JPH0424512A - Encoder - Google Patents
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- JPH0424512A JPH0424512A JP12843790A JP12843790A JPH0424512A JP H0424512 A JPH0424512 A JP H0424512A JP 12843790 A JP12843790 A JP 12843790A JP 12843790 A JP12843790 A JP 12843790A JP H0424512 A JPH0424512 A JP H0424512A
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、読込み信号に対応させた絡1のパターンおよ
びその読込みタイミング信号形成用の第2、第3のパタ
ーンを有するエンコダに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an encoder having a pattern of a circuit 1 corresponding to a read signal and second and third patterns for forming the read timing signal.
従来の技術
この種のエンコーダとしては、円板あるいは長尺板等の
板状体にスリット、反射マークなどの光量の変化手段、
ギャップ変化などの静電容量の変化手段あるいは磁気的
な変化手段等のマーク列からなる帯状のパターンを形成
し、そのパターンなセンサにより電気信号に変換して取
出すものが公知である。そして、特に、単トラツクに形
r&されたアブソリュートパターンなど所望の読込み信
号をシリアルデータとして読込む場合に用いるエンコー
プにあっては、そのパターンと別にその読込;タイミン
グ信号を形成するために等ピッチことの繰返しパターン
およびそれの反転パターンの二つのパターンを別途設け
てなるものめ知られている。2. Description of the Related Art This type of encoder has a plate-shaped body such as a disk or a long plate with a means for changing the amount of light such as a slit or a reflective mark.
It is well known to form a band-like pattern consisting of a mark array using a capacitance changing means such as a gap change or a magnetic changing means, and convert the pattern into an electric signal using a sensor. In particular, in the case of an encoder used when reading a desired read signal such as an absolute pattern shaped into a single track as serial data, the read signal must be read separately from the pattern; It is known that there are two separate patterns: a repeating pattern and an inverted pattern.
第3図はその公知のエンコーダの一例でJす、長尺の板
状体10には読込み信号とな2例えばスリット列の幅を
変えて形成したアブソリュートパターンからなる第1パ
ターン11と、その下方に読込み信号を形成するtめの
等ピッチごとの繰返しパターンである獅2パターン12
およびその第2パターンのB転パターンである第3パタ
ーン13が形成され、その各パターン11〜13と対向
させ1センサ体20の各校・受光センサ(図示されてい
ない)が配置されている。FIG. 3 shows an example of such a known encoder.A long plate-like body 10 has a read signal and a first pattern 11 consisting of an absolute pattern formed by changing the width of slit rows, for example, and The second pattern 12 is a repeating pattern at every tth equal pitch to form a read signal.
A third pattern 13, which is a B rotation pattern of the second pattern, is formed, and each light receiving sensor (not shown) of one sensor body 20 is arranged to face each of the patterns 11 to 13.
以上のものにおいて、板状体10とセン勿体20間に相
対移動が生じると、センサ体20の第1のセンサには第
1パターンに対比したアブソリュート信号が、また第2
、第3センサには第2、第3パターンに対応したそれぞ
れ第4図に実線と破線で示すS1□、S 13のような
互に反転関係にある三角波状の出力が発生する。すなわ
ち、図示されていないS 11はアブソリュートパター
ンに対応するスリットの幅に応じて出力がH(H,Lい
ずれでもよい)となり、そのスリットの先端と後端部近
傍では対向位置によりセンサとの対向面積が変わるため
それぞれ出力がLからHへ漸増、HからLへ漸減したも
のとなり、S1□は等ピッチのスリット列により周期的
にH,Lを繰返すが、上記S 11と同様にスリットの
先端と後端部では漸増、漸減する結果略三角波状の出力
となり、また、S IIはS 12のり、Hを反転した
出力となる。読込みタイミング信号は、この312、S
I3に基づいて例えば差動増幅器により形rjLされ
、Sl。がS 13より大なる間出力となる第4図のタ
イミング信号Tとなり、例えばそのTの立下り時に上記
S IIの出力の読込みを行なわせることにより、第4
図の読込み信号Mが得られる。In the above, when a relative movement occurs between the plate-like body 10 and the sensor body 20, the first sensor of the sensor body 20 receives an absolute signal in contrast to the first pattern, and also the second pattern.
