JPH07297234A - TAB tape carrier and manufacturing method thereof - Google Patents
TAB tape carrier and manufacturing method thereofInfo
- Publication number
- JPH07297234A JPH07297234A JP6107668A JP10766894A JPH07297234A JP H07297234 A JPH07297234 A JP H07297234A JP 6107668 A JP6107668 A JP 6107668A JP 10766894 A JP10766894 A JP 10766894A JP H07297234 A JPH07297234 A JP H07297234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- tape carrier
- conductor pattern
- slits
- protective resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、製造工程の複雑化や作業の煩雑
化、更には品質の低下を招かずにスリット上に存在する
導体パターンの耐折性を向上させることを目的とする。
【構成】 本発明のTAB用テープキャリア,及びその
製造方法は、絶縁フィルム1に形成された折り曲げ用の
複数のスリット6A,6B,6Cの内部に、各スリット
6A,6B,6Cの曲げ角度に応じた弾性率,或いは硬
度を有した保護樹脂7A,7B,7Cを塗布してから絶
縁フィルム1上の金属層をエッチング等して、絶縁フィ
ルム1の上面に導体パターン2を形成するようにしてい
る。
(57) [Summary] [Object] An object of the present invention is to improve the folding endurance of a conductor pattern existing on a slit without complicating the manufacturing process, complicating the work, and further, without lowering the quality. And [Structure] A TAB tape carrier and a manufacturing method thereof according to the present invention are provided in a plurality of bending slits 6A, 6B, 6C formed in an insulating film 1 at the bending angles of the slits 6A, 6B, 6C. The conductor patterns 2 are formed on the upper surface of the insulating film 1 by applying the protective resin 7A, 7B, 7C having a corresponding elastic modulus or hardness and then etching the metal layer on the insulating film 1. There is.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はTAB用テープキャリ
ア,及びその製造方法に関し、特に、製造工程の複雑化
や作業の煩雑化、更には品質の低下を招かずにスリット
上に存在する導体パターンの耐折性を向上させたTAB
用テープキャリア,及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a TAB tape carrier and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a conductor pattern existing on a slit without complicating the manufacturing process, complicating the work, and lowering the quality. TAB with improved folding endurance
The present invention relates to a tape carrier and a manufacturing method thereof.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、IC,LSI等の半導体素子の実
装方式として、長尺状のテープキャリアにワイヤレスボ
ンディングで半導体素子を組み込んでゆくTAB(Tape
Automated Bonding)方式が、実装の自動化と高速化が
図れる上に折り曲げ実装に有利であるとして注目されて
いる。2. Description of the Related Art In recent years, as a mounting method for semiconductor elements such as IC and LSI, TAB (Tape Tape) has been used in which semiconductor elements are incorporated into a long tape carrier by wireless bonding.
The Automated Bonding method is attracting attention as it is advantageous for bending and mounting in addition to automating and speeding up mounting.
【0003】図7,及び図8には、LCDパネルに実装
する折り曲げ基盤実装用のTAB用テープキャリアの構
造が示されている。このTAB用テープキャリアは、ポ
リイミド,ポリエステル等よりなる絶縁フィルムテープ
1と、その上面に接着剤を介して接着された銅箔等の金
属層をエッチング等して、絶縁フィルムテープ1の上面
に形成された導体パターン2より構成されている。ま
た、導体パターン2は半導体素子の電極と接続されるイ
ンナーリード2Aと、半導体素子を駆動するためにプリ
ント基盤と接続される入力用アウターリード2Bと、後
述するLCDパネルと接続される出力用アウターリード
2Cより構成されている。FIG. 7 and FIG. 8 show the structure of a TAB tape carrier for mounting a bending board mounted on an LCD panel. This tape carrier for TAB is formed on the upper surface of the insulating film tape 1 by etching an insulating film tape 1 made of polyimide, polyester or the like and a metal layer such as copper foil adhered to the upper surface with an adhesive. The conductor pattern 2 is formed. Further, the conductor pattern 2 includes inner leads 2A connected to the electrodes of the semiconductor element, outer input leads 2B connected to the printed circuit board for driving the semiconductor element, and outer output terminals connected to the LCD panel described later. It is composed of leads 2C.
