JPH08153312A - Magnetic head and magnetic disk device - Google Patents
Magnetic head and magnetic disk deviceInfo
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- JPH08153312A JPH08153312A JP29474294A JP29474294A JPH08153312A JP H08153312 A JPH08153312 A JP H08153312A JP 29474294 A JP29474294 A JP 29474294A JP 29474294 A JP29474294 A JP 29474294A JP H08153312 A JPH08153312 A JP H08153312A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子に
センス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体から
の情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部
と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層さ
れてなる複合型の磁気ヘッド並びに磁気ディスク装置に
関し、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導
体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば
正確に且つ高感度で情報を読み出すことができる磁気ヘ
ッド及び磁気ディスク装置を実現することを目的とす
る。
【構成】 導体層6として、磁気抵抗効果素子部2Aの
近傍部分6Aを薄く形成し他の部分6Bを厚く形成した
ものを用いて磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を構成す
る。
(57) [Abstract] [Purpose] A magnetoresistive effect reproducing head part having a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, and reading information from a magnetic recording medium. The present invention relates to a composite type magnetic head and a magnetic disk device which have a pair of magnetic poles formed of thin films and are laminated with an induction type recording head section for recording information on a magnetic recording medium. An object of the present invention is to realize a magnetic head and a magnetic disk device which can reduce the curvature of a magnetic pole and the resistance of a conductor layer and can read information accurately and with high sensitivity in a range where the off-track is small. [Structure] As the conductor layer 6, a magnetic head and a magnetic disk device are formed by using a thin portion of a portion 6A near the magnetoresistive effect element portion 2A and a thick portion of another portion 6B.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果素子及び
該磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給する導体層を有
し、磁気記録媒体からの情報の読み出しを行う磁気抵抗
効果型の再生ヘッド部と、薄膜で形成された一対の磁極
を有し、磁気記録媒体への情報の記録を行う誘導型の記
録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド、並
びに、磁気抵抗効果型の再生ヘッド部を用いて磁気記録
媒体からの情報の読み出しを行い、誘導型の記録ヘッド
部を用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetoresistive effect reproducing head having a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element and reading information from a magnetic recording medium. And a pair of magnetic poles formed of a thin film, and a composite type magnetic head in which an induction type recording head section for recording information on a magnetic recording medium is laminated, and a magnetoresistive effect type magnetic head. The present invention relates to a magnetic disk device that reads information from a magnetic recording medium by using a reproducing head unit and records information on the magnetic recording medium by using an inductive recording head unit.
【0002】近年、磁気ディスク装置の大容量化や小型
化が要望され、面記録密度の高密度化が進んでいる。In recent years, there has been a demand for a magnetic disk device having a large capacity and a small size, and the areal recording density has been increased.
【0003】[0003]
【従来の技術】高密度の磁気ヘッドとして、磁界の強さ
に応じて電気抵抗が変化する磁気抵抗素子を用いた磁気
抵抗効果型ヘッドが知られている。磁気抵抗効果型ヘッ
ドは、一般にはMRヘッド(MRはmagnetoresistiveの
略)と呼ばれ、異方性磁気抵抗効果を利用したAMRヘ
ッド(AMRは anisotropic magnetoresistiveの略)
や、巨大磁気抵抗効果を利用したGMRヘッド(GMR
は giant magnetoresistiveの略)等がある。2. Description of the Related Art As a high-density magnetic head, a magnetoresistive head using a magnetoresistive element whose electric resistance changes according to the strength of a magnetic field is known. A magnetoresistive head is generally called an MR head (MR is an abbreviation for magnetoresistive), and an AMR head utilizing an anisotropic magnetoresistive effect (AMR is an abbreviation for anisotropic magnetoresistive).
And a GMR head (GMR head) that utilizes the giant magnetoresistive effect.
Is an abbreviation for giant magnetoresistive).
【0004】AMRヘッドは、例えば、NiFeCr
(ニッケル−鉄−クロム)等の磁化された磁性材料から
なるソフトアジャセント(soft adjusent)層と、Ta
(タンタル)等の非磁性中間層と、NiFe(フェライ
ト)等の磁気抵抗層(MR層)と、反強磁性体であるF
eMn(鉄−マンガン)で形成されて実質的に磁化され
た状態にあるBCS(boundary control stabilizatio
n)層と、記録トラック幅に相応する間隔をもってBC
S層上に並設された一対のセンス電流供給用の導体層と
を、この順序で積層して磁気抵抗効果素子部を形成さ
せ、BCS層により、磁気抵抗層に記録トラックの幅方
向の磁気バイアスを与え、ソフトアジャセント層によ
り、磁気抵抗層にBCS層の磁気バイアスと直角方向の
磁気バイアスを与えるようにしたものである。The AMR head is, for example, NiFeCr.
A soft adjusent layer made of a magnetized magnetic material such as (nickel-iron-chromium);
A non-magnetic intermediate layer such as (tantalum), a magnetoresistive layer (MR layer) such as NiFe (ferrite), and an antiferromagnetic material F
BCS (boundary control stabilizatio) formed of eMn (iron-manganese) and in a substantially magnetized state
n) layer and BC with a distance corresponding to the recording track width
A pair of conductor layers for supplying a sense current provided in parallel on the S layer are laminated in this order to form a magnetoresistive effect element portion, and the BCS layer causes the magnetoresistive layer to be magnetized in the width direction of the recording track. A bias is applied and a soft adjusting layer is applied to the magnetoresistive layer in a direction perpendicular to the magnetic bias of the BCS layer.
【0005】一方、GMRヘッドは、巨大磁気抵抗効果
を利用することで、AMRヘッドよりも、一層の高密度
化を可能にしたものである。GMRヘッドの磁気抵抗効
果素子部も、複数の磁性層を非磁性中間層を介して積層
した積層構造を有し、記録トラック幅に相応する間隔を
もって並設された一対のセンス電流供給用の導体層が、
この磁気抵抗効果素子部に取り付けられており、この点
では両者は共通している。On the other hand, the GMR head makes possible a higher density than the AMR head by utilizing the giant magnetoresistive effect. The magnetoresistive effect element part of the GMR head also has a laminated structure in which a plurality of magnetic layers are laminated with a non-magnetic intermediate layer interposed therebetween, and a pair of sense current supply conductors juxtaposed at intervals corresponding to the recording track width. Layers
It is attached to this magnetoresistive effect element part, and both are common in this respect.
【0006】図9は複合型の磁気ヘッドに関する従来例
であって、情報の読み出しに磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部を用い、情報の記録に誘導型の記録ヘッド部(薄膜
ヘッド)を用いたものの主要部を示す図、図10は図9
中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示す平面図であ
る。FIG. 9 shows a conventional example of a composite type magnetic head, in which a magnetoresistive effect reproducing head section is used for reading information and an inductive recording head section (thin film head) is used for recording information. FIG. 10 is a diagram showing the main part of the thing.
FIG. 3 is a plan view showing a magnetoresistive effect element portion and a conductor layer therein.
【0007】これらの図において、10は磁気記録媒体
のトラック、20は磁気記録媒体への情報の記録を行う
誘導型の記録ヘッド部、30は情報の読み出しを行う磁
気抵抗効果型の再生ヘッド部である。記録ヘッド部20
は、NiFe等でなる下部磁極(上部シールド層)21
と、トラックとの対向部分が一定間隔をもって下部磁極
21と対向したNiFe等でなる上部磁極22と、これ
ら磁極21,22を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁
気記録媒体の記録トラック10に情報の記録を行わせる
コイル23等から構成される。尚、コイル23周辺の空
間には、Al2O3等でなる非磁性絶縁層24が隙間なく
設けられている。In these figures, 10 is a track of a magnetic recording medium, 20 is an inductive recording head section for recording information on the magnetic recording medium, and 30 is a magnetoresistive effect reproducing head section for reading information. Is. Recording head unit 20
Is a lower magnetic pole (upper shield layer) 21 made of NiFe or the like.
The upper magnetic pole 22 made of NiFe or the like and the magnetic poles 21 and 22 which are opposed to the lower magnetic pole 21 at a constant distance from the track are excited, and information is recorded on the recording track 10 of the magnetic recording medium at the recording gap portion. It is composed of a coil 23 and the like for recording A non-magnetic insulating layer 24 made of Al 2 O 3 or the like is provided in the space around the coil 23 without any gap.
【0008】再生ヘッド部30はAMRヘッドやGMR
ヘッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗
効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30Aに
センス電流を供給するための一対の導体層31が記録ト
ラック幅に相応する間隔をもって設けられている。The reproducing head unit 30 is an AMR head or a GMR.
The magnetoresistive effect element section 30A has a pair of conductor layers 31 for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element section 30A with an interval corresponding to the recording track width. It is provided.
【0009】記録ヘッド部20と再生ヘッド部30の積
層状態を図11を用いて説明する。図11は図9におけ
る磁気ヘッドを磁気記録媒体側から見たときの記録ギャ
ップ近傍の積層構造を示す断面図である。図11におい
て、25はセラミック製の基板で、この基板25上に
は、Al2O3等でなる非磁性絶縁層26、NiFe等で
なる下部シールド層27、Al2O3等でなる非磁性絶縁
層28が、この順序で形成されており、再生ヘッド部3
0の磁気抵抗効果素子部30Aは、この非磁性絶縁層2
8上に形成される。仮に、再生ヘッド部30の磁気抵抗
効果素子部30AをAMRヘッドでもって構成するので
あれば、例えば、ソフトアジャセント層、Ta等の非磁
性中間層、NiFe等の磁気抵抗層、FeMn等のBC
S層が非磁性絶縁層28上に順次形成される。この磁気
抵抗効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30
Aにセンス電流を供給するために、膜厚一定(従来、こ
の膜厚は1000〜1200Åである)の一対の導体層
31が記録トラック幅に相応する間隔をもって形成され
ている。The laminated state of the recording head section 20 and the reproducing head section 30 will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view showing the laminated structure near the recording gap when the magnetic head in FIG. 9 is viewed from the magnetic recording medium side. In FIG. 11, reference numeral 25 denotes a ceramic substrate on which a non-magnetic insulating layer 26 made of Al 2 O 3 or the like, a lower shield layer 27 made of NiFe or the like, or a non-magnetic layer made of Al 2 O 3 or the like. The insulating layer 28 is formed in this order, and the reproducing head unit 3 is formed.
The magnetoresistive effect element portion 30A of 0 has the nonmagnetic insulating layer 2
8 is formed. If the magnetoresistive effect element section 30A of the reproducing head section 30 is composed of an AMR head, for example, a soft adjusting layer, a nonmagnetic intermediate layer such as Ta, a magnetoresistive layer such as NiFe, and a BC such as FeMn.
The S layer is sequentially formed on the nonmagnetic insulating layer 28. The magnetoresistive effect element section 30A is provided on the magnetoresistive effect element section 30A.
In order to supply the sense current to A, a pair of conductor layers 31 having a constant film thickness (conventionally, this film thickness is 1000 to 1200Å) are formed at intervals corresponding to the recording track width.
【0010】更に、磁気抵抗効果素子部30A及び導体
層31上には、非磁性絶縁層32が形成され、この上に
前述の記録ヘッド部20が形成されている。即ち、Ni
Fe等でなる下部磁極(上部シールド層)21、コイル
23(図11中には現れない)、Al2O3等でなる非磁
性絶縁層24、NiFe等でなる上部磁極22が、この
順序で形成されている。そして最後に記録ヘッド部20
の表面を覆うため、上部磁極22の外側にAl2O3等で
なる保護層33が形成されている。Further, a nonmagnetic insulating layer 32 is formed on the magnetoresistive effect element section 30A and the conductor layer 31, and the above-mentioned recording head section 20 is formed on this. That is, Ni
A lower magnetic pole (upper shield layer) 21 made of Fe or the like, a coil 23 (not shown in FIG. 11), a nonmagnetic insulating layer 24 made of Al 2 O 3 or the like, and an upper magnetic pole 22 made of NiFe or the like are arranged in this order. Has been formed. Finally, the recording head unit 20
A protective layer 33 made of Al 2 O 3 or the like is formed outside the upper magnetic pole 22 to cover the surface of the above.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の磁
気ヘッドでは、図11から明らかなように、間隔をおい
て並設した導体層31の存在に起因して、導体層31の
形成後に成膜される上層膜が波形に形成されることにな
る。特に、導体層31に近い下部磁極(上部シールド
層)21の湾曲が大きくなる。磁極21,22が湾曲す
ると、磁気記録媒体に対向する記録ギャップの形状も湾
曲し、磁気記録媒体上の記録ギャップ端部での記録形状
(磁気パターン)がかなり歪んだものとなる。このた
め、情報の記録時における磁気ヘッドのトラック上の位
置と読み出し時における磁気ヘッドのトラック上の位置
にずれがあると、再生ヘッド部では磁気記録媒体上の記
録ギャップ端部での記録情報をも読み出すことになり、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができな
くなる。即ち、従来のこの種の磁気ヘッドでは、オフト
ラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差が生じ
るという問題があった。However, in the magnetic head having the above structure, as is apparent from FIG. 11, due to the existence of the conductor layers 31 arranged in parallel at intervals, the formation after the conductor layers 31 are formed. The upper layer film to be formed will be formed in a corrugated form. In particular, the lower magnetic pole (upper shield layer) 21 near the conductor layer 31 is greatly curved. When the magnetic poles 21 and 22 are curved, the shape of the recording gap facing the magnetic recording medium is also curved, and the recording shape (magnetic pattern) at the end of the recording gap on the magnetic recording medium is considerably distorted. Therefore, if there is a deviation between the position on the track of the magnetic head at the time of recording information and the position on the track of the magnetic head at the time of reading, the recording information at the end of the recording gap on the magnetic recording medium will be recorded in the reproducing head section. Will also read
The magnetic disk device cannot read information accurately. That is, the conventional magnetic head of this type has a problem that a read error occurs even though the off-track amount is small.
【0012】この問題を解決するために、導体層31を
薄く形成することが考えられるが、膜厚を薄くすると、
導体層31の抵抗が大きくなってここでの電圧降下が大
きくなり、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出す
ることが困難になる。この結果、S/Nが悪くなるとい
う新たな問題が生じる。又、導体層31での発熱によ
り、ノイズが生じるという新たな問題も生じる。In order to solve this problem, it is conceivable to form the conductor layer 31 thinly.
The resistance of the conductor layer 31 increases and the voltage drop there increases, which makes it difficult to detect the resistance change of the magnetoresistive element portion with high sensitivity. As a result, a new problem arises that the S / N becomes worse. In addition, the heat generated in the conductor layer 31 causes a new problem that noise is generated.
【0013】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さく
すると共に導体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい
範囲であれば正確に且つ高感度で情報を読み出すことが
できる磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を実現すること
にある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the curvature of the magnetic pole of the recording head portion, reduce the resistance of the conductor layer, and accurately in the range where the off-track is small. Moreover, it is to realize a magnetic head and a magnetic disk device capable of reading information with high sensitivity.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】磁気ヘッドに関する本発
明は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセン
ス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体からの情
報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部と、
薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体への
情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層されて
なる複合型の磁気ヘッドにおいて、前記導体層の膜厚に
関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の
部分を厚く形成したことを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic head, which has a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, and which reads information from a magnetic recording medium. An effective playback head section,
A composite type magnetic head having a pair of magnetic poles formed of a thin film, and an induction type recording head portion for recording information on a magnetic recording medium, is laminated, It is characterized in that a portion near the resistance effect element portion is formed thin and other portions are formed thick.
【0015】ここで、導体層の膜厚を薄くするだけでな
く、その幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の
部分は幅広に形成することが、磁極の湾曲を小さくする
と共に導体層の抵抗を下げる点から好ましい。Here, in addition to reducing the thickness of the conductor layer, not only the thickness of the conductor layer but also the portion other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion should be made wider to reduce the curvature of the magnetic pole and reduce the thickness of the conductor layer. It is preferable from the viewpoint of lowering the resistance.
【0016】導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍以外の
部分を厚く形成するには、導体層を成膜により多層化す
ることが有効である。磁気ディスク装置に関する本発明
は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセンス
電流を供給する導体層を有する磁気抵抗効果型の再生ヘ
ッド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有する誘導型
の記録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド
を備え、前記磁気抵抗効果型ヘッドを用いて磁気記録媒
体からの情報の読み出しを行い、前記誘導型の薄膜ヘッ
ドを用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置において、前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗
効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の部分を厚く形成
したことを特徴とするものである。In order to form a thick portion of the conductor layer other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion, it is effective to form the conductor layer into multiple layers. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device, a magnetoresistive effect reproducing head having a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, and an inductive type having a pair of magnetic poles formed of a thin film. A magnetic head of the composite type in which the recording head section of the above is laminated, the information is read from the magnetic recording medium by using the magnetoresistive head, and the magnetic recording medium by using the inductive thin film head. In a magnetic disk device for recording information on a recording medium, the film thickness of the conductor layer is characterized in that a portion near the magnetoresistive effect element portion is formed thin and other portions are formed thick.
【0017】更に、図面を用いて本発明の磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置における記録ヘッド部と再生ヘッド
部の積層構造を説明する。図1は本発明の磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置の原理図で、記録ヘッド及び再生ヘ
ッド部分の主要部を示す断面図、図2は図1におけるB
−B断面図である。Further, the laminated structure of the recording head portion and the reproducing head portion in the magnetic head and the magnetic disk device of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a principle view of a magnetic head and a magnetic disk device according to the present invention. FIG. 1 is a sectional view showing main parts of a recording head and a reproducing head, and FIG.
It is a -B sectional view.
【0018】図1及び図2において、1は磁気記録媒体
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部、2は情報
の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部であ
る。記録ヘッド部1は、NiFe等でなる下部磁極(上
部シールド層)3と、一定間隔をもって下部磁極3と対
向したNiFe等でなる上部磁極4と、これら磁極3,
4を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁気記録媒体に情
報の記録を行わせるコイル5等から構成される。In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 is an inductive recording head section for recording information on a magnetic recording medium, and 2 is a magnetoresistive reproducing head section for reading information. The recording head unit 1 includes a lower magnetic pole (upper shield layer) 3 made of NiFe or the like, an upper magnetic pole 4 made of NiFe or the like facing the lower magnetic pole 3 at a constant interval, and these magnetic poles 3, 3.
4 is excited to form a coil 5 for recording information on the magnetic recording medium in the recording gap portion.
【0019】再生ヘッド部2はAMRヘッドやGMRヘ
ッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗効
果素子部2A上には、磁気抵抗効果素子部2Aにセンス
電流を供給するための一対の導体層6が記録トラック幅
に相応する間隔をもって設けられている。ここで、導体
層6の膜厚は、磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6A
が薄く形成され、他の部分6Bは厚く形成されている。The reproducing head section 2 is composed of an AMR head, a GMR head or the like, and on the magnetoresistive effect element section 2A, a pair of sense currents is supplied to the magnetoresistive effect element section 2A. The conductor layers 6 are provided at intervals corresponding to the recording track width. Here, the film thickness of the conductor layer 6 is 6A near the magnetoresistive effect element portion 2A.
Is formed thin, and the other portion 6B is formed thick.
【0020】[0020]
【作用】図1及び図2の構成では、導体層6の膜厚が、
磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)3等の湾曲が小さ
くなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記録
ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における
磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができ、
オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差
が生じるという事態を避けることができる。In the structure shown in FIGS. 1 and 2, the thickness of the conductor layer 6 is
Since the portion 6A near the magnetoresistive effect element portion 2A is thin, the curvature of the lower magnetic pole (upper shield layer) 3 and the like is small. Therefore, the shape of the recording gap facing the magnetic recording medium does not curve so much, and even if the position of the magnetic head on the track during recording of information and the position of the magnetic head on the track during reading slightly deviate,
The magnetic disk drive can read information accurately,
It is possible to avoid a situation where a reading error occurs even if the off-track amount is small.
【0021】一方、導体層6の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部2Aの近傍以外の部分6Bでは厚く形成されている
ため、導体層6の抵抗を全体として小さくすることもで
き、その結果、磁気抵抗素子部2Aの抵抗変化を高感度
で検出することが可能になり、S/Nが向上する。又、
導体層6での発熱も避けることができ、発熱に起因した
ノイズの発生も防げる。On the other hand, since the thickness of the conductor layer 6 is thicker in the portion 6B other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion 2A, the resistance of the conductor layer 6 can be reduced as a whole. It becomes possible to detect the resistance change of the magnetoresistive element portion 2A with high sensitivity, and the S / N is improved. or,
It is possible to avoid heat generation in the conductor layer 6, and it is possible to prevent generation of noise due to heat generation.
【0022】[0022]
【実施例】図3は磁気ヘッドに関する本発明の一実施例
を示す断面図、図4は図3中の磁気抵抗効果素子部及び
導体層を示す斜視図である。これらの図において、図1
1及び図12と対応する部分には同一符号を付し、重複
部分の説明は省略する。3 is a sectional view showing an embodiment of the present invention relating to a magnetic head, and FIG. 4 is a perspective view showing a magnetoresistive effect element portion and a conductor layer in FIG. In these figures, FIG.
1 and parts corresponding to those in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals, and description of overlapping parts will be omitted.
【0023】本実施例と図11及び図12の構成との相
違点は、導体層31部分の構成及びこれに付随した構成
にある。即ち、本実施例では、導体層31の膜厚が、磁
気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄く形成さ
れ(例えば1200Å以下。薄いほど良い)、他の部分
31Bで厚く形成されている(例えば3000〜400
0Å若しくは磁気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31
Aの2〜4倍)。The difference between this embodiment and the structures of FIGS. 11 and 12 is the structure of the conductor layer 31 and the structure associated therewith. That is, in this embodiment, the conductor layer 31 is thinly formed in the portion 31A in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion 30A (for example, 1200 Å or less; thinner is better) and thicker in the other portion 31B ( For example, 3000 to 400
0Å or a portion 31 near the magnetoresistive effect element portion 30A
2 to 4 times that of A).
【0024】導体層31の磁気抵抗効果素子部30Aの
近傍以外の部分31Bを厚く形成するには、導体層31
を成膜により多層化することが有効である。本実施例で
は、図4に示したように、2層で形成した導体層31を
用いており、まず第1層31−1(例えば膜厚1200
Å以下)を形成し、次に、第1層31−1の31B部分
にだけ、第2層31−2(例えば膜厚1800〜220
0Å)を積層形成している。To form a thick portion 31B of the conductor layer 31 other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion 30A, the conductor layer 31
It is effective to form a multi-layer by film formation. In this embodiment, as shown in FIG. 4, the conductor layer 31 formed of two layers is used. First, the first layer 31-1 (for example, a film thickness 1200) is used.
Å or less), and then, only in the 31B portion of the first layer 31-1, the second layer 31-2 (for example, a film thickness of 1800 to 220)
0Å) is laminated.
【0025】上記実施例での情報の記録/再生動作は、
従来のものと全く同様である。即ち、磁気記録媒体への
情報の記録を行う場合は、記録ヘッド部のコイルに電流
を流し、磁極21,22に磁束を生じさせる。これによ
り、磁極21,22の記録ギャップ部分にて漏れ磁束が
生じ、磁気記録媒体に情報の記録が行われる。The information recording / reproducing operation in the above embodiment is as follows.
It is exactly the same as the conventional one. That is, when recording information on the magnetic recording medium, a current is passed through the coil of the recording head unit to generate magnetic flux in the magnetic poles 21 and 22. As a result, a leakage magnetic flux is generated in the recording gap portion of the magnetic poles 21 and 22, and information is recorded on the magnetic recording medium.
【0026】一方、磁気記録媒体からの情報の読み出し
は、磁気記録媒体から外部磁界が印加された場合と印加
されない場合において磁気抵抗素子部30Aの電気抵抗
に相違があることを利用して行う。具体的には、磁気抵
抗素子部30Aでの抵抗変化を導体層35,36を介し
て検出し、磁気ヘッドが再生信号として出力する。On the other hand, the reading of information from the magnetic recording medium is carried out by utilizing the difference in the electric resistance of the magnetoresistive element section 30A when an external magnetic field is applied from the magnetic recording medium and when it is not applied. Specifically, the resistance change in the magnetoresistive element section 30A is detected via the conductor layers 35 and 36, and the magnetic head outputs it as a reproduction signal.
【0027】本実施例では、導体層31の膜厚が、磁気
抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)21等の湾曲が小
さくなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記
録ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時にお
ける磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあって
も、磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことがで
き、オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの
誤差が生じるという事態を避けることができる。In this embodiment, since the conductor layer 31 is thin in the portion 31A near the magnetoresistive effect element portion 30A, the curvature of the lower magnetic pole (upper shield layer) 21 and the like is small. Therefore, the shape of the recording gap facing the magnetic recording medium does not curve so much, and even if the position of the magnetic head on the track during recording of information and the position of the magnetic head on the track during reading slightly deviate, The magnetic disk device can read information accurately, and can avoid a situation where a reading error occurs even if the off-track amount is small.
【0028】又、導体層31の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部30Aの近傍以外の部分31Bでは厚く且つ幅広に
形成されているため、導体層31の抵抗を全体として小
さくすることもでき(本願発明者の実験によれば、従来
10Ω程度であった抵抗を7〜8Ω程度に低下させるこ
とは容易である)、その結果、磁気抵抗素子部30Aの
抵抗変化を高感度で検出することが可能になり、S/N
も向上する。又、導体層31での発熱も避けることがで
き、発熱に起因したノイズの発生も防げる。Further, since the conductor layer 31 is thick and wide in the portion 31B other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion 30A, the resistance of the conductor layer 31 can be reduced as a whole ( According to the experiments conducted by the inventor of the present application, it is easy to reduce the resistance of about 10Ω conventionally to about 7 to 8Ω), and as a result, it is possible to detect the resistance change of the magnetoresistive element section 30A with high sensitivity. Enabled, S / N
Also improves. Further, heat generation in the conductor layer 31 can be avoided, and generation of noise due to heat generation can be prevented.
【0029】尚、上記実施例では、磁気抵抗効果素子部
30Aの近傍以外の部分31Bでは導体層31を厚く且
つ幅広に形成したが、厚くするだけでもよい。又、導体
層31の接続位置はセンス電流を所定の方向に流せるも
のであればよく、図4の位置に限る必要はない。In the above embodiment, the conductor layer 31 is formed thick and wide in the portion 31B other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion 30A, but it may be thickened. Further, the connecting position of the conductor layer 31 is not limited to the position shown in FIG. 4 as long as the sense current can flow in a predetermined direction.
【0030】上記磁気ヘッドはセラミック製ヘッド基板
上に薄膜技術を用いて多数形成される。その後、ヘッド
基板をヘッド毎に切り出し所定の形状に加工することに
より、図5に示す磁気ヘッド付きのスライダが得られ
る。図5において、スライダ40の磁気記録媒体に対向
する面には、該磁気記録媒体の回転によって生じる空気
流の方向に沿った浮上力発生用レール41,42が設け
られている。このレール41,42の浮上面の空気流入
側部分には、傾斜面41a,42aが形成されている。
そして、スライダ40におけるレール42の後端面に、
図3に示した磁気ヘッド45が形成されている。A large number of magnetic heads are formed on a ceramic head substrate by using a thin film technique. After that, the head substrate is cut into individual heads and processed into a predetermined shape to obtain the slider with the magnetic head shown in FIG. 5, on the surface of the slider 40 facing the magnetic recording medium, levitation force generating rails 41 and 42 are provided along the direction of the air flow generated by the rotation of the magnetic recording medium. Slopes 41a and 42a are formed on the air inflow side portions of the air bearing surfaces of the rails 41 and 42.
Then, on the rear end surface of the rail 42 of the slider 40,
The magnetic head 45 shown in FIG. 3 is formed.
【0031】磁気ディスク装置に関する本発明の実施例
は、図5の磁気ヘッド及びスライダを用いて構成され
る。以下、磁気ディスク装置に関する本発明の実施例に
ついて説明する。An embodiment of the present invention relating to a magnetic disk device is constructed using the magnetic head and slider of FIG. Embodiments of the present invention relating to a magnetic disk device will be described below.
【0032】図6は図5の磁気ヘッド付きスライダを用
いた磁気ディスク装置の平面図(カバーを除いた状
態)、図7は図6におけるA−A断面図、図8は図6中
のサスペンションの斜視図である。FIG. 6 is a plan view of a magnetic disk device using the slider with the magnetic head of FIG. 5 (state where the cover is removed), FIG. 7 is a sectional view taken along line AA in FIG. 6, and FIG. 8 is a suspension in FIG. FIG.
【0033】これらの図において、50はベースプレー
ト51上に設けられたスピンドルモータ52によって回
転駆動される磁気記録媒体としての複数枚(本実施例で
は3枚)の磁気ディスクである。In these figures, reference numeral 50 designates a plurality of magnetic disks (three in this embodiment) as magnetic recording media which are rotationally driven by a spindle motor 52 provided on a base plate 51.
【0034】53はベースプレート51上に回転可能に
設けられたアクチュエータである。このアクチュエータ
53の一方の回転端部には、磁気ディスク50の記録面
方向に延出する複数のヘッドアーム54が形成されてい
る。このヘッドアーム54の回転端部には、スプリング
アーム55が取り付けられ、更に、このスプリングアー
ム55のフレクシャー部に前述のスライダ40が図示し
ない絶縁膜を介して傾動可能に取り付けられている。一
方、アクチュエータ53の他方の回転端部には、コイル
57が設けられている。Reference numeral 53 is an actuator rotatably provided on the base plate 51. A plurality of head arms 54 extending in the recording surface direction of the magnetic disk 50 are formed at one rotating end of the actuator 53. A spring arm 55 is attached to the rotating end of the head arm 54, and the slider 40 is attached to the flexure portion of the spring arm 55 so as to be tiltable via an insulating film (not shown). On the other hand, a coil 57 is provided at the other rotating end of the actuator 53.
【0035】ベースプレート51上には、マグネット及
びヨークで構成された磁気回路58が設けられ、この磁
気回路58の磁気ギャップ内に、上記コイル57が配置
されている。そして、磁気回路58とコイル57とでム
ービングコイル型のリニアモータ(VCM:ボイスコイ
ルモータ)が構成されている。そして、これらベースプ
レート51の上部はカバー59で覆われている。A magnetic circuit 58 composed of a magnet and a yoke is provided on the base plate 51, and the coil 57 is arranged in the magnetic gap of the magnetic circuit 58. The magnetic circuit 58 and the coil 57 constitute a moving coil type linear motor (VCM: voice coil motor). The upper portion of these base plates 51 is covered with a cover 59.
【0036】次に、上記構成の磁気ディスク装置の作動
を説明する。磁気ディスク50が停止している時には、
スライダ40は磁気ディスク50の退避ゾーンに接触し
停止している。Next, the operation of the magnetic disk device having the above structure will be described. When the magnetic disk 50 is stopped,
The slider 40 is in contact with the retreat zone of the magnetic disk 50 and is stopped.
【0037】次に、磁気ディスク50がスピンドルモー
タ52によって、高速で回転駆動されると、この磁気デ
ィスク50の回転による発生する空気流によって、スラ
イダ40は微小間隔をもってディスク面から浮上する。
この状態でコイル57に電流を流すと、コイル57には
推力が発生し、アクチュエータ53が回転する。これに
より、ヘッド(スライダ40)を磁気ディスク50の所
望のトラック上に移動させ、データのリード/ライトを
行なうことができる。Next, when the magnetic disk 50 is rotationally driven at high speed by the spindle motor 52, the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 50 causes the slider 40 to fly above the disk surface with a minute interval.
When a current is applied to the coil 57 in this state, a thrust is generated in the coil 57 and the actuator 53 rotates. As a result, the head (slider 40) can be moved onto a desired track of the magnetic disk 50 to read / write data.
【0038】この磁気ディスク装置では、磁気ヘッドの
導体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形
成し他の部分を厚く形成したものを用いているため、記
録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導体層の抵
抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば正確に且
つ高感度に情報を読み出すことができる。In this magnetic disk device, since the conductor layer of the magnetic head has a thin portion in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion and a thick portion in the other portion, the magnetic pole of the recording head portion is curved. Information can be read accurately and with high sensitivity in a range where the off-track is small and the resistance of the conductor layer is reduced while the resistance is reduced.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上説明したように、磁気ヘッドに関す
る本発明によれば、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子
部の近傍部分で薄くなっているため、下部磁極(上部シ
ールド層)等の湾曲が小さくなる。このため、磁気記録
媒体に対向する記録ギャップの形状もあまり湾曲しなく
なる。しかも、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子部の
近傍部分以外では厚く形成されるため、導体層の抵抗が
全体として小さくなる。As described above, according to the present invention relating to the magnetic head, since the film thickness of the conductor layer is thin in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion, the lower magnetic pole (upper shield layer), etc. The curvature of becomes smaller. Therefore, the shape of the recording gap facing the magnetic recording medium does not curve so much. Moreover, since the thickness of the conductor layer is formed thicker except the portion in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion, the resistance of the conductor layer is reduced as a whole.
【0040】ここで、導体層の膜厚薄くするだけでな
く、幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の部分
を幅広に形成すれば、導体層の抵抗を一層低下させるこ
とができる。Here, the resistance of the conductor layer can be further reduced not only by reducing the thickness of the conductor layer but also by forming a wide portion in the width other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion.
【0041】又、導体層として成膜により多層化したも
のを用いれば、導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍以外
の部分を厚く形成する作業が容易になる。一方、磁気デ
ィスク装置に関する本発明においても、磁気ヘッドの導
体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成
したものを用いているため、情報の記録時における磁気
ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における磁気ヘ
ッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、正確に
情報を読み出すことができ、オフトラック量が小さいに
もかかわらず読み出しの誤差が生じるという事態を避け
ることができる。Further, if the conductor layer is formed into a multi-layered structure, the work of forming the conductor layer thicker than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion becomes easy. On the other hand, also in the present invention relating to the magnetic disk device, since the conductor layer of the magnetic head, which is thinly formed in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion, is used, the position on the track of the magnetic head during recording of information is Even if the position of the magnetic head on the track at the time of reading is slightly deviated, information can be accurately read, and it is possible to avoid a situation where a reading error occurs even if the off-track amount is small.
【0042】しかも、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部の近傍以外の部分では厚く形成されているため、導
体層の抵抗を全体として小さくすることもでき、その結
果、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出すること
が可能になり、S/Nが向上する。又、導体層での発熱
も避けることができ、発熱に起因したノイズの発生も防
げる。Moreover, since the thickness of the conductor layer is thicker in portions other than the vicinity of the magnetoresistive effect element portion, the resistance of the conductor layer can be reduced as a whole, and as a result, the magnetoresistive element portion can be reduced. It becomes possible to detect the resistance change of 1 with high sensitivity, and the S / N is improved. Further, it is possible to avoid heat generation in the conductor layer, and it is possible to prevent generation of noise due to heat generation.
【図1】本発明の磁気ヘッド及び磁気ディスク装置の原
理図である。FIG. 1 is a principle diagram of a magnetic head and a magnetic disk device of the present invention.
【図2】図1におけるB−B断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line BB in FIG.
【図3】本発明の一実施例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図4】図3中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示す
斜視図である。4 is a perspective view showing a magnetoresistive effect element portion and a conductor layer in FIG.
【図5】磁気ヘッド付きのスライダの説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a slider with a magnetic head.
【図6】図5に示した磁気ヘッド付きスライダを用いた
磁気ディスク装置の平面図である。FIG. 6 is a plan view of a magnetic disk device using the slider with the magnetic head shown in FIG.
【図7】図6におけるA−A断面図である。7 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
【図8】図6中のサスペンションの斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the suspension shown in FIG.
【図9】複合型の磁気ヘッドに関する従来例の主要部を
示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a main part of a conventional example relating to a composite type magnetic head.
【図10】図9中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示
す平面図である。10 is a plan view showing a magnetoresistive effect element portion and a conductor layer in FIG.
【図11】図9における磁気ヘッドの記録ギャップ近傍
の積層構造を示す断面図である。11 is a cross-sectional view showing a laminated structure in the vicinity of the recording gap of the magnetic head shown in FIG.
1,20:記録ヘッド部 2,30:再生ヘッド部 2A,30A:磁気抵抗効果素子部 3,21:下部磁極(上部シールド層) 4,22:上部磁極 5,23:コイル 6,31:導体層 10:トラック 24:絶縁層 25:ヘッド基板 27:下部シールド層 40:スライダ 45:磁気ヘッド 50:磁気ディスク 51:ベースプレート 52:スピンドルモータ 53:アクチュエータ 54:ヘッドアーム 55:スプリングアーム 57:コイル 58:磁気回路 59:カバー 1, 20: recording head part 2, 30: reproducing head part 2A, 30A: magnetoresistive effect element part 3, 21: lower magnetic pole (upper shield layer) 4, 22: upper magnetic pole 5, 23: coil 6, 31: conductor Layer 10: Track 24: Insulating Layer 25: Head Substrate 27: Lower Shield Layer 40: Slider 45: Magnetic Head 50: Magnetic Disk 51: Base Plate 52: Spindle Motor 53: Actuator 54: Head Arm 55: Spring Arm 57: Coil 58 : Magnetic circuit 59: Cover
Claims (4)
子にセンス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体
からの情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録
媒体への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積
層されてなる複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部
分を薄く形成し他の部分を厚く形成したことを特徴とす
る磁気ヘッド。1. A magnetoresistive effect reproducing head portion having a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, for reading information from a magnetic recording medium, and formed of a thin film. A magnetic head of a composite type having a pair of magnetic poles that are formed, and an inductive recording head portion for recording information on a magnetic recording medium, and a magnetoresistive effect element with respect to the film thickness of the conductor layer. A magnetic head characterized in that a portion near the portion is formed thin and other portions are formed thick.
子にセンス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体
からの情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録
媒体への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積
層されてなる複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記導体層の膜厚及び幅に関し、磁気抵抗効果素子部の
近傍部分を薄く形成し他の部分を厚く且つ幅広に形成し
たことを特徴とする磁気ヘッド。2. A magnetoresistive effect reproducing head portion for reading information from a magnetic recording medium, which has a magnetoresistive effect element and a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, and is formed of a thin film. A magnetic head of a composite type having a pair of magnetic poles that are formed, and an inductive recording head portion for recording information on a magnetic recording medium, and a magnetic resistance in relation to the thickness and width of the conductor layer. A magnetic head characterized in that a portion in the vicinity of the effect element portion is formed thin and the other portion is formed thick and wide.
で、前記導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍部分以外の
部分を厚く形成したことを特徴とする請求項1又は2に
記載の磁気ヘッド。3. The multilayer structure according to claim 1, wherein the conductive layer is formed into a multi-layered structure to thicken a portion of the conductive layer other than a portion in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion. Magnetic head.
子にセンス電流を供給する導体層を有する磁気抵抗効果
型の再生ヘッド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有
する誘導型の記録ヘッド部とが積層されてなる複合型の
磁気ヘッドを備え、前記磁気抵抗効果型ヘッドを用いて
磁気記録媒体からの情報の読み出しを行い、前記誘導型
の薄膜ヘッドを用いて磁気記録媒体への情報の記録を行
う磁気ディスク装置において、 前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部
分を薄く形成し他の部分を厚く形成したことを特徴とす
る磁気ディスク装置。4. An inductive recording head having a magnetoresistive effect element and a magnetoresistive effect reproducing head section having a conductor layer for supplying a sense current to the magnetoresistive effect element, and a pair of magnetic poles formed of a thin film. A magnetic head of the composite type in which a magnetic field is read from the magnetic recording medium using the magnetoresistive head, and information to the magnetic recording medium is recorded using the inductive thin film head. The magnetic disk device for performing the recording according to claim 1, wherein, with respect to the film thickness of the conductor layer, a portion in the vicinity of the magnetoresistive effect element portion is formed thin and another portion is formed thick.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29474294A JPH08153312A (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Magnetic head and magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29474294A JPH08153312A (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Magnetic head and magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153312A true JPH08153312A (en) | 1996-06-11 |
Family
ID=17811727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29474294A Pending JPH08153312A (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Magnetic head and magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08153312A (en) |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29474294A patent/JPH08153312A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030812 |