JPH0636054U

JPH0636054U - 接着剤付きペリクルフレーム

Info

Publication number: JPH0636054U
Application number: JP6863692U
Authority: JP
Inventors: 史倫早野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1992-10-01
Filing date: 1992-10-01
Publication date: 1994-05-13
Anticipated expiration: 2007-10-01
Also published as: JP2599827Y2

Abstract

(57)【要約】【目的】大きな荷重を加えることなく、基板と隙間な
く接着できる接着剤付きペリクルフレームを提供する。【構成】ペリクル１を張設したフレーム２に、表面を
凹凸にして接着剤を塗布し、接着剤表面に基板を圧着し
た際に接着剤がつぶれやすくなっている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体露光装置などに用いるレチクル、マスク等の基板に装着する接着剤付きペリクルフレームに係り、特にフレームに塗布される接着剤に関するものである。

【０００２】

【従来技術】

従来の接着剤付きペリクルフレームは、図５（ａ）、（ｂ）に示すような構成になっていた。矩形フレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。フレーム２の裏面にはアクリル系の硬質の接着剤１３が全面にわたってほぼ同じ厚さに塗布されていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記の如き従来の技術においては、アクリル系の硬質の接着剤５３をフレーム２の裏面に全面にわたって同じ厚さに塗布しているので、接着剤５３がつぶれにくかった。またレチクルとフレームとを圧着する際、フレーム２の各辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ、ＤＡに加わる力はフレーム２のコーナー部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに比べて小さかった。そのため、レチクル４とフレーム２とを接着した後の断面は、コーナー部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄでは、図５（ｃ）に示すように、レチクル４とフレーム２とが接着剤５３により完全に接着されるが、辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ、ＤＡの中央付近では、図５（ｄ）に示すように、接着剤５３とレチクル４との間に隙間５が生じてしまう場合があり、この隙間から塵等が入り込みレチクル表面に付着してしまうという問題点があった。

【０００４】また、フレームとレチクルとをフレーム全周にわたって連続的に隙間なく接着するために大きな荷重を加えると、レチクルに歪みが生じてしまうという問題点があった。本考案はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、大きな荷重を加えることなく、基板と隙間なく接着できる接着剤付きペリクルフレームを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記問題点の解決の為に、請求項１の本考案は、フレーム２と、該フレームの表面に張設するペリクル１と、前記フレームの裏面に基板４を接着するために塗布した硬質の接着剤３とを有する接着剤付きペリクルフレームにおいて、前記基板４に圧着させる前記接着剤３の表面を凹凸にした。

【０００６】また、請求項２の本考案は、フレーム２と、該フレームの表面に張設するペリクル１と、前記フレームの裏面に基板を接着するために塗布した硬質の接着剤３とを有する接着剤付きペリクルフレームにおいて、前記接着剤３を線状に連続的に塗布する。

【０００７】

【作用】

請求項１の本考案においては、基板に圧着される接着剤の表面が凹凸になっているので、接着剤表面がつぶれやすくなっている。従って、小さい力で基板を圧着してもコーナー部に塗布された接着剤がつぶれ、フレーム各辺の中央部でも接着剤表面がレチクルに接着し、基板とフレームとの隙間が生じない。

【０００８】また、請求項２の本考案においては、接着剤をフレームの裏面に線状に連続的に塗布するので、接着剤がつぶれやすくなっている。従って、小さい力で基板を圧着してもコーナー部に塗布された接着剤がつぶれ、フレーム各辺の中央部でも接着剤表面がレチクルに接着し、基板とフレームとの隙間が生じない。

【０００９】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。図１は本考案に係る接着剤付きペリクルフレームの第１の実施例を示す図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）はフレームの伸長方向に垂直な方向の断面図である。なお、図５と同一の部材には同一符号を付し説明は省略する。

【００１０】矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。また、フレーム２の裏面には硬質の接着剤３が塗布されている。接着剤３の表面にはフレーム２の伸長方向と平行にＶ字型の溝が二本形成されている。また凹部、凸部はそれぞれほぼ同じに厚さになっている。上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレームの接着剤３表面にレチクル４を圧着すると、フレーム２のコーナー部では、図２（ａ）に示すように、接着剤３表面の凸部がほとんどつぶれた状態で接着している。フレーム２の各辺の中央付近にはコーナー部に比べて加わる力が小さいけれども、コーナー部の変形が大きいので、図２（ｂ）に示すように、接着剤３表面の凸部が少しつぶれた状態で接着する。

【００１１】なお本実施例においては、基板に圧着される接着剤の表面にフレームの伸長方向と平行に二本のＶ字型の溝を形成したが、接着剤表面の凹凸の形状はこれに限るものではない。図３は本考案の第２の実施例を示す図であり、フレームの伸長方向に垂直な方向の断面図である。なお、図１と同一の部材には同一の符号を付し説明は省略する。

【００１２】矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。また、フレーム２の裏面には硬質の接着剤３が、フレームの２の伸長方向と平行に二本、線状に連続的に塗布されている。線状に塗布された接着剤３はフレーム２の裏面から厚さがほぼ同じになっている。上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレームの接着剤３の表面にレチクル４を圧着すると、フレーム２のコーナー部では、図４（ａ）に示すように、接着剤がほとんどつぶれた状態で接着している。また、フレーム２の各辺の中央付近はコーナー部に比べて加わる力が小さいが、コーナー部の接着剤のつぶれ方が大きいので、接着剤の表面が少しつぶれて接着する。

【００１３】なお本実施例においては、フレームの伸長方向に平行に二本の線状の接着剤を連続的に塗布したが、接着剤の塗布方法はこれに限らない。

【００１４】

【考案の効果】

上述したように本考案によれば、矩形フレームの裏面に塗布した接着剤の表面を凹凸にして、接着剤をつぶれやすくしたので、大きな荷重を加えなくてもフレームと基板とを隙間なく接着できる。また、線状に連続的に接着剤をフレームの裏面に塗布して接着剤を潰れやすくしたので、大きな荷重を加えなくてもフレームと基板とを隙間なく接着できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の接着剤付きペリクルフレームの第１
実施例を示す図である。

【図２】本考案の第１実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。

【図３】本考案の第２実施例を示す図である。

【図４】本考案の第２実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。

【図５】従来の接着剤付きペリクルフレームを示す図
である。

【符号の説明】

１ペリクル２フレーム３、３３接着剤４レチクル

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】フレームと、該フレームの表面に張設する
ペリクルと、前記フレームの裏面に基板を接着するため
に塗布した硬質の接着剤とを有する接着剤付きペリクル
フレームにおいて、前記基板に圧着させる前記接着剤の表面を凹凸にしたこ
とを特徴とする接着剤付きペリクルフレーム。
【請求項２】フレームと、該フレームの表面に張設する
ペリクルと、前記フレームの裏面に基板を接着するため
に塗布した硬質の接着剤とを有する接着剤付きペリクル
フレームにおいて、前記接着剤を線状に連続的に塗布したことを特徴とする
接着剤付きペリクルフレーム。