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JPH0529046U - Photosensitive plate transfer device - Google Patents

Photosensitive plate transfer device

Info

Publication number
JPH0529046U
JPH0529046U JP7744991U JP7744991U JPH0529046U JP H0529046 U JPH0529046 U JP H0529046U JP 7744991 U JP7744991 U JP 7744991U JP 7744991 U JP7744991 U JP 7744991U JP H0529046 U JPH0529046 U JP H0529046U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
pin
control unit
glass
laser plotter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7744991U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
良人 小山
耕次 八尾
享 川田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Screen Holdings Co Ltd, Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Screen Holdings Co Ltd
Priority to JP7744991U priority Critical patent/JPH0529046U/en
Publication of JPH0529046U publication Critical patent/JPH0529046U/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス乾板35をYテーブル4に対して搬入
及び搬出可能であり、しかもYテーブル4の機構を簡素
に維持できる感光板の移載装置を提供する。 【構成】 搬送装置は、グラナイド定盤3と、感光板載
置用のYテーブル4と、ピン15と、リンク16とを備
えている。感光板載置用のYテーブル4はグラナイド定
盤3上を移動可能である。ピン15は、Yテーブル4上
に上下出没可能に設けられている。リンク16は、グラ
ナイド定盤3に設けられ、ピン15を上下駆動する。
(57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a photosensitive plate transfer device capable of loading and unloading the glass dry plate 35 into and from the Y table 4, and further capable of simply maintaining the mechanism of the Y table 4. [Construction] The transport device includes a granide surface plate 3, a Y table 4 for mounting a photosensitive plate, a pin 15, and a link 16. The Y table 4 for placing the photosensitive plate is movable on the granide surface plate 3. The pin 15 is provided on the Y table 4 so as to be able to project and retract vertically. The link 16 is provided on the granide surface plate 3 and drives the pin 15 up and down.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、感光板の移載装置、特に、レーザプロッタに感光板を搬入・搬出す る感光板の移載装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive plate transfer device, and more particularly to a photosensitive plate transfer device that carries a photosensitive plate in and out of a laser plotter.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

レーザプロッタは、例えばプリント基板のマスターパターンの作成、LCD( 液晶表示装置)のマスクパターンの作成等に広く用いられている。 レーザプロッタには、可撓性の感光フィルムを専ら用いる円筒走査型のものと 、ガラス乾板等の感光板を用いる平面走査型のものとがある。温度変化に対して 伸縮しやすい感光フィルムは高精細の画像を描画するのには不向きであるので、 大画面のアクティブマトリクスLCDのマスクパターン等に用いる高精細の画像 を描画するためには、ガラス乾板等の感光板を用い得る平面走査型のレーザプロ ッタが使用されている。 The laser plotter is widely used, for example, for creating a master pattern for a printed circuit board, for creating a mask pattern for an LCD (liquid crystal display device), and the like. The laser plotter is classified into a cylindrical scanning type that exclusively uses a flexible photosensitive film and a planar scanning type that uses a photosensitive plate such as a glass dry plate. Since a photosensitive film that easily expands and contracts with respect to temperature changes is not suitable for drawing high-definition images, in order to draw high-definition images used for mask patterns of large-screen active matrix LCDs, glass is used. A plane scanning laser plotter that can use a photosensitive plate such as a dry plate is used.

【0003】 平面走査型のレーザプロッタでは、感光板をテーブル上に載置し、その感光板 を平面内の2方向で露光走査し、所望の画像を描画する。In a plane scanning laser plotter, a photosensitive plate is placed on a table, and the photosensitive plate is exposed and scanned in two directions within a plane to draw a desired image.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

平面走査型のレーザプロッタでは、従来、感光板を作業者が手で供給する構成 となっている。ところが、感光板を自動供給できないと、全体の処理を自動化で きず、例えば24時間の無人運転に対応できない。そこで、感光板をレーザプロ ッタに対し搬入及び搬出する移載装置を設けることが考えられる。 Conventionally, in a plane scanning type laser plotter, an operator manually supplies a photosensitive plate. However, if the photosensitive plate cannot be automatically supplied, the entire process cannot be automated and, for example, it is impossible to cope with unmanned operation for 24 hours. Therefore, it is conceivable to provide a transfer device that carries the photosensitive plate in and out of the laser plotter.

【0005】 この移載装置には、感光板の下面を支持しながら移動させる構成が必要となる 。ガラス乾板等の感光板は上面が傷付きやすい感光面だからである。そこで、レ ーザプロッタのテーブルに上下出没可能なピンとそれを駆動する駆動機構とを設 け、それによって感光板の下面を支えながらテーブルに感光板を載置する構成が 考えられる。This transfer device requires a structure that moves while supporting the lower surface of the photosensitive plate. This is because the upper surface of a photosensitive plate such as a glass dry plate is easily scratched. Therefore, it is conceivable that the table of the laser plotter is provided with a vertically retractable pin and a drive mechanism for driving the pin so that the photosensitive plate is placed on the table while supporting the lower surface of the photosensitive plate.

【0006】 ところが、テーブルは描画のために精密に移動させられなければならないので 、テーブル自体を複雑な構造にしたり、大重量にしたりすることは避けなければ ならない。 本考案の目的は、感光板をテーブルに対して搬入及び搬出可能であり、しかも テーブルの構成を簡素に維持できる感光板の移載装置を提供することにある。However, since the table has to be precisely moved for drawing, it is necessary to avoid making the table itself into a complicated structure or making it heavy. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photosensitive plate transfer device capable of loading and unloading a photosensitive plate with respect to a table and maintaining the structure of the table simply.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案に係る感光板の移載装置は、架台と、感光板載置用テーブルと、感光板 受け部材と、駆動部とを備えている。感光板載置用テーブルは架台上を1方向に 移動可能である。感光板受け部材は、テーブル上に上下出没可能に設けられてい る。駆動部は、架台上にテーブルの移動方向に沿って設けられ、感光板受け部材 を上下駆動する。 A photosensitive plate transfer device according to the present invention includes a mount, a photosensitive plate mounting table, a photosensitive plate receiving member, and a drive unit. The photosensitive plate mounting table can be moved in one direction on the mount. The photosensitive plate receiving member is provided on the table so as to be vertically retractable. The drive unit is provided on the mount along the moving direction of the table and drives the photosensitive plate receiving member up and down.

【0008】[0008]

【作用】[Action]

本考案に係る感光板の移載装置では、感光板がテーブル上に搬入されると、感 光板受け部材がテーブル上に進出して感光板を受け取り、さらにテーブル内に没 入して感光板をテーブル上に配置する。このとき、感光板受け部材は、架台に設 けられた駆動部により上下駆動される。つまり、感光板受け部材を上下駆動する 駆動部は、テーブルとは別の架台に設けられており、テーブルに駆動部を配置す る必要がなくなる。このため、テーブルの構成が簡素になる。また、駆動部はテ ーブルの移動方向に沿って設けられているため、テーブルの移動位置に拘らず、 感光板受け部材を上下駆動できる。 In the photosensitive plate transfer device according to the present invention, when the photosensitive plate is carried onto the table, the photosensitive plate receiving member advances onto the table to receive the photosensitive plate, and further retracts into the table to mount the photosensitive plate. Place it on the table. At this time, the photosensitive plate receiving member is driven up and down by the driving unit provided on the frame. In other words, the drive unit that drives the photosensitive plate receiving member up and down is provided on a frame different from the table, and it is not necessary to dispose the drive unit on the table. Therefore, the structure of the table is simplified. Further, since the drive unit is provided along the moving direction of the table, the photosensitive plate receiving member can be moved up and down regardless of the moving position of the table.

