[go: up one dir, main page]

JPH06174658A - Image filtering method - Google Patents

Image filtering method

Info

Publication number
JPH06174658A
JPH06174658A JP4322841A JP32284192A JPH06174658A JP H06174658 A JPH06174658 A JP H06174658A JP 4322841 A JP4322841 A JP 4322841A JP 32284192 A JP32284192 A JP 32284192A JP H06174658 A JPH06174658 A JP H06174658A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
filtering
operator
component
inspection object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4322841A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3132932B2 (en
Inventor
Akira Kobayashi
彰 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP04322841A priority Critical patent/JP3132932B2/en
Publication of JPH06174658A publication Critical patent/JPH06174658A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3132932B2 publication Critical patent/JP3132932B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査対象画像エリア内で加工跡の方向が変化
している場合にも、前記方向が変化している領域毎に、
有効なフィルタリング・オペレータを自動的に選択する
画像フィルタリング方法を提供することを目的としてい
る。 【構成】 画像処理で、ノイズ除去や必要画像の強調を
行うフィルタリング方法において、検査対象物2を撮像
して得られた検査対象画像エリアを小領域に分割する小
領域切出し工程10と、前記分割された小領域毎の画像
の画像方向成分を検査対象物の履歴から算出する画像方
向成分算出工程11と、前記画像方向成分算出結果か
ら、強調、或いは、消去するべき特定方向の画像成分を
選定し、選定した特定方向の画像成分を強調、或いは、
消去するフィルタリング・オペレータを選択するオペレ
ータ選択工程12と、前記選択されたフィルタリング・
オペレータを使用してフィルタリングするフィルタリン
グ工程14とを有することを特徴とする。
(57) [Summary] [Purpose] Even if the direction of the processing mark changes in the inspection target image area, for each area where the direction changes,
It is an object of the present invention to provide an image filtering method for automatically selecting an effective filtering operator. In a filtering method for removing noise and emphasizing a required image in image processing, a small area cutting step 10 for dividing an inspection object image area obtained by imaging an inspection object 2 into small areas, and the division. An image direction component calculation step 11 for calculating an image direction component of the image of each of the small areas that have been calculated from the history of the inspection object, and an image component of a specific direction to be emphasized or erased is selected from the image direction component calculation result. To emphasize the image component in the selected specific direction, or
An operator selecting step 12 for selecting a filtering operator to be deleted, and the selected filtering
A filtering step 14 for filtering using an operator.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種部品や製品等の検
査対象物の傷や欠陥を画像処理によって検査する傷検査
の際の前処理である画像フィルタリングに関し、特に、
検査対象物の画像の方向性に合わせてフィルタリング・
オペレータを自動選択する画像フィルタリング方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to image filtering which is a pre-process at the time of scratch inspection for inspecting scratches or defects of inspection objects such as various parts and products by image processing.
Filtering according to the directionality of the image of the inspection object
The present invention relates to an image filtering method for automatically selecting an operator.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、基幹メカ部品、製品等の外装検査
の自動化が進み、非接触で、TVカメラ等を使用し画像
処理によって自動化された傷検査装置が広く使用され、
この傷検査装置を使用する傷検査において、特定方向の
画像成分を強調、或いは、消去するための画像フィルタ
リングが行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, automation of exterior inspection of basic mechanical parts, products, etc. has progressed, and non-contact flaw inspection devices automated by image processing using a TV camera etc. are widely used.
In a flaw inspection using this flaw inspection device, image filtering for enhancing or erasing an image component in a specific direction is performed.

【0003】次に、従来例の画像フィルタリング方法を
図8、図9に基づいて説明する。
Next, a conventional image filtering method will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

【0004】図8において、位置決めテーブル21の上
に置かれた検査対象物22を、照明装置23が照明し、
可動テレビカメラ支持部25に支持されたテレビカメラ
24が前記検査対象物22を撮像する。このテレビカメ
ラ24はテレビカメラ制御回路26によって制御されて
いる。
In FIG. 8, an illumination device 23 illuminates an inspection object 22 placed on a positioning table 21,
The TV camera 24 supported by the movable TV camera support portion 25 images the inspection object 22. The television camera 24 is controlled by a television camera control circuit 26.

【0005】テレビカメラ24からの画像信号は、A/
D変換回路27によってA/D変換され、画像濃度によ
って0〜255(256階調)の画像データに数値化さ
れて傷検査装置に入力される。
The image signal from the television camera 24 is A /
The data is A / D converted by the D conversion circuit 27, digitized into image data of 0 to 255 (256 gradations) according to the image density, and input to the flaw inspection apparatus.