, the third sensor generates triangular wave-like outputs having an inverse relationship to each other, such as S1□ and S13 shown by solid lines and broken lines in FIG. 4, respectively, corresponding to the second and third patterns. That is, the output of S11 (not shown) becomes H (either H or L may be used) depending on the width of the slit corresponding to the absolute pattern, and near the tip and rear end of the slit, the output is opposite to the sensor due to the opposing position. Since the area changes, the output gradually increases from L to H and gradually decreases from H to L, respectively.S1□ periodically repeats H and L with a row of slits at an equal pitch, but as in S11 above, the output increases gradually from L to H, and gradually decreases from H to L. At the rear end, the output gradually increases and decreases, resulting in an approximately triangular wave-like output, and S II exceeds S 12, resulting in an output that is the inversion of H. The read timing signal is this 312, S
Based on I3, for example, rjL is formed by a differential amplifier, and Sl. The timing signal T shown in FIG. 4 is output while S13 is greater than S13. For example, by reading the output of SII at the falling edge of T, the fourth
The read signal M shown in the figure is obtained.
尚、上記タイミング信号Tを形成するための出力S12
、S l)はマークの端部におけるマークとセンサの対
向面積が直線的に増減する結果、三角波状となったが、
その対向面積の変化状態に応じでは、サイン波状、台形
状となるが、この場合でもそれらから形成される読込み
タイミング信号は、同様のものとなるまた、上記は12
、第3パターンを180度ずらして板状体10に形成し
た場合であるがパターンは同相とし、第2、第3のセン
サ位置をパターンピッチの172だけずらして配置して
も同様であり、要は第2のパターンとセンサの対向位置
、第3のパターンとセンサ対向位置の相対的な配置関係
において180度のずれを生じさせる配置とすることに
より互に反転関係の出力を得るものである。Note that the output S12 for forming the timing signal T is
, S l) has a triangular wave shape as a result of the opposing area between the mark and sensor at the end of the mark increasing and decreasing linearly.
Depending on the state of change of the facing area, the shape becomes a sine wave or a trapezoid, but even in this case, the read timing signal formed from them is the same.
, this is a case where the third pattern is formed on the plate-shaped body 10 with a 180 degree shift, but the same is true even if the patterns are in the same phase and the second and third sensor positions are shifted by 172 of the pattern pitch. By arranging the positions where the second pattern and the sensor face each other and the third pattern and the sensor at positions opposite to each other, the relative positions are shifted by 180 degrees, thereby obtaining outputs that are inverted from each other.
発明が解決しようとする課題
ところで、上記のように所望の読込みを可能とするには
、板状体10とセンサ体20を所定の位置関係(第3図
の例では第1〜第3のセンサを板状体10の移動方向と
直交する線上に配列)となるように組立調整されている
必要がある。Problems to be Solved by the Invention By the way, in order to enable the desired reading as described above, the plate-shaped body 10 and the sensor body 20 must be placed in a predetermined positional relationship (in the example of FIG. 3, the first to third sensors It is necessary to assemble and adjust them so that they are arranged on a line perpendicular to the moving direction of the plate-like body 10.
すなわち、例えばセンサ体20が板状体10に対して第
3図に一点鎖線で示すように反時計方向側にθだけずれ
たとすると、第4図にS′、2、S′0.として示すよ
うに第2、第3のセンサの出力は正確な位置関係にあっ
たときの出力S 12、S 13に対してそれぞれ位相
がすすんだものとなり、また、そのS′12、S′の位
相のすすみ量は互に異なったものとなる。That is, for example, if the sensor body 20 is shifted counterclockwise by θ with respect to the plate-shaped body 10 as shown by the dashed line in FIG. 3, then S', 2, S'0 . As shown in , the outputs of the second and third sensors are in phase with respect to the outputs S12 and S13 when they are in the correct positional relationship, and the outputs of S'12 and S' are The amount of phase progression is different from each other.
その結果として読込みタイミング信号もTに対してはT
′のようにずれたものとなる。このとき第1のセンサの
出力S’、、(図示されていない)もS 11のままで
はなく、位相が変わるが、その位相の変化量は読込みタ
イミング信号T′の位相変化量とは同一ではなく、結局
、ずれたタイミングで読込み信号の読込みが行なわれ、
誤出力が取出される恐れがある。As a result, the read timing signal is also T for T.
