JPH08136472A - Defect detecting apparatus - Google Patents
Defect detecting apparatusInfo
- Publication number
- JPH08136472A JPH08136472A JP6271163A JP27116394A JPH08136472A JP H08136472 A JPH08136472 A JP H08136472A JP 6271163 A JP6271163 A JP 6271163A JP 27116394 A JP27116394 A JP 27116394A JP H08136472 A JPH08136472 A JP H08136472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical image
- path
- inspected
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 117
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、鉄や非鉄、化学材料な
どの例えばシート状の被検査物の欠陥、例えば塗装ムラ
や色ムラ、気泡等を検出する欠陥検出装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect detecting device for detecting defects such as sheet-like inspected objects such as iron, non-ferrous metals and chemical materials, such as coating unevenness, color unevenness and bubbles.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の欠陥検出装置について、図４を参
照して説明する。2. Description of the Related Art A conventional defect detecting device will be described with reference to FIG.
【０００３】４１は、鉄や鋼、紙などある幅をもったシ
ート状の被検査物である。被検査物４１は、モータなど
の駆動源（図示せず）を利用して例えば矢印Ｙ方向に順
次送り出される。また、被検査物４１の幅方向に直線状
に広がる領域Ｚには、光源４２から照明光４３が線状に
照射されている。そして、照明光４３が照射された領域
Ｚの光学画像が例えば２台のカメラ装置４４ａ、４４ｂ
に入力される。このとき、シート状の被検査物４１はそ
の幅方向にほぼ等しく２分され、各カメラ装置４４ａ、
４４ｂには、領域Ｚのほぼ半分の光学画像がそれぞれ入
力される。なお、各カメラ装置４４ａ、４４ｂは例えば
ラインセンサと機能している。そして、各カメラ装置４
４ａ、４４ｂの視野は、入力される被検査物４１の画像
に漏れがないように、中央部分で一部が重畳する形にな
っている。Reference numeral 41 is a sheet-like object to be inspected having a certain width such as iron, steel and paper. The inspected object 41 is sequentially sent out, for example, in the arrow Y direction by using a drive source (not shown) such as a motor. The illumination light 43 is linearly irradiated from the light source 42 to the region Z that linearly extends in the width direction of the inspection object 41. Then, the optical image of the area Z irradiated with the illumination light 43 is, for example, two camera devices 44a and 44b.
Is input to At this time, the sheet-shaped inspection object 41 is divided into two equal parts in the width direction, and each camera device 44a,
Optical images of almost half of the area Z are input to 44b. Each of the camera devices 44a and 44b functions as a line sensor, for example. Then, each camera device 4
The visual fields of 4a and 44b are formed so that a part thereof overlaps at the central portion so that the input image of the inspection object 41 is not leaked.
【０００４】各カメラ装置４４ａ、４４ｂに入力される
光学画像は電気信号に変換され、出力される。そして、
各カメラ装置４４ａ、４４ｂの出力は信号処理装置４５
に加えられる。信号処理装置４５では、各カメラ装置４
４ａ、４４ｂから送られる電気信号をもとに画像解析が
行われ、被検査物４１の欠陥が検出される。The optical image input to each camera device 44a, 44b is converted into an electrical signal and output. And
The output of each camera device 44a, 44b is the signal processing device 45.
Is added to In the signal processing device 45, each camera device 4
Image analysis is performed on the basis of the electric signals sent from 4a and 44b, and a defect of the inspection object 41 is detected.
【０００５】なお、被検査物４１は一定方向に順に送り
出されてくる。したがって、欠陥が検出される領域が順
に移動し、被検査物の欠陥が全体に亘って検査されるこ
とになる。The object 41 to be inspected is sequentially sent out in a fixed direction. Therefore, the areas where defects are detected move in sequence, and the defects of the inspection object are inspected over the entire area.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、欠陥を検出
しようとするシート状の被検査物としては、鉄や非鉄、
化学材料、紙などいろいろな種類があり、またその幅も
広いものから狭いものまでさまざまである。鉄などの場
合は、その幅がかなり広いものがある。被検査物の幅が
広くなると、カメラ装置の視野を広くとる必要があり、
カメラ装置と被検査物との距離が長くなる。By the way, as a sheet-shaped inspection object for detecting a defect, iron or non-ferrous metal,
There are various types such as chemical materials and papers, and the range is wide and narrow. In the case of iron, the width is quite wide. When the width of the object to be inspected becomes wider, it is necessary to widen the field of view of the camera device,
The distance between the camera device and the inspection object becomes long.
【０００７】図５は、欠陥検出装置を横方向から見た概
略の構成で、５１はシート状の被検査物、５２は光源、
５３は照明光、そして、５４がカメラ装置である。この
ような構成で、被検査物５１の幅が５〜６ｍになると、
カメラ装置５４は、その視野を広くする必要からカメラ
装置５４を設置する高さＨは２〜３ｍ程度になる。ま
た、照明光４３が照射された領域Ｚからカメラ装置５４
までの幅Ｗも２〜３ｍ程度と長くなる。そして、カメラ
装置４４の高さが高くなると、カメラ装置５４を固定す
る架台が大きくなり、広い設置場所が必要となる。ま
た、カメラ装置５４の調整も高い位置での作業となり、
作業性が悪くなる。また、横方向の幅Ｗが大きくなる
と、その分、横方向に広いスペースが必要となる。FIG. 5 shows a schematic configuration of the defect detecting apparatus as viewed from the lateral direction. Reference numeral 51 is a sheet-like inspection object, 52 is a light source,
Reference numeral 53 is illumination light, and 54 is a camera device. With such a configuration, when the width of the inspection object 51 becomes 5 to 6 m,
Since the camera device 54 needs to have a wide field of view, the height H at which the camera device 54 is installed is about 2 to 3 m. Further, from the area Z where the illumination light 43 is irradiated, the camera device 54
The width W up to about 2 to 3 m becomes long. Then, as the height of the camera device 44 increases, the pedestal for fixing the camera device 54 increases, and a large installation place is required. Also, the adjustment of the camera device 54 is a work at a high position,
Workability deteriorates. Further, as the width W in the horizontal direction increases, a correspondingly wider space in the horizontal direction is required.
【０００８】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、カメラ装置を設置する高さを低くでき、また横方向
のスペースを小さくできる欠陥検出装置を提供すること
を目的とする。The present invention solves the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide a defect detecting apparatus capable of reducing the height at which the camera apparatus is installed and reducing the lateral space.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の欠陥検出装置
は、所定方向に順次送り出される被検査物に照明光を照
射する光源と、この光源によって照明光が照射された領
域の前記被検査物の光学画像の進路に位置し、かつ、前
記被検査物に近付ける方向に前記光学画像の進路を変化
させる光学素子を含む光学装置と、この光学装置を通っ
た前記光学画像が入力され、この光学画像を電気信号に
変換するカメラ装置と、このカメラ装置で変換された電
気信号を処理し、前記被検査物の欠陥を検出する信号処
理装置とから構成されている。SUMMARY OF THE INVENTION A defect detecting apparatus of the present invention comprises a light source for irradiating an object to be inspected, which is sequentially sent out in a predetermined direction, with illumination light, and the object to be inspected in a region irradiated with the illumination light by the light source. Of the optical image, and an optical device including an optical element for changing the path of the optical image in a direction of approaching the object to be inspected, and the optical image that has passed through the optical device is input. It is composed of a camera device that converts an image into an electric signal and a signal processing device that processes the electric signal converted by the camera device and detects a defect of the inspection object.
【００１０】また、所定方向に順次送り出される被検査
物に照明光を照射する光源と、この光源によって照明光
が照射された領域の前記被検査物の光学画像の進路に位
置し、かつ、前記照明光が照射される前記被検査物の領
域側に前記光学画像の進路を変化させる光学素子を持つ
光学装置と、この光学装置を通った前記光学画像が入力
され、この光学画像を電気信号に変換するカメラ装置
と、このカメラ装置で変換された電気信号を処理し、前
記被検査物の欠陥を検出する信号処理装置とから構成さ
れている。Further, a light source for illuminating the object to be inspected, which is sequentially sent out in a predetermined direction, and an optical image of the object to be inspected in a region irradiated with the illuminating light by the light source, and An optical device having an optical element that changes the path of the optical image on the side of the region of the object to be inspected irradiated with illumination light, and the optical image that has passed through the optical device are input, and the optical image is converted into an electrical signal. It is composed of a camera device for conversion and a signal processing device for processing the electric signal converted by the camera device and detecting a defect of the inspection object.
【００１１】また、光学装置が、光学画像を全反射する
全反射鏡を少なくとも含んでいる。また、光学装置が、
光学画像の進路を変化させる複数の光学素子から構成さ
れ、かつ、前記複数の光学素子の位置関係が固定されて
いる。Further, the optical device includes at least a total reflection mirror for totally reflecting the optical image. Also, the optical device
It is composed of a plurality of optical elements that change the path of an optical image, and the positional relationship of the plurality of optical elements is fixed.
【００１２】また、光学装置が、所定の色を中心にした
波長帯域の光を選択的に通過させるフィルタ特性を持っ
ている。Further, the optical device has a filter characteristic for selectively passing light in a wavelength band centered on a predetermined color.
【００１３】[0013]
【作用】上記の構成によれば、照明光が照射された領域
の被検査物の光学画像の進路上に光学装置が配置されて
いる。そして、光学装置によって、被検査物に近付ける
方向に光学画像の進路を変化させている。このように被
検査物に近付ける方向に光学画像の進路を変化させたこ
とにより、光学画像を直進させた場合に比し、カメラ装
置の設置高さを低くできる。According to the above construction, the optical device is arranged on the path of the optical image of the object to be inspected in the area irradiated with the illumination light. Then, the optical device changes the path of the optical image in the direction of approaching the inspection object. By changing the path of the optical image in such a direction as to approach the object to be inspected, the installation height of the camera device can be reduced as compared with the case where the optical image is moved straight.
【００１４】また、照明光が照射される被検査物の領域
側に光学画像の進路を変化させている。この場合、光学
画像の進路が被検査物の検査領域側に戻る形となり、横
方向のスペースを小さくできる。この構成は、被検査物
の検査領域と例えば別工程の装置が接近し、カメラ装置
を設置する横方向の空間に余裕がない場合などに有効で
ある。Further, the path of the optical image is changed to the region side of the object to be inspected which is illuminated with the illumination light. In this case, the path of the optical image returns to the inspection area side of the inspection object, and the lateral space can be reduced. This configuration is effective when, for example, the inspection area of the object to be inspected is close to the device in a different process, and there is no room in the lateral space for installing the camera device.
【００１５】なお、光学装置が、光学画像を全反射する
全反射鏡を持つ場合は、光学画像の進路を被検査物に近
付ける方向に変化させたり、また被検査物の検査領域側
に変化さたりする光学装置を容易に実現できる。また、
光学装置が、複数の光学素子から構成されている場合、
これら複数の光学素子の位置関係を固定しておくことに
より、光学素子間の位置調整が不要になり、調整作業が
容易になる。また、光学装置にフィルタ特性を持たせる
ことにより、被検査物の欠陥の検出が容易になる。When the optical device has a total reflection mirror for totally reflecting the optical image, the optical image path is changed so as to be closer to the object to be inspected, or is changed to the inspection area side of the object to be inspected. The optical device can be easily realized. Also,
If the optical device is composed of multiple optical elements,
By fixing the positional relationship of the plurality of optical elements, position adjustment between the optical elements becomes unnecessary and the adjustment work becomes easy. Further, by providing the optical device with a filter characteristic, it becomes easy to detect a defect of the inspection object.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１を参照
して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００１７】図１は、欠陥検出装置を横方向からみた概
略の構成図で、１１は、鉄などある幅をもったシート状
の被検査物である。なお、被検査物１１は、モータなど
の駆動源（図示せず）を利用して例えば矢印Ｙ方向に順
に送り出される。また、シート状の被検査物１１には、
その幅いっぱいに広がる直線状の領域Ｚに光源１２から
照明光１３が照射されている。そして、照明光１３が照
射された領域の被検査物１１の光学画像は、図のＰ１方
向に進み光学装置１４に入射される。光学装置１４は、
例えば２つの全反射鏡ＭＲ１、ＭＲ２から構成されてい
る。そして、光学装置１４に入射された光学画像は、ま
ず全反射鏡ＭＲ１で全反射される。この全反射により、
光学画像の進路Ｐ２は被検査物１１の方に近づくように
変化する。そして、光学画像は進路Ｐ２に沿って進み、
もう１つの全反射鏡ＭＲ２で全反射され、光学画像の進
路はＰ３に変化する。その後、光学画像はＰ３に沿って
進み、カメラ装置１５に入力される。FIG. 1 is a schematic block diagram of the defect detecting apparatus as seen from the lateral direction, and 11 is a sheet-like inspection object having a certain width such as iron. The inspection object 11 is sequentially sent out in the direction of arrow Y, for example, using a drive source (not shown) such as a motor. Further, the sheet-like inspection object 11 has
Illumination light 13 is emitted from the light source 12 to the linear area Z that extends over the entire width. Then, the optical image of the inspection object 11 in the region irradiated with the illumination light 13 advances in the P1 direction in the drawing and is incident on the optical device 14. The optical device 14 is
For example, it is composed of two total reflection mirrors MR1 and MR2. The optical image incident on the optical device 14 is first totally reflected by the total reflection mirror MR1. By this total reflection,
The path P2 of the optical image changes so as to approach the inspection object 11. Then, the optical image proceeds along the path P2,
It is totally reflected by the other total reflection mirror MR2, and the path of the optical image changes to P3. After that, the optical image advances along P3 and is input to the camera device 15.
【００１８】カメラ装置１５に入力された光学画像は電
気信号に変換され、出力される。そして、カメラ装置１
５から出力される電気信号は信号処理装置１６に加えら
れる。信号処理装置１６では、カメラ装置１５から送ら
れてきた電気信号をもとに、光学画像の画像解析が行わ
れる。そして、光学画像の明度の差などを利用して被検
査物１１の欠陥、例えばメッキムラや表面の傷、油じみ
などが検出される。The optical image input to the camera device 15 is converted into an electric signal and output. Then, the camera device 1
The electrical signal output from 5 is applied to the signal processor 16. The signal processing device 16 performs image analysis of an optical image based on the electric signal sent from the camera device 15. Defects of the inspection object 11 such as uneven plating, scratches on the surface, and oil stains are detected by utilizing the difference in brightness of the optical image.
【００１９】なお、カメラ装置１５はラインセンサとし
て機能している。しかし、被検査物１１の移動に伴い、
カメラ装置１５に入力される被検査物１１の光学画像の
領域が順に移動し、被検査物１１が全体に亘って検査さ
れることになる。The camera device 15 functions as a line sensor. However, with the movement of the inspection object 11,
The region of the optical image of the inspection object 11 input to the camera device 15 sequentially moves, and the inspection object 11 is inspected over the entire area.
【００２０】上記した構成によれば、所定領域の被検査
物の光学画像の進路が光学装置によって、被検査物に近
づく方向に変更されている。この場合、被検査物の撮影
領域からカメラ装置までの距離は、カメラ装置のレンズ
の焦点距離などによって決まり従来例と同じであるが、
光学画像の進路が変更されることによりカメラ装置の位
置を低くできる。なお、この実施例では、１つの全反射
鏡ＭＲ１で光学画像の進路を被検査物１１の方に近づく
ように変化させ、その後、他の全反射鏡ＭＲ２によって
もう一度光学画像の進路を変化させている。このように
光学画像の進路を複数回変化させた場合、カメラ装置の
位置を低くくでき、同時に横方向のスペースも小さくで
きる。According to the above configuration, the path of the optical image of the object to be inspected in the predetermined area is changed by the optical device so as to approach the object to be inspected. In this case, the distance from the imaging area of the object to be inspected to the camera device is determined by the focal length of the lens of the camera device or the like and is the same as the conventional example,
The position of the camera device can be lowered by changing the path of the optical image. In this embodiment, the path of the optical image is changed by one total reflection mirror MR1 so as to approach the object to be inspected 11, and then the path of the optical image is changed again by the other total reflection mirror MR2. There is. In this way, when the path of the optical image is changed a plurality of times, the position of the camera device can be lowered and at the same time the lateral space can be reduced.
【００２１】次に、本発明の他の実施例について、図２
を参照して説明する。なお、図２では、図１と同一部分
には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Will be described with reference to. In FIG. 2, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted.
【００２２】この実施例では、光学装置１４が、２つの
全反射鏡ＭＲ３、ＭＲ４で構成されている。光学画像の
進路Ｐ１は、全反射鏡ＭＲ３によって被検査物に近づく
方向Ｐ２に変更される。そして、全反射鏡ＭＲ４でもう
１度進路が変更され、例えばシート状の被検査物１１の
移動方向と平行にされる。そして、カメラ装置１５に入
力され、電気信号に変換される。なお、カメラ装置１５
から出力される電気信号は信号処理装置１６に加えら
れ、処理される。In this embodiment, the optical device 14 is composed of two total reflection mirrors MR3 and MR4. The path P1 of the optical image is changed by the total reflection mirror MR3 to the direction P2 approaching the inspection object. Then, the course is changed once again by the total reflection mirror MR4, and is made parallel to the moving direction of the sheet-shaped inspection object 11, for example. Then, it is input to the camera device 15 and converted into an electric signal. The camera device 15
The electric signal output from the device is applied to the signal processing device 16 and processed.
【００２３】上記した構成によれば、カメラ装置１５を
被検査物１１の移動方向と平行に配置できる。このた
め、カメラ装置を設置する高さは低くなり、また、カメ
ラ装置の調整作業も容易になり作業性のよい装置が実現
できる。この実施例でも、２つの全反射鏡ＭＲ１、ＭＲ
２を使用し、光学画像の進路を２度変更している。この
場合も、カメラ装置の位置を低くくでき、同時に横方向
のスペースも小さくなっている。According to the above configuration, the camera device 15 can be arranged in parallel with the moving direction of the inspection object 11. Therefore, the height at which the camera device is installed is reduced, and the adjustment work of the camera device is facilitated, so that a device with good workability can be realized. Also in this embodiment, two total reflection mirrors MR1 and MR are provided.
2 is used and the course of the optical image is changed twice. In this case as well, the position of the camera device can be lowered, and at the same time the space in the lateral direction is also reduced.
【００２４】本発明のもう１つの他の実施例について、
図３を参照して説明する。なお、図３では、図１と同一
部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。With respect to another embodiment of the present invention,
This will be described with reference to FIG. Note that, in FIG. 3, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted.
【００２５】この実施例では、光学装置１４が、２つの
全反射鏡ＭＲ５、ＭＲ６で構成されている。そして、全
反射鏡ＭＲ５によって、光学画像の進路Ｐ１が、照明光
１３が照射される被検査物１１の領域Ｚ側、即ち進路Ｐ
２に変更される。この後、もう１つの全反射鏡ＭＲ６に
よって全反射され、進路がＰ３に変更される。In this embodiment, the optical device 14 is composed of two total reflection mirrors MR5 and MR6. Then, by the total reflection mirror MR5, the path P1 of the optical image is on the region Z side of the inspection object 11 to which the illumination light 13 is irradiated, that is, the path P.
Changed to 2. After this, the total reflection is performed by another total reflection mirror MR6, and the course is changed to P3.
【００２６】この実施例では、全反射鏡ＭＲ５によって
光学画像の進路Ｐ１が被検査物１１の領域Ｚ側に変更さ
れることによって、横方向のスペースＷを小さくでき
る。したがって、被検査物１１の検査領域Ｚの近くに、
例えば別工程の装置３１が接近し、カメラ装置１５を設
置するための横方向のスペースに余裕がない場合などに
有効である。この実施例の場合も、２つの全反射鏡ＭＲ
５、ＭＲ６を使用して光学画像の進路を２度変更するこ
とで、横方向の幅Ｗを小さくでき、同時にカメラ装置の
位置も低くくなっている。In this embodiment, the path P1 of the optical image is changed to the area Z side of the inspection object 11 by the total reflection mirror MR5, so that the space W in the lateral direction can be reduced. Therefore, near the inspection area Z of the inspection object 11,
This is effective, for example, when the device 31 of another process approaches and there is no room in the lateral space for installing the camera device 15. Also in this embodiment, two total reflection mirrors MR are provided.
5, by using MR6 to change the path of the optical image twice, the width W in the lateral direction can be reduced, and at the same time, the position of the camera device is also lowered.
【００２７】なお、上記した各実施例では、１台のカメ
ラ装置が示されている。しかし、シート状の被検査物の
幅が大きい場合など、複数台のカメラ装置が使用され
る。この場合は、被検査物の撮像領域と各カメラ装置間
に、それぞれ上記したような光学装置が配置されること
になる。In each of the above embodiments, one camera device is shown. However, a plurality of camera devices are used when the width of the sheet-shaped inspection object is large. In this case, the optical device as described above is arranged between the imaging area of the inspection object and each camera device.
【００２８】また、上記した実施例では、光学装置は、
それぞれ２つの光学素子から構成されている。しかし、
１つの光学素子、例えば１つの全反射鏡で構成し、全反
射鏡で反射された光学画像の進路上にカメラ装置を設置
する構成にすることもできる。 また、３つ以上の光学
素子で光学装置を構成することもできる。なお、光学装
置を複数の光学素子で構成した場合、複数の光学素子の
位置関係を機械的に固定しておけば、複数の光学素子の
向きなどの調整が不要になるので、装置全体の調整作業
が容易になる。In the above embodiment, the optical device is
Each is composed of two optical elements. But,
It is also possible to have one optical element, for example, one total reflection mirror, and to install the camera device on the path of the optical image reflected by the total reflection mirror. Further, the optical device can be composed of three or more optical elements. If the optical device is composed of multiple optical elements, mechanically fixing the positional relationship between the multiple optical elements eliminates the need to adjust the orientation of the multiple optical elements, etc. Work becomes easy.
【００２９】また、光学装置の内部の光学画像の進路内
に所定の色を中心にした波長帯域の光を選択的に通過さ
せるフィルタを配置したり、また、光学装置を構成する
光学素子そのものにフィルタ特性を持たせることもでき
る。この場合、例えば被検査物の地の色と欠陥部分の色
とが同系統で、正常部分と欠陥部分とのコントラストが
小さいときでも、容易に欠陥を検出できる。Further, a filter for selectively passing light in a wavelength band centered on a predetermined color is arranged in the path of the optical image inside the optical device, and the optical element itself constituting the optical device is arranged. It can also have filter characteristics. In this case, for example, even if the background color of the object to be inspected and the color of the defective portion are in the same system and the contrast between the normal portion and the defective portion is small, the defect can be easily detected.
【００３０】なお、上記した実施例では、光学装置に全
反射鏡などを組み込み、光学画像の進路を被検査物の方
向に近づけたり、あるいは被検査物の照明光が照射され
る領域の側に変化させている。しかし、光学画像の進路
を被検査物の方向や被検査物の照明光が照射される領域
の側に戻さずに、ある角度だけ折り曲げるように光学画
像の進路を変化させてもよい。この場合も、光学画像の
進路は被検査物の方向に近づき、また、照明光が照射さ
れる領域の側に戻る形になり、カメラ装置の設置高さを
低くでき、あるいは横方向のスペースを小さくできる。In the above embodiment, a total reflection mirror or the like is incorporated in the optical device so that the path of the optical image approaches the direction of the object to be inspected, or the side of the region where the illumination light of the object to be inspected is irradiated. It is changing. However, the path of the optical image may be changed so as to be bent at a certain angle without returning the path of the optical image to the direction of the object to be inspected or the side of the object to be illuminated with the illumination light. In this case as well, the path of the optical image approaches the direction of the object to be inspected, and returns to the side of the area irradiated with the illumination light, so that the installation height of the camera device can be reduced or the lateral space can be reduced. Can be made smaller.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明によれば、カメラ装置が設置され
る高さを低くでき、あるいは幅方向のスペースを小さく
できる欠陥検出装置を実現できる。According to the present invention, it is possible to realize a defect detecting apparatus in which the height at which the camera device is installed can be reduced or the space in the width direction can be reduced.
【図１】本発明の一実施例を説明する構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施例を説明する構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating another embodiment of the present invention.
【図３】本発明の他の実施例を説明する構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating another embodiment of the present invention.
【図４】従来例を説明する構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram illustrating a conventional example.
【図５】従来例を説明する構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a conventional example.
１１…被検査物 １２…光源 １３…照射光 １４…光学装置 １５…カメラ装置 １６…信号処理装置 ＭＲ１、ＭＲ２…全反射鏡 11 ... Object to be inspected 12 ... Light source 13 ... Irradiation light 14 ... Optical device 15 ... Camera device 16 ... Signal processing device MR1, MR2 ... Total reflection mirror
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 7/00 1/00 Ｇ０６Ｆ 15/64 ３２０ Ｃ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G06T 7/00 1/00 G06F 15/64 320 C
Claims (5)
照明光を照射する光源と、この光源によって照明光が照
射された領域の前記被検査物の光学画像の進路に位置
し、かつ、前記被検査物に近づける方向に前記光学画像
の進路を変化させる光学素子を持つ光学装置と、この光
学装置を通った前記光学画像が入力され、この光学画像
を電気信号に変換するカメラ装置と、このカメラ装置で
変換された電気信号を処理し、前記被検査物の欠陥を検
出する信号処理装置とを具備した欠陥検出装置。1. A light source for irradiating illumination light to an object to be inspected that is sequentially sent out in a predetermined direction, and a light source located in the path of the optical image of the object to be inspected in the area illuminated by the light source. An optical device having an optical element that changes the path of the optical image in a direction of approaching an object to be inspected, a camera device that receives the optical image that has passed through the optical device and converts the optical image into an electrical signal, A defect detection device comprising: a signal processing device which processes an electric signal converted by a camera device and detects a defect of the inspection object.
照明光を照射する光源と、この光源によって照明光が照
射された領域の前記被検査物の光学画像の進路に位置
し、かつ、前記照明光が照射される前記被検査物の領域
側に前記光学画像の進路を変化させる光学素子を持つ光
学装置と、この光学装置を通った前記光学画像が入力さ
れ、この光学画像を電気信号に変換するカメラ装置と、
このカメラ装置で変換された電気信号を処理し、前記被
検査物の欠陥を検出する信号処理装置とを具備した欠陥
検出装置。2. A light source for irradiating illumination light to an object to be inspected that is sequentially sent out in a predetermined direction, and a light source located in the path of the optical image of the object to be inspected in the area illuminated by the light source. An optical device having an optical element that changes the path of the optical image on the side of the region of the object to be inspected irradiated with illumination light, and the optical image that has passed through the optical device are input, and the optical image is converted into an electrical signal. A camera device to convert,
A defect detection device comprising: a signal processing device which processes an electric signal converted by the camera device and detects a defect of the inspection object.
射鏡を少なくとも含むことを特徴とする請求項１または
請求項２記載の欠陥検出装置。3. The defect detection device according to claim 1, wherein the optical device includes at least a total reflection mirror that totally reflects an optical image.
る複数の光学素子から構成され、かつ、前記複数の光学
素子の位置関係が固定されていることを特徴とする請求
項１または請求項２記載の欠陥検出装置。4. The optical device according to claim 1, wherein the optical device is composed of a plurality of optical elements that change the path of an optical image, and the positional relationship of the plurality of optical elements is fixed. 2. The defect detection device according to 2.
帯域の光を選択的に通過させるフィルタ特性を持つこと
を特徴する請求項１または請求項２記載の欠陥検出装
置。5. The defect detection apparatus according to claim 1, wherein the optical device has a filter characteristic that selectively passes light in a wavelength band centered on a predetermined color.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271163A JPH08136472A (en) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | Defect detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6271163A JPH08136472A (en) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | Defect detecting apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136472A true JPH08136472A (en) | 1996-05-31 |
Family
ID=17496222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6271163A Pending JPH08136472A (en) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | Defect detecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136472A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058023A (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Hamamatsu Photonics Kk | Optical inspection device |
| JP2016004001A (en) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大塚製薬株式会社 | Visual inspection apparatus, visual inspection method, and apparatus for manufacturing ptp sheet |
-
1994
- 1994-11-04 JP JP6271163A patent/JPH08136472A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058023A (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Hamamatsu Photonics Kk | Optical inspection device |
| JP2016004001A (en) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大塚製薬株式会社 | Visual inspection apparatus, visual inspection method, and apparatus for manufacturing ptp sheet |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5894345A (en) | Optical method of detecting defect and apparatus used therein | |
| US5153668A (en) | Optical inspection apparatus and illumination system particularly useful therein | |
| KR20010034323A (en) | Optical inspection method and apparatus | |
| US7567726B2 (en) | Method and arrangement for suppressing stray light | |
| JP3863221B2 (en) | Bending rate measurement method of bent plate glass | |
| JP3514107B2 (en) | Painting defect inspection equipment | |
| JP2001012930A (en) | Surface defect inspection equipment | |
| US6847442B1 (en) | Illuminator for inspecting substantially flat surfaces | |
| JPH08136472A (en) | Defect detecting apparatus | |
| JP4575202B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection apparatus for transparent plate-like body | |
| JP2002039952A (en) | Defect inspection device and defect inspection method | |
| CN101299071A (en) | Imaging device | |
| JPH05264448A (en) | Smoothness measuring apparatus for coated surface | |
| CN112098420A (en) | Curved surface screen detection device | |
| JPH08186808A (en) | Image processing method and apparatus | |
| JP2001264268A (en) | Substrate inspecting device | |
| SE9504326L (en) | Method and device for edge detection | |
| JPH0590354U (en) | Glass surface inspection machine | |
| JPH0412255A (en) | Mirror inspecting device | |
| JPH10246857A (en) | Oblique light illuminator | |
| JP2005127747A (en) | Surface defect inspection method and surface defect inspection apparatus for plate material | |
| JPH0357944A (en) | Plate glass defect detector | |
| JP2000266680A (en) | Substrate inspection apparatus and oblique illumination unit | |
| JPH04320951A (en) | Method and device for inspecting defect on glass plate surface | |
| JPH01267444A (en) | Pattern detection method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030630 |