JPH0945442A - IC socket and semiconductor device handling method using the same - Google Patents
IC socket and semiconductor device handling method using the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送後直ちに半導体装置のリードとコンタク
トピンとの接触を図ることのできるICソケットを提供
する。
【構成】 半導体装置2を所定位置に保持する装置搭載
部1aが形成されたソケット本体1と、このソケット本
体1に取り付けられ、半導体装置2と所定のテスト回路
3とを導通するコンタクトピン4と、装置搭載部1aに
開口してソケット本体1の底面部1bに設けられ、装置
搭載部1aの半導体装置2の一方面を負圧吸引してこれ
に設けられたリード2aをコンタクトピン4に押圧する
吸着パッド6とを有するICソケットSである。吸着パ
ッド6は、半導体装置2を吸着したときにリード2aが
コンタクトピン4と最適な接触状態となる長さだけ底面
部1bから突出している。
(57) [Summary] [Object] To provide an IC socket in which a lead and a contact pin of a semiconductor device can be contacted immediately after being transported. A socket main body 1 having a device mounting portion 1a for holding a semiconductor device 2 at a predetermined position, and a contact pin 4 attached to the socket main body 1 for electrically connecting the semiconductor device 2 to a predetermined test circuit 3 are provided. Is provided on the bottom surface 1b of the socket body 1 by opening to the device mounting portion 1a, one side of the semiconductor device 2 of the device mounting portion 1a is negatively suctioned, and the lead 2a provided thereon is pressed against the contact pin 4. It is an IC socket S having a suction pad 6 for The suction pad 6 projects from the bottom surface portion 1b by a length such that the lead 2a is in an optimum contact state with the contact pin 4 when the semiconductor device 2 is suctioned.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、組み立て工程を経た半
導体装置とこの半導体装置の試験を行うテスト回路とを
導通するICソケットについての技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for an IC socket for electrically connecting a semiconductor device that has undergone an assembly process and a test circuit for testing the semiconductor device.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体装置の製造においては、組み立て
の完了した半導体装置に対して電気的特性試験および信
頼性評価試験が行われ、これらの試験をパスした半導体
装置だけが完成品として出荷される。そして、このよう
な試験においては、半導体装置とテスト回路とを電気的
に接続するためにICソケットが用いられている。な
お、半導体装置の試験評価技術を詳しく述べている例と
しては、たとえば、株式会社プレスジャーナル発行「 '
94最新半導体プロセス技術」P373〜P381、P394〜P413が
ある。2. Description of the Related Art In manufacturing a semiconductor device, an electrical characteristic test and a reliability evaluation test are performed on a semiconductor device that has been assembled, and only semiconductor devices that pass these tests are shipped as finished products. . In such a test, an IC socket is used to electrically connect the semiconductor device and the test circuit. As an example that describes the test evaluation technology for semiconductor devices in detail, for example, "'
94 Latest semiconductor process technology "P373 ~ P381, P394 ~ P413.
【0003】半導体装置はトレイ上から搬送アームでピ
ックアップされてICソケットの装置搭載部に保持され
るようになっているが、半導体装置の全てのリードをI
Cソケットの各コンタクトピンに確実に接触させるため
には、加圧アームで半導体装置をICソケットに押圧す
る必要がある。The semiconductor device is picked up from the tray by the transfer arm and held in the device mounting portion of the IC socket, and all the leads of the semiconductor device are I.
In order to make sure contact with each contact pin of the C socket, it is necessary to press the semiconductor device against the IC socket with the pressure arm.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した技術
によれば、搬送アームが半導体装置をICソケットに搭
載してから離反するまでの間、つまりICソケット上に
搬送アームがある間は加圧アームによる加圧動作に移行
することができない。そして、たとえば1個につき10秒
間というように試験時間が短くなればなるほど、このよ
うな加圧アームの動作阻害要因の時間的な割合は大きく
なって行き、結果として試験効率が大幅に損なわれるこ
とになる。However, according to the above-mentioned technique, the pressure is applied from the time when the carrier arm mounts the semiconductor device in the IC socket to the time when the carrier arm is separated, that is, while the carrier arm is on the IC socket. It is not possible to shift to the pressure operation by the arm. The shorter the test time is, for example, 10 seconds per piece, the greater the temporal ratio of such pressure arm movement inhibiting factors becomes, and as a result, the test efficiency is significantly impaired. become.
【0005】そこで、本発明の目的は、搬送後直ちに半
導体装置のリードとコンタクトピンとの接触を図ること
のできるICソケットを提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide an IC socket in which the leads and contact pins of a semiconductor device can be contacted immediately after being transported.
【0006】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.
【0008】すなわち、本発明によるICソケットは、
半導体装置を所定位置に保持する装置搭載部が形成され
たソケット本体と、このソケット本体に取り付けられ、
半導体装置と所定のテスト回路とを導通するコンタクト
ピンと、装置搭載部に開口してソケット本体の底面部に
設けられ、装置搭載部の半導体装置の一方面を負圧吸引
してこれに設けられたリードをコンタクトピンに押圧す
る吸引手段とを有することを特徴とするものである。That is, the IC socket according to the present invention is
A socket body formed with a device mounting portion for holding the semiconductor device in a predetermined position, and attached to the socket body,
A contact pin that electrically connects the semiconductor device to a predetermined test circuit, and an opening in the device mounting portion, which is provided on the bottom surface of the socket body. It has a suction means for pressing the lead against the contact pin.
【0009】このようなICソケットにおいて、吸引手
段は、この吸引手段が半導体装置を吸着したときにリー
ドがコンタクトピンと最適な接触状態となる長さだけ底
面部から突出していることが望ましい。また、半導体装
置には面実装型の半導体装置を適用することができる。In such an IC socket, it is desirable that the suction means protrude from the bottom surface by a length such that the leads are in an optimum contact state with the contact pin when the suction means sucks the semiconductor device. Further, a surface-mounted semiconductor device can be applied to the semiconductor device.
【0010】また、本発明による半導体装置のハンドリ
ング方法は、搬送アームによりトレイ上の半導体装置を
ICソケットに搬送する第1の工程と、吸引手段で半導
体装置を吸引してリードをコンタクトピンに押圧して試
験を行う第2の工程とを有することを特徴とするもので
ある。Further, in the semiconductor device handling method according to the present invention, the first step of transporting the semiconductor device on the tray to the IC socket by the transport arm and the suction of the semiconductor device by the suction means to press the lead against the contact pin. And a second step of performing a test.
【0011】[0011]
【作用】上記した手段によれば、装置搭載部の半導体装
置を吸引手段で負圧吸引する構成を採用しているので、
搬送後直ちに半導体装置のリードとコンタクトピンとの
接触を図ることが可能になる。According to the above-mentioned means, since the semiconductor device mounted on the device is sucked by the suction means under negative pressure,
The leads of the semiconductor device and the contact pins can be contacted immediately after the conveyance.
【0012】これにより、加圧アームにより半導体装置
を加圧する場合に必要であった搬送アームが半導体装置
から退避するための時間が不要になり、ハンドリング時
間が短縮されて試験効率の向上を図ることができる。As a result, the time required for retracting the transfer arm from the semiconductor device, which is required when the semiconductor device is pressed by the pressing arm, is no longer required, and the handling time is shortened and the test efficiency is improved. You can
【0013】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0014】図1は本発明の一実施例であるICソケッ
トを示す斜視図、図2は図1のII−II線に沿う断面図、
図3は図1のICソケットによる半導体装置のハンドリ
ング方法を連続して示す説明図である。FIG. 1 is a perspective view showing an IC socket which is an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II--II in FIG.
3A and 3B are explanatory views successively showing a semiconductor device handling method using the IC socket of FIG.
【0015】図1および図2に示すように、本実施例の
ICソケットSは、たとえばプラスチック樹脂により一
体成形されたソケット本体1の中央部に、たとえば面実
装型であるQFJ(Quad Flat J-leaded Package)タイプ
の半導体装置2を所定位置に保持するために凹状に形成
された装置搭載部1aが形成されている。この装置搭載
部1aは検査対象の半導体装置2が嵌合し得る形状に形
成されており、よって、半導体装置2は装置搭載部1a
により動かないように所定位置に保持される。As shown in FIGS. 1 and 2, the IC socket S of this embodiment has a surface mount type QFJ (Quad Flat J-) in the central portion of the socket body 1 integrally molded of plastic resin, for example. A device mounting portion 1a is formed in a concave shape to hold the leaded package type semiconductor device 2 at a predetermined position. The device mounting portion 1a is formed in a shape into which the semiconductor device 2 to be inspected can fit. Therefore, the semiconductor device 2 has the device mounting portion 1a.
Is held in place so that it does not move.
【0016】ソケット本体1の底面部1bには、半導体
装置2とテスト回路3との導通を図るための複数のコン
タクトピン4が、半導体装置2に設けられたリード2a
に対応して四角形をなすように取り付けられている。A plurality of contact pins 4 for establishing electrical continuity between the semiconductor device 2 and the test circuit 3 are provided on the bottom surface 1b of the socket body 1 with leads 2a provided on the semiconductor device 2.
It is attached so as to form a quadrangle.
【0017】図2に示すように、このコンタクトピン4
は、折り曲げ形成された接触部4aが装置搭載部1aに
臨むようにして底面部1bに形成された複数の取付孔5
にそれぞれ装着されており、一方側はソケット本体1の
背面から垂直に延びてテスト回路3の接続端子に嵌合す
るようになっている。なお、本実施例においては、検査
対象である半導体装置2のリード2aが4方向に設けら
れているためにコンタクトピン4は四角形を形成するよ
うに配列されているが、たとえば2方向の場合には相互
に平行な2本の直線を形成するように配列される。As shown in FIG. 2, this contact pin 4
Is a plurality of mounting holes 5 formed in the bottom surface portion 1b so that the bent contact portion 4a faces the device mounting portion 1a.
, One side of which extends vertically from the back surface of the socket body 1 to fit into the connection terminals of the test circuit 3. In this embodiment, since the leads 2a of the semiconductor device 2 to be inspected are provided in four directions, the contact pins 4 are arranged so as to form a quadrangle, but in the case of two directions, for example. Are arranged so as to form two straight lines parallel to each other.
【0018】このような配列のコンタクトピン4に取り
囲まれるようにして、ソケット本体1の底面部1bに
は、たとえば硬質ゴムで形成された吸着パッド(吸引手
段)6が設けられている。装置搭載部1aに開口して取
り付けられた吸着パッド6は配管7を介して真空ポンプ
8に接続されており、この真空ポンプ8により装置搭載
部1aにある半導体装置2の一方面は吸着パッド6に負
圧吸引される。図2に示すように、この吸着パッド6
は、半導体装置2を吸着したときに全てのリード2aが
変形することなく各コンタクトピン4を押圧している状
態となる長さだけ、つまりリード2aとコンタクトピン
4とが最適な接触状態となる長さだけ底面部1bから突
出して設けられている。なお、図2において、半導体装
置2の上方には、該半導体装置2をトレイ9(図3)か
らICソケットSに搬送するための搬送アーム10の吸
着部が表されている。A suction pad (suction means) 6 made of, for example, hard rubber is provided on the bottom surface 1b of the socket body 1 so as to be surrounded by the contact pins 4 having such an arrangement. The suction pad 6 opened and attached to the device mounting portion 1a is connected to a vacuum pump 8 via a pipe 7, and one surface of the semiconductor device 2 in the device mounting portion 1a is attached to the suction pad 6 by the vacuum pump 8. Negative pressure is sucked into. As shown in FIG. 2, this suction pad 6
Is the length for which all the leads 2a are pressed without deforming when the semiconductor device 2 is sucked, that is, the leads 2a and the contact pins 4 are in the optimum contact state. It is provided so as to project from the bottom surface portion 1b by the length. Note that, in FIG. 2, above the semiconductor device 2, a suction portion of the transfer arm 10 for transferring the semiconductor device 2 from the tray 9 (FIG. 3) to the IC socket S is shown.
【0019】ここで、搬送アーム10はこのような吸着
式ではなく、たとえば把持式など他の種々の形式を採用
することができる。また、吸着パッド6はゴム製ではな
く金属製であってもよい。Here, the transfer arm 10 is not limited to such a suction type, but various other types such as a grip type can be adopted. Further, the suction pad 6 may be made of metal instead of rubber.
【0020】このような構成のICソケットSによる半
導体装置2,12のハンドリング方法を図3に基づいて
説明する。A method of handling the semiconductor devices 2 and 12 by the IC socket S having such a configuration will be described with reference to FIG.
【0021】先ず、図3(a)に示すように、トレイ9
上から搬送対象の半導体装置2を吸着してICソケット
Sへ搬送する。First, as shown in FIG. 3A, the tray 9
The semiconductor device 2 to be transported is adsorbed from above and transported to the IC socket S.
【0022】そして、装置搭載部1aの上方にまで至っ
た時点で搬送アーム10を下降させ、図3(b)に示す
ように、半導体装置2を装置搭載部1aに搭載すると同
時にこれを吸着パッド6で負圧吸引する。これにより、
半導体装置2のリード2aはコンタクトピン4に押圧さ
れて接触することになり、この状態で機能試験などの試
験が行われる。Then, when the carrier arm 10 is lowered when it reaches above the device mounting portion 1a, as shown in FIG. 3B, the semiconductor device 2 is mounted on the device mounting portion 1a and at the same time, the semiconductor device 2 is attached to the suction pad. Suction negative pressure at 6. This allows
The lead 2a of the semiconductor device 2 is pressed against and comes into contact with the contact pin 4, and a test such as a functional test is performed in this state.
【0023】半導体装置2がICソケットSに吸着保持
されて試験が行われている間に、搬送アーム10をトレ
イ9へ戻し(図3(c))、次の半導体装置12をIC
ソケットSまで搬送して待機させておく(図3
(d))。そして、図3(e)に示すように、半導体装
置2の試験が終了すると、半導体装置12を搭載して吸
着パッド6で負圧吸引する。その後、図3(c)に示す
動作に戻り、図3(d),(e)に示す動作を繰り返す。While the semiconductor device 2 is adsorbed and held in the IC socket S and the test is performed, the carrier arm 10 is returned to the tray 9 (FIG. 3C), and the next semiconductor device 12 is transferred to the IC.
It is transported to the socket S and kept in standby (Fig. 3
(D)). Then, as shown in FIG. 3E, when the test of the semiconductor device 2 is completed, the semiconductor device 12 is mounted and the suction pad 6 sucks a negative pressure. After that, the operation returns to the operation shown in FIG. 3C, and the operations shown in FIGS. 3D and 3E are repeated.
【0024】このように、本実施例のICソケットSに
よれば、装置搭載部1aの半導体装置2を吸着パッド6
で負圧吸引する構成を採用したことで、搬送後直ちに半
導体装置2のリード2aとコンタクトピン4との接触を
図ることが可能になる。これにより、加圧アームにより
半導体装置2を加圧する場合のように、搬送アーム10
が半導体装置2から退避するための時間が不要になって
ハンドリング時間が短縮され、試験効率の向上を図るこ
とができる。As described above, according to the IC socket S of this embodiment, the semiconductor device 2 of the device mounting portion 1a is attached to the suction pad 6a.
By adopting the configuration in which the negative pressure is sucked in, it is possible to make contact between the lead 2a of the semiconductor device 2 and the contact pin 4 immediately after the conveyance. As a result, as in the case of pressing the semiconductor device 2 with the pressing arm, the transfer arm 10
However, the time required to evacuate the semiconductor device 2 from the semiconductor device 2 is not required, and the handling time is shortened, and the test efficiency can be improved.
【0025】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.
【0026】たとえば、本実施例においては、QFJタ
イプの半導体装置2が搬送・検査対象とされているが、
本発明ではこれを含む面実装型に限定されることなく、
挿入形の半導体装置を採用することもできる。For example, in this embodiment, the QFJ type semiconductor device 2 is targeted for transportation and inspection.
The present invention is not limited to the surface mounting type including this,
An insertion type semiconductor device can also be adopted.
【0027】[0027]
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。The effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
【0028】(1).すなわち、本発明のICソケットによ
れば、装置搭載部の半導体装置を吸引手段で負圧吸引す
る構成を採用しているので、搬送後直ちに半導体装置の
リードとコンタクトピンとの接触を図ることが可能にな
る。(1) That is, according to the IC socket of the present invention, since the semiconductor device in the device mounting portion is sucked by the negative pressure by the suction means, the lead and the contact pin of the semiconductor device are immediately connected after being transported. It is possible to make contact with each other.
【0029】(2).これにより、加圧アームにより半導体
装置を加圧する場合に必要であった搬送アームが半導体
装置から退避するための時間が不要になり、ハンドリン
グ時間が短縮されて試験効率の向上を図ることができ
る。(2) As a result, the time required for retracting the transfer arm from the semiconductor device, which is required when the semiconductor device is pressed by the pressing arm, is no longer necessary, and the handling time is shortened and the test efficiency is improved. It is possible to improve.
【図1】本発明の一実施例によるICソケットを示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an IC socket according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
【図3】(a)〜(e)は、図1のICソケットによる
半導体装置のハンドリング方法を連続して示す説明図で
ある。3A to 3E are explanatory views successively showing a method of handling a semiconductor device by the IC socket of FIG.
1 ソケット本体 1a 装置搭載部 1b 底面部 2 半導体装置 2a リード 3 テスト回路 4 コンタクトピン 4a 接触部 5 取付孔 6 吸着パッド(吸引手段) 7 配管 8 真空ポンプ 9 トレイ 10 搬送アーム 12 半導体装置 S ICソケット 1 Socket Main Body 1a Device Mounting Part 1b Bottom Part 2 Semiconductor Device 2a Lead 3 Test Circuit 4 Contact Pin 4a Contact Part 5 Mounting Hole 6 Suction Pad (Suctioning Device) 7 Piping 8 Vacuum Pump 9 Tray 10 Transfer Arm 12 Semiconductor Device S IC Socket
Claims (4)
載部が形成されたソケット本体と、 前記ソケット本体に取り付けられ、前記半導体装置と所
定のテスト回路とを導通するコンタクトピンと、 前記装置搭載部に開口して前記ソケット本体の底面部に
設けられ、前記装置搭載部の前記半導体装置の一方面を
負圧吸引してこれに設けられたリードを前記コンタクト
ピンに押圧する吸引手段とを有することを特徴とするI
Cソケット。1. A socket body having a device mounting portion for holding a semiconductor device in a predetermined position, a contact pin attached to the socket body for electrically connecting the semiconductor device to a predetermined test circuit, and the device mounting portion. And a suction means which is provided in the bottom surface of the socket body and is suctioned to one side of the semiconductor device of the device mounting portion under negative pressure to press the lead provided therein against the contact pin. I characterized by
C socket.
前記吸引手段は、この吸引手段が前記半導体装置を吸着
したときに前記リードが前記コンタクトピンと最適な接
触状態となる長さだけ前記底面部から突出されているこ
とを特徴とするICソケット。2. The IC socket according to claim 1, wherein
An IC socket, wherein the suction means is protruded from the bottom surface by a length such that the lead is in an optimum contact state with the contact pin when the suction means sucks the semiconductor device.
前記半導体装置は面実装型半導体装置であることを特徴
とするICソケット。3. The IC socket according to claim 1, wherein
An IC socket, wherein the semiconductor device is a surface-mounted semiconductor device.
トを用いた半導体装置のハンドリング方法であって、 搬送アームによりトレイ上の前記半導体装置を前記IC
ソケットに搬送する第1の工程と、 前記吸引手段で前記半導体装置を吸引して前記リードを
前記コンタクトピンに押圧して試験を行う第2の工程と
を有することを特徴とする半導体装置のハンドリング方
法。4. A semiconductor device handling method using the IC socket according to claim 1, 2, or 3, wherein the semiconductor device on the tray is transferred to the IC by a transfer arm.
Handling a semiconductor device, comprising: a first step of carrying the semiconductor device to a socket; and a second step of sucking the semiconductor device by the suction means to press the lead against the contact pin to perform a test. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191345A JPH0945442A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | IC socket and semiconductor device handling method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191345A JPH0945442A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | IC socket and semiconductor device handling method using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0945442A true JPH0945442A (en) | 1997-02-14 |
Family
ID=16273033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7191345A Pending JPH0945442A (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | IC socket and semiconductor device handling method using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0945442A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035736A (en) * | 2001-07-18 | 2003-02-07 | Murata Mfg Co Ltd | Apparatus for measuring non-reversible circuit element |
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-
1995
- 1995-07-27 JP JP7191345A patent/JPH0945442A/en active Pending
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