【0006】傷検査装置は、主コントローラ或いは操作
盤から指令が与えられて装置全体を制御する判定制御回
路28と、入力された画像に処理するべき範囲を窓枠と
して設定する窓枠制御回路29と、入力した画像データ
の特定方向の画像成分を強調、或いは、消去する画像フ
ィルタリングを行うフィルタリング回路30と、傷部を
2値画像として抽出して検査する2値化回路31と、2
値画像の面積等からその2値画像が傷か否かを判定する
良否判定回路32とを有する。
In the flaw inspection device, a judgment control circuit 28 for controlling the entire device by receiving a command from a main controller or an operation panel, and a window frame control circuit 29 for setting a range to be processed for an input image as a window frame. A filtering circuit 30 for performing image filtering for emphasizing or erasing an image component in a specific direction of the input image data; a binarization circuit 31 for extracting and inspecting a scratch as a binary image;
A pass / fail judgment circuit 32 for judging whether or not the binary image is scratched based on the area of the value image or the like.

【0007】図9は、従来例の画像フィルタリングを行
う傷検査装置の動作を示すフローチャートで、ステップ
#1の画像入力工程で、図8に示すように、位置決めテ
ーブル21上に置かれた検査対象物22を、照明装置2
3が照明し、可動テレビカメラ支持部25に支持された
テレビカメラ24が撮像し、その画像信号をA/D変換
回路27に入力し、A/D変換回路27は、送られて来
た画像信号をA/D変換して、画像濃度による256階
調の画像データに数値化し、ステップ#2に進む。
FIG. 9 is a flow chart showing the operation of the conventional flaw inspection apparatus for performing image filtering. In the image input process of step # 1, the inspection object placed on the positioning table 21 as shown in FIG. The object 22 and the lighting device 2
3 is illuminated, the television camera 24 supported by the movable television camera support portion 25 takes an image, and the image signal thereof is input to the A / D conversion circuit 27, and the A / D conversion circuit 27 sends the received image. The signal is A / D converted and digitized into image data of 256 gradations according to the image density, and the process proceeds to step # 2.

【0008】ステップ#2の窓枠設定工程で、図8に示
す窓枠制御回路29が、前記のA/D変換回路27から
フィルタリング回路30に送られる前記画像データに、
窓枠を設定し、ステップ#3に進む。
In the window frame setting step of step # 2, the window frame control circuit 29 shown in FIG. 8 converts the image data sent from the A / D conversion circuit 27 to the filtering circuit 30 into the image data.
Set the window frame and proceed to step # 3.

【0009】ステップ#3のフィルタリング工程で、図
8に示すフィルタリング回路30が、図7に示すよう
な、それぞれ、特定方向の画像を消去したり強調したり
する各種のフィルタリング・オペレータM1 、M2 等の
中から、予め指示されたフィルタリング・オペレータを
使用して画像フィルタリングを行いフィルタリングを終
了し、その後、2値化回路31と良否判定回路32とで
検査する。
In the filtering process of step # 3, the filtering circuit 30 shown in FIG. 8 erases or emphasizes an image in a specific direction, as shown in FIG. 7, by various filtering operators M 1 and M. Image filtering is performed by using a filtering operator designated in advance from 2 or the like, and the filtering is completed, and thereafter, the binarization circuit 31 and the quality determination circuit 32 inspect.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のよう
に、予め指示されたフィルタリング・オペレータを使用
して画像フィルタリングを行う従来例の構成では、機械
加工された金属表面に仕上げ加工の加工跡があり、この
加工跡が検査対象画像エリア内全体で一定方向の場合は
問題無いが、前記加工跡の方向が検査対象画像エリア内
で領域によって変化する場合には、検査対象画像エリア
内全体を有効に画像フィルタリングを行うことが困難で
あるという問題点がある。
However, as described above, in the configuration of the conventional example in which the image filtering is performed by using the pre-specified filtering operator, the machining mark of the finish machining is left on the machined metal surface. Yes, there is no problem if the processing trace is in a fixed direction in the entire inspection target image area, but if the processing trace changes depending on the region in the inspection target image area, the entire inspection target image area is valid. However, there is a problem that it is difficult to perform image filtering.

