JPH088152A - 排気装置 - Google Patents
排気装置Info
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- JPH088152A JPH088152A JP6165891A JP16589194A JPH088152A JP H088152 A JPH088152 A JP H088152A JP 6165891 A JP6165891 A JP 6165891A JP 16589194 A JP16589194 A JP 16589194A JP H088152 A JPH088152 A JP H088152A
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- opening
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 配管及び排気シーケンスが複雑になることな
く初期排気時のウエハ近傍の気流の乱れを防止し得る排
気装置を提供する。 【構成】 第１の開口を有する第１の区画部材によりチ
ャンバ内をウエハ側と排気ポンプ手段側とに区画すると
共に気流を層流とし、この第１の区画部材側と排気ポン
プ手段側とを第２の開口を有する第２の区画部材により
区画し、更にチャンバ内と排気管との間の圧力差若しく
は排気によりこの第２の開口の面積を変化させるように
して、初期排気時に排気コンダクタンスを最小とし、か
つ徐々に排気コンダクタンスが大きくなるように第２の
開口の面積を変化させるようにすることで、配管及び排
気シーケンスが複雑になることなく初期排気時のウエハ
近傍の気流の乱れを防止し得る。
く初期排気時のウエハ近傍の気流の乱れを防止し得る排
気装置を提供する。 【構成】 第１の開口を有する第１の区画部材によりチ
ャンバ内をウエハ側と排気ポンプ手段側とに区画すると
共に気流を層流とし、この第１の区画部材側と排気ポン
プ手段側とを第２の開口を有する第２の区画部材により
区画し、更にチャンバ内と排気管との間の圧力差若しく
は排気によりこの第２の開口の面積を変化させるように
して、初期排気時に排気コンダクタンスを最小とし、か
つ徐々に排気コンダクタンスが大きくなるように第２の
開口の面積を変化させるようにすることで、配管及び排
気シーケンスが複雑になることなく初期排気時のウエハ
近傍の気流の乱れを防止し得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハを収納した真空
チャンバ内を真空に排気するための排気装置に関するも
のである。
チャンバ内を真空に排気するための排気装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハを収納した真空チャンバ内を真空
に排気する際の気流の乱れにより塵埃が舞ってウエハ上
に付着することを防止するべく、コンダクタンスの異な
る２種類以上の排気バルブを従来は用いていた。即ち、
まずコンダクタンスの小さい排気バルブを開けて真空チ
ャンバ内を或る一定の時間、または真空チャンバ内の圧
力が設定された圧力になるまで排気し、次にコンダクタ
ンスの大きな排気バルブを開けて排気を行っていた。
に排気する際の気流の乱れにより塵埃が舞ってウエハ上
に付着することを防止するべく、コンダクタンスの異な
る２種類以上の排気バルブを従来は用いていた。即ち、
まずコンダクタンスの小さい排気バルブを開けて真空チ
ャンバ内を或る一定の時間、または真空チャンバ内の圧
力が設定された圧力になるまで排気し、次にコンダクタ
ンスの大きな排気バルブを開けて排気を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような構成は真空チャンバに２個以上の排気バルブを
取り付ける必要があり、配管及び排気シーケンスが複雑
になるばかりでなく、真空チャンバ内の特にウエハ近傍
が層流にならず、実際には気流の乱れを抑制したとは云
えないという問題があった。
たような構成は真空チャンバに２個以上の排気バルブを
取り付ける必要があり、配管及び排気シーケンスが複雑
になるばかりでなく、真空チャンバ内の特にウエハ近傍
が層流にならず、実際には気流の乱れを抑制したとは云
えないという問題があった。
【０００４】本発明は上記したような従来技術の問題点
に鑑みなされたものであり、配管及び排気シーケンスが
複雑になることなく初期排気時のウエハ近傍の気流の乱
れを防止し得る排気装置を提供することを目的とする。
に鑑みなされたものであり、配管及び排気シーケンスが
複雑になることなく初期排気時のウエハ近傍の気流の乱
れを防止し得る排気装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記した目的は本発明に
よれば、支持台により支持されたウエハが収納されたチ
ャンバ内を真空に排気するための排気装置に於て、前記
チャンバに排気管を介して接続された排気ポンプ手段
と、前記ウエハ側と前記排気ポンプ手段側とを区画する
と共に気流を層流とするための多数の第１の開口を有す
る第１の区画部材と、前記第１の区画部材側と前記排気
ポンプ手段側とを区画すると共に第２の開口を有する第
２の区画部材と、前記第２の開口の面積を変化し得る絞
り機構とを有し、前記絞り機構により初期排気時に排気
コンダクタンスを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタ
ンスが大きくなるように前記第２の開口の面積を変化さ
せる制御手段とを有することを特徴とする排気装置を提
供することにより達成される。
よれば、支持台により支持されたウエハが収納されたチ
ャンバ内を真空に排気するための排気装置に於て、前記
チャンバに排気管を介して接続された排気ポンプ手段
と、前記ウエハ側と前記排気ポンプ手段側とを区画する
と共に気流を層流とするための多数の第１の開口を有す
る第１の区画部材と、前記第１の区画部材側と前記排気
ポンプ手段側とを区画すると共に第２の開口を有する第
２の区画部材と、前記第２の開口の面積を変化し得る絞
り機構とを有し、前記絞り機構により初期排気時に排気
コンダクタンスを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタ
ンスが大きくなるように前記第２の開口の面積を変化さ
せる制御手段とを有することを特徴とする排気装置を提
供することにより達成される。
【０００６】
【作用】本発明の排気装置は、圧力差若しくは排気流速
により第２の開口の面積を変化させて初期排気時に排気
コンダクタンスを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタ
ンスが大きくなるように前記第２の開口の面積を変化さ
せることにより、初期排気時の気流の乱れを抑制でき
る。
により第２の開口の面積を変化させて初期排気時に排気
コンダクタンスを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタ
ンスが大きくなるように前記第２の開口の面積を変化さ
せることにより、初期排気時の気流の乱れを抑制でき
る。
【０００７】
【実施例】以下に本発明に基づく排気装置について添付
の図面を参照して詳細に説明する。
の図面を参照して詳細に説明する。
【０００８】図１は、本発明に基づく第１の実施例を示
す排気装置を具備するウエハ処理装置の要部概略構成を
示す断面図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線について
見た矢視図である。図１に示すように、円筒状の真空チ
ャンバ１の上部には、ウエハＡを出し入れするべくＯリ
ングでシールされた蓋２が設けられている。この真空チ
ャンバ１内にはウエハＡを支持するための円板状の支持
台３が設けられている。支持台３の周辺部と真空チャン
バ１の内側壁面１ａとの間にはドーナツ状の第１の区画
部材としての排気板４が設けられている。この排気板４
と支持台３とにより真空チャンバ１内が区画されてい
る。排気板４には多数の第１の開口５が開設されてい
る。
す排気装置を具備するウエハ処理装置の要部概略構成を
示す断面図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線について
見た矢視図である。図１に示すように、円筒状の真空チ
ャンバ１の上部には、ウエハＡを出し入れするべくＯリ
ングでシールされた蓋２が設けられている。この真空チ
ャンバ１内にはウエハＡを支持するための円板状の支持
台３が設けられている。支持台３の周辺部と真空チャン
バ１の内側壁面１ａとの間にはドーナツ状の第１の区画
部材としての排気板４が設けられている。この排気板４
と支持台３とにより真空チャンバ１内が区画されてい
る。排気板４には多数の第１の開口５が開設されてい
る。
【０００９】真空チャンバ１内の図１に於ける支持台３
及び排気板４の下部に形成され、排気板４の下の周辺に
図２に示すように複数の第２の開口７が開設された第２
の区画部材としての円板状の排気板６が設けられてい
る。この排気板６の中心部と真空チャンバ１の底部との
間には、軸受９、１０により回転軸８が回動自在に枢支
されている。回転軸８の上部側には、排気板６の図１に
於ける下側に密接する位置に配設された可動板１１が支
持され、回転軸８と共に回動し得るようになっている。
この可動板１１には、該可動板１１が回転することによ
り、排気板６に配設された各第２の開口７に整合する位
置と整合しない位置（図２の破線）とを取り得る各第２
の開口７に対応する複数の第３の開口１２が開設されて
いる。また、回転軸８には図２に示すようにアーム１３
を介して一対の引っ張りコイルばね１４ａ、１４ｂの一
端が係合されている。ばね１４ａ、１４ｂの他端は真空
チャンバ１の内側壁面１ａに係合され、可動板１１の各
第３の開口１２が排気板６の各第２の開口７に整合する
位置に向けて回転軸８を付勢している。尚、ばね１４と
して本実施例では引っ張りコイルばねを用いたが、捩り
コイルばねや空気ばね、板ばねなどを適宜用いて良いこ
とは云うまでもない。
及び排気板４の下部に形成され、排気板４の下の周辺に
図２に示すように複数の第２の開口７が開設された第２
の区画部材としての円板状の排気板６が設けられてい
る。この排気板６の中心部と真空チャンバ１の底部との
間には、軸受９、１０により回転軸８が回動自在に枢支
されている。回転軸８の上部側には、排気板６の図１に
於ける下側に密接する位置に配設された可動板１１が支
持され、回転軸８と共に回動し得るようになっている。
この可動板１１には、該可動板１１が回転することによ
り、排気板６に配設された各第２の開口７に整合する位
置と整合しない位置（図２の破線）とを取り得る各第２
の開口７に対応する複数の第３の開口１２が開設されて
いる。また、回転軸８には図２に示すようにアーム１３
を介して一対の引っ張りコイルばね１４ａ、１４ｂの一
端が係合されている。ばね１４ａ、１４ｂの他端は真空
チャンバ１の内側壁面１ａに係合され、可動板１１の各
第３の開口１２が排気板６の各第２の開口７に整合する
位置に向けて回転軸８を付勢している。尚、ばね１４と
して本実施例では引っ張りコイルばねを用いたが、捩り
コイルばねや空気ばね、板ばねなどを適宜用いて良いこ
とは云うまでもない。
【００１０】一方、図１に於ける下側の軸受１０の下方
には駆動室１６が画定され、回転軸８が軸受１０を貫通
してこの駆動室１６に突入している。回転軸８の最下端
部には、駆動室１６内に受容された羽部材１７が設けら
れている。駆動室１６は真空チャンバ１と上側で連通す
ると共に下側で真空バルブ１８及び排気管１９を介して
排気ポンプ２０に接続されている。そして、排気ポンプ
１９を作動させて駆動室１６内の排気流速が高くなると
羽部材１７がばね１４ａ、１４ｂの付勢力に抗して回転
し、即ち各第２の開口７に第３の開口１２が整合しない
位置に向けて可動板１１が回転するようになっている。
即ち、本実施例では回転軸８、第３の開口１２を有する
可動板１１、ばね１４ａ、１４ｂ、駆動室１６及び羽部
材１７が、排気流により第２の開口７の面積を可変制御
し得るようになっている。
には駆動室１６が画定され、回転軸８が軸受１０を貫通
してこの駆動室１６に突入している。回転軸８の最下端
部には、駆動室１６内に受容された羽部材１７が設けら
れている。駆動室１６は真空チャンバ１と上側で連通す
ると共に下側で真空バルブ１８及び排気管１９を介して
排気ポンプ２０に接続されている。そして、排気ポンプ
１９を作動させて駆動室１６内の排気流速が高くなると
羽部材１７がばね１４ａ、１４ｂの付勢力に抗して回転
し、即ち各第２の開口７に第３の開口１２が整合しない
位置に向けて可動板１１が回転するようになっている。
即ち、本実施例では回転軸８、第３の開口１２を有する
可動板１１、ばね１４ａ、１４ｂ、駆動室１６及び羽部
材１７が、排気流により第２の開口７の面積を可変制御
し得るようになっている。
【００１１】次に、上述した構成の排気装置の動作要領
を説明する。
を説明する。
【００１２】図に於てまず、真空チャンバ１内を排気す
る前には、ばね１４ａ、１４ｂの付勢力により排気板６
の各第２の開口７に対応する可動板１１の各第３の開口
１２が整合する位置に可動板１１がある。そして、真空
バルブ１８を開けて排気ポンプ２０を作動させることに
より真空チャンバ１内の真空排気を行う。初期排気時
は、真空チャンバ１の下部空間、即ち排気板４より下部
の空気が駆動室１６内に急激に流れ込み、羽部材１７が
その気流により図２に於ける反時計周りに回転し、回転
軸８を介して可動板１１も一緒に回転する。これによ
り、図２に破線で示すように排気板６の各第２の開口７
と可動板１１の各第３の開口１２とは整合しなくなり、
即ち排気板６と可動板１１との隙間からしか排気されな
くなり、排気コンダクタンスが小さくなる。そして、図
１に於ける真空チャンバ１の排気板４よりも上部側の空
気は、多数の小さな第１の開口５を通して排気されるこ
とも相俟って層流となり、気流の乱れもなく初期排気が
行われる。ここで、実際には排気板６の各第２の開口７
と可動板１１の各第３の開口１２とのずれ量をばね１４
ａ、１４ｂの付勢力、羽部材の形状または大きさなどの
設定を変えることにより調整して初期排気時の排気コン
ダクタンスの大きさを可変とすることができる。
る前には、ばね１４ａ、１４ｂの付勢力により排気板６
の各第２の開口７に対応する可動板１１の各第３の開口
１２が整合する位置に可動板１１がある。そして、真空
バルブ１８を開けて排気ポンプ２０を作動させることに
より真空チャンバ１内の真空排気を行う。初期排気時
は、真空チャンバ１の下部空間、即ち排気板４より下部
の空気が駆動室１６内に急激に流れ込み、羽部材１７が
その気流により図２に於ける反時計周りに回転し、回転
軸８を介して可動板１１も一緒に回転する。これによ
り、図２に破線で示すように排気板６の各第２の開口７
と可動板１１の各第３の開口１２とは整合しなくなり、
即ち排気板６と可動板１１との隙間からしか排気されな
くなり、排気コンダクタンスが小さくなる。そして、図
１に於ける真空チャンバ１の排気板４よりも上部側の空
気は、多数の小さな第１の開口５を通して排気されるこ
とも相俟って層流となり、気流の乱れもなく初期排気が
行われる。ここで、実際には排気板６の各第２の開口７
と可動板１１の各第３の開口１２とのずれ量をばね１４
ａ、１４ｂの付勢力、羽部材の形状または大きさなどの
設定を変えることにより調整して初期排気時の排気コン
ダクタンスの大きさを可変とすることができる。
【００１３】排気時間が経過して真空チャンバ１内の圧
力が低下してくると駆動室１６内の羽部材１７を回転さ
せる流速が弱まり、徐々にばね１４ａ、１４ｂに引っ張
られて元の位置に戻り、排気板６の各第２の開口７と可
動板１１の各第３の開口１２とが整合してくる。即ち、
徐々に排気コンダクタンスが大きくなり排気速度を高く
して早期に排気することができる。図３のグラフに排気
初期から排気完了までの時間と排気コンダクタンスとの
関係を示す。
力が低下してくると駆動室１６内の羽部材１７を回転さ
せる流速が弱まり、徐々にばね１４ａ、１４ｂに引っ張
られて元の位置に戻り、排気板６の各第２の開口７と可
動板１１の各第３の開口１２とが整合してくる。即ち、
徐々に排気コンダクタンスが大きくなり排気速度を高く
して早期に排気することができる。図３のグラフに排気
初期から排気完了までの時間と排気コンダクタンスとの
関係を示す。
【００１４】図３に示すように、排気時間の経過により
真空チャンバ１内を排気するコンダクタンスを変化させ
ることにより、初期排気時の気流の乱れを抑え、塵埃の
発生を防止しつつ真空チャンバ１の排気を行うことがで
きる。
真空チャンバ１内を排気するコンダクタンスを変化させ
ることにより、初期排気時の気流の乱れを抑え、塵埃の
発生を防止しつつ真空チャンバ１の排気を行うことがで
きる。
【００１５】図４は本発明に基づく第２の実施例を示す
排気装置を具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示
す図１と同様な断面図であり、第１の実施例と同様な部
分には同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
排気装置を具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示
す図１と同様な断面図であり、第１の実施例と同様な部
分には同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００１６】本実施例では、図４に示すように、真空チ
ャンバ１の底部中央に排気管１９が直接開口し、第２の
開口２２をなしている。図４に於ける支持台３と排気管
１９の中間部に設けられた支持部材２３との間には軸部
材２４が設けられ、この軸部材２４に台形柱状の弁体２
５が、第２の開口２２を閉塞する位置と開く位置との間
で上下動可能なように支持されている。第２の開口２２
の周囲には弁体２５のための弁座２６が設けられてい
る。弁体２５の周面部には螺旋状の多数の溝２５ａが設
けられ、弁体２５が第２の開口２２を閉塞した状態でも
後記する排気時に所定の排気量を確保するための排気バ
イパス通路をなしている。また、支持部材２３と弁体２
５との間には圧縮コイルばね２７が設けられ、第２の開
口２２が開く方向に弁体２５を付勢している。即ち、本
実施例では多数の溝２５ａを有する弁体２５、弁座２６
及び圧縮コイルばね２７が、チャンバ内と排気管との間
の圧力差により第２の開口２２の面積を可変制御し得る
ようになっている。それ以外の構成は第１の実施例と同
様である。
ャンバ１の底部中央に排気管１９が直接開口し、第２の
開口２２をなしている。図４に於ける支持台３と排気管
１９の中間部に設けられた支持部材２３との間には軸部
材２４が設けられ、この軸部材２４に台形柱状の弁体２
５が、第２の開口２２を閉塞する位置と開く位置との間
で上下動可能なように支持されている。第２の開口２２
の周囲には弁体２５のための弁座２６が設けられてい
る。弁体２５の周面部には螺旋状の多数の溝２５ａが設
けられ、弁体２５が第２の開口２２を閉塞した状態でも
後記する排気時に所定の排気量を確保するための排気バ
イパス通路をなしている。また、支持部材２３と弁体２
５との間には圧縮コイルばね２７が設けられ、第２の開
口２２が開く方向に弁体２５を付勢している。即ち、本
実施例では多数の溝２５ａを有する弁体２５、弁座２６
及び圧縮コイルばね２７が、チャンバ内と排気管との間
の圧力差により第２の開口２２の面積を可変制御し得る
ようになっている。それ以外の構成は第１の実施例と同
様である。
【００１７】次に、上述した構成の排気装置の動作要領
を説明する。
を説明する。
【００１８】まず、排気前にはばね２７の付勢力により
第２の開口２２が開くように弁体２５が図４に於ける上
側にある。そして、真空バルブ１８を開けて排気ポンプ
２０を作動させることにより真空排気を行う。初期排気
時は、真空チャンバ１内と排気管１９との圧力差により
弁体２５が第２の開口２２を閉塞し、即ち溝２５ａを介
してのみ排気されることから排気コンダクタンスが小さ
くなる。そして、図４に於ける真空チャンバ１の排気板
４よりも上部側の空気は、多数の小さな第１の開口５を
通して排気されることも相俟って層流となり、気流の乱
れもなく初期排気が行われる。ここで、第１の実施例と
同様に実際にはばね２７の付勢力、溝２５ａの形状また
は大きさなどの設定を変えることにより初期排気時の排
気コンダクタンスの大きさを可変とすることができる。
第２の開口２２が開くように弁体２５が図４に於ける上
側にある。そして、真空バルブ１８を開けて排気ポンプ
２０を作動させることにより真空排気を行う。初期排気
時は、真空チャンバ１内と排気管１９との圧力差により
弁体２５が第２の開口２２を閉塞し、即ち溝２５ａを介
してのみ排気されることから排気コンダクタンスが小さ
くなる。そして、図４に於ける真空チャンバ１の排気板
４よりも上部側の空気は、多数の小さな第１の開口５を
通して排気されることも相俟って層流となり、気流の乱
れもなく初期排気が行われる。ここで、第１の実施例と
同様に実際にはばね２７の付勢力、溝２５ａの形状また
は大きさなどの設定を変えることにより初期排気時の排
気コンダクタンスの大きさを可変とすることができる。
【００１９】排気時間が経過して真空チャンバ１内の圧
力が低下してくると、徐々にばね２７に押圧されて弁体
２５が元の位置に戻り、第２の開口２２の開口面積が大
きくなってくる。即ち、徐々に排気コンダクタンスが大
きくなり排気速度を高くして早期に排気することができ
る。
力が低下してくると、徐々にばね２７に押圧されて弁体
２５が元の位置に戻り、第２の開口２２の開口面積が大
きくなってくる。即ち、徐々に排気コンダクタンスが大
きくなり排気速度を高くして早期に排気することができ
る。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明による排気装置によれば、第１の開口を有する第１の
区画部材によりチャンバ内をウエハ側と排気ポンプ手段
側とに区画すると共に気流を層流とし、この第１の区画
部材側と排気ポンプ手段側とを第２の開口を有する第２
の区画部材により区画し、更にチャンバ内と排気管との
間の圧力差若しくは排気によりこの第２の開口の面積を
変化させるようにして、初期排気時に排気コンダクタン
スを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタンスが大きく
なるように第２の開口の面積を変化させるようにするこ
とで、配管及び排気シーケンスが複雑になることなく初
期排気時のウエハ近傍の気流の乱れを防止し得る。
明による排気装置によれば、第１の開口を有する第１の
区画部材によりチャンバ内をウエハ側と排気ポンプ手段
側とに区画すると共に気流を層流とし、この第１の区画
部材側と排気ポンプ手段側とを第２の開口を有する第２
の区画部材により区画し、更にチャンバ内と排気管との
間の圧力差若しくは排気によりこの第２の開口の面積を
変化させるようにして、初期排気時に排気コンダクタン
スを最小とし、かつ徐々に排気コンダクタンスが大きく
なるように第２の開口の面積を変化させるようにするこ
とで、配管及び排気シーケンスが複雑になることなく初
期排気時のウエハ近傍の気流の乱れを防止し得る。
【図１】本発明に基づく第１の実施例を示す排気装置を
具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示す断面図。
具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示す断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線について見た矢視図。
【図３】第１の実施例に於ける排気時間と排気コンダク
タンスとの関係を示すグラフ。
タンスとの関係を示すグラフ。
【図４】本発明に基づく第２の実施例を示す排気装置を
具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示す断面図。
具備するウエハ処理装置の要部概略構成を示す断面図。
１ 真空チャンバ １ａ 内側壁面 ２ 蓋 ３ 支持台 ４ 排気板 ５ 第１の開口 ６ 排気板 ７ 第２の開口 ８ 回転軸 ９、１０ 軸受 １１ 可動板 １２ 第３の開口 １３ アーム １４ａ・１４ｂ 引っ張りコイルばね １６ 駆動室 １７ 羽部材 １８ 真空バルブ １９ 排気管 ２０ 排気ポンプ ２２ 第２の開口 ２３ 支持部材 ２４ 軸部材 ２５ 弁体 ２５ａ 溝 ２６ 弁座 ２７ 圧縮コイルばね
Claims (3)
- 【請求項１】 支持台により支持されたウエハが収納
されたチャンバ内を真空に排気するための排気装置に於
て、 前記チャンバに排気管を介して接続された排気ポンプ手
段と、 前記ウエハ側と前記排気ポンプ手段側とを区画すると共
に気流を層流とするための多数の第１の開口を有する第
１の区画部材と、 前記第１の区画部材側と前記排気ポンプ手段側とを区画
すると共に第２の開口を有する第２の区画部材と、 前記第２の開口の面積を変化し得る絞り機構とを有し、 前記絞り機構により初期排気時に排気コンダクタンスを
最小とし、かつ徐々に排気コンダクタンスが大きくなる
ように前記第２の開口の面積を変化させる制御手段とを
有することを特徴とする排気装置。 - 【請求項２】 前記絞り機構が、前記第２の開口に整
合し得る第３の開口を有すると共に前記第２の区画部材
に略密接して前記第２の開口に前記第３の開口が整合す
る位置と整合せずに前記第２の開口を概ね閉塞する位置
との間でスライド可能な可動板と、 前記可動板を、前記第２の開口に前記第３の開口が整合
する位置に向けて付勢する手段とを有し、 前記制御手段が、初期排気時にチャンバ内と前記排気管
との間の排気流により前記付勢手段の付勢力に抗して前
記可動板を前記第２の開口を閉塞する向きに駆動する手
段からなることを特徴とする請求項１に記載の排気装
置。 - 【請求項３】 前記絞り機構及び制御手段が、前記第
２の開口に設けられた弁座と、 前記第２の開口を閉塞する位置と開く位置との間で軸線
方向に移動可能な弁体と、 前記弁体が前記第２の開口を閉塞する位置にあるときに
所定の排気量を確保するべく前記弁座と前記弁体との間
に設けられた排気バイパス通路と、 前記第２の開口を開く位置に向けて前記弁体を付勢する
手段とを有し、 初期排気時にチャンバ内と前記排気管との間の圧力差に
より前記付勢手段の付勢力に抗して前記弁体を前記第２
の開口を閉塞し、かつ前記圧力差が小さくなるにつれて
前記付勢手段の付勢力により前記第２の開口を徐々に開
いていくようになっていることを特徴とする請求項１に
記載の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165891A JPH088152A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165891A JPH088152A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088152A true JPH088152A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15820945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6165891A Withdrawn JPH088152A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088152A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168712A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Japan Steel Works Ltd:The | ロードロック装置の基板搬送方法及びその装置 |
| US7595653B2 (en) | 2004-07-21 | 2009-09-29 | Afore Oy | Pressure testing apparatus and method for pressure testing |
| EP1619716B1 (en) * | 2004-07-21 | 2011-02-02 | Afore Oy | Pressure testing apparatus and method for pressure testing |
| CN115799035A (zh) * | 2022-12-25 | 2023-03-14 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | 反应腔室及晶圆刻蚀装置 |
-
1994
- 1994-06-23 JP JP6165891A patent/JPH088152A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168712A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Japan Steel Works Ltd:The | ロードロック装置の基板搬送方法及びその装置 |
| US7595653B2 (en) | 2004-07-21 | 2009-09-29 | Afore Oy | Pressure testing apparatus and method for pressure testing |
| EP1619716B1 (en) * | 2004-07-21 | 2011-02-02 | Afore Oy | Pressure testing apparatus and method for pressure testing |
| CN115799035A (zh) * | 2022-12-25 | 2023-03-14 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | 反应腔室及晶圆刻蚀装置 |
| WO2024139773A1 (zh) * | 2022-12-25 | 2024-07-04 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | 反应腔室及晶圆刻蚀装置 |
| CN115799035B (zh) * | 2022-12-25 | 2025-05-27 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | 反应腔室及晶圆刻蚀装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |