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JPS61131297A - Mask ROM - Google Patents

Mask ROM

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Publication number
JPS61131297A
JPS61131297A JP59252327A JP25232784A JPS61131297A JP S61131297 A JPS61131297 A JP S61131297A JP 59252327 A JP59252327 A JP 59252327A JP 25232784 A JP25232784 A JP 25232784A JP S61131297 A JPS61131297 A JP S61131297A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inverter circuit
mask rom
signal
output
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59252327A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0249518B2 (en
Inventor
Hiroaki Suzuki
宏明 鈴木
Tadahiro Kuroda
忠広 黒田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP59252327A priority Critical patent/JPS61131297A/en
Publication of JPS61131297A publication Critical patent/JPS61131297A/en
Publication of JPH0249518B2 publication Critical patent/JPH0249518B2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、マスクROM (Mask Read O
nlyMemory)に関するもので、特にスタティッ
ク型のCMOSマスクROMに使用されるものである。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] This invention relates to a mask ROM (Mask Read O
nlyMemory), and is particularly used for static type CMOS mask ROM.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

一般に、マスクROMはその回路方式に応じて非同期型
(スタティック)方式と同期型(ダイナミック)方式と
に大別される。すなわち、外部からの制御信号を必要と
せず随時入力信号を受は入れてデータを出力するのが非
同期型方式であシ、外部からの制御信号を必要とし、こ
の制御信号のタイミングに応じて入力信号を受は入れて
データを出力するのが同期型方式である。
In general, mask ROMs are roughly classified into asynchronous (static) type and synchronous (dynamic) type depending on their circuit type. In other words, the asynchronous method accepts input signals at any time and outputs data without requiring an external control signal. The synchronous method receives signals and outputs data.

上記、非同期型方式は、外部がらの制御信号を必要とせ
ず、そのタイミングを考慮しなくても良いので、同期型
よシ使い易い方式である。
The asynchronous method described above is easier to use than the synchronous method because it does not require an external control signal and there is no need to consider its timing.

第9図は、従来から用込られている非同期型方式のマス
クROMの回路構成を示している。第10図はその一部
のパターン構成例である。第9図におけるTDは、ディ
プレッション型のNチャネル型負荷MOSトランジスタ
、TINITN21TN31・・・ハメモリセルとして
のエンハンスメント型ノNチャネル型MO8トランジス
タ、11は入力信号INが供給され上記トランジスタT
n1+TN2+TN3+・・・を選択的に駆動するデコ
ーダ、12は上記MO8トランジスタTN 1 r T
N2 + TN 3 H・・・の一端が共通接続される
データ線り、の電位を増幅して読み出しデータOUTを
得るセンスアンプである。
FIG. 9 shows a circuit configuration of a conventionally used asynchronous type mask ROM. FIG. 10 shows an example of a part of the pattern configuration. In FIG. 9, TD is a depletion type N-channel type load MOS transistor, TINITN21TN31... is an enhancement type N-channel type MO8 transistor as a memory cell, and 11 is the transistor T to which the input signal IN is supplied.
A decoder that selectively drives n1+TN2+TN3+..., 12 is the MO8 transistor TN 1 r T
N2 + TN 3 H... is a sense amplifier that amplifies the potential of a data line commonly connected to obtain read data OUT.

上記のような構成において、データのプログラミングは
MOS トランジスタTN 1* TN 2+ TN 
3 *・・・を形成するか否かによって行なう。第9図
においては、破線で示したトランジスタT2を形成して
いない。
In the above configuration, data programming is performed using MOS transistors TN 1* TN 2+ TN
3 Depending on whether or not *... is formed. In FIG. 9, the transistor T2 indicated by a broken line is not formed.

次に、動作を説明する。デコーダ11に入力信号INが
供給されると、信号線P 1  r P2  rp3.
・・・の中の1本が選択されてハイ(”H”)レベル、
他は全てロー(”L″)レベルとなる。上記”H″ルベ
ル信号線によって、メモリセルとしての1つのMOS 
トランジスタが選択される。今、MOS トランジスタ
TN1が選択されたものとすると、このトランジスタT
N1がオン状態となってデータ線Dlの電位が低下する
。このデータ線り、の電位低下をセンスアンプ12で増
幅することによセ、読み出しデータOUT (“0”)
を得る。
Next, the operation will be explained. When the input signal IN is supplied to the decoder 11, the signal lines P 1 r P2 rp3 .
One of them is selected and becomes high (“H”) level,
All others are at low ("L") level. One MOS as a memory cell is connected by the above "H" level signal line.
A transistor is selected. Now, assuming that MOS transistor TN1 is selected, this transistor T
N1 is turned on and the potential of the data line Dl decreases. By amplifying this potential drop on the data line with the sense amplifier 12, the read data OUT (“0”)
get.

