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JPH1019991A - Test head for circuit board tester - Google Patents

Test head for circuit board tester

Info

Publication number
JPH1019991A
JPH1019991A JP8179436A JP17943696A JPH1019991A JP H1019991 A JPH1019991 A JP H1019991A JP 8179436 A JP8179436 A JP 8179436A JP 17943696 A JP17943696 A JP 17943696A JP H1019991 A JPH1019991 A JP H1019991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
test head
circuit board
contact pin
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8179436A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ko Nakajima
島 鋼 中
Katsutoshi Saida
田 勝 利 斉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokowo Co Ltd
Original Assignee
Yokowo Co Ltd
Yokowo Mfg Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokowo Co Ltd, Yokowo Mfg Co Ltd filed Critical Yokowo Co Ltd
Priority to JP8179436A priority Critical patent/JPH1019991A/en
Publication of JPH1019991A publication Critical patent/JPH1019991A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a test head for circuit board tester which can deal with a circuit board having short terminals arranged at a fine pitch by providing a resilient member while abutting against the back of the board touching the end part of a contact pin on the side opposite to the contact end thereof. SOLUTION: When a contact pin 28 is brought into contact, at the lower end thereof, with the upper surface of an object 5 and then lowered by a micro distance, a stopper 38 abuts on the upper surface of the object 5. Consequently, the contact pin 28 ascends by a micro amount to touch the upper end of a flexible printed board 32 which is then pushed up by a small diameter part 27 on the upper end side and bend toward a rubber plate 34 side. The bend is absorbed through the deformation of the rubber plate 34 and thereby fluctuation in the vertical contact of the contact pin 28 with the object 5 is absorbed and a reliable contact is ensured regardless of difference in the height of terminals of the object 5. Furthermore, a force for pressing the object 5 is generated in the contact pin 28 through reaction to the deformation of the rubber plate 34 and reliable contact with the object 5 is ensured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル、IC
等の回路基板の回路検査装置に係り、特にコンタクトプ
ローブで対応することのできない微細ピッチの回路をも
った回路基板に対応することのできる回路検査装置のテ
ストヘッドに関する。
The present invention relates to a liquid crystal panel, an IC,
In particular, the present invention relates to a test head of a circuit inspection device capable of handling a circuit board having a fine pitch circuit that cannot be handled by a contact probe.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶パネル、IC等の回路基板の回路検
査に用いられている従来の検査装置としては、図12に
示すようなものが知られている。
2. Description of the Related Art As a conventional inspection apparatus used for circuit inspection of a circuit board such as a liquid crystal panel and an IC, there is known an inspection apparatus as shown in FIG.

【0003】この回路基板検査装置1は、支持ベース2
に4本の案内支柱3が立設されており、この案内支柱3
の上部には移動台4が図示しない駆動機構により上下方
向に移動可能に設けられている。そして、支持ベース2
の上部には回路基板、液晶パネル等の被検査物5が保持
されるようになっており、移動台4には上下方向に多数
のコンタクトプローブ6が貫設されている。
The circuit board inspection apparatus 1 includes a support base 2
There are four guide posts 3 standing upright.
A movable table 4 is provided at the upper part of the upper part so as to be vertically movable by a drive mechanism (not shown). And support base 2
A test object 5 such as a circuit board or a liquid crystal panel is held on the upper part of the base. A plurality of contact probes 6 are vertically penetrated on the movable base 4.

【0004】コンタクトプローブ6は図13に示すよう
に一端部を絞って絞り部7を形成した筒体8を有し、こ
の筒体8の内部には一端面に接触部材9を設けたプラン
ジャー10が上下方向に摺動可能に設けられ、絞り部7
には検査機器11に接続される配線12が接続されてい
る。そして、プランジャー10と配線12との間には、
配線12の端部に接続される接続片13を設けたコイル
ばね14が装着されている。したがって、接触部材9は
コイルばね14によって常に図13における下向きに付
勢されるとともに、被検査物5に対する接触部材9の接
触が確実に行なわれるようになっている。
As shown in FIG. 13, the contact probe 6 has a cylindrical body 8 having a narrowed end 7 formed by narrowing one end thereof, and a plunger having a contact member 9 provided at one end surface inside the cylindrical body 8. 10 is provided so as to be slidable in the vertical direction.
Is connected to a wiring 12 connected to the inspection equipment 11. And, between the plunger 10 and the wiring 12,
A coil spring 14 having a connection piece 13 connected to an end of the wiring 12 is mounted. Therefore, the contact member 9 is always urged downward by the coil spring 14 in FIG. 13, and the contact of the contact member 9 with the inspection object 5 is ensured.

【0005】回路基板1は、このように構成されている
ので、移動台4を駆動機構により下降させてコンタクト
プローブ6の接触部材9の先端を被検査物5に接触させ
ると、被検査物5と検査機器11との間にはコンタクト
プローブ6を介して回路が形成され、検査機器11によ
り被検査物5の回路検査が行なわれる。
Since the circuit board 1 is configured as described above, when the moving table 4 is lowered by the driving mechanism to bring the tip of the contact member 9 of the contact probe 6 into contact with the object 5, A circuit is formed between the device and the inspection device 11 via the contact probe 6, and the inspection device 11 performs a circuit inspection of the inspection object 5.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかるに上記従来の回
路検査装置1は、コンタクトプローブ6を構成するプラ
ンジャー10が筒体8の内部に設けられているので、所
定の直径の筒体8が必要となる。しかし、最近、液晶パ
ネルは性能向上(例えば、明るさの増大、色の鮮明度の
向上等)のために素子をできるだけ小さくするのでそれ
ぞれの素子に設けられる端子のピッチが細かくなり、ま
た、液晶パネルの小型化にともなって端子の長さも短く
なるので筒体8を有するコンタクトプローブ6を多数列
の千鳥配列としても対応がむずかしい等の問題がある。
However, in the conventional circuit inspection apparatus 1 described above, since the plunger 10 constituting the contact probe 6 is provided inside the cylinder 8, the cylinder 8 having a predetermined diameter is required. Becomes However, recently, liquid crystal panels have been miniaturized as much as possible in order to improve the performance (for example, increase in brightness, improvement in color clarity, etc.). Since the length of the terminals becomes shorter as the panel becomes smaller, there is a problem that it is difficult to cope with the case where the contact probes 6 each having the cylindrical body 8 are arranged in a staggered arrangement of many rows.

【0007】さらに、タングステンプローブカードを使
用するとしても、ピッチの細かい端子の配列に対して
は、タングステンプローブカードの配列は非常にむずか
しく、また、複雑になり、装置が高価になる等の問題が
あった。
Further, even if a tungsten probe card is used, the arrangement of the tungsten probe card is very difficult, complicated, and expensive, with respect to the arrangement of terminals having a fine pitch. there were.

【0008】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、液晶パネル等の素子の端子のピッチ
が細かく、また、端子の長さの短い被検査物に対応する
ことのできる回路基板検査装置のテストヘッドを提供す
ることにある。
The present invention has been made to solve such a problem, and can cope with an object to be inspected in which the terminal pitch of an element such as a liquid crystal panel is small and the terminal length is short. An object of the present invention is to provide a test head for a circuit board inspection device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記従来技術の課題を解
決するため本発明の回路検査装置のテストヘッドは、支
持ベースと、支持ベースに対し相対移動可能な移動台を
有し、この移動台および前記支持ベースの一方にテスト
ヘッドを装着するとともに、前記支持ベースおよび前記
移動台の他方に被検査物を保持する手段を設けた回路基
板検査装置におけるテストヘッドであって、テストヘッ
ドは上下方向に設けられた多数の接触ピンと、これらの
接触ピンを摺動可能に保持するピンブロックと、前記接
触ピンの被検査物への接触端と反対側の端部に接触する
通電回路を形成した基板と、この基板の背後に当接して
設けられる弾性部材とを有することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, a test head of a circuit inspection apparatus according to the present invention has a support base and a movable base relatively movable with respect to the support base. A test head mounted on one of the support bases and a means for holding a test object on the other of the support base and the movable base, wherein the test heads are arranged in a vertical direction. Having a large number of contact pins provided thereon, a pin block for slidably holding these contact pins, and a current-carrying circuit for contacting an end of the contact pin opposite to a contact end with the object to be inspected. And an elastic member provided in contact with the back of the substrate.

【0010】上記接触ピンは中実のピンとして構成する
のが好ましい。
Preferably, the contact pins are configured as solid pins.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明による回路基板検査
装置のテストヘッドの一つの実施の形態を図1〜図10
を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a test head of a circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG.

【0012】回路基板検査装置20は、図1に示すよう
に支持ベース21を有し、この支持ベース21に例えば
4本の案内支柱22が立設されており、この案内支柱2
2の上部には下面にテストヘッド23が装着された移動
台24が図示しない駆動機構により上下方向に移動可能
に設けられている。そして、支持ベース21の上部には
被検査物5(例えば、液晶パネルや実装回路基板)が保
持されるようになっている。なお、11は、検査機器、
12はテストヘッド23と検査機器11との間の配線を
示している。
The circuit board inspection apparatus 20 has a support base 21 as shown in FIG. 1, and four guide posts 22 are erected on the support base 21, for example.
A movable table 24 having a test head 23 mounted on the lower surface thereof is provided at an upper portion of the movable member 2 so as to be vertically movable by a driving mechanism (not shown). The inspection object 5 (for example, a liquid crystal panel or a mounted circuit board) is held above the support base 21. In addition, 11 is an inspection device,
Reference numeral 12 denotes a wiring between the test head 23 and the inspection device 11.

【0013】テストヘッド23は、図2〜図4に示すよ
うに、側端部の縦断面が横向きコ字状のピンブロック2
5に接触ピン28を上下方向に貫設して構成されてい
る。接触ピン28は中実で、図6に示すように、大径部
26と両端部の小径部27とを有し、小径部27は両端
が尖った形状をなしており、その全長は、例えば3.6
mm、大径部径80μm、小径部径50μm程度となって
いる。接触ピン28は、ピンブロック25のコ字状の部
分に上下方向に貫通して設けられている。ピンブロック
25の上面には、図7に示す孔部29の形成されたガイ
ド板30が固定されている。また、ガイド板30の上面
には、図7及び図8に示す通電31の形成された基板と
してのフレキシブルプリント基板32が支持され、各接
触ピン28の上端側小径部27がガイド板30の各孔部
29に挿入されており、これによりフレキシブルプリン
ト基板32の回路パターンすなわち通電回路31と接触
ピン28の位置決めが正確に行なわれるようになってい
る。
As shown in FIGS. 2 to 4, the test head 23 has a pin block 2 having a laterally-U-shaped vertical section at a side end.
5 is provided with a contact pin 28 extending vertically. The contact pin 28 is solid and has a large-diameter portion 26 and small-diameter portions 27 at both ends, as shown in FIG. 6. The small-diameter portion 27 has a pointed shape at both ends. 3.6
mm, the diameter of the large diameter part is about 80 μm, and the diameter of the small diameter part is about 50 μm. The contact pin 28 is provided to penetrate the U-shaped portion of the pin block 25 in the vertical direction. A guide plate 30 having a hole 29 shown in FIG. 7 is fixed to the upper surface of the pin block 25. On the upper surface of the guide plate 30, a flexible printed circuit board 32 as a substrate on which a current 31 is formed as shown in FIGS. 7 and 8 is supported. The circuit pattern of the flexible printed circuit board 32, that is, the positioning of the energizing circuit 31 and the contact pins 28 is accurately performed.

【0014】フレキシブルプリント基板32の上面には
押えブロック35が設けられている。この押えブロック
35は、すべての接触ピン28に対応する領域が欠落部
33とされ、この欠落部33に弾性部材としてのゴム部
材34が装着されている。そして、ピンブロック25、
ガイド板30、フレキシブルプリント基板32及び押え
ブロック35は、図4に示すようにビス36、37で一
体とされている。また、ピンブロック25の下面には、
接触ピン28のストロークを一定とするとともに接触ピ
ン28に下方から一定以上の押圧力が加わらないように
するためのストッパー38が設けられている。そして、
このストッパー38は、図10に示すように接触ピン2
8が被検査物5に接触しない状態において接触ピン28
の下部先端とストッパー38の下面との突出距離の差
(S)が50〜70μm程度となるように位置させてピ
ンブロック25に装着されている。
A pressing block 35 is provided on the upper surface of the flexible printed board 32. In the holding block 35, a region corresponding to all the contact pins 28 is a missing portion 33, and a rubber member 34 as an elastic member is attached to the missing portion 33. And the pin block 25,
The guide plate 30, the flexible printed board 32, and the holding block 35 are integrated by screws 36, 37 as shown in FIG. Also, on the lower surface of the pin block 25,
A stopper 38 is provided for keeping the stroke of the contact pin 28 constant and preventing the contact pin 28 from being applied with a pressing force of a certain degree or more from below. And
The stopper 38 is, as shown in FIG.
When the contact pin 8 is not in contact with the inspection object 5,
Is mounted on the pin block 25 such that the difference (S) between the protruding distances of the lower end of the lower end and the lower surface of the stopper 38 is about 50 to 70 μm.

【0015】なお、図5は接触ピン28の配列が2列千
鳥であることを示している。また、図2に示す39は押
えブロック35の上に配設したスプリングであって、被
検査物5にストッパー38が当接したのち、接触ピン2
8のコンタクトストロークが大であっても接触ピン28
にダメージを与えないようにテストヘッド23が上方に
向かって弾性に抗して動くことができるように設けてい
る。
FIG. 5 shows that the arrangement of the contact pins 28 is a two-row staggered arrangement. Reference numeral 39 shown in FIG. 2 denotes a spring disposed on the holding block 35. After the stopper 38 abuts on the inspection object 5, the contact pin 2
Even if the contact stroke of No. 8 is large, the contact pin 28
The test head 23 is provided so as to be able to move upward against the elasticity so as not to damage the test head.

【0016】次に、この回路基板検査装置20の作用を
説明する。
Next, the operation of the circuit board inspection apparatus 20 will be described.

【0017】移動台24を駆動機構により下降させ接触
ピン28の下部先端を被検査物5の上面に接触させる。
次いで移動台28をさらに微小距離下降させると、スト
ッパー38の下面が被検査物5の上面に当接する。する
と、接触ピン28は微小量上昇し、接触ピン28の上部
先端はフレキシブルプリント基板32の通電回路31に
接触するとともに、図9に示すようにフレキシブルプリ
ント基板32は接触ピン28の上端側小径部27により
上方に向って押上げられ湾曲する。そして、この湾曲に
よるフレキシブルプリント基板32のゴム板34側への
変形による力は、ゴム板34の変形によって吸収され
る。したがって、フレキシブルプリント基板32が湾曲
することによって接触ピン28の被検査物5に対する上
下方向の接触のばらつきが吸収されるとともに、端子の
高低差があっても接触ピン28のすべてが被検査物5に
確実に接触する。
The moving table 24 is lowered by the driving mechanism, and the lower end of the contact pin 28 is brought into contact with the upper surface of the inspection object 5.
Next, when the movable table 28 is further lowered by a minute distance, the lower surface of the stopper 38 comes into contact with the upper surface of the inspection object 5. Then, the contact pin 28 rises by a very small amount, and the upper end of the contact pin 28 comes into contact with the energizing circuit 31 of the flexible printed circuit board 32, and the flexible printed circuit board 32 is connected to the small diameter portion on the upper end side of the contact pin 28 as shown in FIG. It is pushed upward by 27 and bends. Then, the force due to the deformation of the flexible printed board 32 toward the rubber plate 34 due to the bending is absorbed by the deformation of the rubber plate 34. Therefore, the bending of the flexible printed circuit board 32 absorbs variations in the vertical contact of the contact pins 28 with the object 5, and ensures that all of the contact pins 28 are in contact with the object 5 even if there is a height difference between the terminals. Contact securely.

【0018】また、ゴム板34の変形による反力によっ
て接触ピン28には被検査物5に対する押圧力が生じ、
接触ピン28は被検査物5に対して確実に接触する。し
たがって、被検査物5と接触ピン28との接触により、
被検査物5と検査機器11との間には接触ピン28を介
して回路が形成され、検査機器11による被検査物5の
回路検査が行なわれる。
Further, a reaction force due to the deformation of the rubber plate 34 generates a pressing force on the contact pin 28 against the object 5 to be inspected.
The contact pin 28 reliably contacts the inspection object 5. Therefore, by the contact between the inspection object 5 and the contact pin 28,
A circuit is formed between the inspection object 5 and the inspection device 11 via the contact pins 28, and a circuit inspection of the inspection object 5 by the inspection device 11 is performed.

【0019】図11は、本発明の他の実施の形態を示す
ものであって、移動台24の側に被検査物5を保持する
ようにし、移動台24に対する被検査物5の保持を例え
ば、バキュームにより行うようにし、支持ベース21の
側に前述の実施の形態と同一のテストヘッド23を設
け、テストヘッド23に対して移動台24を下降させて
被検査物5を接触ピン28に接触させることにより、前
述の実施の形態と全く同様にして被検査物5の回路検査
を行なうようにしている。
FIG. 11 shows another embodiment of the present invention, in which the inspection object 5 is held on the movable table 24 side, and the holding of the inspection object 5 on the movable table 24 is performed, for example. The same test head 23 as in the above-described embodiment is provided on the side of the support base 21, and the movable table 24 is lowered with respect to the test head 23 so that the test object 5 contacts the contact pins 28. By doing so, the circuit inspection of the inspection object 5 is performed in exactly the same manner as in the above-described embodiment.

【0020】なお、40は、点検用の窓であって、ここ
から被検査物である例えば、液晶パネルの点灯状況(液
晶パネルの画面の写り具合)を目視にて点検することが
できるようになっている。
Reference numeral 40 denotes an inspection window, from which a lighting state of the object to be inspected, for example, a liquid crystal panel (a state of a screen of the liquid crystal panel) can be visually inspected. Has become.

【0021】なお、本実施の形態では、被検査物として
主として液晶パネルを例に挙げて説明したが、COGタ
イプのようにパネルガラスに直接ICを取付けるタイプ
及びICウエハー等の回路検査にも使用することができ
る。これらを総称して回路基板と呼ぶことにする。
In this embodiment, a liquid crystal panel is mainly described as an example of an object to be inspected. However, it is also used for a circuit type such as a COG type in which an IC is directly mounted on a panel glass and a circuit inspection for an IC wafer or the like. can do. These are collectively called a circuit board.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明では、外径の小さい接触ピンを被
検査物に接触させて回路検査を行なうようにしたので、
コンタクトプローブでは対応できない微細ピッチで密集
し、かつ、長さの短い端子を有する素子に対しても十分
対応させることきができる。そして、接触ピンの一端部
と接触する通電回路を形成した基板は、変形させること
ができるので、接触ピンの長さのばらつき、あるいは、
端子の位置の高低差にも対応させることができる。さら
に、基板には弾性部材を当接しているので、基板の変形
を吸収するとともに、弾性部材の変形による反力によっ
てすべての接触ピンを確実に被検査物に接触させること
ができ、しかも、これらは簡単な構造なので、回路基板
検査装置のテストヘッドを安価に得ることができる等の
効果が得られる。
According to the present invention, the circuit inspection is performed by bringing the contact pin having a small outer diameter into contact with the object to be inspected.
It is possible to sufficiently cope with elements having terminals that are densely packed at a fine pitch that cannot be handled by a contact probe and have a short length. Then, since the substrate on which the energizing circuit is in contact with one end of the contact pin can be deformed, the length of the contact pin varies, or
It is possible to cope with the height difference of the terminal position. Further, since the elastic member is in contact with the substrate, the deformation of the substrate is absorbed, and all the contact pins can be reliably brought into contact with the inspection object by the reaction force due to the deformation of the elastic member. Has a simple structure, so that effects such as a low cost of a test head of a circuit board inspection device can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるテストヘッドを使用した回路基板
検査装置の概略正面図。
FIG. 1 is a schematic front view of a circuit board inspection apparatus using a test head according to the present invention.

【図2】テストヘッドの縦断側面図。FIG. 2 is a vertical sectional side view of a test head.

【図3】テストヘッドの拡大縦断側面図。FIG. 3 is an enlarged vertical sectional side view of the test head.

【図4】テストヘッドの縦断正面図。FIG. 4 is a vertical sectional front view of the test head.

【図5】接触ピンの配列を示す上面図。FIG. 5 is a top view showing an arrangement of contact pins.

【図6】接触ピンの拡大図。FIG. 6 is an enlarged view of a contact pin.

【図7】基板の通電回路の拡大平面図。FIG. 7 is an enlarged plan view of an energizing circuit of the substrate.

【図8】基板の通電回路と接触ピンとの関係を示す図。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a current supply circuit of a substrate and contact pins.

【図9】テストヘッドの作用を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram showing the operation of the test head.

【図10】接触ピンとストッパーとの位置関係を示す説
明図。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a positional relationship between a contact pin and a stopper.

【図11】本発明によるテストヘッドを使用した回路基
板検査装置の他の実施の形態を示す概略正面図。
FIG. 11 is a schematic front view showing another embodiment of the circuit board inspection apparatus using the test head according to the present invention.

【図12】従来の回路基板検査装置の概略正面図。FIG. 12 is a schematic front view of a conventional circuit board inspection device.

【図13】従来の回路基板検査装置に使用されているコ
ンタクトプローブの縦断面図。
FIG. 13 is a longitudinal sectional view of a contact probe used in a conventional circuit board inspection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 回路検査装置 23 テストヘッド 25 ピンブロック 28 接触ピン 30 ガイド板 31 通電回路 32 フレキシブルプリント基板 34 ゴム板 35 押えブロック 38 ストッパー Reference Signs List 20 circuit inspection device 23 test head 25 pin block 28 contact pin 30 guide plate 31 conducting circuit 32 flexible printed circuit board 34 rubber plate 35 holding block 38 stopper

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】支持ベースと、支持ベースに対し相対移動
可能な移動台を有し、この移動台および前記支持ベース
の一方にテストヘッドを装着するとともに、前記支持ベ
ースおよび前記移動台の他方に被検査物を保持する手段
を設けた回路基板検査装置におけるテストヘッドであっ
て、テストヘッドは上下方向に設けられた多数の接触ピ
ンと、これらの接触ピンを摺動可能に保持するピンブロ
ックと、前記接触ピンの被検査物への接触端と反対側の
端部に接触する通電回路を形成した基板と、この基板の
背後に当接して設けられる弾性部材とを有することを特
徴とするテストヘッド。
An apparatus has a support base and a movable table which can move relative to the support base. A test head is mounted on one of the movable table and the support base, and a test head is mounted on the other of the support base and the movable table. A test head in a circuit board inspection device provided with means for holding an object to be inspected, wherein the test head includes a number of contact pins provided in a vertical direction, and a pin block that slidably holds these contact pins, A test head, comprising: a substrate on which an energizing circuit is formed for contacting an end of the contact pin opposite to a contact end with an object to be inspected; and an elastic member provided behind and in contact with the substrate. .
【請求項2】前記接触ピンは中実のピンであることを特
徴とする請求項1記載の回路基板検査装置のテストヘッ
ド。
2. The test head according to claim 1, wherein the contact pins are solid pins.
JP8179436A 1996-07-09 1996-07-09 Test head for circuit board tester Pending JPH1019991A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8179436A JPH1019991A (en) 1996-07-09 1996-07-09 Test head for circuit board tester

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8179436A JPH1019991A (en) 1996-07-09 1996-07-09 Test head for circuit board tester

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1019991A true JPH1019991A (en) 1998-01-23

Family

ID=16065839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8179436A Pending JPH1019991A (en) 1996-07-09 1996-07-09 Test head for circuit board tester

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1019991A (en)

Cited By (7)

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