【0009】[0009]

【実施例】【Example】

〔構成〕 図1は本考案の一実施例を採用したレーザプロッタを示している。レーザプロ ッタは、分割ラスタ方式を採用した平面走査型のレーザプロッタ本体1と、レー ザプロッタ本体1に並設配置された自動ローダ2とを備えている。レーザプロッ タ本体1は、種々のサイズのガラス乾板及びフィルムを感光材料として用い、さ らに、画像データで変調されたレーザ光によりマスクパターン等を高速で描画す る。自動ローダ2は、レーザプロッタ本体1にセットするためのガラス乾板を複 数枚貯蔵し、貯蔵されたガラス乾板のレーザプロッタ本体1へのロード及びレー ザプロッタ本体1からのアンロードを自動的に行う。また自動ローダ2は、内部 に後述する位置決め装置を備えており、レーザプロッタ本体1にガラス乾板をロ ードする際の精密な位置決めを行う。 [Structure] FIG. 1 shows a laser plotter adopting an embodiment of the present invention. The laser plotter includes a plane scanning type laser plotter main body 1 adopting a divided raster system, and an automatic loader 2 arranged in parallel with the laser plotter main body 1. The laser plotter main body 1 uses glass dry plates and films of various sizes as photosensitive materials, and further draws a mask pattern or the like at high speed with laser light modulated with image data. The automatic loader 2 stores a plurality of glass plates to be set in the laser plotter body 1, and automatically loads the stored glass plates to the laser plotter body 1 and unloads from the laser plotter body 1. .. Further, the automatic loader 2 is internally provided with a positioning device, which will be described later, and performs precise positioning when the glass plate is loaded on the laser plotter body 1.

【0010】 レーザプロッタ本体1は、図2に示すように、平板状のグラナイド定盤3と、 このグラナイド定盤3上に載置されたYテーブル4と、Yテーブル4の図左方に 配置されたレーザ測長装置6と、Yテーブル4の図奥側に配置された光学ヘッド 5と、光学ヘッド5の奥側に配置されたレーザプロッタ制御部7とから主に構成 されている。As shown in FIG. 2, the laser plotter body 1 is arranged on a flat plate-shaped granide platen 3, a Y table 4 placed on the granide platen 3, and a Y table 4 on the left side of the figure. The laser length measuring device 6 is provided, an optical head 5 is disposed on the back side of the Y table 4, and a laser plotter control unit 7 is disposed on the back side of the optical head 5.

【0011】 Yテーブル4は、図3に示すようにY方向に沿って配置された2本のレール1 0,10上にエアベアリングにてY方向移動自在に支持されている。また、Yテ ーブル4は、レール10,10間にレール10と平行に配置されたボールねじ1 2と、ボールねじ12の一端に接続されたモータ11とを含む駆動機構により、 Y方向に往復駆動される。The Y table 4 is supported by air bearings on two rails 10 and 10 arranged along the Y direction so as to be movable in the Y direction, as shown in FIG. The Y table 4 is reciprocated in the Y direction by a drive mechanism including a ball screw 12 arranged between the rails 10 and 10 in parallel with the rail 10 and a motor 11 connected to one end of the ball screw 12. Driven.

【0012】 Yテーブル4には、9つの小孔13とガラス乾板を吸着するための多数の吸着 孔14とが形成されている。小孔13は、Y方向と直交するX方向に4列、ガラ ス乾板のサイズに応じて形成されている。小孔13には、Yテーブル13の表面 に出没可能なピン15,15…が嵌入している。 吸着孔14の吸着エリアは、3つのエリア19a,19b,19cからなり、 ガラス乾板のサイズに応じて、これらの吸着エリア19a,19b,19cが切 り換え得るようになっている。各吸着エリア19a,19b,19cは、電磁弁 23a,23b,23cを介して、モータ27付の真空ポンプ24に接続されて いる。これらの電磁弁23a,23b,23cは、吸着エリアに応じてオンオフ する。なおこれらの電磁弁23a,23b,23cは、移載時には全てオンし、 全ての吸着エリア19a,19b,19cにおいて吸着動作を行う。また、ガラ ス乾板を保持する際には、次のように吸着動作を行う。例えば、小サイズのガラ ス乾板の場合には、電磁弁23aだけがオンし、他の電磁弁23b,23cはオ フする。また、中サイズのガラス乾板の場合には、電磁弁23aと電磁弁23b とがオンし、電磁弁23cはオフする。さらに大サイズのガラス乾板の場合には 、全ての電磁弁23a,23b,23cがオンする。このようにしてガラス乾板 のサイズに応じて吸着エリアが切り換えられる。The Y table 4 is formed with nine small holes 13 and a large number of suction holes 14 for sucking the glass dry plate. The small holes 13 are formed in four rows in the X direction orthogonal to the Y direction according to the size of the glass plate. The small holes 13 are fitted with pins 15, 15 ... Which can be retracted from the surface of the Y table 13. The suction area of the suction hole 14 is composed of three areas 19a, 19b, 19c, and these suction areas 19a, 19b, 19c can be switched according to the size of the glass plate. Each adsorption area 19a, 19b, 19c is connected to a vacuum pump 24 with a motor 27 via electromagnetic valves 23a, 23b, 23c. These solenoid valves 23a, 23b, 23c are turned on / off according to the adsorption area. It should be noted that these solenoid valves 23a, 23b, 23c are all turned on at the time of transfer and perform suction operation in all suction areas 19a, 19b, 19c. Also, when holding the glass plate, the suction operation is performed as follows. For example, in the case of a small glass plate, only the solenoid valve 23a is turned on and the other solenoid valves 23b and 23c are turned off. In the case of a medium-sized glass plate, the solenoid valves 23a and 23b are turned on and the solenoid valve 23c is turned off. In the case of a larger glass plate, all the solenoid valves 23a, 23b, 23c are turned on. In this way, the suction area is switched according to the size of the glass plate.

【0013】 また、Yテーブル4の下方には、ピン15,15…のそれぞれの列に対応して 、Y方向に長いリンク16が配置されている。リンク16はレバー17に接続さ れており、レバー17はモータ18により旋回する構成となっている。ここでは レバー17の旋回によりリンク16が昇降し、リンク16の上面に接触している ピン15が出没する。Further, below the Y table 4, links 16 that are long in the Y direction are arranged corresponding to the respective rows of the pins 15, 15 ,. The link 16 is connected to a lever 17, which is rotated by a motor 18. Here, the link 16 moves up and down by the turning of the lever 17, and the pin 15 in contact with the upper surface of the link 16 appears and disappears.

【0014】 図12は、ガラス乾板35のサイズに応じたYテーブル4の原点を示している 。 図に示すように、ガラス乾板35のサイズが異なると(図で35a,35b, 35c)、ガラス乾板35の端部の位置が相異する。端部が異なるガラス乾板3 5をYテーブル4に端基準で載置するため、移載時のYテーブル4の原点位置を 移動させてガラス乾板35を受け取るようにする。FIG. 12 shows the origin of the Y table 4 according to the size of the glass dry plate 35. As shown in the figure, when the size of the glass dry plate 35 is different (35a, 35b, 35c in the figure), the positions of the end portions of the glass dry plate 35 are different. Since the glass plates 35 having different ends are placed on the Y table 4 based on the ends, the origin position of the Y table 4 at the time of transfer is moved to receive the glass plates 35.

【0015】 従って異なるサイズのガラス乾板35a,35b,35cをYテーブル4に載 置する場合、端基準側のピンの位置は、例えばl1,l2に示される量だけずれ る。従って各ピン15上を通るP1,P2,P3及びP4で示されるラインに位 置するリンク16の長さは、各々ライン上に位置するピンの最大間隔と上記ずれ 量とを考慮して決める必要がある。つまり、ラインP1,P2,P3及びP4に 位置するリンク16は夫々l3,l4,l5及びl3で示される長さ以上必要で ある。Therefore, when the glass dry plates 35a, 35b, 35c of different sizes are placed on the Y table 4, the positions of the pins on the end reference side are displaced by the amounts indicated by l1, l2, for example. Therefore, the length of the link 16 located on the line indicated by P1, P2, P3, and P4 passing over each pin 15 must be determined in consideration of the maximum distance between the pins located on each line and the amount of deviation. There is. In other words, the links 16 located on the lines P1, P2, P3 and P4 need to have the lengths shown by l3, l4, l5 and l3, respectively.

