JPH06114817A - Jig for laminate and method for laminating green sheet - Google Patents
Jig for laminate and method for laminating green sheetInfo
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- JPH06114817A JPH06114817A JP4266367A JP26636792A JPH06114817A JP H06114817 A JPH06114817 A JP H06114817A JP 4266367 A JP4266367 A JP 4266367A JP 26636792 A JP26636792 A JP 26636792A JP H06114817 A JPH06114817 A JP H06114817A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス多層基板
を製造する際に使用されるラミネート用治具及びグリー
ンシートのラミネート方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminating jig used for manufacturing a ceramic multilayer substrate and a method for laminating a green sheet.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、セラミックス多層基板の製造方法
にあっては、積層されたグリーンシートをラミネートし
て各層のグリーンシートを貼り合わせた後、前記グリー
ンシートに焼成を施している。また、多層基板用のグリ
ーンシートをラミネートする場合には、例えば図６のよ
うな一対の挟持板２２，２３を備えたラミネート用治具
２０が従来より使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a method for manufacturing a ceramic multilayer substrate, laminated green sheets are laminated and the green sheets of each layer are bonded together, and then the green sheets are fired. Further, when laminating a green sheet for a multi-layer substrate, a laminating jig 20 including a pair of sandwiching plates 22 and 23 as shown in FIG. 6 has been conventionally used.
【０００３】図６に示すように、前記治具２０を構成す
る下側の挟持板２２には、複数の位置合わせピン２４が
上方に向かって突設されている。一方、上側の挟持板２
３には、前記各ピン２４に対応する位置に凹部２５が形
成されている。As shown in FIG. 6, a plurality of positioning pins 24 are provided on the lower holding plate 22 constituting the jig 20 so as to project upward. On the other hand, the upper holding plate 2
A recess 25 is formed in the position 3 corresponding to each pin 24.
【０００４】これらの挟持板２２，２３の間には複数枚
のグリーンシート２１が積層して配置され、この状態で
上下方向から圧力を加えることにより、各グリーンシー
ト２１が互いにラミネートされる。また、このときの位
置合わせは、グリーンシート２１の外周部に透設された
各位置合わせ孔２６と前述の各ピン２４とによって行っ
ている（図６，図７(a) 参照）。A plurality of green sheets 21 are laminated between the sandwiching plates 22 and 23, and by applying pressure from the vertical direction in this state, the green sheets 21 are laminated to each other. In addition, the alignment at this time is performed by the alignment holes 26 provided through the outer peripheral portion of the green sheet 21 and the pins 24 described above (see FIGS. 6 and 7A).
【０００５】なお、多層基板の各層間の導体回路は、一
般にスルーホールを介して電気的に接続されるものであ
る。そのため、前記グリーンシート２１には、図７
（ａ）に示すように複数のスルーホール形成用孔２７が
透設されている。The conductor circuits between the layers of the multilayer substrate are generally electrically connected through through holes. Therefore, the green sheet 21 has a structure shown in FIG.
As shown in (a), a plurality of through-hole forming holes 27 are provided through.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
治具２０を用いた場合、ラミネート時にグリーンシート
２１に対して上下方向のみから押圧力が加わることにな
るため、グリーンシート２１が横方向へ不規則的に変形
してしまう。この場合、図７（ｂ）に示すようにスルー
ホール形成用孔２７の位置がずれてしまい、所望の寸法
精度が得られなくなる。However, when the conventional jig 20 is used, a pressing force is applied only to the green sheet 21 in the vertical direction during lamination, so that the green sheet 21 is not laterally aligned. It deforms regularly. In this case, the positions of the through-hole forming holes 27 are displaced as shown in FIG. 7B, and desired dimensional accuracy cannot be obtained.
【０００７】また、このような場合には、特にグリーン
シート２１の外周部において、ラミネーションが完全に
なされていない部位、いわゆるデラミネーション部位が
できてしまう。そのため、得られた多層基板にはシート
間剥離等の不具合が起こり易くなる。Further, in such a case, a so-called delamination portion, which is a portion where the lamination is not completed, is formed especially on the outer peripheral portion of the green sheet 21. Therefore, in the obtained multilayer substrate, defects such as peeling between sheets are likely to occur.
