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JPH06242343A - Connection method between optical fiber and optical waveguide - Google Patents

Connection method between optical fiber and optical waveguide

Info

Publication number
JPH06242343A
JPH06242343A JP2705493A JP2705493A JPH06242343A JP H06242343 A JPH06242343 A JP H06242343A JP 2705493 A JP2705493 A JP 2705493A JP 2705493 A JP2705493 A JP 2705493A JP H06242343 A JPH06242343 A JP H06242343A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
mode optical
face
single mode
adjustment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2705493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Okamura
浩司 岡村
Tadao Arima
忠夫 有馬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2705493A priority Critical patent/JPH06242343A/en
Publication of JPH06242343A publication Critical patent/JPH06242343A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ファイバと光導波路との接続方法の改良に
関し、シングルモード光ファイバの位置決めが容易で接
続時間が短縮されることを目的とする。 【構成】 第1の光導波路2-1 とは所望のピッチP離れ
て平行にマルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい
幅のサイドコア5を基板1上に形成し、基板1の両側に
それぞれ2段構成のX・Y・Z調整台を設置して、一方
のX・Y・Z調整台に第1のシングルモード光ファイバ
10と光投入側マルチモード光ファイバ30を、他方のX・
Y・Z調整台に第2のシングルモード光ファイバ20と受
光側マルチモード光ファイバ40をそれそれ搭載して、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、他方のX・Y・Z調整台を調整した後
に、第1のシングルモード光ファイバ10の位置調整を
し、次に第2のシングルモード光ファイバ20の位置調整
する構成とする。
(57) [Abstract] [Objective] An improvement in the connection method between an optical fiber and an optical waveguide is intended to facilitate positioning of a single-mode optical fiber and reduce the connection time. [Structure] Side cores 5 having a width substantially equal to the core diameter of the multimode optical fiber are formed in parallel with the first optical waveguide 2-1 at a desired pitch P on the substrate 1, and two side cores 2 are formed on both sides of the substrate 1. Installed a staged X / Y / Z adjustment base, and set the first single mode optical fiber on one of the X / Y / Z adjustment bases.
10 and the light input side multi-mode optical fiber 30 with the other X
The second single-mode optical fiber 20 and the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 are mounted on the Y / Z adjusting table, respectively, so that the optical power emitted from the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 is maximized. After adjusting the X, Y, and Z adjustment bases, the position of the first single-mode optical fiber 10 is adjusted, and then the position of the second single-mode optical fiber 20 is adjusted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シングルモード光ファ
イバと微小光導波路との接続方法の改良に関す。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a method of connecting a single mode optical fiber and a minute optical waveguide.

【0002】近年の光機器には、微小光導波路を有する
光集積回路, 方向性結合器等の光部品が広く使用されて
いる。このような光部品は、図4に図示したように、シ
リコン等の基板1の表面にクラッド層(アンダクラッド
層とアッパークラッド層とからなる)3を設け、始端が
一方に端面に開口した第1の光導波路2-1 と、始端が他
方の端面に開口した第2の光導波路2-2 とを備えたもの
がある。
In recent years, optical components such as an optical integrated circuit having a minute optical waveguide and a directional coupler have been widely used in optical devices. In such an optical component, as shown in FIG. 4, a clad layer (consisting of an under clad layer and an upper clad layer) 3 is provided on the surface of a substrate 1 made of silicon or the like, and the first end is open at one end face. One optical waveguide 2-1 and a second optical waveguide 2-2 having a starting end opened to the other end face are available.

【0003】これらの第1の光導波路2-1 , 第2の光導
波路2-2 はともに、シングルモードの光伝送路であっ
て、そのコア2Aの断面は例えば一辺が8μm の角形であ
る。そして、第1の光導波路2-1 の端面に第1のシング
ルモード光ファイバ10を、第2の光導波路2-2 の端面に
第2のシングルモード光ファイバ20を接続して、入出力
伝送路としている。
The first optical waveguide 2-1 and the second optical waveguide 2-2 are both single-mode optical transmission lines, and the core 2A has a cross section of, for example, a rectangular shape with one side of 8 μm. Then, the first single-mode optical fiber 10 is connected to the end surface of the first optical waveguide 2-1 and the second single-mode optical fiber 20 is connected to the end surface of the second optical waveguide 2-2 to perform input / output transmission. It is a road.

【0004】なお、第1, 第2のシングルモード光ファ
イバ10,20は同径状で、コア11,21の径は8μm 、クラ
ッド12,22 の外径は125 μm である。
The first and second single mode optical fibers 10 and 20 have the same diameter, the cores 11 and 21 have a diameter of 8 μm, and the claddings 12 and 22 have an outer diameter of 125 μm.

【0005】[0005]

【従来の技術】従来は図5に図示したように、第1のシ
ングルモード光ファイバ10を一方のX・Y・Z調整台
(図示省略) に搭載して、その端面に紫外線硬化型接着
剤を塗布した後に、第1の光導波路2-1 の端面に当接す
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 5, a first single mode optical fiber 10 is mounted on one X, Y, Z adjusting base (not shown), and an ultraviolet curable adhesive is applied to its end face. After applying, it is brought into contact with the end surface of the first optical waveguide 2-1.

【0006】また、第2のシングルモード光ファイバ20
を他方のX・Y・Z調整台(図示省略) に搭載して、そ
の端面に紫外線硬化型接着剤を塗布した後に、第2の光
導波路2-2 の端面に当接する。
In addition, the second single mode optical fiber 20
Is mounted on the other X, Y, Z adjusting stand (not shown), and after applying an ultraviolet curable adhesive to the end face thereof, the end face is brought into contact with the end face of the second optical waveguide 2-2.

【0007】また、第1のシングルモード光ファイバ10
に光を投入し、第1,第2の光導波路2-1,2-2 を経て第
2のシングルモード光ファイバ20に伝送し、第2のシン
グルモード光ファイバ20の端末でその光パワーを計測す
るようにする。
In addition, the first single mode optical fiber 10
Light to the second single mode optical fiber 20 via the first and second optical waveguides 2-1 and 2-2, and the optical power at the terminal of the second single mode optical fiber 20 is changed. Try to measure.

