JPH05138101A - Dropping device for high-viscosity coating material - Google Patents
Dropping device for high-viscosity coating materialInfo
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- JPH05138101A JPH05138101A JP30603591A JP30603591A JPH05138101A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A
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- JP
- Japan
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- coating agent
- bottle
- viscosity coating
- pipe
- highly viscous
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Devices For Dispensing Beverages (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高粘性コーティング剤が容器の底部に残った
り、気泡が混入したり、配管内に残留したり、又はノズ
ル内で乾燥固化するのを防止する。
【構成】高粘性コーティング剤１を収納した瓶２を倒立
した状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持す
る。瓶２の出口の周囲はシール部２１を備え、シールが
保たれる。排出装置２０には滴下パイプ２３が瓶内の高
粘性コーティング剤を滴下させるように取付けてある。
この滴下パイプは電磁弁２４を備え、瓶２内の高粘性コ
ーティング剤１を適量づつ滴下させる。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent the high-viscosity coating agent from remaining on the bottom of the container, air bubbles, remaining in the piping, or drying and solidifying in the nozzle. [Structure] A bottle 2 containing a highly viscous coating agent 1 is held in an inverted state between a holding device 10 and a discharging device 20. A seal portion 21 is provided around the outlet of the bottle 2 to keep the seal. A drop pipe 23 is attached to the discharge device 20 so as to drop the highly viscous coating agent in the bottle.
This drip pipe is equipped with a solenoid valve 24 to drip the highly viscous coating agent 1 in the bottle 2 in an appropriate amount.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高粘性コーティング剤
の滴下装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dropping device for highly viscous coating agents.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ウエハの表面に各種の高粘性コーティン
グ剤のを塗布する場合に、１ｋｇ又は１ガロン入りの瓶
に入っている高粘性コーティング剤をベローズポンプに
よって圧送するか、又は窒素ガス等によって加圧して圧
送する方式でウエハ上に供給している。例えば、ウエハ
に塗布するポリイミドは１００ｃｐ（センチポアズ）を
越える高い粘度を有し、通常は１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の圧
力の窒素ガスによる圧送方式で供給されている。この場
合、 （ａ）容器の形状により容器の底部に高粘性コーティン
グ剤が残る。 （ｂ）高粘性コーティング剤中に気泡が混入すると使用
できない。 （ｃ）瓶からノズルまでの配管内に残留するコーティン
グ剤が無駄となる。この量は装置によっては、２０〜３
０％にも達する場合がある。 （ｄ）高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固化する
のを防止するために、高粘性コーティング剤を時折放出
しなければならない。2. Description of the Related Art When coating various kinds of high-viscosity coating agents on the surface of a wafer, the high-viscosity coating agents contained in a bottle containing 1 kg or 1 gallon are pressure-fed by a bellows pump, or by nitrogen gas or the like. It is supplied onto the wafer by a method of pressurizing and feeding. For example, the polyimide applied to the wafer has a high viscosity exceeding 100 cp (centipoise), and is normally supplied by a pressure-feeding method using nitrogen gas at a pressure of 1 to 5 kg / cm 2 . In this case, (a) the highly viscous coating agent remains on the bottom of the container due to the shape of the container. (B) It cannot be used if air bubbles are mixed in the highly viscous coating agent. (C) The coating agent remaining in the pipe from the bottle to the nozzle is wasted. This amount is 20 to 3 depending on the device.
It may reach 0%. (D) In order to prevent the high viscosity coating agent from drying and solidifying in the nozzle, the high viscosity coating agent must be occasionally discharged.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の上記
高粘性コーティング剤の供給装置の欠点を改善した装置
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an apparatus which has improved the drawbacks of the conventional apparatus for supplying a highly viscous coating agent.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、高粘性コーテ
ィング剤の収納瓶を倒立させて保持する保持装置と、こ
の瓶の出口の周囲をシールすると共に、高粘性コーティ
ング剤滴下パイプ及び不活性ガスを瓶内に導入するパイ
プを備えた排出装置とからなることを特徴とする高粘性
コーティング剤の滴下装置である。この装置は、装置全
体を天地反転させる反転装置を備えることが好ましく、
また、ウエハスピンナの表面に高粘性コーティング剤を
滴下する装置として用いると好適である。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a holding device for holding a bottle containing a high-viscosity coating agent upside down and sealing the periphery of the outlet of the bottle, a high-viscosity coating agent dropping pipe and an inert gas are provided. It is a dropping device for a high-viscosity coating agent, which comprises a discharge device having a pipe for introducing gas into the bottle. This device preferably comprises a reversing device for reversing the entire device,
Further, it is suitable for use as an apparatus for dropping a highly viscous coating agent on the surface of the wafer spinner.
