JPH05272986A - encoder - Google Patents
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- JPH05272986A JPH05272986A JP6832992A JP6832992A JPH05272986A JP H05272986 A JPH05272986 A JP H05272986A JP 6832992 A JP6832992 A JP 6832992A JP 6832992 A JP6832992 A JP 6832992A JP H05272986 A JPH05272986 A JP H05272986A
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- magnetic
- disk
- conversion element
- magnetic layer
- encoder
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価で短納期に製造できる高分解能なエンコ
ーダーを提供する事である。
【構成】 ロータリーエンコーダーにおいて、静止して
いる支持部材5上に数個のZ効果による電磁変換素子6
を配置し、回転する円盤1の表面にある模様を着磁した
磁性層2を配置し、該磁電変換素子6と円盤上の磁性膜
を近接させて配置し、磁性層2の着磁模様を該磁電変換
素子6で検知し、円盤の回転角度を認識する。また、磁
性層2の磁力の強弱を3段階以上の分割で実施し、磁成
層2と該電磁変換素子6を回転円盤1の表裏両面側に配
置した事を特徴とする。
【効果】 組立上がりの半完成品を在庫に持ち、注文に
応じて円盤に着磁して出荷できる事より、短納期でで
き、円盤が大ロットで加工できるので安くなり、高分解
能で小型にできるという効果を有する。
(57) [Summary] [Purpose] To provide an encoder with high resolution that is inexpensive and can be manufactured in a short time. [Structure] In a rotary encoder, several Z-effect electromagnetic conversion elements 6 are mounted on a stationary support member 5.
And the magnetic layer 2 magnetized with a pattern on the surface of the rotating disk 1 is arranged, and the magnetoelectric conversion element 6 and the magnetic film on the disk are arranged in close proximity to each other, and the magnetic pattern of the magnetic layer 2 is arranged. The rotation angle of the disk is recognized by detecting with the magnetoelectric conversion element 6. Further, the magnetic force of the magnetic layer 2 is divided into three or more steps, and the magnetic layer 2 and the electromagnetic conversion element 6 are arranged on both front and back sides of the rotary disk 1. [Effect] Since semi-finished products that have been assembled can be kept in stock and magnetized into a disk according to the order and shipped, it can be done in a short delivery time and the disk can be processed in a large lot, so it is cheaper, high resolution and compact. It has the effect of being able to.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は移動する物体の位置を検
出するアブソリュート型エンコーダーの構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of an absolute encoder for detecting the position of a moving object.
【0002】[0002]
【従来の技術】エンコーダーは、直線運動用のリニヤー
エンコーダーと、回転運動用のロータリーエンコーダー
がある。双方とも認識原理は同じであるので、ロータリ
ー型についてのべる。2. Description of the Related Art Encoders include linear encoders for linear motion and rotary encoders for rotary motion. Since the recognition principle is the same in both cases, the rotary type will be mentioned.
【0003】従来のロータリーエンコーダーは、図10
に示すような光学式構造が主流である。回転体はガラス
で作られた円盤31にある模様の遮光膜32を付けてつ
くられている。静止している支持部材35と土台38
に、光源36および光検出部材37を対向させてガラス
円盤の両側に接触させないように配置してある。A conventional rotary encoder is shown in FIG.
The optical structure as shown in FIG. The rotating body is made by attaching a patterned light shielding film 32 on a disk 31 made of glass. Stationary support member 35 and base 38
In addition, the light source 36 and the light detection member 37 are opposed to each other so as not to contact both sides of the glass disk.
【0004】光は、ガラス円盤31により遮断または透
過される。光検出部は光が来ているかどうかを電気信号
にかえている。光検出部の出力信号により、光検出部に
おけるガラス円盤の遮光膜形状を認識する事ができる。Light is blocked or transmitted by the glass disk 31. The photodetector changes the electrical signal to determine whether light is coming. The light-shielding film shape of the glass disc in the photodetector can be recognized from the output signal of the photodetector.
【0005】アブソリュート型は、円盤に付けられた模
様が図11のように2進数で位置がわかる様につくられ
ている。図11の例では、最外周が1桁目を表わし、次
の内側の周が2桁目を表わしている。図12のブロック
図に示すように、光の届いた光検出部41の出力を2進
10進変換回路42により2進数から10進数に変換
し、角度変換回路43により角度変換すると、回転円盤
の角度位置を認識する事ができる。その値を表示部44
に表示すると共に外部装置45に出力して活用する。The absolute type is designed so that the pattern attached to the disk can be identified by its binary number as shown in FIG. In the example of FIG. 11, the outermost circumference represents the first digit and the next inner circumference represents the second digit. As shown in the block diagram of FIG. 12, when the output of the light detection unit 41 to which the light has reached is converted from a binary number to a decimal number by the binary-decimal conversion circuit 42 and the angle is converted by the angle conversion circuit 43, the rotation disk Can recognize the angular position. The value is displayed on the display 44
And is output to the external device 45 for use.
【0006】ガラス円盤の遮光膜の模様は印刷やフォト
リソグラフィの工程で加工される。遮光膜の透過率を特
定の場所毎に変えることは、加工工数がかかるので、高
価になる理由から実施されなかった。そのため、円盤は
光を通過と遮光の2通りにしかできず、遮光膜の模様
は、2進数表示にせざるをえなかった。The pattern of the light-shielding film on the glass disk is processed by a printing or photolithography process. Changing the transmittance of the light-shielding film for each specific location requires a processing man-hour, and therefore has not been implemented because it is expensive. Therefore, the disk can only transmit light and can shield light, and the pattern of the light-shielding film has to be displayed in binary.
【0007】磁気式の物も考えられたが、検出部材と磁
性膜の距離をある程度保ったとき、検出部材の空間分解
能力が低いので、分解能が低く体積の大きい円筒型にせ
ざるをえなかった。A magnetic type was also conceivable, but when the distance between the detecting member and the magnetic film was maintained to some extent, the spatial resolution of the detecting member was low, so that the cylindrical type had a low resolution and a large volume. ..
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記のエンコーダーの
従来技術において、光学式では部品加工段階から、円盤
の分割数にあわせた加工をする必要があった。回転円盤
は光学的なスイッチとして動作しており、2進数のカウ
ントしかできないので、2進数から10進数への変換が
必要であった。In the prior art of the above-mentioned encoder, in the optical system, it was necessary to perform processing according to the number of divisions of the disk from the stage of processing the parts. Since the rotary disk operates as an optical switch and can only count binary numbers, it was necessary to convert binary numbers to decimal numbers.
【0009】本発明の目的は、エンコーダーにおいて、
組立時に回転円盤の分解能を設定する事ができ、N進数
の出力ができる高分解能で小型な装置を提供する事であ
る。An object of the present invention is, in an encoder,
It is an object of the present invention to provide a high-resolution and compact device capable of setting the resolution of a rotating disk during assembly and outputting N-ary numbers.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明のエンコーダー
は、移動する物体に接続されたスケールにつけられた模
様を検知部材にて検知して、移動する物体の位置を認識
するエンコーダーにおいて、静止している支持部材上に
数個のZ効果による磁電変換素子(シリコンに燐・アル
ミニウム・金をドープした物で、磁界の強さを周波数に
変換し指向性を有する磁電変換パルスセンサー)を配置
し、移動するスケールの表面に、ある模様を着磁した磁
性層を配置し、該磁電変換素子とスケール上の磁性層を
近接させて配置し、磁性層の着磁模様を該磁電変換素子
で検知し、物体の位置を認識することを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION An encoder of the present invention is an encoder which recognizes the position of a moving object by detecting a pattern attached to a scale connected to a moving object with a detecting member. Arranging several magneto-electric conversion elements (phosphor / aluminum / gold-doped silicon, magneto-electric conversion pulse sensor having directivity by converting strength of magnetic field to frequency) on the supporting member, which has Z effect, A magnetic layer magnetized with a certain pattern is arranged on the surface of the moving scale, the magnetic conversion element and the magnetic layer on the scale are arranged in close proximity, and the magnetization pattern of the magnetic layer is detected by the magnetic conversion element. , Is characterized by recognizing the position of an object.
