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JPH09181446A - Multilayer printed wiring board - Google Patents

Multilayer printed wiring board

Info

Publication number
JPH09181446A
JPH09181446A JP33929095A JP33929095A JPH09181446A JP H09181446 A JPH09181446 A JP H09181446A JP 33929095 A JP33929095 A JP 33929095A JP 33929095 A JP33929095 A JP 33929095A JP H09181446 A JPH09181446 A JP H09181446A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring board
wiring
printed wiring
multilayer printed
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33929095A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Nakamura
真 中村
Tetsuo Mochizuki
哲郎 望月
Toshio Ofusa
俊雄 大房
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP33929095A priority Critical patent/JPH09181446A/en
Publication of JPH09181446A publication Critical patent/JPH09181446A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ビルドアップ法によって製造され、高湿下で使
用された場合においても、吸湿を低く抑えることがで
き、従って、配線パターンが酸化されることなく、長期
使用に耐えることができ、加えて外部からの電磁的ノイ
ズにも強く、かつ製造に要する工程が増加することがな
い多層プリント配線板を提供する。 【解決手段】絶縁基板上に、複数の配線層と、バイアホ
ールと、絶縁層が形成されてなる多層プリント配線板に
おいて、配線パターン領域の外形線側の部位でかつ外形
線から離間した部位に、配線パターンと同材質のダミー
パターンが形成され、各配線層のダミーパターンが互い
に導電皮膜で接続されている。
(57) 【Abstract】 PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress moisture absorption low even when it is manufactured by a build-up method and used in high humidity, so that the wiring pattern is not oxidized and can withstand long-term use. (EN) Provided is a multilayer printed wiring board which is resistant to electromagnetic noise from the outside and does not increase the number of manufacturing steps. SOLUTION: In a multilayer printed wiring board in which a plurality of wiring layers, via holes, and an insulating layer are formed on an insulating substrate, the wiring pattern area is provided on a portion on the outer shape line side and a portion separated from the outer shape line. A dummy pattern of the same material as the wiring pattern is formed, and the dummy patterns of each wiring layer are connected to each other by a conductive film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ビルドアップ法を
用いた多層プリント配線板に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a multilayer printed wiring board using a build-up method.

【0002】[0002]

【従来の技術】多層プリント配線板の製造方法として、
ビルドアップ法が知られている。支持基板となる絶縁基
板上に、配線層と絶縁層を交互に、順次形成していく方
法である。配線層の形成方法としては、めっき、蒸着、
スパッタリング等の方法がある。その中でも、めっきに
よる方法は、製造方法が簡易であり、安価であるため、
多用されている方法である。一方、絶縁層の形成方法と
しては、感光性絶縁樹脂を塗布し、露光、現像により、
あるいは感光性を有しない絶縁樹脂を塗布し、レーザー
加工等の方法で、バイアホール部の樹脂を除去するとい
う方法がある。
2. Description of the Related Art As a method of manufacturing a multilayer printed wiring board,
The build-up method is known. In this method, a wiring layer and an insulating layer are alternately and sequentially formed on an insulating substrate serving as a supporting substrate. The wiring layer can be formed by plating, vapor deposition,
There are methods such as sputtering. Among them, the method by plating is simple and inexpensive,
This is a widely used method. On the other hand, as a method for forming the insulating layer, a photosensitive insulating resin is applied, exposed and developed to
Alternatively, there is a method of applying an insulating resin having no photosensitivity and removing the resin in the via hole portion by a method such as laser processing.

【0003】ビルドアップ法は、積層方式によるプリン
ト配線板の製造方法、即ち、予め配線層が加工された絶
縁基板を接着剤を用い、加熱し、圧力をかけて一括積層
し、ドリル加工によって穴あけし、スルーホールめっき
を施すという方法に比べると、次のような課題を解決し
た方法として、優れている。 ファインパターンを形成するためには、薄い銅箔を用
いるため、コストが上昇する。 ドリル加工によりバイアホールを形成するため、微細
なバイアホールの加工に限界があり、多層化した場合の
信頼性が劣る。そして、コストが上昇することなく、高
密度な配線を可能としている。
The build-up method is a method of manufacturing a printed wiring board by a lamination method, that is, an insulating substrate in which a wiring layer is processed in advance is heated with an adhesive, pressure is applied to collectively laminate, and a hole is formed by drilling. However, it is superior to the method of performing through-hole plating as a method of solving the following problems. Since a thin copper foil is used to form the fine pattern, the cost increases. Since the via hole is formed by drilling, there is a limit to the processing of a fine via hole, and the reliability in the case of forming multiple layers is poor. In addition, high-density wiring is possible without increasing costs.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のような、ビルド
アップ法によって製造された多層プリント配線板は、配
線パターンが酸化し、導電性に影響を与えたり、絶縁不
良が生じるという問題が発生することがあり、問題とな
っていた。この内部導体の酸化現象について、発明者ら
が原因を究明した結果、多層プリント配線板が吸湿し、
その水分によって生じるものであるということが明らか
になった。
Problems to be Solved by the Invention In the multilayer printed wiring board manufactured by the build-up method as described above, there is a problem that the wiring pattern is oxidized, the conductivity is affected, or insulation failure occurs. Sometimes it was a problem. The inventors investigated the cause of the oxidation phenomenon of the internal conductor, and as a result, the multilayer printed wiring board absorbed moisture,
It was revealed that it was caused by the water content.

【0005】近年、多層プリント配線板をICパッケー
ジの内部に用い、多層プリント配線板全体を樹脂封止し
てしまう形態で使用される場合もあり、その場合は、多
層プリント配線板の端面が露出した状態で用いられる場
合よりも、影響は少ないものの、プリント配線板の端面
が露出した状態で用いられる場合は、特に、吸湿が生じ
やすく、上述のような問題が大きい。さらに、多層プリ
ント配線板が高湿の環境下で用いられる場合には、吸湿
が生じやすく、吸湿が進むにつれて、絶縁層の間で密着
力が弱まり、さらに吸湿が進行することも明らかになっ
た。また、絶縁層の間で密着力が弱まった場合、絶縁層
間の剥離につながることもあった。
In recent years, a multilayer printed wiring board may be used inside an IC package and the entire multilayer printed wiring board may be resin-sealed. In that case, the end surface of the multilayer printed wiring board is exposed. Although it is less affected than the case where the printed wiring board is used in the above-described state, when the end surface of the printed wiring board is used in an exposed state, moisture absorption is particularly likely to occur and the above-mentioned problems are large. Furthermore, it was also clarified that when the multilayer printed wiring board is used in a high humidity environment, moisture absorption easily occurs, and as the moisture absorption progresses, the adhesion between the insulating layers weakens and the moisture absorption further progresses. . Further, if the adhesion between the insulating layers is weakened, it may lead to peeling between the insulating layers.

【0006】ビルドアップ法によって製造された多層プ
リント配線板は、予め配線層が加工された絶縁基板を接
着剤を用い、加熱し、圧力をかけて一括積層する方法に
比べて、絶縁層間の密着力は弱いという問題があるた
め、ビルドアップ法によって製造された多層プリント配
線板においては、吸湿しにくく、絶縁層間の密着力が高
い、多層プリント配線板が望まれていた。また、多層プ
リント配線板は、外部からの電磁的ノイズに対し、誤作
動するということがあってはならないため、外部からの
電磁的ノイズに対して強いプリント配線板が望まれてい
た。
In the multilayer printed wiring board manufactured by the build-up method, the insulating substrate in which the wiring layers have been processed in advance is heated with an adhesive and the pressure between the insulating layers is increased as compared with the method of collectively laminating the insulating layers. Since there is a problem that the force is weak, in the multilayer printed wiring board manufactured by the build-up method, it has been desired that the multilayer printed wiring board is hard to absorb moisture and has high adhesion between insulating layers. Further, since the multilayer printed wiring board must not malfunction due to electromagnetic noise from the outside, a printed wiring board that is strong against electromagnetic noise from the outside has been desired.

【0007】本発明は、ビルドアップ法によって製造さ
れる多層プリント配線板において、高湿下で使用された
場合においても、吸湿を低く抑えることができ、従っ
て、配線パターンが酸化されることなく、長期使用に耐
えることができ、加えて外部からの電磁的ノイズにも強
く、かつ製造にあたっては、製造に要する工程が増加す
ることがない多層プリント配線板を提供することを目的
とする。
According to the present invention, in a multilayer printed wiring board manufactured by a build-up method, it is possible to suppress moisture absorption to a low level even when used under high humidity, and therefore, the wiring pattern is not oxidized. An object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board that can withstand long-term use, is resistant to electromagnetic noise from the outside, and does not increase the number of steps required for manufacturing.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1に係る発明では、絶縁基板上に、配線パタ
ーンが形成されている複数の配線層と、配線層間を互い
に電気的に絶縁する絶縁層が交互に形成され、配線層間
を互いに電気的に接続するバイアホールを有する多層プ
リント配線板において、配線パターン領域の前記多層プ
リント配線板の外形線側の部位で、かつ外形線から離間
した部位に、前記配線パターンと同材質で、複数の配線
層にダミーパターンが形成され、各配線層のダミーパタ
ーンが互いに導電皮膜で接続されていることを特徴とし
ている。
In order to solve the above problems, in the invention according to claim 1, a plurality of wiring layers having wiring patterns formed on an insulating substrate and the wiring layers are electrically insulated from each other. In a multilayer printed wiring board having insulating layers alternately formed and having via holes electrically connecting the wiring layers to each other, in a portion of the wiring pattern region on the outline line side of the multilayer printed wiring board and away from the outline line. Dummy patterns are formed in a plurality of wiring layers of the same material as the wiring patterns at the above-mentioned portions, and the dummy patterns of each wiring layer are connected to each other by a conductive film.

【0009】また請求項2に係る発明は請求項1に記載
の発明を技術的に限定したものである。即ち請求項2に
係る発明は、請求項1記載の多層プリント配線板におい
て、ダミーパターンが、信号配線パターンを有する配線
層のすべてに形成されていることを特徴としている。こ
こで、信号配線パターンとは、接地層や各種電源層以外
の配線パターン、即ちプリント配線板が動作した場合
に、略一定の電位を保つ配線パターン以外の配線パター
ンを意味する。
The invention according to claim 2 is a technical limitation of the invention according to claim 1. That is, the invention according to claim 2 is characterized in that, in the multilayer printed wiring board according to claim 1, the dummy pattern is formed on all of the wiring layers having the signal wiring pattern. Here, the signal wiring pattern means a wiring pattern other than the ground layer and various power supply layers, that is, a wiring pattern other than the wiring pattern that maintains a substantially constant potential when the printed wiring board operates.

【0010】請求項1または請求項2記載の多層プリン
ト配線板において、外部からの電磁的ノイズに強いとい
う観点からは、ダミーパターンを接地しておくことが望
ましい。請求項3に係る発明は、このような観点から請
求項1または請求項2に記載の発明を技術的に限定した
ものである。即ち請求項3に係る発明は、請求項1また
は請求項2記載の多層プリント配線板において、ダミー
パターンが、プリント配線板中の接地配線と電気的に接
続されていることを特徴としている。
In the multilayer printed wiring board according to claim 1 or 2, it is desirable that the dummy pattern is grounded from the viewpoint of being resistant to electromagnetic noise from the outside. The invention according to claim 3 technically limits the invention according to claim 1 or claim 2 from such a viewpoint. That is, the invention according to claim 3 is characterized in that, in the multilayer printed wiring board according to claim 1 or 2, the dummy pattern is electrically connected to a ground wiring in the printed wiring board.

【0011】[0011]

【作用】請求項1記載の発明においては、配線パターン
領域の前記多層プリント配線板の外形線側の部位で、か
つ外形線から離間した部位に、前記配線パターンと同材
質で、複数の配線層にダミーパターンが形成され、各配
線層のダミーパターンが互いに導電皮膜で接続されてい
るため、ビルドアップ法によって製造される多層プリン
ト配線板において、高湿下で使用された場合において
も、吸湿を低く抑えることができる。また、ダミーパタ
ーンによって、外部からの電磁的ノイズも抑制すること
が可能となる。
According to the invention of claim 1, a plurality of wiring layers made of the same material as the wiring pattern are provided in a portion of the wiring pattern region on the outer shape line side of the multilayer printed wiring board and apart from the outer shape line. Since a dummy pattern is formed on each of the wiring layers and the dummy patterns of each wiring layer are connected to each other by a conductive film, the multilayer printed wiring board manufactured by the build-up method does not absorb moisture even when used under high humidity. It can be kept low. Further, the dummy pattern can also suppress electromagnetic noise from the outside.

【0012】また請求項2に係る発明では、ダミーパタ
ーンが、信号配線パターンを有する配線層のすべてに形
成されているため、すべての配線層で吸湿を低く抑え、
外部からの電磁的ノイズも抑制することが可能となる。
Further, in the invention according to claim 2, since the dummy pattern is formed on all of the wiring layers having the signal wiring pattern, moisture absorption is suppressed low in all the wiring layers,
It is also possible to suppress electromagnetic noise from the outside.

【0013】さらに請求項3に係る発明では、ダミーパ
ターンが、プリント配線板中の接地配線と電気的に接続
されているため、外部からの電磁的ノイズをより高い効
果で抑制することが可能となる。
Further, in the invention according to claim 3, since the dummy pattern is electrically connected to the ground wiring in the printed wiring board, electromagnetic noise from the outside can be suppressed with a higher effect. Become.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について、図面に基づいて説明する。図1(a)〜
(d)は、本発明の一実施例の工程順の断面の説明図で
ある。図2は、図1と同一の実施例の説明図である。図
3(a)、(b)は、他の実施例の説明図である。図4
は、さらに他の実施例の断面説明図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 (a)-
(D) is explanatory drawing of the cross section of the process order of one Example of this invention. FIG. 2 is an explanatory diagram of the same embodiment as FIG. 3A and 3B are explanatory views of another embodiment. FIG.
[FIG. 6] is a cross-sectional explanatory view of still another embodiment.

【0015】まず、図1(a)に示すように、厚さ1m
mのガラス−エポキシを絶縁基板11とし、片面に厚さ
18μmの銅箔が貼着された片面銅張積層板を用い、感
光性ドライフィルム(商品名;フォテック 日立化成工
業(株)製)を用い、所定のマスクを用いて、露光、現
像及びエッチングを行うことにより、配線パターン12
を形成した。この配線パターン形成工程で、配線パター
ン領域の、多層プリント配線板の外形線側の部位で、か
つ外形線から離間した部位に、幅1mmでダミーパター
ン13を設けた。これは、上記の所定のマスクに、ダミ
ーパターンのパターンを形成しておくことによって、容
易に達成される。
First, as shown in FIG. 1A, the thickness is 1 m.
m glass-epoxy as the insulating substrate 11 and a single-sided copper-clad laminate with a 18 μm-thick copper foil adhered on one side, a photosensitive dry film (trade name; made by Fotec Hitachi Chemical Co., Ltd.) The wiring pattern 12 is formed by performing exposure, development and etching using a predetermined mask.
Was formed. In this wiring pattern forming step, the dummy pattern 13 having a width of 1 mm was provided in a portion of the wiring pattern area on the outer shape line side of the multilayer printed wiring board and a portion separated from the outer shape line. This can be easily achieved by forming a dummy pattern on the predetermined mask.

【0016】ここで、配線パターン領域の、多層プリン
ト配線板の外形線側の部位、という意味について説明を
加える。配線パターン領域とは、配線パターンが形成さ
れている領域のことであって、図1(a)でいえば、1
01の部分のことである。つまり、配線パターン領域
の、多層プリント配線板の外形線側の部位、という用語
の意味は、配線パターン領域より、多層プリント配線板
の板端側の部位のことを意味する。そして、本発明で
は、配線パターン領域の、多層プリント配線板の外形線
側の部位で、かつ、外形線から離間して、ダミーパター
ンが形成されている。外形線から離間せずにダミーパタ
ーンを形成すると、プリント配線板の端面に導電性を有
するダミーパターンが露出することになり、プリント配
線板の使用状況によっては、周囲の機器のショートを招
いたり、また外形加工時に、バリが生ずる場合があり、
好ましくない。
Here, the meaning of the portion of the wiring pattern area on the side of the outline of the multilayer printed wiring board will be described. The wiring pattern area is an area in which the wiring pattern is formed, and in FIG.
It is the part of 01. That is, the term "a portion of the wiring pattern region on the outer shape line side of the multilayer printed wiring board" means a portion on the board end side of the multilayer printed wiring board with respect to the wiring pattern region. Further, in the present invention, the dummy pattern is formed in a portion of the wiring pattern area on the outer shape line side of the multilayer printed wiring board and apart from the outer shape line. If the dummy pattern is formed without being separated from the outline, the conductive dummy pattern is exposed on the end surface of the printed wiring board, which may cause a short circuit of surrounding devices depending on the usage of the printed wiring board, Also, burrs may occur during external processing,
Not preferred.

【0017】そして、感光性絶縁樹脂(商品名:プロビ
コート5000 日本ペイント(株)製)をスクリーン
印刷法により全面に塗布した。感光性絶縁樹脂の他の具
体例としては、DPR−130(商品名;アサヒ化学研
究所(株)製)があげられる。絶縁層材料としては、エ
ポキシ系、アクリル系、ポリイミド系等の樹脂が好まし
く用いられ、感光性を有するものが、製造工程面からは
有利である。また、感光性を有しなくても、レーザー加
工等の加工手段により、製造してもよい。また、塗布方
法も、スクリーン印刷に限定されることはなく、カーテ
ンコート等の方法でもよい。
Then, a photosensitive insulating resin (trade name: Provicoat 5000 manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.) was applied to the entire surface by a screen printing method. Another specific example of the photosensitive insulating resin is DPR-130 (trade name; manufactured by Asahi Chemical Research Institute Co., Ltd.). As the insulating layer material, epoxy-based, acrylic-based, polyimide-based resin or the like is preferably used, and a material having photosensitivity is advantageous from the viewpoint of the manufacturing process. Further, even if it is not photosensitive, it may be manufactured by a processing means such as laser processing. Further, the coating method is not limited to screen printing, and may be a method such as curtain coating.

【0018】その後、90℃で30分間プリベークを行
い、所望のバイアホールのパターンを有するマスクを用
いて、1500mJ/cm2 の露光量で露光を行い、現
像処理し、バイアホールとなる部分の樹脂を除去した。
なお、バイアホールの穴径は120μmであった。水洗
後、130℃、60分間ベーキングを行い硬化し、絶縁
層14を形成した(図1(b))。この際、ダミーパタ
ーンの上の部分は、絶縁樹脂除去部分102の絶縁樹脂
を溝状に除去した。図2は、図1(b)の絶縁樹脂除去
部分102付近の拡大説明図である。絶縁樹脂を除去す
るのは、各層に形成したダミーパターンを導電皮膜で接
続するためである。なお、溝状に絶縁樹脂を除去するの
ではなく、図3に示すように、バイアホール部21の樹
脂を除去し、後のめっき工程でめっきを行って、バイア
ホールを設けるような形状としてもよい。即ち、図3
(a)は、絶縁層14を形成した状態の図である。図3
(b)は、図3(a)の右上のA部の拡大図である。図
3(b)で、絶縁基板11上に形成されたダミーパター
ン13のさらに上に絶縁層14が形成されている。絶縁
層14は、バイアホール部21には形成されておらず、
ダミーパターン13が露出している。後の絶縁層上への
配線層形成工程で、バイアホール部にめっき等の手段に
よって、導電皮膜が付着され、異なる配線層に形成され
たダミーパターンが接続される。このように、各層のダ
ミーパターンを互いに導電皮膜で接続するための絶縁樹
脂の除去の形状には特に限定されない。しかし、強固な
接続を得るために広い面積で接続を行うことが好まし
い。
After that, prebaking is performed at 90 ° C. for 30 minutes, exposure is performed with an exposure amount of 1500 mJ / cm 2 using a mask having a desired via hole pattern, and development processing is performed to obtain a resin for a portion to be a via hole. Was removed.
The diameter of the via hole was 120 μm. After washing with water, baking was performed at 130 ° C. for 60 minutes to cure the insulating layer 14 (FIG. 1B). At this time, the insulating resin in the insulating resin-removed portion 102 was removed in a groove shape on the portion above the dummy pattern. FIG. 2 is an enlarged explanatory diagram in the vicinity of the insulating resin removed portion 102 of FIG. The reason why the insulating resin is removed is to connect the dummy patterns formed in each layer with a conductive film. It should be noted that instead of removing the insulating resin in a groove shape, as shown in FIG. 3, the resin in the via hole portion 21 may be removed, and plating may be performed in a subsequent plating step to form a via hole. Good. That is, FIG.
(A) is a figure in the state where the insulating layer 14 was formed. FIG.
FIG. 3B is an enlarged view of the A portion on the upper right of FIG. In FIG. 3B, the insulating layer 14 is formed further on the dummy pattern 13 formed on the insulating substrate 11. The insulating layer 14 is not formed in the via hole portion 21,
The dummy pattern 13 is exposed. In a subsequent wiring layer forming step on the insulating layer, a conductive film is attached to the via hole portion by means such as plating, and dummy patterns formed on different wiring layers are connected. As described above, the shape of removing the insulating resin for connecting the dummy patterns of the respective layers to each other by the conductive film is not particularly limited. However, it is preferable to make the connection over a wide area in order to obtain a strong connection.

【0019】そして、800番から2400番程度の粗
さのバフを順次用いて、研磨を行い、配線パターンの存
在部位と非存在部位の凹凸によって生じる絶縁膜の凹凸
を平滑化するとともに、表面を微細に粗化した。この状
態で絶縁層の厚さは、40μmであった。さらに過マン
ガン酸カリウム水溶液(過マンガン酸カリウム70g/
l、水酸化ナトリウム40g/l)を用いて樹脂の表面
を粗化処理し、塩酸で中和処理後、脱脂処理をおこな
い、過硫酸ナトリウムを用いてソフトエッチングを行っ
た。そして、無電解銅メッキ(約0.2〜0.3μ
m)、電解銅メッキ(約20μm)を行い、銅層を形成
した。この工程で、ダミーパターン上の溝状に絶縁樹脂
が除去された部分にも、銅層が形成された。
Then, using a buff having a roughness of about 800 to 2400 in sequence, polishing is performed to smooth the unevenness of the insulating film caused by the unevenness of the presence and absence of the wiring pattern, and the surface is Finely roughened. In this state, the insulating layer had a thickness of 40 μm. Furthermore, potassium permanganate aqueous solution (potassium permanganate 70 g /
1, the surface of the resin was roughened with 40 g / l of sodium hydroxide), neutralized with hydrochloric acid, degreased, and then soft-etched with sodium persulfate. And electroless copper plating (about 0.2-0.3μ
m) and electrolytic copper plating (about 20 μm) were performed to form a copper layer. In this step, the copper layer was also formed in the groove-like portion of the dummy pattern where the insulating resin was removed.

【0020】次に、厚さ35μmのドライフィルムを貼
着し、所望の配線パターンを有するマスクを用い、露光
及び現像を行った。なおレジストは、ドライフィルムに
限定されることはなく、液状のレジストや電着レジスト
等を用いてもよい。その後、塩化第二鉄を用い、エッチ
ングを行い、第二層目の配線パターン17、ダミーパタ
ーン15を形成した。そして、ドライフィルムの剥離工
程を行った。この状態が図1(c)の状態である。ここ
で、ダミーパターン15は、第一層目のダミーパターン
とめっき皮膜で接続を行った。この例では、溝状にめっ
き皮膜を形成しているが、上述したように、図3に示す
ように、バイアホールを多数形成することにより、第一
層目のダミーパターンと第二層目のダミーパターンを接
続してもよい。いずれにしても、第一層目のダミーパタ
ーンと第二層目のダミーパターンを導電皮膜で接続する
際には、絶縁樹脂除去工程、めっき工程を配線パターン
の形成工程と同時に行うことができ、特に工程は増加せ
ずに行うことが可能である。
Next, a dry film having a thickness of 35 μm was attached, and exposure and development were performed using a mask having a desired wiring pattern. The resist is not limited to a dry film, and a liquid resist, an electrodeposition resist, or the like may be used. After that, etching was performed using ferric chloride to form the wiring pattern 17 and the dummy pattern 15 of the second layer. Then, a dry film peeling step was performed. This state is the state shown in FIG. Here, the dummy pattern 15 was connected to the first layer dummy pattern by a plating film. In this example, the plating film is formed in a groove shape, but as described above, by forming a large number of via holes as shown in FIG. 3, the dummy pattern of the first layer and the dummy pattern of the second layer are formed. You may connect a dummy pattern. In any case, when connecting the dummy pattern of the first layer and the dummy pattern of the second layer with the conductive film, the insulating resin removing step and the plating step can be performed simultaneously with the wiring pattern forming step, In particular, it is possible to carry out without increasing the number of steps.

【0021】ここで、さらに多くの層の配線層を必要と
する場合には、上述の絶縁層形成以降の工程を繰り返す
ことにより、所望の数の配線層を形成することができ
る。最後に図1(d)のように、保護層とするソルダレ
ジストを塗布し、仮乾燥した後、露光、現像工程を行
い、所望の形状の保護層103を形成した。材料は、絶
縁層は同材質のものでもよい。
Here, when more wiring layers are required, a desired number of wiring layers can be formed by repeating the steps after the above-mentioned formation of the insulating layer. Finally, as shown in FIG. 1D, a solder resist to be used as a protective layer was applied, provisionally dried, and then exposed and developed to form a protective layer 103 having a desired shape. The material may be the same as that of the insulating layer.

【0022】また、図4に示すように、ダミーパターン
13を、接地配線104と電気的に接続し、プリント配
線板が使用される際に、ダミーパターンが接地電位を有
するようにすることは好ましい。ダミーパターンがシー
ルドの役割を果たし、外部からの電磁的ノイズを確実に
遮断することになるからである。この場合、ダミーパタ
ーンは信号配線パターンを有する配線層のすべてに形成
することが望ましく、なるべくプリント配線板の全周に
わたって囲うようにダミーパターンを形成することがさ
らに望ましい。
Further, as shown in FIG. 4, it is preferable that the dummy pattern 13 is electrically connected to the ground wiring 104 so that the dummy pattern has the ground potential when the printed wiring board is used. . This is because the dummy pattern serves as a shield and surely blocks electromagnetic noise from the outside. In this case, it is desirable that the dummy pattern is formed on the entire wiring layer having the signal wiring pattern, and it is further desirable that the dummy pattern be formed so as to surround the entire circumference of the printed wiring board as much as possible.

【0023】また、接地配線との電気的接続も、二カ所
以上、5cm以下の間隔で、さらに好ましくは、2cm
以下の間隔で、行うことが好ましい。
Also, the electrical connection to the ground wiring is made at intervals of two places or more and 5 cm or less, more preferably 2 cm.
It is preferable to carry out at the following intervals.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明によれば、ビルドアップ法によっ
て製造される多層プリント配線板において、高湿下で使
用された場合においても、吸湿を低く抑えることができ
るため、配線パターンが酸化されることなく、長期使用
に耐える多層プリント配線板を得ることができる。ま
た、ダミーパターンによって、外部からの電磁的ノイズ
も抑制することが可能となるため、外部からの電磁的ノ
イズの影響を受けにくい、多層プリント配線板を得るこ
とができる。さらに、このような多層プリント配線板
は、従来のビルドアップ法を用いた多層プリント配線板
の製造工程に比べ、製造に要する工程が増加することが
なく製造することができる。
According to the present invention, in a multilayer printed wiring board manufactured by the build-up method, even when used in high humidity, moisture absorption can be suppressed to a low level, so that the wiring pattern is oxidized. Without, it is possible to obtain a multilayer printed wiring board that can withstand long-term use. In addition, since the dummy pattern can also suppress electromagnetic noise from the outside, it is possible to obtain a multilayer printed wiring board that is less likely to be affected by the electromagnetic noise from the outside. Further, such a multilayer printed wiring board can be manufactured without increasing the number of steps required for manufacturing, as compared with the manufacturing steps of the multilayer printed wiring board using the conventional build-up method.

【0025】[0025]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る断面説明図である。FIG. 1 is a cross-sectional explanatory diagram according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に係る上面説明図である。FIG. 2 is a top view illustrating an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例に係る説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明のさらに他の実施例に係る断面説明図で
ある。
FIG. 4 is a sectional explanatory view according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 絶縁基板 12、17 配線パターン部 13、15 ダミーパターン 14 絶縁層 21 バイアホール部 101 配線パターン領域 102 絶縁樹脂除去部分 103 保護層 104 接地配線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Insulating substrate 12, 17 Wiring pattern part 13, 15 Dummy pattern 14 Insulating layer 21 Via hole part 101 Wiring pattern region 102 Insulating resin removed part 103 Protective layer 104 Ground wiring

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】絶縁基板上に、配線パターンが形成されて
いる複数の配線層と、配線層間を互いに電気的に絶縁す
る絶縁層が交互に形成され、配線層間を互いに電気的に
接続するバイアホールを有する多層プリント配線板にお
いて、 配線パターン領域の前記多層プリント配線板の外形線側
の部位で、かつ外形線から離間した部位に、前記配線パ
ターンと同材質で、複数の配線層にダミーパターンが形
成され、各配線層のダミーパターンが互いに導電皮膜で
接続されていることを特徴とする多層プリント配線板。
1. A via in which a plurality of wiring layers on which wiring patterns are formed and an insulating layer which electrically insulates the wiring layers from each other are alternately formed on an insulating substrate, and which electrically connects the wiring layers to each other. In a multilayer printed wiring board having a hole, a dummy pattern is formed on a plurality of wiring layers in the wiring pattern area at a portion on the outline line side of the multilayer printed wiring board and apart from the outline line, using the same material as the wiring pattern. And a dummy pattern of each wiring layer is connected to each other by a conductive film.
【請求項2】前記ダミーパターンが、信号配線パターン
を有する配線層のすべてに形成されていることを特徴と
する請求項1記載の多層プリント配線板。
2. The multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the dummy pattern is formed on all wiring layers having a signal wiring pattern.
【請求項3】前記ダミーパターンが、プリント配線板中
の接地配線と電気的に接続されていることを特徴とする
請求項1または請求項2記載の多層プリント配線板。
3. The multilayer printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the dummy pattern is electrically connected to a ground wiring in the printed wiring board.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011004681A1 (en) * 2009-07-10 2011-01-13 アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 Electronic circuit device

Cited By (3)

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