【0011】本発明は、上記の問題点を解決し、検査対
象画像エリア内で加工跡の方向が変化している場合に
も、前記方向が変化している領域毎に、有効なフィルタ
リング・オペレータを自動的に選択する画像フィルタリ
ング方法を提供することを課題としている。
The present invention solves the above problems and, even when the direction of a processing mark changes in the image area to be inspected, an effective filtering operator is effective for each area in which the direction changes. It is an object to provide an image filtering method for automatically selecting.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の画像フィルタリ
ング方法は、上記の課題を解決するために、画像処理
で、ノイズ除去や必要画像の強調を行うフィルタリング
方法において、検査対象物を撮像して得られた検査対象
画像エリアを小領域に分割する小領域切出し工程と、前
記分割された小領域毎の画像の画像方向成分を検査対象
物の履歴から算出する画像方向成分算出工程と、前記画
像方向成分算出結果から、強調、或いは、消去するべき
特定方向の画像成分を選定し、選定した特定方向の画像
成分を強調、或いは、消去するフィルタリング・オペレ
ータを選択するオペレータ選択工程と、前記選択された
フィルタリング・オペレータを使用してフィルタリング
するフィルタリング工程とを有することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, an image filtering method of the present invention is a filtering method for removing noise and enhancing a necessary image in image processing, by imaging an inspection object. A small area cutting step of dividing the obtained inspection object image area into small areas; an image direction component calculating step of calculating an image direction component of the image of each of the divided small areas from a history of the inspection object; An operator selecting step of selecting an image component in a specific direction to be emphasized or erased from the direction component calculation result, and selecting a filtering operator to emphasize or erase the image component in the selected specific direction; And a filtering step of filtering using a different filtering operator.

【0013】又、本発明の画像フィルタリング方法は、
上記の課題を解決するために、小領域切出し工程と画像
方向成分算出工程とに間に、各小領域毎に各方向別に同
一方向を向く各直線の同一直線上に並ぶ画素間の画像濃
度差を演算集計した画像方向性強度を演算する有界変動
量算出工程を有し、画像方向成分算出工程は、前記の算
出された有界変動量を使用して、強調、或いは、消去す
るべき特定方向の画像成分を選定することが好適であ
る。
Further, the image filtering method of the present invention is
In order to solve the above-mentioned problem, the image density difference between pixels arranged on the same straight line of each straight line that faces the same direction for each small region between the small region cutting step and the image direction component calculation step. Has a bounded fluctuation amount calculating step of calculating the aggregated image directional strength, and the image direction component calculating step uses the calculated bounded fluctuation amount to specify a specific value to be emphasized or erased. It is preferable to select the directional image component.

【0014】[0014]

【作用】本発明の画像フィルタリング方法は、検査対象
物の加工履歴によって、検査対象画像エリア内での加工
跡の方向性が決まり、同一形状の検査対象物では、各領
域における加工跡の方向が同一であることを利用し、加
工跡の方向が異なる領域毎に、フィルタリング・オペレ
ータを選択することに特徴があり、次の構成と作用とを
有する。
In the image filtering method of the present invention, the processing history of the inspection object determines the direction of the processing marks in the image area of the inspection object. It is characterized in that the filtering operator is selected for each region in which the directions of the processing marks are different by utilizing the sameness, and has the following configuration and action.

【0015】検査対象物を撮像して検査対象画像エリア
を設定するところまでは従来例と同様であるが、小領域
切出し手段が、検査対象画像エリアを小領域に分割して
切り出す。このように、小領域に分けると、加工跡の方
向の差異が明確になり、フィルタリング・オペレータを
選択し易くなる。
The procedure up to setting the inspection object image area by imaging the inspection object is the same as in the conventional example, but the small area cutout means divides the inspection object image area into small areas and cuts them out. In this way, when the area is divided into small areas, the difference in the direction of the processing mark becomes clear, and it becomes easier to select the filtering operator.

【0016】画像方向成分算出工程が、前記分割された
小領域毎の画像の画像方向成分を、検査対象物の履歴か
ら、即ち加工履歴から算出する。これによって得られた
小領域毎の画像の画像方向成分は、同一形状の検査対象
物について総て等しいので、この画像方向成分に合わせ
てその方向の画像成分を消去したり強調するフィルタリ
ング・オペレータを選択すれば、検査対象画像エリア全
体を有効に画像フィルタリングすることができる。
The image direction component calculating step calculates the image direction component of the image of each of the divided small areas from the history of the inspection object, that is, the processing history. Since the image direction components of the image for each small area obtained by this are all the same for the inspection object of the same shape, a filtering operator that erases or emphasizes the image component in that direction according to this image direction component is used. If selected, the entire inspection target image area can be effectively subjected to image filtering.

【0017】従って、次のオペレータ選択工程で、前記
の算出された画像方向成分に基づいて適正なフィルタリ
ング・オペレータを選択し、フィルタリング工程で、有
効な画像フィルタリングを行う。
Therefore, in the next operator selecting step, an appropriate filtering operator is selected based on the calculated image direction component, and effective image filtering is performed in the filtering step.

【0018】又、本発明の画像フィルタリング方法は、
小領域切出し工程と画像方向成分算出工程とに間に、有
界変動量算出工程を挿入し、この有界変動量算出工程
で、各小領域毎に各方向別に同一方向を向く各直線の同
一直線上に並ぶ画素間の画像濃度差を演算集計した画像
方向性強度を演算して画像方向性強度を得れば、この画
像方向性強度は、前記の加工履歴から算出して得られた
画像方向成分の代わりに前記と同様にして使用できる。
Further, the image filtering method of the present invention is
A bounded variation amount calculation step is inserted between the small region cutting step and the image direction component calculation step, and in this bounded variation amount calculation step, the same direction of each straight line that faces the same direction for each small region Image density difference between pixels arranged on a straight line is calculated. If the image directional strength is obtained by calculating the aggregated image directional strength, the image directional strength is calculated from the processing history. Instead of the directional component, it can be used as described above.

【0019】[0019]

【実施例】本発明の画像フィルタリング方法の実施例を
図1〜図7に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the image filtering method of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0020】図1において、位置決めテーブル1の上に
置かれた検査対象物2を、照明装置3が照明し、可動テ
レビカメラ支持部4に支持されたテレビカメラ5が前記
検査対象物2を撮像する。このテレビカメラ5はテレビ
カメラ制御回路6によって制御されている。
In FIG. 1, an illumination device 3 illuminates an inspection object 2 placed on a positioning table 1, and a television camera 5 supported by a movable television camera support 4 images the inspection object 2. To do. The television camera 5 is controlled by the television camera control circuit 6.

【0021】テレビカメラ5からの画像信号は、A/D
変換回路7によってA/D変換され、画像濃度によって
0〜255(256階調)の画像データに数値化されて
傷検査装置に入力される。
The image signal from the TV camera 5 is A / D.
The data is A / D converted by the conversion circuit 7, digitized into image data of 0 to 255 (256 gradations) according to the image density, and input to the flaw inspection apparatus.

【0022】傷検査装置は、主コントローラ或いは操作
盤から指令が与えられて装置全体を制御する判定制御回
路8と、入力された画像に処理するべき範囲の窓枠とし
て検査対象画像エリアを設定する窓枠制御回路9と、前
記検査対象画像エリアを所定の小領域に切り出す小領域
切出し回路10と、前記分割された小領域毎の画像の画
像方向成分を検査対象物の履歴から算出する画像方向成
分算出回路11と、前記画像方向成分算出結果から、強
調、或いは、消去するべき特定方向の画像成分を選定
し、選定した特定方向の画像成分を強調、或いは、消去
するフィルタリング・オペレータを選択するオペレータ
選択回路12と、各方向の画像成分を強調、或いは、消
去する各種フィルタリング・オペレータを記憶し、前記
オペレータ選択回路12が選択したフィルタリング・オ
ペレータを送出するオペレータ記憶回路13と、前記送
出されたフィルタリング・オペレータを使用して画像フ
ィルタリングするフィルタリング回路14と、前記画像
フィルタリングされた画像デーを2値化して2値画像に
する2値化回路15と、前記2値画像に基づいて良否判
定する良否判定回路16と、前記各小領域毎に、各方向
別に同一方向を向く各直線の同一直線上に並ぶ画素間の
画像濃度差を演算集計した画像方向性強度を演算する有
界変動量算出回路17とを有する。
The flaw inspection apparatus sets an image area to be inspected as a judgment control circuit 8 which receives a command from the main controller or an operation panel to control the entire apparatus and a window frame of a range to be processed for an input image. A window frame control circuit 9, a small area cutout circuit 10 for cutting out the inspection target image area into a predetermined small area, and an image direction for calculating an image direction component of an image of each of the divided small areas from a history of the inspection target. From the component calculation circuit 11 and the image direction component calculation result, an image component in a specific direction to be emphasized or erased is selected, and a filtering operator for enhancing or deleting the image component in the selected specific direction is selected. The operator selection circuit 12 and various filtering operators for emphasizing or erasing image components in each direction are stored, and the operator selection circuit 2. An operator storage circuit 13 for sending the filtering operator selected by 2, a filtering circuit 14 for image filtering using the sent filtering operator, and a binary image by binarizing the image filtered image data. Between the binarizing circuit 15, the pass / fail judgment circuit 16 for determining pass / fail based on the binary image, and the pixels arranged on the same straight line in the same direction for each small region. And a bounded fluctuation amount calculation circuit 17 for calculating the image directional strength by calculating and summing the image density differences.

