JPS5967412A - Method and device for measuring displacement - Google Patents
Method and device for measuring displacementInfo
- Publication number
- JPS5967412A JPS5967412A JP17892582A JP17892582A JPS5967412A JP S5967412 A JPS5967412 A JP S5967412A JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP S5967412 A JPS5967412 A JP S5967412A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- reference position
- displacement
- measuring device
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、変位測定方法および装置に係り、特に、当接
型直線変位測定機(以下当接型ゲージと称する)を多数
並列配置して立体物の形状を測定する際に用いるのに好
適な1本体ケースに軸方向移動自在、目、つ、先端が突
出して取付けられたスピンドルの先端′ff:被測定物
に当接した時の、前記スピンドルの基準位置がらの相対
変位量を検出すると共に、緩衝手段を用いて前記スピン
ドルのストロークを規制するようにした変位測定方法お
よび装置の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a displacement measuring method and apparatus, and in particular, a method for measuring the shape of a three-dimensional object by arranging a large number of contact type linear displacement measuring machines (hereinafter referred to as contact type gauges) in parallel. The tip of the spindle is attached to the main body case so that it can move freely in the axial direction, and the tip is protruding. The present invention relates to an improvement in a displacement measuring method and device that detects the amount of relative displacement and regulates the stroke of the spindle using a buffer means.
従来、被測定物の高さ或いは長さ等を測定する装置とし
て、第1図及び第2図に示したように。Conventionally, as a device for measuring the height or length of an object to be measured, as shown in FIGS. 1 and 2.
本体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移動自在
、且つ、先端14aが突出して取付けられ、被測定物に
当接して変位されるスピンドル14と、該スピンドル1
4を突出方向(第1図の下方向)に付勢して測定力を付
加するだめの引張りはね16と、前記スピンドル14の
ストロークを規制するだめのストッパ18と、前記スピ
ンドル14の変位量を検出して、これを電気信号として
出力する検出器20と、該検出器2o出力の電気信号に
基いて前記スピンドル14の基準位置からの相対変位M
を表示するデジタル表示器22とを有し、前記スピンド
ル14の先端を被測定物に当接した時の、前記スピンド
ル14の基準位置からの相対変位量を検出し2、表示す
るようにした。いわゆる電気式の当接型ゲージ10が知
られている。A main body case 12, a spindle 14 which is attached to the main body case 12 so as to be movable in the axial direction and whose tip 14a protrudes and is displaced by contacting the object to be measured, and the spindle 1.
4 in the projecting direction (downward in FIG. 1) to apply a measuring force, a stopper 18 to restrict the stroke of the spindle 14, and a displacement amount of the spindle 14. a detector 20 that detects and outputs it as an electrical signal, and a detector 20 that detects the relative displacement M of the spindle 14 from the reference position based on the electrical signal output from the detector 2o.
A digital display 22 is provided to detect and display the amount of relative displacement of the spindle 14 from the reference position when the tip of the spindle 14 comes into contact with the object to be measured. A so-called electric contact type gauge 10 is known.
この電気式の当接型ゲージ1oにおいては、例えば前記
検出器20として、前記スピンドル14に把料けられた
、スピンドル14と共に移動する。In this electric contact type gauge 1o, the detector 20, for example, is gripped by the spindle 14 and moves together with the spindle 14.
光学格子が形成されたタイ/スケール26と、基板27
を介して前記本体ケース12側の前記タイ/スケール2
6と対向する位置に取付けらtた、同じく光学格子が形
成されたインデックススケール28と、第2図の裏側に
配置された光源(図示省略)から、前記タイ/スケール
26及びイノデックススケール28e透過してきた光の
明暗を検出するだめの受光素子30とからなる光電型工
/コーダが採用されており、該光電型工/コーダにより
検出される、前記スピンドル14の基準位置からの相対
変位11.を、例えばデジタル表示器22でデジタル表
示するようにされている。なお、通常は、デジタル表示
器22が任期の位置で零表示できるよう、零セツトスイ
ッチ32を含む零クリア回路が設けられている。A tie/scale 26 on which an optical grating is formed and a substrate 27
The tie/scale 2 on the main body case 12 side via
The tie/scale 26 and the index scale 28e are transmitted through the index scale 28, which is also provided with an optical grating and is mounted opposite the index scale 6, and the light source (not shown) located on the back side of FIG. A photoelectric molder/coder comprising a light receiving element 30 for detecting the brightness and darkness of the light is employed, and the relative displacement of the spindle 14 from the reference position detected by the photoelectric molder/coder is 11. is displayed digitally on, for example, a digital display 22. Note that, normally, a zero clear circuit including a zero set switch 32 is provided so that the digital display 22 can display zero at the period position.
図((おいて、34は、電源スィッチ、36は、必要に
応じて使用される交百〇電源用アダプタ、38は、前記
スピンドル14に連結されたtJ¥ガ向の連結前月40
のスピンドル14と反対側の端部を一ヒ下方向に摺動案
内するための9回り+J−,め用ガイドである。(In the figure, 34 is a power switch, 36 is an AC power adapter used as needed, and 38 is a connection in the tJ\GA direction connected to the spindle 14.
This is a 9-turn +J-, second-turn guide for slidingly guiding the end opposite to the spindle 14 in a downward direction.
前記のような当接型ゲージIOKよれば、その電#、?
遮断しない限り、零セツトスイッチ32を押すこと1(
より任意の位置で設定された基準位置を零として、該基
準位置からの相対変位量が士の符号を含めてデジタル表
示されるという特徴を有する。According to the above-mentioned contact type gauge IOK, its voltage #, ?
Pressing the zero set switch 32 unless it is shut off (1)
It has a feature in that a reference position set at an arbitrary position is set as zero, and the amount of relative displacement from the reference position is digitally displayed including the sign.
一方近年、前記当接型ゲージの各種測定への応用技術の
発展と共に、第3図に示す如く、フレーム50に並列状
態で固定支持された多数の当接型ゲージ10f:用−て
、定盤52十に載置された立体物54の形状を基準体と
比較測定しようとする試みがなされている。しかしなが
ら、従来の当接型ゲージをそのまま用いたのでは、検出
器やデジタル表示器が、1!源を遮断した際に零クリア
されてしまう。従って、定盤52)、に基準体を載置し
て基準位置を設定しても、基準体から被測定物に置き換
える際に当接型ゲージ10の電源が遮断されると、各表
示値が零となり、当接型ゲージ10の基準位置が消滅し
てしまうため、正確な比較測定を行うことが困難であっ
た。On the other hand, in recent years, with the development of applied technology for various measurements of the contact type gauges, as shown in FIG. Attempts have been made to compare and measure the shape of the three-dimensional object 54 placed on the object 520 with a reference object. However, if the conventional contact type gauge is used as is, the detector and digital display will be 1! It will be cleared to zero when the source is shut off. Therefore, even if the reference body is placed on the surface plate 52) and the reference position is set, if the power to the contact type gauge 10 is cut off when replacing the reference body with the object to be measured, each displayed value will change. Since the value becomes zero and the reference position of the contact type gauge 10 disappears, it is difficult to perform accurate comparative measurements.
なお、当接型ゲージ10には、通常、スピンドル14の
ストロークを規制するためのストッパ18が設けられて
いるので、スピンドル14が最大突出位Vにある状?、
l ! 、t:J、下静IH状態と称する)を基準位置
として採用することが考えられる。しかしながら、一般
に検出器を光電型工/コーダとした場合、或いは他の型
とした場合のいずれも、精度トや被測定物の保H等等の
必要から、ストロークエンドに緩衝手段を設ける必要が
あり1通常、この緩衝手段は、コイルばねやゴム円節等
を利用し7てイル。従ッて、静止状9、ににおけるスピ
ンドル14の最大突出位置の再現性が悪く、例えばリニ
ヤゲージで要求されるμmオーダーの再現性を得ること
ができず、従って、静止状態を基準位置とすることは困
離であった。Note that the contact type gauge 10 is normally provided with a stopper 18 for regulating the stroke of the spindle 14, so that the spindle 14 is at the maximum protrusion position V? ,
l! , t:J, referred to as the lower IH state) may be adopted as the reference position. However, in general, whether the detector is a photoelectric mold/coder or another type, it is necessary to provide a buffer at the end of the stroke due to the need for accuracy and to maintain the H of the measured object. Yes 1 Normally, this buffering means uses coil springs, rubber sections, etc. Therefore, the reproducibility of the maximum protruding position of the spindle 14 in the stationary state 9, is poor, and it is not possible to obtain the reproducibility of the μm order required for a linear gauge, for example.Therefore, the stationary state should be used as the reference position. was in trouble.
