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JPH09300172A - Manufacturing method of printed wiring board - Google Patents

Manufacturing method of printed wiring board

Info

Publication number
JPH09300172A
JPH09300172A JP8122973A JP12297396A JPH09300172A JP H09300172 A JPH09300172 A JP H09300172A JP 8122973 A JP8122973 A JP 8122973A JP 12297396 A JP12297396 A JP 12297396A JP H09300172 A JPH09300172 A JP H09300172A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring board
printed wiring
drill
manufacturing
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8122973A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tosaku Nishiyama
東作 西山
Kunihiro Yamauchi
邦広 山内
Michihiro Miyauchi
美智博 宮内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP8122973A priority Critical patent/JPH09300172A/en
Publication of JPH09300172A publication Critical patent/JPH09300172A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Drilling And Boring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、電子機器等を構成するプリント配
線板に関するもので、加工コストが大幅に削減できるだ
けでなく、電気的な接続信頼性を大きく向上できるプリ
ント配線板の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 プリント配線板を穴加工する際に、液化
ガス5をプリント配線板の穴加工部に供給し、プリント
配線板を冷却しながら穴加工することにより、ドリルの
ヒット数を増加させても良好な穴内壁を得ることがで
き、スルーホール断線不良、マイグレーションによる絶
縁破壊不良等を防止できる。
(57) Abstract: The present invention relates to a printed wiring board that constitutes an electronic device or the like, and a printed wiring board that can not only greatly reduce the processing cost but also greatly improve the electrical connection reliability. It is intended to provide a manufacturing method. When drilling a printed wiring board, a liquefied gas 5 is supplied to a drilling portion of the printed wiring board to perform drilling while cooling the printed wiring board, thereby increasing the number of drill hits. It is possible to obtain a good inner wall of the hole, and it is possible to prevent a disconnection defect of a through hole, a dielectric breakdown defect due to migration and the like.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、CPU、メモリー
等の半導体、その他の抵抗器、コンデンサー等の電子部
品、チップ部品等を登載するために用いられるプリント
配線板の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board used for mounting semiconductors such as CPUs and memories, other electronic components such as resistors and capacitors, and chip components.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、携帯用電子機器のさらなる小型
化、薄型化のために、半導体、抵抗器、コンデンサー等
のチップ部品等の集積度が非常に密になっており、その
ためこれを実装させるプリント配線板も高密度化しなけ
ればならない。このような実状に対処するために考え出
されたのが多層プリント配線板である。この多層プリン
ト配線板はこれを構成する複数の基板(内層回路基板)
に予め導体回路を形成しておき、これらの基板を互いに
接合することによって高集積電子部品の実装に対応しよ
うとするものである。
2. Description of the Related Art Recently, due to further miniaturization and thinning of portable electronic equipment, the degree of integration of chip parts such as semiconductors, resistors, capacitors, etc. has become very dense. The printed wiring board must also have a high density. A multilayer printed wiring board has been devised to cope with such a situation. This multilayer printed wiring board is composed of a plurality of boards (inner layer circuit boards).
A conductor circuit is previously formed on the substrate and these substrates are bonded to each other so as to cope with mounting of highly integrated electronic components.

【0003】これらこのような多層プリント配線板は各
層間の電気的導通行うことが必要となる。通常は各層間
の電気的に導通させるためにスルーホールを設けており
この穴を通って電流が流れ、電気的な接続が行われるよ
うになっている。
In such a multilayer printed wiring board, it is necessary to electrically connect the layers. Usually, a through hole is provided to electrically connect the layers, and a current flows through the hole to make an electrical connection.

【0004】このスルーホールの設け方としてはめっき
による方法、導電性ペーストによる方法等様々な方法が
提案され、実施されている。各方法についての一般的な
製造方法としては最初にNCドリルマシーン等により穴
加工を行い、その後穴の中にめっきをしたり、導電性ペ
ーストを入れる等により層間の導通を図る。
Various methods such as a plating method and a conductive paste method have been proposed and implemented as the method of providing the through holes. As a general manufacturing method for each method, first, holes are formed by an NC drill machine or the like, and then plating is performed in the holes or a conductive paste is put into the holes to establish conduction between layers.

【0005】(図6)に従来のNCドリルマシーンを示
す。台8の上にテーブル6が載せられており、前後に動
くようになっている。また台8の上にアーム9が取り付
けられ、アーム9にはドリル1をドリルチャック3で固
定されているスピンドルモータ10が取り付けられてい
る。スピンドルモータ10はアーム9を左右に移動でき
るようになっている。テーブル6の上に置かれた基板2
はテーブル6が前後にし、またスピンドルモータが左右
に移動することにより加工位置を決めて加工を行う。
FIG. 6 shows a conventional NC drill machine. A table 6 is placed on a table 8 so that it can move back and forth. An arm 9 is mounted on the table 8, and a spindle motor 10 for fixing the drill 1 with a drill chuck 3 is mounted on the arm 9. The spindle motor 10 can move the arm 9 left and right. Substrate 2 placed on table 6
The table 6 is moved forward and backward, and the spindle motor is moved left and right to determine the processing position and perform processing.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらプリント
配線板は半田付けの工程等により熱を加えて部品を装着
するが、その際にスルーホール内のめっきが切れる等に
より導通信頼性の確保は非常に難しいということが一般
に知られている。この原因としてはスルーホール穴内壁
の表面粗さが粗くめっき厚が薄いところができる等の原
因がある。また、スルーホール内の内壁が粗いと導電性
ペーストにより導通を図る場合にも、導電性ペースト等
が基材内部に入り込みマイグレーション(導通経路のあ
ってはならないところに導通経路を作ってしまい絶縁破
壊を起こす)等の現象が生じるため穴の内壁粗さは非常
に厳しく管理する必要があることが知られている。そこ
で穴加工内壁の表面粗さをよい状態に保つ必要がある。
そのためにドリルの交換時期を非常に早い時期に設定し
加工しているのが現状である。そのためドリル費用が非
常に高価になりプリント配線板のコストを引き上げてい
るという課題があった。
However, when a printed wiring board is mounted with heat by a soldering process or the like to mount a component, it is very difficult to ensure continuity reliability because the plating in the through hole is cut off at that time. It is generally known to be difficult. This is because the inner wall of the through hole has a rough surface and the plating thickness is thin. In addition, if the inner wall of the through hole is rough and the conductive paste is used for conduction, the conductive paste or the like may enter the inside of the base material and migrate (create a conduction path where there should be no conduction path and cause dielectric breakdown). It is known that the inner wall roughness of the hole needs to be controlled very strictly because of the occurrence of phenomena such as (causing). Therefore, it is necessary to maintain the surface roughness of the inner wall for drilling in a good state.
Therefore, it is the current situation that drills are set to be replaced very early in the process. Therefore, there has been a problem that the drill cost becomes very high and the cost of the printed wiring board is raised.

【0007】本発明はこのような従来の課題を解決し、
ドリルの寿命を延ばしドリルのコストを下げることがで
きると同時に、穴内壁の表面粗さを良好な状態に保つこ
とができ、スルーホール断線不良、マイグレーションに
よる絶縁破壊等を起こさないプリント配線板を安価に作
ることができる方法を提供することにある。
The present invention solves such conventional problems,
The life of the drill can be extended and the cost of the drill can be reduced, and at the same time, the surface roughness of the inner wall of the hole can be maintained in a good state, and the printed wiring board that does not cause defective through-hole disconnection or dielectric breakdown due to migration is inexpensive. It is to provide a method that can be made.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプリント配線板の製造方法はプリント配線
板を穴加工する際に液化ガスをプリント配線板の穴加工
部に供給しプリント配線板を冷却しながら穴加工するこ
とを特徴とするものであり、また、プリント配線板を穴
加工する際に液化ガスをドリルに供給し、ドリルを冷却
しながら穴加工することを特徴とするものである。
In order to solve the above problems, the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention supplies a liquefied gas to a hole processing part of a printed wiring board when the printed wiring board is drilled. It is characterized by drilling holes while cooling the wiring board, and is characterized by supplying liquefied gas to the drill when drilling the printed wiring board and drilling while cooling the drill. It is a thing.

【0009】また、プリント配線板を穴加工する際に液
化ガスをプリント配線板の穴加工部付近に供給しプリン
ト配線板とドリルを冷却しながら穴加工することを特徴
とするものである。
Further, when the printed wiring board is drilled, liquefied gas is supplied to the vicinity of the drilled portion of the printed wiring board to cool the printed wiring board and the drill while drilling.

【0010】また、プリント配線板を穴加工する際にプ
リント配線板を登載しているテーブルを冷却しプリント
配線板を冷却しながら穴加工することを特徴とするもの
であり、プリント配線板を穴加工する際にドリルチャッ
キング部を冷却しドリルを冷却しながら穴加工すること
を特徴とするものである。
Further, when the printed wiring board is drilled, the table on which the printed wiring board is mounted is cooled and the printed wiring board is drilled while cooling the printed wiring board. It is characterized in that the drill chucking portion is cooled at the time of processing and the drill is drilled while cooling.

【0011】また、冷却用液化ガスに液体窒素を用いる
ことを特徴とするものである。
Further, it is characterized in that liquid nitrogen is used as the liquefied gas for cooling.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図面を参照しながら具体的に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0013】(実施の形態1)(図1)は本発明の実施
の形態1のプリント配線板製造方法の装置を説明するた
めの側面図である。本図は基板加工部分を示したもの
で、装置のその他の部分は(図6)に示す従来の装置と
同様である。
(Embodiment 1) (FIG. 1) is a side view for explaining an apparatus of a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 1 of the present invention. This figure shows a substrate processing part, and the other parts of the device are the same as the conventional device shown in FIG.

【0014】(図1)に示すように本発明のプリント配
線板の製造方法は、ドリルチャック3にドリル1を取り
付け、基板2に穴加工する際にドリル1に液化ガス5を
吹き付けるようにノズル4が設けられている。
As shown in FIG. 1, according to the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, a drill 1 is attached to a drill chuck 3 and a nozzle is formed so that a liquefied gas 5 is blown to the drill 1 when making a hole in a substrate 2. 4 are provided.

【0015】本発明者はドリルの温度と加工状態に相関
関係があることを見いだした。穴加工時のドリル温度が
高い程加工状態は悪くなり、逆にドリル温度が低い程加
工状態は良好で穴内壁粗さも良好となることを発見し
た。これはドリル温度が高いと切削部分で加工する基板
の材料(通常はガラス等の繊維にエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂等を含浸させたもの)の融点を超えてしまい樹
脂が解けた状態となりドリル切れ刃に付着する等の現象
が起こり切れなくなり基板材料を引きちぎるような加工
を行うためである。
The inventor has found that there is a correlation between the drill temperature and the working state. It was discovered that the higher the drill temperature during drilling, the worse the working condition, and conversely, the lower the drill temperature, the better the working condition and the better the inner wall roughness of the hole. This is because when the drilling temperature is high, the melting point of the substrate material (usually glass or other fiber impregnated with epoxy resin, phenolic resin, etc.) exceeds the melting point when the drilling temperature is high, and the resin melts and the drill cutting edge This is because processing such that a phenomenon such as adhesion to the substrate does not occur and the substrate material is torn off is performed.

【0016】そこで本発明は冷却しながら加工すること
により樹脂の融点以下で加工することを目的としたもの
である。ドリル温度としては加工時で150℃以下、ド
リルが基板より抜けた時の温度で100℃以下が望まし
い。さらに望ましくは加工時のドリル温度として130
℃以下、基板より抜けた時のドリル温度としては80℃
以下とするのがよい。さらに加工状態を良くするために
はドリル温度としては100℃以下、ドリルが基板より
抜けた時の温度で50℃以下がより望ましい。
Therefore, the present invention has an object of processing at a temperature below the melting point of the resin by processing while cooling. The drill temperature is preferably 150 ° C. or lower during processing, and 100 ° C. or lower at the temperature when the drill is removed from the substrate. More preferably, the drill temperature during processing is 130
℃ or less, 80 ℃ as drill temperature when removed from the substrate
It is better to do the following. Further, in order to improve the working condition, the drill temperature is preferably 100 ° C. or lower, and the temperature when the drill is pulled out from the substrate is preferably 50 ° C. or lower.

【0017】本実施の形態のプリント配線板の製造方法
は上記の条件を満たすために加工部付近の温度を下げる
ためドリル1を液体窒素5で冷却しながら加工するもの
である。ドリルを直接冷却することによりドリルの温度
が上がらない。本実施の形態は1.6mm厚の6層基板
を加工したものである。ドリルの直径は0.4mmで回
転数は80000rpmの条件である。冷却用液化ガス
には液体窒素を用いて行った。
In the method for manufacturing a printed wiring board of the present embodiment, the drill 1 is cooled while being cooled with liquid nitrogen 5 in order to lower the temperature in the vicinity of the processed portion in order to satisfy the above conditions. The temperature of the drill does not rise by cooling the drill directly. In this embodiment, a 1.6-layer-thick 6-layer substrate is processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm. Liquid nitrogen was used as the liquefied gas for cooling.

【0018】液体窒素を用いた理由は非常に温度が低く
−196℃程度の液体で冷却効果が高い上に液体ガスの
中では比較的安価であるためである。液体ガスの変わり
に切削油剤、水等の冷却剤を用いることも可能である
が、液体窒素の方がさらに温度を下げられるので冷却効
果が出易い。
The reason why liquid nitrogen is used is that it is a liquid having a very low temperature of about −196 ° C. and has a high cooling effect and is relatively inexpensive in liquid gas. It is possible to use a coolant such as cutting oil or water instead of liquid gas, but liquid nitrogen is more likely to have a cooling effect because the temperature can be further lowered.

【0019】なお本実施の形態においては1.6mm厚
の基板で加工したが他のサイズの基板にも応用できるこ
とは言うまでもない。また層構成も6層に限ったもので
はない。また液体窒素を冷却に用いたが炭酸ガス、アル
ゴンガス等他の液化ガス等も応用できることは言うまで
もない。
In this embodiment, a substrate having a thickness of 1.6 mm is used for processing, but it goes without saying that it can be applied to substrates of other sizes. The layer structure is not limited to six layers. Further, although liquid nitrogen was used for cooling, it goes without saying that other liquefied gases such as carbon dioxide gas and argon gas can also be applied.

【0020】(実施の形態2)(図2)は本発明の実施
の形態2のプリント配線板の製造方法の装置を説明する
ための側面図である。本図は基板の加工部分を示したも
ので、装置のその他の部分は(図6)に示す従来の装置
と同様にした。
(Embodiment 2) (FIG. 2) is a side view for explaining an apparatus of a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 2 of the present invention. This drawing shows the processed portion of the substrate, and the other parts of the device are the same as those of the conventional device shown in FIG.

【0021】(図2)に示すように本発明のプリント配
線板の製造方法はドリルチャック3にドリル1を取り付
け、基板2に穴加工する際に基板2に液化ガスを吹き付
けるようにノズル4が設けられている。
As shown in FIG. 2, in the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention, the drill 1 is attached to the drill chuck 3 and the nozzle 4 is so arranged as to blow a liquefied gas onto the substrate 2 when making a hole in the substrate 2. It is provided.

【0022】本実施の形態のプリント配線板の製造方法
は実施の形態1と同様に加工部の温度を下げドリルの温
度を上げないように基板2を液体窒素5で冷却しながら
加工するものである。このような構成とすることにより
加工部で発生した熱は速やかに基板を通じて除去され加
工部の温度を上げないようにできる。本実施の形態では
1.6mm厚の6層基板を加工した。ドリルの直径は
0.4mmで回転数は80000rpmの条件である。
冷却用液化ガスには液体窒素を用いて行った。
The printed wiring board manufacturing method of this embodiment is similar to that of the first embodiment, in that the substrate 2 is cooled while being cooled with liquid nitrogen 5 so that the temperature of the working portion is not lowered and the temperature of the drill is not raised. is there. With such a configuration, the heat generated in the processed portion can be quickly removed through the substrate and the temperature of the processed portion can be prevented from rising. In this embodiment, a 1.6-layer thick 6-layer substrate is processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm.
Liquid nitrogen was used as the liquefied gas for cooling.

【0023】なお本実施の形態においては1.6mm厚
の基板で加工したが他のサイズの基板にも応用できるこ
とは言うまでもない。また層構成も6層に限ったもので
はない。また液体窒素を冷却に用いたが炭酸ガス、アル
ゴンガス等他の液化ガス等も応用できることは言うまで
もない。
In this embodiment, a substrate having a thickness of 1.6 mm is used for processing, but it goes without saying that the substrate can be applied to other sizes. The layer structure is not limited to six layers. Further, although liquid nitrogen was used for cooling, it goes without saying that other liquefied gases such as carbon dioxide gas and argon gas can also be applied.

【0024】(実施の形態3)(図3)は本発明の実施
の形態3のプリント配線板の製造方法の装置を説明する
ための側面図である。本図は基板の加工部分を示したも
ので、装置のその他の部分は(図6)に示す従来の装置
と同様にした。
(Embodiment 3) (FIG. 3) is a side view for explaining an apparatus of a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 3 of the present invention. This drawing shows the processed portion of the substrate, and the other parts of the device are the same as those of the conventional device shown in FIG.

【0025】(図3)に示すように本発明のプリント配
線板の製造方法はドリルチャック3にドリル1を取り付
け、基板2に穴加工する際に基板2を支える金属製テー
ブル6を液化ガス5で冷却するように通路7が設けられ
ている。通路7の中には液体窒素が流れている。
As shown in FIG. 3, according to the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, the drill 1 is attached to the drill chuck 3 and the metal table 6 supporting the substrate 2 when the substrate 2 is drilled is liquefied gas 5. The passage 7 is provided so as to be cooled by. Liquid nitrogen is flowing in the passage 7.

【0026】本実施の形態のプリント配線板の製造方法
は実施の形態1と同様に加工部の温度を下げドリルの温
度を上げないように基板2を液体窒素5で冷却したテー
ブルに保持しながら加工するものである。このような構
成とすることにより加工部で発生した熱は速やかに基板
2を通じてテーブル6側に除去され加工部の温度を上げ
ないようにできる。本実施の形態では1.6mm厚の6
層基板を加工した。ドリルの直径は0.4mmで回転数
は80000rpmの条件である。冷却用液化ガスには
液体窒素を用いて行った。
In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, the substrate 2 is held on a table cooled with liquid nitrogen 5 so that the temperature of the processed portion is not lowered and the temperature of the drill is not raised as in the first embodiment. It is to be processed. With such a configuration, the heat generated in the processed portion can be quickly removed to the table 6 side through the substrate 2 and the temperature of the processed portion can be prevented from rising. In the present embodiment, the 6 mm 1.6 mm thick
The layered substrate was processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm. Liquid nitrogen was used as the liquefied gas for cooling.

【0027】なお本実施の形態においては1.6mm厚
の基板で加工したが他のサイズの基板にも応用できるこ
とは言うまでもない。また層構成も6層に限ったもので
はない。また液体窒素を冷却に用いたが炭酸ガス、アル
ゴンガス等他の液化ガス等も応用できることは言うまで
もない。またテーブルは金属等の熱伝導のよいものを使
うのが好ましく、金属以外のものでも熱伝導のよいもの
を使えば同等の効果が得られる。
In this embodiment, a substrate having a thickness of 1.6 mm is used for processing, but it goes without saying that it can be applied to substrates of other sizes. The layer structure is not limited to six layers. Further, although liquid nitrogen was used for cooling, it goes without saying that other liquefied gases such as carbon dioxide gas and argon gas can also be applied. Further, it is preferable to use a table having good heat conduction such as metal, and the same effect can be obtained by using a table having good heat conduction other than metal.

【0028】(実施の形態4)(図4)は本発明の実施
の形態4のプリント配線板の製造方法の装置を説明する
ための側面図である。本図は基板の加工部分を示したも
ので、装置のその他の部分は(図6)に示す従来の装置
と同様にした。
(Embodiment 4) (FIG. 4) is a side view for explaining an apparatus of a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 4 of the present invention. This drawing shows the processed portion of the substrate, and the other parts of the device are the same as those of the conventional device shown in FIG.

【0029】(図4)に示すように本発明のプリント配
線板の製造方法はドリルチャック3にドリル1を取り付
け、基板2に穴加工する際にドリル1および基板2の切
削加工部に液化ガスを吹き付けるようにノズル4が設け
られている。
As shown in FIG. 4, according to the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, the drill 1 is attached to the drill chuck 3, and when the substrate 2 is drilled, liquefied gas is applied to the cutting portions of the drill 1 and the substrate 2. Nozzle 4 is provided so as to spray.

【0030】本実施の形態のプリント配線板の製造方法
は実施の形態1と同様に加工部の温度を下げドリルの温
度を上げないようにドリル1および基板2の加工部を液
体窒素5で冷却しながら加工するものである。このよう
な構成とすることにより加工部で発生した熱は速やかに
ドリル1および基板2の両側に除去され加工部の温度を
上げないようにできる。本実施の形態では1.6mm厚
の6層基板を加工した。ドリルの直径は0.4mmで回
転数は80000rpmの条件である。冷却用液化ガス
には液体窒素を用いて行った。
In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, the processed portions of the drill 1 and the substrate 2 are cooled with liquid nitrogen 5 so that the temperature of the processed portion is lowered and the temperature of the drill is not raised as in the first embodiment. While processing. With such a configuration, the heat generated in the processed portion can be quickly removed to both sides of the drill 1 and the substrate 2, and the temperature of the processed portion can be prevented from being raised. In this embodiment, a 1.6-layer thick 6-layer substrate is processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm. Liquid nitrogen was used as the liquefied gas for cooling.

【0031】なお本実施の形態においては1.6mm厚
の基板で加工したが他のサイズの基板にも応用できるこ
とは言うまでもない。また層構成も6層に限ったもので
はない。また液体窒素を冷却に用いたが炭酸ガス、アル
ゴンガス等他の液化ガス等も応用できることは言うまで
もない。
In this embodiment, a substrate having a thickness of 1.6 mm is used for processing, but it goes without saying that the substrate can be applied to substrates of other sizes. The layer structure is not limited to six layers. Further, although liquid nitrogen was used for cooling, it goes without saying that other liquefied gases such as carbon dioxide gas and argon gas can also be applied.

【0032】(実施の形態5)(図5)は本発明の実施
の形態5のプリント配線板の製造方法の装置を説明する
ための側面図である。本図は基板の加工部分を示したも
ので、装置のその他の部分は(図6)に示す従来の装置
と同様にした。
(Fifth Embodiment) (FIG. 5) is a side view for explaining an apparatus of a method for manufacturing a printed wiring board according to a fifth embodiment of the present invention. This drawing shows the processed portion of the substrate, and the other parts of the device are the same as those of the conventional device shown in FIG.

【0033】(図5)に示すように本発明のプリント配
線板の製造方法はドリルチャック3にドリル1を取り付
け、基板2に穴加工する際にドリルチャック3に液化ガ
スを吹き付けるようにノズル4が設けられている。
As shown in FIG. 5, in the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention, the drill 1 is attached to the drill chuck 3 and the nozzle 4 is formed so as to blow the liquefied gas to the drill chuck 3 when the substrate 2 is drilled. Is provided.

【0034】本実施の形態のプリント配線板の製造方法
は実施の形態1と同様に加工部の温度を下げドリルの温
度を上げないようにドリルチャック3を液体窒素5で冷
却しながら加工するものである。このような構成とする
ことにより加工部で発生した熱は速やかにドリル1を通
じてドリルチャック3側に除去され加工部の温度を上げ
ないようにできる。本実施の形態では1.6mm厚の6
層基板を加工した。ドリルの直径は0.4mmで回転数
は80000rpmの条件である。冷却用液化ガスには
液体窒素を用いて行った。
In the method for manufacturing a printed wiring board of this embodiment, the drill chuck 3 is cooled while being cooled by liquid nitrogen 5 so as not to raise the temperature of the drill and the temperature of the drill as in the case of the first embodiment. Is. With such a configuration, the heat generated in the processed portion is quickly removed to the drill chuck 3 side through the drill 1 and the temperature of the processed portion can be prevented from rising. In the present embodiment, the 6 mm 1.6 mm thick
The layered substrate was processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm. Liquid nitrogen was used as the liquefied gas for cooling.

【0035】なお本実施の形態においては1.6mm厚
の基板で加工したが他のサイズの基板にも応用できるこ
とは言うまでもない。また層構成も6層に限ったもので
はない。また液体窒素を冷却に用いたが炭酸ガス、アル
ゴンガス等他の液化ガス等も応用できることは言うまで
もない。
In this embodiment, a substrate having a thickness of 1.6 mm is used for processing, but it goes without saying that it can be applied to substrates of other sizes. The layer structure is not limited to six layers. Further, although liquid nitrogen was used for cooling, it goes without saying that other liquefied gases such as carbon dioxide gas and argon gas can also be applied.

【0036】なお本実施の形態1〜5においてはノズル
により液化ガスを吹き付けるおよびテーブルに設けた通
路内に液化ガスを通すことにより基板、ドリル、テーブ
ル、ドリルチャック等を冷却しているが基板、ドリル、
テーブル、ドリルチャックを冷却できればこの他の方法
でも同様の効果が得られる。
In the first to fifth embodiments, the substrate, the drill, the table, the drill chuck, etc. are cooled by spraying the liquefied gas with the nozzle and passing the liquefied gas through the passage provided in the table. Drill,
If the table and the drill chuck can be cooled, the same effect can be obtained by other methods.

【0037】また液化ガスの代わりに他の冷却剤(水、
高圧冷却ガス、溶剤、切削油剤等)を用いても同等の効
果が得られる。
Instead of the liquefied gas, another coolant (water,
The same effect can be obtained by using a high-pressure cooling gas, a solvent, a cutting fluid, etc.).

【0038】またNCドリル加工装置全体を低温に保っ
た部屋に入れて加工しても同様の効果が得られる。
The same effect can be obtained even if the entire NC drill processing device is placed in a room kept at a low temperature for processing.

【0039】上記構成によって、本発明のプリント配線
板の製造方法では、ドリル、基板等を冷却しながら切削
を行うことができるため、切削部分の温度上昇を抑えド
リルの寿命を延ばしドリルのコストを下げることができ
ると同時に、穴内壁の表面粗さを良好な状態に保つこと
ができ、スルーホール断線不良、マイグレーション不良
等を起こさないプリント配線板を安価に作ることができ
る。
With the above-described structure, in the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, since it is possible to perform cutting while cooling the drill, the substrate, etc., it is possible to suppress the temperature rise of the cutting portion, extend the life of the drill, and reduce the drill cost. At the same time, the surface roughness of the inner wall of the hole can be maintained in a good state, and a printed wiring board that does not cause through-hole disconnection failure, migration failure, etc. can be manufactured at low cost.

【0040】(比較例)本発明の実施の形態と比較する
ために従来のプリント配線板製造方法に係る装置の側面
図を(図6)に示す。
(Comparative Example) A side view of an apparatus according to a conventional printed wiring board manufacturing method is shown in FIG. 6 for comparison with the embodiment of the present invention.

【0041】比較例では実施の形態と同様に1.6mm
厚の6層基板を加工した。ドリルの直径は0.4mmで
回転数は80000rpmの条件である。液化ガス等で
冷却は行なわないで加工した。
In the comparative example, 1.6 mm as in the embodiment.
A thick 6-layer substrate was processed. The diameter of the drill is 0.4 mm and the rotation speed is 80,000 rpm. Processing was performed without cooling with liquefied gas or the like.

【0042】なお本発明の実施の形態および比較例は基
板の大きさとしては同じサイズの510mm×430m
mのサイズで加工を行った。またNCドリルマシーンの
大きさは基板の載せられる大きさのテーブルを備えたも
のでテーブルサイズとしては600mm×500mm程
度である。
In the embodiment and the comparative example of the present invention, the size of the substrate is 510 mm × 430 m, which is the same size.
Processing was performed with a size of m. The size of the NC drill machine is provided with a table on which a substrate can be placed, and the table size is about 600 mm × 500 mm.

【0043】本実施の形態の加工を行った際の穴の加工
ヒット数と内壁の表面粗さの関係を(表1)に示す。
Table 1 shows the relationship between the number of processing hits of holes and the surface roughness of the inner wall when the processing of this embodiment is performed.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】(表1)に示すように本実施の形態の加工
方法では加工ヒット数を上げても内壁粗さの劣化が少な
いことがわかる。
As shown in (Table 1), it can be seen that in the processing method of the present embodiment, the deterioration of the inner wall roughness is small even if the number of processing hits is increased.

【0046】本発明のプリント配線板の製造方法では、
ドリル、基板等を冷却しながら切削を行うことができる
ため、切削部分の温度上昇を抑えドリルの寿命を延ばし
ドリルのコストを下げることができると同時に、穴内壁
の表面粗さを良好な状態に保つことができ、スルーホー
ル断線不良、マイグレーションによる絶縁破壊不良等を
起こさないプリント配線板を安価に作ることができる。
In the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention,
Since it is possible to perform cutting while cooling the drill, substrate, etc., it is possible to suppress the temperature rise of the cutting part, extend the life of the drill and reduce the cost of the drill, and at the same time make the surface roughness of the inner wall of the hole good A printed wiring board which can be maintained and does not cause a through-hole disconnection defect or a dielectric breakdown defect due to migration can be manufactured at low cost.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上のように本発明のプリント配線板の
製造方法は、ドリル、基板、基板を支えるテーブル等を
強制的に冷却しながら切削を行うことができるため、切
削部分の温度上昇を抑え基板樹脂が溶けてドリルの切れ
刃に付着するのを防止できドリルの寿命ヒット数を延ば
すことができるため、ドリルの消費コストを下げること
ができると同時に、交換の手間も省けるためにさらなる
コストダウンができる上に穴内壁の表面粗さを良好な状
態に保つことができ、スルーホール断線不良、マイグレ
ーションによる絶縁破壊不良等を起こさないようにでき
品質上の信頼性を大幅に向上させることができ、また大
幅に安価に作ることができるようになる。
As described above, according to the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, since it is possible to perform cutting while forcibly cooling the drill, the substrate, the table supporting the substrate, etc., the temperature rise of the cutting portion can be prevented. It is possible to prevent the restraint substrate resin from melting and adhering to the cutting edge of the drill, and to extend the life hit number of the drill, which reduces the consumption cost of the drill and at the same time reduces the labor for replacement In addition to being able to down, it is possible to maintain the surface roughness of the inner wall of the hole in a good state, to prevent defects such as through-hole disconnection defects and dielectric breakdown defects due to migration, and greatly improve quality reliability. You can do it, and it will be possible to make it significantly cheaper.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態のプリント配線板の製造
方法を説明するための側面断面図
FIG. 1 is a side sectional view for explaining a method for manufacturing a printed wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態のプリント配線板の製造
方法を説明するための側面図
FIG. 2 is a side view for explaining the method for manufacturing the printed wiring board according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態のプリント配線板の製造
方法を説明するための側面図
FIG. 3 is a side view for explaining the method for manufacturing the printed wiring board according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態のプリント配線板の製造
方法を説明するための側面図
FIG. 4 is a side view for explaining the method for manufacturing the printed wiring board according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態のプリント配線板の製造
方法を説明するための側面図
FIG. 5 is a side view for explaining the method for manufacturing the printed wiring board according to the embodiment of the present invention.

【図6】従来のプリント配線板の製造方法を説明するた
めの側面図
FIG. 6 is a side view for explaining a conventional method for manufacturing a printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ドリル 2 基板 3 ドリルチャック 4 ノズル 5 液化ガス 6 テーブル 7 通路 1 drill 2 substrate 3 drill chuck 4 nozzle 5 liquefied gas 6 table 7 passage

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント配線板を穴加工する際に、液化
ガスをプリント配線板の穴加工部に供給し、プリント配
線板を冷却しながら穴加工することを特徴とするプリン
ト配線板の製造方法。
1. A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises supplying a liquefied gas to a hole drilling portion of the printed wiring board when drilling the printed wiring board, and drilling while cooling the printed wiring board. .
【請求項2】 プリント配線板を穴加工する際に、液化
ガスをドリルに供給し、ドリルを冷却しながら穴加工す
ることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
2. A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises supplying a liquefied gas to a drill and drilling the drill while cooling the drill when the printed wiring board is drilled.
【請求項3】 プリント配線板を穴加工する際に、液化
ガスをプリント配線板の穴加工部付近に供給し、プリン
ト配線板とドリルを冷却しながら穴加工することを特徴
とするプリント配線板の製造方法。
3. A printed wiring board characterized by supplying a liquefied gas to the vicinity of a drilled portion of the printed wiring board when drilling the printed wiring board, and drilling while cooling the printed wiring board and the drill. Manufacturing method.
【請求項4】 プリント配線板を穴加工する際に、プリ
ント配線板を搭載しているテーブルを冷却し、プリント
配線板を冷却しながら穴加工することを特徴とするプリ
ント配線板の製造方法。
4. A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises: when drilling a printed wiring board, cooling a table on which the printed wiring board is mounted and drilling while cooling the printed wiring board.
【請求項5】 プリント配線板を穴加工する際に、ドリ
ルチャッキング部を冷却し、ドリルを冷却しながら穴加
工することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
5. A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises: cooling a drill chucking portion when drilling a printed wiring board; and drilling while cooling the drill.
【請求項6】 液化ガスに液体窒素を用いることを特徴
とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプリント配
線板の製造方法。
6. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein liquid nitrogen is used as the liquefied gas.
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