【０００８】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、ラミネート時におけるグリーンシ
ートの不規則的な変形を解消することにより、スルーホ
ールの寸法精度を向上し、かつデラミネーション部位の
発生を確実に防止し得るラミネート用治具及びグリーン
シートのラミネート方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to improve the dimensional accuracy of through holes by eliminating irregular deformation of the green sheet during lamination. It is an object of the present invention to provide a laminating jig and a method for laminating a green sheet, which can surely prevent the occurrence of a lamination portion.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本出願では第一の発明として、積層しようとする
グリーンシートの上下に配置するための一対の挟持体
と、前記積層しようとするグリーンシートをいずれかの
挟持体に固定するための位置合わせピンと、前記積層し
ようとするグリーンシートを収容するための収容部を有
する側面抑え部材とを備えたラミネート用治具を提案し
ている。In order to solve the above-mentioned problems, the first invention of the present application is, as a first invention, a pair of sandwiching members for arranging above and below a green sheet to be stacked, and the above-mentioned stacking device. There has been proposed a laminating jig including a positioning pin for fixing the green sheet to any one of the sandwiches, and a side surface restraining member having an accommodating portion for accommodating the green sheet to be laminated. .
【００１０】前記収容部は、積層しようとするグリーン
シートの外形よりも若干大きくすることが望ましい。逆
に言えば、グリーンシートの外形を収容部の大きさより
も小さく加工することでも良い。It is desirable that the accommodating portion is slightly larger than the outer shape of the green sheet to be laminated. Conversely speaking, the outer shape of the green sheet may be processed to be smaller than the size of the accommodating portion.
【００１１】また、グリーンシートのラミネート方法に
関する第二の発明として、積層されたグリーンシートの
外周面に側面抑え部材を若干離間して配置し、かつこの
状態で前記グリーンシートに上下方向から押圧力を付加
することによりグリーンシートをラミネートすることを
提案している。As a second invention relating to a method for laminating green sheets, side restraining members are arranged on the outer peripheral surface of the laminated green sheets with a slight distance therebetween, and in this state, a pressing force is applied to the green sheets from above and below. It is proposed to laminate the green sheet by adding.
【００１２】上記のようなラミネートを行う際には、グ
リーンシートと側面抑え部材との離間量を５０μｍ〜２
５０μｍにすることが望ましい。また、付加する圧力を
４０kgf/cm2 以上にしたり、温度を８０℃〜１５０℃に
することも同様に望ましい。更に、ラミネート時におい
てグリーンシートに押圧力を付加する前に、雰囲気の圧
力を６０cm/Hg 〜７６cm/Hg にすることも良い結果をも
たらす。When performing the above-mentioned lamination, the distance between the green sheet and the side surface restraining member is 50 μm to 2 μm.
It is desirable that the thickness be 50 μm. It is also desirable that the applied pressure be 40 kgf / cm 2 or more, and the temperature be 80 ° C to 150 ° C. Further, it is also possible to bring good results by setting the pressure of the atmosphere to 60 cm / Hg to 76 cm / Hg before applying a pressing force to the green sheet during lamination.
【００１３】[0013]
【作用】この治具を用いてラミネートを行った場合、積
層されたグリーンシートは上下方向から加わる押圧力に
よって横方向へ広がるように変形し、やがてグリーンシ
ートの外周面は側面抑え部材の内壁面にほぼ一様に当接
する。この状態で更に上下方向から押圧力が加わったと
しても、前記側面抑え部材の存在によって、それ以上グ
リーンシートには変形が生じなくなる。[Function] When laminating is performed using this jig, the laminated green sheets are deformed so as to spread in the lateral direction by the pressing force applied from the vertical direction, and the outer peripheral surface of the green sheets eventually becomes the inner wall surface of the side surface restraining member. Abut almost uniformly. Even if a pressing force is further applied in the vertical direction in this state, the presence of the side surface restraining member prevents the green sheet from being further deformed.
【００１４】従って、グリーンシートの横方向への変形
は、一定量にかつ極めて少量に規制される。また、この
場合において変形の仕方も不規則ではなく、ある程度規
則的になる。ゆえに、スルーホールの寸法精度が向上
し、かつグリーンシート外周部においてデラミネーショ
ン部位の発生も確実に防止することが可能となる。Therefore, the lateral deformation of the green sheet is restricted to a fixed amount and a very small amount. Further, in this case, the method of deformation is not irregular but becomes regular to some extent. Therefore, it is possible to improve the dimensional accuracy of the through hole and reliably prevent the occurrence of a delamination portion on the outer peripheral portion of the green sheet.
【００１５】グリーンシートをラミネートする場合、グ
リーンシートと側面抑え部材との離間量は５０μｍ〜２
５０μｍであることが望ましい。離間量が５０μｍ未満
だと、グリーンシートの装着及び取り出しをスムーズに
行うことが困難になる。一方、離間量が２５０μｍより
大きいと、ラミネート時における側面抑え部材からの押
圧力が不十分になり、寸法精度を向上させることが困難
になる。When laminating the green sheet, the distance between the green sheet and the side face restraining member is 50 μm to 2 μm.
It is preferably 50 μm. If the distance is less than 50 μm, it becomes difficult to smoothly mount and remove the green sheet. On the other hand, when the separation amount is larger than 250 μm, the pressing force from the side surface restraining member at the time of lamination becomes insufficient and it becomes difficult to improve the dimensional accuracy.
【００１６】また、ラミネート時に付加する圧力は４０
kgf/cm2 以上であることが望ましい。この圧力が前記値
未満であると押圧力が不十分になってしまい、グリーン
シートの外周部のみならず、その他の部分についてもデ
ラミネーションが起こり易くなるからである。The pressure applied during lamination is 40
It is desirable to be kgf / cm 2 or more. If this pressure is less than the above value, the pressing force becomes insufficient, and delamination easily occurs not only in the outer peripheral portion of the green sheet but also in other portions.
【００１７】更に、ラミネート時の温度は８０℃〜１５
０℃であることが望ましい。前記温度が８０℃未満であ
ると、温度が低すぎてグリーンシートを確実にラミネー
トすることができなくなる。一方、前記温度が１５０℃
を越えると、グリーンシート中のバインダが分解し始め
るため、ラミネート性が悪化してしまう。Further, the temperature during lamination is 80 ° C. to 15 ° C.
It is preferably 0 ° C. If the temperature is less than 80 ° C., the temperature is too low to reliably laminate the green sheet. On the other hand, the temperature is 150 ° C
If it exceeds, the binder in the green sheet will start to decompose, and the laminating property will deteriorate.
【００１８】ラミネート時においてグリーンシートに押
圧力を付加する前に、雰囲気の圧力を６０cm/Hg 〜７６
cm/Hg にすることが望ましい。前記圧力を６０cm/Hg 未
満に設定しようとすると、かかる真空条件を作るために
大きな装置が必要となり、コスト的に高くなる。一方、
この圧力を７６cm/Hgより大きく設定すると、グリーン
シートに付着したごみ等を確実に除去することができな
くなる。また、グリーンシート中のエアを抜気すること
もできなくなる。Before the pressing force is applied to the green sheet during lamination, the pressure of the atmosphere is adjusted to 60 cm / Hg-76.
It is desirable to use cm / Hg. If the pressure is set to less than 60 cm / Hg, a large device is required to create such a vacuum condition, resulting in high cost. on the other hand,
If this pressure is set higher than 76 cm / Hg, it becomes impossible to reliably remove dust and the like adhering to the green sheet. Also, the air in the green sheet cannot be vented.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、本発明を窒化アルミニウム（ＡｌＮ）
多層基板の製造方法に具体化した実施例を図１〜図４に
基づき詳細に説明する。EXAMPLES The present invention will now be described with reference to aluminum nitride (AlN).
An embodiment embodied in a method for manufacturing a multilayer substrate will be described in detail with reference to FIGS.
【００２０】まず、本実施例にて使用されるラミネート
用治具１の構成について説明する。図１に示すように、
主としてこのラミネート用治具１は、積層しようとする
グリーンシートＳの表面側に配置される上側挟持体２
と、裏面側に配置される下側挟持体３とによって構成さ
れている。First, the structure of the laminating jig 1 used in this embodiment will be described. As shown in Figure 1,
Mainly, this laminating jig 1 includes an upper holding body 2 arranged on the front surface side of the green sheet S to be laminated.
And the lower sandwiching body 3 arranged on the back surface side.
【００２１】前記下部挟持体３を構成するベース４の上
面外周部には、正方形状かつ枠状をした側面抑え部材５
が固定されている。側面抑え部材５の内壁面とベース４
の上面とが形成する部分には、その空間の内形より僅か
に小さなテーブル６が上下方向へ摺動可能に収容されて
いる。図３に示すように、前記テーブル６とベース４と
の間には複数個のコイルスプリング１２が介在されてお
り、それらのコイルスプリング１２によってテーブル６
がほぼ水平状態に支持されている。なお、テーブル６の
上面と側面抑え部材５の内壁面とが形成する部分は、グ
リーンシートＳを収容するための２００．００mm角の収
容部７となっている。On the outer peripheral surface of the upper surface of the base 4 which constitutes the lower holding body 3, a square-shaped and frame-shaped side holding member 5 is formed.
Is fixed. Inner wall surface of side restraining member 5 and base 4
A table 6 which is slightly smaller than the inner shape of the space is housed in a portion formed by the upper surface of the table so as to be slidable in the vertical direction. As shown in FIG. 3, a plurality of coil springs 12 are interposed between the table 6 and the base 4, and the coil springs 12 cause the table 6 to move.
Are supported almost horizontally. A portion formed by the upper surface of the table 6 and the inner wall surface of the side surface restraining member 5 is a 200.00 mm square accommodation portion 7 for accommodating the green sheet S.
【００２２】図１及び図３に示すように、テーブル６の
外周部には、複数のピン挿入用孔８が一定間隔を隔てて
透設されている。それらのピン挿入用孔８には、断面円
形状をした位置合わせピン９が挿入されている。As shown in FIGS. 1 and 3, a plurality of pin insertion holes 8 are provided in the outer peripheral portion of the table 6 at regular intervals. Positioning pins 9 having a circular cross section are inserted into the pin insertion holes 8.
【００２３】前記上側挟持体としての上側挟持板２の下
面には、前記収容部７の形状とほぼ同じ形状の押圧部１
０が突出して形成されている。この押圧部１０におい
て、各位置合わせピン９と対応する位置には、位置合わ
せピン９の先端部よりも若干大径の凹部１１が設けられ
ている。On the lower surface of the upper holding plate 2 serving as the upper holding body, a pressing portion 1 having substantially the same shape as that of the accommodating portion 7 is formed.
0 is formed so as to project. In the pressing portion 10, a recess 11 having a diameter slightly larger than the tip end portion of the alignment pin 9 is provided at a position corresponding to each alignment pin 9.
【００２４】なお、前述した各部材４，５，６，９は、
ステンレス等の材料を用いて形成されている。そして、
上述のラミネート用治具１はラミネート装置の治具固定
部Ｍに装着されている。The members 4, 5, 6, 9 described above are
It is formed using a material such as stainless steel. And
The above-mentioned laminating jig 1 is mounted on the jig fixing portion M of the laminating apparatus.
【００２５】次いで、ＡｌＮ多層基板の形成材料となる
グリーンシートＳについて説明する。本実施例では、Ａ
ｌＮ粉末、バインダ、焼結助剤等を含むスラリーをシー
ト状に成形したグリーンシートＳを１９９．５０mm角に
外形カットして用いている。また、グリーンシートＳの
厚さは０．５mm±０．０１mmである。Next, the green sheet S as a material for forming the AlN multilayer substrate will be described. In this embodiment, A
A green sheet S formed by molding a slurry containing 1N powder, a binder, a sintering aid and the like into a sheet shape is cut into a 199.50 mm square and used. The thickness of the green sheet S is 0.5 mm ± 0.01 mm.