【０００５】[0005]
【作用】本発明の装置は、高粘性コーティング剤の収納
瓶を倒立させて保持し、その瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤の滴下パイプを備え
る。この滴下パイプは、倒立した瓶内の高粘性コーティ
ング剤を重力によって滴下させる。従って原則的には格
別の動力装置を要しない。また、瓶内の高粘性コーティ
ング剤を残らず全部完全に利用することができる。もち
ろん高粘性コーティング剤中に気泡が混入することもな
い。もし滴下しにくい高粘性コーティング剤の場合には
補助的に不活性ガスを瓶内に導入するパイプを備える。
滴下パイプは短いパイプとすることができ、ポンプ圧送
などのように長い圧送経路を必要としないし、パイプ内
に残留するロスを生じない。また滴下させるのでノズル
は先端を細く形成する必要はなく、ノズル内で高粘性コ
ーティング剤が乾燥固化することがない。The apparatus of the present invention holds the container for storing the high-viscosity coating agent upside down, seals the periphery of the outlet of the bottle, and includes a dropping pipe for the high-viscosity coating agent. This dropping pipe drops the highly viscous coating agent in the inverted bottle by gravity. Therefore, in principle, no special power unit is required. In addition, the high-viscosity coating agent in the bottle can be completely used without being left over. Of course, no bubbles are mixed in the highly viscous coating agent. In the case of a highly viscous coating agent that is difficult to drip, a pipe is additionally provided to introduce an inert gas into the bottle.
The drip pipe can be a short pipe, does not require a long pumping path such as pumping, and does not cause residual loss in the pipe. Further, since the nozzle is dropped, it is not necessary to make the tip thin, and the high-viscosity coating agent does not dry and solidify in the nozzle.
【０００６】本発明の装置は、装置全体を天地反転させ
る反転装置を備えると、瓶を正立の状態で装着し、つい
で天地反転させることができ、瓶の取付け取外しが極め
て容易となる。本発明の装置はウエハスピンナの表面に
高粘性コーティング剤を滴下する装置として用いると従
来のポンプ装置等に比べ、操作性、経済性において優れ
ている。When the apparatus of the present invention is provided with a reversing device for reversing the entire apparatus, it is possible to mount the bottle in an upright state and then turn it upside down, which makes it extremely easy to attach and detach the bottle. When the apparatus of the present invention is used as an apparatus for dropping a high-viscosity coating agent on the surface of a wafer spinner, it is superior in operability and economy to conventional pump apparatuses and the like.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は本発明の実施例の高粘性コーティング
剤の滴下装置の使用状態における要部を示す側面図であ
る。高粘性コーティング剤１を収納した瓶２は、倒立し
た状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持され
ている。排出装置２０は瓶２の出口３の出口端の周囲を
シール部２１を備えた円盤２２を備えている。シール部
２１にはシール材が施され、保持装置１０との間に適切
な押圧力で瓶２を挟持しているので、シールが保たれ
る。この円盤２２は図示しない支持装置によって保持装
置１０と連結し、背後を支持されている。この円盤２２
には滴下パイプ２３が瓶内の高粘性コーティング剤を滴
下させるように取付けてある。この滴下パイプは電磁弁
２４を備え、瓶２内の高粘性コーティング剤１を適量づ
つ滴下させる。この滴下パイプ２３の先端はノズル２５
を形成しているが、ノズルは開口を斜に切断した形状の
直管としている。このことによって、高粘性コーティン
グ剤がノズル内から切れ良く滴下し、ノズル内に残らな
い。従って、高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固
化することがない。また、万一ノズル詰まりが発生した
ときの掃除のために不活性高圧ガスを導入する掃除パイ
プ２６を備えている。FIG. 1 is a side view showing an essential part of a high-viscosity coating agent dropping apparatus according to an embodiment of the present invention in use. The bottle 2 containing the high-viscosity coating agent 1 is held between the holding device 10 and the discharging device 20 in an inverted state. The discharging device 20 is provided with a disk 22 having a seal portion 21 around the outlet end of the outlet 3 of the bottle 2. Since the seal member 21 is provided with a sealant and holds the bottle 2 with the holding device 10 with an appropriate pressing force, the seal is maintained. The disc 22 is connected to the holding device 10 by a supporting device (not shown) and is supported at the back. This disc 22
A drip pipe 23 is attached to this so as to drip the highly viscous coating agent in the bottle. This drip pipe is equipped with a solenoid valve 24 to drip the highly viscous coating agent 1 in the bottle 2 in an appropriate amount. The tip of the dripping pipe 23 has a nozzle 25.
However, the nozzle is a straight pipe whose opening is cut obliquely. As a result, the high-viscosity coating agent drops well in the nozzle and does not remain in the nozzle. Therefore, the highly viscous coating agent does not dry and solidify in the nozzle. Further, a cleaning pipe 26 for introducing an inert high-pressure gas is provided for cleaning when a nozzle clogging should occur.
【０００８】さらに、円盤２２には高粘性コーティング
剤の粘度が高く滴下しにくいときに瓶２内に不活性ガス
２８を導入する不活性ガス導入パイプ２７を備えてい
る。この不活性ガス導入パイプにはスエージロック等の
着脱可能な継手２９を介してベローズニップルまたはテ
フロンチューブなどの可撓管２９ａを結合し、不活性ガ
ス２８を導入する。Further, the disk 22 is provided with an inert gas introducing pipe 27 for introducing an inert gas 28 into the bottle 2 when the viscosity of the high-viscosity coating agent is high and it is difficult to drop it. A flexible tube 29a such as a bellows nipple or a Teflon tube is connected to the inert gas introduction pipe via a removable joint 29 such as a swage lock, and the inert gas 28 is introduced.
【０００９】図２は、本発明装置の瓶の取付け操作を説
明する説明図である。保持装置１０は瓶２を正立状態で
載せるような姿勢で保たれている。高粘性コーティング
剤の収納瓶２を保持装置１０の上に載せ、上方に引き上
げてある排出装置２０を下降し、円盤２２を瓶２の口元
に押し付け、シール部２１が瓶２の口元をシールするよ
うにセットする。図２（ｂ）はこのセットが完了した状
態を示している。ついで、滴下装置全体を天地反転させ
る。反転した状態は図２（ｃ）に示されている。この反
転したときノズル２５がその直下にウエハスピンナ３０
の回転装置３１上に位置するようにし、ウエハスピンナ
３０に高粘性コーティング剤を滴下し、ウエハに塗膜を
形成する。FIG. 2 is an explanatory view for explaining a bottle mounting operation of the device of the present invention. The holding device 10 is held in a posture such that the bottle 2 is placed in an upright state. The high-viscosity coating agent storage bottle 2 is placed on the holding device 10, the discharge device 20 that has been pulled up is lowered, the disk 22 is pressed against the mouth of the bottle 2, and the sealing portion 21 seals the mouth of the bottle 2. To set. FIG. 2B shows a state where this setting is completed. Then, the whole dropping device is turned upside down. The inverted state is shown in FIG. When this is reversed, the nozzle 25 is directly below the wafer spinner 30.
Then, the high-viscosity coating agent is dropped onto the wafer spinner 30 to form a coating film on the wafer.
【００１０】瓶の取外しはこの逆順に手順を進めれば良
い。本発明の実施例装置を用いてウエハにポリイミドの
塗膜を形成した。ノズルの内径は３ｍｍφとした。Ｎ−
メチル−２−ピロリドンを溶媒とする粘度１００ｃｐを
越えるポリイミドをウエハ上に１回に３ｃｃ滴下した。
従来、１ｋｇ入りの瓶で４インチのウエハ１５０枚を塗
布することができたが、実施例では２００枚を塗布可能
となった。また従来問題となっていたノズル詰まりは全
く生じなかった。The procedure for removing the bottle may proceed in the reverse order. A polyimide coating film was formed on the wafer by using the apparatus of the embodiment of the present invention. The inner diameter of the nozzle was 3 mmφ. N-
3 cc of polyimide having a viscosity of more than 100 cp and using methyl-2-pyrrolidone as a solvent was dropped onto the wafer at one time.
Conventionally, it was possible to coat 150 4-inch wafers with a bottle containing 1 kg, but in the embodiment, 200 wafers can be coated. No nozzle clogging, which has been a problem in the past, occurred at all.
【００１１】[0011]
【発明の効果】本発明によれば、２０００ｃｐ程度まで
の高粘性コーティング剤を所望量づつ滴下させることが
できる。本発明の装置では、瓶内のコーティング剤を完
全に利用することができ、高粘性コーティング剤中に気
泡が混入することもない。また、滴下パイプ内に残留す
るロスを生じない。さらに、ノズル内で高粘性コーティ
ング剤が乾燥固化することがない。また、動力装置を必
要としないという利点もある。本発明の装置はウエハス
ピンナの表面に高粘性コーティング剤を滴下する装置と
して操作性、経済性に優れている。According to the present invention, a highly viscous coating agent of up to about 2000 cp can be dropped in desired amounts. In the device of the present invention, the coating agent in the bottle can be fully utilized, and bubbles are not mixed in the high-viscosity coating agent. In addition, no loss remains in the drip pipe. Furthermore, the highly viscous coating agent does not dry and solidify in the nozzle. There is also the advantage that no power unit is required. The apparatus of the present invention is excellent in operability and economy as an apparatus for dropping a highly viscous coating agent on the surface of a wafer spinner.
【図１】本発明の実施例の高粘性コーティング剤の滴下
装置を示す図である。FIG. 1 is a view showing a dropping device for a high-viscosity coating agent according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例の滴下装置の取付け操作を説明
する説明図である。FIG. 2 is an explanatory view illustrating an attaching operation of the dropping device according to the embodiment of the present invention.
１ コーティイング剤 ２ 瓶 ３ 出口 １０ 保持装置 ２０ 排出装置 ２１ シール部 ２２ 円盤 ２３ 滴下パイ
プ ２４ 電磁弁 ２５ ノズル ２６ 掃除パイプ ２７ 不活性ガ
ス導入パイプ ２８ 不活性ガス ３０ ウエハス
ピンナ1 Coating Agent 2 Bottle 3 Outlet 10 Holding Device 20 Ejecting Device 21 Sealing Part 22 Disc 23 Dropping Pipe 24 Solenoid Valve 25 Nozzle 26 Cleaning Pipe 27 Inert Gas Introducing Pipe 28 Inert Gas 30 Wafer Spinner
Claims (3)
せて保持する保持装置と、該瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤滴下パイプ及び不活性
ガス導入パイプを備えた滴下装置とからなることを特徴
とする高粘性コーティング剤の滴下装置。1. A holding device for holding a bottle of a high-viscosity coating agent upside down and holding it, and a dropping device for sealing the periphery of the outlet of the bottle and having a high-viscosity coating agent dropping pipe and an inert gas introducing pipe. A high-viscosity coating agent dropping device comprising:
えたことを特徴とする請求項１記載の高粘性コーティン
グ剤の滴下装置。2. The dropping device for a high-viscosity coating agent according to claim 1, further comprising a reversing device for reversing the entire device.
ング剤を滴下する装置であることを特徴とする請求項１
又は２記載の高粘性コーティング剤の滴下装置。3. An apparatus for dropping a high-viscosity coating agent on the surface of a wafer spinner.
Alternatively, the high-viscosity coating agent dropping device according to item 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30603591A JPH05138101A (en) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | Dropping device for high-viscosity coating material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30603591A JPH05138101A (en) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | Dropping device for high-viscosity coating material |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138101A true JPH05138101A (en) | 1993-06-01 |
Family
ID=17952286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30603591A Withdrawn JPH05138101A (en) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | Dropping device for high-viscosity coating material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05138101A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000269129A (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | Photoresist supply device |
| JP2016172587A (en) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー，ゲーエムベーハー | Bottle supply system and bottle cap adapter |
| JP2019116325A (en) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | Cartridge receiver for manufacturing beverage, cartridge system, beverage preparation machine, and method |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP30603591A patent/JPH05138101A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000269129A (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | Photoresist supply device |
| JP2016172587A (en) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー，ゲーエムベーハー | Bottle supply system and bottle cap adapter |
| JP2019116325A (en) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | Cartridge receiver for manufacturing beverage, cartridge system, beverage preparation machine, and method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |