[go: up one dir, main page]

JPH04276006A - 金属粉末の製造方法 - Google Patents

金属粉末の製造方法

Info

Publication number
JPH04276006A
JPH04276006A JP3629991A JP3629991A JPH04276006A JP H04276006 A JPH04276006 A JP H04276006A JP 3629991 A JP3629991 A JP 3629991A JP 3629991 A JP3629991 A JP 3629991A JP H04276006 A JPH04276006 A JP H04276006A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molten metal
powder
jet
flow rate
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3629991A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitomo Sato
佐藤 義智
Hideteru Ide
井手 英暉
Seishi Furuta
誠矢 古田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP3629991A priority Critical patent/JPH04276006A/ja
Publication of JPH04276006A publication Critical patent/JPH04276006A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • B22F2009/0884Spiral fluid

Landscapes

  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアトマイズ法による金属
粉末の製造方法において、生成した金属粉末の粒度分布
幅の狭い、均一粒径の粉末が得られる方法に関する。
【0002】
【従来の技術】金属粉末を工業的に安価に大量に製造す
る方法として、金属溶湯をガスあるいは水などのアトマ
イズ媒体で粉化する、いわゆるアトマイズ法が広く用い
られている。アトマイズ法とは、図7に示すように、タ
ンディッシュ1内に粉化する金属溶湯2 を収容し、そ
の底部に装着された溶湯ノズル3 から金属溶湯を流下
し、タンディッシュ1 の下方に設けたノズル装置4 
から噴射されたアトマイズ媒体のジェット5 をアトマ
イズチャンバー6 内で交差させ、その交差部において
溶湯流8 を粉化し、金属粉末を製造する方法である。 ノズル装置4 の本体9 内部には環状の分配室10が
形成され供給管11より分配室10に圧送されたアトマ
イズ媒体は、本体9 下面に設けられた噴射ノズル12
からジェット5 として噴射され、断面V形や逆円錐形
状のジェットカーテンが形成される。13は粉末回収容
器である。
【0003】金属粉末は用途によって、たとえば溶射用
粉末では粉末の送給性や形成皮膜の緻密性の面から、溶
射設備の能力に合わせて、例えば10〜45μmのよう
な粒度範囲に制限された粉末が要求されている。今後他
の分野でも機能性の高い粉末製品を製造する場合、粉末
の粒度分布は狭い範囲のものが要求されることが多い傾
向にある。
【0004】この場合、粉末の粒度の調整は、アトマイ
ズ媒体を噴出するノズルが同一で同一金属をアトマイズ
するとき、溶湯温度、溶湯ノズル孔径、アトマイズ媒体
の噴射圧力(ジェットの速度とジェットの流量が同時に
変化)などの操業条件を変化させて行っている。得られ
た粉末の粒度分布は噴射圧力とともに平均粒径は変化す
るが、他の条件が一定であれば粒度分布はほぼ同じであ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】現状のアトマイズ法で
粉末の粒度分布を調整する方法では、下記の問題がある
。■溶湯流量は、タンディッシュ中の溶湯高さ、溶湯ノ
ズル径および溶湯温度によって決まるが、これらの中、
溶湯高さおよび溶湯温度はアトマイズ中に変化するため
溶湯流量はそれらに伴い変化する。したがって、アトマ
イズ媒体の流量が一定のとき溶湯流量とアトマイズ媒体
の流量の比が変化するため、得られた粉末の粒度分布が
広がる。■微粉化するためにアトマイズ媒体の圧力を上
げると、溶湯の吹上が起こり易くなり、溶湯の粉化現象
が不安定となるため、得られた粉末の粒度分布が広がり
、粗粉末や針状粉末が多く分級が難しくなる。■アトマ
イズ開始直後の溶湯流量とアトマイズ媒体の流量の比の
変化が、その後アトマイズ終了時までの前記の比にくら
べ極めて激しいこと、さらにアトマイズ直後の粉化現象
がきわめて不安定であるため、得られた粉末の粒度分布
が広がる。
