[go: up one dir, main page]

JPH06117487A - Machine vibration isolator - Google Patents

Machine vibration isolator

Info

Publication number
JPH06117487A
JPH06117487A JP26588192A JP26588192A JPH06117487A JP H06117487 A JPH06117487 A JP H06117487A JP 26588192 A JP26588192 A JP 26588192A JP 26588192 A JP26588192 A JP 26588192A JP H06117487 A JPH06117487 A JP H06117487A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
machine
vibration
control device
electromagnet
magnetic control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26588192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeo Matsumoto
武雄 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hakko Electronics Co Ltd
Original Assignee
Hakko Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hakko Electronics Co Ltd filed Critical Hakko Electronics Co Ltd
Priority to JP26588192A priority Critical patent/JPH06117487A/en
Publication of JPH06117487A publication Critical patent/JPH06117487A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 機械Mの振動を有効に抑制する。 【構成】 複数のエア式のべローシリンダ10、10…
を介して機械Mを弾性支持するとともに、各ベローシリ
ンダ10に対し、鉄片21、22、電磁石31、32を
備える磁気制御装置を並設する。電磁石31、32は、
機械Mに対し、機械Mの上下振動を抑制する方向に力を
及ぼす。
(57) [Summary] [Purpose] To effectively suppress the vibration of the machine M. [Structure] A plurality of air type bellows cylinders 10, 10 ...
The machine M is elastically supported via the, and a magnetic control device including iron pieces 21 and 22 and electromagnets 31 and 32 is installed in parallel for each bellows cylinder 10. The electromagnets 31, 32 are
A force is applied to the machine M in a direction of suppressing vertical vibration of the machine M.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、工作機械、織機等の
振動形の機械に付設し、機械自体から外部に伝達される
振動を最小限に抑制するための機械の防振装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration damping device for a machine, which is attached to a vibration type machine such as a machine tool or a loom to suppress vibration transmitted from the machine itself to the outside.

【0002】[0002]

【従来の技術】プレス機械や鍜造機械などの工作機械
や、コンプレッサ、織機などの機械には、その運転中に
過大な振動を発生するものが少なくない。
2. Description of the Related Art Machine tools such as press machines and forging machines, and machines such as compressors and looms often generate excessive vibration during operation.

【0003】そこで、かかる機械を設置する際には、有
害な振動が外部に伝達されないように、特に頑丈な基礎
工事を施したり、エア式のベローシリンダと呼ばれる一
種の空気ばねや、防振ゴム等の弾性部材を介し、機械全
体を弾性支持する手法が広く採用されている。
Therefore, when such a machine is installed, particularly strong foundation work is performed to prevent harmful vibrations from being transmitted to the outside, a kind of air spring called an air bellows cylinder, and a rubber vibration isolator. A method of elastically supporting the entire machine through elastic members such as is widely adopted.

【0004】また、機械には、その重量を増大させ、励
振力との共振を避けるために、重錘を載せることもあ
る。
In addition, a weight may be mounted on the machine in order to increase its weight and avoid resonance with the excitation force.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】かかる従来技術による
ときは、基礎工事が特殊構造の煩雑なものとなり、ま
た、べローシリンダ等による防振装置は、有害な振動を
全ての周波数に亘って抑制するものでないために、必ず
しも十分な防振性能を発揮することができないという問
題があった。
According to such a conventional technique, the foundation work becomes complicated due to its special structure, and the vibration isolator such as the bellows cylinder suppresses harmful vibration over all frequencies. Therefore, there is a problem that it is not always possible to exhibit sufficient vibration damping performance.

