[go: up one dir, main page]

JPH05309868A - Inspection device and method of focus of led head - Google Patents

Inspection device and method of focus of led head

Info

Publication number
JPH05309868A
JPH05309868A JP11734892A JP11734892A JPH05309868A JP H05309868 A JPH05309868 A JP H05309868A JP 11734892 A JP11734892 A JP 11734892A JP 11734892 A JP11734892 A JP 11734892A JP H05309868 A JPH05309868 A JP H05309868A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
led head
line sensor
pattern
pitch
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11734892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Sasakura
正裕 笹倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP11734892A priority Critical patent/JPH05309868A/en
Publication of JPH05309868A publication Critical patent/JPH05309868A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable swiftly and highly precisely an inspection of focus without requring a mechanism part such as a sensor moving table, by a method wherein pitches among dots each of a line sensor and LED head are made to differ from one another and a moire interference pattern is obtained on a light volume signal measured by the line sensor. CONSTITUTION:Since output signals of a line sensor 4 are read out electrically in order of dot number by a sensor signal treatment part 5, a signal pattern is put out as time sequence signal. Hereupon, since a pitch between dots of an LED head 1 and that of the line sensor 4 are different slightly from each other, the more a dot signal advances, the more a confronting relation between an LED dot of the LED head 1 and a detector dot of the line sensor 4 changes little by little and light volume inciding into detectors each of the line sensor 4 is changed little by little. Therefore, a light volume signal to be measured by the detectors each of the line sensor becomes a moirelike pattern. Therefore, the maximum value I max and minimum value I min of the moire pattern are obtained, through which an extent of coincidence of the focuses can be obtained quantitatively.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は印字デバイスであるL
EDヘッドの焦点検査装置およびその方法に関するもの
である。
This invention relates to a printing device L
The present invention relates to an ED head focus inspection device and method.

【0002】[0002]

【従来の技術】図16は従来のLEDヘッドの焦点検査
装置の構成を示すブロック図であり、1は被検査対象で
あるLEDヘッド、2はLEDヘッド1を点灯させるL
EDヘッド駆動部、3はLEDヘッドの焦点面、4は移
動しながらLEDヘッド1の光量分布を測定し、光量信
号を出力するセンサ、5はセンサ4からの光量信号の処
理を行うセンサ信号処理部、6はセンサ4の焦点面、7
はセンサ4をセンサ焦点面に沿って移動させるテーブ
ル、8はテーブル7を駆動させるテーブル駆動部、9は
LED駆動部2に点灯用パターンデータ信号を出力し、
テーブル駆動部8にセンサ移動用信号を出力し、センサ
信号処理部5からの光量信号を受取って光量信号の解析
を行う制御部である。
2. Description of the Related Art FIG. 16 is a block diagram showing a structure of a conventional focus inspection device for LED heads, 1 is an LED head to be inspected, and 2 is an L for turning on the LED head 1.
ED head drive unit, 3 is the focal plane of the LED head, 4 is a sensor that measures the light amount distribution of the LED head 1 while moving, and a sensor that outputs a light amount signal, and 5 is sensor signal processing that processes the light amount signal from the sensor 4. Part, 6 is the focal plane of the sensor 4, 7
Is a table for moving the sensor 4 along the focal plane of the sensor, 8 is a table drive unit for driving the table 7, 9 is a lighting pattern data signal to the LED drive unit 2,
The control unit outputs a signal for moving the sensor to the table drive unit 8, receives the light amount signal from the sensor signal processing unit 5, and analyzes the light amount signal.

【0003】次に動作について説明する。LEDヘッド
駆動部2は制御部9からのLEDヘッド点灯パターン信
号にもとづいてLEDヘッドの各ドットを点灯または消
灯し、センサ4はその焦点面6に照射されたLEDヘッ
ドの光量分布を測定してこれを電気信号に変換し、光量
信号として出力する。センサ4は光量分布を測定しなが
らテーブル7によって移動するので、LEDヘッドの光
量分布が時系列信号として出力される。
Next, the operation will be described. The LED head drive unit 2 turns on or off each dot of the LED head based on the LED head lighting pattern signal from the control unit 9, and the sensor 4 measures the light amount distribution of the LED head irradiated on the focal plane 6. This is converted into an electric signal and output as a light amount signal. Since the sensor 4 moves by the table 7 while measuring the light amount distribution, the light amount distribution of the LED head is output as a time series signal.

【0004】図17は上記の関係を示す説明図であり、
図17(a)はLEDヘッドを1ドットおきに点灯させ
た場合の点灯パターンを示し、図17(b)はセンサ焦
点面6におけるLEDヘッドの光量分布を示し、図17
(c)はこの光量分布を移動するセンサ4で読取った光
量信号波形をセンサ4のドット位置に対応して示したも
のである。センサ信号処理部5および制御部9は上記の
光量信号の処理および評価のための計算を行う。
FIG. 17 is an explanatory diagram showing the above relationship.
17A shows a lighting pattern when the LED head is lit every other dot, and FIG. 17B shows a light amount distribution of the LED head on the sensor focal plane 6.
(C) shows the light amount signal waveform read by the sensor 4 that moves in this light amount distribution, corresponding to the dot position of the sensor 4. The sensor signal processing unit 5 and the control unit 9 perform calculations for processing and evaluation of the above light amount signal.

【0005】ここでLEDヘッドの焦点面3とセンサの
焦点面6が一致している場合は図17(b)の光量分布
のコントラストが高いが、焦点面が一致していない場合
は光量分布がぼやけてコントラストが低下するので、図
17(c)の光量信号の最大値と最小値を用いてLED
ヘッドの焦点面3とセンサ焦点面6の一致の程度を算出
している。製品の検査に於ては、上記の焦点面の一致度
が悪い場合、LEDヘッドやレンズアレイの取付位置の
調整を行い、再度焦点検査を繰返す。
Here, when the focal plane 3 of the LED head and the focal plane 6 of the sensor are coincident with each other, the contrast of the light amount distribution of FIG. 17 (b) is high, but when the focal planes are not coincident, the light amount distribution is not equal. Since the contrast is blurred and the contrast is lowered, it is necessary to use the maximum value and the minimum value of the light amount signal of FIG.
The degree of coincidence between the focal plane 3 of the head and the sensor focal plane 6 is calculated. In the product inspection, when the degree of coincidence of the focal planes is poor, the mounting positions of the LED head and the lens array are adjusted, and the focus inspection is repeated.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来のLEDヘッドの
焦点検査装置は以上の様に構成されているので、焦点検
査時にセンサをLEDヘッドの全長にわたって移動させ
る必要があり、検査に時間がかかるという問題点があっ
た。また移動機構が必要なため装置が複雑且つ大型化
し、移動機構の寸法誤差が焦点検査の精度を低下させる
等の問題点があった。
Since the conventional focus inspection device for the LED head is constructed as described above, it is necessary to move the sensor over the entire length of the LED head during the focus inspection, which requires a long time for the inspection. There was a problem. Further, since a moving mechanism is required, the apparatus becomes complicated and large, and the dimensional error of the moving mechanism lowers the accuracy of focus inspection.

【0007】この発明は従来の焦点検査装置の上記の問
題点を解決するためになされたものであり、センサ移動
用テーブル等の機構部を必要とせず、迅速且つ高精度で
焦点検査の可能なLEDヘッドの焦点検査装置およびか
かる焦点検査装置に適した焦点検査の方法を提供するこ
とを目的としている。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the conventional focus inspection apparatus, and does not require a mechanical portion such as a table for moving a sensor and enables the focus inspection to be performed quickly and with high accuracy. An object of the present invention is to provide a focus inspection device for an LED head and a focus inspection method suitable for such a focus inspection device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項第1項記載のLE
Dヘッドの焦点検査装置は、等間隔に配列された複数の
検出器を有するラインセンサを備え、前記ラインセンサ
のドット間ピッチがLEDヘッドのドット間ピッチと異
なることにより前記ラインセンサで測定した光量信号に
モアレ状干渉パターンが生じる様にした。
An LE according to claim 1
The focus inspection device for the D head includes a line sensor having a plurality of detectors arranged at equal intervals, and the dot pitch of the line sensor is different from the dot pitch of the LED head. A moire interference pattern is generated in the signal.

【0009】請求項第2項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置は、請求項第1項記載のLEDヘッドの焦点検査
装置に於て、前記ラインセンサの検出器間に間隙を設け
た。
A focus inspection apparatus for an LED head according to a second aspect of the present invention is the focus inspection apparatus for an LED head according to the first aspect, wherein a gap is provided between the detectors of the line sensors.

【0010】請求項第3項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置は、請求項第1項または第2項記載のLEDヘッ
ドの焦点検査装置に於て前記ラインセンサの検出器の形
状を主走査方向に比べて副走査方向に長い形状とした。
A focus inspection device for an LED head according to a third aspect of the present invention is the focus inspection device for an LED head according to the first or second aspect, in which the shape of the detector of the line sensor is changed in the main scanning direction. The shape is longer in the sub-scanning direction than the above.

【0011】請求項第4項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置は、等間隔に配列されたスリットを有する遮光マ
スクを備え、前記遮光マスクのスリット間ピッチがLE
Dヘッドのドット間ピッチと異なることにより前記遮光
マスクの透過光量にモアレ状干渉パターンを生じる様に
した。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a focus inspection device for an LED head, which comprises a light-shielding mask having slits arranged at equal intervals, and the pitch between the slits of the light-shielding mask is LE.
Due to the difference in the pitch between the dots of the D head, a moire interference pattern is generated in the amount of transmitted light of the light shielding mask.

【0012】請求項第5項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法は、等間隔に配列された複数の検出器を有し、ド
ット間ピッチがLEDヘッドのドット間ピッチと異なる
ラインセンサを前記LEDヘッドに対向配置し、前記L
EDヘッドを1ドットおきに点灯して得られる前記ライ
ンセンサのモアレ状パターンの光量信号の最大値と最小
値を用いた。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a focus of an LED head, wherein the LED head comprises a plurality of detectors arranged at equal intervals, and a line sensor having a dot pitch different from that of the LED head. Is placed opposite to the L
The maximum value and the minimum value of the light amount signal of the moire pattern of the line sensor obtained by turning on the ED head every other dot were used.

【0013】請求項第6項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法は、請求項第5項記載のLEDヘッドの焦点検査
方法に於て、前記LEDヘッドを夫々任意の複数ドット
から成る点灯区間と消灯区間の繰返しパターンで点灯さ
せた。
A focus inspection method for an LED head according to a sixth aspect is the focus inspection method for an LED head according to the fifth aspect, wherein each of the LED heads has a lighting section and a light-out section which are each formed of an arbitrary plurality of dots. It was lit in a repeating pattern of sections.

【0014】請求項第7項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法は、請求項第5項記載のLEDヘッドの焦点検査
方法に於て、前記モアレ状パターンの光量信号を標準パ
ターンと比較する様にした。
A focus inspection method for an LED head according to a seventh aspect is the focus inspection method for an LED head according to the fifth aspect, wherein the light amount signal of the moire pattern is compared with a standard pattern. did.

【0015】請求項第8項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法は、請求項第5項記載のLEDヘッドの焦点検査
方法に於て、前記光量信号の隣接する2ドットの光量信
号の和および差を用いた。
A focus inspection method for an LED head according to claim 8 is the focus inspection method for an LED head according to claim 5, wherein the sum and difference of the light amount signals of adjacent two dots of the light amount signals. Was used.

【0016】請求項第9項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法は、等間隔に配列されたスリットを有し、スリッ
ト間ピッチがLEDヘッドのドット間ピッチと異なる遮
光マスクを前記LEDヘッドに対向配置し、前記LED
ヘッドを夫々任意の整数ドットから成る点灯区間と消灯
区間の繰返しパターンで点灯して得られる前記遮光マス
クの透過光パターンを用いた。
According to a ninth aspect of the method for inspecting a focus of an LED head, a light-shielding mask having slits arranged at equal intervals and having a pitch between slits different from a pitch between dots of the LED head is arranged to face the LED head. The LED
A transmitted light pattern of the light-shielding mask obtained by lighting the head in a repeating pattern of a lighting section and a non-lighting section each consisting of an arbitrary integer dot was used.

【0017】[0017]

【作用】請求項第1項記載のLEDヘッドの焦点検査装
置では、LEDヘッドの発光パターンをラインセンサで
読取ると、LEDヘッドとラインセンサの両者のドット
間ピッチの違いにより、ラインセンサの光量信号にはラ
インセンサのドット間ピッチとLEDヘッドの点灯パタ
ーン周期の最小公倍数を周期とするモアレパターンが生
じる。このモアレパターンはLEDの焦点面がラインセ
ンサの焦点面に一致しているか否かによって変化する。
In the focus inspection device for the LED head according to the first aspect, when the light emission pattern of the LED head is read by the line sensor, the light quantity signal of the line sensor is generated due to the difference in dot pitch between the LED head and the line sensor. A moire pattern having a period which is the least common multiple of the pitch between the dots of the line sensor and the lighting pattern period of the LED head is generated. This moire pattern changes depending on whether the focal plane of the LED matches the focal plane of the line sensor.

【0018】請求項第2項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置では、ラインセンサの検出器間に間隙を設けたた
め、前記のモアレパターンが1ドットおきにピックアッ
プされた形で測定され、異った形態のモアレパターンが
得られる。このモアレパターンも前記焦点面の一致度に
依存して変化する。
In the focus inspection device for the LED head according to the second aspect, since the gap is provided between the detectors of the line sensor, the moire pattern is measured in the form of being picked up every other dot, which is different. A morphological moire pattern is obtained. This moire pattern also changes depending on the degree of coincidence of the focal planes.

【0019】請求項第3項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置では、ラインセンサの各検出器形状を副走査方向
に長くしたため、LEDヘッドとラインセンサの相対位
置が副走査方向にずれていたり、焦点面に沿った角度誤
差があってもラインセンサの光量信号が変化しないの
で、上記の取付誤差があっても正確な焦点検査ができ
る。
In the focus inspection device for the LED head according to the third aspect, since the shape of each detector of the line sensor is lengthened in the sub-scanning direction, the relative position of the LED head and the line sensor is deviated in the sub-scanning direction. Even if there is an angle error along the focal plane, the light amount signal of the line sensor does not change, so that an accurate focus inspection can be performed even if there is the above mounting error.

【0020】請求項第4項記載のLEDヘッドの焦点検
査装置では、遮光マスクを通してLEDヘッドの発光を
見た時、LEDヘッドのドット間ピッチと遮光マスクの
スリット間のピッチの違いにより、遮光マスクのスリッ
ト間ピッチとLEDヘッドの点灯パターン周期の最小公
倍数を周期とするモアレパターンが見える。このモアレ
パターンの明暗差はLEDヘッドの焦点面が、遮光マス
ク面に一致している時に最大となる。
In the focus inspection device for an LED head according to claim 4, when the light emission of the LED head is seen through the light-shielding mask, the light-shielding mask is caused by the difference in the pitch between the dots of the LED head and the pitch between the slits of the light-shielding mask. A moire pattern whose period is the slit pitch and the least common multiple of the lighting pattern period of the LED head can be seen. The difference in brightness between the moire patterns becomes maximum when the focal plane of the LED head coincides with the light-shielding mask surface.

【0021】請求項第5項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、LEDヘッドの焦点面とラインセンサの焦
点面が一致している時に光量信号の最大値と最小値の比
が最大になることを利用して、前記焦点面の一致の程度
を定量的に検査できる。
According to the fifth aspect of the LED head focus inspection method, the ratio of the maximum value and the minimum value of the light amount signal is maximized when the focal plane of the LED head and the focal plane of the line sensor are coincident with each other. Can be used to quantitatively inspect the degree of coincidence of the focal planes.

【0022】請求項第6項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、LEDヘッドの点灯パターンを夫々任意の
整数ドットから成る点灯区間と消灯区間の繰返しパター
ンとしたので、ドット間ピッチの大きいラインセンサを
用いてドット間ピッチの小さいLEDヘッドの焦点検査
ができる。
According to the sixth aspect of the LED head focus inspection method of the present invention, since the lighting pattern of the LED head is a repeating pattern of a lighting section and a non-lighting section each consisting of an arbitrary integer dot, the line sensor having a large dot pitch. The focus inspection of the LED head having a small dot pitch can be performed by using.

【0023】請求項第7項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、LEDヘッドの個々のドットの発光量や焦
点位置に誤差があると、光量信号のモアレパターンに不
規則性を生じるので、規則的な標準パターンとの比較に
よってLEDヘッドの不良ドットの検出ができる。
In the focus inspection method of the LED head according to the seventh aspect, if there is an error in the light emission amount or the focus position of each dot of the LED head, irregularity occurs in the moire pattern of the light amount signal, so that it is a regular rule. The defective dot of the LED head can be detected by comparison with a standard pattern.

【0024】請求項第8項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、ラインセンサの隣接する2ドットの光量信
号の和が対向するLEDドットの発光量に対応し、差が
LEDドットの位置のずれを示す情報となることを利用
して、LEDヘッドの各ドットの発光量と位置の検査が
できる。
In the focus inspection method of the LED head according to the eighth aspect, the sum of the light amount signals of two adjacent dots of the line sensor corresponds to the light emission amount of the opposite LED dots, and the difference is the displacement of the position of the LED dots. It is possible to inspect the amount of light emission and the position of each dot of the LED head by utilizing the information that indicates

【0025】請求項第9項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、遮光マスクを通してLEDヘッドの発光を
見た時、LEDヘッドのドット間ピッチと遮光マスクの
スリット間ピッチの違いにより、遮光マスクのスリット
間ピッチとLEDヘッドの点灯パターン周期の最小公倍
数を周期とするモアレパターンが見える。このモアレパ
ターンの明暗差はLEDヘッドの焦点面が、遮光マスク
面に一致している時に最大となる。
In the focus inspection method of the LED head according to the ninth aspect, when the light emission of the LED head is viewed through the light shielding mask, the light shielding mask of the A moire pattern whose cycle is the least common multiple of the pitch between slits and the lighting pattern cycle of the LED head can be seen. The difference in brightness between the moire patterns becomes maximum when the focal plane of the LED head coincides with the light-shielding mask surface.

【0026】[0026]

【実施例】【Example】

実施例1.図1は本発明の一実施例の構成を示すブロッ
ク図であり、1は被検査対象であるLEDヘッド、2は
LEDヘッド1を点灯させるLEDヘッド駆動部、3は
LEDヘッド1の焦点面、4はLEDヘッド1の光量分
布を測定し、光量信号を出力するラインセンサ、5はラ
インセンサ4からの光量信号を処理するラインセンサ信
号処理部、6はラインセンサ4の焦点面、9はLEDヘ
ッド駆動部2にLEDヘッドの点灯パターンデータ信号
を出力し、センサ信号処理部5からの光量信号を受取っ
て解析を行う制御部である。
Example 1. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention, 1 is an LED head to be inspected, 2 is an LED head drive unit for lighting the LED head 1, 3 is a focal plane of the LED head 1, 4 is a line sensor that measures the light amount distribution of the LED head 1 and outputs a light amount signal, 5 is a line sensor signal processing unit that processes the light amount signal from the line sensor 4, 6 is the focal plane of the line sensor 4, and 9 is an LED It is a control unit that outputs a lighting pattern data signal of the LED head to the head drive unit 2 and receives a light amount signal from the sensor signal processing unit 5 for analysis.

【0027】図2はLEDヘッド1およびラインセンサ
4のドット配列を示した図である。図に於てラインセン
サのドット間ピッチはLEDのドット間ピッチとわずか
に異なる様にしてあり、LEDのドット間ピッチ125 μ
m(8ドット/mm)に対してラインセンサのドット間ピ
ッチを117.65μm(8.5 ドット/mm)としてある。この
配列によれば2mmの中にLEDヘッドは16ドット、ラ
インセンサは17ドットが配列され、これが配列の繰返
し周期となっている。
FIG. 2 is a diagram showing a dot arrangement of the LED head 1 and the line sensor 4. In the figure, the dot pitch of the line sensor is slightly different from the LED dot pitch. The LED dot pitch is 125 μ.
The dot pitch of the line sensor is 117.65 μm (8.5 dots / mm) for m (8 dots / mm). According to this arrangement, 16 dots are arranged in the LED head and 17 dots are arranged in the line sensor in 2 mm, which is a repeating cycle of the arrangement.

【0028】次に動作について説明する。図3はLED
ヘッド1の点灯とラインセンサ4による光量測定の関係
を示した説明図である。図3(a)はLEDヘッドを1
ドットおきに点灯した点灯パターン、図3(b)はライ
ンセンサの焦点面6における光量分布、図3(c)はラ
インセンサの検出器配列、図3(d)はLEDヘッドの
光量分布をラインセンサの各検出器で読取った光量信号
を示している。ラインセンサの出力信号はセンサ信号処
理部5によりドット番号順に電気的に読出されるので、
図3(d)の信号パターンが時系列信号として出力され
る。前記の様にLEDヘッドのドット間ピッチとライン
センサのドット間ピッチがわずかに異なっているため、
ドット番号が進むに従ってLEDヘッドのLEDドット
とラインセンサの検出器ドットの対向関係が少しずつ変
化し、ラインセンサの各検出器に入射する光量が少しず
つ変化する。そのためラインセンサの各検出器で測定さ
れる光量信号は図3(d)に示す様なモアレ状パターン
となる。図5は図(d)のモアレ状パターンを広い範囲
にわたって示したものである。
Next, the operation will be described. Figure 3 shows LED
5 is an explanatory diagram showing a relationship between lighting of the head 1 and measurement of a light amount by the line sensor 4. FIG. FIG. 3A shows an LED head 1
A lighting pattern in which dots are lit, FIG. 3B is a light amount distribution on the focal plane 6 of the line sensor, FIG. 3C is a detector array of the line sensor, and FIG. 3D is a light amount distribution of the LED head. The light amount signal read by each detector of the sensor is shown. Since the output signal of the line sensor is electrically read by the sensor signal processing unit 5 in the order of the dot number,
The signal pattern of FIG. 3D is output as a time series signal. As mentioned above, the dot pitch of the LED head and the dot pitch of the line sensor are slightly different,
As the dot number advances, the facing relationship between the LED dots of the LED head and the detector dots of the line sensor changes little by little, and the amount of light incident on each detector of the line sensor changes little by little. Therefore, the light amount signal measured by each detector of the line sensor has a moire pattern as shown in FIG. FIG. 5 shows the moire pattern of FIG. 5D over a wide range.

【0029】モアレ状パターンはLEDヘッドのドット
間ピッチPLED とラインセンサのドット間ピッチPLS
の関係により多様な形態を示すが、図3(d)および図
5に示した形態となるためにはnを整数として次式の関
係が必要である。 このとき、モアレパターンの繰返し周期Lは次式で表わ
せる。
The moire pattern has various forms depending on the relationship between the dot pitch P LED of the LED head and the dot pitch P LS of the line sensor, but the patterns shown in FIGS. 3D and 5 are obtained. Requires the relation of the following equation, where n is an integer. At this time, the repetition period L of the moire pattern can be expressed by the following equation.

【0030】次に焦点の検査法について説明する。図3
は図1に於てLEDヘッドの焦点面3とラインセンサの
焦点面6が一致している場合を示しているが、図4は上
記2つの焦点面が一致していない場合を示している。2
つの焦点面が一致している場合は図3(b)の様にライ
ンセンサの焦点面上での光量分布のコントラストが大き
く図3(d)のモアレパターンの振巾が大きいが、2つ
の焦点面が一致していない場合は図4(b)の様に光量
分布のコントラストが低下し、図4(d)の様にモアレ
パターンの振巾が小さくなる。従って図5に示す様にモ
アレパターンの最大値Imax と最小値Imin を求め、こ
れから焦点の一致の程度を定量的に求めることができ
る。焦点面の一致度の指標としては次式のMTFを用い
る。 上記の信号処理および計算はセンサ信号処理部5および
制御部9で行われる。
Next, a focus inspection method will be described. Figure 3
Shows the case where the focal plane 3 of the LED head and the focal plane 6 of the line sensor are in agreement with each other in FIG. 1, but FIG. 4 shows the case where the two focal planes are not in agreement. Two
When the two focal planes are coincident with each other, as shown in FIG. 3B, the contrast of the light amount distribution on the focal plane of the line sensor is large and the amplitude of the moire pattern in FIG. When the surfaces do not match, the contrast of the light amount distribution is lowered as shown in FIG. 4B, and the amplitude of the moire pattern is reduced as shown in FIG. 4D. Therefore, as shown in FIG. 5, the maximum value Imax and the minimum value Imin of the moire pattern can be obtained, and from this, the degree of focus matching can be quantitatively obtained. The MTF of the following equation is used as an index of the degree of coincidence of the focal planes. The above signal processing and calculation are performed by the sensor signal processing unit 5 and the control unit 9.

【0031】以上の様に、本実施例における焦点検査は
機構部によるセンサの移動を必要とせず、電気的な信号
処理のみに依るため迅速に行うことができ、また機構部
の寸法誤差による精度の低下もない。
As described above, the focus inspection according to the present embodiment does not require the movement of the sensor by the mechanical section and can be performed quickly because it depends only on the electrical signal processing, and the accuracy due to the dimensional error of the mechanical section is high. There is no decrease.

【0032】本実施例ではLEDヘッドの焦点面の一致
度の検査の他に、LEDヘッドの個々のLEDヘッドの
焦点検査も行うことができる。図5に示したラインセン
サのモアレ状の光量信号パターンはLEDヘッドの各ド
ットの発光量が等しく、配列が規則的であれば、全く同
じパターンの繰返しとなる。特定のLEDヘッドの発光
量や配列位置に不規則性があれば上記のモアレ状パター
ンの不規則性となって現れるので標準的なパターンとの
比較によって不良ドットを検出することができる。比較
の基準とする標準パターンは、同一設計のLEDヘッド
について図5に示す広範囲にわたるモアレパターンデー
タを実測し、その各周期のデータを平均化することによ
って得られる。
In the present embodiment, in addition to the inspection of the degree of coincidence of the focal planes of the LED heads, the focus inspection of individual LED heads of the LED heads can be performed. In the moire light amount signal pattern of the line sensor shown in FIG. 5, if the light emission amounts of the dots of the LED head are equal and the arrangement is regular, the same pattern is repeated. If there is irregularity in the light emission amount or array position of a specific LED head, it appears as the irregularity of the above-mentioned moire pattern, and therefore defective dots can be detected by comparison with a standard pattern. The standard pattern as a reference for comparison is obtained by actually measuring the moire pattern data over a wide range shown in FIG. 5 for the LED heads of the same design and averaging the data in each cycle.

【0033】各LEDドットの詳細なデータは次の様に
して得られる。図3に於て、n番目のLEDドットの発
光はラインセンサのn番目とn+1番目のドットの光量
信号In とIn+1 として測定されているので、In とI
n+1 の和はn番目のLEDドットの発光量を示してい
る。すなわち、 n番目のLEDドットの発光量=In +In+1 ………(4) 次にIn とIn+1 の差について見ると、図3から明らか
な様に、仮にn番目のLEDドットが少し右にずれたと
すると、In は減少し、In+1 は増加するからIn とI
n+1 の差はn番目のLEDドットの位置のずれを示す情
報となる。発光量に影響されないLEDドットの位置の
指標としては、式(4)の発光量で規格化した次式を用
いれば良い。 式(5)の位置の指標はドット番号のnの複雑な凾数と
なるので、あらかじめ同一設計のLEDヘッドの実測デ
ータにもとづいて比較の基準とする標準パターンを作成
しておき、これとの比較によってLEDドットの位置の
ずれを算出する。
Detailed data of each LED dot can be obtained as follows. At a 3, since the n-th light emission of the LED dot is measured as intensity signal I n and I n + 1 of the n th and (n + 1) th dot line sensor, I n and I
The sum of n + 1 indicates the light emission amount of the nth LED dot. That is, the light emission amount of the n-th LED dot = I n + I n + 1 (4) Next, looking at the difference between I n and I n + 1 , as is apparent from FIG. If the LED dot is slightly shifted to the right, I n decreases and I n + 1 increases, so I n and I
The difference of n + 1 is information indicating the displacement of the position of the nth LED dot. As an index of the position of the LED dot that is not affected by the light emission amount, the following equation normalized by the light emission amount of the equation (4) may be used. Since the index of the position of the equation (5) is a complex number of the dot number n, a standard pattern to be used as a reference for comparison is prepared in advance based on the measured data of the LED heads of the same design. The displacement of the position of the LED dot is calculated by comparison.

【0034】なお図2に於てはLEDヘッドとラインセ
ンサのドット間ピッチをわずかに異なる様にするために
LEDヘッドのドット間ピッチ125 μm(8ドット/m
m)に対してラインセンサのドット間ピッチを117.65μ
m(8.5 ドット/mm)と少しせまくしたが、両者がわず
かに異なっており、式(1)の関係を満していれば同様
にモアレパターンが得られ、同様の作用効果を有するの
で、ラインセンサのドット間ピッチを例えば133.33μm
(7.5 ドット/mm)の様に少し広くしても良い。但しこ
の場合は図3に於てn番目のLEDドットに対応するラ
インセンサの検出器はn−1番目とn番目に替わるの
で、式(4)、(5)の In とIn+1 はIn-1 とIn
に替わる。また、モアレパターンの周期LもLEDヘッ
ドの16ドット(2mm)に限定する必要はなく、式
(1)、(2)にもとづいて希望する繰返し周期Lが得
られる様にラインセンサのドット間ピッチを定めても良
い。例えばn=24としてラインセンサのドット間ピッチ
を120 μm(8.33ドット/mm)とすれば式(2)により
周期は3000μm(3mm)となる。すなわち
In FIG. 2, in order to make the dot pitch between the LED head and the line sensor slightly different, the dot pitch between the LED heads is 125 μm (8 dots / m).
m) the dot pitch of the line sensor is 117.65μ
Although it was slightly narrowed to m (8.5 dots / mm), they are slightly different, and if the relationship of equation (1) is satisfied, a moire pattern can be obtained in the same way, and the same effect can be obtained. For example, the pitch between the dots of the sensor is 133.33 μm
It may be a little wider, such as (7.5 dots / mm). However, since in this case the detector of the line sensors corresponding to the n-th LED dot At a 3 replace n-1 th and n th, formula (4), I n and I n + 1 (5) Is I n-1 and I n
Instead of. Further, the period L of the moire pattern does not have to be limited to 16 dots (2 mm) of the LED head, and the pitch between the dots of the line sensor can be set so that the desired repeating period L can be obtained based on the equations (1) and (2). May be set. For example, if n = 24 and the dot pitch of the line sensor is 120 μm (8.33 dots / mm), the period is 3000 μm (3 mm) according to the equation (2). Ie

【0035】なお、本実施例ではLEDヘッドを1ドッ
トおきに点灯させるので、全てのLEDを検査するため
にはLEDの点滅のパターンを反転して検査する。
In this embodiment, since the LED head is turned on every other dot, in order to inspect all the LEDs, the blinking pattern of the LEDs is reversed and inspected.

【0036】実施例2.実施例1では図6(a)に示す
様にラインセンサ4の検出器形状が正方形の場合を示し
たが、この場合はLEDヘッド1とラインセンサ4の相
対的な位置決めを正確に行う必要がある。ラインセンサ
がLEDヘッドに対して図6(c)のY方向(副走査方
向)にずれたり、O方向に角度誤差をもっていると正確
な光量測定ができなくなり、焦点検査データに誤差を生
じる。実施例2では図6(b)に示す様にラインセンサ
の検出器形状をX方向(主走査方向)に比べてY方向
(副走査方向)に長くしたので、Y方向のずれおよびO
方向の角度誤差が許容でき、焦点検査の誤差を生じな
い。
Example 2. In the first embodiment, as shown in FIG. 6A, the line sensor 4 has a square detector shape. In this case, the LED head 1 and the line sensor 4 must be accurately positioned relative to each other. is there. If the line sensor deviates from the LED head in the Y direction (sub-scanning direction) of FIG. 6C or if there is an angle error in the O direction, accurate light amount measurement cannot be performed, and an error occurs in the focus inspection data. In the second embodiment, as shown in FIG. 6B, the detector shape of the line sensor is made longer in the Y direction (sub-scanning direction) than in the X direction (main scanning direction).
Directional angular error is acceptable and no focus inspection error occurs.

【0037】実施例3.図7に示す実施例3は、ライン
センサ4のドット間ピッチをLEDヘッド1のドット間
ピッチの2倍に対してわずかに異なる様にし、ラインセ
ンサの検出器間にスペースを設けたものである。図7
(a)はLEDヘッドを1ドットおきに点灯させた点灯
パターン、(b)はラインセンサの焦点面6におけるL
EDヘッドの光量分布、(c)はラインセンサの検出器
配列、(d)は(b)の光量分布をラインセンサで読取
った光量信号を示している。光量信号(d)は検出器位
置に対応して実線で示してあるが、時系列信号として読
出される信号波形は点線の様な包絡線となる。
Example 3. In Example 3 shown in FIG. 7, the pitch between dots of the line sensor 4 is slightly different from twice the pitch between dots of the LED head 1, and a space is provided between the detectors of the line sensor. .. Figure 7
(A) is a lighting pattern in which the LED head is lit every other dot, and (b) is L on the focal plane 6 of the line sensor.
The light amount distribution of the ED head, (c) shows the detector array of the line sensor, and (d) shows the light amount signal obtained by reading the light amount distribution of (b) with the line sensor. The light amount signal (d) is shown by a solid line corresponding to the detector position, but the signal waveform read as a time series signal has an envelope like a dotted line.

【0038】図7に於てLEDヘッドのドット間ピッチ
125 μm(8ドット/mm)に対してラインセンサのドッ
ト間ピッチは235.3 μm(4.25ドット/mm)であり、L
EDヘッドのドット間ピッチの2倍(250 μm)に比べ
てわずかにせまくしてある。ラインセンサの各検出器の
巾は117.65μmでありドット間ピッチの1/2としてあ
る。この配列によれば4mmの中にLEDヘッドの32ド
ット、ラインセンサの17ドットが配列され、これが配
列の繰返し周期となっている。配列の周期Lはnを整数
として次式で示される。
In FIG. 7, the pitch between dots of the LED head
The line sensor dot pitch is 235.3 μm (4.25 dots / mm) compared to 125 μm (8 dots / mm).
It is slightly narrower than the double pitch (250 μm) of the dot pitch of the ED head. The width of each detector of the line sensor is 117.65 μm, which is ½ of the pitch between dots. According to this array, 32 dots of the LED head and 17 dots of the line sensor are arrayed within 4 mm, and this is the repeating cycle of the array. The cycle L of the array is represented by the following equation, where n is an integer.

【0039】図7(d)の光量信号パターンは実施例1
と同様にモアレ状パターンとなるが、このパターンは実
施例1における図3(d)の光量信号パターンを1ドッ
トおきに取出したものであり、図3(d)の奇数番目の
信号値を連ねた包絡線となっている。図8(a)は図7
(d)のモアレ状パターンを広い範囲にわたって示した
ものであり、図8(b)はLEDヘッドの点灯パターン
を図7(a)と逆にした場合の信号パターンである。図
9は図8(a)と(b)を重ねて示したものである。
The light amount signal pattern of FIG. 7D is the first embodiment.
Similarly, a moire pattern is formed, but this pattern is obtained by taking out the light amount signal pattern of FIG. 3D in Example 1 every other dot, and connecting the odd-numbered signal values of FIG. 3D. It is an envelope. FIG. 8A shows FIG.
FIG. 8D shows the moire pattern of FIG. 8D over a wide range, and FIG. 8B is a signal pattern when the lighting pattern of the LED head is reversed from that of FIG. 7A. FIG. 9 shows FIG. 8A and FIG.

【0040】本実施例に於ても図8または図9に示す様
に光量信号パターンから最大値Imax および最小値Imi
n を求め、実施例1と同様に(3)のMTFを算出し
て、LEDヘッドとラインセンサの焦点面の一致度を検
査することができる。
Also in this embodiment, as shown in FIG. 8 or 9, the maximum value Imax and the minimum value Imi are calculated from the light amount signal pattern.
It is possible to inspect the degree of coincidence between the LED head and the focal plane of the line sensor by calculating n and calculating the MTF of (3) as in the first embodiment.

【0041】なお、ラインセンサのドット間ピッチにつ
いては図7の例に限定する必要はなく、式(6)にもと
づいて適切なモアレパターン周期が得られる様にLED
ヘッドのドット間ピッチの2倍に対してわずかに異なる
値とすれば良い。また図7(c)におけるラインセンサ
の検出器巾については、検出器間にスペースがあれば良
く、特に限定するものではないが、ドット間ピッチの1
/2に近いほどモアレパターンのコントラストが大きく
なる。
The dot pitch of the line sensor does not have to be limited to the example shown in FIG. 7, and the LED is set so that an appropriate moire pattern cycle can be obtained based on the equation (6).
The value may be slightly different with respect to twice the dot pitch of the head. Further, the detector width of the line sensor in FIG. 7C is not particularly limited as long as there is a space between the detectors, but the pitch between dots is 1
The closer to / 2, the greater the contrast of the moire pattern.

【0042】実施例4.図10に示す実施例4は、ライ
ンセンサ4のドット間ピッチをLEDヘッドのドット間
ピッチの整数倍とわずかに異なる様にし、LEDヘッド
を前記整数のドットを単位として交互に点灯したもので
ある。図10(a)は前記整数を2とした場合のLED
ヘッドの点灯パターンを示す。
Example 4. In Example 4 shown in FIG. 10, the dot pitch of the line sensor 4 is slightly different from an integer multiple of the dot pitch of the LED head, and the LED heads are alternately turned on by the unit of the integer dots. .. FIG. 10A shows an LED when the integer is 2.
The lighting pattern of the head is shown.

【0043】本実施例における光量信号パターン(図1
0(d))は実施例1における図3(d)と同じであ
り、実施例1と同様に光量信号パターンから最大値Ima
x と最小値Imin を求め、式(3)にもとづいてLED
ヘッドとラインセンサの焦点の一致度の検査ができる。
この実施例ではドット間ピッチの大きなラインセンサを
用いて、ドット間ピッチの小さいLEDの焦点検査が可
能となる。
The light amount signal pattern in this embodiment (see FIG.
0 (d)) is the same as FIG. 3D in the first embodiment, and the maximum value Ima is obtained from the light amount signal pattern as in the first embodiment.
x and the minimum value Imin are obtained, and the LED is calculated based on the equation (3).
The degree of coincidence between the head and the focus of the line sensor can be inspected.
In this embodiment, a line sensor having a large dot pitch can be used to perform focus inspection of an LED having a small dot pitch.

【0044】実施例5.図11に示す実施例5はライン
センサのドット間ピッチをLEDヘッドのドット間ピッ
チの整数倍に対してわずかに異なる様にして検出器間に
スペースを設け、LEDヘッドを前記整数のドットを周
期とするパターンで点灯したものである。図11(a)
は、前記の整数を4とし、LEDヘッドを前記4を周期
として2ドットずつ点滅するパターンで点灯した例を示
す。図11(c)は前記ラインセンサの検出器間のスペ
ースをドット間ピッチの1/2とした例を示す。
Example 5. In Example 5 shown in FIG. 11, a space is provided between detectors by making the dot pitch of the line sensor slightly different from an integer multiple of the dot pitch of the LED head, and the LED head is made to cycle the integer dots. It is lit in the pattern. FIG. 11 (a)
Shows an example in which the above-mentioned integer is 4 and the LED head is lit in a pattern of blinking every 2 dots with 4 as the cycle. FIG. 11C shows an example in which the space between the detectors of the line sensor is ½ of the dot pitch.

【0045】図11(d)の光量信号パターンは、実施
例3に於ける図7(d)と同じであり、実施例3と同様
に図8または図9の光量信号パターンから最大値Imax
および最小値Imin を求め、式(3)にもとづいてLE
Dヘッドとラインセンサの焦点面の一致度の検査ができ
る。本実施例に於ても実施例4と同様にドット間ピッチ
の大きなラインセンサを用いてドット間ピッチの小さい
LEDヘッドの焦点検査できる。
The light amount signal pattern of FIG. 11D is the same as that of FIG. 7D in the third embodiment, and the maximum value Imax is obtained from the light amount signal pattern of FIG. 8 or 9 as in the third embodiment.
And the minimum value Imin are obtained, and based on the equation (3), LE
The degree of coincidence between the D head and the focal plane of the line sensor can be inspected. Also in this embodiment, similarly to the fourth embodiment, it is possible to perform the focus inspection of the LED head having the small dot pitch by using the line sensor having the large dot pitch.

【0046】前記ラインセンサの検出器間スペースはド
ット間ピッチの1/2に限定するものではないが、1/
2に近いほどモアレパターンのコントラストが大きくな
り、有利である。LEDヘッドの点灯パターンも前記の
整数を周期とし、前記整数の1/2を点灯し、残りを消
灯とすることが望ましい。この点からは前記整数は偶数
であることが望ましい。
The space between the detectors of the line sensor is not limited to 1/2 of the dot pitch, but 1 /
The closer to 2, the greater the contrast of the moire pattern, which is advantageous. It is desirable that the LED head lighting pattern also has the above-mentioned integer as a cycle, 1/2 of the above-mentioned integer is turned on, and the rest is turned off. From this point, it is desirable that the integer is an even number.

【0047】実施例6.図12は実施例6の構成を示す
ブロック図である。本実施例は図1に示す実施例1のラ
インセンサ4およびセンサ信号処理部5に替えてスリッ
トの配列を有する遮光マスク10を用いたものである。
遮光マスクのスリット間ピッチはLEDヘッドのドット
間ピッチの2倍に対してわずかに異なり、LEDヘッド
は1ドットおきに点灯させる。
Example 6. FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the sixth embodiment. The present embodiment uses a light-shielding mask 10 having an array of slits instead of the line sensor 4 and the sensor signal processing unit 5 of the first embodiment shown in FIG.
The pitch between the slits of the light shielding mask is slightly different from twice the pitch between the dots of the LED head, and the LED head is lit every other dot.

【0048】図13(a)はLEDヘッドの点灯パター
ンを、(b)は遮光マスク10のスリット配列を、
(c)は遮光マスクの透過光量パターンを示している。
図に於てLEDヘッドのドット間ピッチは125 μm(8
ドット/mm)、スリット間ピッチは235.3 μm(4.25本
/mm)でありLEDヘッドのドット間ピッチの2倍(25
0μm)に対してわずかにせまくしてある。スリットの
巾は117.65μmであり、スリット間ピッチの1/2とし
てある。
FIG. 13A shows the lighting pattern of the LED head, and FIG. 13B shows the slit arrangement of the light-shielding mask 10.
(C) shows the transmitted light amount pattern of the light shielding mask.
In the figure, the dot pitch of the LED head is 125 μm (8
The dot pitch is 235.3 μm (4.25 lines / mm), which is twice the dot pitch of the LED head (25 dots).
(0 μm). The width of the slit is 117.65 μm, which is ½ of the pitch between slits.

【0049】図13(b)のスリット配列は図7(c)
に示した実施例3のラインセンサの検出配列と同じであ
るから図13(c)の透過光量パターンは実施例3に於
ける図7(d)の光量信号パターンと同じになる。本実
施例に於ては光量信号を電気的に測定する手段を持たな
いが、図13(c)の透過光量パターンは図12の矢印
の方向から直接、肉眼で観測することができる。透過光
量パターンはLEDヘッドの焦点面が遮光マスク面に一
致した時に明暗差が最大となるので、明暗差を観測しな
がらLEDヘッドの焦点位置調整が非常に簡単にできる
というメリットがある。
The slit arrangement in FIG. 13B is shown in FIG. 7C.
Since it is the same as the detection array of the line sensor of the third embodiment shown in FIG. 13, the transmitted light amount pattern of FIG. 13C is the same as the light amount signal pattern of FIG. 7D in the third embodiment. In this embodiment, there is no means for electrically measuring the light quantity signal, but the transmitted light quantity pattern of FIG. 13C can be directly observed with the naked eye in the direction of the arrow of FIG. In the transmitted light amount pattern, the brightness difference becomes maximum when the focal plane of the LED head coincides with the light-shielding mask surface, so that there is an advantage that the focal position of the LED head can be adjusted very easily while observing the brightness difference.

【0050】前記遮光マスクのスリット巾は特に限定す
るものではないが、スリット間ピッチの1/2に近いほ
ど透過光量パターンの明暗差が明瞭になり有利である。
Although the slit width of the light-shielding mask is not particularly limited, it is advantageous that the lightness difference between the transmitted light amount patterns becomes clearer as the slit width becomes closer to ½ of the pitch between the slits.

【0051】前記スリット間ピッチはLEDヘッドのド
ット間ピッチの任意の整数倍に対してわずかに異る値と
しても良く、この場合のLEDヘッドの点灯パターンは
前記整数を周期とするパターンにすれば実施例5と同様
に、ピッチの大きなスリット配列を用いてドット間ピッ
チの小さいLEDヘッドの焦点検査ができる。
The pitch between the slits may be a slightly different value with respect to an arbitrary integral multiple of the pitch between the dots of the LED head. In this case, the lighting pattern of the LED head may be a pattern having the above integer as a cycle. Similar to the fifth embodiment, the focus inspection of the LED head having a small dot pitch can be performed by using the slit arrangement having a large pitch.

【0052】実施例7.図14に示す実施例7は、ライ
ンセンサ4をLEDヘッド1の全長に対応させる替り
に、LEDヘッドの両端付近の2ヶ所に限定して設けた
ものである。図14(a)は本実施例の構成を示す立面
図、(b)は平面図である。ラインセンサ4はLEDヘ
ッドの両端付近に対応して設けた2つの部分的なライン
センサ4a、4bから成る。焦点検査の目的がLEDヘ
ッド全体の焦点面の位置の検査であって局部的な焦点位
置情報を必要としない場合、あるいはLEDヘッドの焦
点面6の平面度が十分に保証されている場合には、図1
4の様に焦点面上の2ヶ所に限定した焦点検査でも目的
を達せられる。この様にすると大型のLEDヘッドの焦
点検査を効率的に行うことができる。また2つのライン
センサ4a、4bの間隔を可変として、各種のサイズの
LEDの検査に使用することもできる。
Example 7. In Example 7 shown in FIG. 14, instead of making the line sensor 4 correspond to the entire length of the LED head 1, the line sensor 4 is provided only at two positions near both ends of the LED head. FIG. 14A is an elevation view showing the configuration of this embodiment, and FIG. 14B is a plan view. The line sensor 4 is composed of two partial line sensors 4a and 4b provided in the vicinity of both ends of the LED head. When the purpose of the focus inspection is to inspect the position of the focal plane of the entire LED head and does not require local focal position information, or when the flatness of the focal plane 6 of the LED head is sufficiently guaranteed. , Figure 1
The objective can be achieved even by a focus inspection limited to two places on the focal plane as in 4. By doing so, the focus inspection of a large LED head can be efficiently performed. Further, the distance between the two line sensors 4a and 4b can be made variable and used for the inspection of LEDs of various sizes.

【0053】実施例8.図15に示した実施例8は、プ
リンタ装置に於て、図15(a)に示した感光ドラム1
5に替えて、図15(b)に示す様に感光ドラムの印字
面位置にラインセンサ4を取付けられる様にしたもので
ある。プリンタ装置にLEDヘッドが装着された状態で
焦点検査および調整を行う場合、従来は市松模様等の焦
点検査用印字パターンを印字しながら行っていたが、図
15(b)に示した構成によれば、焦点検査および調整
が簡便に、効率的に行える。
Example 8. The eighth embodiment shown in FIG. 15 is a photosensitive drum 1 shown in FIG.
Instead of 5, the line sensor 4 can be attached to the print surface position of the photosensitive drum as shown in FIG. 15 (b). When the focus inspection and adjustment are performed with the LED head mounted on the printer device, conventionally, the print pattern for focus inspection such as a checkerboard pattern is printed, but according to the configuration shown in FIG. If so, focus inspection and adjustment can be performed easily and efficiently.

【0054】実施例9.前記ラインセンサは縮小光学系
を用いたものでも、用いないものでも良く、また薄膜型
センサでもマルチチップ型センサでも良い。縮小光学系
を用いないラインセンサでは、光学系に起因する誤差が
避けられる利点がある。
Example 9. The line sensor may or may not use a reduction optical system, and may be a thin film type sensor or a multi-chip type sensor. A line sensor that does not use a reduction optical system has an advantage that an error caused by the optical system can be avoided.

【0055】実施例10.前記実施例に於て、ラインセ
ンサ4の前記時系列光量信号パターンを図示しないオシ
ロスコープに表示し、この波形を観測しながら焦点検査
および調整を行うこともできる。この様にするとLED
ヘッドの焦点調整が容易に迅速に行える。
Example 10. In the above embodiment, the time-series light intensity signal pattern of the line sensor 4 may be displayed on an oscilloscope (not shown), and the focus inspection and adjustment may be performed while observing the waveform. This way the LED
The focus of the head can be adjusted easily and quickly.

【0056】実施例11.前記ラインセンサ4にLED
の発光以外の光を遮断する光学フィルタを設けても良
い。この様にするとLEDの光以外の侵入光による焦点
検査の誤差を防ぐことができる。
Example 11. LED on the line sensor 4
An optical filter may be provided to block light other than the light emission of. By doing so, it is possible to prevent an error in focus inspection due to incident light other than the light from the LED.

【0057】実施例12.前記スリットを有する遮光マ
スクは、金属板をエッチングしたものでも良く、また、
ガラスや透明フィルム上に遮光マスクを形成しこれをエ
ッチングしたものでも良い。
Example 12 The light-shielding mask having the slit may be a metal plate etched,
It is also possible to form a light-shielding mask on glass or a transparent film and etch it.

【0058】実施例13.前記ラインセンサ4は、各検
出器ドット周辺からの侵入光を遮断するために検出器ド
ット以外の不要部分をマスキングしても良い。この様に
すると検出器ドット周辺からの浸入光による焦点検査の
誤差を防ぐことができる。
Example 13 The line sensor 4 may mask unnecessary portions other than the detector dots in order to block intruding light from around the detector dots. By doing so, it is possible to prevent an error in the focus inspection due to the light penetrating from around the detector dots.

【0059】[0059]

【発明の効果】請求項第1項及至第3項記載のLEDヘ
ッドの焦点検査装置では、定置したラインセンサによっ
て測定されたモアレ状パターンの光量信号を用いて焦点
検査ができるので、従来の焦点検査装置の様に焦点検査
時にセンサをLEDヘッド全長にわたって移動させる必
要がなく、焦点検査が迅速に行える。またセンサを移動
するための機構部を必要とせず装置が簡単になり小型化
できる。また、センサの移動用機構がないため、移動機
構の寸法誤差による焦点検査精度の低下もない。
In the focus inspection device for LED heads according to the first to third aspects, the focus inspection can be performed by using the light amount signal of the moire pattern measured by the fixed line sensor. Unlike the inspection device, it is not necessary to move the sensor over the entire length of the LED head during the focus inspection, and the focus inspection can be performed quickly. Further, since the mechanism for moving the sensor is not required, the device can be simplified and downsized. Further, since there is no sensor moving mechanism, there is no reduction in focus inspection accuracy due to dimensional error of the moving mechanism.

【0060】請求項第3項記載のLEDヘッドの検査装
置では、ラインセンサの検出器の形状が主走査方向に長
いため、LEDヘッドとラインセンサの相対位置が副走
査方向にずれたり、焦点面に沿って角度誤差をもってい
ても光量測定に誤差を生じることなく、正確な焦点検査
ができる。
In the LED head inspection device according to the third aspect of the present invention, since the detector of the line sensor has a long shape in the main scanning direction, the relative position of the LED head and the line sensor is displaced in the sub scanning direction, or the focal plane. Even if there is an angular error along the line, accurate focus inspection can be performed without causing an error in the light amount measurement.

【0061】請求項第4項記載のLEDヘッドの検査装
置では、定置した遮光マスクの透過光量パターンがモア
レ状となることを用いて焦点検査ができるので、従来の
焦点検査装置の様にセンサをLEDヘッドの全長にわた
って移動させる必要がなく、焦点検査が迅速に行える。
またセンサおよびセンサの移動機構を必要とせず、装置
が簡単になり小型化できる。またセンサの移動機構がな
いため、移動機構の寸法誤差による焦点検査精度の低下
もない。また、この焦点検査装置に於ては検査結果を直
接、肉眼で見ることができるため、検査結果を直ちにL
EDヘッドの焦点調整に利用でき、焦点調整が容易に迅
速に行える。
In the LED head inspecting device according to the fourth aspect, the focus inspection can be performed by using the transmitted light amount pattern of the fixed light-shielding mask having a moire pattern. Focus inspection can be performed quickly without the need to move the LED head over the entire length.
Further, since the sensor and the moving mechanism of the sensor are not required, the device can be simplified and downsized. Further, since there is no sensor moving mechanism, there is no reduction in focus inspection accuracy due to dimensional error of the moving mechanism. Also, with this focus inspection device, the inspection result can be viewed directly with the naked eye, so the inspection result can be immediately
It can be used for focus adjustment of the ED head, and focus adjustment can be performed easily and quickly.

【0062】請求項第5項及至第9項記載のLEDヘッ
ドの焦点検査方法では、従来の焦点検査方法の様にセン
サをLEDヘッドの全長にわたって移動させる必要がな
いので焦点検査が迅速に行える。またセンサの移動機構
がないので、移動機構の寸法誤差による焦点検査精度の
低下もない。
In the focus inspection method for the LED head according to the fifth to ninth aspects, it is not necessary to move the sensor over the entire length of the LED head as in the conventional focus inspection method, and therefore the focus inspection can be performed quickly. Further, since the sensor moving mechanism is not provided, the focus inspection accuracy does not deteriorate due to the dimensional error of the moving mechanism.

【0063】請求項第5項及至第7項記載のLEDヘッ
ドの焦点検査方法では、ラインセンサのモアレ状パター
ンの光量信号の最大値と最小値を用いるので、LEDヘ
ッドの焦点面とラインセンサの焦点面の一致の程度を定
量的に検査できる。
In the focus inspection method of the LED head according to claims 5 to 7, since the maximum value and the minimum value of the light amount signal of the moire pattern of the line sensor are used, the focal plane of the LED head and the line sensor are detected. The degree of coincidence of the focal planes can be inspected quantitatively.

【0064】請求項第7項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法ではラインセンサのモアレ状パターンの光量信号
を標準パターンと比較することにより、LEDヘッドの
不良ドットを検出することができる。
According to the seventh aspect of the LED head focus inspection method, the defective dot of the LED head can be detected by comparing the light amount signal of the moire pattern of the line sensor with the standard pattern.

【0065】請求項第8項記載のLEDヘッドの検査方
法では、ラインセンサの光量信号の隣接する2ドットの
光量信号の和と差を用いて、LEDヘッドの各検出器ド
ットの発光量と位置の検査ができる。
In the LED head inspecting method according to the eighth aspect, the light emission amount and position of each detector dot of the LED head is calculated by using the sum and difference of the light amount signals of two adjacent dots of the light amount signal of the line sensor. Can be inspected.

【0066】請求項第9項記載のLEDヘッドの焦点検
査方法では、遮光マスクの透過光量がモアレ状パターン
となることを用いて、肉眼による目視観測でLEDヘッ
ドの焦点面とラインセンサの焦点面の一致度の検査がで
きる。またこの焦点検査方法では検査結果を肉眼で直接
見ることができるため、検査結果を直ちにLEDヘッド
の焦点調整に利用でき、焦点調整が容易に迅速に行え
る。
In the focus inspection method of the LED head according to the ninth aspect, the fact that the amount of transmitted light of the light-shielding mask has a moire pattern is used, and the focal plane of the LED head and the focal plane of the line sensor are visually observed with the naked eye. The degree of coincidence can be checked. Further, in this focus inspection method, since the inspection result can be directly viewed with the naked eye, the inspection result can be immediately used for the focus adjustment of the LED head, and the focus adjustment can be performed easily and quickly.

【0067】請求項第6項および第9項記載の焦点検査
方法では、LEDヘッドを夫々任意の複数ドットから成
る点灯区間と消灯区間の繰返しパターンで点灯させるこ
とにより、ドット間ピッチの大きいラインセンサまたは
スリット間ピッチの大きい遮光マスクを用いてドット間
ピッチの小さいLEDヘッドの焦点検査ができる。
In the focus inspection method according to the sixth and ninth aspects, a line sensor with a large pitch between dots is obtained by lighting the LED head in a repeating pattern of a lighting section and a non-lighting section each consisting of an arbitrary plurality of dots. Alternatively, the focus inspection of the LED head having a small dot pitch can be performed by using a light-shielding mask having a large pitch between slits.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1の構成を示すブロック図で
ある。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例1のLEDヘッドおよびライ
ンセンサのドット配列を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing dot arrays of the LED head and the line sensor according to the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施例1のLEDヘッドの点灯パタ
ーンおよびラインセンサの光量信号パターンを示す説明
図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a lighting pattern of the LED head and a light amount signal pattern of the line sensor according to the first embodiment of the present invention.

【図4】上記図3に於てLEDヘッドの焦点面がずれて
いる場合を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a case where the focal plane of the LED head in FIG. 3 is displaced.

【図5】この発明の実施例1のラインセンサの光量信号
パターンを広い範囲にわたって示した説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a light amount signal pattern of the line sensor according to the first embodiment of the present invention over a wide range.

【図6】この発明の実施例2のラインセンサの検出器形
状を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a detector shape of a line sensor according to a second embodiment of the present invention.

【図7】この発明の実施例3を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing Embodiment 3 of the present invention.

【図8】この発明の実施例3のラインセンサの光量信号
パターンを示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a light amount signal pattern of a line sensor according to a third embodiment of the invention.

【図9】この発明の実施例3のラインセンサの光量信号
パターンを示す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a light amount signal pattern of a line sensor according to a third embodiment of the present invention.

【図10】この発明の実施例4を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing Embodiment 4 of the present invention.

【図11】この発明の実施例5を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing Embodiment 5 of the present invention.

【図12】この発明の実施例6の構成を示すブロック図
である。
FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a sixth embodiment of the present invention.

【図13】この発明の実施例6のLEDヘッドの点灯パ
ターンと遮光マスクの透過光量パターンを示す説明図で
ある。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a lighting pattern of an LED head and a transmitted light amount pattern of a light shielding mask according to a sixth embodiment of the present invention.

【図14】この発明の実施例7のラインセンサを示す構
造図である。
FIG. 14 is a structural diagram showing a line sensor according to a seventh embodiment of the present invention.

【図15】この発明の実施例8を示す説明図である。FIG. 15 is an explanatory diagram showing Embodiment 8 of the present invention.

【図16】従来のLEDヘッドの焦点検査装置の構成を
示すブロック図である。
FIG. 16 is a block diagram showing a configuration of a conventional focus inspection device for an LED head.

【図17】従来のLEDヘッドの焦点検査装置の動作を
示す説明図である。
FIG. 17 is an explanatory diagram showing an operation of a conventional focus inspection device for an LED head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 LEDヘッド 2 LEDヘッド駆動部 3 LEDヘッドの焦点面 4 センサまたはラインセンサ 5 センサ信号処理部 6 センサまたはラインセンサの焦点面 7 テーブル 8 テーブル駆動部 9 制御部 10 遮光マスク 15 感光ドラム 1 LED head 2 LED head drive unit 3 Focal plane of LED head 4 Sensor or line sensor 5 Sensor signal processing unit 6 Focal plane of sensor or line sensor 7 Table 8 Table drive unit 9 Control unit 10 Light-shielding mask 15 Photosensitive drum

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 等間隔に配列された複数の検出器を有す
るラインセンサを備え、前記ラインセンサのドット間ピ
ッチがLEDヘッドのドット間ピッチと異なることによ
り前記ラインセンサで測定した光量信号にモアレ状干渉
パターンを生じることを特徴とするLEDヘッドの焦点
検査装置。
1. A line sensor having a plurality of detectors arranged at equal intervals, wherein the dot pitch of the line sensor is different from the dot pitch of the LED head so that the light amount signal measured by the line sensor is moire. Inspection device for LED head, which produces a linear interference pattern.
【請求項2】 前記ラインセンサの検出器間に間隙を設
けたことを特徴とする請求項第1項記載のLEDヘッド
の焦点検査装置。
2. The focus inspection apparatus for an LED head according to claim 1, wherein a gap is provided between the detectors of the line sensor.
【請求項3】 前記ラインセンサの検出器の形状が、主
走査方向に比べて副走査方向に長いことを特徴とする請
求項第1項または第2項のいづれかに記載のLEDヘッ
ドの焦点検査装置。
3. The focus inspection of the LED head according to claim 1, wherein the shape of the detector of the line sensor is longer in the sub scanning direction than in the main scanning direction. apparatus.
【請求項4】 等間隔に配列されたスリットを有する遮
光マスクを備え、前記遮光マスクのスリット間ピッチが
LEDヘッドのドット間ピッチと異なることにより前記
遮光マスクの透過光量にモアレ状干渉パターンを生じる
ことを特徴とするLEDヘッドの焦点検査装置。
4. A light-shielding mask having slits arranged at equal intervals is provided, and a pitch between slits of the light-shielding mask is different from a pitch between dots of the LED head, so that a moire interference pattern is generated in a transmitted light amount of the light-shielding mask. A focus inspection device for an LED head, characterized in that
【請求項5】 等間隔に配列された複数の検出器を有
し、ドット間ピッチがLEDヘッドのドット間ピッチと
異なるラインセンサを前記LEDヘッドに対向配置し、
前記LEDヘッドを1ドットおきに点灯して得られる前
記ラインセンサのモアレ状パターンの光量信号の最大値
と最小値を用いることを特徴とするLEDヘッドの焦点
検査方法。
5. A line sensor having a plurality of detectors arranged at equal intervals, the line sensor having a pitch between dots different from the pitch between dots of the LED head is arranged facing the LED head.
A focus inspection method for an LED head, comprising using the maximum value and the minimum value of a light amount signal of a moire pattern of the line sensor obtained by lighting the LED head every other dot.
【請求項6】 前記LEDヘッドを夫々任意の複数ドッ
トから成る点灯区間と消灯区間の繰返しパターンで点灯
させたことを特徴とす請求項第5項記載のLEDヘッド
の焦点検査方法。
6. The method for inspecting a focus of an LED head according to claim 5, wherein the LED head is lit in a repeating pattern of a lighting section and a non-lighting section each including an arbitrary plurality of dots.
【請求項7】 前記モアレ状パターンの光量信号を標準
パターンと比較することにより、前記モアレ状パターン
の不規則性を検出することを特徴とする請求項第5項記
載のLEDヘッドの焦点検査方法。
7. The focus inspection method for an LED head according to claim 5, wherein the irregularity of the moire pattern is detected by comparing the light amount signal of the moire pattern with a standard pattern. .
【請求項8】 前記光量信号の隣接する2ドットの光量
信号の和および差を用いることを特徴とする請求項第5
項記載のLEDヘッドの焦点検査方法。
8. The sum and difference of the light quantity signals of two adjacent dots of the light quantity signal are used.
Item 4. A focus inspection method for an LED head according to the item.
【請求項9】 等間隔に配列された複数のスリットを有
し、スリット間ピッチがLEDヘッドのドット間ピッチ
と異なる遮光マスクを前記LEDヘッドに対向配置し、
前記LEDヘッドを夫々任意の整数ドットから成る点灯
区間と消灯区間の繰返しパターンで点灯して得られる前
記遮光マスクのモアレ状の透過光パターンの明暗差を用
いることを特徴とするLEDヘッドの焦点検査方法。
9. A light-shielding mask, which has a plurality of slits arranged at equal intervals and has a pitch between slits different from a pitch between dots of the LED head, is arranged to face the LED head.
A focus test of an LED head, which uses a difference in brightness of a moire-like transmitted light pattern of the light-shielding mask obtained by lighting the LED head in a repeating pattern of a lighting section and an extinguishing section each consisting of an arbitrary integer dot. Method.
JP11734892A 1992-05-11 1992-05-11 Inspection device and method of focus of led head Pending JPH05309868A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11734892A JPH05309868A (en) 1992-05-11 1992-05-11 Inspection device and method of focus of led head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11734892A JPH05309868A (en) 1992-05-11 1992-05-11 Inspection device and method of focus of led head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05309868A true JPH05309868A (en) 1993-11-22

Family

ID=14709474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11734892A Pending JPH05309868A (en) 1992-05-11 1992-05-11 Inspection device and method of focus of led head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05309868A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100710610B1 (en) Device and method for evaluating optical distortion of transparent plate body
US7019848B2 (en) Three-dimensional measuring instrument, filter striped plate, and illuminating means
US4394683A (en) New photodetector array based optical measurement systems
US6992696B1 (en) Image test target for visual determination of digital image resolution
JPH0571984A (en) Absolute-position measuring apparatus
CN110006366B (en) An image reflection type angular displacement measuring device and method thereof
JPH06258102A (en) Measuring device
US6649925B2 (en) Methods of calibrating a position measurement device
DE3687029T2 (en) OPTICAL MEASURING APPARATUS.
EP0985133B1 (en) Apparatus for position determination
US7098448B2 (en) Method and apparatus for measuring beam spot of scanning light
JP4679313B2 (en) Surface smoothness measuring device
JPH05309868A (en) Inspection device and method of focus of led head
US20250085527A1 (en) Calibration target, fourier ptychographic imaging system and method for calibrating a fourier ptychographic imaging system
CN113029008B (en) A detection method based on Moiré fringes and its application in autocollimator
CN107193428B (en) Optical touch screen, touch positioning method thereof and optical distortion calibration method
JP4522848B2 (en) Method for evaluating optical performance of rod lens array
JPH10185830A (en) Transparent sheet inspection equipment
JPH0629705B2 (en) Plate inspection method
JP2005106831A (en) Light beam diagnostic device and method therefor
JPH01212338A (en) Apparatus for measuring surface properties of glass plate
PL104063B1 (en) ELECTROOPTIC SYSTEM FOR DIMENSION CONTROL OF WORKPIECES
JPH0626835A (en) Optical apparatus for inspecting lead shape of electronic component and inspecting apparatus for lead shape of electronic component using the optical apparatus
JPS6034699B2 (en) hardness tester
JP7332417B2 (en) Measuring device and measuring method