【0016】 図4は、Yテーブル4詳細構造を示し、図5は、ピン15周りの詳細構造を示 している。 Yテーブル4は上テーブル71と、その下面に設けられた下テーブル72とか ら構成されている。上テーブル71の下面と下テーブル72との間には、空間7 3が形成されている。この空間73は、ガラス乾板のサイズに応じて仕切られた 空間とになっており、それぞれ各吸着エリア19a,19b,19cに対応して いる。この空間73は、吸着孔14を介して大気と連通している。FIG. 4 shows the detailed structure of the Y table 4, and FIG. 5 shows the detailed structure around the pin 15. The Y table 4 is composed of an upper table 71 and a lower table 72 provided on the lower surface thereof. A space 73 is formed between the lower surface of the upper table 71 and the lower table 72. The space 73 is a space partitioned according to the size of the glass plate, and corresponds to the suction areas 19a, 19b and 19c, respectively. The space 73 communicates with the atmosphere via the suction holes 14.

【0017】 ピン15は、上下1対のリニアブッシュ65により上下移動自在に支持されて いる。リニアブッシュ65は、Yテーブル4に挿入されたつば付き円筒状のガイ ド64の内周に嵌入されている。 リニアブッシュ65,65の間においてピン15にはスプリング67が嵌め込 まれている。スプリング67は、ピン15の中間にE型止め輪80で係止された スプリング受け81と上側のリニアブッシュ65との間に縮設されており、この 結果スプリング67はピン15を下方に付勢している。The pin 15 is supported by a pair of upper and lower linear bushes 65 so as to be vertically movable. The linear bush 65 is fitted in the inner circumference of a cylindrical guide 64 with a collar inserted into the Y table 4. A spring 67 is fitted in the pin 15 between the linear bushes 65, 65. The spring 67 is contracted between the spring receiver 81 locked by the E-shaped retaining ring 80 in the middle of the pin 15 and the upper linear bush 65. As a result, the spring 67 urges the pin 15 downward. is doing.

【0018】 ピン15の下端には、水平軸回りに回動自在なローラ74が設けられている。 このローラ74は、リンク16の上面に対向している。ピン15は、リンク16 が下降するとスプリング67の付勢力により下降する。ピン15の中間部には、 リンク16の延在方向と直交する水平方向のスプリングピン79が打ち込まれて いる。スプリングピン79はガイド64に設けられた上下方向に長い1対のガイ ド溝78内に突出し、ピン15の回転を規制している。ガイド64の外周の2か 所には、Oリング68,69が配置されている。このOリング68,69は、空 間73を気密に封止するためのものである。A roller 74 that is rotatable around a horizontal axis is provided at the lower end of the pin 15. The roller 74 faces the upper surface of the link 16. When the link 16 descends, the pin 15 descends due to the urging force of the spring 67. A spring pin 79 in the horizontal direction, which is orthogonal to the extending direction of the link 16, is driven into the middle portion of the pin 15. The spring pin 79 protrudes into a pair of vertically extending guide grooves 78 provided in the guide 64, and restricts rotation of the pin 15. O-rings 68 and 69 are arranged at two locations on the outer circumference of the guide 64. The O-rings 68 and 69 are for hermetically sealing the space 73.

【0019】 リンク16は、前述したようにレバー17の旋回により昇降するが、この際、 複数のレバー75,75により、二点鎖線で示すごとく平行移動する。なお、レ バー75は、グラナイド定盤3上に配置されたブラケット76に回転自在に支持 されている。 前述した如く、ピン15を昇降させる駆動部であるモータ18、リンク16、 レバー17,75は夫々グラナイド定盤3に配置されているので、Yテーブル4 自体の機構は簡素である。The link 16 moves up and down by the turning of the lever 17 as described above, but at this time, the link 16 is moved in parallel by the plurality of levers 75, 75 as shown by the chain double-dashed line. The lever 75 is rotatably supported by a bracket 76 arranged on the granide surface plate 3. As described above, the motor 18, which is the drive unit for moving the pin 15 up and down, the link 16, and the levers 17 and 75 are arranged on the granide surface plate 3, so that the mechanism of the Y table 4 itself is simple.

【0020】 光学ヘッド5は、図2に示すように、Y方向と直交するX方向に沿う1対のガ イド部材20,20に移動自在に支持されている。ガイド部材20にはエアベア リングが採用されている。両ガイド部材20の間には、モータ22により駆動さ れるボールねじ21が配置されており、モータ22の回転駆動により光学ヘッド 5がX方向に往復移動する。As shown in FIG. 2, the optical head 5 is movably supported by a pair of guide members 20, 20 along the X direction orthogonal to the Y direction. An air bearing is adopted as the guide member 20. A ball screw 21 driven by a motor 22 is disposed between both guide members 20, and the optical head 5 reciprocates in the X direction by the rotational driving of the motor 22.

【0021】 レーザ測長装置6は、HeNeレーザ光源25及び光学系26を備えており、 Yテーブル4と、光学ヘッド5との相対距離を測定する。レーザ測長装置6は、 この相対距離を測定することにより、Yテーブル4及び光学ヘッド5の位置及び 速度の計測と、走査のタイミング信号の発生とを行う。 レーザプロッタ制御部7は、画像の記録部、レーザプロッタ本体1内の各モー タのサーボ制御、光学ヘッド5内の光学系の制御等を行っている。レーザプロッ タ制御部7はマイクロコンピュータ等を備えている。The laser length measuring device 6 includes a HeNe laser light source 25 and an optical system 26, and measures the relative distance between the Y table 4 and the optical head 5. The laser length measuring device 6 measures the relative distance to measure the position and speed of the Y table 4 and the optical head 5 and generate a scanning timing signal. The laser plotter control unit 7 performs an image recording unit, servo control of each motor in the laser plotter body 1, control of an optical system in the optical head 5, and the like. The laser plotter controller 7 includes a microcomputer and the like.

【0022】 自動ローダ2は、図6に示すように、その一端に配置された10枚のガラス乾 板35を各々独立して貯蔵するためのストッカ30と、ストッカ30の下方に配 置された位置決め装置31と、ストッカ30よりも図奥側に配置されたマニピュ レータ32とを主に備えている。 ストッカー30は、自動ローダ2の一端から引き出し可能な10枚のパレット 34,34…を備えており、パレット34上にはガラス乾板35が各々1枚ずつ 載置される。パレット34の図奥側には、後述するマニピュレータ32のアーム 60との干渉防止用の切欠きが形成されている。ガラス乾板35は、パレット3 4の2方向の端部に配置された直交する位置決め部材36,37により、図左右 方向の中心基準に位置決めされる。なお、位置決め部材36,37はガラス乾板 35のサイズに応じて着脱可能になっている。As shown in FIG. 6, the automatic loader 2 is arranged below the stocker 30 and a stocker 30 for independently storing 10 glass plates 35 arranged at one end thereof. A positioning device 31 and a manipulator 32 arranged on the far side of the stocker 30 in the drawing are mainly provided. The stocker 30 includes ten pallets 34, 34 ... Which can be pulled out from one end of the automatic loader 2, and one glass dry plate 35 is placed on each pallet 34. A notch for preventing interference with the arm 60 of the manipulator 32 described later is formed on the back side of the pallet 34 in the drawing. The glass dry plate 35 is positioned with reference to the center in the left-right direction in the figure by the orthogonal positioning members 36 and 37 arranged at the ends of the pallet 34 in the two directions. The positioning members 36 and 37 are detachable according to the size of the glass dry plate 35.

