボン酸成分(Ab)と、
2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを60モル%以上の量で含むジアミン成分(Bb)とを反応して得られる、
請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
The heat-bondable polyimide (PIb) is
a tetracarboxylic acid component (Ab) containing 15 mol% or more of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 85 mol% or less of pyromellitic dianhydride;
and a diamine component (Bb) containing 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane in an amount of 60 mol % or more,
The multilayer polyimide film according to claim 1 .
多層ポリイミドフィルムの誘電正接が0.0060以下であり、ポリイミド金属積層体の長尺方向(MD)および幅方向(TD)の寸法変化率(絶対値)が0.10%以下である、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム(但し、前記寸法変化率は、多層ポリイミドフィルムを用いて製造したポリイミド金属積層体の初期寸法(X)と、金属箔をエッチングした後、250℃で30分間加熱処理した後の寸法(Y)を測定し、以下の数式に従って算出される。
寸法変化率(%)=(Y-X)/X×100
)。
2. The multilayer polyimide film according to claim 1, wherein the multilayer polyimide film has a dielectric loss tangent of 0.0060 or less, and the polyimide metal laminate has a dimensional change rate (absolute value) of 0.10% or less in the machine direction (MD) and the width direction (TD). (The dimensional change rate is calculated according to the following formula, by measuring the initial dimension (X) of a polyimide metal laminate produced using the multilayer polyimide film and the dimension (Y) after etching the metal foil and then heat-treating it at 250°C for 30 minutes.)
Dimensional change rate (%) = (Y - X) / X x 100
).
請求項1に記載の多層ポリイミドフィルムの熱融着性ポリイミド層側に、金属箔が積層されている、ポリイミド金属積層体。A polyimide metal laminate in which a metal foil is laminated on the heat-sealable polyimide layer side of the multilayer polyimide film described in claim 1. 前記多層ポリイミドフィルムが、耐熱性ポリイミド層の両面に熱融着性ポリイミド層を有し、前記多層ポリイミドフィルムの両面に金属箔が積層されている、請求項5に記載のポリイミド金属積層体。 The polyimide metal laminate described in claim 5, wherein the multilayer polyimide film has a heat-sealable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer, and metal foil is laminated on both sides of the multilayer polyimide film. 請求項5に記載のポリイミド金属積層体を用いて製造されたフレキシブル配線基板。 A flexible wiring board manufactured using the polyimide metal laminate described in claim 5.
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