【0008】そして、双方のX・Y・Z調整台を操作し
て、第1, 第2のシングルモード光ファイバ10,20 の位
置をそれぞれ調整し、第2のシングルモード光ファイバ
20が出射する光パワーが最大になる状態で、紫外線を照
射して紫外線硬化型接着剤を硬化させ、それぞれのシン
グルモード光ファイバと対応する光導波路とを接続して
いる。
Then, by operating both X, Y and Z adjusting bases to adjust the positions of the first and second single mode optical fibers 10 and 20, respectively, the second single mode optical fiber is adjusted.
In a state where the optical power emitted by 20 is maximized, ultraviolet rays are irradiated to cure the ultraviolet curable adhesive, and each single mode optical fiber and the corresponding optical waveguide are connected.

【0009】なお、第2のシングルモード光ファイバ20
が出射する光パワーが最大になる状態とは、第1のシン
グルモード光ファイバ10のコアと第1の光導波路2-1 の
コアの軸心が一致し、且つ第2の光導波路2-2 のコアと
第2のシングルモード光ファイバ20のコアの軸心が一致
した状態である。
The second single mode optical fiber 20
The state in which the optical power emitted by the optical fiber is maximized means that the cores of the first single-mode optical fiber 10 and the core of the first optical waveguide 2-1 coincide with each other, and the second optical waveguide 2-2 This is a state in which the axes of the core and the core of the second single-mode optical fiber 20 are aligned.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、シングルモ
ード光ファイバのコア及び光導波路のコアの径は、上述
のように8μm と微小であるので、従来の方法では最初
に第2のシングルモード光ファイバで光パワーを検知す
る位置のサーチング(粗調整)が困難で、双方のシング
ルモード光ファイバの微細調整に到るまでに、多大の時
間を要するという問題点があった。
By the way, since the diameters of the core of the single mode optical fiber and the core of the optical waveguide are as small as 8 μm as described above, in the conventional method, the second single mode optical fiber is first used. However, there is a problem that it is difficult to search (coarse adjustment) the position where the optical power is detected, and it takes a lot of time to finely adjust both single-mode optical fibers.

【0011】本発明はこのような点に鑑みて創作された
もので、シングルモード光ファイバの位置決めが容易で
接続時間が短縮された光ファイバと光導波路との接続方
法を提供することを目的としている。
The present invention was created in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a method for connecting an optical fiber and an optical waveguide in which the positioning of the single mode optical fiber is easy and the connection time is shortened. There is.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図1に例示したように、基板1上に形成
され、始端が一方に端面に開口した第1の光導波路2-1
と、始端が他方の端面に開口した第2の光導波路2-2 と
を備え、第1, 第2の光導波路2-1,2-2 のそれぞれの端
面に、第1, 第2のシングルモード光ファイバ10,20 を
接続するにあたり、第1の光導波路2-1 とは所望のピッ
チP離れて平行に、第2の光導波路52とは所望のピッチ
1 離れて平行に、マルチモード光ファイバのコア径に
ほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a first optical waveguide 2 which is formed on a substrate 1 and whose starting end is open to one end face as shown in FIG. -1
And a second optical waveguide 2-2 whose start end is open to the other end face, and the first and second single waveguides are provided on the respective end faces of the first and second optical waveguides 2-1 and 2-2. When connecting the mode optical fibers 10 and 20, the multimode is connected in parallel with the first optical waveguide 2-1 at a desired pitch P and in parallel with the second optical waveguide 52 at a desired pitch P 1. A side core 5 having a width substantially equal to the core diameter of the optical fiber is formed on the substrate 1.

【0013】基板1の両側にそれぞれ2段構成のX・Y
・Z調整台を設置して、一方のX・Y・Z調整台に第1
のシングルモード光ファイバ10と光投入側マルチモード
光ファイバ30とをピッチPで搭載する。
Two stages of X and Y are provided on each side of the substrate 1.
・ Z adjustment stand is installed and one of the X, Y and Z adjustment stands is first
The single mode optical fiber 10 and the light input side multimode optical fiber 30 are mounted at the pitch P.

【0014】また、他方のX・Y・Z調整台に該第2の
シングルモード光ファイバ20と受光側マルチモード光フ
ァイバ40とを所望のピッチP1 で搭載する。そして、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、双方のX・Y・Z調整台を調整し、そ
の後、第2のシングルモード光ファイバ20の出射する光
パワーが最大になるよう、一方のX・Y・Z調整台の上
段X・Y・Z調整台70A を操作して、第1のシングルモ
ード光ファイバ10の位置調整をし、第1の光導波路2-1
の端面と第1のシングルモード光ファイバ10の端面とを
接着する。
Further, the second single mode optical fiber 20 and the light receiving side multimode optical fiber 40 are mounted on the other X, Y, Z adjusting base at a desired pitch P 1 . Then, both X / Y / Z adjustment bases are adjusted so that the optical power emitted from the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 is maximized, and then the optical power emitted from the second single-mode optical fiber 20 is adjusted. Operate the upper X / Y / Z adjusting base 70A on one of the X / Y / Z adjusting bases so as to maximize the position of the first single mode optical fiber 10 and adjust the position of the first optical waveguide 2- 1
And the end surface of the first single-mode optical fiber 10 is bonded.

【0015】次に、第2のシングルモード光ファイバ20
の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・Y・
Z調整台の上段X・Y・Z調整台70B を操作して、第2
のシングルモード光ファイバ20の位置調整をし、第2の
光導波路2-2 の端面と第2のシングルモード光ファイバ
20の端面とを接着するものとする。
Next, the second single mode optical fiber 20
The other X, Y, and
Operate the upper X / Y / Z adjustment base 70B of the Z adjustment base to
The position of the single mode optical fiber 20 is adjusted so that the end face of the second optical waveguide 2-2 and the second single mode optical fiber
The end faces of 20 shall be bonded.

【0016】或いは図3に例示したように、基板1上に
形成され、始端が一方に端面に開口した第1の光導波路
51と、ピッチ(P2 −P1)で平行して始端が他方の端面
に開口した第2,第3の光導波路52,53 とを備え、第
1, 第2,第3の光導波路51,52,53のそれぞれの端面
に、第1, 第2,第3のシングルモード光ファイバ10-
1,20-1,20-2を接続するにあたり、第1の光導波路51と
は所望のピッチP離れて平行に、第2の光導波路52とは
ピッチP1 離れて平行に、マルチモード光ファイバのコ
ア径にほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成す
る。
Alternatively, as illustrated in FIG. 3, a first optical waveguide which is formed on the substrate 1 and whose starting end is open to one end face.
51 and the second and third optical waveguides 52 and 53 which are parallel to each other at a pitch (P 2 -P 1 ) and whose start ends are open to the other end face. First, second, and third single-mode optical fibers 10-
When connecting 1, 20-1 and 20-2, the multimode light is parallel to the first optical waveguide 51 at a desired pitch P and parallel to the second optical waveguide 52 at a pitch P 1. A side core 5 having a width substantially equal to the core diameter of the fiber is formed on the substrate 1.

【0017】そして、基板1の両側にそれぞれ2段構成
のX・Y・Z調整台を設置して、一方のX・Y・Z調整
台に第1のシングルモード光ファイバ10-1と光投入側マ
ルチモード光ファイバ30とをピッチPで搭載する。
Then, two stages of X, Y, Z adjusting bases are installed on both sides of the substrate 1, and one of the X, Y, Z adjusting bases and the first single-mode optical fiber 10-1 and the light input. The side multimode optical fiber 30 is mounted at a pitch P.

【0018】また、他方のX・Y・Z調整台に第2のシ
ングルモード光ファイバ20-1と受光側マルチモード光フ
ァイバ40とを所望のピッチP1 で搭載する。そして、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、双方のX・Y・Z調整台を調整する。
Further, the second single mode optical fiber 20-1 and the light receiving side multimode optical fiber 40 are mounted at the desired pitch P 1 on the other X, Y, Z adjusting base. Then, both X, Y, Z adjustment bases are adjusted so that the optical power emitted from the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 is maximized.

【0019】次に第2のシングルモード光ファイバ20-1
の光パワーが最大になるように、一方のX・Y・Z調整
台の上段X・Y・Z調整台70A を操作して第1のシング
ルモード光ファイバ10-1の位置調整をし、第1の光導波
路51の端面と第1のシングルモード光ファイバ10-1の端
面とを接着する。
Next, the second single mode optical fiber 20-1
Position of the first single-mode optical fiber 10-1 by operating the upper X, Y, Z adjustment base 70A of one of the X, Y, Z adjustment bases so that the optical power of The end face of the first optical waveguide 51 and the end face of the first single mode optical fiber 10-1 are bonded together.

【0020】そして、第2のシングルモード光ファイバ
20-1の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・
Y・Z調整台の上段X・Y・Z調整台70B を操作して第
2のシングルモード光ファイバ20-1の位置調整をし、第
2の光導波路52の端面と第2のシングルモード光ファイ
バ20-1の端面とを接着する。
The second single mode optical fiber
In order to maximize the optical power emitted by 20-1, the other X
The position of the second single mode optical fiber 20-1 is adjusted by operating the upper X / Y / Z adjusting base 70B of the Y / Z adjusting base, and the end face of the second optical waveguide 52 and the second single mode light are adjusted. Bond the end face of the fiber 20-1.

【0021】その後、第3のシングルモード光ファイバ
20-2を受光側マルチモード光ファイバ40とはピッチP2
に離して、他方のX・Y・Z調整台に搭載する。第3の
シングルモード光ファイバ20-2の出射する光パワーが最
大になるよう、他方のX・Y・Z調整台の上段X・Y・
Z調整台70B を操作して、第3のシングルモード光ファ
イバ20-2の位置調整をし、第3の光導波路53の端面と第
3のシングルモード光ファイバ20-2の端面とを接着する
ものとする。
Then, a third single mode optical fiber
20-2 is a pitch P 2 with the receiving side multi-mode optical fiber 40
Installed on the other X, Y, Z adjustment stand. In order to maximize the optical power emitted from the third single-mode optical fiber 20-2, the upper X / Y /
The Z adjustment base 70B is operated to adjust the position of the third single-mode optical fiber 20-2, and the end face of the third optical waveguide 53 and the end face of the third single-mode optical fiber 20-2 are bonded together. I shall.

【0022】[0022]

【作用】本発明によれば、マルチモード光ファイバのコ
ア径は50μm であり、サイドコアのコアの幅もまた50μ
m であって、シングルモード光ファイバ及び光導波路の
コア径よりも十分に大きい。
According to the present invention, the core diameter of the multimode optical fiber is 50 μm and the core width of the side core is also 50 μm.
m, which is sufficiently larger than the core diameters of the single mode optical fiber and the optical waveguide.

【0023】したがって、マルチモード光ファイバとサ
イドコアの軸心を一致させることは簡単である。一方、
予めマルチモード光ファイバとシングルモード光ファイ
バの距離を、光導波路とサイドコアの距離にほぼ等しく
してある。
Therefore, it is easy to match the axes of the multimode optical fiber and the side core. on the other hand,
The distance between the multimode optical fiber and the single mode optical fiber is previously set to be substantially equal to the distance between the optical waveguide and the side core.

【0024】したがって、マルチモード光ファイバとサ
イドコアの軸心が一致した状態では、シングルモード光
ファイバと光導波路との位置の粗調整が終了している。
よって、シングルモード光ファイバの位置決めの調整時
間が短縮される。
Therefore, when the axes of the multimode optical fiber and the side core are aligned with each other, the rough adjustment of the positions of the single mode optical fiber and the optical waveguide is completed.
Therefore, the adjustment time for positioning the single mode optical fiber is shortened.

【0025】[0025]

【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
The present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same reference numerals denote the same objects throughout the drawings.