【0006】そこで、この発明の目的は、かかる従来技
術の問題に鑑み、エア式のベローシリンダと磁気制御装
置とを組み合わせることによって、煩雑な基礎工事をす
るまでもなく、良好な防振性能を実現することができる
機械の防振装置を提供することにある。
In view of the problems of the prior art, an object of the present invention is to combine an air type bellows cylinder and a magnetic control device so that good vibration damping performance can be achieved without complicated foundation work. It is to provide a vibration damping device for a machine that can be realized.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めのこの発明の構成は、エア調整回路によって内圧を制
御され、機械を弾性支持する複数のエア式のべローシリ
ンダと、ベローシリンダに並設する磁気制御装置とを
備、磁気制御装置は、機械に対し、機械の上下振動を抑
制する方向に力を及ぼすことをその要旨とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the structure of the present invention has a plurality of pneumatic bellows cylinders whose internal pressure is controlled by an air adjusting circuit and which elastically supports a machine, and a bellows cylinder. The magnetic control device is equipped with a magnetic control device, and the gist of the magnetic control device is to exert a force on the machine in a direction of suppressing vertical vibration of the machine.

【0008】なお、磁気制御装置は、電磁石と、機械の
上下方向の変位に応じて電磁石の励磁電流を制御する制
御回路とを備えることができる。
The magnetic control device may include an electromagnet and a control circuit for controlling the exciting current of the electromagnet according to the vertical displacement of the machine.

【0009】[0009]

【作用】かかる発明の構成によるときは、複数のべロー
シリンダは、エア調整回路によりそれぞれの内圧を制御
することによって、所定の高さ位置に機械を水平に保持
するとともに、機械を弾性支持することにより、機械の
振動を吸収することができる。また、磁気制御装置は、
機械の上下振動を抑制する方向に力を及ぼすことによ
り、機械の振動を吸収し、機械が共振状態となってしま
う事態を回避することができる。
According to the structure of the present invention, the plurality of bellows cylinders hold the machine horizontally at a predetermined height position and elastically support the machine by controlling the respective internal pressures by the air adjusting circuit. As a result, the vibration of the machine can be absorbed. In addition, the magnetic control device,
By applying a force in the direction of suppressing the vertical vibration of the machine, it is possible to absorb the vibration of the machine and avoid a situation in which the machine is in a resonance state.

【0010】なお、磁気制御装置として電磁石と制御回
路とを使用すれば、制御回路は、機械の上下方向の変位
に応じて電磁石の励磁電流を制御し、電磁石が発生する
吸引力をコントロールすることができるから、機械が共
振状態となり、過大な振動状態になることを一層有効に
阻止することができる。
If an electromagnet and a control circuit are used as the magnetic control device, the control circuit controls the exciting current of the electromagnet according to the displacement of the machine in the vertical direction, and controls the attraction force generated by the electromagnet. Therefore, it is possible to more effectively prevent the machine from resonating and becoming excessively vibrated.

【0011】[0011]

【実施例】以下、図面を以って実施例を説明する。Embodiments Embodiments will be described below with reference to the drawings.

【0012】機械の防振装置は、機械Mの四隅部に配設
するエア式のべローシリンダ10、10…と、機械Mの
ベース部M1 、M1 …の上下に配設する鉄片21、21
…、22、22…、電磁石31、31…、32、32…
とを備えてなり(図1)、各鉄片21、22、電磁石3
1、32は、各ベローシリンダ10に並設する磁気制御
装置を形成している。
The vibration isolator of the machine comprises pneumatic bellows cylinders 10, 10 arranged at the four corners of the machine M and iron pieces 21, 21 arranged above and below the bases M1, M1 of the machine M.
..., 22, 22 ..., Electromagnets 31, 31 ..., 32, 32 ...
And (Fig. 1), each iron piece 21, 22, the electromagnet 3
Reference numerals 1 and 32 form a magnetic control device provided in parallel with each bellows cylinder 10.

【0013】ベローシリンダ10、10…は、機械Mの
底部の四隅部に配設されており、全体として、機械Mを
弾性支持することができる。各ベローシリンダ10は、
ゴム質の弾性材料からなる提灯状のべロー本体11の上
下に支持板12、13を付着してなり(図2)、固定台
14、51を介して床上に設置されている。また、各ベ
ローシリンダ10は、支持板12を介して、機械Mの全
重量を支持している。
The bellows cylinders 10, 10, ... Are arranged at the four corners of the bottom of the machine M and can elastically support the machine M as a whole. Each bellows cylinder 10
Support plates 12 and 13 are attached to the top and bottom of a lantern-shaped bellows body 11 made of a rubber-like elastic material (FIG. 2), and are installed on the floor via fixing bases 14 and 51. Further, each bellows cylinder 10 supports the total weight of the machine M via the support plate 12.

【0014】鉄片21、22は、それぞれ、機械Mのベ
ース部M1 の上面と下面とに固定されている。
The iron pieces 21 and 22 are fixed to the upper surface and the lower surface of the base portion M1 of the machine M, respectively.

【0015】電磁石31、32は、固定台51の上面に
固定するコ字形のブラケット33を介し、それぞれ、鉄
片21、22に対向するようにして、機械Mのベース部
M1の上下に配設されている。なお、電磁石31、32
には、制御回路34により、励磁電流i1 、i2 が供給
されている。
The electromagnets 31 and 32 are arranged above and below the base portion M1 of the machine M so as to face the iron pieces 21 and 22, respectively, via a U-shaped bracket 33 fixed to the upper surface of the fixed base 51. ing. The electromagnets 31, 32
The control circuit 34 supplies the exciting currents i1 and i2 to the motor.

【0016】各ベローシリンダ10の近傍には、変位セ
ンサ41が配設されている。変位センサ41は、床面に
対する機械Mの上下方向の変位xを検出し、電気信号と
して出力することができる。変位センサ41は、ベース
41bを介して床面に取り付けられ、機械Mの底部に付
設したドグ41aまでの距離を変位xとして検出する。
変位センサ41からの出力信号は、制御回路34に送出
されている。
A displacement sensor 41 is arranged near each bellows cylinder 10. The displacement sensor 41 can detect the vertical displacement x of the machine M with respect to the floor surface and output it as an electric signal. The displacement sensor 41 is attached to the floor surface via the base 41b and detects the distance to the dog 41a attached to the bottom of the machine M as the displacement x.
The output signal from the displacement sensor 41 is sent to the control circuit 34.

【0017】また、ベローシリンダ10、10…は、そ
れぞれ、エア調整回路15を介してエア源16に接続さ
れている(図3)。エア調整回路15は、エア源16と
ベローシリンダ10との間に介装する2ポートの下限バ
ルブ15bと、下限バルブ15bの出口側に分岐接続す
る2ポートの上限バルブ15aとを備えてなり、下限バ
ルブ15bを介してベローシリンダ10にエアを供給
し、上限バルブ15aを介してベローシリンダ10のエ
アを排気ポート15dから排気することができる。な
お、上限バルブ15aと排気ポート15dとの間には、
流量調整弁15cが介装されている。
The bellows cylinders 10, 10, ... Are connected to an air source 16 via an air adjusting circuit 15 (FIG. 3). The air adjusting circuit 15 includes a two-port lower limit valve 15b interposed between the air source 16 and the bellows cylinder 10, and a two-port upper limit valve 15a branched and connected to the outlet side of the lower limit valve 15b. Air can be supplied to the bellows cylinder 10 via the lower limit valve 15b, and the air of the bellows cylinder 10 can be exhausted from the exhaust port 15d via the upper limit valve 15a. In addition, between the upper limit valve 15a and the exhaust port 15d,
A flow rate adjusting valve 15c is provided.

【0018】ベローシリンダ10、10…は、機械Mの
重量に変動があったとしても、機械Mの高さ位置を常に
一定に保ち、しかも、機械Mを水平に弾性支持すること
ができる。すなわち、各ベローシリンダ10は、その内
圧が低くて機械Mが下限位置よりも下がっているとき
は、まず、下限バルブ15bを作動させて、ベローシリ
ンダ10にエアを供給する。そこで、ベローシリンダ1
0は上方に伸長し、所定位置に到達すると、下限バルブ
15bが閉じてエアの供給が終り、したがって、ベロー
シリンダ10、10…は、機械Mの全重量とバランスし
て、機械Mを所定高さに維持することができる。
The bellows cylinders 10, 10, ... Can always keep the height position of the machine M constant even if the weight of the machine M varies, and can elastically support the machine M horizontally. That is, when the internal pressure of each bellows cylinder 10 is low and the machine M is below the lower limit position, first, the lower limit valve 15b is operated to supply air to the bellows cylinder 10. Therefore, bellows cylinder 1
0 extends upward, and when it reaches a predetermined position, the lower limit valve 15b closes and the supply of air is finished. Therefore, the bellows cylinders 10, 10, ... Balance the total weight of the machine M and keep the machine M at a predetermined height. Can be maintained.

【0019】つぎに、機械Mの重量が軽い方に変動する
と、ベローシリンダ10は、さらに伸長して上限位置に
達するので、そのときは、上限バルブ15aが作動し、
ベローシリンダ10のエアが排気される。これにより、
ベローシリンダ10は短縮し、所定位置に到達したとき
に上限バルブ15aが閉じ、ベローシリンダ10は、所
定長さに静止することができる。
Next, when the weight of the machine M fluctuates toward the lighter side, the bellows cylinder 10 further extends and reaches the upper limit position. At that time, the upper limit valve 15a operates,
The air in the bellows cylinder 10 is exhausted. This allows
The bellows cylinder 10 is shortened, the upper limit valve 15a is closed when the bellows cylinder 10 reaches a predetermined position, and the bellows cylinder 10 can stand still for a predetermined length.

【0020】以後、同様にして、各ベローシリンダ10
は、エア調整回路15により、機械Mの重量の変動に追
随して伸縮し、機械Mを所定の高さ位置に水平に保持す
るとともに、機械Mを弾性支持することにより、機械M
から発生する振動が床に伝達することを防止することが
できる。。
Thereafter, similarly, each bellows cylinder 10
Is expanded and contracted by the air adjusting circuit 15 in accordance with the change in the weight of the machine M to horizontally hold the machine M at a predetermined height position and elastically support the machine M, so that the machine M
It is possible to prevent the vibration generated from being transmitted to the floor. .

【0021】一方、機械Mに振動が発生すると、変位セ
ンサ41が検出する変位xは、機械の上下動に応じて振
動的になる。そこで、制御回路34は、変位センサ41
からの変位xを入力し、電磁石31、32に対し、機械
Mの上下振動を抑制するように、励磁電流i1 、i2 を
供給することができる。
On the other hand, when vibration occurs in the machine M, the displacement x detected by the displacement sensor 41 becomes vibrational according to the vertical movement of the machine. Therefore, the control circuit 34 controls the displacement sensor 41
It is possible to supply the excitation currents i1 and i2 to the electromagnets 31 and 32 so as to suppress the vertical vibration of the machine M by inputting the displacement x from

【0022】すなわち、いま、時間tに対し、変位xが
所定値x=xo の上下に振動するとき(図4)、制御回
路34は、上側の電磁石31に対しては、x<xo の区
間において、変位xの大きさに対応して変化する励磁電
流i1 を供給し、下側の電磁石32に対しては、x>x
o の区間において、変位xの大きさに対応して変化する
励磁電流i2 を供給する(同図)。一方、電磁石31、
32は、それぞれ、励磁電流i1 、i2 の大きさに対応
する吸引力を発生して鉄片21、22を吸引し、機械M
に対し、上方向または下方向の吸引力を及ぼすことがで
きるから、このときの電磁石31、32は、機械Mに対
し、機械Mの上下振動を抑制する方向に力を及ぼすこと
ができる。また、機械Mが、その励振力と共振するよう
なことがあっても、制御回路34は、変位xの大きさに
応じて励磁電流i1 、i2 を大きくし、電磁石31、3
2の吸引力を大きくすることにより、機械Mの過大な振
動を抑制することができるから、機械Mが有害な共振状
態に陥ることを有効に回避することができる。
That is, when the displacement x oscillates above and below a predetermined value x = xo with respect to time t (FIG. 4), the control circuit 34 controls the section of x <xo for the upper electromagnet 31. In the above, an exciting current i1 which changes corresponding to the magnitude of the displacement x is supplied, and x> x for the lower electromagnet 32.
In the section of o, the exciting current i2 that changes corresponding to the magnitude of the displacement x is supplied (the same figure). On the other hand, the electromagnet 31,
32 generates an attractive force corresponding to the magnitudes of the exciting currents i1 and i2 to attract the iron pieces 21 and 22, respectively.
On the other hand, since an upward or downward attraction force can be exerted, the electromagnets 31, 32 at this time can exert a force on the machine M in a direction of suppressing vertical vibration of the machine M. Further, even if the machine M may resonate with its exciting force, the control circuit 34 increases the exciting currents i1 and i2 in accordance with the magnitude of the displacement x to cause the electromagnets 31 and 3 to move.
By increasing the suction force of 2, it is possible to suppress excessive vibration of the machine M, so that it is possible to effectively prevent the machine M from falling into a harmful resonance state.

【0023】以上の説明において、機械Mの底部に取り
付けるベローシリンダ10、10…は、機械Mの重量に
応じて任意の数を使用することができる。また、このと
きの磁気制御装置は、変位センサ41を含め、各ベロー
シリンダ10に対応して配設するのがよい。
In the above description, the bellows cylinders 10, 10 ... Attached to the bottom of the machine M can be used in any number depending on the weight of the machine M. Further, the magnetic control device at this time is preferably arranged corresponding to each bellows cylinder 10 including the displacement sensor 41.

【0024】[0024]

【他の実施例】機械Mの各ベースM1 の上面側に配設す
る鉄片21、電磁石31は、互いに反撥する1組の永久
磁石に代え、下面側に配設する鉄片22、電磁石32
は、互いに吸引する1組の永久磁石に代えることができ
る。これらの永久磁石は、機械Mに対し、常に下方に力
を及ぼすことができるから、機械Mに重錘を載せたこと
と等価であり、機械Mの上下振動を抑制することができ
る。
Other Embodiments The iron piece 21 and the electromagnet 31 arranged on the upper surface side of each base M1 of the machine M are replaced by a pair of permanent magnets repelling each other, and the iron piece 22 and the electromagnet 32 arranged on the lower surface side.
Can be replaced by a set of permanent magnets that attract each other. Since these permanent magnets can always exert a downward force on the machine M, it is equivalent to placing a weight on the machine M and can suppress vertical vibration of the machine M.

【0025】また、この実施例において、下面側の永久
磁石も互いに反撥するようにすれば、このときの永久磁
石は、全体として、機械Mの上下振動を積極的に抑制す
る方向に力を及ぼすことができ、一層有効に防振効果を
発揮することができる。
Further, in this embodiment, if the permanent magnets on the lower surface side are also repelled from each other, the permanent magnets at this time exert a force in a direction in which the vertical vibration of the machine M is positively suppressed as a whole. Therefore, the vibration damping effect can be more effectively exhibited.

【0026】なお、磁気制御装置は、各ベローシリンダ
10ごとに、永久磁石を使用するものと、電磁石31、
32、鉄片21、22を使用するものとを併用すること
ができる。前者は、後者の吸引力に対し、一種のバイア
スを加えることができるから、後者が発生すべき所要吸
引力は、その最大値を小さくすることができ、電磁石3
1、32の小形化を図ることができる。
The magnetic control device uses a permanent magnet for each bellows cylinder 10, an electromagnet 31,
32 and the one using the iron pieces 21 and 22 can be used together. The former can apply a kind of bias to the latter attractive force, so that the latter can reduce the maximum value of the required attractive force to be generated.
It is possible to reduce the size of 1, 32.

【0027】また、以上の各実施例に係る磁気制御装置
は、機械Mの上下振動を抑制するものであるが、これに
加えて、機械Mの水平方向の振動を抑制するものを追加
して併設してもよい。このものは、たとえば、電磁石3
1と鉄片21、電磁石32と鉄片22とをそれぞれ対向
させて水平方向に一直線上に配設し、変位センサ41
は、電磁石31、32、鉄片21、22が形成する直線
方向の水平方向の変位を検出すればよい。なお、機械M
の水平方向の振動が一方向に限らないときは、水平方向
の振動を抑制するための磁気制御装置を2組以上設け、
それぞれの電磁石31、32、鉄片21、22、または
永久磁石の配設方向を、水平方向に直角または直角に近
い大きな角度で異ならせることもできる。それぞれの磁
気制御装置は、機械Mの水平振動成分のうち、電磁石3
1、32等の配設方向の成分を抑制することができるか
ら、上下方向の振動を抑制する磁気制御装置と相俟っ
て、一層良好な防振性能を発揮することが可能である。
The magnetic control device according to each of the above-described embodiments suppresses the vertical vibration of the machine M. In addition to this, a device for suppressing the horizontal vibration of the machine M is added. May be added. This is, for example, an electromagnet 3
1 and the iron piece 21, and the electromagnet 32 and the iron piece 22 are arranged so as to face each other in the horizontal direction, and the displacement sensor 41
May detect the horizontal displacement in the linear direction formed by the electromagnets 31, 32 and the iron pieces 21, 22. Machine M
When the horizontal vibration is not limited to one direction, two or more magnetic control devices for suppressing the horizontal vibration are provided,
The electromagnets 31, 32, the iron pieces 21, 22, or the permanent magnets may be arranged in different directions at right angles to the horizontal direction or at large angles close to right angles. Among the horizontal vibration components of the machine M, the respective magnetic control devices use the electromagnet 3
Since it is possible to suppress components such as 1, 32 and the like in the arrangement direction, it is possible to exhibit even better vibration damping performance in combination with the magnetic control device that suppresses vertical vibration.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、エア式のベローシリンダと、磁気制御装置とを組み
合わせて配設することによって、ベローシリンダは、機
械を所定の高さ位置に水平に弾性支持して機械の振動が
外部に伝達することを防止することができ、また、磁気
制御装置は、機械の上下振動を抑制する方向に力を及ぼ
すことにより、機械の振動を最小に抑えることができる
から、煩雑な基礎工事をするまでもなく、良好な防振性
能を実現することができるという優れた効果がある。
As described above, according to the present invention, by arranging the air type bellows cylinder and the magnetic control device in combination, the bellows cylinder keeps the machine horizontal at a predetermined height position. Can be elastically supported to prevent the vibration of the machine from being transmitted to the outside, and the magnetic control device minimizes the vibration of the machine by exerting a force in the direction of suppressing the vertical vibration of the machine. Therefore, there is an excellent effect that good vibration damping performance can be realized without complicated foundation work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 全体構成図[Figure 1] Overall configuration diagram

【図2】 要部拡大説明図FIG. 2 is an enlarged explanatory view of main parts.

【図3】 エア系統図[Figure 3] Air system diagram

【図4】 動作説明図[Fig. 4] Operation explanatory diagram

【符号の説明】[Explanation of symbols]

M…機械 x…変位 i1 、i2 …励磁電流 10…ベローシリンダ 15…エア調整回路 31、32…電磁石 34…制御回路 M ... Mechanical x ... Displacement i1, i2 ... Exciting current 10 ... Bellows cylinder 15 ... Air adjusting circuit 31, 32 ... Electromagnet 34 ... Control circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エア調整回路によって内圧を制御され、
機械を弾性支持する複数のエア式のべローシリンダと、
該ベローシリンダに並設する磁気制御装置とを備えてな
り、該磁気制御装置は、機械に対し、機械の上下振動を
抑制する方向に力を及ぼすことを特徴とする機械の防振
装置。
1. An internal pressure is controlled by an air adjusting circuit,
Multiple pneumatic bellows cylinders that elastically support the machine,
A vibration control device for a machine, comprising: a magnetic control device provided in parallel with the bellows cylinder; the magnetic control device exerts a force on the machine in a direction of suppressing vertical vibration of the machine.
【請求項2】 前記磁気制御装置は、電磁石と、機械の
上下方向の変位に応じて前記電磁石の励磁電流を制御す
る制御回路とを備えることを特徴とする請求項1記載の
機械の防振装置。
2. The vibration control system for a machine according to claim 1, wherein the magnetic control device includes an electromagnet and a control circuit that controls an exciting current of the electromagnet in accordance with a vertical displacement of the machine. apparatus.
JP26588192A 1992-10-05 1992-10-05 Machine vibration isolator Pending JPH06117487A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26588192A JPH06117487A (en) 1992-10-05 1992-10-05 Machine vibration isolator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26588192A JPH06117487A (en) 1992-10-05 1992-10-05 Machine vibration isolator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06117487A true JPH06117487A (en) 1994-04-26

Family

ID=17423399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26588192A Pending JPH06117487A (en) 1992-10-05 1992-10-05 Machine vibration isolator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06117487A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000249185A (en) * 1999-02-26 2000-09-12 Fujita Corp Active vibration isolator
JP2001145611A (en) * 1999-09-13 2001-05-29 General Electric Co <Ge> Oscillation insulating device for mr photographing system
US6862077B2 (en) 1998-04-30 2005-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Anti-vibration system for exposure apparatus
US7817243B2 (en) * 2004-04-12 2010-10-19 Asml Netherlands B.V. Vibration isolation system
JP2024508189A (en) * 2021-03-19 2024-02-22 青▲島▼博▲鋭▼智▲遠▼▲減▼振科技有限公司 Air springs and railway vehicles

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6862077B2 (en) 1998-04-30 2005-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Anti-vibration system for exposure apparatus
JP2000249185A (en) * 1999-02-26 2000-09-12 Fujita Corp Active vibration isolator
JP2001145611A (en) * 1999-09-13 2001-05-29 General Electric Co <Ge> Oscillation insulating device for mr photographing system
US7817243B2 (en) * 2004-04-12 2010-10-19 Asml Netherlands B.V. Vibration isolation system
JP2024508189A (en) * 2021-03-19 2024-02-22 青▲島▼博▲鋭▼智▲遠▼▲減▼振科技有限公司 Air springs and railway vehicles

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102050182B1 (en) Air suspension system
JPH05340444A (en) Anti-vibration device and control method thereof
KR102696558B1 (en) Active inertial damper system and method
JP2014194275A (en) Vibration isolator with coil spring
JP2008082936A (en) Vibration test equipment
CN109915519A (en) Electromagnetic Vibration Isolation System
JPH06117487A (en) Machine vibration isolator
CA2518736C (en) Linear drive for vibratory apparatus
JPH03263810A (en) Vibration control method of semiconductor aligner
JPH08270725A (en) Repulsion type magnetic damper, repulsion type magnetic actuator and repulsion type magnetic vibration proof base
JP4057134B2 (en) Active vibration isolator
JP3724863B2 (en) Precision vibration isolator
JPH09177872A (en) Precise vibration isolation device
JP3180656B2 (en) Air compressor
KR20090109250A (en) Non-contact Flat Actuator and Vibration Control System and Vibration Control System Using It
US2786950A (en) Vibratory power tool
JPH08326839A (en) Superconducting magnetic levitation vibration isolation device
JPH0874930A (en) Vibration control device
JPH05263871A (en) Air spring type vibration resistant board
JPH09129167A (en) Charged particle beam equipment
JPH0849137A (en) Vibration-insulating frame of loom
JPH07138845A (en) Anti-vibration device for loom
JPH0626096U (en) Vibration isolation device
JPH0474053B2 (en)
JP3808605B2 (en) Excitation device