JPH08182095A - 超音波トランスジューサとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電板分割の際、容易かつ正確な分割位置合
わせが可能な超音波トランスジューサを提供することに
ある。また、電圧を印加せず超音波を発生させない非駆
動圧電振動子による電気的、音響的な漏れの影響を軽減
し、音場の乱れを減少させることが可能な超音波トラン
スジューサを提供する。 【構成】 電圧を印加させることにより超音波を発生さ
せる圧電板１０１と、圧電板１０１を複数の圧電振動子
１１３に分割するときの前記分割の位置を示す指標１１
を備え、各圧電振動子１１３と電気的かつ機械的に接続
され、外部から供給される電圧を圧電板１０１に印加さ
せるプリント配線板１０７とから成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波を被検体に送信
し、被検体からの反射波を受信する超音波トランスジュ
ーサとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電振動子を二次元配列した超音
波トランスジューサを用い、走査方向に加えてスライス
方向にもダイナミックフォーカス等の手法を用い超音波
画質を向上させる試みがなされている。

【０００３】前記圧電振動子を二次元配列した超音波ト
ランスジューサの一例を図１０に示す。図１０に示すよ
うに、圧電振動子を二次元配列した超音波トランスジュ
ーサ１００は、超音波を発生する圧電板１０１と、圧電
板１０１の超音波射出面と対向する面に形成された駆動
電極１０３と、圧電板１０１の超音波射出面に形成され
た共通電極１０５と、駆動電極１０３に対応する位置に
設けられた導体露出部１０７ａを介して駆動電極１０３
と電気的に接続されるプリント配線板１０７と、超音波
射出面と対向する面への振動を吸収するとともに振動継
続を防止するバッキング材１０９と、超音波の被検体へ
の送信を効率良くする音響整合層１１１とから成る。ま
た、超音波トランスジューサ１００は、圧電板１０１を
その超音波射出面と直行する方向に所定の間隔で分割す
ることにより成る複数の圧電振動子１１３を備える。こ
の圧電振動子１１３は、電圧を印加することにより超音
波を発生させる駆動圧電振動子１１３ａと、圧電板１０
１の最も外側に、圧電振動子製造精度上の制約により、
電圧を印加せず超音波を発生させない非駆動圧電振動子
１１３ｂから成る。

【０００４】また、プリント配線板１０７は、図１１に
示すように、基板表面に駆動電極１０３と対応させて設
けられた導体露出部１０７ａと、導体露出部１０７ａと
電気的に接続され、駆動電極１０３を引き出すリードと
なる配線パターン１０７ｂとを備える。

【０００５】また、配線パターン１０７ｂは、図１１、
図１２に示すように、中央部の導体露出部１０７ａ，１
０７ａを電気的に接続して外部に引き出し、端部の導体
露出部１０７ａ，１０７ａを電気的に接続して外部に引
き出している。

【０００６】この超音波トランスジューサ１００では、
駆動圧電振動子１１３ａの駆動電極１０３にプリント配
線板１０７を介して外部から電圧を印加することにより
超音波が射出される。

【０００７】なお、超音波トランスジューサ１００を超
音波射出面側から見ると図１３に示すように二次元配置
された音響整合層１１１と、プリント配線板１０７の配
線パターン１０７ｂの端部が確認できる。

【０００８】次に、従来の超音波トランスジューサ１０
０の製造方法の一例を図１０を用いて説明する。

【０００９】まず、圧電板１０１の超音波射出面と対向
する面に駆動電極１０３を形成する。次いで、駆動電極
１０３に圧電振動子１１３の配列ピッチで分割溝１１５
を設ける。なお、分割溝１１５はダイシングソーによっ
て設けられる。

【００１０】次いで、圧電板１０１とプリント配線板１
０７とを電気的かつ機械的に接続する。この接続は、圧
電振動子１１３の配列ピッチに応じて分割された駆動電
極１０３と、圧電振動子１１３の配列ピッチに応じてプ
リント配線板１０７に設けられた導体露出部１０７ａと
を対向配置し、駆動電極１０３と導体露出部１０７ａと
を導通させた状態で非導電性接着剤を用いて接着するこ
とにより行われる。

【００１１】次いで、プリント配線板１０７の導体露出
部１０７ａ形成面と対向する面に、振動を吸収するとと
もに振動継続を防止するバッキング材１０９を接続す
る。

【００１２】次いで、圧電振動子１１３の配列ピッチに
応じ、圧電板１０１を超音波射出面から完全に切断せず
に分割することにより、圧電振動子１１３を形成する。
なお前記分割は、ダイシングソーによって行われる。ま
た前記分割のうち、プリント配線板１０７の配線パター
ン１０７ｂと同一方向については、配線パターン１０７
ｂとダイシングソーのブレードを平行に合わせた後、圧
電板１０１の端面から所定ピッチで分割され、プリント
配線板１０７の配線パターン１０７ｂと直行する方向に
ついては、配線パターン１０７ｂを基準にしてダイシン
グソーのブレードを９０度回転させた後、圧電板１０１
の端部から所定のピッチで分割される。

【００１３】次いで、圧電振動子１１３を形成すること
により設けられた分割溝に樹脂を充填する。その後、圧
電板１０１の超音波射出面に共通電極１０５を形成す
る。次いで、共通電極１０５の表面側に音響整合層１１
１を形成する。

【００１４】次いで、圧電振動子１１３の配列ピッチに
対応させて音響整合層１１１を分割する。なお、前記音
響整合層１１１の分割は、共通電極１０５を分断しない
深さまで行われる。その後、前記分割溝に樹脂を充填す
る。

【００１５】このようにして圧電振動子１１３を二次元
配列した従来の超音波トランスジューサ１００が製造さ
れる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電振
動子１１３を二次元配列した従来の超音波トランスジュ
ーサでは、圧電振動子１１３に分割するときの前記分割
の位置を示す指標を特に備えていないので、プリント配
線板１０７の配線パターン１０７ｂと平行に圧電板１０
１を分割する場合は配線パターン１０７ｂを指標として
その分割位置を決めることが可能であるが、他方向に分
割する場合は配線パターン１０７ｂから直接分割位置を
決めることができず、分割位置精度が悪くなるという問
題がある。

【００１７】さらに、圧電板１０１から圧電振動子１１
３の分割する際、オペレータは配線パターン１０７ｂと
ダイシングソーのブレードを平行に合わせる動作と、圧
電板１０１の端面とダイシングソーのブレードを合わせ
る動作を行わなくてはならないので、手間が掛かるとい
う問題がある。

【００１８】また、圧電振動子１１３を二次元配列した
従来の超音波トランスジューサ１００では、圧電板１０
１を完全に切断せずに形成される圧電振動子１１３を備
えているので、隣接する圧電振動子１１３間で電気的、
音響的な漏れが生じるが、非駆動圧電振動子１１３ｂに
は駆動電極１０５が無いので、駆動圧電振動子１１３ａ
と非駆動圧電振動子１１３ｂとの終端の条件が異なり、
駆動圧電振動子１１３ａと駆動圧電振動子１１３ａとが
隣接している場合と、駆動圧電振動子１１３ａと非駆動
圧電振動子１１３ｂとが隣接している場合とで電気的、
音響的な漏れ量が異なるため音場が乱れるという問題が
ある。

【００１９】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その第１の目的は、圧電板分割の際、容易かつ正
確な分割位置合わせが可能な超音波トランスジューサを
提供することにある。第２の目的は、電圧を印加せず超
音波を発生させない非駆動圧電振動子による電気的、音
響的な漏れの影響を軽減し、音場の乱れを減少させるこ
とが可能な超音波トランスジューサを提供することにあ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、電圧を印加させることにより超音波を発
生させる圧電板と、前記圧電板を複数の圧電振動子に分
割するときの前記分割の位置を示す指標を備え、前記各
圧電振動子と電気的かつ機械的に接続され、外部から供
給される電圧を前記圧電板に印加させるプリント配線板
とを具備することを特徴としている。

【００２１】また、電圧を印加することにより超音波を
発生する圧電板を分割して成り、電圧を印加して超音波
を発生させる複数の駆動圧電振動子と、前記圧電板を分
割して成り、電圧を印加せず超音波を発生させない非駆
動圧電振動子とを備える超音波トランスジューサにおい
て、前記非駆動圧電振動子の一方の面に電気的に接続さ
せて設けられ、前記駆動圧電振動子に設けられた接地用
の電極とともに共通に接地される第一の電極と、前記非
駆動圧電振動子の他方の面に電気的に接続させて設けら
れた第二の電極とを備えたことを特徴としている。

【００２２】さらに、電圧を印加することにより超音波
を発生する圧電板を分割して成り、電圧を印加して超音
波を発生させる複数の駆動圧電振動子と、前記圧電板を
分割して成り、電圧を印加せず超音波を発生させない非
駆動圧電振動子とを備える超音波トランスジューサにお
いて、前記非駆動圧電振動子の一方の面に電気的に接続
させて設けられ、前記駆動圧電振動子に設けられた接地
用の電極とともに共通に接地される第一の電極と、前記
非駆動圧電振動子の他方の面に電気的に接続させて設け
られた第２電極と、前記圧電板を複数の圧電振動子に分
割するときの前記分割の位置を示す指標を備え、前記各
駆動圧電振動子と電気的かつ機械的に接続され、外部か
ら供給される電圧を前記各駆動圧電振動子に印加させる
プリント配線板と、を備えたことを特徴としている。

【００２３】さらに、電圧を印加することにより超音波
を発生する圧電板と、外部から供給される電圧を前記圧
電板に印加させ、かつ、前記圧電板を複数の圧電振動子
に分割するときの前記分割の位置を示す指標を備えたプ
リント配線板と、を電気的かつ機械的に接続する工程
と、前記指標を基にして複数の圧電振動子に分割する工
程と、を具備することを特徴としている。

【００２４】

【作用】上記構成によれば、プリント配線板は、電圧を
印加させることにより超音波を発生させる圧電板を複数
の圧電振動子に分割するときの前記分割の位置を示す指
標を備え、前記各圧電振動子と電気的かつ機械的に接続
され、外部から供給される電圧を前記圧電板に印加させ
る。このため、圧電板分割の際、容易かつ正確に分割位
置合わせを行うことができる。

【００２５】また、電圧を印加することにより超音波を
発生する圧電板を分割して成り、電圧を印加して超音波
を発生させる複数の駆動圧電振動子と、前記圧電板を分
割して成り、電圧を印加せず超音波を発生させない非駆
動圧電振動子とを備える超音波トランスジューサにおい
て、第一の電極は、前記非駆動圧電振動子の一方の面に
電気的に接続させて設けられ、前記駆動圧電振動子に設
けられた接地用の電極とともに共通に接地され、第二の
電極は、前記非駆動圧電振動子の他方の面に電気的に接
続させて設けられる。このため、第二の電極を接地、ま
たは、前記第一の電極と電気的に接続、または、少なく
とも一つの他の非駆動圧電振動子の第二の電極と電気的
に接続することにより、前記非駆動圧電振動子による電
気的、音響的な漏れの影響を軽減し、音場の乱れを減少
させる。

【００２６】さらに、電圧を印加することにより超音波
を発生する圧電板と、外部から供給される電圧を前記圧
電板に印加させ、かつ、前記圧電板を複数の圧電振動子
に分割するときの前記分割の位置を示す指標を備えたプ
リント配線板と、を電気的かつ機械的に接続し、前記指
標を基にして複数の圧電振動子に分割するので、圧電板
分割の際、容易かつ正確な分割位置合わせが可能とな
る。

【００２７】

【実施例】図１は、本発明に係る超音波トランスジュー
サの第１実施例を示す平面図である。なお、図１０に示
す従来の超音波トランスジューサと同一部材には同一符
号を付して説明は省略する。

【００２８】第１実施例の超音波トランスジューサ１０
は、図１０に示す従来の超音波トランスジューサと同
様、超音波を発生する圧電板１０１と、圧電板１０１の
超音波射出面と対向する面に形成された駆動電極１０３
と、圧電板１０１の超音波射出面に形成された共通電極
１０５と、駆動電極１０３に対応する位置に設けられた
導体露出部１０７ａを介して駆動電極１０３と電気的に
接続されるプリント配線板１０７と、超音波射出面と対
向する面への振動を吸収するとともに振動継続を防止す
るバッキング材１０９と、超音波の被検体への送信を効
率良くする音響整合層１１１とから成る。

【００２９】特に、超音波トランスジューサ１０のプリ
ント配線板１０７は、図１に示すように、圧電板１０１
をその超音波射出面と直行する方向に所定の間隔で分割
することにより成る複数の圧電振動子１１３の前記分割
位置に対応した位置、かつ、圧電板１０１の近傍かつ表
面側から確認可能な位置に指標１１が設けられている。

【００３０】指標１１は、プリント配線板１０７の配線
パターン１０７ｂと同一の材質であり、配線パターン１
０７ｂの形成時と同時に形成される。

【００３１】また、図１に示す指標１１は、ライン状で
あるが、図２に示すように分割位置のみ示す点であって
も良い。さらに、図１に示す指標１１は、分割数と同一
数設けられているが、図３に示すように分割数以下にし
ても良い。さらに、図１に示す指標１１は、対向する２
点で分割の位置を指示するように設けられているが、片
側１点で分割の位置を指示するように設けても良い。

【００３２】さらに、図１〜図３に示す指標１１は、分
割位置に設けられているが、図４に示すように分割位置
と分割位置の中間地点に設けるようにしても良い。

【００３３】さらに、図１〜図４に示す指標１１は、二
つの分割方向に対して一方向にのみ設けられているが、
二つの分割方向共に設けるようにしても良い。

【００３４】さらに、図１〜図４に示す指標１１は、配
線パターン１０７ｂと同一の材質で配線パターン１０７
ｂと同時に形成されるが、インク等でプリント配線板１
０７の所定位値に印刷するようにしても良い。

【００３５】次に、第１実施例の超音波トランスジュー
サの各圧電振動子１１３への分割方法を説明する。

【００３６】まず、圧電板１０１とプリント配線板１０
７とを電気的かつ機械的に接続する。この接続は、圧電
振動子１１３の配列ピッチに応じて分割された駆動電極
１０３と、前記圧電振動子１１３の配列ピッチに応じて
プリント配線板１０７に設けられた導体露出部１０７ａ
とを対向配置し、駆動電極１０３と導体露出部１０７ａ
とを導通させた状態で非導電性接着剤を用いて接着する
ことにより行われる。

【００３７】この状態で圧電板１０１を各圧電振動子１
１３にダイシングソーを用いて分割する。前記分割のう
ち、プリント配線板１０７の配線パターン１０７ｂと同
一方向については、配線パターン１０７ｂとダイシング
ソーのブレードを平行に合わせた後、圧電板１０１の端
面から所定ピッチで分割され、プリント配線板１０７の
配線パターン１０７ｂと直行する方向については、指標
１１にダイシングソーのブレードを一致させて所定のピ
ッチで分割される。

【００３８】このように、第１実施例の超音波トランス
ジューサ１０は、圧電板１０１をその超音波射出面と直
行する方向に所定の間隔で分割することにより成る複数
の圧電振動子１１３の前記分割位置に対応した位置、か
つ、圧電板１０１の近傍かつ表面側から確認可能な位置
に指標１１の設けられたプリント配線板１０７を備えて
いるので、指標１１に従って圧電板１０１を分割でき、
圧電板１０１の分割位置合わせを容易かつ正確に行うこ
とができる。

【００３９】図５は、本発明に係る超音波トランスジュ
ーサの第２実施例を示す平面図である。なお、図１０に
示す従来の超音波トランスジューサと同一部材には同一
符号を付して説明は省略する。

【００４０】図５に示すように第２実施例の超音波トラ
ンスジューサ２０は、図１０に示す従来の超音波トラン
スジューサと同様、超音波を発生する圧電板１０１と、
圧電板１０１の超音波射出面と対向する面に形成された
駆動電極１０３と、圧電板１０１の超音波射出面に形成
された共通電極１０５と、駆動電極１０３に対応する位
置に設けられた導体露出部１０７ａを介して駆動電極１
０３と電気的に接続されるプリント配線板２１と、超音
波射出面と対向する面への振動を吸収するとともに振動
継続を防止するバッキング材１０９と、超音波の被検体
への送信を効率良くする音響整合層１１１とから成る。
また、超音波トランスジューサ２０は、圧電板１０１を
その超音波射出面と直行する方向に所定の間隔で分割す
ることにより成る二次元配列された複数の圧電振動子１
１３を備える。

【００４１】圧電振動子１１３は、駆動電極１０３に電
圧を印加することにより超音波を発生させる駆動圧電振
動子１１３ａと、圧電振動子１１３製造精度上の制約の
ため、圧電板１０１の最も外側に設けられ、電圧を印加
せず超音波を発生させない非駆動圧電振動子１１３ｂと
から成る。

【００４２】また、プリント配線板２１は、図６に示す
ように、基板表面に駆動電極１０３と対応させて設けら
れた導体露出部１０７ａと、導体露出部１０７ａと電気
的に接続され、駆動電極１０３を引き出すリードとなる
配線パターン２３とを備える。

【００４３】特に、第２実施例の超音波トランスジュー
サ２０は、非駆動圧電振動子１１３ｂの共通電極１０５
と対向する面に電気的に接続させて設けられ、接地され
る接地電極１０３ａを備える。

【００４４】これにより、非駆動圧電振動子１１３ｂの
両端は同電位になるため振動が抑制され、したがって非
駆動圧電振動子１１３ｂによる電気的、音響的な漏れの
影響が軽減される。

【００４５】次に、第２実施例の超音波トランスジュー
サ２０のプリント配線板２１の一例を図６に示す。

【００４６】図６に示すように、超音波トランスジュー
サ２０のプリント配線板２１には、非駆動圧電振動子１
１３ｂに電気的に接続させて設けられた接地電極１０３
ａとの接続位置に対応させて新たに導体露出部１０７ａ
が設けられている。前記新たに設けられた導体露出部１
０７ａのうち、プリント配線板２１の配線パターン２３
と同一方向については、導体露出部１０７ａを配線パタ
ーン２３ａを介して共通に接続して接地させる。また、
プリント配線板２１の配線パターン２３と直行する方向
については、導体露出部１０７ａを配線パターン２３ｂ
を介して独立に接地させる。

【００４７】また、前記新たに設けられた導体露出部１
０７ａのうち、プリント配線板２１の配線パターン２３
と直行する方向については、対向する２つの導体露出部
１０７ａ毎に配線パターン２３を介して共通に接続させ
て接地させるようにしても良い。

【００４８】次に、非駆動圧電振動子１１３ｂの接地電
極１０３ａを接地するときの他の例を図７に示す。図７
に示す例では、非駆動圧電振動子１１３ｂの接地電極１
０３ａを圧電板側面部２５まで形成することにより共通
電極１０５と電気的に接続し、共通電極１０５と同一の
経路で接地させている。

【００４９】このように第２実施例の超音波トランスジ
ューサ２０は、非駆動圧電振動子１１３ｂの共通電極１
０５と対向する面に電気的に接続させて設けられ、接地
される接地電極１０３ａを備えているので、非駆動圧電
振動子１１３ｂによる電気的、音響的な漏れの影響を軽
減させることができる。

【００５０】図８は、本発明に係る超音波トランスジュ
ーサの第３実施例を示す平面図である。なお、図１０に
示す従来の超音波トランスジューサと同一部材には同一
符号を付して説明は省略する。

【００５１】図８に示すように本実施例の超音波トラン
スジューサ３０は、非駆動圧電振動子１１３ｂの共通電
極１０５と対向する面に電気的に接続させて設けられた
共通接続電極１０３ｂを備える。この共通接続電極１０
３ｂでは、少なくとも対向する２つの共通接続電極１０
３ｂ同志が共通に接続される。

【００５２】次に、第３実施例の超音波トランスジュー
サ３０のプリント配線板３１の一例を図９に示す。

【００５３】図９に示すように、プリント配線板３１に
は、非駆動圧電振動子１１３ｂに電気的に接続させて設
けられた接地電極１０３ａとの接続位置に対応させて新
たに導体露出部１０７ａが設けられている。前記新たに
設けられた導体露出部１０７ａのうち、プリント配線板
３１の配線パターン３３と同一方向については、導体露
出部１０７ａを配線パターン３３ａを介して共通に接続
して接地させる。また、プリント配線板３１の配線パタ
ーン３３と直行する方向については、対向する２つの導
体露出部１０７ａ毎に配線パターン３３ｂを介して共通
に接続させる。

【００５４】なお、図示しないがプリント配線板３１の
配線パターン３３と直行する方向については、前記２つ
の導体露出部１０７ａ毎に配線パターン３３ｂを介して
共通に接続した後、配線パターン３３ｂを延長し、駆動
圧電振動子１１３ａに接続されている電子回路と同様の
電気的付加で終端させるようにしても良い。この場合、
非駆動圧電振動子１１３ｂの終端の条件も駆動圧電振動
子１１３ａの終端の条件と同一にすることができる。

【００５５】図９に示す例では、非駆動圧電振動子１１
３ｂが圧電板１０１の周囲部４辺について設けられてお
り、前記４辺のうち、プリント配線板３１の配線パター
ン３３と同一方向については、導体露出部１０７ａと配
線パターン３３ａを介して共通接続されて接地され、ま
た、プリント配線板３１の配線パターン３３と直行する
方向については、導体露出部１０７ａと配線パターン３
３ｂを介して共通接続されるが、前記プリント配線板３
１の配線パターン３３と同一方向については、従来の超
音波トランスジューサのようにオープンとしても良い。

【００５６】このように第３実施例の超音波トランスジ
ューサ２０は、非駆動圧電振動子１１３ｂの共通電極１
０５と対向する面に電気的に接続させて設けられた共通
接続電極１０３ｂが少なくとも対向する２つの共通接続
電極１０３ｂ同志を共通に接続して成るので、非駆動圧
電振動子１１３ｂによる電気的、音響的な漏れの影響を
軽減させることができる。

【００５７】なお、第２実施例の超音波トランスジュー
サ２０のプリント配線板２１と第３実施例の超音波トラ
ンスジューサ３０のプリント配線板３１では、第１実施
例の超音波トランスジューサ１０のプリント配線板１０
７に設けられた指標１１を設けていないが、圧電板１０
１をその超音波射出面と直行する方向に所定の間隔で分
割することにより成る複数の圧電振動子１１３の前記分
割位置に対応した位置、かつ、圧電板１０１の近傍かつ
表面側から確認可能な位置に指標１１を設けることによ
り、第１実施例の超音波トランスジューサ１０同様、指
標１１に従って圧電板１０１を分割でき、圧電板１０１
の分割位置合わせを容易かつ正確に行うことができる。

【００５８】なお、第１〜３実施例の超音波トランスジ
ューサ１０，２０，３０は、駆動電極１０３の取り出し
をプリント配線板１０７，２１，３１の配線パターン１
０７ｂ，２３，３３で行っているが、例えば、駆動電極
１０３にワイヤーボンディングを行って取り出す、駆動
電極１０３に導電性のピンを立て、外周を樹脂でモール
ドし、前記ピンにより取り出す、圧電板１０１の背面側
に導電性薄膜のパターンを形成する、プリント配線板１
０７，２１，３１を積層構造にして取り出すようにして
も良い。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
圧を印加させることにより超音波を発生させる圧電板を
複数の圧電振動子に分割するときの前記分割の位置を示
す指標を備え、前記各圧電振動子と電気的かつ機械的に
接続され、外部から供給される電圧を前記圧電板に印加
させるプリント配線板を具備しているので、圧電板分割
の際、容易かつ正確な分割位置合わせが可能となる。

【００６０】また、前記圧電板を分割して成り、電圧を
印加せず超音波を発生させない非駆動圧電振動子の一方
の面に電気的に接続させて設けられ、前記駆動圧電振動
子に設けられた接地用の電極とともに共通に接地される
第一の電極と、前記非駆動圧電振動子の他方の面に電気
的に接続させて設けられた第二の電極とを備えているの
で、前記第二の電極を接地、または、前記第二の電極を
前記第一の電極と電気的に接続、または、前記第二の電
極を少なくとも一つの他の非駆動圧電振動子の第二の電
極と電気的に接続することにより、前記非駆動圧電振動
子による電気的、音響的な漏れの影響を軽減し、音場の
乱れを減少させることが可能と成る。

【００６１】さらに、電圧を印加することにより超音波
を発生する圧電板と、外部から供給される電圧を前記圧
電板に印加させ、かつ、前記圧電板を複数の圧電振動子
に分割するときの前記分割の位置を示す指標を備えたプ
リント配線板と、を電気的かつ機械的に接続し、前記指
標を基にして複数の圧電振動子に分割するので、圧電板
分割の際、容易かつ正確な分割位置合わせが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波トランスジューサの第１実
施例を示す平面図。

【図２】分割位置のみの指標を示す説明図。

【図３】指標の数を分割数以下にした場合の説明図。

【図４】指標を分割位置と分割位置の中間地点に設ける
ようにした場合の説明図。

【図５】本発明に係る超音波トランスジューサの第２実
施例を示す平面図。

【図６】図５に示すに第２実施例の超音波トランスジュ
ーサのプリント配線板の一例を示す説明図。

【図７】駆動を意図しない圧電振動子の駆動電極を接地
するときの例を示す説明図。

【図８】本発明に係る超音波トランスジューサの第３実
施例を示す平面図。

【図９】図８に示す第３実施例の超音波トランスジュー
サのプリント配線板の一例を示す説明図。

【図１０】圧電振動子を二次元配列した従来の超音波ト
ランスジューサを示す説明図。

【図１１】図１０に示す従来の超音波トランスジューサ
に用いられるプリント配線板を示す説明図。

【図１２】複数の圧電振動子の駆動電極を共通接続する
場合を示す説明図。

【図１３】プリント配線板１００に接続された圧電板と
圧電板分割位置を示す説明図。

【符号の説明】

１０，２０，３０ 超音波トランスジューサ １１
指標 ２１，３１ プリント配線板 ２３，３３ 配線パタ
ーン ２５ 圧電板側面部 １００ 超音波トランスジュー
サ １０１ 圧電板 １０３ 駆動電極 １０５ 共通
電極 １０７ プリント配線板 １０７ａ 導体露出部 １０７ｂ 配線パターン １０９ バッキング材
１１１ 音響整合層 １１３ 圧電振動子 １１３ａ 駆動圧電振動子 １１３ｂ 非駆動圧電振動子 １１５ 分割溝

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電圧を印加させることにより超音波を発
   生させる圧電板と、 前記圧電板を複数の圧電振動子に分割するときの前記分
   割の位置を示す指標を備え、前記各圧電振動子と電気的
   かつ機械的に接続され、外部から供給される電圧を前記
   圧電板に印加させるプリント配線板と、 を具備することを特徴とする超音波トランスジューサ。
2. 【請求項２】 前記指標は、プリント配線板の配線パタ
   ーンと同一の材質から成る請求項１記載の超音波トラン
   スジューサ。
3. 【請求項３】 電圧を印加することにより超音波を発生
   する圧電板を分割して成り、電圧を印加して超音波を発
   生させる複数の駆動圧電振動子と、前記圧電板を分割し
   て成り、電圧を印加せず超音波を発生させない非駆動圧
   電振動子とを備える超音波トランスジューサにおいて、 前記非駆動圧電振動子の一方の面に電気的に接続させて
   設けられ、前記駆動圧電振動子に設けられた接地用の電
   極とともに共通に接地される第一の電極と、前記非駆動
   圧電振動子の他方の面に電気的に接続させて設けられた
   第二の電極と、を備えたことを特徴とする超音波トラン
   スジューサ。
4. 【請求項４】 電圧を印加することにより超音波を発生
   する圧電板を分割して成り、電圧を印加して超音波を発
   生させる複数の駆動圧電振動子と、前記圧電板を分割し
   て成り、電圧を印加せず超音波を発生させない非駆動圧
   電振動子とを備える超音波トランスジューサにおいて、 前記非駆動圧電振動子の一方の面に電気的に接続させて
   設けられ、前記駆動圧電振動子に設けられた接地用の電
   極とともに共通に接地される第一の電極と、 前記非駆動圧電振動子の他方の面に電気的に接続させて
   設けられた第２電極と、 前記圧電板を複数の圧電振動子に分割するときの前記分
   割の位置を示す指標を備え、前記各駆動圧電振動子と電
   気的かつ機械的に接続され、外部から供給される電圧を
   前記各駆動圧電振動子に印加させるプリント配線板と、 を備えたことを特徴とする超音波トランスジューサ。
5. 【請求項５】 前記第二の電極は、接地されて成る請求
   項３または請求項４記載の超音波トランスジューサ。
6. 【請求項６】 前記第二の電極は、前記第一の電極と電
   気的に接続されて成る請求項３または請求項４記載の超
   音波トランスジューサ。
7. 【請求項７】 前記第二の電極は、少なくとも一つの他
   の非駆動圧電振動子の第二の電極と電気的に接続されて
   成る請求項３または請求項４記載の超音波トランスジュ
   ーサ。
8. 【請求項８】 電圧を印加することにより超音波を発生
   する圧電板と、外部から供給される電圧を前記圧電板に
   印加させ、かつ、前記圧電板を複数の圧電振動子に分割
   するときの前記分割の位置を示す指標を備えたプリント
   配線板と、を電気的かつ機械的に接続する工程と、 前記指標を基にして複数の圧電振動子に分割する工程
   と、 を具備することを特徴とする超音波トランスジューサの
   製造方法。