JPS59201511A - 圧電デバイス保持器の構造 - Google Patents
圧電デバイス保持器の構造Info
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- JPS59201511A JPS59201511A JP7581183A JP7581183A JPS59201511A JP S59201511 A JPS59201511 A JP S59201511A JP 7581183 A JP7581183 A JP 7581183A JP 7581183 A JP7581183 A JP 7581183A JP S59201511 A JPS59201511 A JP S59201511A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric device
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- piezoelectric
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- Pending
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- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
-
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- H03H9/0514—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電デバイス、殊に圧’Ｆｌ基板上に形成した
インクディジタル・トランスジー−サ電極によって前記
基板表面に励起する波動（以下イスを収納する保持器の
構造に関する。
インクディジタル・トランスジー−サ電極によって前記
基板表面に励起する波動（以下イスを収納する保持器の
構造に関する。
従来上述のような圧電デバイスは第１図に示す如く圧電
デバイス１の非′電極面全ベース２の圧電デバイス支持
１餐接着剤４を用て固定すると共にその電極全前記ベー
ス２全気密貫通するリード５とボンディング・ワイヤに
よって電気的に接続し然る後に図示全省略した封止蓋を
嵌合し前記ヘース２の外周に広がるフランジ６に於いて
通電圧接して外気を遮断する如く収納固定するのが一般
的であった。
デバイス１の非′電極面全ベース２の圧電デバイス支持
１餐接着剤４を用て固定すると共にその電極全前記ベー
ス２全気密貫通するリード５とボンディング・ワイヤに
よって電気的に接続し然る後に図示全省略した封止蓋を
嵌合し前記ヘース２の外周に広がるフランジ６に於いて
通電圧接して外気を遮断する如く収納固定するのが一般
的であった。
しかしながら斯る方法にて圧′屯デバイス全ベースに固
定すると前記接着剤は毛管現象に１つて前記圧′混デバ
イス全全面的にベースの圧電デバイス支持面に広がる為
、前記基板とベースとの熱、膨張率の差及び前記封止蓋
の通電圧接時にベースに加わるストレスによって前記圧
電基板に歪を生じその共振周波数を変化させるという欠
陥があった。
定すると前記接着剤は毛管現象に１つて前記圧′混デバ
イス全全面的にベースの圧電デバイス支持面に広がる為
、前記基板とベースとの熱、膨張率の差及び前記封止蓋
の通電圧接時にベースに加わるストレスによって前記圧
電基板に歪を生じその共振周波数を変化させるという欠
陥があった。
本発明は上述の如き従来の圧電デバイス保持器の欠陥を
除去すべくなされたものであって、前記ベースの正置デ
バイス支持面に於いて該面に接着固定すべき圧電デバイ
スのインタディジタル・トランスジューサ′電極のはソ
中央部に相当する位置に微小面積のランドとその周辺に
接着剤全流入せしめる溝を設けるか或は前記ベースの圧
′眠デバイス支持面の前記ランドに相当する部分を突出
せしめると共に圧電デバイス周縁を非接Ｘイ状！ルで支
持する突起古を設けた圧電デバイス保持器全提供するこ
と全目的とする。
除去すべくなされたものであって、前記ベースの正置デ
バイス支持面に於いて該面に接着固定すべき圧電デバイ
スのインタディジタル・トランスジューサ′電極のはソ
中央部に相当する位置に微小面積のランドとその周辺に
接着剤全流入せしめる溝を設けるか或は前記ベースの圧
′眠デバイス支持面の前記ランドに相当する部分を突出
せしめると共に圧電デバイス周縁を非接Ｘイ状！ルで支
持する突起古を設けた圧電デバイス保持器全提供するこ
と全目的とする。
以下、本発明全図面に示した実施例に基づいて詳に４１
１に説明する。
１に説明する。
第２図は圧電デバイス保持器に封止蓋を通電圧接する際
ベースに加わるストレス及びこれによるベースの変形全
説明する図である。
ベースに加わるストレス及びこれによるベースの変形全
説明する図である。
即ち、ベース２Ｖｒ：、封止蓋をｆ＆’合して＾１■記
ベースのフランジ部６に於いて通電圧接する除溶接電極
によって前記ベース２に加えられる力には垂直成分ＦＮ
だけでなく前記ベース２の圧′亀デバイス支持面３に平
行な成分Ｆ１１が含まれる為ベース２は第２図の一点鎖
線にて誇ｒ虫して描いた如く撓むと共にこの撓みは溶接
電極を取り去的に接着固定した圧電デバイス１はそのイ
ンタディジタル・トランスジー−サ′屯極の電極指間隔
が拡張し共振周波数が所望の価より低下するものである
。
ベースのフランジ部６に於いて通電圧接する除溶接電極
によって前記ベース２に加えられる力には垂直成分ＦＮ
だけでなく前記ベース２の圧′亀デバイス支持面３に平
行な成分Ｆ１１が含まれる為ベース２は第２図の一点鎖
線にて誇ｒ虫して描いた如く撓むと共にこの撓みは溶接
電極を取り去的に接着固定した圧電デバイス１はそのイ
ンタディジタル・トランスジー−サ′屯極の電極指間隔
が拡張し共振周波数が所望の価より低下するものである
。
この問題全解決する為本発明に於いては圧電デバイスを
その電極の中央部近＋）′ｉに相当する峻力小面積の部
分のみでベースに接着しつるようペース形状を改良する
。
その電極の中央部近＋）′ｉに相当する峻力小面積の部
分のみでベースに接着しつるようペース形状を改良する
。
即ち、前記ベース２の圧電デバイス支持面３后第３図に
示す如くはソその中央部に微小面積のランド７とその周
辺の接着剤流出用溝８，８とを設は前記ランド７の頂部
にのみ接着剤を塗布した上で圧電基板？接着する。この
際前記ランド７と圧電デバイスのインタディジタル・ト
ランスジ５．−サ電極パターン中央部の背面と全はシ一
致させるべきはいう址でもある丑い。
示す如くはソその中央部に微小面積のランド７とその周
辺の接着剤流出用溝８，８とを設は前記ランド７の頂部
にのみ接着剤を塗布した上で圧電基板？接着する。この
際前記ランド７と圧電デバイスのインタディジタル・ト
ランスジ５．−サ電極パターン中央部の背面と全はシ一
致させるべきはいう址でもある丑い。
斯くすることによって余剰の接着剤は全て前記溝８の中
に流入し圧′疏デバイスはその共振周波数全決定する電
極のはソ中央部に相当する位置だけでベースに固定され
ることになるのでベースに残留する歪の影響をうけるこ
とが極めて少ない。
に流入し圧′疏デバイスはその共振周波数全決定する電
極のはソ中央部に相当する位置だけでベースに固定され
ることになるのでベースに残留する歪の影響をうけるこ
とが極めて少ない。
尚、前記ランド７の形状は必ずしも点に近いものである
必要はすく、前記溝８も又必ずしもランドの全周を包囲
するものではなくても差しつかえない。
必要はすく、前記溝８も又必ずしもランドの全周を包囲
するものではなくても差しつかえない。
例えば２１！４図に示す如くランド性成基板１の波動の
伝搬方向（一般に基板長手方向）に直交する線状としそ
の両側に溝８，８を設けてもよい。
伝搬方向（一般に基板長手方向）に直交する線状としそ
の両側に溝８，８を設けてもよい。
更に、同様の効果を得る為Ｋに前記溝８を設ける代りに
第５図に示す如く前記ベース２の圧電デバイス支持面３
の中央部にラシド９を突出させると共に圧電デバイスの
周縁を非接着状態で単に支持するだけの突起１０，１０
．・・・・・・全突出させ、前記ランド９の部分のみで
圧型デバイス１を接着固定するようにしてもよいことは
自明であろう。
第５図に示す如く前記ベース２の圧電デバイス支持面３
の中央部にラシド９を突出させると共に圧電デバイスの
周縁を非接着状態で単に支持するだけの突起１０，１０
．・・・・・・全突出させ、前記ランド９の部分のみで
圧型デバイス１を接着固定するようにしてもよいことは
自明であろう。
本発明は以上説明した如く構成するのでＳ Ａ−Ｗ或は
ＢＳＷ共振器又はフィルタ等？接着剤全用いて保持器に
収納固定した場合、封止蓋圧接に伴うベースの歪を圧電
デバイスに伝達することが殆んどなくなるのみならずベ
ースと圧電基板との熱膨張率の差による影響も極めて少
なくなるので共振周波数全安定化し又そのバラツキ全減
少させる上で著しい効果を発揮する。
ＢＳＷ共振器又はフィルタ等？接着剤全用いて保持器に
収納固定した場合、封止蓋圧接に伴うベースの歪を圧電
デバイスに伝達することが殆んどなくなるのみならずベ
ースと圧電基板との熱膨張率の差による影響も極めて少
なくなるので共振周波数全安定化し又そのバラツキ全減
少させる上で著しい効果を発揮する。
第１図に従来の保持器にＳＡＷ共振器等の圧電デバイス
全固定した状態を示す側面断面図、第２図はベースに封
止蓋全圧接する際ベースに加わる力とそれによるベース
の変形全説明する本発明に係るベースの他の実施例を示
す季参非要耕側面１新面図である。 １−・・・・圧′屯基板（圧１し振ｌ′１のデバイス）
。 ２・・・・・・保持器（ベース）、３・・・・・・基板
支持面、 ７及び９−・・・ランド、 ８・・・・
・・溝。 １０・・・・圧面振動テバイス基板周縁支苺突起特許出
頓人 東洋通信機株式会社
全固定した状態を示す側面断面図、第２図はベースに封
止蓋全圧接する際ベースに加わる力とそれによるベース
の変形全説明する本発明に係るベースの他の実施例を示
す季参非要耕側面１新面図である。 １−・・・・圧′屯基板（圧１し振ｌ′１のデバイス）
。 ２・・・・・・保持器（ベース）、３・・・・・・基板
支持面、 ７及び９−・・・ランド、 ８・・・・
・・溝。 １０・・・・圧面振動テバイス基板周縁支苺突起特許出
頓人 東洋通信機株式会社
Claims (2)
- （１） 圧電基板の一表面に形成したインタディジタ
ル・トランスジューサ電極によって前記圧電基板表面或
はバルク内に励起する波動全利用する圧電振動デバイス
基板の電極が形成さ振周波数全決定する電極のはソ中央
部に相当する部分が当接する位置に微小面積のランドと
その周辺に接着剤を流入せしめる溝とを設けたことを特
徴とする圧電デバイス保持器の構造。 - （２） 前記圧電振動デバイス基板の支持面に於いて
、該支持面の前記電極のはソ中央部に相当する部分が当
接する位置に微小面積のランドを突出せしめると共に前
記圧′亀基板の周縁部が当接する適所に該周縁部を非接
着状態で支持する突起を所要数設けたこと全特徴とする
圧電デバイス保持器の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7581183A JPS59201511A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 圧電デバイス保持器の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7581183A JPS59201511A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 圧電デバイス保持器の構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201511A true JPS59201511A (ja) | 1984-11-15 |
Family
ID=13586940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7581183A Pending JPS59201511A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 圧電デバイス保持器の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201511A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998002871A1 (en) * | 1996-07-11 | 1998-01-22 | C.R.F. Societa' Consortile Per Azioni | Piezo-electric actuator-transducer for sound reproduction systems |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7581183A patent/JPS59201511A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998002871A1 (en) * | 1996-07-11 | 1998-01-22 | C.R.F. Societa' Consortile Per Azioni | Piezo-electric actuator-transducer for sound reproduction systems |
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