【0023】 位置決め装置31は、ガラス乾板35を水平面上下方向に移動自在に支持する 複数フリーベアリング40と、フリーベアリング40上に載置されたガラス乾板 35を位置決めするための2組の位置決め部材41,42とを備えている。位置 決め部材41は、ガラス乾板をマニピュレータ32の搬送方向(A方向)と直交 する方向に位置決めするためのものである。The positioning device 31 includes a plurality of free bearings 40 for movably supporting the glass dry plate 35 in the vertical direction of the horizontal plane, and two sets of positioning members 41 for positioning the glass dry plate 35 placed on the free bearings 40. , 42 and. The positioning member 41 is for positioning the glass dry plate in a direction orthogonal to the transport direction (direction A) of the manipulator 32.

【0024】 位置決め部材41は、モータ43a,43bで搬送方向(A方向)と直交する 方向に移動可能な当接部材44,45をそれぞれ備えている。当接部材44は、 旋回自在なレバー46aと、レバー46aの一端に鉛直軸回りに回転自在に支持 されたローラ46とを備えている。レバー46aは対向する当接部材45側に図 示しないスプリングにより付勢されている。また、当接部材45は、その上部に 回転自在なローラ47を備えている。この、当接部材45のローラ47が、搬送 方向と直交する方向の基準端となる。The positioning member 41 includes contact members 44 and 45 that are movable by motors 43a and 43b in a direction orthogonal to the transport direction (direction A). The contact member 44 includes a rotatable lever 46a and a roller 46 supported at one end of the lever 46a so as to be rotatable around a vertical axis. The lever 46a is biased toward the facing contact member 45 side by a spring (not shown). Further, the contact member 45 is provided with a rotatable roller 47 on its upper part. The roller 47 of the contact member 45 serves as a reference end in the direction orthogonal to the transport direction.

【0025】 位置決め部材42は、マニピュレータ32の搬送方向(A方向)の位置決めを 行う部材であり、固定された当接部材50と、移動可能な当接部材51とを備え ている。当接部材50は、自動ローダ2の手前側に幅方向に延びて配置されてい る。当接部材50の上面には所定間隔をおいてローラ52,52が鉛直軸回りに 回転自在に支持されている。当接部材51は上面に旋回自在な2つのレバー54 a(一方は図示せず)と、レバー54の一端に鉛直軸回りに回転自在に支持され たローラ54とを備えている。レバー54aは、当接部材50側に図示しないス プリングにより付勢されている。当接部材50のローラ52,52が搬送方向( A方向)の基準端となる。The positioning member 42 is a member that positions the manipulator 32 in the transport direction (direction A), and includes a fixed contact member 50 and a movable contact member 51. The contact member 50 is arranged on the front side of the automatic loader 2 so as to extend in the width direction. Rollers 52, 52 are rotatably supported on the upper surface of the contact member 50 at predetermined intervals so as to be rotatable around a vertical axis. The contact member 51 includes two levers 54a (one of which is not shown) rotatable on the upper surface, and a roller 54 supported at one end of the lever 54 so as to be rotatable around a vertical axis. The lever 54a is urged toward the contact member 50 by a spring (not shown). The rollers 52, 52 of the contact member 50 serve as a reference end in the transport direction (direction A).

【0026】 マニピュレータ32は、上下、旋回及び径方向の3軸に移動可能となっている 。これは径方向(A方向)に移動し、ガラス乾板35の重心を含む下面を支持す るアーム60と、アーム60を径方向に移動可能に支持する旋回部61と、旋回 部61を旋回方向(B方向)及び上下方向(C方向)に移動可能に支持するボデ ィ63とにより実現される。アーム60の上面には滑り止め部材(図示せず)が 取り付けられている。ボディ63内には、旋回及び上下駆動用のモータ(図示せ ず)が配置されており、旋回部61には、径方向駆動用のモータ(図示せず)が 配置されている。The manipulator 32 is movable in up and down, turning, and three axes in the radial direction. This is an arm 60 that moves in the radial direction (direction A) and supports the lower surface including the center of gravity of the glass dry plate 35, a swivel portion 61 that supports the arm 60 so that it can move in the radial direction, and a swivel portion 61 in the swivel direction. It is realized by a body 63 that supports the body (moving in the B direction) and the up-down direction (direction C). A non-slip member (not shown) is attached to the upper surface of the arm 60. A motor (not shown) for turning and vertical driving is arranged in the body 63, and a motor (not shown) for driving the radial direction is arranged in the turning portion 61.

【0027】 自動ローダ2の1側面には、連通口70が形成されている。連通口70はレー ザプロッタ本体1に連通しており、この連通口70を介してレーザプロッタ本体 1に対してガラス乾板35の搬送を行う。また、レーザプロッタ本体1と自動ロ ーダ2との間は光を遮断する構造となっており、自動ローダ2のパレット34に ガラス乾板35を一端セットした後はオペレータは作業を全て明室にて行える。A communication port 70 is formed on one side surface of the automatic loader 2. The communication port 70 communicates with the laser plotter body 1, and the glass dry plate 35 is conveyed to the laser plotter body 1 via the communication port 70. In addition, the structure is such that light is cut off between the laser plotter body 1 and the automatic loader 2, and after the glass plate 35 is once set on the pallet 34 of the automatic loader 2, the operator does all the work in a bright room. Can be done.

【0028】 次にレーザプロッタの制御系の構成について説明する。レーザプロッタの制御 系は、図7に示すように、エンジニアリングワークステーションを含む主制御部 100を備えている。主制御部100には、キーボード101、CRT102、 磁気ディスク103及び他の入出力部が接続されている。また、主制御部100 にはレーザプロッタ制御部7と、ローダ制御部104とがそれぞれ接続されてい る。レーザプロッタ制御部7には、レーザプロッタ本体1の各制御素子が接続さ れている。またローダ制御部104には、自動ローダ2内の各制御素子が接続さ れている。Next, the configuration of the control system of the laser plotter will be described. As shown in FIG. 7, the control system of the laser plotter includes a main controller 100 including an engineering workstation. A keyboard 101, a CRT 102, a magnetic disk 103, and other input / output units are connected to the main control unit 100. A laser plotter controller 7 and a loader controller 104 are connected to the main controller 100. Each control element of the laser plotter body 1 is connected to the laser plotter control unit 7. Each control element in the automatic loader 2 is connected to the loader control unit 104.

【0029】 次に、このように構成されたレーザプロッタの制御機能について説明する。図 8及び図9は主制御部100の制御フローチャート、図10はレーザプロッタ制 御部7の制御フローチャート、図11はローダ制御部104の制御フローチャー トである。主制御 オペレータにより主制御部100の起動ボタンが押されると、図8のステップ S1でCPU内のメモリ等の初期化を行う。ステップS2では、キーボード10 1等により、作業データの入力を行う。ここでは、例えばストッカ30の段数、 ガラス乾板のサイズ、描画データが格納された描画ファイル名、感光材料の種類 、描画画素サイズ等のデータを入力する。続いてステップS3では、オペレータ により作業開始指令を待つ。Next, the control function of the laser plotter thus configured will be described. 8 and 9 are control flowcharts of the main control unit 100, FIG. 10 is a control flowchart of the laser plotter control unit 7, and FIG. 11 is a control flow chart of the loader control unit 104. When the start button of the main control unit 100 is pressed by the main control operator, the memory in the CPU is initialized in step S1 of FIG. In step S2, work data is input using the keyboard 101 or the like. Here, for example, the number of stages of the stocker 30, the size of the glass plate, the name of the drawing file in which the drawing data is stored, the type of photosensitive material, the drawing pixel size, and other data are input. Then, in step S3, the operator waits for a work start command.

【0030】 オペレータが、ストッカ30のパレット34に、上段から順に描画対象の各サ イズのガラス乾板35をセットする等の準備作業を終え、作業開始指令を入力す ると、ステップS4に移行する。ステップS4では、レーザプロッタ制御部7や ローダ制御部104からの情報により、装置の状態チェックを行う。例えば、ガ ラス乾板35がYテーブル4や位置決め装置31上に存在しているか否か、ピン 15,15が下降しているか否か等のチェックを行う。ステップS5では、レー ザプロッタ制御部7へ、Yテーブル4の原点移動指令を出力する。このこの原点 移動指令は、ガラス乾板のサイズに応じた指令となる。When the operator finishes the preparatory work such as setting the glass dry plates 35 of respective sizes to be drawn on the pallet 34 of the stocker 30 in order from the top and inputs a work start command, the process proceeds to step S4. .. In step S4, the state of the device is checked based on the information from the laser plotter controller 7 and the loader controller 104. For example, it is checked whether or not the glass plate 35 is present on the Y table 4 or the positioning device 31 and whether or not the pins 15 and 15 are lowered. In step S5, a command for moving the origin of the Y table 4 is output to the laser plotter control unit 7. This origin movement command is a command according to the size of the glass plate.

【0031】 ステップS6では、レーザプロッタ制御部7からのテーブル原点移動完了信号 (ステップP7)を待つ。レーザプロッタ制御部7から原点移動完了信号が出力 されるとステップS7に移行する。ステップS7では、ローダ制御部104に対 してロード指令を出力する。ステップS8では、ローダ制御部104からガラス 乾板35のサイズチェック結果を受取り、ガラス乾板35のサイズが作業データ のサイズと同じか否かを判断する。ガラス乾板35のサイズが入力された作業デ ータが示すサイズと同じ場合にはステップS9に進む。ステップS9では、ロー ダ制御部104からの乾板移動完了信号(ステップR9)を待つ。ローダ制御部 104から乾板移動完了信号が出力されるとステップS10に移行する。ステッ プS10では、レーザプロッタ制御部7に対し、ピン15の上昇指令を出力する 。ステップS11では、レーザプロッタ制御部7からのピン上昇完了信号(ステ ップP9)を待つ。レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信号を受け取ると ステップS12に移行する。ステップS12では、ローダ制御部104に対し、 マニピュレータ32のアーム60の引き込み指令を出力する。In step S6, the table origin movement completion signal (step P7) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the origin movement completion signal is output from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S7. In step S7, a load command is output to the loader control unit 104. In step S8, the size check result of the glass plate 35 is received from the loader control unit 104, and it is determined whether the size of the glass plate 35 is the same as the size of the work data. When the size of the glass dry plate 35 is the same as the size indicated by the input work data, the process proceeds to step S9. In step S9, a dry plate movement completion signal (step R9) from the load controller 104 is awaited. When the dry plate movement completion signal is output from the loader control unit 104, the process proceeds to step S10. In step S10, a command for raising the pin 15 is output to the laser plotter controller 7. In step S11, the pin rise completion signal (step P9) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the pin rising completion signal is received from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S12. In step S12, a command to retract the arm 60 of the manipulator 32 is output to the loader control unit 104.

【0032】 続いて図9のステップS13では、ローダ制御部104からのアーム60の引 き込み完了信号(ステップR12)を待つ。アーム60の引き込み完了信号を受 け取るとステップS14に進む。ステップS14では、レーザプロッタ制御部7 に対して、ピン下降指令を出力する。ステップS15では、レーザプロッタ制御 部7からのピン下降完了信号(ステップP13)を待つ。レーザプロッタ制御部 7からピン下降完了信号を受け取るとステップS16に進む。Subsequently, in step S13 of FIG. 9, the loader controller 104 waits for a pull-in completion signal of the arm 60 (step R12). When the pull-in completion signal of the arm 60 is received, the process proceeds to step S14. In step S14, a pin down command is output to the laser plotter controller 7. In step S15, a pin down completion signal (step P13) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the pin lowering completion signal is received from the laser plotter controller 7, the process proceeds to step S16.

【0033】 ステップS16では、レーザプロッタ制御部7に対して、描画指令を出力する 。ステップS17では、レーザプロッタ制御部7からの描画完了信号(ステップ P17)を待つ。ステップS17で、レーザプロッタ制御部7から描画完了信号 を受け取るとステップS18に進む。ステップS18では、レーザプロッタ制御 部7に対して、ピン上昇指令を出力する。ステップS19では、レーザプロッタ 制御部7からのピン上昇完了信号(ステップP20)を待つ。レーザプロッタ制 御部7からピン上昇完了信号を受け取るとステップS20に進む。In step S16, a drawing command is output to the laser plotter control unit 7. In step S17, a drawing completion signal (step P17) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the drawing completion signal is received from the laser plotter controller 7 in step S17, the process proceeds to step S18. In step S18, a pin up command is output to the laser plotter control unit 7. In step S19, a pin rising completion signal (step P20) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the pin rising completion signal is received from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S20.

【0034】 ステップS20では、ローダ制御部104に対して、アンロード指令を出力す る。ステップS21では、ローダ制御部104からのアーム60の挿入完了信号 (ステップR17)を待つ。アーム60の挿入完了信号を受け取ると、ステップ S22に進む。ステップS22では、レーザプロッタ制御部7に対して、ピン下 降指令を出力する。ステップS23では、レーザプロッタ制御部7からのピン下 降完了信号(ステップP23)を待つ。レーザプロッタ制御部7からピン下降完 了信号を受け取るとステップS24に移行する。ステップS24では、ローダ制 御部104に対して、乾板収納指令を出力する。ステップS25では、ステップ S2(図8)での入力情報に基づき、作業終了であるか否かを判断する。作業終 了ではないと判断されたときにはステップS5に戻る。また、作業終了であると 判断された場合には処理を終了する。In step S20, an unload command is output to the loader control unit 104. In step S21, an insertion completion signal (step R17) for the arm 60 from the loader control unit 104 is waited for. When the insertion completion signal of the arm 60 is received, the process proceeds to step S22. In step S22, a pin down command is output to the laser plotter controller 7. In step S23, a pin down movement completion signal (step P23) from the laser plotter controller 7 is waited for. When the pin lowering completion signal is received from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S24. In step S24, a dry plate storage command is output to the loader control unit 104. In step S25, based on the input information in step S2 (FIG. 8), it is determined whether or not the work is completed. When it is determined that the work is not completed, the process returns to step S5. If it is determined that the work is finished, the process is finished.

【0035】 一方、図8のステップS8で、入力された作業データと異なるサイズのガラス 乾板35がロードされたと判断された場合には、ステップS26に進む。ステッ プS26ではローダ制御部104からの乾板収納完了信号(ステップR15)を 待つ。収納完了信号が出力されるとステップS5に戻る。レーザプロッタ制御 レーザプロッタ制御部7では、図10のステップP1で、各部を初期位置にセ ットする等の初期化を行う。ステップP2では、Yテーブル4のガラス乾板サイ ズに応じた原点移動指令(ステップS5)が主制御部100から出力されたか否 かを判断する。原点移動指令が出力されていないと判断された場合にはステップ P3に進む。ステップP3では、主制御部100からピン上昇指令(ステップS 10)が出力されたか否かを判断する。ピン上昇指令が出力されていないと判断 された場合にはステップP4に移行する。ステップP4では、主制御部100か ら描画指令(ステップS16)がなされたか否かを判断する。主制御部100か ら描画指令が出力されていないと判断したときにはステップP5に移行する。ス テップP5では、他の処理を実行する。ステップP5の他の処理が終了するとス テップP2に戻る。On the other hand, if it is determined in step S8 of FIG. 8 that the glass dry plate 35 having a size different from the input work data is loaded, the process proceeds to step S26. In step S26, a dry plate storage completion signal (step R15) from the loader controller 104 is waited for. When the storage completion signal is output, the process returns to step S5. Laser plotter control The laser plotter control unit 7 performs initialization such as setting each unit to the initial position in step P1 of FIG. In step P2, it is determined whether or not the origin movement command (step S5) according to the glass dry plate size of the Y table 4 is output from the main control unit 100. If it is determined that the origin movement command is not output, the process proceeds to step P3. In Step P3, it is determined whether or not the pin rising command (Step S10) is output from the main control unit 100. If it is determined that the pin-raising command has not been output, then the flow shifts to step P4. In Step P4, it is determined whether or not a drawing command (Step S16) has been issued from the main control unit 100. When it is determined that the drawing command is not output from the main control unit 100, the process proceeds to step P5. At step P5, other processing is executed. When the other processes of step P5 are completed, the process returns to step P2.

【0036】 ステップP2で主制御部100から原点移動指令(ステップS5)が出力され たと判断されるとステップP6に進む。ステップP6では、ガラス乾板35のサ イズに応じた原点にYテーブル4を移動させる。ステップP7では、Yテーブル 4の原点移動完了信号を主制御部100に出力する。ステップP7の原点移動完 了信号の出力が終わるとステップP2に戻る。When it is determined in step P2 that the origin control command (step S5) is output from the main control unit 100, the process proceeds to step P6. In step P6, the Y table 4 is moved to the origin according to the size of the glass dry plate 35. In Step P7, the origin movement completion signal of the Y table 4 is output to the main control unit 100. When the output of the origin movement completion signal in step P7 ends, the process returns to step P2.

【0037】 ステップP3で、主制御部100からピン上昇指令(ステップS10)が出力 されたと判断されるとステップP8移行する。ステップP8では、モータ18を 回転させ、レバー17を旋回させてリンク16を上昇させ、ピン15を上昇させ る。ステップP9ではピン15の上昇完了信号を主制御部100に対して出力す る。ステップP10では、主制御部100からのピン下降指令(ステップS14 )を待つ。主制御部100からピン下降指令を受け取ると、ステップP11に移 行する。When it is determined in step P3 that the main controller 100 has issued the pin up command (step S10), the process proceeds to step P8. In Step P8, the motor 18 is rotated, the lever 17 is turned, the link 16 is raised, and the pin 15 is raised. In step P9, the rising completion signal of the pin 15 is output to the main controller 100. In Step P10, the main controller 100 waits for a pin lowering command (Step S14). When the pin lowering command is received from the main controller 100, the process proceeds to step P11.

【0038】 ステップP11では、電磁弁23a,23b,23cをそれぞれオンし、真空 ポンプ24により、吸着孔14,14…からエアを吸い込み、吸着動作を開始す る。ステップP12では、モータ18を逆方向に回転させ、レバー17を旋回さ せてリンク16を下降させてピン15を下降させる。ステップP13では、主制 御部100に対し、図示しないセンサからの信号に基づき、ピン下降完了信号を 出力する。ステップP14では、吸着孔14,14…の吸着エリア19a,19 b,19cを、ガラス乾板35のサイズに応じた切り換える。例えば小サイズの ガラス乾板35のときには、電磁弁23b,23cをオフし、電磁弁23aだけ をオンし、Yテーブル4の手前側の吸着エリア19aにより、ガラス乾板35を 吸着保持する。In step P11, the solenoid valves 23a, 23b, 23c are turned on, and the vacuum pump 24 sucks air from the suction holes 14, 14, ... And starts the suction operation. In Step P12, the motor 18 is rotated in the opposite direction, the lever 17 is turned, the link 16 is lowered, and the pin 15 is lowered. In Step P13, a pin lowering completion signal is output to the main control unit 100 based on a signal from a sensor (not shown). In step P14, the suction areas 19a, 19b, 19c of the suction holes 14, 14 ... Are switched according to the size of the glass dry plate 35. For example, in the case of a small-sized glass dry plate 35, the solenoid valves 23b and 23c are turned off, only the solenoid valve 23a is turned on, and the glass dry plate 35 is suction-held by the suction area 19a on the front side of the Y table 4.

【0039】 ステップP4で、主制御部100から描画指令(ステップS16)が出力され たと判断するとステップP15に移行する。ステップP15では、Yテーブル4 及び光学ヘッド5を移動させ、画像データで変調されたレーザ光によりガラス乾 板上に所定の画像を描画する描画処理を行う。この描画処理では、音響光学変調 素子(AOM)により図示しないレーザ光源から出力されたレーザ光を画像デー タに応じて変調し、さらに、音響光学偏向素子(AOD)により微小幅にレーザ 光を偏向し、走査する。When it is determined in step P4 that the drawing command (step S16) has been output from the main control unit 100, the process proceeds to step P15. In Step P15, the Y table 4 and the optical head 5 are moved, and a drawing process for drawing a predetermined image on the glass plate by the laser light modulated by the image data is performed. In this drawing process, an acousto-optic modulator (AOM) modulates laser light output from a laser light source (not shown) according to image data, and an acousto-optic deflector (AOD) deflects the laser light to a very small width. And scan.

【0040】 このとき、Yテーブル4及び光学ヘッド5の相対位置はレーザ測長装置6によ り測定され、モータ11及び22のサーボ制御が行われる。ここでは、AODの 操作タイミング信号を発生するレーザ測長装置6を用いることにより、AOD走 査光学系の制御を正確に行えるとともに、描画パターンの精度が高くできる。 ステップP16では、描画が終了した際のテーブル移動を行う。このテーブル 移動によりYテーブル4を原点位置に移動させる。ステップP17では、主制御 部100に対し描画完了信号を出力する。ステップP18では、主制御部100 からのピン上昇指令を待つ。ステップP18では、主制御部100からピン上昇 指令を受け取ると、ステップP19に移行する。ステップP19では、電磁弁2 3a,23b,23cを全てオフし、吸着を解除するとともに、ピン15をモー タ18の回転により上昇させる。これによりガラス乾板35を持ち上げる。ステ ップP20では、図示しないセンサからの信号に基づき、ピン上昇完了信号を主 制御部100に対して出力する。At this time, the relative position of the Y table 4 and the optical head 5 is measured by the laser length measuring device 6, and the servo control of the motors 11 and 22 is performed. Here, by using the laser length measuring device 6 that generates the operation timing signal of the AOD, the control of the AOD scanning optical system can be accurately performed and the accuracy of the drawing pattern can be increased. In Step P16, the table is moved when the drawing is completed. This table movement moves the Y table 4 to the origin position. In Step P17, a drawing completion signal is output to the main controller 100. In Step P18, the main control unit 100 waits for a pin rising command. In Step P18, when the pin raising command is received from the main control unit 100, the process proceeds to Step P19. In Step P19, all the solenoid valves 23a, 23b, 23c are turned off to release the adsorption, and the pin 15 is raised by the rotation of the motor 18. Thereby, the glass dry plate 35 is lifted. In step P20, a pin rising completion signal is output to the main controller 100 based on a signal from a sensor (not shown).

【0041】 ステップP21では、主制御部100からのピン下降指令を待つ。主制御部1 00からピン下降指令を受け取るとステップP22に移行する。ステップP22 では、ピン10を下降させる。ステップP23では、ピン下降完了指令を主制御 部100に対して出力する。ステップP23での処理が終了するとステップP3 に戻る。In step P21, the main controller 100 waits for a pin down command. When the pin lowering command is received from the main control unit 100, the process proceeds to step P22. In Step P22, the pin 10 is lowered. In Step P23, a pin lowering completion command is output to the main control unit 100. When the process in step P23 ends, the process returns to step P3.

【0042】 このように、自動ローダ2との間でガラス乾板35のロード・アンロード処理 をピン15の上昇下降により行うとともに、Yテーブル4を移動させながら描画 を行う。ここでは、移動させられるYテーブル4はピン15の駆動機構を含んで いないので、構成が簡素であり、また軽量である。したがって、描画時等、精密 なYテーブル4の動作が要求される場合であっても、Yテーブル4の駆動が容易 かつ正確に行える。ローダ制御 ローダ制御部104では、図11に示すように、まずステップR1で各部を初 期位置にセットする等の初期化が行われる。ステップR2では主制御部100か らロード指令(ステップS7)が出力されたか否かを判断する。主制御部100 からロード指令が出力されていないと判断された場合にはステップR3に移行す る。ステップR3では、主制御部100からアンロード指令(ステップS20) が出力されたか否かを判断する。主制御部100からアンロード指令が出力され ていないと判断されるとステップR4に移行する。ステップR4では他の処理を 行う。ステップR4の処理が終了するとステップR2に戻る。In this way, the loading / unloading processing of the glass dry plate 35 with the automatic loader 2 is performed by ascending / descending the pins 15, and drawing is performed while moving the Y table 4. Here, since the movable Y table 4 does not include a drive mechanism for the pin 15, the structure is simple and lightweight. Therefore, even when a precise operation of the Y table 4 is required at the time of drawing, the Y table 4 can be easily and accurately driven. As shown in FIG. 11, the loader control unit 104 first performs initialization such as setting each unit to the initial position in step R1. In step R2, it is determined whether or not a load command (step S7) is output from the main control unit 100. When it is determined that the load command is not output from the main control unit 100, the process proceeds to step R3. In step R3, it is determined whether or not the unload command (step S20) is output from the main control unit 100. When it is determined that the unload command is not output from the main control unit 100, the process proceeds to step R4. In step R4, other processing is performed. When the process of step R4 ends, the process returns to step R2.

【0043】 ステップR2で、主制御部100からロード命令(ステップS7)が出力され たと判断されるとステップR5に移行する。ステップR5では、マニピュレータ 32のアーム60を引き出し、ストッカ30から作業データに応じたガラス乾板 35を取り出す。ステップR6では、取り出したガラス乾板35を位置決め装置 31のフリーベアリング40上に載置する。ステップR6では、載置されたガラ ス乾板35のサイズを、位置決め装置31に配置された図示しないセンサにより チェックする。載置されたガラス乾板35のサイズが、作業データで指示された サイズと同一の場合にはステップR7に移行する。ステップR7では、当接部材 44,45,50,51により、ガラス乾板35を、作業データに応じたサイズ の位置で位置決めする。When it is determined in step R2 that the load instruction (step S7) is output from the main control unit 100, the process proceeds to step R5. In step R5, the arm 60 of the manipulator 32 is pulled out, and the glass dry plate 35 corresponding to the work data is taken out from the stocker 30. In step R6, the taken-out glass dry plate 35 is placed on the free bearing 40 of the positioning device 31. In step R6, the size of the glass plate 35 placed is checked by a sensor (not shown) arranged in the positioning device 31. When the size of the placed glass dry plate 35 is the same as the size instructed by the work data, the process proceeds to step R7. At step R7, the glass dry plate 35 is positioned by the contact members 44, 45, 50, 51 at a position of a size corresponding to the work data.

【0044】 ステップR8では、マニピュレータ32により、位置決めされたガラス乾板3 5をアーム60の上面に載置し、位置決め装置31からアーム60を退出させる 。さらに、旋回部61を時計回りに90°旋回させ、連通口70を通じてガラス 乾板35をYテーブル4上へ載置する。ステップR9では、主制御部100に乾 板移動完了信号を出力する。ステップR10では、主制御部100からのアーム 引き込み指令(ステップS12)を待つ。主制御部100からアーム引き込み指 令が出力されたと判断されるとステップR11に進む。ステップR11では、マ ニピュレータ32によりアーム60の引き込め動作を実行する。ステップR12 では、アーム60の引き込み完了信号を主制御部100に出力する。ステップR 13では、マニピュレータ32を原点位置に復帰させる。ステップR13での処 理を終了するとステップR2に戻る。In step R 8, the manipulator 32 places the positioned glass dry plate 35 on the upper surface of the arm 60, and the arm 60 is retracted from the positioning device 31. Further, the swivel unit 61 is swung 90 ° clockwise, and the glass dry plate 35 is placed on the Y table 4 through the communication port 70. In step R9, a plate movement completion signal is output to the main controller 100. In step R10, the arm control unit 100 waits for an arm retract command (step S12). When it is determined that the arm pull-in instruction is output from the main control unit 100, the process proceeds to step R11. In step R11, the manipulator 32 executes the retracting operation of the arm 60. In step R12, the pull-in completion signal for the arm 60 is output to the main controller 100. In step R13, the manipulator 32 is returned to the origin position. When the processing in step R13 is completed, the process returns to step R2.

【0045】 ステップR3で、主制御部100からアンロード指令(ステップS20)が出 力されたと判断されるとステップR16に移行する。ステップR16ではアーム 60を進出させ、アーム60をピン15によって上昇させられたガラス乾板35 とYテーブル4の上面との間に挿入する。ステップR17では、アーム挿入完了 信号を主制御部100に出力する。ステップR18では、主制御部100からの ガラス乾板35の収納指令(ステップS24)を待つ。In step R3, when it is determined that the unload command (step S20) is output from the main control unit 100, the process proceeds to step R16. In step R16, the arm 60 is advanced, and the arm 60 is inserted between the glass dry plate 35 raised by the pin 15 and the upper surface of the Y table 4. In step R17, an arm insertion completion signal is output to the main controller 100. In step R18, the main controller 100 waits for a command to store the glass dry plate 35 (step S24).

【0046】 主制御部100からガラス乾板35の収納指令を受け取るとステップR19に 移行する。ステップR19ではアーム60を引き込み、連通口70からガラス乾 板35を自動ローダ2内に移動させる。さらに、旋回部61を90°反時計回り に旋回させてさらに昇降させ、マニピュレータ32により、ガラス乾板35を所 定のパレット34に収納する。ステップR20では、マニピュレータ32を原点 位置に復帰させる。ステップR20での動作が終了するとステップR2に戻る。When receiving a storage instruction for the glass dry plate 35 from the main control unit 100, the process proceeds to step R19. In step R19, the arm 60 is pulled in and the glass plate 35 is moved into the automatic loader 2 through the communication port 70. Further, the swivel portion 61 is swiveled 90 ° counterclockwise to further move up and down, and the glass dry plate 35 is stored in the predetermined pallet 34 by the manipulator 32. In step R20, the manipulator 32 is returned to the origin position. When the operation in step R20 ends, the process returns to step R2.

【0047】 一方、ステップR6でのチェックの結果、サイズが合わなかったときにはステ ップR14に移行する。ステップR14では、フリーベアリング40上に載置さ れたガラス乾板35を元のパレット位置に収納する。ステップR14では、乾板 収納完了信号を主制御部100に出力する。この処理が終了するとステップR2 に戻る。On the other hand, as a result of the check in step R6, if the sizes do not match, the process proceeds to step R14. In step R14, the glass dry plate 35 placed on the free bearing 40 is stored in the original pallet position. In step R14, a dry plate storage completion signal is output to the main controller 100. When this process ends, the process returns to step R2.

【0048】 〔動作〕 次に、上述のレーザプロッタの一連の動作を説明する。 まず、マニピュレータ32により、パレット34に載置されたガラス乾板35 をパレット34の切欠き部下方よりアーム60を上昇させて受け取り、これを一 旦位置決め装置31上のフリーベアリング40上に載置する。ここで2組の当接 部材44,45及び当接部材50,51により、サイズに応じた位置に中心基準 に位置決めした後、マニピュレータ32でガラス乾板35をYテーブル4上に搬 送する。次に、Yテーブル4上ではグラナイド定盤3に配置したモータ18によ りピン15を上昇させ、搬送されたガラス乾板35をアーム60より受け取る。 ピン15上にガラス乾板35を載置すると、マニピュレータ32はアーム60を 引き込み、原点に復帰する。[Operation] Next, a series of operations of the above laser plotter will be described. First, the manipulator 32 receives the glass dry plate 35 placed on the pallet 34 by raising the arm 60 from below the notch of the pallet 34, and places it on the free bearing 40 on the positioning device 31. .. Here, after the two sets of contact members 44, 45 and contact members 50, 51 are used to position the glass plate 35 at the position corresponding to the size with respect to the center, the glass plate 35 is transported to the Y table 4 by the manipulator 32. Next, on the Y table 4, the pin 15 is raised by the motor 18 arranged on the granide surface plate 3, and the conveyed glass dry plate 35 is received from the arm 60. When the glass dry plate 35 is placed on the pin 15, the manipulator 32 retracts the arm 60 and returns to the origin.

【0049】 一方、ガラス乾板35を受けたレーザプロッタ本体1では、ピン15が下降し 、Yテーブル4上にガラス乾板35を載せる。続いて、Yテーブル4が光学ヘッ ド5側に移動し、Yテーブル4のY方向の移動と光学ヘッド5のX方向の移動と を伴う描画処理が実行される。描画処理が終了すると、Yテーブル4は原点に戻 る。ここでは、移動させられるYテーブル4はピン15の駆動機構を含んでいな いので、構成が簡素であり、また軽量である。したがって、描画時等、精密なY テーブル4の動作が要求される場合であっても、Yテーブル4の駆動が容易かつ 正確に行える。On the other hand, in the laser plotter body 1 that has received the glass dry plate 35, the pins 15 are lowered and the glass dry plate 35 is placed on the Y table 4. Then, the Y table 4 is moved to the optical head 5 side, and the drawing process accompanied by the movement of the Y table 4 in the Y direction and the movement of the optical head 5 in the X direction is executed. When the drawing process ends, the Y table 4 returns to the origin. Here, since the Y table 4 to be moved does not include the drive mechanism of the pin 15, the structure is simple and the weight is light. Therefore, even when a precise operation of the Y table 4 is required at the time of drawing, the Y table 4 can be easily and accurately driven.

【0050】 原点に戻ったYテーブル4では、再度ピン15を上昇させてガラス乾板35を 持ち上げる。続いて、マニピュレータ32がガラス乾板35とYテーブル4上面 との間にアーム60を差し込むと、ピン15の下降によりガラス乾板35をアー ム60上に載置する。そして、マニピュレータ32は、元のパレット34上にガ ラス乾板35を収納する。On the Y table 4 which has returned to the origin, the pin 15 is raised again to lift the glass dry plate 35. Subsequently, when the manipulator 32 inserts the arm 60 between the glass dry plate 35 and the upper surface of the Y table 4, the glass dry plate 35 is placed on the arm 60 by lowering the pin 15. Then, the manipulator 32 stores the glass dry plate 35 on the original pallet 34.

【0051】 前記実施例では、図10のステップR6で再チェックを行い、再チェックの結 果サイズが合わなかった場合にはそのガラス乾板は収納して次のガラス乾板に動 作が移るため、自動運転中にサイズ不一致によるエラーが生じても、装置の動作 は停止せず続けて作業が実行される。 〔他の実施例〕 (a) 前記実施例では感光板としてガラス乾板を例に説明したが、ガラス乾板 以外の感光板についても本考案を適用できる。 (b) 前記実施例では、感光板受け部材として上下に出没するピンを用いたが 、感光板の下面を支持できるものであればどのような受け部材でもよい。 (c) 前記実施例では、駆動部として、モータ及び平行移動するリンクを用い たが、本考案はこれに限定されるものではない。In the above embodiment, the recheck is performed in step R6 of FIG. 10, and if the result of the recheck does not match the size, the glass plate is stored and the operation is transferred to the next glass plate. Even if an error occurs due to size mismatch during automatic operation, the operation of the device is not stopped and the work is continued. Other Embodiments (a) In the above embodiments, the glass plate was described as an example of the photosensitive plate, but the present invention can be applied to photosensitive plates other than the glass plate. (B) In the above-described embodiment, the pins that project vertically are used as the photosensitive plate receiving member, but any receiving member that can support the lower surface of the photosensitive plate may be used. (C) In the above-mentioned embodiment, the motor and the link that moves in parallel are used as the driving unit, but the present invention is not limited to this.

【0052】 また、駆動部をテーブルの移動方向に沿って設けたため、どのようなサイズの 感光板であっても、つまり、テーブルがどのような受取り位置にあっても感光板 受け部材は上下動できる。Further, since the drive unit is provided along the moving direction of the table, the photosensitive plate receiving member moves up and down regardless of the size of the photosensitive plate, that is, the receiving position of the table. it can.

【0053】[0053]

【考案の効果】[Effect of the device]

本考案に係る感光板の移載装置では、テーブルに感光板を移載するための感光 板受け部材が、架台に設けられた駆動部により上下駆動されるので、テーブルに 駆動部を設ける必要がなくなり、テーブルの構成が簡素になる。 In the photosensitive plate transfer device according to the present invention, since the photosensitive plate receiving member for transferring the photosensitive plate to the table is vertically driven by the drive unit provided on the mount, it is necessary to provide the drive unit on the table. The table structure is simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例を採用したレーザプロッタの
外観斜視図。
FIG. 1 is an external perspective view of a laser plotter adopting an embodiment of the present invention.

【図2】そのレーザプロッタ本体の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of the laser plotter body.

【図3】Yテーブルの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a Y table.

【図4】Yテーブルの一部切欠き側面図。FIG. 4 is a partially cutaway side view of the Y table.

【図5】ピンの取り付け構造を示す縦断面部分図。FIG. 5 is a vertical cross-sectional partial view showing a pin mounting structure.

【図6】自動ローダの斜視図。FIG. 6 is a perspective view of an automatic loader.

【図7】制御系のブロック図。FIG. 7 is a block diagram of a control system.

【図8】主制御部の制御フローチャート。FIG. 8 is a control flowchart of a main control unit.

【図9】主制御部の制御フローチャート。FIG. 9 is a control flowchart of a main control unit.

【図10】レーザプロッタ制御部の制御フローチャー
ト。
FIG. 10 is a control flowchart of a laser plotter control unit.

【図11】ローダ制御部の制御フローチャート。FIG. 11 is a control flowchart of a loader control unit.

【図12】ガラス乾板のサイズ毎の原点位置を示す平面
模式図。
FIG. 12 is a schematic plan view showing the origin position for each size of the glass dry plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 グラナイド定盤 4 Yテーブル 15 ピン 16 リンク 17 レバー 3 Granide surface plate 4 Y table 15 pin 16 link 17 lever

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】架台と、 前記架台上を1方向に移動可能な感光板載置用テーブル
と、 前記テーブルに上下出没可能に設けられた感光板受け部
材と、 前記架台上に前記テーブルの移動する方向に沿って設け
られ、前記感光板受け部材を上下駆動する駆動部と、 を備えた感光板の移載装置。
1. A mount, a photosensitive plate mounting table movable in one direction on the mount, a photosensitive plate receiving member provided on the table so as to be able to move up and down, and a movement of the table on the mount. And a drive unit which is provided along the direction in which the photosensitive plate receiving member is moved up and down, and a photosensitive plate transfer device.
JP7744991U 1991-09-25 1991-09-25 Photosensitive plate transfer device Pending JPH0529046U (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009527781A (en) * 2006-02-22 2009-07-30 クレオ マシーネンバウ アクチェンゲゼルシャフト Exposure equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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