JPWO2020017137A1 - 保管棚及び保管棚の設置方法 - Google Patents

Abstract

保管棚（１）は、容器（Ｆ）が載置される第二棚板（４３）と、容器（Ｆ）の内部に流体を供給する供給ノズル（５１）と、供給ノズル（５１）から供給される流体の流量を調整するＭＦＣ（５５）と、ＭＦＣ（５５）と流体の供給源に接続される主配管（６０）とを接続する第三配管（５６）と、を有する第二棚モジュール（４０）と、第二棚モジュール（４０）を下方から支持する追加棚支持部（２３）と、追加棚支持部（２３）を吊り下げ支持する一対の吊部（１１）及び追加吊部（２１）と、を有する吊りフレーム（１０）と、を備える。吊りフレーム（１０）は、一方向に沿って等間隔で設置され、第二棚モジュール（４０）は、一方向に隣り合う吊りフレームの追加棚支持部（２３）に掛け渡され、第三配管（５６）の端部には、主配管（６０）との接続を可能にする配管コネクタ（５６ａ）が設けられている。

Description

本発明の一側面は、保管棚及び保管棚の設置方法に関する。

半導体製造装置又は液晶製造装置等で処理されるウエハを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod)、及び半導体製造装置又は液晶製造装置等で用いられるレチクルを収容するレチクルポッド等の容器を保管する保管棚が知られている。例えば、特許文献１には、天井走行車の軌道又は天井等の被支持部から吊り下げられた状態で設置される保管棚が開示されている。特許文献１の保管棚では、容器を載置する棚板を吊り下げる支柱が天井に固定されるのではなく、並走する天井走行車の軌道の間に掛け渡される梁に固定されるので、吊りボルト等の部材を減らすことができ、上記棚板の設置作業を簡単にすることができる。

特開２００９−１２０２９９号公報

近年、被格納物に対する処理方法の多様化に伴い、保管棚における棚板の数量及び設置位置等、保管棚のレイアウトに対する要望も多様化しているが、このような場合であっても現場では容易に保管棚を設置できることが求められている。

そこで、本発明の一側面の目的は、現場での設置作業が容易に実施できる保管棚及び保管棚の設置方法を提供することにある。

本発明の一側面に係る保管棚は、容器が載置される棚板と、棚板に載置された容器の内部に流体を供給するノズルと、ノズルから供給される流体の流量を調整する流量調整部と、流量調整部と流体の供給源に接続される主配管とを接続する配管と、を有する棚モジュールと、棚モジュールを下方から支持する棚支持部と、棚支持部を吊り下げ支持する一対の吊部と、を有する吊りフレームと、を備え、吊りフレームは、一方向に沿って等間隔で設置され、棚モジュールは、一方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡され、配管の端部には、主配管との接続を可能にする配管コネクタが設けられている。

この構成の保管棚は、吊りフレームを走行方向に沿って等間隔で設置し、互いに隣り合う吊りフレームの棚支持部に棚モジュールを掛け渡し、棚支持部と棚モジュールとを締結することによる簡易な工程で設置される。また、配管の端部には、主配管との接続を可能にする配管コネクタが設けられているので、配管を主配管に容易に接続できる。これらの結果、現場での設置作業が容易となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、棚モジュールは、棚支持部に形成された挿通孔に下方から挿通されるボルト又はネジによって棚支持部に固定されてもよい。天井等の被固定部に吊りフレームを固定して、互いに隣り合う吊りフレームの棚支持部に棚モジュールを掛け渡した状態では、作業者が棚フレームの上方へアクセスするためのスペースが制限される。このような状態においても、本発明の一側面に係る保管棚では、吊りフレームの下方から吊りフレームと棚モジュールとを固定する作業が行えるので、現場での設置作業が容易となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、容器が載置される棚板と、棚板に載置された容器の内部に流体を供給するノズルと、ノズルから供給される流体の流量を調整する流量調整部と、流量調整部と流体の供給源に接続される主配管とを接続する配管と、を有する棚モジュールと、棚モジュールを下方から支持する棚支持部と、棚支持部を吊り下げ支持する一対の吊部と、を有する吊りフレームと、を備え、吊りフレームは、一方向に沿って等間隔で設置され、棚モジュールは、一方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡されると共に、棚支持部に掛け渡された棚モジュールと吊りフレームの棚支持部とが、棚支持部に形成された挿通孔に下方から挿通されたボルト又はネジによって固定されている。

この構成の保管棚では、棚モジュールは、一方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡されると共に、棚支持部に掛け渡された棚モジュールと吊りフレームの棚支持部とが、棚支持部に形成された挿通孔に下方から挿通されたボルト又はネジによって固定されている。天井等の被固定部に吊りフレームを固定して、互いに隣り合う吊りフレームの棚支持部に棚モジュールを掛け渡した状態では、作業者が棚フレームの上方へアクセスするためのスペースが制限される。このような状態においても、本発明の一側面に係る保管棚では、吊りフレームの下方から吊りフレームと棚モジュールとを固定する作業が行えるので、現場での設置作業が容易となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、棚モジュールは、一方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡される棚フレームと、棚フレームに取り付けられる複数の棚板と、を有し、流量調整部は、複数の棚板のそれぞれに設けられていてもよい。この構成では、パージ機能を有する棚板を複数設ける場合であっても、棚モジュールに予め配管を施しておくことができるため、現場での設置作業が容易となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、棚モジュールは、一方の端部が流量調整部のそれぞれに接続される配線を更に有し、配線の他方の端部には、制御装置に接続される主配線との接続を可能にする配線コネクタが設けられていてもよい。この構成では、流量調整部を制御装置に接続する配線を主配線に容易に接続できるので、現場での設置作業が容易となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、棚モジュールには、主配管から配管への接続を可能にする分岐接続部が、棚板の数に対応して設けられていてもよい。この構成では、主配管からの分岐配管作業を容易に行うことができる。

本発明の一側面に係る保管棚では、容器を搬送する天井走行車の軌道に沿って延在すると共に容器が載置される棚モジュールが、吊りフレームによって被固定部から吊り下げられる保管棚であって、延在方向おける長さが同じであり、パージ機能の有無において互いに種類の異なる二種類の棚モジュールの中から選択された少なくとも一つの棚モジュールと、下方から棚モジュールを支持すると共に一方向に延在する棚支持部と、棚支持部の両端のそれぞれから被固定部にまで延在する一対の吊部とを有し、棚支持部及び吊部の延在方向における長さが互いに異なる複数種類の吊りフレームの中から選択された複数の吊りフレームと、を備え、吊りフレームは、棚支持部の延在方向が天井走行車の走行方向に直交する方向に延在するように、走行方向に沿って等間隔で設置されており、棚モジュールは、走行方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡されると共に、棚支持部に掛け渡された棚モジュールと吊りフレームの棚支持部とが締結部材によって固定されている。

本発明の一側面に係る保管棚の設置方法は、容器を搬送する天井走行車の軌道に沿って延在すると共に容器が載置される棚モジュールが、吊りフレームによって被固定部から吊り下げられる保管棚の設置方法であって、延在方向おける長さが同じであり、パージ機能の有無において互いに種類の異なる二種類の棚モジュールの中から少なくとも一つの棚モジュールを選択する工程と、下方から棚モジュールを支持すると共に一方向に延在する棚支持部と、棚支持部の両端のそれぞれから被固定部にまで延在する一対の吊部とを有し、棚支持部及び吊部の延在方向における長さが互いに異なる複数種類の吊りフレームの中から複数の吊りフレームを選択する工程と、選択された吊りフレームを、棚支持部の延在方向が天井走行車の走行方向に直交する方向に延在するように、走行方向に沿って等間隔で設置する工程と、選択された棚モジュールを、走行方向に隣り合う吊りフレームの棚支持部に掛け渡す工程と、棚支持部に掛け渡された棚モジュールと吊りフレームの棚支持部とを、締結部材によって固定する工程と、を含む。

この構成の保管棚及び保管棚の設置方法では、吊りフレームを走行方向に沿って等間隔で設置し、互いに隣り合う吊りフレームの棚支持部に棚モジュールを掛け渡し、棚支持部と棚モジュールとを締結することによる簡易な工程で保管棚が設置される。これにより、現場での設置作業が簡易となる。また、吊りフレームは、棚支持部及び吊部の長さが互いに異なる複数種類の吊りフレーム群の中から選択することができるので、例えば、一つの軌道に沿って保管棚を設置したり、並走する二つの軌道に沿って保管棚を設置したり、これらの態様が混在する軌道に沿って保管棚を設置したりすることが可能となる。これにより、設置後のレイアウト変更にも容易に対応することが可能となる。

本発明の一側面によれば、現場での設置作業が容易に実施できる。

図１は、一実施形態に係る保管棚を示す斜視図である。 図２は、図１の吊りフレームを示す斜視図である。 図３は、図１の第一棚モジュールを上面から見た斜視図である。 図４は、図１の第二棚モジュールを上面から見た斜視図である。 図５は、図１の第二棚モジュールを下面から見た斜視図である。 図６（ａ）〜（ｃ）は、吊りフレーム群を構成する吊りフレームのパターンを示す正面図である。 図７（ａ）〜（ｃ）は、吊りフレームに追加ユニットが固定されたときのパターンを示す正面図である。 図８（ａ）〜（ｃ）は、他の吊りフレームに追加ユニットが固定されたときのパターンを示す正面図である。 図９は、保管棚の配置パターンを示す平面図である。

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「Ｘ方向」、「Ｙ方向」及び「Ｚ方向」の語は、図示する方向に基づいており便宜的なものである。

図１に示す保管棚１は、例えば、半導体製造工場の半導体搬送システムを構成する天井走行車３の軌道５に沿って配置される。保管棚１は、ＦＯＵＰ又はレチクルポッド等の容器Ｆを一時的に保管する。保管棚１は、吊りフレーム１０と、第一棚モジュール（棚モジュール）３０と、第二棚モジュール（棚モジュール）４０と、主配管６０と、主配線７０（図５参照）と、を備えている。

図１及び図２に示されるように、吊りフレーム１０は、第一棚モジュール３０を天井から吊り下げる部材である。吊りフレーム１０は、軌道５の延在方向（Ｘ方向）に沿って、等間隔Ｗ１で配列されている。

吊りフレーム１０は、棚支持部１３と、一対の吊部１１，１１と、接続部１４と、を有する。棚支持部１３は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０を支持する。棚支持部１３は、長手方向（Ｙ方向）の長さである奥行長さＤがＤ１である。一対の吊部１１，１１は、棚支持部１３の両端のそれぞれから天井（被固定部）に固定される固定部１２にまで吊り下げ方向（Ｚ方向）に延在する。吊部１１は、吊り下げ方向の長さである吊り長さＨがＨ１である。接続部１４は、その両端が一対の吊部１１，１１に接続され、棚支持部１３に平行（Ｙ方向）に延在する。

吊りフレーム１０には、追加ユニット２０が固定されている。追加ユニット２０は、吊りフレーム１０の吊部１１に固定されるユニットであって、吊りフレーム１０に追加的に付加されている。追加ユニット２０は、追加棚支持部２３と、追加吊部２１と、追加接続部２４と、落下防止柵２９と、を有する。追加棚支持部２３は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０を支持する。追加吊部２１は、追加棚支持部２３の一端から天井に固定される固定部２２にまで吊り下げ方向（Ｚ方向）に延在する。追加接続部２４は、一端が追加吊部２１に接続され、他端が吊部１１に接続されており、追加棚支持部２３に平行（Ｙ方向）に延在する。落下防止柵２９は、隣り合う吊部１１同士、又は隣り合う追加吊部２１同士に掛け渡される平板状の部材である。落下防止柵２９は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０に載置された容器Ｆを側方（Ｙ方向）から挟み込むように配置されている。

第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０は、容器Ｆが載置される部材である。第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０は、長手方向の長さ（Ｘ方向）ＷがＷ１に形成されており、隣り合う吊りフレーム１０に掛け渡されている。具体的には、隣り合う棚支持部１３同士、又は隣り合う追加棚支持部２３同士に掛け渡されている。

本実施形態では、一方の追加ユニット２０の隣り合う追加棚支持部２３同士に、図３に示されるような、第一棚モジュール３０が掛け渡されている。第一棚モジュール３０は、パージ機能を有さないユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能を有さないユニットである。当該ガスの例には、窒素ガス、乾燥空気等が含まれる。

また、本実施形態では、吊りフレーム１０の隣り合う棚支持部１３同士に、図４に示されるような、第二棚モジュール４０が架け渡されている。第二棚モジュール４０は、パージ機能を有するユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能を有するユニットである。更に、本実施形態では、他方の追加ユニット２０の隣り合う追加棚支持部２３同士に、図３に示されるような、第一棚モジュール３０が掛け渡されている。

次に、図３に示される第一棚モジュール３０について説明する。第一棚モジュール３０は、第一棚フレーム（棚フレーム）３１と、第一棚板（棚板）３３と、を有している。第一棚フレーム３１は、Ｘ方向において隣り合う棚支持部１３又は追加棚支持部２３に掛け渡される。第一棚フレーム３１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。第一棚フレーム３１の長手方向（Ｘ方向）長さＷは、Ｗ１である。第一棚フレーム３１は、図２に示されるように、棚支持部１３又は追加棚支持部２３に下方から挿通されるネジ（締結部材）１９によって棚支持部１３又は追加棚支持部２３に固定されている。更に詳細には、第一棚フレーム３１は、棚支持部１３又は追加棚支持部２３に設けられた挿通孔１３ａ，２３ａに下方から挿通されたネジ１９によって棚支持部１３又は追加棚支持部２３に固定されている。なお、ネジ１９の代わりにボルト及びナットを用いてもよい。

第一棚板３３は、第一棚フレーム３１の上面に、弾性体３７を介して支持されている。第一棚板３３は、方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。第一棚板３３の長手方向（Ｘ方向）長さＷは、第一棚フレーム３１の長さＷ１の略半分（Ｗ１／２）である。すなわち、第一棚板３３は、第一棚フレーム３１にＸ方向に沿って二つ配列されている。弾性体３７の材料の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル及び金属バネが含まれる。第一棚板３３は、容器Ｆが載置される載置面３３ａを有し、載置面３３ａには、ピン３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃが設けられている。ピン３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃは、第一棚板３３の載置面３３ａから上方に突出している。ピン３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃは、容器Ｆの底部に設けられた位置決め穴（図示せず）に対応する位置に配置されている。

次に、図４及び図５に示される第二棚モジュール４０について説明する。第二棚モジュール４０は、第二棚フレーム（棚フレーム）４１と、第二棚板（棚板）４３と、パージ設備５０と、を有している。第二棚フレーム４１は、Ｘ方向において隣り合う追加棚支持部２３に掛け渡される。第二棚フレーム４１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。第二棚フレーム４１の長手方向（Ｘ方向）長さＷは、第一棚フレーム３１と同じＷ１である。

第二棚板４３は、第二棚フレーム４１の上面に、弾性体４７を介して支持されている。第二棚板４３は、方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材である。第二棚板４３の長手方向長さＷは、第二棚フレーム４１の長さＷ１の略半分（Ｗ１／２）である。すなわち、第二棚板４３は、第二棚フレーム４１にＸ方向に沿って二つ配列されている。弾性体４７の材料は、弾性体３７と同じである。

第二棚板４３は、容器Ｆが載置される載置面４３ａを有し、載置面４３ａには、ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃが設けられている。ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、第二棚板４３の載置面４３ａから上方に突出している。ピン４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、容器Ｆの底部に設けられた位置決め穴（図示せず）に対応する位置に配置されている。

パージ設備５０は、供給ノズル５１と、第一配管５２と、フィルタ部５３と、第二配管５４と、ＭＦＣ（Mass Flow Controller：流量調整部）５５と、第三配管（配管）５６と、検出部５９と、を有している。供給ノズル５１は、容器Ｆの内部にガスを供給するノズルである。供給ノズル５１は、第二棚板４３の載置面４３ａから上方に突出しており、容器Ｆが供給ノズル５１に載置されることによって容器Ｆの底面に設けられた導入孔に接続される。

第一配管５２は、供給ノズル５１とフィルタ部５３とを接続する管部材である。フィルタ部５３は、フィルタ部５３を通過するガスに含まれる異物を取り除くフィルタが収容された部材であって、ガスの供給源から主配管６０を介して供給されるガスに含まれる異物を取り除く。フィルタ部５３は、第二棚フレーム４１に適宜の部材によって固定されている。第二配管５４は、フィルタ部５３とＭＦＣ５５との間を接続する管部材である。

ＭＦＣ５５は、主配管６０から供給されるガスの流量を計測すると共に流量の制御を行う機器である。ＭＦＣ５５は、図示しないパージコントローラ（制御装置）によって制御される。ＭＦＣ５５は、複数の第二棚板４３のそれぞれに設けられている、ＭＦＣ５５は、配線７２を介してパージコントローラに接続される主配線７０に接続されている。配線７２は、主配線７０の分岐部７１に接続されている。配線７２において分岐部７１に接続される端部には、分岐部７１との接続を可能にする配線コネクタ７２ａが設けられている。パージコントローラは、検出部５９によって容器Ｆが検知されるときに、容器Ｆに所定の流量のガスを供給するようにＭＦＣ５５を制御し、検出部５９によって容器Ｆが検知されないときに、容器Ｆにガスを供給しないようにＭＦＣ５５を制御する。ＭＦＣ５５は、第二棚フレーム４１の下面に適宜の方法にて固定されている。

第三配管５６は、ＭＦＣ５５と分岐部（分岐接続部）６１との間を接続する管部材である。第三配管５６において分岐部６１に接続される端部には、分岐部６１との接続を可能にする配管コネクタ５６ａが設けられている。

検出部５９は、第二棚板４３に容器Ｆが載置されたか否かを検出する。検出部５９は、第二棚板４３の載置面４３ａに設けられている。検出部５９は、在荷センサ５９Ａと処理装置５９Ｂとを有している。検出部５９は、図示しないパージコントローラによって制御される。検出部５９は、配線７５を介してパージコントローラに接続される主配線７０に接続されている。配線７５は、主配線７０の分岐部７１に接続されている。

主配管６０は、パージ設備５０に供給するガスの供給源に接続されている。主配管６０は、ステンレス鋼等の金属、又はフッ素樹脂等の樹脂から形成される管部材である。主配管６０は、第二棚フレーム４１に固定された配管支持ブラケット４９によって支持されている。主配管６０は、分岐部６１を有している。分岐部６１には、パージ設備５０を構成する第三配管５６が接続されている。

主配線７０は、パージ設備５０を集中的に制御するパージコントローラに接続されている。パージコントローラは、例えば、保管棚１の一部に固定されていてもよいし、中継装置等を介して保管棚１から離れた場所に設けられてもよい。主配線７０は、第二棚板４３の下面に固定されている。主配線７０は、分岐部７１を有している。分岐部７１には、ＭＦＣ５５に接続される配線７２及び検出部５９に接続される配線７５が接続されている。

次に、本実施形態の保管棚１の現場での設置手順（保管棚の設置方法）について説明する。吊りフレームは、棚支持部１３の延在方向における長さＤ及び吊部１１の延在方向における長さＨが互いに異なる複数種類の吊りフレーム１０を含む吊りフレーム群の中から選択される。本実施形態において使用される吊りフレームは、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示されるように、長さＤ（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３）及び長さＨ（Ｈ１，Ｈ２）が互いに異なる３種類の吊りフレーム１０，１０Ａ，１０Ｂからなる吊りフレーム群の中から選択される。

本実施形態では、上述した吊りフレーム群の中から図６（ａ）に示される長さＤ（Ｄ１）及び長さＨ（Ｈ１）の吊りフレーム１０が三つ選択される。図６（ａ）に示される吊りフレーム１０は、並走する二本の軌道５に跨がって吊り下げられ、当該二本の軌道５のそれぞれの下方において容器Ｆを載置するための部材である。なお、図６（ｂ）に示される吊りフレーム１０Ａは、一本の軌道５に跨がって吊り下げられ、軌道５の下方において軌道５に沿って容器Ｆを載置するための部材であり、図６（ｃ）に示される吊りフレーム１０Ｂは、一本の軌道５の側方に吊り下げられ、軌道５の側方において軌道５に沿って容器Ｆを載置するための部材である。

本実施形態の吊りフレーム１０は、追加ユニット２０を選択的に付加できるように構成されている。追加ユニット２０は、軌道５の側方において軌道５に沿って容器Ｆを載置するための部材である。追加ユニット２０は、上述したように、追加棚支持部２３と、追加吊部２１と、追加接続部２４と、落下防止柵２９と、を有するユニットであり、図７（ａ）〜図７（ｃ）に示されるように吊りフレーム１０の少なくとも一方の吊部１１又は図８（ａ）〜図８（ｃ）に示されるように吊りフレーム１０Ａの少なくとも一方の吊部１１に固定可能に設けられている。吊りフレーム１０に追加ユニット２０を追加することによって、軌道５の側方において軌道５に沿って容器Ｆを載置することが可能となる。

棚モジュールは、長手方向の長さＷがＷ１であり、パージ設備５０を有する第二棚モジュール４０（図４及び図５参照）及びパージ設備５０を有さない第一棚モジュール３０（図３参照）の二種類からなる棚モジュール群の中から選択される。

保管棚１を設置する現場では、上記の吊りモジュール群及び棚モジュール群の中から選択された吊りフレーム１０、第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０が組み立てられる。最初に、図７（ａ）に示されるように、吊りフレーム１０には、一対の吊部１１，１１の一方側に追加ユニット２０が取り付けられる。追加ユニット２０は、ねじ等によって吊りフレーム１０に固定される。追加ユニット２０が付加された吊りフレーム１０は、棚支持部１３の延在方向が天井走行車３の走行方向に直交する方向（Ｙ方向）に延在するように、走行方向に沿って等間隔で設置される。

次に、上述した棚モジュール群の中から選択された第一棚モジュール３０（図３参照）を、走行方向に隣り合う棚支持部１３及び追加棚支持部２３に掛け渡す。次に、第一棚モジュール３０を、棚支持部１３及び追加棚支持部２３に対してネジ１９によって固定する。棚支持部１３又は追加棚支持部２３に設けられた挿通孔１３ａ，２３ａにネジ１９を下方から挿通し、棚支持部１３又は追加棚支持部２３に第一棚フレーム３１を固定する。

次に、上述した棚モジュール群の中から選択された第二棚モジュール４０（図４及び図５参照）を、走行方向に隣り合う追加棚支持部２３に掛け渡す。次に、第二棚モジュール４０を、追加棚支持部２３に設けられた挿通孔２３ａにネジ１９を下方から挿通し、追加棚支持部２３に第二棚フレーム４１を固定する。

次に、追加棚支持部２３に掛け渡された第二棚モジュール４０の配管を主配管６０に接続する。具体的には、第二棚板４３のそれぞれに設けられた供給ノズル５１に、ＭＦＣ５５等を介して連通する第三配管５６の配管コネクタ５６ａを主配管６０の分岐部６１に接続する。また、追加棚支持部２３に掛け渡された第二棚モジュール４０の配線７２及び配線７５を主配線７０に接続する。具体的には、第二棚板４３のそれぞれに設けられたＭＦＣ５５に接続される配線７２の配線コネクタ７２ａを主配線７０の分岐部７１に接続する。また、第二棚板４３のそれぞれに設けられた検出部５９に接続される配線７５を主配線７０の分岐部７１に接続する。以上に示す工程によって、保管棚１の設置が完了する。

次に、上記実施形態の保管棚１の作用効果について説明する。上記実施形態の保管棚１では、吊りフレーム１０を走行方向に沿って等間隔で設置し、互いに隣り合う吊りフレーム１０の棚支持部１３に第一棚モジュール３０を掛け渡し、棚支持部１３と第一棚モジュール３０とを締結することによる簡易な工程で設置される。また、互いに隣り合う吊りフレーム１０の追加棚支持部２３に第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０を掛け渡し、追加棚支持部２３と第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０とを締結することによる簡易な工程で設置される。これにより、現場での設置作業が簡易となる。

また、一般的な保管棚は工場等で製造されて現場等に搬送されるが、サイズが大きく、輸送コストがかかる。この点、本実施形態では、吊りフレーム１０、追加ユニット２０、第一棚モジュール３０、及び第二棚モジュール４０をばらばらに梱包できるので、相対的に輸送する際のサイズを小さくすることができる。

上記実施形態の保管棚１では、吊りフレーム１０は、棚支持部１３の長さＤ及び吊部１１の長さＨが互いに異なる三種類の吊りフレーム群の中から選択することができるので、例えば、一つの軌道５に沿って保管棚１を設置したり、並走する二つの軌道５，５に沿って保管棚１を設置したり、これらの態様が混在する軌道５に沿って保管棚１を設置したりすることが可能となる。これにより、設置後のレイアウト変更にも容易に対応することが可能となる。

上記実施形態の保管棚１では、棚モジュール群は、パージ設備５０を有する第二棚モジュール４０（図４及び図５参照）及びパージ設備５０を有さない第一棚モジュール３０（図３参照）の二種類の棚モジュールを含んでいるので、容易にパージ機能を追加することができる。

上記実施形態の第二棚モジュール４０の第二棚板４３に設けられる第三配管５６の端部には、供給源から流体が供給される主配管６０との接続を可能にする配管コネクタ５６ａが設けられている。これにより、ＭＦＣ５５にガスを供給する第三配管５６を主配管６０に容易に接続できるので、現場での設置作業が容易となる。

上記実施形態の保管棚１では、ＭＦＣ５５は、複数の第二棚板４３のそれぞれに設けられている。これにより、図４及び図５に示されるように、パージ設備５０を有する第二棚板４３を複数設ける場合であっても、第二棚モジュール４０として予め配管（第一配管５２、第二配管５４及び第三配管５６）を施しておくことができるため、現場での設置作業が容易となる。

上記実施形態の第二棚モジュール４０の第二棚板４３に設けられる配線７２の端部には、図５に示されるように、配線コネクタ７２ａが設けられている。これにより、ＭＦＣ５５をコントローラに接続する配線７２を主配線７０に容易に接続できるので、現場での設置作業が容易となる。

上記実施形態の保管棚１の第二棚モジュール４０には、図４に示されるように、主配管６０から第三配管５６への接続を可能にする分岐部６１が、第二棚板４３に対応して設けられている。これにより、主配管６０から第三配管５６の分岐配管作業を容易に行うことができる。

上記実施形態の保管棚１の第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０は、棚支持部１３又は追加棚支持部２３の下方から挿通されるネジ１９によって棚支持部１３又は追加棚支持部２３に固定されている。現場の寸法等に合わせて、工場等で保管棚を製造する受注生産では、第一棚モジュール３０に該当する部材（以下、「部材Ａ」と称する）を、棚支持部１３に該当する部材（以下、「部材Ｂ」と称する）へ締結する場合、生産性を考慮して、部材Ａの挿通孔に上方からネジ等が挿通され、部材Ｂに部材Ａが締結される。ところが、本実施形態では、先の工程で天井等の被固定部に吊りフレーム１０を固定した後に、第一棚モジュール３０の棚支持部１３又は追加棚支持部２３への固定作業、又は第二棚モジュール４０の追加棚支持部２３への固定作業が実施される。天井等の被固定部に吊りフレーム１０を固定して、互いに隣り合う吊りフレーム１０の棚支持部１３（追加棚支持部２３）に第一棚モジュール３０（第二棚モジュール４０）を掛け渡した状態では、作業者が第一棚モジュール３０（第二棚モジュール４０）の上方へアクセスするためのスペースが制限される。このような場合であっても、本実施形態の保管棚１では、当該固定作業が第一棚モジュール３０（第二棚モジュール４０）の下方から行える。これにより、現場での設置作業が容易となる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、図１に示されるように、二本の軌道５，５が並走する領域、すなわち、図９に示される領域Ａ１に保管棚１が配置される例を挙げて説明したが、本発明の一側面はこれに限定されない。なお、図９は、保管棚の配置パターンを示す平面図である。

例えば、図９に示される領域Ａ２に配置される保管棚１のように、一つの軌道５の真下に第一棚モジュール３０を配置し、下流の軌道５の側方に第二棚モジュール４０を配置してもよい。この場合、詳述した吊りフレーム群の中から、図７（ａ）に示されるような、追加ユニット２０が付加された吊りフレーム１０と、図６（ｂ）に示されるような吊りフレーム１０Ａと、図３に示される第一棚モジュール３０と、図４及び図５に示される第二棚モジュール４０と、を組み合わせて、保管棚１を構成することができる。

また、例えば、図９に示される領域Ａ３に配置される保管棚１のように、一つの軌道５の真下に軌道５に沿って第一棚モジュール３０を配置してもよい。この場合、詳述した吊りフレーム群の中から、図６（ｂ）に示されるような吊りフレーム１０Ａと、図３に示される第一棚モジュール３０と、を組み合わせて、保管棚１を構成することができる。

また、例えば、図９に示される領域Ａ４に配置される保管棚１のように、一つの軌道５の一方の側方に第一棚モジュール３０を配置し、他方の側方に第二棚モジュール４０を配置してもよい。この場合、詳述した吊りフレーム群の中から、図６（ｃ）に示されるような吊りフレーム１０Ａと、図３に示される第一棚モジュール３０と、図４及び図５に示される第二棚モジュール４０と、を組み合わせて、保管棚１を構成することができる。

このように本実施形態の保管棚１では、上述した吊りフレーム群又は棚モジュール群の中から任意に吊りフレーム及び棚モジュールを選択することによって、例えば、一つの軌道５に沿って保管棚１を設置したり、並走する二つの軌道５，５に沿って保管棚１を設置したり、これらの態様が混在する軌道に沿って保管棚１を設置したりすることが可能となる。これにより、設置後のレイアウト変更にも容易に対応することが可能となる。

上記実施形態では、固定部が天井等の被固定部に固定されている例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、固定部は、固定を解除することにより固定部を摺動可能にするレースウェイ等に固定されていてもよい。

上記実施形態及び変形例では、主配管６０は、第二棚フレーム４１に固定された配管支持ブラケット４９によって支持されている例を挙げて説明したが、例えば、天井走行車が走行する走行レールに支持されたり、クリーンルーム等の天井等に取り付けられた支持部材に支持されたり、又は、天井に直接支持されたりしてもよい。

１…保管棚、３…天井走行車、５…軌道、１０，１０Ａ，１０Ｂ…吊りフレーム、１１…吊部、１３…棚支持部、１９…ネジ（締結部材）、２０…追加ユニット、２１…追加吊部、２３…追加棚支持部、３０…第一棚モジュール（棚モジュール）、３１…第一棚フレーム、３３…第一棚板（棚板）、４０…第二棚モジュール（棚モジュール）、４１…第二棚フレーム、４３…第二棚板（棚板）、５０…パージ設備、５２…第一配管、５４…第二配管、５６…第三配管、５６ａ…配管コネクタ、６０…主配管、６１…分岐部、７０…主配線、７１…分岐部、７２ａ…配線コネクタ、７５…配線。

Claims (8)

1. 容器が載置される棚板と、前記棚板に載置された前記容器の内部に流体を供給するノズルと、前記ノズルから供給される前記流体の流量を調整する流量調整部と、前記流量調整部と流体の供給源に接続される主配管とを接続する配管と、を有する棚モジュールと、
   前記棚モジュールを下方から支持する棚支持部と、前記棚支持部を吊り下げ支持する一対の吊部と、を有する吊りフレームと、を備え、
   前記吊りフレームは、一方向に沿って等間隔で設置され、
   前記棚モジュールは、前記一方向に隣り合う前記吊りフレームの前記棚支持部に掛け渡され、
   前記配管の端部には、前記主配管との接続を可能にする配管コネクタが設けられている、保管棚。
2. 前記棚モジュールは、前記棚支持部に形成された挿通孔に下方から挿通されるボルト又はネジによって前記棚支持部に固定されている、請求項１記載の保管棚。
3. 容器が載置される棚板と、前記棚板に載置された前記容器の内部に流体を供給するノズルと、前記ノズルから供給される前記流体の流量を調整する流量調整部と、前記流量調整部と流体の供給源に接続される主配管とを接続する配管と、を有する棚モジュールと、
   前記棚モジュールを下方から支持する棚支持部と、前記棚支持部を吊り下げ支持する一対の吊部と、を有する吊りフレームと、を備え、
   前記吊りフレームは、一方向に沿って等間隔で設置され、
   前記棚モジュールは、前記一方向に隣り合う前記吊りフレームの前記棚支持部に掛け渡されると共に、前記棚支持部に掛け渡された前記棚モジュールと前記吊りフレームの前記棚支持部とが、前記棚支持部に形成された挿通孔に下方から挿通されたボルト又はネジによって固定されている、保管棚。
4. 前記棚モジュールは、前記一方向に隣り合う前記吊りフレームの前記棚支持部に掛け渡される棚フレームと、前記棚フレームに取り付けられる複数の前記棚板と、を有し、
   前記流量調整部は、複数の前記棚板のそれぞれに設けられている、請求項１〜３の何れか一項記載の保管棚。
5. 前記棚モジュールは、一方の端部が前記流量調整部のそれぞれに接続される配線を更に有し、
   前記配線の他方の端部には、制御装置に接続される主配線との接続を可能にする配線コネクタが設けられている、請求項４記載の保管棚。
6. 前記棚モジュールには、前記主配管から前記配管への接続を可能にする分岐接続部が、前記棚板の数に対応して設けられている、請求項４又は５記載の保管棚。
7. 容器を搬送する天井走行車の軌道に沿って延在すると共に前記容器が載置される棚モジュールが、吊りフレームによって被固定部から吊り下げられる保管棚であって、
   延在方向おける長さが同じであり、パージ機能の有無において互いに種類の異なる二種類の棚モジュールの中から選択された少なくとも一つの前記棚モジュールと、
   下方から前記棚モジュールを支持すると共に一方向に延在する棚支持部と、前記棚支持部の両端のそれぞれから前記被固定部にまで延在する一対の吊部とを有し、前記棚支持部及び前記吊部の延在方向における長さが互いに異なる複数種類の吊りフレームの中から選択された複数の前記吊りフレームと、を備え、
   前記吊りフレームは、前記棚支持部の延在方向が前記天井走行車の走行方向に直交する方向に延在するように、前記走行方向に沿って等間隔で設置されており、
   前記棚モジュールは、前記走行方向に隣り合う前記吊りフレームの前記棚支持部に掛け渡されると共に、前記棚支持部に掛け渡された前記棚モジュールと前記吊りフレームの前記棚支持部とが締結部材によって固定されている、保管棚。
8. 容器を搬送する天井走行車の軌道に沿って延在すると共に前記容器が載置される棚モジュールが、吊りフレームによって被固定部から吊り下げられる保管棚の設置方法であって、
   延在方向おける長さが同じであり、パージ機能の有無において互いに種類の異なる二種類の棚モジュールの中から少なくとも一つの前記棚モジュールを選択する工程と、
   下方から前記棚モジュールを支持すると共に一方向に延在する棚支持部と、前記棚支持部の両端のそれぞれから前記被固定部にまで延在する一対の吊部とを有し、前記棚支持部及び前記吊部の延在方向における長さが互いに異なる複数種類の吊りフレームの中から複数の前記吊りフレームを選択する工程と、
   選択された前記吊りフレームを、前記棚支持部の延在方向が前記天井走行車の走行方向に直交する方向に延在するように、前記走行方向に沿って等間隔で設置する工程と、
   選択された前記棚モジュールを、前記走行方向に隣り合う前記吊りフレームの前記棚支持部に掛け渡す工程と、
   前記棚支持部に掛け渡された前記棚モジュールと前記吊りフレームの前記棚支持部とを、締結部材によって固定する工程と、を含む、保管棚の設置方法。

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