’. At this time, the output S' of the first sensor (not shown) does not remain at S11, but changes in phase, but the amount of change in phase is not the same as the amount of change in phase of read timing signal T'. In the end, the read signal is read at a different timing,
There is a risk of incorrect output being retrieved.
このため、エンコーグの正確な組立、調整には多大の時
間を要し、製作効率の低下が避けられなかった。For this reason, accurate assembly and adjustment of the encoder requires a great deal of time, and a decline in manufacturing efficiency is unavoidable.
課題を解決するための手段
本発明は上記課題を解決するために、所望の読込み信号
に対応させてマーク列を形成してなる第1パターンと、
等ピッチごとに形成された繰返しマーク列からなる第2
、第3パターンとが板状体に並列に設けられ、上記第1
、第2、第3のパターンと各対向配置させた第1、第2
、第3のセンサからそれぞれ第1パターンに対応した第
1の出力、第2パターンに対応した@2の出力、第3パ
ターンに対応し、上記@2の出力とは反転関係になる第
3の出力をそれぞれ取出し、上記第2、第3の出力に基
づき形成した読込みタイミング信号により、上記第1の
出力の読込みを行なわせるようにしたエンコーグにおい
て、上記第2、第3のパターンを第1のパターンを挟ん
で対称の位置に並列配置させたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a first pattern in which mark rows are formed in correspondence with desired read signals;
The second mark consists of repeating mark rows formed at equal pitches.
, a third pattern are provided in parallel on the plate-like body, and the first pattern is
, the first and second patterns arranged opposite to the second and third patterns.
, a first output corresponding to the first pattern from the third sensor, an @2 output corresponding to the second pattern, and a third output corresponding to the third pattern and having an inverse relationship with the above @2 output. In the encoder, the outputs are taken out respectively, and the first output is read by a read timing signal formed based on the second and third outputs. They are arranged in parallel at symmetrical positions across the pattern.
旺
以上のものにおいて、板状体とセンサ体間に相対移動が
生じると、センサ体の第1〜第3のセンサにはそれぞれ
第1〜第3のパターンに対応した第1〜第3の出力が発
生し、その第2、第3の出力から読込みタイミング信号
が形成され、それに基づき第1の出力の読込みが行なわ
れる。しかして、今、板状体とセンサ体間に領外が生じ
ると、第1のパターンを基準にしてみれば、第2、第3
のパターンがそれを挟んで対称位置にある結果、t!J
J2パターンとそのセンサ、第3パターンとそのセンサ
の相対的な位置関係のずれは、そのずれ絶対量が同一で
、ずれ方向が反対となる。When a relative movement occurs between the plate-shaped body and the sensor body, the first to third sensors of the sensor body receive first to third outputs corresponding to the first to third patterns, respectively. is generated, a read timing signal is formed from the second and third outputs, and the first output is read based on the read timing signal. However, if an out-of-area occurs between the plate-shaped body and the sensor body, if the first pattern is used as a reference, the second and third patterns
As a result, the pattern of t! is in a symmetrical position across it. J
Regarding the relative positional deviations between the J2 pattern and its sensor, and the third pattern and its sensor, the absolute amount of deviation is the same and the direction of deviation is opposite.
したがって、第2、第3の出力は、その位相ずれの絶対
値が同じで、一方がすすみの場合、他方は遅れたものと
なり、その第2、第3の出力に基づき形成される差動出
力、すなわち読込みタイミング信号の位相は傾きのない
状態と変わらないものとなる。Therefore, the second and third outputs have the same absolute value of the phase shift, and if one is advanced, the other is delayed, and the differential output is formed based on the second and third outputs. In other words, the phase of the read timing signal remains the same as in the state with no slope.
実施例
第1図において、長尺の板状体100には読込み信号と
なる例えばスリット列の幅を変えて形成したアブソリュ
ートパターンよりなる第1パターン11が中央に長手方
向に沿って配置され、それを挟んで下と上(長手方向と
直交する方向)の対称位置に等ピッチごとの繰返しパタ
ーンおよびその反転パターンである第3、第2パターン
13.12が配置され、その各パターン11〜13と対
向させてセンサ体200の各校・受光センサ(図示され
ていない)が配置されている。Embodiment In FIG. 1, a first pattern 11 consisting of an absolute pattern formed by changing the width of a slit row, which serves as a read signal, is arranged in the center of a long plate-like body 100 along the longitudinal direction. 3rd and 2nd patterns 13.12, which are repeating patterns at equal pitches and their inverted patterns, are arranged at symmetrical positions below and above (direction orthogonal to the longitudinal direction) across the Each light receiving sensor (not shown) of the sensor body 200 is arranged to face each other.
以上のものにおいて、板状体100とセンサ体20に相
対移動が生じると、第2、第3のセンサには前記第4図
と同様の出力、すなわち第2図に同符号S17、S 1
1で示す出力が発生し、これにより前記と同様にして読
込みタイミング信号Tが形成され、それに基づき図示さ
れていない第1パターン11に対応した読込み信号の読
込みが行なわれる。In the above configuration, when a relative movement occurs between the plate-shaped body 100 and the sensor body 20, the second and third sensors output the same outputs as in FIG. 4, that is, the same symbols S17 and S1 in FIG.
An output indicated by 1 is generated, thereby forming a read timing signal T in the same manner as described above, and based on the read timing signal T, a read signal corresponding to the first pattern 11 (not shown) is read.
上記は、板状体100とセンサ体200の位置関係が正
確に調整されている状態であるが、いま板状体100に
対してセンサ体200がθだけ傾いて組立てられている
場合を検討すると、第1パターンの位置を基準にしてみ
れば、第2第3のパターン12.13と対向する@2、
第3のセンサの位置はそれぞれ右方、左方に同距離ずれ
ていることになる。その結果、第2、第3のセンサの出
力は、第2図にS′12、S“1.として示すようにそ
れぞれS 12、S l)に対して位相が同量だけすす
んだものと、同量だけおくれをもったものとなる。The above is a state in which the positional relationship between the plate-like body 100 and the sensor body 200 is accurately adjusted, but now consider the case where the sensor body 200 is assembled with an angle of θ with respect to the plate-like body 100. , if we take the position of the first pattern as a reference, @2, which faces the second and third patterns 12 and 13,
The positions of the third sensors are shifted by the same distance to the right and left, respectively. As a result, the outputs of the second and third sensors are those whose phases have advanced by the same amount relative to S12 and S1, respectively, as shown as S'12 and S'1. in FIG. It will be delayed by the same amount.
しかして、S 12、S 11の差動出力である読込み
タイミング信号T″ は、図からも明らかなように、こ
のS”12、S′1.の位相のすすみおくれが相殺され
て形成される結果、正確な組立調整の行なわれている状
態の出力Tと全く同一の位相のものとなり、これに基づ
ト読込まれる第1の出力S1.(図示されていない)の
読込み信号も傾きのない場合のものMと変わらない。As is clear from the figure, the read timing signal T'', which is the differential output of S12, S11, is the differential output of S12, S'1. As a result, the phase of the output T is exactly the same as that of the output T when accurate assembly and adjustment has been performed, and the first output S1. The read signal (not shown) is also the same as M in the case where there is no slope.
発明の効果
以上のとおりであり、本発明は読込み信号に対応した第
1パターンを挾んで対称の位置に読込みタイミング信号
形成用の第2、第3パターンを配置しているので、パタ
ーンの形成された板状体とセンサ体の傾きは読込み信号
の読込みの誤差原因とはならず、組立、調整が極めて簡
略化され、また、使用中の経時変化により傾きが発生し
ても誤差とはならないので、極めて信頼性が高いエンコ
ーダとなる。Effects of the Invention As described above, the present invention arranges the second and third patterns for forming a read timing signal at symmetrical positions sandwiching the first pattern corresponding to the read signal, so that the pattern is not formed easily. The inclination of the plate-shaped body and sensor body does not cause errors in reading the read signal, and assembly and adjustment are extremely simplified, and even if the inclination occurs due to changes over time during use, it does not cause errors. , resulting in an extremely reliable encoder.
4、4,
第1、第3図はそれぞれ本発明の実施例、従来技術を示
す正面図、第2、第4図はそれぞれ第1.3図の出力波
形の説明図である。
板状体
センサ体
第1パターン
第2パターン
第3パターン1 and 3 are front views showing an embodiment of the present invention and a conventional technique, respectively, and FIGS. 2 and 4 are explanatory diagrams of the output waveforms of FIGS. 1 and 3, respectively. Plate sensor body first pattern second pattern third pattern
Claims (1)
なる第1パターンと、等ピッチごとに形成された繰返し
マーク列からなる第2、第3パターンとが板状体に並列
に設けられ、上記第1、第2、第3のパターンと各対向
配置させた第1、第2、第3のセンサからそれぞれ第1
パターンに対応した第1の出力、第2パターンに対応し
た第2の出力、第3パターンに対応し、上記第2の出力
とは反転関係にある第3の出力をそれぞれ取出し、上記
第2、第3の出力に基づき形成した読込みタイミング信
号により、上記第1の出力の読込みを行なわせるように
したエンコーダにおいて、上記第2、第3のパターンを
第1のパターンを挟んで対称の位置に並列配置させてな
ることを特徴とするエンコーダ。1. A first pattern formed by forming mark rows corresponding to a desired read signal, and second and third patterns formed by repeating mark rows formed at equal pitches are provided in parallel on a plate-shaped body. , from the first, second, and third sensors arranged opposite to the first, second, and third patterns, respectively.
A first output corresponding to the pattern, a second output corresponding to the second pattern, and a third output corresponding to the third pattern and having an inverse relationship with the second output are respectively taken out, and the second output, In an encoder configured to read the first output based on a read timing signal formed based on the third output, the second and third patterns are arranged in parallel at symmetrical positions with the first pattern in between. An encoder characterized in that it can be arranged.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843790A JPH0424512A (en) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843790A JPH0424512A (en) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Encoder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0424512A true JPH0424512A (en) | 1992-01-28 |
Family
ID=14984718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12843790A Pending JPH0424512A (en) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0424512A (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07134045A (en) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Nikon Corp | Absolute encoder |
| US5504733A (en) * | 1993-03-05 | 1996-04-02 | Nakamichi Corporation | Disk player with carriage and tray transport mechanism |
| US5508994A (en) * | 1993-03-05 | 1996-04-16 | Nakamichi Corporation | Disk player with compact arrangement of a reader and disk storage magazine |
| US5528442A (en) * | 1993-03-05 | 1996-06-18 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine switched drive source |
| US5532985A (en) * | 1993-03-05 | 1996-07-02 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine |
| US5544148A (en) * | 1993-05-20 | 1996-08-06 | Nakamichi Corporation | Compact configuration disk player |
| US5604721A (en) * | 1993-06-03 | 1997-02-18 | Nakamichi Corporation | Device for playing back disks including the detection of a magazine carriage which is simultaneously carrying two disks |
| US5748577A (en) * | 1993-03-23 | 1998-05-05 | Nakamichi Corporation | Device for playing back disks |
| US5805562A (en) * | 1993-03-05 | 1998-09-08 | Nakamichi Corporation | Disk player with compact disk transporter |
| US5808976A (en) * | 1993-03-05 | 1998-09-15 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine device |
| JP2008008903A (en) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | Circuit arrangement and method for calculating inclination error in position measuring instrument |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP12843790A patent/JPH0424512A/en active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5504733A (en) * | 1993-03-05 | 1996-04-02 | Nakamichi Corporation | Disk player with carriage and tray transport mechanism |
| US5508994A (en) * | 1993-03-05 | 1996-04-16 | Nakamichi Corporation | Disk player with compact arrangement of a reader and disk storage magazine |
| US5528442A (en) * | 1993-03-05 | 1996-06-18 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine switched drive source |
| US5532985A (en) * | 1993-03-05 | 1996-07-02 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine |
| US5805562A (en) * | 1993-03-05 | 1998-09-08 | Nakamichi Corporation | Disk player with compact disk transporter |
| US5808976A (en) * | 1993-03-05 | 1998-09-15 | Nakamichi Corporation | Disk player with magazine device |
| US5748577A (en) * | 1993-03-23 | 1998-05-05 | Nakamichi Corporation | Device for playing back disks |
| US5544148A (en) * | 1993-05-20 | 1996-08-06 | Nakamichi Corporation | Compact configuration disk player |
| US5604721A (en) * | 1993-06-03 | 1997-02-18 | Nakamichi Corporation | Device for playing back disks including the detection of a magazine carriage which is simultaneously carrying two disks |
| JPH07134045A (en) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Nikon Corp | Absolute encoder |
| JP2008008903A (en) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | Circuit arrangement and method for calculating inclination error in position measuring instrument |
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