【0023】図2は、本実施例の動作を示すフローチャ
ートで、ステップ#1の画像入力工程で、図1に示すよ
うにして、位置決めテーブル1上に置かれた検査対象物
2を、照明装置3が照明し、可動テレビカメラ支持部4
に支持されたテレビカメラ5が撮像し、その画像信号を
A/D変換回路7に入力し、A/D変換回路7は、送ら
れて来た画像信号をA/D変換して、画像濃度による2
56階調の画像データに数値化し、ステップ#2に進
む。
FIG. 2 is a flow chart showing the operation of this embodiment. In the image input step of step # 1, the inspection object 2 placed on the positioning table 1 as shown in FIG. 3 illuminates and movable TV camera support 4
The television camera 5 supported by the camera picks up an image, inputs the image signal into the A / D conversion circuit 7, and the A / D conversion circuit 7 performs A / D conversion on the sent image signal to obtain an image density. By 2
Digitize into image data of 56 gradations, and proceed to step # 2.

【0024】ステップ#2の窓枠設定工程で、図1に示
す窓枠制御回路9が、前記のA/D変換回路7から小領
域切出し回路10に送られる前記画像データに、検査対
象画像エリアの窓枠を設定し、ステップ#3に進む。
In the window frame setting step of step # 2, the window frame control circuit 9 shown in FIG. 1 adds the image data to be inspected to the image data sent from the A / D conversion circuit 7 to the small area cutting circuit 10. Set the window frame of and proceed to step # 3.

【0025】ステップ#3の小領域切り出し工程で、図
1に示す小領域切出し回路10が、図3に示すように、
窓枠内の検査対象画像エリア40を小領域41に分割す
る。
In the small area cutting step of step # 3, the small area cutting circuit 10 shown in FIG.
The inspection target image area 40 in the window frame is divided into small areas 41.

【0026】この分割によって、加工跡42と傷43と
がある検査対象画像エリア40が小領域41に分割さ
れ、加工跡42のみがある小領域41と、加工跡42と
傷43とがある小領域41とに分かれる。両者の加工跡
42を消去すれば傷43を判定し易くなり、傷43を強
調しても傷43を判定し易くなる。そして、予めの指示
によって、ステップ#4、又は、ステップ#5に進む。
By this division, the inspection target image area 40 having the processing mark 42 and the scratch 43 is divided into the small areas 41, and the small area 41 having only the processing mark 42 and the small area having the processing mark 42 and the scratch 43. It is divided into a region 41. If the processing marks 42 of both are erased, the flaw 43 can be easily determined, and even if the flaw 43 is emphasized, the flaw 43 can be easily determined. Then, according to an instruction in advance, the process proceeds to step # 4 or step # 5.

【0027】ステップ#4の有界変動量算出工程で、図
1に示す有界変動量算出回路17が、良品について、図
3の各小領域41毎に各方向別に同一方向を向く各直線
の同一直線上に並ぶ画素間の画像濃度差を演算集計した
画像方向性強度、即ち、有界変動量を算出する。
In the bounded fluctuation amount calculation step of step # 4, the bounded fluctuation amount calculation circuit 17 shown in FIG. 1 causes the bounded fluctuation amount calculation circuit 17 shown in FIG. The image directionality intensity obtained by calculating and summing the image density differences between the pixels arranged on the same straight line, that is, the bounded variation amount is calculated.

【0028】この有界変動量の算出は、次のように行
う。図5に示すように、自画素44を中心にした、8方
向、θ0 、θ1 、θ2 、θ3 、θ4 、θ5 、θ6 、θ7
について、前記自画素44の画素濃度と、前記自画素4
4から所定間隔を隔てた画素、本実施例では1つ飛びの
画素の画素濃度との画像濃度差を算出し、同一方向の画
像濃度差を、式(1)に示すように加算していく。この
場合、方向分割数は、自画素44と周囲の画素間の距離
によって調整する。
The bounded fluctuation amount is calculated as follows. As shown in FIG. 5, eight directions centering on the own pixel 44, θ 0 , θ 1 , θ 2 , θ 3 , θ 4 , θ 5 , θ 6 , and θ 7.
Regarding the pixel density of the own pixel 44 and the own pixel 4
4, the image density difference from the pixel density of the pixel separated by a predetermined distance, in this embodiment, the pixel density of every other pixel is calculated, and the image density difference in the same direction is added as shown in Expression (1). . In this case, the number of direction divisions is adjusted according to the distance between the own pixel 44 and surrounding pixels.

【0029】[0029]

【数1】 [Equation 1]

【0030】nはi方向の小領域画素数 mはj方向の小領域画素数 上記の計算を終了して、ステップ#5に進む。N is the number of small region pixels in the i direction. M is the number of small region pixels in the j direction.

【0031】ステップ#5の画像成分方向算出工程で、
図1に示す画像成分方向算出回路11が、予めの指示に
よって、第1の場合には、ステップ#3で分割された小
領域毎の画像の画像方向成分を検査対象物の履歴から算
出する。加工跡42は、前記検査対象画像エリア40で
は、図3に示す加工跡42になり、小領域41では、図
4に示す加工跡42になるが、加工原理、加工手順と小
領域41の位置とから計算して、小領域41毎に、例え
ば、渦巻き状の加工跡42の渦巻きの式と小領域41の
位置とから、加工跡42の方向を求める。
In the image component direction calculation step of step # 5,
In the first case, the image component direction calculation circuit 11 shown in FIG. 1 calculates the image direction component of the image of each small region divided in step # 3 from the history of the inspection object in the first case, according to a previous instruction. The processing trace 42 becomes the processing trace 42 shown in FIG. 3 in the inspection target image area 40 and the processing trace 42 shown in FIG. 4 in the small region 41, but the processing principle, the processing procedure, and the position of the small region 41. For example, the direction of the processing trace 42 is obtained from the expression of the spiral of the spiral processing trace 42 and the position of the small region 41 for each small region 41.

【0032】又、予めの指示によって、第2の場合に
は、ステップ#4から送られて来た各小領域41毎の画
像方向性強度の計算結果に基づいて、加工跡42の方向
を求める。この場合、画像方向性強度、即ち、有界変動
量をグラフ化すると、図6のようになる。この場合、加
工跡や傷の方向は、画像が明るく且つ明るさに変化が無
いので、有界変動量は小さくなる。
In the second case, the direction of the processing mark 42 is obtained based on the calculation result of the image directional strength for each small area 41 sent from step # 4 in accordance with a predetermined instruction. . In this case, the image directionality intensity, that is, the bounded variation amount is graphed as shown in FIG. In this case, since the image is bright and there is no change in brightness in the direction of the processing marks and scratches, the bounded fluctuation amount is small.

【0033】図6は、小領域毎に、各方向の有界変動量
の平均値*f(θ)と各方向毎の有界変動量g(θ)と
を比較したもので、式(2)に示すように、*f(θ)
とg(θ)との差が比較データになり、図6に示すよう
に、傷43の方向であるθ3、θ4 において、前記差が
判定値εを越え、傷43の存在が確認される。
FIG. 6 is a comparison of the average value * f (θ) of the bounded fluctuation amount in each direction and the bounded fluctuation amount g (θ) in each direction for each small region. ), * F (θ)
And the difference between g (θ) becomes comparison data, and as shown in FIG. 6, at θ 3 and θ 4 which are the directions of the scratch 43, the difference exceeds the judgment value ε, and the existence of the scratch 43 is confirmed. It

【0034】[0034]

【数2】 [Equation 2]

【0035】ε:判定値 そして、ステップ#6に進む。Ε: Judgment value Then, the process proceeds to step # 6.

【0036】ステップ#6のオペレータ決定工程で、図
1に示すオペレータ選択回路12が、ステップ#5で求
められた加工跡42の方向から、加工跡42を消去する
フィルタリング・オペレータを選択し、次いで、図1に
示すオペレータ記憶回路13が、記憶しているフィルタ
リング・オペレータの中から、オペレータ選択回路12
が選択したフィルタリング・オペレータをステップ#7
に送る。
In the operator determining step of step # 6, the operator selecting circuit 12 shown in FIG. 1 selects a filtering operator for erasing the processing trace 42 from the direction of the processing trace 42 obtained in step # 5, and then The operator storage circuit 13 shown in FIG. 1 selects an operator selection circuit 12 from among the stored filtering operators.
Step # 7 for the filtering operator selected by
Send to.

