JPH0720487A - Liquid crystal display element - Google Patents
Liquid crystal display elementInfo
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- JPH0720487A JPH0720487A JP5162430A JP16243093A JPH0720487A JP H0720487 A JPH0720487 A JP H0720487A JP 5162430 A JP5162430 A JP 5162430A JP 16243093 A JP16243093 A JP 16243093A JP H0720487 A JPH0720487 A JP H0720487A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上部透明基板に形成された上部透明導電膜と
下部透明基板に形成された端子電極膜との間の導電接続
の劣化を無くす。
【構成】 導電性接着剤CMを介在させる前記上透明導
電膜ITO2の下層に前記カラーフィルタFIL(G,
B,R)の何れかのパターニング時に形成されるダミー
カラーフィルタパターンFIL(C)を設けた。
【効果】 上部透明基板に形成した共通導電膜と下部透
明基板に形成した端子電極膜とを導電接続する導電性接
着剤の環境変化による接続不良や断線を防止できる。
(57) [Abstract] [Purpose] To prevent deterioration of conductive connection between the upper transparent conductive film formed on the upper transparent substrate and the terminal electrode film formed on the lower transparent substrate. A color filter FIL (G, G, G) is formed under the upper transparent conductive film ITO2 with a conductive adhesive CM interposed.
The dummy color filter pattern FIL (C) formed at the time of patterning any of (B, R) was provided. [Effect] It is possible to prevent connection failure and disconnection due to environmental changes of the conductive adhesive that conductively connects the common conductive film formed on the upper transparent substrate and the terminal electrode film formed on the lower transparent substrate.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶表示素子に係
り、特に導電性接着剤により上透明基板に形成した上透
明導電膜下透明基板に形成された端子電極膜との導電的
接続不良を解消した液晶表示素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color liquid crystal display device, and more particularly to a conductive connection failure with a terminal electrode film formed on an upper transparent conductive film and a lower transparent substrate formed on an upper transparent substrate with a conductive adhesive. The present invention relates to a resolved liquid crystal display element.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示素子としては、種々の方式が知
られているが、その中でアクティブ・マトリクス方式と
称する液晶表示装置は、マトリクス状に配列された複数
の画素電極のそれぞれに対応して非線形素子(スイッチ
ング素子)を設け、各画素毎に駆動信号を印加して画像
表示を行うようにしたものである。2. Description of the Related Art Various types of liquid crystal display elements are known. Among them, a liquid crystal display device called an active matrix type corresponds to a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. A non-linear element (switching element) is provided, and a drive signal is applied to each pixel to display an image.
【0003】アクティブ方式は各画素における液晶は理
論的には常時駆動(デューティ比 1.0)され、時分割駆
動方式を採用する,所謂単純マトリクス方式と比べてコ
ントラストが良く、特にカラー液晶表示装置では欠かせ
ない技術となりつつある。このスイッチング素子として
代表的なものには薄膜トランジスタ(TFT)がある。In the active system, the liquid crystal in each pixel is theoretically always driven (duty ratio 1.0), and the contrast is better than that in the so-called simple matrix system which employs the time-division drive system, which is particularly important in a color liquid crystal display device. Technology is becoming impossible. A typical example of this switching element is a thin film transistor (TFT).
【0004】なお、薄膜トランジスタを使用したアクテ
ィブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、例えば特開昭
63−309921号公報や、「冗長構成を採用した1
2.5型アクティブ・マトリクス方式カラー液晶ディスプ
レイ」、日経エレクトロニクス、頁193〜210、1986年12
月15日、日経マグロウヒル社発行、で知られている。An active matrix type liquid crystal display device using thin film transistors is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-309921, "1.
2.5-inch active matrix color LCD ", Nikkei Electronics, pages 193-210, 1986 12
Known on the 15th of March, published by Nikkei McGraw-Hill, Inc.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記従来のカラー液晶
表示素子においては、複数色のカラーフィルタとこのカ
ラーフィルタを覆って共通電極を構成する上部透明導電
膜と上部透明導電膜の上に形成した上部配向膜とを少な
くとも有する上部透明基板と、カラーフィルタに対応し
た個別電極を構成する下部透明導電膜および上部透明導
電膜と接続される端子電極膜と下部透明導電膜上に形成
した下部配向膜を少なくとも有する下部透明基板とを対
向させ、上部透明導電膜と下部透明導電膜の間隙に液晶
を注入した後、上部透明基板の上部透明導電膜と下部透
明基板の端子電極膜との間に両者を導電的に接続する導
電性接着剤を介在させ、上部透明基板と下部透明基板と
の間に注入した液晶をシール材で封止する構成としてい
る。In the above-mentioned conventional color liquid crystal display element, a plurality of color filters are formed on the upper transparent conductive film and the upper transparent conductive film which cover the color filters to form a common electrode. An upper transparent substrate having at least an upper alignment film, a lower transparent conductive film forming an individual electrode corresponding to a color filter, a terminal electrode film connected to the upper transparent conductive film, and a lower alignment film formed on the lower transparent conductive film. A liquid crystal is injected into a gap between the upper transparent conductive film and the lower transparent conductive film, and a lower transparent substrate having at least is provided between the upper transparent conductive film of the upper transparent substrate and the terminal electrode film of the lower transparent substrate. The liquid crystal injected between the upper transparent substrate and the lower transparent substrate is sealed with a sealant with a conductive adhesive intervening therebetween being interposed.
【0006】このような構造において、上部透明基板の
上部透明導電膜を下部透明基板の端子電極膜に導電接続
するための導電性接着剤は、上下部基板の隅部に配置さ
れる。導電性接着剤は熱硬化性エポキシ樹脂系接着剤等
を母体とし、これに20〜50vol%程度のニケッル
粉末や銀粒子などの導電物質を混入してなり、母体の凝
集力が高い。そのため、温度変化や湿度変化等による伸
縮等の物性変化が少ない。In such a structure, the conductive adhesive for conductively connecting the upper transparent conductive film of the upper transparent substrate to the terminal electrode film of the lower transparent substrate is arranged at the corners of the upper and lower substrates. The conductive adhesive has a thermosetting epoxy resin-based adhesive or the like as a base material, and a conductive material such as nickel powder or silver particles in an amount of about 20 to 50 vol% is mixed therein, and the base material has a high cohesive force. Therefore, changes in physical properties such as expansion and contraction due to changes in temperature and changes in humidity are small.
【0007】一方、シール材は熱硬化性エポキシ系接着
剤等をそのまま使用するものであるため比較的柔軟性を
保持し、かつ上記の物性変化は導電性接着剤に比較して
大きい。そのため、温度変化や湿度変化で液晶が膨張し
たり、あるいは上下の透明基板等の膨張や収縮により、
導電性接着剤と上部透明基板に形成された上部透明導電
膜あるいは下部透明基板に形成された端子電極膜との間
の接続性が劣化し、その結果抵抗が増大して表示品質を
低下させたり、断線を引起こして点灯不良をもたらすと
いう問題があった。On the other hand, since the sealing material uses a thermosetting epoxy adhesive or the like as it is, the sealing material retains relatively flexibility and the above-mentioned change in physical properties is larger than that of the conductive adhesive. Therefore, the liquid crystal expands due to temperature changes and humidity changes, or due to the expansion and contraction of the upper and lower transparent substrates, etc.
The connectivity between the conductive adhesive and the upper transparent conductive film formed on the upper transparent substrate or the terminal electrode film formed on the lower transparent substrate deteriorates, resulting in an increase in resistance and deterioration of display quality. However, there is a problem that it causes a disconnection and causes defective lighting.
【0008】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、上部透明基板に形成された上部透明導電膜と下
部透明基板に形成された端子電極膜との間の導電接続の
劣化を無くした高品質、高信頼性の液晶表示素子を提供
することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to prevent deterioration of conductive connection between the upper transparent conductive film formed on the upper transparent substrate and the terminal electrode film formed on the lower transparent substrate. It is to provide a liquid crystal display device of high quality and high reliability that has been lost.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数色のカラーフィルタFIL(G,
B,R)と前記複数色のカラーフィルタFIL(G,
B,R)を覆って共通電極を構成する上透明導電膜IT
O2と前記上透明導電膜ITO2の上に形成した上配向
膜ORI2とを少なくとも有する上透明基板SUB2
と、前記カラーフィルタFIL(G,B,R)に対応し
た個別電極を構成する下透明導電膜ITO1および前記
上透明導電膜ITO2と接続される端子電極膜ITOと
前記下透明導電膜ITO1上に形成した下配向膜ORI
1を少なくとも有する下透明基板SUB1と、前記上透
明導電膜ITO2と前記下透明導電膜ITO1の間隙に
注入した液晶LCと、前記上透明基板SUB2の上透明
導電膜ITO2と前記下透明基板SUB1の端子電極膜
ITOとの間に介在して両者を導電的に接続する導電性
接着剤CMとを有し、前記上透明基板SUB2と前記下
透明基板SUB1との間に注入した前記液晶LCを封止
するシール材SLを備えた液晶表示素子において、前記
導電性接着剤CMを介在させる前記上透明導電膜ITO
2の下層に前記カラーフィルタFIL(G,B,R)の
何れかのパターニング時に形成されるダミーカラーフィ
ルタパターンFIL(C)を有することを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a color filter FIL (G, G,
B, R) and the color filters FIL (G,
(B, R) to form a common electrode and form an upper transparent conductive film IT
Upper transparent substrate SUB2 having at least O2 and an upper alignment film ORI2 formed on the upper transparent conductive film ITO2
And on the lower transparent conductive film ITO1 and the terminal electrode film ITO connected to the lower transparent conductive film ITO1 and the upper transparent conductive film ITO2 which form the individual electrodes corresponding to the color filters FIL (G, B, R). Formed lower alignment film ORI
Of the lower transparent substrate SUB1 having at least 1, the liquid crystal LC injected into the gap between the upper transparent conductive film ITO2 and the lower transparent conductive film ITO1, and the upper transparent conductive film ITO2 of the upper transparent substrate SUB2 and the lower transparent substrate SUB1. And a conductive adhesive CM interposed between the terminal electrode film ITO and the terminal electrode film ITO to electrically connect the two, and seals the liquid crystal LC injected between the upper transparent substrate SUB2 and the lower transparent substrate SUB1. In the liquid crystal display element including the sealing material SL that stops, the upper transparent conductive film ITO with the conductive adhesive CM interposed.
2 has a dummy color filter pattern FIL (C) formed at the time of patterning any one of the color filters FIL (G, B, R) in the lower layer.
【0010】なお、本発明はTFT型液晶表示素子のみ
ならず、単純マトリクス型液晶表示素子、その他のカラ
ー液晶表示に適用できるものであることは言うまでもな
く、また、カラーに限らず、モノクロの液晶表示素子に
も応用可能であり、その場合はダミーのカラーフレーム
パターンと同様の機能をもつ薄膜を所要の箇所に形成す
る。Needless to say, the present invention can be applied not only to a TFT type liquid crystal display element but also to a simple matrix type liquid crystal display element and other color liquid crystal displays, and is not limited to color and a monochrome liquid crystal. It can also be applied to a display element. In that case, a thin film having the same function as a dummy color frame pattern is formed at a required position.