【0011】また、磁性層の着磁の強弱を3段階以上の
分割で実施したことを特徴とする。また、磁性層と該磁
電変換素子を回転円盤の表裏両面側に配置した事を特徴
とする。Further, the magnetic layer is characterized in that the magnetization of the magnetic layer is divided into three or more steps. Further, the magnetic layer and the magnetoelectric conversion element are arranged on both front and back sides of the rotating disk.
【0012】[0012]
(実施例1)図1は、本発明の実施例1における主要構
成図である。中央部に回転円盤1を配置し、1対の軸受
け3・4を介して土台7と支持部材5により回転円盤1
を支持する。支持部材5には、Z効果による磁電変換素
子アレイ6を直径方向に配置する。また、支持部材5に
は着磁用窓9をあけておき組立後に円盤上の磁性層に着
磁できるようにした。(Embodiment 1) FIG. 1 is a main configuration diagram in Embodiment 1 of the present invention. The rotating disk 1 is arranged in the central portion, and the rotating disk 1 is provided by the base 7 and the supporting member 5 via the pair of bearings 3 and 4.
Support. On the supporting member 5, the magnetoelectric conversion element array 6 by the Z effect is arranged in the diameter direction. A magnetizing window 9 is opened in the support member 5 so that the magnetic layer on the disk can be magnetized after assembly.
【0013】Z効果による磁電変換素子とは、厚さ0.
3mm程のシリコン板に燐・アルミニウム・金を25〜
40ミクロンの深さにドープした物である。電極に5〜
15V程度の電圧を印加した時、印加電圧の約1/3の
振幅で発振し、磁気強度に応じて発振周波数がかわる特
性を有する素子である。また、磁気感度の指向性が高い
という特徴がある。The magnetoelectric conversion element based on the Z effect has a thickness of 0.
25 ~ phosphorus, aluminum, and gold on a 3mm silicon plate
It was doped to a depth of 40 microns. 5 to electrode
When a voltage of about 15 V is applied, the element oscillates with an amplitude of about 1/3 of the applied voltage, and the oscillation frequency changes according to the magnetic strength. Further, there is a feature that the directivity of magnetic sensitivity is high.
【0014】図2は、本発明の実施例1における上面図
である。軸受け3より外周にむけて素子ホルダー8を配
置し、該素子ホルダー8の側面に磁電変換素子アレイ6
を配置した。また、磁電変換素子は、直線上に数個並べ
て配置した。FIG. 2 is a top view of the first embodiment of the present invention. The element holder 8 is arranged from the bearing 3 toward the outer periphery, and the magnetoelectric conversion element array 6 is provided on the side surface of the element holder 8.
Was placed. Further, several magnetoelectric conversion elements were arranged side by side on a straight line.
【0015】図3は、本発明の実施例1の磁電変換素子
6と円盤1上の磁性層2の付近の詳細図である。磁電変
換素子6は、表裏に電極(+)10と電極(−)11を
配置し、この間に電圧をかける。磁場は電場に対して直
角にかかる様に配置する。磁電変換素子アレイ6は4個
並べてあり、電極(−)11は各素子に共通になってい
る。電極(+)10は各素子毎につけてある。磁電変換
素子アレイ6は、ドープ面12側の約30ミクロンが反
応する場所になっている。ドープ面12の上方に永久磁
石13をNを下、Sを上にくる様に配置した。これは、
磁電変換素子アレイ6がある程度以上の磁場を掛けない
と発振しないことから、磁電変換素子にかかる磁場にオ
フセットを付けておくためと、磁電変換素子内部に磁力
線を通過しやすくするためである。FIG. 3 is a detailed diagram of the vicinity of the magnetoelectric conversion element 6 and the magnetic layer 2 on the disk 1 according to the first embodiment of the present invention. The magnetoelectric conversion element 6 has an electrode (+) 10 and an electrode (-) 11 arranged on the front and back, and a voltage is applied between them. The magnetic field is placed so that it is perpendicular to the electric field. Four magnetoelectric conversion element arrays 6 are arranged side by side, and the electrode (-) 11 is common to each element. The electrode (+) 10 is attached to each element. In the magnetoelectric conversion element array 6, about 30 μm on the side of the doped surface 12 reacts. The permanent magnet 13 was arranged above the dope surface 12 so that N was at the bottom and S was at the top. this is,
This is because the magnetic-electric conversion element array 6 does not oscillate unless a magnetic field of a certain level or more is applied. Therefore, the magnetic field applied to the magnetic-electric conversion element is offset, and the lines of magnetic force easily pass through the inside of the magnetic-electric conversion element.
【0016】円盤1上の磁性層2は、垂直に磁化した。
これは、着磁密度を高密度にできるため、エンコーダー
としての分解能をあげることができる。しかし、発生で
きる磁力が小さい事から、信頼性に欠ける危険性があ
る。The magnetic layer 2 on the disk 1 was magnetized perpendicularly.
This makes it possible to increase the magnetization density and therefore the resolution as an encoder. However, since the magnetic force that can be generated is small, there is a risk of lack of reliability.
【0017】図4は、図3において着磁方向を平面方向
にした例である。図3の例に比べて分解能は落ちるが、
磁性層の持つ磁力を大きくする事ができるので、信頼性
が向上する。FIG. 4 shows an example in which the magnetizing direction is the plane direction in FIG. Although the resolution is lower than that of the example in Fig. 3,
Since the magnetic force of the magnetic layer can be increased, the reliability is improved.
【0018】回転円盤1の磁性層2には、図5の模様に
着磁した。この模様は、1周を10分割した物で外側か
ら1桁目、2桁目、3桁目を示しており、斜線部を0、
空白部を1と認識する。磁電変換素子は各桁に1個必要
であり、本実施例1においては4個並べて配置した。The magnetic layer 2 of the rotating disk 1 was magnetized in the pattern shown in FIG. This pattern shows the 1st digit, the 2nd digit, and the 3rd digit from the outside by dividing one lap into 10 parts.
The blank part is recognized as 1. One magnetoelectric conversion element is required for each digit, and in the present Example 1, four were arranged side by side.
【0019】磁性層2は、着磁及び消磁ができるので、
組み立てた後に着磁し、着磁模様を変える事ができる。Since the magnetic layer 2 can be magnetized and demagnetized,
After assembled, it can be magnetized to change the magnetized pattern.
【0020】図6に実施例1における回路ブロック図を
しめす。磁電変換素子17の出力をカウンター18でパ
ルス数をカウントし、振動数を調べる。演算回路部20
では、振動数の信号のうち高次のビットのデータを取り
込み、磁電変換素子に磁力が働いているか判定し、2進
数から10進数へ変換する。変換した値を表示し、外部
装置にデータを転送する。FIG. 6 shows a circuit block diagram in the first embodiment. The counter 18 counts the number of pulses of the output of the magnetoelectric conversion element 17 and checks the frequency. Arithmetic circuit unit 20
Then, high-order bit data of the frequency signal is fetched, it is determined whether or not the magnetic force is acting on the magnetoelectric conversion element, and the binary number is converted to the decimal number. Display the converted value and transfer the data to the external device.
【0021】従来の磁電変換素子は、感度の指向性が低
いため、1回転あたりの分解能が悪くエンコーダーには
適さなかった。しかし、Z効果による磁電変換素子で
は、指向性が高いので、分解能を上げる事ができた。ま
た、該磁電変換素子は、半導体プロセスで加工するた
め、多数の磁電変換素子アレイを同時に作る事ができ
る。 (実施例2)図7は、本発明の実施例2における回転円
盤1の磁性膜の着磁模様である。この例は、1周を60
分割した物である。実施例1では着磁を2段階で実施し
たが、実施例2では着磁を10段階で実施した。図8
は、最外周における外周方向の着磁力の分布である。実
施例1では10分割するのに3列必要であったが、この
方式では60分割が2列で済むので分解能をあげる事が
できる。さらに、磁電変換素子の数を減らす事ができる
ので、製造価格を下げる事ができる。Since the conventional magnetoelectric conversion element has a low sensitivity directivity, it has a poor resolution per rotation and is not suitable for an encoder. However, the magneto-electric conversion element based on the Z effect has a high directivity, so that the resolution can be increased. Further, since the magnetoelectric conversion element is processed by a semiconductor process, a large number of magnetoelectric conversion element arrays can be produced at the same time. (Embodiment 2) FIG. 7 is a magnetization pattern of the magnetic film of the rotating disk 1 in Embodiment 2 of the present invention. In this example, one lap is 60
It is a divided one. In Example 1, the magnetization was performed in two stages, whereas in Example 2, the magnetization was performed in ten stages. Figure 8
Is the distribution of the magnetic force in the outermost direction in the outermost direction. In the first embodiment, three columns are required for 10 divisions, but with this method, 60 columns can be divided into two rows, so the resolution can be increased. Furthermore, since the number of magnetoelectric conversion elements can be reduced, the manufacturing cost can be reduced.
【0022】回路ブロック図は図6の通りであり、実施
例1と同じである。実施例1では、カウンター18の高
次のビットのみ扱ったが、実施例2では磁電変換素子の
出力が多値である事から、カウンター18の出力の全て
のビットを使用した。The circuit block diagram is as shown in FIG. 6 and is the same as that of the first embodiment. In the first embodiment, only the higher order bits of the counter 18 are handled, but in the second embodiment, all the bits of the output of the counter 18 are used because the output of the magnetoelectric conversion element is multivalued.
【0023】カウンター18の出力値から円盤の磁性膜
の着磁力を推定し、10段階ある着磁力のどのレベルか
判定し、10進数に変換する。各桁について行い、角度
に変換して表示および外部装置へ出力する。The coercive force of the magnetic film on the disk is estimated from the output value of the counter 18, and the level of the coercive force in 10 steps is determined and converted into a decimal number. Performed for each digit, converted to an angle, displayed, and output to an external device.
【0024】(実施例3)図9は実施例3における主要
構成図である。実施例1では、円盤1の片面のみ使用し
たが、実施例3では円盤1の両面を使用した。磁性層2
を円盤1の両面に配置し着磁した。また、磁電変換素子
アレイ6も両面の磁性膜に対向して2ヶ所に設置し、両
面の磁性膜を検知するようにした。この方式は、光学の
透過式では不可能だが、磁気式では可能である。構造か
ら解るように、片面方式の2倍の分解能にする事ができ
る。(Third Embodiment) FIG. 9 is a main block diagram of the third embodiment. In Example 1, only one side of the disk 1 was used, but in Example 3, both sides of the disk 1 were used. Magnetic layer 2
Were placed on both sides of the disk 1 and magnetized. Further, the magnetoelectric conversion element array 6 was also installed at two locations facing the magnetic films on both sides so that the magnetic films on both sides could be detected. This method is not possible with the optical transmission type, but is possible with the magnetic type. As can be seen from the structure, the resolution can be double that of the single-sided method.
【0025】本実施例においては、円盤型ロータリーエ
ンコーダーについてのべたが、円筒型ロータリーエンコ
ーダーや、リニヤーエンコーダーについても同じ方式が
適用できる。In this embodiment, the disk type rotary encoder is described, but the same method can be applied to the cylindrical type rotary encoder and the linear encoder.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば以下
の様な効果を有する。As described above, the present invention has the following effects.
【0027】(1)回転円盤上の模様を磁性層に着磁し
て行うため、円盤と支持体を組立てた後半完成体の状態
で保留しておき、注文に応じて円盤を着磁する事ができ
る。それにより、注文を受けてから、注文に応じて着磁
すれば納品できるので、納期が短縮できる。(1) Since the pattern on the rotating disk is magnetized on the magnetic layer, it is held in the state of the latter half completed body in which the disk and the support are assembled, and the disk is magnetized according to the order. You can As a result, after receiving an order, the product can be delivered if it is magnetized according to the order, and the delivery time can be shortened.
【0028】(2)磁性層は容易に消磁・着磁ができる
ので、加工失敗時の修正や変更を容易に行え、不良品作
成によるコストアップを低減できる。(2) Since the magnetic layer can be easily demagnetized / magnetized, it is possible to easily correct or change the processing failure and reduce the cost increase due to defective product production.
【0029】(3)部品段階で円盤は共通部品となるの
で、各種注文に応じて生産ロットを小さく分ける必要が
ない。よって、量産効果のメリットを生かし、生産コス
トを低くすることができる。(3) Since the disk is a common part at the parts stage, it is not necessary to divide the production lot into small parts according to various orders. Therefore, the production cost can be reduced by taking advantage of the mass production effect.
【0030】(4)実施例2に示すように、多段階に着
磁する事により、必要とされる周の列数が少なくてすむ
ため、分解能を高くする事ができる。(4) As shown in the second embodiment, by magnetizing in multiple stages, the required number of rows of the circumference can be small, so that the resolution can be increased.
【0031】(5)実施例3に示すように、回転円盤の
両面に模様を書き込み、読みとる事で2倍の分解能にす
る事ができる。(5) As shown in the third embodiment, the pattern can be written and read on both sides of the rotating disk to double the resolution.
【0032】(6)Z効果による磁電変換素子を使用し
た事により、出力電圧を数ボルト得られ電気的ノイズに
強くできる。(6) By using the magnetoelectric conversion element based on the Z effect, it is possible to obtain an output voltage of several volts and to be resistant to electrical noise.
【0033】(7)Z効果による磁電変換素子は、指向
性が高い事から、他の磁電変換素子を使用した場合と比
較して、分解能を高く小型にする事ができる。(7) Since the magnetoelectric conversion element based on the Z effect has a high directivity, it is possible to make the resolution high and downsize as compared with the case where another magnetoelectric conversion element is used.
【図1】本発明の実施例1におけるエンコーダーの主要
構成図。FIG. 1 is a main configuration diagram of an encoder according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例1におけるエンコーダーの上面
図。FIG. 2 is a top view of the encoder according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施例1における磁気検出部の説明
図。FIG. 3 is an explanatory diagram of a magnetic detection unit according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施例1における磁性層の着磁例の説
明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a magnetization example of a magnetic layer according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の実施例1における円盤の着磁模様図。FIG. 5 is a magnetization pattern diagram of a disk according to the first embodiment of the present invention.
【図6】本発明の実施例1における電気信号回路のブロ
ック図。FIG. 6 is a block diagram of an electric signal circuit according to the first embodiment of the present invention.
【図7】本発明の実施例2における円盤の着磁模様図。FIG. 7 is a magnetization pattern diagram of a disk in Example 2 of the present invention.
【図8】本発明の実施例2における円盤の着磁力分布
図。FIG. 8 is a magnetic force distribution diagram of a disk in Example 2 of the present invention.
【図9】本発明の実施例3におけるエンコーダーの主要
構成図。FIG. 9 is a main configuration diagram of an encoder according to a third embodiment of the present invention.
【図10】従来におけるエンコーダーの主要構成図。FIG. 10 is a main configuration diagram of a conventional encoder.
【図11】従来における円盤の着磁模様図。FIG. 11 is a conventional magnetic pattern of a disk.
【図12】従来における電気信号回路のブロック図。FIG. 12 is a block diagram of a conventional electric signal circuit.
1 円盤 2 磁性層 3,4 軸受け 5 支持部材 6 磁電変換素子アレイ 7 土台 8 ホルダー支持部材 9 着磁用窓 10 電極(+) 11 電極(ー) 12 ドープ面 13 永久磁石 14 絶縁層 15 非着磁部 16 着磁部 17 磁電変換素子 18 カウンター 19 発振回路 20 演算回路 21 表示部 22 外部装置 23 Vcc 24 着磁部 25 外周方向位置 26 磁力強度 31 円盤 32 遮光膜 33,34 軸受け 35 支持部材 36 光源 37 光検出部 38 土台 39 非着磁部 40 着磁部 41 光検出部 42 2進10進変換回路 43 角度変換回路 44 表示部 45 外部装置 1 Disk 2 Magnetic Layer 3,4 Bearing 5 Supporting Member 6 Magnetoelectric Converter Element Array 7 Base 8 Holder Supporting Member 9 Magnetizing Window 10 Electrode (+) 11 Electrode (-) 12 Doped Surface 13 Permanent Magnet 14 Insulating Layer 15 Non-Adhesive Magnetic part 16 Magnetizing part 17 Magnetoelectric conversion element 18 Counter 19 Oscillation circuit 20 Arithmetic circuit 21 Display part 22 External device 23 Vcc 24 Magnetizing part 25 Outer peripheral direction position 26 Magnetic field strength 31 Disc 32 Light-shielding film 33, 34 Bearing 35 Support member 36 Light source 37 Photodetector section 38 Base 39 Non-magnetized section 40 Magnetized section 41 Photodetector section 42 Binary decimal conversion circuit 43 Angle conversion circuit 44 Display section 45 External device
Claims (3)
けられた模様を検知部材にて検知して、移動する物体の
位置を認識するエンコーダーにおいて、静止している支
持部材上に数個のZ効果による磁電変換素子(シリコン
に燐・アルミニウム・金をドープした物で、磁界の強さ
を周波数に変換し指向性を有する磁電変換パルスセンサ
ー)を配置し、移動するスケールの表面に、ある模様を
着磁した磁性層を配置し、該磁電変換素子とスケール上
の磁性層を近接させて配置し、磁性層の着磁模様を該磁
電変換素子で検知し、物体の位置を認識することを特徴
とするエンコーダー。1. An encoder for recognizing the position of a moving object by detecting a pattern attached to a scale connected to a moving object with a detection member, and a plurality of Z effects on a stationary support member. A magnetic-electric conversion element (a silicon-doped phosphorus-aluminum-gold doped magnetic-electric conversion pulse sensor that converts magnetic field strength to frequency and has directivity) is placed on the surface of the moving scale. Characterized by arranging a magnetized magnetic layer, arranging the magnetoelectric conversion element and a magnetic layer on a scale in close proximity, and detecting the magnetization pattern of the magnetic layer by the magnetoelectric conversion element to recognize the position of the object. And the encoder.
で実施したことを特徴とする請求項1記載のエンコーダ
ー。2. The encoder according to claim 1, wherein the strength of the magnetic force of the magnetic layer is divided into three or more steps.
裏両面側に配置した事を特徴とする請求項1記載のエン
コーダー。3. The encoder according to claim 1, wherein the magnetic layer and the magnetoelectric conversion element are arranged on both front and back sides of a rotating disk.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6832992A JPH05272986A (en) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6832992A JPH05272986A (en) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | encoder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05272986A true JPH05272986A (en) | 1993-10-22 |
Family
ID=13370687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6832992A Pending JPH05272986A (en) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05272986A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063344A (en) * | 2010-08-20 | 2012-03-29 | Nsk Ltd | Absolute encoder, absolute position detector, and signal pattern arrangement generation method for absolute encoder |
| US12384634B2 (en) | 2021-08-30 | 2025-08-12 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Conveyance device |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP6832992A patent/JPH05272986A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063344A (en) * | 2010-08-20 | 2012-03-29 | Nsk Ltd | Absolute encoder, absolute position detector, and signal pattern arrangement generation method for absolute encoder |
| US12384634B2 (en) | 2021-08-30 | 2025-08-12 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Conveyance device |
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