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で、電源が遮断されても基準位置を確実に再現すること
ができ、しかも、スピンドルの有効ストロークを殆んど
制限することのない変位測定方法および装置を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional art, and is capable of reliably reproducing the reference position even if the power is cut off, and furthermore, it is possible to achieve displacement that hardly limits the effective stroke of the spindle. The purpose is to provide a measuring method and device.
本発明は1本体ケースに軸方向移動自在、目、っ、先端
が突出して取付けられたスピンドルノ先端2被測定物I
F当接した時の、前記スピンドルの基準位置からの相対
変位量を検出すると共(・で、緩衝手段を用いて前記ス
ピンドルのストロークを規制するよう1/rシた変位測
定方法において、前記緩衝手段が作動する直前のスピ/
ドル位置を、前記基準位置とするようにし゛C1前記目
的を達成したものである。The present invention consists of: 1 a spindle tip attached to a main body case that is movable in the axial direction;
In a displacement measuring method in which the amount of relative displacement of the spindle from the reference position is detected when F abuts, and the stroke of the spindle is regulated by using a buffer means, The speed just before the means is activated/
The object C1 is achieved by making the dollar position the reference position.
本発明は、父、本体ケースと、該本体り−スに軸方向移
動自在、1才つ、先端が突出し゛C取付けられ、被測定
物に当接して変位されるスピンドルと。The present invention mainly consists of a main body case, and a spindle which is movable in the axial direction and is attached to the main body case with a protruding tip, and which is displaced by coming into contact with an object to be measured.
該スピンドルを突出j5向に付勢して測定4jを付加す
るための付勢手段と、前記スピンドルの最大突出位@全
規制するための緩衝手段上、前記スピンドルの変位置全
検出して、これ全電気信号として出力する検出器と、該
検出器出力の電気信号に基−て前記スピンドルの基準位
置からの相対変位量を表示する表示器とを有する変位測
定装置において、前記スピンドルが前記緩衝手段に当接
する直前のスビ/ドル位置を検出するだめの基準位置検
出手段を設け、該基準位置検出手段が作動した時のスピ
ンドル位@全前記基準位置とするようりして、前記目的
全達成17たものである。A biasing means for biasing the spindle in the direction of protrusion j5 to add measurement 4j, and a buffer means for fully regulating the maximum protrusion position of the spindle, detect all displacement positions of the spindle, and In the displacement measuring device, the spindle includes a detector that outputs a total electric signal, and a display that displays the amount of relative displacement of the spindle from a reference position based on the electric signal output from the detector. By providing a reference position detecting means for detecting the position of the spindle immediately before the spindle comes into contact with the spindle, and by setting the spindle position @ all the reference positions when the reference position detecting means is activated, all of the above objectives 17 can be achieved. It is something that
更に、前記基準位置検出手段を1本体ケースに取付けら
れた仮ばねと、同じくイX体ケース(で取付けられた。Further, the reference position detecting means was attached to a temporary spring attached to the main body case, and also to the case.
前記スピンドルが最大突出位置近傍にない時は、前記板
ばねと当接している電極片と。an electrode piece that is in contact with the leaf spring when the spindle is not near the maximum protrusion position;
前記スピンドルに取4=Jけられた。スビ/ドルが前記
緩衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばねと電極片
の接触を断つだめの係合片とから構成して、基準位置を
容易1F検出できるようにしたものである。The spindle took 4=J. The reference position can be easily detected by 1F by comprising an engagement piece that breaks contact between the plate spring and the electrode piece at a position immediately before the slide/dol comes into contact with the buffer means.
