JPH11150219A - Package for semiconductor integrated element, and mounting thereof - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、加熱、冷却を繰
り返す苛酷なヒートサイクル下においても、高度の信頼
性を維持することができる半導体集積素子用のパッケー
ジと、その実装方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated device package capable of maintaining a high degree of reliability even under a severe heat cycle in which heating and cooling are repeated, and a method of mounting the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】プリント基板を含むマザーボードに半導
体集積素子を実装する際に、専用のパッケージを使用す
ることがある。2. Description of the Related Art When a semiconductor integrated device is mounted on a motherboard including a printed circuit board, a dedicated package is sometimes used.
【0003】パッケージは、ろう付等の手段により、熱
伝導が良好な金属製の放熱板と、絶縁性が良好なセラミ
ックスからなる接続基板とを一体化して形成されてい
る。また、接続基板には、中央部に開口部が形成されて
いる。そこで、このものは、開口部を介して放熱板に半
導体集積素子を固定し、半導体集積素子の各電極を接続
基板上の接続電極に引き出すことにより、いわゆるIC
パッケージを形成することができ、各接続電極をマザー
ボード上のパターン電極にはんだ付けすることによりマ
ザーボードに実装することができる。[0003] The package is formed by integrating a heat sink made of metal having good heat conductivity and a connection board made of ceramics having good insulating properties by means such as brazing. An opening is formed in the center of the connection board. In order to solve this problem, a semiconductor integrated device is fixed to a heat sink through an opening, and each electrode of the semiconductor integrated device is drawn out to a connection electrode on a connection substrate.
A package can be formed, and each connection electrode can be mounted on the motherboard by soldering to a pattern electrode on the motherboard.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】かかる従来技術による
ときは、接続基板は、熱膨張係数が異なる放熱板と一体
化されているため、加熱、冷却を繰り返す苛酷なヒート
サイクル下に置かれると、放熱板との熱膨張差によって
過大な応力が発生し、反ってしまったり、クラックが入
ったり、はんだによるマザーボードとの接続が外れたり
するおそれがあり、半導体集積素子の作動信頼性を著し
く低下させてしまうという問題があった。According to the prior art, since the connection board is integrated with a radiator plate having a different coefficient of thermal expansion, if the connection board is subjected to a severe heat cycle of repeated heating and cooling, Excessive stress may be generated due to the difference in thermal expansion with the heat sink, which may cause warpage, cracks, or disconnection from the motherboard by soldering, which significantly reduces the operational reliability of the semiconductor integrated device. There was a problem that would.
【0005】そこで、この発明の目的は、かかる従来技
術の問題に鑑み、止めねじを介して接続基板に放熱板を
付設することによって、苛酷なヒートサイクル下におい
ても、高度の信頼性を維持することができる半導体集積
素子用のパッケージと、その実装方法を提供することに
ある。In view of the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to maintain a high degree of reliability even under a severe heat cycle by attaching a heat sink to a connection board via a set screw. It is an object of the present invention to provide a package for a semiconductor integrated device that can be used and a mounting method thereof.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めのこの出願に係る第1発明の構成は、中央部に開口部
を形成し、裏面側に接続電極を有する接続基板と、止め
ねじを介して接続基板の表面側に付設する放熱板とから
なり、放熱板には、開口部を介して半導体集積素子を固
定することをその要旨とする。According to a first aspect of the present invention, an opening is formed at a central portion, a connecting substrate having a connecting electrode on a back surface, and a set screw are provided. The gist of the present invention is to fix a semiconductor integrated device to the heat sink through an opening through the heat sink.
【0007】なお、止めねじは、山角度が非対称のねじ
山を有することができ、接着剤を介して緩み止めを施す
ことができる。The set screw can have a screw thread whose apex angle is asymmetric, and can be prevented from loosening via an adhesive.
【0008】また、接続基板は、開口部の周囲に段部を
形成し、各接続電極に接続する補助電極を段部に引き出
すことができる。In the connection substrate, a step is formed around the opening, and an auxiliary electrode connected to each connection electrode can be drawn out to the step.
【0009】さらに、接続基板は、開口部を介して放熱
板上の半導体集積素子を封止してもよく、放熱板、接続
基板の間に接着剤を介在させてもよい。Further, the connection board may seal the semiconductor integrated element on the heat sink through the opening, and an adhesive may be interposed between the heat sink and the connection board.
【0010】第2発明の構成は、第1発明に係るパッケ
ージをマザーボードに実装するに際し、止めねじの頭部
をマザーボードの固定電極にはんだ付けすることをその
要旨とする。A second aspect of the invention has a gist that, when the package according to the first aspect is mounted on a motherboard, the head of a set screw is soldered to a fixed electrode of the motherboard.
【0011】[0011]
【作用】かかる第1発明の構成によるときは、放熱板
は、止めねじを介して接続基板に付設されているが、接
続基板と完全に一体化されている訳ではない。すなわ
ち、放熱板は、止めねじの締付トルクによる軸力が作動
している状態であっても、接続基板との熱膨張差を有効
に吸収することができ、接続基板に対して過大な応力を
発生させるおそれがない。ただし、各止めねじの取付孔
は、放熱板と接続基板との熱膨張差を吸収することがで
きるように、必要十分な径に形成するものとする。な
お、放熱板は、アルミニウム板や銅板の他、これらの合
金板等を使用することができ、接続基板は、ガラスエポ
キシ樹脂や、セラミックス等を使用することができる。According to the first aspect of the present invention, the radiator plate is attached to the connection board via the set screw, but is not completely integrated with the connection board. In other words, the radiator plate can effectively absorb the difference in thermal expansion with the connection board even when the axial force due to the tightening torque of the set screw is operating, so that excessive stress is applied to the connection board. There is no risk of generating. However, the mounting hole of each set screw is formed to have a necessary and sufficient diameter so as to absorb a difference in thermal expansion between the heat sink and the connection board. In addition, an aluminum plate, a copper plate, or an alloy plate of these can be used as the heat radiating plate, and a glass epoxy resin, ceramics, or the like can be used as the connection substrate.
【0012】山角度が非対称のねじ山を有する止めねじ
は、放熱板のねじ孔にねじ込むとき、ねじ孔のねじ山を
塑性変形させて緩み止めをすることができ、ヒートサイ
クルによって不用意に緩むおそれがない。A set screw having a screw thread whose apex angle is asymmetric can prevent loosening by plastically deforming the screw thread of the screw hole when screwed into the screw hole of the heat sink, and is loosened carelessly by a heat cycle. There is no fear.
【0013】接着剤を介して止めねじに緩み止めを施せ
ば、止めねじは、一層確実に緩みを防止することができ
る。なお、このときの止めねじは、ねじ山の山角度が対
称または非対称のいずれであってもよい。[0013] If the set screw is prevented from being loosened via the adhesive, the set screw can be more securely prevented from being loosened. Note that the set screw at this time may have a symmetrical or asymmetrical thread angle.
【0014】接続基板の開口部の周囲に段部を形成する
ときは、集積度が一層高い半導体集積素子に適合させる
ことができる。段部には、その1段ごとに補助電極を配
置することができるからである。なお、各補助電極は、
ワイヤボンディング等によって放熱板上の半導体集積素
子の電極と電気的に接続し、対応する各接続電極に引き
出すものとする。When the step is formed around the opening of the connection substrate, it can be adapted to a semiconductor integrated device having a higher integration degree. This is because an auxiliary electrode can be arranged at each step in the step. Each auxiliary electrode is
It is assumed that the electrodes are electrically connected to the electrodes of the semiconductor integrated element on the heat sink by wire bonding or the like and are drawn out to the corresponding connection electrodes.
【0015】開口部を介して放熱板上の半導体集積素子
を封止するときは、接続基板は、半導体集積素子や、半
導体集積素子から引き出す接続ワイヤを機械的に有効に
保護することができる。なお、このときの封止方法は、
開口部内にエポキシ樹脂等を充填する樹脂封止や、金属
製のキャップを開口部に装着するキャンタイプ封止のい
ずれであってもよい。When the semiconductor integrated device on the heat sink is sealed through the opening, the connection substrate can mechanically and effectively protect the semiconductor integrated device and connection wires drawn from the semiconductor integrated device. The sealing method at this time is as follows:
Either resin sealing in which an epoxy resin or the like is filled in the opening or can-type sealing in which a metal cap is attached to the opening may be used.
【0016】放熱板は、接続基板の間に接着剤を介在さ
せることにより、接続基板との連結強度を一層大きくす
ることができる。ただし、このときの接着剤は、放熱板
と接続基板との熱膨張差を吸収するために、適度の弾性
を有することが好ましい。The heat sink can further increase the connection strength with the connection board by interposing an adhesive between the connection boards. However, the adhesive at this time preferably has an appropriate elasticity in order to absorb a difference in thermal expansion between the heat sink and the connection board.
【0017】第2発明の構成によるときは、止めねじ
は、その頭部を介し、接続基板とマザーボードとの間に
所定の間隙を形成することができる。そこで、はんだボ
ールを溶解させて接続基板の接続電極とマザーボードの
パターン電極とをはんだ付けする際にも、パッケージの
重量によってはんだボールが潰れたりするおそれがな
く、接続電極とパターン電極との間に適切な距離を確保
することができるから、パッケージとマザーボードとの
熱膨張差による応力を緩和し、両者間のはんだ接合の信
頼性を大きく向上させることができる。なお、止めねじ
を介し、パッケージ側において発生する熱をマザーボー
ド側に逃がすこともでき、止めねじ自体の緩み止めにも
貢献することができる。According to the configuration of the second aspect, the set screw can form a predetermined gap between the connection board and the motherboard via the head thereof. Therefore, even when dissolving the solder balls and soldering the connection electrodes of the connection board and the pattern electrodes of the motherboard, there is no possibility that the solder balls will be crushed by the weight of the package, and the connection between the connection electrodes and the pattern electrodes will not occur. Since an appropriate distance can be secured, the stress due to the difference in thermal expansion between the package and the motherboard can be reduced, and the reliability of the solder joint between the two can be greatly improved. Note that heat generated on the package side can be released to the motherboard side via the set screw, which can contribute to preventing the set screw itself from being loosened.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、図面を以って発明の実施の
形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0019】半導体集積素子用のパッケージPAは、接
続基板11と、止めねじ22、22…を介して接続基板
11の表面側に付設する放熱板21とからなる(図1、
図2)。ただし、図1において、パッケージPAは、表
裏反転して図示されている。The package PA for a semiconductor integrated device comprises a connection board 11 and a heat sink 21 attached to the front side of the connection board 11 via set screws 22, 22.
(Fig. 2). However, in FIG. 1, the package PA is shown upside down.
【0020】接続基板11は、ガラスエポキシ樹脂また
はセラミックス等の高性能絶縁材料により、厚さ約1mm
程度の板状に形成されている。接続基板11の中央部に
は、角形の開口部11aが形成されており、4隅部に
は、それぞれ止めねじ22用の取付孔11bが形成され
ている。また、接続基板11は、開口部11aの周囲に
階段状の段部11c、11cが裏面側に形成されてお
り、開口部11a、段部11c、11cの外側には、多
数の接続電極12、12…が整然と配列されている。な
お、各段部11cには、補助電極13、13…が配列さ
れており、各補助電極13は、接続基板11内に埋設す
る図示しない接続パターンを介し、対応する特定の接続
電極12に電気的に接続されている。すなわち、各段部
11cには、各接続電極12に個別に接続する補助電極
13、13…が引き出されている。The connection board 11 is made of a high-performance insulating material such as glass epoxy resin or ceramics and has a thickness of about 1 mm.
It is formed in a plate-like shape. A rectangular opening 11a is formed at the center of the connection board 11, and mounting holes 11b for the set screws 22 are formed at the four corners. The connection substrate 11 has stepped steps 11c, 11c formed on the back side around the opening 11a, and a number of connection electrodes 12, outside the openings 11a, the steps 11c, 11c. 12 are arranged in an orderly manner. .. Are arranged in each step 11c. Each of the auxiliary electrodes 13 is electrically connected to a specific connection electrode 12 via a connection pattern (not shown) embedded in the connection substrate 11. Connected. That is, auxiliary electrodes 13, 13... That are individually connected to the respective connection electrodes 12 are drawn out from each step portion 11c.
【0021】放熱板21は、接続基板11と同大のアル
ミニウム板または銅板であり、4隅部には、取付孔11
b、11b…に対応して止めねじ22用のねじ孔21
b、21b…が形成されている。そこで、放熱板21
は、止めねじ22、22…を介し、接続基板11の表面
側に付設されている。なお、放熱板21には、開口部1
1aを介して半導体集積素子DVが固定されている。半
導体集積素子DVは、ワイヤボンディングにより、金線
またはアルミニウム線等の接続ワイヤWを介して所定の
電極を所定の補助電極13に接続し、所定の電極を所定
の接続電極12に引き出すことができる。また、接続基
板11は、たとえばエポキシ樹脂等の充填材Aを開口部
11aに充填することにより、開口部11aを介して半
導体集積素子DVを封止することができる。The heat radiating plate 21 is an aluminum plate or a copper plate of the same size as the connection substrate 11, and has four mounting holes 11 at the four corners.
Screw holes 21 for set screws 22 corresponding to b, 11b,.
are formed. Therefore, the heat sink 21
Are attached to the front surface side of the connection board 11 via set screws 22, 22. The heat sink 21 has an opening 1.
The semiconductor integrated device DV is fixed via 1a. In the semiconductor integrated device DV, a predetermined electrode can be connected to a predetermined auxiliary electrode 13 via a connection wire W such as a gold wire or an aluminum wire by wire bonding, and the predetermined electrode can be drawn out to a predetermined connection electrode 12. . The connection substrate 11 can seal the semiconductor integrated device DV through the opening 11a by filling the opening 11a with a filler A such as an epoxy resin.
【0022】各止めねじ22は、頭部22aと、ねじ部
22bとを有する(図3)。なお、接続基板11側の各
取付孔11bの直径d1 は、止めねじ22のねじ部22
bの最大径に対し、十分大きなクリアランスδを有する
ように設定されている。一方、止めねじ22のねじ部2
2bは、山角度θ1 、θ2 が非対称のねじ山が形成され
ている(図4)。そこで、止めねじ22は、山角度θ1
、θ1 が対称な放熱板21側のねじ孔21bにねじ部
22bをねじ込むとき、山角度θ2 <θ1 側のねじ山が
ねじ孔21bの雌ねじの一部を塑性変形させるととも
に、山角度θ1 側のねじ山が雌ねじのねじ山に密着し、
有効に緩み止めすることができる。ただし、ねじ部22
bの最大径は、ねじ孔21bの雌ねじの有効径よりやや
大きいものとする。Each set screw 22 has a head portion 22a and a screw portion 22b (FIG. 3). The diameter d1 of each mounting hole 11b on the connection board 11 side is
The clearance δ is set to have a sufficiently large clearance δ with respect to the maximum diameter of b. On the other hand, the screw portion 2 of the set screw 22
2b is formed with a thread in which the thread angles θ1 and θ2 are asymmetric (FIG. 4). Therefore, the set screw 22 has a peak angle θ1
When the screw portion 22b is screwed into the screw hole 21b on the side of the heat radiating plate 21 having a symmetrical angle θ1, the screw thread on the angle θ2 <θ1 causes a part of the female screw of the screw hole 21b to be plastically deformed, The thread closely contacts the thread of the internal thread,
It can be effectively locked. However, the screw portion 22
The maximum diameter of b is slightly larger than the effective diameter of the female screw in the screw hole 21b.
【0023】かかる半導体集積素子用のパッケージPA
は、半導体集積素子DVとともにマザーボードPBに実
装することができる(図2、図3)。Package PA for such a semiconductor integrated device
Can be mounted on the motherboard PB together with the semiconductor integrated device DV (FIGS. 2 and 3).
【0024】すなわち、接続基板11は、はんだHを介
し、各接続電極12をマザーボードPB上のパターン電
極PB1 に接続するとともに、各止めねじ22の頭部2
2aをマザーボードPB上の固定電極PB2 に連結する
ことにより、マザーボードPBに搭載することができ
る。このとき、接続基板11は、各止めねじ22の頭部
22aを介してマザーボードPBとの間に所定の間隙D
を形成し、はんだボールH1 を溶融させることによる各
接続電極12とパターン電極PB1 との間のはんだ付け
の品質を適切に維持することができる。はんだボールH
1 が潰れたりするおそれがなく、パッケージPAとマザ
ーボードPBとの熱膨張差による応力を緩和することが
できるからである。That is, the connection board 11 connects each connection electrode 12 to the pattern electrode PB1 on the motherboard PB via the solder H, and the head 2 of each set screw 22
By connecting 2a to the fixed electrode PB2 on the motherboard PB, it can be mounted on the motherboard PB. At this time, the connection board 11 has a predetermined gap D between the connection board 11 and the motherboard PB via the head 22a of each set screw 22.
Is formed, and the quality of soldering between each connection electrode 12 and the pattern electrode PB1 by melting the solder ball H1 can be appropriately maintained. Solder ball H
This is because there is no possibility that the package 1 and the motherboard PB are crushed, and stress caused by a difference in thermal expansion between the package PA and the motherboard PB can be reduced.
【0025】また、放熱板21は、接続基板11に対
し、止めねじ22、22…を介して締め付けられている
が、取付孔11bと止めねじ22のねじ部22bとの間
にクリアランスδが存在するため、クリアランスδの範
囲内において止めねじ22の径方向に伸縮可能である。
よって、パッケージPAは、ヒートサイクル下において
も、放熱板21、接続基板11の熱膨張差により接続基
板11に過大な応力を発生させるおそれがない。The heat radiation plate 21 is fastened to the connection board 11 via set screws 22, 22..., But there is a clearance δ between the mounting hole 11b and the screw portion 22b of the set screw 22. Therefore, the screw 22 can be expanded and contracted in the radial direction within the range of the clearance δ.
Therefore, there is no possibility that the package PA will generate an excessive stress on the connection board 11 due to a difference in thermal expansion between the radiator plate 21 and the connection board 11 even under a heat cycle.
【0026】以上の説明において、各止めねじ22は、
頭部22aをマザーボードPBの固定電極PB2 にはん
だ付けするために、はんだメッキ仕上げすることが好ま
しい。ただし、各止めねじ22は、頭部22a、固定電
極PB2 とのはんだ付けを省略することも可能である。In the above description, each set screw 22
In order to solder the head 22a to the fixed electrode PB2 of the motherboard PB, it is preferable to perform a solder plating finish. However, the soldering of each set screw 22 to the head 22a and the fixed electrode PB2 can be omitted.
【0027】[0027]
【他の実施の形態】放熱板21、接続基板11の間に
は、接着剤Sを介在させてもよい(図5)。接着剤S
は、適度の弾性を有する樹脂系接着剤が好ましい。放熱
板21は、接着剤Sを介し、接続基板11に過大な応力
を発生させることなく、膨張し、収縮することができ
る。[Other Embodiments] An adhesive S may be interposed between the heat sink 21 and the connection board 11 (FIG. 5). Adhesive S
Is preferably a resin-based adhesive having appropriate elasticity. The radiator plate 21 can expand and contract via the adhesive S without generating excessive stress on the connection substrate 11.
【0028】以上の説明において、各止めねじ22は、
ねじ孔21bに対し、図示しない接着剤を介して緩み止
めを施してもよい。このときの止めねじ22は、山角度
θ1、θ2 が非対称のものであってもよく、対称のもの
であってもよい。In the above description, each set screw 22
The screw hole 21b may be loosened with an adhesive (not shown). At this time, the set screw 22 may have an asymmetrical or symmetrical ridge angle θ1, θ2.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上説明したように、この出願に係る第
1発明によれば、止めねじを介して接続基板の表面側に
放熱板を付設することによって、接続基板は、放熱板の
膨張、収縮によって過大な応力を発生するおそれがな
く、したがって、苛酷なヒートサイクル下においても、
高度の信頼性を維持することができるという優れた効果
がある。As described above, according to the first aspect of the present invention, the connection board is provided with the heat sink on the front side of the connection board via the set screw, so that the expansion of the heat sink is improved. There is no danger of excessive stress due to shrinkage, so even under severe heat cycles,
There is an excellent effect that a high degree of reliability can be maintained.
【0030】第2発明によれば、放熱板を接続基板に付
設する止めねじの頭部をマザーボードの固定電極にはん
だ付けすることによって、接続基板の接続電極とマザー
ボードのパターン電極との間のはんだ接合の信頼性を向
上させることができる上、パッケージの放熱効果を高
め、止めねじ自体の緩み止めにも貢献し得るという効果
がある。According to the second invention, the head of the set screw for attaching the heat sink to the connection board is soldered to the fixed electrode of the motherboard, so that the solder between the connection electrode of the connection board and the pattern electrode of the motherboard is soldered. In addition to improving the reliability of bonding, there is an effect that the heat radiation effect of the package is enhanced and the set screw itself can be prevented from loosening.
【図1】 全体構成分解斜視説明図FIG. 1 is an exploded perspective view of the entire configuration.
【図2】 図1の要部拡大断面説明図FIG. 2 is an enlarged sectional explanatory view of a main part of FIG. 1;
【図3】 図2の要部拡大図FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 2;
【図4】 図3の要部拡大図FIG. 4 is an enlarged view of a main part of FIG. 3;
【図5】 他の実施の形態を示す図3相当図FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 3, showing another embodiment.
PA…パッケージ PB…マザーボード PB2 …固定電極 DV…半導体集積素子 S…接着剤 θ1 、θ2 …山角度 11…接続基板 11a…開口部 11c…段部 12…接続電極 13…補助電極 21…放熱板 22…止めねじ 22a…頭部 PA: Package PB: Mother board PB2: Fixed electrode DV: Semiconductor integrated element S: Adhesive θ1, θ2: Crest angle 11: Connection board 11a: Opening 11c: Step 12: Connection electrode 13: Auxiliary electrode 21: Heat sink 22 … Set screw 22a… Head
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 盟 石川県松任市相木町383番地 ニッコー株 式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Aoki Federation 383 Aiki-cho, Matsuto-shi, Ishikawa Prefecture Nikko Corporation
Claims (7)
電極を有する接続基板と、止めねじを介して前記接続基
板の表面側に付設する放熱板とからなり、該放熱板に
は、前記開口部を介して半導体集積素子を固定すること
を特徴とする半導体集積素子用のパッケージ。1. A connection board having an opening formed in a central portion and having a connection electrode on the back side, and a heat radiating plate attached to the front side of the connection board via a set screw, wherein the heat radiating plate includes A package for the semiconductor integrated device, wherein the semiconductor integrated device is fixed through the opening.
山を有することを特徴とする請求項1記載の半導体集積
素子用のパッケージ。2. The package for a semiconductor integrated device according to claim 1, wherein said set screw has a screw thread whose apex angle is asymmetric.
めを施すことを特徴とする請求項1または請求項2記載
の半導体集積素子用のパッケージ。3. The package for a semiconductor integrated device according to claim 1, wherein said set screw is provided with a locking agent via an adhesive.
部を形成し、前記各接続電極に接続する補助電極を前記
段部に引き出すことを特徴とする請求項1ないし請求項
3のいずれか記載の半導体集積素子用のパッケージ。4. The connection substrate according to claim 1, wherein the connection substrate has a step formed around the opening, and an auxiliary electrode connected to each of the connection electrodes is led out to the step. A package for a semiconductor integrated device according to any one of the above.
記放熱板上の半導体集積素子を封止することを特徴とす
る請求項1ないし請求項4のいずれか記載の半導体集積
素子用のパッケージ。5. The semiconductor integrated device according to claim 1, wherein the connection substrate seals the semiconductor integrated device on the heat sink through the opening. package.
を介在させることを特徴とする請求項1ないし請求項5
のいずれか記載の半導体集積素子用のパッケージ。6. An apparatus according to claim 1, wherein an adhesive is interposed between said heat radiating plate and said connection board.
The package for a semiconductor integrated device according to any one of the above.
のパッケージをマザーボードに実装するに際し、前記止
めねじの頭部をマザーボードの固定電極にはんだ付けす
ることを特徴とする半導体集積素子用のパッケージの実
装方法。7. When mounting the package according to claim 1 on a motherboard, the head of the set screw is soldered to a fixed electrode of the motherboard. Package implementation method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31725997A JPH11150219A (en) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | Package for semiconductor integrated element, and mounting thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31725997A JPH11150219A (en) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | Package for semiconductor integrated element, and mounting thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11150219A true JPH11150219A (en) | 1999-06-02 |
Family
ID=18086257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31725997A Pending JPH11150219A (en) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | Package for semiconductor integrated element, and mounting thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11150219A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084733A1 (en) * | 2001-04-09 | 2002-10-24 | Sumitomo Metal (Smi) Electronics Devices Inc. | Radiation type bga package and production method therefor |
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| KR101725263B1 (en) * | 2015-10-16 | 2017-04-10 | (주)상아프론테크 | Support bar and substrate loading cassette having the same |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP31725997A patent/JPH11150219A/en active Pending
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| US9280173B2 (en) | 2013-07-04 | 2016-03-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic device |
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