JPH01266802A - 反応生成物溜付コールドトラップ - Google Patents
反応生成物溜付コールドトラップInfo
- Publication number
- JPH01266802A JPH01266802A JP9620588A JP9620588A JPH01266802A JP H01266802 A JPH01266802 A JP H01266802A JP 9620588 A JP9620588 A JP 9620588A JP 9620588 A JP9620588 A JP 9620588A JP H01266802 A JPH01266802 A JP H01266802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold trap
- oil
- reaction product
- product reservoir
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 title claims description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 12
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空装置の排気系に用いるコールドトラップ
に関する。
に関する。
［発明の概要］
本発明は、真空装置の排気系に用いるコールドトラップ
において、前記コールドトラップの底面にオイルの入っ
た容器を取り付けることにより、前記コールドトラップ
のトラップ面より剥れ落ちた粉体を、オイルと共に回収
可能にしたものである。
において、前記コールドトラップの底面にオイルの入っ
た容器を取り付けることにより、前記コールドトラップ
のトラップ面より剥れ落ちた粉体を、オイルと共に回収
可能にしたものである。
［従来の技術１
従来、第２図に示すように、二重になったコールドトラ
ップの内側の容器内に、液体窒素に代表されるような冷
却剤１を入れ、コールドトラップ本体３の内側面２にお
いて、真空排気系内を流れる気体中の不必要な気体及び
粉体なトラップするコールドトラップが知られていた。
ップの内側の容器内に、液体窒素に代表されるような冷
却剤１を入れ、コールドトラップ本体３の内側面２にお
いて、真空排気系内を流れる気体中の不必要な気体及び
粉体なトラップするコールドトラップが知られていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来のコールドトラップは、トラップ内側面２
から剥れ落ちた粉体及び凝縮した気体が、そのままコー
ルドトラップ本体３の底面に溜ってしまい、本体を分解
する以外メンテナンスの方法がなかった。
から剥れ落ちた粉体及び凝縮した気体が、そのままコー
ルドトラップ本体３の底面に溜ってしまい、本体を分解
する以外メンテナンスの方法がなかった。
また、前記コールドトラップが、ＣＶＤ、ドライエツチ
ャー等の化学反応を利用する真空装置に用いられる場合
は、コールドトラップ本体の底面に溜る粉体または凝縮
した気体が、腐蝕性を有している場合が多く、長い期間
停滞しているとコールドトラップ本体を腐蝕させ、コー
ルドトラ・ツブの寿命を縮めるばかりでなく、腐蝕性を
有した粉体、気体が外部に漏れ安全が保たれない問題を
有していた。
ャー等の化学反応を利用する真空装置に用いられる場合
は、コールドトラップ本体の底面に溜る粉体または凝縮
した気体が、腐蝕性を有している場合が多く、長い期間
停滞しているとコールドトラップ本体を腐蝕させ、コー
ルドトラ・ツブの寿命を縮めるばかりでなく、腐蝕性を
有した粉体、気体が外部に漏れ安全が保たれない問題を
有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
め、コールドトラップ本体の底面に溜った粉体または凝
縮した気体等の反応生成物を、本体を分解する程の労力
、時間をかけずに、かつ安全に取り除けるコールドトラ
ップを得ることを目的としている。
め、コールドトラップ本体の底面に溜った粉体または凝
縮した気体等の反応生成物を、本体を分解する程の労力
、時間をかけずに、かつ安全に取り除けるコールドトラ
ップを得ることを目的としている。
［課題を解決するための手段］
上記問題点を解決するために、本発明の反応生成物溜付
コールドトラップは、冷却面の凝縮作用を用いて真空排
気中の不必要な気体及び粉体の移動を防ぐコールドトラ
ップにおいて、前記コールドトラップ本体の底面に、ト
ラップ面より剥れ落ちた粉体を回収するためのオイルを
入れた容器を取り付けたことを特徴とする。
コールドトラップは、冷却面の凝縮作用を用いて真空排
気中の不必要な気体及び粉体の移動を防ぐコールドトラ
ップにおいて、前記コールドトラップ本体の底面に、ト
ラップ面より剥れ落ちた粉体を回収するためのオイルを
入れた容器を取り付けたことを特徴とする。
［作 用］
上記のようにコールドトラップ本体底面にオイルの入っ
た容器を取り付けたコールドトラップを作動させると、
トラップ内側面から剥れ落ちた粉体又は凝縮された気体
は、重力によって、底面に取り付けられたオイルの入っ
た容器にたまる。
た容器を取り付けたコールドトラップを作動させると、
トラップ内側面から剥れ落ちた粉体又は凝縮された気体
は、重力によって、底面に取り付けられたオイルの入っ
た容器にたまる。
従って、前記オイルを交換することによって容易に収集
された粉体又は凝縮された気体を取り除くことができる
。
された粉体又は凝縮された気体を取り除くことができる
。
［実 施 例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、コールドトラップ本体３の底面にバタフ
ライバルブ４を介して中和性及び拡散性のよいオイル６
を入れた容器よりなる反応生成物溜５が取り付けられて
いる。さらに反応生成物溜５にはオイル供給用バルブ８
及びドレンバルブ７が取り付けられている。コールドト
ラップを作動させる時は富にバタフライバルブ４を閉じ
ておくと、トラップ内Ｉｌ１面２より剥れ落ちた反応生
成物はバタフライバルブ４上に回収される。
１図において、コールドトラップ本体３の底面にバタフ
ライバルブ４を介して中和性及び拡散性のよいオイル６
を入れた容器よりなる反応生成物溜５が取り付けられて
いる。さらに反応生成物溜５にはオイル供給用バルブ８
及びドレンバルブ７が取り付けられている。コールドト
ラップを作動させる時は富にバタフライバルブ４を閉じ
ておくと、トラップ内Ｉｌ１面２より剥れ落ちた反応生
成物はバタフライバルブ４上に回収される。
コールドトラップをリークした後にバクフライバルブ４
を開くと、回収された反応生成物はオイルの中に落とさ
れる。さらにドレンバルブ７を開（と、オイルと共に回
収された反応生成物が除去される。再びオイルを供給す
る時はオイル供給バルブ８より（共給する。
を開くと、回収された反応生成物はオイルの中に落とさ
れる。さらにドレンバルブ７を開（と、オイルと共に回
収された反応生成物が除去される。再びオイルを供給す
る時はオイル供給バルブ８より（共給する。
本発明は、以上説明したように、コールドトラップの底
面にオイルの入った容器を取り付けたという簡単な構造
によって、コールドトラップのトラップ内側面より剥れ
落ちた反応生成物の回収・除去作業を容易にし、かつ腐
蝕性の強い反応生成物に対して中和性のあるオイルを用
いることにより安全に反応生成物を除去できる。さらに
拡散性のよいオイルを用いることによりドレンバルブを
つまらせることなくオイルを排出できる。尚、コールド
トラップ作動中はバクフライバルブが閉じているのでオ
イル上りによる真空度低下の心配はない。
面にオイルの入った容器を取り付けたという簡単な構造
によって、コールドトラップのトラップ内側面より剥れ
落ちた反応生成物の回収・除去作業を容易にし、かつ腐
蝕性の強い反応生成物に対して中和性のあるオイルを用
いることにより安全に反応生成物を除去できる。さらに
拡散性のよいオイルを用いることによりドレンバルブを
つまらせることなくオイルを排出できる。尚、コールド
トラップ作動中はバクフライバルブが閉じているのでオ
イル上りによる真空度低下の心配はない。
第１図は、本発明にかかる反応生成物溜付コールドトラ
ップの縦断面図、第２図は、従来より用いられている一
般的なコールドトラップの縦断面図である。 ｌ・・・冷却剤 ２・・・トラップ内側面 ３・・・コールドトラップ本体 ４・・・バタフライバルブ ５・・・反応生成物溜 ６・・・オイル ７・・・ドレンバルブ ８・・・オイル供給バルブ 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
ップの縦断面図、第２図は、従来より用いられている一
般的なコールドトラップの縦断面図である。 ｌ・・・冷却剤 ２・・・トラップ内側面 ３・・・コールドトラップ本体 ４・・・バタフライバルブ ５・・・反応生成物溜 ６・・・オイル ７・・・ドレンバルブ ８・・・オイル供給バルブ 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- 冷却面の凝縮作用を用いて、真空排気系中の不必要な気
体及び粉体の移動を防ぐコールドトラップにおいて、前
記コールドトラップ本体の底面にトラップ面よりはがれ
落ちた粉体を回収するためのオイルを入れた容器を取り
付けたことを特徴とする反応生成物溜付コールドトラッ
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9620588A JPH01266802A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 反応生成物溜付コールドトラップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9620588A JPH01266802A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 反応生成物溜付コールドトラップ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01266802A true JPH01266802A (ja) | 1989-10-24 |
Family
ID=14158767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9620588A Pending JPH01266802A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 反応生成物溜付コールドトラップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01266802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6368371B1 (en) | 1998-01-22 | 2002-04-09 | Ebara Corporation | Trap device and trap system |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP9620588A patent/JPH01266802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6368371B1 (en) | 1998-01-22 | 2002-04-09 | Ebara Corporation | Trap device and trap system |
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