一方、MOSトランゾスマス2 (このMOSトランジ
スタT2は形成されていないが)が選択されたとすると
、データa D 1は負荷MO8トランジスタTDによ
ってゾリチャーゾされた電位が保持されるので、この電
位がセンスアンf12によって増幅され、読み出しデー
タOUT (’ 1 ” )を得る。
On the other hand, if MOS transistor 2 (this MOS transistor T2 is not formed) is selected, the data a D 1 is held at a potential that has been converted by the load MO8 transistor TD, so this potential is amplified by the sense amplifier f12. The read data OUT ('1'') is obtained.

上記データのプログラミング時に、MOSトランジスタ
TN 1 e TN 21 TN3 +・・・を形成す
るか否かは、第10図に示す如くMOS トランジスタ
のソース。
When programming the above data, whether or not to form the MOS transistors TN 1 e TN 21 TN3 + . . . is determined by the sources of the MOS transistors as shown in FIG.

ドレイン領域を形成するか否かによって決定する。第1
0図において、前記第9図の回路に対応する部分には同
じ符号を付しておシ、データ線D110.、・・・はア
ルミ層によって形成され、信号線Pl + Px  r
 P3+・・・はポリシリコン層によって形成される。
Determined depending on whether or not to form a drain region. 1st
0, parts corresponding to the circuits in FIG. 9 are given the same reference numerals, and the data lines D110. , . . . are formed of aluminum layers, and the signal lines Pl + Px r
P3+... is formed by a polysilicon layer.

なお、13は拡散領域、141〜144はアルミ層と拡
散層とのコンタクト部である。
Note that 13 is a diffusion region, and 141 to 144 are contact portions between the aluminum layer and the diffusion layer.

しかし、上記のような構成では、スタンバイ時にも直流
貫通電流が流れるため、消費電流が大きくなる欠点があ
る。
However, in the above configuration, a DC through current flows even during standby, so there is a drawback that current consumption increases.

このような欠点を除去して低消費電流化を図れる非同期
型方式のマスクROMとして、第11図に示すような0
MO8型の回路がある。この回路は、前記第9図におけ
る負荷MOSトランジスタTDに代えて、信号線P、%
Pnの電位で導通制御されるPチャネル型のMOS ト
ランジスタTP1〜TPnを直列接続して設けたもので
、第12図にその/母ターン構成例を示す。
As an asynchronous type mask ROM that can eliminate these drawbacks and reduce current consumption, the
There is an MO8 type circuit. This circuit replaces the load MOS transistor TD in FIG. 9 with signal lines P, %
It is provided by connecting P-channel type MOS transistors TP1 to TPn in series, whose conduction is controlled by the potential of Pn, and an example of the main turn configuration is shown in FIG.

上記マスクROMのプログラミングは、負荷としてのP
チャネル型MO3トランジスタ’rp1−Jrpnのダ
ート領域への不純物の注入によるディゾレッション化と
、これに対応する駆動用のNチャネル型MOS トラン
ジスタ’rN1−+N、を形成するか否かによって行な
う。
Programming of the above mask ROM is performed using P as a load.
This is done by injecting impurities into the dirt regions of the channel type MO3 transistors 'rp1-Jrpn to achieve desorption, and by forming corresponding N-channel type MOS transistors 'rN1-+N for driving.

上記のような構成において、デコーダ11に入力信号I
Nが供給され、信号線P1が“H”レベル、他は全て@
 L#レベルになったとすると、MOS トランジスタ
TP1はオフ状態、TNlがオン状態となり、データ線
Dlの電位が低下される。
In the above configuration, the input signal I is input to the decoder 11.
N is supplied, signal line P1 is at “H” level, and all others are @
When the level becomes L#, the MOS transistor TP1 is turned off, TNl is turned on, and the potential of the data line Dl is lowered.

このデータ線Dlの電位をセンスアン7°12で増幅す
ることによ)、読み出しデータOUT (” 0”)を
得る。一方、信号線P2が°H”レベル、他は全て”L
”レベルになった場合には、MOSトランゾスマスP2
はディプレッション型であるのでオン状態、MOSトラ
ンソスマスN2は形成されていナイので、電源VDDか
らMOS トランジスタTP1〜TPnを介してデータ
線DIがチャーソアッゾされる。従って、この電位がセ
ンスアンf12−10〜 によシ増幅され、読み出し出力OUT (”1’)が得
られる。
By amplifying the potential of this data line Dl by a sense amplifier 7°12), read data OUT (“0”) is obtained. On the other hand, signal line P2 is at °H" level, and all others are at "L" level.
``If the level is reached, MOS Transosmas P2
Since it is a depletion type, it is in the on state, and since the MOS transistor N2 is not formed, the data line DI is turned on from the power supply VDD via the MOS transistors TP1 to TPn. Therefore, this potential is amplified by the sense amplifiers f12-10 to obtain the readout output OUT ("1").

このようにCMOS構成にすれば、貫通電流が流れるの
は過渡状態のみであるので、スタンバイ時に電流は流れ
ず、大幅な低消費電流化が図れる。しかし、相補型に構
成するため2′1′タ一ン占有面積が大きくなる欠点が
ある。また、負荷としてPチャネル型のMOS トラン
ジスタが複数段直列接続されるため、電流駆動能力が著
しく低下し、データ線Dlが接地(Vs s )レベル
にディスチャージされる時間に比べ、電源VDDレベル
にチャージアップさ九る時間が非常に長くなり、アクセ
スタイムが遅くなる欠点がある。
With this CMOS configuration, a through current flows only in a transient state, so no current flows during standby, and current consumption can be significantly reduced. However, since the structure is complementary, the area occupied by the 2'1' tangents is large. In addition, since multiple stages of P-channel MOS transistors are connected in series as a load, the current drive capability is significantly reduced, and the time taken to charge the data line Dl to the power supply VDD level is longer than the time it takes to discharge the data line Dl to the ground (Vs s ) level. The downside is that it takes a very long time to upload and slows down access time.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、スタンバイ電流が流れず、パ
ターン占有面積も小さくできるとともに、アクセスタイ
ムの遅れも少ないすぐれたマスクROMを提供すること
である。
This invention was made in view of the above circumstances,
The purpose is to provide an excellent mask ROM in which no standby current flows, the area occupied by the pattern can be reduced, and the delay in access time is small.

〔発明の概要〕 すなわち、この発明においては、上記の目的を達成する
ために、メモリセルとしてのMOS トランジスタのソ
ースを電源VDDに接続するか、VSBに接続するかに
よってデータのデログラミンダを行なうようにしたもの
で、負荷トランジスタを用いないのでスタンバイ時の消
費電流を少なくできるとともに、相補型に回路構成しな
いためにA?ターンの占有面積も小さくできる。
[Summary of the Invention] That is, in order to achieve the above object, the present invention deprograms data by connecting the source of a MOS transistor as a memory cell to the power supply VDD or VSB. Since it does not use a load transistor, the current consumption during standby can be reduced, and since the circuit is not configured in a complementary type, the A? The area occupied by the turn can also be reduced.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第1図におけるバスラインB1yB2+・・・に
は、メモリセルアレー15としてのNチャネル型MOS
 )ランマスタ群Trij(1””J 12 + ”’
 r mXj==J l 2+ ”’、” )のドレイ
ンが各行毎に接続される。上記MO8)ランマスタ群T
rijのソースはそれぞれ、記憶する情報に応じて電源
VDDあるいはVSBに接続され、r−トは各列毎に信
号線p、−Pnに接続される。これら信号線P1〜Pn
には、入力信号INが供給されるデコーダ(フルデコー
ダ)11の出力が供給され、選択された1本の信号線が
VDDレベルに、他は全てVSSレベルに設定される。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The bus lines B1yB2+ in FIG.
) Run master group Trij (1""J 12 + "'
The drains of r mXj==J l 2+ ``','') are connected for each row. Above MO8) Run master group T
The sources of rij are respectively connected to the power supply VDD or VSB depending on the information to be stored, and the r-ts are connected to signal lines p and -Pn for each column. These signal lines P1 to Pn
is supplied with the output of the decoder (full decoder) 11 to which the input signal IN is supplied, one selected signal line is set to the VDD level, and all others are set to the VSS level.

また、上記バスラインB1+B2*・・・には、インバ
ータ回路16□ 、162と抵抗Rとを正帰還がかかる
ように接続して形成したレベル補償回路121゜172
、・・・がそれぞれ設けられ、これらレベル補償回路1
71,172.・・・を介して出力信号0UT1 rO
UT 2 r・・・を得るようにして成る。
Further, the bus lines B1+B2*... are provided with level compensation circuits 121, 172 formed by connecting inverter circuits 16□, 162 and a resistor R so as to provide positive feedback.
, . . . are provided respectively, and these level compensation circuits 1
71,172. Output signal 0UT1 rO via...
UT 2 r... is obtained.

次に、上記のような構成において動作を説明する。今、
デコーダ11の出力によシ信号線Plが選択されてVD
Dレベル、他の信号線P2〜Pnは全てVB8レベルと
なったとすると、上記゛信号線Plにダートが接続され
たMOS トランジスタTr11 、Tr21 +−s
 Trmlがオン状態となシ、他の列のMOS トラン
ジスタは全てオフ状態となる。
Next, the operation in the above configuration will be explained. now,
The signal line Pl is selected by the output of the decoder 11 and VD
Assuming that the D level and the other signal lines P2 to Pn are all at the VB8 level, the MOS transistors Tr11 and Tr21 +-s whose darts are connected to the signal line Pl are
While Trml is in the on state, all MOS transistors in other columns are in the off state.

従って、バスラインB、はV811レベル、B2はVD
D L/ ベルとなる。この時、バスラインB2 C+
電位は、正確にはNチャネル型のMOS トランジスタ
Tr21のしきい値電圧Vt hN分低下し、「vDD
−VthN」=13− となる。このレベルでは次段のCMO8r−トの貫通電
流を大きくするので、レベル補償回路172によってレ
ベル設定を行なっている。そして、上記レベル補償回路
171からVSSレベルの出力信号OUT 、を、17
2からVDDレベルの出力信号OUT、を得る。
Therefore, bus line B is at V811 level, and B2 is at VD
DL/ Becomes a bell. At this time, bus line B2 C+
To be more precise, the potential is lowered by the threshold voltage Vt hN of the N-channel MOS transistor Tr21, and becomes "vDD".
−VthN”=13−. At this level, the through current of the next stage CMO8r-to is increased, so the level is set by the level compensation circuit 172. Then, the output signal OUT of the VSS level from the level compensation circuit 171 is 17
2, an output signal OUT at the VDD level is obtained.

一方、デコーダ1ノによって信号線Pzが選択された場
合には、MOSトランゾスマスr12+Tr 22がオ
ン状態となシ、バスラインB1がVDDレベル、B2が
MOSし4ルとなる。上記MOSトランジスタTr12
のしきい値電圧VthNによるバスラインBlのレベル
の低下は、レベル補償回路17□によって補償され、出
力信号OUT 、はVDDレベル、OU’r2 ハVs
sレベルトナル。以下、同様にしてメモリセルアレー1
5から記憶情報が読み出される。
On the other hand, when the signal line Pz is selected by the decoder 1, the MOS transistor r12+Tr 22 is not turned on, the bus line B1 is at the VDD level, and the bus line B2 is at the MOS level. The above MOS transistor Tr12
The drop in the level of the bus line Bl due to the threshold voltage VthN is compensated by the level compensation circuit 17□, and the output signal OUT is at the VDD level, and the output signal OUT
s level tonal. Hereinafter, in the same manner, memory cell array 1
The stored information is read from 5.

第2図は、前記レベル補償回路の他の構成例を示すもの
で、前記第1図におけるレベル補償回路171  、1
72+・・・が電源vDD # Vl!8の両側のレベ
ル補償を行なっているのに対し、パスライ−1← ンのレベルがメモリセルとしてのMOS トランジスタ
のしきい値寛圧VthN分低下するのは電源VDD側の
みであるので、この電源VDD側のみのレベル補償を行
なうようにしたものである。すなわち、バスラインBに
はインバータ回路1(10の入力端が接続され、このイ
ンバータ回路1(10の入力端と電源VDD間には抵抗
R1(10およびPチャネル型のMOS)ランマスタT
r1ooカ直列接続される。そして、上記インバータ回
路lθθの出力によj5MO8)ランマスタTr1(1
0を導通制御するとともに、このインバータ回路1(1
0から出力信号OUTを得る。とのような構成によれば
、前記第1図のものに比べてアクセスタイムの高速化が
図れる。第3図に前記第1図の回路におけるレベル補償
回路171*172r・・・を設げた場合(実線)、設
けない場合(一点鎖線)、および第2図のレベル補償回
路を設けた場合(二点鎖線)のバスラインの充電電位の
時間的な変化を一括して示す。ここで、tlは充電開始
時刻、tzは放電開始時刻である。なお、前記第1図に
おけるレベル補償回路171,17□。
FIG. 2 shows another example of the structure of the level compensation circuit, in which the level compensation circuits 171 and 1 in FIG.
72+... is the power supply vDD # Vl! 8, while the level of pass line 1← decreases by the threshold tolerance voltage VthN of the MOS transistor as a memory cell only on the power supply VDD side. Level compensation is performed only on the VDD side. That is, the input terminal of an inverter circuit 1 (10) is connected to the bus line B, and a resistor R1 (10 and a P-channel MOS) run master T is connected between the input terminal of the inverter circuit 1 (10) and the power supply VDD.
r1oo are connected in series. Then, by the output of the inverter circuit lθθ, the run master Tr1 (j5MO8) is activated.
This inverter circuit 1 (1
Obtain the output signal OUT from 0. According to the configuration as shown in FIG. 1, the access time can be faster than that shown in FIG. FIG. 3 shows cases in which the level compensation circuits 171*172r, etc. in the circuit shown in FIG. The graph collectively shows the temporal changes in the charging potential of the bus line (dotted chain line). Here, tl is the charging start time, and tz is the discharging start time. Note that the level compensation circuits 171, 17□ in FIG.

・・・、および第2図のレベル補償回路17の抵抗R、
R1(10の抵抗値はOΩであっても良く、この抵抗値
は回路特性に応じて設定すれば良い。
. . . and the resistor R of the level compensation circuit 17 in FIG.
The resistance value of R1 (10) may be OΩ, and this resistance value may be set according to the circuit characteristics.

このような構成によれば、スタンバイ時にオン状態とな
っている素子がないため、スタンバイ時の消費定流は漏
れ電流程度であり、極めて低い値に抑えることができる
。また、前記第11図に示した回路のように、負荷とし
て複数段のMOS )ランマスタを設ける必要もないた
め、電流駆動1目力の低下によるアクセスタイムの低下
や、相補釜に構成することによる/ぐターン面積の増加
もない。さらに、非同期型方式であるために複雑な制御
回路を必要とせず、容易にLSI化でき、様々なシステ
ムへ応用できる。
According to such a configuration, since no element is in an on state during standby, the constant current consumption during standby is about the same as leakage current, and can be suppressed to an extremely low value. Furthermore, unlike the circuit shown in FIG. 11, there is no need to provide a multi-stage MOS (MOS) run master as a load. There is no increase in turn area. Furthermore, since it is an asynchronous method, it does not require a complicated control circuit, can be easily integrated into an LSI, and can be applied to various systems.

第4図ないし化7図はそれぞれ、前記第1図の回路にお
けるメモリセルのパターン構成例を示している。第4図
は、メモリセルとしてのMOSトランゾスマスr41の
ソースを電源vDDに接続するか、あるいはVSSに接
続するか(プログラミング)を拡散層で行なう場合の2
4ターン構成である。第4図におけるMOS )ランマ
スタTr12のソースは、拡散層181およびコンタク
ト部191を介して電源VDDラインに接続され、MO
S ) 7ンソスタTr15のソースは拡散層182お
よびコンタクト部192を介して電源VSBラインに接
続されている。ここで、拡散層181゜182を形成せ
ずに破線で囲んだ領域2o1 。
4 to 7 respectively show examples of pattern configurations of memory cells in the circuit shown in FIG. 1. FIG. 4 shows two cases in which the source of a MOS transistor r41 as a memory cell is connected to the power supply vDD or VSS (programming) using a diffusion layer.
It consists of 4 turns. The source of the MOS run master Tr12 in FIG.
The source of the S7 source transistor Tr15 is connected to the power supply VSB line via the diffusion layer 182 and the contact portion 192. Here, a region 2o1 is surrounded by a broken line without forming a diffusion layer 181 and 182.

20、に例えばイオン注入によシ拡散層を形成すれば、
MOS トランジスタTr12のソースを電源VI!8
ラインに、Tr13のソースを電源vDDラインにそれ
ぞれ接続することができる。なお、上記電源VDDライ
ン+Vl1gラインおよびバスラインBlはそれぞれア
ルミ層で形成し、信号線P1〜P4はポリシリコン層で
形成している。
20, if a diffusion layer is formed by ion implantation, for example,
The source of MOS transistor Tr12 is connected to power supply VI! 8
The source of Tr13 can be connected to the power supply vDD line, respectively. Note that the power supply VDD line +Vl1g line and the bus line Bl are each formed of an aluminum layer, and the signal lines P1 to P4 are formed of a polysilicon layer.

第5図は、他のパターン構成例を示すもので、上記第4
図のパターンを更に高密度化するために、コンタクト部
”1e192を各ラインに対して斜めに形成している。
FIG. 5 shows another example of the pattern configuration.
In order to further increase the density of the pattern shown in the figure, contact portions "1e192" are formed diagonally with respect to each line.

図において、前記第4図に対応する部分に同一の符号を
付す。
In the figure, parts corresponding to those in FIG. 4 are given the same reference numerals.

−17= 第6図は、さらに他のパターン構成例を示すもので、プ
ログラミングをコンタクト部を形成するか否かによって
行なうようにしてしる。すなわチ、MOSトランジスタ
Tr12のソース領域は、拡散層211によって電源V
DDおよびVEISライン下まで延設され、コンタクト
部191によって′喧源VDDラインに接続される。ま
た、Mosトランソスマスr13のソース領域は、拡散
層212によって電源VDDラインおよびVSSライン
下まで延設され、コンタクト部192によって電源V8
8ラインに接続される。なお、コンタクト部19□ 、
19□を設けず、破線で囲んだ領域221.222FC
コンタクト部を形成すれば、MOSトランジスタTr1
2のソースは電源vssラインに、Tr13のソースは
電源VDDラインに接続される。
-17= FIG. 6 shows yet another example of pattern configuration, in which programming is performed depending on whether or not a contact portion is formed. In other words, the source region of the MOS transistor Tr12 is connected to the power supply V by the diffusion layer 211.
It extends below the DD and VEIS lines, and is connected to the VDD line by a contact portion 191. Further, the source region of the Mos transistor mass r13 is extended to below the power supply VDD line and the VSS line by the diffusion layer 212, and the source region of the Mos transistor mass r13 is extended to below the power supply VDD line and the VSS line by the contact portion 192.
Connected to 8 lines. In addition, the contact part 19□,
Area 221.222FC surrounded by broken lines without 19□
If the contact part is formed, the MOS transistor Tr1
The source of Tr 2 is connected to the power supply vss line, and the source of Tr 13 is connected to the power supply VDD line.

第7図は、他のパターン構成例を示すもので、電源VD
Dラインおよび電源VSgラインを形成するアルミ層に
よりプログラミングを行なうようにしたものである。第
7図におけるMOSトランジスタTr12のソースは、
拡散層2ノ□ 、コンタクト部231 およびアルミ層
241をそれぞれ介して電源VDDラインに接続される
。また、M)S トランジスタTr13のソースは、拡
散層212゜コンタクト部234およびアルミ層242
をそれぞれ介して電源VS8ラインに接続される。こコ
テ、アルミWl”l r 2”を形成せずに、破線で示
す領域251.252にアルミ層を形成すれば、MOS
トランゾスマスr12のソースを電源V81!ラインに
、Tr13のソースを電源VDDラインに接続できる。
FIG. 7 shows another pattern configuration example, in which the power supply VD
Programming is performed using an aluminum layer forming the D line and the power supply VSg line. The source of the MOS transistor Tr12 in FIG.
It is connected to the power supply VDD line through the diffusion layer 2, the contact portion 231, and the aluminum layer 241, respectively. Further, the source of the M)S transistor Tr13 is connected to the diffusion layer 212° contact portion 234 and the aluminum layer 242.
are connected to the power supply VS8 line through respectively. Here, if we form an aluminum layer in the region 251 and 252 shown by the broken line without forming the aluminum Wl"l r 2", the MOS
Transosmas R12 source is power supply V81! The source of Tr13 can be connected to the power supply VDD line.

なお、パターン構成は上述i〜だものに限られるもので
はなく、種々の変形が可能であシ、多層配線を用いるよ
うなパターンであっても良い。
Note that the pattern configuration is not limited to the above-mentioned one, but can be modified in various ways, and may be a pattern using multilayer wiring.

第8図は、この発明の他の実施例を示すもので、前記第
1図の回路においては、バスラインB1pB2+・・・
の電位をレベル補償回路171 。
FIG. 8 shows another embodiment of the present invention. In the circuit of FIG. 1, the bus lines B1pB2+...
level compensation circuit 171.

172、・・・で補償して出力信号on’r 1  x
 0UT2/・・を並列的に得るようにしたが、所定の
メモリセルのみの情報を読み出すようにしたものである
172,... and output signal on'r 1 x
0UT2/... are obtained in parallel, but the information of only a predetermined memory cell is read out.

図において、前記第1図と同一構成部には同じ符号を利
してその詳細な説明は省略する。すなワチ、ハスライン
Bl  t B2  t B3+・・・は、セレクト回
路26を介して共通接続され、この共通接続点がレベル
補償回路17の入力端に接続される。上記セレクト回路
26は、一端がバスラインBl 、B2.B3.・・・
に接続され、他端が共通接続されるNチャネル形のセレ
クト用MOSトランジスタTs1+Ts2+Ts++・
・・からなり、これらMOS トランジスタTs1+T
B 2*TS3+”’のダートはそれぞれ、セレクト信
号S1  r B21 Ss+・・・が供給されるセレ
クト線LH* B2 、B3 y・・・に接続される。
In the figure, the same components as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted. That is, the lot lines Blt B2 t B3+ . The select circuit 26 has one end connected to the bus lines B1, B2 . B3. ...
N-channel type select MOS transistors Ts1+Ts2+Ts++・ whose other ends are connected to
..., these MOS transistors Ts1+T
The darts of B 2 *TS3+"' are respectively connected to select lines LH* B2 , B3 y . . . to which select signals S1 r B21 Ss+ . . . are supplied.

上記セレクト信号sl、52Is3.・・・は、選択す
るもののみがVDDレベル、他は全てVBSレベルとな
る。従って、上記セレクト信号Sl 。
The above select signal sl, 52Is3. . . ., only the selected item is at VDD level, and all others are at VBS level. Therefore, the select signal Sl.

S2+83+・・・によって選択されたセレクト用のM
OS トランジスタのみがオン状態となる。これによっ
て、バスラインが選択され、この選択されたバスライン
にメモリセルアレー15から読み出された情報がレベル
補償回路17を介して出力される。
M for selection selected by S2+83+...
Only the OS transistor is turned on. As a result, a bus line is selected, and the information read from the memory cell array 15 is output to the selected bus line via the level compensation circuit 17.

このような構成によれば、メモリセルアレー15の中の
所定のメモリセル(MOS トランジスタ)Trljに
記憶された情報のみを読み出すことができる。
According to such a configuration, only information stored in a predetermined memory cell (MOS transistor) Trlj in the memory cell array 15 can be read out.

なお、上記各実施例では、メモリセルとしてのMOSト
ランジスタの極性がNチャネル型のものについて説明し
たがPチャネル型であっても良いのはもちろんである。
In each of the above embodiments, the polarity of the MOS transistor as a memory cell is N-channel type, but it goes without saying that it may be P-channel type.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したようにこの発明によれば、スタンバイ電流
が流れず、/母ターン占有面積も小さくできるとともに
、アクセスタイムの遅れも少な込すぐれたマスクROM
が得られる。
As explained above, according to the present invention, the standby current does not flow, the area occupied by the main turn can be reduced, and the access time delay is also reduced.
is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例に係わるマスクROMの構
成を示す回路図、第2図は上記第1図の回路におけるレ
ベル補償回路の他の構成例を示す図、第3図は上記第1
図および第2図の回路におけるレベル補償回路の動作を
説明するための図、第4図ないし第7図はそれぞれ上記
第1図の回路におけるメモリセルの/′eターン構成お
よびプログラミング方法を説明するための図、第8図は
この発明の他の実施例を説明するための回路図、第9図
な込し第12図はそれぞれ従来のマスクROMを説明す
るための図である。 IN・・・入力信号、11・・・デコーダ(フルデコー
ダ)、Tru〜Trイ・・・MOS トランジスタ群、
P□〜Pn・・・信号線、B11B2#・・・・・・バ
スライン、171.172.・・・・・・レベル補償回
路、VDD#Vlll+・・・電源、26・・・セレク
ト回路。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦ヒ     
区 フ ○ j CL      CL       CL      
CL第11図 VDD 特開IIUGI−131297(10)第12図
FIG. 1 is a circuit diagram showing the structure of a mask ROM according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing another example of the structure of the level compensation circuit in the circuit of FIG. 1, and FIG. 1
Figures 4 to 7 are diagrams for explaining the operation of the level compensation circuit in the circuit of Figure 2 and Figures 4 to 7 respectively explain the /'e turn configuration and programming method of the memory cell in the circuit of Figure 1. FIG. 8 is a circuit diagram for explaining another embodiment of the present invention, and FIG. 9 and FIG. 12 are diagrams for explaining a conventional mask ROM, respectively. IN...Input signal, 11...Decoder (full decoder), Tru~Tr...MOS transistor group,
P□~Pn...Signal line, B11B2#...Bus line, 171.172. ...Level compensation circuit, VDD#Vllll+...power supply, 26...select circuit. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue
Ward ○ j CL CL CL
CL Figure 11 VDD JP-A IIUGI-131297 (10) Figure 12

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)入力信号が供給されるフルデコーダと、このフル
デコーダの出力が供給される複数の信号線と、マトリッ
クス状に配置され上記複数の信号線に各列毎にゲートが
接続されるメモリセルとしてのMOSトランジスタ群と
、これらMOSトランジスタ群の一端が各行毎に接続さ
れる複数のバスラインと、これらバスラインの電位を補
償して出力信号を得るレベル補償回路とを具備し、上記
MOSトランジスタ群の他端を電源の一方に接続するか
、あるいは他方に接続するかによってデータのプログラ
ムを行なうことを特徴とするマスクROM。
(1) A full decoder to which an input signal is supplied, a plurality of signal lines to which the output of this full decoder is supplied, and memory cells arranged in a matrix and having gates connected to the plurality of signal lines in each column. a plurality of bus lines to which one end of the MOS transistor groups is connected for each row, and a level compensation circuit for compensating the potentials of these bus lines to obtain an output signal. A mask ROM characterized in that data is programmed depending on whether the other end of the group is connected to one or the other of a power supply.
(2)前記フルデコーダは、選択した信号線のみを電源
の一方のレベル、他の信号線は全て電源の他方のレベル
に設定するものであることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載のマスクROM。
(2) The full decoder sets only the selected signal line to one level of the power supply, and sets all other signal lines to the other level of the power supply. mask ROM.
(3)前記レベル補償回路は、前記バスラインに入力端
が接続される第1のインバータ回路と、この第1インバ
ータ回路の出力端に入力端が接続される第2のインバー
タ回路と、この第2インバータ回路の出力端と上記第1
インバータ回路の入力端間に接続される抵抗とから成り
、上記第1インバータ回路の出力端から出力信号を得る
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマスクR
OM。
(3) The level compensation circuit includes a first inverter circuit whose input terminal is connected to the bus line, a second inverter circuit whose input terminal is connected to the output terminal of the first inverter circuit, and a second inverter circuit whose input terminal is connected to the output terminal of the first inverter circuit. 2 the output end of the inverter circuit and the first
and a resistor connected between the input terminals of the inverter circuit, and the mask R according to claim 1, wherein the mask R receives an output signal from the output terminal of the first inverter circuit.
OM.
(4)前記レベル補償回路は、前記バスラインに入力端
が接続されるインバータ回路と、一端が電源の一方に接
続され上記インバータ回路の出力で導通制御されるMO
Sトランジスタと、このMOSトランジスタの他端と上
記インバータ回路の入力端間に接続される抵抗とを備え
、上記MOSトランジスタは前記メモリセルとしてのM
OSトランジスタとは逆導電型から成り、上記インバー
タ回路の出力端から出力信号を得ることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のマスクROM。
(4) The level compensation circuit includes an inverter circuit whose input end is connected to the bus line, and an MO whose one end is connected to one of the power supplies and whose conduction is controlled by the output of the inverter circuit.
The MOS transistor includes an M transistor as the memory cell, and a resistor connected between the other end of the MOS transistor and an input terminal of the inverter circuit.
2. The mask ROM according to claim 1, wherein the OS transistor is of a conductivity type opposite to that of the OS transistor, and an output signal is obtained from an output terminal of the inverter circuit.
(5)前記データのプログラムを、拡散層を用いて行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマスク
ROM。
(5) The mask ROM according to claim 1, wherein the data is programmed using a diffusion layer.
(6)前記データのプログラムを、コンタクトを取るか
否かによって行なうことを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載のマスクROM。
(6) The mask ROM according to claim 1, wherein the data is programmed depending on whether contact is made or not.
(7)前記データのプログラムを、金属層を用いて行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマスク
ROM。
(7) The mask ROM according to claim 1, wherein the data is programmed using a metal layer.
(8)入力信号が供給されるフルデコーダと、このフル
デコーダの出力が供給される複数の信号線と、マトリッ
クス状に配置され上記複数の信号線に各列毎にゲートが
接続されるメモリセルとしてのMOSトランジスタ群と
、これらMOSトランジスタ群の一端が各行毎に接続さ
れる複数のバスラインと、セレクト信号に基づいて上記
複数のバスラインの中の1本を選択するセレクト回路と
、このセレクト回路によって選択されたバスラインの電
位を補償して選択したメモリセルから出力信号を得るレ
ベル補償回路とを具備し、上記MOSトランジスタ群の
他端を電源の一方に接続するか、あるいは他方に接続す
るかによってデータのプログラムを行なうことを特徴と
するマスクROM。
(8) A full decoder to which an input signal is supplied, a plurality of signal lines to which the output of this full decoder is supplied, and memory cells arranged in a matrix and having gates connected to the plurality of signal lines in each column. a group of MOS transistors, a plurality of bus lines to which one end of the MOS transistor groups is connected for each row, a select circuit that selects one of the plurality of bus lines based on a select signal, and a select circuit that selects one of the plurality of bus lines based on a select signal; and a level compensation circuit for compensating the potential of the bus line selected by the circuit to obtain an output signal from the selected memory cell, and the other end of the MOS transistor group is connected to one side of the power supply or the other side of the power supply. A mask ROM characterized in that data can be programmed depending on whether the data is programmed or not.
(9)前記フルデコーダは、選択した信号線のみを電源
の一方のレベル、他の信号線は全て電源の他方のレベル
に設定するものであることを特徴とする特許請求の範囲
第8項記載のマスクROM。
(9) The full decoder sets only the selected signal line to one level of the power supply, and sets all other signal lines to the other level of the power supply. mask ROM.
(10)前記レベル補償回路は、前記バスラインに入力
端が接続される第1のインバータ回路と、この第1イン
バータ回路の出力端に入力端が接続される第2のインバ
ータ回路と、この第2インバータ回路の出力端と上記第
1インバータ回路の入力端間に接続される抵抗とから成
り、上記第1インバータ回路の出力端から出力信号を得
ることを特徴とする特許請求の範囲第8項記載のマスク
ROM。
(10) The level compensation circuit includes a first inverter circuit whose input terminal is connected to the bus line, a second inverter circuit whose input terminal is connected to the output terminal of the first inverter circuit, and a second inverter circuit whose input terminal is connected to the output terminal of the first inverter circuit. Claim 8, comprising a resistor connected between the output terminal of the two inverter circuits and the input terminal of the first inverter circuit, and an output signal is obtained from the output terminal of the first inverter circuit. Mask ROM described.
(11)前記レベル補償回路は、前記バスラインに入力
端が接続されるインバータ回路と、一端が電源の一方に
接続され上記インバータ回路の出力で導通制御されるM
OSトランジスタと、このMOSトランジスタの他端と
上記インバータ回路の入力端間に接続される抵抗とを備
え、上記MOSトランジスタは前記メモリセルとしての
MOSトランジスタとは逆導電型から成り、上記インバ
ータ回路の出力端から出力信号を得ることを特徴とする
特許請求の範囲第8項記載のマスクROM。
(11) The level compensation circuit includes an inverter circuit whose input end is connected to the bus line, and an M whose one end is connected to one of the power supplies and whose conduction is controlled by the output of the inverter circuit.
The MOS transistor includes an OS transistor and a resistor connected between the other end of the MOS transistor and the input terminal of the inverter circuit, the MOS transistor being of a conductivity type opposite to that of the MOS transistor serving as the memory cell, and 9. The mask ROM according to claim 8, wherein an output signal is obtained from an output terminal.
(12)前記データのプログラムを、拡散層を用いて行
なうことを特徴とする特許請求の範囲第8項記載のマス
クROM。
(12) The mask ROM according to claim 8, wherein the data is programmed using a diffusion layer.
(13)前記データのプログラムを、コンタクトを取る
か否かによって行なうことを特徴とする特許請求の範囲
第8項記載のマスクROM。
(13) The mask ROM according to claim 8, wherein the data is programmed depending on whether contact is made or not.
(14)前記データのプログラムを、金属層を用いて行
なうことを特徴とする特許請求の範囲第8項記載のマス
クROM。
(14) The mask ROM according to claim 8, wherein the data is programmed using a metal layer.
(15)前記セレクト回路は、前記複数のバスラインに
各対応して設けられセレクト信号で導通制御されるMO
Sトランジスタから成り、これらMOSトランジスタの
一端は前記バスラインに接続され、他端は共通接続され
て前記レベル補償回路の入力端に接続されることを特徴
とする特許請求の範囲第8項記載のマスクROM。
(15) The select circuit is an MO that is provided corresponding to each of the plurality of bus lines and whose conduction is controlled by a select signal.
Claim 8, wherein the MOS transistors are composed of S transistors, one end of which is connected to the bus line, and the other end of which is commonly connected and connected to the input end of the level compensation circuit. Mask ROM.
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