【0004】絶縁フィルムテープ1は、搬送や後工程で
の位置決めを行うためのスプロケットホール3と、半導
体チップを収容し、その電極をインナーリード2Aに接
続するためのデバイスホール4と、入力用アウターリー
ド2Bをプリント基盤に接続するためのアウターホール
5と、折り曲げ部分における折り曲げ性を向上させるた
めのスリット6が形成された構成を有している。The insulating film tape 1 has a sprocket hole 3 for carrying and positioning in a later process, a device hole 4 for accommodating a semiconductor chip and connecting its electrode to the inner lead 2A, and an outer for input. It has an outer hole 5 for connecting the lead 2B to the printed board and a slit 6 for improving the bendability in the bent portion.
【0005】スリット6は、その上の導体パターン2の
裏面を被覆する保護樹脂7を内部に有しており、保護樹
脂7は折り曲げ時に導体パターン2の支持を行って、各
リードの短絡,断線を防ぐようになっている。The slit 6 has therein a protective resin 7 for covering the back surface of the conductor pattern 2 on the slit 6, and the protective resin 7 supports the conductor pattern 2 at the time of bending and shorts or breaks each lead. Is designed to prevent
【0006】つまり、TAB用テープキャリアは、図9
に示すように、デバイスホール4に半導体素子9が配置
されると共に、Auバンプ10を介してインナーリード
2Aと半導体素子9の電極がワイヤレスボンディングさ
れ、更に、半導体素子9の周囲をポッティングレジン1
1で封止されることにより半導体装置とされ、図10に
示すように、3箇所のスリット6で折り曲げられ、18
0度湾曲した状態で出力用アウターリード2CとLCD
パネル13の配線部が異方性導電膜14で接続されると
共に、入力用アウターリード2Bとプリント基盤12が
所定の方法で接続される。このとき、スリット6上の導
体パターン2は、厚さ35μm,リード幅0.05〜
0.2mmと非常に微細で機械的強度が非常に低く、折
り曲げ時に変形や断線が生じ易いが、保護樹脂7で導体
パターン2を補強しているため、それが防げるようにな
っている。That is, the TAB tape carrier is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the semiconductor element 9 is arranged in the device hole 4, the inner leads 2A and the electrodes of the semiconductor element 9 are wirelessly bonded through the Au bumps 10, and further, the periphery of the semiconductor element 9 is potted with the resin 1.
A semiconductor device is obtained by sealing with 1 and is bent at three slits 6 as shown in FIG.
Output outer lead 2C and LCD in the state of being bent at 0 degree
The wiring portion of the panel 13 is connected by the anisotropic conductive film 14, and the input outer lead 2B and the printed board 12 are connected by a predetermined method. At this time, the conductor pattern 2 on the slit 6 has a thickness of 35 μm and a lead width of 0.05 to
It is as fine as 0.2 mm and has very low mechanical strength, and deformation and disconnection easily occur at the time of bending, but since the conductor pattern 2 is reinforced with the protective resin 7, it can be prevented.
【0007】このように折り曲げ用のスリットに保護樹
脂を塗布して、この部分に導体パターンを補強するTA
B用テープキャリアとして、例えば、特開平4−307
41号公報に示されるものがある。このTAB用テープ
キャリアは、絶縁フィルムテープを折り曲げた後、スリ
ットの導体パターンに保護樹脂を塗布しており、微細な
導体パターンを変形,或いは破断させずに保護樹脂を塗
布するのが困難であるという欠点があった。As described above, the TA for applying the protective resin to the bending slit and reinforcing the conductor pattern in this portion
As the tape carrier for B, for example, JP-A-4-307
There is one disclosed in Japanese Patent No. 41. In this TAB tape carrier, after the insulating film tape is bent, the protective resin is applied to the conductor pattern of the slit, and it is difficult to apply the protective resin without deforming or breaking the fine conductor pattern. There was a drawback.
【0008】そこで、このような欠点を改良するため
に、フィルムテープの折り曲げ前、つまり、導体パター
ンを形成した後、スリットの導体パターンに保護樹脂を
塗布する方法が、特開平2−132418号公報,特開
平4−162542号公報,及び特開平5−3288号
公報によって提案されている。Therefore, in order to improve such a defect, there is a method of applying a protective resin to the conductor pattern of the slit before the film tape is bent, that is, after the conductor pattern is formed, as disclosed in JP-A-2-132418. , JP-A-4-162542 and JP-A-5-3288.
【0009】これらの方法は、何れもスリットの銅箔裏
面にスクリーン印刷で保護用樹脂を塗布するもので、印
刷条件やインク状のレジストの粘度等の管理幅が狭く、
各スリットの保護樹脂の膜厚は、ばらつきの範囲内で一
定となる。In all of these methods, a protective resin is applied to the back surface of the copper foil of the slit by screen printing, and the control range of printing conditions and the viscosity of the ink-like resist is narrow,
The film thickness of the protective resin in each slit is constant within the range of variation.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のTAB
用テープキャリアによると、複数のスリットの保護樹脂
の膜厚が一定なため、折り曲げ形状に応じて特定のスリ
ットに折り曲げ応力が集中するという不都合がある。つ
まり、絶縁フィルムテープを折り曲げた時の折り曲げ形
状が、例えば、図10に示すような液晶パネルへの実装
時の状態では、両側のスリットに折り曲げ応力が集中し
てしまい、この部分で銅リードの変形や破断等が生じ
て、耐折性が低下するという不都合がある。However, the conventional TAB
According to the tape carrier for use, since the film thickness of the protective resin in the plurality of slits is constant, there is a disadvantage that the bending stress is concentrated on a specific slit depending on the bent shape. In other words, when the bent shape of the insulating film tape is, for example, when mounted on a liquid crystal panel as shown in FIG. There is an inconvenience that the folding endurance is deteriorated due to deformation or breakage.
【0011】また、スクリーン印刷による1度の印刷で
各スリットに保護樹脂を形成しているため、各スリット
における屈曲特性を変えるためには、印刷条件を変更す
る,或いは印刷するインクの粘度を変える等の工夫が必
要となる。従って、必然的に印刷を複数回行うことにな
り、製造工程が増加して作業が煩雑となると共に位置精
度が低下して品質が低下するという不都合がある。Further, since the protective resin is formed in each slit by one screen printing, in order to change the bending characteristic in each slit, the printing condition is changed or the viscosity of the ink to be printed is changed. It is necessary to devise such as. Therefore, printing is inevitably performed a plurality of times, which increases the number of manufacturing steps, complicates the work, and lowers the positional accuracy, resulting in the inferior quality.
【0012】従って、本発明の目的は製造工程の複雑化
や作業の煩雑化、更には品質の低下を招かずにスリット
上に存在する導体パターンの耐折性を向上させることが
できるTAB用テープキャリアを提供することである。Therefore, an object of the present invention is to improve the folding endurance of the conductor pattern existing on the slit without complicating the manufacturing process, complicating the work, and further, without lowering the quality. To provide a carrier.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、スリット上に存在する導体パターンの耐折性を向上
させるため、複数のスリットの内部に各スリットの曲げ
角度に応じた弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂を導
体パターンの裏面を被覆するように設けたTAB用テー
プキャリアを提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides a plurality of slits with an elastic modulus corresponding to the bending angle of each slit in order to improve the folding endurance of the conductor pattern existing on the slit. Alternatively, the present invention provides a TAB tape carrier provided with a protective resin having hardness so as to cover the back surface of the conductor pattern.
