JPH09189881A - Optical system in laser device - Google Patents
Optical system in laser deviceInfo
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- JPH09189881A JPH09189881A JP8002984A JP298496A JPH09189881A JP H09189881 A JPH09189881 A JP H09189881A JP 8002984 A JP8002984 A JP 8002984A JP 298496 A JP298496 A JP 298496A JP H09189881 A JPH09189881 A JP H09189881A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工面の均一な加熱を可能とする線状のレー
ザビームを形成し得るレーザ装置における光学系を提供
すること。
【解決手段】 コリメートされた断面円形のレーザビー
ムを円筒レンズ4に入射して扁平な楕円形状に圧縮する
とともに、この楕円形状のレーザビームをプリズム6で
分割して中央部がくびれた線状のレーザビーム1を形成
し、このレーザビーム1を加工面2aに照射するように
したものである。
(57) Abstract: To provide an optical system in a laser device capable of forming a linear laser beam capable of uniformly heating a processed surface. A collimated laser beam having a circular cross section is made incident on a cylindrical lens to be compressed into a flat elliptical shape, and the elliptical laser beam is divided by a prism to form a linear shape with a narrowed central portion. A laser beam 1 is formed and the processed surface 2a is irradiated with this laser beam 1.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ装置における
光学系に関し、特に線状のレーザビームで熱処理及び溶
接を行なう場合に適用して有用なものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical system in a laser device, and is particularly useful when applied to heat treatment and welding with a linear laser beam.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より線状のレーザビームを用いて鋼
板等の加工物の熱処理及び溶接を行なっている。この場
合の熱処理及び溶接は、図5に示すように、線状のレー
ザビーム1を加工物2の加工面2aに照射し、このレー
ザビーム1を、このレーザビーム1の線状と直角方向に
移動することにより行なう。すなわち、かかるレーザビ
ーム1の照射の結果、加工面2aにはレーザビーム1の
幅を一辺とし、この幅にレーザビーム1の移動距離を乗
じた面積に相当する部分が加熱される結果、当該加熱部
分において所望の熱処理及び溶接が可能となる。2. Description of the Related Art Conventionally, a linear laser beam has been used for heat treatment and welding of a workpiece such as a steel plate. In the heat treatment and welding in this case, as shown in FIG. 5, a linear laser beam 1 is applied to the processing surface 2a of the workpiece 2, and the laser beam 1 is directed in a direction perpendicular to the linear shape of the laser beam 1. This is done by moving. That is, as a result of the irradiation of the laser beam 1, the width of the laser beam 1 is set to one side on the processed surface 2a, and a portion corresponding to an area obtained by multiplying the width by the moving distance of the laser beam 1 is heated. The desired heat treatment and welding is possible on the part.
【0003】したがって、この種の加熱処理を行なうレ
ーザ装置においては、断面円形のレーザビームを線状の
レーザビーム1に整形する光学系が必要になる。Therefore, a laser device for performing this kind of heat treatment requires an optical system for shaping a laser beam having a circular cross section into a linear laser beam 1.
【0004】図6は、従来技術に係る光学系を概念的に
示す説明図である。同図(a)は、相互に直交するX,
Y軸のうち、X軸における態様、同図(b)はY軸にお
ける態様をそれぞれ示している。FIG. 6 is an explanatory view conceptually showing an optical system according to the prior art. FIG. 2A shows X, which are orthogonal to each other.
Of the Y-axis, the aspect on the X-axis and the figure (b) show the aspect on the Y-axis, respectively.
【0005】図6中、3はコリメートレンズ、4は円筒
レンズ、5は集光レンズであり、これらコリメートレン
ズ3、円筒レンズ4及び集光レンズ5がレーザ光の入射
側(図では左側)から順に光軸を共通にして並設してあ
る。これらのうち、円筒レンズ4は円筒の一部をその軸
に平行な面で切った形状のレンズであり、入射した円形
のレーザ光をX軸方向に関してのみ圧縮して扁平な楕円
形状とする。この楕円形状を図6(c)に示す。In FIG. 6, 3 is a collimator lens, 4 is a cylindrical lens, 5 is a condenser lens, and these collimator lens 3, cylindrical lens 4 and condenser lens 5 are from the laser light incident side (left side in the figure). The optical axes are arranged in parallel in order. Of these, the cylindrical lens 4 is a lens having a shape obtained by cutting a part of a cylinder along a plane parallel to its axis, and compresses the incident circular laser light only in the X-axis direction to form a flat elliptical shape. This elliptical shape is shown in FIG.
【0006】かかる光学系において、レーザから出射さ
れたレーザ光はコリメートレンズ3でコリメートされ、
平行光線として円筒レンズ4に入射し、この円筒レンズ
4で扁平な楕円形状に圧縮され、さらに集光レンズ5で
集光され、線状のレーザビーム1となって加工面2aに
照射される。In such an optical system, the laser light emitted from the laser is collimated by the collimator lens 3,
The light enters the cylindrical lens 4 as parallel rays, is compressed into a flat elliptical shape by the cylindrical lens 4, is further condensed by the condensing lens 5, and becomes a linear laser beam 1 which is applied to the processing surface 2a.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の如き
従来技術に係る光学系で形成した線状のレーザビーム1
は、図6(c)に示すような楕円形状のレーザ光を集光
したものであるため、その強度分布は、図6(d)に示
すように、中央部がピークとなる凸状の特性を有してい
る。However, the linear laser beam 1 formed by the optical system according to the prior art as described above is used.
6C is a condensing elliptical laser beam as shown in FIG. 6C, its intensity distribution has a convex characteristic with a peak at the center as shown in FIG. 6D. have.
【0008】このため加工面2aの中央部が集中的に加
熱され、溶接の場合にはこの部分が最初に溶融して良品
質の溶接部が得られず、また加熱の場合には均一な加熱
が不可能になる等、種々の問題を生起する要因となる。Therefore, the central portion of the processed surface 2a is intensively heated, and in the case of welding, this portion is first melted and a good quality welded portion cannot be obtained, and in the case of heating, uniform heating is performed. It becomes a factor that causes various problems such as impossible.
【0009】本発明は、上記従来技術に鑑み、加工面の
均一な加熱を可能とする線状のレーザビームを形成し得
るレーザ装置における光学系を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and an object of the present invention is to provide an optical system in a laser device capable of forming a linear laser beam capable of uniformly heating a processed surface.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は次の通りである。The structure of the present invention for achieving the above object is as follows.
【0011】1) 入射するレーザ光の形状を扁平に圧縮
する円筒レンズと、入射するレーザ光の形状を光軸に対
し反対側の位置に移行して二分割するプリズムと、入射
するレーザ光を集光する集光レンズとで、線状のレーザ
ビームである線状ビームを形成するように、これら円筒
レンズ、プリズム及び集光レンズを並設して構成したこ
と。1) A cylindrical lens for flattening the shape of the incident laser light, a prism for shifting the shape of the incident laser light to a position on the opposite side to the optical axis and dividing it into two, and the incident laser light The cylindrical lens, the prism, and the condenser lens are arranged side by side so as to form a linear beam which is a linear laser beam with a condenser lens for condensing.
【0012】2) 1)において、円筒レンズ、集光レンズ
及びプリズムをこの順序で入射側から順に並設するとと
もに、円筒レンズにはコリメートされたレーザ光を入射
するように構成したこと。2) In 1), the cylindrical lens, the condenser lens and the prism are arranged in this order in order from the incident side, and the collimated laser light is made incident on the cylindrical lens.
【0013】3) 1)において、プリズム、集光レンズ及
び円筒レンズをこの順序で入射側から順に並設するとと
もに、プリズムにはコリメートされたレーザ光を入射す
るように構成したこと。3) In 1), the prism, the condenser lens, and the cylindrical lens are arranged in this order in order from the incident side, and the collimated laser light is incident on the prism.
【0014】4) 1)において、円筒レンズ、プリズム及
び集光レンズをこの順序で入射側から順に並設するとと
もに、円筒レンズにはコリメートされたレーザ光を入射
するように構成したこと。4) In 1), the cylindrical lens, the prism, and the condenser lens are arranged side by side in this order from the incident side, and the collimated laser light is incident on the cylindrical lens.
【0015】5) 1)において、プリズム、円筒レンズ及
び集光レンズをこの順序で入射側から順に並設するとと
もに、円筒レンズにはコリメートされたレーザ光を入射
するように構成したこと。5) In 1), the prism, the cylindrical lens, and the condenser lens are arranged in this order in order from the incident side, and the collimated laser light is incident on the cylindrical lens.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づき詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【0017】図1は本形態の光学系を概念的に示す説明
図である。同図(a)は、相互に直交するX,Y軸のう
ち、X軸における態様、同図(b)はY軸における態様
をそれぞれ示している。FIG. 1 is an explanatory view conceptually showing the optical system of this embodiment. FIG. 11A shows a mode on the X axis of X and Y axes orthogonal to each other, and FIG. 16B shows a mode on the Y axis.
【0018】図1に示すように、本形態に係る光学系
は、図6に示す従来技術に係る光学系にプリズム6を追
加したものである。このプリズム6は入射するレーザ光
の形状を光軸Lに対して反対側の位置に移行して二分割
するものである。すなわち、プリズム6に入射した円形
のビームは、図2(a)に示すように、2個に分割され
た半円同志が光軸L上の一点で接する形状(以下この形
状を分割半円形状という)となる。したがって、この分
割半円形状のレーザビームをさらに円筒レンズ4に入射
すれば分割半円形状をX軸方向に圧縮した形状(以下こ
の形状を分割楕円形状という)となる。この分割楕円形
状は中央部がくびれたビームである。As shown in FIG. 1, the optical system according to this embodiment is obtained by adding a prism 6 to the optical system according to the prior art shown in FIG. The prism 6 moves the shape of the incident laser light to a position on the opposite side to the optical axis L and divides it into two. That is, as shown in FIG. 2A, the circular beam incident on the prism 6 has a shape in which two divided semicircles are in contact with each other at one point on the optical axis L (hereinafter, this shape is a divided semicircular shape). That is). Therefore, when the split semicircular laser beam is further incident on the cylindrical lens 4, the split semicircular shape is compressed in the X-axis direction (hereinafter, this shape is referred to as a split elliptical shape). This split elliptical shape is a beam having a narrowed central portion.
【0019】本形態ではコリメートされたレーザ光が入
射する入射側(図中左側)から順に円筒レンズ4、集光
レンズ5及びプリズム6を相互に平行になるように同一
光軸上に並設して構成してある。In this embodiment, the cylindrical lens 4, the condenser lens 5 and the prism 6 are arranged in parallel on the same optical axis in order from the incident side (the left side in the figure) on which the collimated laser light is incident. Configured.
【0020】したがって、コリメートされた円形のレー
ザ光は、円筒レンズ4でX軸方向に圧縮されて楕円形状
となり、集光レンズ5に入射することにより集光されて
おり線状に近いビームとなる。そして、この楕円ビーム
をプリズム6に入射することにより分割されて図3に示
すような線状の分割楕円形状となり、この形状のレーザ
ビーム1が加工面2aに照射される。Therefore, the collimated circular laser light is compressed in the X-axis direction by the cylindrical lens 4 to become an elliptical shape, and is made incident upon the condenser lens 5 to be condensed and become a nearly linear beam. . Then, the elliptical beam is incident on the prism 6 to be split into a linear split elliptical shape as shown in FIG. 3, and the laser beam 1 of this shape is applied to the processing surface 2a.
【0021】かくして、レーザビーム1の照射面におけ
る光強度分布は、図4に示すように、中央部が相対的に
落ち込んだ特性となり、照射エネルギの積分値である加
工面2aの温度上昇はレーザビーム1の幅方向に関しほ
ぼ直線となる。したがって、加工面2aは均一に加熱さ
れる。Thus, as shown in FIG. 4, the light intensity distribution on the irradiation surface of the laser beam 1 has a characteristic that the central portion is relatively lowered, and the temperature rise of the processed surface 2a, which is the integrated value of the irradiation energy, is caused by the laser. It becomes almost a straight line in the width direction of the beam 1. Therefore, the processed surface 2a is heated uniformly.
【0022】なお、上記実施の形態では円筒レンズ4、
集光レンズ5及びプリズム6をこの順に入射側から並べ
たが、この順序に特別な制限はない。したがって、上記
形態も含め全部で6通りの並設態様が考えられるが、最
初に集光レンズ5でレーザ光を集光し、その後にこのレ
ーザ光の圧縮、分割等を行なう構造は光学系の構造とし
て一般的ではない。そこで、他の形態としては、入射側
から順に、円筒レンズ4、プリズム6及び集光レンズ5
を並設した光学系、プリズム6、円筒レンズ4及び集光
レンズ5を並設した光学系、及びプリズム6、集光レン
ズ5及び円筒レンズ4を並設した光学系が実用上有用な
ものとして考えられる。In the above embodiment, the cylindrical lens 4,
Although the condenser lens 5 and the prism 6 are arranged in this order from the incident side, there is no particular limitation in this order. Therefore, although there are a total of six possible side-by-side arrangements including the above-described modes, the structure in which the laser light is first condensed by the condenser lens 5 and then the laser light is compressed, divided, etc. It is not common as a structure. Therefore, as another mode, the cylindrical lens 4, the prism 6, and the condenser lens 5 are sequentially arranged from the incident side.
The optical system having the prism 6, the cylindrical lens 4 and the condenser lens 5 arranged in parallel, and the optical system having the prism 6, the condenser lens 5 and the cylindrical lens 4 arranged in parallel are practically useful. Conceivable.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上実施の形態とともに具体的に説明し
たように、本発明によれば、幅方向にほぼ均一な光強度
を有するレーザビームを形成することができるので、こ
のレーザビームを照射する加工面を均一に加熱すること
ができ、この加熱による良好な溶接及び熱処理を行なう
ことができる。As described above in detail with the embodiments, according to the present invention, since a laser beam having a substantially uniform light intensity in the width direction can be formed, this laser beam is irradiated. The processed surface can be heated uniformly, and good heating and heat treatment can be performed by this heating.
【図1】本発明の実施の形態に係る光学系を概念的に示
す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram conceptually showing an optical system according to an embodiment of the present invention.
【図2】プリズム6で分割されたレーザ光の形状(a)
及びこの形状をさらに円筒レンズ4で圧縮したレーザ光
の形状(b)を概念的に示す説明図。FIG. 2 shows the shape of a laser beam split by a prism 6 (a).
FIG. 3 is an explanatory view conceptually showing the shape (b) of laser light obtained by further compressing this shape with the cylindrical lens 4.
【図3】加工面2aに照射されるレーザビーム1の形状
を概念的に示す説明図。FIG. 3 is an explanatory view conceptually showing the shape of a laser beam 1 with which a processed surface 2a is irradiated.
【図4】上記形態における光強度分布を示す特性図。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a light intensity distribution in the above embodiment.
【図5】線状のレーザビームを用いた加熱処理の態様を
概念的に示す説明図。FIG. 5 is an explanatory view conceptually showing an aspect of heat treatment using a linear laser beam.
【図6】従来技術に係る光学系及びこの円筒レンズによ
り圧縮されたレーザ光の形状を概念的に示す説明図並び
にその出射光の光強度分布を示す特性図。FIG. 6 is an explanatory view conceptually showing an optical system according to a conventional technique and the shape of laser light compressed by this cylindrical lens, and a characteristic view showing a light intensity distribution of the emitted light.
1 レーザビーム 2 加工物 2a 加工面 4 円筒レンズ 5 集光レンズ 6 プリズム 1 Laser Beam 2 Workpiece 2a Processed Surface 4 Cylindrical Lens 5 Condenser Lens 6 Prism
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱田 彰一 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目1番1 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内 (72)発明者 赤羽 崇 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目1番1 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内 (72)発明者 大滝 桂 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shoichi Hamada 1-1-1, Wadasaki-cho, Hyogo-ku, Kobe-shi, Hyogo Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Kobe Shipyard (72) Inventor Takashi Akabane, Hyogo-ku, Kobe-shi, Hyogo 1-1-1 Tasakicho Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Inside Kobe Shipyard (72) Inventor Katsura Otaki 3 2-3 Marunouchi Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Nikon Corporation
Claims (5)
る円筒レンズと、入射するレーザ光の形状を光軸に対し
反対側の位置に移行して二分割するプリズムと、入射す
るレーザ光を集光する集光レンズとで、線状のレーザビ
ームである線状ビームを形成するように、これら円筒レ
ンズ、プリズム及び集光レンズを並設して構成したこと
を特徴とするレーザ装置における光学系。1. A cylindrical lens for flattening the shape of incident laser light, a prism for shifting the shape of the incident laser light to a position on the opposite side to the optical axis, and dividing the incident laser light into two parts. An optical system in a laser device characterized in that the cylindrical lens, the prism, and the condenser lens are arranged in parallel so as to form a linear beam that is a linear laser beam with a condenser lens for condensing. system.
この順序で入射側から順に並設するとともに、円筒レン
ズにはコリメートされたレーザ光を入射するように構成
したことを特徴とする[請求項1]に記載するレーザ装
置における光学系。2. A cylindrical lens, a condenser lens, and a prism are arranged in this order from the incident side, and collimated laser light is made incident on the cylindrical lens. [1] The optical system in the laser device.
この順序で入射側から順に並設するとともに、プリズム
にはコリメートされたレーザ光を入射するように構成し
たことを特徴とする[請求項1]に記載するレーザ装置
における光学系。3. A prism, a condenser lens, and a cylindrical lens are arranged in this order in order from the incident side, and collimated laser light is incident on the prism. ] The optical system in the laser apparatus described in.
この順序で入射側から順に並設するとともに、円筒レン
ズにはコリメートされたレーザ光を入射するように構成
したことを特徴とする[請求項1]に記載するレーザ装
置における光学系。4. A cylindrical lens, a prism, and a condenser lens are arranged in this order in order from the incident side, and collimated laser light is made incident on the cylindrical lens. [1] The optical system in the laser device.
この順序で入射側から順に並設するとともに、円筒レン
ズにはコリメートされたレーザ光を入射するように構成
したことを特徴とする[請求項1]に記載するレーザ装
置における光学系。5. A prism, a cylindrical lens, and a condenser lens are arranged in this order in order from the incident side, and collimated laser light is made incident on the cylindrical lens. [1] The optical system in the laser device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002984A JPH09189881A (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Optical system in laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002984A JPH09189881A (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Optical system in laser device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189881A true JPH09189881A (en) | 1997-07-22 |
Family
ID=11544643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8002984A Pending JPH09189881A (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Optical system in laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189881A (en) |
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- 1996-01-11 JP JP8002984A patent/JPH09189881A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041105 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041214 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050412 |