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JPH11183884A - Display device - Google Patents

Display device

Info

Publication number
JPH11183884A
JPH11183884A JP9365372A JP36537297A JPH11183884A JP H11183884 A JPH11183884 A JP H11183884A JP 9365372 A JP9365372 A JP 9365372A JP 36537297 A JP36537297 A JP 36537297A JP H11183884 A JPH11183884 A JP H11183884A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
electrode
internal
discharge
mercury vapor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9365372A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Seki
敦司 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP9365372A priority Critical patent/JPH11183884A/en
Publication of JPH11183884A publication Critical patent/JPH11183884A/en
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To lessen the leakage of the mercury vapor packed in a display device utilizing plasma discharge. SOLUTION: A plasma cell 2 is divided to a junction region where a sealing material 11 is disposed, a hermetically closed internal region which exists on the inner side thereof and an opened external region which exists on the outer side of the junction region. External electrodes 20 extended from the junction region to the external region and internal electrodes extended from the junction region to the internal region are formed on a substrate 8 of one side. The internal electrodes consist of a series connection of discharge electrodes 9 and pad electrodes 19. The internal region is filled with ionizable gas which generates an electric discharge according to the voltage impressed on the discharge electrodes 9 via the external electrodes 20 and the mercury vapor for preventing the deterioration of the discharge electrodes 9 by the electric discharge. Insulating films 21 covering the ends of the discharge electrodes 9 and the pad electrodes 19 are formed from part of the internal region to part of the junction region in order to prevent the abnormal electric discharge. The outermost end edges 21T of the insulating films 21 advancing into the junction region from the internal region retreat toward the internal region side from the outermost end edges 19T at the ends of the pad electrodes 19 to prevent the contact of the mercury vapor with the external electrodes 20 through the insulating films 21.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマ放電を利用
した表示装置に関する。詳しくは、表示装置を構成する
プラズマセルの封止構造に関する。より詳しくは、信頼
性を向上させるためにプラズマセル内に導入された水銀
蒸気の漏洩防止技術に関する。
The present invention relates to a display device utilizing plasma discharge. Specifically, the present invention relates to a sealing structure of a plasma cell included in a display device. More specifically, the present invention relates to a technique for preventing leakage of mercury vapor introduced into a plasma cell in order to improve reliability.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマ放電を利用した表示装置はフラ
ットパネル型であり、大型ディスプレイとして注目を集
めている。プラズマ放電を直接表示に利用したPDP
(プラズマディスプレイパネル)や、プラズマセルを液
晶セルなどのアドレシングに用いたPALC(プラズマ
アドレス液晶表示装置)が盛んに開発されている。プラ
ズマアドレス液晶表示装置は例えば特開平4−2659
31号公報に開示されており、その概要を図4に示す。
この表示装置は表示セル1とプラズマセル2と両者の間
に介在する共通の中間基板3とからなるフラットパネル
構造を有している。プラズマセル2は中間基板3に接合
した下側基板8から構成されており、両者の間隙にイオ
ン化可能な気体が封入されている。下側基板8の内表面
にはストライプ状の放電電極9が形成されている。放電
電極9はスクリーン印刷法などにより平坦な基板8上に
印刷焼成できるので、生産性や作業性に優れているとと
もに微細化が可能である。放電電極9の上には隔壁10
が形成されており、イオン化可能な気体が封入された間
隙を分割して放電チャネル12を構成する。この隔壁1
0もスクリーン印刷法などにより印刷焼成でき、その頂
部が中間基板3の下面側に当接している。ストライプ状
の放電電極9は交互にアノードA及びカソードKとして
機能し、両者の間にプラズマ放電を発生させる。なお、
中間基板3と下側基板8はガラスフリットなどのシール
材11により互いに接合している。
2. Description of the Related Art A display device using a plasma discharge is of a flat panel type and has attracted attention as a large display. PDP using plasma discharge for direct display
(Plasma display panel) and PALC (Plasma Addressed Liquid Crystal Display) using a plasma cell for addressing a liquid crystal cell and the like have been actively developed. A plasma addressed liquid crystal display device is disclosed in, for example,
No. 31, the outline of which is shown in FIG.
This display device has a flat panel structure including a display cell 1, a plasma cell 2, and a common intermediate substrate 3 interposed between the display cell 1 and the plasma cell 2. The plasma cell 2 is composed of a lower substrate 8 bonded to the intermediate substrate 3, and an ionizable gas is sealed in a gap between the two. On the inner surface of the lower substrate 8, a striped discharge electrode 9 is formed. Since the discharge electrode 9 can be printed and baked on the flat substrate 8 by a screen printing method or the like, it is excellent in productivity and workability and can be miniaturized. A partition 10 is provided on the discharge electrode 9.
Are formed, and the gap filled with the ionizable gas is divided to form the discharge channel 12. This partition 1
0 can also be printed and baked by a screen printing method or the like, and the top portion is in contact with the lower surface side of the intermediate substrate 3. The striped discharge electrodes 9 function alternately as anodes A and cathodes K, and generate a plasma discharge between them. In addition,
The intermediate substrate 3 and the lower substrate 8 are joined to each other by a sealing material 11 such as a glass frit.

【0003】一方表示セル1は透明な上側基板4を用い
て構成されている。この上側基板4は中間基板3に所定
の間隙を介して接着剤6により貼着されており、間隙に
は液晶などの電気光学物質7が充填されている。上側基
板4の内表面には信号電極5が形成されている。この信
号電極5はストライプ状の放電チャネル12と直交して
いる。信号電極5と放電チャネル12の交差部分にマト
リクス状の画素が規定される。
On the other hand, the display cell 1 is constituted by using a transparent upper substrate 4. The upper substrate 4 is adhered to the intermediate substrate 3 via a predetermined gap with an adhesive 6, and the gap is filled with an electro-optical material 7 such as a liquid crystal. The signal electrode 5 is formed on the inner surface of the upper substrate 4. This signal electrode 5 is orthogonal to the striped discharge channel 12. Pixels in a matrix are defined at intersections between the signal electrodes 5 and the discharge channels 12.

【0004】係る構成を有するプラズマアドレス表示装
置では、プラズマ放電が行われる行状の放電チャネル1
2を線順次で切換走査するとともに、この走査に同期し
て表示セル1側の列状信号電極5に画像信号を印加する
ことにより表示駆動が行われる。放電チャネル12内に
プラズマ放電が発生すると内部はほぼ一様にアノード電
位になり一行毎の画素選択が行われる。即ち放電チャネ
ル12はサンプリングスイッチとして機能する。プラズ
マサンプリングスイッチが導通した状態で各画素に画像
信号が印加されると、サンプリングが行われ画素の点灯
もしくは消灯が制御できる。プラズマサンプリングスイ
ッチが非導通状態になった後にも画像信号はそのまま画
素内に保持される。
In the plasma addressed display device having such a configuration, a row-shaped discharge channel 1 in which a plasma discharge is performed is provided.
2 is switched in a line-sequential manner, and display driving is performed by applying an image signal to the column signal electrodes 5 on the display cell 1 side in synchronization with the scanning. When a plasma discharge is generated in the discharge channel 12, the inside becomes almost uniformly at the anode potential, and pixel selection for each row is performed. That is, the discharge channel 12 functions as a sampling switch. When an image signal is applied to each pixel in a state where the plasma sampling switch is turned on, sampling is performed and lighting or extinguishing of the pixel can be controlled. Even after the plasma sampling switch is turned off, the image signal is held in the pixel as it is.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】プラズマセル2の放電
チャネル12にはイオン化可能な気体の他、水銀蒸気も
封入されている。水銀蒸気はプラズマ放電による放電電
極9のスパッタを抑制し、プラズマセル2の寿命を確保
するために用いられる。しかしながら、従来のプラズマ
セル2の封止構造は必ずしも完全ではなく、製造段階で
加熱処理などを施すと内部に封入された水銀蒸気が端子
取り出し用の外部電極と反応して合金(アマルガム)を
形成するという課題があった。アマルガム化するとセル
内部の水銀蒸気量が不足してしまう。又、アマルガム化
により外部電極の体積が変化し、最悪の場合断線などが
生じる。本発明は上述したアマルガム化を軽減すること
を目的とする。
The discharge channel 12 of the plasma cell 2 is filled with mercury vapor in addition to an ionizable gas. The mercury vapor is used to suppress the sputtering of the discharge electrode 9 due to the plasma discharge and to secure the life of the plasma cell 2. However, the sealing structure of the conventional plasma cell 2 is not always perfect, and when a heat treatment or the like is performed in the manufacturing stage, the mercury vapor enclosed therein reacts with an external electrode for extracting a terminal to form an alloy (amalgam). There was a problem to do. When amalgamated, the amount of mercury vapor inside the cell becomes insufficient. Further, the volume of the external electrode changes due to amalgamation, and in the worst case, disconnection or the like occurs. An object of the present invention is to reduce the amalgamation described above.

【0006】[0006]

【課題を解決する為の手段】上述した従来の技術の課題
を解決するために以下の手段を講じた。即ち、本発明に
係るプラズマアドレス表示装置は中間基板を介して互い
に重なった表示セルとプラズマセルとからなるフラット
パネル構造を有する。該表示セルは所定の間隙を介して
該中間基板に接合した上側基板と、該間隙に保持された
電気光学物質と、該上側基板に形成された列状の信号電
極とを有する。該プラズマセルはシール材を介して該中
間基板に接合した下側基板を用いて構成されており、該
シール材が配された接合領域と、該接合領域の内側に位
置する密閉された内部領域と、該接合領域の外側に位置
する開放された外部領域とに別れている。該下側基板に
は接合領域から外部領域に延設された行状の外部電極
と、接合領域から内部領域に延設された行状の内部電極
とが形成され、接合領域で内部電極が外部電極と電気的
に接続している。該内部領域は外部電極を介して内部電
極に印加される電圧に応じて放電を発生するイオン化可
能な気体と、放電による内部電極の劣化を防止する水銀
蒸気とで満たされている。また、異常放電を防止するた
めに内部領域の一部から接合領域の一部にかけて内部電
極の端部を被覆する絶縁膜が形成されている。特徴事項
として、内部領域から接合領域に進入した該絶縁膜の最
外端縁が該内部電極の端部の最外端縁より内部領域側に
向かって後退しており、水銀蒸気が該絶縁膜を通じて外
部電極に接触し難いようにしている。
The following means have been taken in order to solve the above-mentioned problems of the prior art. That is, the plasma addressed display device according to the present invention has a flat panel structure including a display cell and a plasma cell which are overlapped with each other via an intermediate substrate. The display cell has an upper substrate joined to the intermediate substrate via a predetermined gap, an electro-optical material held in the gap, and a row of signal electrodes formed on the upper substrate. The plasma cell is configured using a lower substrate bonded to the intermediate substrate via a sealing material, and includes a bonding region in which the sealing material is disposed, and a sealed internal region located inside the bonding region. And an open outer region located outside the joining region. A row-shaped external electrode extending from the bonding region to the external region and a row-shaped internal electrode extending from the bonding region to the internal region are formed on the lower substrate, and the internal electrode is connected to the external electrode in the bonding region. Electrically connected. The internal region is filled with an ionizable gas that generates a discharge according to a voltage applied to the internal electrode via the external electrode, and mercury vapor that prevents deterioration of the internal electrode due to the discharge. Further, in order to prevent abnormal discharge, an insulating film covering an end of the internal electrode is formed from a part of the internal region to a part of the bonding region. As a characteristic feature, the outermost edge of the insulating film that has entered the bonding region from the inner region is receded from the outermost edge of the end of the internal electrode toward the inner region, and mercury vapor is removed from the insulating film. Through to prevent contact with the external electrode.

【0007】本発明は上述したプラズマアドレス表示装
置の他、通常のプラズマ表示装置にも適用できる。プラ
ズマ表示装置は基本的に、シール材を介して互いに接合
した一対の基板からなるセル構造を有する。該セル構造
は該シール材が配された接合領域と、該接合領域の内側
に位置する密閉された内部領域と、該接合領域の外部に
位置する開放された外部領域とに別れている。片側の基
板には接合領域から外部領域に延設された外部電極と、
接合領域から内部領域に延設された内部電極とが形成さ
れ、接合領域で内部電極が外部電極と電気的に接続して
いる。該内部領域は外部電極を介して内部電極に印加さ
れる電圧に応じて放電を発生するイオン化可能な気体
と、放電による内部電極の劣化を防止する水銀蒸気とで
満たされている。また、異常放電を防止するために内部
領域の一部から接合領域の一部にかけて内部電極の端部
を被覆する絶縁膜が形成されている。特徴事項として、
内部領域から接合領域に進入した該絶縁膜の最外端縁が
該内部電極の端部の最外端縁より内部領域側に向かって
後退しており、水銀蒸気が側絶縁膜を通じて外部電極に
接触し難いようにしている。好ましくは、前記内部電極
は放電に適するように比較的粗な組成を有する放電電極
と水銀蒸気が透過しにくいように比較的密な組成を有す
るパッド電極とからなる。該放電電極は該パッド電極を
介して該外部電極に接続している。該パッド電極はニッ
ケル、又はクロムからなる。また、前記内部電極は水銀
蒸気と反応し難いニッケルを用い、前記外部電極は水銀
蒸気と反応し易い金、銀または銅を用いる。また、前記
絶縁膜はガラス被膜からなる。
The present invention can be applied to ordinary plasma display devices in addition to the above-described plasma address display device. The plasma display device basically has a cell structure including a pair of substrates joined to each other via a sealing material. The cell structure is divided into a joint area in which the sealing material is disposed, a sealed internal area located inside the joint area, and an open external area located outside the joint area. On one side of the substrate is an external electrode extending from the bonding area to the external area,
An internal electrode extending from the bonding region to the internal region is formed, and the internal electrode is electrically connected to the external electrode in the bonding region. The internal region is filled with an ionizable gas that generates a discharge according to a voltage applied to the internal electrode via the external electrode, and mercury vapor that prevents deterioration of the internal electrode due to the discharge. Further, in order to prevent abnormal discharge, an insulating film covering an end of the internal electrode is formed from a part of the internal region to a part of the bonding region. As a feature,
The outermost edge of the insulating film that has entered the bonding region from the internal region is receded from the outermost edge of the end of the internal electrode toward the internal region, and mercury vapor is transferred to the external electrode through the side insulating film. Make it difficult to contact. Preferably, the internal electrode comprises a discharge electrode having a relatively coarse composition suitable for discharge and a pad electrode having a relatively dense composition so that mercury vapor is hardly permeated. The discharge electrode is connected to the external electrode via the pad electrode. The pad electrode is made of nickel or chromium. The inner electrode is made of nickel which does not easily react with mercury vapor, and the outer electrode is made of gold, silver or copper which easily reacts with mercury vapor. Further, the insulating film is made of a glass film.

【0008】プラズマセルは接合領域で内部電極と外部
電極が互いに電気接続している。また、内部電極の端部
における異常放電を防止するため、ガラス被膜などの絶
縁膜も形成されており、これも一部が接合領域に存在す
る。ガラス被膜などからなる絶縁膜は比較的容易に水銀
蒸気を透過する。一方、外部電極は接合領域における封
止性を確保するため、金、銀、銅などを用いている。こ
れらの金属は水銀蒸気と反応してアマルガムを形成する
性質がある。本発明では、水銀蒸気の通路となる絶縁膜
を内部電極より後退させることで、水銀蒸気が外部電極
と直接接触し難い構造を採用する。係る構造により外部
電極のアマルガム化が軽減され、放電チャネル内に充填
された水銀蒸気の損失を大幅に抑制可能である。
In a plasma cell, an internal electrode and an external electrode are electrically connected to each other in a bonding region. An insulating film such as a glass film is also formed to prevent abnormal discharge at the end of the internal electrode, and a part of the insulating film also exists in the bonding region. An insulating film made of a glass film or the like transmits mercury vapor relatively easily. On the other hand, the external electrodes are made of gold, silver, copper, or the like in order to secure sealing properties in the bonding region. These metals have the property of reacting with mercury vapor to form amalgam. The present invention employs a structure in which the mercury vapor hardly comes into direct contact with the external electrode by retracting the insulating film serving as a passage for the mercury vapor from the internal electrode. With such a structure, amalgamation of the external electrode is reduced, and loss of mercury vapor filled in the discharge channel can be significantly suppressed.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図1は本発明に係る表示装置
を示す模式図であり、プラズマアドレス型の表示装置を
表わしている。なお、理解を容易にするため図4に示し
たプラズマアドレス表示装置と対応する部分には対応す
る参照番号を付してある。但し、本発明はプラズマアド
レス型の表示装置ばかりでなく、通常のプラズマ表示装
置にも適用可能であることは言うまでもない。図1の
(A)は本プラズマアドレス表示装置の模式的な部分平
面図であり、(B)は(A)に対応する部分の模式的な
断面構造を表わしている。これらの部分平面図(A)及
び部分断面図(B)は特にプラズマアドレス表示装置の
接合領域近傍に着目した図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing a display device according to the present invention, and shows a plasma-addressed display device. To facilitate understanding, portions corresponding to those of the plasma address display device shown in FIG. 4 are denoted by corresponding reference numerals. However, it goes without saying that the present invention can be applied not only to a plasma address type display device but also to a normal plasma display device. FIG. 1A is a schematic partial plan view of the present plasma addressed display device, and FIG. 1B shows a schematic sectional structure of a portion corresponding to FIG. These partial plan views (A) and partial cross-sectional views (B) focus on the vicinity of the bonding region of the plasma addressed display device.

【0010】図1の(A)及び(B)に示すように、本
表示装置はガラスフリットなどからなるシール材11を
介して互いに重なった表示セル1とプラズマセル2とか
らなるフラットパネル構造を有する。表示セル1は所定
の間隙を介して中間基板3に接合した上側基板4と、こ
の間隙に保持された液晶などの電気光学物質7と、上側
基板4に形成された列状の信号電極5とを有する。
(B)に示すように、信号電極5の列方向は紙面と垂直
に取ってある。なお、上側基板4と中間基板3は接着剤
6により互いに接合されている。
As shown in FIGS. 1A and 1B, the present display device has a flat panel structure including a display cell 1 and a plasma cell 2 which are overlapped with each other via a sealing material 11 made of glass frit or the like. Have. The display cell 1 includes an upper substrate 4 joined to the intermediate substrate 3 with a predetermined gap, an electro-optical material 7 such as liquid crystal held in the gap, and a row of signal electrodes 5 formed on the upper substrate 4. Having.
As shown in (B), the column direction of the signal electrodes 5 is set perpendicular to the paper surface. Note that the upper substrate 4 and the intermediate substrate 3 are joined to each other by an adhesive 6.

【0011】一方、プラズマセル2はガラスフリットな
どのシール材11を介して中間基板3に接合した下側基
板8を用いて構成されている。プラズマセル2はシール
材11が配された接合領域と、該接合領域の内側に位置
する密閉された内部領域と、該接合領域の外側に位置す
る開放された外部領域とに別れている。下側基板8には
接合領域から外部領域に延設された行状の外部電極20
と、接合領域から内部領域に延設された行状の内部電極
とが形成され、接合領域で内部電極が外部電極と電気的
に接続している。(B)に示す様に、行方向は紙面と平
行である。本実施形態では、内部電極は放電に適するよ
うに比較的粗な組成を有する放電電極9と水銀蒸気が透
過し難いように比較的密な組成を有するパッド電極19
とからなる。放電電極9はパッド電極19を介して外部
電極20に接続している。
On the other hand, the plasma cell 2 is configured using a lower substrate 8 bonded to the intermediate substrate 3 via a sealing material 11 such as a glass frit. The plasma cell 2 is divided into a joining region in which the sealing material 11 is arranged, a sealed inner region located inside the joining region, and an open outer region located outside the joining region. Row-shaped external electrodes 20 extending from the bonding region to the external region are provided on the lower substrate 8.
And a row-shaped internal electrode extending from the joint region to the internal region are formed, and the internal electrode is electrically connected to the external electrode in the joint region. As shown in (B), the row direction is parallel to the paper surface. In this embodiment, the internal electrode has a discharge electrode 9 having a relatively coarse composition suitable for discharge and a pad electrode 19 having a relatively dense composition so that mercury vapor is hardly permeated.
Consists of The discharge electrode 9 is connected to an external electrode 20 via a pad electrode 19.

【0012】内部領域は外部電極(端子電極)20を介
して放電電極9に印加される電圧に応じて放電を発生さ
せるイオン化可能な気体と、プラズマ放電による放電電
極9の劣化を防止する水銀蒸気とで満たされている。な
お、放電電極9はストライプ状に行方向に沿って形成さ
れており、交互にアノードA及びカソードKとして機能
する。各アノードAの上には隔壁10が形成されてい
る。この隔壁10は内部領域全体に渡って行状に形成さ
れている。これと対応するように外部電極20の上にも
隔壁10が形成されている。これらの隔壁10は中間基
板3と下側基板8との間のスペーサとしての機能を果た
す。隔壁10は接合領域から部分的に除かれている。こ
の除かれた部分に、ガラスフリットなどのシール材11
が供給される構造となっている。
The inner region includes an ionizable gas that generates a discharge in accordance with a voltage applied to the discharge electrode 9 via an external electrode (terminal electrode) 20, and a mercury vapor that prevents deterioration of the discharge electrode 9 due to plasma discharge. And are filled with. The discharge electrodes 9 are formed in a stripe shape along the row direction, and function alternately as anodes A and cathodes K. A partition 10 is formed on each anode A. The partition walls 10 are formed in rows over the entire internal region. Correspondingly, the partition 10 is also formed on the external electrode 20. These partitions 10 function as spacers between the intermediate substrate 3 and the lower substrate 8. The partition 10 is partially removed from the bonding area. A sealing material 11 such as a glass frit is provided on the removed portion.
Is supplied.

【0013】異常放電を防止するために内部領域の一部
から接合領域の一部にかけて放電電極9及びパッド電極
19の端部を被覆する絶縁膜21が形成されている。な
お、外部電極20も絶縁膜21によって被覆されてい
る。内部領域の中央ではプラズマ放電が安定に発生する
が、内部領域の周辺部ではプラズマ放電が不安定にな
る。このような異常放電は表示装置の画像品位を損なう
ため、本実施形態では内部電極の端部を被覆するように
絶縁膜21が形成されている。絶縁膜21としてはガラ
ス被膜が典型的に用いられる。特徴事項として、内部領
域から接合領域に進入した絶縁膜21の最外端縁21T
がパッド電極19の端部の最外端縁19Tより内部領域
側に向かって後退している。係る構成により、水銀蒸気
が絶縁膜21を通じて外部電極20に接触し難いように
している。(B)に示すように、絶縁膜21と外部電極
20との間にはパッド電極19がはみ出た構造となって
いる。前述したように、主として内部領域に位置する放
電電極9はプラズマ放電に適するように比較的粗な組成
を有する。主として接合領域に位置するパッド電極19
は逆に水銀蒸気が透過し難いように比較的密な組成を有
する。内部電極を構成するこれらの放電電極9及びパッ
ド電極19は一般に水銀蒸気と反応し難いニッケルを用
いる。これに対し、主として外部領域に位置する外部電
極20は接合領域における封止性を高める為金、銀また
は銅を用いる。これらの金属元素は水銀蒸気と反応し易
くアマルガム化する。なお、パッド電極としてはニッケ
ル(Ni)の他クロム(Cr)を用いることもできる。
クロムは印刷焼成を行なっても問題なく放電電極9や外
部電極20との導通性を維持できる。又、印刷焼成の
時、酸化して絶縁体になる心配も無い。
In order to prevent abnormal discharge, an insulating film 21 covering the ends of the discharge electrode 9 and the pad electrode 19 is formed from a part of the internal region to a part of the bonding region. Note that the external electrode 20 is also covered with the insulating film 21. Plasma discharge occurs stably at the center of the internal region, but becomes unstable at the periphery of the internal region. Since such abnormal discharge impairs the image quality of the display device, in the present embodiment, the insulating film 21 is formed so as to cover the end of the internal electrode. As the insulating film 21, a glass film is typically used. As a characteristic matter, the outermost edge 21T of the insulating film 21 that has entered the bonding region from the internal region.
Are receded from the outermost edge 19T of the end of the pad electrode 19 toward the internal region. With such a configuration, the mercury vapor is hardly brought into contact with the external electrode 20 through the insulating film 21. As shown in FIG. 3B, the pad electrode 19 has a structure between the insulating film 21 and the external electrode 20. As described above, the discharge electrode 9 located mainly in the inner region has a relatively coarse composition suitable for plasma discharge. Pad electrode 19 mainly located in the bonding region
Conversely, has a relatively dense composition so that mercury vapor is difficult to permeate. The discharge electrode 9 and the pad electrode 19 constituting the internal electrode generally use nickel which hardly reacts with mercury vapor. On the other hand, gold, silver, or copper is mainly used for the external electrode 20 located in the external region in order to enhance the sealing property in the bonding region. These metal elements easily react with mercury vapor to form amalgam. Note that chromium (Cr) may be used as the pad electrode in addition to nickel (Ni).
Chromium can maintain conductivity with the discharge electrode 9 and the external electrode 20 without any problem even when printing and baking. In addition, there is no need to worry about oxidation to become an insulator during printing and firing.

【0014】外部電極20のアマルガム化の問題を軽減
する為、本発明では(B)に示す様に、内部領域から接
合領域に進入した絶縁膜21の最外端縁21Tがパッド
電極19の端部の最外端縁19Tより内部領域側に向か
って後退しており、水銀蒸気が絶縁膜21を通じて外部
電極20に接触し難い様にしている。係る構造にする
と、外部電極(端子電極)20がパッド電極19と重な
る部分に水銀蒸気が到達する経路が、保護膜21の最外
端縁21Tが後退した分狭く制限される。従って、外部
電極20のアマルガム化が軽減され、放電チャネル内に
満たされた水銀蒸気の損失は抑制される。
In order to reduce the problem of amalgamation of the external electrode 20, according to the present invention, as shown in FIG. The portion recedes from the outermost edge 19T of the portion toward the inner region side, so that mercury vapor hardly contacts the external electrode 20 through the insulating film 21. With such a structure, the path through which the mercury vapor reaches the portion where the external electrode (terminal electrode) 20 overlaps the pad electrode 19 is narrowed by the retreat of the outermost edge 21T of the protective film 21. Therefore, the amalgamation of the external electrode 20 is reduced, and the loss of the mercury vapor filled in the discharge channel is suppressed.

【0015】図2は、プラズマアドレス表示装置の参考
例を表わしており、図1の(B)に示した本発明の実施
形態と対応する部分には対応する参照番号を付して理解
を容易にしている。この参考例では絶縁膜21の最外端
縁21Tがパッド電極19の最外端縁19Tの位置まで
前進している為、内部領域に満たされた水銀蒸気は絶縁
膜21を透過して、容易に外部電極20の端部に到達
し、アマルガム化が生じる。プラズマセル2において、
ニッケルを放電電極9の構成材料とする場合、前述した
ようにプラズマセル2の内部領域に水銀蒸気を拡散させ
ている。これは、ニッケルからなる放電電極9のプラズ
マ放電に伴うスパッタを抑制して、プラズマセル2の寿
命を確保することが目的である。従って、この水銀蒸気
が外部領域側の外部電極20とアマルガムを形成して、
放電チャネル内の水銀蒸気が失われると信頼性上問題と
なる。前述したように、外部電極20は金あるいは銀な
どのアマルガムを形成し易い金属材料を用いている。
FIG. 2 shows a reference example of the plasma addressed display device, in which parts corresponding to those of the embodiment of the present invention shown in FIG. I have to. In this reference example, since the outermost edge 21T of the insulating film 21 has advanced to the position of the outermost edge 19T of the pad electrode 19, the mercury vapor filled in the internal region penetrates the insulating film 21 and easily. Reaches the end of the external electrode 20 and amalgamation occurs. In the plasma cell 2,
When nickel is used as a constituent material of the discharge electrode 9, mercury vapor is diffused in the inner region of the plasma cell 2 as described above. The purpose of this is to suppress the sputtering accompanying the plasma discharge of the discharge electrode 9 made of nickel and to secure the life of the plasma cell 2. Therefore, this mercury vapor forms amalgam with the external electrode 20 on the external region side,
Loss of mercury vapor in the discharge channel poses a reliability problem. As described above, the external electrode 20 is made of a metal material such as gold or silver, which easily forms amalgam.

【0016】水銀蒸気が内部領域から外部領域に漏洩す
る通路としては、放電電極9とパッド電極19の直列接
続からなる内部電極と、その上に成膜された絶縁膜21
とが考えられる。この内、内部電極としては通常金、
銀、銅以外のニッケルなどからなる導電ペースト材料を
用いる。このため、水銀蒸気を完全に遮断することは困
難であり、ある程度粗な膜質となる。但し、内部電極の
内放電電極9を比較的粗な状態に保ったままパッド電極
19を比較的密な状態とすることで、かなり水銀蒸気の
透過を防ぐことは可能である。これに対し、絶縁膜21
はガラス被覆などからなり、本来放電電極9の端部にお
ける異常放電を防止する為に設けてある。もし、この絶
縁膜21が水銀蒸気を完全に遮断できるような密な膜質
を有すれば問題はない。しかしながら、プラズマセル2
では下側基板8と熱膨張率を表わせるなどの物性上の制
約があり、絶縁膜21としてはガラス被膜が多用されて
いる。ガラス被膜はある程度水銀蒸気が透過し得る組成
であることが検討の結果判明した。水銀蒸気の通路とし
ては内部電極よりも絶縁膜21の方が支配的である。従
って、図2のような参考例の構造では比較的容易に水銀
蒸気が外部電極20のパッド電極19と重なる部分近傍
に到達し得る。因みに、パッド電極19の厚みは5〜2
0μm程度に設定され、絶縁膜21の厚みは20〜45
μm程度に設定され、外部電極20の厚みは5〜15μ
m程度に設定され、放電電極9の厚みは30〜55μm
程度に設定されるのが典型的である。
The passage through which the mercury vapor leaks from the internal region to the external region includes an internal electrode formed of a discharge electrode 9 and a pad electrode 19 connected in series, and an insulating film 21 formed thereon.
You could think so. Of these, the internal electrodes are usually gold,
A conductive paste material made of nickel or the like other than silver or copper is used. For this reason, it is difficult to completely block mercury vapor, and the film quality is somewhat rough. However, the permeation of mercury vapor can be considerably prevented by keeping the pad electrode 19 in a relatively dense state while keeping the internal discharge electrode 9 of the internal electrode in a relatively rough state. In contrast, the insulating film 21
Is made of glass or the like and is originally provided to prevent abnormal discharge at the end of the discharge electrode 9. There is no problem if the insulating film 21 has a dense film quality capable of completely blocking mercury vapor. However, the plasma cell 2
In this case, there is a restriction in physical properties such as a lower substrate 8 and a coefficient of thermal expansion, and a glass coating is often used as the insulating film 21. Examination has revealed that the glass coating has a composition to which mercury vapor can permeate to some extent. The insulating film 21 is more dominant as a passage for mercury vapor than the internal electrode. Therefore, in the structure of the reference example as shown in FIG. 2, mercury vapor can relatively easily reach the vicinity of the portion of the external electrode 20 overlapping the pad electrode 19. By the way, the thickness of the pad electrode 19 is 5 to 2
It is set to about 0 μm, and the thickness of the insulating film 21 is 20 to 45 μm.
μm, and the thickness of the external electrode 20 is 5 to 15 μm.
m, and the thickness of the discharge electrode 9 is 30 to 55 μm.
Typically, it is set to a degree.

【0017】図3は、本発明に係る表示装置の他の実施
形態を示す模式的な部分断面図であり、図1に示した先
の実施形態と対応する部分には対応する参照番号を付し
て理解を容易にしている。本実施形態は中間のパッド電
極を介することなく、放電電極9と外部電極20を直接
接合領域で電気接続している。換言すると、本実施形態
では内部電極が放電電極9のみで構成されている。本実
施形態でも、内部領域から接合領域に進入した絶縁膜2
1の最外端縁21Tが放電電極9の端部の最外端縁9T
より内部領域側に向かって後退しており、水銀蒸気が絶
縁膜21を通じて外部電極20に接触し難いような構造
を採用している。係る構成により、外部電極(端子電
極)20のアマルガム化が軽減され、放電チャネル内に
拡散された水銀蒸気の損失を抑制できる。
FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing another embodiment of the display device according to the present invention, and portions corresponding to those of the previous embodiment shown in FIG. And make it easy to understand. In the present embodiment, the discharge electrode 9 and the external electrode 20 are electrically connected directly in the joint region without the intermediate pad electrode. In other words, in this embodiment, the internal electrodes are constituted only by the discharge electrodes 9. Also in the present embodiment, the insulating film 2 that has entered the bonding region from the internal region
1 is the outermost edge 9T of the end of the discharge electrode 9.
The structure adopts a structure in which the mercury vapor recedes further toward the inner region side and is hard to contact the external electrode 20 through the insulating film 21. With such a configuration, amalgamation of the external electrode (terminal electrode) 20 is reduced, and loss of mercury vapor diffused in the discharge channel can be suppressed.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プラズマセルの内部領域に充填された水銀蒸気の損失を
抑制することができ、プラズマセルの寿命を改善可能で
ある。仮に、水銀蒸気が外部に漏洩すると放電電極(特
にカソード)のプラズマによるスパッタが生じ、金属粒
子がガラスなどからなる下側基板や中間基板に付着する
ので透過率の低下などが生じる。
As described above, according to the present invention,
The loss of the mercury vapor filled in the internal region of the plasma cell can be suppressed, and the life of the plasma cell can be improved. If the mercury vapor leaks to the outside, the plasma of the discharge electrode (particularly the cathode) is sputtered, and the metal particles adhere to the lower substrate or the intermediate substrate made of glass or the like, so that the transmittance is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る表示装置の実施形態を示す部分平
面図及び部分断面図である。
FIG. 1 is a partial plan view and a partial sectional view showing an embodiment of a display device according to the present invention.

【図2】表示装置の参考例を示す部分断面図である。FIG. 2 is a partial sectional view showing a reference example of the display device.

【図3】本発明に係る表示装置の他の実施形態を示す部
分断面図である。
FIG. 3 is a partial sectional view showing another embodiment of the display device according to the present invention.

【図4】従来のプラズマ放電を利用した表示装置の一例
を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an example of a conventional display device using plasma discharge.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・表示セル、2・・・プラズマセル、3・・・中
間基板、4・・・上側基板、5・・・信号電極、7・・
・電気光学物質、8・・・下側基板、9・・・放電電
極、10・・・隔壁、11・・・シール材、12・・・
放電チャネル、19・・・パッド電極、19T・・・パ
ッド電極の最外端縁、20・・・外部電極(端子電
極)、21・・・絶縁膜、21T・・・絶縁膜の最外端
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Display cell, 2 ... Plasma cell, 3 ... Intermediate substrate, 4 ... Upper substrate, 5 ... Signal electrode, 7 ...
・ Electro-optical material, 8 ・ ・ ・ Lower substrate, 9 ・ ・ ・ Discharge electrode, 10 ・ ・ ・ Partition, 11 ・ ・ ・ Sealing material, 12 ・ ・ ・
Discharge channel, 19: pad electrode, 19T: outermost edge of pad electrode, 20: external electrode (terminal electrode), 21: insulating film, 21T: outermost edge of insulating film edge

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中間基板を介して互いに重なった表示セ
ルとプラズマセルとからなるフラットパネル構造を有
し、 該表示セルは所定の間隙を介して該中間基板に接合した
上側基板と、該間隙に保持された電気光学物質と、該上
側基板に形成された列状の信号電極とを有し、 該プラズマセルはシール材を介して該中間基板に接合し
た下側基板を用いて構成されており、該シール材が配さ
れた接合領域と、該接合領域の内側に位置する密閉され
た内部領域と、該接合領域の外側に位置する開放された
外部領域とに別れており、 該下側基板には接合領域から外部領域に延設された行状
の外部電極と、接合領域から内部領域に延設された行状
の内部電極とが形成され、接合領域で内部電極が外部電
極と電気的に接続しており、 該内部領域は外部電極を介して内部電極に印加される電
圧に応じて放電を発生するイオン化可能な気体と、放電
による内部電極の劣化を防止する水銀蒸気とで満たさ
れ、 異常放電を防止するために内部領域の一部から接合領域
の一部にかけて内部電極の端部を被覆する絶縁膜が形成
されており、 内部領域から接合領域に進入した該絶縁膜の最外端縁が
該内部電極の端部の最外端縁より内部領域該に向かって
後退しており、水銀蒸気が該絶縁膜を通じて外部電極に
接触し難いようにしたことを特徴とする表示装置。
1. A flat panel structure comprising a display cell and a plasma cell which are overlapped with each other via an intermediate substrate, wherein the display cell is connected to the intermediate substrate via a predetermined gap, and And an array of signal electrodes formed on the upper substrate, and the plasma cell is configured using a lower substrate bonded to the intermediate substrate via a sealing material. A sealing region in which the sealing material is disposed, a sealed inner region located inside the joining region, and an open outer region located outside the joining region. A row-shaped external electrode extending from the bonding region to the external region and a row-shaped internal electrode extending from the bonding region to the internal region are formed on the substrate, and the internal electrode is electrically connected to the external electrode in the bonding region. Connected, the inner area is an external electrode Filled with an ionizable gas that generates a discharge according to the voltage applied to the internal electrode through the electrode and mercury vapor that prevents the internal electrode from deteriorating due to the discharge, and a part of the internal area to prevent abnormal discharge An insulating film covering the end of the internal electrode is formed from the inner region to a part of the bonding region, and the outermost edge of the insulating film that has entered the bonding region from the inner region is the outermost end of the end of the internal electrode. A display device, which is receded from the edge toward the inner region, so that mercury vapor is hardly brought into contact with an external electrode through the insulating film.
【請求項2】 前記内部電極は放電に適するように比較
的粗な組成を有する放電電極と水銀蒸気が透過し難いよ
うに比較的密な組成を有するパッド電極とからなり、該
放電電極は該パッド電極を介して該外部電極に接続して
いることを特徴とする請求項1記載の表示装置。
2. The internal electrode comprises a discharge electrode having a relatively coarse composition suitable for discharging and a pad electrode having a relatively dense composition so that mercury vapor is hardly permeated. The display device according to claim 1, wherein the display device is connected to the external electrode via a pad electrode.
【請求項3】 前記パッド電極はニッケル又はクロムか
らなることを特徴とする請求項2記載の表示装置。
3. The display device according to claim 2, wherein said pad electrode is made of nickel or chromium.
【請求項4】 前記内部電極は水銀蒸気と反応し難いニ
ッケルを用い、前記外部電極は水銀蒸気と反応し易い
金、銀または銅を用いることを特徴とする請求項1記載
の表示装置。
4. The display device according to claim 1, wherein said internal electrode is made of nickel which does not easily react with mercury vapor, and said external electrode is made of gold, silver or copper which easily reacts with mercury vapor.
【請求項5】 前記絶縁膜はガラス被膜からなることを
特徴とする請求項1記載の表示装置。
5. The display device according to claim 1, wherein said insulating film is made of a glass film.
【請求項6】 シール材を介して互いに接合した一対の
基板からなるセル構造を有し、該セル構造は該シール材
が配された接合領域と、該接合領域の内側に位置する密
閉された内部領域と、該接合領域の外側に位置する開放
された外部領域とに別れており、 片側の基板には接合領域から外部領域に延設された外部
電極と、接合領域から内部領域に延設された内部電極と
が形成され、接合領域で内部電極が外部電極と電気的に
接続しており、 該内部領域は外部電極を介して内部電極に印加される電
圧に応じて放電を発生するイオン化可能な気体と、放電
による内部電極の劣化を防止する水銀蒸気とで満たさ
れ、 異常放電を防止するために内部領域の一部から接合領域
の一部にかけて内部電極の端部を被覆する絶縁膜が形成
されており、 内部領域から接合領域に進入した該絶縁膜の最外端縁が
該内部電極の端部の最外端縁より内部領域該に向かって
後退しており、水銀蒸気が該絶縁膜を通じて外部電極に
接触し難いようにしたことを特徴とする表示装置。
6. A cell structure comprising a pair of substrates joined to each other via a seal material, wherein the cell structure is a joint region where the seal material is arranged, and a sealed structure located inside the joint region. The substrate is separated into an inner region and an open outer region located outside the bonding region. One of the substrates has an external electrode extending from the bonding region to the outer region, and an external electrode extending from the bonding region to the inner region. Is formed, and the internal electrode is electrically connected to the external electrode in the joint region. The internal region is ionized to generate a discharge in accordance with a voltage applied to the internal electrode via the external electrode. An insulating film that is filled with a possible gas and mercury vapor that prevents deterioration of the internal electrode due to discharge, and covers the end of the internal electrode from a part of the internal area to a part of the bonding area to prevent abnormal discharge Are formed, and the internal territory is The outermost edge of the insulating film that has entered the bonding region from the inner electrode recedes toward the inner region from the outermost edge of the end of the internal electrode, and mercury vapor contacts the external electrode through the insulating film. A display device characterized in that it is made difficult.
【請求項7】 前記内部電極は放電に適するように比較
的粗な組成を有する放電電極と水銀蒸気が透過し難いよ
うに比較的密な組成を有するパッド電極とからなり、該
放電電極は該パッド電極を介して該外部電極に接続して
いることを特徴とする請求項6記載の表示装置。
7. The internal electrode comprises a discharge electrode having a relatively rough composition suitable for discharge and a pad electrode having a relatively dense composition so that mercury vapor is hardly permeated. 7. The display device according to claim 6, wherein the display device is connected to the external electrode via a pad electrode.
【請求項8】 前記パッド電極はニッケル又はクロムか
らなることを特徴とする請求項7記載の表示装置。
8. The display device according to claim 7, wherein said pad electrode is made of nickel or chromium.
【請求項9】 前記内部電極は水銀蒸気と反応し難いニ
ッケルを用い、前記外部電極は水銀蒸気と反応し易い
金、銀または銅を用いることを特徴とする請求項6記載
の表示装置。
9. The display device according to claim 6, wherein said internal electrode is made of nickel which does not easily react with mercury vapor, and said external electrode is made of gold, silver or copper which easily reacts with mercury vapor.
【請求項10】 前記絶縁膜はガラス被膜からなること
を特徴とする請求項6記載の表示装置。
10. The display device according to claim 6, wherein said insulating film is made of a glass film.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6738032B1 (en) 1999-11-24 2004-05-18 Lg Electronics Inc. Plasma display panel having pads of different length
WO2004105075A1 (en) * 2003-05-20 2004-12-02 Orion Pdp Co., Ltd. Pdp having additional thin layers in the electrode pad
US7230381B2 (en) * 2002-08-30 2007-06-12 Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited Method of manufacturing a plasma display panel

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