【0014】また、製造工程の複雑化や作業の煩雑化を
招かずに導体パターンの耐折性を向上させるため、絶縁
フィルムに折り曲げ用の複数のスリットを形成し、複数
のスリットが形成された絶縁フィルム上に銅箔等の金属
層を貼付し、複数のスリットの内部に、各スリットの曲
げ角度に応じた弾性率,或いは硬度の保護樹脂をスリッ
ト上の金属層を被覆するように塗布し、金属層をエッチ
ング等して、絶縁フィルムの上面に導体パターンを形成
するようにしたTAB用テープキャリアの製造方法を提
供するものである。Further, in order to improve the folding endurance of the conductor pattern without complicating the manufacturing process or complicating the work, a plurality of slits for bending are formed in the insulating film, and a plurality of slits are formed. A metal layer such as copper foil is pasted on the insulating film, and a protective resin with elasticity or hardness according to the bending angle of each slit is applied inside the slits so as to cover the metal layer on the slits. The present invention provides a method for manufacturing a tape carrier for TAB in which a conductor pattern is formed on the upper surface of an insulating film by etching a metal layer or the like.
【0015】上記保護樹脂の塗布は、各スリット毎にデ
ィスペンサによる塗布によって行われることが好まし
い。The above-mentioned protective resin is preferably applied to each slit by a dispenser.
【0016】また、上記の製造方法において、導体パタ
ーンを形成した後、スリットが形成されている位置で上
面側から導体パターンの表面を被覆する保護樹脂を塗布
するようにしても良い。この時の保護樹脂の形成は、デ
ィスペンサによる塗布で行っても良く、或いはスクリー
ン印刷で行っても良い。このようにすると、スリット上
に存在する導体パターンの補強を片面のみに保護樹脂を
形成したときよりも高めることができ、より耐折性を向
上させることができる。Further, in the above manufacturing method, after forming the conductor pattern, a protective resin for covering the surface of the conductor pattern may be applied from the upper surface side at the position where the slit is formed. The protective resin at this time may be formed by coating with a dispenser or screen printing. By doing so, the reinforcement of the conductor pattern existing on the slit can be increased more than when the protective resin is formed on only one surface, and the folding endurance can be further improved.
【0017】[0017]
【実施例】以下、本発明のTAB用テープキャリア,及
びその製造方法について添付図面を参照しながら詳細に
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The TAB tape carrier of the present invention and its manufacturing method will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【0018】図1には、本発明の一実施例のTAB用テ
ープキャリアを用いた半導体装置の断面構造が示されて
いる。この図において、図9と同一の部分には同一の引
用数字,符号を付したので重複する説明は省略する。FIG. 1 shows a sectional structure of a semiconductor device using a TAB tape carrier according to an embodiment of the present invention. In this figure, the same parts as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals and symbols, and a duplicate description will be omitted.
【0019】上記した半導体装置に用いられたTAB用
テープキャリアは、3本のスリット6A,6B,6Cの
内部に、それぞれの折り曲げ角度に応じた弾性率を有す
る保護樹脂7A,7B,7Cが導体パターン2の裏面を
被覆するように形成された構成を有している。The TAB tape carrier used in the above-described semiconductor device has three slits 6A, 6B and 6C in which conductors are provided with protective resins 7A, 7B and 7C having elastic moduli corresponding to respective bending angles. It has a structure formed so as to cover the back surface of the pattern 2.
【0020】すなわち、図2に示すように、LCDパネ
ル13とプリント基盤12に折り曲げて実装する場合、
TAB用テープキャアのスリット6A,6Cに弾性率の
低い保護樹脂7A,7Cが塗布され、スリット6Bに弾
性率の高い保護樹脂7Bが塗布された構成を有してい
る。That is, as shown in FIG. 2, when the LCD panel 13 and the printed board 12 are mounted by bending,
The slits 6A, 6C of the TAB tape carrier are coated with protective resins 7A, 7C having a low elastic modulus, and the slit 6B is coated with a protective resin 7B having a high elastic modulus.
