JPH11186487A - IC lead frame automatic inspection system and operation method thereof - Google Patents
IC lead frame automatic inspection system and operation method thereofInfo
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】 コンピュータとCCDカメラ、映像処理ソフ
トウエアを用いたICリードフレーム自動検査システ
ム。
【解決手段】 リードスペーシング、パッド移動、テー
プ位置、パンチング欠陥の4項目を検査するためのシス
テムで、映像獲得部分と検査部分を独立スレッドで設計
することにより、検査を遂行する間にも続けて映像を獲
得し得るようにして全体性能を向上させた。特に、スペ
ーシング検査は、高倍率の専用カメラを用い、サブピク
セル方法を用いて1ピクセルの約1/3程度の精密度を
安定的に維持し、テープ検査はテープ境界線の位置の相
互関係を用いて検査し、任意のテープ形状に対しても検
査し得るようにテープ形態に対応する多角形を縮少及び
拡大し得るアルゴリズムを開発した。
(57) [Summary] (with correction) [PROBLEMS] An automatic IC lead frame inspection system using a computer, a CCD camera, and video processing software. A system for inspecting four items of lead spacing, pad movement, tape position, and punching defect. By designing an image acquisition part and an inspection part with independent threads, the system can continue even while performing the inspection. To improve the overall performance of the camera. In particular, the spacing inspection uses a high-magnification dedicated camera, and uses the sub-pixel method to stably maintain the accuracy of about 1/3 of one pixel. The tape inspection uses the correlation between the positions of the tape boundaries. An algorithm that can reduce and expand the polygon corresponding to the tape form so that it can be inspected for any tape shape has been developed.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はICリードフレーム
の形状を映像処理技術を用いて自動的に検査するICリ
ードフレームの自動検査システム及びその運用方法に関
するもので、特にこれまで検査員の肉眼に依存してきた
ICリードフレームの形状検査をコンピュータとCCD
カメラ、そして映像処理ソフトウェアを用いて高速で自
動的に検査するシステムとその運用方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic inspection system for an IC lead frame for automatically inspecting the shape of an IC lead frame by using a video processing technique and a method of operating the same. Computer and CCD for shape inspection of IC lead frame
The present invention relates to a high-speed and automatic inspection system using a camera and video processing software, and an operation method thereof.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、工場での部品検査過程はこれま
で人の視覚により実施されていたが、製造速度と製品品
質に対する要求の増大、製品全体の一括検査(全数検
査)の必要性は半導体市場の急進的な成長にによりIC
製造過程での部品又は回路基板(PCB)等の不良検査
の方で大きく増大している。2. Description of the Related Art Generally, parts inspection processes in factories have been carried out by human eyes. However, the demand for manufacturing speed and product quality has increased, and the necessity of batch inspection (100% inspection) of entire products has been increasing. IC due to rapid market growth
The number has increased significantly in the inspection of defects of components or circuit boards (PCBs) in the manufacturing process.
【0003】特に、IC製造工程上リードフレームの役
割は非常に重要であり、リードフレームの製造工程での
100%検査以後、ICアセンブリ工場でのインコミン
グ(Incoming)過程でも視覚的、機械的検査及びディメン
ションチェック(Dimension Check) 等多数段階の検査過
程を経なければならない。In particular, the role of the lead frame in the IC manufacturing process is very important. After 100% inspection in the manufacturing process of the lead frame, visual and mechanical inspection is performed in the incoming process at the IC assembly factory. It must go through many stages of inspection process such as Dimension Check.
【0004】又、ICリードフレームはICと同様その
種類が多様であり形態も非常に複雑であり、多量のリー
ドフレームの多様な自動検査は高品質のIC生産に必要
不可欠な要素として認識される状況にある。[0004] Also, IC lead frames are as diverse as ICs, and their types and forms are very complicated. Various automatic inspections of a large number of lead frames are recognized as indispensable elements for producing high quality ICs. In the situation.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従って、前述したIC
部品又は回路基板はその対象が極めて小さく精密である
ため、人間の視覚で判定するには次のような問題がある
ので、検査の自動化がさらに必要になった。Accordingly, the above-described IC
Since the object of the component or the circuit board is extremely small and precise, there are the following problems in making a judgment with human vision, so that the automation of the inspection is further required.
【0006】1)個人差によって、あるいは同一人であ
っても時間の経過又はその日の気持ちによって検査基準
が変化する。従って、製品品質に対する不安定の原因と
なって消費者との信用に問題が発生し得る。[0006] 1) The inspection standard changes depending on individual differences, or even with the same person over time or feelings of the day. Therefore, there may be a problem in trust with consumers as a cause of instability in product quality.
【0007】2)肉眼で識別可能な最小寸法は約0.1
1mmまでであるので、極めて小さい欠陥の検査には顕微
鏡が必要であって、検査能率の低下、検査員の疲労増大
を来す。2) The minimum size that can be visually recognized is about 0.1
Since it is up to 1 mm, a microscope is required for inspection of extremely small defects, which lowers inspection efficiency and increases inspector fatigue.
【0008】3)良及び不良を判定するに0.2〜0.
4秒かかるため、製造速度に適した高速の検査が不可能
である問題点があった。[0008] 3) 0.2 to 0.
Since it takes four seconds, there is a problem that a high-speed inspection suitable for a manufacturing speed is impossible.
【0009】従って、本発明は前記のような諸般問題点
を解決するためになされたもので、これまで検査員の肉
眼に依存してきたICリードフレームの形状検査をコン
ピュータとCCDカメラ、そして映像処理によるリード
フレーム欠陥の自動解釈技術及びリードフレーム自動移
送装置等を複合的に用いて検査過程を自動化・高速化す
るためのICリードフレーム自動検査システム及びその
システム運用方法を提供することにその目的がある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned various problems, and a computer, a CCD camera, and an image processing apparatus have been used to inspect the shape of an IC lead frame which has been dependent on the naked eye of an inspector. The purpose of the present invention is to provide an automatic IC lead frame inspection system for automating and speeding up an inspection process by using a lead frame defect automatic interpretation technology and a lead frame automatic transfer device in combination, and a method of operating the system. is there.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のICリードフレーム自動検査システムは、
一つ以上のCCDカメラ及び一つ以上の照明制御部を備
え、検査位置に到達したICリードフレームの映像を撮
影する映像撮影部と、前記検査位置に到達したリードフ
レームを感知してリードフレーム感知信号を発生する一
つ以上のリードフレームセンサーと、前記映像撮影部に
より撮影された映像を獲得及び処理する映像処理部と、
検査すべきリードフレームを検査位置に一つずつ自動に
移送する自動移送装置と、検査システムの全体動作を制
御し、前記映像処理部から映像を受信、検査し、検査し
た映像のリードフレームの良品、不良品を決定する主制
御部と、から構成されることを特徴とする。In order to achieve the above object, an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention comprises:
An image capturing unit that includes one or more CCD cameras and one or more illumination control units and captures an image of the IC lead frame that has reached the inspection position; and a lead frame sensing unit that detects the lead frame that has reached the inspection position. One or more lead frame sensors for generating signals, an image processing unit for acquiring and processing an image captured by the image capturing unit,
An automatic transfer device that automatically transfers the lead frame to be inspected to the inspection position one by one, and controls the entire operation of the inspection system, receives and inspects the image from the image processing unit, and inspects the lead frame of the inspected image. And a main control unit for determining a defective product.
【0011】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システムは、前記映像処理部は二つのA、B映像バッ
ファを用いてA映像バッファにカメラの映像を入力受け
た後、A映像バッファから主制御コンピュータのメモリ
に映像データを移動する間、他方のB映像バッファに続
けてカメラから映像を入力受け、次の映像入力にはA、
B映像バッファの役割を取り替える過程を繰り返して遂
行することを特徴とする。Further, in the automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the video processing unit receives the video of the camera into the A video buffer using two A and B video buffers, and then performs main control from the A video buffer. While moving the video data to the memory of the computer, the other B video buffer receives video from the camera following the other B video buffer.
The process of replacing the role of the B video buffer is repeatedly performed.
【0012】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システムは、ICリードフレームのリード間隔自動視
覚検査装置での動作命令をポインタ指示器で指示するこ
とができ、検査対象の良・不良及び位置大きさを視覚的
に出力するGUI(Graphic User Interface)を備えたこ
とを特徴とする。Further, the IC lead frame automatic inspection system of the present invention can indicate the operation command of the IC lead frame automatic read interval visual inspection apparatus with a pointer indicator, and can determine whether the inspection object is good or defective and the size of the position. It is characterized by having a GUI (Graphic User Interface) for visually outputting the result.
【0013】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システムは、一つ以上のCCDカメラ及び一つ以上の
照明制御部を備え、検査位置に到達したICリードフレ
ームの映像を撮影する映像撮影部と、前記検査位置に到
達したリードフレームを感知してリードフレーム感知信
号を発生する一つ以上のリードフレームセンサーと、前
記映像撮影部により撮影された映像を獲得及び処理する
映像処理部と、検査すべきリードフレームを検査位置に
一つずつ自動に移送する自動移送装置と、検査システム
の全体動作を制御し、前記映像処理部から映像を受信、
検査し、検査した映像のリードフレームの良品、不良品
を決定する主制御部と、から構成され、前記自動移送装
置は、検査すべきリードフレームをスタッキング及び供
給する製品投入スタッカと、製品投入スタッカから供給
された製品を一つずつ吸着して製品移送部にローディン
グする製品ローディング装置と、ローディングされた製
品を検査位置に移送する製品移送装置と、二枚の製品吸
着を感知する二枚検出センサーと、検査結果によって検
査された製品を分類する製品分類装置と、不良製品をス
タッキングする不良製品スタッカと、良品製品を積層、
取出する取出装置と、自動移送装置の要求運転条件を設
定及び表示する運転操作パネルと、自動移送装置の全動
作を制御する制御装置と、を備えることを特徴とする。Further, an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention includes one or more CCD cameras and one or more illumination control units, and an image photographing unit for photographing an image of the IC lead frame reaching the inspection position. A lead frame sensor for detecting a lead frame reaching the inspection position and generating a lead frame detection signal; an image processing unit for acquiring and processing an image captured by the image capturing unit; An automatic transfer device that automatically transfers the lead frames to be inspected one by one to the inspection position, and controls the entire operation of the inspection system, receives an image from the image processing unit,
A main control unit for inspecting and determining non-defective and defective lead frames of the inspected video, wherein the automatic transfer device stacks and supplies a lead frame to be inspected, and a product input stacker. Loading device that sucks the products supplied from the product one by one and loads them to the product transfer section, a product transfer device that transfers the loaded products to the inspection position, and a two-sheet detection sensor that detects two product suctions And a product classification device that classifies products inspected according to the inspection results, a defective product stacker that stacks defective products, and a non-defective product,
It is characterized by comprising a take-out device for taking out, an operation operation panel for setting and displaying required operation conditions of the automatic transfer device, and a control device for controlling all operations of the automatic transfer device.
【0014】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、高速に映像を獲得するための映
像獲得過程と、パッドを用いる基準座標系設定検査過程
と、パッド位置を捜して基準座標系が設定された後のリ
ードスペーシングを検査する過程と、パッドの移動有無
を検査するパッド移動検査過程と、テープの形状を検査
するテープ形状検査過程と、パンチング結果検査過程
と、検査結果統計処理過程とからなることを特徴とす
る。The method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention includes an image acquisition process for acquiring an image at high speed, a reference coordinate system setting inspection process using a pad, and a reference coordinate system by searching for a pad position. Inspection process for lead spacing after setting, pad movement inspection process for inspecting pad movement, tape shape inspection process for inspecting tape shape, punching result inspection process, and inspection result statistical processing And a process.
【0015】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記映像獲得過程は、ピンポン
アルゴリズムによって撮影された映像に対する処理をそ
の映像に後続する映像の撮影と同時になし得る方式で行
うことを特徴とする。Further, in the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the image acquisition step is performed in such a manner that processing of an image photographed by a ping-pong algorithm can be performed simultaneously with photographing of an image subsequent to the image. It is characterized by.
【0016】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記基準座標系設定は映像の中
央を通る垂直及び水平方向の2直線(Lh、Lv)上で
のパッドの境界点を捜し、この境界点から概略的なパッ
ドの位置を示す長方形を求め、この長方形を垂直及び水
平方向にそれぞれn等分する直線を求め、この直線に沿
いながらパッドの境界に会う総4n個の境界点を求め、
パッドの各辺ごとのn個の境界点に最も近似した直線を
求め、これを用いてパッドの中心と傾きを計算すること
を特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the reference coordinate system is set so as to search for a boundary point of a pad on two vertical and horizontal lines (Lh, Lv) passing through the center of an image. From this boundary point, a rectangle indicating the approximate pad position is determined, and a straight line that divides the rectangle vertically and horizontally by n is determined. A total of 4n boundary points that meet the pad boundary along this straight line ,
The method is characterized in that a straight line closest to the n boundary points for each side of the pad is obtained, and the center and the inclination of the pad are calculated using the straight line.
【0017】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記リードスペーシングは、パ
ッド位置を捜し、パッドの中心を原点とし、傾きだけ回
転された座標系を基準座標系(xy)として設定し、こ
れを検査に用いることを特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the lead spacing searches for a pad position, uses a center of the pad as an origin, and uses a coordinate system rotated by an inclination as a reference coordinate system (xy). And is used for inspection.
【0018】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記パッド移動有無は、ダムバ
ーとこれに対応するパッドの一辺間の長さを測定して検
査することを特徴とする。Further, in the method of operating the automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the pad movement is inspected by measuring a length between a dam bar and one side of a pad corresponding to the dam bar.
【0019】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記テープ形状は、基準座標系
が設定されるとリードフレームテープ境界線のCADデ
ータを基準座標系上に変換し、前記基準座標系上に変換
されたテープ境界線を与えられた公差だけ拡大及び縮小
し、検査しようとするテープの境界線が置かれる領域を
設定することを特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the tape shape may be such that when a reference coordinate system is set, CAD data of a lead frame tape boundary line is converted into a reference coordinate system. It is characterized in that the tape boundary converted on the coordinate system is enlarged and reduced by a given tolerance, and an area where the boundary of the tape to be inspected is placed is set.
【0020】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、拡大された前記境界線はテープ
の外側に位置し、その境界線の位置に相当する映像は一
定値以上の明るい画素の数が一定比率以上でなければな
らなく、縮小された前記境界線はテープの内部に位置
し、その境界線の位置に相当する映像は一定明るさ以下
の暗い画素の数が一定比率以上でなければならないこと
を特徴とする。Further, in the method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the enlarged boundary is located outside the tape, and the image corresponding to the position of the boundary has a number of bright pixels equal to or more than a predetermined value. Must be equal to or greater than a certain ratio, and the reduced boundary line is located inside the tape, and the image corresponding to the position of the boundary line must have a certain number of dark pixels that are equal to or less than a certain brightness if the number of dark pixels is equal to or greater than a certain ratio. It is characterized by not becoming.
【0021】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記テープ境界線を拡大/縮小
する方法は、任意の多角形を拡大及び縮小する方法を用
いることを特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the method of enlarging / reducing the tape boundary line uses a method of enlarging and reducing an arbitrary polygon.
【0022】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記多角形の拡大及び縮小は、
多角形の頂点から最高y値を有する頂点を求めた後、こ
の頂点を共通に有する2辺の位置を調査し、この頂点と
次の頂点間の辺の拡大又は縮小された位置を決め、頂点
を一つずつ移し、移した頂点を共通とする2辺の位置と
直前の拡大又は縮小された辺の位置を考慮して、現在頂
点と次の頂点間の辺の拡大又は縮小された位置を決める
ことを特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the enlargement and reduction of the polygon may be
After finding the vertex having the highest y value from the vertices of the polygon, the positions of two sides having this vertex in common are investigated, and the enlarged or reduced position of the side between this vertex and the next vertex is determined. Are moved one by one, and taking into account the position of the two sides that share the moved vertices and the position of the last enlarged or reduced side, determine the enlarged or reduced position of the side between the current vertex and the next vertex. It is characterized by deciding.
【0023】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記パンチングの欠陥は、指定
されたパンチング位置でパンチングされた領域を捜し、
この領域の面積、境界線の長さ、稠密度等のような幾何
学的特徴を用いて検査することを特徴とする。In the method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the defect of the punching may be performed by searching a punched area at a specified punching position.
The inspection is characterized by using geometric features such as the area of the region, the length of the boundary line, the density, and the like.
【0024】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記映像獲得手段と検査手段を
二つの独立スレッドで設計し、その映像獲得手段には二
つ以上の映像バッファを用いることにより、検査が進行
中であっても一つ以上の映像を予め獲得し得るようにし
て全体検査速度を高めることを特徴とする。In the method of operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the video acquisition means and the inspection means are designed with two independent threads, and the video acquisition means uses two or more video buffers. In addition, even if the inspection is in progress, one or more images can be acquired in advance to increase the overall inspection speed.
【0025】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記映像獲得スレッドは、リー
ドフレームの移送を開始する段階(S10)と、移送さ
れた部品をセンサーが検出したかを判断し、検出したら
次の段階に移動し、そうでないとこの過程を繰り返して
遂行する段階(S11)と、映像を獲得する段階(S1
2)と、獲得した映像があるかを判断し、獲得した映像
がないと前の段階に戻り前記過程を繰り返して遂行し、
そうでないと次の段階に移動する段階(S13)と、移
送を停止する段階(S14)と、再度獲得した映像があ
るかを判断し、獲得した映像がないと最初の移送開始の
段階に戻り、そうでないと本過程を繰り返して遂行する
段階(S15)とからなることを特徴とする。In the method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the image acquisition thread starts transferring the lead frame (S10), and determines whether a sensor detects the transferred component. If it is detected, it moves to the next step, otherwise, it repeats this process (S11), and it acquires the image (S1).
2) and determine whether there is an acquired image, and if there is no acquired image, return to the previous step and repeat the above process;
Otherwise, the step of moving to the next step (S13), the step of stopping the transfer (S14), and judging whether or not there is an image obtained again, return to the first transfer start step if there is no obtained image. Otherwise, this step is repeated (S15).
【0026】また、本発明のICリードフレーム自動検
査システム運用方法は、前記検査スレッドは、検査すべ
きリードフレーム映像であるかを判断し、リードフレー
ム映像であると次の段階に移動し、そうでないと本過程
を繰り返して遂行する段階(S20)と、検出パッドで
あるかを判断し、検出パッドであると次の段階に移動
し、そうでないと最初の段階に戻る段階(S21)と、
テープ検査して欠陥があるかを判断する段階(S22)
と、欠陥があると欠点信号を出して最初の段階に戻り、
欠点がないと通過信号を出して最初の段階に戻る過程を
遂行する段階(S23)とからなることを特徴とする。In the method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to the present invention, the inspection thread determines whether the image is a lead frame image to be inspected, and moves to the next stage if the image is a lead frame image. Otherwise, a step of repeatedly performing this process (S20), determining whether the pad is a detection pad, and if it is a detection pad, moving to the next step; otherwise, returning to the first step (S21),
Step of judging whether there is a defect by inspecting the tape (S22)
If there is a defect, it sends a defect signal and returns to the first stage,
If there is no defect, the step (S23) of performing a process of outputting a passing signal and returning to the first step is performed.
【0027】また、本発明のシステムは、リードスペー
シング(lead spacing)、パッド移動(pad shift) 、テー
プ位置(tape position) そしてパンチング(punching)欠
陥の4項目を検査するためのシステムであって、検査速
度の向上と柔軟な検査環境のため、映像獲得部分と検査
部分を独立スレッド(thread)で設計し、システムの安定
性と互換性を考慮してWindowsNTを運営体制と
して使用した。Further, the system of the present invention is a system for inspecting four items of a lead spacing, a pad shift, a tape position, and a punching defect. In order to improve the inspection speed and to provide a flexible inspection environment, the video acquisition part and the inspection part were designed with independent threads, and WindowsNT was used as an operating system in consideration of system stability and compatibility.
【0028】又、本システムを二つの独立スレッドで設
計することにより、検査を遂行する間にも続けて映像を
獲得し得るようにして全体性能を向上させた。Also, by designing this system with two independent threads, it is possible to acquire images continuously while performing the inspection, thereby improving the overall performance.
【0029】特に、スペーシング検査は非常に高い精密
度を要求するので、高倍率の専用カメラを用い、サブピ
クセル方法を用いて1ピクセルの約1/3程度の精密度
を安定的に維持することができた。In particular, since the spacing inspection requires very high precision, a dedicated camera with a high magnification is used, and the precision of about 1/3 of one pixel is stably maintained by using a sub-pixel method. I was able to.
【0030】テープ検査はテープ境界線の位置の相互関
係を用いて検査し、任意のテープ形状に対しても検査し
得るようにテープ形態に対応する多角形を縮小及び拡大
し得るアルゴリズムを開発した。The tape inspection is performed by using the correlation between the positions of the tape boundary lines, and an algorithm has been developed that can reduce and enlarge the polygon corresponding to the tape shape so that the tape shape can be inspected. .
【0031】このような検査方法を使用して実際のリー
ドフレームに対して実験した結果、秒当たり約五つのリ
ードフレームユニットを検査し得る高速、高精密検査シ
ステムであることが確認できるものである。As a result of experiments on an actual lead frame using such an inspection method, it can be confirmed that the system is a high-speed, high-precision inspection system capable of inspecting about five lead frame units per second. .
【0032】[0032]
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の実施例を詳細に説明する。図1は本発明のICリード
フレーム自動検査システムを示すハードウェアの全体構
成図である。同図に示すように、主制御部(Host PC) 1
00、映像処理部(Image Board) 200、信号入出力部
(DIO Board) 300、640×480解像度の二つのC
CDカメラ400、二つの照明制御部(Strobe Controll
er) 500及び移送装置600で構成される。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an overall hardware configuration diagram showing an IC lead frame automatic inspection system according to the present invention. As shown in the figure, the main control unit (Host PC) 1
00, image processing unit (Image Board) 200, signal input / output unit
(DIO Board) Two Cs with 300, 640 x 480 resolution
CD camera 400, two illumination control units (Strobe Controll)
er) 500 and a transfer device 600.
【0033】前記構成によると、前記映像処理部200
は3Mbyte のフレームメモリが装着されており、論理的
に12フレームで構成され、最大12映像を貯蔵するこ
とができる。リードフレーム700が移送装置600に
より移送され、センサー601がこれを感知すると、セ
ンサー信号が信号入出力部300を介して映像処理部2
00に入力される。この際に、主制御コンピュータ部1
00がセンサー信号を確認すると照明制御部500を駆
動し、これと同期してCCDカメラ400を駆動させ映
像処理部200を介して主制御コンピュータ部100の
メモリに映像を入力する。この移送装置600の後端部
分には、検査の終わったリードフレーム700を検査結
果によって正常又は不良に分類するスタッカ(stacker)
が装着されている。この移送装置600については後述
する図10に詳細に説明する。According to the above configuration, the video processing unit 200
Has a 3 Mbyte frame memory, is logically composed of 12 frames, and can store up to 12 images. When the lead frame 700 is transferred by the transfer device 600 and the sensor 601 detects this, the sensor signal is transmitted to the image processing unit 2 via the signal input / output unit 300.
00 is input. At this time, the main control computer unit 1
When 00 confirms the sensor signal, it drives the illumination control unit 500, drives the CCD camera 400 in synchronization with this, and inputs an image to the memory of the main control computer unit 100 via the image processing unit 200. At the rear end of the transfer device 600, a stacker that classifies the inspected lead frame 700 as normal or defective according to the inspection result.
Is installed. This transfer device 600 will be described later in detail with reference to FIG.
【0034】本システムの検査ソフトウェアは後述する
ピンポン(Ping-Pong) アルゴリズムを用いた映像獲得部
分、パッド移動検査部分、リードスペーシング検査のた
めのサブピクセル長さ測定部分、テープ検査部分、パン
チング検査部分、そして簡単な検査結果統計処理部分で
なっている。The inspection software of the present system includes an image acquisition part using a ping-pong algorithm, a pad movement inspection part, a subpixel length measurement part for lead spacing inspection, a tape inspection part, and a punching inspection. Part, and a simple test result statistical processing part.
【0035】GUI(Graphic User Interface)は Visua
l C++ 4.2 コンパイラとウィンドウプログラム開発用ク
ラスライブラリであるMFC(Microsoft Foundation Cl
ass)ライブラリを用いて具現した。The GUI (Graphic User Interface) is Visua
l C ++ 4.2 Compiler and MFC (Microsoft Foundation Cl
(ass) library.
【0036】特に、既存の検査システムは一般使用者が
検査環境を設定するに長時間と努力を必要とする欠点を
有するが、この点を改善するため、必要な検査データは
主に設計図面上のデータを用い、カメラの距離変更のよ
うな検査環境の変化に対しては自動的に検査データを変
換して検査し得るようにすることで、検査環境の変化に
よる使用者の介入をかなり減らした。In particular, the existing inspection system has a drawback that a general user requires a long time and effort to set up an inspection environment. In order to improve this point, necessary inspection data is mainly stored in a design drawing. By using the above data and automatically converting the inspection data for changes in the inspection environment, such as a change in camera distance, the inspection can be performed, thereby significantly reducing user intervention due to changes in the inspection environment. Was.
【0037】図2は前記ピンポンアルゴリズムの方法を
用いる映像獲得についての説明図である。同図に示すよ
うに、高速に映像を獲得するためのピンポンアルゴリズ
ムは、先ず二つのA、B映像バッファ800、801を
用いてA映像バッファ800にカメラ400の映像を入
力受けた後、A映像バッファ800から主制御コンピュ
ータ部100のメモリに映像データを移動する間、他方
のB映像バッファ801に続けてカメラ400からの映
像を入力受け、次の映像入力にはバッファA、Bの役割
を替え前記過程を繰返しながら映像を入力受ける構造で
なっている。即ち、カメラ400から映像を入力受ける
と同時に、以前に入力受けた映像を主制御コンピュータ
100に伝送し得るので、映像入力にかかる時間を最小
にすることができるものである。FIG. 2 is an explanatory diagram of image acquisition using the ping-pong algorithm method. As shown in the figure, the ping-pong algorithm for acquiring an image at high speed is as follows. First, an image of the camera 400 is input to and received from the A image buffer 800 using two A and B image buffers 800 and 801. While moving the video data from the buffer 800 to the memory of the main control computer unit 100, the video from the camera 400 is received following the other B video buffer 801 and the roles of the buffers A and B are switched to the next video input. The structure is such that an image is received while the above process is repeated. That is, since a previously input image can be transmitted to the main control computer 100 at the same time as receiving an image from the camera 400, the time required for inputting the image can be minimized.
【0038】図3は映像獲得スレッドと検査スレッドを
示す全体流れ図で、秒当たり10以上の映像を高速に検
査するためには30msec程度所要される映像獲得時間を
最大限減らす必要がある。本検査システムにおいては、
映像獲得スレッドと検査スレッドを独立した二つのスレ
ッドで設計して、主制御コンピュータでの検査が進行中
であっても映像処理部では続けて映像を入力受けるよう
に設計した。FIG. 3 is an overall flowchart showing an image acquisition thread and an inspection thread. In order to inspect 10 or more images per second at high speed, it is necessary to reduce the image acquisition time required for about 30 msec to the maximum. In this inspection system,
The video acquisition thread and the inspection thread were designed with two independent threads, and the video processing unit was designed to receive the video continuously even while the inspection by the main control computer was in progress.
【0039】図面に従って前記映像獲得スレッド方法を
開始すると、リードフレームの移送を開始し(S1
0)、移送された部品をセンサーが検出したかを判断
し、検出したら次のS12に移動し、そうでないとこの
過程を繰り返して遂行する(S11)。映像獲得照明制
御し(S12)、空バッファであるかを判断し、空バッ
ファであると前記S11に戻り前記過程を繰り返して遂
行し、そうでないと次のS14に移動する(S13)。
移送を停止し(S14)、再度空バッファであるかを判
断し、空バッファであると前記S10に移動し、そうで
ないと本過程を繰り返して遂行する(S15)。When the image acquisition thread method is started according to the drawing, the transfer of the lead frame is started (S1).
0), it is determined whether the sensor has detected the transferred component. If detected, the process moves to the next step S12, and if not, the process is repeated (S11). The image acquisition lighting control is performed (S12), and it is determined whether the buffer is empty. If the buffer is empty, the process returns to S11 to repeat the above-described process. Otherwise, the process moves to the next S14 (S13).
The transfer is stopped (S14), and it is determined again whether the buffer is empty. If the buffer is empty, the process proceeds to S10, and if not, the process is repeated (S15).
【0040】又、テープ検査スレッド方法を開始する
と、バッファ映像であるかを判断し、バッファ映像であ
るとS21に移動し、そうでないと本過程を繰り返して
遂行する(S20)。パッド検出を判断し、パッド検出
であるとS22に移動し、そうでないと前記S20に移
動する(S21)。次いで、テープ検査して欠陥がある
かを判断し(S22)、欠陥があると不良信号(S2
5)を経て前記S20に移動し、欠陥がないと良品信号
(S24)を経て前記S20に送る過程を遂行する(S
23)。When the tape inspection thread method is started, it is determined whether or not the image is a buffer image. If the image is a buffer image, the process moves to S21. If not, the process is repeated (S20). The pad detection is determined, and if it is the pad detection, the process moves to S22; otherwise, the process moves to S20 (S21). Next, a tape inspection is performed to determine whether there is a defect (S22).
After step 5), the process proceeds to step S20, and if there is no defect, the process of sending the signal to step S20 via the non-defective signal (S24) is performed (S20).
23).
【0041】図4はパッドを用いて基準座標系を設定す
る方法に関する説明図である。パッドの位置は2段階に
捜す。即ち、先ず映像の中央を通る垂直及び水平方向の
2直線(Lh、Lv)上でのパッドの境界点を捜し、こ
の境界点から概略的なパッドの位置を現す長方形を求め
る。FIG. 4 is an explanatory diagram relating to a method of setting a reference coordinate system using a pad. The position of the pad is searched in two stages. That is, first, a boundary point of a pad on two vertical and horizontal lines (Lh, Lv) passing through the center of an image is searched, and a rectangle representing a rough pad position is obtained from the boundary point.
【0042】次いで、前記長方形を垂直及び水平方向に
それぞれn等分する直線を求め、この直線に沿いながら
パッドの境界と会う全て4n個の境界点を求める。Next, a straight line that divides the rectangle into n parts in the vertical and horizontal directions is determined, and all 4n boundary points meeting the boundary of the pad along this straight line are determined.
【0043】パッドの各辺ごとのn個の境界点に最も近
似した直線を求めた後、これを用いてパッドの中心と傾
きを計算する。After obtaining a straight line that is most approximate to the n boundary points for each side of the pad, the center and the inclination of the pad are calculated using the straight line.
【0044】パッドの中心を原点とし、傾きだけ回転さ
れた座標系を基準座標系(xy)として設定し、検査に
用いられる全ての座標はこの基準座標系に変換される。A coordinate system rotated by the inclination with the center of the pad as the origin is set as a reference coordinate system (xy), and all coordinates used for inspection are converted into this reference coordinate system.
【0045】図5はパッドの位置を捜して基準座標系が
設定された後のリードスペーシング検査画面を示すもの
で、図5(a)はコンピュータで実行された検査ソフト
ウェアの検査モデル作成例であり、図5(b)はコンピ
ュータで実行された検査ソフトウェアで検査が進行され
ている画面である。FIG. 5 shows a lead spacing inspection screen after the reference coordinate system has been set by searching for the position of the pad. FIG. 5A shows an example of an inspection model created by inspection software executed by a computer. FIG. 5B shows a screen in which an inspection is in progress by inspection software executed on a computer.
【0046】リードスペーシング検査は高精密度を要求
し、160ピン製品の場合に関心領域は約2×2cm程度
のリードフレーム領域であり、640×480カメラの
場合に0.03mm/pixel の解像度を得る。The lead spacing inspection requires high precision. In the case of a 160-pin product, the area of interest is a lead frame area of about 2 × 2 cm, and in the case of a 640 × 480 camera, the resolution is 0.03 mm / pixel. Get.
【0047】この程度の精密度では信頼性あるリードス
ペーシング検査が難しいため、サブピクセル測定アルゴ
リズムを適用して精密度を約1/3ピクセル(0.01
mm)程度に高めた。Since a reliable lead spacing inspection is difficult with this degree of precision, the precision is reduced to about 1/3 pixel (0.01 pixel) by applying a sub-pixel measurement algorithm.
mm).
【0048】本システムではTabatabai が提案したアル
ゴリズムを用いた。この方法は長さ測定値が画素列の長
さに敏感でなく、計算量が他の方法に比べて相当に減る
等の利点を有するので、高速・高精密リードスペーシン
グ検査に適する。In this system, the algorithm proposed by Tabatabai was used. This method is suitable for a high-speed and high-precision lead spacing inspection because the length measurement value is insensitive to the length of the pixel row and the amount of calculation is considerably reduced as compared with other methods.
【0049】図6はパッドとダムバー間の距離を測定す
る方法についての説明図である。同図に示すように、パ
ッド移動検査はダムバーとこれに対応するパッドの1辺
間の長さを測定して検査する。FIG. 6 is an explanatory diagram of a method for measuring the distance between the pad and the dam bar. As shown in the figure, the pad movement inspection is performed by measuring the length between one side of the dam bar and the corresponding pad.
【0050】本検査システムにおいては、ダムバーの位
置を検出するため、ダムバー位置の候補領域を多数の副
領域に分割処理することにより、リードフレームの傾き
に対しても正確に検査し得るようにした。In this inspection system, in order to detect the position of the dam bar, by dividing the candidate region of the dam bar position into a number of sub-regions, it is possible to accurately inspect the inclination of the lead frame. .
【0051】図7はテープの形状を検査する方法につい
ての例示図である。同図に示すように、基準座標系が設
定されると、リードフレームテープ境界線のCADデー
タを基準座標系上に変換する(図7の太い長方形)。FIG. 7 is an illustrative view showing a method of inspecting the shape of the tape. As shown in the figure, when the reference coordinate system is set, the CAD data of the border line of the lead frame tape is converted into the reference coordinate system (thick rectangle in FIG. 7).
【0052】次に、基準座標系上に変換されたテープ境
界線を与えられた公差だけ拡大及び縮小し(図7の点
線)、検査しようとするテープ(図7の灰色領域)の境
界線が置かれる領域を設定する。Next, the tape boundary converted on the reference coordinate system is enlarged and reduced by the given tolerance (dotted line in FIG. 7), and the boundary of the tape to be inspected (gray area in FIG. 7) is changed. Set the area to be placed.
【0053】拡大された境界線はテープの外側に位置す
べきであるので、その境界線位置に相当する映像は一定
値以上の明るい画素の数が一定比率以上でなければなら
なく、縮小された境界線はテープ内部に位置すべきであ
るので、その境界線位置に相当する映像は一定明るさ以
下の暗い画素の数が一定比率以上でなけばならない。Since the enlarged boundary line should be located outside the tape, the image corresponding to the boundary line position must have a certain ratio of bright pixels of a certain value or more and a certain ratio or more. Since the boundary line should be located inside the tape, the image corresponding to the boundary line position must have a certain ratio or more of the number of dark pixels having a certain brightness or less.
【0054】図8は本発明の検査システムにおいて対象
とする多様な形態のテープを示す図で、リードフレーム
に付着されるテープはその形態が非常に多様である。FIG. 8 is a view showing various types of tapes to be used in the inspection system of the present invention. The tapes attached to the lead frames have various types.
【0055】従って、境界線を用いたテープ検査方法が
全ての形態のテープに適用されるためのには、一般の多
角形を拡張及び縮小する方法が必要である。Therefore, in order for the tape inspection method using the boundary line to be applied to all types of tapes, a method of expanding and reducing a general polygon is required.
【0056】図9はテープの形状検査のための方法とし
て使用した多角形縮小方法を示す図である。同図に示す
ように、多角形を拡大又は縮小するため、先ず多角形の
頂点のうち最高のy値を有する頂点を求めた後、この頂
点を共通に有する2辺の位置を照査し、この頂点と次の
頂点間の辺の拡大又は縮小された位置を決める。FIG. 9 is a diagram showing a polygon reduction method used as a method for inspecting the shape of a tape. As shown in the figure, in order to enlarge or reduce the polygon, first, a vertex having the highest y value among the vertices of the polygon is obtained, and the positions of two sides having this vertex in common are checked. Determine the enlarged or reduced position of the edge between the vertex and the next vertex.
【0057】次に、頂点を一つずつ移し、移した頂点を
共通にする2辺の位置と直前の拡大又は縮小された辺の
位置を考慮して、現在頂点と次の頂点間の辺の拡大又は
縮小された位置を決める。Next, the vertices are moved one by one, and in consideration of the positions of the two sides that share the moved vertices and the position of the immediately expanded or reduced side, the side of the side between the current vertex and the next vertex is considered. Determine the enlarged or reduced position.
【0058】パンチング欠陥の検査は、指定されたパン
チング位置でパンチングされた領域を捜した後、この領
域の面積、境界線の長さ、そして稠密度等のような幾何
学的特徴を用いて検査する。Inspection of a punching defect is performed by searching for a punched area at a specified punching position and then using geometric features such as the area of the area, the length of the boundary line, and the density. I do.
【0059】図10は自動検査のためのICリードフレ
ーム自動移送装置600を示す図である。FIG. 10 is a view showing an IC lead frame automatic transfer device 600 for automatic inspection.
【0060】ICリードフレームの検査を自動に遂行す
るためには、製品の積載、ローディング(Loading) 、間
紙除去、2枚検出、フィーディング(Feeding) 、不良品
と良品の分類積載、間紙挿入等がコンピュータ信号とフ
ィーディングデバイス信号とが互いに符合するように構
成され、製品の測定に精密度を保障するため、製品の特
性によって連続フィーディング又はステップフィーディ
ングが選択でき、かつ製品の特性、形状によって撮影部
を異ならせるようにカメラ2台又は3台を設置すること
ができる。In order to automatically perform the inspection of the IC lead frame, loading of a product, loading, removal of a slip sheet, detection of two sheets, feeding, sorting and loading of defective and non-defective products, slip sheet Insertion or the like is configured so that the computer signal and the feeding device signal match each other, and in order to ensure the accuracy of the measurement of the product, continuous feeding or step feeding can be selected according to the characteristics of the product, and the characteristics of the product , Two or three cameras can be installed so that the photographing unit differs depending on the shape.
【0061】リードフレームの特性上1ストリップ内に
同一形状のユニットが連続的に配列されているため、反
復撮影時に発生する撮影誤差をコンピュータソフトウェ
アで補正しているが、誤差を最小にし得るよう、連続フ
ィーディング時には製品の規則的な孔を精密センサーを
使用して誤差範囲を最小にし、ステップフィーディング
時にはLCD(液晶表示装置)でピッチ入力と設定して
誤差範囲を最小にし、シーケンスは図1のPLC(60
2)により制御される。Since units of the same shape are continuously arranged in one strip due to the characteristics of the lead frame, the photographing error generated at the time of repetitive photographing is corrected by computer software. During continuous feeding, the error range is minimized by using a precision sensor in the regular holes of the product. During step feeding, the pitch input is set on the LCD (liquid crystal display) to minimize the error range. PLC (60
Controlled by 2).
【0062】同図に示すように、この自動移送装置60
0は、検査すべきリードフレームをスタッキング及び供
給する製品投入スタッカ610と、製品投入スタッカか
ら供給された製品を一つずつ吸着して製品移送部にロー
ディングする製品ローディング装置620と、ローディ
ングされた製品を検査位置に移送する製品移送装置63
0と、二枚の製品吸着を感知する二枚検出センサー64
0と、検査結果によって検査された製品を分類する製品
分類装置650と、不良製品をスタッキングする不良製
品スタッカ660と、良品製品を積層、取出する取出装
置670と、自動移送装置の要求運転条件を設定及び表
示する運転操作パネル680と、自動移送装置600の
全動作を制御する制御装置690とから構成されてい
る。As shown in FIG.
Reference numeral 0 denotes a product loading stacker 610 for stacking and supplying a lead frame to be inspected, a product loading device 620 for sucking products supplied from the product loading stacker one by one and loading the products into a product transfer unit, and a loaded product. Transfer device 63 for transferring the product to the inspection position
0, two-sheet detection sensor 64 that senses two product suctions
0, a product classifying device 650 for classifying products inspected according to the inspection result, a defective product stacker 660 for stacking defective products, an unloading device 670 for stacking and unloading non-defective products, and required operating conditions of the automatic transfer device. It comprises a driving operation panel 680 for setting and displaying, and a control device 690 for controlling all operations of the automatic transfer device 600.
【0063】本装置の構成による動作を図1及び図10
を参照して説明する。 1.製品スタッカ装置(STACKER DEVICE) 検査すべき製品を積層するもので、ストリップ製品がバ
ンドル単位に装着される投入マガジンが4箇所に設置さ
れ、この設置箇所はフィーディング部を中心に両側2箇
所に構成し、製品間に間紙がある場合は2箇所に製品を
積層し2箇所は間紙取出場所として用い、間紙がない製
品に対しては4箇所を使用する。FIGS. 1 and 10 show the operation according to the configuration of the present apparatus.
This will be described with reference to FIG. 1. Product stacker device (STACKER DEVICE) Stacks products to be inspected. The loading magazines where strip products are mounted in bundle units are installed at four locations. These installation locations are configured at two locations on both sides centering on the feeding section. When there is a slip sheet between the products, the products are stacked in two places, two places are used as a place for taking out the slip sheet, and four places are used for a product having no slip sheet.
【0064】製品スタッカは製品サイズによって横縦調
整が可能であり、製品量によって高さがスタッカの感知
によりELEVATORで自動的に上下調整され、製品
がない場合、スタッカマガジンが下降し、製品のないこ
とを知らせるランプが点灯され、ブザーが鳴り、コント
ロールLCDで製品なしを表示する。The height and width of the product stacker can be adjusted according to the product size. The height is automatically adjusted up and down by ELEVATOR according to the amount of the product when the stacker senses the product. If there is no product, the stacker magazine moves down and there is no product. Is turned on, a buzzer sounds, and the control LCD indicates that there is no product.
【0065】2.製品ローディング装置(LOADING DEVIC
E)[間紙除去及び製品ピックアップローディング(PICKU
P LOADING)] 製品ピックアップはエア真空吸着パッドにより行われ、
ローディング装置は2箇所で同時に間紙除去及び製品ロ
ーディングを実行する。2. LOADING DEVIC
E) [Slip-sheet removal and product pickup loading (PICKU
P LOADING)] Product pick-up is performed by air vacuum suction pad,
The loading device simultaneously performs slip sheet removal and product loading at two locations.
【0066】製品ピックアップミス(PICKUP MISS) であ
る場合、3回連続実施後、ミスである場合、警報ランプ
及び警報BALL&LCDにメッセージ表示する。In the case of a product pick-up error (PICKUP MISS), a message is displayed on an alarm lamp and an alarm BALL & LCD after three consecutive executions.
【0067】製品間に間紙がある製品とない製品のロー
ディング方式の変更により速度向上を図ることができ
る。The speed can be improved by changing the loading method of the products with and without the slip sheet between the products.
【0068】ローディングデバイス駆動方式はロボット
アームの使用により駆動され、又ピックアップポイント
を変更することができ、ピックアップローディングデバ
イスが2箇所で同時にローディングとピックアップを行
え、又は1箇所は間紙除去、1箇所はピックアップとロ
ーディングを実行し得る。The loading device drive system is driven by the use of a robot arm, and can change the pickup point. The pickup loading device can perform loading and pickup at two places at the same time, or one place can be used to remove a slip sheet and one place. Can perform pickup and loading.
【0069】又、他のマシン(M/C)(TAPING, CUTTI
NG, STAMPING) に連結してローディングからフィーディ
ング転換できる。Further, other machines (M / C) (TAPING, CUTTI
NG, STAMPING) to switch from loading to feeding.
【0070】3.製品2枚検出センサー 製品ローディング時に2枚がスタッキングされた場合、
2枚検出センサーによりチェッキングして製品を捨て、
再ピックアップを実施してローディングさせて、2枚が
出入されないようにする。3. Two product detection sensor When two products are stacked during product loading,
Check the product with two detection sensors and discard the product.
Perform re-pickup and load so that two cards do not come in and out.
【0071】4.フィーディング方式 フィーディング方式は、初期進入はコンベヤーフィーデ
ィングでストッパーまで進入した後、サブモータによる
ロール駆動方式でSTEP TO STEPと連続ロー
ルフィーディングの2モードに駆動することができる。4. Feeding Method In the feeding method, the initial entry is performed by conveyor feeding, and then the stopper is driven. Then, the roller can be driven in two modes, STEP TO STEP and continuous roll feeding, by a roll driving method using a sub motor.
【0072】5.インスペクション部センサー構成 1)連続検査 検査のための製品位置を決定するセンサーで製品のパイ
ロットホールを感知して、1ユニットにホールが1個以
上である場合、ピッチに1個のホールだけを認識し得る
ようにモードを設定するシステムでコントロールLCD
に入力する。センサーの位置決定が容易に行われるよう
に上下左右調整が便利になっている。5. Inspection part sensor configuration 1) Continuous inspection A sensor that determines the product position for inspection detects the pilot hole of the product, and if one unit has more than one hole, recognizes only one hole in the pitch. Control LCD with system setting mode to get
To enter. Up, down, left and right adjustments are convenient so that the position of the sensor can be easily determined.
【0073】2)STEP TO STEP検査 ストッパーから#1センサーまでの距離を入力し、ST
EPピッチを入力し、ストリップ内にユニット数を入力
する。2) STEP TO STEP inspection Enter the distance from the stopper to the # 1 sensor, and
Enter the EP pitch and the number of units in the strip.
【0074】ストッパーから#1センサーまでの入力さ
れた距離だけ移動した後STEPピッチに移動しユニッ
ト数だけ検査し、検査完了後に連続フィーディングに移
送される。After moving by the input distance from the stopper to the # 1 sensor, it moves to the STEP pitch, inspects the number of units, and after the inspection is completed, is transferred to continuous feeding.
【0075】映像処理部へのセンサ信号の伝達はマイク
ロプロセス又はPLCを介してコンピュータに伝達さ
れ、PLCを介してカメラとストロブ(STROBE)に伝達さ
れる。センサーの信号がPLCを介して伝達される場
合、ストロボ、カメラがそれぞれ作動して製品の形状を
撮影し、撮影された製品はコンピュータモニタに形状を
現しつつ合格及び不合格信号をPLCを介して送出す
る。The transmission of the sensor signal to the image processing unit is transmitted to a computer via a micro process or a PLC, and is transmitted to a camera and a strobe (STROBE) via the PLC. When the signal of the sensor is transmitted through the PLC, the strobe and the camera are respectively operated to photograph the shape of the product, and the photographed product shows the shape on the computer monitor while passing the pass and fail signals through the PLC. Send out.
【0076】6.不良品処理及び積層スタッカ 1)コンピュータ15からPLCを介して不合格信号及
び合格信号を送り、不良処理部ではセンサーから製品の
到達信号を接受し、合格である場合は製品を通過させ、
不良である場合はストッパーを作動させて製品を停止さ
せるとともにガイドレールのシャッタがオープンされ不
良スタッカに積層される。6. Defective product processing and stacking stacker 1) A reject signal and a pass signal are sent from the computer 15 via the PLC, and the defect processing section receives a product arrival signal from a sensor, and passes the product if passed.
If it is defective, the stopper is operated to stop the product, and the shutter of the guide rail is opened to stack the defective stacker.
【0077】2)不良スタッカのマガジンに製品が一杯
に積層された場合、センサーの感知によりランプが点滅
しながらベルを鳴らし、コントロールLCDに不良品が
フル(FULL)であることを表示し、不良スタッカのマガジ
ンが自動に下降して製品を取出すことになる。2) When the product is fully stacked in the magazine of the defective stacker, the lamp blinks and the bell rings while the sensor detects, indicating that the defective product is full (FULL) on the control LCD, and The stacker magazine will automatically descend and take out the product.
【0078】この際に、不良品が発生する場合、予備ス
タッカマガジンがONされ積層されて不良スタッカマガ
ジンの位置に来ると、予備スタッカはOFFされ、正常
状態にランニングされる。At this time, if a defective product occurs, the spare stacker magazine is turned on and when the defective stacker magazine is stacked and comes to the position of the defective stacker magazine, the spare stacker is turned off and running is performed in a normal state.
【0079】7.合格製品アンローディングデバイス
(間紙挿入及び製品ピックアップアンローディング) 合格製品として判定されて移送されてきた製品は、装備
の設計によってシャッタをオープンして積載した後、コ
ンベヤータイプに設定された数量だけバンドルを取出す
方法と、エア真空吸着パッドにより製品をピックアップ
し製品取出マガジンでスタッキングして取出を行う。7. Passed product unloading device (insertion of slip-sheets and unloading of product pick-up) Products that have been judged and transferred as passed products are loaded by opening the shutter according to the equipment design and then bundled in the quantity set for the conveyor type. The product is picked up by an air vacuum suction pad and the product is picked up and taken out by stacking it in a product takeout magazine.
【0080】製品間に間紙の挿入が必要である場合、挿
入も実行し得る。従って、本発明のICリードフレーム
自動検査システムの検査性能を評価するため、100ピ
ン及び160ピンリードフレーム製品をそれぞれ約20
0ストリップ程度をもって繰り返してテストした。この
実験では、先ず検査ソフトウェアとハードウェア、そし
て自動移送装置メカニズムの安定的な実行を中点的に確
認した。10回程度実験し、一度の実験で約3時間以上
続けて実行した結果、全体的には比較的安定した検査が
行われた。検査速度は秒当り最大5ユニット(10個の
映像)程度であった。前記実験用製品を一度検査装備に
通過させて不良、良品を判別した後、多数回の反復実験
を行った結果、約2%程度が異なる検査性能を現した。If it is necessary to insert a slip sheet between products, insertion can also be performed. Therefore, in order to evaluate the inspection performance of the IC lead frame automatic inspection system of the present invention, the 100-pin and 160-pin lead frame products were each reduced by about
The test was repeated with about 0 strips. This experiment first confirmed the stable implementation of the inspection software and hardware and the automatic transfer mechanism. The experiment was performed about 10 times, and was performed continuously for about 3 hours or more in one experiment. As a result, a relatively stable inspection was performed as a whole. The inspection speed was up to about 5 units (10 images) per second. The test product was once passed through inspection equipment to determine a defective or non-defective product, and a number of repetitive experiments were performed. As a result, about 2% different inspection performances were obtained.
【0081】検査精密度はサブピクセルを用いた計測方
法を使用して0.03mm単位まで測定することができ
る。The inspection precision can be measured down to a unit of 0.03 mm using a measurement method using sub-pixels.
【0082】[0082]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のICリー
ドフレーム自動検査システム及びその運用方法により、
以下に示す効果を奏する。As described above, according to the automatic lead frame inspection system of the present invention and the operation method thereof,
The following effects are obtained.
【0083】すなわち、これまで検査員の肉眼により進
行されたリードフレームの形状検査を高速自動化するこ
とができる。That is, the shape inspection of the lead frame which has been performed by the inspector with the naked eye can be automated at a high speed.
【0084】さらに、これまで検査対象が取り替えられ
る時ごとに5時間〜1日程度の長時間が所要された検査
仕様及び検査データの修正時間が30分〜2時間に短縮
されるので、検査の柔軟性を付与することができる。Furthermore, the time required to modify the inspection specifications and inspection data, which required a long time of about 5 hours to 1 day each time the inspection object was replaced, is reduced to 30 minutes to 2 hours. Flexibility can be provided.
【0085】又、本発明のシステムのリードフレーム自
動移送装置を用いて現場の生産設備との直接連結が可能
であるので、生産されたリードフレームがすぐ検査装備
に移送、検査されるため、別の運搬施設が不要な等の効
果を有する有用な発明である。Further, since the lead frame automatic transfer device of the system of the present invention can be directly connected to the production equipment at the site, the produced lead frame is immediately transferred to the inspection equipment and inspected. This is a useful invention having such an effect that a transportation facility is not required.
【図1】本発明のリードフレーム自動検査システムを示
す全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an automatic lead frame inspection system of the present invention.
【図2】本発明のピンポンアルゴニズムの方法を用いる
映像獲得方法を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an image acquisition method using the ping-pong algorithm of the present invention.
【図3】WindowsNT上で本発明の映像獲得スレ
ッドと検査スレッドを示す全体流れ図である。FIG. 3 is an overall flowchart showing an image acquisition thread and an inspection thread of the present invention on Windows NT.
【図4】本発明のパッドを用いて基準座標系を設定する
方法を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method of setting a reference coordinate system using the pad of the present invention.
【図5】(a)は本発明のコンピュータで実行された検
査ソフトウェアの検査モデル作成の例示図である。また
(b)はコンピュータで実行された検査ソフトウェアで
検査が進行されているリードスペーシング検査画面を示
す例示図である。FIG. 5A is a view showing an example of creating an inspection model of inspection software executed by the computer of the present invention. (B) is an exemplary diagram showing a lead spacing inspection screen in which an inspection is being performed by inspection software executed by a computer.
【図6】本発明のパッドとダムバー間の距離を測定する
方法を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory view showing a method for measuring a distance between a pad and a dam bar according to the present invention.
【図7】本発明のテープの形状検査方法に対する一例を
示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory view showing an example of the tape shape inspection method of the present invention.
【図8】本発明の検査システムにおいて対象とする多様
な形態のテープを示す図である。FIG. 8 is a view showing various types of tapes targeted in the inspection system of the present invention.
【図9】本発明のテープの形状検査のための方法として
使用した多角形縮小方法を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a polygon reduction method used as a method for inspecting the shape of a tape according to the present invention.
【図10】本発明の自動検査のためのリードフレーム自
動移送装置を示す図である。FIG. 10 is a view showing an automatic lead frame transfer device for automatic inspection according to the present invention.
100 主制御部,主制御コンピューター部 200 映像処理部 300 信号入出力部 400 CCDカメラ 500 照明制御部 501 照明 600 移送装置,自動移送装置 610 製品投入スタッカ 620 製品ローディング装置 630 製品移送装置 640 二枚検出センサ 650 製品分類装置 660 不良製品スタッカ 670 製品取出装置 680 運転操作パネル 690 制御装置 700 リードフレーム,ICリードフレーム 800 バッファ,映像バッファ Reference Signs List 100 main control unit, main control computer unit 200 image processing unit 300 signal input / output unit 400 CCD camera 500 lighting control unit 501 lighting 600 transfer device, automatic transfer device 610 product loading stacker 620 product loading device 630 product transfer device 640 two-sheet detection Sensor 650 Product classification device 660 Defective product stacker 670 Product removal device 680 Operation operation panel 690 Control device 700 Lead frame, IC lead frame 800 Buffer, video buffer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キム ヒョン ジン 大韓民国 大田廣域市 儒城區 グン洞 431−5 (72)発明者 リ イン ホ 大韓民国 大田廣域市 西區 ウルピョン 2洞 ベクハプアパート 104−1304 (72)発明者 ウィ ミョン チン 大韓民国 ブサン ヘウンデグ バンヨ− 1−ドン 543−1 (72)発明者 リ ゾン テク 大韓民国 ブサン ヘウンデグ バンヨ− 1−ドン 1411−10 現代アパート 301 −1005 (72)発明者 ホン ソク ドン 大韓民国 ブサン ブクグ グポ−1−ド ン 現代アパート 102−203 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kim Hyun Jin 431-5 Gun-dong, Yuseong-gu, Daejeon, Republic of Korea (72) Inventor Wi Myung Ching South Korea Busan Haeundeg Banyo 1-Don 543-1 (72) Inventor Lizon Tech South Korea Busan Haeundeg Banyo 1-Don 1411-10 Modern Apartment 301-1005 (72) Inventor Hong Suk Dong South Korea Busan Bukguk Gupo-dong Modern apartment 102-203
Claims (17)
照明制御部を備え、検査位置に到達したICリードフレ
ームの映像を撮影する映像撮影部と、 前記検査位置に到達したリードフレームを感知してリー
ドフレーム感知信号を発生する一つ以上のリードフレー
ムセンサーと、 前記映像撮影部により撮影された映像を獲得及び処理す
る映像処理部と、 検査すべきリードフレームを検査位置に一つずつ自動に
移送する自動移送装置と、 検査システムの全体動作を制御し、前記映像処理部から
映像を受信、検査し、検査した映像のリードフレームの
良品、不良品を決定する主制御部と、から構成されるこ
とを特徴とするICリードフレーム自動検査システム。1. An image photographing unit comprising one or more CCD cameras and one or more lighting control units for photographing an image of an IC lead frame reaching an inspection position, and detecting a lead frame reaching the inspection position. One or more lead frame sensors that generate a lead frame sensing signal, an image processing unit that acquires and processes images captured by the image capturing unit, and a lead frame to be inspected is automatically located one by one at the inspection position. An automatic transfer device for transferring the inspection image to the main frame, and a main control unit that controls the overall operation of the inspection system, receives and inspects the image from the image processing unit, and determines a non-defective or defective lead frame of the inspected image. An automatic IC lead frame inspection system.
ファを用いてA映像バッファにカメラの映像を入力受け
た後、A映像バッファから主制御コンピュータのメモリ
に映像データを移動する間、他方のB映像バッファに続
けてカメラから映像を入力受け、次の映像入力にはA、
B映像バッファの役割を取り替える過程を繰り返して遂
行することを特徴とする請求項1記載のICリードフレ
ーム自動検査システム。2. The video processing unit receives video of a camera in an A video buffer using two A and B video buffers and then transfers video data from the A video buffer to a memory of a main control computer. An image is received from the camera following the other B image buffer, and A,
2. The automatic IC lead frame inspection system according to claim 1, wherein the process of replacing the role of the B video buffer is repeatedly performed.
覚検査装置での動作命令をポインタ指示器で指示するこ
とができ、検査対象の良・不良及び位置大きさを視覚的
に出力するGUI(Graphic User Interface)を備えたこ
とを特徴とする請求項1記載のICリードフレーム自動
検査システム。3. A GUI (Graphic User) that can instruct an operation command in the automatic visual inspection apparatus for lead interval of an IC lead frame with a pointer indicator and visually outputs good / bad and position size of an inspection object. 2. The automatic IC lead frame inspection system according to claim 1, further comprising an interface.
照明制御部を備え、検査位置に到達したICリードフレ
ームの映像を撮影する映像撮影部と、 前記検査位置に到達したリードフレームを感知してリー
ドフレーム感知信号を発生する一つ以上のリードフレー
ムセンサーと、 前記映像撮影部により撮影された映像を獲得及び処理す
る映像処理部と、 検査すべきリードフレームを検査位置に一つずつ自動に
移送する自動移送装置と、 検査システムの全体動作を制御し、前記映像処理部から
映像を受信、検査し、検査した映像のリードフレームの
良品、不良品を決定する主制御部と、から構成され、 前記自動移送装置は、検査すべきリードフレームをスタ
ッキング及び供給する製品投入スタッカと、製品投入ス
タッカから供給された製品を一つずつ吸着して製品移送
部にローディングする製品ローディング装置と、ローデ
ィングされた製品を検査位置に移送する製品移送装置
と、二枚の製品吸着を感知する二枚検出センサーと、検
査結果によって検査された製品を分類する製品分類装置
と、不良製品をスタッキングする不良製品スタッカと、
良品製品を積層、取出する取出装置と、自動移送装置の
要求運転条件を設定及び表示する運転操作パネルと、自
動移送装置の全動作を制御する制御装置と、を備えるこ
とを特徴とするICリードフレーム自動検査システム。4. An image photographing unit comprising one or more CCD cameras and one or more illumination control units, for photographing an image of an IC lead frame reaching the inspection position, and detecting the lead frame reaching the inspection position. One or more lead frame sensors that generate a lead frame sensing signal, an image processing unit that acquires and processes images captured by the image capturing unit, And a main control unit that controls the overall operation of the inspection system, receives and inspects an image from the image processing unit, and determines a good or defective lead frame of the inspected image. The automatic transfer device includes a product input stacker for stacking and supplying a lead frame to be inspected, and a product supplied from the product input stacker. A product loading device that sucks and loads a product to a product transfer unit, a product transfer device that transfers the loaded product to an inspection position, a two-sheet detection sensor that senses two products being sucked, and an inspection result. A product classification device for classifying products, a defective product stacker for stacking defective products,
An IC lead comprising: an unloading device for stacking and unloading non-defective products; an operation operation panel for setting and displaying required operating conditions of the automatic transfer device; and a control device for controlling all operations of the automatic transfer device. Automatic frame inspection system.
程と、パッドを用いる基準座標系設定検査過程と、パッ
ド位置を捜して基準座標系が設定された後のリードスペ
ーシングを検査する過程と、パッドの移動有無を検査す
るパッド移動検査過程と、テープの形状を検査するテー
プ形状検査過程と、パンチング結果検査過程と、検査結
果統計処理過程とからなることを特徴とするICリード
フレーム自動検査システム運用方法。5. An image acquisition process for acquiring an image at a high speed, a reference coordinate system setting inspection process using a pad, and a lead position inspection after a reference coordinate system is set by searching a pad position. A pad movement inspection process for inspecting the presence / absence of pad movement, a tape shape inspection process for inspecting a tape shape, a punching result inspection process, and an inspection result statistical processing process. Inspection system operation method.
ズムによって撮影された映像に対する処理をその映像に
後続する映像の撮影と同時になし得る方式で行うことを
特徴とする請求項5記載のICリードフレーム自動検査
システム運用方法。6. The automatic lead frame as claimed in claim 5, wherein the image acquiring step performs a process on an image photographed by a ping-pong algorithm simultaneously with the photographing of a subsequent image. Inspection system operation method.
垂直及び水平方向の2直線(Lh、Lv)上でのパッド
の境界点を捜し、この境界点から概略的なパッドの位置
を示す長方形を求め、この長方形を垂直及び水平方向に
それぞれn等分する直線を求め、この直線に沿いながら
パッドの境界に会う総4n個の境界点を求め、パッドの
各辺ごとのn個の境界点に最も近似した直線を求め、こ
れを用いてパッドの中心と傾きを計算することを特徴と
する請求項5記載のICリードフレーム自動検査システ
ム運用方法。7. The reference coordinate system setting finds a boundary point of a pad on two vertical and horizontal lines (Lh, Lv) passing through the center of an image, and indicates a rough position of the pad from the boundary point. A rectangle is obtained, and a straight line that divides this rectangle into n parts in the vertical and horizontal directions is obtained. A total of 4n boundary points meeting the boundary of the pad along this straight line are obtained, and n boundary points for each side of the pad are obtained. 6. The method according to claim 5, wherein a straight line closest to the point is obtained, and the center and the inclination of the pad are calculated using the straight line.
を捜し、パッドの中心を原点とし、傾きだけ回転された
座標系を基準座標系(xy)として設定し、これを検査
に用いることを特徴とする請求項5記載のICリードフ
レーム自動検査システム運用方法。8. In the lead spacing, a pad position is searched, a coordinate system rotated by a tilt is set as a reference coordinate system (xy) with the center of the pad as an origin, and this is used for inspection. The method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to claim 5.
に対応するパッドの一辺間の長さを測定して検査するこ
とを特徴とする請求項5記載のICリードフレーム自動
検査システム運用方法。9. The IC lead frame automatic inspection system operation method according to claim 5, wherein the pad movement is inspected by measuring a length between a dam bar and one side of a pad corresponding to the dam bar.
されるとリードフレームテープ境界線のCADデータを
基準座標系上に変換し、前記基準座標系上に変換された
テープ境界線を与えられた公差だけ拡大及び縮小し、検
査しようとするテープの境界線が置かれる領域を設定す
ることを特徴とする請求項5記載のICリードフレーム
自動検査システム運用方法。10. The tape shape is such that when a reference coordinate system is set, CAD data of a lead frame tape boundary line is converted into a reference coordinate system, and the converted tape boundary line is given on the reference coordinate system. 6. The method according to claim 5, further comprising setting an area in which the boundary of the tape to be inspected is placed by enlarging and reducing by the tolerance.
に位置し、その境界線の位置に相当する映像は一定値以
上の明るい画素の数が一定比率以上でなければならな
く、縮小された前記境界線はテープの内部に位置し、そ
の境界線の位置に相当する映像は一定明るさ以下の暗い
画素の数が一定比率以上でなければならないことを特徴
とする請求項10記載のICリードフレーム自動検査シ
ステム運用方法。11. The enlarged boundary is located outside the tape, and an image corresponding to the position of the boundary must be reduced in that the number of bright pixels having a certain value or more must be a certain ratio or more. 11. The IC lead according to claim 10, wherein the boundary line is located inside the tape, and an image corresponding to the position of the boundary line must have a number of dark pixels having a certain brightness or less and a certain ratio or more. Automatic frame inspection system operation method.
法は、任意の多角形を拡大及び縮小する方法を用いるこ
とを特徴とする請求項10記載のICリードフレーム自
動検査システム運用方法。12. The method according to claim 10, wherein the method of enlarging / reducing the tape boundary line uses a method of enlarging and reducing an arbitrary polygon.
の頂点から最高y値を有する頂点を求めた後、この頂点
を共通に有する2辺の位置を調査し、この頂点と次の頂
点間の辺の拡大又は縮小された位置を決め、頂点を一つ
ずつ移し、移した頂点を共通とする2辺の位置と直前の
拡大又は縮小された辺の位置を考慮して、現在頂点と次
の頂点間の辺の拡大又は縮小された位置を決めることを
特徴とする請求項12記載のICリードフレーム自動検
査システム運用方法。13. The enlargement and reduction of the polygon is performed by obtaining a vertex having the highest y value from the vertices of the polygon, and then examining the positions of two sides having the vertex in common. Determine the enlarged or reduced position of the side in between, move the vertices one by one, and consider the position of the two sides that share the moved vertex and the position of the immediately expanded or reduced side, and consider the current vertex 13. The method according to claim 12, wherein an enlarged or reduced position of a side between the next vertices is determined.
パンチング位置でパンチングされた領域を捜し、この領
域の面積、境界線の長さ、稠密度等のような幾何学的特
徴を用いて検査することを特徴とする請求項5記載のI
Cリードフレーム自動検査システム運用方法。14. The punching defect is searched for a punched area at a specified punching position and inspected using geometric features such as the area of this area, the length of the boundary line, the density, and the like. I according to claim 5, characterized in that:
C lead frame automatic inspection system operation method.
独立スレッドで設計し、その映像獲得手段には二つ以上
の映像バッファを用いることにより、検査が進行中であ
っても一つ以上の映像を予め獲得し得るようにして全体
検査速度を高めることを特徴とする請求項5記載のIC
リードフレーム自動検査システム運用方法。15. The video acquisition means and the inspection means are designed in two independent threads, and the video acquisition means uses two or more video buffers, so that even if the inspection is in progress, one or more 6. The IC according to claim 5, wherein the whole inspection speed is increased by acquiring images in advance.
Operation method of lead frame automatic inspection system.
ームの移送を開始する段階と、移送された部品をセンサ
ーが検出したかを判断し、検出したら次の段階に移動
し、そうでないとこの過程を繰り返して遂行する段階
と、映像を獲得する段階と、獲得した映像があるかを判
断し、獲得した映像がないと前の段階に戻り前記過程を
繰り返して遂行し、そうでないと次の段階に移動する段
階と、移送を停止する段階と、再度獲得した映像がある
かを判断し、獲得した映像がないと最初の移送開始の段
階に戻り、そうでないと本過程を繰り返して遂行する段
階とからなることを特徴とする請求項15記載のICリ
ードフレーム自動検査システム運用方法。16. The image acquisition thread determines whether to start the transfer of the lead frame, determines whether a sensor detects the transferred component, and moves to the next step if detected, otherwise proceeds to the next step. Iteratively performing, acquiring an image, and determining whether there is an acquired image.If there is no acquired image, the process returns to the previous stage and repeats the above process. Otherwise, the process proceeds to the next stage. Moving, stopping the transfer, judging whether there is any reacquired image, returning to the initial transfer start stage if there is no acquired image, otherwise repeating the process. The method for operating an automatic IC lead frame inspection system according to claim 15, comprising:
ドフレーム映像であるかを判断し、リードフレーム映像
であると次の段階に移動し、そうでないと本過程を繰り
返して遂行する段階と、検出パッドであるかを判断し、
検出パッドであると次の段階に移動し、そうでないと最
初の段階に戻る段階と、テープ検査して欠陥があるかを
判断する段階と、欠陥があると欠点信号を出して最初の
段階に戻り、欠点がないと通過信号を出して最初の段階
に戻る過程を遂行する段階とからなることを特徴とする
請求項15記載のICリードフレーム自動検査システム
運用方法。17. The inspection thread determines whether the image is a lead frame image to be inspected, and if the image is a lead frame image, moves to the next step; otherwise, repeats this process, and Judge whether it is a pad,
If it is a detection pad, move to the next step, otherwise return to the first step, tape inspection to determine whether there is a defect, and if there is a defect, send a defect signal to the first step 16. The method according to claim 15, further comprising: performing a process of returning to the initial stage by outputting a passing signal if there is no defect.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990817 |