又、前記板ばねの厚さを、支持部と先端部で異なるもの
とし、先端部の板厚を支持部の板厚より犬として、スピ
ンドルの動きを・余り・妨げることなく、基準位置を高
精度で検出できるようにしたものである。In addition, the thickness of the leaf spring is made different between the support part and the tip part, so that the thickness of the tip part is smaller than that of the support part, so that the reference position can be raised without impeding the movement of the spindle too much. This allows for accurate detection.
更に、前記電極片を、スピンドルの軸線か向に位置調整
可能として、基準位置を調整可能としたものである。Furthermore, the position of the electrode piece can be adjusted in the direction opposite to the axis of the spindle, so that the reference position can be adjusted.
又、前記緩衝手段を、本体ケースに固定された。Further, the buffer means is fixed to the main body case.
弾性部利からなる片持梁状薄肉庁としC1簡坪な構成で
、スピンドルの有効ストロークを損うことなく、高い緩
衝性能が得られるよう眞したものである。It has a cantilever-like thin-wall structure made of elastic parts, and has a simple structure, ensuring that high shock absorbing performance can be obtained without impairing the effective stroke of the spindle.
甲、下、図面を参照して5本発明の実施しlIを詳細に
説明する。5. Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本実施例は、処4図乃至第7図に示す如く、本体ケース
12と、核本体ケース12に軸方向移動自在、且つ、先
端14aが突出して取付けられ、被測定物に当接して変
位されるスピンドル14と、該スピンドル14の略中央
部と前記本体ケース12間に張架され、前記スピンドル
14を突出方向に付勢して測定力を付加するだめの引張
りばね16と、前記スピンドル14の最大突出位置を規
制するための、緩衝手段を兼ねたクッションストッパ6
0と、前記スピンドル22の最大引込位置を規制するた
めの、緩衝手段を兼ねたクッションストッパ28と、前
記スピンドル14の変位量を検出1〜、これを電気信号
として出力するための、前記スピンドル14に取付けら
れたメインスケール26゜前記本体ケース12側に取イ
;]けられたインデックススケール28、光源(図示省
略)および受光素子30を含む光電式1/コーダからな
る検出器20と、該検出器20出ノJの電気信号に基い
て前記スピンドル14の基準位置からの相対変位量を表
示するだめのデジタル表示器(図示省略)とを有する当
接型ゲージ10において、前記スピンドル14が前記下
刃のクッションストッパ60に当接する直前のスピンド
ル位置を検出するだめの基準位置検出器64を設け、該
基準位置検出器64が作動した時のスピンドル位riを
前記基準位置とするようにしたものである。As shown in FIGS. 4 to 7, in this embodiment, a main body case 12 and a core main body case 12 are attached to the main body case 12 so as to be movable in the axial direction, and with the tip 14a protruding, and are displaced by contacting the object to be measured. a tension spring 16 that is stretched between a substantially central portion of the spindle 14 and the main body case 12 and applies a measuring force by urging the spindle 14 in the projecting direction; Cushion stopper 6 that also serves as a buffer means to regulate the maximum protrusion position
0, a cushion stopper 28 which also serves as a buffer means for regulating the maximum retracted position of the spindle 22, detecting the amount of displacement of the spindle 14 1-, and outputting this as an electric signal, the spindle 14. A main scale 26 attached to the main body case 12 side; In the contact type gauge 10, the contact type gauge 10 has a digital display (not shown) that displays the amount of relative displacement of the spindle 14 from the reference position based on an electric signal from the output J of the spindle 14. A reference position detector 64 is provided to detect the spindle position immediately before it contacts the cushion stopper 60 of the blade, and the spindle position ri when the reference position detector 64 is activated is set as the reference position. be.
前記基準位置検出器64は、ねじ66により、基板68
を弁して、一端が本体ケース12側に取付けられた板ば
ね70と、絶縁ブツシュ72及び基板68を介して同ぐ
く本体ケース12側に取付けられた、前記スピンドル1
4が最大突出位置近傍にない時は、前記板ばね70の先
端部ど当接している、一対の円柱状電極片74.76と
、前記スピンドル14側に取付けられた、スピンドル1
4が前記下方のクッションストッパ60に当接する直前
の位置で、前記板ばね70と電極片74.76の接触を
断つための、略逆り字形状の係合精78とから構成され
ている。The reference position detector 64 is connected to the substrate 68 by screws 66.
a leaf spring 70 whose one end is attached to the main body case 12 side, and the spindle 1 which is also attached to the main body case 12 side via an insulating bushing 72 and a board 68.
4 is not near the maximum protrusion position, the pair of cylindrical electrode pieces 74 and 76 that are in contact with the tip of the leaf spring 70 and the spindle 1 that is attached to the spindle 14 side
4 is comprised of a substantially inverted-shaped engagement pin 78 for breaking contact between the plate spring 70 and the electrode pieces 74, 76 at a position immediately before the electrode pieces 74, 76 come into contact with the lower cushion stopper 60.
前記板ばね70は、その厚さが支持部と先端部で異なる
ものとされ、先端部の板厚が支持部の肉厚より犬とされ
ているので、前記係合片78により電極;ヤ74.76
との接触が断たれる位置の再現性が非常に良好なものと
なっている。The thickness of the plate spring 70 is different between the supporting part and the tip part, and the plate thickness of the tip part is smaller than that of the supporting part, so that the electrode; .76
The reproducibility of the position where contact is broken is very good.
又、前記電1抑4.76は、その位置がスピンドル14
の軸線方向に位置調整可能とされ、基準位置を容易に調
整できるようにされている。Moreover, the position of the electric 1 restraint 4.76 is the same as that of the spindle 14.
The position can be adjusted in the axial direction, and the reference position can be easily adjusted.
前記クッションストッパ60.62は、いずれも、本体
ケース12に一方の腕部が固定された、弾性部利1例え
ばゴムからなる1ヤ持梁状薄肉片とされてbる。従って
、スピンドル14の有効ストロークを殆ど損うことなく
、良好な緩衝作用が得られる。Each of the cushion stoppers 60 and 62 is a single beam-shaped thin piece made of an elastic member 1, for example, rubber, with one arm fixed to the main body case 12. Therefore, a good damping effect can be obtained without substantially impairing the effective stroke of the spindle 14.
図において、80は、各種電気回路が配設された回路基
板である。In the figure, 80 is a circuit board on which various electric circuits are arranged.
以下作用を説明する。The action will be explained below.
本発明に係る当接型ゲージ10を、前出第3図に示した
如く、フレーム50に多数並列固定して立体物1Gの形
状を測定する場合を考えると、まず、定盤52+に基準
体を載置して、その時のスピンドル14の変位tl金デ
ジタル表示器22から読取る。この時に際して、定盤5
2」二に基準体を載置する前に、各当接型ゲージ10の
電(Inオ/としておけば、各当1炙型ゲージ10のス
ピンドル14は、それぞれその最大突出位置にあるため
。When considering the case where a large number of contact type gauges 10 according to the present invention are fixed in parallel to a frame 50 to measure the shape of a three-dimensional object 1G, as shown in FIG. The displacement tl of the spindle 14 at that time is read from the gold digital display 22. At this time, the surface plate 5
2. Before placing the reference body on the second plate, if the voltage of each contact type gauge 10 is set to 1, the spindle 14 of each contact type gauge 10 is at its maximum protrusion position.
基準位置検出器64が必ず作動することになる。The reference position detector 64 will definitely operate.
従って、基準位置検出器64によって検出された絶対基
準位置をもとに、基準体の寸法が測定される。Therefore, the dimensions of the reference body are measured based on the absolute reference position detected by the reference position detector 64.
ついで、重鐘を遮断した状態で、定盤52)から当接型
ゲージ12をフレーム50ごと取りはずし、定盤52上
に被測定物を載置する。更に、フレーム50を定盤52
Fに戻す前に、各当接型ゲージ10の電源を再びオ/と
すると、この時にも各当接型ゲージ10のスピンドル1
4は、それぞれその最大突出位置にあるため、基準位置
検出器64が動作し、当接型ゲージ10は絶対基準位置
を基に変位M′を測定することになる。従って、被測定
物又は当接型ゲージの搬送等に際して、当接型ゲージの
電#、を遮断したり、或いは、停電、操作ミス等により
電源が遮断された場合におりても。Next, with the heavy bell shut off, the contact type gauge 12 is removed from the surface plate 52 along with the frame 50, and the object to be measured is placed on the surface plate 52. Furthermore, the frame 50 is attached to a surface plate 52.
Before returning to F, if the power to each contact type gauge 10 is turned on/off again, the spindle 1 of each contact type gauge 10 is
4 are at their maximum protrusion positions, the reference position detector 64 operates, and the contact type gauge 10 measures the displacement M' based on the absolute reference position. Therefore, even if the power to the contact type gauge is cut off when transporting the object to be measured or the contact type gauge, or if the power supply is cut off due to a power outage, operational error, etc.
同一の絶対基準位置金もとに、正確な比較測定を行うこ
とが可能となる。It becomes possible to perform accurate comparative measurements based on the same absolute reference position.
本実施例においては、スピンドルの最大突出位置近傍に
基準位置検出器を設けているので、当接型ゲージが測定
状卯になり場合には、必ずその表示値が絶対基準位置で
校踵されることになり、基準位置による#:瓜が、確実
に行われる。なお、基準位置を得る方法はこれに限定さ
れず、例えば、スピンドルの最大引込位置近傍或いは中
央部近傍に基準位置検出器を設けて、基準位置とするこ
とも勿論可能である。In this embodiment, the reference position detector is provided near the maximum protrusion position of the spindle, so when the contact type gauge is in the measurement position, the displayed value is always calibrated at the absolute reference position. Therefore, #: Melon is reliably performed according to the reference position. Note that the method for obtaining the reference position is not limited to this, and it is of course possible to provide the reference position by providing a reference position detector near the maximum retracted position or near the center of the spindle, for example.
又、本実施例においては、基準位置検出手段として、板
ばね、電極Wおよび係合片等から構成される機械的な基
準位置検出器を用いているので、構成が単純であり、電
気回路側の負担も少ない。Furthermore, in this embodiment, a mechanical reference position detector consisting of a leaf spring, an electrode W, an engaging piece, etc. is used as the reference position detection means, so the structure is simple and the electric circuit side The burden is also small.
なお、基準位置検出手段の構成は、これに限定されず、
例えばメインスケールの途中に、絶対基準位置検出用の
う/ダムパターン状の目盛縞を設け、該目盛縞を利用し
て、基準位置全検出することも百丁能である。Note that the configuration of the reference position detection means is not limited to this,
For example, it is also possible to provide a scale stripe in the form of a hollow/dam pattern for detecting the absolute reference position in the middle of the main scale, and use the scale stripe to detect all reference positions.
前記実施911においては、本発明が、光電式1/コー
ダを有する検113器を含む当接型の直線変位測定機に
適用されていたが1本発明の適用範囲はこれに限定され
ず、光電式1/コーダ以外の工/コーダ、例えば磁気式
1/コーダを含むものや、直線変位測定機以外の変位測
定装置にも同様に適用可能である。更に、デジタル表示
の他、プリ/り等によって測定結果を表示するようにし
たものにも同様に適用可能である。In the embodiment 911, the present invention was applied to a contact-type linear displacement measuring machine including a detector having a photoelectric 1/coder, but the scope of application of the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. The present invention is similarly applicable to machines/coders other than Equation 1/coders, such as those including magnetic 1/coders, and displacement measuring devices other than linear displacement measuring machines. Furthermore, in addition to digital display, the present invention can be similarly applied to display of measurement results by pre-printing/printing or the like.
以ヒ説明したとうり、本発明によれば、電源が遮断され
ても基準位置を確実に再現することができ、しかも、ス
ピンドルの有効ストロークを殆んど制限することがない
という優れた効果を有する。As explained below, according to the present invention, the reference position can be reliably reproduced even if the power is cut off, and the effective stroke of the spindle is hardly limited. have
第1図は、従来の当接型直線変位測定機を示す正面図、
第2図は、同じく拡大正断面図、第3図Mは、本発明に
係る変位測定装置の実施例を示す正断面図、第5図は、
同じく側断面図、第6図は、第4図のVl−Vl線に沿
う断面図、第7図は、同じく第4図の■−■線1(沿う
断面図である。
10・・当接型直線変位測定機
12・・本体ケース
14・・・スピンドル
16・・・引張りばオつ
20・・・検出器
60・・・クツシフ/ストッパ
64・・・基準位置検出器
70・・・板ばね
74.76・・・電極片
78・・・係合咋。
第4図
第5図
畳
第6図
第7図Figure 1 is a front view showing a conventional contact type linear displacement measuring machine;
FIG. 2 is an enlarged front sectional view, FIG. 3M is a front sectional view showing an embodiment of the displacement measuring device according to the present invention, and FIG.
Similarly, FIG. 6 is a sectional view taken along line Vl--Vl in FIG. 4, and FIG. 7 is a sectional view taken along line 1--1 in FIG. 4. Type linear displacement measuring device 12...Body case 14...Spindle 16...Tension lever 20...Detector 60...Cut shift/stopper 64...Reference position detector 70...Plate spring 74.76... Electrode piece 78... Engagement piece. Fig. 4 Fig. 5 Tatami Fig. 6 Fig. 7
Claims (1)
端が突出して取付けられたスピンドルの先端全被測定物
に当接した時の、前記スピンドルの基準位置からの相対
変位M、を検出すると共に、緩衝手段を用すで前記スピ
ンドルのストロークを規制するようにした変位測定方法
におりで、前記緩衝手段が作動する直前のスピンドル位
置を、前記基準位置とするように1.たことを特徴とす
る変位測定方法。 (2)本体ケースと、該不休ケースに軸方向移動自在、
且つ、先端が突出して取付けられ、被測定物に当接して
変位されるスピンドルと、該スピンドルを突出方向に付
勢して制定力を付加するための付勢手段と、前記スピン
ドルの最大突出位置を規制するための緩衝手段と、前記
スピンドルの変位量を検出して、これを電気信号として
出力する検出器と、該検出器出力の電気信号に基いて前
記スピンドルの基準位置からの相対変位量を表示する表
示器とを有する変位測定装置において、前記スピンドル
が前記緩衝手段に当接する直前のスピンドル位置を検出
するための基準位置検出手段を設け、該基準位置検出手
段が作動した時のスピンドル位置を前記基準位置とする
ようにしたことを特徴とする変位測定装置。 (3)前記基準位置検出手段が1本体ケースに取付けら
れた板ばねと、同じく本体ケースに取付けられた。前記
スピンドルが最大突出位置近傍にない時ト嘘、前記板ば
ねと当接している電極片と、前記スピンドルに取付けら
れた、スピンドルが前記緩衝手段に当接する直前の位置
で、前記板ばねと電極片の接触を断つための係合片とか
ら構成されて−る特許請求の範囲第2項に記載の変位測
定装置。 (4)前記板ばねの厚さが、支持部と先端部で異なるも
のとされ、先端部の板厚が支持部の板厚より大とされて
いる特許請求の範囲第3項に記載の変位測定装置。 (5)前記電極片が、スピンドルの軸線方向に位@調整
可能とされている特許請求の範囲第3項に記載の変位測
定装置。 (6)前記緩衝手段が1本体ケースに固定された。 弾件部利からなる片持梁状薄肉片である特許請求の範囲
第2項に記載の変位測定装置。[Claims] (It) Relative to the reference position of the spindle when the entire tip of the spindle attached to the main body case is movable in five axial directions and has a protruding tip, and comes into contact with the object to be measured. The displacement measuring method includes detecting the displacement M and regulating the stroke of the spindle using a buffer means, wherein the spindle position immediately before the buffer means operates is set as the reference position. 1. A displacement measurement method characterized by: (2) A main body case, which is freely movable in the axial direction in the non-stop case;
A spindle that is attached with a protruding tip and is displaced by coming into contact with an object to be measured, a biasing means for biasing the spindle in a protruding direction to apply an establishing force, and a maximum protruding position of the spindle. a buffer means for regulating the amount of displacement of the spindle; a detector that detects the amount of displacement of the spindle and outputs it as an electric signal; and an amount of relative displacement of the spindle from the reference position based on the electric signal output from the detector. In the displacement measuring device, the displacement measuring device has a reference position detecting means for detecting a spindle position immediately before the spindle comes into contact with the buffer means, and the spindle position when the reference position detecting means is activated is provided. A displacement measuring device characterized in that the reference position is set as the reference position. (3) The reference position detecting means is a leaf spring attached to the main body case, and the same is attached to the main body case. When the spindle is not in the vicinity of the maximum protrusion position, the electrode piece that is in contact with the leaf spring and the electrode piece that is attached to the spindle are connected to the leaf spring and the electrode at a position immediately before the spindle comes into contact with the buffer means. 3. The displacement measuring device according to claim 2, further comprising an engaging piece for breaking contact between the pieces. (4) The displacement according to claim 3, wherein the thickness of the leaf spring is different between the support part and the tip part, and the plate thickness of the tip part is larger than the plate thickness of the support part. measuring device. (5) The displacement measuring device according to claim 3, wherein the electrode piece is adjustable in position in the axial direction of the spindle. (6) The buffer means is fixed to one main body case. The displacement measuring device according to claim 2, which is a cantilever-like thin piece made of an elastic member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17892582A JPS5967412A (en) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | Method and device for measuring displacement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17892582A JPS5967412A (en) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | Method and device for measuring displacement |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967412A true JPS5967412A (en) | 1984-04-17 |
| JPH0151923B2 JPH0151923B2 (en) | 1989-11-07 |
Family
ID=16057038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17892582A Granted JPS5967412A (en) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | Method and device for measuring displacement |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967412A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105091700A (en) * | 2015-08-07 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | Measuring tool |
-
1982
- 1982-10-12 JP JP17892582A patent/JPS5967412A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105091700A (en) * | 2015-08-07 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | Measuring tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0151923B2 (en) | 1989-11-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2627119A (en) | Electromagnetic pickup for gauging devices | |
| US4798004A (en) | Displacement detecting apparatus | |
| JP2002062124A (en) | Length measuring device | |
| JP2006010689A (en) | Probe with trigger | |
| US3943633A (en) | Probe for a gear tester | |
| US4062120A (en) | Digital electronic micrometer | |
| JPS6332315A (en) | Digital display type measuring instrument | |
| JPS5967412A (en) | Method and device for measuring displacement | |
| US2511276A (en) | Apparatus for measuring the thickness of the material of articles, such as tubes, etc. | |
| US3025700A (en) | Surface testing apparatus | |
| US2580009A (en) | Adapter for snap gauges | |
| US3122838A (en) | Indicating device and zero adjustment therefor | |
| JPS5819503A (en) | Size measuring device | |
| US2293289A (en) | Strain gauge | |
| JPH0694807A (en) | Voltage signal measuring device for integrated circuit | |
| JPH10253310A (en) | Contact type displacement measuring device | |
| US2972250A (en) | Surface testing apparatus | |
| JPS58131530A (en) | How to calibrate a stylus pressure measuring device | |
| JP3144636B2 (en) | Lens meter | |
| JP2579802B2 (en) | Measurement probe for 3D measurement | |
| JPS6212278Y2 (en) | ||
| US3269022A (en) | Fine measuring instrument with a measuring eyepiece | |
| JPH0262003B2 (en) | ||
| JPS60114722A (en) | Digital measuring device | |
| JPH0161161B2 (en) |