【0011】[0011]
【作用】上記本発明の構成としたことにより、ダミーカ
ラーフィルタパターンを機械的な緩衝材として導電性接
着材CMが上部透明基板SUB2と下部透明基板SUB
1との間に介在することになり、温度や湿度の変化等の
環境変化に起因する上部透明基板SUB2と下部透明基
板SUB1との間の間隔変化が生じても、その導電接続
は確保される。With the above-described structure of the present invention, the conductive adhesive CM uses the dummy color filter pattern as a mechanical cushioning material to form the conductive adhesive CM in the upper transparent substrate SUB2 and the lower transparent substrate SUB.
Even if the gap between the upper transparent substrate SUB2 and the lower transparent substrate SUB1 changes due to environmental changes such as changes in temperature and humidity, the conductive connection is ensured. .
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図1は本発明による液晶表示素子の
1実施例を説明する上部透明基板の要部平面図、また図
2は図1のA−A’線から見た下部透明基板を含んだ部
分断面図である。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. 1 is a plan view of an essential part of an upper transparent substrate for explaining an embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view including a lower transparent substrate taken along the line AA 'of FIG. is there.
【0013】同各図において、SUB1は下部透明基
板、SUB2は上部透明基板、BMはブラックマトリク
ス、FIL(G,B,R)はカラーフィルタ、FIL
(C)はダミーカラーフィルタパターン、ITO1,I
TO2は透明導電膜、ITOは端子電極膜、PSVは保
護膜、ORI1は上部配向膜、ORI2は下部配向膜、
SLはシール材、CM(AGP)は導電性接着剤、TF
Tは薄膜トランジスタ、LCは液晶、POL1は上部偏
光板、POL2は下部偏光板である。In each figure, SUB1 is a lower transparent substrate, SUB2 is an upper transparent substrate, BM is a black matrix, FIL (G, B, R) is a color filter, and FIL.
(C) is a dummy color filter pattern, ITO1, I
TO2 is a transparent conductive film, ITO is a terminal electrode film, PSV is a protective film, ORI1 is an upper alignment film, ORI2 is a lower alignment film,
SL is a sealing material, CM (AGP) is a conductive adhesive, TF
T is a thin film transistor, LC is a liquid crystal, POL1 is an upper polarizing plate, and POL2 is a lower polarizing plate.
【0014】透明なガラス板からなる上部透明基板SU
B2上には、TFTのフォトコンダクトの防止とカラー
フィルタの混色防止のためのブラックマトリクスBMが
形成されている。このブラックマトリクスBMは、クロ
ム,有機黒色膜等を材料としてフォトリソグラフィー法
により画素部分を選択的に除去して形成される。このブ
ラックマトリクスBMの上に3色のカラーフィルタFI
L(G,B,R)が形成される。Upper transparent substrate SU made of transparent glass plate
A black matrix BM is formed on B2 to prevent photoconducting of TFTs and color mixing of color filters. The black matrix BM is formed by using a material such as chromium or an organic black film to selectively remove the pixel portion by a photolithography method. On this black matrix BM, three color filters FI
L (G, B, R) is formed.
【0015】また、導電性接着剤CM(AGP)が介在
する部分には、上記カラーフィルタFIL(G,B,
R)の何れかの形成時に同時に形成されるダミーカラー
フィルタパターンFIL(C)が設けられている。これ
らのカラーフィルタFIL(G,B,R)およびダミー
カラーフィルタパターンFIL(C)は、光硬化型の可
染性樹脂を成膜し、フォトリソグラフィー法で形成され
る。Further, the color filter FIL (G, B,
The dummy color filter pattern FIL (C) is formed at the same time when any of R) is formed. The color filter FIL (G, B, R) and the dummy color filter pattern FIL (C) are formed by photolithography by depositing a photocurable dyeable resin.
【0016】すなわち、まず、ブラックマトリクスBM
を形成した上部透明基板SUB2の上にゼラチン,アク
リル樹脂等からなる可染性樹脂をスピンコート法,ロー
ルコート法などにより、膜厚が均一になるように塗布す
る。その後、プリベークを施して膜中の溶媒除去を行
い、第1色目のパターンマスクを介して露光し、現像し
て不要部分の可染性樹脂を除去する。That is, first, the black matrix BM
A dyeable resin made of gelatin, acrylic resin, or the like is applied on the upper transparent substrate SUB2 on which is formed by a spin coating method, a roll coating method, or the like so that the film thickness becomes uniform. Then, pre-baking is performed to remove the solvent in the film, exposure is performed through the pattern mask for the first color, and development is performed to remove the dyeable resin in unnecessary portions.
【0017】次に、アニオン性染料の0.1〜2.0%
水溶液を40〜70°Cに加温し、その中に可染性樹脂
のパターンが形成された上部透明基板SUB2を浸漬し
て着色を施す。着色後、タンニン酸,酒石酸アチモニル
ナトリウム等により防染処理を行い、1色目のカラーフ
ィルタを作成する。上記の操作を3回繰り返してカラー
フィルタFIL(G,B,R)およびダミーカラーフィ
ルタパターンFIL(C)を得る。Next, 0.1 to 2.0% of the anionic dye
The aqueous solution is heated to 40 to 70 ° C., and the upper transparent substrate SUB2 on which the pattern of the dyeable resin is formed is immersed in the aqueous solution for coloring. After coloring, a dye-proof treatment is carried out with tannic acid, sodium atimonyl tartrate or the like to prepare a first color filter. The above operation is repeated three times to obtain the color filter FIL (G, B, R) and the dummy color filter pattern FIL (C).
【0018】これらのカラーフィルタを形成後、染料の
溶出防止と表面の平坦性を確保するためのアクリル樹
脂、あるいはエポキシ樹脂を、スピンコート法あるいは
ロールコート法、または転写印刷法により塗布し、熱硬
化処理して保護膜PSVを形成する。保護膜PSVを形
成した後、酸化インジウムを主成分とした導電材料をス
パッタリング法により成膜し、共通電極となる透明導電
膜ITO2を形成する。After forming these color filters, an acrylic resin or an epoxy resin for preventing elution of the dye and ensuring the flatness of the surface is applied by a spin coating method, a roll coating method, or a transfer printing method, and heat is applied. The protective film PSV is formed by curing. After forming the protective film PSV, a conductive material containing indium oxide as a main component is formed by a sputtering method to form a transparent conductive film ITO2 to be a common electrode.
【0019】以上により各種膜を形成した上部透明基板
SUB2の上に上部配向膜ORI2を転写印刷法で成膜
し、配向処理した後、熱硬化型エポキシ樹脂を主成分と
するシール材SLおよび導電性接着剤CM(AGP)を
スクリーン印刷法,ディスペンサー塗布法等により塗布
し、乾燥して溶媒を除去後、薄膜トランジスタTFT上
に下部配向膜ORI1が形成された下部透明基板SUB
1と貼り合わせ、0.5〜1.0kg/cm2 の荷重を
加えて150〜180°C、1〜4時間の硬化処理を行
う。An upper alignment film ORI2 is formed by a transfer printing method on the upper transparent substrate SUB2 on which various films are formed as described above, and after orientation processing, a sealing material SL containing a thermosetting epoxy resin as a main component and a conductive material. Lower transparent substrate SUB in which a lower alignment film ORI1 is formed on the thin film transistor TFT after applying a conductive adhesive CM (AGP) by a screen printing method, a dispenser coating method, etc. and drying to remove the solvent
1, and a load of 0.5 to 1.0 kg / cm 2 is applied to perform curing treatment at 150 to 180 ° C. for 1 to 4 hours.
【0020】硬化が完了した両透明基板を所定の寸法に
切断し、両基板嵌の隙間に液晶LCを注入して注入部に
エポキシ樹脂等を充填して封止する。その後、上部透明
基板SUB2側に上部偏光板POL2を、下部透明基板
SUB1側に下部偏光板POL1を張り付け、カラーT
FT液晶表示素子を完成する。Both the cured transparent substrates are cut into a predetermined size, the liquid crystal LC is injected into the gap between the two substrates, and the injection portion is filled with epoxy resin or the like for sealing. After that, the upper polarizing plate POL2 is attached to the upper transparent substrate SUB2 side, and the lower polarizing plate POL1 is attached to the lower transparent substrate SUB1 side.
The FT liquid crystal display device is completed.
【0021】こうして得たカラーTFT液晶表示素子
を、60°Cで放置,60°C,90%RH放置等の加
速試験を行ったところ、点灯不良の発生は見られなかっ
た。このように、本実施例によれば、従来技術における
表示品質の低下、点灯不良の発生のないカラー液晶表示
素子を得ることができる。以下、上記カラー液晶表示素
子を用いて構成した液晶表示装置の実施例を説明する。
なお、以下説明する図面で、同一機能を有するものは同
一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。The color TFT liquid crystal display device thus obtained was subjected to accelerated tests such as leaving it at 60 ° C. and leaving it at 60 ° C. and 90% RH . No defective lighting was observed. As described above, according to the present embodiment, it is possible to obtain the color liquid crystal display element in which the display quality is not deteriorated and the lighting failure is not generated in the conventional technique. Examples of a liquid crystal display device constructed by using the color liquid crystal display element will be described below.
In the drawings described below, components having the same function are designated by the same reference numeral, and repeated description thereof will be omitted.
【0022】図3はこの発明が適用されるアクティブ・
マトリクス方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺
を示す平面図、図4は図3の3−3切断線における断面
図、図5は図2の4−4切断線における断面図である。
図3に示すように、各画素は隣接する2本の走査信号線
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、隣接する2
本の映像信号線(ドレイン信号線または垂直信号線)D
Lとの交差領域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に
配置されている。FIG. 3 shows an active system to which the present invention is applied.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line 3-3 in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line 4-4 in FIG.
As shown in FIG. 3, each pixel has two adjacent scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL and two adjacent scanning signal lines GL.
Book video signal line (drain signal line or vertical signal line) D
It is arranged in a region intersecting with L (in a region surrounded by four signal lines).
【0023】各画素は薄膜トランジスタTFT、透明画
素電極ITO1および保持容量素子Caddを含む。走査
信号線GLは図では左右方向に延在し、上下方向に複数
本配置されている。映像信号線DLは上下方向に延在
し、左右方向に複数本配置されている。図4に示すよう
に、液晶層LCを基準にして下部透明ガラス基板(下透
明基板)SUB1側には薄膜トランジスタTFTおよび
透明画素電極(下透明導電膜)ITO1が形成され、上
部透明ガラス基板(上透明基板)SUB2側にはカラー
フィルタFIL、遮光用のブラックマトリクスパターン
BMが形成されている。Each pixel includes a thin film transistor TFT, a transparent pixel electrode ITO1 and a storage capacitor element Cadd. The scanning signal lines GL extend in the left-right direction in the figure, and a plurality of scanning signal lines GL are arranged in the vertical direction. The video signal lines DL extend in the vertical direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the horizontal direction. As shown in FIG. 4, a thin film transistor TFT and a transparent pixel electrode (lower transparent conductive film) ITO1 are formed on the lower transparent glass substrate (lower transparent substrate) SUB1 side with respect to the liquid crystal layer LC, and an upper transparent glass substrate (upper). On the transparent substrate SUB2 side, a color filter FIL and a light-shielding black matrix pattern BM are formed.
【0024】透明ガラス基板SUB1,SUB2の両面
にはディップ処理等によって形成された酸化シリコン膜
SIOが設けられている。上部透明ガラス基板SUB2
の内側(液晶LC側)の表面には、遮光膜BM,カラー
フィルタFIL,保護膜PSV2,共通透明画素電極
(上透明導電膜)ITO2(COM)および上部配向膜
(上配向膜)ORI2が順次積層して設けられている。Silicon oxide films SIO formed by dipping or the like are provided on both surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2. Upper transparent glass substrate SUB2
A light-shielding film BM, a color filter FIL, a protective film PSV2, a common transparent pixel electrode (upper transparent conductive film) ITO2 (COM), and an upper alignment film (upper alignment film) ORI2 are sequentially formed on the inner surface (liquid crystal LC side) of the. It is provided by stacking.
【0025】図6は上下のガラス基板SUB1,SUB
2を含む表示パネルPNLのマトリクス(AR)周辺の
要部平面図、図7はその周辺部を更に誇張した平面図、
図8は図6及び図7のパネル左上角部に対応するシール
部SL付近の拡大平面図である。また、図9は図4の断
面を中央にして、左側に図8の8a−8a切断線におけ
る断面を、右側に映像信号駆動回路が接続されるべき外
部接続端子DTM付近の断面を示す断面図である。FIG. 6 shows upper and lower glass substrates SUB1 and SUB.
2 is a plan view of a main part around a matrix (AR) of a display panel PNL including 2; FIG. 7 is a plan view in which the peripheral part is further exaggerated;
FIG. 8 is an enlarged plan view of the vicinity of the seal portion SL corresponding to the upper left corner of the panels of FIGS. 6 and 7. 9 is a cross-sectional view showing the cross section taken along the line 8a-8a of FIG. 8 on the left side and the cross section near the external connection terminal DTM to which the video signal drive circuit is to be connected, on the right side, with the cross section of FIG. 4 as the center. Is.
【0026】同様に、図10は左側に走査回路が接続さ
れるべき外部接続端子GTM付近の断面を、右側に外部
接続端子が無いところのシール部付近の断面を示す断面
図である。このパネルの製造では、小さいサイズであれ
ばスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個分
のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイズ
であれば製造設備の共用のために、どの品種でも標準化
された大きさのガラス基板を加工してから各品種に合っ
たサイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経
てからガラスを切断する。図6〜図8は後者の例を示す
もので、図6、図7の両図とも上下基板SUB1,SU
B2の切断後を、また図8は切断前を表しており、LN
は両基板の切断前の縁を、CT1とCT2はそれぞれ基
板SUB1,SUB2の切断すべき位置を示す。いずれ
の場合も、完成状態では外部接続端子群Tg,Td(添
字略)が存在する(図で上下辺と左辺の)部分はそれら
を露出するように上側基板SUB2の大きさが下側基板
SUB1よりも内側に制限されている。Similarly, FIG. 10 is a cross-sectional view showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side. In the manufacturing of this panel, if it is a small size, one glass substrate is processed into a plurality of devices at the same time in order to improve the throughput, and then it is divided. However, after processing a standardized glass substrate, it is reduced to a size that suits each product type, and in each case, the glass is cut after going through a series of steps. FIGS. 6 to 8 show the latter example. In both of FIGS. 6 and 7, the upper and lower substrates SUB1 and SU are shown.
B2 after cleavage and FIG. 8 before cleavage, LN
Indicates the edges of both substrates before cutting, and CT1 and CT2 indicate the positions of the substrates SUB1 and SUB2 to be cut, respectively. In either case, the size of the upper substrate SUB2 is smaller than the lower substrate SUB1 so that the external connection terminal groups Tg and Td (subscripts omitted) (upper side and left side in the figure) are exposed in the completed state. Is more restricted to the inside.
【0027】端子群Tg,Tdはそれぞれ後述する走査
回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTM
とそれらの引出配線部を集積回路チップCHIが搭載さ
れたテープキャリアパッケージTCP(図19、図20
で後述)の単位に複数本まとめて名付けたものである。
各群のマトリクス部から外部接続端子部に至るまでの引
出配線は両端に近づくにつれ傾斜している。これは、パ
ッケージTCPの配列ピッチ及び各パッケージTCPに
おける接続端子ピッチに表示パネルPNLの端子DT
M,GTMを合わせるためである。The terminal groups Tg and Td are respectively a scanning circuit connecting terminal GTM and a video signal circuit connecting terminal DTM, which will be described later.
And those lead-out wiring portions are mounted on the tape carrier package TCP (FIGS. 19 and 20) on which the integrated circuit chip CHI is mounted.
(See below in) It is the one that is collectively named in the unit.
The lead wiring from the matrix portion of each group to the external connection terminal portion is inclined toward both ends. This is because the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch of each package TCP are equal to the terminals DT of the display panel PNL.
This is to match M and GTM.
【0028】透明ガラス基板SUB1,SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。こ
のシール材は例えばエポキシ樹脂から成る。上部透明ガ
ラス基板SUB2側の共通透明画素電極ITO2は、少
なくとも一箇所において、本実施例ではパネルの4角で
銀ペースト材AGPによって下部透明ガラス基板SUB
1側に形成されたその引出配線INTに接続されてい
る。この引出配線INTは後述するゲート端子GTM、
ドレイン端子DTMと同一製造工程で形成される。Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal filling port INJ, the liquid crystal LC
A seal pattern SL is formed so as to seal the. This sealing material is made of epoxy resin, for example. The common transparent pixel electrode ITO2 on the side of the upper transparent glass substrate SUB2 is provided in at least one place, in the present embodiment, at the four corners of the panel by the silver paste material AGP by the lower transparent glass substrate SUB.
It is connected to the lead wire INT formed on the first side. The lead wiring INT is a gate terminal GTM, which will be described later.
It is formed in the same manufacturing process as the drain terminal DTM.
【0029】配向膜ORI1,ORI2、透明画素電極
ITO1、共通透明画素電極ITO2、それぞれの層
は、シールパターンSLの内側に形成される。偏光板P
OL1,POL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB
1,上部透明ガラス基板SUB2の外側の表面に形成さ
れている。液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配
向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシールパタ
ーンSLで仕切られた領域に封入されている。The orientation films ORI1 and ORI2, the transparent pixel electrode ITO1, the common transparent pixel electrode ITO2, and the respective layers are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plate P
OL1 and POL2 are the lower transparent glass substrate SUB.
1, formed on the outer surface of the upper transparent glass substrate SUB2. The liquid crystal LC is enclosed in a region partitioned by a seal pattern SL between a lower alignment film ORI1 and an upper alignment film ORI2 that set the orientation of liquid crystal molecules.
【0030】下部配向膜ORI1は下部透明ガラス基板
SUB1側の保護膜PSV1の上部に形成される。この
液晶表示装置は、下部透明ガラス基板SUB1側、上部
透明ガラス基板SUB2側で別個に種々の層を積み重
ね、シールパターンSLを基板SUB2側に形成し、下
部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガラス基板SUB
2とを重ね合わせ、シール材SLの開口部INJから液
晶LCを注入し、注入口INJをエポキシ樹脂などで封
止し、上下基板を切断することによって組み立てられ
る。The lower alignment film ORI1 is formed on the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side. In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, the seal pattern SL is formed on the substrate SUB2 side, and the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB are formed.
2 is overlapped, the liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the seal material SL, the injection port INJ is sealed with an epoxy resin, and the upper and lower substrates are cut to assemble.
【0031】次に、図3、図4に戻って、TFT基板S
UB1側の構成を詳しく説明する。薄膜トランジスタT
FTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加すると、
ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくなり、バイ
アスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなるように動
作する。各画素には複数(2つ)の薄膜トランジスタT
FT1、TFT2が冗長して設けられる。薄膜トランジ
スタTFT1,TFT2のそれぞれは、実質的に同一サ
イズ(チャネル長、チャネル幅が同じ)で構成され、ゲ
ート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、intrin
sic、導電型決定不純物がドープされていない)非晶質
シリコン(Si)からなるi型半導体層AS、一対のソ
ース電極SD1、ドレイン電極SD2を有す。なお、ソ
ース、ドレインは本来その間のバイアス極性によって決
まるもので、この液晶表示装置の回路ではその極性は動
作中反転するので、ソース、ドレインは動作中入れ替わ
ると理解されたい。しかし、以下の説明では、便宜上一
方をソース、他方をドレインと固定して表現する。Next, returning to FIGS. 3 and 4, the TFT substrate S
The configuration on the UB1 side will be described in detail. Thin film transistor T
FT, when a positive bias is applied to the gate electrode GT,
When the channel resistance between the source and the drain becomes small and the bias becomes zero, the channel resistance operates so as to become large. Each pixel has a plurality (two) of thin film transistors T.
FT1 and TFT2 are redundantly provided. Each of the thin film transistors TFT1 and TFT2 has substantially the same size (channel length and channel width are the same), and has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic, intrinsic).
sic, i-type semiconductor layer AS made of amorphous silicon (Si which is not doped with conductivity determining impurities) (Si), a pair of source electrode SD1 and drain electrode SD2. It should be understood that the source and drain are originally determined by the bias polarity between them, and the polarity is inverted during operation in the circuit of this liquid crystal display device, so it should be understood that the source and drain are switched during operation. However, in the following description, for convenience, one is fixed as the source and the other is fixed as the drain.
【0032】ゲート電極GTは走査信号線GLから垂直
方向に突出する形状で構成されている(T字形状に分岐
されている)。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTF
T1、TFT2のそれぞれの能動領域を越えるよう突出
している。薄膜トランジスタTFT1,TFT2のそれ
ぞれのゲート電極GTは、一体に(共通のゲート電極と
して)構成されており、走査信号線GLに連続して形成
されている。The gate electrode GT has a shape protruding vertically from the scanning signal line GL (branched into a T shape). The gate electrode GT is a thin film transistor TF
It projects so as to exceed the active regions of T1 and TFT2. The gate electrodes GT of the thin film transistors TFT1 and TFT2 are integrally configured (as a common gate electrode) and are formed continuously with the scanning signal line GL.
【0033】本例では、ゲート電極GTは単層の第2導
電膜g2で形成されている。第2導電膜g2としては例
えばスパッタで形成されたアルミニウム(Al)膜が用
いられ、その上にはAlの陽極酸化膜AOFが設けられ
ている。このゲート電極GTはi型半導体層ASを完全
に覆うよう(下方からみて)にそれより大き目に形成さ
れ、i型半導体層ASに外光やバックライト光が当たら
ないよう工夫されている。In this example, the gate electrode GT is formed of a single-layer second conductive film g2. An aluminum (Al) film formed by sputtering, for example, is used as the second conductive film g2, and an Al anodic oxide film AOF is provided thereon. The gate electrode GT is formed larger than it so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below), and is devised so that the i-type semiconductor layer AS is not exposed to external light or backlight light.
【0034】走査信号線GLは第2導電膜g2で構成さ
れている。この走査信号線GLの第2導電膜g2はゲー
ト電極GTの第2導電膜g2と同一製造工程で形成さ
れ、かつ一体に構成されている。また、走査信号線GL
上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。絶縁
膜GIは、薄膜トランジスタTFT1,TFT2におい
て、ゲート電極GTと共に半導体層ASに電界を与える
ためのゲート絶縁膜として使用される。The scanning signal line GL is composed of the second conductive film g2. The second conductive film g2 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the second conductive film g2 of the gate electrode GT, and is integrally formed. In addition, the scanning signal line GL
An Al anodic oxide film AOF is also provided on the top. The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistors TFT1 and TFT2.
【0035】絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信
号線GLの上層に形成されている。絶縁膜GIとしては
例えばプラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選
ばれ、1200〜2700Åの厚さに(本実施例では、
2000Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは図8
に示すように、マトリクス部ARの全体を囲むように形
成され、周辺部は外部接続端子DTM,GTMを露出す
るよう除去されている。絶縁膜GIは走査信号線GLと
映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。The insulating film GI is formed on the gate electrode GT and the scanning signal line GL. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is selected, and has a thickness of 1200 to 2700Å (in the present embodiment,
About 2000Å) is formed. The gate insulating film GI is shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the matrix portion AR is formed so as to surround the whole, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. The insulating film GI also contributes to the electrical insulation between the scanning signal line GL and the video signal line DL.
【0036】i型半導体層ASは、本例では薄膜トラン
ジスタTFT1、TFT2のそれぞれに独立した島とな
るよう形成され、非晶質シリコンで、200〜2200
Åの厚さに(本実施例では、2000Å程度の膜厚)で
形成される。層d0はオーミックコンタクト用のリン
(P)をドープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層
であり、下側にi型半導体層ASが存在し、上側に導電
層d2(d3)が存在するところのみに残されている。In this example, the i-type semiconductor layer AS is formed so as to be an independent island in each of the thin film transistors TFT1 and TFT2.
It is formed to have a thickness of Å (in this embodiment, a film thickness of about 2000 Å). The layer d0 is a phosphorus (P) -doped N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer for ohmic contact, the i-type semiconductor layer AS exists on the lower side, and the conductive layer d2 (d3) exists on the upper side. It is left only where you do.
【0037】i型半導体層ASは走査信号線GLと映像
信号線DLとの交差部(クロスオーバ部)の両者間にも
設けられている。この交差部のi型半導体層ASは交差
部における走査信号線GLと映像信号線DLとの短絡を
低減する。透明画素電極ITO1は液晶表示部の画素電
極の一方を構成する。この透明画素電極ITO1は,薄
膜トランジスタTFT1のソース電極SD1および薄膜
トランジスタTFT2のソース電極SD1の両方に接続
されている。このため、薄膜トランジスタTFT1,T
FT2のうちの1つに欠陥が発生しても、その欠陥が副
作用をもたらす場合はレーザ光等によって適切な箇所を
切断し、そうでない場合は他方の薄膜トランジスタが正
常に動作しているので放置すれば良い。透明画素電極I
TO1は第1導電膜d1によって構成されており、この
第1導電膜d1はスパッタリングで形成された透明導電
膜(Indium-Tin-OxideITO:ネサ膜)からなり、10
00〜2000Åの厚さに(本実施例では、1400Å
程度の膜厚)形成される。The i-type semiconductor layer AS is also provided between both the intersections (crossover portions) of the scanning signal lines GL and the video signal lines DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces the short circuit between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection. The transparent pixel electrode ITO1 constitutes one of the pixel electrodes of the liquid crystal display section. The transparent pixel electrode ITO1 is connected to both the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT1 and the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT2. Therefore, the thin film transistors TFT1, T
Even if a defect occurs in one of the FT2s, if the defect causes a side effect, an appropriate portion is cut by laser light or the like, and if not, the other thin film transistor is operating normally, so it is left alone. Good. Transparent pixel electrode I
TO1 is composed of a first conductive film d1, and this first conductive film d1 is made of a transparent conductive film (Indium-Tin-Oxide ITO: Nesa film) formed by sputtering.
With a thickness of 00 to 2000 Å (in this embodiment, 1400 Å
Film thickness).
【0038】ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の
それぞれは、N(+)型半導体層d0に接触する第2導
電膜d2とその上に形成された第3導電膜d3とから構
成されている。第2導電膜d2はスパッタで形成したク
ロム(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに
(本実施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜
は膜厚を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2
000Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜
はN(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、第3
導電膜d3のAlがN(+)型半導体層d0に拡散する
ことを防止する(いわゆるバリア層の)目的で使用され
る。第2導電膜d2として、Cr膜の他に高融点金属
(Mo、Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド
(MoSi2、TiSi2、TaSi2、WSi2)膜を用
いてもよい。Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is composed of a second conductive film d2 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a third conductive film d3 formed thereon. The second conductive film d2 is a chromium (Cr) film formed by sputtering and is formed to a thickness of 500 to 1000Å (in this embodiment, about 600Å). If the Cr film is formed thick, the stress increases, so 2
It is formed within a range not exceeding the film thickness of about 000Å. The Cr film improves the adhesiveness to the N (+) type semiconductor layer d0,
It is used for the purpose of preventing Al of the conductive film d3 from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0 (so-called barrier layer). As the second conductive film d2, a refractory metal (Mo, Ti, Ta, W) film or a refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used instead of the Cr film.
【0039】第3導電膜d3はAlのスパッタリングで
3000〜5000Åの厚さに(本実施例では、400
0Å程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレ
スが小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース
電極SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DL
の抵抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層
ASに起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカ
バーレッジを良くする)働きがある。The third conductive film d3 is formed by sputtering Al to a thickness of 3000 to 5000Å (400 in this embodiment).
0 Å) formed. The Al film has less stress than the Cr film and can be formed to have a large film thickness, and the source electrode SD1, the drain electrode SD2 and the video signal line DL can be formed.
Of the gate electrode GT and the i-type semiconductor layer AS are ensured (step coverage is improved).
【0040】第2導電膜d2、第3導電膜d3を同じマ
スクパターンでパターニングした後、同じマスクを用い
て、あるいは第2導電膜d2、第3導電膜d3をマスク
として、N(+)型半導体層d0が除去される。つま
り、i型半導体層AS上に残っていたN(+)型半導体
層d0は第2導電膜d2、第3導電膜d3以外の部分が
セルフアラインで除去される。このとき、N(+)型半
導体層d0はその厚さ分は全て除去されるようエッチン
グされるので、i型半導体層ASも若干その表面部分が
エッチングされるが、その程度はエッチング時間で制御
すればよい。After patterning the second conductive film d2 and the third conductive film d3 with the same mask pattern, using the same mask, or using the second conductive film d2 and the third conductive film d3 as masks, N (+) type The semiconductor layer d0 is removed. That is, the N (+) type semiconductor layer d0 remaining on the i-type semiconductor layer AS is self-aligned except for the second conductive film d2 and the third conductive film d3. At this time, since the N (+) type semiconductor layer d0 is etched so that the entire thickness thereof is removed, the surface of the i type semiconductor layer AS is also slightly etched, but the degree is controlled by the etching time. do it.
【0041】映像信号線DLはソース電極SD1、ドレ
イン電極SD2と同層の第2導電膜d2、第3導電膜d
3で構成されている。薄膜トランジスタTFTおよび透
明画素電極ITO1上には保護膜PSV1が設けられて
いる。保護膜PSV1は主に薄膜トランジスタTFTを
湿気等から保護するために形成されており、透明性が高
くしかも耐湿性の良いものを使用する。保護膜PSV1
はたとえばプラズマCVD装置で形成した酸化シリコン
膜や窒化シリコン膜で形成されており、1μm程度の膜
厚で形成する。The video signal line DL has a second conductive film d2 and a third conductive film d2 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
It is composed of three. A protective film PSV1 is provided on the thin film transistor TFT and the transparent pixel electrode ITO1. The protective film PSV1 is mainly formed to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and a film having high transparency and good moisture resistance is used. Protective film PSV1
Is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a film thickness of about 1 μm.
【0042】保護膜PSV1は図8に示すように、マト
リクス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外
部接続端子DTM,GTMを露出するよう除去され、ま
た上基板側SUB2の共通電極COMを下側基板SUB
1の外部接続端子接続用引出配線INTに銀ペーストA
GPで接続する部分も除去されている。保護膜PSV1
とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前者は保護
効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コンダ
クタンスgmを薄くされる。従って、図8に示すよう
に、保護効果の高い保護膜PSV1は周辺部もできるだ
け広い範囲に亘って保護するようゲート絶縁膜GIより
も大きく形成されている。As shown in FIG. 8, the protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM, and the common electrode of the upper substrate side SUB2. COM to the lower substrate SUB
Silver paste A on the lead wire INT for connecting the external connection terminal 1
The part connected by GP is also removed. Protective film PSV1
Regarding the thickness relationship between the gate insulating film GI and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protection effect, and the latter is made thin in the transconductance gm of the transistor. Therefore, as shown in FIG. 8, the protective film PSV1 having a high protective effect is formed to be larger than the gate insulating film GI so as to protect the peripheral portion over as wide a range as possible.
【0043】上部透明ガラス基板SUB2側には、外部
光又はバックライト光がi型半導体層ASに入射しない
よう遮光膜BMが設けられている。図2に示す遮光膜B
Mの閉じた多角形の輪郭線は、その内側が遮光膜BMが
形成されない開口を示している。遮光膜BMは光に対す
る遮蔽性の高い、たとえばアルミニウム膜やクロム膜等
で形成されており、本実施例ではクロム膜がスパッタリ
ングで1300Å程度の厚さに形成される。On the upper transparent glass substrate SUB2 side, a light shielding film BM is provided so that external light or backlight light does not enter the i-type semiconductor layer AS. Light-shielding film B shown in FIG.
The closed polygonal contour line of M indicates an opening in which the light shielding film BM is not formed. The light-shielding film BM is formed of, for example, an aluminum film or a chromium film having a high light-shielding property, and in this embodiment, the chromium film is formed by sputtering to have a thickness of about 1300 Å.
【0044】従って、薄膜トランジスタTFT1、TF
T2のi型半導体層ASは、上下にある遮光膜BMおよ
び大き目のゲート電極GTによってサンドイッチにさ
れ、外部の自然光やバックライト光が当たらなくなる。
遮光膜BMは各画素の周囲に格子状に形成され(所謂、
ブラックマトリクス)、この格子で1画素の有効表示領
域が仕切られている。従って、各画素の輪郭が遮光膜B
Mによってはっきりとし、コントラストが向上する。つ
まり、遮光膜BMはi型半導体層ASに対する遮光とブ
ラックマトリクスとの2つの機能をもつ。Therefore, the thin film transistors TFT1 and TF
The i-type semiconductor layer AS of T2 is sandwiched by the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT, and external natural light or backlight light is not exposed.
The light-shielding film BM is formed in a lattice shape around each pixel (so-called,
(Black matrix), an effective display area of one pixel is partitioned by this grid. Therefore, the outline of each pixel is
M improves clarity and contrast. That is, the light blocking film BM has two functions of blocking the i-type semiconductor layer AS and serving as a black matrix.
【0045】透明画素電極ITO1のラビング方向の根
本側のエッジ部分(図3右下部分)も遮光膜BMによっ
て遮光されているので、上記部分にドメインが発生した
としても、ドメインが見えないので、表示特性が劣化す
ることはない。遮光膜BMは図7に示すように周辺部に
も額縁状に形成され、そのパターンはドット状に複数の
開口を設けた図3に示すマトリクス部のパターンと連続
して形成されている。周辺部の遮光膜BMは図7〜図1
0に示すように、シール部SLの外側に延長され、パソ
コン等の実装機に起因する反射光等の漏れ光がマトリク
ス部に入り込むのを防いでいる。他方、この遮光膜BM
は基板SUB2の縁よりも約0.3〜1.0mm程内側
に留められ、基板SUB2の切断領域を避けて形成され
ている。Since the edge portion of the transparent pixel electrode ITO1 on the root side in the rubbing direction (the lower right portion in FIG. 3) is also shielded by the light shielding film BM, even if a domain occurs in the above portion, the domain cannot be seen. The display characteristics do not deteriorate. As shown in FIG. 7, the light-shielding film BM is also formed in a frame shape in the peripheral portion, and its pattern is formed continuously with the pattern of the matrix portion shown in FIG. 3 in which a plurality of dots-like openings are provided. The light-shielding film BM in the peripheral portion is shown in FIGS.
As shown in 0, it is extended to the outside of the seal portion SL to prevent leakage light such as reflected light due to a mounting machine such as a personal computer from entering the matrix portion. On the other hand, this light-shielding film BM
Is fixed to the inside of the edge of the substrate SUB2 by about 0.3 to 1.0 mm, and is formed so as to avoid the cutting region of the substrate SUB2.
【0046】カラーフィルタFILは画素に対向する位
置にR(赤)、G(緑)、B(青)の繰り返しでストラ
イプ状に形成される。カラーフィルタFILは透明画素
電極ITO1の全てを覆うように大き目に形成され、遮
光膜BMはカラーフィルタFILおよび透明画素電極I
TO1のエッジ部分と重なるよう透明画素電極ITO1
の周縁部より内側に形成されている。The color filter FIL is formed in a stripe shape by repeating R (red), G (green) and B (blue) at a position facing the pixel. The color filter FIL is formed to have a large size so as to cover the entire transparent pixel electrode ITO1, and the light-shielding film BM includes the color filter FIL and the transparent pixel electrode I.
Transparent pixel electrode ITO1 overlaps with the edge of TO1
Is formed inside the peripheral portion of
【0047】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フォトリ
ソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染色基材
を除去する。この後、染色基材を赤色染料で染め、固着
処理を施し、赤色フィルタRを形成する。つぎに、同様
な工程を施すことによって、緑色フィルタG、青色フィ
ルタBを順次形成する。The color filter FIL can be formed as follows. First, a dyeing base material such as an acrylic resin is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyeing base material other than the red filter forming region is removed by a photolithography technique. After that, the dyed substrate is dyed with a red dye and a fixing process is performed to form a red filter R. Next, the green filter G and the blue filter B are sequentially formed by performing the same process.
【0048】保護膜PSV2はカラーフィルタFILの
染料が液晶LCに漏れることを防止するために設けられ
ている。保護膜PSV2はたとえばアクリル樹脂、エポ
キシ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。共通透明
画素電極ITO2は、下部透明ガラス基板SUB1側に
画素ごとに設けられた透明画素電極ITO1に対向し、
液晶LCの光学的な状態は各画素電極ITO1と共通透
明画素電極ITO2との間の電位差(電界)に応答して
変化する。この共通透明画素電極ITO2にはコモン電
圧Vcomが印加されるように構成されている。The protective film PSV2 is provided to prevent the dye of the color filter FIL from leaking to the liquid crystal LC. The protective film PSV2 is formed of a transparent resin material such as acrylic resin or epoxy resin. The common transparent pixel electrode ITO2 faces the transparent pixel electrode ITO1 provided for each pixel on the lower transparent glass substrate SUB1 side,
The optical state of the liquid crystal LC changes in response to a potential difference (electric field) between each pixel electrode ITO1 and the common transparent pixel electrode ITO2. A common voltage Vcom is applied to the common transparent pixel electrode ITO2.
【0049】本実施例では、コモン電圧Vcomは映像信
号線DLに印加される最小レベルの駆動電圧Vdminと
最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流電位に設定
されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路の電
源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印加す
れば良い。なお、共通透明画素電極ITO2の平面形状
は図7、図8を参照されたい。In this embodiment, the common voltage Vcom is set to an intermediate DC potential between the minimum level drive voltage Vdmin and the maximum level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL, but it is used in the video signal drive circuit. If it is desired to reduce the power supply voltage of the integrated circuit to about half, an AC voltage may be applied. For the planar shape of the common transparent pixel electrode ITO2, see FIGS. 7 and 8.
【0050】透明画素電極ITO1は、薄膜トランジス
タTFTと接続される端部と反対側の端部において、隣
りの走査信号線GLと重なるように形成されている。こ
の重ね合わせは、図5からも明らかなように、透明画素
電極ITO1を一方の電極PL2とし、隣りの走査信号
線GLを他方の電極PL1とする保持容量素子(静電容
量素子)Caddを構成する。The transparent pixel electrode ITO1 is formed so as to overlap the adjacent scanning signal line GL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. As is clear from FIG. 5, this superposition constitutes a holding capacitance element (electrostatic capacitance element) Cadd having the transparent pixel electrode ITO1 as one electrode PL2 and the adjacent scanning signal line GL as the other electrode PL1. To do.
【0051】この保持容量素子Caddの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
保持容量素子Caddは走査信号線GLの第2導電膜g2
の幅を広げた部分に形成されている。なお、映像信号線
DLと交差する部分の第2導電膜g2は映像信号線DL
との短絡の確率を小さくするため細くされている。The dielectric film of the storage capacitor Cadd is composed of an insulating film GI and an anodized film AOF used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT.
The storage capacitor Cadd is the second conductive film g2 of the scanning signal line GL.
Is formed in the part where the width of is widened. The second conductive film g2 at the portion intersecting the video signal line DL is the video signal line DL.
It is narrowed to reduce the probability of short-circuiting with.
【0052】保持容量素子Caddの電極PL1の段差部
において透明画素電極ITO1が断線しても、その段差
をまたがるように形成された第2導電膜d2および第3
導電膜d3で構成された島領域によってその不良は補償
される。図11は表示マトリクスの走査信号線GLから
その外部接続端子GTMまでの接続構造の説明図であっ
て、(A)は平面図、(B)は(A)のB−B切断線に
おける断面図である。なお、同図は図8の下方付近に対
応し、斜め配線の部分は便宜状一直線状で表した。Even if the transparent pixel electrode ITO1 is broken at the step of the electrode PL1 of the storage capacitor Cadd, the second conductive film d2 and the third conductive film d2 formed so as to cross the step.
The defect is compensated by the island region formed of the conductive film d3. 11A and 11B are explanatory views of a connection structure from the scanning signal line GL of the display matrix to the external connection terminal GTM thereof. FIG. 11A is a plan view and FIG. 11B is a sectional view taken along the line BB of FIG. Is. Note that the same drawing corresponds to the lower part of FIG. 8, and the diagonal wiring portions are shown in a straight line for convenience.
【0053】AOは写真処理用のマスクパターン、言い
換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後除去され、
図に示すパターンAOは完成品としては残らないが、ゲ
ート配線GLには断面図に示すように酸化膜AOFが選
択的に形成されるのでその軌跡が残る。同図(A)にお
いて、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側はレ
ジストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジストか
ら露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化された
AL層g2は表面にその酸化物Al2O3膜AOFが形成
され下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化は
その導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定し
て行われる。AO is a mask pattern for photographic processing, in other words, a photoresist pattern for selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodization,
The pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but since the oxide film AOF is selectively formed on the gate line GL as shown in the cross-sectional view, its locus remains. In FIG. 3A, with respect to the photoresist boundary line AO, the left side is a region covered with the resist and not anodized, and the right side is a region exposed from the resist and anodized. The oxide Al 2 O 3 film AOF is formed on the surface of the anodized AL layer g2, and the volume of the conductive portion below is reduced. Of course, the anodic oxidation is performed by setting an appropriate time and voltage so that the conductive portion remains.
【0054】マスクパターンAOは走査線GLに単一の
直線では交差せず、クランク状に折れ曲がって交差させ
ている。図中AL層g2は、判り易くするためハッチを
施してあるが、陽極化成されない領域は櫛状にパターニ
ングされている。これは、Al層の幅が広いと表面にホ
イスカが発生するので、1本1本の幅は狭くし、それら
を複数本並列に束ねた構成とすることにより、ホイスカ
の発生を防ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最低限
に押さえる狙いである。従って、本実施例では櫛の根本
に相当する部分もマスクAOに沿ってずらしている。The mask pattern AO does not intersect the scanning line GL with a single straight line, but is bent in a crank shape and intersects with it. In the figure, the AL layer g2 is hatched for the sake of clarity, but the region not anodized is patterned in a comb shape. This is because whiskers are generated on the surface when the width of the Al layer is wide. Therefore, by narrowing the width of each one and arranging a plurality of them in parallel, whiskers can be prevented and wire breakage can be prevented. The aim is to minimize the probability of and the sacrifice of conductivity. Therefore, in this embodiment, the portion corresponding to the base of the comb is also displaced along the mask AO.
【0055】ゲート端子GTMは酸化珪素SIO層と接
着性が良くAl等よりも耐電触性の高いCr層g1と、
更にその表面を保護し画素電極ITO1と同レベル(同
層、同時形成)の透明導電層d1とで構成されている。
なお、ゲート絶縁膜GI上及びその側面部に形成された
導電層d2及びd3は、導電層d3やd2のエッチング
時ピンホール等が原因で導電層g2やg1が一緒にエッ
チングされないようその領域をホトレジストで覆ってい
た結果として残っているものである。又、ゲート絶縁膜
GIを乗り越えて右方向に延長されたITO層d1は同
様な対策を更に万全とさせたものである。The gate terminal GTM has a good adhesion to the silicon oxide SIO layer and a Cr layer g1 having a higher electric contact resistance than Al or the like.
Further, the surface thereof is protected and is composed of a transparent conductive layer d1 of the same level (same layer, simultaneously formed) as the pixel electrode ITO1.
In addition, the conductive layers d2 and d3 formed on the gate insulating film GI and on the side surfaces thereof have their regions so that the conductive layers g2 and g1 are not etched together due to pinholes or the like during the etching of the conductive layers d3 and d2. It remains as a result of being covered with photoresist. In addition, the ITO layer d1 which extends over the gate insulating film GI and extends rightward is one in which the same measures are taken more thoroughly.
【0056】上記平面図において、ゲート絶縁膜GIは
その境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線
よりも右側に形成されており、左端に位置する端子部G
TMはそれらから露出し外部回路との電気的接触ができ
るようになっている。図では、ゲート線GLとゲート端
子の一つの対のみが示されているが、実際はこのような
対が図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg
(図7、図8)が構成され、ゲート端子の左端は、製造
過程では、基板の切断領域CT1を越えて延長され、配
線SHgによって短絡される。In the plan view, the gate insulating film GI is formed on the right side of the boundary line and the protective film PSV1 is formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion G located at the left end is formed.
The TMs are exposed from them so that they can make electrical contact with external circuits. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown, but in reality, a plurality of such pairs are arranged vertically as shown in FIG.
(FIGS. 7 and 8), the left end of the gate terminal is extended beyond the cutting region CT1 of the substrate and short-circuited by the wiring SHg in the manufacturing process.
【0057】製造過程におけるこのような短絡線SHg
は陽極化成時の給電と、配向膜ORI1のラビング時等
の静電破壊防止に役立つ。図12は映像信号線DLから
その外部接続端子DTMまでの接続の説明図であって、
(A)はその平面図、(B)は(A)のB−B切断線に
おける断面図である。なお、同図は図8右上付近に対応
し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向が基板S
UB1の上端部(又は下端部)に該当する。Such a short-circuit line SHg in the manufacturing process
Is useful for feeding power during anodization and preventing electrostatic breakdown during rubbing of the alignment film ORI1. FIG. 12 is an explanatory diagram of the connection from the video signal line DL to its external connection terminal DTM.
(A) is the top view, (B) is sectional drawing in the BB cutting line of (A). The drawing corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 8, and although the orientation of the drawing is changed for convenience, the right end direction is the substrate S.
It corresponds to the upper end (or the lower end) of UB1.
【0058】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。検査端子TSTdと外部接続ドレイン端
子DTMは上下方向に千鳥状に複数交互に配列され、検
査端子TSTdは図に示すとおり基板SUB1の端部に
到達することなく終端しているが、ドレイン端子DTM
は、図8に示すように端子群Td(添字省略)を構成し
基板SUB1の切断線CT1を越えて更に延長され、製
造過程中は静電破壊防止のためその全てが互いに配線S
Hdによって短絡される。TSTd is an inspection terminal, which is not connected to an external circuit, but is wider than the wiring portion so that a probe needle or the like can come into contact therewith. Similarly, the drain terminal D
The width of the TM is also wider than that of the wiring portion so that the TM can be connected to an external circuit. The inspection terminals TSTd and the external connection drain terminals DTM are alternately arranged in a zigzag pattern in the vertical direction, and the inspection terminals TSTd terminate without reaching the end portion of the substrate SUB1 as shown in the figure, but the drain terminal DTM.
As shown in FIG. 8, the terminal group Td (subscripts are omitted) is further extended beyond the cutting line CT1 of the substrate SUB1, and all of them are interconnected with each other to prevent electrostatic breakdown during the manufacturing process.
Shorted by Hd.
【0059】検査端子TSTdが存在する映像信号線D
Lのマトリクスを挟んで反対側にはドレイン接続端子が
接続され、逆にドレイン接続端子DTMが存在する映像
信号線DLのマトリクスを挟んで反対側には検査端子が
接続される。ドレイン接続端子DTMは前述したゲート
端子GTMと同様な理由でCr層g1及びITO層d1
の2層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した
部分で映像信号線DLと接続されている。Video signal line D having inspection terminal TSTd
The drain connection terminal is connected to the opposite side across the L matrix, and conversely, the inspection terminal is connected to the opposite side across the matrix of the video signal line DL in which the drain connection terminal DTM exists. The drain connection terminal DTM has the Cr layer g1 and the ITO layer d1 for the same reason as the above-mentioned gate terminal GTM.
Is formed of two layers, and is connected to the video signal line DL at a portion where the gate insulating film GI is removed.
【0060】ゲート絶縁膜GIの端部上に形成された半
導体層ASはゲート絶縁膜GIの縁をテーパ状にエッチ
ングするためのものである。端子DTM上では外部回路
との接続を行うため保護膜PSV1は勿論のこと取り除
かれている。AOは前述した陽極酸化マスクでありその
境界線はマトリクス全体をを大きく囲むように形成さ
れ、図ではその境界線から左側がマスクで覆われるが、
この図で覆われない部分には層g2が存在しないのでこ
のパターンは直接は関係しない。The semiconductor layer AS formed on the end portion of the gate insulating film GI is for etching the edge of the gate insulating film GI in a tapered shape. The protective film PSV1 is, of course, removed on the terminal DTM to connect to an external circuit. AO is the anodizing mask described above, and its boundary line is formed so as to largely surround the entire matrix. In the figure, the left side of the boundary line is covered with a mask.
This pattern is not directly relevant since there is no layer g2 in the parts not covered in this figure.
【0061】マトリクス部からドレイン端子部DTMま
での引出配線は図9の(C)部にも示されるように、ド
レイン端子部DTMと同じレベルの層d1,g1のすぐ
上に映像信号線DLと同じレベルの層d2,d3がシー
ルパターンSLの途中まで積層された構造になっている
が、これは断線の確率を最小限に押さえ、電触し易いA
l層d3を保護膜PSV1やシールパターンSLででき
るだけ保護する狙いである。The lead wiring from the matrix portion to the drain terminal portion DTM is, as shown in FIG. 9C, a video signal line DL immediately above the layers d1 and g1 at the same level as the drain terminal portion DTM. Although the layers d2 and d3 of the same level are laminated part way up to the middle of the seal pattern SL, this minimizes the probability of disconnection and facilitates electrical contact.
The purpose is to protect the l layer d3 as much as possible with the protective film PSV1 and the seal pattern SL.
【0062】表示マトリクス部の等価回路とその周辺回
路の結線図を図13に示す。同図は回路図ではあるが、
実際の幾何学的配置に対応して描かれている。ARは複
数の画素を二次元状に配列したマトリクス・アレイであ
る。図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字G、Bお
よびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応して付加さ
れている。Yは走査信号線GLを意味し、添字1,2,
3,…,endは走査タイミングの順序に従って付加され
ている。FIG. 13 shows a wiring diagram of an equivalent circuit of the display matrix section and its peripheral circuits. Although the figure is a circuit diagram,
It is drawn according to the actual geometrical arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged. In the figure, X means a video signal line DL, and subscripts G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. Y means the scanning signal line GL, and the subscripts 1, 2,
3, ..., End are added according to the order of the scanning timing.
【0063】映像信号線X(添字省略)は交互に上側
(または奇数)映像信号駆動回路He、下側(または偶
数)映像信号駆動回路Hoに接続され、走査信号線Y
(添字省略)は垂直走査回路Vに接続されている。SU
Pは1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧
源を得るための電源回路やホスト(上位演算処理装置)
からのCRT(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装
置用の情報に交換する回路を含む回路である。The video signal lines X (subscripts omitted) are alternately connected to the upper (or odd) video signal drive circuit He and the lower (or even) video signal drive circuit Ho, and the scanning signal line Y is used.
(Subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V. SU
P is a power supply circuit or a host (upper processing unit) for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source.
It is a circuit including a circuit for exchanging CRT (cathode ray tube) information from the above with information for a TFT liquid crystal display device.
【0064】保持容量素子Caddは、薄膜トランジスタ
TFTがスイッチングするとき、中点電位(画素電極電
位)Vlcに対するゲート電位変化ΔVgの影響を低減す
るように働く。この様子を式で表すと、次のようにな
る。 ΔVlc={Cgs/(Cgs+Cadd+Cpix)}×ΔVg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは透明画素電極ITO1(PIX)と共通透明画素
電極ITO2(COM)との間に形成される容量、ΔV
lcはΔVgによる画素電極電位の変化分を表わす。The storage capacitor element Cadd functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc when the thin film transistor TFT switches. This situation is expressed by the following equation. ΔVlc = {Cgs / (Cgs + Cadd + Cpix)} × ΔVg where Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TFT
Parasitic capacitance formed between T and source electrode SD1, C
pix is a capacitance formed between the transparent pixel electrode ITO1 (PIX) and the common transparent pixel electrode ITO2 (COM), ΔV
lc represents a change amount of the pixel electrode potential due to ΔVg.
【0065】この変化分ΔVlcは液晶LCに加わる直流
成分の原因となるが、保持容量Caddを大きくすればす
る程、その値を小さくすることができる。また、保持容
量素子Caddは放電時間を長くする作用もあり、薄膜ト
ランジスタTFTがオフした後の映像情報を長く蓄積す
る。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶LC
の寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画像
が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。This change ΔVlc causes a direct current component applied to the liquid crystal LC, and the value can be reduced as the holding capacitance Cadd is increased. Further, the storage capacitor element Cadd also has a function of prolonging the discharge time, and stores the image information for a long time after the thin film transistor TFT is turned off. The reduction of the direct current component applied to the liquid crystal LC is
It is possible to improve the service life of the device and reduce the so-called burn-in in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched.
【0066】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、中点電位
Vlcはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易くなると
いう逆効果が生じる。しかし、保持容量素子Caddを設
けることによりこのデメリットも解消することができ
る。As described above, since the gate electrode GT is made large enough to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is increased, and the parasitic capacitance Cgs is increased accordingly. The reverse effect is that the midpoint potential Vlc is easily affected by the gate (scanning) signal Vg. However, this demerit can be eliminated by providing the storage capacitor element Cadd.
【0067】保持容量素子Caddの保持容量は、画素の
書込特性から、液晶容量Cpixに対して4〜8倍(4・
Cpix<Cadd<8・Cpix)、寄生容量Cgsに対して8
〜32倍(8・Cgs<Cadd<32・Cgs)程度の値に
設定する。保持容量電極線としてのみ使用される初段の
走査信号線GL(Y0)は共通透明画素電極ITO2
(Vcom)と同じ電位にする。図8の例では、初段の走
査信号線は端子GT0、引出線INT、端子DT0及び
外部配線を通じて共通電極COMに短絡される。或い
は、初段の保持容量電極線Y0は最終段の走査信号線Ye
ndに接続、Vcom以外の直流電位点(交流接地点)に接
続するかまたは垂直走査回路Vから1つ余分に走査パル
スY0を受けるように接続してもよい。The holding capacitance of the holding capacitance element Cadd is 4 to 8 times (4.
Cpix <Cadd <8 · Cpix), 8 for parasitic capacitance Cgs
Set to a value of approximately 32 times (8 · Cgs <Cadd <32 · Cgs). The first-stage scanning signal line GL (Y 0 ) used only as the storage capacitor electrode line is the common transparent pixel electrode ITO2.
Set to the same potential as (Vcom). In the example of FIG. 8, the scanning signal line at the first stage is short-circuited to the common electrode COM through the terminal GT0, the lead wire INT, the terminal DT0 and the external wiring. Alternatively, the storage capacitor electrode line Y 0 in the first stage is the scanning signal line Ye in the last stage.
It may be connected to nd, connected to a DC potential point (AC ground point) other than Vcom, or connected to receive one extra scanning pulse Y 0 from the vertical scanning circuit V.
【0068】つぎに、上述した液晶表示装置の基板SU
B1側の製造方法について図14〜図16を参照して説
明する。なお同図において、中央の文字は工程名の略称
であり、左側は図4に示す画素部分、右側は図11に示
すゲート端子付近の断面形状でみた加工の流れを示す。Next, the substrate SU of the above-mentioned liquid crystal display device
The manufacturing method on the B1 side will be described with reference to FIGS. In the figure, the letters in the center are abbreviations of process names, the left side shows the pixel portion shown in FIG. 4, and the right side shows the flow of processing seen in the sectional shape near the gate terminal shown in FIG.
【0069】また、工程Dを除き工程A〜工程Iは各写
真処理に対応して区分けしたもので、各工程のいずれの
断面図も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを除
去した段階を示している。なお、写真処理とは本説明で
はフォトレジストの塗布からマスクを使用した選択露光
を経てそれを現像するまでの一連の作業を示すものと
し、繰返しの説明は避ける。以下区分けした工程に従っ
て、説明する。Further, except for the step D, the steps A to I are divided corresponding to each photographic process, and all the cross-sectional views of each process show the stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. ing. In this description, the photographic processing means a series of operations from the application of the photoresist to the selective exposure using the mask to the development thereof, and the repetitive description will be omitted. A description will be given below according to the divided steps.
【0070】工程A、図14 7059ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基板
SUB1の両面に酸化シリコン膜SIOをディップ処理
により設けたのち、500℃、60分間のベークを行な
う。下部透明ガラス基板SUB1上に膜厚が1100Å
のクロムからなる第1導電膜g1をスパッタリングによ
り設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第2セリ
ウムアンモニウム溶液で第1導電膜g1を選択的にエッ
チングする。それによって、ゲート端子GTM、ドレイ
ン端子DTM、ゲート端子GTMを接続する陽極酸化バ
スラインSHg、ドレイン端子DTMを短絡するバスラ
インSHd、陽極酸化バスラインSHgに接続された陽
極酸化パッド(図示せず)を形成する。Step A, FIG. 14 After a silicon oxide film SIO is formed on both surfaces of a lower transparent glass substrate SUB1 made of 7059 glass (trade name) by dip processing, baking is performed at 500 ° C. for 60 minutes. The film thickness is 1100Å on the lower transparent glass substrate SUB1.
The first conductive film g1 made of chromium is provided by sputtering, and after the photographic processing, the first conductive film g1 is selectively etched with a cerium ammonium nitrate solution as an etching solution. Thereby, the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, the anodized bus line SHg connecting the gate terminal GTM, the bus line SHd shorting the drain terminal DTM, and the anodized pad (not shown) connected to the anodized bus line SHg. To form.
【0071】工程B、図14 膜厚が2800ÅのAl−Pd、Al−Si、Al−S
i−Ti、Al−Si−Cu等からなる第2導電膜g2
をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸と
硝酸と氷酢酸との混酸液で第2導電膜g2を選択的にエ
ッチングする。 工程C、図14 写真処理後(前述した陽極酸化マスクAO形成後)、3
%酒石酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に
調整した溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈し
た液からなる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化
成電流密度が0.5mA/cmになるように調整する
(定電流化成)。Step B, FIG. 14 Al-Pd, Al-Si, Al-S having a film thickness of 2800Å
The second conductive film g2 made of i-Ti, Al-Si-Cu, or the like
Are provided by sputtering. After the photographic processing, the second conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid and glacial acetic acid. Step C, FIG. 14 After photographic processing (after forming the anodizing mask AO described above), 3
Substrate SUB1 was immersed in an anodizing solution consisting of a solution of% tartaric acid adjusted to pH 6.25 ± 0.05 with ammonia, diluted 1: 9 with ethylene glycol solution, and the formation current density was 0.5 mA / cm 2. Adjust so that it becomes (constant current formation).
【0072】次に、所定のAl2O3膜厚が得られるのに
必要な化成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。
その後この状態で数10分保持することが望ましい(定
電圧化成)。これは均一なAl2O3膜を得る上で大事な
ことである。それによって、導電膜g2を陽極酸化さ
れ、走査信号線GL、ゲート電極GTおよび電極PL1
上に膜厚が1800Åの陽極酸化膜AOFが形成され
る。Next, anodization is performed until the formation voltage of 125 V required to obtain a predetermined Al 2 O 3 film thickness is reached.
After that, it is desirable to hold this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is important for obtaining a uniform Al 2 O 3 film. Thereby, the conductive film g2 is anodized, and the scanning signal line GL, the gate electrode GT, and the electrode PL1.
An anodic oxide film AOF having a film thickness of 1800Å is formed on the upper surface.
【0073】工程D、図15 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2000Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を
設ける。Step D, FIG. 15 Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to provide a 2000 Å-thickness Si nitride film, and silane gas and hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus. After forming an i-type amorphous Si film having a thickness of 2000 Å, hydrogen gas and phosphine gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a film thickness of 300 Å.
【0074】工程E、図15 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
l4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質S
i膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体
層ASの島を形成する。 工程F、図15 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。Step E, FIG. 15 After photo processing, SF 6 and CC are used as dry etching gas.
Use l 4 N (+) type amorphous Si film, i-type amorphous S
The island of the i-type semiconductor layer AS is formed by selectively etching the i film. Step F, FIG. 15 After the photographic processing, SF 6 is used as a dry etching gas to selectively etch the Si nitride film.
【0075】工程G、図16 膜厚が1400ÅのITO膜からなる第1導電膜d1を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で第1導電膜d1を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTM、ド
レイン端子DTMの最上層および透明画素電極ITO1
を形成する。Step G, FIG. 16 A first conductive film d1 made of an ITO film having a film thickness of 1400Å is provided by sputtering. After the photographic processing, the first conductive film d1 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etching solution, whereby the uppermost layers of the gate terminal GTM and the drain terminal DTM and the transparent pixel electrode ITO1.
To form.
【0076】工程H、図16 膜厚が600ÅのCrからなる第2導電膜d2をスパッ
タリングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−
Pd、Al−Si、Al−Si−Ti、Al−Si−C
u等からなる第3導電膜d3をスパッタリングにより設
ける。写真処理後、第3導電膜d3を工程Bと同様な液
でエッチングし、第2導電膜d2を工程Aと同様な液で
エッチングし、映像信号線DL、ソース電極SD1、ド
レイン電極SD2を形成する。Step H, FIG. 16: A second conductive film d2 made of Cr and having a film thickness of 600 Å is provided by sputtering.
Pd, Al-Si, Al-Si-Ti, Al-Si-C
A third conductive film d3 made of u or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the third conductive film d3 is etched with the same liquid as the process B, and the second conductive film d2 is etched with the same liquid as the process A to form the video signal line DL, the source electrode SD1, and the drain electrode SD2. To do.
【0077】つぎに、ドライエッチング装置にCC
l4、SF6を導入して、N(+)型非晶質Si膜をエッ
チングすることにより、ソースとドレイン間のN(+)
型半導体層d0を選択的に除去する。 工程I、図16 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。Next, a dry etching apparatus was used for CC.
l 4 and SF 6 are introduced to etch the N (+) type amorphous Si film, so that N (+) between the source and the drain is increased.
The type semiconductor layer d0 is selectively removed. Step I, FIG. 16 Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a Si nitride film having a thickness of 1 μm. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo-etching technique using SF 6 as a dry etching gas.
【0078】図17は液晶表示モジュールMDLの各構
成部品を示す分解斜視図である。SHDは金属板から成
る枠状のシールドケース(メタルフレーム)、LCWそ
の表示窓、PNLは液晶表示パネル、SPBは光拡散
板、MFRは中間フレーム、BLはバックライト、BL
Sはバックライト支持体、LCAは下側ケースであり、
図に示すような上下の配置関係で各部材が積み重ねられ
てモジュールMDLが組み立てられる。FIG. 17 is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal display module MDL. SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of a metal plate, LCW display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, MFR is an intermediate frame, BL is a backlight, BL
S is the backlight support, LCA is the lower case,
The modules MDL are assembled by stacking the respective members in a vertical arrangement relationship as shown in the figure.
【0079】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪CLとフックFKによって全体が固定
されるようになっている。中間フレームMFRは表示窓
LCWに対応する開口が設けられるように枠状に形成さ
れ、その枠部分には拡散板SPB、バックライト支持体
BLS並びに各種回路部品の形状や厚みに応じた凹凸
や、放熱用の開口が設けられている。The module MDL is a shield case SH.
The whole is fixed by the claw CL and the hook FK provided on D. The intermediate frame MFR is formed in a frame shape so as to have an opening corresponding to the display window LCW, and the frame portion has unevenness corresponding to the shapes and thicknesses of the diffusion plate SPB, the backlight support BLS, and various circuit components, An opening for heat dissipation is provided.
【0080】下側ケースLCAはバックライト光の反射
体も兼ねており、効率のよい反射ができるよう、蛍光管
BLに対応して反射山RMが形成されている。図18
は、図6等に示した表示パネルPNLに映像信号駆動回
路He,Hoと垂直走査回路Vを接続した状態を示す上
面図である。CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の3個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左右の6個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。The lower case LCA also serves as a reflector for backlight light, and a reflection mountain RM is formed corresponding to the fluorescent tube BL so as to efficiently reflect light. FIG.
FIG. 7 is a top view showing a state in which video signal drive circuits He and Ho and a vertical scanning circuit V are connected to the display panel PNL shown in FIG. 6 and the like. CHI is a driving IC chip for driving the display panel PNL (the lower three are driving ICs on the vertical scanning circuit side)
Chips, 6 each on the left and right are drive I on the video signal drive circuit side
C chip).
【0081】TCPは図19、図20で後述するように
駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイティド・
ボンディング法(TAB)により実装されたテープキャ
リアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデンサC
DS等が実装された駆動回路基板で、3つに分割されて
いる。FGPはフレームグランドパッドであり、シール
ドケースSHDに切り込んで設けられたバネ状の破片F
Gが半田付けされる。FCは下側の駆動回路基板PCB
1と左側の駆動回路基板PCB1、および下側の駆動回
路基板PCB1と右側の駆動回路基板PCB1とを電気
的に接続するフラットケーブルである。In the TCP, as will be described later with reference to FIGS. 19 and 20, the driving IC chip CHI is a tape automated type.
The tape carrier package mounted by the bonding method (TAB), PCB1 is the above TCP or capacitor C
A drive circuit board on which a DS or the like is mounted is divided into three parts. FGP is a frame ground pad, and is a spring-like fragment F cut into the shield case SHD.
G is soldered. FC is the lower drive circuit board PCB
1 is a flat cable that electrically connects the left drive circuit board PCB1 and the lower drive circuit board PCB1 and the right drive circuit board PCB1.
【0082】このフラットケーブルFCとしては図に示
すように、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金
を施したもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリ
ビニルアルコール層とでサンドイッチして支持したもの
を使用する。図19は走査信号駆動回路Vや映像信号駆
動回路He,Hoを構成する、集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図であり、図20はそれ
を液晶表示パネルの、本例では映像信号回路用端子DT
Mに接続した状態を示す要部断面図である。As shown in the figure, the flat cable FC has a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) sandwiched between a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer and supported. To use. FIG. 19 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which the integrated circuit chip CHI, which constitutes the scanning signal drive circuit V and the video signal drive circuits He and Ho, is mounted on a flexible wiring board, and FIG. In this example of the liquid crystal display panel, the video signal circuit terminal DT
It is a principal part sectional view which shows the state connected to M.
【0083】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であって、例えばCuから成り、それぞ
れの内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路
CHIのボンディングパッドPADがいわゆるフェース
ダウンボンディング法により接続される。端子TTB,
TTMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞ
れ半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応
し、半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回
路SUPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネ
ルPNLに接続される。In the figure, TTB is an input terminal / wiring part of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring part of the integrated circuit CHI, which is made of, for example, Cu, and has inner end parts (commonly called inner parts). The bonding pad PAD of the integrated circuit CHI is connected to the lead) by a so-called face-down bonding method. Terminal TTB,
The outer tip of the TTM (commonly called outer lead) corresponds to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, and is displayed on the CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit SUP by soldering or the like, and a liquid crystal display is made by an anisotropic conductive film ACF It is connected to the panel PNL.
【0084】パッケージTCPは、その先端部がパネル
PNL側の接続端子DTMを露出した保護膜PSV1を
覆うようにパネルに接続されている。従って、外部接続
端子DTM(GTM)は保護膜PSV1かパッケージT
CPの少なくとも一方で覆われるので電触に対して強く
なる。BF1はポリイミド等からなるベースフィルムで
あり、SRSは半田付けの際半田が余計なところへつか
ないようにマスクするためのソルダレジスト膜である。The package TCP is connected to the panel so that its tip portion covers the protective film PSV1 exposing the connection terminal DTM on the panel PNL side. Therefore, the external connection terminal DTM (GTM) is the protective film PSV1 or the package T
Since it is covered on at least one of the CPs, it becomes strong against electric contact. BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking the solder so that it will not stick to an unnecessary place during soldering.
【0085】シールパターンSLの外側の上下ガラス基
板の隙間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護さ
れ、パッケージTCPと上側基板SUB2の間には更に
シリコーン樹脂SILが充填され保護が多重化されてい
る。中間フレームMFRに保持・収納される液晶表示部
LCDの駆動回路基板PCB2は、図21に示すよう
に、L字形をしており、IC,コンデンサ,抵抗等の電
子部品が搭載されている。この駆動回路基板PCB2に
は、1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧
源を得るための電源回路や、ホスト(上位演算処理装
置)からのCRT(陰極線管)用の情報をTFT液晶表
示装置用の情報に変換する回路を含む回路SUPが搭載
されている。The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is protected by epoxy resin EPX or the like after cleaning, and a silicone resin SIL is further filled between the package TCP and the upper substrate SUB2 to provide multiple protection. As shown in FIG. 21, the drive circuit board PCB2 of the liquid crystal display unit LCD held and housed in the intermediate frame MFR is L-shaped, and has electronic parts such as ICs, capacitors and resistors mounted thereon. This drive circuit board PCB2 is provided with a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and information for a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit). A circuit SUP including a circuit for converting into information for a TFT liquid crystal display device is mounted.
【0086】CJは外部と接続される図示しないコネク
タが接続されるコネクタ接続部である。駆動回路基板P
CB2とインバータ回路基板PCB3とはバックライト
ケーブルにより中間フレームMFRに設けたコネクタ穴
を介して電気的に接続される。駆動回路基板PCB1と
駆動回路基板PCB2とは折り曲げ可能なフラットケー
ブルFCにより電気的に接続されている。組立て時、駆
動回路基板PCB2は、フラットケーブルFCを180°
折り曲げることにより駆動回路基板PCB1の裏側に重
ねられ、中間フレームMFRの所定の凹部に嵌合され
る。CJ is a connector connecting portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected. Drive circuit board P
The CB2 and the inverter circuit board PCB3 are electrically connected by a backlight cable through a connector hole provided in the intermediate frame MFR. The drive circuit board PCB1 and the drive circuit board PCB2 are electrically connected by a foldable flat cable FC. When assembled, the drive circuit board PCB2 connects the flat cable FC 180 °
By being folded, it is stacked on the back side of the drive circuit board PCB1 and fitted into a predetermined recess of the intermediate frame MFR.
【0087】上記に説明したように、カラー液晶表示装
置を構成する液晶表示素子の上部透明基板SUB2の導
電性接着材の介在部分にダミーフィルタFIL(C)を
設けたことにより、液晶あるいはその他の構成部材の温
度や湿度変化に伴う変形に起因する導電不良の発生を回
避し高品質、高信頼性のカラー液晶表示装置を提供でき
る。As described above, by providing the dummy filter FIL (C) at the interposition of the conductive adhesive on the upper transparent substrate SUB2 of the liquid crystal display element constituting the color liquid crystal display device, the liquid crystal or other It is possible to provide a high-quality and highly reliable color liquid crystal display device which avoids the occurrence of defective conduction due to deformation of constituent members due to changes in temperature and humidity.
【0088】[0088]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上部透明基板に形成した共通導電膜と下部透明基板に形
成した端子電極膜とを導電接続する導電性接着剤の環境
変化による接続不良や断線を防止でき、高品質、高信頼
性のカラー液晶表示装置を提供できる。As described above, according to the present invention,
High quality, high reliability color liquid crystal display that can prevent connection failure and disconnection due to environmental changes of the conductive adhesive that conductively connects the common conductive film formed on the upper transparent substrate and the terminal electrode film formed on the lower transparent substrate. A device can be provided.
【図1】本発明による液晶表示素子の1実施例を説明す
る上部透明基板の要部平面図である。FIG. 1 is a plan view of an essential part of an upper transparent substrate for explaining an embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.
【図2】図1のA−A’線から見た下部透明基板を含ん
だ部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view including a lower transparent substrate as seen from the line AA ′ in FIG.
【図3】本発明が適用されるアクティブ・マトリックス
方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその
周辺を示す要部平面図である。FIG. 3 is a main part plan view showing one pixel and its periphery of a liquid crystal display unit of an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied.
【図4】図2の3−3切断線における1画素とその周辺
を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing one pixel and its periphery taken along the line 3-3 in FIG.
【図5】図2の4−4切断線における付加容量Caddの
断面図である。5 is a cross-sectional view of the additional capacitance Cadd taken along section line 4-4 of FIG.
【図6】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明す
るための平面図である。FIG. 6 is a plan view for explaining a configuration of a peripheral portion of a matrix of a display panel.
【図7】図5の周辺部をやや誇張し更に具体的に説明す
るためのパネル平面図である。FIG. 7 is a panel plan view for slightly exaggerating the peripheral portion of FIG. 5 to explain it more specifically.
【図8】上下基板の電気的接続部を含む表示パネルの角
部の拡大平面図である。FIG. 8 is an enlarged plan view of a corner portion of a display panel including electrical connection portions of upper and lower substrates.
【図9】マトリクスの画素部を中央に、両側にパネル角
付近と映像信号端子部付近を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the vicinity of a panel angle and the vicinity of a video signal terminal portion on both sides, with the pixel portion of the matrix at the center.
【図10】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の
無いパネル縁部分を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a scan signal terminal on the left side and a panel edge portion without an external connection terminal on the right side.
【図11】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部
近辺を示す平面と断面の図である。FIG. 11 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.
【図12】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接
続部付近を示す平面と断面の図である。FIG. 12 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a drain terminal DTM and a video signal line DL.
【図13】アクティブ・マトリックス方式のカラー液晶
表示装置のマトリクス部とその周辺を含む回路図であ
る。FIG. 13 is a circuit diagram including a matrix portion of an active matrix type color liquid crystal display device and its periphery.
【図14】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。FIG. 14 is a flow chart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of steps A to C on the substrate SUB1 side.
【図15】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。FIG. 15 is a flow chart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing steps of steps D to F on the substrate SUB1 side.
【図16】基板SUB1側の工程G〜Iの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。FIG. 16 is a flow chart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing steps of steps GI on the side of the substrate SUB1.
【図17】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 17 is an exploded perspective view of a liquid crystal display module.
【図18】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。FIG. 18 is a top view showing a state in which a peripheral drive circuit is mounted on a liquid crystal display panel.
【図19】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI which constitutes a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.
【図20】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの映像信号回路用端子DTMに接続した状
態を示す要部断面図である。FIG. 20 is a main-portion cross-sectional view showing a state where the tape carrier package TCP is connected to the video signal circuit terminal DTM of the liquid crystal display panel PNL.
【図21】周辺駆動回路基板PCB1(上面が見える)
と電源回路回路基板PCB2(下面が見える)との接続
状態を示す上面図である。FIG. 21: Peripheral drive circuit board PCB1 (top surface visible)
It is a top view which shows the connection state of power supply circuit circuit board PCB2 (a lower surface is visible).
SUB1 下部透明基板 SUB2 上部透明基板 BM ブラックマトリクス FIL(G,B,R) カラーフィルタ FIL(C) ダミーカラーフィルタパターン ITO1,ITO2 透明導電膜 ITO 端子電極膜 PSV 保護膜 ORI1 上部配向膜 ORI2 下部配向膜 SLはシール材 CM(AGP) 導電性接着剤 TFT 薄膜トランジスタ LC 液晶 POL1 上部偏光板 POL2 下部偏光板 SUB1 Lower transparent substrate SUB2 Upper transparent substrate BM Black matrix FIL (G, B, R) Color filter FIL (C) Dummy color filter pattern ITO1, ITO2 Transparent conductive film ITO terminal electrode film PSV protective film ORI1 Upper alignment film ORI2 Lower alignment film SL is a sealing material CM (AGP) Conductive adhesive TFT TFT Thin film transistor LC Liquid crystal POL1 Upper polarizing plate POL2 Lower polarizing plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 晃 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 井上 博之 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akira Aoki 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Electronic device division, Hitachi, Ltd. (72) Hiroyuki Inoue 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Electronic device business Department
Claims (1)
ラーフィルタを覆って共通電極を構成する上透明導電膜
と前記上透明導電膜の上に形成した上配向膜とを少なく
とも有する上透明基板と、前記カラーフィルタに対応し
た個別電極を構成する下透明導電膜および前記上透明導
電膜と接続される端子電極膜と前記下透明導電膜上に形
成した下配向膜を少なくとも有する下透明基板と、前記
上透明導電膜と前記下透明導電膜の間隙に注入した液晶
と、前記上透明基板の上透明導電膜と前記下透明基板の
端子電極膜との間に介在して両者を導電的に接続する導
電性接着剤とを有し、前記上透明基板と前記下透明基板
との間に注入した前記液晶を封止するシール材を備えた
液晶表示素子において、 前記導電性接着剤を介在させる前記上透明導電膜の下層
に前記カラーフィルタの何れかのパターニング時に形成
されるダミーカラーフィルタパターンを有することを特
徴とする液晶表示素子。1. An upper transparent substrate comprising at least a color filter of a plurality of colors, an upper transparent conductive film that covers the color filters of a plurality of colors to form a common electrode, and an upper alignment film formed on the upper transparent conductive film. And a lower transparent substrate having at least a lower transparent conductive film forming an individual electrode corresponding to the color filter and a terminal electrode film connected to the upper transparent conductive film, and a lower alignment film formed on the lower transparent conductive film. , The liquid crystal injected into the gap between the upper transparent conductive film and the lower transparent conductive film, and the liquid crystal injected between the upper transparent conductive film of the upper transparent substrate and the terminal electrode film of the lower transparent substrate are electrically connected to each other. In a liquid crystal display device having a conductive adhesive for connection, the liquid crystal display device including a sealing material for sealing the liquid crystal injected between the upper transparent substrate and the lower transparent substrate, wherein the conductive adhesive is interposed. The upper transparent conductive film A liquid crystal display device having a dummy color filter pattern formed at the time of patterning any of the color filters as an underlayer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5162430A JPH0720487A (en) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | Liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5162430A JPH0720487A (en) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | Liquid crystal display element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720487A true JPH0720487A (en) | 1995-01-24 |
Family
ID=15754463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5162430A Pending JPH0720487A (en) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | Liquid crystal display element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720487A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001125498A (en) * | 1999-08-23 | 2001-05-11 | Agilent Technol Inc | Display device |
| JP2004310039A (en) * | 2002-12-09 | 2004-11-04 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Array substrate for liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
| US7068339B2 (en) | 2002-12-16 | 2006-06-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display |
| JP2009163168A (en) * | 2008-01-10 | 2009-07-23 | Seiko Epson Corp | Electro-optical device and electronic apparatus |
| CN109307949A (en) * | 2017-07-26 | 2019-02-05 | 三星显示有限公司 | display screen |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5162430A patent/JPH0720487A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001125498A (en) * | 1999-08-23 | 2001-05-11 | Agilent Technol Inc | Display device |
| JP2004310039A (en) * | 2002-12-09 | 2004-11-04 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Array substrate for liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
| US7068339B2 (en) | 2002-12-16 | 2006-06-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display |
| JP2009163168A (en) * | 2008-01-10 | 2009-07-23 | Seiko Epson Corp | Electro-optical device and electronic apparatus |
| CN109307949A (en) * | 2017-07-26 | 2019-02-05 | 三星显示有限公司 | display screen |
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