JPS62166517A - Spin head for semiconductor manufacturing equipment - Google Patents
Spin head for semiconductor manufacturing equipmentInfo
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- JPS62166517A JPS62166517A JP61008031A JP803186A JPS62166517A JP S62166517 A JPS62166517 A JP S62166517A JP 61008031 A JP61008031 A JP 61008031A JP 803186 A JP803186 A JP 803186A JP S62166517 A JPS62166517 A JP S62166517A
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- B23B31/00—Chucks; Expansion mandrels; Adaptations thereof for remote control
- B23B31/02—Chucks
- B23B31/10—Chucks characterised by the retaining or gripping devices or their immediate operating means
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- B23B31/141—To counterbalance the jaws
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Gripping On Spindles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造用の洗浄装置または塗布装置等に
おいて処理槽内でワークを保持して回転させるスピンヘ
ッドに関し、特に簡単な構造で確実にワークを保持でき
る半導体製造装置のスピンヘッドに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a spin head that holds and rotates a workpiece in a processing tank in a cleaning device or a coating device for semiconductor manufacturing, and in particular, it has a simple structure and reliably rotates the workpiece. The present invention relates to a spin head for semiconductor manufacturing equipment that can hold.
従来の技術
従来のこの種のスピンヘッドは、メカニカルチャック方
式と呼ばれるもので、駆動モータからスピンヘッドに回
転駆動力を伝達する回転軸のシャフト内に通し孔を穿設
し、この通し孔を利用してチャック機構を挿通し、上記
回転軸の頂部周辺に設けられたチャック爪を開閉動作し
でワークの縁部を保持したり解除するようになっていた
。Conventional technology This type of conventional spin head is known as a mechanical chuck system, in which a through hole is drilled in the shaft of the rotating shaft that transmits rotational driving force from the drive motor to the spin head, and this through hole is used. The chuck mechanism is inserted through the chuck mechanism, and chuck claws provided around the top of the rotating shaft are opened and closed to hold or release the edge of the work.
また、他の従来例は、真空吸着方式と呼ばれるもので、
スピンヘッドに回転駆動力を伝達する回転軸のシャフト
内に真空吸引孔を穿設すると共に、上記回転軸の頂部周
辺の適宜箇所に真空吸着面を設け、真空ポンプから上記
真空吸引孔を介して真空吸着面に真空圧を供給すること
により、ワークの縁部を吸着保持したり解除するように
なっていた。Another conventional example is the vacuum adsorption method.
A vacuum suction hole is provided in the shaft of the rotating shaft that transmits the rotational driving force to the spin head, and a vacuum suction surface is provided at an appropriate location around the top of the rotating shaft, and a vacuum suction hole is provided from the vacuum pump through the vacuum suction hole. By supplying vacuum pressure to the vacuum suction surface, the edge of the workpiece can be suction-held or released.
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような従来のスピンヘッドにおいては、次
のような問題点があった。まず、メカニカルチャック方
式のスピンヘッドにおいては、回転軸のシャフト内に通
し孔を穿設してチャック機構を挿通するため、回転機構
部とチャック機構部とが回転軸からスピンヘッドに至る
部分に集中し、スピンヘッド全体の機構が複雑となるも
のであった。また、回転軸に通し孔が穿設されているの
で。Problems to be Solved by the Invention However, such conventional spin heads have the following problems. First, in a mechanical chuck type spin head, a through hole is drilled in the shaft of the rotating shaft and the chuck mechanism is inserted through it, so the rotating mechanism section and the chuck mechanism section are concentrated in the area from the rotating shaft to the spin head. However, the overall mechanism of the spin head was complicated. Also, a through hole is drilled in the rotating shaft.
処理槽内の全屈腐食性の処理液が駆動モータ側に流れて
こないようにシールを完全に行わなければならなかった
。もし、シールが不十分な場合は。It was necessary to completely seal the tank to prevent the corrosive processing liquid from flowing into the drive motor. If the seal is insufficient.
上記駆動モータが損傷するものであった。The drive motor was damaged.
次に、真空吸着方式のスピンヘッドにおいては。Next, regarding vacuum suction type spin heads.
ワークに反りがある場合はそのワークの全吸着部分をス
ピンヘッドの真空吸着面で吸着することができず、ワー
クの保持が不確実かつ不安定となるものであった。また
、ワークに対する吸着力を増大させるために、真空吸着
面の面積を大きくすると、洗浄や塗布などの処理ができ
ない部分が増えてしまうものであった。さらに、回転軸
には真空吸引孔が穿設されているので、前述のメカニカ
ルチャック方式と同様に駆動モータを損傷するおそれが
あった。If the workpiece is warped, the entire suction part of the workpiece cannot be suctioned by the vacuum suction surface of the spin head, making the holding of the workpiece unreliable and unstable. Furthermore, if the area of the vacuum suction surface is increased in order to increase the suction force against the workpiece, the number of areas that cannot be processed such as cleaning or coating increases. Furthermore, since the rotary shaft is provided with a vacuum suction hole, there is a risk of damaging the drive motor, similar to the mechanical chuck method described above.
そこで、本発明は、簡単な構造で確実にワークを保持す
ることができるスピンヘッドを提供することを［１的と
する。Therefore, one object of the present invention is to provide a spin head that can securely hold a workpiece with a simple structure.
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、処理槽の中心
部に回転可能に設けられその上面にワークを保持して回
転する半導体製造装置のスピンヘッドにおいて、上記ワ
ークを回転させる駆動力を伝達する回転軸の頂部に、保
持すべきワークの縁部を載置して位置決めするワークガ
イドを設けると共に、この位置決めされるワークの縁部
に位置して上記回転軸の回転による遠心力の作用により
該縁部を押えてワークを固定し、回転がとまるとその固
定を解除するチャック爪を設けたことによってなされる
。Means for Solving the Problems The means of the present invention for solving the above problems is provided in a spin head of a semiconductor manufacturing apparatus that is rotatably provided in the center of a processing tank and rotates while holding a workpiece on its upper surface. A work guide for placing and positioning the edge of the work to be held is provided on the top of the rotating shaft that transmits the driving force for rotating the work, and a work guide is provided on the top of the rotating shaft for transmitting the driving force to rotate the work. This is achieved by providing chuck claws that press the edges and fix the workpiece by the action of centrifugal force caused by the rotation of the shaft, and release the fixation when the rotation stops.
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図は本発明による半導体製造装置のスピンヘッドの
実施例を示す説明図である。このスピンヘッド１は、半
導体製造用の洗浄装置または塗布装置等において処理槽
２内でウェハ等のワーク３を上面に保持して高速回転さ
せるもので、上記処理槽２の底板４の中心部に形成され
たボス部５に回転可能に嵌装されている。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of a spin head of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention. This spin head 1 is used to hold a work 3 such as a wafer on the upper surface and rotate it at high speed in a processing tank 2 in a cleaning device or a coating device for semiconductor manufacturing. It is rotatably fitted into the formed boss portion 5.
上記ボス部５には、回転軸６が嵌合している。A rotary shaft 6 is fitted into the boss portion 5 .
この回転軸６は、上記ワーク３を回転させる駆動力を伝
達するもので、その下端部は図示外の駆動モータの出力
軸にカップリング等により連結されている。上記回転軸
６の頂部には、第２図ないし第４図に示すように、ワー
クガイド７．８が設けられている。このワークガイド７
．８は、保持すべきワーク３たとえば長方形のワークの
縁部を載置して上記回転軸６に対してワーク３の中心を
位置決めするもので、第３図に示すように、長辺側を載
置する第一のワークガイド７．７と、短辺側を載置する
第二のワークガイド８，８とが十字形に配置されている
。上記第一のワークガイド７゜７は、第２図に示すよう
に、水平部７ａと立上がり部７ｂとで略り字形に形成さ
れており、上記水平部７ａを基部材９の上部の取付部材
１０にネジ１１で締め付けることにより取り付けられて
いる。The rotating shaft 6 transmits a driving force for rotating the workpiece 3, and its lower end is connected to the output shaft of a drive motor (not shown) by a coupling or the like. A work guide 7.8 is provided at the top of the rotating shaft 6, as shown in FIGS. 2 to 4. This work guide 7
．． Reference numeral 8 is for placing the edge of a work 3, for example a rectangular work, to be held and positioning the center of the work 3 with respect to the rotating shaft 6, as shown in FIG. A first work guide 7.7 on which the short side is placed and second work guides 8, 8 on which the short side is placed are arranged in a cross shape. The first work guide 7°7, as shown in FIG. 10 by tightening screws 11.
そして、上記立上がり部７ｂの上端面の内方寄りには切
欠凹部１２が形成されており、この切欠凹部１２上にワ
ーク３の縁部を載置するようになっている。また、第二
のワークガイド８，８は、第４図に示すように、水平部
８ａと立上がり部８ｂとで略り字形に形成されており、
上記水平部８ａを基部材９の上部の取付部材１０にネジ
１１で締め付けることにより取り付けられている。そし
て、上記立上がり部８ｂの上端面の内方寄りには切欠凹
部１３が形成されており、この切欠凹部１３上にワーク
３の縁部を載置するようになっている。A cutout recess 12 is formed on the inner side of the upper end surface of the rising portion 7b, and the edge of the workpiece 3 is placed on the cutout recess 12. Further, as shown in FIG. 4, the second work guides 8, 8 are formed in an abbreviated shape with a horizontal portion 8a and a rising portion 8b.
The horizontal portion 8a is attached to the attachment member 10 on the upper part of the base member 9 by tightening the screw 11. A cutout recess 13 is formed on the inner side of the upper end surface of the rising portion 8b, and the edge of the workpiece 3 is placed on the cutout recess 13.
上記回転軸６の頂部にて第一のワークガイド７゜７の上
端部には、第２図及び第３図に示すように、チャック爪
１４．１４が設けられている。このチャック爪１４は、
上記回転軸６の回転による遠心力の作用によりワーク３
の縁部を押えて該ワーク３を固定すると共に、回転がと
まるとその固定を解除するもので、第２図に示すように
、略直角に折り曲げた部材の中間部を支軸１５で第一の
ワークガイド７に対して回動可能に支持し、その上端部
には内方に向かう鉤部１６が形成されると共に、下端部
には適宜の重量のウェイト１７が支軸１８により回動可
能に連結されている。なお、このチャック爪１４．１４
は、第３図に示すように、第一のワークガイド７．７の
上端部中央に形成された凹溝に嵌合して取り付けられて
おり、回転軸６の回転によりウェイト１７に遠心力が作
用するとチャック爪１４．１４が回転中心側に回動し、
その鉤部１６が第一のワークガイド７．７の切欠凹部１
２９．１２に載せられたワーク３の上面を押えるように
なっている。At the top of the rotating shaft 6 and at the upper end of the first work guide 7.7, chuck claws 14, 14 are provided, as shown in FIGS. 2 and 3. This chuck claw 14 is
Due to the action of centrifugal force due to the rotation of the rotating shaft 6, the work
The workpiece 3 is fixed by pressing the edge of the workpiece 3, and is released when the rotation stops.As shown in FIG. The workpiece guide 7 is rotatably supported, and a hook portion 16 facing inward is formed at its upper end, and a weight 17 of an appropriate weight is rotatable by a support shaft 18 at its lower end. is connected to. In addition, this chuck claw 14.14
As shown in FIG. 3, the first work guide 7.7 is fitted into a groove formed at the center of the upper end of the first work guide 7.7, and centrifugal force is applied to the weight 17 by rotation of the rotating shaft 6. When activated, the chuck jaws 14.14 rotate toward the rotation center,
The hook portion 16 is the notch recess 1 of the first work guide 7.7.
29. The upper surface of the work 3 placed on 12 is pressed down.
次に、このように構成されたスピンヘッド１の使用につ
いて説明する。まず、回転軸６が停止しているときは、
第２図に示すように、チャック爪１４．１４の下端部に
連結されたウェイト１７は重力の作用により鉛直下方に
垂れ下がっている。Next, the use of the spin head 1 configured as described above will be explained. First, when the rotating shaft 6 is stopped,
As shown in FIG. 2, the weight 17 connected to the lower end of the chuck jaws 14, 14 hangs vertically downward due to the action of gravity.
従って、上記チャック爪１４の下端部は、支軸１５を中
心として下向きに回動し、その上端部の鉤部１６は第２
図に示すように外方に開かれている。Therefore, the lower end portion of the chuck claw 14 rotates downward about the support shaft 15, and the hook portion 16 at the upper end portion is rotated downwardly about the support shaft 15.
Open outwards as shown.
この状態で、第３図に示すように例えば長方形のワーク
３を、第２図及び第４図に示す第一のワークガイド７の
切欠凹部１２及び第二のワークガイド８の切欠凹部１３
を利用してその上に縁部を載置する。このとき、上記ワ
ーク３の周縁は、それぞれのワークガイド７．８の切欠
凹部１２，１３の外方寄りの立上がり部によって外側方
への動きが制限され、これにより上記回転軸６に対して
ワーク３の中心が位置決めされる。このようにしてワー
ク３が位置決めされたら１次に、上記回転軸６の下端部
に連結された駆動モータ（図示外）を駆動して、該回転
軸６を第１図に矢印Ａで示すように回転する。すると、
スピンヘッド１の全体が矢印Ａ方向に回転し始め、この
回転による遠心力Ｆの作用により、上記ウェイト１７は
第２図に示す鉛直下方に垂下した状態から支軸１８を中
心として矢印Ｂのように上向きに回動し、所定速度以上
になると第１図に示すように水平方向に展張した状態と
なる。このとき、上記チャック爪１４の上端部の鉤部１
６は、支軸１５を中心として第２図の矢印Ｃのように回
転中心側に回動し、第１図に示すように、上記鉤部１６
が第−及び第二のワークガイド７．８で位置決めされた
ワーク３の上面を押えて上記ワーク３を固定する。なお
、この鉤部１６による押えは、ワーク３の上面に軽く触
れる程度もしくは若干のクリアランスを有したもので、
上記ワーク３が高速回転により浮き上がるのを防止する
程度のものとされている。そして、このようにワーク３
がスピンヘッド１に保持固定されたところで、表面側の
ノズル１９及び裏面側のノズル２０から洗浄液または塗
布液等を噴射して、上記ワーク３に対して洗浄または塗
布等の所要の処理を施せばよい。In this state, as shown in FIG. 3, for example, a rectangular workpiece 3 is placed between the notch recess 12 of the first work guide 7 and the notch recess 13 of the second work guide 8 shown in FIGS.
Place the edge on top of it. At this time, the movement of the peripheral edge of the workpiece 3 toward the outside is restricted by the outwardly rising portions of the cutout recesses 12 and 13 of the respective workpiece guides 7. The center of 3 is positioned. Once the workpiece 3 has been positioned in this way, the first step is to drive the drive motor (not shown) connected to the lower end of the rotating shaft 6 to move the rotating shaft 6 as shown by arrow A in FIG. Rotate to . Then,
The entire spin head 1 begins to rotate in the direction of arrow A, and due to the action of centrifugal force F caused by this rotation, the weight 17 moves from the vertically downward position shown in FIG. When the speed reaches a predetermined speed or higher, it becomes horizontally expanded as shown in FIG. At this time, the hook portion 1 at the upper end of the chuck claw 14
6 rotates around the support shaft 15 toward the center of rotation as shown by arrow C in FIG. 2, and as shown in FIG.
holds the upper surface of the work 3 positioned by the first and second work guides 7.8 and fixes the work 3. Note that the presser foot formed by the hook portion 16 is such that it lightly touches the top surface of the workpiece 3 or has a slight clearance.
It is designed to prevent the workpiece 3 from floating up due to high-speed rotation. And like this, work 3
When the workpiece 3 is held and fixed on the spin head 1, cleaning liquid or coating liquid is sprayed from the nozzle 19 on the front side and the nozzle 20 on the back side to perform necessary processing such as cleaning or coating on the workpiece 3. good.
次に、このようにして所要の処理が終わると、図示外の
駆動モータを停止する。すると、上記回転軸６の矢印Ａ
方向の回転が停止し、スピンヘッド１の全体も回転を停
止する。このとき、チャック爪１４に連結されたウェイ
ト１７に作用する遠心力Ｆも無くなるので、該ウェイト
１７は、第２図に示すように鉛直下方に垂下した状態と
なる。Next, when the necessary processing is completed in this manner, the drive motor (not shown) is stopped. Then, the arrow A of the rotating shaft 6
The direction rotation stops, and the entire spin head 1 also stops rotating. At this time, the centrifugal force F acting on the weight 17 connected to the chuck jaw 14 is also eliminated, so the weight 17 is in a state of hanging vertically downward as shown in FIG.
従って、上記チャック爪１４の下端部は、支軸１５を中
心として下向きに回動し、その上端部の鉤部１６は再び
第２図に示すように外方にＩＸＪかれる。Therefore, the lower end of the chuck claw 14 rotates downward about the support shaft 15, and the hook 16 at the upper end is again moved outward IXJ as shown in FIG.
この結果、上記鉤部１６によるワーク３に対する固定が
解除される。このようにワーク３の固定が解除されたと
ころで、該ワーク３をスピンヘッド１から取り外して次
工程へ送り込めばよい。As a result, the fixation of the workpiece 3 by the hook portion 16 is released. When the fixation of the workpiece 3 is released in this manner, the workpiece 3 may be removed from the spin head 1 and sent to the next process.
第５図は本発明の他の実施例を示す正面図である。この
実施例は、チャック爪１４′の上端部に内方に向かう鉤
部１６を形成することなく、該チャック爪１４′の内方
側辺２１をその上端部がワーク３の外周縁を直接押圧す
るように立ち上げたものである。この場合は、上記ワー
ク３の上面をチャック爪１４′が覆うことがないので、
該ワーク３の上面に対する処理をｔｌうなく完全に行う
ことができる。なお、この実施例においては、ウェイ！
・１７の重量は、上記チャック爪１４′の内方側辺２１
の上端部による内側への抑圧力でワーク３を確実に保持
固定できるだけの重さにする必要がある。FIG. 5 is a front view showing another embodiment of the present invention. In this embodiment, the upper end of the chuck jaw 14' directly presses the inner side 21 of the chuck jaw 14' against the outer peripheral edge of the workpiece 3 without forming an inward hook portion 16 at the upper end of the chuck jaw 14'. It was set up to do so. In this case, since the chuck jaws 14' do not cover the upper surface of the workpiece 3,
The upper surface of the workpiece 3 can be completely processed. In addition, in this example, Way!
・The weight of 17 is the inner side 21 of the chuck claw 14'.
It is necessary to make the workpiece 3 heavy enough to securely hold and fix the workpiece 3 with the inward pressing force exerted by the upper end of the workpiece 3.
なお、第２図及び第４図においては、第一のワークガイ
ド７及び第二のワークガイド８は、取付部材１０にネジ
１１で締め付けることにより取り付けたものとして示し
たが１本発明はこれに限らず、溶接その他の手段により
取り付けてもよく、図示のものには限定されない。また
、チャック爪１４．１４は、第一のワークガイド７．７
に設けたものとして示したが、第二のワークガイド８゜
８に設けてもよいし、或いは第−及び第二のワークガイ
ド７．８とは別個の位置に支持腕を設けて取り付けても
よい。さらに、チャック爪１４の下端部にはウェイト１
７を設けてこれにより遠心力を感知するようにしたが、
チャック爪１４の構造は第２図に示したものに限られず
、遠心力の作用によりワーク３の縁部を固定または解除
できるものならどのような構造でもよい。例えば、チャ
ック爪１４の下端部をもう少し長くしてウェイトを兼ね
るようにしてもよい。また、ワーク３は長方形のものに
限らず１円形のものであっても同様に適用できる。In addition, in FIG. 2 and FIG. 4, the first work guide 7 and the second work guide 8 are shown as being attached by tightening the screws 11 to the attachment member 10, but the present invention does not apply to this. However, it may be attached by welding or other means, and is not limited to what is shown in the drawings. Further, the chuck jaw 14.14 is connected to the first work guide 7.7.
Although shown as being attached to the second work guide 8.8, it may also be attached to the second work guide 8.8, or a support arm may be provided and attached at a separate position from the second work guide 7. good. Furthermore, a weight 1 is attached to the lower end of the chuck claw 14.
7 was installed to detect centrifugal force, but
The structure of the chuck claw 14 is not limited to that shown in FIG. 2, but may be any structure as long as it can fix or release the edge of the workpiece 3 by the action of centrifugal force. For example, the lower end of the chuck claw 14 may be made a little longer so that it also serves as a weight. Further, the workpiece 3 is not limited to a rectangular one, but can be similarly applied even if it is a circular one.
発明の効果
本発明は以上説明したように、回転軸６の頂部に、ワー
ク３の縁部を載置して位置決めするワークガイド７．８
を設けると共に、上記回転軸６の回転による遠心力の作
用により上記縁部を押えてワーク３を固定し、回転がと
まるとその固定を解除するチャック爪１４を設けたので
、ワーク３を固定、解除するための特別の駆動源を不要
とすることができる。また、従来のメカニカルチャック
方式や真空吸着方式においては１回転機構部とチャック
機構部とを有し両者が複雑にからんでいたが、本発明の
スピンヘッドにおいては回転機構部だけであり、構造を
極めて簡単とすることができる。さらに、真空吸着方式
のような真空圧の洩れはないので、ワーク３の保持を確
実に行うことができる。また、回転軸６を回転させるだ
けでワーク３が保持固定されると共に、上記回転軸６を
停止させるだけでワーク３が解除されるので、いちいち
ワーク３を固定したり解除する動作のシーケンスタイム
が全く不要となり、ロスタイムを少なくしてワーク３の
工程間の搬送時間を短縮することができる。さらに、回
転軸６内には従来のような通し孔や真空吸引孔が穿設さ
れていないので、処理槽２内の全屈腐食性の処理液が駆
動モータ側に流れてくることがなく、該駆動モータが損
傷するおそれをなくすことができる。従って、上記駆動
モータの寿命を長くして、コスト低下を図ることができ
る。Effects of the Invention As described above, the present invention provides a workpiece guide 7.8 for placing and positioning the edge of the workpiece 3 on the top of the rotating shaft 6.
At the same time, a chuck claw 14 is provided which fixes the workpiece 3 by pressing the edge by the centrifugal force generated by the rotation of the rotating shaft 6, and releases the fixation when the rotation stops. A special driving source for release can be made unnecessary. In addition, conventional mechanical chuck systems and vacuum suction systems have a single rotation mechanism section and a chuck mechanism section, and the two are complicatedly intertwined, but the spin head of the present invention has only a rotation mechanism section, and the structure is simplified. It can be made extremely simple. Furthermore, since there is no leakage of vacuum pressure unlike the vacuum suction method, the workpiece 3 can be held securely. In addition, the workpiece 3 is held and fixed simply by rotating the rotary shaft 6, and the workpiece 3 is released by simply stopping the rotary shaft 6, so the sequence time for the operation of fixing and releasing the workpiece 3 is reduced. This is completely unnecessary, and it is possible to reduce loss time and shorten the time for transporting the workpiece 3 between processes. Furthermore, since there are no through holes or vacuum suction holes in the rotating shaft 6 as in conventional systems, the corrosive processing liquid in the processing tank 2 will not flow toward the drive motor. It is possible to eliminate the risk of damage to the drive motor. Therefore, the life of the drive motor can be extended and costs can be reduced.
第１図は本発明による半導体製造装置のスピンヘッドの
実施例を示す説明図、第２図はスピンヘッドのみを取り
出してその詳細を示す正面図、第３図はその平面図、第
４図は第３図の右側面図、第５図は他の実施例を示す正
面図である。
１・・・スピンヘッド
２・・・処理槽
３・・・ワーク
６ ・・・ 回 １托は 小山
７．８・・・ワークガイド
１２．１３・・・ワークガイドの切欠凹部１４．１４’
・・・チャック爪
１６・・・チャック爪の鉤部
１７・・・ウェイトFIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of a spin head for a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a front view showing only the spin head in detail, FIG. 3 is a plan view thereof, and FIG. FIG. 3 is a right side view, and FIG. 5 is a front view showing another embodiment. 1...Spin head 2...Processing tank 3...Workpiece 6...Times 1 piece is small mountain 7.8...Work guide 12.13...Notch recess of work guide 14.14'
...Chuck claw 16...Chuck claw portion 17...Weight
Claims (1)
を保持して回転する半導体製造装置のスピンヘッドにお
いて、上記ワークを回転させる駆動力を伝達する回転軸
の頂部に、保持すべきワークの縁部を載置して位置決め
するワークガイドを設けると共に、この位置決めされる
ワークの縁部に位置して上記回転軸の回転による遠心力
の作用により該縁部を押えてワークを固定し、回転がと
まるとその固定を解除するチャック爪を設けたことを特
徴とする半導体製造装置のスピンヘッド。In a spin head of semiconductor manufacturing equipment that is rotatably installed in the center of a processing tank and rotates while holding a workpiece on its upper surface, the workpiece to be held is attached to the top of a rotating shaft that transmits the driving force to rotate the workpiece. A work guide is provided on which the edge is placed and positioned, and the work is positioned at the edge of the work to be positioned and presses the edge by the action of centrifugal force due to the rotation of the rotating shaft, fixing the work and rotating. A spin head for semiconductor manufacturing equipment characterized by being provided with a chuck claw that releases the fixation when the spin head stops.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61008031A JPS62166517A (en) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | Spin head for semiconductor manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61008031A JPS62166517A (en) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | Spin head for semiconductor manufacturing equipment |
Publications (1)
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