【0021】以上の構成において、TAB用テープキャ
リアを、図2に示すように、LCDパネル13とプリン
ト基盤12に実装させて折り曲げると、最も屈曲率の高
いスリット6A,6Cの保護樹脂7A,7Cの弾性率が
スリット6Bの保護樹脂の弾性率より低いため、特定の
スリット6A,6Cに折り曲げ応力が集中するのを防ぐ
ことができ、その結果、絶縁フィルムテープ1を所定の
形状に維持することが容易になる。つまり、折り曲げ応
力の分散化が図れ、スリット6上に存在する導体パター
ン2の耐折性を向上させることができる。In the above structure, when the TAB tape carrier is mounted on the LCD panel 13 and the print substrate 12 and bent as shown in FIG. 2, the protective resin 7A, 7C for the slits 6A, 6C having the highest bending rate is formed. Has a lower elastic modulus than the protective resin of the slit 6B, it is possible to prevent bending stress from concentrating on the specific slits 6A and 6C, and as a result, to maintain the insulating film tape 1 in a predetermined shape. Will be easier. That is, the bending stress can be dispersed, and the folding resistance of the conductor pattern 2 existing on the slit 6 can be improved.
【0022】上記の効果を確認するため、絶縁フィルム
テープの折り曲げ試験を行って、銅リードが破断するま
での回数を測定した。その結果、各スリットの保護樹脂
の弾性率が均一なTAB用テープキャリアは、90〜1
85回で銅リードが破断したのに対し、本発明の各スリ
ットの保護樹脂の弾性率が異なったTAB用テープキャ
リアは、100〜305回まで銅リードの破断が生じな
かった。In order to confirm the above effect, a bending test of the insulating film tape was conducted and the number of times until the copper lead was broken was measured. As a result, the TAB tape carrier in which the elastic modulus of the protective resin in each slit is uniform is 90 to 1
While the copper lead was broken after 85 times, the TAB tape carrier in which the elastic modulus of the protective resin in each slit of the present invention was different, the copper lead was not broken up to 100 to 305 times.
【0023】以下、本発明のTAB用テープキャリアの
製造方法について説明する。まず、図3において、厚さ
約50〜125μmの絶縁フィルムテープ1にスプロケ
ットホール3,デバイスホール4,アウターホール5,
及び3本のスリット6をそれぞれプレス加工により形成
する。The method of manufacturing the TAB tape carrier of the present invention will be described below. First, in FIG. 3, a sprocket hole 3, a device hole 4, an outer hole 5, and an insulating film tape 1 having a thickness of about 50 to 125 μm are formed.
And the three slits 6 are formed by pressing.
【0024】次に、図4において、絶縁フィルムテープ
1の上面に接着剤を塗布し、その上に厚さ約35μmの
銅箔15を加熱接着する。Next, in FIG. 4, an adhesive is applied to the upper surface of the insulating film tape 1, and a copper foil 15 having a thickness of about 35 μm is heat-bonded thereon.
【0025】更に、図5において、スリット6A,6C
の内部に40〜1×105 dyne/cm2 の弾性率を
有する保護樹脂7A,7Cを、また、スリット6Bの内
部に5×106 dyne/cm2 より大なる弾性率を有
する保護樹脂7Bをそれぞれ導体パターン2の裏面を被
覆するようにディスペンサで塗布する。Further, in FIG. 5, slits 6A and 6C are provided.
The protective resin 7A, 7C having an elastic modulus of 40 to 1 × 10 5 dyne / cm 2 inside, and the protective resin 7B having an elastic modulus greater than 5 × 10 6 dyne / cm 2 inside the slit 6B. Is applied by a dispenser so as to cover the back surface of the conductor pattern 2.
【0026】最後に、図6において、銅箔15の表面に
感光性有機レジストを塗布した後、配線パターンの焼付
・現像を行い、次に、レジストパターンに沿ってエッチ
ングして、絶縁フィルムテープ1の上面にインナーリー
ド2A,入出力用アウターリード2B,2Cを有する所
定の形状の導体パターン2を形成する。Finally, in FIG. 6, after the photosensitive organic resist is applied to the surface of the copper foil 15, the wiring pattern is baked and developed, and then the insulating pattern is etched along the resist pattern to form the insulating film tape 1. A conductor pattern 2 having a predetermined shape having an inner lead 2A and input / output outer leads 2B, 2C is formed on the upper surface of the.