【0006】本発明はこれらの問題に関してなされたも
ので、アトマイズ中に粒度分布の狭い粉末をつくり、高
収率の所定粒度範囲の金属粉末を容易に得られる方法を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本発明の製造方法は、タンディッシュより流
下する溶湯流に噴射ノズルから噴射されたアトマイズ媒
体のジェットをアトマイズチャンバー内で当てて、溶湯
流を粉化し、金属粉末を製造する方法において、タンデ
ィッシュ内溶湯の湯面位置を検出するための湯面位置検
出器を設け、該検出器からの湯面位置情報によりジェッ
トの流量を変化させてジェット流量と溶湯流量との比を
一定にした状態で粉化を行うことを発明の構成とするも
のである。
【0008】この際、複数本のジェットを噴射ノズルの
下方でかつ溶湯流の近傍回りに仮想した同心円に接する
ように噴射して逆円錐形状のジェットカーテンを形成し
、ジェットが相互に接近して形成された交差域に溶湯流
を流下して粉化するのがよい。また、2つの収容部を有
し、いずれか一方の収容部を選択使用するための切換弁
を備えた粉末回収容器をアトマイズチャンバーに設け、
粉化初期に得られた粉末を一方の収容部に回収し、その
後切換弁を操作して他方の収容部に粉末を回収するのが
よい。
【0009】更に、タンディッシュ内溶湯を昇温するた
めの昇温手段を設けると共に溶湯温度を検出するための
温度検出器を設け、該検出器からの温度情報により昇温
手段を作動させ、タンディッシュに収容された溶湯の温
度を一定にして粉化するのがよい。
【0010】
【作用】タンディッシュ内の湯面位置(溶湯高さ)を検
出器(レベル計)で測定しながら、ジェットの噴射圧力
および、又は流量を変化させることにより、ジェット流
量と溶湯流量の比が同じになるように調整することがで
きる。したがって、アトマイズ中にかかる操作を行うこ
とにより、タンディッシュより流下する金属溶湯流を所
定の粒度分布および所定の粒度に容易に粉化生成させる
ことができる。
【0011】また、複数本のジェットを噴射ノズルの下
方でかつ溶湯流の近傍回りに仮想した同心円に接するよ
うに噴射して逆円錐形状のジェットカーテンを形成する
と、各ジェットが相互に接近して形成された交差域は、
エネルギーの高いジェットの中心部が相互に干渉しない
ため、アトマイズ媒体の上昇流が生じにくい。このため
、該交差域に溶湯流を流下させることにより、溶滴の吹
き上げが低減し、操業の安定化が図られるため、所定圧
力、流量の下で生成した粉末の粒度分布の幅が狭くなる
。前記ジェットカーテンを構成する個々のジェットは、
溶湯流を中心として上方より下方へねじれており、ジェ
ットは旋回しているように見えるので、以後、前記カー
テンを旋回ジェットカーテンと呼ぶ。尚、従来の逆円錐
形状のジェットカーテン(非旋回ジェットカーテン)は
、ジェットの中心部が円錐の頂点で交差し、その中心部
が相互に干渉するため、アトマイズ媒体の上昇流が生じ
、溶滴の吹き上げが生じ易く、操業が不安定になり易い
【0012】また、切換弁をもつ粉末回収容器を用いる
ことにより、アトマイズ直後の粉化の不安定な時期に得
られる粉末を取り除くことができるため、極めて幅の狭
い範囲の粒度分布の粉末を得ることができる。除去によ
る粉末の歩留低下は、5秒以内の短い期間であるため数
kg程度であるため大量のアトマイズでは問題とならな
い。むしろ、初期の針状粉末、粗粉末の接着などを除去
する分級操作が厄介であり、製品中に異形粉末が混じり
品質上に問題を生じる場合がある。この様な点から、上
記の回収容器を用いると、操作も簡単で、粒度の広がり
を容易に抑えることができる。
【0013】更に、温度検出器からの溶湯温度情報によ
り昇温手段を作動させ、タンディッシュ内溶温の温度を
一定にすることにより、極めて粒度分布の幅の狭い粉末
の製造の制御が容易となる。すなわち、大量にアトマイ
ズする場合、アトマイズ時間は数10分に至るが、この
間タンディッシュ内の溶湯温度は低下する。溶湯温度が
融点近傍になると、溶湯の物性である表面張力や粘性は
温度変化に応じて著しく変化するため、このような温度
変化の中でアトマイズした場合、ジェットによる溶湯の
粉化状況が大きく変化するし、得られた粉末の粒度範囲
の広がりは避けられない。溶湯の温度を一定にすること
により、上記のような粒度分布の広がりが容易に避ける
ことができる。
【0014】
【実施例】図1は、本発明を実施するためのアトマイズ
設備の要部を示しており、従来と同部材は同符号で示し
ている。タンディッシュ1 の周囲には、これを加熱す
るためのヒータ21がカバー22との間に設けられてお
り、タンディッシュ1 内の溶湯2 の温度を検出する
ための温度検出器23がタンディッシュ1 上部に設け
られている。また、該温度検出器23からの信号(情報
) を受信して、予め設定した温度になるように前記ヒ
ータ21の出力を制御する温度制御器24が設けられて
いる。一方、ノズル装置4 にアトマイズ媒体を供給す
る管路26には、圧力制御弁27が設けられており、タ
ンディッシュ1 上部には、溶湯2 の湯面位置検出器
28が設けられている。また、該湯面位置検出器28か
らの信号を受信して、湯面に対応した溶湯流量を演算す
ると共に、予め設定された溶湯流量とアトマイズ媒体の
ジェット流量(供給量) との比からジェット流量を演
算し、該流量に対応した弁絞量を前記圧力制御弁27に
出力する流量制御装置29が設けられている。 尚、圧力制御弁27の代りに流量制御弁でもよい。
【0015】尚、前記ヒータ制御の代りに、温度制御器
により溶解炉から加熱した溶湯をタンディッシュに注入
する量をコントロールしてもよい。かかる注入量は溶解
炉の傾動量により容易にコントロールすることができる
。このような装置を用いることにより、アトマイズ稼動
時間の経過に関係なく一定の湯温が確保され、又湯面の
低下に関係なく、溶湯流量に応じたジェット流量が付与
され、アトマイズ条件の変動に起因した粒度分布のばら
つきの発生を防止することができる。
【0016】ノズル装置としては、従来のものでも使用
可能であるが、旋回ジェットカーテンを形成するノズル
装置を使用することにより、アトマイズ媒体(ガス) 
の溶湯ノズル側への上昇流の発生を防止することができ
、アトマイズの安定化を増し、粒度分布幅がより狭くな
る。図2は、旋回ジェットカーテンを形成するためのノ
ズル装置4Aの一例を示しており、従来に対して噴射ノ
ズル12A の噴射方向が異なる。すなわち、本体9A
の下面に、流下孔15の中心線を中心とする同心円上に
等間隔でノズルチップからなる噴射ノズル12A の複
数個が取り付けられている。各噴射ノズル12A は、
図3および図4に示すように、ノズル中心線が溶湯流8
 を中心としてその近傍回りに仮想した直径Dの円周に
接するように斜め下方に指向して取り付けられており、
各噴射ノズル12A の中心線は溶湯流(流下孔)中心
線に対して水平方向にほぼaの角度で等方向にずれてい
る。同図において、16はノズル孔の出口部を示してお
り、θは溶湯流中心線に対するジェットカーテンのみか
けの交差角を示す。尚、噴射ノズルとしては、ノズル孔
を有するノズルチップに限らず、本体の底壁に直接ノズ
ル孔を開設したものでもよい。
【0017】この際、各ノズルの中心線(すなわち、ジ
ェットの中心線)が互いに接近した位置における内接円
の直径Dを溶湯流の直径dに対して、D/d=1〜5(
好ましくは1〜3)となるように各ノズルの中心線を設
定するのがよい。D/dが1未満では上昇ガス流が生じ
易くなり、操業が不安定になり易い。一方、5を越える
と内接円内のガス流速が低下し、ひいては粉化エネルギ
ーが低下し粗粉が生じ易くなり、かえって粒度分布の幅
を広げることになるからである。
【0018】アトマイズチャンバー6 に取り付けられ
る粉末回収容器の好例を図5に示す。該容器13A は
容器本体31の内部には仕切壁32によって区画された
2つの収容部33,33 が形成されている。仕切壁3
2の上端縁に沿って横架された横軸34には切換弁35
が取り付けられており、該横軸34は容器本体31の側
壁に枢支されている。容器本体31の外部において、横
軸34の端部には前記切換弁35を回動するためのハン
ドル36が取り付けられている。ハンドル36の回動操
作によって、切換弁35が仕切壁32の左右に画成され
た収容部33,33 の一方を閉ぐと共に、容器開口と
他方の収容部とを連通可能にする。
【0019】かかる粉末回収容器13A を使用するこ
とにより、アトマイズ開始直後の粉化の不安定な時期に
生成した粉末と、安定した状態で生成した粉末とを、切
換弁35をハンドル36を介して回動操作することによ
り2つの収容部33,33 の各々に回収することがで
き、両者の混合が防止され、分布幅の狭い粉末が容易に
得られる。次に具体的実施例を掲げる。
【0020】表1に示したアトマイズ条件で、Fe−4
.5 %の炭素鋼粉を製造した。実施例、従来例とも溶
湯ノズル径は 3.5φmmとした。
【0021】
【表1】 その結果、得られた粉末の平均粒径と幾何標準偏差との
値を表2に示し、粒度分布を図6に示す。
【0022】
【表2】 表2より、実施例の粉末は、従来例に比して、平均粒径
は同等又はそれ以下であり、しかも標準偏差はいずれも
小さいことが確かめられた。
【0023】
【発明の効果】本発明の方法は、アトマイズ中にジェッ
ト流量と溶湯流量の比を一定にすることにより、容易に
粉末の粒度分布を狭くすることができる。この際、アト
マイズ媒体のジェットにより旋回ジェットカーテンを形
成することにより、ジェットが衝突する非旋回ジェット
カーテンを用いる場合にみられる溶湯の吹上が低減し、
操業の安定化が図れるとともに粉化が安定することによ
り所定圧力、流量のもとで生成した粉末の粒度分布の幅
を狭くすることができる。
【0024】また、切換弁をもつ粉末回収容器を用いる
ことにより、アトマイズ直後の粉化の不安定な時期に得