【００２６】前記グリーンシートＳには、図２に示すよ
うに、ドリル等によって内径０．２mmのスルーホール形
成用孔Ｈ1 が透設される。その透設数はシートあたり５
０００穴である。また、図１及び図２に示すように、前
記グリーンシートＳの外周部には、前記各位置合わせピ
ン９に対応して、位置合わせ穴Ｈ2 が透設されている。As shown in FIG. 2, the green sheet S is provided with a through hole forming hole H1 having an inner diameter of 0.2 mm by a drill or the like. The number of transparent materials is 5 per sheet
There are 000 holes. Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the outer peripheral portion of the green sheet S is provided with alignment holes H2 corresponding to the alignment pins 9.
【００２７】グリーンシートＳには従来公知のタングス
テンペーストが印刷され、前記ペーストよってグリーン
シートＳの表面上及びスルーホール形成用孔Ｈ1 内に導
体回路パターンＰが形成される。A conventionally known tungsten paste is printed on the green sheet S, and a conductor circuit pattern P is formed on the surface of the green sheet S and in the through hole forming holes H1 by the paste.
【００２８】次に、前記治具１を用いたグリーンシート
Ｓのラミネート方法について述べる。各グリーンシート
Ｓは、各位置合わせ孔Ｈ2 に各位置合わせピン９を挿入
することによって、前記テーブル６に固定される（図３
参照）。本実施例では、前記テーブル６上に合計七枚の
グリーンシートＳを積層している。また、図２に示すよ
うに、この実施例においては、スルーホール形成用孔Ｈ
1 を有する五枚のグリーンシートＳを内側に配置し、ス
ルーホール形成用孔Ｈ1 を有しない二枚のグリーンシー
トＳを最外層に配置している。Next, a method of laminating the green sheet S using the jig 1 will be described. Each green sheet S is fixed to the table 6 by inserting each alignment pin 9 into each alignment hole H2 (see FIG. 3).
reference). In this embodiment, a total of seven green sheets S are laminated on the table 6. Further, as shown in FIG. 2, in this embodiment, a through hole forming hole H is formed.
Five green sheets S having 1 are arranged on the inner side, and two green sheets S having no through hole forming hole H1 are arranged on the outermost layer.
【００２９】なお、前記グリーンシートＳの外形寸法と
前記収容部７の内形寸法との差は５００μｍである。そ
れゆえ、ラミネート前においては、グリーンシートＳの
各外周面は側面抑え部材５の各内壁面から若干離間した
状態となる（図３参照）。従って、このときの離間量ｄ
は２５０μｍとなる。The difference between the outer dimension of the green sheet S and the inner dimension of the accommodating portion 7 is 500 μm. Therefore, before laminating, the outer peripheral surfaces of the green sheet S are slightly separated from the inner wall surfaces of the side surface restraining member 5 (see FIG. 3). Therefore, the separation amount d at this time
Is 250 μm.
【００３０】ここで、ラミネート装置を作動させて上側
挟持板２を下方向へ動かすことにより（図４参照）、前
記各グリーンシートＳには上下方向からの押圧力が付加
される。このときの押圧力により、各層のグリーンシー
トＳは互いに貼り合わされる。なお、本実施例において
は、ラミネート時における治具１の周囲の雰囲気の圧力
を７０cmHgに設定している。また、前記ラミネート時の
圧力を８０kgf/cm2 に設定し、加圧時間及び加圧温度を
３分，１３０℃に設定している。By operating the laminating apparatus to move the upper sandwiching plate 2 downward (see FIG. 4), a pressing force is applied to each green sheet S from above and below. Due to the pressing force at this time, the green sheets S of each layer are attached to each other. In this embodiment, the pressure of the atmosphere around the jig 1 during lamination is set to 70 cmHg. The pressure during lamination is set to 80 kgf / cm 2 , and the pressing time and pressing temperature are set to 130 ° C. for 3 minutes.
【００３１】その後、貼り合わされたグリーンシートＳ
を治具１から取り出し、常法に従って脱脂、仮焼成及び
本焼成を行って所望のＡｌＮ多層基板を得た（実施例１
−１）。After that, the green sheet S that has been stuck together
Was taken out from the jig 1, and degreasing, pre-baking and main baking were carried out in the usual manner to obtain a desired AlN multilayer substrate (Example 1
-1).
【００３２】そして、この多層基板に脱脂等を施す前
に、以下のような二種の調査を行った。第一の調査で
は、一枚のグリーンシートＳから４５穴のスルーホール
形成用孔Ｈ1 を任意に選択し、それらの間隔を調査する
ことにより、ラミネート後のグリーンシートＳの寸法変
化率（％）を算出した。第二の調査では、グリーンシー
トＳの外周部におけるデラミネーション部位の有無を肉
眼等によって観察した。それらの結果を表１に示す。Before degreasing the multi-layer substrate, the following two types of investigations were conducted. In the first survey, the dimensional change rate (%) of the laminated green sheet S is determined by arbitrarily selecting 45 through-hole forming holes H1 from one green sheet S and examining their intervals. Was calculated. In the second investigation, the presence or absence of the delamination site on the outer peripheral portion of the green sheet S was observed with the naked eye. The results are shown in Table 1.
【００３３】さて、次に前記実施例１−１と異なる条件
で、つまり離間量ｄの値をそれぞれ変更してラミネート
を行うことにより、三種の多層基板を作製した。なお、
前記離間量ｄを変更する方法として、ここではグリーン
シートＳの外形寸法を調節するという方法を採用してい
る。Next, three kinds of multi-layer substrates were manufactured under the conditions different from those of Example 1-1, that is, by performing the lamination while changing the value of the distance d. In addition,
As a method of changing the separation amount d, here, a method of adjusting the outer dimension of the green sheet S is adopted.
【００３４】表１に示すように、実施例１−２ではグリ
ーンシートＳの外形寸法を１９９．７００mmにすること
により、離間量ｄを１５０μｍに設定している。実施例
１−３ではグリーンシートＳの外形寸法を１９９．５０
０mmにすることにより、離間量ｄを２５０μｍに設定し
ている。更に、実施例１−４ではグリーンシートＳの外
形寸法を１９９．３００mmにすることにより、離間量ｄ
を３５０μｍに設定している。As shown in Table 1, in Example 1-2, the outer space dimension of the green sheet S is set to 199.700 mm, so that the distance d is set to 150 μm. In Example 1-3, the external dimensions of the green sheet S are 199.50.
By setting the distance to 0 mm, the separation amount d is set to 250 μm. Furthermore, in Example 1-4, by setting the outer dimension of the green sheet S to 199.300 mm, the separation amount d
Is set to 350 μm.
【００３５】以上の４つの実施例１−１〜１−４に加え
て、側面抑え部材５を持たない従来タイプの治具を用い
てラミネートを行った（比較例）。上記の各実施例及び
比較例について前記実施例１−１と同様の調査を行った
結果を表１に示す。In addition to the above four Examples 1-1 to 1-4, a conventional type jig having no side holding member 5 was used for lamination (comparative example). Table 1 shows the results of the same investigations as in Example 1-1 for each of the above Examples and Comparative Examples.
【００３６】[0036]
【表１】 [Table 1]
【００３７】表１より明らかなように、寸法変化率につ
いては離間量ｄが小さなものほど良くなる傾向が見られ
た。また、離間量ｄが２５０μｍを越える実施例１−
３，１−４については、比較例の値と同程度であった。
そして、各実施例におけるラミネート後のグリーンシー
トＳを観察したところ、その外周部の形状は直線状に保
持されていた。As is clear from Table 1, the smaller the distance d, the better the dimensional change rate. Further, the embodiment 1 in which the distance d exceeds 250 μm
About 3 and 1-4, it was about the same as the value of the comparative example.
Then, when the green sheet S after lamination in each of the examples was observed, the shape of the outer peripheral portion thereof was kept linear.
【００３８】一方、比較例ではグリーンシートＳの横方
向へ変形は不規則なものとなり、グリーンシートＳの外
周部は波状になっていた（図７(b) 参照）。次にデラミ
ネーション部位の有無を観察したところ、実施例１−１
〜１−３ではデラミネーション部位は全く認められなか
った。それに対して、比較例ではかなりの高確率でデラ
ミネーションが発生していた。また、実施例１−４にお
いては、デラミネーションが発生しているものも多少確
認された。しかし、その発生率は前記比較例ほど高くは
なかった。On the other hand, in the comparative example, the lateral deformation of the green sheet S was irregular, and the outer peripheral portion of the green sheet S was wavy (see FIG. 7 (b)). Next, when the presence or absence of the delamination site was observed, Example 1-1 was obtained.
No delamination site was observed at all in 1-3. On the other hand, in the comparative example, delamination occurred with a fairly high probability. Further, in Examples 1-4, some occurrence of delamination was confirmed. However, the incidence was not as high as that of the comparative example.
【００３９】以上の結果を総合すると、各実施例の方が
比較例よりも全体的に優れているという結論に容易に到
達する。とりわけ、離間量ｄを１５０μｍ以下に設定し
た実施例１−１，１−２によれば、スルーホールの寸法
精度を向上でき、かつデラミネーション部位の発生も確
実に防止できるという極めて好適な結果が得られること
がわかる。Summarizing the above results, it is easy to reach the conclusion that each example is overall superior to the comparative example. Particularly, according to Examples 1-1 and 1-2 in which the distance d is set to 150 μm or less, the dimensional accuracy of the through hole can be improved, and the occurrence of the delamination site can be surely prevented, which is a very preferable result. You can see that you can get it.
【００４０】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
ることはなく、以下のように変更することが可能であ
る。例えば、 （ａ）図５に示す別例のラミネート用治具１４のよう
に、側面抑え部材１５の一側面１５ａを開閉可能な扉状
にしても良い。この構成の利点としては、グリーンシー
トＳの装入や取り出しが容易になることである。なお、
前記扉状の一側面１５ａは、側面抑え部材１５と一体で
あっても別体であっても良い。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as follows. For example, (a) one side surface 15a of the side surface restraining member 15 may be formed into a door shape that can be opened and closed like a laminating jig 14 of another example shown in FIG. The advantage of this configuration is that the green sheet S can be easily loaded and unloaded. In addition,
The door-shaped one side surface 15a may be integrated with the side surface restraining member 15 or may be a separate body.
【００４１】（ｂ）位置合わせピン９の数や形状、コイ
ルスプリング１２の数や設置場所等については変更する
ことが可能である。また、コイルスプリング１２と異な
る付勢手段として、例えば板ばねのようなものを用いて
も良い。(B) The number and shape of the alignment pins 9, the number of coil springs 12 and the installation location can be changed. Further, as a biasing means different from the coil spring 12, for example, a leaf spring may be used.
【００４２】（ｃ）前記実施例とは異なり、ラミネート
用治具１の収容部７の大きさを可変できるような構成に
することも好適である。(C) Differently from the above embodiment, it is also preferable that the size of the accommodating portion 7 of the laminating jig 1 can be changed.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のラミネー
ト用治具及びグリーンシートのラミネート方法によれ
ば、ラミネート時におけるグリーンシートの横方向への
不規則的な変形は確実に解消することが可能となる。こ
のため、スルーホールの寸法精度を向上できると共に、
デラミネーション部位の発生を確実に防止できるという
優れた効果を奏する。As described in detail above, according to the laminating jig and the method for laminating a green sheet of the present invention, irregular deformation in the lateral direction of the green sheet during lamination can be surely eliminated. Is possible. Therefore, the dimensional accuracy of the through hole can be improved, and
It has an excellent effect that it is possible to reliably prevent the occurrence of delamination parts.
【図１】実施例のラミネート用治具とグリーンシートと
を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a laminating jig and a green sheet according to an embodiment.
【図２】図１のＡ−Ａ線における部分拡大断面図であ
る。FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図３】押圧力を付加する前のラミネート用治具を示す
概略正断面図である。FIG. 3 is a schematic front cross-sectional view showing a laminating jig before applying a pressing force.
【図４】押圧力を付加した後のラミネート用治具を示す
概略正断面図である。FIG. 4 is a schematic front sectional view showing a laminating jig after a pressing force is applied.
【図５】別例のラミネート用治具を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing another example of a laminating jig.
【図６】従来タイプのラミネート用治具を用いたラミネ
ート方法を説明するための概略正断面図である。FIG. 6 is a schematic front sectional view for explaining a laminating method using a conventional type laminating jig.
【図７】（ａ）はラミネート前のグリーンシートを示す
平面図であり、（ｂ）はラミネートによって横方向への
変形が生じたグリーンシートを示す平面図である。7A is a plan view showing a green sheet before laminating, and FIG. 7B is a plan view showing a green sheet laterally deformed by laminating.
Ｓ （積層しようとする）グリーンシート、２ （上
側）挟持体としての上側挟持板、３ （下側）挟持体、
９ 位置合わせピン、７ 収容部、５，１５ 側面抑え
部材、ｄ 離間量。S (to be laminated) green sheet, 2 (upper side) sandwiching plate as a sandwiching body, 3 (lower side) sandwiching body,
9 Alignment pin, 7 Housing part, 5, 15 Side restraining member, d Space amount.
Claims (6)
上下に配置するための一対の挟持体（２，３）と、 前記積層しようとするグリーンシート（Ｓ）をいずれか
の挟持体（３）に固定するための位置合わせピン（９）
と、 前記積層しようとするグリーンシート（Ｓ）を収容する
ための収容部（７）を有する側面抑え部材（５，１５）
とを備えたラミネート用治具。1. A pair of sandwiching bodies (2, 3) for arranging above and below a green sheet (S) to be stacked, and one of the sandwiching bodies (3) for the green sheet (S) to be stacked. ) Alignment pin (9) for fixing to
And a side holding member (5, 15) having an accommodating portion (7) for accommodating the green sheets (S) to be laminated.
A laminating jig equipped with and.
に側面抑え部材（５，１５）を若干離間して配置し、か
つこの状態で前記グリーンシート（Ｓ）に上下方向から
押圧力を付加することによりグリーンシート（Ｓ）をラ
ミネートすることを特徴としたグリーンシートのラミネ
ート方法。2. The side surface restraining members (5, 15) are arranged on the outer peripheral surface of the laminated green sheets (S) with a slight distance therebetween, and in this state, a pressing force is applied to the green sheets (S) from above and below. A method for laminating a green sheet, which comprises laminating a green sheet (S) by adding it.
部材（５，１５）との離間量（ｄ）を５０μｍ〜２５０
μｍにすることを特徴とした請求項２に記載のグリーン
シートのラミネート方法。3. The separation amount (d) between the green sheet (S) and the side surface restraining members (5, 15) is 50 μm to 250.
3. The method for laminating a green sheet according to claim 2, wherein the green sheet has a thickness of .mu.m.
2 以上にすることを特徴とした請求項２または３に記載
のグリーンシートのラミネート方法。4. The pressure applied during lamination is 40 kgf / cm.
The method for laminating a green sheet according to claim 2 , wherein the number is 2 or more.
することを特徴とした請求項２乃至４のいずれか一項に
記載のグリーンシートのラミネート方法。5. The method for laminating a green sheet according to claim 2, wherein the temperature at the time of laminating is 80 ° C. to 150 ° C.
（Ｓ）に押圧力を付加する前に、雰囲気の圧力を６０cm
/Hg 〜７６cm/Hg にすることを特徴とした請求項２乃至
５のいずれか一項に記載のグリーンシートのラミネート
方法。6. The pressure of the atmosphere is 60 cm before applying a pressing force to the green sheet (S) during lamination.
The method for laminating a green sheet according to any one of claims 2 to 5, wherein / Hg to 76 cm / Hg is set.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4266367A JPH06114817A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Jig for laminate and method for laminating green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4266367A JPH06114817A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Jig for laminate and method for laminating green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06114817A true JPH06114817A (en) | 1994-04-26 |
Family
ID=17429964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4266367A Pending JPH06114817A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Jig for laminate and method for laminating green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06114817A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7326309B2 (en) * | 2001-04-12 | 2008-02-05 | Denso Corporation | Method of producing ceramic laminate body |
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-
1992
- 1992-10-05 JP JP4266367A patent/JPH06114817A/en active Pending
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