【0027】また、必要に応じてパターン保護用のソル
ダーレジスト8を導体パターン2上に施し、最後に錫め
っき,金めっき,半田めっき等の表面処理を施して全工
程が終了する。If necessary, a solder resist 8 for pattern protection is applied on the conductor pattern 2, and finally surface treatment such as tin plating, gold plating, solder plating is applied to complete the whole process.
【0028】以上説明した製造方法では、複数のスリッ
ト6A,6B,6Cの内部にディペンサで異なった弾性
率の保護樹脂7A,7B,7Cを形成しているため、製
造工程の複雑化や作業の煩雑化、更には品質の低下を招
かずに、各スリットの屈曲特性を任意に変えることがで
きる。なお、上記実施例では、保護樹脂7A,7B,7
Cの弾性率を異ならせたが、硬度(JIS法)等の特性
が異なる樹脂を塗布しても良い。また、保護樹脂として
は柔軟性が求められ、ゴム弾性を有するものからポリイ
ミド等の弾性率の高い樹脂の組み合わせ等が挙げられ
る。In the manufacturing method described above, since the protective resins 7A, 7B, 7C having different elastic moduli are formed inside the plurality of slits 6A, 6B, 6C by the dispenser, the manufacturing process is complicated and the work is complicated. The bending characteristics of each slit can be arbitrarily changed without complicating and further lowering the quality. In the above embodiment, the protective resins 7A, 7B, 7
Although the elastic modulus of C is different, resins having different characteristics such as hardness (JIS method) may be applied. Further, the protective resin is required to have flexibility, and examples thereof include those having rubber elasticity to combinations of resins having a high elastic modulus such as polyimide.
【0029】また、上記した製造において、銅箔15を
エッチング等して、導体パターン2とした後、ソルダー
レジスト8を施す前にスリット6の位置で上面側から導
体パターン2の表面を被覆する保護樹脂を塗布しても良
い。この場合、導体パターン2の補強を裏面のみに保護
樹脂を形成したときよりも高めることができ、より耐折
性を向上させることができる。なお、この保護樹脂の弾
性率,或いは硬度も各スリット6A,6B,6Cの曲げ
角度に対応させても良い。Further, in the above-mentioned manufacturing, after the copper foil 15 is etched to form the conductor pattern 2, before the solder resist 8 is applied, the protection for covering the surface of the conductor pattern 2 from the upper surface side at the position of the slit 6. You may apply resin. In this case, the reinforcement of the conductor pattern 2 can be increased more than when the protective resin is formed only on the back surface, and the folding endurance can be further improved. The elastic modulus or hardness of this protective resin may also correspond to the bending angle of each slit 6A, 6B, 6C.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のTAB用
テープキャリア,及びその製造方法によると、絶縁フィ
ルムに折り曲げ用の複数のスリットを形成し、複数のス
リットが形成された絶縁フィルム上に銅箔等の金属層を
貼付し、スリットの内部に各スリットの曲げ角度に応じ
た弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂をスリット上の
金属層を被覆するように塗布し、金属層をエッチング等
して、絶縁フィルムの上面に導体パターンを形成するよ
うにしたため、製造工程の複雑化や作業の煩雑化、更に
は品質の低下を招かずにスリット上に存在する導体パタ
ーンの耐折性を向上させることができる。As described above, according to the TAB tape carrier and the method of manufacturing the same of the present invention, a plurality of bending slits are formed in the insulating film, and the slit is formed on the insulating film. A metal layer such as copper foil is attached, a protective resin with elasticity or hardness according to the bending angle of each slit is applied inside the slit so as to cover the metal layer on the slit, and the metal layer is etched. Since the conductor pattern is formed on the upper surface of the insulating film, the manufacturing process is complicated, the work is complicated, and the bending resistance of the conductor pattern existing on the slit is not deteriorated. Can be improved.
【図1】本発明の一実施例に係るTAB用テープキャリ
アを用いた半導体装置を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a semiconductor device using a TAB tape carrier according to an embodiment of the present invention.
【図2】一実施例のTAB用テープキャリアを用いた半
導体装置のLCDパネルへの実装状態を示す部分断面
図。FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing a state in which a semiconductor device using the TAB tape carrier of one embodiment is mounted on an LCD panel.
【図3】一実施例に係る製造工程を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing a manufacturing process according to an embodiment.
【図4】一実施例に係る製造工程を示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing a manufacturing process according to an embodiment.
【図5】一実施例に係る製造工程を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a manufacturing process according to an embodiment.
【図6】一実施例に係る製造工程を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a manufacturing process according to an embodiment.
【図7】従来のTAB用テープキャリアを示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing a conventional TAB tape carrier.
【図8】従来のTAB用テープキャリアを示す断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a conventional TAB tape carrier.
【図9】従来のTAB用テープキャリアを用いた半導体
装置を示す断面図。FIG. 9 is a sectional view showing a semiconductor device using a conventional TAB tape carrier.
【図10】従来のTAB用テープキャリアを用いた半導
体装置のLCDパネルへの実装状態を示す部分断面図。FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing a mounting state of a semiconductor device using a conventional TAB tape carrier on an LCD panel.
1 絶縁フィルムテープ 2 導体パターン 2A インナーリード 2B 入力用アウターリード 2C 出力用アウターリード 3 スプロケットホール 4 デバイスホール 5 アウターホール 6,6A,6B,6C スリット 7,7A,7B,7C 保護樹脂 8 ソルダーレジスト 9 半導体素子 10 Auバンプ 11 ポッティングレジン 12 プリント基盤 13 LCDパネル 14 異方性導電膜 1 Insulating film tape 2 Conductor pattern 2A Inner lead 2B Outer lead for input 2C Outer lead for output 3 Sprocket hole 4 Device hole 5 Outer hole 6, 6A, 6B, 6C Slit 7, 7A, 7B, 7C Protective resin 8 Solder resist 9 Semiconductor element 10 Au bump 11 Potting resin 12 Printed substrate 13 LCD panel 14 Anisotropic conductive film
Claims (5)
ムの上面に、前記スリット上を通過するように所定の形
状で形成された導体パターンを有し、前記複数のスリッ
トの位置で所定の角度で折り曲げて使用されるTAB用
テープキャリアにおいて、 前記複数のスリットの内部に、前記所定の角度に応じた
弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂が前記導体パター
ンの裏面を被覆するように設けられていることを特徴と
するTAB用テープキャリア。1. An insulating film having a plurality of slits formed thereon has a conductor pattern formed in a predetermined shape so as to pass over the slits, and at a predetermined angle at the positions of the plurality of slits. In a TAB tape carrier used by being folded, a protective resin having elasticity or hardness according to the predetermined angle is provided inside the plurality of slits so as to cover the back surface of the conductor pattern. A tape carrier for TAB, which is characterized in that
ットを形成し、 前記複数のスリットが形成された絶縁フィルム上に銅箔
等の金属層を貼付し、 前記複数のスリットの内部に、各スリットの曲げ角度に
応じた弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂を前記スリ
ット上の金属層を被覆するように塗布し、 前記金属層をエッチング等して、前記絶縁フィルムの前
記上面に導体パターンを形成することを特徴とするTA
B用テープキャリアの製造方法。2. A plurality of slits for bending are formed on an insulating film, a metal layer such as copper foil is pasted on the insulating film having the plurality of slits formed, and each slit is provided inside the plurality of slits. A protective resin having a modulus of elasticity or hardness according to the bending angle is applied so as to cover the metal layer on the slit, and the metal layer is etched to form a conductor pattern on the upper surface of the insulating film. TA characterized by forming
Manufacturing method of B tape carrier.
よる塗布によって行われる請求項2のTAB用テープキ
ャリアの製造方法。3. The method for manufacturing a TAB tape carrier according to claim 2, wherein the protective resin is applied by a dispenser.
リットが形成されている位置で前記上面側から前記導体
パターンの表面を被覆する保護樹脂を塗布する請求項2
のTAB用テープキャリアの製造方法。4. The protective resin for coating the surface of the conductor pattern is applied from the upper surface side at the position where the slit is formed after forming the conductor pattern.
TAB tape carrier manufacturing method.
樹脂は、前記各スリットの曲げ角度に応じた弾性率,或
いは硬度を有する請求項4のTAB用テープキャリアの
製造方法。5. The method of manufacturing a TAB tape carrier according to claim 4, wherein the protective resin coating the surface of the conductor pattern has an elastic modulus or hardness according to the bending angle of each slit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10766894A JP3169039B2 (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | TAB tape carrier and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10766894A JP3169039B2 (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | TAB tape carrier and method of manufacturing the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07297234A true JPH07297234A (en) | 1995-11-10 |
| JP3169039B2 JP3169039B2 (en) | 2001-05-21 |
Family
ID=14464984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10766894A Expired - Fee Related JP3169039B2 (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | TAB tape carrier and method of manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169039B2 (en) |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP10766894A patent/JP3169039B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3169039B2 (en) | 2001-05-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7750457B2 (en) | Semiconductor apparatus, manufacturing method thereof, semiconductor module apparatus using semiconductor apparatus, and wire substrate for semiconductor apparatus | |
| US6940301B2 (en) | Test pad array for contact resistance measuring of ACF bonds on a liquid crystal display panel | |
| US7078331B2 (en) | Method of forming redistribution bump and semiconductor chip and mount structure fabricated using the same | |
| JP2000058713A (en) | Semiconductor chip package and its manufacture | |
| JPH07211995A (en) | Method and apparatus for forming impedance-controlled flexible circuit | |
| US6271057B1 (en) | Method of making semiconductor chip package | |
| KR100275906B1 (en) | Tape-carrier-packing semiconductor device and a lcd panel display using such a device as well as a method for testing the disconnection thereof | |
| KR20090026891A (en) | Wiring substrate, tape package and display device having same, manufacturing method thereof and tape package and display device having same | |
| US20070126110A1 (en) | Circuit film with bump, film package using the same, and related fabrication methods | |
| JPH02162746A (en) | High-density integrated circuit support and its manufacturing method | |
| JP3442978B2 (en) | Tape carrier package semiconductor device and liquid crystal panel display device using the same | |
| US6731511B2 (en) | Wiring board, method of manufacturing the same, electronic component, and electronic instrument | |
| KR100256911B1 (en) | Tape carrier package and liquid crystal display including the tape carrier package | |
| JPH07297234A (en) | TAB tape carrier and manufacturing method thereof | |
| JPH07297235A (en) | TAB tape carrier and manufacturing method thereof | |
| JP2000124249A (en) | Semiconductor device, semiconductor mounting substrate using the same, liquid crystal display device, and electronic device | |
| JP4370994B2 (en) | Mounting board and display device | |
| JPH08139126A (en) | Semiconductor device | |
| JPH07240439A (en) | TAB tape carrier and manufacturing method thereof | |
| KR0171099B1 (en) | Semiconductor substrate bumps and manufacturing method thereof | |
| JP3425917B2 (en) | TCP semiconductor device | |
| JPH04242721A (en) | liquid crystal display device | |
| JP2985584B2 (en) | Bend mounting type TAB film carrier and method of manufacturing the same | |
| JPH11307594A (en) | Film carrier tape for electronic component mounting and semiconductor device | |
| JP2000012625A (en) | Film carrier tape for mounting electronic parts and manufacture of film carrier tape for mounting electronic parts |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |