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JPS5912419A - Negative display liquid crystal display element - Google Patents

Negative display liquid crystal display element

Info

Publication number
JPS5912419A
JPS5912419A JP12240582A JP12240582A JPS5912419A JP S5912419 A JPS5912419 A JP S5912419A JP 12240582 A JP12240582 A JP 12240582A JP 12240582 A JP12240582 A JP 12240582A JP S5912419 A JPS5912419 A JP S5912419A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
pattern
crystal display
transparent electrode
display element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12240582A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Nakamura
武司 中村
Hiroshi Takanashi
高梨 宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP12240582A priority Critical patent/JPS5912419A/en
Publication of JPS5912419A publication Critical patent/JPS5912419A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はネガ表示を行なう液晶表示素子に関するもので
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a liquid crystal display element that performs negative display.

近年、カメラに内蔵される、フィルムへノ8 付は写し
込み機構の一構成部品として、ネガ表示を行なう液晶表
示素子が用いられている。このものにおいて、一般的に
表示パターン部以外の光遮蔽能力が700係に近いこと
が要求されるが、通常の偏光板直交ニコルζこよる光遮
蔽能力だけでは、この要求を充分に満足することができ
なかった。
In recent years, a liquid crystal display element that displays a negative image has been used as a component of a film printing mechanism built into a camera. In this device, it is generally required that the light shielding ability of the parts other than the display pattern portion be close to 700, but the light shielding ability of the normal polarizing plate orthogonal Nicol ζ alone cannot sufficiently satisfy this requirement. I couldn't do it.

本発明は、セルフφアライメント法により透[」電極と
同一面にマスクパターンを形成したものであり、従来の
欠点を解消して、表示パターン部以外の光遮蔽を良好(
こ行なう液晶表示素子を提供するものである。
The present invention uses a self-φ alignment method to form a mask pattern on the same surface as the transparent ['' electrode. This eliminates the conventional drawbacks and provides good light shielding for areas other than the display pattern area.
The present invention provides a liquid crystal display element that does this.

以下図面に従って本発明の一実施例を説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図(1)〜(5)はセルフ・アライメント法による
透明電極及びマスクパターンの形成過程を示す断面図で
ある。
FIGS. 1 (1) to (5) are cross-sectional views showing the process of forming transparent electrodes and mask patterns by the self-alignment method.

/は液晶表示素子を構成する一方のガラス基板で、第1
図(1)のようにその片面側に透明電極のための透明導
電膜2を形成している。3は透明電極パターンに対応し
て、第1図(2)のように透明導電膜2上に塗布したレ
ジストで、エツチングの実施により、レジスト3部分以
外の透明導電膜2が取り除かれる。エツチングは後述す
るが、第7図(3)に明らかなように、オーバーエッチ
の状態に仕−1−(ホルとよい。りはエツチング後蒸着
されたCr。
/ is one glass substrate constituting the liquid crystal display element;
As shown in FIG. 1, a transparent conductive film 2 for a transparent electrode is formed on one side. 3 is a resist coated on the transparent conductive film 2 as shown in FIG. 1(2) in correspondence with the transparent electrode pattern, and the transparent conductive film 2 other than the resist 3 portion is removed by etching. Etching will be described later, but as is clear from FIG. 7(3), the etching is done in an over-etched state.

Aノ等のマスク用金属で、リフト・オフ法により第1図
(4)の状態からマスクパターン化し、第1図415)
のような、透明電極実施面と同一面にマスクパターンを
形成した基板を得ている。
Using a mask metal such as A, a mask pattern is formed from the state shown in Figure 1 (4) using the lift-off method (Figure 1 415).
A substrate with a mask pattern formed on the same surface as the transparent electrode implementation surface is obtained.

マスキング実施面は、透明電極パターンとマスクパター
ンの位置精度を高めるためには、透明電極実施面と同一
面であることが有利であり、上述は、セルフ・アライメ
ント法により、簡単に位置精度を高くシて、透明電極パ
ターンとマスクパターンを同一面に形成できる。
In order to improve the positional accuracy of the transparent electrode pattern and the mask pattern, it is advantageous for the masking surface to be the same surface as the transparent electrode surface. Therefore, the transparent electrode pattern and the mask pattern can be formed on the same surface.

透明電極実施面と反対側の面にマスキングを実施した場
合、表示観察の方向によってはガラス基板の厚み分だけ
、表示とマスクパターンがずれて観察されるという欠点
を有する。
When masking is performed on the surface opposite to the transparent electrode implementation surface, there is a drawback that the display and the mask pattern may be observed to be shifted from each other by the thickness of the glass substrate depending on the direction in which the display is observed.

マスク材料としては、パターンニング精度が高い金属等
の無機物が有利である。
As the mask material, inorganic materials such as metals with high patterning accuracy are advantageous.

なお、ガラス基板の一方面に金属マスクと透明電極パタ
ーンを積層して形成することが提案される。このものに
おいて、例えば、コモン電極側に傘、属マスクを行なう
とすると、スタティック駆動の場合はコモン電極が単一
であるためリーク対策が不要であるが、ダイナミック駆
動の場合、コモン電極と金属マスク間のリーク対策が必
要となる。
Note that it is proposed that a metal mask and a transparent electrode pattern be laminated and formed on one side of a glass substrate. In this case, for example, if you put an umbrella or a metal mask on the common electrode side, in the case of static drive, there is no need for leakage countermeasures because there is only one common electrode, but in the case of dynamic drive, the common electrode and metal mask are not required. It is necessary to take measures against leaks between the two.

このとき、リーク対策のための絶縁膜は、金属マスクと
透明1極パターン間全対に介在するようにして形成され
、材質として、液晶の光学的特性に悪影響を与えない無
色透明レベルの薄い膜厚で、かつ完全な絶縁性が要求さ
れるため、その選択は非常に困難なものとなっている。
At this time, an insulating film to prevent leakage is formed between the metal mask and the transparent single-pole pattern, and is made of a thin film that is colorless and transparent and does not adversely affect the optical characteristics of the liquid crystal. The selection is extremely difficult because it is thick and requires perfect insulation.

本例では、前述したように、セルフ・アライメント法に
よるエツチングで、透明電極をオーバエッチ状状態に仕
上けると、容易に透明電極パターンとマスクパターン間
のリーク対策を施こすことができ、非常に有用である。
In this example, as mentioned above, if the transparent electrode is finished in an over-etched state by etching using the self-alignment method, it is possible to easily prevent leakage between the transparent electrode pattern and the mask pattern, which is very effective. Useful.

第2図にネガパターンのマスキングを実施した液晶表示
素子の正面図を示す。S、6は端子部、gの斜線部はネ
ガパターンのマスキングである。
FIG. 2 shows a front view of a liquid crystal display element subjected to negative pattern masking. S and 6 are terminal parts, and the diagonal line part g is negative pattern masking.

本案では、このように表示パターン部以外が、マスク用
金属グ(第1図問参照)により高能力を7もIqf %
遮蔽される。なお、本案においては、マスクパターンは
透f3A電極実施面と同一面で、透明電極パターン以外
に形成されるので、コモン電極及びセグメント電極のパ
ターン形成によっては、コモン電極側及びセグメント電
極側の両ガラス基板にマスキングを実施する必要がある
。また、透明電極パターン以外に結線のための引き回し
線があり、これを完全にマスクしたい場合も同様である
。いずれにしても、本案ではセルフ・アライメント法に
よって容易にマスキングが行なえる。
In this case, the parts other than the display pattern part have a high Iqf % of 7 using the metal mask for the mask (see question 1).
shielded. In addition, in this proposal, since the mask pattern is formed on the same surface as the transparent F3A electrode implementation surface and other than the transparent electrode pattern, depending on the pattern formation of the common electrode and segment electrode, both the glass on the common electrode side and the segment electrode side may be formed. It is necessary to mask the substrate. The same applies when there is a wiring line for connection other than the transparent electrode pattern and it is desired to completely mask this line. In any case, masking can be easily performed using the self-alignment method in the present invention.

以上のように本発明は、積層構造等における絶縁膜問題
に煩られされることなく、透明電極と同一のガラス基板
面にCr等のパターンニング精度の高い金属マスクを作
成することが可能であり、位置精度が高く表示パターン
部以外の光遮蔽能力の高い、有用なネガ表示の液晶表示
素子が提供できる。
As described above, the present invention makes it possible to create a highly accurate patterning metal mask such as Cr on the same glass substrate surface as the transparent electrode without having to worry about insulating film problems in laminated structures. Therefore, it is possible to provide a useful negative display liquid crystal display element with high positional accuracy and high light shielding ability in areas other than the display pattern portion.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(11〜(5)は本発明一実施例における透明電
晶表示素子の正面図である。 /・・・ガラス基板、 −・・・透明導電膜、3・・・
レジスト、  グ・・・マスク用金属、Z・・・ネカハ
ターンマスキング。
FIG. 1 (11-(5)) is a front view of a transparent electronic crystal display element in one embodiment of the present invention. /...Glass substrate, -...Transparent conductive film, 3...
Resist, G...metal for mask, Z...nekaha turn masking.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 I 素子を構成するガラス基板の同一面に、セルフ・ア
ライメント法により、透明電極パターンと金属マスクパ
ターンを形成したことを特徴とするネガ表示の液晶表示
素子。 2、前記透明電極パターンをオーバーエッチ状態とし、
透明電極パターンと金属マスクパターン間のリーク対策
を施こしてなることを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の液晶表示素子。
[Scope of Claims] I. A negative display liquid crystal display element, characterized in that a transparent electrode pattern and a metal mask pattern are formed on the same surface of a glass substrate constituting an element by a self-alignment method. 2. Bringing the transparent electrode pattern into an overetched state,
2. A liquid crystal display element according to claim 1, characterized in that measures are taken to prevent leakage between the transparent electrode pattern and the metal mask pattern.
JP12240582A 1982-07-13 1982-07-13 Negative display liquid crystal display element Pending JPS5912419A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12240582A JPS5912419A (en) 1982-07-13 1982-07-13 Negative display liquid crystal display element

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12240582A JPS5912419A (en) 1982-07-13 1982-07-13 Negative display liquid crystal display element

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5912419A true JPS5912419A (en) 1984-01-23

Family

ID=14834980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12240582A Pending JPS5912419A (en) 1982-07-13 1982-07-13 Negative display liquid crystal display element

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5912419A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7012029B2 (en) 2002-12-25 2006-03-14 Nec Lcd Technologies, Ltd. Method of forming a lamination film pattern and improved lamination film pattern

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7012029B2 (en) 2002-12-25 2006-03-14 Nec Lcd Technologies, Ltd. Method of forming a lamination film pattern and improved lamination film pattern
US7554207B2 (en) 2002-12-25 2009-06-30 Nec Lcd Technologies, Ltd. Method of forming a lamination film pattern and improved lamination film pattern

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