られる粉末を取り除くことにより、極めて幅の狭い範囲
の粒度分布の粉末を容易に得ることができる。さらに、
タンディッシュ内の溶湯の温度を一定に保持することに
より、極めて粒度分布の幅の狭い粉末が容易に製造でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施するためのアトマイズ装置の要部
断面図である。
【図2】旋回ジェットカーテンを形成するためのノズル
装置の断面図である。
【図3】噴射ノズル中心線の交差状態を示す平面図であ
る。
【図4】同側面図である。
【図5】切換弁を備えた粉末回収容器の断面図である。
【図6】実施例の粉末粒度分布を示すグラフである。
【図7】アトマイズ装置の断面説明図である。
【符号の説明】
1  タンディッシュ 2  金属溶湯 5  ジェット 6  アトマイズチャンバー 8  溶湯流 12  噴射ノズル 12A  噴射ノズル 13  粉末回収容器 13A  粉末回収容器 23  温度検出器 28  湯面位置検出器 35  切換弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  タンディッシュより流下する溶湯流に
    噴射ノズルから噴射されたアトマイズ媒体のジェットを
    アトマイズチャンバー内で当てて、溶湯流を粉化し、金
    属粉末を製造する方法において、タンディッシュ内溶湯
    の湯面位置を検出するための湯面位置検出器を設け、該
    検出器からの湯面位置情報によりジェットの流量を変化
    させてジェット流量と溶湯流量との比を一定にした状態
    で粉化を行うことを特徴とする金属粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】  複数本のジェットを噴射ノズルの下方
    でかつ溶湯流の近傍回りに仮想した同心円に接するよう
    に噴射して逆円錐形状のジェットカーテンを形成し、ジ
    ェットが相互に接近して形成された交差域に溶湯流を流
    下して粉化する請求項1に記載した金属粉末の製造方法
  3. 【請求項3】  2つの収容部を有し、いずれか一方の
    収容部を選択使用するための切換弁を備えた粉末回収容
    器をアトマイズチャンバーに設け、粉化初期に得られた
    粉末を一方の収容部に回収し、その後切換弁を操作して
    他方の収容部に粉末を回収する請求項1に記載した金属
    粉末の製造方法。
  4. 【請求項4】  タンディッシュ内溶湯を昇温するため
    の昇温手段を設けると共に溶湯温度を検出するための温
    度検出器を設け、該検出器からの温度情報により昇温手
    段を作動させ、タンディッシュに収容された溶湯の温度
    を一定にして粉化する請求項1に記載した金属粉末の製
    造方法。
JP3629991A 1991-03-01 1991-03-01 金属粉末の製造方法 Pending JPH04276006A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3629991A JPH04276006A (ja) 1991-03-01 1991-03-01 金属粉末の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3629991A JPH04276006A (ja) 1991-03-01 1991-03-01 金属粉末の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04276006A true JPH04276006A (ja) 1992-10-01

Family

ID=12465940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3629991A Pending JPH04276006A (ja) 1991-03-01 1991-03-01 金属粉末の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04276006A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000038865A1 (fr) * 1998-12-24 2000-07-06 Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd. Procede de fabrication de poudre metallique
KR100370862B1 (ko) * 2000-06-30 2003-02-05 에드호텍(주) 금속용탕 미립화 장치
CN103394695A (zh) * 2013-07-26 2013-11-20 常州大学 一种喷射成型设备及其加工控制方法
WO2022044931A1 (ja) 2020-08-28 2022-03-03 住友金属鉱山株式会社 アトマイズ装置、金属粉体の製造方法、並びに有価金属の製造方法
JP2022039952A (ja) * 2020-08-28 2022-03-10 住友金属鉱山株式会社 アトマイズ装置、金属粉体の製造方法、並びに有価金属の製造方法
JP2022149432A (ja) * 2021-03-25 2022-10-06 Jfeスチール株式会社 溶銑処理量の検出方法、粒銑製造設備の制御方法および溶銑処理量の検出装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000038865A1 (fr) * 1998-12-24 2000-07-06 Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd. Procede de fabrication de poudre metallique
US6336953B1 (en) * 1998-12-24 2002-01-08 Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd. Method for preparing metal powder
KR100548213B1 (ko) * 1998-12-24 2006-02-02 후쿠다 킨조쿠 하쿠훈 코교 가부시키가이샤 금속 분말 제조 방법 및 장치
CN100364700C (zh) * 1998-12-24 2008-01-30 福田金属箔粉工业株式会社 制备金属粉末的方法
KR100370862B1 (ko) * 2000-06-30 2003-02-05 에드호텍(주) 금속용탕 미립화 장치
CN103394695A (zh) * 2013-07-26 2013-11-20 常州大学 一种喷射成型设备及其加工控制方法
WO2022044931A1 (ja) 2020-08-28 2022-03-03 住友金属鉱山株式会社 アトマイズ装置、金属粉体の製造方法、並びに有価金属の製造方法
JP2022039952A (ja) * 2020-08-28 2022-03-10 住友金属鉱山株式会社 アトマイズ装置、金属粉体の製造方法、並びに有価金属の製造方法
KR20230047475A (ko) 2020-08-28 2023-04-07 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 아토마이즈 장치, 금속 분체의 제조 방법 및 유가 금속의 제조 방법
JP2022149432A (ja) * 2021-03-25 2022-10-06 Jfeスチール株式会社 溶銑処理量の検出方法、粒銑製造設備の制御方法および溶銑処理量の検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102074861B1 (ko) 미세분말 제조장치 및 방법
JP7231159B2 (ja) 金属粉末製造装置、及び金属粉末の製造方法
JPS5910961B2 (ja) ヨウユウキンゾクオビリユウカスルホウホウ オヨビ ソウチ
CN107427927A (zh) 用于熔融材料的造粒的喷嘴和浇口盘装置
EP3085475B1 (en) Powder manufacturing apparatus and powder forming method
JPH04276006A (ja) 金属粉末の製造方法
CA3061799C (en) Metal powder production apparatus
KR100370863B1 (ko) 금속용탕으로부터의 금속분말 제조방법과 그 장치
JPS6224481B2 (ja)
KR20180046652A (ko) 금속 분말 제조를 위한 원추형 수분사 아토마이저 가변 노즐
JP2017145494A (ja) 金属粉末製造装置
JP4014239B2 (ja) 微粉体の作製法
KR101857750B1 (ko) 가스 분사를 이용한 금속 분말의 제조 장치
JPS6227058A (ja) 溶融金属霧化装置
JPH04187707A (ja) 金属粉末の製造方法及びガスアトマイズ装置
JPH0665613A (ja) 噴霧ノズル装置
JP3002270B2 (ja) 金属粉末の製造方法
JPH08199207A (ja) 金属粉末の製造方法およびその装置
JPH04173906A (ja) アトマイズノズル装置
JP2823972B2 (ja) 溶湯流出ノズル及び金属粉末の製造方法
JPH0559411A (ja) 金属粉末の製造方法
JPH03120304A (ja) 金属微粉末の製造方法および装置
JP3059878B2 (ja) 流動層利用の造粒制御装置
JPH03240903A (ja) 金属粉末製造用アトマイズノズルおよび金属粉末製造方法
JPS62182211A (ja) 金属粉末の製造方法および装置