【0026】図1は、本発明方法を示す図で(A) は光導
波路の斜視図、(B) は接続従来の平面図、図2はX・Y
・Z調整台の斜視図であり、図3は本発明の他の実施例
の図である。
FIG. 1 is a diagram showing a method of the present invention, (A) is a perspective view of an optical waveguide, (B) is a plan view of a conventional connection, and FIG. 2 is XY.
FIG. 3 is a perspective view of a Z adjustment base, and FIG. 3 is a view of another embodiment of the present invention.

【0027】図1に図示したように、シリコン等の基板
1の表面にクラッド層(アンダクラッド層とアッパーク
ラッド層とからなる)3を設け、始端が一方に端面に開
口した第1の光導波路2-1 と、始端が他方の端面に開口
した第2の光導波路2-2 とが基板1上に形成されてい
る。
As shown in FIG. 1, a clad layer (consisting of an underclad layer and an upper clad layer) 3 is provided on the surface of a substrate 1 made of silicon or the like, and the first end is a first optical waveguide whose one end is open to the end face. 2-1 and a second optical waveguide 2-2 whose starting end is open to the other end face are formed on the substrate 1.

【0028】第1, 第2の光導波路2-1,2-2 は、シング
ルモードの光伝送路であって、そのコア2Aの断面は一辺
が8μm の角形である。10は第1の光導波路2-1 に接続
する第1のシングルモード光ファイバ、20は第2の光導
波路2-2 に接続する第2のシングルモード光ファイバ、
30は光投入側マルチモード光ファイバ、40は受光側マル
チモード光ファイバである。
The first and second optical waveguides 2-1 and 2-2 are single mode optical transmission paths, and the core 2A has a cross section of a square shape with one side of 8 μm. 10 is a first single mode optical fiber connected to the first optical waveguide 2-1 and 20 is a second single mode optical fiber connected to the second optical waveguide 2-2.
Reference numeral 30 is a light input side multi-mode optical fiber, and 40 is a light receiving side multi-mode optical fiber.

【0029】なお、第1, 第2のシングルモード光ファ
イバ10,20は、同径状でコア11,21の径は8μm 、クラ
ッドの外径は125 μm である。5は、第1の光導波路2-
1 とは所望のピッチP離れて平行に(したがって第2の
光導波路2-2 とはピッチP1 離れて平行になる) 、基板
1上に形成されたサイドコアである。
The first and second single-mode optical fibers 10 and 20 have the same diameter, the cores 11 and 21 have a diameter of 8 μm, and the cladding has an outer diameter of 125 μm. 5 is the first optical waveguide 2-
1 is a side core formed on the substrate 1 in parallel at a desired pitch P (and thus in parallel with the second optical waveguide 2-2 at a pitch P 1 ).

【0030】このサイドコア5の幅Dは、マルチモード
光ファイバのコア径(50 μm)にほぼ等しい。60A,60B
は、基板1を挟んで対向設置するる同形状の下段X・Y
・Z調整台、70A は、下段X・Y・Z調整台60A に搭載
され、上面に設けたV溝に第1のシングルモード光ファ
イバ10を挿入し固着する上段X・Y・Z調整台、70B
は、下段X・Y・Z調整台60B に搭載され、上面に設け
たV溝に第2のシングルモード光ファイバ20を挿入し固
着する上段X・Y・Z調整台である。
The width D of the side core 5 is substantially equal to the core diameter (50 μm) of the multimode optical fiber. 60A, 60B
Is the lower XY stage of the same shape, which is installed opposite to each other with the substrate 1 sandwiched therebetween.
The Z adjustment base, 70A is mounted on the lower X, Y, Z adjustment base 60A, and the upper X, Y, Z adjustment base for inserting and fixing the first single mode optical fiber 10 in the V groove provided on the upper surface, 70B
Is an upper X, Y, Z adjustment base that is mounted on the lower X, Y, Z adjustment base 60B and inserts and fixes the second single-mode optical fiber 20 in the V groove provided on the upper surface.

【0031】75A は、下段X・Y・Z調整台60A 上に上
段X・Y・Z調整台70A に並列して搭載され、上面に設
けたV溝に光投入側マルチモード光ファイバ30を挿入し
固着するブロック、75B は、下段X・Y・Z調整台60B
上に上段X・Y・Z調整台70B に並列して搭載され、上
面に設けたV溝に受光側マルチモード光ファイバ40を挿
入し固着するブロックである。
The 75A is mounted on the lower X, Y, Z adjustment base 60A in parallel with the upper X, Y, Z adjustment base 70A, and the multi-mode optical fiber 30 on the light input side is inserted into the V groove provided on the upper surface. 75B is the lower X / Y / Z adjustment base 60B.
The block is mounted on the upper side in parallel with the upper X, Y, Z adjusting base 70B, and the receiving side multi-mode optical fiber 40 is inserted and fixed in the V groove provided on the upper surface.

【0032】以下図2を参照しながら、上述の2段構成
のX・Y・Z調整台について説明する。図2に図示した
ように、頭部に基板1が水平に搭載する角柱状のブロッ
ク80が、基台85の中央部に固着されている。このブロッ
ク80の手前側に下段X・Y・Z調整台60A が、ブロック
80の後方に下段X・Y・Z調整台60B(図示省略) が搭載
されている。
The above-described two-stage X / Y / Z adjustment base will be described below with reference to FIG. As shown in FIG. 2, a prism-shaped block 80 on which the substrate 1 is horizontally mounted is fixed to the central portion of the base 85 on the head. On the front side of this block 80, the lower X / Y / Z adjustment base 60A
A lower X / Y / Z adjustment stand 60B (not shown) is mounted behind the 80.

【0033】なお、2段構成のX・Y・Z調整台は、基
板1を挟んで対象であるので、以下一方のX・Y・Z調
整台に付いてのみ説明する。下段X・Y・Z調整台60A
は、最下段にX方向調整ステージ61A を有し、X方向調
整ステージ61A の上段にZ方向調整ステージ62A が搭載
され、Z方向調整ステージ62A の上にステージ面が水平
になるようにY方向調整ステージ63A が搭載されて構成
されている。
Since the two-stage X / Y / Z adjusting stand is the object sandwiching the substrate 1, only one of the X / Y / Z adjusting stand will be described below. Lower X / Y / Z Adjuster 60A
Has an X-direction adjustment stage 61A at the bottom, a Z-direction adjustment stage 62A is mounted above the X-direction adjustment stage 61A, and the Y-direction adjustment is performed so that the stage surface is horizontal on the Z-direction adjustment stage 62A. The stage 63A is installed and configured.

【0034】上段X・Y・Z調整台70A は、下段X・Y
・Z調整台60A よりも小形であって、下段X・Y・Z調
整台60A のY方向調整ステージ63A の水平板部材のほぼ
半分の領域に搭載されている。
The upper X / Y / Z adjustment stand 70A is
-It is smaller than the Z adjustment base 60A and is installed in almost half the area of the horizontal plate member of the Y direction adjustment stage 63A of the lower X, Y, Z adjustment base 60A.

【0035】上段X・Y・Z調整台70A は、最下段にX
方向調整ステージ71A を有し、X方向調整ステージ71A
の上段にZ方向調整ステージ72A が搭載され、Z方向調
整ステージ72A の上にステージ面が水平になるようにY
方向調整ステージ73A が搭載されて構成されている。
The upper X / Y / Z adjustment stand 70A has an X on the bottom.
It has a direction adjustment stage 71A and an X direction adjustment stage 71A.
The Z direction adjustment stage 72A is mounted on the upper stage of the Y direction so that the stage surface becomes horizontal on the Z direction adjustment stage 72A.
The direction adjustment stage 73A is installed and configured.

【0036】そして、Y方向調整ステージ73A の水平板
部材のブロック75A 寄りの位置に、第1のシングルモー
ド光ファイバ10を挿入し固定するV溝を設けてある。ま
たブロック75A の上面の高さは、Y方向調整ステージ73
A の水平板部材の高さに等しく、その上面の上段X・Y
・Z調整台70A 寄りの位置に、光投入側マルチモード光
ファイバ30を挿入し固定するV溝を設けてある。
A V groove for inserting and fixing the first single-mode optical fiber 10 is provided at a position near the block 75A of the horizontal plate member of the Y-direction adjusting stage 73A. The height of the upper surface of the block 75A is the same as that of the Y-direction adjustment stage 73.
Equal to the height of the horizontal plate member of A, and the upper XY of the upper surface
A V groove for inserting and fixing the light input side multi-mode optical fiber 30 is provided at a position near the Z adjustment base 70A.

【0037】図1に戻り、第1,第2のシングルモード
光ファイバ10,20のそれぞれの端面に紫外線硬化型接着
剤を塗布した後に、第1のシングルモード光ファイバ10
を上段X・Y・Z調整台70A に固定し、第2のシングル
モード光ファイバ20を他方の上段X・Y・Z調整台70B
に固定する。
Returning to FIG. 1, after the ultraviolet curable adhesive is applied to the respective end faces of the first and second single mode optical fibers 10 and 20, the first single mode optical fiber 10
Is fixed to the upper X / Y / Z adjustment base 70A, and the second single-mode optical fiber 20 is fixed to the other upper X / Y / Z adjustment base 70B.
Fixed to.

【0038】そして、目盛り( ステージ付属の目盛り)
を見ながら上段X・Y・Z調整台70A のX方向調整ステ
ージ71A を調整して、光投入側マルチモード光ファイバ
30と第1のシングルモード光ファイバ10の中心間距離を
第1の光導波路2-1 とサイドコア5とのピッチPにほぼ
等しくする。
And the scale (scale attached to the stage)
While watching, adjust the X-direction adjustment stage 71A of the upper X, Y, Z adjustment base 70A to adjust the light input side multi-mode optical fiber.
The distance between the centers of 30 and the first single-mode optical fiber 10 is made substantially equal to the pitch P between the first optical waveguide 2-1 and the side core 5.

【0039】また、他方の上段X・Y・Z調整台70B の
X方向調整ステージを調整して、受光側マルチモード光
ファイバ40と第2のシングルモード光ファイバ20の中心
間距離を第2の光導波路2-2 とサイドコア5とのピッチ
1 にほぼ等しくする。
Further, the X-direction adjusting stage of the other upper X, Y, Z adjusting base 70B is adjusted so that the center-to-center distance between the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 and the second single-mode optical fiber 20 becomes the second. The pitch P 1 between the optical waveguide 2-2 and the side core 5 is made substantially equal.

【0040】下段X・Y・Z調整台60A のZ方向調整ス
テージ62A を操作して、光投入側マルチモード光ファイ
バ30の端面を基板1の端面に近づけ、光投入側マルチモ
ード光ファイバ30のコア31とサイドコア5とを当接す
る。
By manipulating the Z-direction adjusting stage 62A of the lower X / Y / Z adjusting table 60A, the end face of the light input side multi-mode optical fiber 30 is brought closer to the end face of the substrate 1 and the light input side multi-mode optical fiber 30 is moved. The core 31 and the side core 5 are brought into contact with each other.

【0041】次に上段X・Y・Z調整台70A のZ方向調
整ステージ62A を操作して、第1のシングルモード光フ
ァイバ10の端面を基板1の端面に当接する。同様に、他
方の下段X・Y・Z調整台60B のZ方向調整ステージを
操作して、受光側マルチモード光ファイバ40の端面を基
板1の端面に近づけ、受光側マルチモード光ファイバ40
のコア41とサイドコア5とを当接する。
Next, the Z direction adjusting stage 62A of the upper X, Y, Z adjusting base 70A is operated to bring the end face of the first single mode optical fiber 10 into contact with the end face of the substrate 1. Similarly, the Z-direction adjustment stage of the other lower X, Y, Z adjustment base 60B is operated to bring the end surface of the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 close to the end surface of the substrate 1 and
The core 41 and the side core 5 are brought into contact with each other.