【0037】ステップ#7のフィルタリング回路14
が、各小領域毎に、送られて来たフィルタリング・オペ
レータを使用してフィルタリングし、ステップ#8に進
む。
Filtering circuit 14 in step # 7
However, for each small area, filtering is performed using the filtering operator sent, and the process proceeds to step # 8.

【0038】ステップ#8の判定工程で、窓枠内の検査
対象画像エリア40にある小領域41が総て画像フィル
タリングを完了したか否かを判定し、完了であれば終了
し、否であれば、ステップ#3に戻る。
In the determination step of step # 8, it is determined whether or not the image filtering is completed for all the small regions 41 in the inspection target image area 40 in the window frame. If so, return to step # 3.

【0039】その後、図1に示す2値化回路15と良否
判定回路16とで検査する。
Thereafter, the binarization circuit 15 and the pass / fail judgment circuit 16 shown in FIG.

【0040】[0040]

【発明の効果】従来例の画像フィルタリング方法は、検
査対象画像エリア内で、領域によって、加工跡の方向が
変化している場合に有効な画像フィルタリングが出来な
かったが、本発明の画像フィルタリング方法では、加工
跡の方向性を計算又は測定してフィルタリング・オペレ
ータを選択するので、領域によって加工跡の方向が変化
している場合でも、検査対象画像エリア全体を有効にフ
ィルタリングできるという効果を奏する。
According to the image filtering method of the conventional example, effective image filtering cannot be performed when the direction of the processing mark changes depending on the area in the image area to be inspected. Then, since the directionality of the processing mark is calculated or measured and the filtering operator is selected, there is an effect that the entire inspection target image area can be effectively filtered even when the direction of the processing mark changes depending on the region.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an exemplary embodiment of the present invention.

【図2】図1の動作のフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart of the operation of FIG.

【図3】本発明の検査対象画像エリアと小領域の加工跡
と傷の画像である。
FIG. 3 is an image of an inspection target image area of the present invention, a processing trace of a small area, and a scratch.

【図4】本発明の小領域の加工跡と傷の画像である。FIG. 4 is an image of processing marks and scratches on a small area according to the present invention.

【図5】本発明の小領域の方向分割図である。FIG. 5 is a direction division view of a small area according to the present invention.

【図6】本発明の有界変動量の比較図である。FIG. 6 is a comparison diagram of bounded fluctuation amounts according to the present invention.

【図7】フィルタリング・オペレータである。FIG. 7 is a filtering operator.

【図8】従来例の構成を示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of a conventional example.

【図9】図8の動作のフローチャートである。9 is a flowchart of the operation of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 検査対象物 10 小領域切出し回路(小領域切出し工程) 11 画像方向成分算出回路(画像方向成分算出工程) 12 オペレータ選択回路(オペレータ選択工程) 13 オペレータ記憶回路(オペレータ記憶工程) 14 フィルタリング回路(フィルタリング工程) 15 2値化回路(2値化工程) 16 良否判定回路(良否判定工程) 17 有界変動量算出回路(有界変動量算出工程) 40 検査対象画像エリア 41 小領域 42 加工跡 43 傷 44 自画素 2 inspection object 10 small area cutout circuit (small area cutout step) 11 image direction component calculation circuit (image direction component calculation step) 12 operator selection circuit (operator selection step) 13 operator storage circuit (operator storage step) 14 filtering circuit ( Filtering process 15 Binarization circuit (binarization process) 16 Pass / fail judgment circuit (Pass / fail judgment process) 17 Bounded fluctuation amount calculation circuit (bounded fluctuation amount calculation process) 40 Inspection target image area 41 Small region 42 Processing trace 43 Scratch 44 own pixel

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 画像処理で、ノイズ除去や必要画像の強
調を行うフィルタリング方法において、検査対象物を撮
像して得られた検査対象画像エリアを小領域に分割する
小領域切出し工程と、前記分割された小領域毎の画像の
画像方向成分を検査対象物の履歴から算出する画像方向
成分算出工程と、前記画像方向成分算出結果から、強
調、或いは、消去するべき特定方向の画像成分を選定
し、選定した特定方向の画像成分を強調、或いは、消去
するフィルタリング・オペレータを選択するオペレータ
選択工程と、前記選択されたフィルタリング・オペレー
タを使用してフィルタリングするフィルタリング工程と
を有することを特徴とする画像フィルタリング方法。
1. A filtering method for removing noise and emphasizing a necessary image in image processing, comprising: a small area cutting step of dividing an inspection object image area obtained by imaging an inspection object into small areas; The image direction component calculation step of calculating the image direction component of the image of each of the small areas that are calculated from the history of the inspection object, and the image component of a specific direction to be emphasized or erased is selected from the image direction component calculation result. An image comprising: an operator selecting step of selecting a filtering operator for emphasizing or deleting the selected image component in a specific direction; and a filtering step of filtering using the selected filtering operator. Filtering method.
【請求項2】 小領域切出し工程と画像方向成分算出工
程との間に、各小領域毎に各方向別に同一方向を向く各
直線の同一直線上に並ぶ画素間の画像濃度差を演算集計
した画像方向性強度を演算する有界変動量算出工程を有
し、画像方向成分算出工程は、前記の算出された有界変
動量を使用して、強調、或いは、消去するべき特定方向
の画像成分を選定する請求項1に記載の画像フィルタリ
ング方法。
2. An image density difference between pixels arranged on the same straight line of the respective straight lines facing the same direction for each small region is calculated and aggregated between the small region cutting process and the image direction component calculating process. There is a bounded fluctuation amount calculating step for calculating the image directionality intensity, and the image direction component calculating step uses the calculated bounded fluctuation amount to enhance or erase the image component in a specific direction. The image filtering method according to claim 1, wherein
JP04322841A 1992-12-02 1992-12-02 Image filtering method Expired - Fee Related JP3132932B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04322841A JP3132932B2 (en) 1992-12-02 1992-12-02 Image filtering method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04322841A JP3132932B2 (en) 1992-12-02 1992-12-02 Image filtering method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06174658A true JPH06174658A (en) 1994-06-24
JP3132932B2 JP3132932B2 (en) 2001-02-05

Family

ID=18148208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04322841A Expired - Fee Related JP3132932B2 (en) 1992-12-02 1992-12-02 Image filtering method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3132932B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102854193A (en) * 2012-08-30 2013-01-02 苏州天准精密技术有限公司 A detection method and detection system for image defect detection
US8391585B2 (en) 2006-12-28 2013-03-05 Sharp Kabushiki Kaisha Defect detecting device, defect detecting method, image sensor device, image sensor module, defect detecting program, and computer-readable recording medium

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8391585B2 (en) 2006-12-28 2013-03-05 Sharp Kabushiki Kaisha Defect detecting device, defect detecting method, image sensor device, image sensor module, defect detecting program, and computer-readable recording medium
CN102854193A (en) * 2012-08-30 2013-01-02 苏州天准精密技术有限公司 A detection method and detection system for image defect detection

Also Published As

Publication number Publication date
JP3132932B2 (en) 2001-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009097922A (en) Appearance inspection method and appearance inspection apparatus
JPH08285780A (en) External pipe flaw inspection method for steel pipe
JP3132932B2 (en) Image filtering method
Murakami Image processing for non-destructive testing
JP3132931B2 (en) Scratch inspection device
JP3160743B2 (en) LCD panel defect inspection equipment
JP7469740B2 (en) Belt inspection system and belt inspection program
JPH06229929A (en) Inspection of indentation defect
JP2000105831A (en) Surface defect inspection apparatus and method
JP3338102B2 (en) Operator automatic selection filtering device
JP2543370B2 (en) Sealant inspection method using visual sensor
JP3296242B2 (en) Automatic ruled line detection apparatus and method
JP2536745B2 (en) PCB cut condition inspection method
JPH1163941A (en) Depth measurement method of ferrite decarburized layer
JPS62200740A (en) Wafer defect inspection equipment
JPH0827841B2 (en) Appearance inspection method
JP2710685B2 (en) Defect detection method by visual inspection
JPH07153804A (en) Visual inspection equipment of semiconductor chip
Sawai et al. Automated measurement of tool wear using an image processing system
JP2006098126A (en) Work surface scratch inspection device
JPH0613417A (en) Semiconductor chip recognition device
JPH0735703A (en) Image processing method
JP2002083303A (en) Image processing apparatus and image processing method
JP3216767B2 (en) Image processing device capable of level fluctuation correction
JPH0627037A (en) Defect inspection equipment

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees