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JPH0759012A - Solid-state image pickup device and its drive method - Google Patents

Solid-state image pickup device and its drive method

Info

Publication number
JPH0759012A
JPH0759012A JP5161810A JP16181093A JPH0759012A JP H0759012 A JPH0759012 A JP H0759012A JP 5161810 A JP5161810 A JP 5161810A JP 16181093 A JP16181093 A JP 16181093A JP H0759012 A JPH0759012 A JP H0759012A
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JP
Japan
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vertical transfer
transfer
unit
vertical
solid
Prior art date
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Application number
JP5161810A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3395257B2 (en
Inventor
Isao Hirota
功 広田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP16181093A priority Critical patent/JP3395257B2/en
Publication of JPH0759012A publication Critical patent/JPH0759012A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3395257B2 publication Critical patent/JP3395257B2/en
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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate production of deviation of a picture even when a shutter is driven at a high speed by attaining interlace reading and the operation of a full frame electronic shutter regardless of full picture element simultaneous reading. CONSTITUTION:Signal charges 1-4, 9-12 of an odd number line in a light receiving section 1 are respectively read by vertical transfer registers 2B1, 2B2 of an even number column respectively and signal charges 5-8, 13-16 of an even number line in the light receiving section 1 are respectively read by vertical transfer registers 2A1, 2A2, 2A3 of an odd number column respectively. Thus, the register 2B1 reads the signal charges 1, 2, 9, 10 from the light receiving sections at both sides, the register 2B. reads the signal charges 3, 4, 11, 12, the register 2A1 reads the signal charges 5, 14, the register 2A2 reads the signal charges 6, 7, 14, 15, and the register 2A3 reads the signal charges 8, 16. Only the registers 2B1, 2B2 of an even number column from which the charges are read are driven in a 1st field, the charges of an odd number line are transferred to a horizontal transfer register 3, and an output section 4 provides an output of a CCD signal. The CCD signal is outputted similarly in a 2nd filed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置及びその
駆動方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device and a driving method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】CCD固体撮像装置としては、インター
ライントランスファ(IT)型、フレームインターライ
ントランスファ(FIT)型等のCCD固体撮像装置が
知られている。
2. Description of the Related Art As CCD solid-state image pickup devices, CCD solid-state image pickup devices such as interline transfer (IT) type and frame interline transfer (FIT) type are known.

【0003】IT型CCD固体撮像装置は、行列状に配
列された複数の受光部と、各受光部列の一側に配された
複数のCCD構造の垂直転送レジスタと、CCD構造の
水平転送レジスタとから成り、受光部で光電変換された
信号電荷を垂直ブランキング期間で垂直転送レジスタに
読み出した後、水平ブランキング期間で1水平ライン毎
の信号電荷を垂直転送レジスタから水平転送レジスタへ
転送し、水平転送レジスタを通じて出力するようになさ
れる。
The IT type CCD solid-state image pickup device includes a plurality of light receiving portions arranged in a matrix, a plurality of vertical transfer registers of CCD structure arranged on one side of each light receiving portion row, and a horizontal transfer register of CCD structure. The signal charge photoelectrically converted by the light receiving section is read into the vertical transfer register in the vertical blanking period, and then the signal charge for each horizontal line is transferred from the vertical transfer register to the horizontal transfer register in the horizontal blanking period. , Is output through the horizontal transfer register.

【0004】FIT型CCD固体撮像装置は、複数の受
光部が行列状に配列され、各受光部列の一側にCCD構
造の垂直転送レジスタが配されてなる撮像部と、撮像部
の垂直転送レジスタに対応する複数のCCD構造の垂直
転送レジスタを有する蓄積部と、CCD構造の水平転送
レジスタとを有して成り、垂直ブランキング期間で、受
光部の信号電荷を垂直転送レジスタに読み出して後、撮
像部から蓄積部へ高速転送(いわゆるフレームシフト転
送)して一旦蓄積部に信号電荷を蓄積し、次いで水平ブ
ランキング期間で1水平ライン毎の信号電荷を水平転送
レジスタへ転送(いわゆるラインシフト転送)し、水平
転送レジスタを通して出力するようになされる。
In the FIT CCD solid-state image pickup device, a plurality of light receiving parts are arranged in a matrix, and a vertical transfer register having a CCD structure is arranged on one side of each light receiving part row, and a vertical transfer of the image pickup parts. It comprises a storage unit having a plurality of vertical transfer registers of CCD structure corresponding to the registers and a horizontal transfer register of CCD structure. After the vertical blanking period, the signal charge of the light receiving unit is read out to the vertical transfer register. , A high-speed transfer from the image pickup unit to the storage unit (so-called frame shift transfer) to temporarily store the signal charge in the storage unit, and then transfer the signal charge for each horizontal line to the horizontal transfer register (so-called line shift) in the horizontal blanking period. Transfer) and output through the horizontal transfer register.

【0005】代表的な信号電荷の読み出し方式として
は、フィールド読み出し、フレーム読み出し等がある。
フィールド読み出しは、フィールド毎に全画素同時に読
み出し、奇数フィールドと偶数フィールドとで夫々異な
る2水平ラインの信号電荷を加算して出力する方式であ
る。
Typical signal charge reading methods include field reading and frame reading.
The field readout is a method in which all pixels are read out simultaneously for each field, and the signal charges of two different horizontal lines in the odd field and the even field are added and output.

【0006】フレーム読み出しは、1フレーム期間にわ
たって受光・電荷蓄積が行われ、フィールド毎に、奇数
ラインの受光部の信号電荷のみ、偶数ラインの受光部の
信号電荷のみを交互に読み出す方式であり、所謂インタ
ーレース読み出しを行っている。
In frame reading, light is received and charges are accumulated for one frame period, and only the signal charges of the light receiving portions of the odd lines and only the signal charges of the light receiving portions of the even lines are alternately read out for each field. So-called interlaced reading is performed.

【0007】その他、FIT型CCD固体撮像装置にお
いて、フレーム読み出し方式であって、しかも第1フィ
ールドの信号電荷を読み出しフレームシフト転送を行っ
た直後に、第2フィールドの信号電荷を読み出してイン
ターレース読み出しを行う方式も提案されている。
In addition, in the FIT type CCD solid-state image pickup device, the frame read method is used, and immediately after the signal charge of the first field is read and the frame shift transfer is performed, the signal charge of the second field is read to perform the interlaced read. The method of doing is also proposed.

【0008】さらに、CCD固体撮像装置を、撮像部の
両側に夫々蓄積部を配し且つ夫々の蓄積部に水平転送レ
ジスタを配した構成とし、撮像部から蓄積部へのフレー
ムシフト転送時に、奇数ラインの信号電荷を一方の蓄積
部へ、偶数ラインの信号電荷を他方の蓄積部へフレーム
シフト転送し、奇数フィールドでは一方の蓄積部の奇数
ラインの信号電荷のみを読み出し、偶数フィールドでは
他方の蓄積部の偶数ラインの信号電荷のみを読み出すよ
うにした方式も提案されている。
Further, the CCD solid-state image pickup device has a structure in which storage units are arranged on both sides of the image pickup unit and horizontal transfer registers are arranged in each of the storage units, and an odd number is used during frame shift transfer from the image pickup unit to the storage unit. Frame shifts the signal charges of one line to the one storage unit and the signal charges of the even line to the other storage unit, reads only the signal charges of the odd lines of one storage unit in the odd field, and stores the other in the even field. A method has also been proposed in which only the signal charges of even-numbered lines of a part are read out.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、CCD固体
撮像装置において、フレーム周期読み出しで、フレーム
期間内の任意の時点でシャッタを動作させる所謂フルフ
レーム電子シャッタを実現する方法としては、全画素読
み出しすればよいが、しかし、IT型、FIT型等の通
常の構造ではインターレース読み出しが出来ない。
By the way, as a method of realizing a so-called full-frame electronic shutter in which a shutter is operated at an arbitrary time point within a frame period in a CCD solid-state image pickup device, all-pixel reading is performed. However, interlaced reading cannot be performed with a normal structure such as an IT type or FIT type.

【0010】また、上述した第1フィールドのフレーム
シフト転送(高速転送)直後に第2フィールドを読み出
しFIT型CCD固体撮像装置では、疑似的にフレーム
電子シャッタとインターレース読み出しが可能である。
しかし、第1フィールドと第2フィールドの読み出し時
期が多少ずれるため、高速シャッタ時に画ずれが生じて
しまう。
Further, in the FIT type CCD solid-state image pickup device which reads the second field immediately after the frame shift transfer (high speed transfer) of the first field described above, the frame electronic shutter and the interlaced read can be artificially performed.
However, since the read times of the first field and the second field are slightly different from each other, image misalignment occurs during high-speed shuttering.

【0011】さらに、撮像部の両側に夫々蓄積部を配し
た両側フレームシフト転送方式のCCD固体撮像装置で
は、全画素読み出しでインターレースが可能であるが構
造が複雑となる欠点があった。
Further, in the double-sided frame shift transfer type CCD solid-state image pickup device in which the storage portions are arranged on both sides of the image pickup portion, interlacing is possible by reading all pixels, but there is a drawback that the structure is complicated.

【0012】本発明は、上述の点に鑑み、構造が簡単
で、しかもフルフレーム電子シャッタとインターレース
読み出しを可能にした固体撮像装置及びその駆動方法を
提供するものである。
In view of the above points, the present invention provides a solid-state image pickup device having a simple structure and capable of interlace reading with a full-frame electronic shutter, and a driving method thereof.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】第1の発明は、行列状に
配された複数の受光部1と、この受光部1の一つ置きの
列間に配された第1の垂直転送部2B〔2B1 ,2
2 〕と該受光部1の残りの一つ置きの列間に配された
第2の垂直転送部2A〔2A1 ,2A2 ,2A3 〕と、
第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aよりの電荷を水
平方向に転送する水平転送部3とを有する固体撮像装置
の駆動方法において、一行置きに位置する第1の受光部
群の信号電荷を第1の垂直転送部2Bに、残りの一行置
きに位置する第2の受光部群の信号電荷を第2の垂直転
送部2Aに読み出すようになす。
A first aspect of the present invention is directed to a plurality of light receiving portions 1 arranged in a matrix and a first vertical transfer portion 2B arranged between every other row of the light receiving portions 1. [2B 1 , 2
B 2 ], and a second vertical transfer section 2 A [2 A 1 , 2 A 2 , 2 A 3 ], which is arranged between the remaining columns of the light receiving section 1.
In a method for driving a solid-state imaging device having a horizontal transfer unit 3 that horizontally transfers charges from the first and second vertical transfer units 2B and 2A, a signal charge of a first light receiving unit group located every other row. To the first vertical transfer section 2B, and the signal charges of the second light receiving section groups located every other row are read out to the second vertical transfer section 2A.

【0014】第2の発明は、上記駆動方法において、固
体撮像装置をFIT(フレームインターライントランス
ファ)型固体撮像装置とする。
According to a second aspect of the present invention, in the above driving method, the solid-state image pickup device is a FIT (frame interline transfer) type solid-state image pickup device.

【0015】第3の発明は、上記各駆動方法において、
第1の受光部群の信号電荷と第2の受光部群の信号電荷
とを同時に読み出すようになす。
A third aspect of the present invention is the driving method described above,
The signal charges of the first light receiving unit group and the signal charges of the second light receiving unit group are read simultaneously.

【0016】第4の発明は、上記各駆動方法において、
第1の垂直転送部2Bの信号電荷転送期間中、第2の垂
直転送部2Aの信号電荷転送を停止し、第2の垂直転送
部2Aの信号電荷転送期間中、第1の垂直転送部2Bの
信号電荷転送を停止するようになす。
A fourth aspect of the present invention is the drive method as described above.
During the signal charge transfer period of the first vertical transfer unit 2B, the signal charge transfer of the second vertical transfer unit 2A is stopped, and during the signal charge transfer period of the second vertical transfer unit 2A, the first vertical transfer unit 2B. The signal charge transfer is stopped.

【0017】第5の発明は、上記各駆動方法において、
水平ブランキング期間中に第1又は第2の垂直転送部2
B又は2Aの垂直2ビット分を水平転送部3に転送する
ようになす。
A fifth aspect of the present invention is the drive method as described above,
The first or second vertical transfer unit 2 during the horizontal blanking period.
Two vertical bits of B or 2A are transferred to the horizontal transfer unit 3.

【0018】第6の発明は、行列状に配された複数の受
光部1と、この受光部1の一つ置きの列間に配された第
1の垂直転送部2B〔2B1 ,2B2 〕と該受光部1の
残りの一つ置きの列間に配された第2の垂直転送部2A
〔2A1 ,2A2 ,2A3 〕と、第1及び第2の垂直転
送部2B及び2Aよりの電荷を水平方向に転送する水平
転送部3とを有する固体撮像装置において、受光部1の
電荷を垂直転送部2〔2A,2B〕に読み出す読み出し
ゲート部を、奇数行に位置する受光部1では第1の垂直
転送部2B側に、偶数行に位置する受光部1では第2の
垂直転送部2A側に設けて構成する。
In a sixth aspect of the invention, a plurality of light receiving portions 1 arranged in a matrix and a first vertical transfer portion 2B [2B 1 , 2B 2 arranged between every other row of the light receiving portions 1 are arranged. ] And a second vertical transfer unit 2A disposed between the other columns of the light receiving unit 1
In the solid-state imaging device having [2A 1 , 2A 2 , 2A 3 ] and the horizontal transfer unit 3 that horizontally transfers the charges from the first and second vertical transfer units 2B and 2A, To the vertical transfer unit 2 [2A, 2B], the read gate unit is provided to the first vertical transfer unit 2B side in the light receiving unit 1 located in the odd row, and the second vertical transfer in the light receiving unit 1 located in the even row. It is provided on the side of the section 2A and configured.

【0019】第7の発明は、上記固体撮像装置におい
て、第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aと水平転送
部3との間に蓄積部34を有して構成する。
A seventh aspect of the present invention is the solid-state image pickup device as described above, comprising a storage section 34 between the first and second vertical transfer sections 2B and 2A and the horizontal transfer section 3.

【0020】第8の発明は、上記固体撮像装置におい
て、蓄積部34に第1及び第2の垂直転送部2B及び2
Aの1列毎に1つの蓄積兼転送部42を有し、蓄積部3
4と第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aとの間に第
1及び第2の垂直転送部2B及び2Aの電荷を垂直単位
ビット毎に隣合う蓄積兼転送部33に交互に振り分ける
制御ゲート43を設けて構成する。
An eighth aspect of the present invention is the solid-state image pickup device as described above, wherein the first and second vertical transfer sections 2B and 2 are provided in the storage section 34.
Each column of A has one accumulation and transfer unit 42, and the accumulation unit 3
4 and the first and second vertical transfer units 2B and 2A, the charge of the first and second vertical transfer units 2B and 2A is alternately distributed to the adjacent storage / transfer unit 33 for each vertical unit bit. A gate 43 is provided and configured.

【0021】第9の発明は、上記第7の発明の固体撮像
装置において、蓄積部34が第1及び第2の垂直転送部
2B及び2Aの2列毎に1つの蓄積兼転送部52を有す
るように構成する。
A ninth aspect of the present invention is the solid-state image pickup device according to the seventh aspect, wherein the storage section 34 has one storage / transfer section 52 for every two columns of the first and second vertical transfer sections 2B and 2A. To configure.

【0022】第10の発明は、上記各固体撮像装置にお
いて、第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aが第1,
第2及び第3の3つの電極7,8,9で1ビットを形成
するようにして構成する。
A tenth aspect of the present invention is the solid-state image pickup device as described above, wherein the first and second vertical transfer sections 2B and 2A are the first and second.
One bit is formed by the second and third three electrodes 7, 8 and 9.

【0023】第11の発明は、上記第10の発明の固体
撮像装置において、第1及び第2の電極7及び8を水平
方向に配線し、第3の電極9を垂直方向に配線し、この
第3の電極9を第1の垂直転送部2Bと第2の垂直転送
部2Aとで電気的に独立するように構成する。
An eleventh invention is the solid-state image pickup device according to the tenth invention, wherein the first and second electrodes 7 and 8 are wired in the horizontal direction, and the third electrode 9 is wired in the vertical direction. The third electrode 9 is configured to be electrically independent of the first vertical transfer section 2B and the second vertical transfer section 2A.

【0024】[0024]

【作用】第1の発明に係る固体撮像装置の駆動方法にお
いては、一行置きに位置する(例えば奇数ラインの)第
1の受光部群の信号電荷を第1の垂直転送部2Bに読み
出し、残りの一行置きに位置する(例えば偶数ライン
の)第2の受光部群の信号電荷を第2の垂直転送部2A
に読み出すことにより、以後、第1の垂直転送部2Bと
第2の垂直転送部2Aを夫々フィールド毎に選択的に駆
動させれば、全画素同時読み出しで且つインターレース
読み出しが可能になる。そして、全画素同時読み出しが
できるので、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
In the method of driving the solid-state image pickup device according to the first aspect of the present invention, the signal charges of the first light receiving unit group located in every other row (for example, in an odd number of lines) are read out to the first vertical transfer unit 2B and the rest. The signal charges of the second light receiving unit group (for example, even-numbered lines) located every other row are transferred to the second vertical transfer unit 2A.
Then, if the first vertical transfer unit 2B and the second vertical transfer unit 2A are selectively driven for each field thereafter, all-pixel simultaneous read and interlaced read can be performed. Since all pixels can be read simultaneously, a full frame electronic shutter is possible.

【0025】第2の発明に係る駆動方法においては、固
体撮像装置をFIT型とすることにより、スミア、暗電
流の奇数フィールドと偶数フィールド間の差を低減する
ことができる。
In the driving method according to the second aspect of the present invention, the solid-state image pickup device is of the FIT type, whereby the difference between the odd field and the even field of smear and dark current can be reduced.

【0026】第3の発明に係る駆動方法においては、一
行置きに位置する第1の受光部群の信号電荷と、残りの
一行置きに位置する第2の受光部群の信号電荷とを同時
に夫々の第1の垂直転送部2Bと第2の垂直転送部2A
に読み出すことにより、全画素読み出しとなり、フルフ
レーム電子シャッタ動作を行うことができる。しかも、
以後、第1の垂直転送部2Bと第2の垂直転送部2Aを
夫々フィールド毎に選択的に駆動させることが可能とな
るので、全画素同時読み出しで且つインターレース読み
出しが可能になる。
In the driving method according to the third aspect of the present invention, the signal charges of the first light receiving unit group located every other row and the signal charges of the remaining second light receiving unit group located every other line are simultaneously and simultaneously respectively. First vertical transfer unit 2B and second vertical transfer unit 2A
By reading out all pixels, all pixels are read out, and the full-frame electronic shutter operation can be performed. Moreover,
After that, since the first vertical transfer unit 2B and the second vertical transfer unit 2A can be selectively driven for each field, all-pixel simultaneous reading and interlaced reading can be performed.

【0027】第4の発明に係る駆動方法においては、更
に第1の垂直転送部2Bの信号電荷転送期間中は第2の
垂直転送部2Aの信号電荷転送を停止し、第2の垂直転
送部2Aの信号電荷転送期間中は第1の垂直転送部2B
の信号電荷転送を停止するので、全画素読み出しで且つ
インターレース読み出しが行われる。
In the driving method according to the fourth aspect of the present invention, the signal charge transfer of the second vertical transfer section 2A is stopped during the signal charge transfer period of the first vertical transfer section 2B, and the second vertical transfer section is stopped. During the signal charge transfer period of 2A, the first vertical transfer unit 2B
Since the signal charge transfer of 1 is stopped, all-pixel reading and interlaced reading are performed.

【0028】第5の発明に係る駆動方法においては、水
平ブランキング期間中に第1又は第2の垂直転送部2B
又は2Aの垂直2ビット分の信号電荷を水平転送部3に
転送することにより、水平転送部3に対して奇数行又は
偶数行に位置する受光部1の配列と同じ配列順序をもっ
て信号電荷を転送することができる。
In the driving method according to the fifth aspect of the invention, the first or second vertical transfer section 2B is provided during the horizontal blanking period.
Alternatively, by transferring the signal charges for 2 vertical bits of 2A to the horizontal transfer unit 3, the signal charges are transferred in the same arrangement order as the arrangement of the light receiving units 1 located in the odd row or the even row with respect to the horizontal transfer unit 3. can do.

【0029】第6の発明に係る固体撮像装置において
は、受光部1の電荷を垂直転送部2に読み出す読み出し
ゲート部6が、奇数行に位置する受光部1では第1の垂
直転送部側2Bに、偶数行に位置する受光部1では第2
の垂直転送部2A側に夫々設けることにより、各受光部
1の信号電荷を同時に読み出したときに、奇数行に位置
する受光部1の信号電荷は第1の垂直転送部2Bに読み
出され、偶数行に位置する受光部1の信号電荷は第2の
垂直転送部2Aに読み出されることになる。従って、以
後、第1の垂直転送部2Bと第2の垂直転送部2Aを夫
々フィールド毎に選択的に駆動させれば、インターレー
ス読み出し(走査)が行える。
In the solid-state image pickup device according to the sixth aspect of the present invention, the read gate section 6 for reading out the electric charge of the light receiving section 1 to the vertical transfer section 2 is arranged so that the light receiving section 1 located in an odd row has the first vertical transfer section side 2B. In the light receiving parts 1 located in even rows,
When the signal charges of the respective light receiving units 1 are simultaneously read out, the signal charges of the light receiving units 1 located in the odd rows are read out to the first vertical transfer unit 2B by being provided on the vertical transfer unit 2A side. The signal charges of the light receiving sections 1 located in even rows are read out to the second vertical transfer section 2A. Therefore, thereafter, if the first vertical transfer unit 2B and the second vertical transfer unit 2A are selectively driven for each field, interlaced reading (scanning) can be performed.

【0030】第7の発明に係る固体撮像素子において
は、その第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aと水平
転送部3との間に蓄積部34を有することにより、全画
素同時読み出し且つインターレース読み出しを可能にし
たFIT型の固体撮像装置を構成することができる。
In the solid-state image pickup device according to the seventh aspect of the present invention, since the storage unit 34 is provided between the horizontal transfer unit 3 and the first and second vertical transfer units 2B and 2A, all pixels can be read simultaneously. A FIT type solid-state imaging device capable of interlaced reading can be configured.

【0031】第8の発明に係る固体撮像装置において
は、上記FIT型固体撮像装置の蓄積部34に、第1及
び第2の垂直転送部2B及び2Aの1列毎に1つの蓄積
兼転送部42を有し、この蓄積部34と第1及び第2の
垂直転送部2B及び2Aとの間に、第1及び第2の垂直
転送部2B及び2Aの電荷を垂直単位ビット毎に隣合う
蓄積兼転送部に交互に振り分ける制御ゲート43を設け
ている。従って、全画素読み出しにおいて、奇数行に位
置する受光部1の信号電荷が第1の垂直転送部2Bに読
み出され、偶数行に位置する受光部1の信号電荷が第2
の垂直転送部2Aに読み出された後、先ず各第1の垂直
転送部2Bの信号電荷が制御ゲート43によって夫々蓄
積部34の隣合う蓄積兼転送部42に交互に振り分けら
れて転送され、続いて、各第2の垂直転送部2Aの信号
電荷が制御ゲート43によって、蓄積部34の隣合う蓄
積兼転送部42に交互に振り分けられて転送される。従
って、蓄積部34においては各受光部1と同じ配列順序
で信号電荷が配列され、しかも蓄積部34の下半分が奇
数行、上半分が偶数行の信号電荷が蓄積される。以後蓄
積部34から水平転送部3へは第1フィールド期間に奇
数行の信号電荷が読み出され、次の第2フィールド期間
で偶数行の信号電荷が読み出される。この構成では、撮
像部32で第1、第2の垂直転送部2B,2Aの駆動が
止まる期間が撮像部32から蓄積部34へ転送する高速
転送(所謂フレームシフト転送)時のみで極く短い時間
であるので、スミア成分と共に暗電流むらの発生も回避
できる。
In the solid-state image pickup device according to the eighth aspect of the present invention, one accumulation / transfer unit is provided for each column of the first and second vertical transfer units 2B and 2A in the storage unit 34 of the FIT type solid-state image pickup device. 42, and between the storage unit 34 and the first and second vertical transfer units 2B and 2A, the charges of the first and second vertical transfer units 2B and 2A are adjacently stored for each vertical unit bit. A control gate 43 for alternately allocating to the dual transfer unit is provided. Therefore, in all-pixel reading, the signal charges of the light receiving units 1 located in odd rows are read to the first vertical transfer unit 2B, and the signal charges of the light receiving units 1 located in even rows are second.
Of the first vertical transfer unit 2B, the signal charge of each first vertical transfer unit 2B is first transferred by the control gate 43 to the adjacent storage / transfer unit 42 of the storage unit 34 alternately. Subsequently, the control gate 43 transfers the signal charges of each second vertical transfer section 2A to the adjacent storage / transfer section 42 of the storage section 34 alternately. Therefore, the signal charges are arranged in the accumulating section 34 in the same arrangement order as the light receiving sections 1, and the lower half of the accumulating section 34 accumulates the signal charges in the odd rows and the upper half accumulates the signal charges in the even rows. Thereafter, the signal charges of the odd-numbered rows are read from the storage section 34 to the horizontal transfer section 3 in the first field period, and the signal charges of the even-numbered rows are read in the next second field period. In this configuration, the period in which the driving of the first and second vertical transfer units 2B and 2A in the image pickup unit 32 is stopped is extremely short only during high-speed transfer (so-called frame shift transfer) in which the image pickup unit 32 transfers to the storage unit 34. Since it is time, it is possible to avoid the occurrence of dark current unevenness together with the smear component.

【0032】第9の発明に係る固体撮像装置において
は、蓄積部34が第1及び第2の垂直転送部2B及び2
Aの2列毎に1つの蓄積兼転送部52を有する蓄積部で
あるので、全画素読み出しにおいて、奇数行に位置する
受光部1の信号電荷が第1の垂直転送部2Bに読み出さ
れ、偶数行に位置する受光部1の信号電荷が第2の垂直
転送部2Aに読み出された後、先ず、各第1の垂直転送
部2Bの信号電荷が蓄積部34の各対応する蓄積兼転送
部52に転送され、次に各第2の垂直転送部2Aの信号
電荷が蓄積部34の上記と同じ蓄積兼転送部52に転送
される。従って、蓄積部34では、下半分に奇数行に対
応する信号電荷が、上半分には偶数行に対応する信号電
荷が蓄積される。以後は、水平転送部3から奇数行の信
号電荷が読み出された後に、偶数行の信号電荷が読み出
されるようになされ、このとき、奇数行、偶数行共に、
信号電荷は2ライン毎に水平転送部3に転送されて水平
転送部3内で受光部の配列順序に対応する配列順序にし
て読み出される。この構成では、撮像部32の2列の垂
直転送部2に対して蓄積部34で垂直転送部52を1本
とすることで、蓄積部34における垂直転送部52の転
送効率を向上することができる。構造もより簡単化され
る。
In the solid-state image pickup device according to the ninth aspect of the invention, the storage section 34 includes the first and second vertical transfer sections 2B and 2B.
Since this is a storage unit having one storage / transfer unit 52 for every two columns of A, in all pixel reading, the signal charges of the light receiving units 1 located in odd rows are read to the first vertical transfer unit 2B, After the signal charges of the light receiving portions 1 located in the even rows are read out to the second vertical transfer portions 2A, first, the signal charges of the respective first vertical transfer portions 2B are stored and transferred in the storage portions 34 respectively. Then, the signal charges of the second vertical transfer units 2A are transferred to the same unit / storage unit 52 of the storage unit 34 as described above. Therefore, in the accumulation unit 34, the signal charges corresponding to the odd rows are accumulated in the lower half and the signal charges corresponding to the even rows are accumulated in the upper half. After that, the signal charges of the odd-numbered rows are read out from the horizontal transfer unit 3, and then the signal charges of the even-numbered rows are read out.
The signal charges are transferred to the horizontal transfer unit 3 every two lines and read out in the horizontal transfer unit 3 in an arrangement order corresponding to the arrangement order of the light receiving units. In this configuration, the vertical transfer unit 52 in the storage unit 34 is provided as one vertical transfer unit 52 for the two vertical transfer units 2 in the image capturing unit 32, so that the transfer efficiency of the vertical transfer unit 52 in the storage unit 34 can be improved. it can. The structure is also simplified.

【0033】第10の発明に係る固体撮像装置において
は、第1及び第2の垂直転送部2B及び2Aを第1、第
2及び第3の3つの電極7,8及び9で1ビットを構成
するので、3相駆動方式とすることができる。
In the solid-state image pickup device according to the tenth aspect of the present invention, the first and second vertical transfer sections 2B and 2A constitute one bit by the first, second and third electrodes 7, 8 and 9. Therefore, the three-phase drive system can be adopted.

【0034】第11の発明に係る固体撮像装置において
は、第1及び第2の電極7及び8を水平方向に配線し、
第3の電極9を垂直方向に配線し、第3の電極9を第1
の垂直転送部2Bと第2の垂直転送部2Aとで電気的に
独立させることにより、この第3の電極9によって第1
の垂直転送部2Bと第2の垂直転送部2Aを分離するこ
とができ、インターレース読み出しを可能にする。
In the solid-state image pickup device according to the eleventh invention, the first and second electrodes 7 and 8 are wired in the horizontal direction,
Wire the third electrode 9 in the vertical direction, and connect the third electrode 9 to the first electrode.
By making the vertical transfer section 2B and the second vertical transfer section 2A electrically independent of each other, the third electrode 9 allows
The vertical transfer unit 2B and the second vertical transfer unit 2A can be separated from each other, and interlaced reading can be performed.

【0035】[0035]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0036】図1〜図6は本発明をインターライントラ
ンスファ(IT)型の固体撮像装置に適用した場合の第
1実施例である。
1 to 6 show a first embodiment of the present invention applied to an interline transfer (IT) type solid-state image pickup device.

【0037】本例のIT型固体撮像装置11は、図1に
示すように、行列状に配列された複数の受光部1と、各
受光部列(n列)を挟むように配置されたCCD構造の
複数(n+1本)の垂直転送レジスタ2〔2A,2B〕
と、各垂直転送レジスタ2の終段に接続されたCCD構
造の水平転送レジスタ3と、水平転送レジスタ3の終段
に接続された出力部4を有して成る。駆動時において
は、奇数ライン及び偶数ラインの全受光部(画素)1か
らの信号電荷〔1,2,3,‥‥15,16〕を同時に
垂直転送レジスタ2に読み出すが、このとき奇数ライン
及び偶数ライン毎に夫々対応する受光部1の信号電荷
を、奇数列もしくは偶数列の垂直転送レジスタ2Aもし
くは2Bに振り分けて読み出す。
As shown in FIG. 1, the IT type solid-state image pickup device 11 of the present embodiment has a plurality of light receiving portions 1 arranged in a matrix and a CCD arranged so as to sandwich each light receiving portion row (n rows). Multiple (n + 1) vertical transfer registers 2 [2A, 2B] of structure
And a horizontal transfer register 3 having a CCD structure connected to the final stage of each vertical transfer register 2 and an output unit 4 connected to the final stage of the horizontal transfer register 3. At the time of driving, the signal charges [1, 2, 3, ... 15, 16] from all the light receiving portions (pixels) 1 of the odd line and the even line are read out to the vertical transfer register 2 at the same time. The signal charges of the light receiving unit 1 corresponding to each even line are distributed and read out to the vertical transfer registers 2A or 2B in the odd columns or the even columns.

【0038】即ち図示の例では、奇数ラインの受光部1
の信号電荷〔1,2,3,4,9,10,11,12〕
を偶数列の垂直転送レジスタ2B1 ,2B2 に夫々読み
出し、また、偶数ラインの受光部1の信号電荷〔5,
6,7,8,13,14,15,16〕を奇数列の垂直
転送レジスタ2A1 ,2A2 ,2A3 に夫々読み出す。
従って、垂直転送レジスタ2B1 には両側の受光部から
の信号電荷〔1,2,9,10〕が、垂直転送レジスタ
2B2 には両側の受光部1からの信号電荷〔3,4,1
1,12〕が読み出され、垂直転送レジスタ2Aには片
側の受光部1からの信号電荷〔5,13〕が垂直転送レ
ジスタ2A2 には両側の受光部1からの信号電荷〔6,
7,14,15〕が、垂直転送レジスタ2A3 には片側
の受光部1からの信号電荷〔8,16〕が読み出される
(図1参照)。
That is, in the example shown in the figure, the light receiving portion 1 of the odd line
Signal charge [1, 2, 3, 4, 9, 10, 11, 12]
To the vertical transfer registers 2B 1 and 2B 2 in the even columns, and the signal charges [5, 5
6, 7, 8, 13, 14, 15, 16] are read to the vertical transfer registers 2A 1 , 2A 2 and 2A 3 of odd-numbered columns, respectively.
Thus, the signal charges from both sides of the light receiving portion in the vertical transfer register 2B 1 [1, 2, 9, 10] is, both sides of the signal charges from the light receiving portion 1 to the vertical transfer register 2B 2 [3,4,1
1, 12] are read out, and the signal charges [5, 13] from the light receiving section 1 on one side are stored in the vertical transfer register 2A, and the signal charges [6, 6 from the light receiving section 1 on both sides are stored in the vertical transfer register 2A 2 .
7, 14, 15], the signal charges [8, 16] from the light receiving section 1 on one side are read out to the vertical transfer register 2A 3 (see FIG. 1).

【0039】その後、第1フィールドでは図2に示すよ
うに、奇数ラインの信号電荷が読み出された偶数列の垂
直転送レジスタ2B1 ,2B2 のみを駆動して、その奇
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ3へ転送
し、出力部4より第1フィールドのCCD信号を出力す
る。続いて、第2フィールドでは、図3に示すように偶
数ラインの信号電荷が読み出された奇数列の垂直転送レ
ジスタ2A1 ,2A2 ,2A3 のみを駆動して、その偶
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ3へ転送し
出力部4より第2フィールドのCCD信号を出力するよ
うになす。
After that, in the first field, as shown in FIG. 2, only the vertical transfer registers 2B 1 and 2B 2 in the even columns from which the signal charges of the odd lines are read are driven, and only the signal charges of the odd lines are driven. To the horizontal transfer register 3 and the output unit 4 outputs the CCD signal of the first field. Then, in the second field, as shown in FIG. 3, only the vertical transfer registers 2A 1 , 2A 2 and 2A 3 of the odd-numbered columns from which the signal charges of the even lines are read are driven, and the signal charges of the even lines are driven. Only the signal is transferred to the horizontal transfer register 3 and the CCD signal of the second field is output from the output unit 4.

【0040】図4は上記固体撮像装置11における画素
を含む撮像部分の拡大図を示す。斜線5は各受光部1を
区画するチャネルストップ領域、10は各垂直転送レジ
スタ2を構成する埋込みチャネル領域を夫々示す。受光
部1の読み出しゲート部6は、奇数ラインに位置する受
光部1では例えば偶数列の垂直転送レジスタ2B1 ,2
2 側に、偶数ラインに位置する受光部1では例えば奇
数列の垂直転送レジスタ2A1 ,2A2 ,2A3 側に設
けられる。同じ垂直転送レジスタ2側に設けられる両側
の読み出しゲート部6(即ち同じライン同士の受光部の
読み出しゲート部)は垂直方向に上下にずれた位置に形
成される。
FIG. 4 is an enlarged view of an image pickup portion including pixels in the solid-state image pickup device 11. Shaded lines 5 indicate channel stop regions that partition the respective light receiving portions 1, and 10 indicates embedded channel regions that configure the respective vertical transfer registers 2. The readout gate unit 6 of the light receiving unit 1 is arranged such that, for example, in the light receiving unit 1 located on an odd line, the vertical transfer registers 2B 1 and 2B of even columns are arranged.
On the B 2 side, in the light receiving section 1 located on the even line, for example, it is provided on the vertical transfer registers 2A 1 , 2A 2 , 2A 3 in the odd columns. The read gate portions 6 on both sides provided on the same vertical transfer register 2 side (that is, the read gate portions of the light receiving portions on the same lines) are formed at positions vertically displaced from each other.

【0041】一方、垂直転送レジスタ2〔2A,2B〕
は、第1層目多結晶シリコンによる第1転送電極7、第
2層目多結晶シリコンによる第2転送電極8及び第3層
目多結晶シリコンによる第3転送電極9で1ビットを形
成するように構成される。
On the other hand, the vertical transfer register 2 [2A, 2B]
1 bit is formed by the first transfer electrode 7 made of the first layer polycrystalline silicon, the second transfer electrode 8 made of the second layer polycrystalline silicon, and the third transfer electrode 9 made of the third layer polycrystalline silicon. Is composed of.

【0042】第1転送電極7は、水平方向に延長するよ
うに配線され、且つ垂直転送レジスタ2上では傾斜して
1側の受光部の読み出しゲート部6に跨がるように例え
ば直角三角形状部7aに形成される。
The first transfer electrode 7 is wired so as to extend in the horizontal direction, and is tilted on the vertical transfer register 2 so as to straddle the read gate portion 6 of the light receiving portion on the one side, for example, a right triangle shape. It is formed in the portion 7a.

【0043】第2転送電極8も水平方向に延長するよう
に配線され、且つ垂直転送レジスタ2上では、第1転送
電極7の直角三角形状部7aと第3転送電極9を挟んで
対向するように、傾斜して他側の受光部の読み出しゲー
ト部6に跨がるように同じ直角三角形状部8aに形成さ
れる。
The second transfer electrode 8 is also wired so as to extend in the horizontal direction, and on the vertical transfer register 2, the right triangular portion 7a of the first transfer electrode 7 and the third transfer electrode 9 are opposed to each other. Further, the same right-angled triangular portion 8a is formed so as to be inclined and to straddle the readout gate portion 6 of the light receiving portion on the other side.

【0044】第3転送電極9〔9A,9B〕は垂直方向
に延長するように配線される。この第3転送電極9は奇
数列の垂直転送レジスタ2Aと偶数列の垂直転送レジス
タ2Bとで電気的に独立に形成される。
The third transfer electrodes 9 [9A, 9B] are wired so as to extend in the vertical direction. The third transfer electrodes 9 are electrically independent of the vertical transfer registers 2A in the odd columns and the vertical transfer registers 2B in the even columns.

【0045】そして、第1転送電極7には垂直転送クロ
ックパルスφV1 が、第2転送電極8には垂直転送クロ
ックパルスφV2 が、奇数列の垂直転送レジスタ2Aに
対応する第3転送電極9Aには垂直転送クロックパルス
φV3Oが、偶数列の垂直転送レジスタ2Bに対応する第
3転送電極9Bには垂直転送クロックパルスφV3Eが夫
々印加される。従って、この垂直転送レジスタ2はいわ
ゆる3相駆動パルスで駆動される。
[0045] Then, the first transfer electrode 7 is a vertical transfer clock pulse .phi.V 1, third transfer electrodes 9A to the second transfer electrodes 8 is a vertical transfer clock pulse .phi.V 2, corresponding to the vertical transfer registers 2A the odd column vertical transfer clock pulse .phi.V. 3O to is the third transfer electrodes 9B corresponding to the vertical transfer register 2B of the even columns vertical transfer clock pulse .phi.V 3E are respectively applied. Therefore, the vertical transfer register 2 is driven by a so-called three-phase drive pulse.

【0046】図5は、本実施例に係る垂直転送クロック
パルスφV1 ,φV2 ,φV3E,φV3O、シャッタパル
ス、垂直ブランキングパルスV−BLK、及び水平ブラ
ンキングパルスH−BLKのタイミングチャートを示
す。
FIG. 5 is a timing chart of the vertical transfer clock pulses φV 1 , φV 2 , φV 3E , φV 3O , the shutter pulse, the vertical blanking pulse V-BLK, and the horizontal blanking pulse H-BLK according to this embodiment. Indicates.

【0047】また、図6は、図5の拡大タイミングチャ
ートを示す。なお、図5のタイミング〜と図6のタ
イミング〜は対応している。
FIG. 6 shows an enlarged timing chart of FIG. Note that the timings in FIG. 5 and the timings in FIG. 6 correspond to each other.

【0048】次に、図4〜図6を用いて更に詳しく上記
第1実施例に係るIT型固体撮像装置11の動作を説明
する。
Next, the operation of the IT type solid-state image pickup device 11 according to the first embodiment will be described in more detail with reference to FIGS.

【0049】先ず、垂直ブランキング期間T1 におい
て、第1転送電極7及び第2転送電極8に印加される読
み出しパルス12により、各受光部1で光電変換された
信号電荷が全画素同時に受光部1から垂直転送レジスタ
2に読み出される。このとき、第3転送電極9A,9B
に印加される垂直転送クロックパルスφV3O,φV3E
低レベルにすることで、図4に示すように、偶数ライン
の受光部1では例えば左側の受光部1の信号電荷〔6〕
が垂直転送レジスタ2A2 の第2転送電極8a下に、右
側の受光部1の信号電極〔7〕が同じ垂直転送レジスタ
2A2 の第1転送電極7a下に夫々読み出され、他方、
奇数ラインの受光部1では例えば左側の受光部1の信号
電荷
First, in the vertical blanking period T 1 , by the read pulse 12 applied to the first transfer electrode 7 and the second transfer electrode 8, the signal charges photoelectrically converted in each light receiving unit 1 are received by all the pixels at the same time. It is read from 1 to the vertical transfer register 2. At this time, the third transfer electrodes 9A and 9B
Vertical transfer clock pulse .phi.V. 3O applied to, by the .phi.V 3E to a low level, as shown in FIG. 4, the light receiving unit 1, for example, the left signal charges of the light receiving portion 1 of the even-numbered lines (6)
Is below the second transfer electrode 8a of the vertical transfer register 2A 2, the right signal electrodes (7) of the light receiving portion 1 of each read under the first transfer electrode 7a in the same vertical transfer register 2A 2, on the other hand,
In the light receiving unit 1 of the odd line, for example, the signal charge of the left light receiving unit 1

〔9〕が垂直転送レジスタ2B1 の第2転送電極8
a下に、右側の受光部1の信号電極〔10〕が同じ垂直
転送レジスタ2B1 の第1転送電極7a下に夫々読み出
される等して、同一ラインの2画素の信号電荷が対応す
る垂直転送レジスタ2A,2Bに垂直方向に互いに2分
されるようにして読み出される。
[9] is the second transfer electrode 8 of the vertical transfer register 2B 1 .
The signal charges [10] of the light receiving section 1 on the right side are read under the first transfer electrodes 7a of the same vertical transfer register 2B 1 under a, and the signal charges of two pixels on the same line correspond to the corresponding vertical transfer. The registers 2A and 2B are read so as to be bisected in the vertical direction.

【0050】次いで、第1フィールドでは奇数列の垂直
転送レジスタ2A〔2A1 ,2A2,2A3 〕の第3転
送電極9Aに印加される垂直転送パルスφV3Eを3値の
うちの最も高レベルに固定してこの垂直転送レジスタ2
Aでの電荷転送を停止した状態で、第1転送電極7、第
2転送電極8、第3転送電極9Bに印加される垂直転送
パルスφV1 ,φV2 ,φV3Oによって、偶数列の垂直
転送レジスタ2B〔2B1 ,2B2 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間T2 で奇数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に垂直転送レジスタ2Bから水平転送レジス
タ3に転送する。
Next, in the first field, the vertical transfer pulse φV 3E applied to the third transfer electrode 9A of the vertical transfer registers 2A [2A 1 , 2A 2 , 2A 3 ] in odd columns is set to the highest level of three values. Fixed to this vertical transfer register 2
Vertical transfer of even columns is performed by vertical transfer pulses φV 1 , φV 2 , and φV 3O applied to the first transfer electrode 7, the second transfer electrode 8, and the third transfer electrode 9B while the charge transfer at A is stopped. Only the register 2B [2B 1 , 2B 2 ] is driven, and only the signal charges of the odd lines are transferred from the vertical transfer register 2B to the horizontal transfer register 3 line by line in the horizontal blanking period T 2 .

【0051】ここで、垂直転送レジスタ2B内には同一
ラインの2画素の信号電荷が垂直方向に上下2段に存し
ているため、水平ブランキング期間T2 内において垂直
転送レジスタ2Bから水平転送レジスタ3へ2段分の転
送が行われる。これにより水平転送レジスタ3内には同
一ラインに対応して信号電荷〔1,2,3,4〕,
〔9,10,11,12〕の配列順序が得られ、以後、
水平転送レジスタ3内を転送して出力部4から第1フィ
ールドのCCD信号が出力される。
Since the signal charges of the two pixels on the same line are vertically present in the vertical transfer register 2B in the upper and lower two stages, the horizontal transfer from the vertical transfer register 2B is performed in the horizontal blanking period T 2 . Transfer for two stages to the register 3 is performed. As a result, in the horizontal transfer register 3, signal charges [1, 2, 3, 4],
An array order of [9, 10, 11, 12] is obtained, and thereafter,
After the transfer in the horizontal transfer register 3, the CCD signal of the first field is output from the output unit 4.

【0052】次いで、第2フィールドでは、逆に偶数列
の垂直転送レジスタ2B〔2B1 ,2B2 〕の第3転送
電極9Bの垂直転送パルスφV3Oを3値のうちの最も高
いレベルに固定して偶数列の垂直転送レジスタ2Bでの
電荷転送を停止した状態で、第1転送電極7、第2転送
電極8、第3転送電極9Aに印加される垂直転送φ
1 ,φV2 ,φV3Eによって、奇数列の垂直転送レジ
スタ2A〔2A1 ,2A2,2A3 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間T2 で偶数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に、垂直転送レジスタ2Aから水平転送レジ
スタ3に転送する。
Next, in the second field, on the contrary, even columns
Vertical transfer register 2B [2B1, 2B2] Third transfer
Vertical transfer pulse φV of electrode 9B3OIs the highest of the three values
Fixed to a certain level and the vertical transfer registers 2B in the even columns
The first transfer electrode 7 and the second transfer in the state where the charge transfer is stopped.
Vertical transfer φ applied to the electrode 8 and the third transfer electrode 9A
V 1, ΦV2, ΦV3EDepending on the vertical transfer register
Star 2A [2A1, 2A2, 2A3] Only drive water
Flat blanking period T2Only the signal charge of the even lines
For each line, the horizontal transfer register from the vertical transfer register 2A
Transfer to Star 3.

【0053】この場合も、水平ブランキング期間T2
において垂直転送レジスタ2Aから水平転送レジスタ3
へ2段分の信号電荷の転送が行われ、これにより、水平
転送レジスタ内には同一ラインに対応した配列の順序の
信号電荷〔5,6,7,8〕,〔13,14,15,1
6〕が得られ、以後、水平転送レジスタ内を転送して出
力部4から第2フィールドのCCD信号が出力される。
In this case as well, the vertical transfer register 2A to the horizontal transfer register 3 within the horizontal blanking period T 2 .
The signal charges of two stages are transferred to the signal charges [5, 6, 7, 8], [13, 14, 15,] in the order of arrangement corresponding to the same line in the horizontal transfer register. 1
6] is obtained, and thereafter, the data is transferred in the horizontal transfer register and the CCD signal of the second field is output from the output unit 4.

【0054】上述のIT型固体撮像装置11によれば、
受光蓄積期間が1フレーム期間であって全画素同時読み
出しでありながら、インターレース走査(読み出し)を
行うことが可能になる。また、全画素同時読み出しで且
つインターレース読み出しであるので、フレーム期間
(受光蓄積期間)内の特定の時点でシャッタパルス13
(図5参照)を印加して基板側に電荷を掃き出す方式の
電子シャッタを行えば、フルフレーム電子シャッタが可
能である。受光部1からの信号電荷の読み出し時期は、
奇数フィールド、偶数フィールド共に同じ時期であるた
め、高速シャッタ時にも画ずれを生ずることがない。
According to the IT type solid-state image pickup device 11 described above,
It is possible to perform interlace scanning (reading) while the light receiving and accumulating period is one frame period and simultaneous reading is performed for all pixels. Further, since all pixels are simultaneously read and interlaced reading is performed, the shutter pulse 13 is read at a specific time point within the frame period (light reception accumulation period).
A full-frame electronic shutter is possible by applying an electric shutter (see FIG. 5) to sweep out electric charges to the substrate side. The timing of reading out the signal charges from the light receiving unit 1 is
Since the odd-numbered field and the even-numbered field are at the same time, the image shift does not occur even at the high speed shutter.

【0055】尚、図4において、チャネルストップ領域
5のパターンを変えて各受光部列の各読み出しゲート部
6を一方の垂直転送レジスタ側のみに設けるようになせ
ば、全画素読み出して2つの水平転送レジスタから各2
水平ラインづつの信号電荷を独立に読み出すようにした
所謂プログレッシブ走査を行わせることが可能になる。
In FIG. 4, if the pattern of the channel stop region 5 is changed so that each read gate section 6 of each light receiving section row is provided only on one vertical transfer register side, all pixels are read out and two horizontal rows are read out. 2 from transfer register
It is possible to perform so-called progressive scanning in which the signal charges of each horizontal line are independently read.

【0056】また、上記図4の構造でも駆動の工夫でプ
ログレッシブ走査は当然可能である。
Also, with the structure of FIG. 4 described above, progressive scanning is naturally possible by devising driving.

【0057】なお、固体撮像装置をIT型で構成した場
合の問題点は、1フィールド期間垂直転送レジスタ2の
駆動を止めることになるため、スミア成分や暗電流成分
の不要電荷が垂直転送レジスタ2に蓄積され、垂直転送
レジスタ2毎のばらつきによりむら状になることであ
る。これを避けるためにはFIT型にすれば良い。
A problem in the case where the solid-state image pickup device is configured by the IT type is that the driving of the vertical transfer register 2 is stopped for one field period, so that unnecessary charges of the smear component and the dark current component are generated in the vertical transfer register 2. Is accumulated in the vertical transfer register 2 and becomes uneven due to variations in each vertical transfer register 2. To avoid this, the FIT type may be used.

【0058】図7〜図13は、夫々本発明をFIT型固
体撮像装置に適用した場合の第2実施例〜第4実施例で
ある。
FIGS. 7 to 13 are the second to fourth embodiments in which the present invention is applied to a FIT type solid-state image pickup device, respectively.

【0059】図7に示す第2実施例に係るFIT型固体
撮像装置31は、複数の受光部1が、行列状に配列さ
れ、各受光部列(n列)を挟むようにCCD構造の複数
(n+1本)の垂直転送レジスタ2〔2A,2B〕が配
置されてなる撮像部32と、撮像部32の垂直転送レジ
スタ2に対応した複数(n+1本)のCCD構造の垂直
転送レジスタ即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ
33〔33A,33B〕を有する蓄積部34と、CCD
構造の水平転送レジスタ3と、水平転送レジスタ3の終
段に接続された出力部4とを有して成る。蓄積部34の
垂直転送レジスタ33は撮像部32の垂直転送レジスタ
2を延長して形成される。
In the FIT type solid-state image pickup device 31 according to the second embodiment shown in FIG. 7, a plurality of light receiving parts 1 are arranged in a matrix, and a plurality of CCD structures are arranged so as to sandwich each light receiving part row (n rows). An image pickup section 32 in which (n + 1) vertical transfer registers 2 [2A, 2B] are arranged, and a plurality of (n + 1) vertical transfer registers of CCD structure corresponding to the vertical transfer registers 2 of the image pickup section 32, that is, storage and storage A storage unit 34 having a vertical transfer register 33 [33A, 33B] for transfer, and a CCD
It has a horizontal transfer register 3 having a structure and an output section 4 connected to the final stage of the horizontal transfer register 3. The vertical transfer register 33 of the storage unit 34 is formed by extending the vertical transfer register 2 of the imaging unit 32.

【0060】撮像部32では、例えば図4と同様に、奇
数ラインに位置する受光部1の信号電荷が偶数列の垂直
転送レジスタ2B〔2B1 ,2B2 〕に読み出され、偶
数ラインに位置する受光部1の信号電荷が奇数列の垂直
転送レジスタ2A〔2A1 ,2A2 ,2A3 〕に読み出
されるように構成される。
In the image pickup section 32, as in the case of FIG. 4, for example, the signal charges of the light receiving section 1 located on the odd line are read out to the vertical transfer registers 2B [2B 1 , 2B 2 ] of the even column, and are located on the even line. The signal charges of the light receiving section 1 are read out to the vertical transfer registers 2A [2A 1 , 2A 2 , 2A 3 ] of odd columns.

【0061】撮像部32及び蓄積部34の垂直転送レジ
スタ2及び33における転送電極は、図4で示したと同
様に形成される。即ち、第1層目多結晶シリコンの第1
転送電極7及び第2層目多結晶シリコンの第2転送電極
8が水平方向に延長するように形成され、第3層目多結
晶シリコンの第3転送電極9が両垂直転送レジスタ2及
び22に共通となるように垂直方向に延長して形成され
る。
The transfer electrodes in the vertical transfer registers 2 and 33 of the image pickup section 32 and the storage section 34 are formed in the same manner as shown in FIG. That is, the first layer of the first-layer polycrystalline silicon
The transfer electrode 7 and the second transfer electrode 8 of the second-layer polycrystalline silicon are formed so as to extend in the horizontal direction, and the third transfer electrode 9 of the third-layer polycrystalline silicon is formed in both vertical transfer registers 2 and 22. It is formed by extending in the vertical direction so as to be common.

【0062】そして、例えば奇数列の第3転送電極9A
に垂直転送パルスφIM3Oを印加し、偶数列の第3転送
電極9Bに垂直転送パルスφIM3Eを印加し、撮像部3
2における第1転送電極7及び第2転送電極9に夫々垂
直転送パルスφIM1 及びφIM2 を印加して撮像部3
2ではφIM1 ,φIM2 とφIM3O又はφIM3Eによ
る3相駆動方式となす。また、蓄積部34における第1
転送電極7及び第2転送電極8に垂直転送クロックパル
スφST1 及びφST2 を印加し、蓄積部32ではφS
1 ,φST2とφIM3O又はφIM3Eによる3相駆動
方式となす。
Then, for example, the third transfer electrodes 9A in odd columns
The vertical transfer pulse φIM 3O is applied to the third transfer electrode 9B in the even-numbered column, and the vertical transfer pulse φIM 3E is applied to the third transfer electrode 9B in the even-numbered column.
The vertical transfer pulses φIM 1 and φIM 2 are applied to the first transfer electrode 7 and the second transfer electrode 9 of the image pickup unit 3, respectively.
In No. 2 , the three-phase drive system is used with φIM 1 , φIM 2 and φIM 3O or φIM 3E . In addition, the first in the storage unit 34
Vertical transfer clock pulses φST 1 and φST 2 are applied to the transfer electrode 7 and the second transfer electrode 8, and φS is applied to the storage section 32.
It is a three-phase drive system using T 1 , φST 2 and φIM 3O or φIM 3E .

【0063】図9は、第2実施例に係るFIT型固体撮
像装置31の垂直転送パルスφIM 1 ,φIM2 ,φS
1 ,φST2 ,φIM3E,φIM3O及び垂直ブランキ
ングパルスV−BLKのタイミングチャートを示す。
FIG. 9 shows a FIT type solid-state imaging device according to the second embodiment.
Vertical transfer pulse φIM of image device 31 1, ΦIM2, ΦS
T1, ΦST2, ΦIM3E, ΦIM3OAnd vertical blanket
7 shows a timing chart of the ing pulse V-BLK.

【0064】この第2実施例では、垂直ブランキング期
間T1 の所定時点において、φIM 1 及びφIM2 の読
み出しパルス12により、各受光部1の信号電荷が、全
画素同時に対応する垂直転送レジスタ2に読み出され
る。即ち、奇数ラインの受光部1の信号電荷〔1,2,
3,4,9,10,11,12〕が夫々対応する偶数列
の垂直転送レジスタ2B1 ,2B2 に、偶数ラインの受
光部の信号電荷〔5,6,7,8,13,14,15,
16〕が夫々対応する奇数列の垂直転送レジスタ2
1 ,2A2 ,2A3 に読み出される。
In the second embodiment, the vertical blanking period
Interval T1ΦIM 1And φIM2Reading
By the projecting pulse 12, the signal charge of each light receiving section 1 is completely
The pixels are read out to the corresponding vertical transfer register 2 at the same time.
It That is, the signal charges [1, 2,
3, 4, 9, 10, 11, 12] correspond to even columns
Vertical transfer register 2B1, 2B2To receive even lines
Signal charge [5, 6, 7, 8, 13, 14, 15,
16] corresponds to the vertical transfer registers 2 of the odd-numbered columns
A1, 2A2, 2A3Read out.

【0065】次に、信号電荷は、各垂直転送パルスφI
1 ,φIM2 ,φIM3O,φIM 3E,φST1 ,φS
2 におけるフレームシフト転送パルス36により、フ
レームシフト転送期間T3 内に撮像部32から蓄積部3
4の垂直転送レジスタ33〔33A,33B〕に高速転
送される。
Next, the signal charge is the vertical transfer pulse φI.
M1, ΦIM2, ΦIM3O, ΦIM 3E, ΦST1, ΦS
T2The frame shift transfer pulse 36 at
Lame shift transfer period T3From the imaging unit 32 to the storage unit 3
4 high-speed transfer to the vertical transfer register 33 [33A, 33B]
Will be sent.

【0066】次いで、第1フィールドのラインシフト転
送期間T4 では蓄積部34における垂直転送パルスφI
3Eを3値のうちの最も高いレベル37に固定して奇数
列の垂直転送レジスタ33A〔33A1 ,33A2 ,3
3A3 〕の電荷転送を停止した状態で、垂直転送パルス
φST1 ,φST2 及びφIM3Oにおけるラインシフト
転送パルス38により偶数列の垂直転送レジスタ33B
1 ,33B2 の信号電荷のみを水平転送レジスタ3に転
送する(図7参照)。
Next, in the line shift transfer period T 4 of the first field, the vertical transfer pulse φI in the storage section 34 is
By fixing M 3E to the highest level 37 of the three values, the vertical transfer registers 33A [33A 1 , 33A 2 , 3 of odd-numbered columns are fixed.
3A 3 ] while the charge transfer of 3A 3 ] is stopped, the vertical transfer registers 33B in even columns are driven by the line shift transfer pulse 38 in the vertical transfer pulses φST 1 , φST 2 and φIM 3O .
Only the signal charges of 1 , 33B 2 are transferred to the horizontal transfer register 3 (see FIG. 7).

【0067】このときも、上例と同様に垂直転送レジス
タ内33B1 ,33B2 の垂直方向に存する同一ライン
の2画素の信号電荷例えば〔1,2〕,〔3,4〕を水
平ブランキング期間内において、垂直転送レジスタ33
1 ,33B2 から水平転送レジスタ3へ2段分の転送
をなし、水平転送レジスタ3内で同一ラインに対応する
信号電荷の配列順序〔例えば1,2,3,4〕とする。
このようにして2相の水平転送パルスφH1 ,φH2
より水平転送レジスタ3内を転送して出力部4から第1
フィールドのCCD信号を出力する。
Also at this time, similarly to the above example, the signal charges of, for example, [1, 2], [3, 4] of two pixels on the same line in the vertical direction in the vertical transfer registers 33B 1 and 33B 2 are horizontally blanked. Within the period, the vertical transfer register 33
Two stages are transferred from B 1 and 33B 2 to the horizontal transfer register 3, and the arrangement order of signal charges corresponding to the same line in the horizontal transfer register 3 [for example, 1, 2, 3, 4].
In this way, the two-phase horizontal transfer pulses φH 1 and φH 2 are transferred in the horizontal transfer register 3 so that the output section 4 outputs the first signal.
The CCD signal of the field is output.

【0068】次に、第2フィールドのラインシフト転送
期間T5 では、蓄積部34における垂直転送パルスφI
3Oを3値のうちの最も高いレベル37に固定して偶数
列の垂直転送レジスタ33B1 ,33B2 の電荷転送を
停止した状態で、垂直転送パルスφST1 ,φST2
びφIM3Eにおけるラインシフト転送パルス38により
奇数列の垂直転送レジスタ33A1 ,33A2 ,33A
3 の信号電荷のみを水平転送レジスタ3に転送する(図
8参照)。
Next, in the line shift transfer period T 5 of the second field, the vertical transfer pulse φI in the storage section 34 is transferred.
Line shift in vertical transfer pulses φST 1 , φST 2 and φIM 3E with M 3O fixed at the highest level 37 of the three values and charge transfer of vertical column transfer registers 33B 1 and 33B 2 in even columns being stopped. By the transfer pulse 38, the vertical transfer registers 33A 1 , 33A 2 , 33A of odd-numbered columns
3 the signal charge only to the horizontal transfer register 3 (see FIG. 8).

【0069】このときも、垂直転送レジスタ33A1
33A2 ,33A3 の信号電荷を水平ブランキング期間
内に垂直転送レジスタ33A1 ,33A2 ,33A3
ら水平転送レジスタ3へ2段分の転送をなし、水平転送
レジスタ3内で同一ラインに対応する信号電荷の配列順
序〔例えば5,6,7,8〕とする。このようにして水
平転送レジスタ3を通して出力部4から第2フィールド
のCCD信号を出力する。
Also at this time, the vertical transfer registers 33A 1 ,
The signal charges of 33A 2 and 33A 3 are transferred from the vertical transfer registers 33A 1 , 33A 2 , 33A 3 to the horizontal transfer register 3 for two stages within the horizontal blanking period, and correspond to the same line in the horizontal transfer register 3. The signal charges are arranged in the order [5, 6, 7, 8]. In this way, the CCD signal of the second field is output from the output unit 4 through the horizontal transfer register 3.

【0070】その後、余剰電荷掃き出し転送期間T6
おいて、各垂直転送パルスφIM1,φIM2 ,φST
1 ,φST2 ,φIM3E,φIM3Oにおける余剰電荷掃
き出し転送パルス39により撮像部32の垂直転送レジ
スタ2内に残留するスミア成分、暗電流成分等の余剰電
荷を蓄積部34に掃き出し、更に、図示せざるも水平転
送レジスタ3及びゲート部を通って水平転送レジスタの
下側に配されたドレイン領域に掃き出される。
Thereafter, in the surplus charge sweep-out transfer period T 6 , each vertical transfer pulse φIM 1 , φIM 2 , φST.
Excessive charges such as smear component and dark current component remaining in the vertical transfer register 2 of the imaging unit 32 are swept to the storage unit 34 by the surplus charge sweep-out transfer pulse 39 in 1 , φST 2 , φIM 3E , and φIM 3O , and further, FIG. Although not shown, it is swept out to the drain region arranged below the horizontal transfer register through the horizontal transfer register 3 and the gate portion.

【0071】なお、垂直転送パルスφIMとφSTを共
通(φIM1 =φST1 ,φIM2=φST2 )とする
こともできる。また、φIM1 とφIM2 ではラインシ
フト転送期間T4 ,T5 のラインシフト転送パルス38
をなくし、一定レベルに固定するようにしてもよい。
The vertical transfer pulses φIM and φST can be made common (φIM 1 = φST 1 , φIM 2 = φST 2 ). Further, in φIM 1 and φIM 2 , the line shift transfer pulse 38 in the line shift transfer periods T 4 and T 5 is used.
May be eliminated and fixed at a fixed level.

【0072】この第2実施例に係るFIT型固体撮像装
置31では、上側と同様に、全画素同時読み出しで且つ
インターレース走査(読み出し)を行うことができ、フ
ルフレーム電子シャッタが可能となる。そして、FIT
型に構成されるので、IT型に比べてスミア成分を低減
することができる。但し、蓄積部34で1フィールド期
間転送が停止するため、垂直転送レジスタ33〔33
A,33B〕の暗電流が発生する懼れがある。
In the FIT type solid-state image pickup device 31 according to the second embodiment, all pixels can be simultaneously read out and interlaced scanning (reading) can be performed similarly to the upper side, and a full frame electronic shutter can be realized. And FIT
Since it is configured as a mold, smear components can be reduced compared to the IT type. However, since the storage unit 34 stops the transfer for one field period, the vertical transfer register 33 [33
A, 33B] dark current is generated.

【0073】図10及び図11は、本発明の第3実施例
に係るFIT型固体撮像装置41を示す。
10 and 11 show a FIT type solid-state image pickup device 41 according to the third embodiment of the present invention.

【0074】本例は、図10に示すように、複数の受光
部1が行列状に配列され、各受光部列(n列)を挟むよ
うにCCD構造の複数(n+1本)の垂直転送レジスタ
2〔2A,2B〕が配置されてなる撮像部32と、撮像
部32の垂直転送レジスタ2に対応した複数(実質的に
はn本で十分)のCCD構造の垂直転送レジスタ、即ち
蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ42〔42A,4
2B〕を有する蓄積部34と、撮像部32及び蓄積部3
4間にあって撮像部32の各1つの垂直転送レジスタ2
の信号電荷を蓄積部34の隣合う2つの垂直転送レジス
タ42A,42Bに振り分けるためのコントロールゲー
ト部43と、CCD構造の水平転送レジスタ3と、水平
転送レジスタ3の終段に接続された出力部4とを有して
成る。
In this example, as shown in FIG. 10, a plurality of (n + 1) vertical transfer registers having a CCD structure in which a plurality of light receiving portions 1 are arranged in a matrix and each light receiving portion row (n rows) is sandwiched therebetween. 2 [2A, 2B] are arranged, and a plurality of (substantially n) CCD vertical transfer registers corresponding to the vertical transfer registers 2 of the imaging unit 32, that is, storage and transfer. Vertical transfer register 42 [42A, 4
2B], the image pickup unit 32, and the storage unit 3
4 and each one vertical transfer register 2 of the image pickup unit 32.
Control gate section 43 for allocating the signal charges of the above to the two adjacent vertical transfer registers 42A and 42B of the storage section 34, the horizontal transfer register 3 of CCD structure, and the output section connected to the final stage of the horizontal transfer register 3. 4 and.

【0075】この撮像部32は、前述の第2実施例と同
様に構成することができ、その第1転送電極及び第2転
送電極に夫々垂直転送クロックパルスφIM1 及びφI
2が印加され、奇数列及び偶数列の第3転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφIM3O及びφIM3Eが印加
される。
The image pickup section 32 can be constructed in the same manner as in the second embodiment, and the vertical transfer clock pulses φIM 1 and φI are respectively applied to the first transfer electrodes and the second transfer electrodes thereof.
M 2 is applied, and vertical transfer clock pulses φIM 3O and φIM 3E are applied to the third transfer electrodes in the odd and even columns, respectively.

【0076】コントロールゲート部43にはコントロー
ルゲートパルスφcontが印加される。
A control gate pulse φ cont is applied to the control gate section 43.

【0077】蓄積部34の垂直転送レジスタ42は、例
えば第1層目、第2層目及び第3層目の多結晶シリコン
からなる第1、第2、第3の転送電極を有し、夫々の第
1、第2及び第3の転送電極に3相の垂直転送クロック
パルスφST1 ,φST2 及びφST3 が印加される。
The vertical transfer register 42 of the storage section 34 has, for example, first, second and third transfer electrodes made of polycrystalline silicon in the first, second and third layers, respectively. Three-phase vertical transfer clock pulses φST 1 , φST 2, and φST 3 are applied to the first, second, and third transfer electrodes.

【0078】水平転送レジスタ3には2相の水平転送ク
ロックパルスφH1 及びφH2 が印加される。
Two-phase horizontal transfer clock pulses φH 1 and φH 2 are applied to the horizontal transfer register 3.

【0079】図11は、この第3実施例に係るFIT型
固体撮像装置41の垂直転送パルスφIM1 ,φI
2 ,φIM3E,φIM3O、コントロールゲートパルス
φcont及び垂直ブランキングパルスV−BLKのタイミ
ングチャートを示す。
FIG. 11 shows vertical transfer pulses φIM 1 and φI of the FIT type solid-state image pickup device 41 according to the third embodiment.
7 shows a timing chart of M 2 , φIM 3E , φIM 3O , control gate pulse φ cont, and vertical blanking pulse V-BLK.

【0080】この第3実施例では、垂直ブランキング期
間T1 の所定時点において、φIM 1 ,φIM2 の読み
出しパルス12により全画素同時に、即ち、奇数ライン
の受光部1の信号電荷が偶数列の垂直転送レジスタ2B
1 ,2B2 に、偶数ラインの受光部1の信号電荷が奇数
列の垂直転送レジスタ2A1 ,2A2 ,2A3 に夫々読
み出される。
In the third embodiment, in the vertical blanking period
Interval T1ΦIM 1, ΦIM2Reading
All pixels at the same time by the output pulse 12, that is, odd lines
The signal charges of the light receiving section 1 of
1, 2B2And the signal charge of the light receiving unit 1 on the even line is odd
Column vertical transfer register 2A1, 2A2, 2A3Read to each
To be found.

【0081】次に、読み出された垂直転送レジスタ2の
信号電荷をフレームシフト転送期間T3 で各垂直転送パ
ルスφIM1 ,φIM2 ,φIM3O,φIM3E,φST
1 ,φST2 ,φST3 及びコントロールゲートパルス
φcontにおけるフレームシフト転送パルス36により、
撮像部32から蓄積部34の垂直転送レジスタ42に高
速転送する。
Next, the read signal charges of the vertical transfer register 2 are transferred to the vertical transfer pulses φIM 1 , φIM 2 , φIM 3O , φIM 3E and φST during the frame shift transfer period T 3.
1 , φST 2 , φST 3 and the frame shift transfer pulse 36 in the control gate pulse φ cont
High-speed transfer from the image pickup unit 32 to the vertical transfer register 42 of the storage unit 34.

【0082】このとき、フレームシフト転送期間T3
前半では垂直転送パルスφIM3Eを3値のうちの最も高
いレベル37に固定して偶数列の垂直転送レジスタ2B
1 ,2B2 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部43によって垂直転送レジスタ2B1 ,2
2 内で垂直方向の上下に分離している同一ラインの2
画素の信号電荷を蓄積部34の対応する2つの隣合う垂
直転送レジスタ42A 1 と42B1 ,42A2 と42B
2 に振り分けるように高速転送する。これによって蓄積
部34の垂直転送レジスタ42A1 〜42B2 の下半分
に奇数ラインの信号電荷が各ライン毎に水平に配列され
た状態〔1,2,3,4〕,〔9,10,11,12〕
で蓄積される。
At this time, the frame shift transfer period T3of
Vertical transfer pulse φIM in the first half3EIs the highest of the three values
Fixed to level 37 and vertical transfer register 2B for even columns
1, 2B2Transfer only the signal charge of
Vertical transfer register 2B1, 2
B22 of the same line that is vertically separated inside
The signal charge of the pixel is stored in the storage unit 34 in two adjacent columns.
Direct transfer register 42A 1And 42B1, 42A2And 42B
2High-speed transfer so as to distribute to. Accumulated by this
Vertical transfer register 42A of unit 341~ 42B2Lower half
The signal charges of odd lines are arranged horizontally in each
State [1, 2, 3, 4], [9, 10, 11, 12]
Accumulated in.

【0083】続く、フレームシフト期間T3 の後半では
垂直転送パルスφIM3Oを3値のうちの最も高いレベル
37に固定して奇数列の垂直転送レジスタ2A1 ,2A
2 ,2A3 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部43によって例えば垂直転送レジスタ2A
2 内で垂直方向の上下に分離されている同一ラインの2
画素の信号電荷を蓄積部34の対応する2つの隣合う垂
直転送レジスタ43B 1 と42A2 に振り分けるように
高速転送する。これによって、蓄積部34の垂直転送レ
ジスタ42A1 〜42B2 の上半分に偶数ラインの信号
電荷が各ライン毎に水平に配列された状態〔5,6,
7,8〕,〔13,14,15,16〕で蓄積される。
Subsequent frame shift period T3In the second half of
Vertical transfer pulse φIM3OThe highest of the three values
Fixed to 37, vertical transfer register 2A in odd-numbered columns1, 2A
2, 2A3Transfer only the signal charge of
For example, the vertical transfer register 2A
22 of the same line that is vertically separated inside
The signal charge of the pixel is stored in the storage unit 34 in two adjacent columns.
Direct transfer register 43B 1And 42A2To distribute to
Transfer at high speed. As a result, the vertical transfer record of the storage unit 34 is
Dista 42A1~ 42B2Even line signal in the upper half
The state where the charges are arranged horizontally for each line [5, 6,
7, 8], [13, 14, 15, 16].

【0084】しかる後、第1フィールドのラインシフト
転送期間T4 で、蓄積部34の垂直転送パルスφST1
〜φST3 のラインシフト転送パルス38により奇数ラ
インの信号電荷が水平転送レジスタ3に転送され出力部
4を通して第1フィールドのCCD信号が出力され、続
いて第2フィールドのラインシフト転送期間T5 で偶数
ラインの信号電荷が水平転送レジスタ4に転送され、出
力部4を通じて第2フィールドのCCD信号が出力され
る。
Then, in the line shift transfer period T 4 of the first field, the vertical transfer pulse φST 1 of the storage section 34 is transferred.
The signal charges of the odd lines are transferred to the horizontal transfer register 3 by the line shift transfer pulse 38 of ˜φST 3 , the CCD signal of the first field is output through the output unit 4, and then in the line shift transfer period T 5 of the second field. The signal charges of the even lines are transferred to the horizontal transfer register 4, and the CCD signal of the second field is output through the output unit 4.

【0085】なお、このラインシフト転送時、撮像部3
2の垂直転送パルスφIM1 ,φIM2 ,φIM3E,φ
IM3O及びコントロールゲートパルスφcontは図11に
示す一定電位に固定されるが、また、動作させてもよ
い。
During the line shift transfer, the image pickup unit 3
Two vertical transfer pulses φIM 1 , φIM 2 , φIM 3E , φ
IM 3O and the control gate pulse φ cont are fixed to the constant potential shown in FIG. 11, but may be operated.

【0086】その後、垂直ブランキング期間T1 内の余
剰電荷掃き出し転送期間T6 で余剰電荷掃き出し転送パ
ルス39により撮像部32の垂直転送レジスタ2内の余剰
電荷を蓄積部34に掃き出す。
After that, during the surplus charge sweep-out transfer period T 6 within the vertical blanking period T 1 , the surplus charge in the vertical transfer register 2 of the image pickup section 32 is swept out to the accumulating section 34 by the surplus charge sweep-out transfer pulse 39 .

【0087】この第3実施例では、上例と同様に全画素
読み出しで且つインターレース走査(読み出し)を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
In the third embodiment, all pixels can be read and interlaced scanning (reading) can be performed as in the above example, and a full frame electronic shutter can be realized.

【0088】そして、スミア成分の低減が図れると共
に、特に、信号電荷を垂直転送レジスタ2で停止させる
期間がフレームシフト転送期間(高速転送時)のみで極
短時間であるため暗電流の問題も生じない。
Further, the smear component can be reduced, and in particular, the period of stopping the signal charges in the vertical transfer register 2 is only a frame shift transfer period (during high-speed transfer) and is extremely short, so that a problem of dark current occurs. Absent.

【0089】さらに、コントロールゲート部43を設け
て撮像部32から蓄積部34へのフレームシフト転送時
に同一ラインの信号電荷を水平に並べ変えているので、
ラインシフト転送では1段の転送で可能となり、ライン
シフト転送が容易となる。
Furthermore, since the control gate unit 43 is provided to horizontally rearrange the signal charges on the same line during frame shift transfer from the image pickup unit 32 to the storage unit 34,
Line shift transfer can be performed by one-stage transfer, and line shift transfer becomes easy.

【0090】図12及び図13は、本発明の第4実施例
に係るFIT型固体撮像装置51を示す。
12 and 13 show a FIT type solid-state image pickup device 51 according to the fourth embodiment of the present invention.

【0091】本例は、図12に示すように、複数の受光
部1が行列状に配列され、各受光部(n列)を挟むよう
にCCD構造の複数(n+1本)の垂直転送レジスタ2
〔2A,2B〕が配置されてなる撮像部32と、撮像部
32における各2列の垂直転送レジスタ2に対し1本の
垂直転送レジスタが対応するように複数のCCD構造の
垂直転送レジスタ、即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レ
ジスタ52〔52A1,52B1 ,52A2 〕を有する
蓄積部34と、CCD構造の水平転送レジスタ3と、水
平転送レジスタ3の終段に接続された出力部4とを有し
て成る。本例では、撮像部の各2列の垂直転送レジスタ
2と蓄積部の各1本の垂直転送レジスタ52が接続され
る形となる。
In this example, as shown in FIG. 12, a plurality of light receiving portions 1 are arranged in a matrix, and a plurality of (n + 1) vertical transfer registers 2 having a CCD structure are arranged so as to sandwich each light receiving portion (n columns).
[2A, 2B] are arranged, and a plurality of vertical transfer registers of CCD structure, that is, one vertical transfer register corresponds to each two vertical transfer registers 2 in the imaging unit 32, that is, A storage unit 34 having a vertical transfer register 52 [52A 1 , 52B 1 , 52A 2 ] for storage and transfer, a horizontal transfer register 3 having a CCD structure, and an output unit 4 connected to the final stage of the horizontal transfer register 3. Comprising. In this example, the vertical transfer registers 2 in each of the two columns of the imaging unit and the vertical transfer register 52 in each of the storage units are connected.

【0092】撮像部32は、第2実施例と同様に構成す
ることができ、その第1転送電極及び第2転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφIM1 及びφIM2 が印加
され、奇数列及び偶数列の第3転送電極に夫々垂直転送
クロックパルスφIM3O及びφIM3Eが印加される。
The image pickup section 32 can be constructed in the same manner as in the second embodiment. Vertical transfer clock pulses φIM 1 and φIM 2 are applied to the first transfer electrode and the second transfer electrode of the image pickup section 32, respectively, and odd columns and even columns are applied. Vertical transfer clock pulses φIM 3O and φIM 3E are applied to the third transfer electrodes of the column, respectively.

【0093】蓄積部34の垂直転送レジスタ52は、例
えば第1層目、第2層目及び第3層目の多結晶シリコン
からなる第1、第2及び第3の転送電極を有し、夫々の
第1、第2及び第3の転送電極に3相の垂直転送クロッ
クパルスφST〔φST1 ,φST2 及びφST3 〕が
印加される。
The vertical transfer register 52 of the storage section 34 has first, second and third transfer electrodes made of, for example, first layer, second layer and third layer polycrystalline silicon. A three-phase vertical transfer clock pulse φST [φST 1 , φST 2 and φST 3 ] is applied to the first, second and third transfer electrodes of.

【0094】水平転送レジスタには、2相の水平転送ク
ロックパルスφH1 及びφH2 が印加される。
Two-phase horizontal transfer clock pulses φH 1 and φH 2 are applied to the horizontal transfer register.

【0095】図13は、この第4実施例に係るFIT型
固体撮像装置51の垂直転送パルスφIM1 ,φI
2 ,φIM3E,φIM3O,φST(φST1 ,φST
2 ,φST3 )、垂直ブランキングパルスV−BLKの
タイミングチャートを示す。
FIG. 13 shows vertical transfer pulses φIM 1 and φI of the FIT type solid-state image pickup device 51 according to the fourth embodiment.
M 2 , φIM 3E , φIM 3O , φST (φST 1 , φST
2 , φST 3 ) and a vertical blanking pulse V-BLK timing chart.

【0096】この第4実施例では、垂直ブランキング期
間T1 の所定時点において、φIM 1 ,φIM2 の読み
出しパルス12により、全画素同時に読み出され、即ち
奇数ラインの受光部1の信号電荷が偶数列の垂直転送レ
ジスタ2B1 ,2B2 に、偶数ラインの受光部の信号電
荷が奇数列の垂直転送レジスタ2A1 ,2A2 ,2A 3
に夫々読み出される。
In the fourth embodiment, in the vertical blanking period
Interval T1ΦIM 1, ΦIM2Reading
All the pixels are read out simultaneously by the output pulse 12, that is,
The signal charge of the light receiving unit 1 on the odd line is transferred to the vertical transfer line on the even column.
Dista 2B1, 2B2The signal voltage of the light-receiving
Vertical transfer register 2A with odd number of loads1, 2A2, 2A 3
Are read respectively.

【0097】次に、読み出された垂直転送レジスタ2の
信号電荷を垂直ブランキング期間T 1 内のフレームシフ
ト転送期間T3 に、各垂直転送パルスφIM1 ,φIM
2 ,φIM3O,φIM3E,φST(φST1 ,φS
2 ,φST3 )におけるフレームシフト転送パルス3
6により、信号電荷が撮像部32から蓄積部34の垂直
転送レジスタ52に高速転送される。
Next, the read vertical transfer register 2
Vertical blanking period T of signal charge 1Inside frame shift
Transfer period T3, Each vertical transfer pulse φIM1, ΦIM
2, ΦIM3O, ΦIM3E, ΦST (φST1, ΦS
T2, ΦST3) Frame shift transfer pulse 3
6, the signal charge is transferred vertically from the image pickup unit 32 to the storage unit 34.
It is transferred at high speed to the transfer register 52.

【0098】このとき、フレームシフト転送期間T3
前半では垂直転送パルスφIM3Eを3値のうちの最も高
いレベル37に固定して偶数列の垂直転送レジスタ2B
1 ,2B2 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応する
垂直転送レジスタ52B1 ,52A2 に高速転送する。
これにより、蓄積部34の各垂直転送レジスタ52
1 ,52A2 の下半分に奇数ラインの信号電荷が同一
ラインの2画素の信号電荷を上下に配列するようにして
蓄積される。
At this time, the frame shift transfer period T3of
Vertical transfer pulse φIM in the first half3EIs the highest of the three values
Fixed to level 37 and vertical transfer register 2B for even columns
1, 2B2Only the signal charges of the even lines existing in
Vertical transfer register 52B1, 52A2Fast transfer to.
As a result, each vertical transfer register 52 of the storage unit 34 is
B 1, 52A2The signal charge of the odd line is the same in the lower half
The signal charges of the two pixels in the line should be arranged vertically
Accumulated.

【0099】続く、フレームシフト転送期間T3 の後半
では垂直転送パルスφIM3Oを3値のうちの最も高いレ
ベル37に固定して奇数列の垂直転送レベル2A1 ,2
2,2A3 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応す
る垂直転送レジスタ52A1,52B1 ,52A2 に高
速転送する。これにより、蓄積部34の各垂直転送レジ
スタ52A1 ,52B1 ,52A2 の上半分に偶数ライ
ンの信号電荷が同一ラインの2画素の信号電荷を上下に
配列するようにして蓄積される。
In the subsequent second half of the frame shift transfer period T 3 , the vertical transfer pulse φIM 3O is fixed to the highest level 37 of the three values, and the vertical transfer levels 2A 1 , 2 of the odd columns are set.
Only the signal charges of the even lines existing in A 2 and 2A 3 are transferred at high speed to the corresponding vertical transfer registers 52A 1 , 52B 1 and 52A 2 . As a result, the signal charges of even lines are accumulated in the upper half of each vertical transfer register 52A 1 , 52B 1 , 52A 2 of the accumulation unit 34 so that the signal charges of two pixels of the same line are arranged vertically.

【0100】次いで、第1フィールドのラインシフト転
送期間T4 で蓄積部34の垂直転送パルスφST1 〜φ
ST3 のラインシフト転送パルス38により、奇数ライ
ンの信号電荷が水平転送レジスタ3に転送される。この
とき、水平ブランキング期間内で2段分の転送が行わ
れ、水平転送レジスタ3内で信号電荷が同一ラインに対
応する配列順序とされる。このようにして一ライン毎に
水平転送レジスタ3内を転送し出力部4から第1フィー
ルドのCCD信号が出力される。
Next, in the line shift transfer period T 4 of the first field, the vertical transfer pulses φST 1 to φ φ of the storage section 34 are transferred.
By the line shift transfer pulse 38 of ST 3 , the signal charges of the odd lines are transferred to the horizontal transfer register 3. At this time, the transfer of two stages is performed within the horizontal blanking period, and the signal charges are arranged in the horizontal transfer register 3 in the arrangement order corresponding to the same line. In this way, the data in the horizontal transfer register 3 is transferred line by line, and the CCD signal of the first field is output from the output unit 4.

【0101】続いて、第2フィールドのラインシフト転
送期間T5 で偶数ラインの信号電荷が同様にして水平転
送レジスタ3に転送され、出力部4から第2フィールド
のCCD信号が出力される。その後、垂直ブランキング
期間内の余剰電荷掃き出し転送期間T6 で、余剰電荷掃
き出し転送パルス39により撮像部32の垂直転送レジ
スタ2内の余剰電荷を蓄積部に掃き出す。
Subsequently, in the line shift transfer period T 5 of the second field, the signal charges of the even lines are similarly transferred to the horizontal transfer register 3, and the CCD signal of the second field is output from the output section 4. After that, in the surplus charge sweep-out transfer period T 6 within the vertical blanking period, the surplus charge in the vertical transfer register 2 of the image pickup unit 32 is swept out to the accumulation unit by the surplus charge sweep-out transfer pulse 39.

【0102】この第4実施例では、上例と同様に全画素
読み出しで且つインターレース走査(読み出し)を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
そして、図10と同様に、スミア成分が低減すると共
に、信号電荷を垂直転送レジスタ2で停止させる期間が
フレームシフト転送期間(高速転送時)のみで極く短時
間であるため暗電流の問題も生じない。さらに、撮像部
32の2列の垂直転送レジスタ2を、蓄積部34で1本
の垂直転送レジスタ52とすることで蓄積部34の垂直
転送レジスタ52の転送効率を向上することができる。
構造も比較的簡単化できる。
In the fourth embodiment, all pixels can be read and interlaced scanning (reading) can be performed as in the above example, and a full frame electronic shutter can be realized.
Then, as in the case of FIG. 10, the smear component is reduced, and the period in which the signal charges are stopped in the vertical transfer register 2 is an extremely short period only during the frame shift transfer period (during high-speed transfer). Does not happen. Furthermore, the vertical transfer registers 2 in the two columns of the image pickup unit 32 are replaced by one vertical transfer register 52 in the storage unit 34, whereby the transfer efficiency of the vertical transfer registers 52 in the storage unit 34 can be improved.
The structure can be relatively simplified.

【0103】尚、ラインシフト転送期間中の、φI
1 ,φIM2 ,φIM3O,φIM3Eは図示のように所
定電位に固定したが、ラインシフト転送パルス38を駆
動することも可能である。
During the line shift transfer period, φI
Although M 1 , φIM 2 , φIM 3O , and φIM 3E are fixed to predetermined potentials as shown in the figure, it is also possible to drive the line shift transfer pulse 38.

【0104】さらに、垂直転送パルスφST1 ,φST
2 を垂直転送パルスφIM1 ,φIM2 に代用(φIM
1 =φST1 ,φIM2 =φST2 )することも可能で
ある。
Further, vertical transfer pulses φST 1 and φST
2 is substituted for vertical transfer pulses φIM 1 and φIM 2 (φIM
1 = φST 1 , φIM 2 = φST 2 ).

【0105】FIT型固体撮像装置31,41,51に
おいて、電子シャッタとしては、電荷を基板側に掃き出
す方式であっても、垂直転送レジスタ2を通して掃き出
す方式であっても可能である。
In the FIT type solid-state image pickup device 31, 41, 51, the electronic shutter may be a system for sweeping out charges to the substrate side or a system for sweeping out charges through the vertical transfer register 2.

【0106】上述したように、本実施例においては、簡
単な構成で全画素同時読み出し、フルフレーム電子シャ
ッタを可能とすると共に、インターレース読み出しを可
能とするものである。そして、固体撮像装置をFIT型
とするときには、スミアや暗電流の奇数フィールドと偶
数フィールド の差を低減することができる等の実益が
ある。
As described above, in this embodiment, all pixels can be simultaneously read out and a full frame electronic shutter can be performed with a simple structure, and interlaced reading can be performed. Further, when the FIT type solid-state image pickup device is used, there are practical benefits such as reduction of the difference between the odd and even fields of smear and dark current.

【0107】[0107]

【発明の効果】本発明に係る固体撮像装置の駆動方法に
よれば、全画素同時読み出しでありながら、インターレ
ース読み出しを行うことができる。そして、フルフレー
ム電子シャッタを可能とするもので、高速シャッタにお
いても画ずれを生ずることがない。また、本発明に係る
固体撮像装置によれば、比較的簡単な構成で、全画素同
時読み出しで且つインターレース読み出しを実現するこ
とができる。
According to the driving method of the solid-state image pickup device of the present invention, it is possible to perform the interlaced readout while performing the simultaneous readout of all pixels. Further, the full-frame electronic shutter is enabled, and the image shift does not occur even in the high-speed shutter. Further, according to the solid-state image pickup device of the present invention, it is possible to realize simultaneous read-out of all pixels and interlaced read-out with a relatively simple configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るIT型固体撮像装置(第1実施
例)の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an IT type solid-state imaging device (first embodiment) according to the present invention.

【図2】第1実施例の動作説明図(その1)である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram (1) of the first embodiment.

【図3】第1実施例の動作説明図(その2)である。FIG. 3 is an operation explanatory diagram (2) of the first embodiment.

【図4】図1の要部の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a main part of FIG.

【図5】第1実施例の駆動パルスのタイミングチャート
である。
FIG. 5 is a timing chart of drive pulses according to the first embodiment.

【図6】図5を拡大したタイミングチャートである。6 is an enlarged timing chart of FIG.

【図7】本発明に係るFIT型固体撮像装置(第2実施
例)の構成図兼動作説明図(その1)である。
FIG. 7 is a configuration diagram and operation explanatory diagram (No. 1) of a FIT type solid-state imaging device (second embodiment) according to the present invention.

【図8】第2実施例の動作説明図(その2)である。FIG. 8 is an operation explanatory diagram (2) of the second embodiment.

【図9】第2実施例の駆動パルスのタイミングチャート
である。
FIG. 9 is a timing chart of drive pulses according to the second embodiment.

【図10】本発明に係るFIT型固体撮像装置(第3実
施例)の構成図兼動作説明図である。
FIG. 10 is a configuration diagram and operation explanatory diagram of a FIT type solid-state imaging device (third embodiment) according to the present invention.

【図11】第3実施例の駆動パルスのタイミングチャー
トである。
FIG. 11 is a timing chart of drive pulses according to the third embodiment.

【図12】本発明に係るFIT型固体撮像装置(第4実
施例)の構成図兼動作説明図である。
FIG. 12 is a configuration diagram and operation explanatory diagram of a FIT type solid-state imaging device (fourth embodiment) according to the present invention.

【図13】第4実施例の駆動パルスのタイミングチャー
トである。
FIG. 13 is a timing chart of drive pulses according to the fourth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 受光部 2〔2A1 ,2B1 ,2A2 ,2B2 ,2A3 〕 垂直
転送レジスタ 3 水平転送レジスタ 4 出力部 5 チャネルストップ領域 6,7,8 転送電極 9 埋込みチャネル領域 11,31,41,51 固体撮像装置 32 撮像部 33〔33A1 ,33B1 ,33A2 ,33B2 ,33
3 〕 垂直転送レジスタ 34 蓄積部 42〔42A1 ,42B1 ,42A2 ,42B2 〕 垂
直転送レジスタ 43 コントロールゲート部 52〔52A1 ,52B1 ,52A2 〕 垂直転送レジ
スタ
1 light receiving part 2 [2A 1 , 2B 1 , 2A 2 , 2B 2 , 2A 3 ] vertical transfer register 3 horizontal transfer register 4 output part 5 channel stop area 6, 7, 8 transfer electrode 9 buried channel area 11, 31, 41 , 51 solid-state imaging device 32 imaging unit 33 [33A 1 , 33B 1 , 33A 2 , 33B 2 , 33
A 3 ] Vertical transfer register 34 Storage unit 42 [42A 1 , 42B 1 , 42A 2 , 42B 2 ] Vertical transfer register 43 Control gate unit 52 [52A 1 , 52B 1 , 52A 2 ] Vertical transfer register

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 行列状に配された複数の受光部と、該受
光部の一つ置きの列間に配された第1の垂直転送部と該
受光部の残りの一つ置きの列間に配された第2の垂直転
送部と、前記第1及び第2の垂直転送部よりの電荷を水
平方向に転送する水平転送部とを有する固体撮像装置の
駆動方法において、一行置きに位置する第1の受光部群
の信号電荷を前記第1の垂直転送部に、残りの一行置き
に位置する第2の受光部群の信号電荷を前記第2の垂直
転送部に読み出すようにしたことを特徴とする固体撮像
装置の駆動方法。
1. A plurality of light-receiving units arranged in a matrix, a first vertical transfer unit arranged between every other column of the light-receiving units, and a space between every other column of the light-receiving units. In a method for driving a solid-state image pickup device, which has a second vertical transfer section arranged in a row and a horizontal transfer section for horizontally transferring the charges from the first and second vertical transfer sections, every other row. The signal charges of the first light receiving unit group are read out to the first vertical transfer unit, and the signal charges of the second light receiving unit group located on the other row are read out to the second vertical transfer unit. A method of driving a characteristic solid-state imaging device.
【請求項2】 固体撮像装置がFIT型である請求項1
に記載の固体撮像装置の駆動方法。
2. The solid-state imaging device is of FIT type.
7. A method for driving the solid-state image pickup device according to.
【請求項3】 第1の受光部群の信号電荷と第2の受光
部群の信号電荷とを同時に読み出す請求項1又は請求項
2に記載の固体撮像装置の駆動方法。
3. The method for driving a solid-state imaging device according to claim 1, wherein the signal charges of the first light receiving unit group and the signal charges of the second light receiving unit group are read simultaneously.
【請求項4】 第1の垂直転送部の信号電荷転送期間
中、第2の垂直転送部の信号電荷転送を停止し、前記第
2の垂直転送部の信号電荷転送期間中、前記第1の垂直
転送部の信号電荷転送を停止する請求項1、請求項2又
は請求項3に記載の固体撮像装置の駆動方法。
4. The signal charge transfer of the second vertical transfer unit is stopped during the signal charge transfer period of the first vertical transfer unit, and the first charge transfer period of the first vertical transfer unit is stopped during the signal charge transfer period of the second vertical transfer unit. The method for driving a solid-state imaging device according to claim 1, 2, or 3, wherein the signal charge transfer of the vertical transfer unit is stopped.
【請求項5】 水平ブランキング期間中に第1又は第2
の垂直転送部の垂直2ビット分を水平転送部に転送する
請求項1、請求項2、請求項3又は請求項4に記載の固
体撮像装置の駆動方法。
5. The first or second during the horizontal blanking period.
2. The method for driving a solid-state image pickup device according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein two vertical bits of the vertical transfer unit are transferred to the horizontal transfer unit.
【請求項6】 行列状に配された複数の受光部と、該受
光部の一つ置きの列間に配された第1の垂直転送部及び
該受光部の残りの一つ置きの列間に配された第2の垂直
転送部と、前記第1及び第2の垂直転送部よりの電荷を
水平方向に転送する水平転送部とを有する固体撮像装置
において、 前記受光部の電荷を前記垂直転送部に読み出す読み出し
ゲート部が、奇数行に位置する受光部では前記第1の垂
直転送部側に、偶数行に位置する受光部では前記第2の
垂直転送部側に設けられていることを特徴とする固体撮
像装置。
6. A plurality of light-receiving units arranged in a matrix, a first vertical transfer unit arranged between every other column of the light-receiving units, and a space between every other column of the light-receiving units. In the solid-state imaging device, the solid-state imaging device includes a second vertical transfer unit arranged in a vertical direction, and a horizontal transfer unit that horizontally transfers charges from the first and second vertical transfer units. The read gate section to be read out to the transfer section is provided on the first vertical transfer section side in the light receiving sections located in the odd rows, and on the second vertical transfer section side in the light receiving sections located in the even rows. A characteristic solid-state imaging device.
【請求項7】 第1及び第2の垂直転送部と水平転送部
との間に蓄積部を有する請求項6に記載の固体撮像装
置。
7. The solid-state imaging device according to claim 6, further comprising a storage unit between the first and second vertical transfer units and the horizontal transfer unit.
【請求項8】 蓄積部は第1及び第2の垂直転送部の1
列毎に1つの蓄積兼転送部を有し、前記蓄積部と前記第
1及び第2の垂直転送部との間には第1及び第2の垂直
転送部の電荷を垂直単位ビット毎に隣合う前記蓄積兼転
送部に交互に振り分ける制御ゲートが設けられた請求項
7に記載の固体撮像装置。
8. The storage unit is one of the first and second vertical transfer units.
There is one storage / transfer unit for each column, and the charges of the first and second vertical transfer units are adjacent to each other for each vertical unit bit between the storage unit and the first and second vertical transfer units. The solid-state imaging device according to claim 7, further comprising a control gate that is alternately allocated to the matching storage and transfer unit.
【請求項9】 蓄積部は第1及び第2の垂直転送部の2
列毎に1つの蓄積兼転送部を有する請求項7に記載の固
体撮像装置。
9. The storage unit comprises two of the first and second vertical transfer units.
The solid-state imaging device according to claim 7, wherein each column has one accumulation / transfer unit.
【請求項10】 第1及び第2の垂直転送部は第1、第
2及び第3の3つの電極で1ビットを構成する請求項
6、請求項7、請求項8又は請求項9に記載の固体撮像
装置。
10. The method according to claim 6, wherein the first and second vertical transfer units form one bit by the first, second and third electrodes. Solid-state imaging device.
【請求項11】 第1及び第2の電極は水平方向に配線
され、第3の電極は垂直方向に配線され、前記第3の電
極は第1の垂直転送部と第2の垂直転送部とで電気的に
独立である請求項10に記載の固体撮像装置。
11. The first and second electrodes are arranged in a horizontal direction, the third electrode is arranged in a vertical direction, and the third electrode is composed of a first vertical transfer section and a second vertical transfer section. The solid-state imaging device according to claim 10, wherein the solid-state imaging device is electrically independent of each other.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002030109A1 (en) * 2000-10-03 2002-04-11 Sony Corporation Imaging device an imaging method
US7719573B2 (en) 2000-10-03 2010-05-18 Sony Corporation Device and method for processing photographic image data
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