【0042】次に上段X・Y・Z調整台70B のZ方向調
整ステージを操作して、第2のシングルモード光ファイ
バ20の端面を基板1の端面に当接する。そして、受光側
マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最大に
なるように、双方の下段X・Y・Z調整台60A,60B を操
作し、光投入側マルチモード光ファイバ30のコア31とサ
イドコア5の軸心を、受光側マルチモード光ファイバ40
のコア41とサイドコア5の軸心をそれぞれ一致させる。
Next, the Z-direction adjusting stage of the upper X, Y, Z adjusting base 70B is operated to bring the end face of the second single mode optical fiber 20 into contact with the end face of the substrate 1. Then, the lower X / Y / Z adjustment bases 60A and 60B of both sides are operated so that the optical power emitted from the light-receiving side multi-mode optical fiber 40 is maximized, and the core 31 of the light input side multi-mode optical fiber 30 is Set the axis of the side core 5 to the receiving side multimode optical fiber 40.
The cores of the core 41 and the side cores 5 are aligned.

【0043】その後、下段X・Y・Z調整台60B,上段X
・Y・Z調整台70B はそのままで、上段X・Y・Z調整
台70A のみを操作して、第2のシングルモード光ファイ
バ20の出射する光パワーが最大になるよう第1のシング
ルモード光ファイバ10の位置を微小に調整し、紫外線を
照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させ、第1のシング
ルモード光ファイバ10の端面と第1の光導波路2-1 の端
面とを接着する。
After that, the lower X / Y / Z adjustment stand 60B, the upper X
・ With the Y / Z adjustment stand 70B as it is, only the upper X / Y / Z adjustment stand 70A is operated to maximize the optical power emitted from the second single mode optical fiber 20 by the first single mode light. The position of the fiber 10 is finely adjusted, and ultraviolet rays are irradiated to cure the ultraviolet-curable adhesive to bond the end face of the first single-mode optical fiber 10 and the end face of the first optical waveguide 2-1.

【0044】図3に図示した基板1には方向性結合器50
が形成されている。方向性結合器50か形成された結果、
始端が一方に端面に開口した第1の光導波路51と、ピッ
チ(P2 −P1)で平行して始端が他方の端面に開口した
第2,第3の光導波路52,53 とが基板1に形成されてい
る。
A directional coupler 50 is provided on the substrate 1 shown in FIG.
Are formed. As a result of the formation of the directional coupler 50,
The first optical waveguide 51 whose starting end is open to one end face and the second and third optical waveguides 52 and 53 which are parallel to each other at the pitch (P 2 -P 1 ) and whose starting end is open to the other end face 1 is formed.

【0045】第1の光導波路51の端面には第1のシング
ルモード光ファイバ10-1が、第2,第3の光導波路52,5
3 のそれぞれの端面に、第2,第3のシングルモード光
ファイバ20-1,20-2 が接続される。
The first single-mode optical fiber 10-1 is provided on the end face of the first optical waveguide 51, and the second and third optical waveguides 52, 5 are provided.
Second and third single-mode optical fibers 20-1 and 20-2 are connected to the respective end faces of 3.

【0046】そして、第1の光導波路51とは所望のピッ
チP離れて平行に( 第2の光導波路52とはピッチP1
れて平行になる) 、 マルチモード光ファイバのコア径
にほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成してい
る。
Then, it is parallel to the first optical waveguide 51 at a desired pitch P (parallel to the second optical waveguide 52 at a pitch P 1 ) and substantially equal to the core diameter of the multimode optical fiber. A side core 5 having a width is formed on the substrate 1.

【0047】第1,第2, 第3のシングルモード光ファ
イバ10-1,20-1,20-2のそれぞれの端面に紫外線硬化型接
着剤を塗布した後に、第1のシングルモード光ファイバ
10-11を上段X・Y・Z調整台70A に固定し、第2のシ
ングルモード光ファイバ20-2を他方の上段X・Y・Z調
整台70B に固定する。
After the ultraviolet curable adhesive is applied to the respective end faces of the first, second and third single mode optical fibers 10-1, 20-1, 20-2, the first single mode optical fiber
10-11 is fixed to the upper X / Y / Z adjustment base 70A, and the second single mode optical fiber 20-2 is fixed to the other upper X / Y / Z adjustment base 70B.

【0048】以下は図1において説明した同様にして、
受光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが
最大になるように、双方の下段X・Y・Z調整台60A ,6
0BA調整する。
The following is the same as described with reference to FIG.
In order to maximize the optical power emitted from the light-receiving side multi-mode optical fiber 40, the lower X, Y, Z adjustment bases 60A, 6 of both sides are arranged.
Adjust 0BA.

【0049】次に第2のシングルモード光ファイバ20-1
の光パワーが最大になるように、下段X・Y・Z調整台
60A 上の上段X・Y・Z調整台70A を操作して第1のシ
ングルモード光ファイバ10-1の位置調整をし、第1の光
導波路51の端面と第1のシングルモード光ファイバ10-1
の端面とを接着する。
Next, the second single mode optical fiber 20-1
Lower X / Y / Z adjustment stand to maximize the optical power of
The position of the first single-mode optical fiber 10-1 is adjusted by operating the upper X, Y, Z adjustment base 70A on the 60A, and the end face of the first optical waveguide 51 and the first single-mode optical fiber 10- 1
Glue with the end face of.

【0050】そして、第2のシングルモード光ファイバ
20-1の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・
Y・Z調整台60B の上段X・Y・Z調整台70B を操作し
て第2のシングルモード光ファイバ20-1の位置調整を
し、第2の光導波路52の端面と第2のシングルモード光
ファイバ20-1の端面とを接着する。
Then, the second single mode optical fiber
In order to maximize the optical power emitted by 20-1, the other X
The position of the second single mode optical fiber 20-1 is adjusted by operating the upper X / Y / Z adjusting base 70B of the Y / Z adjusting base 60B, and the end face of the second optical waveguide 52 and the second single mode are adjusted. The end face of the optical fiber 20-1 is bonded.

【0051】その後、第3のシングルモード光ファイバ
20-2を受光側マルチモード光ファイバ40とはピッチP2
に離して、上段X・Y・Z調整台70B に搭載する。そし
て、上段X・Y・Z調整台70B のみを操作して第3のシ
ングルモード光ファイバ20-2の出射する光パワーが最大
になるよう、第3のシングルモード光ファイバ20-2の位
置調整をし、紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬
化させ、第3のシングルモード光ファイバ20-2の端面と
第3の光導波路53の端面とを接着する。
Then, a third single mode optical fiber
20-2 is a pitch P 2 with the receiving side multi-mode optical fiber 40
Installed on the upper X / Y / Z adjustment stand 70B. Then, by operating only the upper X, Y, Z adjustment base 70B, the position of the third single-mode optical fiber 20-2 is adjusted so that the optical power emitted from the third single-mode optical fiber 20-2 becomes maximum. Then, the ultraviolet curable adhesive is hardened by irradiating the ultraviolet ray to bond the end face of the third single-mode optical fiber 20-2 and the end face of the third optical waveguide 53.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、光導波路
に平行に所望に大きいサイドコアを設け、第1段階で光
投入側マルチモード光ファイバ及び受光側マルチモード
光ファイバとこのサイドコアとの位置調整を実施するこ
とで、シングルモード光ファイバと光導波路との粗調整
が終了するようにしたもので、シングルモード光ファイ
バの位置決めの調整時間が短縮されるという優れた効果
を有する。
As described above, according to the present invention, a desired large side core is provided in parallel with the optical waveguide, and in the first step, the light input side multi-mode optical fiber and the light receiving side multi-mode optical fiber and the position of this side core are arranged. By performing the adjustment, the rough adjustment of the single mode optical fiber and the optical waveguide is completed, which has an excellent effect that the adjustment time for positioning the single mode optical fiber is shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明方法を示す図で(A) は光導波路の斜視
図 (B) は接続従来の平面図
FIG. 1 is a diagram showing a method of the present invention, (A) is a perspective view of an optical waveguide, and (B) is a plan view of a conventional connection.

【図2】 X・Y・Z調整台の斜視図FIG. 2 is a perspective view of an X / Y / Z adjustment base.

【図3】 本発明の他の実施例の図FIG. 3 is a diagram of another embodiment of the present invention.

【図4】 光部品の接続を示す図FIG. 4 is a diagram showing connection of optical components.

【図5】 従来方法を示す図FIG. 5 is a diagram showing a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2-1,50-1 第1の光導波路 2-2,50-2 第2の光導波路 50-3 第3の光導波路 3 クラッド層 5 サイドコア 10,10-1 第1のシングルモード光ファイバ 20,20-1 第2のシングルモード光ファイバ 20-2 第3のシングルモード光ファイバ 30 光投入側マルチモード光ファイバ 40 受光側マルチモード光ファイバ 50 方向性結合器 60A,60B 下段X・Y・Z調整台 70A,70B 上段X・Y・Z調整台 75A,75B,80 ブロック 1 substrate 2-1,50-1 first optical waveguide 2-2,50-2 second optical waveguide 50-3 third optical waveguide 3 cladding layer 5 side core 10,10-1 first single mode light Fiber 20,20-1 Second single mode optical fiber 20-2 Third single mode optical fiber 30 Light input side multimode optical fiber 40 Light receiving side multimode optical fiber 50 Directional coupler 60A, 60B Lower XY・ Z adjustment stand 70A, 70B Upper X / Y ・ Z adjustment stand 75A, 75B, 80 block

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板(1) 上に形成され、始端が一方に端
面に開口した第1の光導波路(2-1) と、始端が他方の端
面に開口した第2の光導波路(2-2) とを備え、該第1,
第2の光導波路(2-1,2-2) のそれぞれの端面に、第1,
第2のシングルモード光ファイバ(10,20) を接続するに
あたり、 該第1の光導波路(2-1) とは所望のピッチ(P)離れて
平行に、該第2の光導波路(52)とはピッチ(P1)離れて
平行に、マルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい
幅のサイドコア(5) を該基板(1) 上に形成し、 該基板(1) の両側にそれぞれ2段構成のX・Y・Z調整
台を設置して、一方の該X・Y・Z調整台に該第1のシ
ングルモード光ファイバ(10)と光投入側マルチモード光
ファイバ(30)とを所望のピッチ(P)で搭載し、他方の
該X・Y・Z調整台に、該第2のシングルモード光ファ
イバ(20)と受光側マルチモード光ファイバ(40)とを所望
のピッチ(P1)で搭載して、 該受光側マルチモード光ファイバ(40)の出射する光パワ
ーが最大になるよう、双方の該X・Y・Z調整台を調整
した後に、 該第2のシングルモード光ファイバ(20)の出射する光パ
ワーが最大になるよう、一方の該X・Y・Z調整台の上
段X・Y・Z調整台(70A) を操作して、該第1のシング
ルモード光ファイバ(10)の位置調整をし、該第1の光導
波路(2-1) の端面と該第1のシングルモード光ファイバ
(10)の端面とを接着し、 次に、該第2のシングルモード光ファイバ(20)の出射す
る光パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調整
台の上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第2のシ
ングルモード光ファイバ(20)の位置調整をし、該第2の
光導波路(2-2)の端面と該第2のシングルモード光ファ
イバ(20)の端面とを接着することを特徴とする光ファイ
バと光導波路との接続方法。
1. A first optical waveguide (2-1) which is formed on a substrate (1) and whose starting end is open to one end face, and a second optical waveguide (2-) whose starting end is open to the other end face. 2) and the first,
On the respective end faces of the second optical waveguide (2-1, 2-2),
When connecting the second single-mode optical fiber (10, 20), the second optical waveguide (52) is parallel to the first optical waveguide (2-1) at a desired pitch (P). Are parallel to each other at a pitch (P 1 ), and side cores (5) having a width substantially equal to the core diameter of the multimode optical fiber are formed on the substrate (1), and two steps are provided on each side of the substrate (1). It is desirable to install an X / Y / Z adjustment stand having a configuration and to have the first single mode optical fiber (10) and the light input side multi-mode optical fiber (30) on one of the X / Y / Z adjustment stands. And the second single mode optical fiber (20) and the light receiving side multimode optical fiber (40) are mounted on the other X, Y, Z adjusting base at a desired pitch (P 1). ), And adjusted both X, Y, and Z adjustment bases so that the optical power emitted from the light-receiving side multimode optical fiber (40) was maximized. After that, the upper X / Y / Z adjusting base (70A) of one of the X / Y / Z adjusting bases is operated so that the optical power emitted from the second single mode optical fiber (20) is maximized. The position of the first single mode optical fiber (10) is adjusted, and the end face of the first optical waveguide (2-1) and the first single mode optical fiber are adjusted.
The end face of (10) is bonded, and then the upper X / Y of the other X / Y / Z adjusting base is adjusted so that the optical power emitted from the second single mode optical fiber (20) is maximized. -The position of the second single mode optical fiber (20) is adjusted by operating the Z adjustment base (70B), and the end face of the second optical waveguide (2-2) and the second single mode optical fiber are adjusted. A method for connecting an optical fiber and an optical waveguide, characterized in that the end face of (20) is bonded.
【請求項2】 基板1上に形成され、始端が一方に端面
に開口した第1の光導波路(51)と、ピッチ(P2 −P1)
で平行して始端が他方の端面に開口した第2,第3の光
導波路(52,53) とを備え、該第1, 第2,第3の光導波
路(51,52,53)のそれぞれの端面に、第1, 第2,第3の
シングルモード光ファイバ(10-1,20-1,20-2)を接続する
にあたり、 該第1の光導波路(51)とは所望のピッチ(P)離れて平
行に、該第2の光導波路(52)とはピッチ(P1)離れて平
行に、マルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい幅
のサイドコア(5) を該基板(1) 上に形成し、 該基板(1) の両側にそれぞれ2段構成のX・Y・Z調整
台を設置して、一方の該X・Y・Z調整台に該第1のシ
ングルモード光ファイバ(10-1)と光投入側マルチモード
光ファイバ(30)とをピッチ(P)で搭載し、 他方の該X・Y・Z調整台に、該第2のシングルモード
光ファイバ(20-1)と受光側マルチモード光ファイバ(40)
とを所望のピッチ(P1)離して搭載して、 該受光側マルチモード光ファイバ(40)の出射する光パワ
ーが最大になるよう、双方の該X・Y・Z調整台を調整
した後に、 第2のシングルモード光ファイバ(20-1)の出射する光パ
ワーが最大になるよう、一方の該X・Y・Z調整台の上
段X・Y・Z調整台(70A) を操作して該第1のシングル
モード光ファイバ(10-1)の位置調整をし、該第1の光導
波路(51)の端面と該第1のシングルモード光ファイバ(1
0-1)の端面とを接着し、 次に、該第2のシングルモード光ファイバ(20-1)の出射
する光パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調
整台の上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第2の
シングルモード光ファイバ(20-1)の位置調整をし、該第
2の光導波路(52)の端面と該第2のシングルモード光フ
ァイバ(20-1)の端面とを接着し、 その後、該第3のシングルモード光ファイバ(20-2)を、
該受光側マルチモード光ファイバ40とは所望のピッチ
(P2)離して、他方の該X・Y・Z調整台に搭載し、 該第3のシングルモード光ファイバ(20-2)の出射する光
パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調整台の
上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第3のシング
ルモード光ファイバ(20-2)の位置調整をし、該第3の光
導波路(53)の端面と該第3のシングルモード光ファイバ
(20-2)の端面とを接着することを特徴とする光ファイバ
と光導波路との接続方法。
2. A first optical waveguide (51) which is formed on a substrate 1 and has a starting end open to one end on one side, and a pitch (P 2 -P 1 ).
And the second and third optical waveguides (52, 53) whose starting ends are open to the other end face in parallel with each other, and each of the first, second, and third optical waveguides (51, 52, 53) When connecting the first, second, and third single-mode optical fibers (10-1, 20-1, 20-2) to the end face of the first optical waveguide (51), a desired pitch ( P) parallel to each other and parallel to the second optical waveguide (52) at a pitch (P 1 ) apart from each other, and a side core (5) having a width substantially equal to the core diameter of the multimode optical fiber is provided on the substrate (1). Two X-Y / Z-adjustment bases formed on the substrate (1) are installed on both sides of the substrate, and the first single-mode optical fiber ( 10-1) and the light input side multi-mode optical fiber (30) are mounted at a pitch (P), and the second single-mode optical fiber (20-1) is mounted on the other X / Y / Z adjusting stand. And receiver multimode optical fiber (40)
After mounting and at a desired pitch (P 1 ) apart from each other, and adjusting both the X, Y, and Z adjustment bases so that the optical power emitted from the light-receiving side multimode optical fiber (40) is maximized. , Operate the upper X / Y / Z adjustment base (70A) of one of the X / Y / Z adjustment bases so that the optical power emitted from the second single mode optical fiber (20-1) is maximized. The position of the first single mode optical fiber (10-1) is adjusted, and the end face of the first optical waveguide (51) and the first single mode optical fiber (1
0-1) is bonded to the end face of the second single mode optical fiber (20-1) so that the optical power emitted from the second single mode optical fiber (20-1) is maximized. The position of the second single mode optical fiber (20-1) is adjusted by operating the X, Y, Z adjusting base (70B), and the end face of the second optical waveguide (52) and the second single The end face of the mode optical fiber (20-1) is adhered, and then the third single mode optical fiber (20-2) is
The photodetection side multimode optical fiber 40 away desired pitch (P 2), mounted to the other of the X · Y · Z adjustment table, and emits a single-mode optical fiber of said third (20-2) The position of the third single mode optical fiber (20-2) is adjusted by operating the upper X, Y, Z adjustment base (70B) of the other X, Y, Z adjustment base so that the optical power becomes maximum. The end face of the third optical waveguide (53) and the third single-mode optical fiber
A method for connecting an optical fiber and an optical waveguide, which comprises bonding the end face of (20-2).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1450191A1 (en) * 2003-02-24 2004-08-25 ASM Assembly Automation Ltd. Apparatus and method for active alignment of optical components

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